JPH09113272A - Laser device for surveying - Google Patents
Laser device for surveyingInfo
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- JPH09113272A JPH09113272A JP14982496A JP14982496A JPH09113272A JP H09113272 A JPH09113272 A JP H09113272A JP 14982496 A JP14982496 A JP 14982496A JP 14982496 A JP14982496 A JP 14982496A JP H09113272 A JPH09113272 A JP H09113272A
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明はレーザを内蔵する測
量用レーザ装置、特にレーザの発熱の影響を考慮した測
量用レーザ装置に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a surveying laser device having a built-in laser, and more particularly to a surveying laser device considering the influence of heat generation of the laser.
【0002】[0002]
【従来の技術】レーザを内蔵する測量用レーザ装置に
は、経緯儀、建物内装工事に使用するロテーティングレ
ーザ、配管工事に使用するパイプレーザ、測距に使用す
るレーザ距離計、レベル等が知られており、レーザ光源
としてHe −Ne レーザ、LD(半導体レーザ)が用い
られている。2. Description of the Related Art Known surveying laser devices having a built-in laser include a theodolite, a rotating laser used for building interior work, a pipe laser used for piping work, a laser rangefinder used for distance measurement, and a level. As a laser light source, a He-Ne laser and an LD (semiconductor laser) are used.
【0003】一般にこれら測量用レーザ装置の水準用光
学系、或は測距用光学系等の光学系は鏡筒内に設けら
れ、該鏡筒は筐体に上下更に左右の2方向に回動自在に
支持されていると共に構造を簡単にする為、レーザ光源
は鏡筒に固定され、光学系と一体化されている。Generally, an optical system such as a standard optical system or a distance measuring optical system of these surveying laser devices is provided in a lens barrel, and the lens barrel is rotated in two directions of up, down, left and right in a housing. The laser light source is fixed to the lens barrel and integrated with the optical system in order to be supported freely and to simplify the structure.
【0004】前記レーザ光源としてHe −Ne レーザを
使用した場合には、He −Ne 管の形状が大きく、コン
パクトとならない。更に、He −Ne 管を使用した場合
には、レーザ発振に高電圧を必要とし、一般には100
V電源を使用している。この為、消費電力が大きく、発
熱量が大きい。従って、電源を装置に内蔵することがで
きなく、装置をコンパクトに、又携帯可能に小型化する
ことが難しい。When a He-Ne laser is used as the laser light source, the He-Ne tube has a large shape and cannot be made compact. Furthermore, when a He-Ne tube is used, a high voltage is required for laser oscillation, and it is generally 100
Uses V power supply. Therefore, the power consumption is large and the amount of heat generation is large. Therefore, the power source cannot be built in the device, and it is difficult to make the device compact and portable.
【0005】又、前記レーザ光源の発熱により光学系が
加熱されるとチルトセンサ等各種検出器の検出精度が低
下し、或は鏡筒、鏡筒支持機構等が加熱されると、熱膨
脹により変位が生じ、機械的な精度が低下する等の問題
が生じ、その為、冷却機構、放熱機構が必要となり、装
置が複雑で大掛かりとなっていた。Further, when the optical system is heated by the heat generated by the laser light source, the detection accuracy of various detectors such as a tilt sensor is lowered, or when the lens barrel, the lens barrel supporting mechanism, etc. are heated, they are displaced by thermal expansion. Occurs, which causes a problem such as a decrease in mechanical accuracy. Therefore, a cooling mechanism and a heat radiation mechanism are required, and the device is complicated and large-scaled.
【0006】前記したLD(半導体レーザ)は小型で小
消費電力であるので、前記鏡筒等に組込むことが容易
で、携帯用に適した機器の小型化が可能である。図10
に於いてLDを使用した測量用レーザ装置の一例である
パイプレーザの概略を示す。Since the above-mentioned LD (semiconductor laser) is small and consumes little power, it can be easily incorporated in the lens barrel or the like, and the device suitable for carrying can be downsized. FIG.
1 shows an outline of a pipe laser which is an example of a surveying laser device using an LD.
【0007】光学系1は鏡筒2内に設けられ、該鏡筒2
は筐体4に上下更に左右の2方向に回動自在に支持さ
れ、レーザ光源3は鏡筒2の基部に固定されている。
尚、LDが発光するレーザ光線は、縦横の異なる楕円形
状であり、広がり角が大きいのでコリメートレンズ5が
設けられ平行光束とされている。通常、楕円形状を円形
に近い形状にする為、補正するレンズが設けてある。The optical system 1 is provided in a lens barrel 2.
Is rotatably supported in a housing 4 in two directions, that is, vertically and horizontally, and the laser light source 3 is fixed to the base of the lens barrel 2.
The laser beam emitted by the LD has an elliptical shape with different vertical and horizontal directions and has a large divergence angle. Usually, a lens for correction is provided to make the elliptical shape close to a circle.
【0008】前記LDからのレーザ光線はHe −Ne 管
によるレーザ光線に比べ、平行で細い輪郭のはっきりし
た均一なレーザ光ではなく、光束に広がりを有する為、
形状を補正したレーザ光でも視認性が低い。視認性を向
上する為の手段として出力を上げる方法があるが、レー
ザ光線の強度については作業者の保護等の観点から法律
的な制約がある。従って、同様の出力で視認性を向上さ
せるには視認性の高い波長を選ぶ必要がある。視認性に
於いては緑色が優れているが、高出力の緑色レーザ光線
を出力する半導体素子は、量産化されていない。この
為、現在のところ、近赤外のLDからのレーザ光源に共
振部を設け、レーザ光線の周波数を増大し緑色に変換し
ている。Since the laser beam from the LD is not parallel and uniform laser beam with a clear narrow contour, it has a spread in the luminous flux as compared with the laser beam from the He-Ne tube.
Visibility is low even with laser light whose shape has been corrected. There is a method of increasing the output as a means for improving the visibility, but there is a legal restriction on the intensity of the laser beam from the viewpoint of worker protection. Therefore, in order to improve the visibility with the same output, it is necessary to select a wavelength with high visibility. Although green is excellent in terms of visibility, semiconductor devices that output a high-output green laser beam have not been mass-produced. For this reason, at present, a resonance part is provided in the laser light source from the near-infrared LD to increase the frequency of the laser beam and convert it to green.
【0009】緑色レーザ光線を発するレーザ光源として
は、近赤外の半導体発光素子により外部、又は内部共振
型SHG方式の発振装置を組み合わせたLD励起固体レ
ーザがある。図11は斯かる内部共振型SHG方式を用
いたLD励起固体レーザであるレーザ光源3の概略を示
している。As a laser light source for emitting a green laser beam, there is an LD pumped solid-state laser in which a semiconductor light emitting element in the near infrared is combined with an external or internal resonance type SHG oscillation device. FIG. 11 schematically shows a laser light source 3 which is an LD pumped solid-state laser using such an internal resonance type SHG method.
【0010】図11中、8は発光部、9は光共振部であ
る。該発光部8はLD発光器10、集光レンズ11を具
備し、更に光共振部9は誘電体反射膜12が形成された
レーザ結晶(Nd:YVO4 )板13、非線形光学媒質
(KTP)14、誘電体反射膜15が形成された出力ミ
ラー16であり、該光共振部9に於いてレーザ光線をポ
ンピングし共振、増幅して出力している。更に詳述する
と以下の通りである。In FIG. 11, 8 is a light emitting portion and 9 is an optical resonance portion. The light emitting part 8 comprises an LD light emitting device 10 and a condenser lens 11, and the optical resonator part 9 further comprises a laser crystal (Nd: YVO 4 ) plate 13 on which a dielectric reflection film 12 is formed, a nonlinear optical medium (KTP). 14, an output mirror 16 on which a dielectric reflection film 15 is formed, which pumps a laser beam in the optical resonator 9 to cause resonance, amplification, and output. The details will be described below.
【0011】レーザ光源3は、レーザ光線を発生させる
為のものであり、半導体レーザであるLD発光器10が
使用されている。又、該LD発光器10が基本波を発生
させるポンプ光発生装置として機能を有する。尚、レー
ザ光源3は半導体レーザに限ることなく、レーザ光線を
生じさせることができれば、何れの光源手段をも採用す
ることができる。The laser light source 3 is for generating a laser beam, and the LD light emitter 10 which is a semiconductor laser is used. Further, the LD light emitter 10 has a function as a pump light generator for generating a fundamental wave. The laser light source 3 is not limited to the semiconductor laser, and any light source means can be adopted as long as it can generate a laser beam.
【0012】レーザ結晶板13は光の増幅を行う為のも
のである。このレーザ結晶板13には、Nd3+ イオン
をドープしたYAG(イットリウム アルミニウム ガ
ーネット)等が採用される。YAGは、946nm、1
064nm、1319nm等の発振線を有している。The laser crystal plate 13 is for amplifying light. For this laser crystal plate 13, YAG (yttrium aluminum garnet) doped with Nd 3+ ions or the like is adopted. YAG is 946 nm, 1
It has oscillation lines of 064 nm, 1319 nm, etc.
【0013】レーザ結晶板13はYAGに限ることな
く、発振線が1064nmの(Nd:YVO4 )や、発
振線が700〜900nmの(Ti:Sapphir
e)等を使用をすることができる。The laser crystal plate 13 is not limited to YAG, and has an oscillation line of 1064 nm (Nd: YVO 4 ) or an oscillation line of 700 to 900 nm (Ti: Sapphir).
e) etc. can be used.
【0014】レーザ結晶板13のLD発光器10側に
は、第1の誘電体反射膜12が形成されている。この第
1の誘電体反射膜12は、LD発光器10に対して高透
過であり、且レーザ結晶板13の発振波長に対して高反
射であると共に、SHG(SECOND HARMON
IC GENERATION)に対しても高反射となっ
ている。A first dielectric reflecting film 12 is formed on the LD crystal emitter 10 side of the laser crystal plate 13. The first dielectric reflection film 12 is highly transmissive to the LD light emitter 10 and highly reflective to the oscillation wavelength of the laser crystal plate 13, and also has SHG (SECOND HARMON).
It is also highly reflective against IC GENERATION.
【0015】出力ミラー16は、レーザ結晶板13に対
向する様に構成されており、出力ミラー16のレーザ結
晶板13側は、適宜の半径を有する凹面球面鏡の形状に
加工されており、第2の誘電体反射膜15が形成されて
いる。この第2の誘電体反射膜15は、レーザ結晶板1
3の発振波長に対して高反射であり、SHG(SECO
ND HARMONIC GENERATION)に対
して高透過となっている。The output mirror 16 is constructed so as to face the laser crystal plate 13, and the laser crystal plate 13 side of the output mirror 16 is processed into a concave spherical mirror shape having an appropriate radius. The dielectric reflection film 15 is formed. The second dielectric reflection film 15 is used for the laser crystal plate 1
It is highly reflective for the oscillation wavelength of 3, and SHG (SECO
ND HARMONIC GENERATION).
【0016】以上の様に、レーザ結晶板13の第1の誘
電体反射膜12と、出力ミラー16とを組合わせ、LD
発光器10からの光束を集光レンズ11を介してレーザ
結晶板13にポンピングすると、レーザ結晶板13の第
1の誘電体反射膜12と、出力ミラー16との間で光が
往復し、光を長時間閉込めることができるので、光を共
振させて増幅させることができる。As described above, the first dielectric reflection film 12 of the laser crystal plate 13 and the output mirror 16 are combined to form an LD.
When the light flux from the light emitter 10 is pumped to the laser crystal plate 13 via the condenser lens 11, the light reciprocates between the first dielectric reflection film 12 of the laser crystal plate 13 and the output mirror 16, and Can be confined for a long time, so that light can be resonated and amplified.
【0017】前記レーザ結晶板13の第1の誘電体反射
膜12と、前記出力ミラー16とから構成された光共振
器内に非線形光学媒質14が挿入されている。A nonlinear optical medium 14 is inserted in an optical resonator composed of the first dielectric reflecting film 12 of the laser crystal plate 13 and the output mirror 16.
【0018】ここで、非線形光学効果を簡潔に説明す
る。The nonlinear optical effect will be briefly described below.
【0019】物質に電界が加わると電気分極が生じる。
この電界が小さい場合には、分極は電界に比例するが、
レーザ光線の様に強力なコヒーレント光の場合には、電
界と分極の間の比例関係が崩れ、電界の2乗、3乗に比
例する非線形的な分極成分が卓越してくる。When an electric field is applied to a substance, electric polarization occurs.
When this electric field is small, the polarization is proportional to the electric field,
In the case of strong coherent light such as a laser beam, the proportional relationship between the electric field and the polarization is broken, and a non-linear polarization component proportional to the square or cube of the electric field becomes dominant.
【0020】従って、非線形光学媒質14中に於いて
は、光波によって発生する分極には、光波電界の2乗に
比例する成分が含まれており、この非線形分極により、
異なった周波数の光波間に結合が生じ、光周波数を2倍
にする高調波が発生する。この第2次高調波発生(SH
G)は、SECOND HARMONIC GENER
ATIONと呼ばれている。Therefore, in the non-linear optical medium 14, the polarization generated by the light wave contains a component proportional to the square of the electric field of the light wave.
Coupling occurs between light waves of different frequencies, generating harmonics that double the light frequency. This second harmonic generation (SH
G) is SECOND HARMONIC GENER
It is called ATION.
【0021】前記したレーザ光源3は非線形光学媒質1
4を、レーザ結晶板13と出力ミラー16とから構成さ
れた光共振器内に挿入しているので、内部型SHGと呼
ばれており、変換出力は、基本波光電力の2乗に比例す
るので、光共振器内の大きな光強度を直接利用できると
いう効果がある。The laser light source 3 is the nonlinear optical medium 1
4 is inserted in the optical resonator composed of the laser crystal plate 13 and the output mirror 16, it is called an internal type SHG, and the converted output is proportional to the square of the fundamental wave optical power. The advantage is that the large light intensity in the optical resonator can be used directly.
【0022】非線形光学媒質14は、例えば、KTP
(KTiOPO4 リン酸チタニルカリウム)やBBO
(β−BaB2 O4 β型ホウ酸リチウム)、LBO
(LiB3 O5 トリホウ酸リチウム)等が使用され、
主に、1064nmから532nmに変換される。The nonlinear optical medium 14 is, for example, KTP.
(KTiOPO 4 potassium titanyl phosphate) and BBO
(Β-BaB 2 O 4 β-type lithium borate), LBO
(LiB 3 O 5 lithium triborate) or the like is used,
Mainly converted from 1064 nm to 532 nm.
【0023】又KNbO3 (ニオブ酸カリウム)等も採
用され、主に、946nmから473nmに変換され
る。Further, KNbO 3 (potassium niobate) or the like is also used, and it is mainly converted from 946 nm to 473 nm.
【0024】一般に、レーザ光源は出力波長の安定化の
ため、出力レーザ光をモニタし、レーザ光源にフィード
バックしている。図13は内部共振型SHG方式の発振
装置のフィードバックのブロック図である。光源ユニッ
ト60はレーザ光源3、ハーフミラー61、集光レンズ
17から構成されている。Generally, the laser light source monitors the output laser light and feeds it back to the laser light source in order to stabilize the output wavelength. FIG. 13 is a feedback block diagram of an internal resonance type SHG oscillator. The light source unit 60 includes a laser light source 3, a half mirror 61, and a condenser lens 17.
【0025】レーザ光源3から出力したレーザ光線はハ
ーフミラー61で一部がモニタ光として分割される。ハ
ーフミラー61を透過したレーザ光線は前記集光レンズ
17に向かう。前記モニタ光はモニタ受光器62、受光
回路63で受光され電気信号に変換される。受光回路6
3からの受光信号は制御部66に入力し、該制御部66
は前記受光信号に応じた制御信号をLD駆動部67に出
力する。該LD駆動部67は前記制御信号に基づいてL
D発光器10の発光を制御する。A part of the laser beam output from the laser light source 3 is split as monitor light by the half mirror 61. The laser beam transmitted through the half mirror 61 is directed to the condenser lens 17. The monitor light is received by the monitor light receiver 62 and the light receiving circuit 63 and converted into an electric signal. Light receiving circuit 6
The light-reception signal from 3 is input to the control unit 66, and the control unit 66
Outputs a control signal according to the received light signal to the LD drive unit 67. The LD drive unit 67 outputs L based on the control signal.
The light emission of the D light emitter 10 is controlled.
【0026】[0026]
【発明が解決しようとする課題】前記した内部共振型S
HG方式の発振装置を組合わせたLD励起固体レーザで
は、単体の半導体レーザ素子に比べ効率が悪く、この為
発熱量が大きい。従って、LD励起固体レーザを望遠鏡
等の光学系が収納された筐体に取付けると、He−Ne
管方式のレーザ光源と同様熱膨脹、熱変位に起因する精
度の低下を招く。The internal resonance type S described above is used.
The LD-pumped solid-state laser combined with the HG type oscillation device is less efficient than a single semiconductor laser element, and therefore generates a large amount of heat. Therefore, when the LD-pumped solid-state laser is attached to a housing containing an optical system such as a telescope, He-Ne
Similar to the tube type laser light source, the accuracy is lowered due to thermal expansion and thermal displacement.
【0027】本発明は斯かる実情に鑑み、視認性の高い
レーザ光線を使用し、而もレーザ光源の熱影響を除去
し、精度の高い測量用レーザ装置を提供しようとするも
のである。In view of the above situation, the present invention intends to provide a highly accurate surveying laser device by using a highly visible laser beam and eliminating the thermal influence of the laser light source.
【0028】[0028]
【課題を解決するための手段】本発明は、レーザ光源部
と該レーザ光源部からのレーザ光線を所定の方向に照射
する光学系とを具備する測量用レーザ装置に於いて、前
記レーザ光源部を少なくとも光学系から熱隔離して設
け、前記レーザ光源部のレーザ光線を光ファイバにより
前記光学系に導いた測量用レーザ装置に係り、或は該測
量用レーザ装置に於いてレーザ光源部が発光部、光共振
部を具備するLD励起固体レーザであり、前記光共振部
を光学系に設け、前記発光部を熱隔離して設けた測量用
レーザ装置に係り、或は該測量用レーザ装置に於いてレ
ーザ光源部の少なくとも発熱部を筐体に固着し、該筐体
を介して放熱する様構成した測量用レーザ装置に係り、
或は光ファイバが偏光方向を保存したまま送光する定偏
波光ファイバである測量用レーザ装置に係り、或は光フ
ァイバ出力端の近傍に配置されレーザ光線を反射すると
共に一部をモニタ光として分割する第1の反射手段及び
該第1反射手段で分割されたモニタ光を受光する第1の
受光手段を有する測量用レーザ装置に係り、或は該第1
の反射手段が偏光ミラーである測量用レーザ装置に係
り、或は前記第1の受光手段の受光量に基づいて前記レ
ーザ光源部のレーザ出力を制御する測量用レーザ装置に
係り、或は光ファイバ出力端の近傍に第2の反射手段
と、第2の受光手段を有する測量用レーザ装置に係るも
のである。The present invention provides a surveying laser device comprising a laser light source section and an optical system for irradiating a laser beam from the laser light source section in a predetermined direction. Is provided at least thermally isolated from the optical system, and relates to a surveying laser device in which the laser beam of the laser light source unit is guided to the optical system by an optical fiber, or in the surveying laser device, the laser light source unit emits light. Pumping solid-state laser including an optical resonance part and an optical resonance part, wherein the optical resonance part is provided in an optical system and the light emitting part is thermally isolated from the surveying laser device. At least a heat generating portion of a laser light source part is fixed to a housing, and a laser device for surveying configured to radiate heat through the housing,
Or, it relates to a surveying laser device, which is a polarization-maintaining optical fiber in which the optical fiber transmits light while preserving the polarization direction, or is arranged near the output end of the optical fiber and reflects the laser beam and part of it as monitor light. The present invention relates to a surveying laser device having a first reflecting means for splitting and a first light receiving means for receiving monitor light split by the first reflecting means, or the first laser means for surveying.
Of the surveying laser device in which the reflecting means is a polarization mirror, or the surveying laser device for controlling the laser output of the laser light source unit based on the amount of light received by the first light receiving means, or the optical fiber. The present invention relates to a surveying laser device having a second reflecting means near the output end and a second light receiving means.
【0029】レーザ光源部、或はレーザ光源部の少なく
とも発熱部が光学系から隔離されているので、光学系が
レーザ光源部の熱の影響を受けることがなく、熱による
精度の低下が防止し得、測量用レーザ装置を高精度に維
持することができる。又、光ファイバ出力部でレーザ出
力をモニタするので装置より外部へ出射するレーザ出力
を正確に制御することができる。Since the laser light source section, or at least the heat generating section of the laser light source section, is isolated from the optical system, the optical system is not affected by the heat of the laser light source section, and deterioration of accuracy due to heat is prevented. Therefore, the surveying laser device can be maintained with high accuracy. Further, since the laser output is monitored by the optical fiber output section, the laser output emitted from the device to the outside can be accurately controlled.
【0030】[0030]
【発明の実施の形態】以下、図面を参照しつつ本発明の
実施の形態を説明する。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.
【0031】図1は本発明の実施の形態の概略を示すも
のであり、図2は該本発明の実施の形態に用いられる光
源部20を示すものであり、図1中、図10中で示した
ものと同一のものには同符号を付してあり、又図2中、
図11中で示したものと同一のものには同符号を付して
ある。FIG. 1 shows an outline of an embodiment of the present invention, and FIG. 2 shows a light source section 20 used in the embodiment of the present invention. In FIG. 1 and FIG. The same parts as those shown are designated by the same reference numerals, and in FIG.
The same parts as those shown in FIG. 11 are designated by the same reference numerals.
【0032】光学系1は鏡筒2内に設けられ、該鏡筒2
は筐体4に上下更に左右の2方向に回動自在に支持さ
れ、レーザ光源3からのレーザ光線を導く光ファイバ2
2は鏡筒2の基部に固定され、該鏡筒2の先端にはコリ
メートレンズ5が設けられている。The optical system 1 is provided in the lens barrel 2 and
Is an optical fiber 2 supported by a housing 4 so as to be rotatable in two directions, that is, vertically and horizontally, and guides a laser beam from a laser light source 3.
2 is fixed to the base of the lens barrel 2, and a collimating lens 5 is provided at the tip of the lens barrel 2.
【0033】前記筐体4の所要位置、例えば前記レーザ
光線6を収納する鏡筒2、或は鏡筒2の支持機構から離
れた位置、例えば筐体4の後部にヒートシンク21を筐
体4の後壁面、底面に密着させて固着する。A heat sink 21 is provided at a required position of the housing 4, for example, at a position away from the lens barrel 2 for housing the laser beam 6 or a support mechanism of the lens barrel 2, for example, at a rear portion of the housing 4. It adheres to the rear wall surface and bottom surface by sticking.
【0034】前記光源部20は、前記レーザ光源3と該
レーザ光源3からのレーザ光線を所要位置に導く光ファ
イバ22から成り、前記レーザ光源3を前記ヒートシン
ク21に熱抵抗を少なくして固着し、前記光ファイバ2
2のレーザ光線入射端22aを前記レーザ光源3のレー
ザ光線射出位置に集光レンズ17を介して固定し、レー
ザ光線射出端22bを前記レーザ光線6の光軸上、前記
鏡筒2の基端位置に固定し、前記レーザ光源3からの光
学系1に導く。The light source section 20 comprises the laser light source 3 and an optical fiber 22 for guiding the laser beam from the laser light source 3 to a required position. The laser light source 3 is fixed to the heat sink 21 with a low thermal resistance. , The optical fiber 2
The laser beam incident end 22a of the laser beam 2 is fixed to the laser beam emitting position of the laser light source 3 through the condenser lens 17, and the laser beam emitting end 22b is on the optical axis of the laser beam 6 and the base end of the lens barrel 2. It is fixed in position and guided to the optical system 1 from the laser light source 3.
【0035】前記光ファイバ22のレーザ光線射出端2
2bから射出されたレーザ光線6は前記コリメートレン
ズ5で平行光束とされ、筐体4より照射される。Laser beam emitting end 2 of the optical fiber 22
A laser beam 6 emitted from 2 b is converted into a parallel light beam by the collimating lens 5 and emitted from the housing 4.
【0036】前記した様に、発熱部であるレーザ光源3
を前記ヒートシンク21に固着し、レーザ光源3の発熱
を前記ヒートシンク21を介して筐体4の外部に放射す
るので、筐体4内の温度の上昇が抑制され、而もヒート
シンク21が鏡筒2、鏡筒2支持機構から離れているの
で、光源部20の熱が精度に影響を及ぼすことがない。As described above, the laser light source 3 which is the heat generating portion
Is fixed to the heat sink 21, and the heat generated by the laser light source 3 is radiated to the outside of the housing 4 via the heat sink 21, so that the temperature rise in the housing 4 is suppressed, and the heat sink 21 is mounted on the lens barrel 2. Since it is separated from the lens barrel 2 support mechanism, the heat of the light source section 20 does not affect the accuracy.
【0037】次に、図3、図4は本発明の他の実施の形
態を示すものであり、前記光源部20の内、発熱部が特
にLD発光器10であることに着目し、発光部8と光共
振部9とを分離し、前記発光部8と前記光共振部9とを
光ファイバ22で接続したものである。Next, FIGS. 3 and 4 show another embodiment of the present invention. Focusing on the fact that the heat generating part of the light source part 20 is the LD light emitting device 10, the light emitting part is shown. 8 and the optical resonance part 9 are separated, and the light emitting part 8 and the optical resonance part 9 are connected by an optical fiber 22.
【0038】該発光部8はLD発光器10、集光レンズ
11を具備し、更に光共振部9は集光レンズ23、誘電
体反射膜12が形成されたレーザ結晶(Nd:YV
O4 )板13、非線形光学媒質(KTP)14、誘電体
反射膜15が形成された出力ミラー16を具備してい
る。The light emitting section 8 comprises an LD light emitter 10 and a condenser lens 11, and the optical resonator section 9 further comprises a condenser lens 23 and a laser crystal (Nd: YV) having a dielectric reflection film 12 formed thereon.
An O 4 ) plate 13, a nonlinear optical medium (KTP) 14, and an output mirror 16 on which a dielectric reflection film 15 is formed are provided.
【0039】前記発光部8を前記ヒートシンク21に熱
抵抗を少なくして固着し、前記光共振部9を鏡筒2の基
端に取付ける。前記光ファイバ22のレーザ光線入射端
22aを前記集光レンズ11の結像点に配置し、前記レ
ーザ光線射出端22bを前記集光レンズ23の光軸上に
配置する。前記光ファイバ22のレーザ光線射出端22
bから射出されたレーザ光線は前記集光レンズ23によ
り前記レーザ結晶(Nd:YVO4 )板13内に結像さ
れ、前記レーザ結晶板13と出力ミラー16間でレーザ
光線をポンピングし共振、増幅して出力している。前記
光共振部9から発せられたレーザ光線6は前記コリメー
トレンズ5で平行光束とされ、筐体4より照射される。The light emitting portion 8 is fixed to the heat sink 21 with a small thermal resistance, and the optical resonator portion 9 is attached to the base end of the lens barrel 2. The laser beam incident end 22a of the optical fiber 22 is arranged at the image forming point of the condenser lens 11, and the laser beam emission end 22b is arranged on the optical axis of the condenser lens 23. Laser beam emitting end 22 of the optical fiber 22
The laser beam emitted from b is imaged in the laser crystal (Nd: YVO 4 ) plate 13 by the condenser lens 23, and the laser beam is pumped between the laser crystal plate 13 and the output mirror 16 for resonance and amplification. And then output. The laser beam 6 emitted from the optical resonator 9 is collimated by the collimator lens 5 and emitted from the housing 4.
【0040】本実施の形態でも、発熱部である発光部8
を前記ヒートシンク21に固着し、発光部8の発熱を前
記ヒートシンク21を介して筐体4の外部に放射するの
で、筐体4内の温度の上昇が抑制され、而もヒートシン
ク21が鏡筒2、鏡筒2支持機構から離れているので、
発光部8即ち光源部20の熱が精度に影響を及ぼすこと
がない。Also in the present embodiment, the light emitting section 8 which is a heat generating section.
Is fixed to the heat sink 21, and the heat generated by the light emitting portion 8 is radiated to the outside of the housing 4 through the heat sink 21, so that the temperature inside the housing 4 is prevented from rising, and the heat sink 21 is mounted on the lens barrel 2. , Because it is far from the lens barrel 2 support mechanism,
The heat of the light emitting unit 8, that is, the light source unit 20 does not affect the accuracy.
【0041】[0041]
【実施例】図5は本発明を経緯儀に実施した場合を示し
ている。EXAMPLE FIG. 5 shows a case where the present invention is applied to a theodolite.
【0042】図中、図1、図3中で示したものと同様な
構成を有するものには同符号を付してある。In the figure, components having the same constructions as those shown in FIGS. 1 and 3 are designated by the same reference numerals.
【0043】筐体30は鉛直軸を中心に回転可能な托架
31に上下方向に傾動可能に支持されている。又托架3
1は整準台32に設けられ、該整準台32の整準螺子3
3により前記筐体30が水平に設置可能である。前記整
準台32には表示部34が設けられ、該表示部34には
水平角、高度角、距離等のデータが表示される様になっ
ている。The housing 30 is supported by a frame 31 rotatable about a vertical axis so as to be vertically tiltable. Again support 3
1 is provided on a leveling table 32, and a leveling screw 3 of the leveling table 32
3, the housing 30 can be installed horizontally. A display unit 34 is provided on the leveling table 32, and data such as horizontal angle, altitude angle, and distance are displayed on the display unit 34.
【0044】前記筐体30には水平方向に望遠鏡41が
設けられ、該望遠鏡41の鏡筒2には水平方向の光軸を
有する光学系1が収納されている。該光学系1は、光軸
O上に接眼レンズ35、レチクル36、正立像にするプ
リズム37、インタナルレンズ38、緑色のレーザ光線
を選択的に反射するレーザ反射ミラー39、対物レンズ
40等が順次配設され構成される。A telescope 41 is provided in the housing 30 in the horizontal direction, and an optical system 1 having a horizontal optical axis is housed in a lens barrel 2 of the telescope 41. The optical system 1 includes an eyepiece lens 35, a reticle 36, an erect image prism 37, an internal lens 38, a laser reflecting mirror 39 for selectively reflecting a green laser beam, an objective lens 40, etc. on the optical axis O. Sequentially arranged and configured.
【0045】前記筐体30の底部に前記レーザ光源3が
固着され、前記鏡筒2の前記レーザ反射ミラー39に対
峙する位置にレーザ光線射出部42が固着され、該レー
ザ光線射出部42に光ファイバ22のレーザ光線射出端
22bが固定保持される。される。前記筐体30の材質
はカーボンを含有し、熱伝導率の高い合成樹脂製とし、
或は少なくとも前記レーザ光源3が固着されている部分
は熱伝導率の高い材質、カーボンを含有する熱伝導率の
高い合成樹脂、或は銅、アルミニウム等の金属とする。The laser light source 3 is fixed to the bottom portion of the housing 30, and the laser beam emitting portion 42 is fixed to the lens barrel 2 at a position facing the laser reflection mirror 39. The laser beam emitting end 22b of the fiber 22 is fixedly held. Is done. The material of the casing 30 contains carbon and is made of synthetic resin having high thermal conductivity,
Alternatively, at least the portion to which the laser light source 3 is fixed is made of a material having a high thermal conductivity, a carbon-containing synthetic resin having a high thermal conductivity, or a metal such as copper or aluminum.
【0046】前記レーザ反射ミラー39は上記した様に
緑色のレーザ光線を選択的に反射し、他の波長の光線に
ついては透過する様製作されており、前記レーザ光線射
出部42から射出されたレーザ光線は前記レーザ反射ミ
ラー39で反射され前記対物レンズ40から図示しない
対象物に向かって照射される。レーザ光線の照射位置は
前記光学系1により確認することができる。The laser reflecting mirror 39 is manufactured so as to selectively reflect the green laser beam and transmit the other wavelength light beams, as described above, and the laser beam emitted from the laser beam emitting section 42. The light beam is reflected by the laser reflection mirror 39 and emitted from the objective lens 40 toward an object (not shown). The irradiation position of the laser beam can be confirmed by the optical system 1.
【0047】前記光源部20の発熱部であるレーザ光源
3は前記筐体30に固着されているので、レーザ光源3
の熱は筐体30より放熱され、筐体30内に熱が籠り温
度が上昇することが抑制され、更にレーザ光源3からの
レーザ光線を光ファイバ22で導いているのでレーザ光
源3の熱が鏡筒2に伝達されることがない。而して、光
学系1、或は光学系1を支持する機構が熱の影響を受け
ることがないので高精度の測定が可能となる。Since the laser light source 3 which is the heat generating portion of the light source unit 20 is fixed to the housing 30, the laser light source 3
The heat of the laser light is radiated from the housing 30, and the heat inside the housing 30 is restrained from rising and the temperature of the laser light from the laser light source 3 is guided by the optical fiber 22. It is not transmitted to the lens barrel 2. Thus, since the optical system 1 or the mechanism supporting the optical system 1 is not affected by heat, highly accurate measurement is possible.
【0048】図6は本発明を回転レーザ照射装置に実施
した場合を示している。FIG. 6 shows a case where the present invention is applied to a rotary laser irradiation device.
【0049】図中、図1、図3、図5中で示したものと
同様な構成を有するものには同符号を付してある。In the figure, components having the same configurations as those shown in FIGS. 1, 3 and 5 are designated by the same reference numerals.
【0050】整準台32の一部を構成する本体ベース4
5に筐体46が設けられ、該筐体46内に光学系1、光
源部20が設けられる。前記筐体46の上部にはペンタ
プリズム47を収納する回動部48が回転自在に設けら
れている。又、前記筐体46は熱伝導性のよい銅、アル
ミニウム、鉄等金属製、或はカーボン等が混合され熱伝
導率が高められた合成樹脂製で製作される。前記回動部
48に設けられた被動走査ギア49には走査モータ50
の出力軸に嵌着された駆動ギア51が噛合しており、前
記走査モータ50の駆動により駆動ギア51、被動走査
ギア49を介して前記ペンタプリズム47が前記光学系
1の光軸を中心に回転する。Main body base 4 forming a part of the leveling table 32
A housing 46 is provided in the housing 5, and the optical system 1 and the light source unit 20 are provided in the housing 46. A rotating portion 48 for accommodating the penta prism 47 is rotatably provided on the upper portion of the housing 46. The housing 46 is made of metal having good thermal conductivity, such as copper, aluminum, iron, or made of synthetic resin having a high thermal conductivity by mixing carbon or the like. The driven scanning gear 49 provided on the rotating unit 48 includes a scanning motor 50.
The drive gear 51 fitted to the output shaft of the above is engaged, and the pentaprism 47 is centered on the optical axis of the optical system 1 via the drive gear 51 and the driven scan gear 49 by the drive of the scan motor 50. Rotate.
【0051】光源部20のレーザ光源3は前記筐体46
の側壁に固着され、レーザ光源3の熱は前記筐体46を
介して外部に放熱される。レーザ光源3からのレーザ光
線は前記光ファイバ22を介して前記光学系1に導かれ
る。The laser light source 3 of the light source unit 20 is the housing 46.
The heat of the laser light source 3 is radiated to the outside through the housing 46. A laser beam from the laser light source 3 is guided to the optical system 1 via the optical fiber 22.
【0052】該光学系1は自由液面を有する傾斜補正装
置52、反射ミラー53を有し、レーザ光線射出端22
bを固定保持するレーザ光線射出部42は前記傾斜補正
装置52の自由液面に向かってレーザ光線を入射する様
配置され、前記反射ミラー53は前記傾斜補正装置52
で反射されたレーザ光線を前記ペンタプリズム47に向
かって反射する様設けられている。The optical system 1 has a tilt correction device 52 having a free liquid surface, a reflection mirror 53, and a laser beam emitting end 22.
The laser beam emitting unit 42 for fixing and holding b is arranged so as to inject the laser beam toward the free liquid surface of the tilt correction device 52, and the reflection mirror 53 is provided for the tilt correction device 52.
The laser beam reflected by is reflected toward the pentaprism 47.
【0053】而して、前記レーザ光線射出部42より光
学系1に入射したレーザ光線は前記ペンタプリズム47
で水平方向に変向され、照射され、該ペンタプリズム4
7の回転でレーザ光線による水平基準面が形成される様
になっている。Thus, the laser beam incident on the optical system 1 from the laser beam emitting unit 42 is the penta prism 47.
Is deflected in the horizontal direction and is irradiated, and the penta prism 4
The rotation of 7 forms a horizontal reference plane by the laser beam.
【0054】本実施の形態に於いても前記光源部20の
発熱部であるレーザ光源3は前記筐体46に固着されて
いるので、レーザ光源3の熱は筐体46より放熱され、
筐体46内に熱が籠り温度が上昇することが抑制され、
更にレーザ光源3からのレーザ光線を光ファイバ22で
導いているのでレーザ光源3の熱が光学系1に伝達され
ることがなく、或は光学系1を支持する機構にも熱が伝
達されることなく高精度の測定が可能となる。Also in the present embodiment, since the laser light source 3 which is the heat generating portion of the light source unit 20 is fixed to the housing 46, the heat of the laser light source 3 is radiated from the housing 46.
It is possible to prevent heat from gathering in the housing 46 and increase in temperature,
Further, since the laser beam from the laser light source 3 is guided by the optical fiber 22, the heat of the laser light source 3 is not transferred to the optical system 1, or the heat is transferred to the mechanism supporting the optical system 1. It is possible to measure with high accuracy.
【0055】次に、図7〜図8に於いて、前記レーザ光
線射出部42の一例を説明する。Next, an example of the laser beam emitting section 42 will be described with reference to FIGS.
【0056】レーザ光線射出部に前記光ファイバ22の
出力端は導かれており、該出力端はホルダ55にレーザ
光線射出光軸に対して所要の角度をもって嵌入してい
る。通常、所定の偏光方向の偏光を光ファイバに入射す
ると射出される光は偏光でなくなっているが、光ファイ
バ22は偏光方向を保存したまま送光する定偏波光ファ
イバであり、前記光ファイバ22の端面に近接して、偏
光ミラー56及び該偏光ミラー56の背面側にミラー5
7が順次配設され、該ミラー57に対峙して偏光板5
9、モニタ用受光器58が設けられている。前記光ファ
イバ22の出力端より射出したレーザ光線の内、前記偏
光ミラー56を透過した透過光は前記ミラー57によっ
て反射され前記モニタ用受光器58によって受光され
る。レーザ光源より射出された直線偏光のレーザ光線は
前記光ファイバ22で偏光方向を保存されつつ導かれて
前記偏光ミラー56に向かって射出される。The output end of the optical fiber 22 is guided to the laser beam emitting portion, and the output end is fitted into the holder 55 at a required angle with respect to the laser beam emitting optical axis. Normally, when the polarized light of a predetermined polarization direction is incident on the optical fiber, the light emitted is not polarized, but the optical fiber 22 is a constant polarization optical fiber that transmits while maintaining the polarization direction. The polarizing mirror 56 and the mirror 5 on the rear side of the polarizing mirror 56 in the vicinity of the end face of the polarizing mirror 56.
7 are arranged one after another, and the polarizing plate 5 faces the mirror 57.
9. A monitor light receiver 58 is provided. Among the laser beams emitted from the output end of the optical fiber 22, the transmitted light transmitted through the polarization mirror 56 is reflected by the mirror 57 and received by the monitor light receiver 58. The linearly polarized laser beam emitted from the laser light source is guided by the optical fiber 22 while preserving the polarization direction, and is emitted toward the polarization mirror 56.
【0057】偏光ミラー56はレーザ光線を殆ど反射す
るが、モニタ光として数%を透過する。光ファイバ22
から出力されるレーザ光線はS偏光であるが、いくらか
のP偏光も含まれている。前記偏光ミラー56では数%
のS偏光と共にP偏光が透過する。前記ミラー57は透
過した偏光を受光器に向けて反射する。該ミラー57と
受光器58の間には偏光板59が配置されS偏光のみを
透過させる。実質的に射出されるレーザ光線はS偏光で
あるので、S偏光をモニタする。モニタされた情報は、
レーザ光源3の発光駆動にフィードバックされ、射出さ
れるレーザ光線の視認性、出力の安定化が図られ、更に
射出されるレーザ光線の検出がなされる。The polarization mirror 56 almost reflects the laser beam, but transmits a few% as the monitor light. Optical fiber 22
The laser beam output from is S-polarized, but it also contains some P-polarized light. With the polarizing mirror 56, several%
P-polarized light is transmitted together with S-polarized light. The mirror 57 reflects the transmitted polarized light toward the light receiver. A polarizing plate 59 is arranged between the mirror 57 and the light receiver 58 and transmits only S-polarized light. Since the emitted laser beam is S-polarized light, S-polarized light is monitored. The monitored information is
Feedback to the light emission driving of the laser light source 3 is performed to stabilize the visibility and output of the emitted laser beam, and the emitted laser beam is detected.
【0058】図9は偏光ミラーと光源(発光点)Lの配
置の関係を図示した光路図である。光路上の偏光ミラー
56に取付け誤差の関係を光源Lの移動に置換えると、
光軸上を基準にして光源の移動は集光点の移動である。
光源と偏光ミラー56の間隔が大きい程光源の移動は大
きい。移動量を小さくするには光源Lと偏光ミラー56
の間隔を小さくする必要がある。光源Lが移動しない場
合は、光源Lの移動は偏光ミラーの傾き角に置換えられ
る。従って、偏光ミラーの取付け誤差の影響を小さく
し、レーザ光線を光軸上に集光させるには光源Lと偏光
ミラーの間隔を小さくする必要があり、本装置では光フ
ァイバ22のレーザ光線射出端近傍に偏光ミラーを配置
している。FIG. 9 is an optical path diagram showing the relationship between the arrangement of the polarization mirror and the light source (light emitting point) L. If the relationship of the mounting error is replaced with the movement of the light source L on the polarization mirror 56 on the optical path,
The movement of the light source with respect to the optical axis is the movement of the focal point.
The larger the distance between the light source and the polarization mirror 56, the greater the movement of the light source. To reduce the amount of movement, the light source L and the polarization mirror 56
It is necessary to reduce the interval between. When the light source L does not move, the movement of the light source L is replaced by the tilt angle of the polarization mirror. Therefore, it is necessary to reduce the distance between the light source L and the polarizing mirror in order to reduce the influence of the mounting error of the polarizing mirror and to focus the laser beam on the optical axis. In this device, the laser beam emitting end of the optical fiber 22 is required. A polarizing mirror is arranged in the vicinity.
【0059】光源ユニット60からのレーザ光線を光フ
ァイバ22に導き、レーザ光線射出端22bよりレーザ
光線を出力させる場合、集光レンズ17或は入射ファイ
バ端部22aの位置ずれ、ファイバ折損、その他の原因
によるファイバ結合効率の変動、光共振部構成部品の位
置ずれ等が原因のレーザ出力の減少又は増大は、光源ユ
ニット60内部に配置された受光器62のみのフィード
バック制御では調整できない問題がある。When the laser beam from the light source unit 60 is guided to the optical fiber 22 and is output from the laser beam emitting end 22b, the condenser lens 17 or the incident fiber end 22a is displaced, the fiber is broken, and the like. There is a problem that the reduction or increase of the laser output due to the fluctuation of the fiber coupling efficiency due to the cause, the displacement of the optical resonator component parts, and the like cannot be adjusted by the feedback control of only the light receiver 62 arranged inside the light source unit 60.
【0060】図10は光源ユニット60とレーザ光線射
出端22bにモニタ受光部70を設けたフィードバック
系のブロック図である。光源ユニット60はレーザ光源
3、ハーフミラー61及び集光レンズ17から構成され
る。光源ユニット60からのレーザ光線出力は光ファイ
バ22によって図7に示すレーザ光線射出端に導かれ出
射される。FIG. 10 is a block diagram of a feedback system in which a light source unit 60 and a monitor light receiving section 70 are provided at the laser beam emitting end 22b. The light source unit 60 includes a laser light source 3, a half mirror 61, and a condenser lens 17. The laser beam output from the light source unit 60 is guided to the laser beam emitting end shown in FIG.
【0061】偏光ミラー56で分割されたモニタ光はミ
ラー57で反射され偏光板59を透過してモニタ受光器
58に入光する。該モニタ受光器58、前記受光回路6
4からの受光信号は比較回路65と制御部66に入力さ
れる。The monitor light split by the polarization mirror 56 is reflected by the mirror 57, passes through the polarizing plate 59 and enters the monitor light receiver 58. The monitor light receiver 58, the light receiving circuit 6
The light-receiving signal from 4 is input to the comparison circuit 65 and the control unit 66.
【0062】前記光源ユニット60のモニタ受光器6
2、受光回路63からの受光信号は前記比較回路65に
入力される。前記両受光回路63と受光回路64からの
受光信号は比較回路65で比較され、比較値が所定の範
囲を外れる場合に電気信号が制御部66に入力される。
前記受光回路63と受光回路64からの受光信号の比較
値が所定の範囲にある場合に、受光回路64からの受光
信号が制御部66に入力され、入力信号に応じた制御信
号をLD駆動部67に出力する。LD駆動部67は制御
信号に基づいてLD発光器の発光を制御する。Monitor light receiver 6 of the light source unit 60
2. The light receiving signal from the light receiving circuit 63 is input to the comparison circuit 65. The light receiving signals from both the light receiving circuits 63 and the light receiving circuit 64 are compared by a comparison circuit 65, and when the comparison value is out of a predetermined range, an electric signal is input to the control unit 66.
When the comparison value of the light receiving signals from the light receiving circuit 63 and the light receiving circuit 64 is within a predetermined range, the light receiving signal from the light receiving circuit 64 is input to the control unit 66, and the LD drive unit outputs a control signal according to the input signal. To 67. The LD drive unit 67 controls the light emission of the LD light emitter based on the control signal.
【0063】比較値が所定の範囲を外れるとは、前述し
た様に、集光レンズ或は入射ファイバ端部の位置ずれ、
ファイバ折損、その他の原因によるファイバ結合効率の
変動に起因したファイバから出射されるレーザ出力の減
少又は増大が生じていることであり、この場合は、安全
の為比較回路65から異常を伝える電気信号を制御部6
6に入力し、制御部66はLD駆動部67停止、異常表
示等の処置を行う。When the comparison value is out of the predetermined range, as described above, the position shift of the condenser lens or the end of the incident fiber,
It means that the laser output emitted from the fiber is decreased or increased due to the change of the fiber coupling efficiency due to the breakage of the fiber or other causes. Control unit 6
6, the control unit 66 takes action such as stopping the LD drive unit 67 and displaying an abnormality.
【0064】尚、本発明に於いて、レーザ光源3或は発
光部8を筐体の外部に設けてもよいこと、或は筐体のレ
ーザ光源3或は発光部8の取付け部に放熱板を設けても
よいこと等種々変更が可能であることは言う迄もない。In the present invention, the laser light source 3 or the light emitting portion 8 may be provided outside the housing, or the heat radiation plate may be attached to the mounting portion of the laser light source 3 or the light emitting portion 8 of the housing. It goes without saying that various modifications such as the provision of the above may be possible.
【0065】[0065]
【発明の効果】以上述べた如く本発明によれば、レーザ
を使用する測量用レーザ装置に於いて、視認性の高い緑
色のレーザ光線を使用できるので作業性が向上し、又レ
ーザ光源部の発熱部を光学系、光学系支持装置から熱的
に隔離して設け、測量用レーザ装置の筐体を利用して放
熱しているので、熱による精度の低下を防止し得、又発
熱部からのレーザ光線を屈撓自在な光ファイバにより導
いているので、光学系の動作に何等影響することがない
等の優れた効果を発揮する。As described above, according to the present invention, in a surveying laser device using a laser, a highly visible green laser beam can be used, so that the workability is improved and the laser light source unit The heat generating part is provided separately from the optical system and the optical system supporting device, and the housing of the surveying laser device is used to radiate heat. Since the laser beam is guided by a flexible optical fiber, it has an excellent effect that it does not affect the operation of the optical system.
【図1】本発明の実施の形態を示す概略構成図である。FIG. 1 is a schematic configuration diagram showing an embodiment of the present invention.
【図2】該実施の形態に使用される光源部の構成図であ
る。FIG. 2 is a configuration diagram of a light source unit used in the embodiment.
【図3】本発明の他の実施の形態を示す概略構成図であ
る。FIG. 3 is a schematic configuration diagram showing another embodiment of the present invention.
【図4】該他の実施の形態に使用される光源部の構成図
である。FIG. 4 is a configuration diagram of a light source unit used in the other embodiment.
【図5】本発明の実施例を示す断面図である。FIG. 5 is a sectional view showing an embodiment of the present invention.
【図6】本発明の他の実施例を示す断面図である。FIG. 6 is a sectional view showing another embodiment of the present invention.
【図7】レーザ光線射出部の拡大断面図である。FIG. 7 is an enlarged sectional view of a laser beam emitting portion.
【図8】該レーザ光線射出部の骨子図である。FIG. 8 is a skeleton view of the laser beam emitting portion.
【図9】該レーザ光線射出部の光路図である。FIG. 9 is an optical path diagram of the laser beam emitting unit.
【図10】本発明に係る光源ユニットの制御ブロック図
である。FIG. 10 is a control block diagram of a light source unit according to the present invention.
【図11】従来例を示す概略構成図である。FIG. 11 is a schematic configuration diagram showing a conventional example.
【図12】該従来例に於けるレーザ光源部の構成図であ
る。FIG. 12 is a configuration diagram of a laser light source unit in the conventional example.
【図13】従来例の光源ユニットの制御ブロック図であ
る。FIG. 13 is a control block diagram of a conventional light source unit.
1 光学系 2 鏡筒 3 レーザ光源 4 筐体 5 コリメートレンズ 6 レーザ光線 20 光源部 21 ヒートシンク 22 光ファイバ 42 レーザ光線射出部 56 偏光ミラー 57 ミラー 58 モニタ用受光器 59 偏光板 60 光源ユニット 62 モニタ受光器 65 比較器 67 LD駆動部 70 モニタ受光部 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Optical system 2 Lens barrel 3 Laser light source 4 Housing 5 Collimating lens 6 Laser beam 20 Light source part 21 Heat sink 22 Optical fiber 42 Laser beam emitting part 56 Polarizing mirror 57 Mirror 58 Monitor light receiver 59 Polarizing plate 60 Light source unit 62 Monitor light receiving Device 65 Comparator 67 LD drive unit 70 Monitor light receiving unit
フロントページの続き (72)発明者 大石 政裕 東京都板橋区蓮沼町75番1号 株式会社ト プコン内 (72)発明者 後藤 義明 東京都板橋区蓮沼町75番1号 株式会社ト プコン内Continuation of the front page (72) Inventor Masahiro Oishi 75-1, Hasunumacho, Itabashi-ku, Tokyo Inside Topcon Corporation (72) Inventor Yoshiaki Goto 75-1, Hasunumacho, Itabashi-ku, Tokyo Inside Topcon Corporation
Claims (8)
ーザ光線を所定の方向に照射する光学系とを具備する測
量用レーザ装置に於いて、前記レーザ光源部を少なくと
も光学系から熱隔離して設け、前記レーザ光源部のレー
ザ光線を光ファイバにより前記光学系に導いたことを特
徴とする測量用レーザ装置。1. A surveying laser apparatus comprising a laser light source section and an optical system for irradiating a laser beam from the laser light source section in a predetermined direction, wherein the laser light source section is thermally isolated from at least the optical system. And a laser beam of the laser light source unit is guided to the optical system by an optical fiber.
するLD励起固体レーザであり、前記光共振部を光学系
に設け、前記発光部を熱隔離して設けた請求項1の測量
用レーザ装置。2. The surveying instrument according to claim 1, wherein the laser light source section is an LD pumped solid-state laser having a light emitting section and an optical resonance section, the optical resonance section is provided in an optical system, and the light emission section is provided thermally isolated. Laser device.
に固着し、該筐体を介して放熱する様構成した請求項
1、請求項2の測量用レーザ装置。3. The surveying laser device according to claim 1, wherein at least a heat generating portion of the laser light source portion is fixed to a casing and heat is radiated through the casing.
光する定偏波光ファイバである請求項1の測量用レーザ
装置。4. The surveying laser device according to claim 1, wherein the optical fiber is a constant polarization optical fiber that transmits light while preserving the polarization direction.
ザ光線を反射すると共に一部をモニタ光として分割する
第1の反射手段及び該第1反射手段で分割されたモニタ
光を受光する第1の受光手段を有する請求項1の測量用
レーザ装置。5. A first reflecting means arranged near an output end of the optical fiber for reflecting a laser beam and splitting a part thereof as monitor light, and a first receiving means for receiving the monitor light split by the first reflecting means. The surveying laser device according to claim 1, further comprising:
求項5の測量用レーザ装置。6. The surveying laser device according to claim 5, wherein the first reflecting means is a polarization mirror.
前記レーザ光源部のレーザ出力を制御する請求項5、請
求項6の測量用レーザ装置。7. The surveying laser device according to claim 5, wherein the laser output of said laser light source unit is controlled based on the amount of light received by said first light receiving means.
段と、第2の受光手段を有する請求項5、請求項6の測
量用レーザ装置。8. The surveying laser device according to claim 5, further comprising a second reflecting means and a second light receiving means in the vicinity of the optical fiber input end.
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