JPH09113272A - Laser device for surveying - Google Patents
Laser device for surveyingInfo
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- JPH09113272A JPH09113272A JP14982496A JP14982496A JPH09113272A JP H09113272 A JPH09113272 A JP H09113272A JP 14982496 A JP14982496 A JP 14982496A JP 14982496 A JP14982496 A JP 14982496A JP H09113272 A JPH09113272 A JP H09113272A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明はレーザを内蔵する測
量用レーザ装置、特にレーザの発熱の影響を考慮した測
量用レーザ装置に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a surveying laser device having a built-in laser, and more particularly to a surveying laser device considering the influence of heat generation of the laser.
【０００２】[0002]
【従来の技術】レーザを内蔵する測量用レーザ装置に
は、経緯儀、建物内装工事に使用するロテーティングレ
ーザ、配管工事に使用するパイプレーザ、測距に使用す
るレーザ距離計、レベル等が知られており、レーザ光源
としてＨe −Ｎe レーザ、ＬＤ（半導体レーザ）が用い
られている。2. Description of the Related Art Known surveying laser devices having a built-in laser include a theodolite, a rotating laser used for building interior work, a pipe laser used for piping work, a laser rangefinder used for distance measurement, and a level. As a laser light source, a He-Ne laser and an LD (semiconductor laser) are used.
【０００３】一般にこれら測量用レーザ装置の水準用光
学系、或は測距用光学系等の光学系は鏡筒内に設けら
れ、該鏡筒は筐体に上下更に左右の２方向に回動自在に
支持されていると共に構造を簡単にする為、レーザ光源
は鏡筒に固定され、光学系と一体化されている。Generally, an optical system such as a standard optical system or a distance measuring optical system of these surveying laser devices is provided in a lens barrel, and the lens barrel is rotated in two directions of up, down, left and right in a housing. The laser light source is fixed to the lens barrel and integrated with the optical system in order to be supported freely and to simplify the structure.
【０００４】前記レーザ光源としてＨe −Ｎe レーザを
使用した場合には、Ｈe −Ｎe 管の形状が大きく、コン
パクトとならない。更に、Ｈe −Ｎe 管を使用した場合
には、レーザ発振に高電圧を必要とし、一般には１００
Ｖ電源を使用している。この為、消費電力が大きく、発
熱量が大きい。従って、電源を装置に内蔵することがで
きなく、装置をコンパクトに、又携帯可能に小型化する
ことが難しい。When a He-Ne laser is used as the laser light source, the He-Ne tube has a large shape and cannot be made compact. Furthermore, when a He-Ne tube is used, a high voltage is required for laser oscillation, and it is generally 100
Uses V power supply. Therefore, the power consumption is large and the amount of heat generation is large. Therefore, the power source cannot be built in the device, and it is difficult to make the device compact and portable.
【０００５】又、前記レーザ光源の発熱により光学系が
加熱されるとチルトセンサ等各種検出器の検出精度が低
下し、或は鏡筒、鏡筒支持機構等が加熱されると、熱膨
脹により変位が生じ、機械的な精度が低下する等の問題
が生じ、その為、冷却機構、放熱機構が必要となり、装
置が複雑で大掛かりとなっていた。Further, when the optical system is heated by the heat generated by the laser light source, the detection accuracy of various detectors such as a tilt sensor is lowered, or when the lens barrel, the lens barrel supporting mechanism, etc. are heated, they are displaced by thermal expansion. Occurs, which causes a problem such as a decrease in mechanical accuracy. Therefore, a cooling mechanism and a heat radiation mechanism are required, and the device is complicated and large-scaled.
【０００６】前記したＬＤ（半導体レーザ）は小型で小
消費電力であるので、前記鏡筒等に組込むことが容易
で、携帯用に適した機器の小型化が可能である。図１０
に於いてＬＤを使用した測量用レーザ装置の一例である
パイプレーザの概略を示す。Since the above-mentioned LD (semiconductor laser) is small and consumes little power, it can be easily incorporated in the lens barrel or the like, and the device suitable for carrying can be downsized. FIG.
1 shows an outline of a pipe laser which is an example of a surveying laser device using an LD.
【０００７】光学系１は鏡筒２内に設けられ、該鏡筒２
は筐体４に上下更に左右の２方向に回動自在に支持さ
れ、レーザ光源３は鏡筒２の基部に固定されている。
尚、ＬＤが発光するレーザ光線は、縦横の異なる楕円形
状であり、広がり角が大きいのでコリメートレンズ５が
設けられ平行光束とされている。通常、楕円形状を円形
に近い形状にする為、補正するレンズが設けてある。The optical system 1 is provided in a lens barrel 2.
Is rotatably supported in a housing 4 in two directions, that is, vertically and horizontally, and the laser light source 3 is fixed to the base of the lens barrel 2.
The laser beam emitted by the LD has an elliptical shape with different vertical and horizontal directions and has a large divergence angle. Usually, a lens for correction is provided to make the elliptical shape close to a circle.
【０００８】前記ＬＤからのレーザ光線はＨe −Ｎe 管
によるレーザ光線に比べ、平行で細い輪郭のはっきりし
た均一なレーザ光ではなく、光束に広がりを有する為、
形状を補正したレーザ光でも視認性が低い。視認性を向
上する為の手段として出力を上げる方法があるが、レー
ザ光線の強度については作業者の保護等の観点から法律
的な制約がある。従って、同様の出力で視認性を向上さ
せるには視認性の高い波長を選ぶ必要がある。視認性に
於いては緑色が優れているが、高出力の緑色レーザ光線
を出力する半導体素子は、量産化されていない。この
為、現在のところ、近赤外のＬＤからのレーザ光源に共
振部を設け、レーザ光線の周波数を増大し緑色に変換し
ている。Since the laser beam from the LD is not parallel and uniform laser beam with a clear narrow contour, it has a spread in the luminous flux as compared with the laser beam from the He-Ne tube.
Visibility is low even with laser light whose shape has been corrected. There is a method of increasing the output as a means for improving the visibility, but there is a legal restriction on the intensity of the laser beam from the viewpoint of worker protection. Therefore, in order to improve the visibility with the same output, it is necessary to select a wavelength with high visibility. Although green is excellent in terms of visibility, semiconductor devices that output a high-output green laser beam have not been mass-produced. For this reason, at present, a resonance part is provided in the laser light source from the near-infrared LD to increase the frequency of the laser beam and convert it to green.
【０００９】緑色レーザ光線を発するレーザ光源として
は、近赤外の半導体発光素子により外部、又は内部共振
型ＳＨＧ方式の発振装置を組み合わせたＬＤ励起固体レ
ーザがある。図１１は斯かる内部共振型ＳＨＧ方式を用
いたＬＤ励起固体レーザであるレーザ光源３の概略を示
している。As a laser light source for emitting a green laser beam, there is an LD pumped solid-state laser in which a semiconductor light emitting element in the near infrared is combined with an external or internal resonance type SHG oscillation device. FIG. 11 schematically shows a laser light source 3 which is an LD pumped solid-state laser using such an internal resonance type SHG method.
【００１０】図１１中、８は発光部、９は光共振部であ
る。該発光部８はＬＤ発光器１０、集光レンズ１１を具
備し、更に光共振部９は誘電体反射膜１２が形成された
レーザ結晶（Ｎｄ：ＹＶＯ4 ）板１３、非線形光学媒質
（ＫＴＰ）１４、誘電体反射膜１５が形成された出力ミ
ラー１６であり、該光共振部９に於いてレーザ光線をポ
ンピングし共振、増幅して出力している。更に詳述する
と以下の通りである。In FIG. 11, 8 is a light emitting portion and 9 is an optical resonance portion. The light emitting part 8 comprises an LD light emitting device 10 and a condenser lens 11, and the optical resonator part 9 further comprises a laser crystal (Nd: YVO 4 ) plate 13 on which a dielectric reflection film 12 is formed, a nonlinear optical medium (KTP). 14, an output mirror 16 on which a dielectric reflection film 15 is formed, which pumps a laser beam in the optical resonator 9 to cause resonance, amplification, and output. The details will be described below.
【００１１】レーザ光源３は、レーザ光線を発生させる
為のものであり、半導体レーザであるＬＤ発光器１０が
使用されている。又、該ＬＤ発光器１０が基本波を発生
させるポンプ光発生装置として機能を有する。尚、レー
ザ光源３は半導体レーザに限ることなく、レーザ光線を
生じさせることができれば、何れの光源手段をも採用す
ることができる。The laser light source 3 is for generating a laser beam, and the LD light emitter 10 which is a semiconductor laser is used. Further, the LD light emitter 10 has a function as a pump light generator for generating a fundamental wave. The laser light source 3 is not limited to the semiconductor laser, and any light source means can be adopted as long as it can generate a laser beam.
【００１２】レーザ結晶板１３は光の増幅を行う為のも
のである。このレーザ結晶板１３には、Ｎｄ3+ イオン
をドープしたＹＡＧ（イットリウム アルミニウム ガ
ーネット）等が採用される。ＹＡＧは、９４６ｎｍ、１
０６４ｎｍ、１３１９ｎｍ等の発振線を有している。The laser crystal plate 13 is for amplifying light. For this laser crystal plate 13, YAG (yttrium aluminum garnet) doped with Nd 3+ ions or the like is adopted. YAG is 946 nm, 1
It has oscillation lines of 064 nm, 1319 nm, etc.
【００１３】レーザ結晶板１３はＹＡＧに限ることな
く、発振線が１０６４ｎｍの（Ｎｄ：ＹＶＯ4 ）や、発
振線が７００〜９００ｎｍの（Ｔｉ：Ｓａｐｐｈｉｒ
ｅ）等を使用をすることができる。The laser crystal plate 13 is not limited to YAG, and has an oscillation line of 1064 nm (Nd: YVO 4 ) or an oscillation line of 700 to 900 nm (Ti: Sapphir).
e) etc. can be used.
【００１４】レーザ結晶板１３のＬＤ発光器１０側に
は、第１の誘電体反射膜１２が形成されている。この第
１の誘電体反射膜１２は、ＬＤ発光器１０に対して高透
過であり、且レーザ結晶板１３の発振波長に対して高反
射であると共に、ＳＨＧ（ＳＥＣＯＮＤ ＨＡＲＭＯＮ
ＩＣ ＧＥＮＥＲＡＴＩＯＮ）に対しても高反射となっ
ている。A first dielectric reflecting film 12 is formed on the LD crystal emitter 10 side of the laser crystal plate 13. The first dielectric reflection film 12 is highly transmissive to the LD light emitter 10 and highly reflective to the oscillation wavelength of the laser crystal plate 13, and also has SHG (SECOND HARMON).
It is also highly reflective against IC GENERATION.
【００１５】出力ミラー１６は、レーザ結晶板１３に対
向する様に構成されており、出力ミラー１６のレーザ結
晶板１３側は、適宜の半径を有する凹面球面鏡の形状に
加工されており、第２の誘電体反射膜１５が形成されて
いる。この第２の誘電体反射膜１５は、レーザ結晶板１
３の発振波長に対して高反射であり、ＳＨＧ（ＳＥＣＯ
ＮＤ ＨＡＲＭＯＮＩＣ ＧＥＮＥＲＡＴＩＯＮ）に対
して高透過となっている。The output mirror 16 is constructed so as to face the laser crystal plate 13, and the laser crystal plate 13 side of the output mirror 16 is processed into a concave spherical mirror shape having an appropriate radius. The dielectric reflection film 15 is formed. The second dielectric reflection film 15 is used for the laser crystal plate 1
It is highly reflective for the oscillation wavelength of 3, and SHG (SECO
ND HARMONIC GENERATION).
【００１６】以上の様に、レーザ結晶板１３の第１の誘
電体反射膜１２と、出力ミラー１６とを組合わせ、ＬＤ
発光器１０からの光束を集光レンズ１１を介してレーザ
結晶板１３にポンピングすると、レーザ結晶板１３の第
１の誘電体反射膜１２と、出力ミラー１６との間で光が
往復し、光を長時間閉込めることができるので、光を共
振させて増幅させることができる。As described above, the first dielectric reflection film 12 of the laser crystal plate 13 and the output mirror 16 are combined to form an LD.
When the light flux from the light emitter 10 is pumped to the laser crystal plate 13 via the condenser lens 11, the light reciprocates between the first dielectric reflection film 12 of the laser crystal plate 13 and the output mirror 16, and Can be confined for a long time, so that light can be resonated and amplified.
【００１７】前記レーザ結晶板１３の第１の誘電体反射
膜１２と、前記出力ミラー１６とから構成された光共振
器内に非線形光学媒質１４が挿入されている。A nonlinear optical medium 14 is inserted in an optical resonator composed of the first dielectric reflecting film 12 of the laser crystal plate 13 and the output mirror 16.
【００１８】ここで、非線形光学効果を簡潔に説明す
る。The nonlinear optical effect will be briefly described below.
【００１９】物質に電界が加わると電気分極が生じる。
この電界が小さい場合には、分極は電界に比例するが、
レーザ光線の様に強力なコヒーレント光の場合には、電
界と分極の間の比例関係が崩れ、電界の２乗、３乗に比
例する非線形的な分極成分が卓越してくる。When an electric field is applied to a substance, electric polarization occurs.
When this electric field is small, the polarization is proportional to the electric field,
In the case of strong coherent light such as a laser beam, the proportional relationship between the electric field and the polarization is broken, and a non-linear polarization component proportional to the square or cube of the electric field becomes dominant.
【００２０】従って、非線形光学媒質１４中に於いて
は、光波によって発生する分極には、光波電界の２乗に
比例する成分が含まれており、この非線形分極により、
異なった周波数の光波間に結合が生じ、光周波数を２倍
にする高調波が発生する。この第２次高調波発生（ＳＨ
Ｇ）は、ＳＥＣＯＮＤ ＨＡＲＭＯＮＩＣ ＧＥＮＥＲ
ＡＴＩＯＮと呼ばれている。Therefore, in the non-linear optical medium 14, the polarization generated by the light wave contains a component proportional to the square of the electric field of the light wave.
Coupling occurs between light waves of different frequencies, generating harmonics that double the light frequency. This second harmonic generation (SH
G) is SECOND HARMONIC GENER
It is called ATION.
【００２１】前記したレーザ光源３は非線形光学媒質１
４を、レーザ結晶板１３と出力ミラー１６とから構成さ
れた光共振器内に挿入しているので、内部型ＳＨＧと呼
ばれており、変換出力は、基本波光電力の２乗に比例す
るので、光共振器内の大きな光強度を直接利用できると
いう効果がある。The laser light source 3 is the nonlinear optical medium 1
4 is inserted in the optical resonator composed of the laser crystal plate 13 and the output mirror 16, it is called an internal type SHG, and the converted output is proportional to the square of the fundamental wave optical power. The advantage is that the large light intensity in the optical resonator can be used directly.
【００２２】非線形光学媒質１４は、例えば、ＫＴＰ
（ＫＴｉＯＰＯ4 リン酸チタニルカリウム）やＢＢＯ
（β−ＢａＢ2 Ｏ4 β型ホウ酸リチウム）、ＬＢＯ
（ＬｉＢ3 Ｏ5 トリホウ酸リチウム）等が使用され、
主に、１０６４ｎｍから５３２ｎｍに変換される。The nonlinear optical medium 14 is, for example, KTP.
(KTiOPO 4 potassium titanyl phosphate) and BBO
(Β-BaB 2 O 4 β-type lithium borate), LBO
(LiB 3 O 5 lithium triborate) or the like is used,
Mainly converted from 1064 nm to 532 nm.
【００２３】又ＫＮｂＯ3 （ニオブ酸カリウム）等も採
用され、主に、９４６ｎｍから４７３ｎｍに変換され
る。Further, KNbO 3 (potassium niobate) or the like is also used, and it is mainly converted from 946 nm to 473 nm.
【００２４】一般に、レーザ光源は出力波長の安定化の
ため、出力レーザ光をモニタし、レーザ光源にフィード
バックしている。図１３は内部共振型ＳＨＧ方式の発振
装置のフィードバックのブロック図である。光源ユニッ
ト６０はレーザ光源３、ハーフミラー６１、集光レンズ
１７から構成されている。Generally, the laser light source monitors the output laser light and feeds it back to the laser light source in order to stabilize the output wavelength. FIG. 13 is a feedback block diagram of an internal resonance type SHG oscillator. The light source unit 60 includes a laser light source 3, a half mirror 61, and a condenser lens 17.
【００２５】レーザ光源３から出力したレーザ光線はハ
ーフミラー６１で一部がモニタ光として分割される。ハ
ーフミラー６１を透過したレーザ光線は前記集光レンズ
１７に向かう。前記モニタ光はモニタ受光器６２、受光
回路６３で受光され電気信号に変換される。受光回路６
３からの受光信号は制御部６６に入力し、該制御部６６
は前記受光信号に応じた制御信号をＬＤ駆動部６７に出
力する。該ＬＤ駆動部６７は前記制御信号に基づいてＬ
Ｄ発光器１０の発光を制御する。A part of the laser beam output from the laser light source 3 is split as monitor light by the half mirror 61. The laser beam transmitted through the half mirror 61 is directed to the condenser lens 17. The monitor light is received by the monitor light receiver 62 and the light receiving circuit 63 and converted into an electric signal. Light receiving circuit 6
The light-reception signal from 3 is input to the control unit 66, and the control unit 66
Outputs a control signal according to the received light signal to the LD drive unit 67. The LD drive unit 67 outputs L based on the control signal.
The light emission of the D light emitter 10 is controlled.
【００２６】[0026]
【発明が解決しようとする課題】前記した内部共振型Ｓ
ＨＧ方式の発振装置を組合わせたＬＤ励起固体レーザで
は、単体の半導体レーザ素子に比べ効率が悪く、この為
発熱量が大きい。従って、ＬＤ励起固体レーザを望遠鏡
等の光学系が収納された筐体に取付けると、Ｈｅ−Ｎｅ
管方式のレーザ光源と同様熱膨脹、熱変位に起因する精
度の低下を招く。The internal resonance type S described above is used.
The LD-pumped solid-state laser combined with the HG type oscillation device is less efficient than a single semiconductor laser element, and therefore generates a large amount of heat. Therefore, when the LD-pumped solid-state laser is attached to a housing containing an optical system such as a telescope, He-Ne
Similar to the tube type laser light source, the accuracy is lowered due to thermal expansion and thermal displacement.
【００２７】本発明は斯かる実情に鑑み、視認性の高い
レーザ光線を使用し、而もレーザ光源の熱影響を除去
し、精度の高い測量用レーザ装置を提供しようとするも
のである。In view of the above situation, the present invention intends to provide a highly accurate surveying laser device by using a highly visible laser beam and eliminating the thermal influence of the laser light source.
【００２８】[0028]
【課題を解決するための手段】本発明は、レーザ光源部
と該レーザ光源部からのレーザ光線を所定の方向に照射
する光学系とを具備する測量用レーザ装置に於いて、前
記レーザ光源部を少なくとも光学系から熱隔離して設
け、前記レーザ光源部のレーザ光線を光ファイバにより
前記光学系に導いた測量用レーザ装置に係り、或は該測
量用レーザ装置に於いてレーザ光源部が発光部、光共振
部を具備するＬＤ励起固体レーザであり、前記光共振部
を光学系に設け、前記発光部を熱隔離して設けた測量用
レーザ装置に係り、或は該測量用レーザ装置に於いてレ
ーザ光源部の少なくとも発熱部を筐体に固着し、該筐体
を介して放熱する様構成した測量用レーザ装置に係り、
或は光ファイバが偏光方向を保存したまま送光する定偏
波光ファイバである測量用レーザ装置に係り、或は光フ
ァイバ出力端の近傍に配置されレーザ光線を反射すると
共に一部をモニタ光として分割する第１の反射手段及び
該第１反射手段で分割されたモニタ光を受光する第１の
受光手段を有する測量用レーザ装置に係り、或は該第１
の反射手段が偏光ミラーである測量用レーザ装置に係
り、或は前記第１の受光手段の受光量に基づいて前記レ
ーザ光源部のレーザ出力を制御する測量用レーザ装置に
係り、或は光ファイバ出力端の近傍に第２の反射手段
と、第２の受光手段を有する測量用レーザ装置に係るも
のである。The present invention provides a surveying laser device comprising a laser light source section and an optical system for irradiating a laser beam from the laser light source section in a predetermined direction. Is provided at least thermally isolated from the optical system, and relates to a surveying laser device in which the laser beam of the laser light source unit is guided to the optical system by an optical fiber, or in the surveying laser device, the laser light source unit emits light. Pumping solid-state laser including an optical resonance part and an optical resonance part, wherein the optical resonance part is provided in an optical system and the light emitting part is thermally isolated from the surveying laser device. At least a heat generating portion of a laser light source part is fixed to a housing, and a laser device for surveying configured to radiate heat through the housing,
Or, it relates to a surveying laser device, which is a polarization-maintaining optical fiber in which the optical fiber transmits light while preserving the polarization direction, or is arranged near the output end of the optical fiber and reflects the laser beam and part of it as monitor light. The present invention relates to a surveying laser device having a first reflecting means for splitting and a first light receiving means for receiving monitor light split by the first reflecting means, or the first laser means for surveying.
Of the surveying laser device in which the reflecting means is a polarization mirror, or the surveying laser device for controlling the laser output of the laser light source unit based on the amount of light received by the first light receiving means, or the optical fiber. The present invention relates to a surveying laser device having a second reflecting means near the output end and a second light receiving means.
【００２９】レーザ光源部、或はレーザ光源部の少なく
とも発熱部が光学系から隔離されているので、光学系が
レーザ光源部の熱の影響を受けることがなく、熱による
精度の低下が防止し得、測量用レーザ装置を高精度に維
持することができる。又、光ファイバ出力部でレーザ出
力をモニタするので装置より外部へ出射するレーザ出力
を正確に制御することができる。Since the laser light source section, or at least the heat generating section of the laser light source section, is isolated from the optical system, the optical system is not affected by the heat of the laser light source section, and deterioration of accuracy due to heat is prevented. Therefore, the surveying laser device can be maintained with high accuracy. Further, since the laser output is monitored by the optical fiber output section, the laser output emitted from the device to the outside can be accurately controlled.
【００３０】[0030]
【発明の実施の形態】以下、図面を参照しつつ本発明の
実施の形態を説明する。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.
【００３１】図１は本発明の実施の形態の概略を示すも
のであり、図２は該本発明の実施の形態に用いられる光
源部２０を示すものであり、図１中、図１０中で示した
ものと同一のものには同符号を付してあり、又図２中、
図１１中で示したものと同一のものには同符号を付して
ある。FIG. 1 shows an outline of an embodiment of the present invention, and FIG. 2 shows a light source section 20 used in the embodiment of the present invention. In FIG. 1 and FIG. The same parts as those shown are designated by the same reference numerals, and in FIG.
The same parts as those shown in FIG. 11 are designated by the same reference numerals.
【００３２】光学系１は鏡筒２内に設けられ、該鏡筒２
は筐体４に上下更に左右の２方向に回動自在に支持さ
れ、レーザ光源３からのレーザ光線を導く光ファイバ２
２は鏡筒２の基部に固定され、該鏡筒２の先端にはコリ
メートレンズ５が設けられている。The optical system 1 is provided in the lens barrel 2 and
Is an optical fiber 2 supported by a housing 4 so as to be rotatable in two directions, that is, vertically and horizontally, and guides a laser beam from a laser light source 3.
2 is fixed to the base of the lens barrel 2, and a collimating lens 5 is provided at the tip of the lens barrel 2.
【００３３】前記筐体４の所要位置、例えば前記レーザ
光線６を収納する鏡筒２、或は鏡筒２の支持機構から離
れた位置、例えば筐体４の後部にヒートシンク２１を筐
体４の後壁面、底面に密着させて固着する。A heat sink 21 is provided at a required position of the housing 4, for example, at a position away from the lens barrel 2 for housing the laser beam 6 or a support mechanism of the lens barrel 2, for example, at a rear portion of the housing 4. It adheres to the rear wall surface and bottom surface by sticking.
【００３４】前記光源部２０は、前記レーザ光源３と該
レーザ光源３からのレーザ光線を所要位置に導く光ファ
イバ２２から成り、前記レーザ光源３を前記ヒートシン
ク２１に熱抵抗を少なくして固着し、前記光ファイバ２
２のレーザ光線入射端２２ａを前記レーザ光源３のレー
ザ光線射出位置に集光レンズ１７を介して固定し、レー
ザ光線射出端２２ｂを前記レーザ光線６の光軸上、前記
鏡筒２の基端位置に固定し、前記レーザ光源３からの光
学系１に導く。The light source section 20 comprises the laser light source 3 and an optical fiber 22 for guiding the laser beam from the laser light source 3 to a required position. The laser light source 3 is fixed to the heat sink 21 with a low thermal resistance. , The optical fiber 2
The laser beam incident end 22a of the laser beam 2 is fixed to the laser beam emitting position of the laser light source 3 through the condenser lens 17, and the laser beam emitting end 22b is on the optical axis of the laser beam 6 and the base end of the lens barrel 2. It is fixed in position and guided to the optical system 1 from the laser light source 3.
【００３５】前記光ファイバ２２のレーザ光線射出端２
２ｂから射出されたレーザ光線６は前記コリメートレン
ズ５で平行光束とされ、筐体４より照射される。Laser beam emitting end 2 of the optical fiber 22
A laser beam 6 emitted from 2 b is converted into a parallel light beam by the collimating lens 5 and emitted from the housing 4.
【００３６】前記した様に、発熱部であるレーザ光源３
を前記ヒートシンク２１に固着し、レーザ光源３の発熱
を前記ヒートシンク２１を介して筐体４の外部に放射す
るので、筐体４内の温度の上昇が抑制され、而もヒート
シンク２１が鏡筒２、鏡筒２支持機構から離れているの
で、光源部２０の熱が精度に影響を及ぼすことがない。As described above, the laser light source 3 which is the heat generating portion
Is fixed to the heat sink 21, and the heat generated by the laser light source 3 is radiated to the outside of the housing 4 via the heat sink 21, so that the temperature rise in the housing 4 is suppressed, and the heat sink 21 is mounted on the lens barrel 2. Since it is separated from the lens barrel 2 support mechanism, the heat of the light source section 20 does not affect the accuracy.
【００３７】次に、図３、図４は本発明の他の実施の形
態を示すものであり、前記光源部２０の内、発熱部が特
にＬＤ発光器１０であることに着目し、発光部８と光共
振部９とを分離し、前記発光部８と前記光共振部９とを
光ファイバ２２で接続したものである。Next, FIGS. 3 and 4 show another embodiment of the present invention. Focusing on the fact that the heat generating part of the light source part 20 is the LD light emitting device 10, the light emitting part is shown. 8 and the optical resonance part 9 are separated, and the light emitting part 8 and the optical resonance part 9 are connected by an optical fiber 22.
【００３８】該発光部８はＬＤ発光器１０、集光レンズ
１１を具備し、更に光共振部９は集光レンズ２３、誘電
体反射膜１２が形成されたレーザ結晶（Ｎｄ：ＹＶ
Ｏ4 ）板１３、非線形光学媒質（ＫＴＰ）１４、誘電体
反射膜１５が形成された出力ミラー１６を具備してい
る。The light emitting section 8 comprises an LD light emitter 10 and a condenser lens 11, and the optical resonator section 9 further comprises a condenser lens 23 and a laser crystal (Nd: YV) having a dielectric reflection film 12 formed thereon.
An O 4 ) plate 13, a nonlinear optical medium (KTP) 14, and an output mirror 16 on which a dielectric reflection film 15 is formed are provided.
【００３９】前記発光部８を前記ヒートシンク２１に熱
抵抗を少なくして固着し、前記光共振部９を鏡筒２の基
端に取付ける。前記光ファイバ２２のレーザ光線入射端
２２ａを前記集光レンズ１１の結像点に配置し、前記レ
ーザ光線射出端２２ｂを前記集光レンズ２３の光軸上に
配置する。前記光ファイバ２２のレーザ光線射出端２２
ｂから射出されたレーザ光線は前記集光レンズ２３によ
り前記レーザ結晶（Ｎｄ：ＹＶＯ4 ）板１３内に結像さ
れ、前記レーザ結晶板１３と出力ミラー１６間でレーザ
光線をポンピングし共振、増幅して出力している。前記
光共振部９から発せられたレーザ光線６は前記コリメー
トレンズ５で平行光束とされ、筐体４より照射される。The light emitting portion 8 is fixed to the heat sink 21 with a small thermal resistance, and the optical resonator portion 9 is attached to the base end of the lens barrel 2. The laser beam incident end 22a of the optical fiber 22 is arranged at the image forming point of the condenser lens 11, and the laser beam emission end 22b is arranged on the optical axis of the condenser lens 23. Laser beam emitting end 22 of the optical fiber 22
The laser beam emitted from b is imaged in the laser crystal (Nd: YVO 4 ) plate 13 by the condenser lens 23, and the laser beam is pumped between the laser crystal plate 13 and the output mirror 16 for resonance and amplification. And then output. The laser beam 6 emitted from the optical resonator 9 is collimated by the collimator lens 5 and emitted from the housing 4.
【００４０】本実施の形態でも、発熱部である発光部８
を前記ヒートシンク２１に固着し、発光部８の発熱を前
記ヒートシンク２１を介して筐体４の外部に放射するの
で、筐体４内の温度の上昇が抑制され、而もヒートシン
ク２１が鏡筒２、鏡筒２支持機構から離れているので、
発光部８即ち光源部２０の熱が精度に影響を及ぼすこと
がない。Also in the present embodiment, the light emitting section 8 which is a heat generating section.
Is fixed to the heat sink 21, and the heat generated by the light emitting portion 8 is radiated to the outside of the housing 4 through the heat sink 21, so that the temperature inside the housing 4 is prevented from rising, and the heat sink 21 is mounted on the lens barrel 2. , Because it is far from the lens barrel 2 support mechanism,
The heat of the light emitting unit 8, that is, the light source unit 20 does not affect the accuracy.
【００４１】[0041]
【実施例】図５は本発明を経緯儀に実施した場合を示し
ている。EXAMPLE FIG. 5 shows a case where the present invention is applied to a theodolite.
【００４２】図中、図１、図３中で示したものと同様な
構成を有するものには同符号を付してある。In the figure, components having the same constructions as those shown in FIGS. 1 and 3 are designated by the same reference numerals.
【００４３】筐体３０は鉛直軸を中心に回転可能な托架
３１に上下方向に傾動可能に支持されている。又托架３
１は整準台３２に設けられ、該整準台３２の整準螺子３
３により前記筐体３０が水平に設置可能である。前記整
準台３２には表示部３４が設けられ、該表示部３４には
水平角、高度角、距離等のデータが表示される様になっ
ている。The housing 30 is supported by a frame 31 rotatable about a vertical axis so as to be vertically tiltable. Again support 3
1 is provided on a leveling table 32, and a leveling screw 3 of the leveling table 32
3, the housing 30 can be installed horizontally. A display unit 34 is provided on the leveling table 32, and data such as horizontal angle, altitude angle, and distance are displayed on the display unit 34.
【００４４】前記筐体３０には水平方向に望遠鏡４１が
設けられ、該望遠鏡４１の鏡筒２には水平方向の光軸を
有する光学系１が収納されている。該光学系１は、光軸
Ｏ上に接眼レンズ３５、レチクル３６、正立像にするプ
リズム３７、インタナルレンズ３８、緑色のレーザ光線
を選択的に反射するレーザ反射ミラー３９、対物レンズ
４０等が順次配設され構成される。A telescope 41 is provided in the housing 30 in the horizontal direction, and an optical system 1 having a horizontal optical axis is housed in a lens barrel 2 of the telescope 41. The optical system 1 includes an eyepiece lens 35, a reticle 36, an erect image prism 37, an internal lens 38, a laser reflecting mirror 39 for selectively reflecting a green laser beam, an objective lens 40, etc. on the optical axis O. Sequentially arranged and configured.
【００４５】前記筐体３０の底部に前記レーザ光源３が
固着され、前記鏡筒２の前記レーザ反射ミラー３９に対
峙する位置にレーザ光線射出部４２が固着され、該レー
ザ光線射出部４２に光ファイバ２２のレーザ光線射出端
２２ｂが固定保持される。される。前記筐体３０の材質
はカーボンを含有し、熱伝導率の高い合成樹脂製とし、
或は少なくとも前記レーザ光源３が固着されている部分
は熱伝導率の高い材質、カーボンを含有する熱伝導率の
高い合成樹脂、或は銅、アルミニウム等の金属とする。The laser light source 3 is fixed to the bottom portion of the housing 30, and the laser beam emitting portion 42 is fixed to the lens barrel 2 at a position facing the laser reflection mirror 39. The laser beam emitting end 22b of the fiber 22 is fixedly held. Is done. The material of the casing 30 contains carbon and is made of synthetic resin having high thermal conductivity,
Alternatively, at least the portion to which the laser light source 3 is fixed is made of a material having a high thermal conductivity, a carbon-containing synthetic resin having a high thermal conductivity, or a metal such as copper or aluminum.
【００４６】前記レーザ反射ミラー３９は上記した様に
緑色のレーザ光線を選択的に反射し、他の波長の光線に
ついては透過する様製作されており、前記レーザ光線射
出部４２から射出されたレーザ光線は前記レーザ反射ミ
ラー３９で反射され前記対物レンズ４０から図示しない
対象物に向かって照射される。レーザ光線の照射位置は
前記光学系１により確認することができる。The laser reflecting mirror 39 is manufactured so as to selectively reflect the green laser beam and transmit the other wavelength light beams, as described above, and the laser beam emitted from the laser beam emitting section 42. The light beam is reflected by the laser reflection mirror 39 and emitted from the objective lens 40 toward an object (not shown). The irradiation position of the laser beam can be confirmed by the optical system 1.
【００４７】前記光源部２０の発熱部であるレーザ光源
３は前記筐体３０に固着されているので、レーザ光源３
の熱は筐体３０より放熱され、筐体３０内に熱が籠り温
度が上昇することが抑制され、更にレーザ光源３からの
レーザ光線を光ファイバ２２で導いているのでレーザ光
源３の熱が鏡筒２に伝達されることがない。而して、光
学系１、或は光学系１を支持する機構が熱の影響を受け
ることがないので高精度の測定が可能となる。Since the laser light source 3 which is the heat generating portion of the light source unit 20 is fixed to the housing 30, the laser light source 3
The heat of the laser light is radiated from the housing 30, and the heat inside the housing 30 is restrained from rising and the temperature of the laser light from the laser light source 3 is guided by the optical fiber 22. It is not transmitted to the lens barrel 2. Thus, since the optical system 1 or the mechanism supporting the optical system 1 is not affected by heat, highly accurate measurement is possible.
【００４８】図６は本発明を回転レーザ照射装置に実施
した場合を示している。FIG. 6 shows a case where the present invention is applied to a rotary laser irradiation device.
【００４９】図中、図１、図３、図５中で示したものと
同様な構成を有するものには同符号を付してある。In the figure, components having the same configurations as those shown in FIGS. 1, 3 and 5 are designated by the same reference numerals.
【００５０】整準台３２の一部を構成する本体ベース４
５に筐体４６が設けられ、該筐体４６内に光学系１、光
源部２０が設けられる。前記筐体４６の上部にはペンタ
プリズム４７を収納する回動部４８が回転自在に設けら
れている。又、前記筐体４６は熱伝導性のよい銅、アル
ミニウム、鉄等金属製、或はカーボン等が混合され熱伝
導率が高められた合成樹脂製で製作される。前記回動部
４８に設けられた被動走査ギア４９には走査モータ５０
の出力軸に嵌着された駆動ギア５１が噛合しており、前
記走査モータ５０の駆動により駆動ギア５１、被動走査
ギア４９を介して前記ペンタプリズム４７が前記光学系
１の光軸を中心に回転する。Main body base 4 forming a part of the leveling table 32
A housing 46 is provided in the housing 5, and the optical system 1 and the light source unit 20 are provided in the housing 46. A rotating portion 48 for accommodating the penta prism 47 is rotatably provided on the upper portion of the housing 46. The housing 46 is made of metal having good thermal conductivity, such as copper, aluminum, iron, or made of synthetic resin having a high thermal conductivity by mixing carbon or the like. The driven scanning gear 49 provided on the rotating unit 48 includes a scanning motor 50.
The drive gear 51 fitted to the output shaft of the above is engaged, and the pentaprism 47 is centered on the optical axis of the optical system 1 via the drive gear 51 and the driven scan gear 49 by the drive of the scan motor 50. Rotate.
【００５１】光源部２０のレーザ光源３は前記筐体４６
の側壁に固着され、レーザ光源３の熱は前記筐体４６を
介して外部に放熱される。レーザ光源３からのレーザ光
線は前記光ファイバ２２を介して前記光学系１に導かれ
る。The laser light source 3 of the light source unit 20 is the housing 46.
The heat of the laser light source 3 is radiated to the outside through the housing 46. A laser beam from the laser light source 3 is guided to the optical system 1 via the optical fiber 22.
【００５２】該光学系１は自由液面を有する傾斜補正装
置５２、反射ミラー５３を有し、レーザ光線射出端２２
ｂを固定保持するレーザ光線射出部４２は前記傾斜補正
装置５２の自由液面に向かってレーザ光線を入射する様
配置され、前記反射ミラー５３は前記傾斜補正装置５２
で反射されたレーザ光線を前記ペンタプリズム４７に向
かって反射する様設けられている。The optical system 1 has a tilt correction device 52 having a free liquid surface, a reflection mirror 53, and a laser beam emitting end 22.
The laser beam emitting unit 42 for fixing and holding b is arranged so as to inject the laser beam toward the free liquid surface of the tilt correction device 52, and the reflection mirror 53 is provided for the tilt correction device 52.
The laser beam reflected by is reflected toward the pentaprism 47.
【００５３】而して、前記レーザ光線射出部４２より光
学系１に入射したレーザ光線は前記ペンタプリズム４７
で水平方向に変向され、照射され、該ペンタプリズム４
７の回転でレーザ光線による水平基準面が形成される様
になっている。Thus, the laser beam incident on the optical system 1 from the laser beam emitting unit 42 is the penta prism 47.
Is deflected in the horizontal direction and is irradiated, and the penta prism 4
The rotation of 7 forms a horizontal reference plane by the laser beam.
【００５４】本実施の形態に於いても前記光源部２０の
発熱部であるレーザ光源３は前記筐体４６に固着されて
いるので、レーザ光源３の熱は筐体４６より放熱され、
筐体４６内に熱が籠り温度が上昇することが抑制され、
更にレーザ光源３からのレーザ光線を光ファイバ２２で
導いているのでレーザ光源３の熱が光学系１に伝達され
ることがなく、或は光学系１を支持する機構にも熱が伝
達されることなく高精度の測定が可能となる。Also in the present embodiment, since the laser light source 3 which is the heat generating portion of the light source unit 20 is fixed to the housing 46, the heat of the laser light source 3 is radiated from the housing 46.
It is possible to prevent heat from gathering in the housing 46 and increase in temperature,
Further, since the laser beam from the laser light source 3 is guided by the optical fiber 22, the heat of the laser light source 3 is not transferred to the optical system 1, or the heat is transferred to the mechanism supporting the optical system 1. It is possible to measure with high accuracy.
【００５５】次に、図７〜図８に於いて、前記レーザ光
線射出部４２の一例を説明する。Next, an example of the laser beam emitting section 42 will be described with reference to FIGS.
【００５６】レーザ光線射出部に前記光ファイバ２２の
出力端は導かれており、該出力端はホルダ５５にレーザ
光線射出光軸に対して所要の角度をもって嵌入してい
る。通常、所定の偏光方向の偏光を光ファイバに入射す
ると射出される光は偏光でなくなっているが、光ファイ
バ２２は偏光方向を保存したまま送光する定偏波光ファ
イバであり、前記光ファイバ２２の端面に近接して、偏
光ミラー５６及び該偏光ミラー５６の背面側にミラー５
７が順次配設され、該ミラー５７に対峙して偏光板５
９、モニタ用受光器５８が設けられている。前記光ファ
イバ２２の出力端より射出したレーザ光線の内、前記偏
光ミラー５６を透過した透過光は前記ミラー５７によっ
て反射され前記モニタ用受光器５８によって受光され
る。レーザ光源より射出された直線偏光のレーザ光線は
前記光ファイバ２２で偏光方向を保存されつつ導かれて
前記偏光ミラー５６に向かって射出される。The output end of the optical fiber 22 is guided to the laser beam emitting portion, and the output end is fitted into the holder 55 at a required angle with respect to the laser beam emitting optical axis. Normally, when the polarized light of a predetermined polarization direction is incident on the optical fiber, the light emitted is not polarized, but the optical fiber 22 is a constant polarization optical fiber that transmits while maintaining the polarization direction. The polarizing mirror 56 and the mirror 5 on the rear side of the polarizing mirror 56 in the vicinity of the end face of the polarizing mirror 56.
7 are arranged one after another, and the polarizing plate 5 faces the mirror 57.
9. A monitor light receiver 58 is provided. Among the laser beams emitted from the output end of the optical fiber 22, the transmitted light transmitted through the polarization mirror 56 is reflected by the mirror 57 and received by the monitor light receiver 58. The linearly polarized laser beam emitted from the laser light source is guided by the optical fiber 22 while preserving the polarization direction, and is emitted toward the polarization mirror 56.
【００５７】偏光ミラー５６はレーザ光線を殆ど反射す
るが、モニタ光として数％を透過する。光ファイバ２２
から出力されるレーザ光線はＳ偏光であるが、いくらか
のＰ偏光も含まれている。前記偏光ミラー５６では数％
のＳ偏光と共にＰ偏光が透過する。前記ミラー５７は透
過した偏光を受光器に向けて反射する。該ミラー５７と
受光器５８の間には偏光板５９が配置されＳ偏光のみを
透過させる。実質的に射出されるレーザ光線はＳ偏光で
あるので、Ｓ偏光をモニタする。モニタされた情報は、
レーザ光源３の発光駆動にフィードバックされ、射出さ
れるレーザ光線の視認性、出力の安定化が図られ、更に
射出されるレーザ光線の検出がなされる。The polarization mirror 56 almost reflects the laser beam, but transmits a few% as the monitor light. Optical fiber 22
The laser beam output from is S-polarized, but it also contains some P-polarized light. With the polarizing mirror 56, several%
P-polarized light is transmitted together with S-polarized light. The mirror 57 reflects the transmitted polarized light toward the light receiver. A polarizing plate 59 is arranged between the mirror 57 and the light receiver 58 and transmits only S-polarized light. Since the emitted laser beam is S-polarized light, S-polarized light is monitored. The monitored information is
Feedback to the light emission driving of the laser light source 3 is performed to stabilize the visibility and output of the emitted laser beam, and the emitted laser beam is detected.
【００５８】図９は偏光ミラーと光源（発光点）Ｌの配
置の関係を図示した光路図である。光路上の偏光ミラー
５６に取付け誤差の関係を光源Ｌの移動に置換えると、
光軸上を基準にして光源の移動は集光点の移動である。
光源と偏光ミラー５６の間隔が大きい程光源の移動は大
きい。移動量を小さくするには光源Ｌと偏光ミラー５６
の間隔を小さくする必要がある。光源Ｌが移動しない場
合は、光源Ｌの移動は偏光ミラーの傾き角に置換えられ
る。従って、偏光ミラーの取付け誤差の影響を小さく
し、レーザ光線を光軸上に集光させるには光源Ｌと偏光
ミラーの間隔を小さくする必要があり、本装置では光フ
ァイバ２２のレーザ光線射出端近傍に偏光ミラーを配置
している。FIG. 9 is an optical path diagram showing the relationship between the arrangement of the polarization mirror and the light source (light emitting point) L. If the relationship of the mounting error is replaced with the movement of the light source L on the polarization mirror 56 on the optical path,
The movement of the light source with respect to the optical axis is the movement of the focal point.
The larger the distance between the light source and the polarization mirror 56, the greater the movement of the light source. To reduce the amount of movement, the light source L and the polarization mirror 56
It is necessary to reduce the interval between. When the light source L does not move, the movement of the light source L is replaced by the tilt angle of the polarization mirror. Therefore, it is necessary to reduce the distance between the light source L and the polarizing mirror in order to reduce the influence of the mounting error of the polarizing mirror and to focus the laser beam on the optical axis. In this device, the laser beam emitting end of the optical fiber 22 is required. A polarizing mirror is arranged in the vicinity.
【００５９】光源ユニット６０からのレーザ光線を光フ
ァイバ２２に導き、レーザ光線射出端２２ｂよりレーザ
光線を出力させる場合、集光レンズ１７或は入射ファイ
バ端部２２ａの位置ずれ、ファイバ折損、その他の原因
によるファイバ結合効率の変動、光共振部構成部品の位
置ずれ等が原因のレーザ出力の減少又は増大は、光源ユ
ニット６０内部に配置された受光器６２のみのフィード
バック制御では調整できない問題がある。When the laser beam from the light source unit 60 is guided to the optical fiber 22 and is output from the laser beam emitting end 22b, the condenser lens 17 or the incident fiber end 22a is displaced, the fiber is broken, and the like. There is a problem that the reduction or increase of the laser output due to the fluctuation of the fiber coupling efficiency due to the cause, the displacement of the optical resonator component parts, and the like cannot be adjusted by the feedback control of only the light receiver 62 arranged inside the light source unit 60.
【００６０】図１０は光源ユニット６０とレーザ光線射
出端２２ｂにモニタ受光部７０を設けたフィードバック
系のブロック図である。光源ユニット６０はレーザ光源
３、ハーフミラー６１及び集光レンズ１７から構成され
る。光源ユニット６０からのレーザ光線出力は光ファイ
バ２２によって図７に示すレーザ光線射出端に導かれ出
射される。FIG. 10 is a block diagram of a feedback system in which a light source unit 60 and a monitor light receiving section 70 are provided at the laser beam emitting end 22b. The light source unit 60 includes a laser light source 3, a half mirror 61, and a condenser lens 17. The laser beam output from the light source unit 60 is guided to the laser beam emitting end shown in FIG.
【００６１】偏光ミラー５６で分割されたモニタ光はミ
ラー５７で反射され偏光板５９を透過してモニタ受光器
５８に入光する。該モニタ受光器５８、前記受光回路６
４からの受光信号は比較回路６５と制御部６６に入力さ
れる。The monitor light split by the polarization mirror 56 is reflected by the mirror 57, passes through the polarizing plate 59 and enters the monitor light receiver 58. The monitor light receiver 58, the light receiving circuit 6
The light-receiving signal from 4 is input to the comparison circuit 65 and the control unit 66.
【００６２】前記光源ユニット６０のモニタ受光器６
２、受光回路６３からの受光信号は前記比較回路６５に
入力される。前記両受光回路６３と受光回路６４からの
受光信号は比較回路６５で比較され、比較値が所定の範
囲を外れる場合に電気信号が制御部６６に入力される。
前記受光回路６３と受光回路６４からの受光信号の比較
値が所定の範囲にある場合に、受光回路６４からの受光
信号が制御部６６に入力され、入力信号に応じた制御信
号をＬＤ駆動部６７に出力する。ＬＤ駆動部６７は制御
信号に基づいてＬＤ発光器の発光を制御する。Monitor light receiver 6 of the light source unit 60
2. The light receiving signal from the light receiving circuit 63 is input to the comparison circuit 65. The light receiving signals from both the light receiving circuits 63 and the light receiving circuit 64 are compared by a comparison circuit 65, and when the comparison value is out of a predetermined range, an electric signal is input to the control unit 66.
When the comparison value of the light receiving signals from the light receiving circuit 63 and the light receiving circuit 64 is within a predetermined range, the light receiving signal from the light receiving circuit 64 is input to the control unit 66, and the LD drive unit outputs a control signal according to the input signal. To 67. The LD drive unit 67 controls the light emission of the LD light emitter based on the control signal.
【００６３】比較値が所定の範囲を外れるとは、前述し
た様に、集光レンズ或は入射ファイバ端部の位置ずれ、
ファイバ折損、その他の原因によるファイバ結合効率の
変動に起因したファイバから出射されるレーザ出力の減
少又は増大が生じていることであり、この場合は、安全
の為比較回路６５から異常を伝える電気信号を制御部６
６に入力し、制御部６６はＬＤ駆動部６７停止、異常表
示等の処置を行う。When the comparison value is out of the predetermined range, as described above, the position shift of the condenser lens or the end of the incident fiber,
It means that the laser output emitted from the fiber is decreased or increased due to the change of the fiber coupling efficiency due to the breakage of the fiber or other causes. Control unit 6
6, the control unit 66 takes action such as stopping the LD drive unit 67 and displaying an abnormality.
【００６４】尚、本発明に於いて、レーザ光源３或は発
光部８を筐体の外部に設けてもよいこと、或は筐体のレ
ーザ光源３或は発光部８の取付け部に放熱板を設けても
よいこと等種々変更が可能であることは言う迄もない。In the present invention, the laser light source 3 or the light emitting portion 8 may be provided outside the housing, or the heat radiation plate may be attached to the mounting portion of the laser light source 3 or the light emitting portion 8 of the housing. It goes without saying that various modifications such as the provision of the above may be possible.
【００６５】[0065]
【発明の効果】以上述べた如く本発明によれば、レーザ
を使用する測量用レーザ装置に於いて、視認性の高い緑
色のレーザ光線を使用できるので作業性が向上し、又レ
ーザ光源部の発熱部を光学系、光学系支持装置から熱的
に隔離して設け、測量用レーザ装置の筐体を利用して放
熱しているので、熱による精度の低下を防止し得、又発
熱部からのレーザ光線を屈撓自在な光ファイバにより導
いているので、光学系の動作に何等影響することがない
等の優れた効果を発揮する。As described above, according to the present invention, in a surveying laser device using a laser, a highly visible green laser beam can be used, so that the workability is improved and the laser light source unit The heat generating part is provided separately from the optical system and the optical system supporting device, and the housing of the surveying laser device is used to radiate heat. Since the laser beam is guided by a flexible optical fiber, it has an excellent effect that it does not affect the operation of the optical system.
【図１】本発明の実施の形態を示す概略構成図である。FIG. 1 is a schematic configuration diagram showing an embodiment of the present invention.
【図２】該実施の形態に使用される光源部の構成図であ
る。FIG. 2 is a configuration diagram of a light source unit used in the embodiment.
【図３】本発明の他の実施の形態を示す概略構成図であ
る。FIG. 3 is a schematic configuration diagram showing another embodiment of the present invention.
【図４】該他の実施の形態に使用される光源部の構成図
である。FIG. 4 is a configuration diagram of a light source unit used in the other embodiment.
【図５】本発明の実施例を示す断面図である。FIG. 5 is a sectional view showing an embodiment of the present invention.
【図６】本発明の他の実施例を示す断面図である。FIG. 6 is a sectional view showing another embodiment of the present invention.
【図７】レーザ光線射出部の拡大断面図である。FIG. 7 is an enlarged sectional view of a laser beam emitting portion.
【図８】該レーザ光線射出部の骨子図である。FIG. 8 is a skeleton view of the laser beam emitting portion.
【図９】該レーザ光線射出部の光路図である。FIG. 9 is an optical path diagram of the laser beam emitting unit.
【図１０】本発明に係る光源ユニットの制御ブロック図
である。FIG. 10 is a control block diagram of a light source unit according to the present invention.
【図１１】従来例を示す概略構成図である。FIG. 11 is a schematic configuration diagram showing a conventional example.
【図１２】該従来例に於けるレーザ光源部の構成図であ
る。FIG. 12 is a configuration diagram of a laser light source unit in the conventional example.
【図１３】従来例の光源ユニットの制御ブロック図であ
る。FIG. 13 is a control block diagram of a conventional light source unit.
１ 光学系 ２ 鏡筒 ３ レーザ光源 ４ 筐体 ５ コリメートレンズ ６ レーザ光線 ２０ 光源部 ２１ ヒートシンク ２２ 光ファイバ ４２ レーザ光線射出部 ５６ 偏光ミラー ５７ ミラー ５８ モニタ用受光器 ５９ 偏光板 ６０ 光源ユニット ６２ モニタ受光器 ６５ 比較器 ６７ ＬＤ駆動部 ７０ モニタ受光部 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Optical system 2 Lens barrel 3 Laser light source 4 Housing 5 Collimating lens 6 Laser beam 20 Light source part 21 Heat sink 22 Optical fiber 42 Laser beam emitting part 56 Polarizing mirror 57 Mirror 58 Monitor light receiver 59 Polarizing plate 60 Light source unit 62 Monitor light receiving Device 65 Comparator 67 LD drive unit 70 Monitor light receiving unit
フロントページの続き (72)発明者 大石 政裕 東京都板橋区蓮沼町75番１号 株式会社ト プコン内 (72)発明者 後藤 義明 東京都板橋区蓮沼町75番１号 株式会社ト プコン内Continuation of the front page (72) Inventor Masahiro Oishi 75-1, Hasunumacho, Itabashi-ku, Tokyo Inside Topcon Corporation (72) Inventor Yoshiaki Goto 75-1, Hasunumacho, Itabashi-ku, Tokyo Inside Topcon Corporation
Claims (8)
ーザ光線を所定の方向に照射する光学系とを具備する測
量用レーザ装置に於いて、前記レーザ光源部を少なくと
も光学系から熱隔離して設け、前記レーザ光源部のレー
ザ光線を光ファイバにより前記光学系に導いたことを特
徴とする測量用レーザ装置。1. A surveying laser apparatus comprising a laser light source section and an optical system for irradiating a laser beam from the laser light source section in a predetermined direction, wherein the laser light source section is thermally isolated from at least the optical system. And a laser beam of the laser light source unit is guided to the optical system by an optical fiber.
するＬＤ励起固体レーザであり、前記光共振部を光学系
に設け、前記発光部を熱隔離して設けた請求項１の測量
用レーザ装置。2. The surveying instrument according to claim 1, wherein the laser light source section is an LD pumped solid-state laser having a light emitting section and an optical resonance section, the optical resonance section is provided in an optical system, and the light emission section is provided thermally isolated. Laser device.
に固着し、該筐体を介して放熱する様構成した請求項
１、請求項２の測量用レーザ装置。3. The surveying laser device according to claim 1, wherein at least a heat generating portion of the laser light source portion is fixed to a casing and heat is radiated through the casing.
光する定偏波光ファイバである請求項１の測量用レーザ
装置。4. The surveying laser device according to claim 1, wherein the optical fiber is a constant polarization optical fiber that transmits light while preserving the polarization direction.
ザ光線を反射すると共に一部をモニタ光として分割する
第１の反射手段及び該第１反射手段で分割されたモニタ
光を受光する第１の受光手段を有する請求項１の測量用
レーザ装置。5. A first reflecting means arranged near an output end of the optical fiber for reflecting a laser beam and splitting a part thereof as monitor light, and a first receiving means for receiving the monitor light split by the first reflecting means. The surveying laser device according to claim 1, further comprising:
求項５の測量用レーザ装置。6. The surveying laser device according to claim 5, wherein the first reflecting means is a polarization mirror.
前記レーザ光源部のレーザ出力を制御する請求項５、請
求項６の測量用レーザ装置。7. The surveying laser device according to claim 5, wherein the laser output of said laser light source unit is controlled based on the amount of light received by said first light receiving means.
段と、第２の受光手段を有する請求項５、請求項６の測
量用レーザ装置。8. The surveying laser device according to claim 5, further comprising a second reflecting means and a second light receiving means in the vicinity of the optical fiber input end.
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