JPH0886373A - Valve, cross valve, and valve device - Google Patents

Abstract

PURPOSE: To provide valves and a valve device capable of being driven without being affected by heat by moving a valve element by a magnetic action between magnets and providing a driving means which can seat the valve element on a valve seat or lift the element from the seat. CONSTITUTION: A non-magnetic valve element 50 is stored slidably in a non- magnetic housing 30, and a magnetic assembly 60 is stored slidably in a valve element 50. Also an annular magnet assembly 70 is arranged on the outer periphery of the tube 31 of the housing 30, and it has an annular magnet 71. The magnet assembly 70 is stored supportedly in a non-magnetic support casing 80. Then the support casing 80 in which the magnet assembly 70 is stored is moved in the axial direction of the housing 30 by an actuator. When the magnet 71 is moved, the magnet 61 is attracted to or repulsed from the magnet 71 to move the valve element. Thus heat is hardly generated in the housing, and any heat is not given to the fluid passing through the housing.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【０００１】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、磁力により駆動する
弁，三方弁および弁装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a magnetically driven valve, a three-way valve and a valve device.

【０００２】[0002]

【従来の技術】従来、手動操作によらずに駆動する弁と
して、電磁弁（ソレノイド弁）が知られている。上記電
磁弁は、ハウジングと、このハウジング内に収容された
磁性材からなる弁体と、こハウジングの外周に装着され
たソレノイドとを備えている。そして、ソレノイドに電
流を流すことにより、アーマチャを移動させ、ひいては
弁体を移動させ、この弁体を弁座に着座させたり弁座か
らリフトさせる。2. Description of the Related Art Conventionally, a solenoid valve is known as a valve that is driven without manual operation. The electromagnetic valve includes a housing, a valve body made of a magnetic material housed in the housing, and a solenoid mounted on the outer circumference of the housing. Then, by supplying a current to the solenoid, the armature is moved, which in turn moves the valve element, and this valve element is seated on the valve seat or lifted from the valve seat.

【０００３】[0003]

【発明が解決しようとする課題】しかし、上記電磁弁で
は、ソレノイドに電流が流れる際に、ソレノイドが発熱
し、この熱がハウジングを介してハウジング内を流れる
流体に付与されてしまうため、熱の影響を避けなければ
ならない流体の制御には適さないという問題があった。However, in the above solenoid valve, when the current flows through the solenoid, the solenoid generates heat, and this heat is imparted to the fluid flowing in the housing through the housing. There is a problem that it is not suitable for the control of the fluid that must avoid the influence.

【０００４】[0004]

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、請求項１の発明では、（イ）非磁性の部位を有する
ハウジングと、（ロ）上記ハウジング内に移動可能に収
容された弁体と、（ハ）上記弁体の移動方向の少なくと
も一方側に配置された弁座と、（ニ）上記弁座に形成さ
れたポートと、を備えた弁において、さらに、（ホ）上
記弁体に装着された第１マグネットと、（ヘ）上記ハウ
ジング外に配置された第２マグネットと、（ト）上記第
２マグネットを移動させることにより、第２マグネット
と第１マグネットとの間の磁気作用で上記弁体を移動さ
せて、この弁体を上記弁座に対して着座させたりリフト
させる駆動手段と、を備えたことを特徴とする弁を要旨
とする。請求項２では、請求項１の弁において、上記ハ
ウジングが非磁性の筒を有しており、上記第２マグネッ
トがこのハウジングを囲むリング形状をなしており、上
記第１，第２マグネットおよび上記弁体が、ハウジング
の軸方向に移動することを特徴とする。請求項３では、
請求項２の弁において、上記弁体が、上記ハウジングの
筒に対してスライドする非磁性の筒を有し、この筒内に
上記第１マグネットが収容されていることを特徴とす
る。請求項４では、請求項３の弁において、上記第１マ
グネットは、上記弁体の筒にスライド可能に収容される
とともに、弁体の筒の両端部に設けられた一対のコイル
スプリングにより支持されていることを特徴とする。請
求項５では、請求項１〜４のいずれかの弁において、上
記第１マグネットと第２マグネットは、ともに、弁体の
移動方向の一方側の端部にＮ極を有し、他方側の端部に
Ｓ極を有していることを特徴とする。請求項６では、
（イ）非磁性の筒を有するハウジングと、（ロ）上記ハ
ウジングに径方向の隙間を有して収容される非磁性の筒
を有し、ハウジングの軸方向に移動可能な弁体と、
（ハ）上記ハウジングの筒の両端にそれぞれ配置された
第１，第２の弁座と、（ニ）上記第１，第２の弁座にそ
れぞれ形成された第１，第２のポートと、（ホ）上記ハ
ウジング内の空間に臨む第３のポートと、（ヘ）上記弁
体の筒内に収容された第１マグネットと、（ト）上記ハ
ウジング外に配置された第２マグネットと、（チ）上記
第２マグネットをハウジングの軸方向に移動させること
により、第２マグネットと第１マグネットとの間の磁気
作用で弁体を移動させて、この弁体を第１，第２弁座の
いずれか一方に着座させ、他方の弁座からリフトさせる
ことにより、この他方の弁座のポートを上記第３ポート
に連通させる駆動手段と、を備えたことを特徴とする三
方弁。請求項７では、請求項１〜５のいずれかの弁また
は請求項６の三方弁を複数備えた弁装置であって、これ
ら弁の第２マグネットを共通の駆動手段に連携したこと
を特徴とする。In order to solve the above problems, in the invention of claim 1, (a) a housing having a non-magnetic portion, and (b) a valve body movably accommodated in the housing. And (c) a valve seat disposed on at least one side in the moving direction of the valve body, and (d) a port formed in the valve seat, and (e) the valve body. The magnetic action between the second magnet and the first magnet by moving the first magnet mounted on the housing, (f) the second magnet arranged outside the housing, and (g) the second magnet. And a drive means for moving the valve body to seat the valve body on the valve seat or lifting the valve body with respect to the valve seat. According to a second aspect of the present invention, in the valve of the first aspect, the housing has a non-magnetic cylinder, the second magnet has a ring shape surrounding the housing, and the first and second magnets and the second magnet are provided. The valve body moves in the axial direction of the housing. In claim 3,
The valve according to claim 2, wherein the valve body has a non-magnetic cylinder that slides with respect to the cylinder of the housing, and the first magnet is accommodated in the cylinder. According to a fourth aspect, in the valve according to the third aspect, the first magnet is slidably accommodated in the cylinder of the valve body and is supported by a pair of coil springs provided at both ends of the cylinder of the valve body. It is characterized by According to a fifth aspect, in the valve according to any one of the first to fourth aspects, both the first magnet and the second magnet have an N pole at an end on one side in the moving direction of the valve body, and the other magnet on the other side. It is characterized by having an S pole at the end. In claim 6,
(A) a housing having a non-magnetic cylinder, and (b) a valve body having a non-magnetic cylinder housed in the housing with a radial gap, and movable in the axial direction of the housing,
(C) First and second valve seats respectively arranged at both ends of the cylinder of the housing, and (d) first and second ports respectively formed at the first and second valve seats, (E) A third port facing the space inside the housing, (f) a first magnet housed in the cylinder of the valve body, and (g) a second magnet arranged outside the housing. H) By moving the second magnet in the axial direction of the housing, the valve body is moved by the magnetic action between the second magnet and the first magnet, and the valve body is moved to the first and second valve seats. A three-way valve, comprising: a driving unit that allows one port of the other valve seat to communicate with the third port by being seated on one of the seats and lifted from the other valve seat. According to a seventh aspect of the present invention, there is provided a valve device comprising a plurality of the valves according to any of the first to fifth aspects or the three-way valve according to the sixth aspect, wherein the second magnets of these valves are linked to a common drive means. To do.

【０００５】[0005]

【作用】請求項１では、ハウジングの外側に配置された
第２マグネットを移動させると、弁体に設けられた第１
マグネットがこの第２マグネットに吸引されまたは反発
して移動し、これに伴い弁体が移動する。したがって、
ハウジング内では殆ど発熱せず、ハウジング内を通る流
体に熱を付与することがない。請求項２では、ハウジン
グが非磁性の筒を有し、第２マグネットがこのハウジン
グの筒を囲んでリング形状をなしているので、第２マグ
ネットのほぼ均一な磁力を第１マグネットに作用させる
ことができ、安定した弁体の移動を行うことができる。
請求項３では、弁体が上記ハウジングの筒に収容される
非磁性の筒を有し、この筒に第１マグネットが収容され
ているので、弁体の筒のスライドに際して第１マグネッ
トが邪魔にならず、弁体の移動が円滑となる。しかも、
弁体の構成を簡略化することができる。請求項４では、
第１マグネットの移動がコイルスプリングを介して弁体
に伝達されるので、弁体が弁座に着座する際の衝撃力を
弱めて、安定した着座を行うことができる。請求項５で
は、上記第２マグネットが移動すると、第１マグネット
が第２マグネットに反発して反対方向に移動し、これに
伴い弁体も第１マグネットと同方向に移動する。例え
ば、弁体が着座状態にある時、第２マグネットが弁座方
向に移動すると、所定位置に達するまでは弁座方向へ押
す力が第１マグネットに作用する。第２マグネットがこ
の所定位置を過ぎると、弁座から離れる方向の力が第１
マグネットに作用する。この力の方向の転換が瞬時にな
されるので、弁体の迅速な移動が可能となり、また、弁
体移動に際して第２マグネットの移動ストロークが短く
て済む。請求項６では、三方弁について、上記請求項
１，２，３の作用が得られる。請求項７では、共通の駆
動手段を用いることにより、簡単な構成でありながら、
複数の弁を確実に同期制御することができる。According to the present invention, when the second magnet arranged outside the housing is moved, the first magnet provided on the valve body is moved.
The magnet is attracted or repelled by the second magnet and moves, and the valve body moves accordingly. Therefore,
Almost no heat is generated in the housing, and heat is not applied to the fluid passing through the housing. In the present invention, the housing has a non-magnetic cylinder, and the second magnet surrounds the cylinder of the housing and has a ring shape. Therefore, a substantially uniform magnetic force of the second magnet acts on the first magnet. Therefore, the valve body can be stably moved.
In the third aspect, the valve body has a non-magnetic cylinder housed in the cylinder of the housing, and the first magnet is housed in the cylinder, so that the first magnet interferes with the sliding of the valve body. As a result, the valve body moves smoothly. Moreover,
The structure of the valve body can be simplified. In claim 4,
Since the movement of the first magnet is transmitted to the valve body via the coil spring, the impact force when the valve body sits on the valve seat is weakened, and stable seating can be performed. In claim 5, when the second magnet moves, the first magnet repels the second magnet and moves in the opposite direction, and the valve body also moves in the same direction as the first magnet. For example, when the second magnet moves in the valve seat direction when the valve body is in the seated state, a force pushing in the valve seat direction acts on the first magnet until reaching the predetermined position. When the second magnet passes this predetermined position, the force in the direction away from the valve seat becomes the first force.
It acts on the magnet. Since the direction of the force is changed instantaneously, the valve body can be moved quickly, and the movement stroke of the second magnet can be shortened when moving the valve body. In the sixth aspect, the actions of the first, second, and third aspects are obtained for the three-way valve. According to the seventh aspect, by using the common driving means, the structure is simple,
A plurality of valves can be reliably controlled synchronously.

【０００６】[0006]

【実施例】以下、本発明に係わる実施例を図面を参照し
て詳細に説明する。まず、本発明の弁が組み込まれるエ
アリークテスタの概要について図４を参照して説明す
る。エアリークテスタは、ブロックの孔やパイプ等によ
り形成されたエア通路１を有している。エア通路１は共
通通路１ｘと、この共通通路１ｘから分岐した一対の分
岐通路１ａ，１ｂとを有している。共通通路１ｘの上流
端には圧縮エア源２が接続されている。一方の分岐通路
１ａの下流端には、漏れがないことが確認されている基
準容器Ｒが接続され、他方の分岐通路１ｂの下流端には
漏れの有無を判定すべき検査対象Ｗが着脱可能に接続さ
れるようになっている。Embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the drawings. First, an outline of an air leak tester incorporating the valve of the present invention will be described with reference to FIG. The air leak tester has an air passage 1 formed by a hole in a block, a pipe, or the like. The air passage 1 has a common passage 1x and a pair of branch passages 1a and 1b branched from the common passage 1x. The compressed air source 2 is connected to the upstream end of the common passage 1x. A reference container R, which has been confirmed to be leak-free, is connected to the downstream end of the one branch passage 1a, and an inspection target W for which the presence / absence of a leak should be determined is attachable / detachable to the downstream end of the other branch passage 1b. It is designed to be connected to.

【０００７】上記共通通路１ｘには、上流側から順にレ
ギュレータ３，三方弁４が設けられている。また、分岐
路１ａ，１ｂにはそれぞれ二方弁５Ａ，５Ｂが設けられ
ている。上記二方弁５Ａ，５Ｂと分岐路１ａ，１ｂの下
流端との間には、それぞれ一対の検圧通路６ａ，６ｂの
一端が接続されており、この検出路６ａ，６ｂの他端
は、差圧センサ７の一対の入力ポートにそれぞれ接続さ
れている。上記検圧通路６ａ，６ｂには、それぞれ三方
弁８Ａ，８Ｂが設けられている。これら三方弁８Ａ，８
Ｂの後述する入力ポート４３は、補助通路９を介してレ
ギュレータ３の出力側に連なり、検圧ポート４７は差圧
センサ７に連なり、出力ポート４６はそれぞれ基準容器
Ｒ，検査対象Ｗに連なる。The common passage 1x is provided with a regulator 3 and a three-way valve 4 in this order from the upstream side. Two-way valves 5A and 5B are provided on the branch paths 1a and 1b, respectively. One end of a pair of pressure detection passages 6a, 6b is connected between the two-way valves 5A, 5B and the downstream ends of the branch passages 1a, 1b, and the other ends of the detection passages 6a, 6b are Each of them is connected to a pair of input ports of the differential pressure sensor 7. Three-way valves 8A and 8B are provided in the pressure detection passages 6a and 6b, respectively. These three-way valves 8A, 8
An input port 43 described later in B is connected to the output side of the regulator 3 through the auxiliary passage 9, a pressure detection port 47 is connected to the differential pressure sensor 7, and an output port 46 is connected to the reference container R and the inspection target W, respectively.

【０００８】上記構成のリークテスタの作用について説
明する。なお、本実施例のリークテスタでは電磁弁を用
いていないが、弁３，４，５Ａ，５Ｂ，８Ａ，８Ｂの作
用説明を簡単にするために、「オン」，「オフ」の表現
を用いることにする。ここで、弁のオフとは図示の位置
にすることを意味し、オンとは図示の位置とは異なる位
置にすることを意味する。The operation of the leak tester having the above structure will be described. Although the leak tester of this embodiment does not use a solenoid valve, the expressions “on” and “off” are used to simplify the explanation of the operation of the valves 3, 4, 5A, 5B, 8A, 8B. To Here, turning off the valve means moving it to the position shown, and turning it on means moving it to a position different from the position shown.

【０００９】まず、検査対象Ｗをエア通路１に接続す
る。次に、三方弁４をオンにしてレギュレータ３からの
テスト圧を基準容器Ｒと検査対象Ｗに供給する。次に、
２方弁５Ａ，５Ｂをオンにして閉じることにより、基準
容器Ｒと検査対象Ｗを閉じるとともに、三方弁８Ａ，８
Ｂをオンにして検圧ポート４７と出力ポート４６を連通
させる。これにより、基準容器Ｒと検査対象Ｗの差圧を
差圧センサ７で検出することができる。基準容器Ｒは漏
れのないものであるから、検査対象Ｗに漏れがあると、
差圧が生じる。差圧センサ７には表示器が接続されてお
り、この差圧を試験者が表示器で監視し、差圧が許容値
より大である時には、検査対象Ｗが不良であると判断す
る。なお、この良否判定をマイクロコンピュータで自動
的に行うこともある。First, the inspection object W is connected to the air passage 1. Next, the three-way valve 4 is turned on, and the test pressure from the regulator 3 is supplied to the reference container R and the inspection target W. next,
By turning on and closing the two-way valves 5A and 5B, the reference container R and the inspection target W are closed, and the three-way valves 8A and 8B are closed.
B is turned on to connect the pressure detection port 47 and the output port 46. Thereby, the differential pressure between the reference container R and the inspection target W can be detected by the differential pressure sensor 7. Since the reference container R is a leak-free container, if the inspection object W has a leak,
Differential pressure occurs. An indicator is connected to the differential pressure sensor 7. The tester monitors this differential pressure with the indicator, and when the differential pressure is larger than the allowable value, it is determined that the inspection target W is defective. Note that the quality determination may be automatically performed by a microcomputer.

【００１０】上記リークテスト終了後に、すべての弁を
図示の位置に戻し、基準容器Ｒ，検査対象Ｗの圧縮エア
を三方弁４を介して排気し、検査対象Ｗをエア通路１か
ら取り外す。この排気の際に、三方弁８Ａ，８Ｂはオフ
になり、検圧ポート４７が出力ポート４６から遮断さ
れ、レギュレータ３からのテスト圧が入力ポート４３を
介して検圧ポート４７に付与されているので、基準容器
Ｒ，検査対象Ｗからオイル等が差圧センサ７に向かって
流入するのを防止することができる。すなわち、これら
三方弁８Ａ，８Ｂは、オイル等が差圧センサ７へ流入す
るのを防止するために用いられているのである。After completion of the leak test, all the valves are returned to the positions shown in the drawing, the compressed air of the reference container R and the inspection object W is exhausted through the three-way valve 4, and the inspection object W is removed from the air passage 1. During this exhaust, the three-way valves 8A and 8B are turned off, the pressure detection port 47 is cut off from the output port 46, and the test pressure from the regulator 3 is applied to the pressure detection port 47 via the input port 43. Therefore, it is possible to prevent oil or the like from flowing into the differential pressure sensor 7 from the reference container R and the inspection target W. That is, these three-way valves 8A and 8B are used to prevent oil or the like from flowing into the differential pressure sensor 7.

【００１１】上記実施例において、精密なリークテスト
を実行するために、エアが弁の作動によって加熱されな
いようにすることが、望まれる。エアへの加熱はエア圧
の変化を伴うからである。これは、検圧通路６ａ，６ｂ
に設けられた三方弁８Ａ，８Ｂに、特に求められる。以
下、三方弁８Ａ，８Ｂのエア加熱防止機能を備えた構造
について詳述することにする。In the above embodiments, it is desirable to prevent the air from being heated by actuation of the valve in order to perform a precise leak test. This is because heating to air is accompanied by a change in air pressure. This is the pressure detection passage 6a, 6b
This is especially required for the three-way valves 8A and 8B provided in the. Hereinafter, the structure of the three-way valves 8A and 8B having the air heating prevention function will be described in detail.

【００１２】図３に示すように、上記三方弁８Ａ，８Ｂ
は、弁装置１００に組み込まれている。この弁装置１０
０は、エア通路１等を形成してなるブロックＢに支持プ
レート１０を固定し、この支持プレート１０に上記一対
の三方弁８Ａ，８Ｂを設置するとともに、この三方弁８
Ａ，８Ｂを同時に駆動制御する共通のアクチュエータ２
０（駆動手段）を設置することにより構成されている。As shown in FIG. 3, the above three-way valves 8A, 8B.
Are incorporated in the valve device 100. This valve device 10
In No. 0, the support plate 10 is fixed to the block B formed with the air passage 1 and the like, and the pair of three-way valves 8A and 8B are installed on the support plate 10 and the three-way valve 8 is installed.
A common actuator 2 that controls the driving of A and 8B simultaneously
0 (driving means) is installed.

【００１３】三方弁８Ａ，８Ｂは同一構成をなしてお
り、以下、図１，図２を参照しながら詳述する。三方弁
８Ａ（８Ｂ）は、ハウジング３０を備えている。このハ
ウジング３０は、非磁性，例えばステンレス製の円筒形
状の筒３１と、この筒３１の上端開口を塞ぐ閉塞子３２
と、上記支持プレート１０の上面によって構成されてい
る。筒体３１の下端は、上記支持プレート１０に固定さ
れたナット３５にねじ込まれて支持されている。The three-way valves 8A and 8B have the same structure, and will be described in detail below with reference to FIGS. The three-way valve 8A (8B) includes a housing 30. The housing 30 is made of a non-magnetic cylindrical tube 31 made of, for example, stainless steel, and an obturator 32 for closing an upper end opening of the tube 31.
And the upper surface of the support plate 10. The lower end of the tubular body 31 is screwed into and supported by a nut 35 fixed to the support plate 10.

【００１４】上記閉塞子３１には弁座４１（第１弁座）
が形成されており、この弁座４１には、入口ポート４２
（第１ポート）が開口している。閉塞子３１の上端部に
は、上記入口ポート４２に連なる連結用のねじ穴４３が
形成されており、このねじ穴４３には、前述した補助通
路９を構成するパイプが連結されている。A valve seat 41 (first valve seat) is provided on the obturator 31.
Is formed in the valve seat 41, and the inlet port 42
(First port) is open. A screw hole 43 for connection, which is continuous with the inlet port 42, is formed at the upper end of the obstructer 31, and the pipe forming the above-mentioned auxiliary passage 9 is connected to this screw hole 43.

【００１５】支持プレート１０の上面には、上記ハウジ
ング３０の筒３１の軸芯と一致した位置に弁座４５（第
２弁座）が形成されており、この弁座４５には出口ポー
ト４６（第２ポート）が開口している。この出口ポート
４６は、支持プレート１０を貫通し、ブロックＢに形成
されたエア通路１の分岐路１ａ（１ｂ）に連通してい
る。また、支持プレート１０の上面には、上記筒３１の
内側で弁座４５から離れた位置に、検圧ポート４７が開
口している。この検出ポート４７は、支持プレート１０
を貫通し、ブロックＢに形成された検圧通路６ａ（６
ｂ）の一部を介して差圧センサ７に連通している。A valve seat 45 (second valve seat) is formed on the upper surface of the support plate 10 at a position coinciding with the axis of the cylinder 31 of the housing 30. The valve seat 45 has an outlet port 46 ( The second port) is open. The outlet port 46 penetrates the support plate 10 and communicates with the branch passage 1a (1b) of the air passage 1 formed in the block B. Further, on the upper surface of the support plate 10, a pressure detection port 47 is opened inside the cylinder 31 at a position apart from the valve seat 45. The detection port 47 is provided on the support plate 10
Of the pressure sensing passage 6a (6
It communicates with the differential pressure sensor 7 through a part of b).

【００１６】上記ハウジング３０には、弁体５０がハウ
ジング３０の軸方向にスライド移動可能に収容されてい
る。この弁体５０は非磁性例えばステンレス製で円筒形
状の筒５１と、この筒５１の上下端の開口を塞ぐゴム製
のシール部材５２，５３とを有しており、中空をなして
いる。シール部材５２，５３はそれぞれ上述した弁座４
１，４５に対峙しており、弁体５０の移動により、これ
ら弁座４１，４５に着座したり離れたりするようになっ
ている。弁体５０の筒５１の外径は、ハウジング３０の
筒３１の内径より僅かに小さく、両者の間にはエアを通
すための隙間５５が形成されている。A valve body 50 is housed in the housing 30 so as to be slidable in the axial direction of the housing 30. The valve body 50 has a non-magnetic cylinder 51 made of, for example, stainless steel and has a cylindrical shape, and rubber seal members 52 and 53 that close the openings at the upper and lower ends of the cylinder 51, and are hollow. The seal members 52 and 53 are respectively the valve seats 4 described above.
1 and 45, the valve body 50 is moved so as to be seated on or away from the valve seats 41 and 45. The outer diameter of the cylinder 51 of the valve body 50 is slightly smaller than the inner diameter of the cylinder 31 of the housing 30, and a gap 55 for passing air is formed between them.

【００１７】上記弁体５０内には、マグネットアッセン
ブリ６０が弁体５０の軸方向にスライド可能に収容され
ている。このマグネットアッセンブリ６０は、円柱形状
のマグネット６１（第１マグネット）と、このマグネッ
ト６１の上下に接するか固定された鉄製の円柱形状の磁
路構成部材６２，６３とを有している。本実施例では、
マグネット６１の上端がＮ極で下端がＳ極となってい
る。A magnet assembly 60 is housed in the valve body 50 so as to be slidable in the axial direction of the valve body 50. The magnet assembly 60 includes a columnar magnet 61 (first magnet) and iron columnar magnetic path constituting members 62 and 63 which are in contact with or fixed to the top and bottom of the magnet 61. In this embodiment,
The upper end of the magnet 61 is an N pole and the lower end is an S pole.

【００１８】上記弁体５０のシール部材５２，５３とマ
グネットアッセンブリ６０との間には、それぞれ一対の
圧縮コイルスプリング６５，６６が介在されており、こ
のコイルスプリング６５，６６により、マグネットアッ
センブリ６０が支持されている。なお、弁体５０内に
は、さらにシール部材５２，５３に接するようにして配
置され上記コイルスプリング６５，６６の一端を受ける
ばね受け６７，６８が収容されており、これらばね受け
６７，６８に形成された凸部６７ａ，６８ｂは、マグネ
ットアッセンブリ６０の移動を規制するストッパとして
働く。A pair of compression coil springs 65 and 66 are interposed between the seal members 52 and 53 of the valve body 50 and the magnet assembly 60, and the coil springs 65 and 66 form the magnet assembly 60. It is supported. In addition, in the valve body 50, spring receivers 67 and 68 which are arranged so as to be in contact with the seal members 52 and 53 and which receive one ends of the coil springs 65 and 66 are accommodated. The formed protrusions 67a and 68b act as stoppers that restrict the movement of the magnet assembly 60.

【００１９】上記ハウジング３０の筒３１の外周には、
この筒３１を囲むようにして円環状のマグネットアッセ
ンブリ７０が配置されている。このマグネットアッセン
ブリ７０は、円環状のマグネット７１（第２マグネッ
ト）と、このマグネット７１の上下に接するか固定され
た鉄製の円環状の磁路構成部材７２，７３とを有してい
る。このマグネットアッセンブリ７０は、非磁性の支持
ケーシング８０に収容されて支持されている。この支持
ケーシング８０は、上端が開口した筒部８１と、この筒
部８１の下端に形成された環状のフランジ８２とを有し
ている。筒部８１の上端近傍の内周には環状の溝８１ａ
が形成されており、筒部８１の外周にも環状の溝８１ｂ
が形成されている。上記マグネットアッセンブリ７０
は、フランジ８２に載るようにして、支持ケーシング８
０に収容されており、環状溝８１ａに嵌め込まれたＣリ
ング８５によりスペーサ８６を介して支持されている。
これらＣリング８５，スペーサ８６は非磁性材料からな
る。本実施例では、マグネット７１は上記マグネット６
１と同様に、上端がＮ極で下端がＳ極となっている。上
記支持ケーシング８０はマグネットアッセンブリ７０を
収容した状態で、前述したアクチュエータ２０によりハ
ウジング３０の軸方向に移動されるようになっている。On the outer circumference of the cylinder 31 of the housing 30,
An annular magnet assembly 70 is arranged so as to surround the cylinder 31. The magnet assembly 70 includes an annular magnet 71 (second magnet) and iron annular magnetic path constituent members 72, 73 that are in contact with or fixed to the upper and lower sides of the magnet 71. The magnet assembly 70 is housed and supported in a non-magnetic support casing 80. The support casing 80 has a tubular portion 81 whose upper end is open and an annular flange 82 formed at the lower end of the tubular portion 81. An annular groove 81a is formed on the inner periphery near the upper end of the tubular portion 81.
Is formed, and an annular groove 81b is also formed on the outer periphery of the tubular portion 81.
Are formed. The above magnet assembly 70
Is mounted on the flange 82 so that the support casing 8
0, and is supported by a C ring 85 fitted in the annular groove 81a via a spacer 86.
The C ring 85 and the spacer 86 are made of a non-magnetic material. In this embodiment, the magnet 71 is the magnet 6 described above.
Similar to 1, the upper end is the N pole and the lower end is the S pole. The support casing 80 is configured to be moved in the axial direction of the housing 30 by the actuator 20 while the magnet assembly 70 is accommodated therein.

【００２０】図３に詳細に示されるように、上記アクチ
ュエータ２０は、サーボモータ２１を備えている。この
サーボモータ２１は台２２に載置されており、この台２
２は、支柱２３より支持プレート１０に支持されてい
る。さらに、アクチュエータ２０は、カム機構２４を備
えている。このカム機構２４は、サーボモータ２１の出
力軸に固定された円筒形状のカム部材２５と、このカム
部材２５の下方に配置された円筒形状のフォロア２６と
を有している。カム部材２５の下面とフォロア２６の上
面には、互いに接する傾斜面２５ａ，２６ａが形成され
ている。フォロア２６の下端からはシャフト部２６ｘが
下方に向かって延びており、このシャフト部２６ｘは支
持プレート１０の中央に貫通固定された支持筒２７にス
ライド可能に収容されている。また、フォロア２６の下
面には、連携板２８（連携部材）の中央部が固定されて
いる。上記シャフト部２６ｘは連携板２８を貫通してい
る。支持筒２７の外周に形成された鍔部２７ａと連携板
２８との間には圧縮コイルスプリング２９が介在されて
いる。このコイルスプリング２９の力により、フォロア
２６は上方に付勢されてカム部材２５に常時接し、カム
部材２５の回動に応じて上下動するようになっている。As shown in detail in FIG. 3, the actuator 20 includes a servo motor 21. The servo motor 21 is mounted on a table 22.
The column 2 is supported by the support plate 10 by the columns 23. Further, the actuator 20 includes a cam mechanism 24. The cam mechanism 24 has a cylindrical cam member 25 fixed to the output shaft of the servo motor 21, and a cylindrical follower 26 arranged below the cam member 25. On the lower surface of the cam member 25 and the upper surface of the follower 26, inclined surfaces 25a and 26a contacting each other are formed. A shaft portion 26x extends downward from the lower end of the follower 26, and the shaft portion 26x is slidably accommodated in a support cylinder 27 that is fixed through the center of the support plate 10. Further, the center portion of the cooperation plate 28 (cooperation member) is fixed to the lower surface of the follower 26. The shaft portion 26x penetrates the cooperation plate 28. A compression coil spring 29 is interposed between the collar plate 27 a formed on the outer circumference of the support cylinder 27 and the cooperation plate 28. The follower 26 is urged upward by the force of the coil spring 29 so as to be in constant contact with the cam member 25, and move up and down in response to the rotation of the cam member 25.

【００２１】上記連携板２８は、一対の２又のフォーク
部２８ａを有しており、このフォーク部２８ａが三方弁
８Ａ，８Ｂの支持ケーシング８０の環状溝８１ｂに嵌ま
り込んでおり、その結果、上記支持ケーシング８０が連
携板２８に伴って移動するようになっている。The cooperation plate 28 has a pair of forked portions 28a, and the forked portions 28a are fitted in the annular grooves 81b of the support casings 80 of the three-way valves 8A and 8B, and as a result, The support casing 80 moves along with the cooperation plate 28.

【００２２】図３の状態では、カム機構２４のフォロア
２６は最も上の位置にあり、三方弁８Ａ，８Ｂの支持ケ
ーシング８０も上側の所定位置にある。そのため、三方
弁８Ａ，８Ｂはともに図２の状態にある。アクチュエー
タ２０のモータ２１が図２において矢印方向に回転する
と、カム機構２４のカム部材２５が同方向に所定角度回
転することにより、フォロア２６は下方に移動して最も
下の位置になる。その結果、連携板２８を介して支持ケ
ーシング８０が下側の所定位置に至り、三方弁８Ａ，８
Ｂはともに図１の状態になる。この状態から、モータ２
１が図の矢印とは逆方向に回転すれば、フォロア２６が
上方に移動して、三方弁８Ａ，８Ｂはともに図２の状態
になる。このように、１つのアクチュエータ２０によ
り、２つの三方弁８Ａ，８Ｂが同期制御される。In the state shown in FIG. 3, the follower 26 of the cam mechanism 24 is at the uppermost position, and the support casings 80 of the three-way valves 8A and 8B are also at the upper predetermined positions. Therefore, the three-way valves 8A and 8B are both in the state shown in FIG. When the motor 21 of the actuator 20 rotates in the direction of the arrow in FIG. 2, the cam member 25 of the cam mechanism 24 rotates in the same direction by a predetermined angle, so that the follower 26 moves downward to the lowest position. As a result, the support casing 80 reaches the predetermined position on the lower side via the cooperation plate 28, and the three-way valves 8A, 8
Both B are in the state shown in FIG. From this state, the motor 2
When 1 rotates in the direction opposite to the arrow in the figure, the follower 26 moves upward, and the three-way valves 8A and 8B both enter the state shown in FIG. In this way, one actuator 20 synchronously controls the two three-way valves 8A and 8B.

【００２３】次に、支持ケーシング８０の移動に伴う三
方弁８Ａ，８Ｂの作用について詳述する。図１の状態で
は、弁体５０のシール部材５３が弁座４５に着座してい
るため、出口ポート４６が閉じている。他方、弁体５０
のシール部材５３が弁座４１から離れているので、入口
ポート４２は開いている。その結果、検圧ポート４７
は、出口ポート４６から遮断され、入口ポート４２と隙
間５５を介して連通している。図１の状態では第２マグ
ネットアッセンブリ７０は第１マグネットアッセンブリ
６０より上方に配置されており、両者の磁力の反発によ
り、第１マグネットアッセンブリ６０は下方に付勢さ
れ、コイルスプリング６６を介して弁体５０が下方に付
勢され、シール部材５３が所定の圧力をもって弁座４５
に着座している。Next, the operation of the three-way valves 8A and 8B associated with the movement of the support casing 80 will be described in detail. In the state of FIG. 1, the seal member 53 of the valve body 50 is seated on the valve seat 45, so the outlet port 46 is closed. On the other hand, the valve body 50
The inlet port 42 is open because the seal member 53 of 1 is separated from the valve seat 41. As a result, the pressure detection port 47
Are blocked from the outlet port 46 and communicate with the inlet port 42 through the gap 55. In the state shown in FIG. 1, the second magnet assembly 70 is disposed above the first magnet assembly 60, and the repulsion of the magnetic forces of the two causes the first magnet assembly 60 to be urged downward, and the valve spring 70 The body 50 is urged downward, and the seal member 53 exerts a predetermined pressure on the valve seat 45.
Seated in.

【００２４】図１の状態において、支持ケーシング８０
が下方に移動されると、両マグネットアッセンブリ６
０，７０の反発がより強くなり、一時的に第１マグネッ
トアッセンブリ６０の下方への付勢力が強まり、シール
部材５３の弁座４５に対する着座圧力が増大する。やが
て、第２マグネットアッセンブリ７０が第１マグネット
アッセンブリ６０と同一高さになり、それより若干下方
まで移動すると、上記の強い反発力が第１マグネットア
ッセンブリ６０を上方へ付勢する力となって働き、弁体
５０は瞬時にして上方に移動し、弁座４５からリフトし
弁座４１に着座する。その結果、図２の状態になり、検
圧ポート４７は入口ポート４２から遮断され出口ポート
４６と連通する。この図２の状態では、第２マグネット
アッセンブリ７０は第１マグネットアッセンブリ６０よ
り下方に位置することになる。In the state of FIG. 1, the support casing 80
Is moved downward, both magnet assemblies 6
The repulsion of 0 and 70 becomes stronger, the downward biasing force of the first magnet assembly 60 becomes stronger temporarily, and the seating pressure of the seal member 53 on the valve seat 45 increases. Eventually, when the second magnet assembly 70 reaches the same height as the first magnet assembly 60 and moves a little below it, the strong repulsive force acts as a force for urging the first magnet assembly 60 upward. The valve body 50 instantaneously moves upward, lifts from the valve seat 45, and sits on the valve seat 41. As a result, the state shown in FIG. 2 is reached, and the pressure detection port 47 is blocked from the inlet port 42 and communicates with the outlet port 46. In the state of FIG. 2, the second magnet assembly 70 is located below the first magnet assembly 60.

【００２５】図２の状態において、支持ケーシング８０
が上方に移動されると、上記と同様に両マグネットアッ
センブリ６０，７０の反発がより強くなり、一時的にシ
ール部材５２の弁座４１に対する着座圧力が増大する。
やがて、第２マグネットアッセンブリ７０が第１マグネ
ットアッセンブリ６０と同一高さになり、それより若干
上方まで移動すると、上記の強い反発力が第１マグネッ
トアッセンブリ６０を下方へ付勢する力となって働き、
弁体５０は瞬時にして下方に移動し、弁座４１からリフ
トし弁座４５に着座する。その結果、図１の状態に戻
る。In the state of FIG. 2, the support casing 80
Is moved upward, the repulsion of both magnet assemblies 60, 70 becomes stronger similarly to the above, and the seating pressure of the seal member 52 against the valve seat 41 temporarily increases.
Eventually, when the second magnet assembly 70 reaches the same height as the first magnet assembly 60 and moves a little higher than that, the strong repulsive force acts as a force for urging the first magnet assembly 60 downward. ,
The valve body 50 instantly moves downward, lifts from the valve seat 41, and sits on the valve seat 45. As a result, the state shown in FIG. 1 is restored.

【００２６】上述したように、弁体６０は、マグネット
アッセンブリ６０，７０間の磁気作用で移動するので、
発熱部がなく、ハウジング３０内でのエア加熱に起因し
たエア圧への悪影響を排除できる。本実施例では、マグ
ネット６１，７１の上端が同じ極例えばＮ極をなし、マ
グネット６１，７１の下端がＳ極をなしていて、磁力の
反発を利用して弁体５０の移動を行うため、上述したよ
うに弁体５０を瞬時に移動させることができるととも
に、マグネット６１，７１の移動ストロークは、弁体５
０の移動ストロークより若干長くするだけで済む。ま
た、第１マグネットアッセンブリ６１の移動がコイルス
プリング６５，６６を介して弁体５０に伝達されるの
で、弁体５０が弁座４１，４５へ着座する時の衝撃を緩
和することができる。As described above, since the valve body 60 moves by the magnetic action between the magnet assemblies 60 and 70,
Since there is no heat generating portion, it is possible to eliminate the adverse effect on the air pressure due to the air heating in the housing 30. In the present embodiment, the upper ends of the magnets 61 and 71 form the same pole, for example, the N pole, and the lower ends of the magnets 61 and 71 form the S pole. Since the repulsion of magnetic force is used to move the valve body 50, As described above, the valve body 50 can be instantaneously moved, and the movement strokes of the magnets 61 and 71 are determined by the valve body 5
It only needs to be slightly longer than the zero stroke. Further, since the movement of the first magnet assembly 61 is transmitted to the valve body 50 via the coil springs 65 and 66, it is possible to reduce the impact when the valve body 50 is seated on the valve seats 41 and 45.

【００２７】図４のリークテスタでの三方弁４も、図
１，図２に示す上記三方弁８Ａ，８Ｂの構成と同じであ
るから説明を省略する。なお、この三方弁４は、上記ア
クチュエータ２０と似た他のアクチュエータにより駆動
される。また、図４の二方弁５Ａ，５Ｂも図１，図２と
似た構造をもっている。ただし、図１の符号４２，４６
で示すポートのうちいずれか一方が削除される。これら
２つの二方弁５Ａ，５Ｂは図３のアクチュエータ２０と
同一構成の他のアクチュエータで制御することができ
る。なお、リークテスタにおいて、上記三方弁４，二方
弁５Ａ，５Ｂは通常で電磁弁であってもよい。The three-way valve 4 in the leak tester shown in FIG. 4 has the same structure as the three-way valves 8A and 8B shown in FIGS. The three-way valve 4 is driven by another actuator similar to the actuator 20. The two-way valves 5A and 5B shown in FIG. 4 also have a structure similar to that shown in FIGS. However, reference numerals 42 and 46 in FIG.
Either one of the ports indicated by is deleted. These two two-way valves 5A and 5B can be controlled by another actuator having the same structure as the actuator 20 of FIG. In the leak tester, the three-way valve 4 and the two-way valve 5A, 5B may normally be solenoid valves.

【００２８】本発明は上記実施例に制約されず、種々の
態様が可能である。例えば、第１マグネット６１と第２
マグネット７２は磁極の向きが逆であってもよい。ただ
し、この場合には、上記実施例に比べて弁体５０の移動
に要する第２マグネット７２の移動ストロークが長くな
る。磁路構成部材６１，６２，７１，７２は省略しても
よい。また、弁体５０内のコイルスプリング６５，６６
を省略してマグネット６１を筒５１に固定してもよい。The present invention is not limited to the above embodiment, but various modes are possible. For example, the first magnet 61 and the second magnet
The magnets 72 may have opposite magnetic poles. However, in this case, the movement stroke of the second magnet 72 required to move the valve body 50 becomes longer than that in the above-described embodiment. The magnetic path constituting members 61, 62, 71, 72 may be omitted. In addition, the coil springs 65, 66 in the valve body 50
The magnet 61 may be omitted and the magnet 61 may be fixed to the cylinder 51.

【００２９】[0029]

【発明の効果】請求項１では、マグネットを利用するこ
とにより、弁体移動時に発熱が伴わず、ハウジング内を
通る流体に熱を付与することがない。請求項２では、安
定した弁体の移動を行うことができる。請求項３では、
弁体の移動が円滑となり、しかも弁体の構成を簡略化す
ることができる。請求項４では、弁体が弁座へ着座する
際の衝撃力を弱めて、安定した着座を行うことができ
る。 請求項５では、弁体の迅速な移動が可能となり、また、
弁体移動に際して第２マグネットの移動ストロークが短
くて済む。請求項６では、三方弁について、上記請求項
１，２，３の効果が得られる。請求項７では、共通の駆
動手段を用いることにより、簡単な構成でありながら、
複数の弁を確実に同期制御することができる。According to the first aspect of the present invention, since the magnet is used, heat is not generated when the valve body is moved, and heat is not applied to the fluid passing through the housing. According to the second aspect, the valve body can be moved stably. In claim 3,
The movement of the valve body becomes smooth, and the structure of the valve body can be simplified. According to the fourth aspect, the impact force when the valve body is seated on the valve seat is weakened, and stable seating can be performed. According to claim 5, the valve body can be moved quickly, and
The movement stroke of the second magnet is short when the valve body is moved. In the sixth aspect, the effects of the first, second, and third aspects are obtained for the three-way valve. According to the seventh aspect, by using the common driving means, the structure is simple,
A plurality of valves can be reliably controlled synchronously.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図１】本発明に係る三方弁の第１の状態を示す断面図
である。FIG. 1 is a sectional view showing a first state of a three-way valve according to the present invention.

【図２】本発明に係る三方弁の第２の状態を示す断面図
である。FIG. 2 is a sectional view showing a second state of the three-way valve according to the present invention.

【図３】上記三方弁を含む弁装置を部分的に断面にして
示す正面図である。FIG. 3 is a front view showing a partial cross section of a valve device including the three-way valve.

【図４】上記三方弁および弁装置を用いたエアリークテ
スタを示すシステム図である。FIG. 4 is a system diagram showing an air leak tester using the three-way valve and the valve device.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

８Ａ，８Ｂ … 三方弁 ２０ … アクチュエータ（駆動手段） ３０ … ハウジング ３１ … 筒 ４１ … 第１弁座 ４２ … 入口ポート（第１ポート） ４５ … 第２弁座 ４６ … 出口ポート（第２ポート） ４７ … 検圧ポート（第３ポート） ５０ … 弁体 ５１ … 筒 ６１ … 第１マグネット ６５，６６ … コイルスプリング ７１ … 第２マグネット 8A, 8B ... Three-way valve 20 ... Actuator (driving means) 30 ... Housing 31 ... Cylinder 41 ... First valve seat 42 ... Inlet port (first port) 45 ... Second valve seat 46 ... Outlet port (second port) 47 ... Pressure detection port (third port) 50 ... Valve body 51 ... Tube 61 ... First magnet 65, 66 ... Coil spring 71 ... Second magnet

Claims (7)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項１】（イ）非磁性の部位を有するハウジング
と、（ロ）上記ハウジング内に移動可能に収容された弁
体と、（ハ）上記弁体の移動方向の少なくとも一方側に
配置された弁座と、（ニ）上記弁座に形成されたポート
と、 を備えた弁において、さらに、（ホ）上記弁体に装着さ
れた第１マグネットと、（ヘ）上記ハウジング外に配置
された第２マグネットと、（ト）上記第２マグネットを
移動させることにより、第２マグネットと第１マグネッ
トとの間の磁気作用で上記弁体を移動させて、この弁体
を上記弁座に対して着座させたりリフトさせる駆動手段
と、 を備えたことを特徴とする弁。1. A housing having a non-magnetic portion; (b) a valve body movably accommodated in the housing; and (c) disposed on at least one side in the moving direction of the valve body. A valve seat, (d) a port formed in the valve seat, and (e) a first magnet mounted on the valve body, and (f) disposed outside the housing. By moving the second magnet and (g) the second magnet, the valve body is moved by the magnetic action between the second magnet and the first magnet, and the valve body is moved relative to the valve seat. A valve characterized by comprising a drive means for seating and lifting the seat. 【請求項２】 上記ハウジングが非磁性の筒を有してお
り、上記第２マグネットがこのハウジングを囲むリング
形状をなしており、上記第１，第２マグネットおよび上
記弁体が、ハウジングの軸方向に移動することを特徴と
する請求項１に記載の弁。2. The housing has a non-magnetic cylinder, the second magnet has a ring shape surrounding the housing, and the first and second magnets and the valve body are shafts of the housing. The valve according to claim 1, wherein the valve moves in a direction. 【請求項３】 上記弁体が、上記ハウジングの筒に対し
てスライドする非磁性の筒を有し、この筒内に上記第１
マグネットが収容されていることを特徴とする請求項２
に記載の弁。3. The valve body has a non-magnetic cylinder that slides with respect to the cylinder of the housing, and the first magnet is provided in the cylinder.
3. A magnet is housed in the housing.
Valve described in. 【請求項４】 上記第１マグネットは、上記弁体の筒に
スライド可能に収容されるとともに、弁体の筒の両端部
に設けられた一対のコイルスプリングにより支持されて
いることを特徴とする請求項３に記載の弁。4. The first magnet is slidably accommodated in the cylinder of the valve body and is supported by a pair of coil springs provided at both ends of the cylinder of the valve body. The valve according to claim 3. 【請求項５】 上記第１マグネットと第２マグネット
は、ともに、弁体の移動方向の一方側の端部にＮ極を有
し、他方側の端部にＳ極を有していることを特徴とする
請求項１〜４のいずれかに記載の弁。5. The first magnet and the second magnet both have an N pole at one end in the moving direction of the valve body and an S pole at the other end. The valve according to any one of claims 1 to 4, which is characterized. 【請求項６】（イ）非磁性の筒を有するハウジングと、
（ロ）上記ハウジングに径方向の隙間を有して収容され
る非磁性の筒を有し、ハウジングの軸方向に移動可能な
弁体と、（ハ）上記ハウジングの筒の両端にそれぞれ配
置された第１，第２の弁座と、（ニ）上記第１，第２の
弁座にそれぞれ形成された第１，第２のポートと、
（ホ）上記ハウジング内の空間に臨む第３のポートと、
（ヘ）上記弁体の筒内に収容された第１マグネットと、
（ト）上記ハウジング外に配置された第２マグネット
と、（チ）上記第２マグネットをハウジングの軸方向に
移動させることにより、第２マグネットと第１マグネッ
トとの間の磁気作用で弁体を移動させて、この弁体を第
１，第２弁座のいずれか一方に着座させ、他方の弁座か
らリフトさせることにより、この他方の弁座のポートを
上記第３ポートに連通させる駆動手段と、 を備えたことを特徴とする三方弁。6. A housing having a non-magnetic cylinder,
(B) A valve body that has a non-magnetic cylinder housed in the housing with a radial gap and is movable in the axial direction of the housing, and (c) is arranged at both ends of the cylinder of the housing. First and second valve seats, and (d) first and second ports respectively formed on the first and second valve seats,
(E) A third port facing the space inside the housing,
(F) a first magnet housed in the cylinder of the valve body,
(G) By moving the second magnet arranged outside the housing and (h) moving the second magnet in the axial direction of the housing, the valve body is moved by the magnetic action between the second magnet and the first magnet. Driving means that moves the valve body to seat it on one of the first and second valve seats and lift it from the other valve seat to connect the port of the other valve seat to the third port. And a three-way valve. 【請求項７】 請求項１〜５のいずれかの弁または請求
項６の三方弁を複数備え、これら弁の第２マグネットを
共通の駆動手段に連携したことを特徴とする弁装置。7. A valve device comprising a plurality of valves according to any one of claims 1 to 5 or a plurality of three-way valves according to claim 6, and a second magnet of these valves being linked to a common drive means.