JPH0883932A - 限流素子 - Google Patents

限流素子

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JPH0883932A
JPH0883932A JP6216024A JP21602494A JPH0883932A JP H0883932 A JPH0883932 A JP H0883932A JP 6216024 A JP6216024 A JP 6216024A JP 21602494 A JP21602494 A JP 21602494A JP H0883932 A JPH0883932 A JP H0883932A
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Japan
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current limiting
limiting element
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less
superconductor
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JP6216024A
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English (en)
Inventor
Shigeru Okuda
繁 奥田
Noriyuki Yoshida
典之 葭田
Norikata Hayashi
憲器 林
Kozo Fujino
剛三 藤野
Chikushi Hara
築志 原
Hideo Ishii
英雄 石井
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sumitomo Electric Industries Ltd
Tokyo Electric Power Company Holdings Inc
Original Assignee
Tokyo Electric Power Co Inc
Sumitomo Electric Industries Ltd
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    • Y02EREDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
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    • Y02E40/60Superconducting electric elements or equipment; Power systems integrating superconducting elements or equipment

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  • Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
  • Containers, Films, And Cooling For Superconductive Devices (AREA)
  • Emergency Protection Circuit Devices (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 イットリウム系酸化物超電導体とその安定化
および保護のための被膜とを有する限流素子において、
限流時により高い抵抗率を有する素子を提供する。 【構成】 イットリウム系酸化物超電導体からなる限流
作用部3と、イットリウム系酸化物超電導体を覆いかつ
安定化材からなる保護膜4とを備える限流素子1におい
て、安定化材は、銀とそれ以外のイットリウム系酸化物
超電導体に対して不活性な金属とからなる材料であり、
銀よりも高い比抵抗を有する。このAg複合材料を構成
する金属成分として、Y、Cu、Ba、Au、Pt、I
n等が用いられる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、超電導状態から常電導
状態への転移時に発生する抵抗により短絡電流を抑制す
る限流素子に関し、特に、イットリウム系酸化物超電導
体を用いた限流素子に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、短絡電流を抑制する装置として、
限流リアクトル等が用いられているが、限流性能が不十
分であり、負荷運転時の電圧降下が大きいという欠点が
ある。このような欠点を克服する装置として、通常の負
荷運転時は無抵抗である一方、異常な大電流を速やかに
抑制することが可能な、超電導体を用いた限流素子が注
目を集めている。
【0003】超電導体を用いた限流素子は、臨界電流以
上の短絡電流が流れた場合、超電導が破れ抵抗が発生す
ることで限流を行なう。超電導体には、たとえば酸化物
超電導体であるY1 Ba2 Cu3 7 (YBCO)が用
いられる。
【0004】酸化物超電導体は、固相、液相および気相
のいずれからでも形成することができる。YBCOの場
合、単結晶基板上に気相からエピタキシャル成長させる
ことによって、固相や液相から形成される超電導材料よ
りも結晶性がよく、高い臨界電流密度を有する超電導薄
膜を得ることができる。このようなYBCO薄膜上に、
超電導体の安定化および環境に対する保護のため、Ag
を堆積して限流素子を構成することができる。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うなAgの保護膜を有する限流素子は、Agの高い導電
率のため、時に限流素子として十分な抵抗が得られない
ことがあった。
【0006】本発明の目的は、イットリウム系酸化物超
電導体と、その安定化および保護のための被膜とを有す
る限流素子において、限流時に従来より高い抵抗率を実
現することができるものを提供することにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】本発明者は、イットリウ
ム系酸化物超電導体に対し、安定化材および保護材とし
て十分な機能を備え、かつ限流に際してより高い抵抗率
を与えることができる材料について鋭意検討を進めてき
た結果、本発明を完成するに至った。
【0008】本発明に従う限流素子は、超電導状態から
常電導状態への転移時に発生する抵抗により短絡電流を
抑制する素子であって、イットリウム系酸化物超電導体
からなる限流作用部と、イットリウム系酸化物超電導体
を覆い、かつ安定化材からなる保護膜とを備え、上記安
定化材が、銀とそれ以外のイットリウム系酸化物超電導
体に対して不活性な金属とからなる材料であり、かつ銀
よりも高い比抵抗を有することを特徴とする。
【0009】本発明において安定化材は、20重量%以
下のYとAgとからなる材料、15重量%以下のBaと
Agとからなる材料、5重量%以下のCuとAgとから
なる材料、6重量%以下のAuとAgとからなる材料、
6重量%以下のPtとAgとからなる材料、5重量%以
下のInとAgとからなる材料、およびそれらの組合わ
せからなる群から選択することができる。これらの複合
材料は、合金または化合物とすることができる。
【0010】安定化材としてこのような複合材料を用い
た場合、Y、Ba、Cu、Au、PtおよびInは、そ
れぞれY系酸化物超電導体に対して実質的に不活性であ
り、かつ添加によってAgの抵抗率の増加を引起こす。
【0011】Yは20重量%以下、好ましくは0.1〜
20重量%、より好ましくは1〜20重量%の添加によ
って、Agの抵抗率を顕著に上昇させることができ、し
かもこの範囲内において、Y系材料の超電導特性を劣化
させることもない。この範囲のYを含むAg複合材料
は、Y系超電導材料を十分効果的に安定化できる。一
方、Yを20重量%を超えて添加すると、限流素子の製
造に際し必要な熱処理において添加元素の移行により、
Y系酸化物超電導体の組成ずれを引起こすおそれが生じ
る。組成ずれは超電導特性の劣化につながる。
【0012】Baは15重量%以下、好ましくは0.1
〜15重量%、より好ましくは1〜15重量%の添加に
よって、Agの抵抗率を顕著に上昇させることができ、
しかも、この範囲内においてY系材料の超電導特性を劣
化させることもない。この範囲のBaを含む複合材料
は、Y系超電導材料を十分効果的に安定化できる。一
方、Baを15重量%を超えて添加すると、限流素子の
製造に際し必要な熱処理において添加元素の移行によ
り、Y系酸化物超電導体の組成ずれを引起こすおそれが
生じる。組成ずれは超電導特定の劣化につながる。
【0013】Cuは5重量%以下、好ましくは0.1〜
5重量%、より好ましくは1〜5重量%の添加によっ
て、Agの抵抗率を顕著に上昇させることができ、しか
も、この範囲内においてY系材料の超電導特性を劣化さ
せることもない。この範囲のCuを含む複合材料は、Y
系超電導材料を十分効果的に安定化できる。一方、Cu
を5重量%を超えて添加すると、限流素子の製造に際し
必要な熱処理において添加元素の移行により、Y系酸化
物超電導体の組成ずれを引起こすおそれが生じる。組成
ずれは超電導特定の劣化につながる。
【0014】Auは6重量%以下、好ましくは0.1〜
6重量%、より好ましくは1〜6重量%添加することが
できる。添加により、限流素子の常電導時における抵抗
率を顕著に上昇させることができる。しかも、この範囲
内において超電導特性を劣化させることもない。この範
囲のAuを含む複合材料は、超電導材料を十分効果的に
安定化する。一方、Auを6重量%を超えて添加する
と、限流素子の製造に際し必要な熱処理において添加元
素が移行し、Y系酸化物超電導体の組成ずれを引起こす
おそれが生じる。
【0015】Ptは6重量%以下、好ましくは0.1〜
6重量%、より好ましくは1〜6重量%添加することが
できる。この添加により限流素子の常電導時における抵
抗率を顕著に上昇させることができる。またこの範囲内
において安定化材からなる保護膜はY系材料の超電導特
性を劣化させることもない。この範囲のPtを含む複合
材料は、Y系超電導材料を十分効果的に安定化する。一
方、Ptを6重量%を超えて添加すると、限流素子の製
造に際し必要な熱処理において添加元素が移行し、Y系
酸化物超電導体の組成ずれを引起こすおそれが生じる。
【0016】Inは5重量%以下、好ましくは0.1〜
5重量%、より好ましくは1〜5重量%の添加によっ
て、Agの抵抗率を顕著に上昇させることができる。こ
の範囲内において、安定化材からなる保護膜はY系材料
の超電導特性を劣化させることもない。この範囲のIn
を含む複合材料は、Y系超電導材料を十分効果的に安定
化できる。一方、Inを5重量%を超えて添加すると、
限流素子の製造に際し必要な熱処理において添加元素の
移行により、Y系酸化物超電導体の組成ずれを引起こす
おそれが生じる。
【0017】保護膜の厚みは、超電導体の厚みに応じて
安定化および環境に対する保護のため、適宜設定するこ
とができる。保護膜は超電導体よりも薄いことが望まし
いが、超電導体よりも厚く形成してもよい。超電導体よ
りも厚い保護膜を形成する場合、超電導体の厚みの50
倍を超えない範囲で保護膜の厚みを設定することが望ま
しい。保護膜は、たとえばスパッタ法等により酸化物超
電導体上に蒸着することができる。
【0018】本発明においてイットリウム系酸化物超電
導体には、Y1 Ba2 Cu3 7-Y(0≦Y≦1)を好
ましく用いることができる。またこの材料の他、Y1-X
Tb X Ba2 Cu3 7 (X=0.05〜0.5)、Y
1-X PrX Ba2 Cu3 7(X=0.01〜0.
1)、Y1 Ba2 Cu3-X FeX 7 (X=0.01〜
0.1)、Y1 Ba2 Cu3-X CrX 7 (X=0.0
1〜0.2)等の組成を有する常電導状態においてより
抵抗の高い材料を用いることもできる。
【0019】イットリウム系酸化物超電導体は、MgO
等の電気絶縁材からなる単結晶基板上にエピタキシャル
成長させることができる。エピタキシャル成長には、レ
ーザアブレーション等の蒸着法が用いられる。エピタキ
シャル成長により、高い臨界電流密度を有する単結晶性
の超電導薄膜が得られる。Y系超電導体の厚みは限流素
子として所望する性能に応じ適宜設定される。
【0020】本発明に従う素子は、たとえば次の工程を
経て製造することができる。まず、MgO単結晶等の電
気絶縁性基板を準備し、その上にY系酸化物超電導体の
膜を堆積させる。この膜はレーザアブレーション等の蒸
着により堆積させることができる。次いで、その上に上
述した複合材料からなる保護膜をスパッタ法等によって
堆積させる。必要に応じ、この上にレジストパターンを
形成し、エッチングにより積層膜を所望の形状にする。
以上の工程により、超電導体が保護膜で覆われた限流素
子を形成することができる。
【0021】
【発明の作用効果】本発明によれば、以下の実施例に示
すとおり、優れた限流特性を有する素子を提供すること
ができる。本発明の素子は、従来の銀からなる保護膜を
有するものより、常電導状態において高い比抵抗を示
し、短絡電流をより抑制することができる。一方、本発
明の素子は、銀の保護膜を有するものと同様に超電導状
態を安定に保持することができる。このように本発明
は、超電導体を安定化する構造において、より抵抗の高
い限流素子を実現するものである。
【0022】
【実施例】
実施例1 以下に示すようにY1 Ba2 Cu3 7-Y (0≦Y≦
1)の組成を有する酸化物超電導体を使用し、その上に
安定化および保護のための層を付与した限流素子を作製
した。
【0023】まず、MgO単結晶基板の(110)面上
に、Y1 Ba2 Cu3 7-Y 酸化物超電導膜をレーザア
ブレーション法により厚さ1.5μmで形成した。次い
で、表1に示すような組成で、0.5μmの厚さの保護
膜をスパッタ法により形成した。すなわち、Agからな
る保護膜(比較例)、AgとYとからなる保護膜でYを
それぞれ2、4、6、8または12重量%含む保護膜
(本発明例)をそれぞれスパッタ法により堆積した。次
に、フォトリソグラフィを用いて保護膜上にレジストパ
ターンを形成した後、エッチングにより保護膜および超
電導体膜を所望の形状にした。
【0024】図1は、このようにして作製された限流素
子を示す斜視図である。図1を参照して、限流素子1
は、MgO単結晶基板2と、基板2上に形成されたY1
Ba2Cu3 7-Y 膜3、さらにその上に形成された保
護膜4とから構成されている。Y1 Ba2 Cu3 7-Y
膜3と保護膜4はいずれもミアンダ形状にパターニング
されている。
【0025】このように構成される限流素子1につい
て、以下のような限流実験を行なった。図2はこの実験
で用いた測定回路を示す図である。図2を参照して、作
製した限流素子1に、5Ωの負荷抵抗5を直列に接続
し、それを短絡させるためのスイッチ6を並列に接続し
た。この回路に、交流電源7より300Vの交流電圧を
印加し、負荷短絡前と短絡後の電流値を電流計8により
測定した。結果を表1にまとめる。
【0026】
【表1】
【0027】表1より明らかなように、本発明例の限流
素子は比較例のものより短絡後の電流をより顕著に抑制
することができる。たとえばYの含有量が8重量%の限
流素子は、短絡後の電流が1/10になっており、本発
明の素子が限流作用においてより優れていることがわか
る。このようにYのAgへの添加により、顕著な短絡電
流の抑制が確認された。
【0028】実施例2 実施例1と同様の方法により、保護膜としてAg中にB
aを含む材料を用いた限流素子を作製した。0〜14重
量%の範囲で保護膜中のBaの含有量を変え、7種類の
素子を作製した。それぞれの素子についてBa含量と限
流実験の結果を表2に示す。表から明らかなように、本
発明の例の限流素子は、比較例よりも優れた限流特性を
示す。
【0029】
【表2】
【0030】実施例3 実施例1と同様の方法により、保護膜としてAg中にC
uを含む材料を用いた限流素子を作製した。0〜5重量
%の範囲で保護膜中のCuの含有量を変え、6種類の素
子を作製した。それぞれの素子についてCu含有量と限
流実験の結果を表3に示す。表から明らかなように、本
発明の例の限流素子は、比較例の素子よりも優れた限流
特性を示す。
【0031】
【表3】
【0032】実施例4 実施例1と同様の方法により、保護膜としてAg中にA
uを含む材料を用いた限流素子を作製した。0〜6重量
%の範囲で保護膜中のAuの含有量を変え、7種類の素
子を作製した。それぞれの素子についてAu含量と限流
実験の結果を表4に示す。表から明らかなように、本発
明の例の限流素子は、比較例の素子よりも優れた限流特
性を示す。
【0033】
【表4】
【0034】実施例5 実施例1と同様の方法により、保護膜としてAg中にP
tを含む材料を用いた限流素子を作製した。0〜6重量
%の範囲で保護膜中のPtの含有量を変え、7種類の素
子を作製した。それぞれの素子についてPt含有量と限
流実験の結果を表5に示す。表から明らかなように、本
発明の例の限流素子は、比較例の素子よりも優れた限流
特性を示す。
【0035】
【表5】
【0036】実施例6 実施例1と同様の方法により、保護膜としてAg中にI
nを含む材料を用いた限流素子を作製した。0〜5重量
%の範囲で保護膜中のInの含有量を変え、6種類の素
子を作製した。それぞれの素子についてIn含有量と限
流実験の結果を表6に示す。表から明らかなように、本
発明の例の限流素子は、比較例の素子よりも優れた限流
特性を示す。
【0037】
【表6】
【図面の簡単な説明】
【図1】実施例において作製された限流素子の形状を示
す斜視図である。
【図2】実施例において作製された限流素子の限流試験
を行なうための回路を示す図である。
【符号の説明】
1 限流素子 2 基板 3 Y1 Ba2 Cu3 7-Y 膜 4 保護膜
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 林 憲器 大阪市此花区島屋一丁目1番3号 住友電 気工業株式会社大阪製作所内 (72)発明者 藤野 剛三 大阪市此花区島屋一丁目1番3号 住友電 気工業株式会社大阪製作所内 (72)発明者 原 築志 東京都調布市西つつじケ丘二丁目4番1号 東京電力株式会社技術研究所内 (72)発明者 石井 英雄 東京都調布市西つつじケ丘二丁目4番1号 東京電力株式会社技術研究所内

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 超電導状態から常電導状態への転移時に
    発生する抵抗により短絡電流を抑制する限流素子であっ
    て、 イットリウム系酸化物超電導体からなる限流作用部と、 前記イットリウム系酸化物超電導体を覆い、かつ安定化
    材からなる保護膜とを備え、 前記安定化材が、銀とそれ以外の前記イットリウム系酸
    化物超電導体に対して不活性な金属とからなる材料であ
    り、かつ銀よりも高い比抵抗を有することを特徴とす
    る、限流素子。
  2. 【請求項2】 前記安定化材が、20重量%以下のYと
    Agとからなる材料、15重量%以下のBaとAgとか
    らなる材料、5重量%以下のCuとAgとからなる材
    料、6重量%以下のAuとAgとからなる材料、6重量
    %以下のPtとAgとからなる材料、5重量%以下のI
    nとAgとからなる材料およびそれらの組合わせからな
    る群から選択されることを特徴とする、請求項1に記載
    の限流素子。
  3. 【請求項3】 前記イットリウム系酸化物超電導体が、
    YBa2 Cu3 7- Y (0≦Y≦1)からなることを特
    徴とする、請求項1または2に記載の限流素子。
  4. 【請求項4】 前記イットリウム系酸化物超電導体は、
    電気絶縁材の単結晶基板上にエピタキシャル成長された
    単結晶性薄膜であることを特徴とする、請求項1〜3の
    いずれか1項に記載の限流素子。
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