JPH0876925A - 入出力装置及びその制御方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 非意図的、非人為的な要因による誤動作の発
生を防止し、信頼性の高い入出力装置及びその制御方法
を提供する。 【構成】 制御部５が入力部３の操作有効スイッチ部４
部分の入力で、操作有効スイッチモードを切り替え、操
作有効スイッチモードがＯＮモードの時は、表示部２に
対して認識表示を行い、そして入力部３の操作有効スイ
ッチ部４以外の部分からの入力を有効として処理し、ま
た、操作有効スイッチモードがＯＦＦモードの時は、認
識表示を行わず、入力部３の操作有効スイッチ部４以外
の部分からの入力を無効とする入出力装置及びその制御
方法である。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、半導体製造装置の操作
監視システム等に用いられる入出力装置に係り、特に非
意図的な要因による誤操作を防止することができる入出
力装置及びその制御方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】まず、従来の入出力装置について図６を
使って説明する。図６は、従来の入出力装置の概略構成
図である。従来の入出力装置は、図６に示すように、表
示を行う表示部２と、入力操作を行う入力部３と、入出
力装置の制御を行う制御部５′と、表示部２と入力部３
とからなる操作パネル１′とから構成されている。

【０００３】次に、従来の入出力装置における各部につ
いて具体的に説明する。表示部２は、制御部５′からの
表示信号に従って表示を行うものである。入力部３は、
表示部２の前面に設けられ、表示部２に表示される内容
に従って、入力又は選択したい項目の位置に操作員が指
やペン等で触れることによって入力操作が行われると、
入力された位置情報を制御部５′に伝えるものである。

【０００４】例えば、半導体製造装置の操作監視システ
ムに用いられる入出力装置では、入力部３として透視型
入力デバイスを設け、透視型入力デバイス上に指やペン
等で触れることによって入力操作が行われると、入力さ
れた位置情報が制御部５′に入力されるようになってい
る。透視型入力デバイスの例としては、抵抗被膜型タッ
チシート、電磁誘導型透明タブレット、超音波マトリク
スタッチパネル等がある。そして、透視型入力デバイス
を使用した入出力装置においては、入力操作を行う際、
非常に弱い押印力で操作が可能となっている。

【０００５】そして、制御部５′は、表示部２に表示信
号を出力し、入力部３から位置情報が入力されて入力デ
ータを認識し、その入力データに従って処理を行うもの
である。

【０００６】次に、従来の入出力装置の制御方法につい
て説明する。従来の入出力装置の制御方法は、図６に示
すように、制御部５′が、表示部２に対して表示信号を
出力して入力操作を行わせるための表示画面を表示部２
に表示させ、作業員が表示画面を参照しながら入力部３
から入力を行うと、入力された位置情報より入力データ
を制御部５′が認識して項目の選択又は入力を行い、こ
の入力データに従って処理を行うようになっている。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の入出力装置では、非常に弱い押印力で入力部３にお
ける入力操作が可能なため、物体の落下や傾倒により入
出力装置の入力部３に物体がぶつかったり、操作員の着
衣等に帯電した静電気により入力誤操作が発生し、ま
た、入力部３を指でなぞりながら表示を読む際など、入
力操作と誤検知され、誤動作が発生する可能性が高いと
いう問題点があった。

【０００８】そして、半導体製造装置の入出力監視シス
テムに従来の入出力装置を用いた場合、これらの誤操作
が、ウェハー処理中や移載中等に発生すると、ウェハー
や装置に損傷を与えることになるという問題点があっ
た。

【０００９】本発明は上記実情に鑑みて為されたもの
で、非意図的、非人為的な要因による誤操作の発生を防
止し、信頼性の高い入出力装置及びその制御方法を提供
することを目的とする。

【００１０】

【課題を解決するための手段】上記従来例の問題点を解
決するための請求項１記載の発明は、表示が為される表
示部と、前記表示部の画面上に設けられた透視型入力デ
バイスの入力部と、前記入力部からの入力に従って前記
表示部での表示制御を行う制御部とを有する入出力装置
において、前記入力部の一部に入力を有効とする操作有
効スイッチ部のエリアを設け、前記制御部が、前記操作
有効スイッチ部のオン状態時に前記入力部からの入力を
有効とし、前記操作有効スイッチ部のオフ状態時に前記
入力部からの入力を無効とする制御部であることを特徴
としている。

【００１１】上記従来例の問題点を解決するための請求
項２記載の発明は、表示が為される表示部と、前記表示
部の画面上に設けられた透視型入力デバイスの入力部
と、前記入力部からの入力に従って前記表示部での表示
制御を行う制御部とを有する入出力装置において、オン
状態の時に前記入力部からの入力を有効とする操作有効
スイッチ部を前記入力部とは別に設け、前記制御部が、
前記操作有効スイッチ部のオン状態時に前記入力部から
の入力を有効とし、前記操作有効スイッチ部のオフ状態
時に前記入力部からの入力を無効とする制御部であるこ
とを特徴としている。

【００１２】上記従来例の問題点を解決するための請求
項３記載の発明は、請求項１又は２記載の入出力装置の
制御方法において、制御部が、操作有効スイッチのオン
状態時には入力部からの入力を有効とし、前記操作有効
スイッチ部のオフ状態時には前記入力部からの入力を無
効とすることを特徴としている。

【００１３】

【作用】請求項１記載の発明によれば、透視型入力デバ
イスの入力部の一部のエリアを操作有効スイッチ部に割
り当て、制御部が操作有効スイッチ部のオン状態の時の
みに入力部からの入力を有効とする入出力装置としてい
るので、入力部内の操作有効スイッチをオフ状態にして
おけば、非意図的な要因による誤操作を防止することが
できる。

【００１４】請求項２記載の発明によれば、透視型入力
デバイスの入力部とは別に操作有効スイッチ部を設け、
制御部が操作有効スイッチ部のオン状態の時のみに入力
部からの入力を有効とする入出力装置としているので、
入力部外の操作有効スイッチをオフ状態にしておけば、
非意図的な要因による誤操作を防止することができる。

【００１５】請求項３記載の発明によれば、制御部が、
操作有効スイッチのオン状態時には入力部からの入力を
有効とし、操作有効スイッチ部のオフ状態時には入力部
からの入力を無効とする請求項１又は２記載の入出力装
置の制御方法としているので、入力時には操作有効スイ
ッチをオンにし、非入力時には操作有効スイッチをオフ
にすれば、非意図的な要因による誤操作を防止すること
ができる。

【００１６】

【実施例】本発明の一実施例について図面を参照しなが
ら説明する。図１は、本発明の第１の実施例に係る入出
力装置の概略構成図である。尚、図６と同様の構成をと
る部分については同一の符号を付して説明する。

【００１７】第１の実施例の入出力装置は、基本的には
従来の入出力装置と同様構成で、従来と同様の部分とし
て表示部２と、入力部３と、そして第１の実施例の特徴
部分として制御部５における制御方法が従来とは異なっ
ている。

【００１８】次に、第１の実施例の特徴部分について、
図２を使って説明する。図２は、第１の実施例の入出力
装置の正面図である。第１の実施例の入出力装置は、図
２に示すように、表示部２及び入力部３内の一部のエリ
アを、入力部３からの入力操作を有効とするか無効とす
るかを切り替えるスイッチとしての機能を果たす操作有
効スイッチ部４として割り当てて制御部５に認識させて
いるものである。

【００１９】具体的には、制御部５が、表示部２の操作
有効スイッチ部４部分のエリアに、操作有効スイッチ部
であることを示す表示信号を出力して表示部２に表示さ
せる。そして、更に制御部５は、入力部３から入力しさ
れた位置情報が操作有効スイッチ部４部分の入力かどう
かを判断し、操作有効スイッチ部４部分の入力の場合
は、操作有効スイッチモードのＯＮ／ＯＦＦを行うもの
である。尚、現状の操作有効スイッチモードは、制御部
５内に記憶しておくようになっている。

【００２０】また、入力部３から入力された位置情報
が、操作有効スイッチ部４以外の部分の入力の場合は、
制御部５は、現状の操作有効スイッチモードを確認し、
ＯＮモードの時は、入力操作を有効として入力した位置
情報より入力データを認識し、入力データに従って処理
を行う。そして、現状の操作有効スイッチモードがＯＦ
Ｆモードの時は、制御部５は、入力部３からの入力操作
を無効とし、入力した位置情報を無視するものである。

【００２１】また、制御部５は、操作有効スイッチモー
ドがＯＮモードの時は、表示部２に対して操作有効スイ
ッチモードがＯＮモードであることを示す認識表示を行
う表示信号を出力する。認識表示の例としては、表示画
像リバースや、文字表示や、色表示等がある。

【００２２】次に、第１の実施例の入出力装置の制御方
法について図３を使って説明する。図３は、第１の実施
例の入出力装置の制御部における処理の流れを示すフロ
ーチャート図である。第１の実施例の入出力装置の制御
部の処理は、入力部３から入力された位置情報が操作有
効スイッチ部４の部分を示す位置情報であるかを判断し
（１００）、操作有効スイッチ部４の位置情報である場
合、現在の操作有効スイッチモードがＯＮモードである
かどうか判断し（１０２）、ＯＮモードでない場合は、
操作有効スイッチモードをＯＮモードにして（１０
４）、認識表示開始処理を行い（１０６）、処理１００
に戻る。ここで、認識表示開始処理とは、表示部２に対
して操作有効スイッチモードがＯＮモードであることを
示す認識表示を行う表示信号を出力する処理で、認識表
示の例としては、上述したように表示画像リバースや、
文字表示や、色表示等がある。

【００２３】一方、処理１０２において、現在の操作有
効スイッチモードがＯＮモードの時は、操作有効スイッ
チモードをＯＦＦモードにして（１１０）、認識表示終
了処理を行い（１１２）、処理１００に戻る。ここで、
認識表示終了処理とは、認識表示を終了させる処理であ
る。

【００２４】また、処理１００において、入力部３から
入力された位置情報が操作有効スイッチ部４の位置情報
でない場合、現在の操作有効スイッチモードがＯＮモー
ドであるかどうかを判断し（１２０）、ＯＮモードでな
い場合は、入力された位置情報を無視してそのまま処理
１００に戻り、ＯＮモードの場合は、入力データ処理を
行い（１２２）、処理１００に戻る。ここで、入力デー
タ処理とは、入力された位置情報から入力データを認識
し、入力データに基づく処理を行うものである。

【００２５】第１の実施例の入出力装置及びその制御方
法によれば、制御部５が入力部３の操作有効スイッチ部
４の入力で、操作有効スイッチモードを切り替え、操作
有効スイッチモードがＯＮモードの時は、表示部２に対
して認識表示を行い、入力部３の操作有効スイッチ部４
以外の部分からの入力を有効として処理し、操作有効ス
イッチモードがＯＦＦモードの時は、認識表示を行わ
ず、また、入力部３の操作有効スイッチ部４以外の部分
からの入力を無効とするので、非意図的、非人為的な要
因による誤操作を防ぐ事ができ、信頼性を向上させるこ
とができる効果がある。

【００２６】また、第１の実施例の入出力装置を半導体
製造装置の操作監視システムに用いれば、入出力装置の
誤操作によるウェハー及び装置の損傷等の被害を防止す
ることができる効果がある。

【００２７】また、第１の実施例の入出力装置では操作
有効スイッチ部４を表示部２及び入力部３の一部に設
け、制御部５で操作有効スイッチ部４に伴う制御を行う
ので、ソフトウェアのみ変更で、誤操作を防止する機能
を実現することができる効果がある。

【００２８】次に、本発明の別の実施例（第２の実施
例）について説明する。図４は、本発明の第２の実施例
に係る入出力装置の概略構成図である。第２の実施例の
入出力装置は、従来の入出力装置と同様の部分として、
表示部２と入力部３とから構成され、更に第２の実施例
の特徴部分として、入力部３とは入力ラインを別にする
操作有効スイッチ部４′が設けられ、更に制御部５″の
制御方法が従来とは異なっている。

【００２９】次に、第２の実施例の特徴部分について、
図５を使って説明する。図５は、第２の実施例の入出力
装置の正面図である。第２の実施例の入出力装置は、図
５に示すように、操作有効スイッチ部４′を入力部３と
は別の部分に新たに設け、制御部５″に接続している。
そして、制御部５″は、入力部３から入力があると、操
作有効スイッチ部４′からの入力をチェックし、操作有
効スイッチ部４′がＯＮ状態の時、入力部３からの入力
操作を有効として入力した位置情報より入力データを認
識し、入力データに従って処理を行い、操作有効スイッ
チ部４′がＯＦＦ状態の時、入力部３からの入力操作を
無効とし入力した位置情報を無視するものである。

【００３０】次に、第２の実施例の入出力装置の制御方
法について説明する。第２の実施例の入出力装置の制御
部５″における処理は、入力部３からの位置情報の入力
があると、操作有効スイッチ部４′に接続する入力端子
の状態をチェックし、ＯＮ状態の場合は、入力部３から
の入力を有効として位置情報から入力データを認識し、
入力データに従って処理を行う。

【００３１】一方、入力部３からの位置情報入力があ
り、操作有効スイッチ部４′に接続する入力端子の状態
をチェックし、ＯＦＦ状態の場合は、入力部３からの入
力を無効として、入力した位置情報を無視するようにな
っている。

【００３２】そして、操作有効スイッチ部４′がＯＮ状
態であることを示す認識表示は、操作有効スイッチ部
４′をＬＥＤスイッチにすることにより、ランプが点灯
しているときは、ＯＮ状態であると認識できるものであ
る。

【００３３】尚、第２の実施例において、操作有効スイ
ッチ部４′に接続する入力端子と、入力部３に接続する
入力端子とをＡＮＤ回路に入力し、ＡＮＤ回路からの出
力を制御部５″が取り込むようにすれば、操作有効スイ
ッチ部４′がＯＮ状態の時のみ入力部３からの入力がＡ
ＮＤ回路から出力され、制御部５″は従来と全く同様の
制御方法で、誤操作防止機能を実現することができる。

【００３４】第２の実施例の入出力装置及びその制御方
法によれば、制御部５″が、操作有効スイッチ部４′の
状態がＯＮ状態の時、入力部３からの入力を有効として
処理し、操作有効スイッチ部４′の状態がＯＦＦ状態の
時、入力部３からの入力を無効として無視するので、非
意図的、非人為的な要因による誤操作を防ぐ事ができ、
また半導体製造装置の入出力装置に用いた場合に誤動作
によるウェハー及び装置の損傷等の被害を防止する効果
がある。

【００３５】

【発明の効果】請求項１記載の発明によれば、透視型入
力デバイスの入力部の一部のエリアを操作有効スイッチ
部に割り当て、制御部が操作有効スイッチ部のオン状態
の時のみに入力部からの入力を有効とする入出力装置と
しているので、入力部内の操作有効スイッチをオフ状態
にしておけば、非意図的な要因による誤操作を防止する
ことができる効果がある。

【００３６】請求項２記載の発明によれば、透視型入力
デバイスの入力部とは別に操作有効スイッチ部を設け、
制御部が操作有効スイッチ部のオン状態の時のみに入力
部からの入力を有効とする入出力装置としているので、
入力部外の操作有効スイッチをオフ状態にしておけば、
非意図的な要因による誤操作を防止することができる効
果がある。

【００３７】請求項３記載の発明によれば、制御部が、
操作有効スイッチのオン状態時には入力部からの入力を
有効とし、操作有効スイッチ部のオフ状態時には入力部
からの入力を無効とする請求項１又は２記載の入出力装
置の制御方法としているので、入力時には操作有効スイ
ッチをオンにし、非入力時には操作有効スイッチをオフ
にすれば、非意図的な要因による誤操作を防止すること
ができる効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施例に係る入出力装置の概略
構成図である。

【図２】第１の実施例の入出力装置の正面図である。

【図３】第１の実施例の入出力装置の制御部におけるフ
ローチャート図である。

【図４】本発明の第２の実施例に係る入出力装置の概略
構成図である。

【図５】第２の実施例の入出力装置の正面図である。

【図６】従来の入出力装置の概略構成図である。

【符号の説明】

１，１′…操作パネル、 ２…表示部、３…入力部、
４，４′…操作有効スイッチ部、 ５，５′，５″…制
御部

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 表示が為される表示部と、前記表示部の
   画面上に設けられた透視型入力デバイスの入力部と、前
   記入力部からの入力に従って前記表示部での表示制御を
   行う制御部とを有する入出力装置において、前記入力部
   の一部に入力を有効とする操作有効スイッチ部のエリア
   を設け、前記制御部が、前記操作有効スイッチ部のオン
   状態時に前記入力部からの入力を有効とし、前記操作有
   効スイッチ部のオフ状態時に前記入力部からの入力を無
   効とする制御部であることを特徴とする入出力装置。
2. 【請求項２】 表示が為される表示部と、前記表示部の
   画面上に設けられた透視型入力デバイスの入力部と、前
   記入力部からの入力に従って前記表示部での表示制御を
   行う制御部とを有する入出力装置において、オン状態の
   時に前記入力部からの入力を有効とする操作有効スイッ
   チ部を前記入力部とは別に設け、前記制御部が、前記操
   作有効スイッチ部のオン状態時に前記入力部からの入力
   を有効とし、前記操作有効スイッチ部のオフ状態時に前
   記入力部からの入力を無効とする制御部であることを特
   徴とする入出力装置。
3. 【請求項３】 制御部が、操作有効スイッチのオン状態
   時には入力部からの入力を有効とし、前記操作有効スイ
   ッチ部のオフ状態時には前記入力部からの入力を無効と
   することを特徴とする請求項１又は２記載の入出力装置
   の制御方法。