JPH0875597A - 非球面偏心測定機 - Google Patents
非球面偏心測定機Info
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- JPH0875597A JPH0875597A JP20972794A JP20972794A JPH0875597A JP H0875597 A JPH0875597 A JP H0875597A JP 20972794 A JP20972794 A JP 20972794A JP 20972794 A JP20972794 A JP 20972794A JP H0875597 A JPH0875597 A JP H0875597A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】コバ面を持つ非球面レンズを測定対象とし、該
コバ面を持つ非球面レンズの偏心をレンズ単体で測定す
ることができ、複雑な構成になる非球面レンズの偏心測
定をコバ面を基準として容易に行なえるようにした非球
面偏心測定機を提供する。 【構成】本発明の非球面偏心測定機は、コバ面を持った
被検非球面レンズ１の裏面のコバ面ｃ−ｄを水平に保持
するレンズ受け２と、被検非球面レンズ１の表面を走査
して形状を得る走査型形状測定機３と、得られた形状か
ら表面のコバ面ａ−ｂの傾斜角θを得る手段を備え、上
記傾斜角から偏心量を求める。 【効果】本発明では、コバ面を持つ非球面レンズの取り
付け基準であるコバ面を基準として被検非球面レンズの
偏心を定義し、測定及び解析することで、製品性能に適
合した評価（検査）を行なうことができる。
コバ面を持つ非球面レンズの偏心をレンズ単体で測定す
ることができ、複雑な構成になる非球面レンズの偏心測
定をコバ面を基準として容易に行なえるようにした非球
面偏心測定機を提供する。 【構成】本発明の非球面偏心測定機は、コバ面を持った
被検非球面レンズ１の裏面のコバ面ｃ−ｄを水平に保持
するレンズ受け２と、被検非球面レンズ１の表面を走査
して形状を得る走査型形状測定機３と、得られた形状か
ら表面のコバ面ａ−ｂの傾斜角θを得る手段を備え、上
記傾斜角から偏心量を求める。 【効果】本発明では、コバ面を持つ非球面レンズの取り
付け基準であるコバ面を基準として被検非球面レンズの
偏心を定義し、測定及び解析することで、製品性能に適
合した評価（検査）を行なうことができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、非球面光学素子の偏心
測定に用いられる非球面偏心測定機に関し、特に、カメ
ラ用の非球面レンズや光ピックアップ用の非球面レンズ
等でコバ面を持ち、そのコバ面で組み付けを行なう光学
素子の偏心測定及び検査に用いられる非球面偏心測定機
に関する。
測定に用いられる非球面偏心測定機に関し、特に、カメ
ラ用の非球面レンズや光ピックアップ用の非球面レンズ
等でコバ面を持ち、そのコバ面で組み付けを行なう光学
素子の偏心測定及び検査に用いられる非球面偏心測定機
に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、非球面レンズの偏心測定は、表裏
各々の面の近軸曲率中心を結んだ線を基準軸とし、レン
ズ面（非球面部）の変位を回転させながら測定し、その
変位量から偏心量を算出するのが一般的な方法である。
また、その方法を用いた非球面レンズ偏心測定装置とし
ては、被検レンズ保持用のレンズ受け部を有するととも
に回転駆動自在に構成された回転レンズ支持部材と、回
転レンズ支持部材上の被検レンズの位置を移動調整する
ための機構部と、被検レンズにおける非球面の近軸曲率
中心の回転軸に対する偏心量を検出するための近軸偏心
測定部と、前記回転軸以外の軸を検出軸として前記レン
ズ受け部側の面とは反対側のレンズ面における非球面軸
の回転軸に対する傾き角を検出するための非球面軸測定
部とより構成したものが提案されている（特開平１−２
９６１３２号公報）。
各々の面の近軸曲率中心を結んだ線を基準軸とし、レン
ズ面（非球面部）の変位を回転させながら測定し、その
変位量から偏心量を算出するのが一般的な方法である。
また、その方法を用いた非球面レンズ偏心測定装置とし
ては、被検レンズ保持用のレンズ受け部を有するととも
に回転駆動自在に構成された回転レンズ支持部材と、回
転レンズ支持部材上の被検レンズの位置を移動調整する
ための機構部と、被検レンズにおける非球面の近軸曲率
中心の回転軸に対する偏心量を検出するための近軸偏心
測定部と、前記回転軸以外の軸を検出軸として前記レン
ズ受け部側の面とは反対側のレンズ面における非球面軸
の回転軸に対する傾き角を検出するための非球面軸測定
部とより構成したものが提案されている（特開平１−２
９６１３２号公報）。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、従来の非球面
レンズ偏心測定装置では、構成が複雑となり、測定が容
易に行なえないという問題がある。本発明は上記事情に
鑑みなされたものであって、コバ面を持つ非球面レンズ
を測定対象とし、該コバ面を持つ非球面レンズの偏心を
レンズ単体で測定することができ、複雑な構成になる非
球面レンズの偏心測定をコバ面を基準として容易に行な
えるようにした非球面偏心測定機を提供することを目的
としている。
レンズ偏心測定装置では、構成が複雑となり、測定が容
易に行なえないという問題がある。本発明は上記事情に
鑑みなされたものであって、コバ面を持つ非球面レンズ
を測定対象とし、該コバ面を持つ非球面レンズの偏心を
レンズ単体で測定することができ、複雑な構成になる非
球面レンズの偏心測定をコバ面を基準として容易に行な
えるようにした非球面偏心測定機を提供することを目的
としている。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、請求項１の非球面偏心測定機は、コバ面を持った被
検非球面レンズの裏面のコバ面を水平に保持する手段
と、被検非球面レンズの表面を走査して形状を得る手段
と、得られた形状から表面のコバ面の傾斜角を得る手段
を備えたことを特徴としている。
め、請求項１の非球面偏心測定機は、コバ面を持った被
検非球面レンズの裏面のコバ面を水平に保持する手段
と、被検非球面レンズの表面を走査して形状を得る手段
と、得られた形状から表面のコバ面の傾斜角を得る手段
を備えたことを特徴としている。
【０００５】請求項２の非球面偏心測定機は、コバ面を
持った被検非球面レンズの裏面のコバ面を水平に保持す
る手段と、被検非球面レンズの表面を光軸を通るように
走査して形状を得る手段と、レンズ面の非球面形状か
ら、その面の傾斜角を得る手段を備えたことを特徴とし
ている。
持った被検非球面レンズの裏面のコバ面を水平に保持す
る手段と、被検非球面レンズの表面を光軸を通るように
走査して形状を得る手段と、レンズ面の非球面形状か
ら、その面の傾斜角を得る手段を備えたことを特徴とし
ている。
【０００６】請求項３の非球面偏心測定機は、コバ面を
持った被検非球面レンズの裏面のコバ面を水平に保持す
る手段と、前記保持部の中心軸を回転軸とし、その保持
部と一体となった回転機構と、被検非球面レンズを回転
させながら任意の点での表面のコバ面の変位を得る手段
と、その変位から被検非球面レンズ表面のコバ面の傾斜
角を得る手段を備えたことを特徴としている。
持った被検非球面レンズの裏面のコバ面を水平に保持す
る手段と、前記保持部の中心軸を回転軸とし、その保持
部と一体となった回転機構と、被検非球面レンズを回転
させながら任意の点での表面のコバ面の変位を得る手段
と、その変位から被検非球面レンズ表面のコバ面の傾斜
角を得る手段を備えたことを特徴としている。
【０００７】請求項４の非球面偏心測定機は、コバ面を
持った被検非球面レンズをそのコバ面で保持する手段
と、被検非球面レンズの表面を光軸を通るように走査し
て形状を得る手段と、得られた断面形状のうち、コバ面
の部分の傾斜角を得る手段と、レンズ面の非球面形状か
ら、その光軸の傾斜角を得る手段と、得られた２つの傾
斜角を比較する手段を備えたことを特徴としている。
持った被検非球面レンズをそのコバ面で保持する手段
と、被検非球面レンズの表面を光軸を通るように走査し
て形状を得る手段と、得られた断面形状のうち、コバ面
の部分の傾斜角を得る手段と、レンズ面の非球面形状か
ら、その光軸の傾斜角を得る手段と、得られた２つの傾
斜角を比較する手段を備えたことを特徴としている。
【０００８】請求項５の非球面偏心測定機は、請求項１
もしくは請求項３記載の手段により、被検非球面レンズ
の表面と裏面のコバ面の相対的な傾斜角を得る手段と、
請求項４記載の手段により、被検非球面レンズの表面、
裏面それぞれのコバ面を基準としたレンズ面の傾斜角を
得る手段を備えたことを特徴としている。
もしくは請求項３記載の手段により、被検非球面レンズ
の表面と裏面のコバ面の相対的な傾斜角を得る手段と、
請求項４記載の手段により、被検非球面レンズの表面、
裏面それぞれのコバ面を基準としたレンズ面の傾斜角を
得る手段を備えたことを特徴としている。
【０００９】請求項６の非球面偏心測定機は、コバ面を
持った被検非球面レンズの裏面のコバ面を水平に保持す
る手段と、前記保持部と一体となった回転機構と、被検
非球面レンズの外筒軸を前記回転機構の回転軸と一致さ
せる手段と、被検非球面レンズの近軸付近からの反射光
を得るためのオートコリメート機構と、その反射光を検
知し、前記回転軸からのズレ量を検出する手段を備えた
ことを特徴としている。
持った被検非球面レンズの裏面のコバ面を水平に保持す
る手段と、前記保持部と一体となった回転機構と、被検
非球面レンズの外筒軸を前記回転機構の回転軸と一致さ
せる手段と、被検非球面レンズの近軸付近からの反射光
を得るためのオートコリメート機構と、その反射光を検
知し、前記回転軸からのズレ量を検出する手段を備えた
ことを特徴としている。
【００１０】
【作用】本発明の非球面偏心測定機においては、コバ面
を持つ非球面レンズを測定対象とし、そのレンズの取り
付け基準であるコバ面を基準として被検非球面レンズの
偏心（裏面側コバ面に対する表面側コバ面の傾斜、コバ
面に対するレンズ面の傾斜、表裏のコバ面をそれぞれ基
準とした光軸の傾斜、外筒軸（外筒部の中心軸）を基準
とした光軸の横ズレ等）を定義し、測定及び解析するこ
とで、製品性能に適合した評価（検査）を行なうことが
可能となる。
を持つ非球面レンズを測定対象とし、そのレンズの取り
付け基準であるコバ面を基準として被検非球面レンズの
偏心（裏面側コバ面に対する表面側コバ面の傾斜、コバ
面に対するレンズ面の傾斜、表裏のコバ面をそれぞれ基
準とした光軸の傾斜、外筒軸（外筒部の中心軸）を基準
とした光軸の横ズレ等）を定義し、測定及び解析するこ
とで、製品性能に適合した評価（検査）を行なうことが
可能となる。
【００１１】
【実施例】以下、本発明の構成・動作について図面を参
照して説明する。まず、本発明の請求項１，２，３で測
定対象としているコバ面を持つ非球面レンズの例を図１
に示す。この非球面レンズ１においては、表面側のレン
ズ面Ａの光軸ｒA とコバ面ａ−ｂとは直交し、裏面側の
レンズ面Ｂの光軸ｒB とコバ面ｃ−ｄも直交している。
照して説明する。まず、本発明の請求項１，２，３で測
定対象としているコバ面を持つ非球面レンズの例を図１
に示す。この非球面レンズ１においては、表面側のレン
ズ面Ａの光軸ｒA とコバ面ａ−ｂとは直交し、裏面側の
レンズ面Ｂの光軸ｒB とコバ面ｃ−ｄも直交している。
【００１２】次に、請求項１の非球面偏心測定機の構成
・動作例を図２に示す。図２（ａ）において、符号２は
被検非球面レンズ１の裏面のコバ面ｃ−ｄを水平に保持
するためのレンズ受け、３は被検非球面レンズ１の表面
を走査して形状を得るための走査型形状測定機を示して
おり、被検非球面レンズ１をレンズ受け２で保持し、そ
の保持面ｃ−ｄと走査型形状測定機３の走査軸が平行に
なるように、レンズ受け２の角度を調整する。そして、
走査型形状測定機３により、被検非球面レンズ１の表面
の光軸を通る断面形状４を得る（図２（ｂ））。そし
て、その断面形状４の表面のコバ面ａ−ｂの水平面（裏
面側コバ面に平行）に対する傾斜角θを得て、それをこ
のレンズの偏心量とする。
・動作例を図２に示す。図２（ａ）において、符号２は
被検非球面レンズ１の裏面のコバ面ｃ−ｄを水平に保持
するためのレンズ受け、３は被検非球面レンズ１の表面
を走査して形状を得るための走査型形状測定機を示して
おり、被検非球面レンズ１をレンズ受け２で保持し、そ
の保持面ｃ−ｄと走査型形状測定機３の走査軸が平行に
なるように、レンズ受け２の角度を調整する。そして、
走査型形状測定機３により、被検非球面レンズ１の表面
の光軸を通る断面形状４を得る（図２（ｂ））。そし
て、その断面形状４の表面のコバ面ａ−ｂの水平面（裏
面側コバ面に平行）に対する傾斜角θを得て、それをこ
のレンズの偏心量とする。
【００１３】次に、請求項２の非球面偏心測定機の構成
は図２と同様であり、上記請求項１の動作と同様にして
被検非球面レンズ１の表面の光軸を通る断面形状５（図
３）を得る。そして、図３に示すように、その断面形状
５のレンズ面Ａの非球面形状から、その面の傾斜角（走
査軸（水平面）に直交する軸に対する表面側レンズ面Ａ
の光軸ｒA の傾斜角）θを得て、それをこのレンズの偏
心量とする。
は図２と同様であり、上記請求項１の動作と同様にして
被検非球面レンズ１の表面の光軸を通る断面形状５（図
３）を得る。そして、図３に示すように、その断面形状
５のレンズ面Ａの非球面形状から、その面の傾斜角（走
査軸（水平面）に直交する軸に対する表面側レンズ面Ａ
の光軸ｒA の傾斜角）θを得て、それをこのレンズの偏
心量とする。
【００１４】次に、請求項３の非球面偏心測定機の構成
・動作例を図４に示す。図４において、符号２は被検非
球面レンズ１の裏面のコバ面ｃ−ｄを水平に保持するた
めのレンズ受け、６は前記保持部（レンズ受け２）の中
心軸を回転軸としその保持部と一体となった回転機構
（スピンドル）、７は被検非球面レンズ１を回転させな
がら任意の点での表面のコバ面ａ−ｂの変位を得る変位
計（電気マイクロや光マイクロ等）を示しており、ま
ず、被検非球面レンズ１をレンズ受け２で保持し、その
レンズ受け２の中心軸を回転軸としたスピンドル６で、
被検非球面レンズ１及びレンズ受け２を回転させる。そ
して、この被検非球面レンズ１のコバ面に電気マイクロ
や光マイクロ等の変位計７を接触させ、コバ面の変位量
を得る。例えば、最初に変位計７が接触していたときを
０°とし、そのときの変位量をαとし、その位置から１
８０°回転したときの変位量をβとしたとき、レンズの
偏心量θは式（１）で得られる。 θ＝tan~1{(α−β)／Ｌ} ・・・（１） ここで、Ｌは回転軸から変位計の接触点までの距離の２
倍である。
・動作例を図４に示す。図４において、符号２は被検非
球面レンズ１の裏面のコバ面ｃ−ｄを水平に保持するた
めのレンズ受け、６は前記保持部（レンズ受け２）の中
心軸を回転軸としその保持部と一体となった回転機構
（スピンドル）、７は被検非球面レンズ１を回転させな
がら任意の点での表面のコバ面ａ−ｂの変位を得る変位
計（電気マイクロや光マイクロ等）を示しており、ま
ず、被検非球面レンズ１をレンズ受け２で保持し、その
レンズ受け２の中心軸を回転軸としたスピンドル６で、
被検非球面レンズ１及びレンズ受け２を回転させる。そ
して、この被検非球面レンズ１のコバ面に電気マイクロ
や光マイクロ等の変位計７を接触させ、コバ面の変位量
を得る。例えば、最初に変位計７が接触していたときを
０°とし、そのときの変位量をαとし、その位置から１
８０°回転したときの変位量をβとしたとき、レンズの
偏心量θは式（１）で得られる。 θ＝tan~1{(α−β)／Ｌ} ・・・（１） ここで、Ｌは回転軸から変位計の接触点までの距離の２
倍である。
【００１５】次に、請求項４の非球面偏心測定機では、
図５に示すように、表面側のレンズ面Ａの光軸ｒA とコ
バ面ａ−ｂが直交していない非球面レンズを測定対象と
している。請求項４の非球面偏心測定機の構成・動作例
を図６に示す。図６（ａ）において、符号２は被検非球
面レンズ１の裏面のコバ面ｃ−ｄを水平に保持するため
のレンズ受け、３は被検非球面レンズ１の表面を走査し
て形状を得るための走査型形状測定機を示しており、被
検非球面レンズ１をレンズ受け２で保持し、コバ面も含
めて被検非球面レンズ１の表面の光軸を通る断面形状８
（図６（ｂ））を走査型形状測定機３で得る。得られた
断面形状８からレンズ面Ａとコバ面ａ−ｂの両方の形状
測定機３の走査軸からの傾斜角を得る。すなわち、図６
（ｂ）に示すように、コバ面ａ−ｂの走査軸（水平面）
に対する傾斜角θ１と、レンズ面Ａの光軸ｒA の走査軸
に直交する軸に対する傾斜角θ２を得れば、その差θ’
（＝θ１−θ２）が、このレンズ面Ａのコバ面ａ−ｂを
基準とした偏心量である。
図５に示すように、表面側のレンズ面Ａの光軸ｒA とコ
バ面ａ−ｂが直交していない非球面レンズを測定対象と
している。請求項４の非球面偏心測定機の構成・動作例
を図６に示す。図６（ａ）において、符号２は被検非球
面レンズ１の裏面のコバ面ｃ−ｄを水平に保持するため
のレンズ受け、３は被検非球面レンズ１の表面を走査し
て形状を得るための走査型形状測定機を示しており、被
検非球面レンズ１をレンズ受け２で保持し、コバ面も含
めて被検非球面レンズ１の表面の光軸を通る断面形状８
（図６（ｂ））を走査型形状測定機３で得る。得られた
断面形状８からレンズ面Ａとコバ面ａ−ｂの両方の形状
測定機３の走査軸からの傾斜角を得る。すなわち、図６
（ｂ）に示すように、コバ面ａ−ｂの走査軸（水平面）
に対する傾斜角θ１と、レンズ面Ａの光軸ｒA の走査軸
に直交する軸に対する傾斜角θ２を得れば、その差θ’
（＝θ１−θ２）が、このレンズ面Ａのコバ面ａ−ｂを
基準とした偏心量である。
【００１６】次に、請求項５の非球面偏心測定機では、
請求項１（図２）もしくは請求項３（図４）の方法によ
り、被検非球面レンズ１の表面と裏面のコバ面のなす角
度θを得、さらに上記請求項４（図６）の方法により、
表面側レンズ面Ａのコバ面基準の偏心量θA'と裏面側レ
ンズ面Ｂのコバ面基準の偏心量θB'を得るものである。
すなわち、裏面側コバ面ｃ−ｄ（水平面）に対する表面
側コバ面ａ−ｂの傾斜角θを測定し、さらに図７に示す
ように、表面側コバ面ａ−ｂに直交する軸に対するレン
ズ面Ａの光軸ｒA の傾斜角θA'と、裏面側コバ面ｃ−ｄ
に直交する軸に対するレンズ面Ｂの光軸ｒB の傾斜角θ
B'を測定して、それぞれの偏心量を得るものである。そ
して、これらθ，θA'，θB'から、両面とも非球面であ
り、さらに両面とも光軸ｒA，ｒBとコバ面ａ−ｂ，ｃ−
ｄが直交していないような非球面レンズに対応する偏心
量を得ることができる。
請求項１（図２）もしくは請求項３（図４）の方法によ
り、被検非球面レンズ１の表面と裏面のコバ面のなす角
度θを得、さらに上記請求項４（図６）の方法により、
表面側レンズ面Ａのコバ面基準の偏心量θA'と裏面側レ
ンズ面Ｂのコバ面基準の偏心量θB'を得るものである。
すなわち、裏面側コバ面ｃ−ｄ（水平面）に対する表面
側コバ面ａ−ｂの傾斜角θを測定し、さらに図７に示す
ように、表面側コバ面ａ−ｂに直交する軸に対するレン
ズ面Ａの光軸ｒA の傾斜角θA'と、裏面側コバ面ｃ−ｄ
に直交する軸に対するレンズ面Ｂの光軸ｒB の傾斜角θ
B'を測定して、それぞれの偏心量を得るものである。そ
して、これらθ，θA'，θB'から、両面とも非球面であ
り、さらに両面とも光軸ｒA，ｒBとコバ面ａ−ｂ，ｃ−
ｄが直交していないような非球面レンズに対応する偏心
量を得ることができる。
【００１７】次に、請求項６の非球面偏心測定機の構成
・動作例を図８に示す。図８において、符号１は被検非
球面レンズ、２は被検非球面レンズ１の裏面のコバ面を
水平に保持するためのレンズ受け、６はレンズ受けと一
体となった回転機構（スピンドル）、７は変位計、９は
光源、１０はビームスプリッタ、１１はコリメータレン
ズ，１２は対物レンズ、１３はチャート、１４はＣＣＤ
カメラを示している。
・動作例を図８に示す。図８において、符号１は被検非
球面レンズ、２は被検非球面レンズ１の裏面のコバ面を
水平に保持するためのレンズ受け、６はレンズ受けと一
体となった回転機構（スピンドル）、７は変位計、９は
光源、１０はビームスプリッタ、１１はコリメータレン
ズ，１２は対物レンズ、１３はチャート、１４はＣＣＤ
カメラを示している。
【００１８】この非球面偏心測定機においては、被検非
球面レンズ１をレンズ受け２で保持し、そのレンズ受け
２の中心軸を回転軸としたスピンドル６で、被検非球面
レンズ１及びレンズ受け２を回転させる。そして、この
被検非球面レンズ１の外筒面に電気マイクロや光マイク
ロ等の変位計７を接触させ、その変位が一定になるよう
に被検非球面レンズ１を横方向に動かして調整する。ま
た、光源（レーザ等）９から出射した光はビームスプリ
ッタ１０で折り返され、コリメータレンズ１１により平
行光となり、対物レンズ１２で被検非球面レンズ１のＡ
面の近軸曲率中心Ａ０に焦点を結ぶように集光する。そ
して、被検非球面レンズ１のＡ面からの反射光は対物レ
ンズ１２、コリメータレンズ１１、ビームスプリッタ１
０を通り、チャート１３上に反射スポット像を写す。そ
の反射像をＣＣＤカメラ１４で観察する。この際、被検
非球面レンズ１の回転に伴い、反射像はチャート１３上
で円を描くから、ＣＣＤカメラ１４でその円の回転半径
を検出する。この回転半径が、すなわち被検非球面レン
ズ１の外筒軸（外筒部の中心軸）を基準とした光軸の横
ズレ量（シフト偏心量）となる。
球面レンズ１をレンズ受け２で保持し、そのレンズ受け
２の中心軸を回転軸としたスピンドル６で、被検非球面
レンズ１及びレンズ受け２を回転させる。そして、この
被検非球面レンズ１の外筒面に電気マイクロや光マイク
ロ等の変位計７を接触させ、その変位が一定になるよう
に被検非球面レンズ１を横方向に動かして調整する。ま
た、光源（レーザ等）９から出射した光はビームスプリ
ッタ１０で折り返され、コリメータレンズ１１により平
行光となり、対物レンズ１２で被検非球面レンズ１のＡ
面の近軸曲率中心Ａ０に焦点を結ぶように集光する。そ
して、被検非球面レンズ１のＡ面からの反射光は対物レ
ンズ１２、コリメータレンズ１１、ビームスプリッタ１
０を通り、チャート１３上に反射スポット像を写す。そ
の反射像をＣＣＤカメラ１４で観察する。この際、被検
非球面レンズ１の回転に伴い、反射像はチャート１３上
で円を描くから、ＣＣＤカメラ１４でその円の回転半径
を検出する。この回転半径が、すなわち被検非球面レン
ズ１の外筒軸（外筒部の中心軸）を基準とした光軸の横
ズレ量（シフト偏心量）となる。
【００１９】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の非球面偏
心測定機においては、コバ面を持つ非球面レンズを測定
対象とし、その非球面レンズの取り付け基準であるコバ
面を基準として被検非球面レンズの偏心（裏面側コバ面
に対する表面側コバ面の傾斜、コバ面に対するレンズ面
の傾斜、表裏のコバ面をそれぞれ基準とした光軸の傾
斜、外筒軸（外筒部の中心軸）を基準とした光軸の横ズ
レ等）を定義し、測定及び解析することで、製品性能に
適合した評価（検査）を行なうことができる。また、測
定対象となる被検非球面レンズは、片面のみ非球面、両
面とも非球面のどちらにも対応することができる。ま
た、被検非球面レンズの表面を走査して形状を得る手段
として、走査型形状測定機を利用することで、非球面形
状誤差と偏心の両方の測定（検査）を１度に行なうこと
ができる。
心測定機においては、コバ面を持つ非球面レンズを測定
対象とし、その非球面レンズの取り付け基準であるコバ
面を基準として被検非球面レンズの偏心（裏面側コバ面
に対する表面側コバ面の傾斜、コバ面に対するレンズ面
の傾斜、表裏のコバ面をそれぞれ基準とした光軸の傾
斜、外筒軸（外筒部の中心軸）を基準とした光軸の横ズ
レ等）を定義し、測定及び解析することで、製品性能に
適合した評価（検査）を行なうことができる。また、測
定対象となる被検非球面レンズは、片面のみ非球面、両
面とも非球面のどちらにも対応することができる。ま
た、被検非球面レンズの表面を走査して形状を得る手段
として、走査型形状測定機を利用することで、非球面形
状誤差と偏心の両方の測定（検査）を１度に行なうこと
ができる。
【図１】請求項１〜３の非球面偏心測定機で測定対象と
している非球面レンズの一例を示す断面図である。
している非球面レンズの一例を示す断面図である。
【図２】請求項１の非球面偏心測定機の構成・動作例を
示す図であって、（ａ）は非球面偏心測定機の概略構成
図、（ｂ）は（ａ）の測定機により得られた被検非球面
レンズ表面の光軸を通る断面形状を示す図である。
示す図であって、（ａ）は非球面偏心測定機の概略構成
図、（ｂ）は（ａ）の測定機により得られた被検非球面
レンズ表面の光軸を通る断面形状を示す図である。
【図３】請求項２の動作例を示す図であって、図２
（ａ）と同様の構成の測定機により得られた被検非球面
レンズ表面の光軸を通る断面形状を示す図である。
（ａ）と同様の構成の測定機により得られた被検非球面
レンズ表面の光軸を通る断面形状を示す図である。
【図４】請求項３の非球面偏心測定機の一例を示す概略
構成図である。
構成図である。
【図５】請求項４の非球面偏心測定機で測定対象として
いる非球面レンズの一例を示す要部断面図である。
いる非球面レンズの一例を示す要部断面図である。
【図６】請求項４の非球面偏心測定機の構成・動作例を
示す図であって、（ａ）は非球面偏心測定機の概略構成
図、（ｂ）は（ａ）の測定機により得られた被検非球面
レンズ表面の光軸を通る断面形状を示す図である。
示す図であって、（ａ）は非球面偏心測定機の概略構成
図、（ｂ）は（ａ）の測定機により得られた被検非球面
レンズ表面の光軸を通る断面形状を示す図である。
【図７】請求項５の非球面偏心測定機で測定対象として
いる非球面レンズの一例を示す断面図である。
いる非球面レンズの一例を示す断面図である。
【図８】請求項６の非球面偏心測定機の一例を示す概略
構成図である。
構成図である。
１：被検非球面レンズ ２：レンズ受け ３：走査型形状測定機 ４，５，８：測定断面形状 ６：スピンドル（回転機構） ７：変位計（電気マイクロ、光マイクロ等） ９：光源 １０：ビームスプリッタ １１：コリメータレンズ １２：対物レンズ １３：チャート １４：ＣＣＤカメラ Ａ：被検非球面レンズの表面側レンズ面 Ｂ：被検非球面レンズの裏面側レンズ面 ａ−ｂ：被検非球面レンズの表面側コバ面 ｃ−ｄ：被検非球面レンズの裏面側コバ面 ｒA ：レンズ面Ａの光軸 ｒB ：レンズ面Ｂの光軸
Claims (6)
- 【請求項１】コバ面を持った被検非球面レンズの裏面の
コバ面を水平に保持する手段と、被検非球面レンズの表
面を走査して形状を得る手段と、得られた形状から表面
のコバ面の傾斜角を得る手段を備えたことを特徴とする
非球面偏心測定機。 - 【請求項２】コバ面を持った被検非球面レンズの裏面の
コバ面を水平に保持する手段と、被検非球面レンズの表
面を光軸を通るように走査して形状を得る手段と、レン
ズ面の非球面形状から、その面の傾斜角を得る手段を備
えたことを特徴とする非球面偏心測定機。 - 【請求項３】コバ面を持った被検非球面レンズの裏面の
コバ面を水平に保持する手段と、前記保持部の中心軸を
回転軸とし、その保持部と一体となった回転機構と、被
検非球面レンズを回転させながら任意の点での表面のコ
バ面の変位を得る手段と、その変位から被検非球面レン
ズ表面のコバ面の傾斜角を得る手段を備えたことを特徴
とする非球面偏心測定機。 - 【請求項４】コバ面を持った被検非球面レンズをそのコ
バ面で保持する手段と、被検非球面レンズの表面を光軸
を通るように走査して形状を得る手段と、得られた断面
形状のうち、コバ面の部分の傾斜角を得る手段と、レン
ズ面の非球面形状から、その光軸の傾斜角を得る手段
と、得られた２つの傾斜角を比較する手段を備えたこと
を特徴とする非球面偏心測定機。 - 【請求項５】請求項１もしくは請求項３記載の手段によ
り、被検非球面レンズの表面と裏面のコバ面の相対的な
傾斜角を得る手段と、請求項４記載の手段により、被検
非球面レンズの表面、裏面それぞれのコバ面を基準とし
たレンズ面の傾斜角を得る手段を備えたことを特徴とす
る非球面偏心測定機。 - 【請求項６】コバ面を持った被検非球面レンズの裏面の
コバ面を水平に保持する手段と、前記保持部と一体とな
った回転機構と、被検非球面レンズの外筒軸を前記回転
機構の回転軸と一致させる手段と、被検非球面レンズの
近軸付近からの反射光を得るためのオートコリメート機
構と、その反射光を検知し、前記回転軸からのズレ量を
検出する手段を備えたことを特徴とする非球面偏心測定
機。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20972794A JPH0875597A (ja) | 1994-09-02 | 1994-09-02 | 非球面偏心測定機 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20972794A JPH0875597A (ja) | 1994-09-02 | 1994-09-02 | 非球面偏心測定機 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0875597A true JPH0875597A (ja) | 1996-03-22 |
Family
ID=16577646
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20972794A Pending JPH0875597A (ja) | 1994-09-02 | 1994-09-02 | 非球面偏心測定機 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0875597A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006003112A (ja) * | 2004-06-15 | 2006-01-05 | Fuji Photo Film Co Ltd | 偏芯測定装置、偏芯測定方法、レンズ用金型、および撮像モジュール |
| JP2007047131A (ja) * | 2005-08-12 | 2007-02-22 | Hoya Corp | 非球面レンズの測定方法、非球面レンズの測定装置、非球面レンズの測定プログラム、非球面レンズの製造方法及び非球面レンズ |
| JP2007085914A (ja) * | 2005-09-22 | 2007-04-05 | Hoya Corp | 非球面レンズの測定方法、非球面レンズの測定装置、非球面レンズの測定プログラム、非球面レンズの製造方法及び非球面レンズ |
| JP2007127473A (ja) * | 2005-11-02 | 2007-05-24 | Hoya Corp | 非球面レンズの測定方法、非球面レンズの測定装置、非球面レンズの測定プログラム、非球面レンズの製造方法及び非球面レンズ |
| JP2008533439A (ja) * | 2005-02-01 | 2008-08-21 | テイラー・ホブソン・リミテッド | 測定器具 |
| JP2010019832A (ja) * | 2008-06-10 | 2010-01-28 | Fujinon Corp | 偏芯量測定方法 |
| US7848186B2 (en) | 2006-05-22 | 2010-12-07 | Sanyo Electric Co., Ltd. | Objective lens and method of manufacturing optical pickup apparatus |
-
1994
- 1994-09-02 JP JP20972794A patent/JPH0875597A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006003112A (ja) * | 2004-06-15 | 2006-01-05 | Fuji Photo Film Co Ltd | 偏芯測定装置、偏芯測定方法、レンズ用金型、および撮像モジュール |
| JP2008533439A (ja) * | 2005-02-01 | 2008-08-21 | テイラー・ホブソン・リミテッド | 測定器具 |
| JP2007047131A (ja) * | 2005-08-12 | 2007-02-22 | Hoya Corp | 非球面レンズの測定方法、非球面レンズの測定装置、非球面レンズの測定プログラム、非球面レンズの製造方法及び非球面レンズ |
| JP2007085914A (ja) * | 2005-09-22 | 2007-04-05 | Hoya Corp | 非球面レンズの測定方法、非球面レンズの測定装置、非球面レンズの測定プログラム、非球面レンズの製造方法及び非球面レンズ |
| JP2007127473A (ja) * | 2005-11-02 | 2007-05-24 | Hoya Corp | 非球面レンズの測定方法、非球面レンズの測定装置、非球面レンズの測定プログラム、非球面レンズの製造方法及び非球面レンズ |
| US7848186B2 (en) | 2006-05-22 | 2010-12-07 | Sanyo Electric Co., Ltd. | Objective lens and method of manufacturing optical pickup apparatus |
| JP2010019832A (ja) * | 2008-06-10 | 2010-01-28 | Fujinon Corp | 偏芯量測定方法 |
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