JPH0875545A - 焦電型赤外線検出装置 - Google Patents

焦電型赤外線検出装置

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Publication number
JPH0875545A
JPH0875545A JP21437094A JP21437094A JPH0875545A JP H0875545 A JPH0875545 A JP H0875545A JP 21437094 A JP21437094 A JP 21437094A JP 21437094 A JP21437094 A JP 21437094A JP H0875545 A JPH0875545 A JP H0875545A
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JP
Japan
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infrared
sensor array
sensor
light lens
infrared light
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Pending
Application number
JP21437094A
Other languages
English (en)
Inventor
Yoshikazu Kawabe
義和 川邊
Yasuto Mukai
靖人 向井
Satoshi Tokushige
智 徳重
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Publication date
Application filed by Matsushita Electric Industrial Co Ltd filed Critical Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Publication of JPH0875545A publication Critical patent/JPH0875545A/ja
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  • Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
  • Radiation Pyrometers (AREA)
  • Geophysics And Detection Of Objects (AREA)
  • Transforming Light Signals Into Electric Signals (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 赤外線強度分布を死角なく検出する。 【構成】 センサアレイ１と赤外光レンズ３の少なくも
と一方を赤外光レンズ３の光軸に対して垂直方向に平行
移動させる平行移動手段４を備える。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は赤外線の強度分布を検知
し、物体の位置や温度分布や人の挙動、火災の発生等に
関する情報を得ることのできる焦電型赤外線検出装置に
関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、赤外線カメラや防犯・防災あるい
は自動ドア等のセンサとして赤外線検出装置の需要が増
加している。
【０００３】赤外線センサには化合物半導体を用いた量
子型のものと焦電素子やサーミスタを用いた熱型のもの
がある。量子型の赤外線センサは液体窒素などで冷却し
ながら使用しなければならず、長時間連続して動作させ
るには不向きである。熱型の赤外線センサは、メンテナ
ンス性や装置サイズの点で優れており、防犯・防災ある
いは自動ドア等のセンサに多く用いられている。熱型の
中では焦電型の赤外線センサが、感度が高く赤外線源の
位置検出に適している。
【０００４】焦電型の赤外線センサを用いた装置では、
特開平４−１７５６２３号公報に示すようにセンサを１
次元アレイ状に薄膜で形成して作成したセンサアレイを
回転走査し２次元画像を得るものが注目されている。
【０００５】従来の装置では、図６に示すように、焦電
特性を示すＰＬＴ薄膜からなるセンサ画素５を直線上に
配置したセンサアレイ１をスイープ軸２に対して設計仕
様に応じた角度に取り付け、赤外光レンズ３ごとスイー
プ軸２を矢印Ａ方向に回転させると赤外光レンズ３を通
して測定空間の赤外線がセンサアレイ１上に結像し、赤
外線の強度変化が有るとその変化の大きさに応じた電圧
変化となって検出される。
【０００６】従来の装置をエアコンに搭載した例では、
測定した赤外線強度分布から室内の温度分布や人間の位
置・活動量等の情報を得、最適な空調制御を行ってい
る。
【０００７】センサアレイ１は構成上の制約からセンサ
画素５間に赤外線を検出することができない不感領域を
持っており、実際に検出しているのは視野角Ｋ内の角度
で入射する赤外線であり死角Ｌ内の角度で入射する赤外
線は検出できない。
【０００８】エアコン等に搭載する場合は、測定空間が
比較的小さく死角になる範囲は狭い。また、多少の死角
があっても必要な情報を得ることができる。しかし、防
災等の用途で、屋外などの広い範囲に渡って測定を行う
場合、死角となる範囲が大きくなる。また、用途の性格
上死角を無視することはできない。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】従来の焦電型赤外線検
出装置では、赤外線の検出に用いていたセンサアレイ１
が構造上センサ画素５間に不感領域を持っており、測定
空間内に赤外線強度を検出することができない死角が存
在するという課題があった。
【００１０】本発明は上記課題を解決するもので、赤外
線強度分布を死角なく検出できる焦電型赤外線検出装置
を提供することを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】本発明は上記目的を達成
するために、センサアレイと赤外光レンズのうち少なく
とも一方を赤外光レンズの光軸に対して垂直方向に平行
移動させる平行移動手段を備えるものである。
【００１２】あるいは、センサアレイと赤外光レンズの
うち少なくとも一方をスイープ軸を含む平面内で回転移
動させる回転移動手段を備えるものである。
【００１３】あるいは、センサアレイを赤外光レンズの
光軸に垂直な平面内で回転させるセンサ回転手段を備え
るものである。
【００１４】あるいは、複数のセンサアレイを備え、そ
れぞれのセンサアレイのセンサ画素の配列方向がスイー
プ軸に対してそれぞれ異なる角度で配置するものであ
る。
【００１５】
【作用】本発明は上記構成において、平行移動手段がセ
ンサアレイと赤外光レンズのうち少なくとも一方を赤外
光レンズの光軸に対して垂直方向に平行移動させると、
平行移動前はセンサアレイの不感領域上に結像していた
死角内の赤外線が、センサアレイのセンサ画素上に結像
するようになる。したがって、１回目の測定を行った後
平行移動を行って２回目の測定を行うと、１回目の測定
で取得した赤外線強度分布の死角の赤外線強度分布が２
回目の測定で取得される。
【００１６】また、１回目の測定を行った後、回転移動
手段がセンサアレイと赤外光レンズのうち少なくとも一
方をスイープ軸を含む平面内で回転移動させると、回転
移動前はセンサアレイの不感領域上に結像していた死角
内の赤外線が、センサアレイのセンサ画素上に結像する
ようになる。したがって、１回目の測定を行った後回転
移動を行って２回目の測定を行うと、１回目の測定で取
得した赤外線強度分布の死角の赤外線強度分布が２回目
の測定で取得される。
【００１７】また、センサ回転手段がセンサアレイを赤
外光レンズの光軸に垂直な平面内で回転させると、回転
前にはセンサアレイの不感領域上に結像していた死角内
の赤外線が、センサアレイのセンサ画素上に結像するよ
うになる。したがって、１回目の測定を行った後回転移
動を行って２回目の測定を行うと、１回目の測定で取得
した赤外線強度分布の死角の赤外線強度分布が２回目の
測定で取得される。
【００１８】また、複数のセンサアレイを備え、それぞ
れのセンサアレイのセンサ画素の配列方向がスイープ軸
に対してそれぞれ異なる角度で配置すると、任意のセン
サアレイの死角の赤外線を別のセンサアレイが検出する
ようになる。
【００１９】
【実施例】
（実施例１）以下、本発明の第１の実施例について図１
を参照しながら説明する。なお、従来例で説明したもの
と同一構成部材には同一番号を用いる。図１は本発明の
第１の実施例の焦電型赤外線検出装置の斜視図である。
【００２０】図１に示すように、センサアレイ１、スイ
ープ軸２、赤外光レンズ３、リニアアクチュエータ４か
ら構成される。
【００２１】センサアレイ１はＰＬＴ薄膜からなるセン
サ画素５を直線上に配置したもので、センサ画素面がス
イープ軸２と所定の角度になるよう設置されている。セ
ンサ画素５はＰＬＴ薄膜の他にＬｉＴａＯ3やＰＺＴ系
あるいはＰＴ系のセラミックおよび薄膜、ＰＶＦ2など
を用いて構成することも可能である。
【００２２】スイープ軸２を駆動させ測定することによ
り、センサアレイ１で２次元の赤外線強度分布を得るこ
とができる。
【００２３】赤外光レンズ３は赤外線を透過するシリコ
ンを研磨して作成した球面レンズで、光軸センサアレイ
１のセンサ画素５面と直交するように位置し、スイープ
軸２の回転と連動して回転移動するようになっている。
【００２４】リニアアクチュエータ４はソレノイドで構
成され、センサアレイ１をセンサ画素５面と赤外光レン
ズ３の光軸との角度、センサアレイ１と赤外光レンズ３
の距離を一定に保ったまま平行移動させる平行移動手段
を構成している。ソレノイドの他に、圧電素子やカム機
構を用いても装置を構成することができる。
【００２５】以上のように構成された焦電型赤外線検出
装置の動作に付いて説明する。まず、センサアレイ１を
所定の位置に固定して、スイープ軸２を矢印で示す往時
回転方向Ａに回転させ測定を行うと、視野角Ｘ内の角度
で入射する赤外線の強度が得られる。スイープ軸２を往
時回転方向Ａに所定角度だけ回転させた後、リニアアク
チュエータ４によりセンサアレイ１をセンサ画素面と赤
外光レンズ３の光軸と直角な移動方向Ｃに移動させる。
この移動によりセンサアレイ１の不感領域の位置にセン
サ画素５が来る。センサアレイ１を移動させた後、スイ
ープ軸２を矢印で示す復時回転方向Ｂに回転させると、
視野角Ｙ内の角度で入射する赤外線の強度が得られる。
初期の位置に戻ったら、リニアアクチュエータ４により
センサアレイ１を当初の位置に移動させる。往時と復時
に得られた赤外線強度のデータを合成すると、死角の無
い赤外線強度分布を得ることができる。
【００２６】第１の実施例では、センサアレイ１をセン
サ画素５面と赤外光レンズ３の光軸と直角に平行移動さ
せた。しかし、センサアレイ１をスイープ軸２に沿って
平行移動させても赤外光レンズ３の焦点深度内に納まっ
ていれば同様の結果が得られる。
【００２７】なお、センサアレイ１ではなく赤外光レン
ズ３を移動させても同様の効果が得られる。
【００２８】（実施例２）次に、本発明の第２の実施例
について図２を参照しながら説明する。なお、第１の実
施例で説明したものと同一構成部材には同一番号を用い
る。図２は本発明の第２の実施例の焦電型赤外線検出装
置の斜視図である。
【００２９】図２に示すように、センサアレイ１、スイ
ープ軸２、赤外光レンズ３、ハウジング６、リニアアク
チュエータ７から構成される。
【００３０】センサアレイ１はＰＬＴ薄膜からなるセン
サ画素５を直線上に配置したもので、センサ画素面がス
イープ軸２と所定の角度になるようハウジング６に設置
されている。センサ画素５はＰＬＴ薄膜の他にＬｉＴａ
Ｏ3やＰＺＴ系あるいはＰＴ系のセラミックおよび薄
膜、ＰＶＦ2などを用いて構成することも可能である。
【００３１】スイープ軸２を駆動させ測定することによ
り、センサアレイ１で２次元の赤外線強度分布を得るこ
とができる。
【００３２】赤外光レンズ３は、赤外線を透過するシリ
コンを研磨して作成した球面レンズで、光軸がセンサア
レイ１のセンサ画素５面と直交するように位置し、スイ
ープ軸２の回転と連動して回転移動するようハウジング
６に固定されている。ハウジング６は、スイープ軸２と
赤外光レンズ３の光軸に直交するハウジング回転軸８回
りに回転できるようスイープ軸２で支持されている。リ
ニアアクチュエータ７は、ソレノイドで構成され、ハウ
ジング６をハウジング回転軸８回りに回転移動させる回
転移動手段を構成している。ソレノイドの他に、圧電素
子やカム機構を用いても装置を構成することができる。
【００３３】以上のように構成された焦電型赤外線検出
装置の動作に付いて説明する。まず、センサアレイ１を
所定の位置に固定して、スイープ軸２を矢印で示す往時
回転方向Ａに回転させると、視野角Ｘ内の角度で入射す
る赤外線の強度が得られる。スイープ軸２を往時回転方
向Ａに所定角度だけ回転させた後、リニアアクチュエー
タ７を駆動方向Ｄに駆動し、センサアレイ１の死角の入
射光がセンサ画素５上に結像するよう、ハウジング６を
回転移動方向Ｅに回転移動させる。センサアレイ１を移
動させた後、スイープ軸２を復時回転方向Ｂに回転させ
ると、視野角Ｙ内の角度で入射する赤外線の強度が得ら
れる。初期の位置に戻ったら、リニアアクチュエータ７
によりハウジング６を当初の位置に回転移動させる。往
時と復時に得られた赤外線強度のデータを合成すると、
死角の無い赤外線強度分布を得ることができる。
【００３４】第２の実施例では、ハウジング６を回転移
動させることによりセンサアレイ１と赤外光レンズ３の
両方を移動させたが、センサアレイ１の視野角が赤外光
レンズ３の全視野角内に収まり、かつセンサアレイ１が
赤外光レンズ３の焦点深度内に収まっていれば、センサ
アレイ１あるいは赤外光レンズ３のどちらか一方だけ移
動させても同様の結果が得られる。
【００３５】（実施例３）次に、本発明の第３の実施例
について図３を参照しながら説明する。なお、第１の実
施例で説明したものと同一構成部材には同一番号を用い
る。図３は本発明の第３の実施例の焦電型赤外線検出装
置の斜視図である。
【００３６】図３に示すように、センサアレイ１、スイ
ープ軸２、赤外光レンズ３、ギア部を持つ回転ステージ
９、駆動ギア１０、モータ１１から構成される。
【００３７】センサアレイ１は、ＰＬＴ薄膜からなるセ
ンサ画素５を直線上に配置したもので、センサ画素面が
スイープ軸２と所定の角度になるよう回転ステージ９に
設置されている。センサ画素５は、ＰＬＴ薄膜の他にＬ
ｉＴａＯ3やＰＺＴ系あるいはＰＴ系のセラミックおよ
び薄膜、ＰＶＦ2などを用いて構成することも可能であ
る。
【００３８】スイープ軸２を駆動させ測定することによ
り、センサアレイ１で２次元の赤外線強度分布を得るこ
とができる。
【００３９】赤外光レンズ３は、赤外線を透過するシリ
コンを研磨して作成した球面レンズで、光軸がセンサア
レイ１のセンサ画素面と直交するように位置し、スイー
プ軸２の回転と連動して回転移動するようになってい
る。回転ステージ９は、駆動ギア１０とギア列構成する
ギア部を持っており、モータ１１を駆動させることによ
り赤外光レンズ３の光軸回りに回転するように設置され
ている。
【００４０】また、赤外線強度測定時の死角を完全に無
くすため、赤外光レンズ３の光軸つまり回転ステージ９
の回転軸が、センサアレイ１の１センサ画素５の中を通
るように、センサアレイ１を配置するのが望ましい。
【００４１】以上のように構成された焦電型赤外線検出
装置の動作に付いて図３および図４を参照しながら説明
する。まず、センサアレイ１を所定の位置に固定して、
スイープ軸２を往時回転方向Ａに回転させると、視野角
Ｘ内の角度で入射する赤外線の強度が得られる。スイー
プ軸２を往時回転方向Ａに所定角度だけ回転させた後、
モータ１１を駆動させ駆動ギア１０を介して回転ステー
ジ９を１８０°回転させて、往時に死角となって測定で
きなかった赤外線が測定できるように、センサアレイ１
を回転させる。
【００４２】つまり、図４に示すように、センサアレイ
１を回転中心Ｆの回りに１８０°回転させ、姿勢Ｍのよ
うにセンサアレイ１の不感領域の位置にセンサ画素５が
来るようにする。図４中、回転中心Ｆと回転中心Ｇは実
際には同一で、説明の都合上ずらして表示したものであ
る。スイープ軸２は、往時回転方向Ｈ、復時回転方向Ｊ
に回転し、赤外光レンズ３の光軸は回転中心Ｆを通るよ
うに設定されている。
【００４３】また、センサアレイ１を回転中心Ｆの回り
に４５°回転させると姿勢Ｎになり、死角の赤外線を検
出できる。ここで姿勢Ｎでスイープ軸２を回転させスイ
ープすると死角が生じないが、検出画素がひねれて扱い
にくくなるなめセンサアレイ１のセンサ画素５配列方向
とスイープ軸２は交わるように配置し、１８０°回転さ
せて死角の赤外線を検出するのが望ましい。
【００４４】回転ステージ９を回転させた後、スイープ
軸２を復時回転方向Ｂに回転させると、視野角Ｙ内の角
度で入射する赤外線の強度が得られる。初期の位置に戻
ったら、モータ１１を逆回転させ駆動ギア１０を介して
回転ステージ９を回転させ、センサアレイ１を当初の位
置に回転させる。往時と復時に得られた赤外線強度のデ
ータを合成すると、死角の無い赤外線強度分布を得るこ
とができる。
【００４５】（実施例４）本発明の第４の施例について
図５を参照しながら説明を行う。図５は本発明の第４の
実施例の焦電型赤外線検出装置の斜視図である。
【００４６】図５に示すように、センサアレイ１ａ、１
ｂ、スイープ軸２ａ、２ｂ、赤外光レンズ３ａ、３ｂか
ら構成される。
【００４７】センサアレイ１ａ、１ｂは、ＰＬＴ薄膜か
らなるセンサ画素５ａ、５ｂを直線上に配置したもの
で、センサ画素面がスイープ軸２ａ、２ｂと所定の角度
になるよう設置されている。センサアレイ１ａのセンサ
画素面がスイープ軸２ａとなす角度θ１と、センサアレ
イ１ｂのセンサ画素面がスイープ軸２ｂとなす角度θ２
とは互いに異なり、センサアレイ１ａの死角位置に焦電
センサアレイ１ｂの視野角が位置するように配置されて
いる。ここで、センサ画素５ａ、５ｂは、ＰＬＴ薄膜の
他にＬｉＴａＯ3やＰＺＴ系あるいはＰＴ系のセラミッ
クおよび薄膜、ＰＶＦ2などを用いて構成することも可
能である。
【００４８】スイープ軸２ａ、２ｂを駆動させ測定する
ことにより、センサアレイ１ａ、１ｂで２次元の赤外線
強度分布を得ることができる。
【００４９】赤外光レンズ３ａ、３ｂは、赤外線を透過
するシリコンを研磨して作成した球面レンズで、光軸が
センサアレイ１ａ、１ｂのセンサ画素面と直交するよう
に位置し、スイープ軸２ａ、２ｂの回転と連動して回転
移動するようになっている。
【００５０】以上のように構成された焦電型赤外線検出
装置の動作に付いて説明する。まず、センサアレイ１ａ
をスイープ軸２ａを回転方向Ａ１に回転させると、視野
Ｚ１内の赤外線の強度が得られる。同時に、センサアレ
イ１ｂをスイープ軸２ｂを回転方向Ａ２に回転させる
と、視野Ｚ２内の赤外線の強度が得られる。
【００５１】センサアレイ１ａの死角位置にセンサアレ
イ１ｂの視野角が位置するように配置されていることか
ら、センサアレイ１ａが検出する赤外線とセンサアレイ
１ｂが検出する赤外線とは互い違いになる。そして、セ
ンサアレイ１ａ、１ｂの赤外線強度データを合成する
と、死角の無い赤外線強度分布を得ることができる。
【００５２】第４の実施例では、センサアレイ１ａとセ
ンサアレイ１ｂはそれぞれ異なるスイープ軸２ａ、２
ｂ、赤外光レンズ３ａ、３ｂを有しているが、２つのセ
ンサアレイを用い同一のスイープ軸、赤外光レンズで装
置を構成しても、２つのセンサアレイが赤外光レンズの
焦点深度内に納まっていれば同様の結果が得られる。
【００５３】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように本発明
は、センサアレイと赤外光レンズのうち少なくとも一方
を赤外光レンズの光軸に対して垂直方向に平行移動させ
る平行移動手段を備える。あるいは、センサアレイと赤
外光レンズのうち少なくとも一方を赤外光レンズの光軸
を含む平面内で回転移動する回転移動手段を備える。あ
るいは、センサアレイを赤外光レンズの光軸に垂直な平
面内で回転させるセンサ回転手段を備える。あるいは、
複数のセンサアレイを備え、それぞれのセンサアレイの
センサ画素の配列方向がスイープ軸に対して、それぞれ
異なる角度で配置することにより、赤外線強度分布を死
角なく検出することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施例の焦電型赤外線検出装置
の斜視図
【図２】本発明の第２の実施例の焦電型赤外線検出装置
の斜視図
【図３】本発明の第３の実施例の焦電型赤外線検出装置
の斜視図
【図４】同、焦電センサアレイの回転移動を示す図
【図５】本発明の第４の実施例の焦電型赤外線検出装置
の斜視図
【図６】従来の焦電型赤外線検出装置の斜視図
【符号の説明】
１，１ａ，１ｂ センサアレイ ２，２ａ，２ｂ スイープ軸 ３，３ａ，３ｂ 赤外光レンズ ４ リニアアクチュエータ（平行移動手段） ５，５ａ，５ｂ センサ画素 ６ ハウジング（回転移動手段） ７ ニアアクチュエータ（回転移動手段） ８ ハウジング回転軸（回転移動手段） ９ 回転ステージ（センサ回転手段） １０ 駆動ギア（センサ回転手段） １１ モータ（センサ回転手段）
フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｇ０１Ｊ 5/10 Ｃ 5/48 Ｂ Ｇ０１Ｖ 8/12 Ｈ０４Ｎ 5/33

Claims (12)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 焦電型の赤外線センサ画素を１次元に配
    列したセンサアレイと、入射する赤外線を前記センサア
    レイ上に結像するための赤外光レンズと、前記センサア
    レイのセンサ画素の配列方向に対して所定の角度に位置
    し、前記センサアレイおよび赤外光レンズをスイープす
    るスイープ軸と、前記センサアレイと赤外光レンズのう
    ち少なくとも一方を赤外光レンズの光軸に対して垂直方
    向に平行移動させる平行移動手段とを備えた焦電型赤外
    線検出装置。
  2. 【請求項２】 センサアレイと赤外光レンズのうち少な
    くとも一方を赤外光レンズの光軸に対して垂直方向に平
    行移動手段により平行に移動させ、２つ以上の位置で得
    られたデータを合成して１つの赤外線強度分布を得るよ
    うにした請求項１記載の焦電型赤外線検出装置。
  3. 【請求項３】 スイープ軸が任意の角度だけ回転したの
    ち初期の位置に逆回転して戻る往復回転を行い、往時に
    センサアレイおよび赤外光レンズが任意の位置で赤外線
    強度を測定し、復時には平行移動手段により前記センサ
    アレイと赤外光レンズのうち少なくとも一方を赤外光レ
    ンズの光軸に対して垂直方向に平行移動させて赤外線強
    度を測定し、往時と復時のデータを合成して１つの赤外
    線強度分布を得るようにした請求項２記載の焦電型赤外
    線検出装置。
  4. 【請求項４】 焦電型の赤外線センサ画素を１次元に配
    列したセンサアレイと、入射する赤外線を前記センサア
    レイ上に結像するための赤外光レンズと、前記センサア
    レイのセンサ画素の配列方向に対して所定の角度に位置
    し、前記センサアレイおよび赤外光レンズをスイープす
    るスイープ軸と、前記センサアレイと赤外光レンズのう
    ち少なくとも一方を前記スイープ軸を含む平面内で回転
    移動させる回転移動手段とを備えた焦電型赤外線検出装
    置。
  5. 【請求項５】 センサアレイと赤外光レンズのうち少な
    くとも一方をスイープ軸を含む平面内で回転移動手段に
    より回転移動させ、２つ以上の位置で得られたデータを
    合成して１つの赤外線強度分布を得るようにした請求項
    ４記載の焦電型赤外線検出装置。
  6. 【請求項６】 スイープ軸が任意の角度だけ回転したの
    ち初期の位置に逆回転して戻る往復回転を行い、往時に
    センサアレイおよび赤外光レンズが任意の位置で赤外線
    強度を測定し、復時には回転移動手段により前記センサ
    アレイと赤外光レンズのうち少なくとも一方をスイープ
    軸を含む平面内で回転移動させて赤外線強度を測定し、
    往時と復時のデータを合成して１つの赤外線強度分布を
    得るようにした請求項５記載の焦電型赤外線検出装置。
  7. 【請求項７】 焦電型の赤外線センサ画素を１次元に配
    列したセンサアレイと、入射する赤外線を前記センサア
    レイ上に結像するための赤外光レンズと、前記センサア
    レイのセンサ画素の配列方向に対して所定の角度に位置
    し、前記センサアレイおよび赤外光レンズをスイープす
    るスイープ軸と、前記センサアレイを前記赤外光レンズ
    の光軸に垂直な平面内で回転させるセンサ回転手段とを
    備えた焦電型赤外線検出装置。
  8. 【請求項８】 センサアレイをセンサ回転手段により赤
    外光レンズの光軸に垂直な平面内で回転させ、２つ以上
    の位置で得られたデータを合成して１つの赤外線強度分
    布を得るようにした請求項７記載の焦電型赤外線検出装
    置。
  9. 【請求項９】 スイープ軸が任意の角度だけ回転したの
    ち初期の位置に逆回転して戻る往復回転を行い、往時に
    センサアレイが任意の位置で赤外線強度を測定し、復時
    にはセンサ回転手段により前記センサアレイを赤外光レ
    ンズの光軸に垂直な平面内で回転させて赤外線強度を測
    定し、往時と復時のデータを合成して１つの赤外線強度
    分布を得るようにした請求項８記載の焦電型赤外線検出
    装置。
  10. 【請求項１０】 焦電型の赤外線センサ画素を１次元に
    配列した複数のセンサアレイと、入射する赤外線を前記
    センサアレイ上に結像するための赤外光レンズと、前記
    センサアレイのセンサ画素の配列方向に対して所定の角
    度に位置し、前記センサアレイおよび赤外光レンズをス
    イープするスイープ軸とを備え、それぞれの前記センサ
    アレイのセンサ画素の配列方向と前記スイープ軸のなす
    角度が互いに異なるようにした焦電型赤外線検出装置。
  11. 【請求項１１】 複数のセンサアレイから得られたデー
    タを合成して１つの赤外線強度分布を得るようにした請
    求項１０記載の焦電型赤外線検出装置。
  12. 【請求項１２】 焦電型の赤外線センサ画素が薄膜で形
    成した請求項１ないし１１のいずれかに記載の焦電型赤
    外線検出装置。
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