JPH0875476A - Vibration gyro - Google Patents
Vibration gyroInfo
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- JPH0875476A JPH0875476A JP6234240A JP23424094A JPH0875476A JP H0875476 A JPH0875476 A JP H0875476A JP 6234240 A JP6234240 A JP 6234240A JP 23424094 A JP23424094 A JP 23424094A JP H0875476 A JPH0875476 A JP H0875476A
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】この発明は振動ジャイロに関し、
特にたとえば、回転角速度を検知することによって移動
体の位置を検出し適切な誘導を行うナビゲーションシス
テム、または手ぶれなどの外的振動による回転角速度を
検知し適切な制振を行う手ぶれ防止装置などの除振シス
テムなどに応用できる振動ジャイロに関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a vibration gyro,
In particular, for example, a navigation system that detects the position of a moving object by detecting the rotational angular velocity and performs appropriate guidance, or a shake prevention device that detects the rotational angular velocity due to external vibration such as camera shake and appropriately suppresses vibration. A vibration gyro applicable to a vibration system or the like.
【0002】[0002]
【従来の技術】図14は従来の振動ジャイロの一例を示
す斜視図であり、図15はその正面図である。図14お
よび図15に示す振動ジャイロ1は、振動子2を含む。2. Description of the Related Art FIG. 14 is a perspective view showing an example of a conventional vibrating gyro, and FIG. 15 is a front view thereof. The vibration gyro 1 shown in FIGS. 14 and 15 includes a vibrator 2.
【0003】振動子2は、正3角柱状の振動体3を含
み、振動体3の3つの側面のほぼ中央には、3つの圧電
素子4a,4bおよび4cがそれぞれ形成される。The vibrator 2 includes a vibrating body 3 in the shape of a regular triangular prism, and three piezoelectric elements 4a, 4b, and 4c are formed in the center of three side surfaces of the vibrating body 3, respectively.
【0004】この振動子2は、線材からなる略コ字形の
2つの支持部材5aおよび5bによって、基板6の一方
主面の上方で支持される。この場合、支持部材5aおよ
び5bの中央部分が、2つの圧電素子4aおよび4bで
挟まれる振動体3の1つの稜線部分に固着される。支持
部材5aおよび5bは、振動子2の屈曲振動に悪影響を
及ぼしにくくするために、振動子2のノード部分の近傍
に固着される。振動子2のノード部分は、振動子2の長
手方向の長さをLとすると、振動子2の中心軸の両端か
ら0.224Lの位置にある。この従来例では、これら
の支持部材5aおよび5bの中央部分は、振動体3の1
つの稜線部分の両端から0.224Lの位置に固着され
る。そして、それらの支持部材5aおよび5bの両端
は、基板6の一方主面に固着される。The vibrator 2 is supported above one main surface of the substrate 6 by two substantially U-shaped support members 5a and 5b made of a wire material. In this case, the central portions of the supporting members 5a and 5b are fixed to one ridgeline portion of the vibrating body 3 sandwiched by the two piezoelectric elements 4a and 4b. The support members 5a and 5b are fixed near the node portion of the vibrator 2 in order to prevent the bending vibration of the vibrator 2 from being adversely affected. When the length of the vibrator 2 in the longitudinal direction is L, the node portion of the vibrator 2 is at a position of 0.224 L from both ends of the center axis of the vibrator 2. In this conventional example, the central portion of these support members 5a and 5b is 1
It is fixed at a position of 0.224 L from both ends of one ridge line portion. Both ends of the supporting members 5a and 5b are fixed to one main surface of the substrate 6.
【0005】この振動ジャイロ1では、たとえば2つの
圧電素子4aおよび4bに同様な駆動信号を印加する
か、あるいは、1つの圧電素子4cに駆動信号を印加す
れば、振動体3が圧電素子4cの主面に直交する方向
に、すなわち基板6の主面に直交する方向に屈曲振動す
る。無回転時には、圧電素子4aおよび4bから同様な
検出信号が得られる。そして、振動子2に振動体3の中
心軸を中心とする回転角速度が加わると、コリオリ力に
よって振動体3の屈曲振動の方向が変わり、2つの圧電
素子4aおよび4bからその回転角速度に応じた検出信
号がそれぞれ得られる。この場合、その回転角速度に応
じて、たとえば、一方の圧電素子4aからの検出信号の
電圧が大きくなり、他方の圧電素子4bからの検出信号
の電圧が小さくなる。したがって、この振動ジャイロ1
では、それらの検出信号の差の信号によって、回転角速
度が加わっていないことや加わっている回転角速度を検
出することができる。In this vibrating gyro 1, for example, when a similar drive signal is applied to the two piezoelectric elements 4a and 4b, or a drive signal is applied to one piezoelectric element 4c, the vibrating body 3 becomes the piezoelectric element 4c. Flexural vibration occurs in the direction orthogonal to the main surface, that is, in the direction orthogonal to the main surface of the substrate 6. At the time of no rotation, similar detection signals are obtained from the piezoelectric elements 4a and 4b. When a rotational angular velocity about the central axis of the vibrating body 3 is applied to the vibrator 2, the direction of flexural vibration of the vibrating body 3 is changed by the Coriolis force, and the two piezoelectric elements 4a and 4b respond to the rotational angular velocity. Each detection signal is obtained. In this case, for example, the voltage of the detection signal from one piezoelectric element 4a increases and the voltage of the detection signal from the other piezoelectric element 4b decreases according to the rotational angular velocity. Therefore, this vibration gyro 1
Then, it is possible to detect that the rotational angular velocity is not applied or the applied rotational angular velocity by the signal of the difference between the detection signals.
【0006】[0006]
【発明が解決しようとする課題】この振動ジャイロ1で
は、振動子2の質量をMとし、振動子2の屈曲振動の周
波数をωとし、振動子2に加わっている回転角速度をΩ
とすると、その回転角速度によって振動子2に発生する
コリオリ力は、Ω・M/ωに比例する。また、この振動
ジャイロ1では、小型化を図るために振動子2を小型に
すると、振動子2の質量Mが軽くなるとともに振動子2
の屈曲振動の周波数ωが高くなるため、コリオリ力が小
さくなるとともに回転角速度を検出する感度が低下して
しまう。In this vibration gyro 1, the mass of the vibrator 2 is M, the frequency of bending vibration of the vibrator 2 is ω, and the angular velocity of rotation applied to the vibrator 2 is Ω.
Then, the Coriolis force generated in the vibrator 2 due to the rotational angular velocity is proportional to Ω · M / ω. Further, in the vibration gyro 1, when the vibrator 2 is downsized in order to reduce the size, the mass M of the vibrator 2 is reduced and the vibrator 2 is reduced.
Since the frequency ω of the flexural vibration becomes high, the Coriolis force becomes small and the sensitivity for detecting the rotational angular velocity becomes low.
【0007】それゆえに、この発明の主たる目的は、小
型化しても感度のよい振動ジャイロを提供することであ
る。Therefore, a main object of the present invention is to provide a vibrating gyro that is sensitive even if it is downsized.
【0008】[0008]
【課題を解決するための手段】この発明は、屈曲振動す
る柱状の振動子と、振動子の長手方向における両端部に
それぞれが固着され、振動子を支持するための支持部材
とを含む、振動ジャイロである。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention includes a vibrating columnar vibrator, and a vibrating vibrating columnar vibrator, and support members fixed to both ends of the vibrator in the longitudinal direction for supporting the vibrator. It is a gyro.
【0009】なお、この発明にかかる振動ジャイロにお
いて、支持部材が振動子の屈曲振動のノード部分を有
し、支持部材のノード部分に固定部材が接続されること
が、後述の理由によって好ましい。In the vibrating gyroscope according to the present invention, it is preferable that the supporting member has a node portion for flexural vibration of the vibrator, and the fixing member is connected to the node portion of the supporting member for the reason described later.
【0010】この場合、固定部材の外径が振動子の外径
および支持部材の外径よりそれぞれ大きく形成されるこ
とが、後述の理由によって好ましい。In this case, it is preferable that the outer diameter of the fixing member is larger than the outer diameter of the vibrator and the outer diameter of the supporting member, for the reason described later.
【0011】[0011]
【作用】振動子の長手方向における両端部がそれぞれの
支持部材で支持される。そのため、振動子の屈曲振動の
周波数が低くなり、振動子に発生するコリオリ力が大き
くなり、回転角速度を検出する感度が上がる。そのた
め、振動子を小型に形成しても、感度がよい。The both ends of the vibrator in the longitudinal direction are supported by the respective support members. Therefore, the frequency of flexural vibration of the vibrator is lowered, the Coriolis force generated in the vibrator is increased, and the sensitivity for detecting the rotational angular velocity is increased. Therefore, the sensitivity is good even if the vibrator is formed small.
【0012】また、この発明にかかる振動ジャイロにお
いて、支持部材が振動子の屈曲振動のノード部分を有
し、支持部材のノード部分に固定部材が接続される場
合、固定部材を固定すれば、振動子の屈曲振動をほとん
ど抑制することなく、振動子を支持することができる。Further, in the vibrating gyroscope according to the present invention, when the supporting member has a node portion for flexural vibration of the vibrator and the fixing member is connected to the node portion of the supporting member, if the fixing member is fixed, the vibration occurs. The vibrator can be supported with almost no suppression of bending vibration of the child.
【0013】さらに、固定部材の外径が振動子の外径お
よび支持部材の外径よりそれぞれ大きく形成される場
合、振動子および支持部材に接触することなく、固定部
材を固定しやすい。Further, when the outer diameter of the fixing member is larger than the outer diameter of the vibrator and the outer diameter of the supporting member, the fixing member can be easily fixed without contacting the vibrator and the supporting member.
【0014】[0014]
【発明の効果】この発明によれば、小型化しても感度の
よい振動ジャイロが得られる。According to the present invention, it is possible to obtain a vibrating gyro with high sensitivity even if it is downsized.
【0015】この発明の上述の目的,その他の目的,特
徴および利点は、図面を参照して行う以下の実施例の詳
細な説明から一層明らかとなろう。The above and other objects, features and advantages of the present invention will become more apparent from the following detailed description of embodiments with reference to the accompanying drawings.
【0016】[0016]
【実施例】図1はこの発明の一実施例を示す斜視図であ
り、図2はその平面図であり、図3はその正面図であ
り、図4は図2の線IV−IVにおける断面図である。
この振動ジャイロ10は、振動子12を含む。1 is a perspective view showing an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a plan view thereof, FIG. 3 is a front view thereof, and FIG. 4 is a sectional view taken along line IV-IV of FIG. It is a figure.
The vibrating gyro 10 includes a vibrator 12.
【0017】振動子12は、たとえば正3角柱状の振動
体14を含む。この振動体14は、たとえば、ニッケ
ル,鉄,クロム,チタン、あるいはそれらの合金たとえ
ばエリンバ,鉄−ニッケル合金などの恒弾性金属材料で
形成される。なお、振動体14は、たとえば、石英,ガ
ラス,水晶,セラミックなどのように一般的に機械的な
振動を生じる金属以外の材料で形成されてもよい。The vibrator 12 includes, for example, a vibrating body 14 in the shape of a regular triangular prism. The vibrating body 14 is made of, for example, a constant elastic metal material such as nickel, iron, chromium, titanium, or an alloy thereof such as elinvar or an iron-nickel alloy. Note that the vibrating body 14 may be formed of a material other than a metal that generally generates mechanical vibration, such as quartz, glass, quartz, or ceramic.
【0018】振動体14には、その3つの側面の中央
に、圧電素子16a,16bおよび16cがそれぞれ固
着される。これらの圧電素子16a〜16cは、それぞ
れ、たとえばセラミックからなる圧電層18を含み、圧
電層18の両主面には、電極20aおよび20bがそれ
ぞれ形成される。そして、これらの圧電素子16a〜1
6cの一方主面の3つの電極20aが、振動体14の側
面にたとえば接着剤で接着される。Piezoelectric elements 16a, 16b and 16c are fixed to the center of three side surfaces of the vibrating body 14, respectively. Each of these piezoelectric elements 16a to 16c includes a piezoelectric layer 18 made of, for example, ceramic, and electrodes 20a and 20b are formed on both main surfaces of the piezoelectric layer 18, respectively. And these piezoelectric elements 16a-1
The three electrodes 20a on the one main surface of 6c are adhered to the side surface of the vibrating body 14 with an adhesive, for example.
【0019】この振動子12には、支持部材として吸振
板22aおよび22bが固着される。一方の吸振板22
aは、たとえば中空半球状の突出部分24aを含み、そ
の突出部分24aの周囲には、3つの接続部分26aを
介して、振動子12の外径より大きい外径を有するリン
グ状の外周部分28aが接続される。そして、この吸振
板22aの突出部分24aの中央部が、振動子12の振
動体14の長手方向における一端面の中央部に、たとえ
ば、接着剤で接着し、はんだ付けし、または溶接するこ
とによって固着される。同様に、他方の吸振板22b
は、たとえば中空半球状の突出部分24bを含み、その
突出部分24bの周囲には、3つの接続部分26bを介
して、振動子12の外径より大きい外径を有するリング
状の外周部分28bが接続される。そして、この吸振板
22bの突出部分24bの中央部が、振動子12の振動
体14の長手方向における他端面の中央部に固着され
る。Vibration absorbing plates 22a and 22b are fixed to the vibrator 12 as support members. One vibration absorbing plate 22
The a includes, for example, a hollow hemispherical protruding portion 24a, and around the protruding portion 24a, a ring-shaped outer peripheral portion 28a having an outer diameter larger than the outer diameter of the vibrator 12 via three connecting portions 26a. Are connected. Then, the central portion of the projecting portion 24a of the vibration absorbing plate 22a is bonded to the central portion of one end face of the vibrator 12 in the longitudinal direction of the vibrating body 14 with, for example, an adhesive, soldering, or welding. It is fixed. Similarly, the other vibration absorbing plate 22b
Includes, for example, a hollow hemispherical protruding portion 24b, and a ring-shaped outer peripheral portion 28b having an outer diameter larger than the outer diameter of the vibrator 12 is provided around the protruding portion 24b via three connecting portions 26b. Connected. Then, the central portion of the protruding portion 24b of the vibration absorbing plate 22b is fixed to the central portion of the other end surface of the vibrator 12 in the longitudinal direction of the vibrating body 14.
【0020】また、この振動子12は、たとえば2つの
圧電素子16aおよび16bに同様な駆動信号を印加す
るか、あるいは、1つの圧電素子16cに駆動信号を印
加すれば、振動体12が圧電素子16cの主面に直交す
る方向に屈曲振動する。この場合、吸振板22aおよび
22bは、図5および図6に示すように、振動子12の
長手方向における両端部を支持したときの振動子12の
屈曲振動のノード部を、外周部分28aおよび28bの
外側と内側とのほぼ中央を周回する部分に有する。Further, in the vibrator 12, if a similar drive signal is applied to the two piezoelectric elements 16a and 16b, or if a drive signal is applied to one piezoelectric element 16c, the vibrating body 12 will be a piezoelectric element. Flexural vibration occurs in a direction orthogonal to the main surface of 16c. In this case, as shown in FIGS. 5 and 6, the vibration-absorbing plates 22a and 22b are arranged such that the bending vibration node of the vibrator 12 when supporting both ends of the vibrator 12 in the longitudinal direction is divided into the outer peripheral portions 28a and 28b. It has in the part which circulates substantially the center of the outer side and the inner side.
【0021】これらの吸振板22aおよび22bのノー
ド部分には、たとえばリング状の固定部材30aおよび
30bが、それぞれ接続される。この場合、一方の固定
部材30aは、たとえば3つの接続部材32aを介し
て、一方の吸振板22aの外周部分28aのノード部分
に接続され、他方の固定部材30bは、たとえば3つの
接続部材32bを介して、他方の吸振板22bの外周部
分28bのノード部分に接続される。また、これらの固
定部材30aおよび30bは、吸振板22aおよび22
bの外周部分28aおよび28bの外径より大きい外径
を有し、振動子12に接触しないようにして吸振板22
aおよび22b間において振動子12の周囲に配置され
る。なお、これらの固定部材30aおよび30bは、吸
振板22aおよび22bを振動子12に固着する前に、
振動子12の周囲に配置される。For example, ring-shaped fixing members 30a and 30b are connected to the node portions of the vibration absorbing plates 22a and 22b, respectively. In this case, one fixing member 30a is connected to the node portion of the outer peripheral portion 28a of one vibration absorbing plate 22a via, for example, three connecting members 32a, and the other fixing member 30b is connected to, for example, three connecting members 32b. It is connected to the node portion of the outer peripheral portion 28b of the other vibration absorbing plate 22b through. In addition, these fixing members 30a and 30b are attached to the vibration absorbing plates 22a and 22b.
b has an outer diameter larger than the outer diameters of the outer peripheral portions 28a and 28b of the vibration absorbing plate 22 so as not to contact the vibrator 12.
It is arranged around the vibrator 12 between a and 22b. It should be noted that these fixing members 30a and 30b are provided before the vibration absorbing plates 22a and 22b are fixed to the vibrator 12.
It is arranged around the vibrator 12.
【0022】この振動ジャイロ10では、たとえば2つ
の圧電素子16aおよび16bに同様な駆動信号を印加
するか、あるいは、1つの圧電素子16cに駆動信号を
印加すれば、振動体12が圧電素子16cの主面に直交
する方向に屈曲振動する。無回転時には、圧電素子16
aおよび16bから同様な検出信号が得られる。そし
て、振動子12に振動体14の中心軸を中心とする回転
角速度が加わると、コリオリ力によって振動体14の屈
曲振動の方向が変わり、2つの圧電素子16aおよび1
6bからその回転角速度に応じた検出信号がそれぞれ得
られる。この場合、その回転角速度に応じて、たとえ
ば、一方の圧電素子16aからの検出信号の電圧が大き
くなり、他方の圧電素子16bからの検出信号の電圧が
小さくなる。したがって、この振動ジャイロ10では、
それらの検出信号の差の信号によって、それに回転角速
度が加わっていないことや加わっている回転角速度を検
出することができる。In this vibrating gyro 10, for example, when a similar drive signal is applied to the two piezoelectric elements 16a and 16b, or a drive signal is applied to one piezoelectric element 16c, the vibrating body 12 becomes the piezoelectric element 16c. Flexural vibration occurs in the direction orthogonal to the main surface. When not rotating, the piezoelectric element 16
Similar detection signals are obtained from a and 16b. When a rotational angular velocity about the central axis of the vibrating body 14 is applied to the vibrator 12, the direction of the bending vibration of the vibrating body 14 is changed by the Coriolis force, and the two piezoelectric elements 16a and 1a.
A detection signal corresponding to the rotational angular velocity is obtained from 6b. In this case, for example, the voltage of the detection signal from the one piezoelectric element 16a increases and the voltage of the detection signal from the other piezoelectric element 16b decreases according to the rotational angular velocity. Therefore, in this vibration gyro 10,
It is possible to detect the fact that the rotational angular velocity is not applied or the applied rotational angular velocity by the signal of the difference between these detection signals.
【0023】また、この振動ジャイロ10では、図14
および図15に示す従来例と比べて、振動子の長手方向
における両端部が吸振板で支持されるため、振動子の屈
曲振動の周波数が低くなる。In addition, in this vibrating gyroscope 10, as shown in FIG.
Compared with the conventional example shown in FIG. 15, since both ends of the vibrator in the longitudinal direction are supported by the vibration absorbing plates, the frequency of bending vibration of the vibrator becomes lower.
【0024】すなわち、図14および図15に示す従来
例では、図7に示すように、振動子2が自由共振するの
で、n次モードの基準定数をαnaとし、振動子のヤング
率をEとし、振動子の断面の中性面に関する2次モーメ
ントをIとし、振動子の密度をρとし、振動子の断面積
をAとし、振動子の長さをLとすると、n次モードの共
振角周波数ωnaは、(αna 2 /L2 )・{(E・I)/
(ρ・A)}1/2 で表され、1次モードの基準定数α1a
は、4.730で表される。そして、図14および図1
5に示す従来例では、振動子2の屈曲振動の周波数が2
5kHzになる。That is, in the conventional example shown in FIGS. 14 and 15, since the oscillator 2 freely resonates as shown in FIG. 7, the reference constant of the nth mode is α na and the Young's modulus of the oscillator is E. Letting I be the second moment with respect to the neutral plane of the cross section of the oscillator, let ρ be the density of the oscillator, let A be the cross sectional area of the oscillator, and let L be the length of the oscillator, then the resonance of the nth mode The angular frequency ω na is (α na 2 / L 2 ) · {(E · I) /
(Ρ · A)} 1/2, which is the reference constant α 1a for the primary mode
Is represented by 4.730. And FIG. 14 and FIG.
In the conventional example shown in FIG. 5, the frequency of bending vibration of the vibrator 2 is 2
It becomes 5 kHz.
【0025】それに対して、この振動ジャイロ10で
は、図8に示すように、振動子12の両端部が支持され
た状態で振動子12が屈曲振動するので、n次モードの
基準定数をαnbとし、振動子のヤング率をEとし、振動
子の断面の中性面に関する2次モーメントをIとし、振
動子の密度をρとし、振動子の断面積をAとし、振動子
の長さをLとすると、n次モードの共振角周波数ω
nbは、(αnb 2 /L2 )・{(E・I)/(ρ・A)}
1/2 で表され、1次モードの基準定数α1bは、3.14
で表される。そして、この振動ジャイロ10では、振動
子12の屈曲振動の周波数が11kHzになる。On the other hand, in this vibrating gyroscope 10, as shown in FIG. 8, the oscillator 12 flexurally vibrates in a state where both ends of the oscillator 12 are supported, so that the reference constant of the nth-order mode is α nb. , Young's modulus of the oscillator is E, second moment of inertia about the neutral plane of the oscillator is I, oscillator density is ρ, oscillator cross-sectional area is A, and oscillator length is Let L be the resonance angular frequency ω of the nth mode
nb is (α nb 2 / L 2 ) · {(E · I) / (ρ · A)}
It is represented by 1/2 and the reference constant α 1b of the first mode is 3.14.
It is represented by. Then, in the vibration gyro 10, the frequency of bending vibration of the vibrator 12 is 11 kHz.
【0026】したがって、この振動ジャイロ10では、
図14および図15に示す従来例と比べて、振動子の屈
曲振動の周波数が低くなり、そのため、振動子に発生す
るコリオリ力が大きくなり、回転角速度を検出する感度
が上がる。したがって、この振動ジャイロ10では、振
動子を小型にしても、感度がよい。Therefore, in this vibrating gyro 10,
Compared with the conventional example shown in FIGS. 14 and 15, the frequency of flexural vibration of the vibrator becomes lower, so that the Coriolis force generated in the vibrator becomes larger and the sensitivity for detecting the rotational angular velocity increases. Therefore, the vibration gyro 10 has good sensitivity even if the vibrator is made small.
【0027】さらに、この振動ジャイロ10では、吸振
板22aおよび22bが振動子12の屈曲振動のノード
部分を有し、それらの吸振板22aおよび22bのノー
ド部分に固定部材30aおよび30bがそれぞれ接続さ
れているので、それらの固定部材30aおよび30bを
固定すれば、振動子12の屈曲振動をほとんど抑制する
ことなく、振動子12を支持することができる。Further, in the vibration gyro 10, the vibration absorbing plates 22a and 22b have bending vibration node portions of the vibrator 12, and the fixing members 30a and 30b are connected to the node portions of the vibration absorbing plates 22a and 22b, respectively. Therefore, by fixing these fixing members 30a and 30b, the vibrator 12 can be supported with almost no bending vibration of the vibrator 12 suppressed.
【0028】また、この振動ジャイロ10では、固定部
材30aおよび30bの外径が振動子12の外径および
吸振板22aおよび22bの外径よりそれぞれ大きく形
成されているので、振動子12や吸振板22aおよび2
2bに接触することなく、固定部材30aおよび30b
をたとえば基板の一方主面などの平面上に固定しやす
い。Further, in the vibrating gyroscope 10, since the outer diameters of the fixing members 30a and 30b are larger than the outer diameters of the vibrator 12 and the vibration absorbing plates 22a and 22b, respectively, the vibrator 12 and the vibration absorbing plate are formed. 22a and 2
Fixing members 30a and 30b without contacting 2b
Can be easily fixed on a flat surface such as one main surface of the substrate.
【0029】なお、上述の実施例では、振動子12に正
3角柱状の振動体14が用いられているが、この発明で
は、たとえば図9に示す正8角柱状の振動体14や正4
角柱状の振動体などの他の多角柱状の振動体、あるい
は、たとえば図10および図11に示す円柱状の振動体
14が用いられてもよい。なお、振動体14には、たと
えば図12および図13に示すように、中心軸に沿って
中空部15が形成されてもよい。In the above-described embodiment, the vibrator 12 having a regular triangular prism shape is used as the vibrator 12, but in the present invention, for example, the regular octagonal prism vibrating element 14 and the regular vibrating prism 14 shown in FIG. 9 are used.
Another polygonal columnar vibrating body such as a prismatic columnar vibrating body, or the columnar vibrating body 14 shown in FIGS. 10 and 11, for example, may be used. The vibrating body 14 may have a hollow portion 15 formed along the central axis as shown in FIGS. 12 and 13, for example.
【0030】また、上述の実施例では、振動体の側面に
3つの圧電素子が形成されているが、この発明では、振
動体の側面に2つ以上の圧電素子が形成されればよい。Further, in the above embodiment, three piezoelectric elements are formed on the side surface of the vibrating body, but in the present invention, two or more piezoelectric elements may be formed on the side surface of the vibrating body.
【0031】さらに、振動体14は、たとえば図10な
いし図13に示すように、圧電体で形成されてもよく、
その場合、振動体14の表面には、圧電素子の代わりに
電極17が形成される。Further, the vibrating body 14 may be formed of a piezoelectric body as shown in FIGS. 10 to 13,
In that case, the electrode 17 is formed on the surface of the vibrating body 14 instead of the piezoelectric element.
【0032】また、固定部材30aおよび30bは、そ
れぞれ、上述の実施例ではリング状に形成されている
が、たとえば4角環状などの他の形状に形成されてもよ
い。Further, although the fixing members 30a and 30b are each formed in a ring shape in the above-mentioned embodiment, they may be formed in another shape such as a square ring.
【図1】この発明の一実施例を示す斜視図である。FIG. 1 is a perspective view showing an embodiment of the present invention.
【図2】図1に示す実施例の平面図である。FIG. 2 is a plan view of the embodiment shown in FIG.
【図3】図1に示す実施例の正面図である。FIG. 3 is a front view of the embodiment shown in FIG. 1;
【図4】図2の線IV−IVにおける断面図解図であ
る。FIG. 4 is a schematic sectional view taken along line IV-IV in FIG.
【図5】図1に示す実施例に用いられる振動子および吸
振板の振動状態を示す断面図解図である。5 is a cross-sectional view showing a vibrating state of a vibrator and a vibration absorbing plate used in the embodiment shown in FIG.
【図6】図1に示す実施例に用いられる吸振板の振動状
態を示す図解図である。6 is an illustrative view showing a vibrating state of a vibration absorbing plate used in the embodiment shown in FIG. 1. FIG.
【図7】図14に示す振動ジャイロに用いられる振動子
の自由共振による振動状態を示す側面図解図である。7 is a side view solution diagram showing a vibration state due to free resonance of a vibrator used in the vibration gyro shown in FIG. 14. FIG.
【図8】図1に示す実施例に用いられる振動子の両端部
を支持した場合の振動状態を示す側面図解図である。8 is a schematic side view showing a vibrating state when the both ends of the vibrator used in the embodiment shown in FIG. 1 are supported.
【図9】振動子の他の例を示す正面図である。FIG. 9 is a front view showing another example of the vibrator.
【図10】振動子のさらに他の例を示す斜視図である。FIG. 10 is a perspective view showing still another example of the vibrator.
【図11】図10の線XI−XIにおける断面図解図で
ある。11 is a schematic sectional view taken along the line XI-XI in FIG.
【図12】振動子の別の例を示す斜視図である。FIG. 12 is a perspective view showing another example of a vibrator.
【図13】図12の線XIII−XIIIにおける断面
図解図である。FIG. 13 is a schematic cross-sectional view taken along the line XIII-XIII in FIG.
【図14】従来の振動ジャイロの一例を示す斜視図であ
る。FIG. 14 is a perspective view showing an example of a conventional vibrating gyro.
【図15】図15に示す振動ジャイロの正面図である。15 is a front view of the vibrating gyro shown in FIG. 15. FIG.
10 振動ジャイロ 12 振動子 14 振動体 16a〜16c 圧電素子 18 圧電層 20a,20b 電極 22a,22b 吸振板 24a,24b 突出部分 26a,26b 接続部分 28a,28b 外周部分 30a,30b 固定部材 32a,32b 接続部材 10 Vibration Gyro 12 Vibrator 14 Vibrating body 16a-16c Piezoelectric element 18 Piezoelectric layer 20a, 20b Electrode 22a, 22b Vibration absorbing plate 24a, 24b Projection part 26a, 26b Connection part 28a, 28b Peripheral part 30a, 30b Fixing member 32a, 32b Connection. Element
Claims (3)
振動子の長手方向における両端部にそれぞれが固着さ
れ、前記振動子を支持するための支持部材を含む、振動
ジャイロ。1. A vibrating gyroscope comprising a columnar vibrator that flexurally vibrates and a support member that is fixed to both ends of the vibrator in the longitudinal direction and that supports the vibrator.
ノード部分を有し、前記支持部材のノード部分に接続さ
れる固定部材を含む、請求項1に記載の振動ジャイロ。2. The vibrating gyro according to claim 1, wherein the support member has a node portion for bending vibration of the vibrator, and includes a fixing member connected to the node portion of the support member.
径および前記支持部材の外径よりそれぞれ大きく形成さ
れる、請求項2に記載の振動ジャイロ。3. The vibrating gyro according to claim 2, wherein an outer diameter of the fixing member is larger than an outer diameter of the vibrator and an outer diameter of the supporting member.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6234240A JPH0875476A (en) | 1994-09-01 | 1994-09-01 | Vibration gyro |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6234240A JPH0875476A (en) | 1994-09-01 | 1994-09-01 | Vibration gyro |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0875476A true JPH0875476A (en) | 1996-03-22 |
Family
ID=16967883
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP6234240A Pending JPH0875476A (en) | 1994-09-01 | 1994-09-01 | Vibration gyro |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0875476A (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009243896A (en) * | 2008-03-28 | 2009-10-22 | Tdk Corp | Angular velocity sensor element |
-
1994
- 1994-09-01 JP JP6234240A patent/JPH0875476A/en active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009243896A (en) * | 2008-03-28 | 2009-10-22 | Tdk Corp | Angular velocity sensor element |
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