JPH0874803A - 材料加工機用流体圧装置および制御方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 応答遅れ、制御目標値に対する偏差の低減と
フルードハンマー現象の低減とを両立し、加工速度、加
工精度、流体圧回路機器の耐久性、静粛性を満足する材
料加工機用流体圧装置を提供すること。 【解決手段】 金型５などの工具を所定の加工ストロー
クをもって往復駆動する流体圧アクチュエータ１と、流
体圧アクチュエータ１に対する流体圧の供給を定量的に
制御する弁開度調整自在の制御バルブ１５とを有する材
料加工機用流体圧装置において、制御バルブ１５の複数
個の切換ポイントにおいて流量を制限する方向へ切り換
える切換ポイントにおけるスプール移動速度を他の切換
ポイントにおけるスプール移動速度より遅くするスプー
ル移動速度可変制御手段３７を設ける。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、材料加工機用油圧
装置および制御方法に関し、更に詳細には弁開度調整自
在の制御バルブにより流体圧供給を定量的に制御される
流体圧アクチュエータによって金型などの工具が駆動さ
れる形式のパンチプレスマシン、ベンディングマシン、
シャーリングマシンなどの材料加工機における流体圧装
置および制御方法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】パンチプレスマシン、ベンディングマシ
ン、シャーリングマシンなどの材料加工機においては、
金型などの工具を所定の加工ストロークをもって往復駆
動する流体圧アクチュエータ、例えば油圧シリンダ装置
を使用し、加工ストロークにて流体圧アクチュエータに
対する流体圧の供給方向、流量を弁開度調整自在の制御
バルブにより制御し、所定の加工パターンにて前記工具
を駆動することが行われている。この種の加工ストロー
ク制御法は、例えば特開昭６２−１８３９１９号，特開
平７−１４８４９８号等の公報に示されている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】上述のような材料加工
機において、所定の加工パターンを得るべく、加工スト
ロークの途中で制御バルブによって流体圧アクチュエー
タに与える流体圧の流量を低減（制限）したり、流体圧
の供給方向を切り換えたりすると、流体の慣性によって
オイルハンマー現象、ウォータハンマー現象と呼ばれる
フルードハンマー現象が発生する。フルードハンマー現
象は、流体の流れを抑えたり遮断する場合、運動エネル
ギーの持つ慣性力によって流路配管、バルブ、流体圧ア
クチュエータなどを振動させ、これらの耐久性を低下さ
せる原因になり、また騒音を発生し、静粛性を阻害す
る。

【０００４】このことに対する一つの対策として、スプ
ール変位指令のゲイン設定によって切換ポイントにおけ
る制御バルブのスプール移動速度を全体的に遅い値に設
定することがある。

【０００５】制御バルブのスプール移動速度が遅いと、
動作速度が低下し、フルードハンマー現象の発生度合い
が低減する効果が得られるが、しかしスプール変位指令
全体のゲインを小さくすることで指令値全体の制御目標
値に対する偏差が同時に大きくなり、この結果、バルブ
応答性が低下し、ヒットレートの低下が生じる。

【０００６】制御バルブのスプール移動速度が全体的に
遅いと、全体の応答性の低下によって加工時間（タクト
タイム）が長くなるばかりでなく、制御目標値に対する
実際値の偏差が大きくなり、このため制御目標値と実際
の切り換え値とが大きく異なった加工ストローク位置に
て切り換えが行われる可能性が高く、加工精度の低下を
生じる。

【０００７】例えば、板金の剪断穴明け加工において
は、制御バルブのスプール変位指令全体のゲインが小さ
いと、材料材質によって変化する剪断終了点（破断開始
点）など、加工精度に係わる制御バルブの切換ポイント
が大きくずれ、剪断が終了していないのに流体圧アクチ
ュエータに供給する流体圧の流量が大流量（低圧）にな
ることが起こり、完全な剪断が行われないことにより製
品精度が低下する。またこれとは逆に剪断が終了してい
るにも拘らず流体圧アクチュエータに供給する流体圧の
流量がすぐに大流量にならないことがあり、この場合は
加工時間が不要に長くなる。

【０００８】また制御バルブのスプール変位指令全体の
ゲインが小さいとストローク下降端での制御バルブの切
換ポイントも大きくずれ、金型の最下降位置が上側にず
れてワークに対する金型の突抜け量が充分でないと、打
ち抜き片が打ち抜き穴内に残ったままになり、作業効率
が低下する。

【０００９】またストローク下降端にて工具の移動方向
を反転する際には、打ち抜き片が工具に付着して持ち上
げられて打ち抜き穴にはまらないよう、工具が勢いよく
反転上昇することがよいが、しかし制御バルブのスプー
ル移動速度が遅いから、工具の反転上昇が緩慢に行わ
れ、打ち抜き片が打ち抜き穴にはまることがある。

【００１０】またスプール変位指令全体のゲインが小さ
い状態ではその切換ポイント自体のばらつきも大きくな
り、工具の移動速度、加圧力を切り換えるポイントが変
動し、制御目標値に対する繰り返し精度が低下するか
ら、剪断面の精度のばらつきが大きくなる。

【００１１】このようなことから、単純に制御バルブの
スプール移動速度を遅くすることは、板金の剪断穴明け
加工の場合に限らず得策ではない。

【００１２】本発明は、上述の如き問題点に着目してな
されたものであり、応答性の低下、制御目標値に対する
偏差の低減とフルードハンマー現象の低減とを両立し、
加工時間、加工精度、流体圧回路機器の耐久性、静粛性
を満足する材料加工機用流体圧装置および制御方法を提
供することを目的としている。

【００１３】

【課題を解決するための手段】上述の目的を達成するた
めに、請求項１による本発明の材料加工機用流体圧装置
は、金型などの工具を所定の加工ストロークをもって往
復駆動する流体圧アクチュエータと、前記流体圧アクチ
ュエータに対する流体圧の供給を定量的に制御する弁開
度調整自在の制御バルブとを有する材料加工機用流体圧
装置において、一つの加工ストロークにおける前記制御
バルブの複数個の切換ポイントにおいて流量を制限する
方向へ切り換える切換ポイントにおけるスプール移動速
度を他の切換ポイントにおけるスプール移動速度より遅
くするスプール移動速度可変制御手段を有していること
を特徴としている。

【００１４】請求項１による材料加工機用流体圧装置に
よれば、流量を制限する方向へ切り換える切換ポイント
において制御バルブのスプール移動速度が他の切換ポイ
ントにおけるスプール移動速度より遅くなり、ゆっくり
と流量制限が行われてフルードハンマー現象の発生が抑
制される。他の切換ポイントにおいては制御バルブのス
プール移動速度は遅くならないから、時間遅れが少ない
応答性のよい動作が行われる。

【００１５】また上述の目的を達成するために、請求項
２による本発明の材料加工機用流体圧装置は、金型など
の工具を所定の加工ストロークをもって往復駆動する流
体圧アクチュエータと、前記流体圧アクチュエータに対
する流体圧の供給を定量的に制御する弁開度調整自在の
制御バルブとを有する材料加工機用流体圧装置におい
て、前記工具が被加工物に当接する直前にて前記流体圧
アクチュエータに供給する流体圧の流量を大流量より小
流量へ切り換える切換時と、加工ストローク下降端にお
ける切換時と、加工ストローク上昇端における切換時の
少なくとも一つの切換ポイントにおける前記制御バルブ
のスプール移動速度を他の切換ポイントにおけるスプー
ル移動速度より遅くするスプール移動速度可変制御手段
を有していることを特徴としている。

【００１６】請求項２による本発明の材料加工機用流体
圧装置によれば、工具が被加工物に当接する直前にて前
記流体圧アクチュエータに供給する流体圧の流量を大流
量より小流量へ切り換える切換時と、加工ストローク下
降端における切換時と、加工ストローク上昇端における
切換時の少なくとも一つの切換ポイントにおいて、制御
バルブのスプール移動速度が他の切換ポイントにおける
スプール移動速度より遅くなり、これらの特定された切
換ポイントにおいては、流量制限、流体圧の供給方向切
換、流体圧供給停止などがゆっくりと行われ、フルード
ハンマー現象の発生が抑制される。この場合も他の切換
ポイントにおいては制御バルブのスプール移動速度は遅
くならないから、時間遅れが少ない応答性のよい動作が
行われる。

【００１７】請求項３による本発明による材料加工機用
流体圧装置では、前記スプール移動速度可変制御手段
は、前記流体圧アクチュエータと前記制御バルブの少な
くとも何れか一方の位置情報を入力し、当該位置情報に
基づいて前記制御バルブのスプール移動速度を他の切換
ポイントにおけるスプール移動速度より遅くする切換ポ
イントに到達する直前のスプール変位指令のゲインを他
の状態下におけるスプール変位指令のゲインより小さく
することを詳細な特徴としている。

【００１８】請求項４による本発明による材料加工機用
流体圧装置では、前記制御バルブは前記流体圧アクチュ
エータに対する油圧の供給を停止する全閉位置と前記流
体圧アクチュエータに第一の方向をもって油圧の供給す
る第一の開弁位置と前記流体圧アクチュエータに第一の
方向と反対の方向をもって油圧の供給する第二の開弁位
置との間に切り換わり、前記スプール移動速度可変制御
手段は前記制御バルブのスプール変位量情報とスプール
移動方向情報とを入力し、スプールが第一の開弁位置に
あってスプールの移動方向が第二の開弁位置へ向かう移
動方向、あるいはスプールが第二の開弁位置にあってス
プールの移動方向が第一の開弁位置へ向かう移動方向で
ある時のスプール変位指令のゲインを他の状態下におけ
るスプール変位指令のゲインより小さくすることを詳細
な特徴としている。

【００１９】請求項３または４による本発明の材料加工
機用流体圧装置によれば、スプールの移動速度を遅くす
ることが制御バルブに対するスプール変位指令のゲイン
を小さくすることにより実行される。

【００２０】請求項５による本発明による材料加工機用
流体圧装置では、前記制御バルブは前記流体式アクチュ
エータのピストン変位指令に従って動作し、前記スプー
ル移動速度可変制御手段は前記流体式アクチュエータの
ピストン変位指令の波形を予め設定し、この波形設定に
よって前記制御バルブの特定の切換ポイントにおけるス
プール移動速度を他の切換ポイントにおけるスプール移
動速度より遅くすることを詳細な特徴としている。

【００２１】請求項６による本発明による材料加工機用
流体圧装置では、前記スプール移動速度可変制御手段
は、スプール変位指令の波形を予め設定し、この波形設
定によって前記制御バルブの特定の切換ポイントにおけ
るスプール移動速度を他の切換ポイントにおけるスプー
ル移動速度より遅くすることを詳細な特徴としている。

【００２２】請求項５，６による本発明の材料加工機用
流体圧装置によれば、ピストン変位指令あるいはスプー
ル変位指令自体の波形設定によって特定の切換ポイント
におけるスプール移動速度が他の切換ポイントにおける
スプール移動速度より遅くなる。

【００２３】また上述の目的を達成するために、請求項
７による本発明の材料加工機用流体圧装置は、金型など
の工具を所定の加工ストロークをもって往復駆動する流
体圧アクチュエータと、前記流体圧アクチュエータに対
する流体圧の供給を定量的に制御する弁開度調整自在の
制御バルブと、予め設定された前記流体式アクチュエー
タのピストン変位指令に基づいて前記制御バルブの弁開
度を調整する制御手段とを有する材料加工機用流体圧装
置において、前記制御手段に設定される前記ピストン変
位指令の波形は、一つの加工ストロークにおける前記制
御バルブの複数個の切換ポイントのうち、流量を制限す
る方向へ切り換える切換ポイントに相当する部分の二直
線の接続角部を曲線により形成されていることを特徴と
している。

【００２４】請求項７による材料加工機用流体圧装置に
よれば、流量を制限する方向へ切り換える切換ポイント
においてピストン変位指令の波形が直線に比べ時間的に
遅れる曲線により形成されていることにより、この切換
ポイントにおいては制御バルブの開度調整動作が他の切
換ポイントにおける場合よりも遅くなり、この結果、ゆ
っくりと流量制限が行われてフルードハンマー現象の発
生が抑制される。

【００２５】また上述の目的を達成するために、請求項
８による本発明の材料加工機用流体圧装置は、金型など
の工具を所定の加工ストロークをもって往復駆動する流
体圧アクチュエータと、前記流体圧アクチュエータに対
する流体圧の供給を定量的に制御する弁開度調整自在の
制御バルブと、予め設定された前記流体式アクチュエー
タのピストン変位指令に基づいて前記制御バルブの弁開
度を調整する制御手段とを有する材料加工機用流体圧装
置において、前記制御手段に設定される前記ピストン変
位指令の波形は、一つの加工ストロークにおける前記制
御バルブの複数個の切換ポイントのうち、前記工具が被
加工物に当接する直前にて前記流体圧アクチュエータに
供給する流体圧の流量を大流量より小流量へ切り換える
切換時と、加工ストローク下降端における切換時と、加
工ストローク上昇端における切換時の少なくとも一つの
切換ポイントに相当する部分の二直線の接続角部を曲線
により形成されていることを特徴としている。

【００２６】請求項８による本発明の材料加工機用流体
圧装置によれば、工具が被加工物に当接する直前にて前
記流体圧アクチュエータに供給する流体圧の流量を大流
量より小流量へ切り換える切換時と、加工ストローク下
降端における切換時と、加工ストローク上昇端における
切換時の少なくとも一つの切換ポイントにおいて、ピス
トン変位指令の波形設定によって制御バルブの開度調整
動作が他の切換ポイントにおける場合よりも遅くなり、
これらの特定された切換ポイントにおいては、流量制
限、流体圧の供給方向切換、流体圧供給停止などがゆっ
くりと行われ、フルードハンマー現象の発生が抑制され
る。

【００２７】また上述の目的を達成するために、請求項
９による本発明の材料加工機用流体圧装置の制御方法
は、金型などの工具を所定の加工ストロークをもって往
復駆動する流体圧アクチュエータと、前記流体圧アクチ
ュエータに対する流体圧の供給を制御する弁開度調整自
在の制御バルブとを有する材料加工機用流体圧装置の制
御方法において、前記制御バルブの複数個の切換ポイン
トにおいて流量を制限する方向へ切り換える切換ポイン
トにおけるスプール移動速度を他の切換ポイントにおけ
るスプール移動速度より遅くすることを特徴としてい
る。

【００２８】請求項９による本発明の材料加工機用流体
圧装置の制御方法によれば、流量を制限する方向へ切り
換える切換ポイントにおいて制御バルブのスプール移動
速度が他の切換ポイントにおけるスプール移動速度より
遅くなり、ゆっくりと流量制限が行われてフルードハン
マー現象の発生が抑制され、他の切換ポイントにおいて
は制御バルブのスプール移動速度は遅くならないから、
時間遅れが少ない応答性のよい動作が行われ、繰り返し
精度低下、制御目標値と実際値の偏差の拡大を最少にく
い止めることができる。

【００２９】

【発明の実施の形態】以下に本発明の実施の形態の例を
図面を用いて詳細に説明する。

【００３０】図１は本発明による材料加工機用流体圧装
置をパンチプレス機械の油圧装置として適用した一実施
の形態の例を示している。この油圧装置は流体圧アクチ
ュエータとして油圧シリンダ装置１を有しており、油圧
シリンダ装置１のピスントロッド３に工具である金型５
が接続されている。油圧シリンダ装置１は、シリンダ室
７に油圧を供給されることにより金型５を降下駆動し、
シリンダ室９に油圧を供給されることにより金型５を上
昇駆動する。

【００３１】シリンダ室７の油圧値は圧力センサ１１に
より検出され、ピスントロッド３の移動位置（位置制御
量）は差動トランスなどにより線形位置検出器１３によ
り検出される。

【００３２】シリンダ室７と９は制御バルブ１５により
油圧供給通路１７とドレン通路１９とに選択的に接続さ
れる。制御バルブ１５は、サーボバルブであり、ａファ
ンクション（第一の開弁位置）においてはシリンダ室７
に油圧を供給し、ｂファンクション（全閉位置）におい
てはシリンダ室７、９を各々密封状態にし、ｃファンク
ション（第二の開弁位置）においてはシリンダ室９に油
圧を供給し、ａファンクション、ｃファンクションの各
々においてソレノイド２１、２３に対する通電制御によ
り弁開度調整自在で、シリンダ室７あるいは９へ供給す
る油圧の流量を定量的に制御する。

【００３３】油圧供給通路１７は油圧ポンプ２５に接続
され、油圧ポンプ２５より所定の油圧を与えられる。

【００３４】油圧ポンプ２５はポンプ駆動モータ２７に
より駆動され、この油圧ポンプ２５の吐出油圧値は圧力
センサ２９により検出される。油圧供給通路１７にはア
キュームレータ３１が接続されている。圧力センサ１
１、２９が出力する油圧値信号と線形位置検出器１３が
出力する移動位置信号はコンピュータ３３に入力され
る。

【００３５】コンピュータ３３は、油圧ポンプ２５の吐
出油圧値が所定の規制値内におさまるよう、圧力センサ
２９により検出される油圧ポンプ２５の吐出油圧値をも
って駆動回路３５によるポンプ駆動モータ２７の回転数
をフィードバック補償制御する。

【００３６】コンピュータ３３は、圧力センサ１１によ
り検出されるシリンダ室７の油圧値（シリンダ内圧）よ
り、例えば試し加工などにて金型５が被加工物に当接し
た際の圧力上昇や、剪断終了点でこれより破断に入るな
どの加工終了点での圧力降下を予め認識し、線形位置検
出器１３により検出されるピスントロッド３の移動位置
よりそれら圧力変化点のストローク位置を認識し、加工
形態（加工パターン）に応じて制御バルブ１５のバルブ
制御アンプ３７へスプール変位指令を出力する。

【００３７】バルブ制御アンプ３７はゲインを可変設定
される可変ゲイン式の増幅器であり、コンピュータ３３
が有しているスプール移動速度可変制御部３９よりゲイ
ン設定指令信号を入力する。

【００３８】スプール移動速度可変制御部３９は、区間
毎に設定された速度にて形成された加工ストロークパタ
ーンにおける複数ヶ所のバルブ切換ポイントの内、基本
的にはシリンダ室７に供給する油圧流量を制限（低減）
する方向へ制御バルブ１５を切り換える切換ポイント、
例えば金型５が被加工物に当接する直前にてシリンダ室
７に供給する油圧の流量を大流量より小流量へ切り換え
る切換時と、加工ストローク下降端における切換時と、
加工ストローク上昇端における切換時の少なくとも一つ
のバルブ切換ポイントにてバルブ制御アンプ３７による
スプール変位指令信号のゲインを他の時に比して小さい
値にするゲイン設定指令信号をバルブ制御アンプ３７へ
出力する。

【００３９】これにより金型５が被加工物に当接する直
前にてシリンダ室７に供給する油圧の流量を大流量より
小流量へ切り換える切換時と、加工ストローク下降端に
おける切換時と、加工ストローク上昇端における切換時
の少なくとも一つのバルブ切換ポイントにてバルブ制御
アンプ３７によるスプール変位指令信号のゲインが他の
時に比して小さい値になり、これに応じて制御バルブ１
５のスプール移動速度が上述のバルブ切換ポイントにお
いては他のバルブ切換ポイントにおけるスプール移動速
度より遅くなる。

【００４０】このバルブ切換制御をパンチング（剪断）
加工パターン（不等速加工パターン）を例にとって図２
を参照して説明する。図２に示されたパンチング加工パ
ターンにおいて、区間Ａはピストン停止時であり、加工
開始時点にて制御バルブ１５がｂファンクションより
ａファンクションへ大きい弁開度をもって切り換えられ
る。これにより油圧シリンダ装置１のシリンダ室７に油
圧が低圧大流量をもって供給され、金型５が加工時間の
短縮のために無負荷に近い状態にて区間Ｂを高速降下す
る。

【００４１】金型５が被加工物Ｗに当接する位置より少
し手前のストローク位置に位置すると、制御バルブ１
５のａファンクションにおける弁開度が低減される。こ
れにより金型５は高圧少流量の区間Ｃに移行する。その
後、被加工物Ｗに当接し、被加工物Ｗの剪断加工を行
う。

【００４２】金型５が被加工物Ｗの下面に達する前の剪
断終了点に到達すると、制御バルブ１５のａファンク
ションにおける弁開度が増大される。これによりシリン
ダ室７に供給する油圧の流量が増加し、金型５が区間Ｄ
を下死点位置まで高速降下する。剪断終了点は破断開
始点であり、この剪断終了点は圧力センサ１１による
検出されるシリンダ内圧の変化より特定できる。

【００４３】この後に金型５が下死点位置（加工ストロ
ーク下降端）に到達すると、制御バルブ１５がａファ
ンクションよりｃファンクションへ大きい弁開度をもっ
て切り換えられる。これにより油圧シリンダ装置１のシ
リンダ室７に代えてシリンダ室９に油圧が大流量をもっ
て供給され、金型５が区間Ｅを高速上昇する。

【００４４】金型５が元の位置に戻る上死点位置（加工
ストローク上昇端）にて制御バルブ１５がｃファンク
ションよりｂファンクションへ切り換えられ、シリンダ
室９に対する油圧の供給が停止される。これにより金型
５の移動が停止し、区間Ｆ（停止区間）へ移行する。

【００４５】上述の例はパンチングの打ち抜き加工の例
であるが、ベンディング加工、シャーリング加工におい
ても、ストローク方向、ストローク速度を変更するため
のバルブ切換ポイントは打ち抜き加工の場合と実質的に
同じである。

【００４６】シャーリング加工の場合、カッタブレード
が長く、しかも通常、レーキ角が付いているため、スト
ローク時間の短縮と高精度加工を行うためには、カッタ
ブレードが被加工物に接触する付近から被加工物の長さ
によって異なる加工終了点までが、上述の打ち抜き加工
における区間Ｃに相当し、穴明でないのでＤ区間を省略
し、他はパンチング同様の剪断である。

【００４７】バルブ切換ポイントは、被加工物の板厚、
材質、長さなどに基づいて入力設定されても、試し打ち
時に圧力センサ１１により検出されるシリンダ内圧と線
形位置検出器１３により検出されるピスントロッド３の
移動位置に基づいて学習により設定されてもよい。

【００４８】上述のような加工パターンによる加工スト
ロークにおいて、オイルハンマー現象が発生するのは、
減速のために制御バルブ１５のａファンクションにおけ
る弁開度が低減されるストローク位置と、制御バルブ
１５の切換動作によって油圧シリンダ装置１に供給する
油圧の供給方向が反転する下死点位置と、制御バルブ
１５の切換動作によって油圧シリンダ装置１に対する大
流量の油圧供給が停止される上死点位置であり、これ
らのバルブ切換ポイントではコンピュータ３３のスプー
ル移動速度可変制御部３９が出力するゲイン設定指令に
よりバルブ制御アンプ３７によるバルブ開度指令（スプ
ール変位指令）信号のゲインを比較的小さい値に設定
し、、などのその他のバルブ切換ポイントではゲイ
ンを大きい値に設定する。

【００４９】これにより、、の各々のバルブ切換
ポイントでは制御バルブ１５のスプール移動速度が遅く
なり、バルブは徐々に絞られることになり、オイルの慣
性力を逃がす結果、オイルハンマー現象の発生が抑制さ
れる。

【００５０】なお、のバルブ切換ポイントでは、油圧
シリンダ装置１に対する油圧の供給開始時であって、油
圧シリンダ装置１に対する油圧の流量を増大するから、
当初の運動エネルギーはゼロに近いので大きいオイルハ
ンマー現象は生じない。またのバルブ切換ポイント
も、油圧シリンダ装置１に対する油圧の流量の増大であ
り、運動エネルギー抑制の作用はないので、オイルハン
マー現象はほとんど生じない。

【００５１】図３は上述のようにゲイン制御を行った場
合の加工パターン（ピストン変位パターン）と、それと
同じ時間軸をもってバルブ開度指令（スプール変位指
令）信号とゲイン設定値とスプールの変位量、位置、移
動速度の時系列変化を示している。なお、ゲイン設定値
は実際には細かく変化するが、図３では分かり易く表現
するために、大小２段階に変化するとした。

【００５２】またここでは、制御バルブ１５のスプール
の変位量はｂファンクションによる全閉位置（中立位
置）よりｃファンクション（第二の開弁位置）側をプラ
スエリア、全閉位置よりａファンクション（第一の開弁
位置）側をマイナスエリアとし、またｃファンクション
側へのスプール移動方向をプラス方向、ａファンクショ
ン側へのスプール移動方向をマイナス方向とした。

【００５３】図３より、ゲインを小さくするのは、スプ
ールの変位量と移動方向との組み合わせがマイナスエリ
アとプラス方向あるいはプラスエリアとマイナス方向で
ある時であることが解る。

【００５４】このことから、スプール移動速度可変制御
部３９は、スプール変位量情報とスプール移動方向情報
とを入力し、制御バルブ１５のスプールがマイナスエリ
アにあってスプール移動方向がプラス方向であること、
あるいはスプールがプラスエリアにあってスプール移動
方向がマイナス方向であることをスプール位置認識部
（スプール位置アンプ７９）、スプール移動方向認識部
（スプール速度アンプ８５）によって識別し、これらの
時にゲインを比較的小さい値に設定する指令信号をバル
ブ制御アンプ３７へ出力すればよい。

【００５５】なお、この場合、スプール変位量情報は制
御バルブ１５に設けられてスプール変位量を検出する線
形位置検出器１３により取得し、スプール移動方向情報
はコンピュータ３３がバルブ制御アンプ３７へ出力する
バルブ開度指令信号の内容より判断してもよい。

【００５６】なお、図３において、破線は、ゲインを大
きい値に固定した場合の特性を示している。

【００５７】図４はニブリング加工などで使用されるＶ
パターンにより等速加工パターンにおいてゲイン制御を
行った場合の加工パターンと、それと同じ時間軸をもっ
てバルブ開度指令信号とゲイン設定値とスプールの変位
量、位置、移動速度の時系列変化を示している。

【００５８】この場合には、金型５の移動方向が反転す
る下死点位置と、大流量の油圧供給が停止される上死
点位置を含む領域にてゲインを比較的小さい値に設定
してスプール移動速度を遅くし、その他の領域ではゲイ
ンを比較的大きい値に設定してスプール移動速度を遅く
しない。

【００５９】図５はベンディング加工を含むプレス成形
加工の加工パターンとゲイン設定特性とを示している。
ベンディング加工を含むプレス成形においては、剪断加
工とは異なり、金型５の降下端の位置精度は成形加工精
度に直接に大きい影響与えるから、プレス成形加工の加
工パターンは、加工精度を維持するために、また塑性変
形の安定のために、金型５を降下端位置に保持する時間
を与えることが特徴となる。

【００６０】この加工パターンにおいても、金型５が被
加工物Ｗに当接する位置より少し手前のストローク位置
にてシリンダ室７に供給する油圧の流量を大流量より
小流量に切り換えるバルブ切換ポイントでバルブ開度指
令信号のゲインを小さくしてスプール移動速度を遅くす
るならば、上述の剪断加工と同じである。金型５を降下
端位置にて停止させるための、バルブ切換ポイントａ
において大流量の油圧の流れを停止する場合や比較的小
流量でも高い圧力の場合、慣性エネルギーが大きいこと
から、大きいオイルハンマー現象が発生するから、この
バルブ切換ポイントａにおいてもバルブ開度指令信号
のゲインを小さくし、スプール移動速度を遅くする。し
かし、この場合には、スプールの移動完了後には素早く
ゲインを最大値にして降下端保持時間を充分に取らねば
ならない。

【００６１】金型５の上昇を開始するためのバルブ切換
ポイントｂにおいては、のバルブ切換ポイントにお
ける場合と同様に、油圧の供給が停止されている状態よ
り油圧供給を開始するから、大きいオイルハンマー現象
が発生することがなく、このバルブ切換ポイントｂに
おいてバルブ開度指令信号のゲインを小さくする必要は
ない。

【００６２】大流量の油圧供給が停止される上死点位置
を含む領域においては、この場合もオイルハンマー現
象の発生を抑制するために、バルブ開度指令信号のゲイ
ンを比較的小さい値に設定してスプール移動速度を遅く
する。

【００６３】なお、ストローク位置にてシリンダ室７
に供給する油圧の流量を大流量より小流量に切り換える
ことがない等速パターンの場合には、ストローク位置
にてバルブ切換ポイントが発生しないから、この場合に
はのバルブ切換ポイントにてバルブ開度指令信号のゲ
インを小さくし、スプール移動速度を遅くすればよい。

【００６４】シャーリング加工においてバルブ開度指令
信号のゲインを小さくし、スプール移動速度を遅くする
バルブ切換ポイントは、上述のパンチングにおける場合
と基本的には同じであり、図６に示されているように、
レーキ角θを設定されたカッタブレード５１の切り始め
側５１ａが被加工物Ｗに当接する直前における減速のた
めのバルブ切換ポイント、カッタブレード５１の切り終
わり端側５１ｂが剪断終了点Ｓに到達した時点あるいは
切り終わり端側５１ｂが剪断終了点Ｓに到達する直前ま
たは到達した時点でカッタブレード５１を上昇移動させ
るためのバルブ切換ポイント、あるいはカッタブレード
５１が下死点にまで降下したのちにカッタブレード５１
を上昇移動させるためのバルブ切換ポイントと、カッタ
ブレード５１が上死点に戻ってカッタブレード５１の上
昇移動を停止するためのバルブ切換ポイントである。

【００６５】切り終わり端側５１ｂが剪断終了点Ｓに到
達すると、荷重が一瞬にして解放され、フレーム等が撓
み騒音を伴うブレークスルー現象が発生するから、その
直前の時点でカッタブレード５１を上昇移動させるため
のバルブ切換ポイントを設けることが望ましい。この場
合、油圧の流量が比較的少流量でも、圧縮エネルギーが
大きいと、やはりオイルハンマー現象が発生するから、
その対策として効果がある。

【００６６】図７は本発明による材料加工機用流体圧装
置の制御系のブロック図を示している。本ブロック図中
のマイクロコンピュータは説明の便宜上、ピストン位置
アンプ６７及びピストン速度アンプ７３を除いて説明し
てある。図１のコンピュータ３３に相等するのはこれら
を含めた場合である。又、図１バルブ制御アンプ３７
は、図７のスプール位置アンプ７９から電流アンプ８７
までの総称である。この実施の形態の例では、油圧シリ
ンダ装置１のシリンダ室７に供給する油圧の流量を定量
的に制御する弁開度調整自在の制御バルブとしてリニア
サーボバルブ６１が使用されている。

【００６７】リニアサーボバルブ６１は、電磁作動式の
リニアサーボバルブであり、リニアドライブマグネット
に与えられる電流に応じてスプール変位量を定量的に変
化する。

【００６８】マイクロコンピュータ６３は、予め波形設
定された油圧シリンダ装置１のピストン変位指令信号を
加え合わせ点６５へ出力し、加え合わせ点６５はピスト
ン変位指令信号と線形位置検出器１３が出力するピスト
ン位置フィードバック信号との差によるピストン位置制
御偏差をピストン位置アンプ６７へ出力する。

【００６９】ピストン位置アンプ６７は、ゲイン可変型
の増幅器であり、マイクロコンピュータ６３より入力し
たゲイン設定指令信号に応じてゲインを設定し、そのゲ
インをもってピストン位置制御偏差を増幅し、これをピ
ストン速度指令信号として加え合わせ点６９へ出力す
る。

【００７０】加え合わせ点６９はピストン速度指令信号
と線形位置検出器１３が出力するピストン位置フィード
バック信号を微分器７１が微分することにより得られる
ピストン速度フィードバック信号との差によるピストン
速度制御偏差をピストン速度アンプ７３へ出力する。ピ
ストン速度アンプ７３は、所定のゲインをもってピスト
ン速度制御偏差を増幅し、これをスプール変位指令信号
として加え合わせ点７５へ出力する。

【００７１】加え合わせ点７５はスプール変位指令信号
と線形位置検出器７７が出力するリニアサーボバルブ６
１のスプール位置フィードバック信号との差によるスプ
ール位置制御偏差をスプール位置アンプ７９へ出力す
る。

【００７２】スプール位置アンプ７９は、ゲイン可変型
の増幅器であり、マイクロコンピュータ６３より入力し
たゲイン設定指令信号に応じてゲインを設定し、そのゲ
インをもってスプール位置制御偏差を増幅し、これをス
プール速度指令信号として加え合わせ点８１へ出力す
る。

【００７３】加え合わせ点８１はスプール速度指令信号
と線形位置検出器７７が出力するスプール位置フィード
バック信号を微分器８３が微分することにより得られる
スプール速度フィードバック信号との差よるスプール速
度制御偏差をスプール速度アンプ８５へ出力する。スプ
ール速度アンプ８５は、所定のゲインをもってスプール
速度制御偏差を増幅し、これを電流アンプ８７へ出力す
る。

【００７４】電流アンプ８７はリニアサーボバルブ６１
のリニアドライブマグネットに電流を与える。

【００７５】マイクロコンピュータ６３は、線形位置検
出器１３が出力するピストン位置信号を入力して油圧シ
リンダ装置１のピストン位置（ピストン変位量）を認識
し、ゲイン設定指令信号を出力し、ピストン位置アンプ
６７のゲイン、即ち油圧シリンダ装置１の位置フィード
バック制御のループゲインとスプール位置アンプ７９の
ゲイン、即ちサーボバルブの位置フィードバック制御の
ループゲインの少なくとも何れか一方を、上述の実施の
形態の例と同様に、大きいオイルハンマー現象が発生す
る虞れがあるバルブ切換ポイントにて比較的小さい値に
設定し、他のバルブ切換ポイントにおいては比較的大き
い値に設定する。

【００７６】従って、この実施の形態の例においても、
上述の実施の形態の例と同様の作用効果が得られる。

【００７７】本発明による材料加工機用流体圧装置の制
御系の他の実施の形態の例として図８，９，１０，１１
に基づき説明する。尚、図８及び図９に於いて、図７及
び図３に対応する部分は図７及び図３に付した符号と同
一の符号により示されている。

【００７８】この実施の形態の例では、マイクロコンピ
ュータ６３が加え合わせ点６５へ出力するピストン変位
指令信号の波形のうち、図９に例示されているように、
上述の、、の各々の同等のバルブ切換ポイントに
相当する部分の二直線の接続角部を曲線により形成され
ている。この時間的に遅れる曲線は、加工の種類、バル
ブ切換ポイントに応じて指数関数あるいは三角関数によ
り表現されるような曲線を適宜に選択しても良い。

【００７９】このピストン変位指令信号の波形はピスト
ン変位量と時間の相関データとしてマイクロコンピュー
タ６３のメモリに予め格納されている。マイクロコンピ
ュータ６３は、線形位置検出器１３よりのピストン位置
信号を入力してその時のピストン位置（ピストン変位
量）に応じたピストン変位指令信号を加え合わせ点６５
へ出力する方法も考えられるが、線形位置検出器１３か
らのピストン位置信号を見なくとも、コンピュータの内
部のメモリや演算部の処理によって、上述の曲線波形を
予め取り込んで、再生成したピストン変位指令信号を加
え合わせ点６５へ出力しても良い。以下は後者の場合の
実施の形態の例についての詳細説明である。

【００８０】この実施の形態の例では、マイクロコンピ
ュータ６３は、上述の、、の各々の同等のバルブ
切換ポイント以外においては、予め波形設定されたピス
トン変位指令信号に相等するものを上述の、、の
各々の同等のバルブ切換ポイント、換言すれば大きいオ
イルハンマー現象が発生する虞れがあるバルブ切換ポイ
ントにおいては、予め波形設定された経時的傾きをもっ
た波形であるバルブ開度指令（スプール変位指令）信号
に相等するものを加え合わせ点６５へ出力する。これに
より、大きいオイルハンマー現象が発生する虞れがある
バルブ切換ポイントにてスプール移動速度が他の切換ポ
イントにおけるスプール移動速度より遅くなる。

【００８１】この場合は、金型寸法、被加工材の板厚、
材質、ピストン上昇端位置、ピストン降下端位置、ピス
トン移動速度などに関する情報をマイクロコンピュータ
６３に入力し、マイクロコンピュータ６３による演算に
より開度指令信号の波形を生成し、ゲイン調整に関する
データをメモリより取り込んだり、予め実験によって得
られた値により開度指令信号の波形を再生成すればよ
い。

【００８２】次に本実施の形態の例において、コンピュ
ータ６３内部における開度指令信号（変位指令信号）波
形が再生成される過程について説明する。図１０はコン
ピュータ６３の内部の波形生成に関する関連図で、図１
１はその生成順序を示すフロー図である。

【００８３】図１０を以下に説明する。図１０の内容を
大別すると演算部８９，各種メモリ部と演算部入力部，
信号出力部６４より構成されている。信号出力部６４か
ら出力された変位指令信号は図８の加え合わせ点６５に
出力される。

【００８４】基本変位指令パターンメモリ部９１には、
不等速パンチングパターン（図２参照）及び等速パンチ
ングパターン（図４参照）の２つの基本パターンがメモ
リされている。

【００８５】基本パターンのストローク工程の内、剪断
区間Ｃは加工条件によって選択可能な複数の剪断区間速
度データＶ１，Ｖ２，Ｖ３…が、その他の非剪断区間
Ｂ，Ｄ，Ｅ各区間は各々所定の区間速度データＶｂ，Ｖ
ｄ，Ｖｅが、それぞれ剪断区間速度データテーブル９３
及び非剪断区間速度データテーブル９５に予め記憶され
ている。本実施の形態の例においては各々の非剪断区間
速度は一定である。一方、剪断区間速度は加工条件、ま
たは加工環境などによって選択可能となっている。図１
０に示す剪断区間速度データテーブル９３には板厚及び
材質が剪断区間速度を決定する加工条件として記載され
ているが、これに限定されるものではなく、剪断時の加
圧トン数を検出するラムシリンダ内の圧力値を考慮に入
れて剪断区間速度を決定してもよいし、更には工場近隣
への環境を考え、騒音値を加味して最終的に剪断区間速
度を決定してもよい。

【００８６】また、曲線波形データテーブル９７には、
複数の剪断区間速度及び非剪断区間速度データに対応し
た曲線波形が記憶されている。本実施の形態の例におい
ては非剪断区間及びピストン停止区間は所定の速度また
は速度ゼロとなっており、図９におけるそれぞれの区間
の変位指令を表す直線Ａ，Ｂ，Ｄ，Ｅ，Ｆの傾斜は一定
で当然その交差角度も一定である。従って、オイルハン
マーが発生するバルブ切換ポイント，，の内、区
間Ａ，Ｂ，Ｄ，Ｅ，Ｆのみに隣接するバルブ切換ポイン
ト、即ち，については２直線を平滑的に結ぶ各々特
定の曲線波形Ｒ４，Ｒ５が記憶されている。一方、剪断
区間Ｃに隣接し、オイルハンマーが発生するバルブ切換
ポイントは選択された剪断区間速度Ｖ１，Ｖ２，Ｖ３
…のそれぞれの傾斜に対応し、２直線を平滑的に結ぶ曲
線波形Ｒ２１，Ｒ２２，Ｒ２３…が選択可能に記憶され
ている。もし、平滑的に２直線を結ぶことをせずに結合
部が段差上になっていたりするとバルブスプールをその
瞬間急激に作動させることになり、オイルハンマー低減
を目的とした本発明の主旨に反することになるからであ
る。

【００８７】次に、曲線区間指定値メモリ９９は、曲線
波形を基本変位指令パターンのどの位置に挿入するかの
パラメータが予め記憶されている。このパラメータとし
ては、時間、指令を形成するパルス数、波形に見るスト
ローク位置の何れであっても構わない。時間パラメータ
を例にとると、コンピュータ内部では通常時計を持って
おり、区間速度、板厚等が決まれば、区間Ｂがスタート
してからいつ切換ポイント，，に到達するかは認
識可能である。基本変位指令パターンに加工諸条件を加
味し演算生成された第２次基本変位指令波形内の、目的
の接続角部を基点として所定時間手前の位置をコンピュ
ータが持つ座標系内においてパラメータとして予め指定
してやれば、そこからの第２次基本変位指令パターンの
データを所定の曲線波形データに更新することが可能で
ある。この更新によって再生成されて信号出力部６４を
介し加え合わせ点６５に出力される。前記基点の手前位
置を指定するパラメータとしては所定時間でなく、所定
パルス数、座標系内の所定ストローク位置であっても同
様である。これらを認識する手段としてタイム（又はパ
ルス数）カウント手段１０１がある。ここでいう所定パ
ラメータはゼロであっても構わない。即ち前記基点を曲
線波形の開始点としても理論上の差異は生じないからで
ある。

【００８８】基本変位指令入力手段１０３は、基本変位
指令パターンメモリ部９１に記憶されている不等速パン
チングパターン、等速パンチングパターンの２つの基本
パターンの何れを選択するか入力するものである。

【００８９】板厚・材質（剪断圧力）加工情報入力手段
１０５は、基本変位指令パターンの剪断区間速度、切換
ポイント位置を決定し、第２次基本変位指令パターンを
生成するための必要な加工条件を入力する手段である。

【００９０】次に図１１に従って変位指令波形生成の過
程を順次説明する。

【００９１】ステップＳ１で板厚、材質、剪断圧力、騒
音規制値等を入力する。ステップＳ２で不等速パンチン
グパターン、等速パンチングパターンの何れかを選択す
るかの情報を与える。この時点でステップＳ１の加工条
件を加味した第２次基本変位指令波形を生成する。

【００９２】ステップＳ３ではステップＳ２で不等速パ
ンチングパターンが選択された場合、ステップＳ１の加
工条件に基づき決定された剪断区間速度（傾斜）に対応
した切換ポイントにおける曲線波形Ｒ２１，Ｒ２２，
Ｒ２３…を演算選択する。つまり区間Ｃの傾斜に一番近
い最終傾斜をもつ曲線波形を抽出してやればよい（各々
の剪断区間速度と対応曲線波形を一義的に固定関係を持
たせてもよい）。

【００９３】ステップＳ４で切換ポイント，，
の、所定時間手前地点または同時の地点からの第２次基
本変位指令値テーブルデータを、ステップＳ３で選択さ
れた曲線波形データに塗り替え更新する。

【００９４】ステップＳ５では以上で変位指令信号の波
形生成が終了し、信号出力部６４から当該ピストン変位
指令信号を加え合わせ点６５へ出力する。

【００９５】ステップＳ６で変位指令信号に従ってリニ
アサーボバルブを制御し、金型５の装着されたラムシリ
ンダをストローク制御しながら、加工を行う。ステップ
Ｓ７において加工終了する。

【００９６】また上述の如き加工情報を入力する以外
に、試し打ちを行い、この時に圧力センサ１１、線形位
置検出器１３が出力する検出値より同等の情報を学習に
より得ることも可能であるし、騒音規制値等は、入力せ
ずに別途メモリ内にデータとして記憶されていても当然
よい。

【００９７】尚、本明細書では、工具が下降することに
より加工が行われるものとして、加工ストローク下降端
にて工具の運動方向が反転し、加工ストローク上昇端を
ホームポジョンとしたが、これは相対的なものであり、
工具が上昇することにより加工が行われるものでは、本
明細書が云う加工ストローク下降端は加工ストローク上
昇端に、加工ストローク上昇端は加工ストローク下降端
に置き換えられる。

【００９８】更にいえば、加工ストローク上昇端と下降
端の上下位置関係は材料加工機のそれと同一である必要
はない。

【００９９】また、工具が水平方向へ移動することによ
り加工が行われるものでは、加工ストローク下降端、加
工ストローク上昇端が各々左端、右端になる。

【０１００】以上に於ては、本発明を特定の実施の形態
の例について詳細に説明したが、本発明は、これらに限
定されるものではなく、本発明の範囲内にて種々の実施
の形態の例が可能であることは当業者にとって明らかで
あろう。

【０１０１】

【発明の効果】以上の説明から理解される如く、本発明
による材料加工機用流体圧装置および制御方法によれ
ば、加工ストロークにおいて流体圧アクチュエータに対
する流体圧の供給状態の変化に起因してフルードハンマ
ー現象の発生する虞れがあるバルブ切換ポイントにおい
てのみ制御バルブのスプール移動速度が他のバルブ切換
ポイントにおけるそれより遅くなり、流体圧アクチュエ
ータに対する流体圧の供給状態の変化がゆっくりと行わ
れ、フルードハンマー現象の発生が低減する。

【０１０２】他のバルブ切換ポイントにおいては制御バ
ルブのスプール移動速度が遅くなることがないから、大
きいフルードハンマー現象が発生することがない加工ス
トローク領域では、応答遅れ、制御目標値に対する偏差
が最低限に抑えられる。

【０１０３】この結果、フルードハンマー現象による流
体圧回路機器の耐久性および静粛性の低下を回避した上
で、能率よく高精度の加工が行われる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明による材料加工機用流体圧装置をパンチ
プレス機械の油圧装置として適用した一実施の形態の例
をブロック線図である。

【図２】不等速パンチング加工パターンを示す説明図で
ある。

【図３】ゲイン制御を行った場合の不等速パンチング加
工におけるピストン変位パターンと、それと同じ時間軸
をもってバルブ開度指令信号とゲイン設定値とスプール
の変位量、位置、移動速度の時系列変化を示すタイムチ
ャートである。

【図４】等速加工パターンにおいてゲイン制御を行った
場合の加工パターンと、それと同じ時間軸をもってバル
ブ開度指令信号とゲイン設定値とスプールの変位量、位
置、移動速度の時系列変化を示すタイムチャートであ
る。

【図５】プレス成形加工の加工パターンとゲイン設定特
性と示すタイムチャートである。

【図６】シャーリング加工状態を示す説明図である。

【図７】本発明による材料加工機用流体圧装置の制御系
の一実施の形態の例を示すブロック図である。

【図８】本発明による材料加工機用流体圧装置の制御系
の他の実施の形態の例を示すブロック図である。

【図９】図８に示されて実施の形態の例におけるピスト
ン変位パターンと、それと同じ時間軸をもってピストン
変位指令信号とスプールの変位量の時系列変化を示すタ
イムチャートである。

【図１０】コンピュータにおいて波形生成するための構
成ブロック図である。

【図１１】図１０において波形を生成するためのフロー
チャートである。

【符号の説明】

１ 油圧シリンダ装置 ５ 金型 １１ 圧力センサ １３ 線形位置検出器 １５ 流路切換サーボバルブ ２５ 油圧ポンプ ３３ コンピュータ ３７ バルブ制御アンプ ３９ スプール移動速度可変制御部 ４１ 線形位置検出器 ５１ カッタブレード ６１ リニアサーボバルブ ６３ マイクロコンピュータ ６４ 信号出力部 ６７ ピストン位置アンプ ７３ ピストン速度アンプ ７７ 線形位置検出器 ７９ スプール位置アンプ ８５ スプール速度アンプ ８７ 電流アンプ ８９ 演算部 ９１ 基本変位指令パターンメモリ部 ９３ 剪断区間速度データテーブル ９５ 非剪断区間速度データテーブル ９７ 曲線波形データテーブル ９９ 曲線区間指定値メモリ １０１ タイム（又はパルス数）カウント手段 １０３ 基本変位指令パターン入力手段

Claims (9)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 金型などの工具を所定の加工ストローク
   をもって往復駆動する流体圧アクチュエータと、前記流
   体圧アクチュエータに対する流体圧の供給を定量的に制
   御する弁開度調整自在の制御バルブとを有する材料加工
   機用流体圧装置において、 一つの加工ストロークにおける前記制御バルブの複数個
   の切換ポイントにおいて流量を制限する方向へ切り換え
   る切換ポイントにおけるスプール移動速度を他の切換ポ
   イントにおけるスプール移動速度より遅くするスプール
   移動速度可変制御手段を有していることを特徴とする材
   料加工機用流体圧装置。
2. 【請求項２】 金型などの工具を所定の加工ストローク
   をもって往復駆動する流体圧アクチュエータと、前記流
   体圧アクチュエータに対する流体圧の供給を定量的に制
   御する弁開度調整自在の制御バルブとを有する材料加工
   機用流体圧装置において、 前記工具が被加工物に当接する直前にて前記流体圧アク
   チュエータに供給する流体圧の流量を大流量より小流量
   へ切り換える切換時と、加工ストローク下降端における
   切換時と、加工ストローク上昇端における切換時の少な
   くとも一つの切換ポイントにおける前記制御バルブのス
   プール移動速度を他の切換ポイントにおけるスプール移
   動速度より遅くするスプール移動速度可変制御手段を有
   していることを特徴とする材料加工機用流体圧装置。
3. 【請求項３】 前記スプール移動速度可変制御手段は前
   記制御バルブのスプール移動速度を他の切換ポイントに
   おけるスプール移動速度より遅くする切換ポイントに到
   達する直前にてスプール変位指令のゲインを他の状態下
   におけるスプール変位指令のゲインより小さくすること
   を特徴とする請求項１また２に記載の材料加工機用流体
   圧装置。
4. 【請求項４】 前記制御バルブは前記流体圧アクチュエ
   ータに対する油圧の供給を停止する全閉位置と前記流体
   圧アクチュエータに第一の方向をもって油圧の供給する
   第一の開弁位置と前記流体圧アクチュエータに第一の方
   向と反対の方向をもって油圧の供給する第二の開弁位置
   との間に切り換わり、前記スプール移動速度可変制御手
   段は前記制御バルブのスプール変位量情報とスプール移
   動方向情報とを入力し、スプールが第一の開弁位置にあ
   ってスプールの移動方向が第二の開弁位置へ向かう移動
   方向、あるいはスプールが第二の開弁位置にあってスプ
   ールの移動方向が第一の開弁位置へ向かう移動方向であ
   る時のスプール変位指令のゲインを他の状態下における
   スプール変位指令のゲインより小さくすることを特徴と
   する請求項２に記載の材料加工機用流体圧装置。
5. 【請求項５】 前記制御バルブは前記流体式アクチュエ
   ータのピストン変位指令に従って動作し、前記スプール
   移動速度可変制御手段は前記流体式アクチュエータのピ
   ストン変位指令の波形を予め設定し、この波形設定によ
   って前記制御バルブの特定の切換ポイントにおけるスプ
   ール移動速度を他の切換ポイントにおけるスプール移動
   速度より遅くすることを特徴とする請求項１また２に記
   載の材料加工機用流体圧装置。
6. 【請求項６】 前記スプール移動速度可変制御手段はス
   プール変位指令の波形を予め設定し、この波形設定によ
   って前記制御バルブの特定の切換ポイントにおけるスプ
   ール移動速度を他の切換ポイントにおけるスプール移動
   速度より遅くすることを特徴とする請求項１また２に記
   載の材料加工機用流体圧装置。
7. 【請求項７】 金型などの工具を所定の加工ストローク
   をもって往復駆動する流体圧アクチュエータと、前記流
   体圧アクチュエータに対する流体圧の供給を定量的に制
   御する弁開度調整自在の制御バルブと、予め設定された
   前記流体式アクチュエータのピストン変位指令に基づい
   て前記制御バルブの弁開度を調整する制御手段とを有す
   る材料加工機用流体圧装置において、 前記制御手段に設定される前記ピストン変位指令の波形
   は、一つの加工ストロークにおける前記制御バルブの複
   数個の切換ポイントのうち、流量を制限する方向へ切り
   換える切換ポイントに相当する部分の二直線の接続角部
   を曲線により形成されていることを特徴とする材料加工
   機用流体圧装置。
8. 【請求項８】 金型などの工具を所定の加工ストローク
   をもって往復駆動する流体圧アクチュエータと、前記流
   体圧アクチュエータに対する流体圧の供給を定量的に制
   御する弁開度調整自在の制御バルブと、予め設定された
   前記流体式アクチュエータのピストン変位指令に基づい
   て前記制御バルブの弁開度を調整する制御手段とを有す
   る材料加工機用流体圧装置において、 前記制御手段に設定される前記ピストン変位指令の波形
   は、一つの加工ストロークにおける前記制御バルブの複
   数個の切換ポイントのうち、前記工具が被加工物に当接
   する直前にて前記流体圧アクチュエータに供給する流体
   圧の流量を大流量より小流量へ切り換える切換時と、加
   工ストローク下降端における切換時と、加工ストローク
   上昇端における切換時の少なくとも一つの切換ポイント
   に相当する部分の二直線の接続角部を曲線により形成さ
   れていることを特徴とする材料加工機用流体圧装置。
9. 【請求項９】 金型などの工具を所定の加工ストローク
   をもって往復駆動する流体圧アクチュエータと、前記流
   体圧アクチュエータに対する流体圧の供給を制御する弁
   開度調整自在の制御バルブとを有する材料加工機用流体
   圧装置の制御方法において、 前記制御バルブの複数個の切換ポイントにおいて流量を
   制限する方向へ切り換える切換ポイントにおけるスプー
   ル移動速度を他の切換ポイントにおけるスプール移動速
   度より遅くすることを特徴とする材料加工機用流体圧装
   置の制御方法。