JPH087323A - 光ヘッドおよび光情報記録再生装置 - Google Patents

光ヘッドおよび光情報記録再生装置

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JPH087323A
JPH087323A JP6135368A JP13536894A JPH087323A JP H087323 A JPH087323 A JP H087323A JP 6135368 A JP6135368 A JP 6135368A JP 13536894 A JP13536894 A JP 13536894A JP H087323 A JPH087323 A JP H087323A
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optical
optical information
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semiconductor laser
diffraction grating
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JP6135368A
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Akitomo Itou
顕知 伊藤
Toshimichi Shintani
俊通 新谷
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Hitachi Ltd
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Hitachi Ltd
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    • G11B7/1387Means for guiding the beam from the source to the record carrier or from the record carrier to the detector using the near-field effect
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    • B82Y10/00Nanotechnology for information processing, storage or transmission, e.g. quantum computing or single electron logic
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 超高密度でかつ小型の光情報記録再生装置を
提供する。 【構成】 半導体レーザ(1)、光検出器(2)、エバ
ネセント光発生用プローブ(3)が、浮上スライダ
(6)上に搭載されている。プローブにより発生させら
れたエバネセント光(4)により、情報を媒体(8)に
記録する。情報再生時には、半導体レーザの電流値をし
きい値でバイアスし、S/Nを向上する。 【効果】 記録密度10から100ギガビット/平方イ
ンチの小型かつ簡素な光情報記録再生装置を構成でき
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、光ディスク装置、及び
それを用いた光情報処理装置にかかわる。
【0002】
【従来の技術】光ディスク装置は、これまで大容量の可
換媒体として注目されてきた。しかし、最近の磁気ディ
スク装置の急速な大容量化の進展により、記録密度は1
ギガビット/平方インチと、ほぼ同等となり、また、そ
の大容量化の進展速度の差から、ここ数年で、記録密度
の点で磁気ディスク装置に追い抜かれるのは確実な状況
となっている。
【0003】従来、光ディスク装置の高密度化は、使用
する半導体レーザ光の短波長化、微小な情報記録マーク
を形成する技術、および光スポット径より小さい情報記
録マークを精度よく再生する技術の3つの方向から推進
されてきた。第1のアプローチについては、最近II−VI
族の半導体による緑色レーザの室温連続発振、ガリウム
・窒素系のIII−V族半導体による青色発光ダイオード
の製品化など画期的な進歩があり、第2、第3のアプロ
ーチも着実な進歩を遂げているが、これらを総合しても
やっと1けたの記録密度向上がはかれる程度であると推
定されている。この根本的な原因は、光の回折現象によ
り、光を光の波長より小さくすることができないためで
ある。
【0004】この限界を打ち破り、記録密度を現状より
2桁向上する方法として、近接場(エバネセント場)を
利用した光記録再生方法が注目されている。例えば、ア
プライド・フィジクス・レターズ、61巻、2号の14
2頁から144頁(Applied Physics
Lettes,Vol.62,No.2,pp.142
−144,1992)に記載されているように、光ファ
イバの先端をコーン状に加工し、その先端の数10nm
の領域以外を金属の被膜で覆ったプローブを作製し、こ
れをピエゾ素子を用いた精密アクチュエータに搭載して
位置を制御して、直径60nmの記録マークをプラチナ
/コバルトの多層膜上に記録再生した例が報告されてい
る(図5)。この例の場合、記録密度は45ギガビット
/平方インチに達し、現状の約50倍とすることができ
る。更に最近、アプライド・フィジクス・レターズ、6
3巻、26号の3550頁から3552頁(Appli
ed Physics Lettes,Vol.63,
No.26,pp.3550−3552,1993)に
は、上記光ファイバとしてネオジウムがドープされてい
るものを用い、レーザ発振を利用してS/N比を向上し
た例が報告されている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記従来例に
は以下のような課題がある。
【0006】まず第一に、信号レベルが小さいことがあ
げられる。上記第2の従来例では、金の薄膜を成膜した
ガラス基板上にプローブを接近させ、10nm程度基板
表面と垂直方向にプローブを移動させることで、約30
%の強度変調シグナルを検出しているが、検出パワー
は、入射光45mWに対し0.3mWと小さい。
【0007】第2に、ファイバレーザの緩和周波数が9
2KHzと極めて小さく、高速な情報転送が困難であるこ
とがあげられる。
【0008】第3に、基板とプローブの距離をスキャニ
ング・フォース顕微鏡を用いて、極めて精密に制御する
必要があるため、例えば光情報を記録したディスクを高
速に回転した場合、ディスクの偏心によって生じる高い
周波数の基板とプローブの距離の変動を制御しきれない
という問題がある。
【0009】第4に、上記従来例では情報を記録する際
の光強度の変調を、音響光学効果を用いた偏向器で行う
ため、数10MHz以上の変調が困難であるという問題
がある。
【0010】第5に、上記従来例では光ビームを記録ト
ラックに追従させるトラッキングサーボの方法がなく、
実用的な光情報記録再生装置が構成できないという問題
がある。
【0011】
【課題を解決するための手段】上記の各課題を解決する
ために以下の手段を採用した。
【0012】まず、レーザ共振器としゲインの高い半導
体レーザを採用し、半導体レーザと、半導体レーザの一
方向のミラーから出射するレーザ光を検出する検出器と
からなる光ヘッドに、上記ミラーと反対側端面に、エバ
ネセント光を発生させる手段が設置する。また、上記光
ヘッドにおいて、エバネセント光を発生させる手段とし
て、円錐形状の誘電体プローブを採用する。あるいは、
上記光ヘッドにおいて、エバネセント光を発生させる手
段として、前記半導体レーザ光の波長以下の周期を有す
る同心円状の等周期の回折格子を採用する。さらに回折
格子が、回折格子の中心に向かう方向にブレーズ化され
ており、かつその中心においてブレーズ方向が反転して
いるものとする。あるいはまた上記光ヘッドにおいて、
エバネセント光を発生させる手段として、光軸に垂直方
向断面が楕円形状の錐形状の誘電体プローブを採用す
る。あるいは上記光ヘッドにおいて、エバネセント光を
発生させる手段として、前記半導体レーザないし固体レ
ーザ光の波長以下の周期を有する1次元方向の等周期の
回折格子であって、その中心線において位相が180度
反転している回折格子を採用する。さらにまた回折格子
がブレーズ化されており、かつその中心線においてブレ
ーズ方向が反転しているものとする。
【0013】さらに上記光ヘッドと光情報記録媒体から
なる光情報記録再生装置を構成する。さらに上記光情報
記録再生装置において、光情報記録媒体に照射する半導
体レーザの電流オン時の注入電流をしきい電流値より十
分大きく設定し、かつ半導体レーザ注入電流をオン・オ
フすることによって光情報媒体に情報を記録する。さら
にまた、光情報記録媒体に照射する半導体レーザの注入
電流をしきい電流値もしくはその近傍に設定し、光照射
された光情報記録媒体の情報の有無によって生じる半導
体レーザの発振状態の変化を、前記光検出器によって検
出する。さらにまた半導体レーザの縦モードをマルチモ
ード化する構造、あるいは手段を備え、ノイズを低減す
る。
【0014】さらにまた、上記光情報記録再生装置にお
いて、上記半導体レーザ、光検出器、および誘電体光プ
ローブないし回折格子を浮上スライダ上に搭載し、エア
浮上させることにより、高速のディスク回転に追従でき
る装置とする。
【0015】さらに、上記光情報記録再生装置におい
て、光情報記録媒体の一部分にトラッキングを行うため
のウォブルピットを設けるとともに、上記ウォブルピッ
トからの光強度を検出し、該検出信号を用いてサンプル
トラッキングを行って、トラッキングサーボ制御を行
う。さらにまた、上記光情報記録再生装置において、上
記光記録媒体に照射される光ビームの寸法が、該光記録
情報媒体の周方向と周方向と垂直な方向で異なるように
し、さらに前記光ビ−ムの該光記録情報媒体の周方向の
寸法aと周方向と垂直な方向の寸法bの比a/bが5以
上として、周方向と垂直な方向には記録密度を大きく詰
めず、かつ周方向に大きく詰める方式として、サーボを
容易にする。さらにまた、上記光ビームを上記断面が楕
円形状の誘電体光プローブないし1次元的な回折格子で
形成する。
【0016】
【作用】上記の各手段は各課題に対し以下のように作用
する。
【0017】まず、レーザ共振器としゲインの高い半導
体レーザを採用し、半導体レーザと、半導体レーザの一
方向のミラーから出射するレーザ光を検出する検出器と
からなる光ヘッドに、上記ミラーと反対側端面に、エバ
ネセント光を発生させる手段が設置することにより、該
エバネセント光と光情報記録媒体の相互作用の変化によ
って生じた僅かの変化を増幅し、大きな光出力変化とし
て取りだすことができる。また、上記光ヘッドにおい
て、エバネセント光を発生させる手段として、円錐形状
の誘電体プローブ、あるいは、上前記半導体レーザ光の
波長以下の周期を有する同心円状の等周期の回折格子、
特に回折格子の中心に向かう方向にブレーズ化されてお
り、かつその中心においてブレーズ方向が反転している
ものを採用することにより、エバネセント光と光情報記
録媒体との相互作用を増大させ、検出信号を増加せしめ
る。あるいはまた上記光ヘッドにおいて、エバネセント
光を発生させる手段として、光軸に垂直方向断面が楕円
形状の錐形状の誘電体プローブあるいは、前記半導体レ
ーザないし固体レーザ光の波長以下の周期を有する1次
元方向の等周期の回折格子であって、その中心線におい
て位相が180度反転している回折格子、特に回折格子
がブレーズ化されており、かつその中心線においてブレ
ーズ方向が反転しているものを採用することにより、ビ
ーム径の縦横比が異なるエバネセント光を発生せしめ
る。
【0018】さらに上記光ヘッドと光情報記録媒体から
なる光情報記録再生装置を構成し、さらに上記光情報記
録再生装置において、光情報記録媒体に照射する半導体
レーザの電流オン時の注入電流をしきい電流値より十分
大きく設定し、かつ半導体レーザ注入電流をオン・オフ
することによって光情報媒体に情報を記録することによ
り、高周波数の記録を可能とし、記録速度をも大幅に増
加させしめる。また、光情報記録媒体に照射する半導体
レーザの注入電流をしきい電流値もしくはその近傍に設
定し、光照射された光情報記録媒体の情報の有無によっ
て生じる半導体レーザの発振状態の変化を、前記光検出
器によって検出する方式を採用することにより、検出信
号の振幅を大幅に増加せしめる。さらにまた半導体レー
ザの縦モードをマルチモード化する構造、あるいは手段
を備えることにより、ノイズを低減する。
【0019】さらにまた、上記光情報記録再生装置にお
いて、上記半導体レーザ、光検出器、および誘電体光プ
ローブないし回折格子を浮上スライダ上に搭載し、エア
浮上させることにより、高速のディスク回転に追従でき
るようにし、現在の磁気ディスク装置上に搭載できるよ
うにして、装置化を容易にする。
【0020】さらに、上記光情報記録再生装置におい
て、光情報記録媒体の一部分にトラッキングを行うため
のウォブルピットを設けるとともに、上記ウォブルピッ
トからの光強度を検出し、該検出信号を用いてサンプル
トラッキングを行って、トラッキングサーボ制御を行う
ことを可能として、現在の磁気ディスク装置上に搭載で
きるようにし、装置化を容易にする。。さらにまた、上
記光記録媒体に照射される光ビ−ムの寸法が、該光記録
情報媒体の周方向と周方向と垂直な方向で異なるように
し、さらに前記光ビ−ムの該光記録情報媒体の周方向の
寸法aと周方向と垂直な方向の寸法bの比a/bが5以
上として、周方向と垂直な方向には記録密度を大きく詰
めず、かつ周方向に大きく詰める方式とすることで、上
記のサンプルトラッキング用のプリピットの形成を容易
とするとともに、サーボ動作の精度を緩和し、実用化を
容易にする。さらにまた、上記光ビームを上記断面が楕
円形状の誘電体光プローブないし1次元的な回折格子で
形成することにより、上記のサーボで使用するにふさわ
しい非対称形状の光ビームを容易に形成できる。
【0021】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面を用いて説明す
る。
【0022】図1は本発明の一実施例である。波長83
0nmの半導体レーザで発生させられた光は、レーザ後
方に設置された光検出器2でその出力をモニタされる。
一方半導体レーザの他方の端面には、格子の断面形状が
ブレーズ形状をしたフレネルレンズ3をはりつける。接
着に用いる接着剤、およびフレネルレンズを形成する材
料の波長830nmにおける屈折率は、半導体レーザ1
とフレネルレンズ3の間における反射を防止する必要が
ある。フレネルレンズの周期を、レーザ光波長830n
m以下とするとエバネセント光4を発生することができ
る。発生されたエバネセント光は、基板7上に形成され
た相変化記録媒体8と相互作用し、光記録ドメイン10
を形成する。また情報再生時には、半導体レーザの注入
電流を略しきい値まで落とし、記録情報の再生を行う。
上記の光記録により、媒体の反射率が変化しているの
で、記録媒体とエバネセント光の相互作用の大きさが変
化し、その結果、レーザ共振器の反射率が変化する。こ
の僅かな変化がレーザ共振器により大きく増幅され、共
振器からのレーザ光5のパワーが大きく変調される。こ
の信号光5は、光検出器2に導かれて検出される。さら
に、半導体レーザ1、光検出器2、およびフレネルレン
ズ3を、浮上スライダ6上に搭載して、光情報記録媒体
とプローブの距離を一定距離に保つ。
【0023】発生させられるエバネセント光のスポット
の強度分布は数1で表される。
【0024】
【数1】
【0025】このゼロ次ベッセル関数のメインローブの
半値全幅を与える半径rは、r≒0.2Λで与えられる
から、回折格子の周期を小さくすればするほど分解能が
上がる。例えば周期0.5μmの回折格子を形成すれ
ば、その分解能は、直径0.1μmとなり、記録密度と
して20ギガビット/平方インチ以上が可能となる。
【0026】さらに、本実施例によれば大幅な光ヘッド
の小型化が可能である。従来は、図8のように、プロー
ブとして光ファイバを用いていたため、装置がきわめて
大規模であった。しかし本発明では、小型の半導体レー
ザ1、光検出器2、およびフレネルレンズ3が、浮上ス
ライダ6上に搭載されており、その大きさは現状の磁気
ディスクと変わらない、きわめて小さいものとすること
が可能である。
【0027】次に、エバネセント光発生に用いるプロー
ブについて説明する。
【0028】図2は、本発明の第1の実施例で用いたフ
レネルレンズ型のプローブである。前記プローブは、基
板21上に形成された等周期のブレーズ型回折格子で構
成されている。入射した光23は、ブレーズ型回折格子
によって回折されプローブ中心へ集められる。回折格子
の周期Λが波長以下の場合、回折した光はプローブの外
に進行することができず、大部分は反射光25となる
が、一部は0次のベッセル関数型のエバネセント光4と
なり、プローブの外へしみだす。プローブの十分近くに
光情報記録媒体が存在すると、前記局在化したエバネセ
ント光と光情報記録媒体が相互作用をおこし、実効的に
反射率が変動する。
【0029】図3は、上記第1実施例とは別の第2のエ
バネセント光発生用のプローブである。33は光ファイ
バ、31は化学エッチングなどで作製された円錐形のガ
ラスプローブ、32は金属のコーテイング膜で、31の
先端部分のみ、ガラスプローブが露出している。プロー
ブ31の先端角θを小さくし、入射光34をプローブの
円錐面で全反射させながら、プローブ先端へ導く。大部
分の光は、金属膜32に吸収されるが、一部分が先端の
開口部からエバネセント波としてしみだし、光情報記録
媒体と相互作用する。本プローブの分解能は、開口部の
直径a程度である。現在50nm程度の直径の開口が作
製可能であり、その場合の記録密度は、100から15
0ギガビット/平方インチと極めて大容量とすることが
できる。
【0030】図4は、1次元方向にのみ局在化したエバ
ネセント波を発生させる回折格子型プローブである。前
記プローブは、基板21上に形成された等周期のブレー
ズ型回折格子41で構成されている。ただし、格子形状
は同心円状ではなく、直線である。半導体レーザ1内で
は、光はほぼ活性層43に閉じ込められて伝搬してい
る。前記導波光23は、ブレーズ型回折格子によって回
折され24のようにプローブ中心へ集められる。このと
き、回折格子の周期Λが波長以下の場合、回折した光は
プローブの外に進行することができず、大部分は反射光
25となるが、一部は0次のベッセル関数型のエバネセ
ント光42となり、プローブの外へしみだす。しかし、
図2の場合と異なり、回折格子が1次元であるため、回
折格子の格子ベクトル方向のみエバネセント光として局
在化し、格子ベクトルと垂直な方向のビームサイズはほ
ぼ活性層43中を伝搬する光ビームと同一となる。例え
ば半導体レーザ1の活性層43の厚さを0.1μmとし
た場合、活性層の厚さ方向の光ビームサイズは、活性層
とクラッド層の屈折率差にもよるが、ほぼb=0.5μ
m程度となり、周期Λ=0.5μmの回折格子で、幅a
=0.1μmのエバネセント光を形成すれば、縦横比a
/b=5のビームが形成できる。このような光ビームを
用いれば、例えば後述のように、トラックピッチはそれ
ほどつまっておらず、かつディスク周方向には、大幅に
密度が向上した光情報記録再生装置が構成できる。
【0031】図5は、1次元方向にのみ局在化したエバ
ネセント波を発生させる誘電体プローブの例である。本
例では、光ファイバ33の先端が楕円形の断面形状を有
するプローブ51に加工する。その長軸a、短軸bの比
a/bを5とすることにより、上記の回折格子と同様の
ビームを形成することができる。
【0032】次に、本光情報記録再生装置の記録再生の
原理について説明する。
【0033】図6は、本光ヘッドにおける半導体レーザ
の駆動状態を説明した図である。まず記録時には、注入
電流をしきい値電流より十分大きくバイアスし、光記録
に必要なレーザパワーとする。実際に必要な光パワー
は、プローブによって発生させられるエバネセントビー
ムの面積Aおよびプローブと媒体の距離dによって、大
きく変動する。これを具体例で示す。
【0034】一般的なファブリ・ペロー型の半導体レー
ザにおける光パワーPと注入電流Iの関係は、数2で表
わせる。
【0035】
【数2】
【0036】ここで、光検出器側の出力光のスロープ効
率ηは数3で表わせる。
【0037】
【数3】
【0038】一方、しきい電流値Ithは数4で表わせ
る。
【0039】
【数4】
【0040】本実施例で、L=300μm、αはGaA
sを想定して10(/cm)、R1=0.1とする。前
記公知例によれば、図2ないし図3のプローブで、直径
100nmのエバネセント光を発生させる場合、d=5
0nmとした場合の実効的なプローブ反射率R2は0.
01であり、このとき、η=0.267(W/A)とな
る。また、ストライプ幅W=5μm、d=0.1μmと
し、GaAsを想定しているのでβ=23、J0=4と
し、Γ=0.5とすると、I0=10mA程度の漏れ電
流を考慮して、Ith=32.3(mA)となる。
【0041】上記プローブからのエバネセント光4の出
力光パワーは、検出器側の光出力に対し、ほぼ反射率比
分小さいので、そのスロープ効率η1=0.0267
(W/A)程度と推定できる。光情報記録媒体として相
変化媒体を想定した場合、現状の記録速度50Mbps
の条件では、記録パワー20mWが必要である。本実施
例では、波長780nm、対物レンズのNA0.55の
現行装置の記録光スポット面積1.5平方μmに対し、
スポットサイズが0.008平方μmと約1/188で
あるから、記録パワーとして、約0.1mWが必要とな
り、注入電流をしきい値電流より、約4mA大きなとこ
ろへ設定すればよい。また、記録に必要な50Mbps
以上の高速変調は、半導体レーザの強度の直接変調で実
現できる。したがって、公知例のような音響光学素子を
用いた変調器は不要となるだけでなく、将来の記録速度
の向上にも1Gbps程度までは十分対応が可能とな
る。
【0042】一方上記プローブを用いた光ヘッドを用い
れば、再生にはさらに大きなメリットがある。再生時に
は、半導体レーザの注入電流はしきい値電流Ithにバ
イアスする。すでに述べたように、本光ヘッドでは、図
7(b)に示すように、半導体レーザ1の光検出器2側
のミラーと、光情報記録媒体の記録層8の間で共振器7
2が構成されている。情報ピット10の有無により、媒
体の屈折率が変化する。その変化量は約50%であり、
ピットの有無により、実効的な反射率はR2=0.01
から0.005に変化する。このときしきい値電流は、
上記例の場合、Ith=32.3から33.8に1.5
mA増える。そこで、上記バイアス電流を33.8mA
に設定した場合、ピットがある場合の光出力は0.4m
Wとなり、十分検出可能な値となる。実際は、自然放出
光のためしきい値電流においても光出力はゼロでないた
め、変調度は100%とはならないが、公知例の30%
に比べると大きな変調度が期待できる。また、半導体レ
ーザのキャリヤの緩和周波数は、nsオーダであるか
ら、その応答周波数は1GHz程度までは十分可能であ
り、公知例では不可能であった、高速再生、高速転送が
可能となる。
【0043】次に、本発明における位置決め、サーボ技
術について説明する。公知例における光記録、再生は、
単に数10nm離れた点に次々に情報ピットを記録、再
生したもので、従来の光情報記録再生装置のように、円
板の任意の位置に、記録トラックにそって情報を記録、
再生したものではない。そこで、本発明では以下のよう
にしてトラッキングを行う。まず、図8に示すように、
図4、ないし図5のプローブを用いてトラック方向(す
なわち円板の周方向)にはエバネセント光、それと垂直
な方向には、若干幅の広がった光ビーム42を形成す
る。このビームの径の比は5:1以上であることが望ま
しい。ディスク83には、プリピット81があらかじめ
形成されているサーボ領域84と、データ領域85があ
る。プリピット81はトラッグ中心から、その中心が左
右に一定距離ずれたところに配置された、ウォブルピッ
トである。この上を光ビームが走査された場合、もし光
4がトラック中心からずれていた場合、連続した2つの
プリピットからの信号にアンバランズが生じ、これらの
信号の差をとってトラッキング誤差信号とする。その場
合、前述のような光ビーム42、例えばトラック方向の
ビーム径a=0.1μm、それと垂直方向のビーム径b
=0.5μmのものを用いれば、例えばトラックピッチ
0.5μmとすることができ、これによりウォブルピッ
トのピット径を0.3μm程度とすることが可能とな
る。直径0.3μmのプリピットであれば、現状も光デ
ィスク原盤の作製技術で十分作製可能であり、特別の技
術を用いずに大量のレプリカ円板を容易に作製すること
ができる。このときの記録密度としては約10ギガビッ
ト/平方インチが可能である。光ビームの短径aの値
は、周期の小さな回折格子プローブや、開口の小さい誘
電体プローブを使用すれば、さらに小さくできるので、
さらに数倍以上に記録密度向上も可能となる。本発明で
は、上記トラッキング誤差信号を用いてサンプル・トラ
ッキングにより、トラック上への光ビームの位置決めを
行う。また、通常の光情報記録再生装置とは異なり、円
板とプローブの距離は空気浮上で制御するため、いわゆ
るフォーカシング・サーボ動作は不要である。以上のよ
うに、本発明では位置決め方式が、極めて簡単となって
おり、超高密度の光情報記録再生装置に特有の、複雑な
位置決め、サーボを行う必要がないという特徴を持つ。
【0044】最後に、本発明装置におけるノイズについ
て説明する。本発明においては、情報の再生時に半導体
レーザを略しきい値電流で駆動する。半導体レーザのノ
イズは、半導体レーザを略しきい値電流で駆動する場合
に著しく増加する。半導体レーザを略しきい値電流で駆
動し、かつノイズの増加を抑圧するため、本発明装置で
は再生時は縦モードをマルチモードとして駆動すること
が望ましい。具体的には、しきい値電流付近で100か
ら600MHz程度の高周波で、電流値を変調する。こ
れにより半導体レーザの縦モードをマルチ化し、再生時
におけるノイズを大幅に低減することができる。
【0045】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、10ギガ
ビット/平方インチ以上の記録密度を持つ超高密度の光
情報記録再生装置を、実用に十分なS/Nで、簡便な位
置決め方式で、かつ小型に構成することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例を示す断面図である。
【図2】本発明で用いるエバネセント光発生用のプロー
ブの一例を示す断面図及び平面図である。
【図3】本発明で用いるエバネセント光発生用のプロー
ブの他の一例を示す断面図である。
【図4】ビーム径の縦横比が異なるエバネセント光発生
用のプローブの一例を示す断面図及び斜視図である。
【図5】ビーム径の縦横比が異なるエバネセント光発生
用のプローブの他の一例を示す断面図である。
【図6】本発明の、記録再生時における半導体レーザの
駆動状態を説明するグラフ図である。
【図7】本発明の、光情報の記録、再生の原理を説明す
る説明図である。
【図8】本発明におけるトラッキング方式を説明する平
面図である。
【符号の説明】
1…半導体レーザ、2…光検出器、3…エバネセント光
発生用のプローブ、4…エバネセント光、5…レーザ
光、6…浮上スライダ、7…基板、8…光情報記録膜、
9…保護膜、10…記録された情報、21…基板、22
…ブレーズド回折格子、23…入射光、24…回折光、
25…反射光、31…誘電体プローブ、32…金属膜、
33…光ファイバ、34…入射光、41…ブレーズド回
折格子、42…エバネセント光、43…活性層、51…
誘電体プローブ、71…円板回転方向、72…共振器、
81…プリピット、82…トラッキング中心、83…光
ディスク、84…サンプルサーボ用情報記録領域、85
…情報記録領域。

Claims (22)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】半導体レーザと、半導体レーザの一方向の
    ミラーから出射するレーザ光を検出する検出器とからな
    る光ヘッドにおいて、上記ミラーと反対側端面に、エバ
    ネセント光を発生させる手段が設置されていることを特
    徴とする光ヘッド。
  2. 【請求項2】前記エバネセント光を発生させる手段が、
    円錐形状の誘電体プローブを有していることを特徴とす
    る請求項1記載の光ヘッド。
  3. 【請求項3】前記エバネセント光を発生させる手段が、
    前記半導体レーザ光の波長以下の周期を有する同心円状
    の等周期の回折格子を有していることを特徴とする請求
    項1記載の光ヘッド。
  4. 【請求項4】前記回折格子が、回折格子の中心に向かう
    方向にブレーズ化されており、かつその中心においてブ
    レーズ方向が反転しているものであることを特徴とする
    請求項3記載の光ヘッド。
  5. 【請求項5】前記エバネセント光を発生させる手段が、
    光軸に垂直方向断面が楕円形状の錐形状の誘電体プロー
    ブであることを特徴とする請求項1記載の光ヘッド。
  6. 【請求項6】前記エバネセント光を発生させる手段が、
    前記半導体レーザ光の波長以下の周期を有する1次元方
    向の等周期の回折格子であって、その中心線において位
    相が180度反転している回折格子を有していることを
    特徴とする請求項1記載の光ヘッド。
  7. 【請求項7】前記回折格子がブレーズ化されており、か
    つその中心線においてブレーズ方向が反転しているもの
    であることを特徴とする請求項6記載の光ヘッド。
  8. 【請求項8】半導体レーザ、該半導体レーザの第1の端
    面から出射するレーザ光を検出する検出器、及び上記半
    導体レーザの第2の端面から出射するレーザ光からエバ
    ネセント光を発生させる手段とを有する光ヘッドを、光
    情報記録媒体近傍に設置して、上記エバネセント光ビー
    ムにより記録または再生を行う光情報記録再生装置。
  9. 【請求項9】前記光情報記録媒体に照射する半導体レー
    ザの電流オン時の注入電流をしきい電流値より十分大き
    く設定し、かつ半導体レーザ注入電流をオン・オフする
    ことによって光情報媒体に情報を記録することを特徴と
    する請求項8記載の光情報記録再生装置。
  10. 【請求項10】前記光情報記録媒体に照射する半導体レ
    ーザの注入電流をしきい電流値もしくはその近傍に設定
    し、光照射された光情報記録媒体の情報の有無によって
    生じる半導体レーザの発振状態の変化を、前記検出器に
    よって検出することを特徴とする請求項8記載の光情報
    記録再生装置。
  11. 【請求項11】前記半導体レーザの縦モードをマルチモ
    ード化する構造、あるいは手段を備えていることを特徴
    とする請求項8記載の光情報記録再生装置。
  12. 【請求項12】前記半導体レーザ、前記検出器、および
    誘電体光プローブないし回折格子が浮上スライダ上に搭
    載されていることを特徴とする請求項8乃至11のうち
    いずれかに記載の光情報記録再生装置。
  13. 【請求項13】前記光情報記録媒体の一部分にトラッキ
    ングを行うためのウォブルピットが形成されていること
    を特徴とする請求項12記載の光情報記録再生装置。
  14. 【請求項14】前記ウォブルピットからの光強度を検出
    し、該検出信号を用いてサンプルトラッキングを行うこ
    とを特徴とする請求項13記載の光情報記録再生装置。
  15. 【請求項15】前記光記録媒体に照射される光ビ−ムの
    寸法が、該光記録情報媒体の周方向と周方向と垂直な方
    向で異なることを特徴とする請求項14記載の光情報記
    録再生装置。
  16. 【請求項16】前記光記録媒体に照射される光ビ−ムの
    該光記録情報媒体の周方向の寸法aと周方向と垂直な方
    向の寸法bの比a/bが5以上であることを特徴とする
    請求項15記載の光情報記録再生装置。
  17. 【請求項17】前記エバネセント光を発生させる手段
    が、円錐形状の誘電体プローブを有していることを特徴
    とする請求項8記載の光情報記録再生装置。
  18. 【請求項18】前記エバネセント光を発生させる手段
    が、前記半導体レーザ光の波長以下の周期を有する同心
    円状の等周期の回折格子を有していることを特徴とする
    請求項8記載の光情報記録再生装置。
  19. 【請求項19】前記回折格子が、回折格子の中心に向か
    う方向にブレーズ化されており、かつその中心において
    ブレーズ方向が反転しているものであることを特徴とす
    る請求項18記載の光情報記録再生装置。
  20. 【請求項20】前記エバネセント光を発生させる手段
    が、光軸に垂直方向断面が楕円形状の錐形状の誘電体プ
    ローブであることを特徴とする請求項8記載の光情報記
    録再生装置。
  21. 【請求項21】前記エバネセント光を発生させる手段
    が、前記半導体レーザ光の波長以下の周期を有する1次
    元方向の等周期の回折格子であって、その中心線におい
    て位相が180度反転している回折格子を有しているこ
    とを特徴とする請求項8記載の光情報記録再生装置。
  22. 【請求項22】前記回折格子がブレーズ化されており、
    かつその中心線においてブレーズ方向が反転しているも
    のであることを特徴とする請求項21記載の光情報記録
    再生装置。
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DE69518584T DE69518584T2 (de) 1994-06-17 1995-04-19 Optischer Kopf, der evaneszentes Licht verwendet und optisches Aufzeichnungs/Wiedergabegerät für Daten
US08/483,989 US5734632A (en) 1994-06-17 1995-06-07 Optical head using evanescent light and optical data recording/reproducing apparatus and method of using the same
KR1019950015741A KR100339938B1 (ko) 1994-06-17 1995-06-14 광헤드및광정보기록재생장치
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DE (1) DE69518584T2 (ja)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH116838A (ja) * 1997-04-23 1999-01-12 Seiko Instr Inc 光プローブおよび光プローブ製造方法および走査型プローブ顕微鏡
JP2002162333A (ja) * 2000-11-28 2002-06-07 Jasco Corp 近接場プローブ及びその製造方法、並びに、該近接場プロープを用いた近接場顕微鏡
US6665239B1 (en) 1998-12-10 2003-12-16 Ricoh Company, Ltd. Optical information recording and reproducing apparatus
US6834027B1 (en) 2000-02-28 2004-12-21 Nec Laboratories America, Inc. Surface plasmon-enhanced read/write heads for optical data storage media
JP2009540312A (ja) * 2006-06-12 2009-11-19 コミツサリア タ レネルジー アトミーク 近接場透過で作動する光学部品

Families Citing this family (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE69722008T2 (de) * 1996-08-21 2004-04-01 Polaroid Corp., Waltham Auf der phasensteuerung abklingender felder basierende systeme und verfahren
US5910940A (en) * 1996-10-08 1999-06-08 Polaroid Corporation Storage medium having a layer of micro-optical lenses each lens generating an evanescent field
WO1998036409A1 (fr) * 1997-02-17 1998-08-20 Seiko Epson Corporation Procede d'enregistrement magnetique
US6167016A (en) * 1997-04-11 2000-12-26 Aerial Imaging Corporation Optical head with a diffractive lens for focusing a laser beam
US6307827B1 (en) * 1997-08-29 2001-10-23 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Optical device and information recording and reproducing device
JP4145985B2 (ja) 1998-02-10 2008-09-03 セイコーインスツル株式会社 情報記録装置
US6396789B1 (en) 1998-02-27 2002-05-28 Calimetrics, Inc. Data storage system and methods using diffractive near-field optics
JP4020229B2 (ja) * 1998-05-11 2007-12-12 セイコーインスツル株式会社 近視野光学ヘッド
JP4044288B2 (ja) * 1998-08-05 2008-02-06 セイコーインスツル株式会社 情報記録媒体および情報再生装置および情報記録再生装置
JP4201929B2 (ja) * 1998-09-17 2008-12-24 セイコーインスツル株式会社 情報記録媒体、情報再生装置および情報記録再生装置
JP4157204B2 (ja) * 1998-10-19 2008-10-01 セイコーインスツル株式会社 情報再生装置、情報記録装置、情報再生方法および情報記録方法
DE69929456T2 (de) * 1998-11-09 2006-07-20 Seiko Instruments Inc. Nahfeldabtastkopf und herstellungsverfahren
JP4313517B2 (ja) * 2000-01-26 2009-08-12 セイコーインスツル株式会社 記録媒体、近視野光ヘッド、光記録装置、及びそれらの製造方法
US6804189B2 (en) * 2000-04-07 2004-10-12 Tosoh Corporation Near field optical recording medium
KR100448323B1 (ko) * 2000-11-21 2004-09-10 마츠시타 덴끼 산교 가부시키가이샤 광학정보 기록재생장치
US7295506B2 (en) * 2004-08-09 2007-11-13 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Elliptical-shaped nano-scale tip
WO2006116673A1 (en) * 2005-04-28 2006-11-02 The Board Of Trustees Of The University Of Illinois Mutliplex near-field microscopy with diffractive elements

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2356861A1 (fr) * 1976-06-29 1978-01-27 Ferodo Sa Perfectionnements aux distributeurs rotatifs, notamment a ceux du type " galette "
US5159586A (en) * 1985-05-24 1992-10-27 Omron Tateisi Electronics Co. Device for processing optical data
US4860276A (en) * 1986-09-18 1989-08-22 Nippon Telegraph And Telephone Corporation Micro optical head with an optically switched laser diode
EP0444850A3 (en) * 1990-02-26 1992-08-26 Kabushiki Kaisha Toshiba Optical floppy disk system
JP2744339B2 (ja) * 1990-08-03 1998-04-28 キヤノン株式会社 情報処理装置及び情報処理方法
JPH0534129A (ja) * 1991-07-31 1993-02-09 Satoshi Kawada 光学プローブ
JPH05234117A (ja) * 1991-12-24 1993-09-10 Internatl Business Mach Corp <Ibm> 光ヘッド装置及び光ディスク記憶システム
US5199090A (en) * 1992-03-06 1993-03-30 Hewlett-Packard Company Flying magnetooptical read/write head employing an optical integrated circuit waveguide
JP3135389B2 (ja) * 1992-10-23 2001-02-13 松下電器産業株式会社 情報再生方法、情報記録再生方法、情報再生装置、記録媒体及び光ヘッド

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH116838A (ja) * 1997-04-23 1999-01-12 Seiko Instr Inc 光プローブおよび光プローブ製造方法および走査型プローブ顕微鏡
US6665239B1 (en) 1998-12-10 2003-12-16 Ricoh Company, Ltd. Optical information recording and reproducing apparatus
US6834027B1 (en) 2000-02-28 2004-12-21 Nec Laboratories America, Inc. Surface plasmon-enhanced read/write heads for optical data storage media
JP2002162333A (ja) * 2000-11-28 2002-06-07 Jasco Corp 近接場プローブ及びその製造方法、並びに、該近接場プロープを用いた近接場顕微鏡
JP4703841B2 (ja) * 2000-11-28 2011-06-15 日本分光株式会社 近接場プローブ及びその製造方法、並びに、該近接場プロープを用いた近接場顕微鏡
JP2009540312A (ja) * 2006-06-12 2009-11-19 コミツサリア タ レネルジー アトミーク 近接場透過で作動する光学部品

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Publication number Publication date
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DE69518584D1 (de) 2000-10-05
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EP0688014A1 (en) 1995-12-20
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US5734632A (en) 1998-03-31
KR100339938B1 (ko) 2002-10-31
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DE69518584T2 (de) 2001-04-05

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