JPH087043B2 - Laser displacement gauge jig - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明はレーザ光を用いて被測定体の基準位置からの
変位を測定するレーザ変位計の直線性を簡易に確認する
ためのレーザ変位計用治具に関する。The present invention relates to a laser displacement meter for easily confirming the linearity of a laser displacement meter that measures the displacement of a measured object from a reference position using laser light. For jigs.

［従来の技術］ 被測定体の変位を正確に測定する測定装置の一つとし
てレーザ光線を用いたレーザ変位計が実用化されてい
る。このようなレーザ光線を利用したレーザ変位計の測
定原理を第８図に示す。すなわち、レーザ変位計１にお
いては、ケース３内の一方側にレーザ光源４が配設され
ており、このレーザ光線４から放出されたレーザ光５は
投光レンズ６を介して被測定体７に照射される。被測定
体７で反射されたレーザ光５は結像レンズ８を介してポ
ジションセンサからなる受光器９へ結像される。この場
合、位置Ｐに被測定体７が存在すれば、受光器９の中央
位置にレーザ光５が照射される。そして、被測定体７が
焦点位置Ｐから距離D₁だけ移動すると、受光器９の結像
位置がd₁だけ移動する。逆に、被測定体７が焦点位置Ｐ
から距離D₂だけ移動すると、受光器９の結像位置がd₂だ
け移動する。よって、受光器９上におけるレーザ光５の
結像位置と、被測定体の位置は１対１に対応しているこ
とから、受光器９上におけるレーザ光５の結像位置を被
測定体の位置に変換する装置を備えることにより変位信
号を出力する。[Prior Art] A laser displacement meter using a laser beam has been put into practical use as one of measuring devices for accurately measuring the displacement of a measured object. The measurement principle of a laser displacement meter using such a laser beam is shown in FIG. That is, in the laser displacement meter 1, the laser light source 4 is disposed on one side of the case 3, and the laser light 5 emitted from this laser beam 4 is transmitted to the measured object 7 via the light projecting lens 6. Is irradiated. The laser light 5 reflected by the object 7 to be measured is imaged through the imaging lens 8 onto the light receiver 9 including a position sensor. In this case, if the measured object 7 exists at the position P, the laser beam 5 is irradiated to the central position of the light receiver 9. Then, when the measured body 7 moves from the focus position P by the distance D ₁ , the image forming position of the light receiver 9 moves by d ₁ . On the contrary, the measured object 7 has the focus position P.
When moved by a distance D ₂ from, the image forming position of the light receiver 9 moves by d ₂ . Therefore, since the image formation position of the laser beam 5 on the light receiver 9 and the position of the measured object have a one-to-one correspondence, the image formation position of the laser light 5 on the light receiver 9 is changed to that of the measured object. A displacement signal is output by providing a device for converting to a position.

受光器９上におけるレーザ光５の結像位置や移動距離
d₁,d₂が検出されると、変位D₁,D₂が算出できる。結像位
置ｄに各光学部材の位置関等で定まる所定の変換係数を
乗算して変位信号として出力する。Image formation position and movement distance of the laser beam 5 on the light receiver 9
When d ₁ and d ₂ are detected, the displacements D ₁ and D ₂ can be calculated. The imaging position d is multiplied by a predetermined conversion coefficient determined by the positional relationship of each optical member and the like, and is output as a displacement signal.

このような構成のレーザ変位計１を用いて被測定体７
の変位D₁（D₂）を正確に測定するためには、実際の変位
D₁（D₂）と出力される変位信号の信号レベルが正確に一
致しておく必要がある。その信号レベルと実際の変位と
が常時正確に対応しているかどうかを確認するために
は、厚みが正確に測定されているゲージをレーザ変位計
で測定し、ゲージの寸法とレーザ変位計の変位信号の差
を比較する方法がある。Using the laser displacement meter 1 having such a configuration, the object to be measured 7
To accurately measure the displacement D ₁ (D ₂ ) of the
The signal level of the output displacement signal and D ₁ (D ₂ ) must match exactly. To confirm whether the signal level and the actual displacement always correspond accurately, measure the gauge whose thickness is accurately measured with a laser displacement meter, and measure the gauge size and the displacement of the laser displacement meter. There is a way to compare the signal differences.

具体的には、第９図に示すような測定治具が用いられ
る。すなわち、アーム10の先端に下向きに精度測定すべ
きレーザ変位計１を取付け、テーブル11上に上面が平ら
な測定台12を取付け、その測定台12上にゲージ13を載置
する。そして、アーム10の高さを調整してレーザ変位計
でゲージ13の上面を測定する。この状態でレーザ変位計
から出力される変位信号を記録する。次に、厚みが異な
る他のゲージ13を測定台12上に載置する。そしてレーザ
変位計から出力される変位信号を読取り、変位信号相互
間の差が校正用ゲーシ13の厚みの差にどのくらいの精度
で近似しているか調べる。Specifically, a measuring jig as shown in FIG. 9 is used. That is, the laser displacement meter 1 to be accurately measured downward is attached to the tip of the arm 10, the measurement table 12 having a flat upper surface is attached to the table 11, and the gauge 13 is placed on the measurement table 12. Then, the height of the arm 10 is adjusted and the upper surface of the gauge 13 is measured by the laser displacement meter. In this state, the displacement signal output from the laser displacement meter is recorded. Next, another gauge 13 having a different thickness is placed on the measuring table 12. Then, the displacement signal output from the laser displacement meter is read, and it is checked how accurately the difference between the displacement signals approximates the difference in the thickness of the calibration gate 13.

［発明が解決しようとする課題］ しかしながら、第９図に示すような測定治具を用いて
レーザ変位計１の直線性を確認する場合、次のような問
題がある。すなわち、レーザ変位計１の測定精度は最大
で0.01μｍにも達するので、テーブル11と測定台12との
間又は、測定台12とゲージ13との間にごみやほこりが付
着して、校正用ケージ13の位置が正確に定まらない問題
がある。特にゲージ13を頻繁に交換する必要があるの
で、常時正しい状態で装着されるとは限らない。なお、
テーブル11に直接載置したとしても上記問題は解消しな
い。また、テーブル11や測定台12の表面粗さも問題にな
る。[Problems to be Solved by the Invention] However, when checking the linearity of the laser displacement meter 1 using a measuring jig as shown in FIG. 9, there are the following problems. That is, since the measurement accuracy of the laser displacement meter 1 reaches 0.01 μm at the maximum, dust or dirt is attached between the table 11 and the measuring table 12 or between the measuring table 12 and the gauge 13, and the calibration is performed. There is a problem that the position of the cage 13 is not accurately determined. In particular, since the gauge 13 needs to be frequently replaced, it is not always installed in the correct state. In addition,
Even if it is placed directly on the table 11, the above problem cannot be solved. Further, the surface roughness of the table 11 and the measuring table 12 also becomes a problem.

また、レーザ変位計から放出されるレーザ光の方向が
レーザ変位計の取付基準面に対して平行でない場合は、
レーザ変位計の取付基準面とゲージ上面の垂直度が悪い
ゲージの傾きに起因した測定誤差を含む。If the direction of the laser beam emitted from the laser displacement meter is not parallel to the mounting reference plane of the laser displacement meter,
The verticality between the mounting reference plane of the laser displacement meter and the top surface of the gauge is poor. Includes measurement error caused by the inclination of the gauge.

このような問題を回避するために、レーザ変位計から
出力されるレーザ光を移動台に搭載された標準試料に照
射して、その移動台の移動距離を光干渉計等を用いて正
確に測定する装置もか考えられるが、非常に大掛かりな
装置となり、かつ製造費が大幅に上昇する。In order to avoid such problems, the laser beam output from the laser displacement meter is irradiated on the standard sample mounted on the moving table, and the moving distance of the moving table is accurately measured using an optical interferometer. Although it may be possible to use a device that requires a large amount of equipment, it will be a very large-scale device and the manufacturing cost will increase significantly.

本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであ
り、各ゲージをゲージ台のゲージ取付基準面に対して磁
石の吸引力を利用しかつ複数の鋼球を介して取付けるこ
とにより、常時正しい状態で装着でき、かつ簡単に取り
外しができ、その結果、測定精度を大幅に向上でき、取
扱いが簡単で、少ない製造費で構成できるレーザ変位計
用治具を提供することを目的とする。The present invention has been made in view of such circumstances, and is always correct by utilizing each magnet with respect to the gauge mounting reference surface of the gauge base by using the attractive force of the magnet and by mounting it through a plurality of steel balls. An object of the present invention is to provide a jig for a laser displacement meter which can be mounted in a state and can be easily removed, resulting in a significant improvement in measurement accuracy, easy handling, and a low manufacturing cost.

［課題を解決するための手段］ 上記課題を解消するために本発明のレーザ変位計用治
具は、レーザ変位計を取付けるための取付基準面を有し
た取付台と、この取付台に取付けられたレーザ変位計に
対向する面がゲージ取付基準面に形成されたゲージ台
と、このゲージ台のゲージ取付基準面に埋設された磁石
と、ゲージ取付基準面に配設された３個の鋼球と、磁性
材料で形成され磁石の吸引力によって鋼球を介してゲー
ジ取付基準面に対して平行に支持される厚みが異なる複
数種類のゲージと、取付台とゲージ台との間の相互間距
離を可変設定する相互間距離可変機構とを備えたもので
ある。[Means for Solving the Problems] In order to solve the above problems, a jig for a laser displacement meter of the present invention is mounted on a mounting base having a mounting reference surface for mounting the laser displacement meter, and the mounting base. And a magnet embedded in the gauge mounting reference surface of the gauge base, and three steel balls arranged on the gauge mounting reference surface. And the mutual distance between the mounting base and the gauge base, and multiple types of gauges with different thicknesses that are made of magnetic material and are supported in parallel with the gauge mounting reference plane through the steel balls by the attraction force of the magnet. And a mutual distance varying mechanism for variably setting the.

［作用］ このように構成されたレーザ変位計用治具であれば、
取付台の取付基準面に取付けられたレーザ変位計とゲー
ジ台のゲージ取付基準面に鋼球を介して取付けられたゲ
ージとは対向するのでレーザ変位計にてゲージ位置が検
出され、その状態で厚みの異なるゲージに取替えれば、
該当厚みに応じたゲージ位置が検出される。よって、検
出位置の差からゲージ間の厚み差が測定される。なお、
相互間距離可変機構にて取付台とゲージ台との間の距離
をレーザ変位計の測定範囲内に設定しておく。[Operation] With the laser displacement meter jig configured as described above,
Since the laser displacement meter mounted on the mounting reference surface of the mounting base and the gauge mounted on the gauge mounting reference surface of the gauge base via steel balls face each other, the laser displacement meter detects the gauge position and If you replace the gauge with a different thickness,
The gauge position according to the corresponding thickness is detected. Therefore, the difference in thickness between gauges is measured from the difference in detection position. In addition,
The distance between the mounting base and the gauge base is set within the measurement range of the laser displacement meter by the mutual distance variable mechanism.

また、ゲージは、磁石の吸引力が作用するので、ゲー
ジ取付基準面に配設された鋼球に圧接される。したがっ
て、ほこりやごみによるゲージの浮上がりが防止され
る。また、鋼球で支持することによって、ゲージ取付基
準面の表面粗さに起因する測定誤差が抑制され、かつゲ
ージの取付，取り外しが容易になる。Further, since the attractive force of the magnet acts on the gauge, the gauge is pressed against the steel ball arranged on the gauge attachment reference surface. Therefore, the gauge is prevented from rising due to dust or dirt. Further, by supporting with a steel ball, a measurement error due to the surface roughness of the gauge mounting reference surface is suppressed, and the gauge is easily mounted and removed.

また、レーザ変位計の取付基準面とゲージ上面の垂直
度が規定できるため、ゲージの傾きに起用した測定誤差
を抑制できる。Further, since the perpendicularity between the mounting reference plane of the laser displacement meter and the upper surface of the gauge can be defined, it is possible to suppress the measurement error caused by the inclination of the gauge.

［実施例］ 以下本発明の一実施例を図面を用いて説明する。[Embodiment] An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings.

第１図，第２図，第３図はそれぞれ実施例のレーザ変
位計用治具を示す平面図、上面図，側面図である。ま
た、第４図は第１図のＡ−Ａ線で切断した場合の断面図
である。1, 2, and 3 are a plan view, a top view, and a side view, respectively, showing a jig for a laser displacement meter of an embodiment. FIG. 4 is a sectional view taken along the line AA of FIG.

長尺のベース21の一方側に取付台22が形成されてい
る。この取付台22上面の一方端に突起部22aが形成さ
れ、その突起部22aの内面がレーザ変位計23を取付ける
場合の取付基準面22bになっている。そして、この取付
台22の上面にレーザ変位計23をケースの一側面に形成さ
れた取付基準面23aが取付台22の取付基準面22bに当接す
るように取付ける。A mounting base 22 is formed on one side of the long base 21. A protrusion 22a is formed at one end of the upper surface of the mounting base 22, and the inner surface of the protrusion 22a serves as a mounting reference surface 22b when the laser displacement meter 23 is mounted. Then, the laser displacement meter 23 is mounted on the upper surface of the mounting base 22 so that the mounting reference surface 23a formed on one side surface of the case contacts the mounting reference surface 22b of the mounting base 22.

ベース21上面には取付台22へ向かう方向に一対のレー
ル24a,24bが敷設されており、このレール24a,24b上にゲ
ージ台25および位置調整台26が移動自在に搭載されてい
る。ゲージ台25と位置調整台26とは一対のばね27a,27b
で接続されており、両者は互いに接近する方向にばね27
a,27bで付勢されている。また、位置調整台26には位置
調整ねじ28が螺合されており、位置調整ねじ28の先端が
ゲージ台25に形成された凹部の底に当接している。よっ
て、位置調整ねじ28のノブ28aを回転すれば、ケージ台2
5と位置調整台26との間の距離が任意に調整できる。な
お、ロックねじ26aを回せば、位置調整台26がレール24
a,24bに固定される。よって、ロックねじ26aで位置調整
台26を固定した状態で前記ノブ28aを回転させれば、ゲ
ージ台25の位置が微調整される。よって、レール24a,24
bおよび位置調整台26は取付台22とゲージ台25との間の
相互間距離を可変設定する相互間距離可変機構を構成す
る。A pair of rails 24a, 24b are laid on the upper surface of the base 21 in a direction toward the mounting base 22, and a gauge base 25 and a position adjusting base 26 are movably mounted on the rails 24a, 24b. The gauge base 25 and the position adjustment base 26 are a pair of springs 27a, 27b.
Are connected with each other, and the spring 27
Energized with a, 27b. A position adjusting screw 28 is screwed into the position adjusting base 26, and the tip of the position adjusting screw 28 is in contact with the bottom of the recess formed in the gauge base 25. Therefore, by rotating the knob 28a of the position adjusting screw 28, the cage base 2
The distance between the 5 and the position adjustment table 26 can be adjusted arbitrarily. If you turn the lock screw 26a, the position adjustment base 26 will
It is fixed to a and 24b. Therefore, if the knob 28a is rotated with the position adjusting base 26 fixed by the lock screw 26a, the position of the gauge base 25 is finely adjusted. Therefore, rails 24a, 24
The b and the position adjusting base 26 constitute a mutual distance varying mechanism that variably sets the mutual distance between the mounting base 22 and the gauge base 25.

ゲージ台25の上面にはロックレバー29が取付けられて
おり、このロックレバー29を回転すると、ゲージ台25を
下方へ貫通したレバー29の軸29aが回転し、軸29aの下端
に取付けられたロックナット29bが、レール24a,24bの内
面に圧接する。よって、ゲージ台25はレール24a,24bに
固定される。A lock lever 29 is attached to the upper surface of the gauge base 25. When the lock lever 29 is rotated, the shaft 29a of the lever 29 penetrating the gauge base 25 downward rotates, and the lock attached to the lower end of the shaft 29a. The nut 29b is pressed against the inner surfaces of the rails 24a, 24b. Therefore, the gauge base 25 is fixed to the rails 24a and 24b.

ゲージ台25のレーザ変位計23に対向する面に第５図
（ｃ）に示すようにゲージ取付基準面30が形成されてい
る。そして、このゲージ取付基準面30のほぼ中央位置に
磁石31が埋設されている。そして、埋設位置の周囲に３
個の鋼球32a,32b,32cが押さえ板33にてその位置が移動
しないように保持されている。そして、各鋼球32a,32b,
32cの先端が押さえ板33より前方に露出している。As shown in FIG. 5C, a gauge mounting reference surface 30 is formed on the surface of the gauge base 25 facing the laser displacement meter 23. A magnet 31 is embedded at a substantially central position of the gauge mounting reference surface 30. And 3 around the buried position
The individual steel balls 32a, 32b, 32c are held by the pressing plate 33 so that their positions do not move. And each steel ball 32a, 32b,
The tip of 32c is exposed to the front of the pressing plate 33.

そして、その各鋼球32a,32b,32cの先端に磁性材料で
形成された既知厚みｔを有するゲージ34が磁石31の吸引
力によって３点支持に圧接されている。Then, a gauge 34 having a known thickness t formed of a magnetic material is press-contacted to the three-point support by the attraction force of the magnet 31 at the tip of each of the steel balls 32a, 32b, 32c.

次に、このように構成されたレーザ変位計用治具の取
扱法を説明する。Next, a method of handling the laser displacement gauge jig thus configured will be described.

まず、直線性を確認すべきレーザ変位計23を前述した
ように、ケース側面の取付基準面23aを取付台22の取付
基準面22bに当接させた状態で、レーザ変位計23をねじ3
5a,35b,35cで取付台22に固定する。したがって、レーザ
変位計23の中心軸とゲージ台25のゲージ取付基準面30と
が正確に直交する。そして、接続端子23bに電源線もよ
び信号線を含む接続ケーブルを接続し、電源を投入して
レーザ光36を出力させる。First, as described above, the laser displacement meter 23 whose linearity is to be checked is set in such a manner that the mounting reference surface 23a on the side surface of the case is brought into contact with the mounting reference surface 22b of the mounting base 22, and the laser displacement meter 23 is screwed with the screw 3
Fix to the mounting base 22 with 5a, 35b, 35c. Therefore, the central axis of the laser displacement meter 23 and the gauge mounting reference surface 30 of the gauge base 25 are exactly orthogonal to each other. Then, a connection cable including a power supply line and a signal line is connected to the connection terminal 23b, and the power is turned on to output the laser light 36.

レーザ変位計23の取付が終了すると、次に、前述した
手法で厚みｔが異なる複数のゲージのうちの１枚のゲー
ジ34をゲージ台25のゲージ取付基準面30に装着する。そ
して、ゲージ台25のロックレバー29および位置調整台26
のロックねじ26aを操作して、ゲージ台25および位置調
整台26を移動可能にする。レール24a,24bに沿ってゲー
ジ台25および位置調整台26を移動して、ゲージ34のレー
ザ変位計側の表面位置をレーザ変位計23の測定範囲に入
れる。次に位置調整台26のロックねじ26aを回転させて
位置調整台26をレール24a,24bに固定する。そして、ノ
ブ28aを回転して、ゲージ台26とレーザ変位計23との間
の相互間距離を微調整する。なお、この微調整作業はレ
ーザ変位計23の分解能が非常に高い場合は、所望の位置
にゲージ台25を固定するために必要である。微調整操作
が終了するとロックレバー29を回して、ゲージ台25をレ
ール24a,24bに固定する。When the mounting of the laser displacement meter 23 is completed, next, one of the plurality of gauges having different thicknesses t is mounted on the gauge mounting reference surface 30 of the gauge base 25 by the method described above. Then, the lock lever 29 of the gauge base 25 and the position adjustment base 26
The lock screw 26a of is operated to make the gauge base 25 and the position adjustment base 26 movable. The gauge base 25 and the position adjustment base 26 are moved along the rails 24a and 24b to bring the surface position of the gauge 34 on the laser displacement meter side into the measurement range of the laser displacement meter 23. Next, the lock screw 26a of the position adjusting base 26 is rotated to fix the position adjusting base 26 to the rails 24a and 24b. Then, the knob 28a is rotated to finely adjust the mutual distance between the gauge base 26 and the laser displacement meter 23. This fine adjustment work is necessary to fix the gauge base 25 at a desired position when the resolution of the laser displacement meter 23 is very high. When the fine adjustment operation is completed, the lock lever 29 is turned to fix the gauge base 25 to the rails 24a and 24b.

この状態ではレーザ変位計23から出力されたレーザ光
36はゲージ34に対して照射され、ゲージ34の表面で反射
されてレーザ変位計23内へ入射される。よって、レーザ
変位計23から変位信号が出力される。そして、この変位
を記録する。In this state, the laser light output from the laser displacement meter 23
36 is irradiated to the gauge 34, reflected by the surface of the gauge 34, and made incident into the laser displacement meter 23. Therefore, the displacement signal is output from the laser displacement meter 23. Then, this displacement is recorded.

次に、ゲージ台25をレール24a,24bに固定したまま
で、ゲージ34を取り外して、厚みｔが異なる他のゲージ
34をゲージ台25のゲージ取付基準面30に３個の鋼球を介
して同様の手法にて装着する。そして、レーザ変位計23
から出力される変位信号を検出する。Next, with the gauge base 25 fixed to the rails 24a and 24b, the gauge 34 is removed and another gauge having a different thickness t is used.
34 is mounted on the gauge mounting reference surface 30 of the gauge base 25 through three steel balls in the same manner. And laser displacement meter 23
The displacement signal output from is detected.

各ゲージの厚みｔは既知であるので、それぞれの測定
で得られた変位の差とゲージの厚みの差とを比較対照す
ることによって、このレーザ変位計23の測定精度が得ら
れる。Since the thickness t of each gauge is known, the measurement accuracy of the laser displacement meter 23 can be obtained by comparing and comparing the difference in displacement obtained by each measurement with the difference in gauge thickness.

第６図および第７図は、測定範囲が数cmに達する異な
る型のレーザ変位計41の直線性を確認する場合の平面図
および正面図である。レーザ変位計41の取付基準面41a
はスペーサ42の取付基準面42aを介して取付台22の取付
基準面22bに当接している。そして、図示するようにこ
のレーザ変位計41においては、レーザ光36が被測定体に
対して垂直に照射されるので、照射されたレーザ光36の
反射方向を散乱させるための散乱アダプタ43を取付けた
資料台44がゲージ34aの前面に取り付けられている。よ
って、レーザ変位計41には散乱アダプタ43の散乱面で角
度θ_１で反射された反射光が入射する。6 and 7 are a plan view and a front view for confirming the linearity of different types of laser displacement gauges 41 whose measurement range reaches several cm. Reference mounting surface 41a of laser displacement meter 41
Is in contact with the mounting reference surface 22b of the mounting base 22 via the mounting reference surface 42a of the spacer 42. Then, as shown in the figure, in the laser displacement meter 41, since the laser light 36 is irradiated perpendicularly to the object to be measured, a scattering adapter 43 for scattering the reflection direction of the irradiated laser light 36 is attached. A data base 44 is attached to the front of the gauge 34a. Therefore, the laser displacement meter 41 receives the reflected light reflected by the scattering surface of the scattering adapter 43 at the angle θ ₁ .

資料台44のゲージ34a側にゲージ取付基準面が形成さ
れており、そのゲージ取付基準面に磁石31aが埋設され
ており、さらに２個の鋼球が押さえ板にて支持されてい
る。なお、２個の鋼球の頂点を結ぶ線がゲージ取付基準
面と平行になる。ゲージ34aの前面が磁石31aの吸引力に
よって鋼球の先端に圧接されている。ゲージ34aの後面
は磁石31の吸引力によってゲージ台25のゲージ取付基準
面30側の鋼球32a,32cに圧接されている。A gauge mounting reference surface is formed on the gauge 34a side of the data base 44, a magnet 31a is embedded in the gauge mounting reference surface, and two steel balls are further supported by a pressing plate. The line connecting the vertices of the two steel balls is parallel to the gauge mounting reference plane. The front surface of the gauge 34a is pressed against the tip of the steel ball by the attractive force of the magnet 31a. The rear surface of the gauge 34a is pressed against the steel balls 32a, 32c on the gauge mounting reference surface 30 side of the gauge base 25 by the attractive force of the magnet 31.

ゲージ34aは厚みｔが数cmに達するので、各磁石31,31
aの磁気吸引力のみではその重量を支持できないので、
第５図（ｂ）に示すように、下側の２個の鋼球32a,32c
とレール24a,24bとで、ゲージ34aのゲージ台25側および
散乱アダプタ43側の各ゲージ取付基準面に対する平行度
を維持している。Since the thickness t of the gauge 34a reaches several cm, each magnet 31,31
Since the weight cannot be supported only by the magnetic attraction force of a,
As shown in FIG. 5 (b), the lower two steel balls 32a, 32c
The rails 24a and 24b maintain the parallelism of the gauge 34a to the gauge mounting reference planes on the gauge base 25 side and the scattering adapter 43 side.

そして、一つの厚みｔの校正用ゲーシ34aに対する測
定が終了すると、他の厚みｔのゲージ34aをゲージ台25
と資料台44との間に装着して測定する。Then, when the measurement for the calibration gauge 34a with one thickness t is completed, the gauge 34a with another thickness t is attached to the gauge base 25.
It is installed between the table and the data base 44 for measurement.

よって、前述のレーザ変位計23と同様の手法にて測定
精度および直線性が確認できる。Therefore, the measurement accuracy and linearity can be confirmed by the same method as the laser displacement meter 23 described above.

このように構成されたレーザ変位計用治具であれば、
ゲージ34,34aは、ゲージ台25に埋設された磁石31の吸引
力が作用するので、押さえ板33にて支持された３個また
は２個の鋼球32a〜32cの先端に圧接される。したがっ
て、ほこりやごみに起因するゲージ34,34aのレーザ変位
計方向への浮上がりが防止される。If it is a jig for a laser displacement meter configured in this way,
Since the attraction force of the magnet 31 embedded in the gauge base 25 acts on the gauges 34 and 34a, they are pressed against the tips of the three or two steel balls 32a to 32c supported by the pressing plate 33. Therefore, lifting of the gauges 34, 34a in the direction of the laser displacement meter due to dust and dirt is prevented.

また、厚みｔが比較的薄いゲージ34は３個の鋼球32a
〜32cでもってゲージ取付基準面30に対して３点支持さ
れている。一方、厚みｔが比較的厚いゲージ34aは２個
の鋼球32a,32cおよび下側のレール24a,24bで支持され
る。よって、振動等によって、ゲージ34,34aのゲージ取
付基準面30に対する姿勢が変化することはない。In addition, the gauge 34 having a relatively small thickness t has three steel balls 32a.
It is supported at 3 points with respect to the gauge mounting reference surface 30 by ~ 32c. On the other hand, the gauge 34a having a relatively large thickness t is supported by the two steel balls 32a, 32c and the lower rails 24a, 24b. Therefore, the posture of the gauges 34, 34a with respect to the gauge mounting reference surface 30 does not change due to vibration or the like.

さらに、ゲージ34,34aのゲージ台25に対しする取付，
取り外し作業が容易に行うことができ、測定作業能率を
大幅に向上できる。Furthermore, mounting the gauges 34, 34a to the gauge base 25,
The removal work can be done easily, and the measurement work efficiency can be greatly improved.

また、磁石31,31aや鋼球32a〜32cは安価に製造できる
ので、光干渉計を用いて標準試料が取付られた移動台の
移動距離を測定する場合に比較して、製造費を大幅に低
減できる。Further, since the magnets 31 and 31a and the steel balls 32a to 32c can be manufactured at low cost, the manufacturing cost can be drastically increased as compared with the case where the moving distance of the moving table on which the standard sample is attached is measured using an optical interferometer. It can be reduced.

なお、本発明は上述した実施例に限定されるものでは
ない。実施例においては、レーザ変位計23,41の取付台2
2をベース21に固定したが、ケージ台25をベース21に固
定して、レーザ変位計23,41の取付台22をレール24a,24b
に移動自在に搭載してもよい。The present invention is not limited to the above embodiment. In the embodiment, the mounting base 2 for the laser displacement gauges 23 and 41 is used.
2 was fixed to the base 21, but the cage base 25 was fixed to the base 21, and the mounting base 22 of the laser displacement gauge 23, 41 was mounted on the rails 24a, 24b.
It may be movably mounted on.

［発明の効果］ 以上説明したように本発明のレーザ変位計用治具によ
れば、各ゲージをゲージ台のゲージ取付基準面に対し
て、磁石の吸引力を利用して、かつ複数の鋼球を介して
取付けている。したがって、測定用ゲージをゲージ取付
基準面に対して常時正しい状態で、かつゲージ取付基準
面の表面粗さにも影響されずに装着できる。さらに、ゲ
ージとゲージ取付基準面との間に隙間が存在するので、
ゲージを簡単に取付，取り外しができる。その結果、測
定精度を大幅に向上でき、取扱いが簡単で、かつ少ない
製造費で製造できる。[Advantages of the Invention] As described above, according to the laser displacement gauge jig of the present invention, each of the gauges is attached to the gauge mounting reference surface of the gauge base by utilizing the attractive force of the magnet and a plurality of steels. It is attached via a ball. Therefore, it is possible to mount the measuring gauge in a correct state with respect to the gauge mounting reference surface at all times and without being affected by the surface roughness of the gauge mounting reference surface. Furthermore, since there is a gap between the gauge and the gauge mounting reference surface,
The gauge can be easily attached and detached. As a result, the measurement accuracy can be greatly improved, the handling is simple, and the manufacturing cost can be reduced.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

第１図乃至第７図は本発明の一実施例に係わるレーザ変
位計用治具を示すものであり、第１図および第６図は上
面図、第２図および第７図は正面図、第３図は側面図、
第４図は第１図のＡ−Ａ線における断面図、第５図は各
ゲージの取付状態を説明するための模式図であり、第８
図は一般的なレーザ変位計の測定原理を示す模式図、第
９図は従来のレーザ変位計の精度測定治具を示す斜視図
である。 21……ベース、22……取付台、22b,23a,41a……取付基
準面、23,41……レーザ変位計、24a,24b……レール、25
……ゲージ台、26……位置調整台、30……ゲージ取付基
準面、32a,32b,32c……鋼球、34,34a……ゲージ、36…
…レーザ光、43……散乱用アダプタ、44……資料台。1 to 7 show a jig for a laser displacement meter according to an embodiment of the present invention. FIGS. 1 and 6 are top views, FIGS. 2 and 7 are front views, and FIG. FIG. 3 is a side view,
FIG. 4 is a cross-sectional view taken along the line AA in FIG. 1, and FIG. 5 is a schematic view for explaining a mounting state of each gauge, and FIG.
FIG. 9 is a schematic view showing the measurement principle of a general laser displacement meter, and FIG. 9 is a perspective view showing a precision measuring jig of a conventional laser displacement meter. 21 …… Base, 22 …… Mounting base, 22b, 23a, 41a …… Mounting reference plane, 23,41 …… Laser displacement gauge, 24a, 24b …… Rail, 25
…… Gauge base, 26 …… Position adjustment base, 30 …… Gauge mounting reference surface, 32a, 32b, 32c …… Steel ball, 34,34a …… Gauge, 36…
… Laser light, 43… Scattering adapter, 44… Data base.

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項１】レーザ変位計（23,41）を取付けるための
取付基準面（22b,42a）を有した取付台（22）と、この
取付台に取付けられたレーザ変位計に対向する面がゲー
ジ取付基準面（30）に形成されたゲージ台（25）と、こ
のゲージ台のゲージ取付基準面に埋設された磁石（31）
と、前記ゲージ取付基準面に配設された３個の鋼球（32
a,32b,32c）と、磁性材料で形成され前記磁石の吸引力
によって前記鋼球を介して前記ゲージ取付基準面に対し
て平行に支持される厚みが異なる複数種類のゲージ（3
4,34a）と、前記取付台と前記ゲージ台との間の相互間
距離を可変設定する相互間距離可変機構（24a,24b,26）
とを備えたレーザ変位計用治具。1. A mounting base (22) having a mounting reference surface (22b, 42a) for mounting a laser displacement meter (23, 41), and a surface facing the laser displacement meter mounted on this mounting base. A gauge base (25) formed on the gauge mounting reference surface (30) and a magnet (31) embedded in the gauge mounting reference surface of this gauge base.
And three steel balls (32
a, 32b, 32c) and a plurality of types of gauges (3) having different thicknesses, which are made of a magnetic material and are supported in parallel with the gauge attachment reference plane through the steel balls by the attraction force of the magnets.
4,34a) and a mutual distance varying mechanism (24a, 24b, 26) for variably setting the mutual distance between the mounting base and the gauge base.
A jig for a laser displacement meter equipped with.