JPH087023B2 - 水性溶媒含有試料の真空乾燥方法とその乾燥方法を実施するための真空ポンプ装置 - Google Patents
水性溶媒含有試料の真空乾燥方法とその乾燥方法を実施するための真空ポンプ装置Info
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- JPH087023B2 JPH087023B2 JP3101880A JP10188091A JPH087023B2 JP H087023 B2 JPH087023 B2 JP H087023B2 JP 3101880 A JP3101880 A JP 3101880A JP 10188091 A JP10188091 A JP 10188091A JP H087023 B2 JPH087023 B2 JP H087023B2
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Description
真空乾燥を実施する際、乾燥空間を真空にするための真
空乾燥方法とその乾燥方法を実施するための真空ポンプ
装置に関するものである。なお、この発明の構成要件で
あるプリトラップチャンバ(pre-trap-chamber)は、その
チャンバ内で水性溶媒含有気体生成物から水性溶媒のみ
を予め引き抜き分離してしまうことを意味する。
空乾燥試料組成物(溶媒−solvent vehicle)を必要と
する。一般に使用される溶媒は、水、酸、有機液体等で
ある。また、混合物はよくゲル状になっている。乾燥が
行われる空間の真空化は、通常、単独式もしくは複数段
階式の膜ポンプ等によって実行される。これに伴って、
空間内を大気圧よりも十分低く減圧することと、乾燥空
間と試料を加熱することは、既存の溶媒を試料から液体
状態のまま逃がすか、蒸発させる。これら2つの状態の
溶媒は、真空チャンバ内の気体とともに真空チャンバか
ら外に逃げていく。これらの溶媒の蒸気のうち一部は、
膜ポンプ内の圧力を高めると容易に液化できる。この膜
ポンプは、乾燥空間から逃げた気体を、大気に放出する
か回復過程に利用することができるように凝縮しなけれ
ばならない。液体溶媒がポンプ内に侵入すると詰まっ
て、ポンプが損傷する可能性があり、ポンプを交換しな
ければならない状況に追い込まれる。
れていたが、ポンプ内における液体溶媒の侵入と蒸気の
液化の可能性を改善するためには、冷却トラップ(trap)
等を設けて、気体がポンプ装置に侵入する前に蒸気を液
化しようと試みるしかなかった。しかし、プリトラップ
(pre-trap)冷却は、非常に低い冷却温度を維持しなけれ
ばならないので、装置自体と運転する上で高価である。
また、ベルジャー(Bell jar)がプリトラップとして使用
されてきたが、ベルジャーは真空下で内破するという欠
点があり、付近の作業員をけがさせる危険がある。さら
に重要なのは、こういった従来のプリトラップは、捕ら
えられた溶媒を取り除くために定期的な清掃が必要なこ
とである。この清掃を実行するためには、真空装置の接
続をはずさなければならない。これは一定の期間が経つ
と設備の完全性に悪影響を生じる。しかしもっと直接的
な欠点として、乾燥過程の最中に清掃が必要になった場
合、設備の真空状態を回復させなければならず、全体の
真空期間を長引かせ、余計な電力を消費することにな
る。また従来のポンプのプリトラップ配置は、中でもホ
ースやポンプの入口、出口の内部に溶媒を液化し収集さ
せる。こうした液化した溶媒は設備の中に滞り、ただの
障害物となって乾燥作用を遅らせる。これは溶媒がホー
ス内に液化した場合には特に大きな問題になる。ホース
が絶縁材の働きをして、溶媒を気化するためのあらゆる
形の熱の侵入を妨げてしまうのである。
欠点を克服した新規な水性溶媒含有試料の真空乾燥方法
とその乾燥方法を実施するための真空ポンプ装置を提供
することにある。また、この発明は、真空乾燥過程にお
いて、ポンプ内に液体溶媒が侵入する前に液体を除去
し、以前よく見られた、ポンプを損傷する原因を事実上
除去した加熱プリトラップチャンバ付き真空ポンプ装置
を提供することにある。また、この発明は、すべての溶
媒を乾燥チャンバから引き出し、プリトラップをからに
する必要がなく、よって真空装置を中断させる必要がな
い加熱可能なプリトラップ付き真空ポンプ装置を提供す
ることにある。また、この発明は、液体溶媒によるポン
プ装置の損傷を防ぐように、膜ポンプによって乾燥空間
を排気する方法と、装置の運転を中断させることなく、
また溶媒をどこからも排出する必要なく、全ての溶媒を
真空ポンプ装置から外気に除去する真空乾燥方法を提供
することにある。さらに、この発明は、従来のポンプ/
プリトラップ構成では得られなかった、乾燥工程時間を
短縮することにある。
ポンプの入口の流れ込む側にヒータを備えたプリトラッ
プチャンバにおいて、乾燥チャンバ内の試料から出た気
体生成物や溶媒は、プリトラップチャンバ内で液体と容
易に液化可能な蒸気化した溶媒を除去する分離作用の対
象となる。ポンプの入口は、プリトラップチャンバの出
口から少し上側に位置していて、液体溶媒がプリトラッ
プチャンバからポンプ入口へ流れ込もうとしても、重力
によってプリトラップチャンバへ逆流するようになって
いる。プリトラップチャンバに集められた溶媒は、ヒー
タで加熱され蒸気化して、そのままポンプを通して外気
に排出されるので、プリトラップチャンバは自動的に清
掃される。
だ試料が真空乾燥される乾燥空間を真空化するため、入
口と出口を持つ膜ポンプからなる真空ポンプ装置を提供
する。また、次のような構成からなるプリトラップチャ
ンバ装置を具備する。前記プリトラップチャンバは入口
と出口を持ち、その入口は乾燥空間の出口と接続され、
出口はポンプの入口と接続される。プリトラップチャン
バはポンプの下側に、プリトラップチャンバ出口とポン
プ入口の間に一定の間隔を設けて位置される。前記ポン
プは、液体や蒸気化した溶媒を含んだ気体生成物を、大
気圧以下の前記乾燥空間からプリトラップチャンバへ導
く。プリトラップチャンバの出口はプリトラップチャン
バの入口から十分離れており、前記プリトラップチャン
バに気体生成物が流れ込んだ際、液体状の溶媒は重力に
よってプリトラップチャンバの底に集められ、気体生成
物から分離される。気体生成物と蒸気化した溶媒はプリ
トラップチャンバからその出口を通ってポンプへと送ら
れる。ポンプ内で圧力が高められた気体生成物は、ポン
プ出口の圧力は大気圧よりも高いので、ポンプから放出
される。また、プリトラップチャンバには、前記プリト
ラップ内に集められた溶媒を蒸発させるに十分な特定の
温度に保つためのヒータがあり、溶媒は蒸気の状態でプ
リトラップからポンプへ送られ、ポンプによって外に放
出される。
験試料を真空乾燥する方法を提供する。それは、シール
可能な乾燥チャンバ内に試料を配置して、乾燥チャンバ
の内部を、乾燥チャンバの少し下に配置されたプリトラ
ップチャンバの入口に接続して、乾燥チャンバからプリ
トラップチャンバへの流れが下向きになるようにするこ
とによる。膜ポンプの吸引側は、プリトラップチャンバ
の少し上に配置され、プリトラップチャンバの出口と接
続される。よって、プリトラップチャンバからポンプ吸
引部方向への流れが上向きになるので、ポンプを作動す
ることによって、液体と蒸気の溶媒は、試料から前記乾
燥チャンバからプリトラップチャンバへ送られた気体生
成物とともに取り除かれる。液体溶媒は、プリトラップ
チャンバ内で重力によって気体生成物から分離され、前
記プリトラップチャンバ内に溜められる。そして、溜め
られた液体溶媒は前記プリトラップチャンバ内で加熱さ
れ、気化されて、その状態でポンプを通ってポンプ外の
環境へ放出される。
て、電気泳動分析に付随して乾燥させるようなものが挙
げられる。試料は、水、化学溶媒、酸等のいろいろな溶
媒を含んでいてもよい。また、これらの溶媒はそれが、
液体または簡単に液化できる蒸気の状態で真空ポンプに
入る前に気体から分離されることが望ましい。そうでな
いと、液体がポンプ内に侵入するとポンプを故障させる
おそれがある。
密封可能な構造体で、その中に試料12を配設する。試
料は、液体状の溶媒を含む混合物からなり、溶媒を取り
除くために真空乾燥する必要がある。また試料はゲル状
の場合も多い。図1に示した乾燥チャンバ10は、Sava
nt Gel Dryer Model SGD-4050である。試料はゲル状で
あり、乾燥チャンバ10の上部に支持され、シリコン
ゴムマット11が上に置かれて乾燥チャンバ10をシー
ルする。図中には示されていないが、乾燥チャンバ10
下部にはヒータがある。このような乾燥には、対象にな
る混合物によって15分から数時間以上の時間がかか
る。真空乾燥の最中、一般的に試料は乾燥時間を短縮す
るために加熱される。
ンプが示されている。この後の説明から明らかなよう
に、この発明は単一または複数段階の膜ポンプの使用に
応用できる。通常、単一ポンプ段階では、乾燥は、水銀
柱約20インチ以下の真空レベルで実現できるように構
成されている。水銀柱約29インチの真空レベルが必要
とされる場合には、2段以上の膜ポンプが使用される。
と第2ポンプ段階部18からなる。2つの部分は、電動
モーター、コントローラー、土台支持部品等とともに統
合された構造として設置される。この使用目的に合致し
たポンプとしては、ドイツ、Wert-heimのVacuubrand社
製造のVACUUBRAND Model MZ ZHCという真空ポンプがあ
る。このポンプでは、入口と出口はポンプ構造の底部に
位置しており、ポンプ段階を自己排水できる構成として
いる。第1段階部16は、底部に入口20と出口22、
第2段階部18も同様に、入口24と出口26を持つ。
第1段階部16の出口22は、28のところで第2段階
部18の入口部に連絡している。ポンプ内で使用される
溶媒は、多くの場合、腐食性の特質を持っているので、
ポンプの内部部品は、不活性材かポリテトラフルオロエ
チレン(PTFE)等でできている。
図)及び図2(平面図)においてその位置関係を示すた
め概略的に図示されている。プリトラップチャンバ30
は、真空ポンプ装置14の一体構造の一部として固定的
に設置されており、円筒状の外壁32からなるハウジン
グで構成されている。この円筒状外壁32はヘッドプレ
ート35で閉鎖され、入口34と出口36を有し、出口
と入口はある距離を保ち、出口は入口に対し直角に面
し、乾燥チャンバ10から入る気体生成物の直接流入は
阻止されている。バッフルプレート38は入口34の内
側に少し距離をおき、外壁32内に固定され、図2に示
す通り細長い延伸状を呈している。さらに、その上下左
右の各部に間隙部をもち、外壁への流入から分離する液
体溶媒をプリトラップチャンバ30下部の全域に貯え可
能である。外壁の入口34は、チューブ管42で乾燥チ
ャンバ10の内部に連絡しており、乾燥チャンバ10
は、出口40を外壁の入口34より上に位置させるよう
に構成されており、乾燥チャンバ10から送られる液体
溶媒向けのプリトラップに対し傾斜通路をもつ導管42
を形成している。
下部に設けた良好な熱伝導性の電気抵抗ヒータ44を備
えているので、プリトラップチャンバに貯えられた液体
溶媒への熱移転は、迅速に行われ、試料の乾燥サイクル
中にその溶媒を蒸発させる。外壁32の下部には、ヒー
タ44の熱制御を行うため、具体的には外壁32内の温
度を一定に保つためサーモスタット50が設けられてい
る。外壁32内の温度は、大体50乃至100゜Cの範
囲内で、通常は65乃至72゜Cの範囲内にあり、試料
の組成によっても変化する。
高めに位置し、出口は導管39を介し第1ポンプ段階部
16の入口20に接続している。導管39は入口20よ
り下向き傾斜しており、第1ポンプ段階部16からの流
れを円滑にする。導管39と42の傾斜及び液体溶媒の
流出をもたらす第2ポンプ段階部18からの出口は、ポ
ンプ膜を防御するのみならず、乾燥を遅らせるようにし
て乾燥装置内の液体の貯えを阻止する。
処理剤62で充填される閉止状カップ60からなる処理
プリトラップチャンバ58に導管56で連絡している。
ポンプから排出される液体溶媒は、その溶媒処理剤に吸
収されかつ中和され、無害の溶媒となるので、その場で
破棄できる。このような有害な溶媒を作業中の現場で自
由に破棄できるということは、特に重要な利点である。
例えば、酸が溶媒として使用される場合、上記カップ6
0内に存在する石灰石で酸を塩水に中性化し、酸の不快
な臭気を除去することができる。勿論、その他の破棄手
段または再生手段を講じることも可能である。
2を閉じかつバルブ84を開くと、ポンプからの流出
は、パイプライン90を介し、再生装置(図示せず)に
流入する。作業現場で有害溶媒を破棄できることによ
り、コストアップとなる廃物破棄用のパイプラインの設
置は不要となる。作業現場への気体生成物の流出に対し
ては、マフラー68がセパレータに装着されており、こ
の流出物を無害にすることが可能である。
バ10に貯えられている。この乾燥チャンバ10は密封
されており、真空ポンプ装置が作動すると、真空乾燥工
程がスタートする。乾燥を早めるための試料12にたい
する熱付与は観察できる。特に、ゲル状の乾燥になる
と、液体溶媒が乾燥チャンバ10内部から引き出され
る。
益に抗するため、その縮小または除去が必要であり、導
管42を介し乾燥チャンバ10内部から流出した気体生
成物は、フロー中にプリトラップに入り、そこで液体溶
媒は分離されてしまう。この分離は、流出がバッフルプ
レート38に衝突すると一層促進される。気体生成物の
インパクトにより液体溶媒が気体のフローから分離し、
溶媒は重力によりプリトラップチャンバ30の底部に液
池55(pond)として蓄積する。溶媒の蒸気はプリトラッ
プチャンバ30内で出口36に向かって流れ、流出す
る。出口36は、異なった配向をもって、入口34から
一定の距離をおき配設されているので、プリトラップチ
ャンバ30に流れる液体溶媒は、乾燥チャンバ10の出
口40に逆流することはない。
は、出口36と入口20を接続する導管39を介し第1
ポンプ段階部16に流れる。この導管39はプリトラッ
プチャンバ30への液体の逆流を実現できるように出口
36と入口20との間で傾斜しているので、液体溶媒の
持ち越し分は、液池55にフィードバックできる。入口
20は出口36より高い予め定めた間隔で位置してお
り、その高さは約2乃至2.5インチである。第1ポン
プ段階部16に流れる気体のフローは、大気圧以下の中
間圧力に加熱され、第1ポンプ段階部16から大気圧レ
ベルの加圧下にある第2ポンプ段階部18に流れる。し
かし、液体溶媒が予め除去されているので、気体フロー
中の一部溶媒は、蒸気として存在しており、真空ポンプ
装置14が損傷することはない。
バの出口は、第1ポンプ段階の入口の下に一定距離をお
いて配設されている。プリトラップチャンバ内での分離
中、液体溶媒はそのチャンバの出口近傍での流出前に池
として集結してしまうので、液体溶媒のポンプ内への流
入を阻止可能である。Bell jarのような従来のプリトラ
ップチャンバでは、プリトラップの入口と出口は、チャ
ンバの頂上に位置し、流れはループ状となり、そこに液
体が溜り、乾燥を遅延させる。この発明では、プリトラ
ップチャンバの出口とポンプ入口の間の管は、ポンプ入
口方向に向かって上昇しているため、一部液体溶媒がポ
ンプ側に引き込まれても、最後にはプリトラップチャン
バに戻されてしまう。同様に、乾燥チャンバの出口は、
プリトラップチャンバの入口の上部に位置しているた
め、乾燥チャンバからの流れは、下降する管を介し常に
プリトラップチャンバに向かう。かくて、液状溶媒は正
確にプリトラップチャンバ内に蓄積される。
溶媒は、池からの液体溶媒の流出を抑止するためプリト
ラップチャンバの下部に配設したヒータで蒸発させる。
乾燥中の蒸発は、装置全体をクリーンにする。試料中に
存在する全ての溶媒は、除去され、装置全体から放出さ
れる。したがって、装置をクリーンにするための特別の
手段を講じる必要性はなく、蓄積した溶媒を排出する必
要もない。
Claims (14)
- 【請求項1】 水性溶媒含有試料を真空乾燥するため、
乾燥空間を真空化する真空ポンプ装置において、 前記真空ポンプ装置は、 入口と出口を有するポンプと、 入口と出口を有するプリトラップチャンバを具え、プリ
トラップチャンバの入口は乾燥チャンバの出口に連絡
し、プリトラップチャンバの出口は前記ポンプの入口に
連絡し、プリトラップチャンバはポンプの入口より一定
間隔で下に位置し、ポンプは、大気圧以下で乾燥チャン
バから溶媒の液体及び蒸気を含有する気体生成物を引き
抜きかつプリトラップチャンバに引き入れ、 プリトラップチャンバの出口をその入口から十分の距離
をもって配設することにより、気体生成物のプリトラッ
プチャンバへの流入時また出口からの流出前、液体溶媒
は気体生成物から重力分離して、プリトラップチャンバ
の底部に集積し、気体生成物と溶媒の蒸気分は、プリト
ラップチャンバの出口からポンプの入口に流入し、ポン
プで気体生成物の圧力を増加させて、ポンプからの排出
時、ポンプ出口の圧力は大気圧もしくはそれ以上とし、 プリトラップチャンバ内に集積した溶媒を蒸発させるた
めプリトラップチャンバを予め設定した温度に加熱する
加熱手段を具え、その蒸発分をプリトラップチャンバか
らポンプ内にてポンプで外気に放出するようにした真空
ポンプ装置。 - 【請求項2】 前記プリトラップチャンバ内にバッフル
プレートを設け、プリトラップチャンバに流入する気体
生成物は、そのプレートに衝突すると、液体溶媒の気体
生成物からの分離を促進するようにした請求項1に記載
の真空ポンプ装置。 - 【請求項3】 前記プリトラップチャンバの出口は、そ
の入口より上に位置し、またその出口はその出口方向に
向かって下降した導管によりポンプ入口に接続し、ポン
プ方向へ流出した気体生成物中の液体溶媒を重力で逆流
させるようにした請求項1に記載の真空ポンプ装置。 - 【請求項4】 前記プリトラップチャンバの入口は、乾
燥チャンバの出口より下に配設し、プリトラップチャン
バに下降する導管により乾燥チャンバの出口に連絡して
いる請求項1に記載の真空ポンプ装置。 - 【請求項5】 前記加熱手段は、電気抵抗ヒータである
請求項1に記載の真空ポンプ装置。 - 【請求項6】 前記加熱手段は、プリトラップチャンバ
を一定の温度に保つためサーモスタットを具えた請求項
5に記載の真空ポンプ装置。 - 【請求項7】 前記ポンプの内壁は、腐食性溶媒の蒸気
に対し不活性材で被覆された請求項1に記載の真空ポン
プ装置。 - 【請求項8】 前記不活性材は、ポリテトラフルオロエ
チレンからなる請求項7に記載の真空ポンプ装置。 - 【請求項9】前記ポンプの出口は、ポンプから排出した
気体生成物を処理するための処理チャンバに接続した請
求項1に記載の真空ポンプ装置。 - 【請求項10】 前記処理チャンバは、ポンプの出口か
ら一定距離下に管を介し配設された請求項9に記載の真
空ポンプ装置。 - 【請求項11】 前記処理チャンバは、気体生成物処理
剤を有し、気体生成物中の溶媒蒸気を処理して有害成分
を除去かつ中和するようにした請求項9に記載の真空ポ
ンプ装置。 - 【請求項12】 前記ポンプは、第1及び第2ポンプ段
階を有し、第1ポンプ段階の出口が第2ポンプ段階の入
口に接続した請求項1に記載の真空ポンプ装置。 - 【請求項13】 水性溶媒含有試料の真空乾燥方法であ
って、 密封した乾燥チャンバ内に前記試料を配設し、 乾燥チャンバの内部を、乾燥チャンバの下に配設したプ
リトラップチャンバの入口に接続して、乾燥チャンバか
らプリトラップチャンバへ流下させ、 プリトラップチャンバの上側に配設した真空ポンプの吸
引側を、その吸引方向にプリトラップチャンバから上向
する流れの中でプリトラップチャンバの出口に接続し、
ポンプ作動により乾燥チャンバからプリトラップチャン
バまでの気体生成物を含有する試料から液体溶媒を引き
抜き、 液体溶媒をプリトラップチャンバ内の気体生成物から重
力分離し、かつ液体溶媒をプリトラップチャンバ内の池
として集積させ、さらにプリトラップチャンバ内の液体
溶媒を乾燥蒸発させ、そのままポンプ内に通過させてポ
ンプ外の大気に放出するようにした水性溶媒含有試料の
真空乾燥方法。 - 【請求項14】 前記試料は、乾燥中は乾燥チャンバ内
で加熱し、一方プリトラップチャンバ内の温度は、乾燥
チャンバ内の温度より高く保持した請求項13に記載の
水性溶媒含有試料の真空乾燥方法。
Applications Claiming Priority (2)
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JPH087023B2 true JPH087023B2 (ja) | 1996-01-29 |
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- 1991-03-22 DE DE4109470A patent/DE4109470A1/de active Granted
- 1991-04-05 JP JP3101880A patent/JPH087023B2/ja not_active Expired - Lifetime
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100922395B1 (ko) * | 2007-12-20 | 2009-10-19 | 한국동서발전(주) | 공기 검출기용 보호용기 |
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Publication number | Publication date |
---|---|
JPH07218123A (ja) | 1995-08-18 |
US5025571A (en) | 1991-06-25 |
DE4109470A1 (de) | 1991-10-31 |
DE4109470C2 (ja) | 1993-06-17 |
GB2243414A (en) | 1991-10-30 |
FR2661484B1 (fr) | 1993-10-29 |
FR2661484A1 (fr) | 1991-10-31 |
GB2243414B (en) | 1993-06-09 |
GB9023398D0 (en) | 1990-12-05 |
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