JPH0869638A - Pit shape evaluation device of recording medium and recording and reproducing device of recording medium - Google Patents

Abstract

PURPOSE: To accurately detect a pit shape of a preformat of an optical disk, a guide groove and a shift of a pit from a center position of the guide groove. CONSTITUTION: This is the evaluation device of the optical disk 1 having the guide groove, possessing means 3 and 4 for focusing an optical pickup on the optical disk based on a focus error signal, means 7 and 8 for obtaining a tracking error signal and mechanisms 13 and 14, etc., for vibrating the optical disk and the optical pickup in the direction of relatively traversing a track of the optical disk. Then, the pit shape of the preformat is evaluated by a relationship between a tracking error signal in a pit part of the preformat, generated when a laser beam traverses the guide groove in virtue of the vibration of the optical disk in the track traversing direction after performing a focus servo and a tricking error signal in a nonpit part.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【０００１】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、光ディスクや光カード
に等の記録媒体に形成されるプリフォーマットのピット
形状特性評価装置、及びこのプリフォーマットのピット
形状評価手段に基づいて動作する記録媒体の記録再生装
置に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a preformatted pit shape characteristic evaluation device formed on a recording medium such as an optical disk or an optical card, and a recording medium operating based on the preformatted pit shape evaluation means. The present invention relates to a recording / reproducing device.

【０００２】[0002]

【背景技術】記録媒体には、光ディスクや光カード等が
あり、この記録媒体中、特に光ディスクには、追記形と
消去／再書込可能形があり、両者ともに記録密度がきわ
めて高いので、ディスク製造段階でのディスクの評価が
大切である。例えば、検査項目としては、ディスクの反
り角やトラック偏心等、プリグルーブ反射光量やプリア
ドレス再生振幅、トラッキングエラー等の再生特性、テ
ストトラックに記録した時の記録信号の振幅や周波数特
性、プリアドレス部のエラーやプリグルーブ部の大きな
ドロップアウト等による欠陥セクタ数等が検査される。2. Description of the Related Art Recording media include optical disks and optical cards. Among these recording media, there are write-once type and erasable / rewritable types, both of which have extremely high recording density. Disc evaluation at the manufacturing stage is important. For example, the inspection items include the warp angle of the disk, track eccentricity, pre-groove reflection light amount, pre-address reproduction amplitude, reproduction characteristics such as tracking error, amplitude and frequency characteristics of recording signal when recorded on the test track, and pre-address. The number of defective sectors due to part error and large dropout of the pre-groove part is inspected.

【０００３】尚、ここで、案内溝とは、光ディスクの記
録面に、記録密度を上げるためにラジアル方向に、予め
トラック毎にトラックを案内する溝として形成されたも
のをいい、特に、ディスク製造段階で情報記録部分のラ
ンドに対して、予め形成された案内溝をプリグルーブと
いい、また、プリピットとは、例えば、光ディスク１の
１トラックあたり複数のセクタに分割され、各セクタ毎
のアドレスが凹凸ピットの並びとしてセクタの先頭にあ
り、このアドレスをプリアドレスピットと称し、このプ
リアドレスとプリグルーブをまとめてプリフォーマット
ピットといい、これを略してプリピットとも称してい
る。Here, the guide groove means a groove formed on the recording surface of the optical disk in advance in the radial direction to increase the recording density, as a groove for guiding the track for each track. The guide groove formed in advance at the stage of the information recording portion is called a pre-groove, and the pre-pit is, for example, divided into a plurality of sectors per track of the optical disc 1 and the address of each sector is The address is called a pre-address pit, which is located at the beginning of the sector as an array of concave and convex pits, and the pre-address and the pre-groove are collectively referred to as a pre-formatted pit.

【０００４】ここでは、特に、案内溝を有する光ディス
クのプリフォーマットピット形状特性評価装置、評価方
法について述べる。たとえば、直径数百オングストロー
ムの電子ビームが系統的に試料の上を掃引して、ビーム
が試料と衝突する点で生じる二次電子や反射電子の強度
を、一次ビーム走査と同期して記録する方式で、電子顕
微鏡によるＳＥＭ(Scanning Electron Microscopy)写真
を、撮影してスケールを当てて評価を行うことがよく知
られている。光ディスクの場合、この電子ビームの代わ
りに、レーザビームを用いて、同様な評価をおこなう。In particular, a preformatted pit shape characteristic evaluation device and evaluation method for an optical disc having a guide groove will be described. For example, a method in which an electron beam with a diameter of several hundred angstroms is systematically swept over the sample, and the intensities of secondary and reflected electrons generated at the point where the beam collides with the sample are recorded in synchronization with the primary beam scanning. It is well known that an SEM (Scanning Electron Microscopy) photograph taken with an electron microscope is photographed and a scale is applied for evaluation. In the case of an optical disc, a laser beam is used instead of this electron beam to perform the same evaluation.

【０００５】そして、かかる評価の基準に合格した光デ
ィスクが、現実の記録・再生用のディスクとして、使用
されるものである。An optical disk that passes the evaluation criteria is used as an actual recording / playback disk.

【０００６】[0006]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記の
方法によると、ＳＥＭ写真の撮影条件や目視によること
の測定の個人差により測定値が大きくばらつくため、目
安程度でしかなかった。また、ＳＥＭ写真を撮影するた
めに光ディスクのレプリカを取るなど前工程も必要であ
り、何よりも光ディスクを破壊しなければ測定不可能で
あるという問題があった。また、このバラツキを含めた
広範囲の判断基準で、記録媒体の実使用がなされるの
で、記録・再生時の信頼性に十分答えることができなか
った。However, according to the above-mentioned method, the measured values greatly vary due to individual differences in the SEM photograph conditions and the visual observations, and therefore, it is only an approximate value. In addition, a pre-process such as taking a replica of an optical disk is required to take an SEM photograph, and above all, there is a problem that measurement cannot be performed unless the optical disk is destroyed. Moreover, since the recording medium is actually used according to a wide range of criteria including this variation, it is not possible to sufficiently answer the reliability at the time of recording / reproducing.

【０００７】[0007]

【課題を解決するための手段】本発明によれば、かかる
問題を解決するために成されたもので、案内溝を有する
記録媒体のプリフォーマットのピット形状評価装置であ
って、レーザビームの反射光を検出する光ピックアップ
のフォーカス誤差信号に基づいて記録媒体にフォーカス
をかける手段と、レーザビームの反射光から光電変換セ
ンサによりトラッキング誤差信号を得る手段と、記録媒
体と光ピックアップとを相対的に光ディスクのトラック
を横断する方向に振動させる振動機構とを有し、フォー
カスサーボをかけた後、記録媒体をトラックを横断する
方向に振動させ、レーザビームが案内溝を横切る際に生
じるプリフォーマットのピット部分でのトラッキング誤
差信号と前記ピットの無い部分のトラッキング誤差信号
との関係によって前記プリフォーマットのピット形状を
評価することを特徴とする構成により解決するものであ
る。According to the present invention, which has been made to solve such a problem, there is provided a preformatted pit shape evaluation apparatus for a recording medium having a guide groove, wherein a laser beam reflection device is provided. A means for focusing on a recording medium based on a focus error signal of an optical pickup for detecting light, a means for obtaining a tracking error signal from a reflected light of a laser beam by a photoelectric conversion sensor, and a recording medium and an optical pickup relatively. A pre-format pit that is generated when the laser beam crosses the guide groove after the focus servo is applied and the recording medium is vibrated in the direction crossing the track. Depending on the relationship between the tracking error signal in the part and the tracking error signal in the part without the pit, Solves the structure and evaluating the pit shape of the serial preformat.

【０００８】また、本発明は、案内溝を具備する記録媒
体の記録再生装置であって、光電変換素子により得られ
たフォーカス誤差信号に基づいてフォーカスサーボをか
けるフォーカスサーボ機構と、光電変換センサによりト
ラッキング誤差信号を得るトラッキング誤差検出手段
と、記録媒体上のトラックを横断する方向に振動させる
振動機構とを備え、フォーカスサーボをかけた状態で振
動機構を動作させるときのトラッキング誤差信号の振幅
及び／又はオフセットとを検出することを特徴とする。Further, the present invention is a recording / reproducing apparatus for a recording medium having a guide groove, comprising a focus servo mechanism for applying focus servo based on a focus error signal obtained by a photoelectric conversion element, and a photoelectric conversion sensor. A tracking error detecting means for obtaining a tracking error signal and a vibrating mechanism for vibrating in a direction traversing a track on a recording medium are provided, and the amplitude and / or the amplitude of the tracking error signal when the vibrating mechanism is operated in a state where focus servo is applied. Alternatively, it is characterized by detecting an offset.

【０００９】[0009]

【作用】故に、この発明の構成は、案内溝を有する記録
媒体のプリフォーマットのピット形状評価装置であっ
て、レーザビームの反射光を検出する光ピックアップの
フォーカス誤差信号に基づいて記録媒体にフォーカスを
かける手段と、レーザビームの反射光から光電変換セン
サによりトラッキング誤差信号を得る手段と、記録媒体
と光ピックアップとを相対的に記録媒体のトラックを横
断する方向に振動させる振動機構とを有し、フォーカス
サーボをかけた後、記録媒体をトラックを横断する方向
に振動させ、レーザビームが案内溝を横切る際に生じる
プリフォーマットのピット部分でのトラッキング誤差信
号とピットの無い部分のトラッキング誤差信号との関係
によってプリフォーマットのピット形状を評価するとい
う動作を維持するように作用する。Therefore, the structure of the present invention is a preformatted pit shape evaluation device for a recording medium having a guide groove, and the recording medium is focused on the basis of a focus error signal of an optical pickup which detects reflected light of a laser beam. Means for obtaining a tracking error signal from the reflected light of the laser beam by a photoelectric conversion sensor, and a vibrating mechanism for vibrating the recording medium and the optical pickup relatively in the direction traversing the track of the recording medium. , After the focus servo is applied, the recording medium is vibrated in the direction traversing the track, and the tracking error signal in the pit part of the preformat and the tracking error signal in the part without the pit are generated when the laser beam crosses the guide groove. The operation of evaluating the pre-format pit shape based on the relationship of Acting on.

【００１０】また、上記振動機構が、発振器からの発振
信号によりドライブされ、ピエゾ素子により記録媒体の
面に平行に振動する作用をおこなうものである。The vibrating mechanism is driven by an oscillating signal from an oscillator and vibrates in parallel with the surface of the recording medium by a piezo element.

【００１１】さらに、振動機構が、発振器からの発振信
号によりドライブされ、対物レンズを記録媒体の半径方
向に動かすためのトラッキングアクチュエータを具備す
ることで強制的に案内溝を横切らせてトラッキング誤差
信号を得るという動作を維持するように作用するもので
ある。Further, the vibrating mechanism is driven by the oscillation signal from the oscillator, and is provided with a tracking actuator for moving the objective lens in the radial direction of the recording medium, so that the tracking error signal is forcedly traversed by the guide groove. It acts to maintain the action of getting.

【００１２】加えて、本発明の構成から、光電変換素子
により得られたフォーカス誤差信号に基づいてフォーカ
スサーボをかけるフォーカスサーボ機構と、光電変換セ
ンサによりトラッキング誤差信号を得るトラッキング誤
差検出手段と、記録媒体上のトラックを横断する方向に
振動させる振動機構とを備え、フォーカスサーボをかけ
た状態で振動機構を動作させるときのトラッキング誤差
信号の振幅及び／又はオフセットとを検出するという作
用をていじするものである。In addition, according to the configuration of the present invention, a focus servo mechanism for applying a focus servo based on the focus error signal obtained by the photoelectric conversion element, tracking error detection means for obtaining a tracking error signal by the photoelectric conversion sensor, and recording A vibration mechanism that vibrates in a direction traversing a track on the medium, and acts to detect an amplitude and / or an offset of a tracking error signal when the vibration mechanism is operated in a state where focus servo is applied. It is a thing.

【００１３】[0013]

【実施例】【Example】

［実施例１］以下、本発明の実施例について、記録媒体
中、特に光ディスクのプリフォーマットのピット形状の
評価基準を、図面を参照しつつ詳細に説明する。[Embodiment 1] In the following, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings, with reference to evaluation criteria of a pit shape of a preformat of a recording medium, particularly an optical disc.

【００１４】図３は、本発明のピット形状の評価原理を
よく表した、光ディスクの形状とトラッキング誤差信号
の波形図である。これは、光ディスク上に形成されたト
ラックに対して、数トラックを直角に見た場合の断面
と、レーザビームが光ディスク上のトラックを、トラッ
クに対し直角に横切った場合のトラッキング誤差信号波
形を示している。FIG. 3 is a waveform diagram of the shape of the optical disk and the tracking error signal, which clearly shows the pit shape evaluation principle of the present invention. This shows a cross section when several tracks are viewed at right angles to the tracks formed on the optical disc, and a tracking error signal waveform when the laser beam crosses the tracks on the optical disc at right angles to the tracks. ing.

【００１５】同図において、（ａ）は、案内溝のみのデ
ィスクをそのトラックに直角に見た場合の断面図とトラ
ッキング誤差信号波形であり、（ｂ）はプリフォーマッ
トピットのみのディスクをそのトラックに直角の方向か
ら見た断面図とトラッキング誤差信号波形である。In the figure, (a) is a sectional view and a tracking error signal waveform when a disc having only guide grooves is viewed at right angles to its track, and (b) is a disc having only pre-format pits in its track. It is a cross-sectional view and a tracking error signal waveform when viewed from a direction perpendicular to.

【００１６】（ｃ）は（ａ）の案内溝と案内溝と間の中
心位置に（ｂ）のプリフォーマットピットを形成したデ
ィスクのそのトラックに直角の方向から見た場合の断面
図とトラッキング誤差信号波形であるが、案内溝と案内
溝の中心位置にプリフォーマットピットが形成されてい
るため、両者のトラッキング誤差信号の位相差が１８０
度ずれたものとなり、（ａ）と（ｂ）のトラッキング誤
差信号の和信号として、トラッキング誤差信号の振幅が
低下する。(C) is a sectional view and a tracking error when viewed from the direction perpendicular to the track of the disk having the preformatted pit (b) formed at the center position between the guide grooves (a). Although it is a signal waveform, since the pre-format pit is formed at the center position of the guide groove and the guide groove, the phase difference between the tracking error signals of both is 180.
The tracking error signals are deviated, and the amplitude of the tracking error signal decreases as a sum signal of the tracking error signals of (a) and (b).

【００１７】また、（ｄ）は（ｂ）よりも切り立ったプ
リフォーマットピットのみのディスクをトラックに直角
の方向から見た断面図とトラッキング誤差信号波形であ
る。プリフォーマットピットのトラッキング誤差信号の
振幅は、プリフォーマットピットの立ち度合いに依存し
ており、この場合のトラッキング誤差信号の振幅は
（ｂ）の場合よりも低下する。Further, (d) is a sectional view and a tracking error signal waveform of a disc having only pre-formatted pits, which is more prominent than (b), as seen from a direction perpendicular to the track. The amplitude of the tracking error signal of the pre-format pit depends on the rising degree of the pre-format pit, and the amplitude of the tracking error signal in this case is lower than that in the case of (b).

【００１８】（ｅ）は（ｃ）と同様に、（ａ）の案内溝
と案内溝の中心位置に（ｄ）の立っているプリフォーマ
ットピットを形成したディスクをそのトラックに直角の
方向から見た断面図とトラッキング誤差信号波形である
が、（ｄ）のトラッキング誤差信号が（ｂ）よりも小さ
いため結果的にトラッキング誤差信号の振幅は（ｃ）よ
りも大きくなる。このことから、同形状の案内溝のディ
スク上に形成されたプリフォーマットピットの立ち度合
いは、トラッキング誤差信号の振幅により測定が可能で
ある。この場合、ピット形状があまりに切り立っていれ
ば、振幅は大きくなるが、ピットの読み取りが困難とな
ることもあり、またピット形状がねていると振幅が低下
するとともに隣接トラックの信号ピットへのクロストー
クに影響して性能が取れなくなり、適切な振幅範囲を検
出することが必要である。そうして、所定の振幅範囲に
てトラッキング誤差信号を検出できれば、使用可能な光
ディスクとして扱える。Similarly to (c), (e) is a view of the disc having the guide groove of (a) and the preformatted pit in which (d) stands at the center of the guide groove, as seen from the direction perpendicular to the track. The tracking error signal waveform in (d) is smaller than that in (b), and as a result, the amplitude of the tracking error signal is larger than that in (c). From this fact, the standing degree of the preformatted pits formed on the disc having the guide groove of the same shape can be measured by the amplitude of the tracking error signal. In this case, if the pit shape is too steep, the amplitude will be large, but it may be difficult to read the pit.If the pit shape is too sharp, the amplitude will decrease and the signal pits of adjacent tracks will cross. It is necessary to detect an appropriate amplitude range because the performance is lost due to the influence of talk. Then, if the tracking error signal can be detected within a predetermined amplitude range, it can be treated as a usable optical disc.

【００１９】（ｆ）は案内溝の中心位置からずらした
（ｂ）と同じ形状のプリフォーマットピットのみのディ
スクをそのトラックに直角の方向から見た断面図とトラ
ッキング誤差信号である。(F) is a sectional view and a tracking error signal when a disc having the same shape as that of (b), which is displaced from the center position of the guide groove, is viewed from a direction perpendicular to the track.

【００２０】（ｇ）は（ａ）の案内溝と案内溝の中心位
置からずれた位置に（ｆ）のプリフォーマットピットを
形成したディスクをトラックに直角の方向から見た断面
図とトラッキング誤差信号であるが、案内溝と案内溝の
中心位置からずれた位置にプリフォーマットピットが形
成されているため両者のトラッキング誤差信号の位相差
は１８０度にはならず、（ｇ）のトラッキング誤差信号
はひずみにより図ではプラス側に若干オフセットしてい
る。このことから、同形状の案内溝のディスク上に形成
されたプリフォーマットピットの案内溝と隣接する案内
溝との中心位置からのずれ量は、トラッキング誤差信号
のオフセット量により測定が可能である。(G) is a sectional view and a tracking error signal of the guide groove of (a) and the disc having the preformatted pit of (f) formed at a position deviated from the center position of the guide groove as seen from the direction perpendicular to the track. However, since the pre-format pit is formed at the guide groove and the position deviated from the center position of the guide groove, the phase difference between the tracking error signals of both is not 180 degrees, and the tracking error signal of (g) is Due to strain, there is a slight offset to the plus side in the figure. From this, the amount of deviation between the guide groove of the pre-format pit formed on the disk of the guide groove of the same shape and the adjacent guide groove from the center position can be measured by the offset amount of the tracking error signal.

【００２１】上記に示した図３の（ａ）〜（ｇ）によ
り、光ディスクの案内溝とプリフォーマットのピットの
形状とトラッキング誤差信号の波形との関係を、予めコ
ンピュータの演算処理上のメモリに保持しておき、以下
の実施例により、光ディスクの特性としてトラッキング
誤差信号を取り込み、そのメモリの内容と比較すれば、
光ディスクのプリフォーマットのピットの形状等の評価
を正確に行えるものである。3 (a) to 3 (g) shown above, the relationship between the guide groove of the optical disc, the shape of the preformatted pit, and the waveform of the tracking error signal is stored in advance in the memory for computer arithmetic processing. By holding it, the tracking error signal is fetched as a characteristic of the optical disc and compared with the contents of the memory according to the following example,
It is possible to accurately evaluate the pre-format pit shape and the like of the optical disc.

【００２２】図１は本発明の特徴をよく表す光ディスク
のピット評価装置の構成を説明する概念図である。同図
において、１は評価される被測定物である光ディスク、
２はレーザービームを光ディスク１に照射しその反射光
をも集光する対物レンズ、３は光ディスク１に対して対
物レンズ２を垂直方向にフォーカスサーボ制御する制御
機構、４は制御機構３の制御信号によりフォーカスサー
ボをかけるため、対物レンズ２を垂直方向に振動移動す
るフオーカスサーボ用アクチュエータ、５はレーザビー
ムを分割するビームスプリッタ、６は光ディスク１によ
って反射、回折したレーザービームをビームスプリッタ
５を介して集光する集光レンズ、７は集光レンズ６によ
って集光されたレーザービームを電気信号に光電変換す
る二分割フォトダイオードを含む光電変換センサであ
る。FIG. 1 is a conceptual diagram for explaining the configuration of an optical disk pit evaluation device that is a feature of the present invention. In the figure, 1 is an optical disk which is the object to be evaluated,
Reference numeral 2 is an objective lens that irradiates the optical disk 1 with a laser beam and also collects reflected light thereof. Reference numeral 3 is a control mechanism for performing focus servo control of the objective lens 2 in the vertical direction with respect to the optical disk 1. Reference numeral 4 is a control signal of the control mechanism 3. Focus servo is applied by means of the focus servo actuator for oscillating and moving the objective lens 2 in the vertical direction, 5 is a beam splitter for splitting the laser beam, and 6 is a beam splitter 5 for passing the laser beam reflected and diffracted by the optical disc 1. A condenser lens 7 for condensing the light beam is a photoelectric conversion sensor including a two-divided photodiode for photoelectrically converting the laser beam condensed by the condenser lens 6 into an electric signal.

【００２３】また、８は光電変換センサ７により得られ
た２つの電気信号の差からトラッキング誤差信号を生成
する差動アンプ、９は差動アンプ８から得られたトラッ
キング誤差信号を取り込むデジタルオシロスコープ、１
０はデジタルオシロスコープ９を制御し、データ処理す
るコンピュータである。Further, 8 is a differential amplifier for generating a tracking error signal from the difference between two electric signals obtained by the photoelectric conversion sensor 7, 9 is a digital oscilloscope for taking in the tracking error signal obtained from the differential amplifier 8, 1
A computer 0 controls the digital oscilloscope 9 and processes data.

【００２４】さらに、１１は印加電界に応じて機械的な
ひずみを生成する圧電素子たるピエゾ素子１３を振動さ
せるための基準発振信号を発生する発振器、１２はピエ
ゾ素子１３を振動させるピエゾ素子ドライバ、１３はピ
エゾ素子ドライバ１２により基準信号の電界を印加さ
れ、光ディスク１を載置したアーム１４を振動させるピ
エゾ素子、１４はピエゾ素子１３によって軸心の垂直方
向に振動させることができ、光ディスク１を軸心で支持
するアーム、１５はレーザビームの光源であるレーザダ
イオードである。Further, 11 is an oscillator for generating a reference oscillation signal for vibrating the piezoelectric element 13, which is a piezoelectric element for generating mechanical strain according to an applied electric field, and 12 is a piezoelectric element driver for vibrating the piezoelectric element 13. Reference numeral 13 is a piezo element that is applied with an electric field of a reference signal by the piezo element driver 12 and vibrates the arm 14 on which the optical disc 1 is mounted. An arm supported by the shaft center, 15 is a laser diode which is a light source of a laser beam.

【００２５】以下、上記構成の動作を説明する。まず、
フォーカシングサーボは、例えば非点収差法で光ディス
クの反射光を、４分割フォトディテクタ等の光電変換素
子で検出して、フォーカスアクチュエータ４によって対
物レンズ２を光ディスクの面の垂直方向に移動可能とし
て、４分割フォトディテクタの検出出力が真円となる位
置に対物レンズ２を位置して、レーザビームのフォーカ
ス焦点を光ディスク上に取れるように制御するものであ
る。The operation of the above configuration will be described below. First,
Focusing servo detects reflected light of an optical disk by a photoelectric conversion element such as a four-division photodetector by, for example, an astigmatism method, and makes the objective lens 2 movable in a direction perpendicular to the surface of the optical disk by a focus actuator 4 and divides it into four. The objective lens 2 is positioned at a position where the detection output of the photodetector becomes a perfect circle, and the focus is controlled so that the laser beam can be focused on the optical disk.

【００２６】そこで、トラッキング誤差信号を正確に検
出するために、フォーカス制御機構３によってフォーカ
スサーボをかけた状態で、レーザダイオード１５から出
射されたレーザビームはビームスプリッタ５を通り、対
物レンズ２によって光ディスク１に照射される。光ディ
スク１に設けられた案内溝及びプリグルーブとプリアド
レスを含むプリフォーマットのピットにより反射・回折
した反射光は、ビームスプリッタ５により反射され、集
光レンズ６により集光された後、二分割フォトダイオー
ドを具備する光電変換センサ７に照射され、案内溝、プ
リピットの左右に別れた一次回折光量を検出する。この
検出した光量を電気信号に変換して、差動アンプ８によ
って電気信号を演算することにより、トラッキング誤差
信号を作り出す。Therefore, in order to accurately detect the tracking error signal, the laser beam emitted from the laser diode 15 passes through the beam splitter 5 while the focus servo is applied by the focus control mechanism 3 and passes through the optical disk by the objective lens 2. 1 is irradiated. The reflected light reflected and diffracted by the guide groove provided in the optical disc 1 and the pre-format pit including the pre-groove and the pre-address is reflected by the beam splitter 5, condensed by the condenser lens 6, and then divided into two parts. The photoelectric conversion sensor 7 equipped with a diode is irradiated and the amount of first-order diffracted light separated into the guide groove and the left and right of the prepit is detected. A tracking error signal is generated by converting the detected light amount into an electric signal and calculating the electric signal by the differential amplifier 8.

【００２７】次に、発振器１１からの基準発振信号は、
ピエゾドライバ１２によって増幅され、ピエゾ素子１３
を振動させ、その機械的振動がアーム１４を駆動し、光
ディスク１の面と平行する面で光ディスク１をラジアル
方向に振動させる。光ディスク１がピエゾ素子１３によ
り光ディスク面に平行に振動すると、光ディスクに偏心
状態を生起し、レーザービームが案内溝、プリフォーマ
ットピットを横切り、例えば、図３の（ａ）〜（ｇ）に
示すようなトラッキング誤差信号を生成し、そのトラッ
キング誤差信号をデジタルオシロスコープ９によりデジ
タル化して、また発振器１１の発振信号も同様にデジタ
ル化して、コンピュータ１０にそれぞれ入力する。Next, the reference oscillation signal from the oscillator 11 is
Amplified by the piezo driver 12, the piezo element 13
Is vibrated, and the mechanical vibration drives the arm 14 to vibrate the optical disk 1 in the radial direction on the surface parallel to the surface of the optical disk 1. When the optical disc 1 vibrates in parallel with the optical disc surface by the piezo element 13, an eccentric state is generated in the optical disc, and the laser beam traverses the guide groove and the pre-format pit. For example, as shown in (a) to (g) of FIG. A tracking error signal is generated, the tracking error signal is digitized by the digital oscilloscope 9, and the oscillation signal of the oscillator 11 is also digitized, and input to the computer 10.

【００２８】これらのデジタル信号を処理して、プリフ
ォーマットピットの特性を評価する。These digital signals are processed to evaluate the characteristics of preformatted pits.

【００２９】コンピュータ１０では、デジタル化したト
ラッキング誤差信号のデータを、発振信号と対比しつ
つ、光ディスクの反射率で規格化した後、微分すること
でトラッキング誤差信号のピーク値とボトム値を検出
し、トラッキング誤差信号の振幅とオフセットを計算す
る。オフセットからは、特に図３の（ｇ）で示したプリ
フォーマットピットの案内溝と隣接する案内溝との間の
中心位置からの位置ずれを検出し、一方振幅からは案内
溝のみのトラッキング誤差信号との振幅低下率を計算す
ることによりプリフォーマットピットの立ち度合いを求
めることができる。In the computer 10, the peak value and the bottom value of the tracking error signal are detected by normalizing the digitized tracking error signal data by the reflectance of the optical disc while comparing it with the oscillation signal and then differentiating the normalized value. , Calculate the amplitude and offset of the tracking error signal. From the offset, the positional deviation from the center position between the guide groove of the preformatted pit and the adjacent guide groove shown in FIG. 3G is detected, and from the amplitude, the tracking error signal of only the guide groove is detected. The rising degree of the preformatted pits can be obtained by calculating the amplitude reduction rate of and.

【００３０】この評価装置を検証するために、トラック
ピッチ１．６μｍで案内溝とその隣接する案内溝との間
のトラック中心に対してプリフォーマットピットの位置
を故意に±０．１μｍずらした5.25″ディスクを試作
し、上述の手順を用いて測定した。その結果、位置ずれ
０のプリフォーマットピットのオフセットはほぼ０（図
３の（ｅ））であり、位置ずれ０．１μｍのピットのオ
フセットはトラッキング誤差信号振幅に対して７％程度
で検出でき（図３の（ｇ））、十分な精度と再現性を持
って測定することができた。To verify this evaluation device, the position of the pre-format pit was intentionally shifted ± 0.1 μm with respect to the track center between the guide groove and its adjacent guide groove at a track pitch of 1.6 μm. ″ A disk was prototyped and measured using the procedure described above. As a result, the offset of the preformatted pit with a displacement of 0 was almost 0 ((e) in FIG. 3), and the offset of the pit with a displacement of 0.1 μm. Can be detected at about 7% of the tracking error signal amplitude ((g) in FIG. 3), and measurement can be performed with sufficient accuracy and reproducibility.

【００３１】また、上記光ディスクの試作品には、原盤
カッティング時のビーム操作によりねかせたピット、及
び位置ずれと立ち度合いの両方が組み合わされたピット
も形成した。これを使用して測定したところ、立ち度合
いは角度１０°程度の差異まで判別でき（図３の（ｂ）
と（ｄ））、また位置ずれと立ち度合いの分離もトラッ
キング誤差信号の振幅により、またそのオフセットによ
り、良好に行うことができた。Further, in the prototype of the above-mentioned optical disc, pits which were repelled by the beam operation at the time of cutting the master and pits in which both the positional deviation and the standing degree were combined were formed. When measured using this, the degree of standing can be determined up to a difference of about 10 degrees ((b) in FIG. 3).
(D)), and the separation of the positional deviation and the standing degree could be favorably performed by the amplitude of the tracking error signal and the offset thereof.

【００３２】こうして、プリフォーマットのピットがな
い場合とピットがある場合、及びそのピットの立ち度合
い等とから、予めその光ディスクの特性を確認できれ
ば、そのトラック位置によって、予め欠陥セクタや代替
えセクタを特定することができる。従って、上記ではピ
ット形状評価装置について説明したが、本発明はそれだ
けではなく、光ディスク記録再生装置にも、本発明を適
用できるものである。すなわち、フォーカスサーボ機構
とトラッキングサーボ機構とを備え、さらに、ピエゾ素
子１３及びピエゾ素子ドライバ１２と発振器１１とを具
備することによって、本発明を適用し、トラッキング誤
差信号に基づいて、予め光ディスクの欠陥度合いを確認
しておき、その欠陥部分に応じた情報を記録・再生する
ことによって、極端な場合は欠陥のあるセクタを欠陥セ
クタと判定して他の箇所を使用して、光ディスク記録再
生装置に適用できる。その結果、情報及び装置の信頼性
を極めて高く活用できるものである。In this way, if the characteristics of the optical disk can be confirmed in advance from the case where there is no preformatted pit, the case where there is a pit, and the degree of standing of that pit, the defective sector or alternative sector can be specified in advance by the track position. can do. Therefore, although the pit shape evaluation apparatus has been described above, the present invention can be applied not only to the pit shape evaluation apparatus but also to an optical disk recording / reproducing apparatus. That is, the present invention is applied by including the focus servo mechanism and the tracking servo mechanism, and further including the piezo element 13, the piezo element driver 12, and the oscillator 11, and based on the tracking error signal, the defect of the optical disk is preliminarily detected. By checking the degree and recording / reproducing information according to the defective part, in an extreme case, the defective sector is judged as a defective sector and the other part is used, and the optical disk recording / reproducing device is used. Applicable. As a result, the reliability of the information and the device can be utilized extremely highly.

【００３３】［実施例２］図２は、本発明の特徴を良く
表す光ディスクのプリフォーマットのピット形状評価装
置の第二の実施例の構成を説明するための概略図であ
る。同図において、１６は発振器１１からの振動信号に
基づいて、トラッキングアクチュエータ１７を光ディス
クの面に平行な方向に駆動するドライバ、１７は対物レ
ンズ２を光ディスクの半径方向に動かすためのトラッキ
ングアクチュエータである。[Embodiment 2] FIG. 2 is a schematic diagram for explaining the configuration of a second embodiment of a preformatted pit shape evaluation apparatus for an optical disc, which shows the characteristics of the present invention well. In the figure, 16 is a driver for driving the tracking actuator 17 in a direction parallel to the surface of the optical disk based on the vibration signal from the oscillator 11, and 17 is a tracking actuator for moving the objective lens 2 in the radial direction of the optical disk. .

【００３４】この実施例２は、実施例１の場合と同様、
制御機構３を含めたフォーカスサーボをかけた後、光デ
ィスク１に光源としてのレーザダイオード１５からレー
ザビームを照射し、ドライバ１６により駆動されたトラ
ッキングアクチュエータ１７が、対物レンズ２をディス
ク半径方向に振動させることによって対物レンズ２から
の照射点が光ディスク上のトラックを横切ることとな
り、トラッキング誤差信号を生成する。そのトラッキン
グ誤差信号は、光ディスクのトラックを横切る毎に図３
の（ａ）〜（ｇ）のような、各案内溝とプリフォーマッ
トの形状に応じた誤差信号を出力するので、プリフォー
マットのピットの立ち度合い及び案内溝と隣接する案内
溝との中心位置からのピットのずれ程度等のプリフォー
マットピットの形状とその位置等の特性を評価すること
ができる。The second embodiment is similar to the first embodiment.
After the focus servo including the control mechanism 3 is applied, the optical disk 1 is irradiated with a laser beam from the laser diode 15 as a light source, and the tracking actuator 17 driven by the driver 16 vibrates the objective lens 2 in the disk radial direction. As a result, the irradiation point from the objective lens 2 crosses the track on the optical disc, and a tracking error signal is generated. The tracking error signal is shown in FIG.
Since an error signal corresponding to each guide groove and the shape of the pre-format is output as in (a) to (g), the pit standing degree of the pre-format and the center position of the guide groove and the adjacent guide groove It is possible to evaluate the characteristics of the preformatted pit shape such as the degree of pit deviation and the position thereof.

【００３５】この例では、実施例１のように、ピエゾ素
子１３が必要でないため、またその分スピンドルモータ
によりディスクを安定に回転させることができるので、
安定した動作と、構成的に安価に、評価システムを構成
できるメリットがある。In this example, unlike the first embodiment, the piezo element 13 is not necessary, and since the disk can be stably rotated by the spindle motor correspondingly,
There are merits that the evaluation system can be configured with stable operation and structurally inexpensive.

【００３６】また、この第二実施例においても、上記第
一実施例と同様に、光ディスク記録再生装置に適用でき
ることはもちろんである。Further, it is needless to say that the second embodiment can be applied to the optical disk recording / reproducing apparatus as in the first embodiment.

【００３７】[0037]

【発明の効果】以上詳細に説明したように、フォーカス
サーボをかけた後、記録媒体、特に光ディスクをトラッ
クを横断する方向に振動させ、レーザビームがトラック
を横切る際に生じる案内溝及びプリフォーマットのピッ
ト部分でのトラッキング誤差信号と、ピットのない部分
のトラッキング誤差信号を計測することによって、高精
度な、非破壊のプリフォーマットのピット形状の測定が
簡単に行える。As described above in detail, after the focus servo is applied, the recording medium, particularly the optical disk, is vibrated in the direction traversing the track, and the guide groove and the preformat generated when the laser beam traverses the track. By measuring the tracking error signal in the pit portion and the tracking error signal in the portion without the pit, it is possible to easily measure the pit shape of the non-destructive preformat with high accuracy.

【００３８】特に、記録媒体の光ディスク上に予め形成
されたプリフォーマットのピットの位置と立ち度合いと
を予め確認できるので、欠陥部分を除外して光ディスク
への書込、読み出しができ、信頼性高い情報の採受を可
能とする。In particular, since the position and the standing degree of the preformatted pits formed in advance on the optical disc of the recording medium can be confirmed in advance, the defective portion can be excluded from the writing and reading on the optical disc, and the reliability is high. Enables acceptance of information.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図１】本発明の第一実施例の構成を表す概略図であ
る。FIG. 1 is a schematic diagram showing the configuration of a first embodiment of the present invention.

【図２】本発明の第二実施例の構成を表す概略図であ
る。FIG. 2 is a schematic diagram showing the configuration of a second embodiment of the present invention.

【図３】本発明における原理的な特性を示すディスク形
状図とトラッキング誤差信号の波形図である。3A and 3B are a disk shape diagram showing a principle characteristic of the present invention and a waveform diagram of a tracking error signal.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

１ 光ディスク ２ 対物レンズ ３ フォーカスサーボ機構 ４ フォーカスアクチュエータ ５ ビームスプリッタ ６ 集光レンズ ７ 二分割フォトダイオード ８ 差動アンプ ９ デジタルオシロスコープ １０ コンピュータ １１ 発振器 １２ ピエゾドライバ １３ ピエゾ素子 １４ アーム １５ レーザダイオード １６ トラッキングアクチュエータドライバ １７ トラッキングアクチュエータ 1 Optical Disc 2 Objective Lens 3 Focus Servo Mechanism 4 Focus Actuator 5 Beam Splitter 6 Condensing Lens 7 Two-Division Photodiode 8 Differential Amplifier 9 Digital Oscilloscope 10 Computer 11 Oscillator 12 Piezo Driver 13 Piezo Element 14 Arm 15 Laser Diode 16 Tracking Actuator Driver 17 Tracking actuator

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項１】 案内溝を有する記録媒体のピット形状評
価装置であって、レーザビームの反射光を検出する光ピ
ックアップのフォーカス誤差信号に基づいて前記記録媒
体にフォーカスをかける手段と、前記レーザビームの反
射光から光電変換センサによりトラッキング誤差信号を
得る手段と、前記記録媒体と前記光ピックアップとを相
対的に前記記録媒体のトラックを横断する方向に振動さ
せる振動機構とを有し、フォーカスサーボをかけた後、
前記記録媒体をトラックを横断する方向に振動させ、前
記レーザビームが案内溝を横切る際に生じるプリフォー
マットのピット部分でのトラッキング誤差信号と前記ピ
ットの無い部分のトラッキング誤差信号との関係によっ
て前記プリフォーマットのピット形状を評価することを
特徴とする記録媒体のピット形状評価装置。1. A pit shape evaluation apparatus for a recording medium having a guide groove, comprising means for focusing on the recording medium based on a focus error signal of an optical pickup which detects reflected light of the laser beam, and the laser beam. And a vibration mechanism for vibrating the recording medium and the optical pickup relatively in a direction that traverses the track of the recording medium. After calling
The recording medium is vibrated in a direction traversing a track, and the pre-formatted pit portion is caused by a relationship between a tracking error signal in a pit portion of the pre-format and a tracking error signal in a portion without the pit, which occurs when the laser beam crosses a guide groove. A pit shape evaluation device for a recording medium, characterized by evaluating the pit shape of a format. 【請求項２】 前記振動機構は、発振器からの発振信号
によりドライブされ、ピエゾ素子により前記記録媒体の
面に平行に振動することを特徴とする請求項１記載の記
録媒体のピット形状評価装置。2. The pit shape evaluation apparatus for a recording medium according to claim 1, wherein the vibrating mechanism is driven by an oscillation signal from an oscillator and vibrates in parallel with a surface of the recording medium by a piezo element. 【請求項３】 前記振動機構は、発振器からの発振信号
によりドライブされ、対物レンズを記録媒体の半径方向
に動かすためのトラッキングアクチュエータを具備する
ことを特徴とする請求項１記載の記録媒体のピット形状
評価装置。3. The recording medium pit according to claim 1, wherein the vibrating mechanism includes a tracking actuator driven by an oscillation signal from an oscillator to move an objective lens in a radial direction of the recording medium. Shape evaluation device. 【請求項４】 案内溝を具備する記録媒体の記録再生装
置であって、光電変換素子により得られたフォーカス誤
差信号に基づいてフォーカスサーボをかけるフォーカス
サーボ機構と、光電変換センサによりトラッキング誤差
信号を得るトラッキング誤差検出手段と、前記記録媒体
上のトラックを横断する方向に振動させる振動機構とを
備え、前記フォーカスサーボをかけた状態で前記振動機
構を動作させるときの前記トラッキング誤差信号の振幅
及び／又はオフセットとを検出することを特徴とする記
録媒体の記録再生装置。4. A recording / reproducing apparatus for a recording medium having a guide groove, wherein a focus servo mechanism for applying focus servo based on a focus error signal obtained by a photoelectric conversion element, and a tracking error signal by a photoelectric conversion sensor. A tracking error detecting means for obtaining the tracking error signal and a vibrating mechanism vibrating in a direction traversing the track on the recording medium, and the amplitude of the tracking error signal when operating the vibrating mechanism with the focus servo applied and / Or a recording / reproducing apparatus for a recording medium, which detects an offset. 【請求項５】 前記振動機構は、発振器からの発振信号
によりドライブされ、ピエゾ素子により前記記録媒体の
面に平行に振動することを特徴とする請求項４記載の記
録媒体の記録再生装置。5. The recording / reproducing apparatus for a recording medium according to claim 4, wherein the vibrating mechanism is driven by an oscillation signal from an oscillator and vibrates in parallel with a surface of the recording medium by a piezo element. 【請求項６】 前記振動機構は、発振器からの発振信号
によりドライブされ、対物レンズを前記記録媒体の半径
方向に動かすためのトラッキングアクチュエータを具備
することを特徴とする請求項４記載の記録媒体の記録再
生装置。6. The recording medium according to claim 4, wherein the vibration mechanism includes a tracking actuator driven by an oscillation signal from an oscillator to move an objective lens in a radial direction of the recording medium. Recording / playback device.