JPH0869010A - アクティブマトリクス型表示装置及びその製造方法 - Google Patents
アクティブマトリクス型表示装置及びその製造方法Info
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Abstract
(57)【要約】
【構成】 本発明のアクティブマトリクス型表示装置
は、アレイ基板と対向電極を備えた対向基板から構成さ
れ、対向基板３０１は対向電極３５１の一端辺から突出
される第１対向電位給電端子３５３−１〜３５３−７
と、対向電極の一端辺と対向する他の一端辺の第１対向
電位給電端子の線対称位置からずれた位置から突出され
る第２対向電位給電端子３５５−１〜３５５−９とを備
えている。 【効果】 本発明によれば、対向電極３５１に対する給
電が十分に成され、良好な表示画像が得られると共に、
一絶縁基板から複数の対向基板を基板の利用効率よく採
取することも可能となる。
は、アレイ基板と対向電極を備えた対向基板から構成さ
れ、対向基板３０１は対向電極３５１の一端辺から突出
される第１対向電位給電端子３５３−１〜３５３−７
と、対向電極の一端辺と対向する他の一端辺の第１対向
電位給電端子の線対称位置からずれた位置から突出され
る第２対向電位給電端子３５５−１〜３５５−９とを備
えている。 【効果】 本発明によれば、対向電極３５１に対する給
電が十分に成され、良好な表示画像が得られると共に、
一絶縁基板から複数の対向基板を基板の利用効率よく採
取することも可能となる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、各画素電極にスイッ
チ素子が電気的に接続されて成るアクティブマトリック
ス型表示装置及びその製造方法に関する。
チ素子が電気的に接続されて成るアクティブマトリック
ス型表示装置及びその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、液晶表示装置に代表される平面表
示装置は、薄型、軽量、低消費電力の特徴を生かして、
パーソナルコンピュータやワードプロセッサ等の表示装
置として、ＴＶ表示装置として、更に投射型の表示装置
として各種分野で利用されている。
示装置は、薄型、軽量、低消費電力の特徴を生かして、
パーソナルコンピュータやワードプロセッサ等の表示装
置として、ＴＶ表示装置として、更に投射型の表示装置
として各種分野で利用されている。
【０００３】なかでも、各画素電極にスイッチ素子が電
気的に接続されて成るアクティブマトリックス型表示装
置は、隣接画素間でクロストークのない良好な表示画像
を実現できることから、盛んに研究・開発が行われてい
る。
気的に接続されて成るアクティブマトリックス型表示装
置は、隣接画素間でクロストークのない良好な表示画像
を実現できることから、盛んに研究・開発が行われてい
る。
【０００４】以下に、光透過型のアクティブマトリック
ス型液晶表示装置を例にとり、その構成について簡単に
説明する。アクティブマトリックス型液晶表示装置は、
アレイ基板と対向基板との間に配向膜を介して液晶組成
物が保持されて構成されている。アレイ基板は、ガラス
基板上に複数本の信号線と複数本の走査線とがマトリク
ス状に配置され、各交点近傍にスイッチ素子として配置
される薄膜トランジスタ（以下、ＴＦＴと略称する。）
を介してＩＴＯ（Indium Tin Oxide）から成る画素電極
が設けられている。更に、このガラス基板上には、走査
線と略平行する補助容量線が配置され、補助容量線と画
素電極との間で補助容量（Ｃｓ）が形成されるよう、補
助容量線と画素電極との間には絶縁膜が介在されてい
る。
ス型液晶表示装置を例にとり、その構成について簡単に
説明する。アクティブマトリックス型液晶表示装置は、
アレイ基板と対向基板との間に配向膜を介して液晶組成
物が保持されて構成されている。アレイ基板は、ガラス
基板上に複数本の信号線と複数本の走査線とがマトリク
ス状に配置され、各交点近傍にスイッチ素子として配置
される薄膜トランジスタ（以下、ＴＦＴと略称する。）
を介してＩＴＯ（Indium Tin Oxide）から成る画素電極
が設けられている。更に、このガラス基板上には、走査
線と略平行する補助容量線が配置され、補助容量線と画
素電極との間で補助容量（Ｃｓ）が形成されるよう、補
助容量線と画素電極との間には絶縁膜が介在されてい
る。
【０００５】対向基板は、ガラス基板上にＴＦＴ並びに
画素電極周辺を遮光するためのマトリクス状の遮光膜が
配置され、この上に絶縁膜を介してＩＴＯから成る対向
電極が配置されて成っている。
画素電極周辺を遮光するためのマトリクス状の遮光膜が
配置され、この上に絶縁膜を介してＩＴＯから成る対向
電極が配置されて成っている。
【０００６】そして、アレイ基板の各信号線及び各走査
線は、それぞれポリイミド等のフレキシブル基板上に金
属配線が形成されて成るＦＰＣ（Flexible Print Circu
it）あるいはフレキシブル配線基板上に駆動素子が配置
されて成るＴＡＢ（Tape Automated Bonding）等を介し
て駆動回路基板に電気的に接続されている。
線は、それぞれポリイミド等のフレキシブル基板上に金
属配線が形成されて成るＦＰＣ（Flexible Print Circu
it）あるいはフレキシブル配線基板上に駆動素子が配置
されて成るＴＡＢ（Tape Automated Bonding）等を介し
て駆動回路基板に電気的に接続されている。
【０００７】また、対向基板の対向電極は、銀粒子等の
導電粒子が樹脂中に分散されて成るトランスフアァを介
してアレイ基板側に導通され、更に上記したＦＰＣやＴ
ＡＢ等を介して駆動回路基板に電気的に接続されてい
る。
導電粒子が樹脂中に分散されて成るトランスフアァを介
してアレイ基板側に導通され、更に上記したＦＰＣやＴ
ＡＢ等を介して駆動回路基板に電気的に接続されてい
る。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】上記した対向基板の対
向電極は、ステンレス等から成る金属マスクを介し、蒸
着、スパッタリングあるいはＣＶＤ等の成膜技術が用い
られて、成膜及びパターニングが成される。
向電極は、ステンレス等から成る金属マスクを介し、蒸
着、スパッタリングあるいはＣＶＤ等の成膜技術が用い
られて、成膜及びパターニングが成される。
【０００９】ところで、近年では、上記したアクティブ
マトリックス型表示装置の生産性を向上させるため、１
枚のガラス基板等の絶縁基板から多数枚のアレイ基板や
対向基板を採取する、いわゆる多面取りが成されてい
る。このように、１枚のガラス基板等の絶縁基板から多
数枚の対向基板を採取するためには、複数の対向電極に
対応する複数の開口を有するマスクが必要となる。そし
て、絶縁基板の利用効率を高めるためには、各開口に分
離するための分割部をできるだれ細線状とする必要があ
る。
マトリックス型表示装置の生産性を向上させるため、１
枚のガラス基板等の絶縁基板から多数枚のアレイ基板や
対向基板を採取する、いわゆる多面取りが成されてい
る。このように、１枚のガラス基板等の絶縁基板から多
数枚の対向基板を採取するためには、複数の対向電極に
対応する複数の開口を有するマスクが必要となる。そし
て、絶縁基板の利用効率を高めるためには、各開口に分
離するための分割部をできるだれ細線状とする必要があ
る。
【００１０】しかしながら、金属マスクの分割部が細線
状となると、マスク自体の強度的な問題の他、マスクの
分割部近傍でＩＴＯの成膜状態が極めて不均一になった
り、またマスクに対応した精度良いパターニングが成さ
れず、各対向電極間が短絡されるといった種々の問題点
が生じてしまう。
状となると、マスク自体の強度的な問題の他、マスクの
分割部近傍でＩＴＯの成膜状態が極めて不均一になった
り、またマスクに対応した精度良いパターニングが成さ
れず、各対向電極間が短絡されるといった種々の問題点
が生じてしまう。
【００１１】この発明は上記した技術課題に対処して成
されたものであって、一絶縁基板から複数の対向基板が
効率よく採取でき、しかも給電が十分に達成される対向
電極をパターン精度良く形成することができ、これによ
り良好な表示画像が得られるアクティブマトリックス型
表示装置及びその製造方法を提供することを目的として
いる。
されたものであって、一絶縁基板から複数の対向基板が
効率よく採取でき、しかも給電が十分に達成される対向
電極をパターン精度良く形成することができ、これによ
り良好な表示画像が得られるアクティブマトリックス型
表示装置及びその製造方法を提供することを目的として
いる。
【００１２】
【課題を解決するための手段】請求項１に記載のアクテ
ィブマトリクス型表示装置は、複数の画素電極が配置さ
れて成るアレイ基板と、前記アレイ基板に対向して配置
される対向電極を備えた対向基板と、前記アレイ基板と
前記対向基板との間に保持される光変調層とを備えたア
クティブマトリクス型表示装置において、前記対向基板
は、前記対向電極の一端辺に設けた第１対向電位給電端
子と、前記対向電極の前記一端辺と対向する他の一端辺
の前記第１対向電位給電端子の線対称位置からずれた位
置に設けた第２対向電位給電端子とを備えたものであ
る。
ィブマトリクス型表示装置は、複数の画素電極が配置さ
れて成るアレイ基板と、前記アレイ基板に対向して配置
される対向電極を備えた対向基板と、前記アレイ基板と
前記対向基板との間に保持される光変調層とを備えたア
クティブマトリクス型表示装置において、前記対向基板
は、前記対向電極の一端辺に設けた第１対向電位給電端
子と、前記対向電極の前記一端辺と対向する他の一端辺
の前記第１対向電位給電端子の線対称位置からずれた位
置に設けた第２対向電位給電端子とを備えたものであ
る。
【００１３】請求項２に記載のアクティブマトリクス型
表示装置は、請求項１のものにおいて、前記第１対向電
位給電端子が、前記対向電極の前記一端辺から突出し、
前記第２対向電位給電端子が、前記対向電極の前記他の
一端辺から突出したものである。
表示装置は、請求項１のものにおいて、前記第１対向電
位給電端子が、前記対向電極の前記一端辺から突出し、
前記第２対向電位給電端子が、前記対向電極の前記他の
一端辺から突出したものである。
【００１４】請求項３のアクティブマトリクス型表示装
置は、請求項２のものにおいて、前記第１対向電位給電
端子及び前記第２対向電位給電端子は、前記光変調層を
収納するシール剤領域から突出して形成されるものであ
る。
置は、請求項２のものにおいて、前記第１対向電位給電
端子及び前記第２対向電位給電端子は、前記光変調層を
収納するシール剤領域から突出して形成されるものであ
る。
【００１５】請求項４のアクティブマトリクス型表示装
置は、請求項１のものにおいて、前記第１対向電位給電
端子及び前記第２対向電位給電端子は、前記光変調層を
収納するシール剤領域の内部に形成されるものである。
置は、請求項１のものにおいて、前記第１対向電位給電
端子及び前記第２対向電位給電端子は、前記光変調層を
収納するシール剤領域の内部に形成されるものである。
【００１６】請求項５のアクティブマトリクス型表示装
置は、請求項１のものにおいて、前記第１対向電位給電
端子及び前記第２対向電位給電端子は、前記表示装置の
画面長手方向の両端辺に形成されるものである。
置は、請求項１のものにおいて、前記第１対向電位給電
端子及び前記第２対向電位給電端子は、前記表示装置の
画面長手方向の両端辺に形成されるものである。
【００１７】請求項６のアクティブマトリクス型表示装
置は、請求項１のものにおいて、前記第１対向電位給電
端子及び前記第２対向電位給電端子は、前記表示装置の
画面短手方向の両端辺に形成されるものである。
置は、請求項１のものにおいて、前記第１対向電位給電
端子及び前記第２対向電位給電端子は、前記表示装置の
画面短手方向の両端辺に形成されるものである。
【００１８】請求項７のアクティブマトリクス型表示装
置は、請求項１のものにおいて、前記第１対向電位給電
端子及び前記第２対向電位給電端子は、前記表示装置の
画面の四周端辺に形成されるものである。
置は、請求項１のものにおいて、前記第１対向電位給電
端子及び前記第２対向電位給電端子は、前記表示装置の
画面の四周端辺に形成されるものである。
【００１９】請求項８のアクティブマトリクス型表示装
置は、請求項１のものにおいて、マトリクス状の遮光膜
は、前記アレイ基板に形成されるものである。
置は、請求項１のものにおいて、マトリクス状の遮光膜
は、前記アレイ基板に形成されるものである。
【００２０】請求項９のアクティブマトリクス型表示装
置は、請求項１のものにおいて、カラーフィルターは、
前記アレイ基板に形成されるものである。
置は、請求項１のものにおいて、カラーフィルターは、
前記アレイ基板に形成されるものである。
【００２１】請求項１０に記載される発明は、第１及び
第２開口が分割部により分離れて成るマスクを用い、前
記第１及び第２開口にそれぞれ対応した第１及び第２対
向電極を形成して対向基板集合体を形成した後に、前記
対向基板集合体から第１及び第２対向基板を取り出すア
クティブマトリクス型表示装置の製造方法において、前
記マスクの前記分割部の一端辺は前記第１対向電極に第
１対向電位給電端子を形成するために前記第１開口から
延在される第１切欠部が、前記分割部の前記一端辺に対
向する他の一端辺には前記第２対向電極に第２対向電位
給電端子を形成するために前記第２開口から延在される
第２切欠部が、それぞれ交互に形成されていることを特
徴としている。
第２開口が分割部により分離れて成るマスクを用い、前
記第１及び第２開口にそれぞれ対応した第１及び第２対
向電極を形成して対向基板集合体を形成した後に、前記
対向基板集合体から第１及び第２対向基板を取り出すア
クティブマトリクス型表示装置の製造方法において、前
記マスクの前記分割部の一端辺は前記第１対向電極に第
１対向電位給電端子を形成するために前記第１開口から
延在される第１切欠部が、前記分割部の前記一端辺に対
向する他の一端辺には前記第２対向電極に第２対向電位
給電端子を形成するために前記第２開口から延在される
第２切欠部が、それぞれ交互に形成されていることを特
徴としている。
【００２２】
【作 用】請求項１のアクティブマトリクス型液晶表示
装置によれば、対向基板の対向電極には、対向電極の一
端辺に設けた第１対向電位給電端子と、対向電極の一端
辺と対向する他の一端辺に設けた第２対向電位給電端子
とを備えているため、対向電極が大サイズとなっても、
対向電極には十分な給電が成される。
装置によれば、対向基板の対向電極には、対向電極の一
端辺に設けた第１対向電位給電端子と、対向電極の一端
辺と対向する他の一端辺に設けた第２対向電位給電端子
とを備えているため、対向電極が大サイズとなっても、
対向電極には十分な給電が成される。
【００２３】これにより、例えば、対向電極の電位を基
準電位に対して一水平走査期間あるいは複数の水平走査
期間毎に極性反転させ小信号振幅化を達成する、いわゆ
るコモン反転駆動等を行っても、表示画像が劣化するこ
とがない。
準電位に対して一水平走査期間あるいは複数の水平走査
期間毎に極性反転させ小信号振幅化を達成する、いわゆ
るコモン反転駆動等を行っても、表示画像が劣化するこ
とがない。
【００２４】また、対向電極に設けた第１対向電位給電
端子と第２対向電位給電端子とは、線対称位置からずれ
て形成されているため、対向電極電位の面内不均一は一
層解消され、良好な表示画像が得られる。
端子と第２対向電位給電端子とは、線対称位置からずれ
て形成されているため、対向電極電位の面内不均一は一
層解消され、良好な表示画像が得られる。
【００２５】請求項２のアクティブマトリクス型表示装
置は、第１対向電位給電端子が、対向電極の一端辺から
突出し、第２対向電位給電端子が、他の一端辺から突出
している。これにより、前記第１対向電位給電端子及び
前記第２対向電位給電端子に対し、駆動回路側からの配
線を行いやすい。
置は、第１対向電位給電端子が、対向電極の一端辺から
突出し、第２対向電位給電端子が、他の一端辺から突出
している。これにより、前記第１対向電位給電端子及び
前記第２対向電位給電端子に対し、駆動回路側からの配
線を行いやすい。
【００２６】請求項３のアクティブマトリクス型表示装
置は、第１対向電位給電端子及び第２対向電位給電端子
が、光変調層を収納するシール剤領域から突出してい
る。これにより、前記第１対向電位給電端子及び前記第
２対向電位給電端子に対し、トランスファを容易に配置
することができ、また光変調層がトランスファからの不
純物の影響を受けにくくすることができる。
置は、第１対向電位給電端子及び第２対向電位給電端子
が、光変調層を収納するシール剤領域から突出してい
る。これにより、前記第１対向電位給電端子及び前記第
２対向電位給電端子に対し、トランスファを容易に配置
することができ、また光変調層がトランスファからの不
純物の影響を受けにくくすることができる。
【００２７】請求項４のアクティブマトリクス型表示装
置は、第１対向電位給電端子及び第２対向電位給電端子
が、光変調層を収納するシール剤領域の内部に形成され
ている。これにより、表示装置の周縁部の大きさを小さ
くすることをできる。
置は、第１対向電位給電端子及び第２対向電位給電端子
が、光変調層を収納するシール剤領域の内部に形成され
ている。これにより、表示装置の周縁部の大きさを小さ
くすることをできる。
【００２８】請求項５のアクティブマトリクス型表示装
置は、第１対向電位給電端子及び第２対向電位給電端子
が、表示装置の画面長手方向の両端辺に形成されてい
る。これにより、駆動回路を画面長手方向の端辺に沿っ
て設けることができ、対向電極に給電できる。
置は、第１対向電位給電端子及び第２対向電位給電端子
が、表示装置の画面長手方向の両端辺に形成されてい
る。これにより、駆動回路を画面長手方向の端辺に沿っ
て設けることができ、対向電極に給電できる。
【００２９】請求項６のアクティブマトリクス型表示装
置は、第１対向電位給電端子及び第対向電位給電端子
が、表示装置の画面短手方向の両端辺に形成されてい
る。これにより、駆動回路を画面長手方向に沿って設
け、アレイ基板上で画面短手方向に配線すれば、画面短
手方向の額縁サイズを小さくできる。
置は、第１対向電位給電端子及び第対向電位給電端子
が、表示装置の画面短手方向の両端辺に形成されてい
る。これにより、駆動回路を画面長手方向に沿って設
け、アレイ基板上で画面短手方向に配線すれば、画面短
手方向の額縁サイズを小さくできる。
【００３０】請求項７のアクティブマトリクス型表示装
置は、第１対向電位給電端子及び第２対向電位給電端子
が、表示装置の画面の四周端辺に形成されている。これ
により、対向電極電位の面内ばらつきをより小さくする
ことができる。
置は、第１対向電位給電端子及び第２対向電位給電端子
が、表示装置の画面の四周端辺に形成されている。これ
により、対向電極電位の面内ばらつきをより小さくする
ことができる。
【００３１】請求項８のアクティブマトリクス型表示装
置は、マトリクス状の遮光膜が、アレイ基板に形成され
ている。これにより、対向基板側に遮光膜が不要であ
り、位置合わせの自由度を開口率に影響なく大きくする
ことができる。すなわち、開口率は、アレイ基板側で決
定され、対向基板の位置合わせに左右されない。
置は、マトリクス状の遮光膜が、アレイ基板に形成され
ている。これにより、対向基板側に遮光膜が不要であ
り、位置合わせの自由度を開口率に影響なく大きくする
ことができる。すなわち、開口率は、アレイ基板側で決
定され、対向基板の位置合わせに左右されない。
【００３２】請求項９のアクティブマトリクス型表示装
置は、カラーフィルタが、アレイ基板に形成されてい
る。これにより、対向基板側にカラーフィルタが不要で
あり、位置合わせの自由度を開口率に影響なく大きくす
ることができる。
置は、カラーフィルタが、アレイ基板に形成されてい
る。これにより、対向基板側にカラーフィルタが不要で
あり、位置合わせの自由度を開口率に影響なく大きくす
ることができる。
【００３３】請求項１０のアクティブマトリクス型表示
装置の製造方法は、前記請求項２のアクティブマトリク
ス型表示装置を製造する方法である。
装置の製造方法は、前記請求項２のアクティブマトリク
ス型表示装置を製造する方法である。
【００３４】すなわち、一絶縁基板上に複数の対向電極
を形成するに際し、複数の開口に分割するマスクの分割
部に、対向電位給電端子を得るための切欠部が両端辺側
から交互に配置されるため、分割部幅が広くとれ、これ
により基板の利用効率を高め、パターン不良等の発生が
防止できる。
を形成するに際し、複数の開口に分割するマスクの分割
部に、対向電位給電端子を得るための切欠部が両端辺側
から交互に配置されるため、分割部幅が広くとれ、これ
により基板の利用効率を高め、パターン不良等の発生が
防止できる。
【００３５】
（第１の実施例）以下、本発明の第１の実施例のアクテ
ィブマトリクス型液晶表示装置（以下、単に「液晶表示
装置」という）(1) について図面を参照して詳細に説明
する。
ィブマトリクス型液晶表示装置（以下、単に「液晶表示
装置」という）(1) について図面を参照して詳細に説明
する。
【００３６】この液晶表示装置(1) は、図１の概略斜視
図を示すように、ノーマリーホワイト・モードの光透過
型の液晶表示装置(1) であって、カラー表示が可能に構
成された対角１０．４インチの大きさの表示領域(2) を
備えている。
図を示すように、ノーマリーホワイト・モードの光透過
型の液晶表示装置(1) であって、カラー表示が可能に構
成された対角１０．４インチの大きさの表示領域(2) を
備えている。
【００３７】この液晶表示装置(1) は、液晶パネル(3)
と、液晶パネル(3) を駆動するための信号線駆動回路基
板(5a)、走査線駆動回路基板(5b)、各駆動回路基板(5
a),(5b) と液晶パネル(3) とを電気的に接続するための
ＴＡＢ(7a),(7b) とを備えている。
と、液晶パネル(3) を駆動するための信号線駆動回路基
板(5a)、走査線駆動回路基板(5b)、各駆動回路基板(5
a),(5b) と液晶パネル(3) とを電気的に接続するための
ＴＡＢ(7a),(7b) とを備えている。
【００３８】液晶パネル(3) は、図２と図３に示すよう
に、アレイ基板(101) と対向基板(301) とが、それぞれ
配向膜(403),(405) を介して、光変調層として液晶組成
物(401) を保持し、図示しないがシール剤によって互い
に保持されている。各基板(101),(301) の外表面には、
それぞれ偏光板(407),(409) が、その偏光軸が直交する
ように配置されて成っている。
に、アレイ基板(101) と対向基板(301) とが、それぞれ
配向膜(403),(405) を介して、光変調層として液晶組成
物(401) を保持し、図示しないがシール剤によって互い
に保持されている。各基板(101),(301) の外表面には、
それぞれ偏光板(407),(409) が、その偏光軸が直交する
ように配置されて成っている。
【００３９】なお、液晶組成物(401) として、ツイスト
・ネマチック型を用いるが、これの代わりに、透明樹脂
と液晶材料との混合系を用いた高分子分散型液晶を用い
るのであれば、配向膜(403),(405) や偏光板(407),(40
9) を設ける必要はない。
・ネマチック型を用いるが、これの代わりに、透明樹脂
と液晶材料との混合系を用いた高分子分散型液晶を用い
るのであれば、配向膜(403),(405) や偏光板(407),(40
9) を設ける必要はない。
【００４０】アレイ基板(101) は、ガラス基板(100) 上
に、６４０×３本の信号線(103) と４８０本の走査線(1
11) とが略直交するように配置されている。各信号線(1
03)と各走査線(111) との交点近傍には、それぞれＴＦ
Ｔ(121) を介して画素電極(151) が配置されている。
に、６４０×３本の信号線(103) と４８０本の走査線(1
11) とが略直交するように配置されている。各信号線(1
03)と各走査線(111) との交点近傍には、それぞれＴＦ
Ｔ(121) を介して画素電極(151) が配置されている。
【００４１】この実施例では、信号線(103) 及び走査線
(111) は、それぞれ配線の片側に引き出され、図１に示
すようにＴＡＢ(7a),(7b) を介してそれぞれの駆動回路
基板(5a),(5b) から駆動電圧が供給される。
(111) は、それぞれ配線の片側に引き出され、図１に示
すようにＴＡＢ(7a),(7b) を介してそれぞれの駆動回路
基板(5a),(5b) から駆動電圧が供給される。
【００４２】このＴＦＴ(121) は、図２と図３に示すよ
うに、走査線(111) 自体をゲート電極とし、この上に酸
化シリコンと窒化シリコンとが積層されて成る絶縁膜(1
13)が配置され、絶縁膜(113) 上にはａ−Ｓｉ：Ｈ膜が
半導体膜(115) として配置されている。また、この半導
体膜(115) 上には、走査線(111) に自己整合されて成る
チャネル保護膜(117) として窒化シリコンが配置されて
いる。そして、半導体膜(115) は、低抵抗半導体膜(11
9) として配置されるｎ+ 型ａ−Ｓｉ：Ｈ膜及びソース
電極(131) を介してそれぞれの画素電極(151) に電気的
に接続されている。また、半導体膜(115) は、低抵抗半
導体膜(119) として配置されるｎ+ 型ａ−Ｓｉ：Ｈ膜及
び信号線(103) から延在されたドレイン電極(105) を介
して信号線(103) に電気的に接続されている。
うに、走査線(111) 自体をゲート電極とし、この上に酸
化シリコンと窒化シリコンとが積層されて成る絶縁膜(1
13)が配置され、絶縁膜(113) 上にはａ−Ｓｉ：Ｈ膜が
半導体膜(115) として配置されている。また、この半導
体膜(115) 上には、走査線(111) に自己整合されて成る
チャネル保護膜(117) として窒化シリコンが配置されて
いる。そして、半導体膜(115) は、低抵抗半導体膜(11
9) として配置されるｎ+ 型ａ−Ｓｉ：Ｈ膜及びソース
電極(131) を介してそれぞれの画素電極(151) に電気的
に接続されている。また、半導体膜(115) は、低抵抗半
導体膜(119) として配置されるｎ+ 型ａ−Ｓｉ：Ｈ膜及
び信号線(103) から延在されたドレイン電極(105) を介
して信号線(103) に電気的に接続されている。
【００４３】また、走査線(111) に対し略平行に、しか
も画素電極(151) と重複する領域を有して配置される補
助容量線(161) を備え、画素電極(151) と補助容量線(1
61)とによって補助容量（Ｃｓ）が形成されている。
も画素電極(151) と重複する領域を有して配置される補
助容量線(161) を備え、画素電極(151) と補助容量線(1
61)とによって補助容量（Ｃｓ）が形成されている。
【００４４】対向基板(301) は、透明なガラス基板(30
0) 上に、アレイ基板(101) に形成されるＴＦＴ(121)
、信号線(103) と画素電極(151) との間隙、走査線(11
1) と画素電極(151) との間隙のそれぞれを遮光するた
め、マトリクス状のクロム（Ｃｒ）の酸化膜からなる第
１の遮光層(311) 、この第１の遮光層(311) 上に積層さ
れるクロム（Ｃｒ）から成る第２の遮光層(321) を備え
ている。そして、第１、第２の遮光層(311),(321) 間に
はカラー表示を実現するための赤（Ｒ），緑（Ｇ），青
（Ｂ）の３原色で構成されるカラーフィルタ、すなわ
ち、色部(331) がそれぞれ設けられ、有機保護膜(341)
を介してＩＴＯから成る対向電極(351) が配置されて構
成されている。
0) 上に、アレイ基板(101) に形成されるＴＦＴ(121)
、信号線(103) と画素電極(151) との間隙、走査線(11
1) と画素電極(151) との間隙のそれぞれを遮光するた
め、マトリクス状のクロム（Ｃｒ）の酸化膜からなる第
１の遮光層(311) 、この第１の遮光層(311) 上に積層さ
れるクロム（Ｃｒ）から成る第２の遮光層(321) を備え
ている。そして、第１、第２の遮光層(311),(321) 間に
はカラー表示を実現するための赤（Ｒ），緑（Ｇ），青
（Ｂ）の３原色で構成されるカラーフィルタ、すなわ
ち、色部(331) がそれぞれ設けられ、有機保護膜(341)
を介してＩＴＯから成る対向電極(351) が配置されて構
成されている。
【００４５】この対向電極(351) について、図４を参照
して説明する。
して説明する。
【００４６】図４（ａ）は、対向基板(301) を偏光板(4
09) 側（図３参照）から見た図であり、図中上側に図１
に示すように信号線駆動回路基板(5a)がＴＡＢ(7a)を介
してアレイ基板(101) に電気的に接続され、図中左側に
走査線駆動回路基板(5b)がＴＡＢ(7b)を介してアレイ基
板(101) に電気的に接続される。
09) 側（図３参照）から見た図であり、図中上側に図１
に示すように信号線駆動回路基板(5a)がＴＡＢ(7a)を介
してアレイ基板(101) に電気的に接続され、図中左側に
走査線駆動回路基板(5b)がＴＡＢ(7b)を介してアレイ基
板(101) に電気的に接続される。
【００４７】対向電極(351) は、信号線駆動回路基板(5
a)、すなわち、画面の長手方向において対向する一端辺
(351a)から７カ所の第１対向電位給電端子(353-1),…,
(353-7)が突出して形成され、また一端辺(351a)に相対
する他の一端辺(351b)に９カ所の第２対向電位給電端子
(355-1),…,(355-9)が突出して形成されている。
a)、すなわち、画面の長手方向において対向する一端辺
(351a)から７カ所の第１対向電位給電端子(353-1),…,
(353-7)が突出して形成され、また一端辺(351a)に相対
する他の一端辺(351b)に９カ所の第２対向電位給電端子
(355-1),…,(355-9)が突出して形成されている。
【００４８】これら第１対向電位給電端子(353-1),…,
(353-7)及び第２対向電位給電端子(355-1),…,(355-9)
は、シール剤配置領域(451) から外方に突出して形成さ
れている。また、第１対向電位給電端子(353-1),…,(35
3-7)と第２対向電位給電端子(355-1),…,(355-9)とは、
互いに線対称位置からずれて配置されている。この実施
例において、第１対向電位給電端子(353-1),…,(353-7)
及び第２対向電位給電端子(355-1),…,(355-9)のそれぞ
れをシール剤配置領域(451) から外方で形成したのは、
シール剤配置領域(451) 内方あるいはシール剤配置領域
(451) 中に形成する場合に比べ、トランスファの配置が
容易であり、且つトランスファによる液晶組成物(401)
の劣化を軽減できる。
(353-7)及び第２対向電位給電端子(355-1),…,(355-9)
は、シール剤配置領域(451) から外方に突出して形成さ
れている。また、第１対向電位給電端子(353-1),…,(35
3-7)と第２対向電位給電端子(355-1),…,(355-9)とは、
互いに線対称位置からずれて配置されている。この実施
例において、第１対向電位給電端子(353-1),…,(353-7)
及び第２対向電位給電端子(355-1),…,(355-9)のそれぞ
れをシール剤配置領域(451) から外方で形成したのは、
シール剤配置領域(451) 内方あるいはシール剤配置領域
(451) 中に形成する場合に比べ、トランスファの配置が
容易であり、且つトランスファによる液晶組成物(401)
の劣化を軽減できる。
【００４９】このようにして配置された第１対向電位給
電端子(353-1),…,(353-7)のそれぞれは、図４（ｂ）に
示すアレイ基板(101) に形成された第１対向電極接続パ
ッド(107) にトランスファとして銀ペーストを介して電
気的に接続され、信号線(103) に沿って、各信号線(10
3) と同時に形成される第１対向電極接続配線(108) を
介してアレイ基板(101) の端辺まで引き延ばされてい
る。そして、第１対向電極接続配線(108) は、信号線(1
03) と図１に示す信号線駆動回路基板(5a)とを電気的に
接続するＴＡＢ(7a)の一部を介して信号線駆動回路基板
(5a)に電気的に接続されている。
電端子(353-1),…,(353-7)のそれぞれは、図４（ｂ）に
示すアレイ基板(101) に形成された第１対向電極接続パ
ッド(107) にトランスファとして銀ペーストを介して電
気的に接続され、信号線(103) に沿って、各信号線(10
3) と同時に形成される第１対向電極接続配線(108) を
介してアレイ基板(101) の端辺まで引き延ばされてい
る。そして、第１対向電極接続配線(108) は、信号線(1
03) と図１に示す信号線駆動回路基板(5a)とを電気的に
接続するＴＡＢ(7a)の一部を介して信号線駆動回路基板
(5a)に電気的に接続されている。
【００５０】以上のように、この液晶表示装置(1) によ
れば、対向電極(351) の対向する両端辺(351a),(351b)
に複数の第１対向電位給電端子(353-1),…,(353-7)及び
第２対向電位給電端子(355-1),…,(355-9)が形成されて
いるため、対向電極(351) に対する給電が十分に達成さ
れる。しかも、第１対向電位給電端子(353-1),…,(353-
7)と第２対向電位給電端子(355-1),…,(355-9)とは、線
対称位置からずれて形成されているため、対向電極(35
1) の面内での電位のばらつきが一層解消され、これに
より良好な表示画像を得ることができた。
れば、対向電極(351) の対向する両端辺(351a),(351b)
に複数の第１対向電位給電端子(353-1),…,(353-7)及び
第２対向電位給電端子(355-1),…,(355-9)が形成されて
いるため、対向電極(351) に対する給電が十分に達成さ
れる。しかも、第１対向電位給電端子(353-1),…,(353-
7)と第２対向電位給電端子(355-1),…,(355-9)とは、線
対称位置からずれて形成されているため、対向電極(35
1) の面内での電位のばらつきが一層解消され、これに
より良好な表示画像を得ることができた。
【００５１】また、この液晶表示装置(1) によれば、対
向電極(351) の電位を基準電位に対して一水平走査期間
あるいは複数の水平走査期間毎に極性反転させる、いわ
ゆるコモン反転駆動等を行っても、表示画像が劣化する
ことがなかった。
向電極(351) の電位を基準電位に対して一水平走査期間
あるいは複数の水平走査期間毎に極性反転させる、いわ
ゆるコモン反転駆動等を行っても、表示画像が劣化する
ことがなかった。
【００５２】次に、このようにして構成される液晶表示
装置(1) の、対向基板(301) の形成方法について図５を
参照して説明する。
装置(1) の、対向基板(301) の形成方法について図５を
参照して説明する。
【００５３】３６０ｍｍ×４６５ｍｍのガラス基板を用
意し、このガラス基板から４枚の対向基板(301) を形成
する場合について説明する。
意し、このガラス基板から４枚の対向基板(301) を形成
する場合について説明する。
【００５４】まず、図５（ａ）に示すように、ガラス基
板(500) 上に、図２〜３に示すアレイ基板(101) に形成
されるＴＦＴ(121) 、信号線(103) と画素電極(151) と
の間隙、及び走査線(111) と画素電極(151) との間隙の
それぞれを遮光するため、マトリクス状のクロム（Ｃ
ｒ）酸化膜から成る第１の遮光層(311) 及び第１の遮光
層(311) 上に積層されるクロム（Ｃｒ）から成る第２の
遮光層(321) をそれぞれ形成する。ここで、第１の遮光
層(311) をクロム（Ｃｒ）の酸化膜で構成したのは、視
認面での外光の反射によるコントラストの低下を防止す
るためである。また、遮光層としては、この実施例の如
く金属で形成するばかりでなく、例えば黒色樹脂等で形
成しても良い。なお、上記した第１、第２の遮光層(31
1),(321) の形成時に位置合わせマークを形成しておく
と良い。
板(500) 上に、図２〜３に示すアレイ基板(101) に形成
されるＴＦＴ(121) 、信号線(103) と画素電極(151) と
の間隙、及び走査線(111) と画素電極(151) との間隙の
それぞれを遮光するため、マトリクス状のクロム（Ｃ
ｒ）酸化膜から成る第１の遮光層(311) 及び第１の遮光
層(311) 上に積層されるクロム（Ｃｒ）から成る第２の
遮光層(321) をそれぞれ形成する。ここで、第１の遮光
層(311) をクロム（Ｃｒ）の酸化膜で構成したのは、視
認面での外光の反射によるコントラストの低下を防止す
るためである。また、遮光層としては、この実施例の如
く金属で形成するばかりでなく、例えば黒色樹脂等で形
成しても良い。なお、上記した第１、第２の遮光層(31
1),(321) の形成時に位置合わせマークを形成しておく
と良い。
【００５５】次に、同図（ｂ）に示す隣接する第１、第
２の遮光層(311),(321) 間のガラス基板(500) 上に、赤
（Ｒ），緑（Ｇ），青（Ｂ）の３原色で構成される色部
(331) をそれぞれ形成する。この色部(331) は、顔料が
分散されたインクを印刷法あるいはフォトグラフィ法で
構成しても良いし、また染色法で構成しても良い。更
に、各色部(331) に対応する電極を構成しておけば、電
着法で構成することもできる。この他にも、インクを噴
出させて各色部(331) を形成しても良い。
２の遮光層(311),(321) 間のガラス基板(500) 上に、赤
（Ｒ），緑（Ｇ），青（Ｂ）の３原色で構成される色部
(331) をそれぞれ形成する。この色部(331) は、顔料が
分散されたインクを印刷法あるいはフォトグラフィ法で
構成しても良いし、また染色法で構成しても良い。更
に、各色部(331) に対応する電極を構成しておけば、電
着法で構成することもできる。この他にも、インクを噴
出させて各色部(331) を形成しても良い。
【００５６】そして、同図（ｃ）に示すように、第１、
第２の遮光層(311),(321) 上及び各色部(331) 上に、ア
クリル系樹脂からなる有機保護膜(341) を形成する。こ
の有機保護膜(341) は、対向電極を形成するに際して平
滑化層として機能すると共に、各色部(331) から不純物
が液晶組成物(401) 内に侵入することを阻止するよう機
能する。尚、各色部(331) の充分な平滑性が得られてい
れば、有機保護膜(341) は設けなくても構わない。
第２の遮光層(311),(321) 上及び各色部(331) 上に、ア
クリル系樹脂からなる有機保護膜(341) を形成する。こ
の有機保護膜(341) は、対向電極を形成するに際して平
滑化層として機能すると共に、各色部(331) から不純物
が液晶組成物(401) 内に侵入することを阻止するよう機
能する。尚、各色部(331) の充分な平滑性が得られてい
れば、有機保護膜(341) は設けなくても構わない。
【００５７】この後、図６（ａ），（ｂ）に示すステン
レスから成るスパッタ・マスク(601) を位置合わせし、
図示しないがスパッタ装置内でＩＴＯ膜を１５００オン
グストロームの膜厚で堆積し、図５（ｄ）に示すように
対向電極(351) を形成する。この対向電極(351) の膜厚
としては、対向電極(351) 自体の抵抗、モアレ発生の防
止を考慮して、１３００〜１７００オングストロームの
膜厚に制御することが好ましい。
レスから成るスパッタ・マスク(601) を位置合わせし、
図示しないがスパッタ装置内でＩＴＯ膜を１５００オン
グストロームの膜厚で堆積し、図５（ｄ）に示すように
対向電極(351) を形成する。この対向電極(351) の膜厚
としては、対向電極(351) 自体の抵抗、モアレ発生の防
止を考慮して、１３００〜１７００オングストロームの
膜厚に制御することが好ましい。
【００５８】このスパッタ・マスク(601) は、図６
（ａ）に示すように、上記したガラス基板(500) と略等
しい外形サイズ、即ち３６０ｍｍ×４６５ｍｍの外形サ
イズを有し、ガラス基板(500) から４枚の対向基板(30
1) が形成されるように、対向電極(351) と同形状の４
つの開口(603-1),(603-2),(603-3),(603-4) を備えてい
る。この第１開口(603-1) と第３開口(603-3) とは、ス
パッタ・マスク(601) の細線部(611) によって分割さ
れ、また第２開口(603-2) と第３開口(603-4) とは細線
部(613) によって分割されている。
（ａ）に示すように、上記したガラス基板(500) と略等
しい外形サイズ、即ち３６０ｍｍ×４６５ｍｍの外形サ
イズを有し、ガラス基板(500) から４枚の対向基板(30
1) が形成されるように、対向電極(351) と同形状の４
つの開口(603-1),(603-2),(603-3),(603-4) を備えてい
る。この第１開口(603-1) と第３開口(603-3) とは、ス
パッタ・マスク(601) の細線部(611) によって分割さ
れ、また第２開口(603-2) と第３開口(603-4) とは細線
部(613) によって分割されている。
【００５９】このスパッタ・マスク(601) には、スパッ
タ・マスク(601) の第１開口(603-1) を規定する一端辺
から、対向電極(351) の第１対向電位給電端子(353-1)
，…，(353-7) に対応して、外方に延在される第１切
欠部(643-1),…,(643-7)が形成されている。また、スパ
ッタ・マスク(601) には、第１開口(603-1) を規定する
前述の一端辺と対向する他の一端辺から、対向電極(35
1) の第２対向電位給電端子(355-1),…,(355-9)に対応
して、外方に延在される第２切欠部(645-1),…,(645-9)
が形成されている。なお、他の開口(603-2),(603-3),(6
03-4) からも、同様に第１切欠部(643-1),…,(643-7)及
び第２切欠部(645-1),…,(645-9)が延在されている。
タ・マスク(601) の第１開口(603-1) を規定する一端辺
から、対向電極(351) の第１対向電位給電端子(353-1)
，…，(353-7) に対応して、外方に延在される第１切
欠部(643-1),…,(643-7)が形成されている。また、スパ
ッタ・マスク(601) には、第１開口(603-1) を規定する
前述の一端辺と対向する他の一端辺から、対向電極(35
1) の第２対向電位給電端子(355-1),…,(355-9)に対応
して、外方に延在される第２切欠部(645-1),…,(645-9)
が形成されている。なお、他の開口(603-2),(603-3),(6
03-4) からも、同様に第１切欠部(643-1),…,(643-7)及
び第２切欠部(645-1),…,(645-9)が延在されている。
【００６０】そして、スパッタ・マスク(601) に形成さ
れる第１切欠部(643-1),…,(643-7)及び第２切欠部(645
-1),…,(645-9)は、対向電極(351) の第１対向電位給電
端子(353-1) ，…，(353-7) 及び第２対向電位給電端子
(355-1),…,(355-9)に対応するものであって、互いに非
線対称位置に配置されている。即ち、第１開口(603-1)
と第３開口(603-3) とを分割する細線部(611) 、第２開
口(603-2) と第３開口(603-4) とを分割する細線部(61
3) には、その両端辺側から第１切欠部(643-1),…,(643
-7)及び第２切欠部(645-1),…,(645-9)が交互に延在さ
れるよう配置されている。
れる第１切欠部(643-1),…,(643-7)及び第２切欠部(645
-1),…,(645-9)は、対向電極(351) の第１対向電位給電
端子(353-1) ，…，(353-7) 及び第２対向電位給電端子
(355-1),…,(355-9)に対応するものであって、互いに非
線対称位置に配置されている。即ち、第１開口(603-1)
と第３開口(603-3) とを分割する細線部(611) 、第２開
口(603-2) と第３開口(603-4) とを分割する細線部(61
3) には、その両端辺側から第１切欠部(643-1),…,(643
-7)及び第２切欠部(645-1),…,(645-9)が交互に延在さ
れるよう配置されている。
【００６１】従って、スパッタ・マスク(601) の第１開
口(603-1) と第３開口(603-3) との間の細線部(611) 、
第２開口(603-2) と第４開口(603-4) との間の細線部(6
13)には、第１切欠部(643-1),…,(643-7)と第２切欠部
(645-1),…,(645-9)とが、相対する位置に配置されるこ
となく、交互に配置されるため、図６（ｂ）に示すよう
に、その最短幅領域でも５．５ｍｍ以上のマスク幅を有
している。
口(603-1) と第３開口(603-3) との間の細線部(611) 、
第２開口(603-2) と第４開口(603-4) との間の細線部(6
13)には、第１切欠部(643-1),…,(643-7)と第２切欠部
(645-1),…,(645-9)とが、相対する位置に配置されるこ
となく、交互に配置されるため、図６（ｂ）に示すよう
に、その最短幅領域でも５．５ｍｍ以上のマスク幅を有
している。
【００６２】このため、ＩＴＯ膜の成膜不良などが発生
することなく、またスパッタ・マスク(601) の剛性も十
分に確保できるため、スパッタ・マスク(601) のたわみ
等も抑えることができ、精度良く対向電極(351) を形成
することができる。
することなく、またスパッタ・マスク(601) の剛性も十
分に確保できるため、スパッタ・マスク(601) のたわみ
等も抑えることができ、精度良く対向電極(351) を形成
することができる。
【００６３】この実施例では、スパッタ・マスク(601)
の細線部(611),(613) の最短幅領域のマスク幅を５．５
ｍｍ程度としたが、スパッタ・マスク(601) の最短幅領
域のマスク幅として１．８ｍｍ以上であれば良好な成膜
を実現することができる。
の細線部(611),(613) の最短幅領域のマスク幅を５．５
ｍｍ程度としたが、スパッタ・マスク(601) の最短幅領
域のマスク幅として１．８ｍｍ以上であれば良好な成膜
を実現することができる。
【００６４】以上のようにして対向基板集合体(501) を
形成した後、図示しないが、これをスクライブして４枚
の対向基板(301) を取り出す。この後は、常法にしたが
って、配向膜(405) を形成し、アレイ基板(101) と対向
基板(301) とを図４（ａ）に示すシール剤配置領域(45
1) にシール剤を配置して貼り合わせし、液晶材料(401)
を注入し封止する。そして、図１に示すＴＡＢ(7a),(7
b) を異方性導電膜（図示せず）を介して熱圧着するこ
とにより接続し、またＴＡＢ(7a),(7b) の入力配線（図
示せず）を駆動回路基板(5a),(5b) に半田によって接続
する。
形成した後、図示しないが、これをスクライブして４枚
の対向基板(301) を取り出す。この後は、常法にしたが
って、配向膜(405) を形成し、アレイ基板(101) と対向
基板(301) とを図４（ａ）に示すシール剤配置領域(45
1) にシール剤を配置して貼り合わせし、液晶材料(401)
を注入し封止する。そして、図１に示すＴＡＢ(7a),(7
b) を異方性導電膜（図示せず）を介して熱圧着するこ
とにより接続し、またＴＡＢ(7a),(7b) の入力配線（図
示せず）を駆動回路基板(5a),(5b) に半田によって接続
する。
【００６５】このようして、この実施例の液晶表示装置
(1) を完成させた。
(1) を完成させた。
【００６６】以上のように、この実施例の液晶表示装置
(1) によれば、対向電極(351) の第１対向電位給電端子
(353-1) ，…，(353-7) 及び第２対向電位給電端子(355
-1),…,(355-9)が、互いに線対称位置に配置されていな
い。このため、スパッタ・マスク(601) の細線部(611),
(613) は、両端辺側から第１切欠部(643-1),…,(643-7)
及び第２切欠部(645-1),…,(645-9)が交互に延在される
よう配置されている。このため、細線部(611),(613) の
最短幅領域でも５．５ｍｍ以上のマスク幅に形成でき、
これによりＩＴＯ膜の成膜不良なく精度良く対向電極(3
51) を形成することができた。
(1) によれば、対向電極(351) の第１対向電位給電端子
(353-1) ，…，(353-7) 及び第２対向電位給電端子(355
-1),…,(355-9)が、互いに線対称位置に配置されていな
い。このため、スパッタ・マスク(601) の細線部(611),
(613) は、両端辺側から第１切欠部(643-1),…,(643-7)
及び第２切欠部(645-1),…,(645-9)が交互に延在される
よう配置されている。このため、細線部(611),(613) の
最短幅領域でも５．５ｍｍ以上のマスク幅に形成でき、
これによりＩＴＯ膜の成膜不良なく精度良く対向電極(3
51) を形成することができた。
【００６７】上述した実施例では、対向電極(351) をＩ
ＴＯ膜で構成する場合について説明したが、透明導電材
料であればＩＴＯ膜に限定されるものではなく、また蒸
着やＣＶＤにより成膜しても良い。
ＴＯ膜で構成する場合について説明したが、透明導電材
料であればＩＴＯ膜に限定されるものではなく、また蒸
着やＣＶＤにより成膜しても良い。
【００６８】また、スパッタ・マスク(601) としては、
ステンレスで構成する場合について説明したが、この他
にも剛性や熱膨張等を考慮すれば、銅を主体とした種々
の合金等も使用可能である。
ステンレスで構成する場合について説明したが、この他
にも剛性や熱膨張等を考慮すれば、銅を主体とした種々
の合金等も使用可能である。
【００６９】（第２の実施例）図７は、第２の実施例の
対向電極(351) を示すものであり、第１の実施例の対向
電極(351) と異なる点は、第１対向電位給電端子と、第
２対向電位給電端子の形成される位置が異なる点にあ
る。
対向電極(351) を示すものであり、第１の実施例の対向
電極(351) と異なる点は、第１対向電位給電端子と、第
２対向電位給電端子の形成される位置が異なる点にあ
る。
【００７０】すなわち、信号線駆動回路基板(5a)、すな
わち、画面の短手方向の一端辺(351c)とそれに対向する
他の一端辺(351d)に、第１対向電位給電端子(353-1),
…,(35-4) と第２対向電位給電端子(355-1),…,(355-4)
とが、それぞれ突出して形成されている。また、第１
対向電位給電端子(353-1),…,(353-4) と第２対向電位
給電端子(355-1),…,(355-4) とは、互いに線対称位置
からずれて配置されている。
わち、画面の短手方向の一端辺(351c)とそれに対向する
他の一端辺(351d)に、第１対向電位給電端子(353-1),
…,(35-4) と第２対向電位給電端子(355-1),…,(355-4)
とが、それぞれ突出して形成されている。また、第１
対向電位給電端子(353-1),…,(353-4) と第２対向電位
給電端子(355-1),…,(355-4) とは、互いに線対称位置
からずれて配置されている。
【００７１】図８は、本実施例の対向基板(301) を製造
する場合におけるスパッタ・マスク(601) を示したもの
である。
する場合におけるスパッタ・マスク(601) を示したもの
である。
【００７２】第１の実施例と同様にスパッタ・マスク(6
01) の第１開口部(603-1) から第４開口(603-4) におい
て、対向電極(351) の第１対向電位給電端子(353-1),
…,(35-4) に対応して、外方に延在される第１切欠部(6
43-1),…,(643-4) が形成されている。また、第２対向
電位給電端子(355-1),…,(355-4) に対応して、外方に
延在される第２切欠部(645-1),…,(645-4) が形成され
ている。
01) の第１開口部(603-1) から第４開口(603-4) におい
て、対向電極(351) の第１対向電位給電端子(353-1),
…,(35-4) に対応して、外方に延在される第１切欠部(6
43-1),…,(643-4) が形成されている。また、第２対向
電位給電端子(355-1),…,(355-4) に対応して、外方に
延在される第２切欠部(645-1),…,(645-4) が形成され
ている。
【００７３】（第３の実施例）図９は、対向基板(301)
の第３の実施例であって、第１の実施例と異なる点は、
第１対向電位電極(353) と第２対向電位給電端子(355)
が、対向電極(351) の四周端辺に設けられたことにあ
る。また、それぞれ対向する位置にある第１対向電位給
電端子(353) と第２対向電位給電端子(355) とは、それ
ぞれ線対称からずれた位置に設けられている。
の第３の実施例であって、第１の実施例と異なる点は、
第１対向電位電極(353) と第２対向電位給電端子(355)
が、対向電極(351) の四周端辺に設けられたことにあ
る。また、それぞれ対向する位置にある第１対向電位給
電端子(353) と第２対向電位給電端子(355) とは、それ
ぞれ線対称からずれた位置に設けられている。
【００７４】図１０は、本実施例の対向基板(301) を製
造する際のスパッタ・マスク(601)の平面図であり、第
１開口(603-1) から第４開口(603-4) までには、それぞ
れ第１対向給電端子(353) と第２対向電位給電端子(35
5) と対応する位置に第１切欠部(643) と第２切欠部(64
5) が設けられている。
造する際のスパッタ・マスク(601)の平面図であり、第
１開口(603-1) から第４開口(603-4) までには、それぞ
れ第１対向給電端子(353) と第２対向電位給電端子(35
5) と対応する位置に第１切欠部(643) と第２切欠部(64
5) が設けられている。
【００７５】（第４の実施例）図１１及び図１２に基い
て、第４の実施例の液晶表示装置１について説明する。
て、第４の実施例の液晶表示装置１について説明する。
【００７６】本実施例は、アレイ基板(101) に遮光膜(7
01) を設けた構造（BM-ON-ARRAY 構造）の液晶表示装置
１であり、また、対向電位給電端子が対向電極(351) の
端辺から突出して形成されことに特徴がある。
01) を設けた構造（BM-ON-ARRAY 構造）の液晶表示装置
１であり、また、対向電位給電端子が対向電極(351) の
端辺から突出して形成されことに特徴がある。
【００７７】まず、アレイ基板(101) の表示領域(2) の
構造について説明する。
構造について説明する。
【００７８】遮光膜(701) は、クロム（Ｃｒ）等の金属
よりなり、保護膜（ＳｉＮｘ：シリコンナイトライド）
(707) の上に設けることにより信号線(103) と画素電極
(151) との間隙、走査線(111) と画素電極(151) との間
隙及びＴＦＴ(121) を遮光する。そして、この遮光膜(7
01) 上に配向膜(403) を設ける。
よりなり、保護膜（ＳｉＮｘ：シリコンナイトライド）
(707) の上に設けることにより信号線(103) と画素電極
(151) との間隙、走査線(111) と画素電極(151) との間
隙及びＴＦＴ(121) を遮光する。そして、この遮光膜(7
01) 上に配向膜(403) を設ける。
【００７９】なお、遮光膜(701) は金属の他に、光遮蔽
性の樹脂（例えば、カーボンが樹脂中に分散されてなる
もの）、あるいは黒鉛等により形成されても構わない。
性の樹脂（例えば、カーボンが樹脂中に分散されてなる
もの）、あるいは黒鉛等により形成されても構わない。
【００８０】このようにしてアレイ基板(101) を構成す
れば、対向基板(301) 側に遮光膜が不要であり、位置合
わせの自由度を開口率に影響なく大きくすることができ
る。すなわち、開口率は、アレイ基板(101) 側で決定さ
れ、対向基板（301)の位置合わせに左右されない。
れば、対向基板(301) 側に遮光膜が不要であり、位置合
わせの自由度を開口率に影響なく大きくすることができ
る。すなわち、開口率は、アレイ基板(101) 側で決定さ
れ、対向基板（301)の位置合わせに左右されない。
【００８１】さらに、アレイ基板(101) の周辺部(700)
の構造について説明する。
の構造について説明する。
【００８２】アレイ基板(101) に周辺部(700) におい
て、遮光膜(701) 上に配向膜(403) を設ける。また、前
記配向膜(403) の外周部において、対向電極接続配線(7
05) から対向電極接続パッド(703) が露出する開口を含
むように保護膜(707) を形成する。
て、遮光膜(701) 上に配向膜(403) を設ける。また、前
記配向膜(403) の外周部において、対向電極接続配線(7
05) から対向電極接続パッド(703) が露出する開口を含
むように保護膜(707) を形成する。
【００８３】次に、対向基板(301) について説明する。
【００８４】対向基板(301) は、透明なガラス基板(30
0) 上に、赤，緑，青の三原色で構成される色部(331)
をそれぞれ形成する。この色部(331) は、印刷法やフォ
トリソグラフィ法で構成してもよいし、また、染色法で
構成してもよい。さらに、各色部(331) に対応する位置
に電極を構成しておけば、電着法で構成することもでき
る。
0) 上に、赤，緑，青の三原色で構成される色部(331)
をそれぞれ形成する。この色部(331) は、印刷法やフォ
トリソグラフィ法で構成してもよいし、また、染色法で
構成してもよい。さらに、各色部(331) に対応する位置
に電極を構成しておけば、電着法で構成することもでき
る。
【００８５】この色部(331) 上に、有機保護膜(341) を
介して、対向電極(351) を形成する。この場合に、対向
電極(351) に電位を給電するための対向電位給電端子(3
53)は、第１〜第３の実施例と異なり、対向電極(351)
から突出させずに四周辺のどの位置からでも給電が可能
なように額縁状にしておく。そして、対向電極(351)上
に配向膜(405) を形成する。
介して、対向電極(351) を形成する。この場合に、対向
電極(351) に電位を給電するための対向電位給電端子(3
53)は、第１〜第３の実施例と異なり、対向電極(351)
から突出させずに四周辺のどの位置からでも給電が可能
なように額縁状にしておく。そして、対向電極(351)上
に配向膜(405) を形成する。
【００８６】上記液晶表示装置１の製造方法について説
明する。
明する。
【００８７】 アレイ基板(101) の周辺部(700) にお
いて、前記配向膜(403) 及び保護膜(707) の境界部分
が、シール剤配置領域(451) となる。このため、シール
剤配置領域(451) にシール剤(709) をスクリーン印刷に
より配置する。この場合に、アレイ基板(101)(の対向電
極接続端子703) に対応するシール剤配置領域(451) に
は、シール剤(709) が配置されないようにスクリーン印
刷を行い、対向電極接続端子(703) を露出する円筒形の
孔を設ける。シール剤配置領域(451) の幅としては、約
２ｍｍの大きさを設定する。
いて、前記配向膜(403) 及び保護膜(707) の境界部分
が、シール剤配置領域(451) となる。このため、シール
剤配置領域(451) にシール剤(709) をスクリーン印刷に
より配置する。この場合に、アレイ基板(101)(の対向電
極接続端子703) に対応するシール剤配置領域(451) に
は、シール剤(709) が配置されないようにスクリーン印
刷を行い、対向電極接続端子(703) を露出する円筒形の
孔を設ける。シール剤配置領域(451) の幅としては、約
２ｍｍの大きさを設定する。
【００８８】 シール剤配置領域(451) 中の円筒形の
孔に銀ペーストから成るトランスファ(711) を滴下す
る。
孔に銀ペーストから成るトランスファ(711) を滴下す
る。
【００８９】 アレイ基板(101) の上にシール剤(70
9) を介して対向基板(301) を対向配置して重ねる。こ
れにより、対向電極接続端子(703) と対向電位給電端子
(351) とがトランスファ(711) を介して電気的に接続す
る。
9) を介して対向基板(301) を対向配置して重ねる。こ
れにより、対向電極接続端子(703) と対向電位給電端子
(351) とがトランスファ(711) を介して電気的に接続す
る。
【００９０】上記のようにして構成した場合には、シー
ル剤(709) と重複する位置に共通電極である対向電極(3
51) を延在させ、その一部分で対向電極接続端子(703)
とトランスファ(711) を介してコンタクトするように構
成しているため、対向基板(301) に遮光膜が無いにもか
かわらず、対向基板(301) 側のガラス基板(300) が液晶
組成物(401) に対して露出することがない。このため、
液晶組成物(401) 内にガラスからの不純物等が浸入する
ことがなく、これにより長時間の使用に対して良好な表
示品位を維持することができる。
ル剤(709) と重複する位置に共通電極である対向電極(3
51) を延在させ、その一部分で対向電極接続端子(703)
とトランスファ(711) を介してコンタクトするように構
成しているため、対向基板(301) に遮光膜が無いにもか
かわらず、対向基板(301) 側のガラス基板(300) が液晶
組成物(401) に対して露出することがない。このため、
液晶組成物(401) 内にガラスからの不純物等が浸入する
ことがなく、これにより長時間の使用に対して良好な表
示品位を維持することができる。
【００９１】なお、本実施例では色部(331) を対向基板
(301) 側に設けたが、これに代えて、アレイ基板(101)
側に設けてもよい。この場合に、この色部(331) は、印
刷法で構成してもよいし、また、染色法で構成してもよ
い。画素電極(151) を旨く用い、各色部(331) を電着法
で構成することもできる。さらに、顔料を分散させて全
体に塗布し、その後、露光して色部(331) を構成しても
よい。これにより、対向基板側にカラーフィルタが不要
であり、位置合わせの自由度を開口率に影響なく大きく
することができる。
(301) 側に設けたが、これに代えて、アレイ基板(101)
側に設けてもよい。この場合に、この色部(331) は、印
刷法で構成してもよいし、また、染色法で構成してもよ
い。画素電極(151) を旨く用い、各色部(331) を電着法
で構成することもできる。さらに、顔料を分散させて全
体に塗布し、その後、露光して色部(331) を構成しても
よい。これにより、対向基板側にカラーフィルタが不要
であり、位置合わせの自由度を開口率に影響なく大きく
することができる。
【００９２】
【発明の効果】本発明のアクティブマトリクス型液晶表
示装置によれば、対向基板の対向電極には、対向電極の
一端辺に設けた第１対向電位給電端子と、対向電極の一
端辺と対向する他の一端辺に設けた第２対向電位給電端
子とを備えているため、対向電極が大サイズとなって
も、対向電極には十分な給電が成される。
示装置によれば、対向基板の対向電極には、対向電極の
一端辺に設けた第１対向電位給電端子と、対向電極の一
端辺と対向する他の一端辺に設けた第２対向電位給電端
子とを備えているため、対向電極が大サイズとなって
も、対向電極には十分な給電が成される。
【００９３】これにより、例えば、コモン反転駆動等を
行っても、表示画像が劣化することがない。
行っても、表示画像が劣化することがない。
【００９４】また、アクティブマトリクス型液晶表示装
置の製造方法は、対向電極に設けた第１対向電位給電端
子と第２対向電位給電端子とは、線対称位置からずれて
形成されているため、対向電極電位の面内不均一は一層
解消され、良好な表示画像が得られる。すなわち、対向
電極に対する給電が十分に成され、面内での電位のばら
つきを解消できるため、良好な表示画像を実現すること
ができる。
置の製造方法は、対向電極に設けた第１対向電位給電端
子と第２対向電位給電端子とは、線対称位置からずれて
形成されているため、対向電極電位の面内不均一は一層
解消され、良好な表示画像が得られる。すなわち、対向
電極に対する給電が十分に成され、面内での電位のばら
つきを解消できるため、良好な表示画像を実現すること
ができる。
【００９５】また、アクティブマトリクス型表示装置の
製造方法は、一絶縁基板上に複数の対向電極を形成する
に際し、複数の開口に分割するマスクの分割部に、対向
電位給電端子を得るための切欠部が両端辺側から交互に
配置されるため、分割部幅が広くとれ、これにより基板
の利用効率を高め、パターン不良等の発生が防止でき
る。すなわち、一絶縁基板にパターン精度の良い複数の
対向電極を効率よく形成することが可能となる。
製造方法は、一絶縁基板上に複数の対向電極を形成する
に際し、複数の開口に分割するマスクの分割部に、対向
電位給電端子を得るための切欠部が両端辺側から交互に
配置されるため、分割部幅が広くとれ、これにより基板
の利用効率を高め、パターン不良等の発生が防止でき
る。すなわち、一絶縁基板にパターン精度の良い複数の
対向電極を効率よく形成することが可能となる。
【図１】図１は、本発明の一実施例の液晶表示装置の概
略斜視図である。
略斜視図である。
【図２】図２は、図１のアレイ基板の一部概略正面図で
ある。
ある。
【図３】図３は、図２中Ａ−Ａ’線に沿って切断した液
晶表示装置の概略断面図である。
晶表示装置の概略断面図である。
【図４】図４は、図１の液晶表示装置に係り、図（ａ）
は対向基板の概略正面図、図（ｂ）はアレイ基板の一部
概略正面図である。
は対向基板の概略正面図、図（ｂ）はアレイ基板の一部
概略正面図である。
【図５】図５は、図１の液晶表示装置の対向基板の製造
プロセスを示す図である。
プロセスを示す図である。
【図６】図６は、図１の液晶表示装置の対向電極を成膜
するためのマスク・パターンの概略正面図である。
するためのマスク・パターンの概略正面図である。
【図７】図７は、第２の実施例の対向基板の製造プロセ
スを示す図である。
スを示す図である。
【図８】図８は、図７の対向電極を成膜するためのマス
ク・パターンの概略正面図である。
ク・パターンの概略正面図である。
【図９】図９は、第３の実施例の対向基板の製造プロセ
スを示す図である。
スを示す図である。
【図１０】図１０は、第３の実施例の対向電極を成膜す
るためのマスク・パターンの概略正面図である。
るためのマスク・パターンの概略正面図である。
【図１１】第４の実施例の液晶表示装置の要部拡大縦断
面図である。
面図である。
【図１２】第４の実施例のアレイ基板の平面図である。
(1) …液晶表示装置 (7a),(7b) …ＴＡＢ (101) …アレイ基板 (301) …対向基板 (353-1) 〜(353-7) …第１対向電位給電端子 (355-1) 〜(355-9) …第２対向電位給電端子 (601) …スパッタ・マスク (603-1) 〜(603-4) …開口 (611),(613) …細線部 (643-1) 〜(643-7) …第１切欠部 (645-1) 〜(645-9) …第２切欠部
Claims (10)
- 【請求項１】複数の画素電極が配置されて成るアレイ基
板と、前記アレイ基板に対向して配置される対向電極を
備えた対向基板と、前記アレイ基板と前記対向基板との
間に保持される光変調層とを備えたアクティブマトリク
ス型表示装置において、 前記対向基板は、前記対向電極の一端辺に設けられた第
１対向電位給電端子と、 前記対向電極の前記一端辺と対向する他の一端辺の前記
第１対向電位給電端子の線対称位置からずれた位置に設
けられた第２対向電位給電端子とを備えたことを特徴と
するアクティブマトリクス型表示装置。 - 【請求項２】前記第１対向電位給電端子が、前記対向電
極の前記一端辺から突出し、 前記第２対向電位給電端子が、前記対向電極の前記他の
一端辺から突出したことを特徴とする請求項１記載のア
クティブマトリクス型表示装置。 - 【請求項３】前記第１対向電位給電端子及び前記第２対
向電位給電端子は、前記光変調層を収納するシール剤領
域から突出して形成されることを特徴とする請求項２記
載のアクティブマトリクス型表示装置。 - 【請求項４】前記第１対向電位給電端子及び前記第２対
向電位給電端子は、前記光変調層を収納するシール剤領
域の内部に形成されることを特徴とする請求項１記載の
アクティブマトリクス型表示装置。 - 【請求項５】前記第１対向電位給電端子及び前記第２対
向電位給電端子は、前記表示装置の画面長手方向の両端
辺に形成されることを特徴とする請求項１記載のアクテ
ィブマトリクス型表示装置。 - 【請求項６】前記第１対向電位給電端子及び前記第２対
向電位給電端子は、前記表示装置の画面短手方向の両端
辺に形成されることを特徴とする請求項１記載のアクテ
ィブマトリクス型表示装置。 - 【請求項７】前記第１対向電位給電端子及び前記第２対
向電位給電端子は、前記表示装置の画面の四周端辺に形
成されることを特徴とする請求項１記載のアクティブマ
トリクス型表示装置。 - 【請求項８】マトリクス状の遮光膜は、前記アレイ基板
に形成されることを特徴とする請求項１記載のアクティ
ブマトリクス型表示装置。 - 【請求項９】カラーフィルターは、前記アレイ基板に形
成されることを特徴とする請求項１記載のアクティブマ
トリクス型表示装置。 - 【請求項１０】第１及び第２開口が分割部により分離さ
れて成るマスクを用い、前記第１及び第２開口にそれぞ
れ対応した第１及び第２対向電極を形成して対向基板集
合体を形成した後に、前記対向基板集合体から第１及び
第２対向基板を取り出すアクティブマトリクス型表示装
置の製造方法において、 前記マスクの前記分割部の一端辺は前記第１対向電極に
第１対向電位給電端子を形成するために前記第１開口か
ら延在される第１切欠部が、前記分割部の前記一端辺に
対向する他の一端辺には前記第２対向電極に第２対向電
位給電端子を形成するために前記第２開口から延在され
る第２切欠部が、それぞれ交互に形成されていることを
特徴とするアクティブマトリクス型表示装置の製造方
法。
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- 1995-06-23 US US08/494,294 patent/US5659379A/en not_active Expired - Lifetime
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