JPH086318Y2 - Electron beam irradiation window - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】[Detailed description of the device]

【０００１】[0001]

【産業上の利用分野】本考案は、電子線照射装置の電子
線の取出し部である電子線照射窓に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an electron beam irradiation window which is an electron beam extraction portion of an electron beam irradiation device.

【０００２】[0002]

【従来の技術】従来の電子線照射窓の構成を図３に示す
ように、窓箔１を用い、これをはさむように開口部２を
有する走査管下部フランジ３と、窓押え用のフランジ４
とによって構成されてあり、下部フランジ３と窓箔１と
の間を金属製のシール５によりシールされた構造となっ
ている。６は走査管、７はシール５を締め付けるべく、
下部フランジ３に対しフランジ４を締め付けるための締
付ボルトである。2. Description of the Related Art As shown in FIG. 3, the structure of a conventional electron beam irradiation window uses a window foil 1 and a lower scanning tube flange 3 having an opening 2 so as to sandwich the window foil 1 and a window pressing flange 4.
And the lower flange 3 and the window foil 1 are sealed by a metal seal 5. 6 is a scanning tube, 7 is for tightening the seal 5,
It is a tightening bolt for tightening the flange 4 to the lower flange 3.

【０００３】シール５は開口部２の周囲を囲むように配
置される。そのため開口部２のコーナー部では、シール
５は開口部２の周縁に沿って屈曲される。その従来構成
における状態を示したのが図２である。下部フランジ３
のコーナー部には、下部フランジ３に対して進退自在に
プランジャー８が設置されてあり、このプランジャー８
をめぐるようにしてシール５は屈曲される。５Ａはその
屈曲されたシール部である。The seal 5 is arranged so as to surround the opening 2. Therefore, at the corner of the opening 2, the seal 5 is bent along the peripheral edge of the opening 2. FIG. 2 shows the state in the conventional configuration. Lower flange 3
A plunger 8 is installed at the corner of the plunger so that it can move back and forth with respect to the lower flange 3.
The seal 5 is bent so as to go around. 5A is the bent seal portion.

【０００４】ところでこのような構成において、前記の
ようにシール５は両フランジ３，４によって締め付けら
れるので、その断面は変形して扁平状となる。シール５
の直線部分にあっては、その両側に締付力が逃げること
によって両側に均等に扁平となるので、特に問題はな
い。By the way, in such a structure, since the seal 5 is fastened by the both flanges 3 and 4 as described above, the cross section thereof is deformed and becomes flat. Seal 5
In the straight line portion, there is no particular problem because the tightening force escapes to both sides of the straight line portion so that both sides are evenly flattened.

【０００５】しかしプランジャー８によるシール５の屈
曲部分であるシール部５Ａは、ほとんど直角に屈曲され
るため、その内側はプランジャー８の周囲の約１／４の
範囲にわたる広い範囲で圧接されているので、締付力は
内側に逃げることができず、そのため直線部分のように
均等に扁平状となるように変形しない。そのためこの部
分でのシール効果を十分期待することができない。However, since the seal portion 5A, which is the bent portion of the seal 5 formed by the plunger 8, is bent almost at a right angle, the inner side of the seal portion 5A is pressed and contacted in a wide range covering about 1/4 of the circumference of the plunger 8. Since the tightening force cannot escape to the inside, it does not deform into a flat shape like a straight portion. Therefore, it is not possible to expect a sufficient sealing effect in this portion.

【０００６】[0006]

【考案が解決しようとする課題】本考案は、シールがコ
ーナー部において屈曲される場合、そのシール効果が十
分に発揮できるようにすることを目的とする。SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to allow the sealing effect to be fully exerted when the seal is bent at the corners.

【０００７】[0007]

【課題を解決するための手段】本考案は、下部フランジ
の開口部のコーナー部に、シールが順次添接して屈曲す
るように複数のプランジャーを設け、シールが各プラン
ジャーとの添接によって屈曲するときの屈曲角度が９０
度より大きい角度となるような位置に、各プランジャー
を配置したことを特徴とする。According to the present invention, a plurality of plungers are provided at the corners of the opening of the lower flange so that the seals are sequentially abutted and bent, and the seals are attached by abutting with each plunger. The bending angle when bending is 90
It is characterized by arranging each plunger at a position such that the angle is larger than a degree.

【０００８】[0008]

【作用】シールが複数のプランジャーによって屈曲され
るとき、その屈曲角度はそれぞれ９０度より大きい角度
となり、そのためシールはプランジャーの周囲の１／４
より狭い範囲で添接するようになる。したがってシール
が圧接された場合、従来構成よりもシールはその内側に
大きく逃げることができるようになる。その結果シール
はほぼ均等に扁平状に変形され、十分なシール効果を呈
するようになる。When the seal is bent by a plurality of plungers, the bending angle is greater than 90 degrees, so that the seal has a quarter of the circumference of the plunger.
It will be attached in a narrower range. Therefore, when the seal is pressed, the seal can escape to the inside more greatly than in the conventional configuration. As a result, the seal is deformed into a flat shape almost uniformly, and exhibits a sufficient sealing effect.

【０００９】[0009]

【実施例】この考案の実施例を図１によって説明する。
なお図２，３と同じ符号を付した部分は、同一または対
応する部分を示す。本考案にしたがい、複数のプランジ
ャー８を設け、シール５を各プランジャー８に順次添接
させる。この場合シール５が各プランジャー８との添接
によって屈曲するとき、その屈曲角度が９０度より大き
い角度となるような位置に、各プランジャー８を配置す
る。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of this invention will be described with reference to FIG.
In addition, the same reference numerals as those in FIGS. 2 and 3 indicate the same or corresponding portions. According to the present invention, a plurality of plungers 8 are provided, and the seal 5 is sequentially attached to each plunger 8. In this case, when the seal 5 is bent by the splicing with each plunger 8, each plunger 8 is arranged at a position where the bending angle is larger than 90 degrees.

【００１０】このような構成によれば、シール部５Ａは
各プランジャー８にその周囲の１／４より狭い範囲で添
接するようになる。このことはシール５が各プランジャ
ー８によって屈曲されるとき、その屈曲角度が９０度よ
り大きいことを意味する。According to this structure, the seal portion 5A comes into contact with each plunger 8 within a range narrower than 1/4 of the circumference thereof. This means that when the seal 5 is bent by each plunger 8, its bending angle is greater than 90 degrees.

【００１１】この結果シール５が圧接された場合でも、
シール部５Ａの内側はプランジヤー８側に向かって従来
構成よりも広い範囲で変形することができるようにな
り、したがって直線部に近い程度に均等な扁平変形が可
能となる。これによって十分なシール効果が期待できる
ようになる。As a result, even if the seal 5 is pressed,
The inside of the seal portion 5A can be deformed toward the side of the plunger 8 in a wider range than that of the conventional configuration, and therefore, the flat deformation can be performed to an extent close to a straight portion. This makes it possible to expect a sufficient sealing effect.

【００１２】なお図２に示す従来構成では、締付ボルト
７をプランジャー８の両側に配置せざるを得ないため、
この部分での締付ボルト７による締付力が過大となり、
シール５のシール性を損なう恐れがある。しかし図１に
示すように、締付ボルト７をプランジャー７よりも外側
に位置するようにしておくと、過大な締付けによるシー
ル５の変形が回避できるようになって都合がよい。In the conventional structure shown in FIG. 2, the tightening bolts 7 have to be arranged on both sides of the plunger 8.
The tightening force of the tightening bolt 7 at this part becomes excessive,
The sealability of the seal 5 may be impaired. However, as shown in FIG. 1, if the tightening bolt 7 is positioned outside the plunger 7, it is convenient because deformation of the seal 5 due to excessive tightening can be avoided.

【００１３】[0013]

【考案の効果】以上詳述したように本考案によれば、照
射窓を気密に維持するのに使用するシールが、プランジ
ャーによって屈曲される場合、その屈曲部におけるシー
ルの扁平をほぼ均等に変形させることができるようにな
り、もって従来構成に比較してシール効果を向上させる
ことができる効果を奏する。As described in detail above, according to the present invention, when the seal used to keep the irradiation window airtight is bent by the plunger, the flatness of the seal at the bent portion is made substantially even. It can be deformed, so that the sealing effect can be improved as compared with the conventional configuration.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図１】本考案の実施例を示すもので部分平面図であ
る。FIG. 1 is a partial plan view showing an embodiment of the present invention.

【図２】従来例を示すもので部分平面図である。FIG. 2 is a partial plan view showing a conventional example.

【図３】電子線照射窓の断面図である。FIG. 3 is a sectional view of an electron beam irradiation window.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

１ 窓箔 ２ 開口部 ３ 走査管の下部フランジ ４ 窓押え用のフランジ ５ シール ５Ａ 屈曲されるシール部 ８ プランジャー 1 Window Foil 2 Opening 3 Lower Flange of Scan Tube 4 Flange for Window Hold 5 Seal 5A Bent Seal 8 Plunger

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】[Scope of utility model registration request] 【請求項１】 走査管の下部フランジと窓押え用のフラ
ンジによって窓箔をはさみ、前記下部フランジと前記窓
箔との間に金属製のシールを介在させてなる電子線照射
窓において、前記下部フランジの開口部のコーナー部
に、前記シールが順次添接して屈曲するように複数のプ
ランジャーを設け、前記シールが前記各プランジャーと
の添接によって屈曲するときの屈曲角度が９０度より大
きい角度となるような位置に、前記各プランジャーを配
置してなる電子線照射窓。1. An electron beam irradiation window in which a window foil is sandwiched by a lower flange of a scanning tube and a window holding flange, and a metal seal is interposed between the lower flange and the window foil. Plural plungers are provided at the corners of the opening of the flange so that the seals are sequentially abutted and bent, and the bending angle when the seals are bent by the abutting contact with each of the plungers is greater than 90 degrees. An electron beam irradiation window in which each of the plungers is arranged at an angled position.