JPH0862161A - 放射線検査装置 - Google Patents
放射線検査装置Info
- Publication number
- JPH0862161A JPH0862161A JP6199313A JP19931394A JPH0862161A JP H0862161 A JPH0862161 A JP H0862161A JP 6199313 A JP6199313 A JP 6199313A JP 19931394 A JP19931394 A JP 19931394A JP H0862161 A JPH0862161 A JP H0862161A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- radiation
- energy
- ray
- inspection apparatus
- generating
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 被検体の放射線吸収により放射線エネルギ分
布が異なることを利用して被検体の断面像を適確に得る
ことができる放射線検査装置を提供する。 【構成】 X線管2、被検体4、X線検出器6を相対的
位置関係において少しずつ移動しながら、各移動位置に
おいてX線管2から発生する時間毎に変化するX線エネ
ルギE1,E2のX線ビーム3を被検体4に照射し、被
検体を透過したX線をX線検出器6で検出し、この検出
したX線透過データをX線エネルギE1,E2に対応し
て画像処理装置11の画像メモリ13に記憶する処理を
各移動位置において行った結果、画像メモリ13に記憶
されたX線透過データを各X線エネルギ毎に加算して重
ね合わせ演算して得られた信号に基づいてX線ラミノグ
ラフ画像を得る。
布が異なることを利用して被検体の断面像を適確に得る
ことができる放射線検査装置を提供する。 【構成】 X線管2、被検体4、X線検出器6を相対的
位置関係において少しずつ移動しながら、各移動位置に
おいてX線管2から発生する時間毎に変化するX線エネ
ルギE1,E2のX線ビーム3を被検体4に照射し、被
検体を透過したX線をX線検出器6で検出し、この検出
したX線透過データをX線エネルギE1,E2に対応し
て画像処理装置11の画像メモリ13に記憶する処理を
各移動位置において行った結果、画像メモリ13に記憶
されたX線透過データを各X線エネルギ毎に加算して重
ね合わせ演算して得られた信号に基づいてX線ラミノグ
ラフ画像を得る。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、被検体を透過した放射
線を検出し、被検体の断面像を得るラミノグラフである
放射線検査装置に関し、更に詳しくは、放射線ラミノグ
ラフィ技術を使用して、例えば実装基板の半田付け部分
やプリント配線基板の銅箔パターンを非破壊で検査する
ために使用される放射線検査装置に関する。
線を検出し、被検体の断面像を得るラミノグラフである
放射線検査装置に関し、更に詳しくは、放射線ラミノグ
ラフィ技術を使用して、例えば実装基板の半田付け部分
やプリント配線基板の銅箔パターンを非破壊で検査する
ために使用される放射線検査装置に関する。
【0002】
【従来の技術】実装基板の半田付け部分やプリント配線
基板の銅箔パターンを非破壊で検査する方法として、放
射線ラミノグラフィ技術を利用した放射線検査装置、す
なわちラミノグラフが開発されている。このラミノグラ
フは、基板に対して垂直方向から放射線を照射して、多
層基板の所望の箇所の断面像、すなわち多層基板の目的
とする特定の深さの所の断面像を得ることができるた
め、基板検査に適している。
基板の銅箔パターンを非破壊で検査する方法として、放
射線ラミノグラフィ技術を利用した放射線検査装置、す
なわちラミノグラフが開発されている。このラミノグラ
フは、基板に対して垂直方向から放射線を照射して、多
層基板の所望の箇所の断面像、すなわち多層基板の目的
とする特定の深さの所の断面像を得ることができるた
め、基板検査に適している。
【0003】しかしながら、ラミノグラフは、放射線の
視点を変えることにより、検査対象の画像に不動の一点
を除いて、ぼけを生じさせ、多層基板の目的とする特定
の深さのみの断面像を取り出すものであり、本来は鮮明
な放射線透過像にずれによるぼけを強制的に作り出すも
のであるため、画像の質は低く、鮮明な画像が得られに
くい。
視点を変えることにより、検査対象の画像に不動の一点
を除いて、ぼけを生じさせ、多層基板の目的とする特定
の深さのみの断面像を取り出すものであり、本来は鮮明
な放射線透過像にずれによるぼけを強制的に作り出すも
のであるため、画像の質は低く、鮮明な画像が得られに
くい。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】従来のラミノグラフに
よって実装基板の半田付け部分や多層基板の内層板の銅
箔パターン部分を検査する場合において、半田付け部分
の検査では、半田付け部分の厚みがあり、X線の吸収が
大きいために、比較的高いX線エネルギを必要とし、ま
た内層板の銅箔パターンの検査では、検査対象である銅
箔の厚みが半田付け部分に比較して薄いため、低いX線
エネルギの方が銅箔パターンの細部の抽出には適してい
る。このように結果、半田付け部分の検査を行うのに適
した高X線エネルギを用いると、銅箔部分はX線吸収が
少ないために、画像として現れなくなるという問題があ
る。
よって実装基板の半田付け部分や多層基板の内層板の銅
箔パターン部分を検査する場合において、半田付け部分
の検査では、半田付け部分の厚みがあり、X線の吸収が
大きいために、比較的高いX線エネルギを必要とし、ま
た内層板の銅箔パターンの検査では、検査対象である銅
箔の厚みが半田付け部分に比較して薄いため、低いX線
エネルギの方が銅箔パターンの細部の抽出には適してい
る。このように結果、半田付け部分の検査を行うのに適
した高X線エネルギを用いると、銅箔部分はX線吸収が
少ないために、画像として現れなくなるという問題があ
る。
【0005】本発明は、上記に鑑みてなされたもので、
その目的とするところは、被検体の放射線吸収により放
射線エネルギ分布が異なることを利用して被検体の断面
像を適確に得ることができる放射線検査装置を提供する
ことにある。
その目的とするところは、被検体の放射線吸収により放
射線エネルギ分布が異なることを利用して被検体の断面
像を適確に得ることができる放射線検査装置を提供する
ことにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の放射線検査装置は、時間毎にエネルギの異
なる放射線を被検体に向けて発生する放射線発生手段
と、被検体を透過した前記放射線発生手段からの放射線
を検出する放射線検出手段と、該放射線検出手段で検出
した被検体を透過した放射線データを放射線エネルギ毎
に収集するデータ収集手段と、該データ収集手段で放射
線エネルギ毎に収集した放射線データを演算して、被検
体のラミノグラフ断面像を構成する演算手段とを有する
ことを要旨とする。
め、本発明の放射線検査装置は、時間毎にエネルギの異
なる放射線を被検体に向けて発生する放射線発生手段
と、被検体を透過した前記放射線発生手段からの放射線
を検出する放射線検出手段と、該放射線検出手段で検出
した被検体を透過した放射線データを放射線エネルギ毎
に収集するデータ収集手段と、該データ収集手段で放射
線エネルギ毎に収集した放射線データを演算して、被検
体のラミノグラフ断面像を構成する演算手段とを有する
ことを要旨とする。
【0007】また、本発明の放射線検査装置は、前記放
射線発生手段が放射線を発生する放射線発生器と、該放
射線発生器から時間毎にエネルギの異なる放射線を発生
すべく該放射線発生器に時間毎に異なるエネルギを加え
るエネルギ印加手段とを有することを要旨とする。
射線発生手段が放射線を発生する放射線発生器と、該放
射線発生器から時間毎にエネルギの異なる放射線を発生
すべく該放射線発生器に時間毎に異なるエネルギを加え
るエネルギ印加手段とを有することを要旨とする。
【0008】更に、本発明の放射線検査装置は、前記放
射線発生手段が少なくとも2つ以上の所定の時間帯毎に
それぞれ異なる所定の値のエネルギの放射線を発生する
手段を有することを要旨とする。
射線発生手段が少なくとも2つ以上の所定の時間帯毎に
それぞれ異なる所定の値のエネルギの放射線を発生する
手段を有することを要旨とする。
【0009】本発明の放射線検査装置は、前記放射線発
生手段が発生する放射線エネルギまたは被検体の種類に
応じて放射線エネルギが一定である時間が予め定められ
ていることを要旨とする。
生手段が発生する放射線エネルギまたは被検体の種類に
応じて放射線エネルギが一定である時間が予め定められ
ていることを要旨とする。
【0010】また、本発明の放射線検査装置は、前記放
射線発生手段が脈流に変化するエネルギの放射線を発生
する手段を有し、前記放射線検出手段が前記脈流に変化
するエネルギのうち低エネルギと高エネルギの期間を複
数に分けてデータ収集し、複数のエネルギ帯の放射線透
過データを得る手段を有することを要旨とする。
射線発生手段が脈流に変化するエネルギの放射線を発生
する手段を有し、前記放射線検出手段が前記脈流に変化
するエネルギのうち低エネルギと高エネルギの期間を複
数に分けてデータ収集し、複数のエネルギ帯の放射線透
過データを得る手段を有することを要旨とする。
【0011】更に、本発明の放射線検査装置は、前記放
射線発生手段が商用周波数の電圧を全波整流した電圧を
供給され、該全波整流した電圧に応じたエネルギの放射
線を発生する手段を有することを要旨とする。
射線発生手段が商用周波数の電圧を全波整流した電圧を
供給され、該全波整流した電圧に応じたエネルギの放射
線を発生する手段を有することを要旨とする。
【0012】本発明の放射線検査装置は、前記放射線発
生手段が商用周波数の電圧を半波整流または自己整流し
た電圧を供給され、該整流電圧に応じたエネルギの放射
線を発生する手段を有することを要旨とする。
生手段が商用周波数の電圧を半波整流または自己整流し
た電圧を供給され、該整流電圧に応じたエネルギの放射
線を発生する手段を有することを要旨とする。
【0013】また、本発明の放射線検査装置は、商用周
波数の電圧のゼロクロスを検出し、この検出したゼロク
ロスに基づいてデータ収集制御信号を生成する手段を有
することを要旨とする。
波数の電圧のゼロクロスを検出し、この検出したゼロク
ロスに基づいてデータ収集制御信号を生成する手段を有
することを要旨とする。
【0014】
【作用】本発明の放射線検査装置では、時間毎にエネル
ギの異なる放射線を被検体に向けて発生し、被検体を透
過した放射線を検出し、この検出した透過放射線データ
を放射線エネルギ毎に収集し、この放射線エネルギ毎に
収集した放射線データを演算して、被検体のラミノグラ
フ断面像を構成する。
ギの異なる放射線を被検体に向けて発生し、被検体を透
過した放射線を検出し、この検出した透過放射線データ
を放射線エネルギ毎に収集し、この放射線エネルギ毎に
収集した放射線データを演算して、被検体のラミノグラ
フ断面像を構成する。
【0015】また、本発明の放射線検査装置では、前記
放射線発生手段が放射線発生器と、該放射線発生器に時
間毎に異なるエネルギを加えるエネルギ印加手段とを有
する。
放射線発生手段が放射線発生器と、該放射線発生器に時
間毎に異なるエネルギを加えるエネルギ印加手段とを有
する。
【0016】更に、本発明の放射線検査装置では、前記
放射線発生手段が少なくとも2つ以上の所定の時間帯毎
にそれぞれ異なる所定の値のエネルギの放射線を発生す
る。
放射線発生手段が少なくとも2つ以上の所定の時間帯毎
にそれぞれ異なる所定の値のエネルギの放射線を発生す
る。
【0017】本発明の放射線検査装置では、前記放射線
発生手段が発生する放射線エネルギまたは被検体の種類
に応じて放射線エネルギが一定である時間が予め定めら
れている。
発生手段が発生する放射線エネルギまたは被検体の種類
に応じて放射線エネルギが一定である時間が予め定めら
れている。
【0018】また、本発明の放射線検査装置では、前記
放射線発生手段が脈流に変化するエネルギの放射線を発
生し、前記放射線検出手段が前記脈流に変化するエネル
ギのうち低エネルギと高エネルギの期間を複数に分けて
データ収集し、複数のエネルギ帯の放射線透過データを
得る。
放射線発生手段が脈流に変化するエネルギの放射線を発
生し、前記放射線検出手段が前記脈流に変化するエネル
ギのうち低エネルギと高エネルギの期間を複数に分けて
データ収集し、複数のエネルギ帯の放射線透過データを
得る。
【0019】更に、本発明の放射線検査装置では、前記
放射線発生手段が商用周波数の電圧を全波整流した電圧
を供給され、該全波整流した電圧に応じたエネルギの放
射線を発生する。
放射線発生手段が商用周波数の電圧を全波整流した電圧
を供給され、該全波整流した電圧に応じたエネルギの放
射線を発生する。
【0020】本発明の放射線検査装置では、前記放射線
発生手段が商用周波数の電圧を半波整流または自己整流
した電圧を供給され、該整流電圧に応じたエネルギの放
射線を発生する。
発生手段が商用周波数の電圧を半波整流または自己整流
した電圧を供給され、該整流電圧に応じたエネルギの放
射線を発生する。
【0021】また、本発明の放射線検査装置では、商用
周波数の電圧のゼロクロスを検出し、この検出したゼロ
クロスに基づいてデータ収集制御信号を生成する。
周波数の電圧のゼロクロスを検出し、この検出したゼロ
クロスに基づいてデータ収集制御信号を生成する。
【0022】
【実施例】以下、図面を用いて本発明の実施例を説明す
る。
る。
【0023】図1は、本発明の一実施例に係わる放射線
検査装置の構成を示す図である。同図に示す放射線検査
装置は、例えばプリント基板の半田付け部分や多層基板
の内層板の銅箔パターン部分等の被検体の所望の箇所の
断面像を得る所謂ラミノグラフを構成するものであり、
放射線としてX線を発生するX線管2を有する。該X線
管2は高圧発生器(HV.GEN)1に接続され、該高
圧発生器1は時間毎に異なる高電圧を発生し、該高電圧
をX線管2に供給する。この結果、X線管2は該高電圧
に応じて時間毎にエネルギが異なるX線を発生する。こ
のように時間毎にエネルギが異なるX線管2から出力さ
れるX線は、X線管2の下方に配設され、載物台5上に
載置されている被検体4を透過する。そして、被検体4
を透過したX線は、被検体4の下方に配設されているX
線検出器6によって検出される。
検査装置の構成を示す図である。同図に示す放射線検査
装置は、例えばプリント基板の半田付け部分や多層基板
の内層板の銅箔パターン部分等の被検体の所望の箇所の
断面像を得る所謂ラミノグラフを構成するものであり、
放射線としてX線を発生するX線管2を有する。該X線
管2は高圧発生器(HV.GEN)1に接続され、該高
圧発生器1は時間毎に異なる高電圧を発生し、該高電圧
をX線管2に供給する。この結果、X線管2は該高電圧
に応じて時間毎にエネルギが異なるX線を発生する。こ
のように時間毎にエネルギが異なるX線管2から出力さ
れるX線は、X線管2の下方に配設され、載物台5上に
載置されている被検体4を透過する。そして、被検体4
を透過したX線は、被検体4の下方に配設されているX
線検出器6によって検出される。
【0024】X線管2およびX線検出器6は、それぞれ
X線管駆動機構7およびX線検出器駆動機構8に連結さ
れ、これによりラミノグラフ断面像を作成するための所
定の機械的運動を行うように駆動される。また、載物台
5も載物台駆動機構9に連結され、被検体4の所望の投
影像を得るためにその位置を変化させることができるよ
うに該載物台駆動機構9によって駆動される。なお、図
示されていないが、X線管2、X線検出器6、および載
物台5の各駆動機構7,8および9はそれぞれ駆動機構
の位置を検出するための位置検出器であるエンコーダ1
2a,12b,12cをそれぞれ有している。
X線管駆動機構7およびX線検出器駆動機構8に連結さ
れ、これによりラミノグラフ断面像を作成するための所
定の機械的運動を行うように駆動される。また、載物台
5も載物台駆動機構9に連結され、被検体4の所望の投
影像を得るためにその位置を変化させることができるよ
うに該載物台駆動機構9によって駆動される。なお、図
示されていないが、X線管2、X線検出器6、および載
物台5の各駆動機構7,8および9はそれぞれ駆動機構
の位置を検出するための位置検出器であるエンコーダ1
2a,12b,12cをそれぞれ有している。
【0025】前記X線検出器6によって検出された被検
体4を透過したX線管2からの透過X線データは、信号
増幅回路10を介して画像処理装置11に入力され、該
画像処理装置11内においてA/D変換回路(ADC)
17によってディジタル信号に変換されてから、対応す
るX線エネルギ毎に分類して収集され得るように中央制
御回路(CPU)16の制御のもとに画像メモリ(ME
M)13の所定のアドレスに記憶される。具体的には、
中央制御回路16は、前記エンコーダ12a,12b,
12cからの信号を供給され、該信号に基づいて前記X
線検出器6からの透過X線データを画像メモリ13の各
アドレスに記憶する。また、中央制御回路16は、画像
処理装置11内の全体の動作を制御するとともに、前記
高圧発生器1が時間毎に異なる高電圧を発生するように
制御し、更に前記画像メモリ13のアドレスから前記透
過X線データを読み出し、この読み出したデータを演算
回路(PIX.ALU)14に供給して、該演算回路1
4にラミノグラフ断面像を作成するための所定の演算を
行わしめ、該演算により作成されたラミノグラフ断面像
を画像表示回路(VIDEO)15を介してCRTモニ
タ18に表示させるように制御する。
体4を透過したX線管2からの透過X線データは、信号
増幅回路10を介して画像処理装置11に入力され、該
画像処理装置11内においてA/D変換回路(ADC)
17によってディジタル信号に変換されてから、対応す
るX線エネルギ毎に分類して収集され得るように中央制
御回路(CPU)16の制御のもとに画像メモリ(ME
M)13の所定のアドレスに記憶される。具体的には、
中央制御回路16は、前記エンコーダ12a,12b,
12cからの信号を供給され、該信号に基づいて前記X
線検出器6からの透過X線データを画像メモリ13の各
アドレスに記憶する。また、中央制御回路16は、画像
処理装置11内の全体の動作を制御するとともに、前記
高圧発生器1が時間毎に異なる高電圧を発生するように
制御し、更に前記画像メモリ13のアドレスから前記透
過X線データを読み出し、この読み出したデータを演算
回路(PIX.ALU)14に供給して、該演算回路1
4にラミノグラフ断面像を作成するための所定の演算を
行わしめ、該演算により作成されたラミノグラフ断面像
を画像表示回路(VIDEO)15を介してCRTモニ
タ18に表示させるように制御する。
【0026】次に、以上のように構成される本実施例の
放射線検査装置であるラミノグラフの作用について図2
および図3を参照して説明する。
放射線検査装置であるラミノグラフの作用について図2
および図3を参照して説明する。
【0027】まず、X線管2、被検体4、X線検出器6
の相対的位置関係において、最初にこれらを第1の位置
L1に設定する。それから、高圧発生器1は、X線管2
から所定の時間毎に例えば2段階に変化するX線エネル
ギE1,E2を有するX線を発生させるべく時間毎に2
段階に変化する高電圧V1,V2をX線管2に供給す
る。そして、X線管2から発生する2段階のX線エネル
ギE1,E2を有するX線ビーム3は載物台5上の被検
体4を照射し、該被検体4を透過したX線がX線検出器
6で検出される。
の相対的位置関係において、最初にこれらを第1の位置
L1に設定する。それから、高圧発生器1は、X線管2
から所定の時間毎に例えば2段階に変化するX線エネル
ギE1,E2を有するX線を発生させるべく時間毎に2
段階に変化する高電圧V1,V2をX線管2に供給す
る。そして、X線管2から発生する2段階のX線エネル
ギE1,E2を有するX線ビーム3は載物台5上の被検
体4を照射し、該被検体4を透過したX線がX線検出器
6で検出される。
【0028】この結果、第1の位置L1において、X線
検出器6で検出された被検体のX線透過データは、X線
エネルギE1,E2に対応してS11,S21として画
像処理装置11に供給され、画像処理装置11はエンコ
ーダ12a,12b,12cからの信号に基づいて位置
L1に対応した画像メモリ13のアドレスにそれぞれ記
憶される。
検出器6で検出された被検体のX線透過データは、X線
エネルギE1,E2に対応してS11,S21として画
像処理装置11に供給され、画像処理装置11はエンコ
ーダ12a,12b,12cからの信号に基づいて位置
L1に対応した画像メモリ13のアドレスにそれぞれ記
憶される。
【0029】次に、X線管2、被検体4、X線検出器6
を互いに少し移動し、その相対的位置関係において第2
の位置L2に移動させる。そして、この第2の位置L2
において、上述したと同様に、X線管2から2段階のX
線エネルギE1,E2を有するX線を発生し、被検体4
を透過したX線をX線検出器6で検出する。このX線検
出器6で検出された被検体4のX線透過データは、X線
エネルギE1,E2に対応してS12,S22として画
像処理装置11に供給され、画像処理装置11はエンコ
ーダ12a,12b,12cからの信号に基づいて位置
L2に対応した画像メモリ13のアドレスにそれぞれ記
憶される。
を互いに少し移動し、その相対的位置関係において第2
の位置L2に移動させる。そして、この第2の位置L2
において、上述したと同様に、X線管2から2段階のX
線エネルギE1,E2を有するX線を発生し、被検体4
を透過したX線をX線検出器6で検出する。このX線検
出器6で検出された被検体4のX線透過データは、X線
エネルギE1,E2に対応してS12,S22として画
像処理装置11に供給され、画像処理装置11はエンコ
ーダ12a,12b,12cからの信号に基づいて位置
L2に対応した画像メモリ13のアドレスにそれぞれ記
憶される。
【0030】以下、同様にして、X線管2、被検体4、
X線検出器6を互いに少しずつ移動し、その相対的位置
関係において第3の位置L3、第4の位置L4,・・・
に移動させる。
X線検出器6を互いに少しずつ移動し、その相対的位置
関係において第3の位置L3、第4の位置L4,・・・
に移動させる。
【0031】なお、図2は、この相対的位置関係を4つ
までの第4の位置L4までとして、円運動をX線管2、
被検体4、X線検出器6に行わせるようにしたものであ
る。また、図3は、このような4つの位置L1,L2,
L3,L4のうちの位置L1,L2におけるX線管2、
被検体4、X線検出器6の位置関係を示している。図3
において、X線管2が位置L1にある場合には、X線検
出器6は実線で示すような位置に被検体4を挟んで位置
し、またX線管2が位置L2に移動した場合には、X線
検出器6は6’で示すように点線で示すような位置に被
検体4を挟んで位置し、位置L1においてX線管2とX
線検出器6の各中心を結ぶ線分は、位置L2においてX
線管2とX線検出器6の各中心を結ぶ線分と被検体4内
の断面像を得ようとする深さ、すなわち検査位置におい
て交差している。すなちわ、各位置L1,L2は、この
ような位置関係になるようにX線管2、X線検出器6の
相対的運動が制御されているのである。
までの第4の位置L4までとして、円運動をX線管2、
被検体4、X線検出器6に行わせるようにしたものであ
る。また、図3は、このような4つの位置L1,L2,
L3,L4のうちの位置L1,L2におけるX線管2、
被検体4、X線検出器6の位置関係を示している。図3
において、X線管2が位置L1にある場合には、X線検
出器6は実線で示すような位置に被検体4を挟んで位置
し、またX線管2が位置L2に移動した場合には、X線
検出器6は6’で示すように点線で示すような位置に被
検体4を挟んで位置し、位置L1においてX線管2とX
線検出器6の各中心を結ぶ線分は、位置L2においてX
線管2とX線検出器6の各中心を結ぶ線分と被検体4内
の断面像を得ようとする深さ、すなわち検査位置におい
て交差している。すなちわ、各位置L1,L2は、この
ような位置関係になるようにX線管2、X線検出器6の
相対的運動が制御されているのである。
【0032】次に、X線管2、被検体4、X線検出器6
を第3の位置L3、第4の位置L4にそれぞれ移動させ
て、上述したようにX線検出器6で検出された被検体4
のX線透過データは、X線エネルギE1,E2にそれぞ
れ対応してS13,S23,S14,S24として画像
処理装置11に供給され、画像処理装置11はエンコー
ダ12a,12b,12cからの信号に基づいて各位置
L3,L4に対応した画像メモリ13のアドレスに記憶
される。
を第3の位置L3、第4の位置L4にそれぞれ移動させ
て、上述したようにX線検出器6で検出された被検体4
のX線透過データは、X線エネルギE1,E2にそれぞ
れ対応してS13,S23,S14,S24として画像
処理装置11に供給され、画像処理装置11はエンコー
ダ12a,12b,12cからの信号に基づいて各位置
L3,L4に対応した画像メモリ13のアドレスに記憶
される。
【0033】以上の結果、画像処理装置11の画像メモ
リ13には、図2に示すように、低い方のX線エネルギ
X1に対しては各位置L1,L2,L3,L4に対応し
て、X線透過データS11,S12,S13,S14が
記憶され、また高い方のX線エネルギE2に対しては各
位置L1,L2,L3,L4に対応して、X線透過デー
タS21,S22,S23,S24が記憶される。
リ13には、図2に示すように、低い方のX線エネルギ
X1に対しては各位置L1,L2,L3,L4に対応し
て、X線透過データS11,S12,S13,S14が
記憶され、また高い方のX線エネルギE2に対しては各
位置L1,L2,L3,L4に対応して、X線透過デー
タS21,S22,S23,S24が記憶される。
【0034】このように収集され記憶されたX線透過デ
ータから被検体のラミノグラフ画像である断面像を作成
するには、まずX線エネルギE1についてのデータS1
1,S12,S13,S14を加算して重ね合わせた画
像S1tを図2に示すように作成する。また、同様に、
X線エネルギE2についてもデータS21,S22,S
23,S24を加算して重ね合わせた画像S2tを図2
に示すように作成する。
ータから被検体のラミノグラフ画像である断面像を作成
するには、まずX線エネルギE1についてのデータS1
1,S12,S13,S14を加算して重ね合わせた画
像S1tを図2に示すように作成する。また、同様に、
X線エネルギE2についてもデータS21,S22,S
23,S24を加算して重ね合わせた画像S2tを図2
に示すように作成する。
【0035】次に、以上の作成された2つの画像データ
S1t,S2tに基づいて新たな合成画像Tを次式のよ
うに作成する。
S1t,S2tに基づいて新たな合成画像Tを次式のよ
うに作成する。
【0036】T=α1 S1t+α2 S2t 今、X線エネルギE1,E2において、E1<E2とす
ると、S2tはS1tに比較して、X線エネルギが高い
分、減衰を受けにくく、その信号S2tはS1tよりレ
ベルが高い。このS1tに対するS2tの増加率をKと
し、上式においてα1 =1,α2 =−1/Kとすると、
合成画像Tは低いX線エネルギ分のみによる被検体のラ
ミノグラフ画像となり、例えば薄い銅箔パターンの検査
に適したものとなる。また、α1 =0,α2 =1とすれ
ば、高いX線エネルギ分のみによる被検体のラミノグラ
フ画像となり、例えば半田付け部分等の検査に適したも
のとなる。このように、2つのX線エネルギにおけるラ
ミノグラフ画像を作成して合成することにより、X線吸
収の大きく異なる部分を一度に得ることができる。
ると、S2tはS1tに比較して、X線エネルギが高い
分、減衰を受けにくく、その信号S2tはS1tよりレ
ベルが高い。このS1tに対するS2tの増加率をKと
し、上式においてα1 =1,α2 =−1/Kとすると、
合成画像Tは低いX線エネルギ分のみによる被検体のラ
ミノグラフ画像となり、例えば薄い銅箔パターンの検査
に適したものとなる。また、α1 =0,α2 =1とすれ
ば、高いX線エネルギ分のみによる被検体のラミノグラ
フ画像となり、例えば半田付け部分等の検査に適したも
のとなる。このように、2つのX線エネルギにおけるラ
ミノグラフ画像を作成して合成することにより、X線吸
収の大きく異なる部分を一度に得ることができる。
【0037】なお、上記実施例では、X線エネルギをE
1,E2、位置をL1,L2,L3,L4としている
が、これに限定されるものでなく、それぞれ任意の数に
設定し得るものである。
1,E2、位置をL1,L2,L3,L4としている
が、これに限定されるものでなく、それぞれ任意の数に
設定し得るものである。
【0038】また、上記実施例では、2次元画像を対象
に説明したが、本発明はこれに限定されるものでなく、
例えば1次元センサのラインセンサを用いても同様に実
施可能である。この場合には、被検体のX線検出器に対
する移動が必要になるので、載物台5を移動して、デー
タを収集することになる。
に説明したが、本発明はこれに限定されるものでなく、
例えば1次元センサのラインセンサを用いても同様に実
施可能である。この場合には、被検体のX線検出器に対
する移動が必要になるので、載物台5を移動して、デー
タを収集することになる。
【0039】図4は、本発明の他の実施例に係わる放射
線検査装置の作用を示す波形図である。同図に示す放射
線検査装置は、脈流X線を用いたダブルエナジー法を実
施するものであり、放射線源として図4(a)に示すよ
うに商用周波数の交流電圧を全波整流した脈流のX線発
生手段を使用し、該脈流のゼロクロス信号を図4(b)
に示すように取り出し、このゼロクロス信号を基準にし
て、図4(c)に示すように期間T1およびT2のパル
ス信号を発生し、この期間T1の間、低エネルギのX線
を発生し、期間T2の間、高エネルギのX線を発生し、
このそれぞれのX線エネルギ帯においてX線透過データ
を図4(d),(e)に示すように収集するように構成
したものである。
線検査装置の作用を示す波形図である。同図に示す放射
線検査装置は、脈流X線を用いたダブルエナジー法を実
施するものであり、放射線源として図4(a)に示すよ
うに商用周波数の交流電圧を全波整流した脈流のX線発
生手段を使用し、該脈流のゼロクロス信号を図4(b)
に示すように取り出し、このゼロクロス信号を基準にし
て、図4(c)に示すように期間T1およびT2のパル
ス信号を発生し、この期間T1の間、低エネルギのX線
を発生し、期間T2の間、高エネルギのX線を発生し、
このそれぞれのX線エネルギ帯においてX線透過データ
を図4(d),(e)に示すように収集するように構成
したものである。
【0040】図5は、本発明の別の実施例に係わる放射
線検査装置の作用を示す波形図である。同図に示す放射
線検査装置は、半波X線を用いたダブルエナジー法を実
施するものであり、図4に示した実施例が商用周波数の
交流電圧を全波整流したものであるのに対して、半波整
流した脈流電圧を使用するようにした点が異なるのみで
ある。すなわち、図5(a)に示すような半波整流され
た脈流電圧のゼロクロス信号を図5(b)に示すように
取り出し、このゼロクロス信号に基づいて図5(c)に
示すように期間t1,t2,t3のパルス信号を発生
し、この期間t1,t2の間、低エネルギのX線を発生
し、期間t3の間、高エネルギのX線を発生し、それぞ
れのX線エネルギ帯においてX線透過データを収集する
ように構成したものである。
線検査装置の作用を示す波形図である。同図に示す放射
線検査装置は、半波X線を用いたダブルエナジー法を実
施するものであり、図4に示した実施例が商用周波数の
交流電圧を全波整流したものであるのに対して、半波整
流した脈流電圧を使用するようにした点が異なるのみで
ある。すなわち、図5(a)に示すような半波整流され
た脈流電圧のゼロクロス信号を図5(b)に示すように
取り出し、このゼロクロス信号に基づいて図5(c)に
示すように期間t1,t2,t3のパルス信号を発生
し、この期間t1,t2の間、低エネルギのX線を発生
し、期間t3の間、高エネルギのX線を発生し、それぞ
れのX線エネルギ帯においてX線透過データを収集する
ように構成したものである。
【0041】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
時間毎にエネルギの異なる放射線を被検体に向けて発生
し、被検体を透過した放射線を検出し、この検出した透
過放射線データを放射線エネルギ毎に収集し、この放射
線エネルギ毎に収集した放射線データを演算して、被検
体のラミノグラフ断面像を構成するので、放射線吸収の
異なる被検体、例えば電子部品を実装したプリント基板
の半田付け部分と基板の銅箔パターン部分のラミノグラ
フ画像をそれぞれの検査に適した放射線エネルギを用い
て同時にかつ適確に得ることができる。
時間毎にエネルギの異なる放射線を被検体に向けて発生
し、被検体を透過した放射線を検出し、この検出した透
過放射線データを放射線エネルギ毎に収集し、この放射
線エネルギ毎に収集した放射線データを演算して、被検
体のラミノグラフ断面像を構成するので、放射線吸収の
異なる被検体、例えば電子部品を実装したプリント基板
の半田付け部分と基板の銅箔パターン部分のラミノグラ
フ画像をそれぞれの検査に適した放射線エネルギを用い
て同時にかつ適確に得ることができる。
【図1】本発明の一実施例に係わる放射線検査装置の構
成を示す図である。
成を示す図である。
【図2】図1に示す実施例の作用を示す説明図である。
【図3】図1に示す実施例の作用を示す説明図である。
【図4】本発明の他の実施例に係わる放射線検査装置の
作用を示す波形図である。
作用を示す波形図である。
【図5】本発明の別の実施例に係わる放射線検査装置の
作用を示す波形図である。
作用を示す波形図である。
1 高圧発生器 2 X線管 3 X線ビーム 4 被検体 5 載物台 6 X線検出器 7 X線管駆動機構 8 X線検出器駆動機構 9 載物台駆動機構 11 画像処理装置 13 画像メモリ 14 演算回路
フロントページの続き (72)発明者 森 三樹 神奈川県横浜市磯子区新磯子町33 株式会 社東芝生産技術研究所内 (72)発明者 鈴木 博勝 東京都府中市東芝町1番地 株式会社東芝 府中工場内
Claims (8)
- 【請求項1】 時間毎にエネルギの異なる放射線を被検
体に向けて発生する放射線発生手段と、被検体を透過し
た前記放射線発生手段からの放射線を検出する放射線検
出手段と、該放射線検出手段で検出した被検体を透過し
た放射線データを放射線エネルギ毎に収集するデータ収
集手段と、該データ収集手段で放射線エネルギ毎に収集
した放射線データを演算して、被検体のラミノグラフ断
面像を構成する演算手段とを有することを特徴とする放
射線検査装置。 - 【請求項2】 前記放射線発生手段は、放射線を発生す
る放射線発生器と、該放射線発生器から時間毎にエネル
ギの異なる放射線を発生すべく該放射線発生器に時間毎
に異なるエネルギを加えるエネルギ印加手段とを有する
ことを特徴とする請求項1記載の放射線検査装置。 - 【請求項3】 前記放射線発生手段は、少なくとも2つ
以上の所定の時間帯毎にそれぞれ異なる所定の値のエネ
ルギの放射線を発生する手段を有することを特徴とする
請求項1記載の放射線検査装置。 - 【請求項4】 前記放射線発生手段は、発生する放射線
エネルギまたは被検体の種類に応じて放射線エネルギが
一定である時間が予め定められていることを特徴とする
請求項1記載の放射線検査装置。 - 【請求項5】 前記放射線発生手段は、脈流に変化する
エネルギの放射線を発生する手段を有し、前記放射線検
出手段は、前記脈流に変化するエネルギのうち低エネル
ギと高エネルギの期間を複数に分けてデータ収集し、複
数のエネルギ帯の放射線透過データを得る手段を有する
ことを特徴とする請求項1記載の放射線検査装置。 - 【請求項6】 前記放射線発生手段は、商用周波数の電
圧を全波整流した電圧を供給され、該全波整流した電圧
に応じたエネルギの放射線を発生する手段を有すること
を特徴とする請求項1記載の放射線検査装置。 - 【請求項7】 前記放射線発生手段は、商用周波数の電
圧を半波整流または自己整流した電圧を供給され、該整
流電圧に応じたエネルギの放射線を発生する手段を有す
ることを特徴とする請求項1記載の放射線検査装置。 - 【請求項8】 商用周波数の電圧のゼロクロスを検出
し、この検出したゼロクロスに基づいてデータ収集制御
信号を生成する手段を有することを特徴とする請求項5
ないし7のいずれかに記載の放射線検査装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6199313A JPH0862161A (ja) | 1994-08-24 | 1994-08-24 | 放射線検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6199313A JPH0862161A (ja) | 1994-08-24 | 1994-08-24 | 放射線検査装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0862161A true JPH0862161A (ja) | 1996-03-08 |
Family
ID=16405731
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP6199313A Pending JPH0862161A (ja) | 1994-08-24 | 1994-08-24 | 放射線検査装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0862161A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006300697A (ja) * | 2005-04-20 | 2006-11-02 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 回路パターン検査装置及び回路パターン検査方法 |
JP2008256441A (ja) * | 2007-04-03 | 2008-10-23 | Dyne:Kk | X線検査装置 |
JP2016145778A (ja) * | 2015-02-09 | 2016-08-12 | 株式会社ジョブ | X線検査装置及びx線検査方法 |
-
1994
- 1994-08-24 JP JP6199313A patent/JPH0862161A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006300697A (ja) * | 2005-04-20 | 2006-11-02 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 回路パターン検査装置及び回路パターン検査方法 |
JP2008256441A (ja) * | 2007-04-03 | 2008-10-23 | Dyne:Kk | X線検査装置 |
JP2016145778A (ja) * | 2015-02-09 | 2016-08-12 | 株式会社ジョブ | X線検査装置及びx線検査方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7529336B2 (en) | System and method for laminography inspection | |
CN103106682B (zh) | 用于利用成像***生成关注区域的三维模型的方法和设备 | |
JPH1151879A (ja) | 非破壊検査装置 | |
US20090126494A1 (en) | Ultrasonic inspection apparatus and ultrasonic probe used for same | |
MXPA03004979A (es) | Tomosintesis fuera de centro. | |
US6278760B1 (en) | Radiation image forming method and apparatus | |
EP1376104B1 (en) | Capturing images of moving objects with a moving illumination point source | |
JP2000230911A (ja) | 断層映像撮影装置及び方法 | |
JPH0862161A (ja) | 放射線検査装置 | |
JPH1085206A (ja) | 医療用x線装置の作動方法 | |
JPH0861941A (ja) | 放射線検査装置 | |
JP3320463B2 (ja) | X線検査装置およびx線検査方法 | |
JP2007170926A (ja) | X線検査装置、断層画像異常表示装置、x線検査方法、断層画像異常表示方法、プログラム、および記録媒体 | |
JP4155866B2 (ja) | X線断層撮像装置 | |
JP4340373B2 (ja) | 接合検査装置、方法、及び接合検査方法を実行するプログラムを記録した記録媒体 | |
JPH01265145A (ja) | X線検査装置 | |
US3855471A (en) | Radiograph recording apparatus | |
TW200302919A (en) | X-ray inspection apparatus, and the control method and adjust method of the same | |
US20090086911A1 (en) | Inspection tool for radiographic systems | |
JPH05332952A (ja) | 産業用ct装置とそのスキャノグラム撮影方法 | |
JP3690786B2 (ja) | X線断層撮像装置 | |
JPH06265487A (ja) | 透過x線による断層像検出方法とその装置 | |
JP2593172B2 (ja) | X線透視検査装置 | |
JPH03269299A (ja) | 物体検査装置 | |
KR100214925B1 (ko) | 다층 회로 기판의 영상 분리 장치 및 방법 |