JPH0862161A - 放射線検査装置 - Google Patents
放射線検査装置Info
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- JPH0862161A JPH0862161A JP6199313A JP19931394A JPH0862161A JP H0862161 A JPH0862161 A JP H0862161A JP 6199313 A JP6199313 A JP 6199313A JP 19931394 A JP19931394 A JP 19931394A JP H0862161 A JPH0862161 A JP H0862161A
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- energy
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 被検体の放射線吸収により放射線エネルギ分
布が異なることを利用して被検体の断面像を適確に得る
ことができる放射線検査装置を提供する。 【構成】 Ｘ線管２、被検体４、Ｘ線検出器６を相対的
位置関係において少しずつ移動しながら、各移動位置に
おいてＸ線管２から発生する時間毎に変化するＸ線エネ
ルギＥ１，Ｅ２のＸ線ビーム３を被検体４に照射し、被
検体を透過したＸ線をＸ線検出器６で検出し、この検出
したＸ線透過データをＸ線エネルギＥ１，Ｅ２に対応し
て画像処理装置１１の画像メモリ１３に記憶する処理を
各移動位置において行った結果、画像メモリ１３に記憶
されたＸ線透過データを各Ｘ線エネルギ毎に加算して重
ね合わせ演算して得られた信号に基づいてＸ線ラミノグ
ラフ画像を得る。
布が異なることを利用して被検体の断面像を適確に得る
ことができる放射線検査装置を提供する。 【構成】 Ｘ線管２、被検体４、Ｘ線検出器６を相対的
位置関係において少しずつ移動しながら、各移動位置に
おいてＸ線管２から発生する時間毎に変化するＸ線エネ
ルギＥ１，Ｅ２のＸ線ビーム３を被検体４に照射し、被
検体を透過したＸ線をＸ線検出器６で検出し、この検出
したＸ線透過データをＸ線エネルギＥ１，Ｅ２に対応し
て画像処理装置１１の画像メモリ１３に記憶する処理を
各移動位置において行った結果、画像メモリ１３に記憶
されたＸ線透過データを各Ｘ線エネルギ毎に加算して重
ね合わせ演算して得られた信号に基づいてＸ線ラミノグ
ラフ画像を得る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、被検体を透過した放射
線を検出し、被検体の断面像を得るラミノグラフである
放射線検査装置に関し、更に詳しくは、放射線ラミノグ
ラフィ技術を使用して、例えば実装基板の半田付け部分
やプリント配線基板の銅箔パターンを非破壊で検査する
ために使用される放射線検査装置に関する。
線を検出し、被検体の断面像を得るラミノグラフである
放射線検査装置に関し、更に詳しくは、放射線ラミノグ
ラフィ技術を使用して、例えば実装基板の半田付け部分
やプリント配線基板の銅箔パターンを非破壊で検査する
ために使用される放射線検査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】実装基板の半田付け部分やプリント配線
基板の銅箔パターンを非破壊で検査する方法として、放
射線ラミノグラフィ技術を利用した放射線検査装置、す
なわちラミノグラフが開発されている。このラミノグラ
フは、基板に対して垂直方向から放射線を照射して、多
層基板の所望の箇所の断面像、すなわち多層基板の目的
とする特定の深さの所の断面像を得ることができるた
め、基板検査に適している。
基板の銅箔パターンを非破壊で検査する方法として、放
射線ラミノグラフィ技術を利用した放射線検査装置、す
なわちラミノグラフが開発されている。このラミノグラ
フは、基板に対して垂直方向から放射線を照射して、多
層基板の所望の箇所の断面像、すなわち多層基板の目的
とする特定の深さの所の断面像を得ることができるた
め、基板検査に適している。
【０００３】しかしながら、ラミノグラフは、放射線の
視点を変えることにより、検査対象の画像に不動の一点
を除いて、ぼけを生じさせ、多層基板の目的とする特定
の深さのみの断面像を取り出すものであり、本来は鮮明
な放射線透過像にずれによるぼけを強制的に作り出すも
のであるため、画像の質は低く、鮮明な画像が得られに
くい。
視点を変えることにより、検査対象の画像に不動の一点
を除いて、ぼけを生じさせ、多層基板の目的とする特定
の深さのみの断面像を取り出すものであり、本来は鮮明
な放射線透過像にずれによるぼけを強制的に作り出すも
のであるため、画像の質は低く、鮮明な画像が得られに
くい。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】従来のラミノグラフに
よって実装基板の半田付け部分や多層基板の内層板の銅
箔パターン部分を検査する場合において、半田付け部分
の検査では、半田付け部分の厚みがあり、Ｘ線の吸収が
大きいために、比較的高いＸ線エネルギを必要とし、ま
た内層板の銅箔パターンの検査では、検査対象である銅
箔の厚みが半田付け部分に比較して薄いため、低いＸ線
エネルギの方が銅箔パターンの細部の抽出には適してい
る。このように結果、半田付け部分の検査を行うのに適
した高Ｘ線エネルギを用いると、銅箔部分はＸ線吸収が
少ないために、画像として現れなくなるという問題があ
る。
よって実装基板の半田付け部分や多層基板の内層板の銅
箔パターン部分を検査する場合において、半田付け部分
の検査では、半田付け部分の厚みがあり、Ｘ線の吸収が
大きいために、比較的高いＸ線エネルギを必要とし、ま
た内層板の銅箔パターンの検査では、検査対象である銅
箔の厚みが半田付け部分に比較して薄いため、低いＸ線
エネルギの方が銅箔パターンの細部の抽出には適してい
る。このように結果、半田付け部分の検査を行うのに適
した高Ｘ線エネルギを用いると、銅箔部分はＸ線吸収が
少ないために、画像として現れなくなるという問題があ
る。
【０００５】本発明は、上記に鑑みてなされたもので、
その目的とするところは、被検体の放射線吸収により放
射線エネルギ分布が異なることを利用して被検体の断面
像を適確に得ることができる放射線検査装置を提供する
ことにある。
その目的とするところは、被検体の放射線吸収により放
射線エネルギ分布が異なることを利用して被検体の断面
像を適確に得ることができる放射線検査装置を提供する
ことにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の放射線検査装置は、時間毎にエネルギの異
なる放射線を被検体に向けて発生する放射線発生手段
と、被検体を透過した前記放射線発生手段からの放射線
を検出する放射線検出手段と、該放射線検出手段で検出
した被検体を透過した放射線データを放射線エネルギ毎
に収集するデータ収集手段と、該データ収集手段で放射
線エネルギ毎に収集した放射線データを演算して、被検
体のラミノグラフ断面像を構成する演算手段とを有する
ことを要旨とする。
め、本発明の放射線検査装置は、時間毎にエネルギの異
なる放射線を被検体に向けて発生する放射線発生手段
と、被検体を透過した前記放射線発生手段からの放射線
を検出する放射線検出手段と、該放射線検出手段で検出
した被検体を透過した放射線データを放射線エネルギ毎
に収集するデータ収集手段と、該データ収集手段で放射
線エネルギ毎に収集した放射線データを演算して、被検
体のラミノグラフ断面像を構成する演算手段とを有する
ことを要旨とする。
【０００７】また、本発明の放射線検査装置は、前記放
射線発生手段が放射線を発生する放射線発生器と、該放
射線発生器から時間毎にエネルギの異なる放射線を発生
すべく該放射線発生器に時間毎に異なるエネルギを加え
るエネルギ印加手段とを有することを要旨とする。
射線発生手段が放射線を発生する放射線発生器と、該放
射線発生器から時間毎にエネルギの異なる放射線を発生
すべく該放射線発生器に時間毎に異なるエネルギを加え
るエネルギ印加手段とを有することを要旨とする。
【０００８】更に、本発明の放射線検査装置は、前記放
射線発生手段が少なくとも２つ以上の所定の時間帯毎に
それぞれ異なる所定の値のエネルギの放射線を発生する
手段を有することを要旨とする。
射線発生手段が少なくとも２つ以上の所定の時間帯毎に
それぞれ異なる所定の値のエネルギの放射線を発生する
手段を有することを要旨とする。
【０００９】本発明の放射線検査装置は、前記放射線発
生手段が発生する放射線エネルギまたは被検体の種類に
応じて放射線エネルギが一定である時間が予め定められ
ていることを要旨とする。
生手段が発生する放射線エネルギまたは被検体の種類に
応じて放射線エネルギが一定である時間が予め定められ
ていることを要旨とする。
【００１０】また、本発明の放射線検査装置は、前記放
射線発生手段が脈流に変化するエネルギの放射線を発生
する手段を有し、前記放射線検出手段が前記脈流に変化
するエネルギのうち低エネルギと高エネルギの期間を複
数に分けてデータ収集し、複数のエネルギ帯の放射線透
過データを得る手段を有することを要旨とする。
射線発生手段が脈流に変化するエネルギの放射線を発生
する手段を有し、前記放射線検出手段が前記脈流に変化
するエネルギのうち低エネルギと高エネルギの期間を複
数に分けてデータ収集し、複数のエネルギ帯の放射線透
過データを得る手段を有することを要旨とする。
【００１１】更に、本発明の放射線検査装置は、前記放
射線発生手段が商用周波数の電圧を全波整流した電圧を
供給され、該全波整流した電圧に応じたエネルギの放射
線を発生する手段を有することを要旨とする。
射線発生手段が商用周波数の電圧を全波整流した電圧を
供給され、該全波整流した電圧に応じたエネルギの放射
線を発生する手段を有することを要旨とする。
【００１２】本発明の放射線検査装置は、前記放射線発
生手段が商用周波数の電圧を半波整流または自己整流し
た電圧を供給され、該整流電圧に応じたエネルギの放射
線を発生する手段を有することを要旨とする。
生手段が商用周波数の電圧を半波整流または自己整流し
た電圧を供給され、該整流電圧に応じたエネルギの放射
線を発生する手段を有することを要旨とする。
【００１３】また、本発明の放射線検査装置は、商用周
波数の電圧のゼロクロスを検出し、この検出したゼロク
ロスに基づいてデータ収集制御信号を生成する手段を有
することを要旨とする。
波数の電圧のゼロクロスを検出し、この検出したゼロク
ロスに基づいてデータ収集制御信号を生成する手段を有
することを要旨とする。
【００１４】
【作用】本発明の放射線検査装置では、時間毎にエネル
ギの異なる放射線を被検体に向けて発生し、被検体を透
過した放射線を検出し、この検出した透過放射線データ
を放射線エネルギ毎に収集し、この放射線エネルギ毎に
収集した放射線データを演算して、被検体のラミノグラ
フ断面像を構成する。
ギの異なる放射線を被検体に向けて発生し、被検体を透
過した放射線を検出し、この検出した透過放射線データ
を放射線エネルギ毎に収集し、この放射線エネルギ毎に
収集した放射線データを演算して、被検体のラミノグラ
フ断面像を構成する。
【００１５】また、本発明の放射線検査装置では、前記
放射線発生手段が放射線発生器と、該放射線発生器に時
間毎に異なるエネルギを加えるエネルギ印加手段とを有
する。
放射線発生手段が放射線発生器と、該放射線発生器に時
間毎に異なるエネルギを加えるエネルギ印加手段とを有
する。
【００１６】更に、本発明の放射線検査装置では、前記
放射線発生手段が少なくとも２つ以上の所定の時間帯毎
にそれぞれ異なる所定の値のエネルギの放射線を発生す
る。
放射線発生手段が少なくとも２つ以上の所定の時間帯毎
にそれぞれ異なる所定の値のエネルギの放射線を発生す
る。
【００１７】本発明の放射線検査装置では、前記放射線
発生手段が発生する放射線エネルギまたは被検体の種類
に応じて放射線エネルギが一定である時間が予め定めら
れている。
発生手段が発生する放射線エネルギまたは被検体の種類
に応じて放射線エネルギが一定である時間が予め定めら
れている。
【００１８】また、本発明の放射線検査装置では、前記
放射線発生手段が脈流に変化するエネルギの放射線を発
生し、前記放射線検出手段が前記脈流に変化するエネル
ギのうち低エネルギと高エネルギの期間を複数に分けて
データ収集し、複数のエネルギ帯の放射線透過データを
得る。
放射線発生手段が脈流に変化するエネルギの放射線を発
生し、前記放射線検出手段が前記脈流に変化するエネル
ギのうち低エネルギと高エネルギの期間を複数に分けて
データ収集し、複数のエネルギ帯の放射線透過データを
得る。
【００１９】更に、本発明の放射線検査装置では、前記
放射線発生手段が商用周波数の電圧を全波整流した電圧
を供給され、該全波整流した電圧に応じたエネルギの放
射線を発生する。
放射線発生手段が商用周波数の電圧を全波整流した電圧
を供給され、該全波整流した電圧に応じたエネルギの放
射線を発生する。
【００２０】本発明の放射線検査装置では、前記放射線
発生手段が商用周波数の電圧を半波整流または自己整流
した電圧を供給され、該整流電圧に応じたエネルギの放
射線を発生する。
発生手段が商用周波数の電圧を半波整流または自己整流
した電圧を供給され、該整流電圧に応じたエネルギの放
射線を発生する。
【００２１】また、本発明の放射線検査装置では、商用
周波数の電圧のゼロクロスを検出し、この検出したゼロ
クロスに基づいてデータ収集制御信号を生成する。
周波数の電圧のゼロクロスを検出し、この検出したゼロ
クロスに基づいてデータ収集制御信号を生成する。
【００２２】
【実施例】以下、図面を用いて本発明の実施例を説明す
る。
る。
【００２３】図１は、本発明の一実施例に係わる放射線
検査装置の構成を示す図である。同図に示す放射線検査
装置は、例えばプリント基板の半田付け部分や多層基板
の内層板の銅箔パターン部分等の被検体の所望の箇所の
断面像を得る所謂ラミノグラフを構成するものであり、
放射線としてＸ線を発生するＸ線管２を有する。該Ｘ線
管２は高圧発生器（ＨＶ．ＧＥＮ）１に接続され、該高
圧発生器１は時間毎に異なる高電圧を発生し、該高電圧
をＸ線管２に供給する。この結果、Ｘ線管２は該高電圧
に応じて時間毎にエネルギが異なるＸ線を発生する。こ
のように時間毎にエネルギが異なるＸ線管２から出力さ
れるＸ線は、Ｘ線管２の下方に配設され、載物台５上に
載置されている被検体４を透過する。そして、被検体４
を透過したＸ線は、被検体４の下方に配設されているＸ
線検出器６によって検出される。
検査装置の構成を示す図である。同図に示す放射線検査
装置は、例えばプリント基板の半田付け部分や多層基板
の内層板の銅箔パターン部分等の被検体の所望の箇所の
断面像を得る所謂ラミノグラフを構成するものであり、
放射線としてＸ線を発生するＸ線管２を有する。該Ｘ線
管２は高圧発生器（ＨＶ．ＧＥＮ）１に接続され、該高
圧発生器１は時間毎に異なる高電圧を発生し、該高電圧
をＸ線管２に供給する。この結果、Ｘ線管２は該高電圧
に応じて時間毎にエネルギが異なるＸ線を発生する。こ
のように時間毎にエネルギが異なるＸ線管２から出力さ
れるＸ線は、Ｘ線管２の下方に配設され、載物台５上に
載置されている被検体４を透過する。そして、被検体４
を透過したＸ線は、被検体４の下方に配設されているＸ
線検出器６によって検出される。
【００２４】Ｘ線管２およびＸ線検出器６は、それぞれ
Ｘ線管駆動機構７およびＸ線検出器駆動機構８に連結さ
れ、これによりラミノグラフ断面像を作成するための所
定の機械的運動を行うように駆動される。また、載物台
５も載物台駆動機構９に連結され、被検体４の所望の投
影像を得るためにその位置を変化させることができるよ
うに該載物台駆動機構９によって駆動される。なお、図
示されていないが、Ｘ線管２、Ｘ線検出器６、および載
物台５の各駆動機構７，８および９はそれぞれ駆動機構
の位置を検出するための位置検出器であるエンコーダ１
２ａ，１２ｂ，１２ｃをそれぞれ有している。
Ｘ線管駆動機構７およびＸ線検出器駆動機構８に連結さ
れ、これによりラミノグラフ断面像を作成するための所
定の機械的運動を行うように駆動される。また、載物台
５も載物台駆動機構９に連結され、被検体４の所望の投
影像を得るためにその位置を変化させることができるよ
うに該載物台駆動機構９によって駆動される。なお、図
示されていないが、Ｘ線管２、Ｘ線検出器６、および載
物台５の各駆動機構７，８および９はそれぞれ駆動機構
の位置を検出するための位置検出器であるエンコーダ１
２ａ，１２ｂ，１２ｃをそれぞれ有している。
【００２５】前記Ｘ線検出器６によって検出された被検
体４を透過したＸ線管２からの透過Ｘ線データは、信号
増幅回路１０を介して画像処理装置１１に入力され、該
画像処理装置１１内においてＡ／Ｄ変換回路（ＡＤＣ）
１７によってディジタル信号に変換されてから、対応す
るＸ線エネルギ毎に分類して収集され得るように中央制
御回路（ＣＰＵ）１６の制御のもとに画像メモリ（ＭＥ
Ｍ）１３の所定のアドレスに記憶される。具体的には、
中央制御回路１６は、前記エンコーダ１２ａ，１２ｂ，
１２ｃからの信号を供給され、該信号に基づいて前記Ｘ
線検出器６からの透過Ｘ線データを画像メモリ１３の各
アドレスに記憶する。また、中央制御回路１６は、画像
処理装置１１内の全体の動作を制御するとともに、前記
高圧発生器１が時間毎に異なる高電圧を発生するように
制御し、更に前記画像メモリ１３のアドレスから前記透
過Ｘ線データを読み出し、この読み出したデータを演算
回路（ＰＩＸ．ＡＬＵ）１４に供給して、該演算回路１
４にラミノグラフ断面像を作成するための所定の演算を
行わしめ、該演算により作成されたラミノグラフ断面像
を画像表示回路（ＶＩＤＥＯ）１５を介してＣＲＴモニ
タ１８に表示させるように制御する。
体４を透過したＸ線管２からの透過Ｘ線データは、信号
増幅回路１０を介して画像処理装置１１に入力され、該
画像処理装置１１内においてＡ／Ｄ変換回路（ＡＤＣ）
１７によってディジタル信号に変換されてから、対応す
るＸ線エネルギ毎に分類して収集され得るように中央制
御回路（ＣＰＵ）１６の制御のもとに画像メモリ（ＭＥ
Ｍ）１３の所定のアドレスに記憶される。具体的には、
中央制御回路１６は、前記エンコーダ１２ａ，１２ｂ，
１２ｃからの信号を供給され、該信号に基づいて前記Ｘ
線検出器６からの透過Ｘ線データを画像メモリ１３の各
アドレスに記憶する。また、中央制御回路１６は、画像
処理装置１１内の全体の動作を制御するとともに、前記
高圧発生器１が時間毎に異なる高電圧を発生するように
制御し、更に前記画像メモリ１３のアドレスから前記透
過Ｘ線データを読み出し、この読み出したデータを演算
回路（ＰＩＸ．ＡＬＵ）１４に供給して、該演算回路１
４にラミノグラフ断面像を作成するための所定の演算を
行わしめ、該演算により作成されたラミノグラフ断面像
を画像表示回路（ＶＩＤＥＯ）１５を介してＣＲＴモニ
タ１８に表示させるように制御する。
【００２６】次に、以上のように構成される本実施例の
放射線検査装置であるラミノグラフの作用について図２
および図３を参照して説明する。
放射線検査装置であるラミノグラフの作用について図２
および図３を参照して説明する。
【００２７】まず、Ｘ線管２、被検体４、Ｘ線検出器６
の相対的位置関係において、最初にこれらを第１の位置
Ｌ１に設定する。それから、高圧発生器１は、Ｘ線管２
から所定の時間毎に例えば２段階に変化するＸ線エネル
ギＥ１，Ｅ２を有するＸ線を発生させるべく時間毎に２
段階に変化する高電圧Ｖ１，Ｖ２をＸ線管２に供給す
る。そして、Ｘ線管２から発生する２段階のＸ線エネル
ギＥ１，Ｅ２を有するＸ線ビーム３は載物台５上の被検
体４を照射し、該被検体４を透過したＸ線がＸ線検出器
６で検出される。
の相対的位置関係において、最初にこれらを第１の位置
Ｌ１に設定する。それから、高圧発生器１は、Ｘ線管２
から所定の時間毎に例えば２段階に変化するＸ線エネル
ギＥ１，Ｅ２を有するＸ線を発生させるべく時間毎に２
段階に変化する高電圧Ｖ１，Ｖ２をＸ線管２に供給す
る。そして、Ｘ線管２から発生する２段階のＸ線エネル
ギＥ１，Ｅ２を有するＸ線ビーム３は載物台５上の被検
体４を照射し、該被検体４を透過したＸ線がＸ線検出器
６で検出される。
【００２８】この結果、第１の位置Ｌ１において、Ｘ線
検出器６で検出された被検体のＸ線透過データは、Ｘ線
エネルギＥ１，Ｅ２に対応してＳ１１，Ｓ２１として画
像処理装置１１に供給され、画像処理装置１１はエンコ
ーダ１２ａ，１２ｂ，１２ｃからの信号に基づいて位置
Ｌ１に対応した画像メモリ１３のアドレスにそれぞれ記
憶される。
検出器６で検出された被検体のＸ線透過データは、Ｘ線
エネルギＥ１，Ｅ２に対応してＳ１１，Ｓ２１として画
像処理装置１１に供給され、画像処理装置１１はエンコ
ーダ１２ａ，１２ｂ，１２ｃからの信号に基づいて位置
Ｌ１に対応した画像メモリ１３のアドレスにそれぞれ記
憶される。
【００２９】次に、Ｘ線管２、被検体４、Ｘ線検出器６
を互いに少し移動し、その相対的位置関係において第２
の位置Ｌ２に移動させる。そして、この第２の位置Ｌ２
において、上述したと同様に、Ｘ線管２から２段階のＸ
線エネルギＥ１，Ｅ２を有するＸ線を発生し、被検体４
を透過したＸ線をＸ線検出器６で検出する。このＸ線検
出器６で検出された被検体４のＸ線透過データは、Ｘ線
エネルギＥ１，Ｅ２に対応してＳ１２，Ｓ２２として画
像処理装置１１に供給され、画像処理装置１１はエンコ
ーダ１２ａ，１２ｂ，１２ｃからの信号に基づいて位置
Ｌ２に対応した画像メモリ１３のアドレスにそれぞれ記
憶される。
を互いに少し移動し、その相対的位置関係において第２
の位置Ｌ２に移動させる。そして、この第２の位置Ｌ２
において、上述したと同様に、Ｘ線管２から２段階のＸ
線エネルギＥ１，Ｅ２を有するＸ線を発生し、被検体４
を透過したＸ線をＸ線検出器６で検出する。このＸ線検
出器６で検出された被検体４のＸ線透過データは、Ｘ線
エネルギＥ１，Ｅ２に対応してＳ１２，Ｓ２２として画
像処理装置１１に供給され、画像処理装置１１はエンコ
ーダ１２ａ，１２ｂ，１２ｃからの信号に基づいて位置
Ｌ２に対応した画像メモリ１３のアドレスにそれぞれ記
憶される。
【００３０】以下、同様にして、Ｘ線管２、被検体４、
Ｘ線検出器６を互いに少しずつ移動し、その相対的位置
関係において第３の位置Ｌ３、第４の位置Ｌ４，・・・
に移動させる。
Ｘ線検出器６を互いに少しずつ移動し、その相対的位置
関係において第３の位置Ｌ３、第４の位置Ｌ４，・・・
に移動させる。
【００３１】なお、図２は、この相対的位置関係を４つ
までの第４の位置Ｌ４までとして、円運動をＸ線管２、
被検体４、Ｘ線検出器６に行わせるようにしたものであ
る。また、図３は、このような４つの位置Ｌ１，Ｌ２，
Ｌ３，Ｌ４のうちの位置Ｌ１，Ｌ２におけるＸ線管２、
被検体４、Ｘ線検出器６の位置関係を示している。図３
において、Ｘ線管２が位置Ｌ１にある場合には、Ｘ線検
出器６は実線で示すような位置に被検体４を挟んで位置
し、またＸ線管２が位置Ｌ２に移動した場合には、Ｘ線
検出器６は６’で示すように点線で示すような位置に被
検体４を挟んで位置し、位置Ｌ１においてＸ線管２とＸ
線検出器６の各中心を結ぶ線分は、位置Ｌ２においてＸ
線管２とＸ線検出器６の各中心を結ぶ線分と被検体４内
の断面像を得ようとする深さ、すなわち検査位置におい
て交差している。すなちわ、各位置Ｌ１，Ｌ２は、この
ような位置関係になるようにＸ線管２、Ｘ線検出器６の
相対的運動が制御されているのである。
までの第４の位置Ｌ４までとして、円運動をＸ線管２、
被検体４、Ｘ線検出器６に行わせるようにしたものであ
る。また、図３は、このような４つの位置Ｌ１，Ｌ２，
Ｌ３，Ｌ４のうちの位置Ｌ１，Ｌ２におけるＸ線管２、
被検体４、Ｘ線検出器６の位置関係を示している。図３
において、Ｘ線管２が位置Ｌ１にある場合には、Ｘ線検
出器６は実線で示すような位置に被検体４を挟んで位置
し、またＸ線管２が位置Ｌ２に移動した場合には、Ｘ線
検出器６は６’で示すように点線で示すような位置に被
検体４を挟んで位置し、位置Ｌ１においてＸ線管２とＸ
線検出器６の各中心を結ぶ線分は、位置Ｌ２においてＸ
線管２とＸ線検出器６の各中心を結ぶ線分と被検体４内
の断面像を得ようとする深さ、すなわち検査位置におい
て交差している。すなちわ、各位置Ｌ１，Ｌ２は、この
ような位置関係になるようにＸ線管２、Ｘ線検出器６の
相対的運動が制御されているのである。
【００３２】次に、Ｘ線管２、被検体４、Ｘ線検出器６
を第３の位置Ｌ３、第４の位置Ｌ４にそれぞれ移動させ
て、上述したようにＸ線検出器６で検出された被検体４
のＸ線透過データは、Ｘ線エネルギＥ１，Ｅ２にそれぞ
れ対応してＳ１３，Ｓ２３，Ｓ１４，Ｓ２４として画像
処理装置１１に供給され、画像処理装置１１はエンコー
ダ１２ａ，１２ｂ，１２ｃからの信号に基づいて各位置
Ｌ３，Ｌ４に対応した画像メモリ１３のアドレスに記憶
される。
を第３の位置Ｌ３、第４の位置Ｌ４にそれぞれ移動させ
て、上述したようにＸ線検出器６で検出された被検体４
のＸ線透過データは、Ｘ線エネルギＥ１，Ｅ２にそれぞ
れ対応してＳ１３，Ｓ２３，Ｓ１４，Ｓ２４として画像
処理装置１１に供給され、画像処理装置１１はエンコー
ダ１２ａ，１２ｂ，１２ｃからの信号に基づいて各位置
Ｌ３，Ｌ４に対応した画像メモリ１３のアドレスに記憶
される。
【００３３】以上の結果、画像処理装置１１の画像メモ
リ１３には、図２に示すように、低い方のＸ線エネルギ
Ｘ１に対しては各位置Ｌ１，Ｌ２，Ｌ３，Ｌ４に対応し
て、Ｘ線透過データＳ１１，Ｓ１２，Ｓ１３，Ｓ１４が
記憶され、また高い方のＸ線エネルギＥ２に対しては各
位置Ｌ１，Ｌ２，Ｌ３，Ｌ４に対応して、Ｘ線透過デー
タＳ２１，Ｓ２２，Ｓ２３，Ｓ２４が記憶される。
リ１３には、図２に示すように、低い方のＸ線エネルギ
Ｘ１に対しては各位置Ｌ１，Ｌ２，Ｌ３，Ｌ４に対応し
て、Ｘ線透過データＳ１１，Ｓ１２，Ｓ１３，Ｓ１４が
記憶され、また高い方のＸ線エネルギＥ２に対しては各
位置Ｌ１，Ｌ２，Ｌ３，Ｌ４に対応して、Ｘ線透過デー
タＳ２１，Ｓ２２，Ｓ２３，Ｓ２４が記憶される。
【００３４】このように収集され記憶されたＸ線透過デ
ータから被検体のラミノグラフ画像である断面像を作成
するには、まずＸ線エネルギＥ１についてのデータＳ１
１，Ｓ１２，Ｓ１３，Ｓ１４を加算して重ね合わせた画
像Ｓ１ｔを図２に示すように作成する。また、同様に、
Ｘ線エネルギＥ２についてもデータＳ２１，Ｓ２２，Ｓ
２３，Ｓ２４を加算して重ね合わせた画像Ｓ２ｔを図２
に示すように作成する。
ータから被検体のラミノグラフ画像である断面像を作成
するには、まずＸ線エネルギＥ１についてのデータＳ１
１，Ｓ１２，Ｓ１３，Ｓ１４を加算して重ね合わせた画
像Ｓ１ｔを図２に示すように作成する。また、同様に、
Ｘ線エネルギＥ２についてもデータＳ２１，Ｓ２２，Ｓ
２３，Ｓ２４を加算して重ね合わせた画像Ｓ２ｔを図２
に示すように作成する。
【００３５】次に、以上の作成された２つの画像データ
Ｓ１ｔ，Ｓ２ｔに基づいて新たな合成画像Ｔを次式のよ
うに作成する。
Ｓ１ｔ，Ｓ２ｔに基づいて新たな合成画像Ｔを次式のよ
うに作成する。
【００３６】Ｔ＝α1 Ｓ１ｔ＋α2 Ｓ２ｔ 今、Ｘ線エネルギＥ１，Ｅ２において、Ｅ１＜Ｅ２とす
ると、Ｓ２ｔはＳ１ｔに比較して、Ｘ線エネルギが高い
分、減衰を受けにくく、その信号Ｓ２ｔはＳ１ｔよりレ
ベルが高い。このＳ１ｔに対するＳ２ｔの増加率をＫと
し、上式においてα1 ＝１，α2 ＝−１／Ｋとすると、
合成画像Ｔは低いＸ線エネルギ分のみによる被検体のラ
ミノグラフ画像となり、例えば薄い銅箔パターンの検査
に適したものとなる。また、α1 ＝０，α2 ＝１とすれ
ば、高いＸ線エネルギ分のみによる被検体のラミノグラ
フ画像となり、例えば半田付け部分等の検査に適したも
のとなる。このように、２つのＸ線エネルギにおけるラ
ミノグラフ画像を作成して合成することにより、Ｘ線吸
収の大きく異なる部分を一度に得ることができる。
ると、Ｓ２ｔはＳ１ｔに比較して、Ｘ線エネルギが高い
分、減衰を受けにくく、その信号Ｓ２ｔはＳ１ｔよりレ
ベルが高い。このＳ１ｔに対するＳ２ｔの増加率をＫと
し、上式においてα1 ＝１，α2 ＝−１／Ｋとすると、
合成画像Ｔは低いＸ線エネルギ分のみによる被検体のラ
ミノグラフ画像となり、例えば薄い銅箔パターンの検査
に適したものとなる。また、α1 ＝０，α2 ＝１とすれ
ば、高いＸ線エネルギ分のみによる被検体のラミノグラ
フ画像となり、例えば半田付け部分等の検査に適したも
のとなる。このように、２つのＸ線エネルギにおけるラ
ミノグラフ画像を作成して合成することにより、Ｘ線吸
収の大きく異なる部分を一度に得ることができる。
【００３７】なお、上記実施例では、Ｘ線エネルギをＥ
１，Ｅ２、位置をＬ１，Ｌ２，Ｌ３，Ｌ４としている
が、これに限定されるものでなく、それぞれ任意の数に
設定し得るものである。
１，Ｅ２、位置をＬ１，Ｌ２，Ｌ３，Ｌ４としている
が、これに限定されるものでなく、それぞれ任意の数に
設定し得るものである。
【００３８】また、上記実施例では、２次元画像を対象
に説明したが、本発明はこれに限定されるものでなく、
例えば１次元センサのラインセンサを用いても同様に実
施可能である。この場合には、被検体のＸ線検出器に対
する移動が必要になるので、載物台５を移動して、デー
タを収集することになる。
に説明したが、本発明はこれに限定されるものでなく、
例えば１次元センサのラインセンサを用いても同様に実
施可能である。この場合には、被検体のＸ線検出器に対
する移動が必要になるので、載物台５を移動して、デー
タを収集することになる。
【００３９】図４は、本発明の他の実施例に係わる放射
線検査装置の作用を示す波形図である。同図に示す放射
線検査装置は、脈流Ｘ線を用いたダブルエナジー法を実
施するものであり、放射線源として図４（ａ）に示すよ
うに商用周波数の交流電圧を全波整流した脈流のＸ線発
生手段を使用し、該脈流のゼロクロス信号を図４（ｂ）
に示すように取り出し、このゼロクロス信号を基準にし
て、図４（ｃ）に示すように期間Ｔ１およびＴ２のパル
ス信号を発生し、この期間Ｔ１の間、低エネルギのＸ線
を発生し、期間Ｔ２の間、高エネルギのＸ線を発生し、
このそれぞれのＸ線エネルギ帯においてＸ線透過データ
を図４（ｄ），（ｅ）に示すように収集するように構成
したものである。
線検査装置の作用を示す波形図である。同図に示す放射
線検査装置は、脈流Ｘ線を用いたダブルエナジー法を実
施するものであり、放射線源として図４（ａ）に示すよ
うに商用周波数の交流電圧を全波整流した脈流のＸ線発
生手段を使用し、該脈流のゼロクロス信号を図４（ｂ）
に示すように取り出し、このゼロクロス信号を基準にし
て、図４（ｃ）に示すように期間Ｔ１およびＴ２のパル
ス信号を発生し、この期間Ｔ１の間、低エネルギのＸ線
を発生し、期間Ｔ２の間、高エネルギのＸ線を発生し、
このそれぞれのＸ線エネルギ帯においてＸ線透過データ
を図４（ｄ），（ｅ）に示すように収集するように構成
したものである。
【００４０】図５は、本発明の別の実施例に係わる放射
線検査装置の作用を示す波形図である。同図に示す放射
線検査装置は、半波Ｘ線を用いたダブルエナジー法を実
施するものであり、図４に示した実施例が商用周波数の
交流電圧を全波整流したものであるのに対して、半波整
流した脈流電圧を使用するようにした点が異なるのみで
ある。すなわち、図５（ａ）に示すような半波整流され
た脈流電圧のゼロクロス信号を図５（ｂ）に示すように
取り出し、このゼロクロス信号に基づいて図５（ｃ）に
示すように期間ｔ１，ｔ２，ｔ３のパルス信号を発生
し、この期間ｔ１，ｔ２の間、低エネルギのＸ線を発生
し、期間ｔ３の間、高エネルギのＸ線を発生し、それぞ
れのＸ線エネルギ帯においてＸ線透過データを収集する
ように構成したものである。
線検査装置の作用を示す波形図である。同図に示す放射
線検査装置は、半波Ｘ線を用いたダブルエナジー法を実
施するものであり、図４に示した実施例が商用周波数の
交流電圧を全波整流したものであるのに対して、半波整
流した脈流電圧を使用するようにした点が異なるのみで
ある。すなわち、図５（ａ）に示すような半波整流され
た脈流電圧のゼロクロス信号を図５（ｂ）に示すように
取り出し、このゼロクロス信号に基づいて図５（ｃ）に
示すように期間ｔ１，ｔ２，ｔ３のパルス信号を発生
し、この期間ｔ１，ｔ２の間、低エネルギのＸ線を発生
し、期間ｔ３の間、高エネルギのＸ線を発生し、それぞ
れのＸ線エネルギ帯においてＸ線透過データを収集する
ように構成したものである。
【００４１】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
時間毎にエネルギの異なる放射線を被検体に向けて発生
し、被検体を透過した放射線を検出し、この検出した透
過放射線データを放射線エネルギ毎に収集し、この放射
線エネルギ毎に収集した放射線データを演算して、被検
体のラミノグラフ断面像を構成するので、放射線吸収の
異なる被検体、例えば電子部品を実装したプリント基板
の半田付け部分と基板の銅箔パターン部分のラミノグラ
フ画像をそれぞれの検査に適した放射線エネルギを用い
て同時にかつ適確に得ることができる。
時間毎にエネルギの異なる放射線を被検体に向けて発生
し、被検体を透過した放射線を検出し、この検出した透
過放射線データを放射線エネルギ毎に収集し、この放射
線エネルギ毎に収集した放射線データを演算して、被検
体のラミノグラフ断面像を構成するので、放射線吸収の
異なる被検体、例えば電子部品を実装したプリント基板
の半田付け部分と基板の銅箔パターン部分のラミノグラ
フ画像をそれぞれの検査に適した放射線エネルギを用い
て同時にかつ適確に得ることができる。
【図１】本発明の一実施例に係わる放射線検査装置の構
成を示す図である。
成を示す図である。
【図２】図１に示す実施例の作用を示す説明図である。
【図３】図１に示す実施例の作用を示す説明図である。
【図４】本発明の他の実施例に係わる放射線検査装置の
作用を示す波形図である。
作用を示す波形図である。
【図５】本発明の別の実施例に係わる放射線検査装置の
作用を示す波形図である。
作用を示す波形図である。
１ 高圧発生器 ２ Ｘ線管 ３ Ｘ線ビーム ４ 被検体 ５ 載物台 ６ Ｘ線検出器 ７ Ｘ線管駆動機構 ８ Ｘ線検出器駆動機構 ９ 載物台駆動機構 １１ 画像処理装置 １３ 画像メモリ １４ 演算回路
フロントページの続き (72)発明者 森 三樹 神奈川県横浜市磯子区新磯子町33 株式会 社東芝生産技術研究所内 (72)発明者 鈴木 博勝 東京都府中市東芝町１番地 株式会社東芝 府中工場内
Claims (8)
- 【請求項１】 時間毎にエネルギの異なる放射線を被検
体に向けて発生する放射線発生手段と、被検体を透過し
た前記放射線発生手段からの放射線を検出する放射線検
出手段と、該放射線検出手段で検出した被検体を透過し
た放射線データを放射線エネルギ毎に収集するデータ収
集手段と、該データ収集手段で放射線エネルギ毎に収集
した放射線データを演算して、被検体のラミノグラフ断
面像を構成する演算手段とを有することを特徴とする放
射線検査装置。 - 【請求項２】 前記放射線発生手段は、放射線を発生す
る放射線発生器と、該放射線発生器から時間毎にエネル
ギの異なる放射線を発生すべく該放射線発生器に時間毎
に異なるエネルギを加えるエネルギ印加手段とを有する
ことを特徴とする請求項１記載の放射線検査装置。 - 【請求項３】 前記放射線発生手段は、少なくとも２つ
以上の所定の時間帯毎にそれぞれ異なる所定の値のエネ
ルギの放射線を発生する手段を有することを特徴とする
請求項１記載の放射線検査装置。 - 【請求項４】 前記放射線発生手段は、発生する放射線
エネルギまたは被検体の種類に応じて放射線エネルギが
一定である時間が予め定められていることを特徴とする
請求項１記載の放射線検査装置。 - 【請求項５】 前記放射線発生手段は、脈流に変化する
エネルギの放射線を発生する手段を有し、前記放射線検
出手段は、前記脈流に変化するエネルギのうち低エネル
ギと高エネルギの期間を複数に分けてデータ収集し、複
数のエネルギ帯の放射線透過データを得る手段を有する
ことを特徴とする請求項１記載の放射線検査装置。 - 【請求項６】 前記放射線発生手段は、商用周波数の電
圧を全波整流した電圧を供給され、該全波整流した電圧
に応じたエネルギの放射線を発生する手段を有すること
を特徴とする請求項１記載の放射線検査装置。 - 【請求項７】 前記放射線発生手段は、商用周波数の電
圧を半波整流または自己整流した電圧を供給され、該整
流電圧に応じたエネルギの放射線を発生する手段を有す
ることを特徴とする請求項１記載の放射線検査装置。 - 【請求項８】 商用周波数の電圧のゼロクロスを検出
し、この検出したゼロクロスに基づいてデータ収集制御
信号を生成する手段を有することを特徴とする請求項５
ないし７のいずれかに記載の放射線検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6199313A JPH0862161A (ja) | 1994-08-24 | 1994-08-24 | 放射線検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6199313A JPH0862161A (ja) | 1994-08-24 | 1994-08-24 | 放射線検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0862161A true JPH0862161A (ja) | 1996-03-08 |
Family
ID=16405731
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6199313A Pending JPH0862161A (ja) | 1994-08-24 | 1994-08-24 | 放射線検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0862161A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006300697A (ja) * | 2005-04-20 | 2006-11-02 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 回路パターン検査装置及び回路パターン検査方法 |
| JP2008256441A (ja) * | 2007-04-03 | 2008-10-23 | Dyne:Kk | Ｘ線検査装置 |
| JP2016145778A (ja) * | 2015-02-09 | 2016-08-12 | 株式会社ジョブ | Ｘ線検査装置及びｘ線検査方法 |
-
1994
- 1994-08-24 JP JP6199313A patent/JPH0862161A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006300697A (ja) * | 2005-04-20 | 2006-11-02 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 回路パターン検査装置及び回路パターン検査方法 |
| JP2008256441A (ja) * | 2007-04-03 | 2008-10-23 | Dyne:Kk | Ｘ線検査装置 |
| JP2016145778A (ja) * | 2015-02-09 | 2016-08-12 | 株式会社ジョブ | Ｘ線検査装置及びｘ線検査方法 |
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