JPH0862003A - 流量変換器及び流量検出スイッチ - Google Patents
流量変換器及び流量検出スイッチInfo
- Publication number
- JPH0862003A JPH0862003A JP6201966A JP20196694A JPH0862003A JP H0862003 A JPH0862003 A JP H0862003A JP 6201966 A JP6201966 A JP 6201966A JP 20196694 A JP20196694 A JP 20196694A JP H0862003 A JPH0862003 A JP H0862003A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- movable body
- flow rate
- contact
- support
- columnar support
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Measuring Volume Flow (AREA)
- Details Of Flowmeters (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 流量対電気出力が直線特性を持つ流量変換器
を提供する。 【構成】 ハウジング１０内に円柱状の支持体１４を流
体通路１１Ａ，１１Ｂに対して軸芯を直交する姿勢で配
置し、この支持体に円筒状の可動体１３の内周面を接触
させて支持する。可動体の周面に固定体１５を対接させ
て間隙を形成する可動体と支持体との接触点から等角度
ずつ離れて一対の変位検出用の検出コイル２Ａと２Ｂを
取付け、接触点から対称な位置で可動体の変位量を測定
する。一対の検出コイルは抵抗器等と共にブリッジ回路
を構成し、ブリッジ回路から直線性のよい検出信号を得
る。
を提供する。 【構成】 ハウジング１０内に円柱状の支持体１４を流
体通路１１Ａ，１１Ｂに対して軸芯を直交する姿勢で配
置し、この支持体に円筒状の可動体１３の内周面を接触
させて支持する。可動体の周面に固定体１５を対接させ
て間隙を形成する可動体と支持体との接触点から等角度
ずつ離れて一対の変位検出用の検出コイル２Ａと２Ｂを
取付け、接触点から対称な位置で可動体の変位量を測定
する。一対の検出コイルは抵抗器等と共にブリッジ回路
を構成し、ブリッジ回路から直線性のよい検出信号を得
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は流体の流量を測定する
ことに利用することができる流量変換器に関する。
ことに利用することができる流量変換器に関する。
【０００２】
【従来の技術】本出願人は既に「特願昭６２−９１５４
８号」，「特願昭６３−１２９８８２号」或いは「特願
平３−６６５０６号」等により流量変換器を提案した。
これら先に提案した流量変換器は図１１に示すように片
持梁型の受圧板１に被測定流体の作動圧Ｐによる受圧板
１の変位を変位検出器２で検出し、流量値に対応した電
気信号を発信する構造としたものである。
８号」，「特願昭６３−１２９８８２号」或いは「特願
平３−６６５０６号」等により流量変換器を提案した。
これら先に提案した流量変換器は図１１に示すように片
持梁型の受圧板１に被測定流体の作動圧Ｐによる受圧板
１の変位を変位検出器２で検出し、流量値に対応した電
気信号を発信する構造としたものである。
【０００３】図１２に従来の流量変換器に用いられてい
る変位検出器２の回路構成を示す。図１１に示す受圧板
１の変位量ΔＭに相当する電気出力を得るために、変位
検出器２は一般に可変磁気抵抗変化を利用した検出コイ
ルが用いられ、図１４に示す変位検出コイル２Ａを一辺
に含むブリッジ回路によって構成される。なお、図に示
す２Ｂは温度補償用コイル、２Ｃは抵抗器を示す。
る変位検出器２の回路構成を示す。図１１に示す受圧板
１の変位量ΔＭに相当する電気出力を得るために、変位
検出器２は一般に可変磁気抵抗変化を利用した検出コイ
ルが用いられ、図１４に示す変位検出コイル２Ａを一辺
に含むブリッジ回路によって構成される。なお、図に示
す２Ｂは温度補償用コイル、２Ｃは抵抗器を示す。
【０００４】図示した回路構成によれば、受圧板１に流
体の作動圧Ｐが与えられると、図１４の検出コイル２Ａ
のインダクタンスは小さくなる方向に変化し、出力端子
Ｔ1とＴ2 の間に出力電圧ΔＥが発生する。この出力電
圧ΔＥは検出コイル２ＡのインダクタンスＬ2 が図１２
に示すように、検出コイル２Ａと可動板１の距離が離れ
るに従い減衰する特性から、インダクタンス変化ΔＬ1
が非線形特性となるため、出力電圧ΔＥは非線形特性と
なる。
体の作動圧Ｐが与えられると、図１４の検出コイル２Ａ
のインダクタンスは小さくなる方向に変化し、出力端子
Ｔ1とＴ2 の間に出力電圧ΔＥが発生する。この出力電
圧ΔＥは検出コイル２ＡのインダクタンスＬ2 が図１２
に示すように、検出コイル２Ａと可動板１の距離が離れ
るに従い減衰する特性から、インダクタンス変化ΔＬ1
が非線形特性となるため、出力電圧ΔＥは非線形特性と
なる。
【０００５】図１４に示した電気回路の出力電圧ΔＥが
非線形特性になる理由を交流ブリッジ回路で以下に簡単
に説明する。変位検出器２を構成する検出コイル２Ａと
温度補償用コイル２Ｂ及び２個の抵抗器２Ｃの各電気的
定数を図１４に示すように、｛ｒ2 ＋ｊω（Ｌ2 −Δ
Ｌ）｝，（ｒ2 ＋ｊωＬ2 ），（Ｒ1 ）とすると、ルー
プＩとループIIは次式のようになる。 ループＩ −Ｖ（ｒ2 ＋ｊωＬ2 ）／｛２ｒ2 ＋ｊω（２Ｌ2 −ΔＬ1 ）｝＋Ｖ・１／２ ＋ΔＥ＝０ ループII −Ｖ｛ｒ2 ＋ｊω（Ｌ2 −ΔＬ1 ）｝／｛２ｒ2 ＋ｊω（２Ｌ2 −ΔＬ1 ）｝ ＋Ｖ・１／２−ΔＥ＝０ Ｉ−II −Ｖ・ｊωΔＬ1 ／｛２ｒ2 ＋ｊω（２Ｌ2 −ΔＬ1 ）｝＋２ΔＥ＝０ ΔＥ＝Ｖ・ｊωΔＬ1 ／２｛２ｒ2 ＋ｊω（２Ｌ2 −ΔＬ1 ）｝………（１） （１）式よりΔＬ1 が非線形特性であるから、ΔＥも非
線形特性になる。
非線形特性になる理由を交流ブリッジ回路で以下に簡単
に説明する。変位検出器２を構成する検出コイル２Ａと
温度補償用コイル２Ｂ及び２個の抵抗器２Ｃの各電気的
定数を図１４に示すように、｛ｒ2 ＋ｊω（Ｌ2 −Δ
Ｌ）｝，（ｒ2 ＋ｊωＬ2 ），（Ｒ1 ）とすると、ルー
プＩとループIIは次式のようになる。 ループＩ −Ｖ（ｒ2 ＋ｊωＬ2 ）／｛２ｒ2 ＋ｊω（２Ｌ2 −ΔＬ1 ）｝＋Ｖ・１／２ ＋ΔＥ＝０ ループII −Ｖ｛ｒ2 ＋ｊω（Ｌ2 −ΔＬ1 ）｝／｛２ｒ2 ＋ｊω（２Ｌ2 −ΔＬ1 ）｝ ＋Ｖ・１／２−ΔＥ＝０ Ｉ−II −Ｖ・ｊωΔＬ1 ／｛２ｒ2 ＋ｊω（２Ｌ2 −ΔＬ1 ）｝＋２ΔＥ＝０ ΔＥ＝Ｖ・ｊωΔＬ1 ／２｛２ｒ2 ＋ｊω（２Ｌ2 −ΔＬ1 ）｝………（１） （１）式よりΔＬ1 が非線形特性であるから、ΔＥも非
線形特性になる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】変位検出コイル２Ａを
一辺に含むブリッジ回路は、インダクタンス変化ΔＬ1
が非線形特性であるから、出力電圧ΔＥは非線形特性と
なり、従来はこの電圧を同期整流した後にリニアライザ
によって直線化補正し、直線化補正した電圧信号を例え
ば表示器等に与え、等分割目盛で流量を表示させてい
る。従って、従来はリニアライザのような高価な回路を
必要とする不都合があり、流量測定装置の全体のコスト
を高いものとしている。また片持梁構造のため受圧板１
は材質の経時的な変化を受け易く、零点を安定させるこ
とが難しかった。また流体が片持梁に垂直に当たる構造
のため、なめらかな流路の流れを作ることが難しく、受
圧板１が振動し易かった。
一辺に含むブリッジ回路は、インダクタンス変化ΔＬ1
が非線形特性であるから、出力電圧ΔＥは非線形特性と
なり、従来はこの電圧を同期整流した後にリニアライザ
によって直線化補正し、直線化補正した電圧信号を例え
ば表示器等に与え、等分割目盛で流量を表示させてい
る。従って、従来はリニアライザのような高価な回路を
必要とする不都合があり、流量測定装置の全体のコスト
を高いものとしている。また片持梁構造のため受圧板１
は材質の経時的な変化を受け易く、零点を安定させるこ
とが難しかった。また流体が片持梁に垂直に当たる構造
のため、なめらかな流路の流れを作ることが難しく、受
圧板１が振動し易かった。
【０００７】また、図１１に示した片持梁型の受圧板１
に対向して接点を設け、受圧板１が所定量変位した状態
で受圧板が接点に接触し、接点信号を発信させる流量検
出スイッチを構成したとすると、受圧板１が流体の流れ
によって振動するため、チャタリングを多く含む接点信
号が出力され、制御系が安定に動作しない不都合が生じ
る。
に対向して接点を設け、受圧板１が所定量変位した状態
で受圧板が接点に接触し、接点信号を発信させる流量検
出スイッチを構成したとすると、受圧板１が流体の流れ
によって振動するため、チャタリングを多く含む接点信
号が出力され、制御系が安定に動作しない不都合が生じ
る。
【０００８】この発明の目的は、電気的直線化補正の必
要のない出力電圧を得ることができ、かつ安定した流量
計測ができる流量変換器及び安定な接点信号を得ること
ができる流量検出スイッチを提供しようとするものであ
る。
要のない出力電圧を得ることができ、かつ安定した流量
計測ができる流量変換器及び安定な接点信号を得ること
ができる流量検出スイッチを提供しようとするものであ
る。
【０００９】
【課題を解決するための手段】この発明では流体の作動
圧によって変位する可動体の支持点を挟んで対称位置に
変位検出用センサを配置し、可動体の変位量を差動的に
検出する構造としたものである。更に詳しくは、可動体
を磁性板によって円筒状に形成し、この円筒状の可動体
の中空部に柱状の支持体を挿入し、柱状の支持体の周面
に可動体の内周面を線状に接触させて支持させる。これ
と共に支持体の外周面において可動体との接触位置から
対称位置に変位検出用センサを配置し、更に可動体の外
周面と対接して固定体を配置した構造とする。
圧によって変位する可動体の支持点を挟んで対称位置に
変位検出用センサを配置し、可動体の変位量を差動的に
検出する構造としたものである。更に詳しくは、可動体
を磁性板によって円筒状に形成し、この円筒状の可動体
の中空部に柱状の支持体を挿入し、柱状の支持体の周面
に可動体の内周面を線状に接触させて支持させる。これ
と共に支持体の外周面において可動体との接触位置から
対称位置に変位検出用センサを配置し、更に可動体の外
周面と対接して固定体を配置した構造とする。
【００１０】またこの発明では円筒状の可動体の外周面
に対向して接点を設け、可動体が所定量変位すると接点
信号を発信する流量検出スイッチを提案する。
に対向して接点を設け、可動体が所定量変位すると接点
信号を発信する流量検出スイッチを提案する。
【００１１】
【作 用】この発明の構造によれば、可動体の支持点を
挟んで対称位置に変位検出用センサを配置し、可動体の
変位量を一対の変位検出用センサによって差動的に検出
することができる。この差動検出構造により直線性のよ
い出力電圧を得ることができる。
挟んで対称位置に変位検出用センサを配置し、可動体の
変位量を一対の変位検出用センサによって差動的に検出
することができる。この差動検出構造により直線性のよ
い出力電圧を得ることができる。
【００１２】また、この発明では可動体を円筒形状と
し、その内側に変位検出用センサを配置したから、変位
検出用センサは被測定流体から保護されている。また渦
流量に対しては可動体の動きが支持体によって抑えられ
る構造になっているので、耐久性の高い流量変換器を提
供することができる。また、この発明による流量検出ス
イッチは円筒状の可動体を可動接点として流用するから
円筒状の可動体は振動が起き難いからチャタリングの少
ない安定した接点信号を得ることができる。
し、その内側に変位検出用センサを配置したから、変位
検出用センサは被測定流体から保護されている。また渦
流量に対しては可動体の動きが支持体によって抑えられ
る構造になっているので、耐久性の高い流量変換器を提
供することができる。また、この発明による流量検出ス
イッチは円筒状の可動体を可動接点として流用するから
円筒状の可動体は振動が起き難いからチャタリングの少
ない安定した接点信号を得ることができる。
【００１３】
【実施例】図１乃至図３にこの発明の一実施例を示す。
図中１０はハウジングを示す。ハウジング１０は例えば
金属ブロックの互いに平行する面ＡとＢ間に流体通路１
１Ａ及び１１Ｂを形成する。流体通路１１Ａ，１１Ｂと
直交する向きに空胴１２を形成する。空胴１２はこの例
では流体通路１１Ａ及び１１Ｂを構成する孔の径より大
きい直径の円孔に選定し、この空胴１２内に円筒状の可
動体１３と、この可動体１３を支持する支持体１４及び
固定体１５を装着する。空胴１２を構成する円孔の両端
は図２に示すように閉塞板１０Ａと１０Ｂで閉塞する。
図中１０はハウジングを示す。ハウジング１０は例えば
金属ブロックの互いに平行する面ＡとＢ間に流体通路１
１Ａ及び１１Ｂを形成する。流体通路１１Ａ，１１Ｂと
直交する向きに空胴１２を形成する。空胴１２はこの例
では流体通路１１Ａ及び１１Ｂを構成する孔の径より大
きい直径の円孔に選定し、この空胴１２内に円筒状の可
動体１３と、この可動体１３を支持する支持体１４及び
固定体１５を装着する。空胴１２を構成する円孔の両端
は図２に示すように閉塞板１０Ａと１０Ｂで閉塞する。
【００１４】支持体１４は円柱状に形成し、その周面に
穴を形成し、この穴に変位検出用センサを構成する例え
ば磁気コイル２Ａ及び２Ｂを埋め込む。検出コイル２Ａ
と２Ｂの埋込位置は支持体１４の長さ方向のほぼ中央と
され、可動体１３との接触位置から周方向に等角度ずつ
振り分けた位置に選定する。検出コイル２Ａ，２ＢはＥ
型コアの中心コアに巻装され、コアの端面が可動体１３
の裏面と対向する姿勢で支持体１４の穴に埋め込まれ
る。
穴を形成し、この穴に変位検出用センサを構成する例え
ば磁気コイル２Ａ及び２Ｂを埋め込む。検出コイル２Ａ
と２Ｂの埋込位置は支持体１４の長さ方向のほぼ中央と
され、可動体１３との接触位置から周方向に等角度ずつ
振り分けた位置に選定する。検出コイル２Ａ，２ＢはＥ
型コアの中心コアに巻装され、コアの端面が可動体１３
の裏面と対向する姿勢で支持体１４の穴に埋め込まれ
る。
【００１５】可動体１３は磁性を持つバネ材を円筒状に
折り曲げ、支持体１４の例えば頂点位置に支持させる。
図３の例では可動体１３を構成するバネ材の端部を支持
体１４の頂点位置で重ね合わせ、抑え板１６で重ね合わ
せた部分を抑え付けて支持した構造とした場合を示す。
抑え板１６の裏面側には凹溝１６Ａを形成し、可動体１
３を構成するバネ材の重ね合わせた下側の板の端部を凹
溝１６Ａの範囲内に止め、上側の板をスペーサ１６Ｂに
向かって抑え付ける構造としている。この構造とするこ
とにより、可動体１３を構成するバネ材の支持体１４と
の間の空隙Ｇ１とＧ２をスペーサ１６Ｂの厚みに等しく
することができ、変位検出用センサを構成する磁気コイ
ル２Ａと２Ｂの検出感度を揃えることができる。
折り曲げ、支持体１４の例えば頂点位置に支持させる。
図３の例では可動体１３を構成するバネ材の端部を支持
体１４の頂点位置で重ね合わせ、抑え板１６で重ね合わ
せた部分を抑え付けて支持した構造とした場合を示す。
抑え板１６の裏面側には凹溝１６Ａを形成し、可動体１
３を構成するバネ材の重ね合わせた下側の板の端部を凹
溝１６Ａの範囲内に止め、上側の板をスペーサ１６Ｂに
向かって抑え付ける構造としている。この構造とするこ
とにより、可動体１３を構成するバネ材の支持体１４と
の間の空隙Ｇ１とＧ２をスペーサ１６Ｂの厚みに等しく
することができ、変位検出用センサを構成する磁気コイ
ル２Ａと２Ｂの検出感度を揃えることができる。
【００１６】可動体１３の下面側に固定体１５を設け
る。支持体１４と固定体１５は閉塞板１０Ａに固定され
る。図１の例では流体通路１１Ａ及び１１Ｂを通る流体
が何れの方向に流れても測定できる双方向測定可能な流
量変換器を構成した場合を示す。このため固定体１５は
可動体１３の支持点と１８０°対向する真下の位置に固
定する。固定体１５はこの例では可動体１３の下面と対
向する位置で頂点となる山形とした場合を示す。またこ
の例では可動体１３に突片１３Ａを突設し、この突片１
３Ａの先端と固定体１５との間をわずかな間隙を保持さ
せて対接させ、流体通路１１Ａ及び１１Ｂの何れの方向
から流体（主に気体）を供給することにより、その流体
の流動圧によって可動体１３が変位し突片１３Ａと固定
体１５との間の間隙を流体が通過する。このためには固
定体１５と空胴１２の内壁の間及び可動体１３の支持点
と空胴１２の内壁の間を流路遮蔽板１７Ａ，１７Ｂで遮
蔽し、被測定流体が他の通路を通じて流れることを阻止
する構造にしている。
る。支持体１４と固定体１５は閉塞板１０Ａに固定され
る。図１の例では流体通路１１Ａ及び１１Ｂを通る流体
が何れの方向に流れても測定できる双方向測定可能な流
量変換器を構成した場合を示す。このため固定体１５は
可動体１３の支持点と１８０°対向する真下の位置に固
定する。固定体１５はこの例では可動体１３の下面と対
向する位置で頂点となる山形とした場合を示す。またこ
の例では可動体１３に突片１３Ａを突設し、この突片１
３Ａの先端と固定体１５との間をわずかな間隙を保持さ
せて対接させ、流体通路１１Ａ及び１１Ｂの何れの方向
から流体（主に気体）を供給することにより、その流体
の流動圧によって可動体１３が変位し突片１３Ａと固定
体１５との間の間隙を流体が通過する。このためには固
定体１５と空胴１２の内壁の間及び可動体１３の支持点
と空胴１２の内壁の間を流路遮蔽板１７Ａ，１７Ｂで遮
蔽し、被測定流体が他の通路を通じて流れることを阻止
する構造にしている。
【００１７】図１に示す構造において、一方の流体通路
１１Ａから流体を流し込むと、その流体は可動体１３と
固定体１５との間を通過して他方の流体通路１１Ｂに流
れ出る。このとき流体の流入側と流出側との間の差圧に
応じて可動体１３が移動し、突片１３Ａと固定体１５と
の間に間隙を形成する。この間隙の大きさは流体の流量
に比例し、可動体１３の変位量に比例する。
１１Ａから流体を流し込むと、その流体は可動体１３と
固定体１５との間を通過して他方の流体通路１１Ｂに流
れ出る。このとき流体の流入側と流出側との間の差圧に
応じて可動体１３が移動し、突片１３Ａと固定体１５と
の間に間隙を形成する。この間隙の大きさは流体の流量
に比例し、可動体１３の変位量に比例する。
【００１８】図４に変位検出器２の電気回路構造を示
す。変位検出器２は検出コイル２Ａと２Ｂ及び抵抗器２
Ｃから成るブリッジ回路によって構成される。検出コイ
ル２Ａと２Ｂのインダクタンスは可動体１３の変位量に
応じて、検出コイル２Ａはインダクタンスが増加する方
向に、反対に２Ｂは減少する方向に、距離に反比例した
特性をもって、お互いに差動的に変化する。
す。変位検出器２は検出コイル２Ａと２Ｂ及び抵抗器２
Ｃから成るブリッジ回路によって構成される。検出コイ
ル２Ａと２Ｂのインダクタンスは可動体１３の変位量に
応じて、検出コイル２Ａはインダクタンスが増加する方
向に、反対に２Ｂは減少する方向に、距離に反比例した
特性をもって、お互いに差動的に変化する。
【００１９】この差動検出回路構成によれば、差動電圧
出力はコイルのインダクタンス変化ΔＬに比例する。Δ
ＬはΔＬ1 とΔＬ2 の和で、お互いの特性を補い合い、
変位量に対して線形的な特性になる。流量は可動体１３
の変位量に比例するので、流量対電気出力との間の関係
は直線的になる。その理由を図４で説明すれば、検出コ
イル２Ａと２Ｂ及び抵抗器の電気定数を｛ｒ2 ＋ｊω
（Ｌ2 ＋ΔＬ2 ）｝，｛ｒ2 ＋ｊω（Ｌ2 −Δ
Ｌ1 ）｝，（Ｒ1 ）とすると、検出コイルが１個のとき
と同様にループＩ、ループIIの式を立てると、 ループＩ −Ｖ｛ｒ2 ＋ｊω（Ｌ2 ＋ΔＬ1 ）｝／｛２ｒ2 ＋ｊω（２Ｌ2 ＋ΔＬ1 −Δ Ｌ2 ）｝＋Ｖ・１／２＋ΔＥ＝０ ループII −Ｖ｛ｒ2 ＋ｊω（Ｌ2 −ΔＬ1 ）｝／｛２ｒ2 ＋ｊω（２Ｌ2 ＋ΔＬ1 −Δ Ｌ2 ）｝＋Ｖ・１／２−ΔＥ＝０ Ｉ−II −Ｖ・ｊω（ΔＬ1 ＋ΔＬ2 ）／｛２ｒ2 ＋ｊω（２Ｌ2 ＋ΔＬ1 −ΔＬ2 ） ｝＋２ΔＥ＝０ ΔＬ1 ＋ΔＬ2 ＝ΔＬ ΔＥ＝Ｖ×ｊωΔＬ／２｛２ｒ2 ＋ｊω（２Ｌ2 ＋ΔＬ1 −ΔＬ2 ）｝…（２ ）となる。
出力はコイルのインダクタンス変化ΔＬに比例する。Δ
ＬはΔＬ1 とΔＬ2 の和で、お互いの特性を補い合い、
変位量に対して線形的な特性になる。流量は可動体１３
の変位量に比例するので、流量対電気出力との間の関係
は直線的になる。その理由を図４で説明すれば、検出コ
イル２Ａと２Ｂ及び抵抗器の電気定数を｛ｒ2 ＋ｊω
（Ｌ2 ＋ΔＬ2 ）｝，｛ｒ2 ＋ｊω（Ｌ2 −Δ
Ｌ1 ）｝，（Ｒ1 ）とすると、検出コイルが１個のとき
と同様にループＩ、ループIIの式を立てると、 ループＩ −Ｖ｛ｒ2 ＋ｊω（Ｌ2 ＋ΔＬ1 ）｝／｛２ｒ2 ＋ｊω（２Ｌ2 ＋ΔＬ1 −Δ Ｌ2 ）｝＋Ｖ・１／２＋ΔＥ＝０ ループII −Ｖ｛ｒ2 ＋ｊω（Ｌ2 −ΔＬ1 ）｝／｛２ｒ2 ＋ｊω（２Ｌ2 ＋ΔＬ1 −Δ Ｌ2 ）｝＋Ｖ・１／２−ΔＥ＝０ Ｉ−II −Ｖ・ｊω（ΔＬ1 ＋ΔＬ2 ）／｛２ｒ2 ＋ｊω（２Ｌ2 ＋ΔＬ1 −ΔＬ2 ） ｝＋２ΔＥ＝０ ΔＬ1 ＋ΔＬ2 ＝ΔＬ ΔＥ＝Ｖ×ｊωΔＬ／２｛２ｒ2 ＋ｊω（２Ｌ2 ＋ΔＬ1 −ΔＬ2 ）｝…（２ ）となる。
【００２０】（２）式の分母のΔＬ1 ＝ΔＬ2 はＬ2 に
比して微小量であるから無視できるので、出力電圧ΔＥ
はインダクタンス変化ΔＬに比例して変化することにな
る。従って出力電圧ΔＥは図５に示すように、可動磁性
板の移動量ｘに対して線形特性となり、従って流量にた
いしても線形特性を得ることができ、リニアライザ回路
を使用することなく表示手段に供給して等分割目盛で表
示することができる。
比して微小量であるから無視できるので、出力電圧ΔＥ
はインダクタンス変化ΔＬに比例して変化することにな
る。従って出力電圧ΔＥは図５に示すように、可動磁性
板の移動量ｘに対して線形特性となり、従って流量にた
いしても線形特性を得ることができ、リニアライザ回路
を使用することなく表示手段に供給して等分割目盛で表
示することができる。
【００２１】図６はこの発明の変形実施例を示す。この
例では一方向の流量を検出する流量変換器を構成した場
合を示す。この場合には固定体１５を被測定流体の流入
口側に近づけて配置し、可動体１３がわずかに変位して
も可動体１３と固定体１５との間に確実に間隙が形成さ
れるように構成した場合を示す。また、この例では製造
が容易なことから、固定体１５を丸棒状とした場合を示
す。
例では一方向の流量を検出する流量変換器を構成した場
合を示す。この場合には固定体１５を被測定流体の流入
口側に近づけて配置し、可動体１３がわずかに変位して
も可動体１３と固定体１５との間に確実に間隙が形成さ
れるように構成した場合を示す。また、この例では製造
が容易なことから、固定体１５を丸棒状とした場合を示
す。
【００２２】ところで上述した実施例では可動体１３が
検出コイル２Ａ，２Ｂに対して差動的に移動することに
より、直線化補正された出力信号が得られると説明し
た。しかしながら、上述した可動体１３と固定体１５と
の間には間隔が存在するため、この間隔によって流体の
流れ始め（微少流量時）には不感帯ＦＫ（図７）が発生
する欠点がある。
検出コイル２Ａ，２Ｂに対して差動的に移動することに
より、直線化補正された出力信号が得られると説明し
た。しかしながら、上述した可動体１３と固定体１５と
の間には間隔が存在するため、この間隔によって流体の
流れ始め（微少流量時）には不感帯ＦＫ（図７）が発生
する欠点がある。
【００２３】つまり固定体１５を可動体１３の周面に可
及的に接近させた場合、仮に固定体１５が可動体１３の
外周面に接触してしまったとすると、可動体１３がその
接触状態から脱して動き始めるにはかなりの流量の流体
圧を与えなければならない。このためむしろ不感帯が大
きくなってしまう不都合がある。このような不都合が生
じるため、固定体１５と可動体１３との間には或る程度
の大きさを持つ間隔を形成しなければならないが、この
間隔の存在により上述したように微小ではあるが不感帯
ＦＫが発生する。
及的に接近させた場合、仮に固定体１５が可動体１３の
外周面に接触してしまったとすると、可動体１３がその
接触状態から脱して動き始めるにはかなりの流量の流体
圧を与えなければならない。このためむしろ不感帯が大
きくなってしまう不都合がある。このような不都合が生
じるため、固定体１５と可動体１３との間には或る程度
の大きさを持つ間隔を形成しなければならないが、この
間隔の存在により上述したように微小ではあるが不感帯
ＦＫが発生する。
【００２４】また可動体１３と固定体１５の間隔が小さ
いと大流量時において可動体１３が渦等の発生によって
振動を起こす不都合もある。図８はこの不感帯ＦＫを可
及的に小さくすることができ、また可動体１３が振動を
起こし難い流量変換器の実施例を示す。この実施例では
固定体１５を柱状の支持体１５Ａと、この柱状支持体１
５Ａに支持した筒状の補正可動体１５Ｂとによって構成
するものである。補正可動体１５Ｂを構成するバネ材は
可動体１３を構成するバネ材の板厚より薄くする。例え
ば可動体１３を構成するバネ材の板厚を0.０５〜0.１mm
程度に選定したとすると、補正可動体１５Ｂを構成する
板厚は0.０２mm程度に選定する。
いと大流量時において可動体１３が渦等の発生によって
振動を起こす不都合もある。図８はこの不感帯ＦＫを可
及的に小さくすることができ、また可動体１３が振動を
起こし難い流量変換器の実施例を示す。この実施例では
固定体１５を柱状の支持体１５Ａと、この柱状支持体１
５Ａに支持した筒状の補正可動体１５Ｂとによって構成
するものである。補正可動体１５Ｂを構成するバネ材は
可動体１３を構成するバネ材の板厚より薄くする。例え
ば可動体１３を構成するバネ材の板厚を0.０５〜0.１mm
程度に選定したとすると、補正可動体１５Ｂを構成する
板厚は0.０２mm程度に選定する。
【００２５】このようにして補正可動体１５Ｂのバネ定
数を可動体１３のバネ定数より弱く採ることにより、補
正可動体１５Ｂの周面を可動体１３に近づけることがで
きる。つまり、補正可動体１５Ｂを仮に可動体１３の周
面に接触して配置したとしても、補正可動体１５Ｂのバ
ネ定数が小さいから、流体が流れ始めると微少流量であ
っても補正可動体１５Ｂが容易に移動し、可動体１３と
の接触から離れることができる。従って、可動体１３と
補正可動体１５Ｂとの間の間隔を可及的に小さい状態に
設定することができるから、流体の流れ始めにおける流
体の洩れ量を少なくすることができる。この結果、流体
の流入側と流出側との間の差圧が発生し易くなるため、
この点でも可動体１３は微少流量時から動き始め、不感
帯の発生が回避され、図９に示すような流量Ｑ対出力Ｖ
の特性を得ることができる。
数を可動体１３のバネ定数より弱く採ることにより、補
正可動体１５Ｂの周面を可動体１３に近づけることがで
きる。つまり、補正可動体１５Ｂを仮に可動体１３の周
面に接触して配置したとしても、補正可動体１５Ｂのバ
ネ定数が小さいから、流体が流れ始めると微少流量であ
っても補正可動体１５Ｂが容易に移動し、可動体１３と
の接触から離れることができる。従って、可動体１３と
補正可動体１５Ｂとの間の間隔を可及的に小さい状態に
設定することができるから、流体の流れ始めにおける流
体の洩れ量を少なくすることができる。この結果、流体
の流入側と流出側との間の差圧が発生し易くなるため、
この点でも可動体１３は微少流量時から動き始め、不感
帯の発生が回避され、図９に示すような流量Ｑ対出力Ｖ
の特性を得ることができる。
【００２６】更にこの図８に示した実施例によれば、流
量の増加と共に補正可動体１５Ｂも移動するから、可動
体１３と補正可動体１５Ａとの間の間隔は図１及び図６
で示した構造の場合より大きく開くことになる。この結
果、渦の発生が抑えられることになり、可動体１３が振
動することを阻止することができる。よって測定出力信
号が安定し、精度の高い測定を行うことができる。
量の増加と共に補正可動体１５Ｂも移動するから、可動
体１３と補正可動体１５Ａとの間の間隔は図１及び図６
で示した構造の場合より大きく開くことになる。この結
果、渦の発生が抑えられることになり、可動体１３が振
動することを阻止することができる。よって測定出力信
号が安定し、精度の高い測定を行うことができる。
【００２７】なお、上述の実施例の全てにおいて変位検
出器２を検出コイル２Ａ，２Ｂと抵抗器２Ｃとから成る
ブリッジ回路によって構成したが、その他に静電容量の
変化によって検出する構造も利用することができる。図
１０にこの発明による流量検出スイッチの実施例を示
す。図１に示した実施例と対応する部分には同一符号を
付して示す。この実施例では図２に示した閉塞板１０
Ａ，１０Ｂを絶縁板とし、支持体１４と可動体１３とを
ハウジング１０から電気的に絶縁して支持すると共に、
流路遮蔽板１７Ａを可動体１３及び支持体１４とから電
気的に絶縁して支持する。このためには可動体１３を抑
える抑え板１６を絶縁体で形成し、この絶縁体で形成し
た抑え板１６をビス１６Ｃで支持体１４に抑え付け、可
動体１３を抑え付ける。抑え板１６には流路遮蔽板１７
Ａを取付るための取付孔が形成され、この取付け孔を使
ってビス１６Ｄにより流路遮蔽板１７Ａを抑え板１６に
固定する。抑え板１６を支持体１４に固定したビス１６
Ｃは平皿ビスを用い、その頭部は抑え板１６の孔の内に
格納される。この構造により流路遮蔽板１７Ａはビス１
６Ｃと接触することなく、抑え板１６に固定され、流路
遮蔽板１７Ａは支持体１４及び可動体１３とから電気的
に絶縁されて支持される。
出器２を検出コイル２Ａ，２Ｂと抵抗器２Ｃとから成る
ブリッジ回路によって構成したが、その他に静電容量の
変化によって検出する構造も利用することができる。図
１０にこの発明による流量検出スイッチの実施例を示
す。図１に示した実施例と対応する部分には同一符号を
付して示す。この実施例では図２に示した閉塞板１０
Ａ，１０Ｂを絶縁板とし、支持体１４と可動体１３とを
ハウジング１０から電気的に絶縁して支持すると共に、
流路遮蔽板１７Ａを可動体１３及び支持体１４とから電
気的に絶縁して支持する。このためには可動体１３を抑
える抑え板１６を絶縁体で形成し、この絶縁体で形成し
た抑え板１６をビス１６Ｃで支持体１４に抑え付け、可
動体１３を抑え付ける。抑え板１６には流路遮蔽板１７
Ａを取付るための取付孔が形成され、この取付け孔を使
ってビス１６Ｄにより流路遮蔽板１７Ａを抑え板１６に
固定する。抑え板１６を支持体１４に固定したビス１６
Ｃは平皿ビスを用い、その頭部は抑え板１６の孔の内に
格納される。この構造により流路遮蔽板１７Ａはビス１
６Ｃと接触することなく、抑え板１６に固定され、流路
遮蔽板１７Ａは支持体１４及び可動体１３とから電気的
に絶縁されて支持される。
【００２８】流路遮蔽板１７Ａの一端側は絶縁シール等
を被せてハウジング１０の内壁に接触させると共に、他
端側は可動体１３の可動部分まで延長させ、その端部を
可動体１３の周面に向って折曲げて接点１７Ｃを形成す
る。接点１７Ｃは接点支持体１８によって支持される。
接点支持体１８は絶縁体によって構成されハウジング１
０に形成したネジ孔に螺入され、先端に形成した突起１
８Ａを流路遮蔽板１７Ａに形成した孔に係合させる。流
路遮蔽板１７Ａは接点支持体１８に向ってバネ圧を与
え、接点支持体１８を回動操作することによりネジ孔の
内で進退させる。接点支持体１８が進退することにより
接点１７Ｃは可動体１３の外周面との間の間隔を調整さ
れる。接点１７Ｃは突起形状とされ、可動体１３と点接
触する構造にすることが望ましい。尚１８Ｂはオーリン
グを示す。
を被せてハウジング１０の内壁に接触させると共に、他
端側は可動体１３の可動部分まで延長させ、その端部を
可動体１３の周面に向って折曲げて接点１７Ｃを形成す
る。接点１７Ｃは接点支持体１８によって支持される。
接点支持体１８は絶縁体によって構成されハウジング１
０に形成したネジ孔に螺入され、先端に形成した突起１
８Ａを流路遮蔽板１７Ａに形成した孔に係合させる。流
路遮蔽板１７Ａは接点支持体１８に向ってバネ圧を与
え、接点支持体１８を回動操作することによりネジ孔の
内で進退させる。接点支持体１８が進退することにより
接点１７Ｃは可動体１３の外周面との間の間隔を調整さ
れる。接点１７Ｃは突起形状とされ、可動体１３と点接
触する構造にすることが望ましい。尚１８Ｂはオーリン
グを示す。
【００２９】流路遮蔽板１７Ａに端子１９が電気的に接
続され、支持体１４にも端子２０が電気的に接続され
る。尚、この実施例では可動体１３に可変絞り弁２１を
対接させ、流路の開口面積を調整できるように構成した
場合を示す。図１０に示した流量検出スイッチの構造に
よれば被測定流体を流体通路１１Ａから流し込むことに
より可動体１３が反時計廻り方向に回動する。流体の流
量が所定値に達すると、可動体１３は接点１７Ｃに接触
し、端子１９と２０との間に接点信号を発信する。
続され、支持体１４にも端子２０が電気的に接続され
る。尚、この実施例では可動体１３に可変絞り弁２１を
対接させ、流路の開口面積を調整できるように構成した
場合を示す。図１０に示した流量検出スイッチの構造に
よれば被測定流体を流体通路１１Ａから流し込むことに
より可動体１３が反時計廻り方向に回動する。流体の流
量が所定値に達すると、可動体１３は接点１７Ｃに接触
し、端子１９と２０との間に接点信号を発信する。
【００３０】接点支持体１８を回動調整し、接点１７Ｃ
と可動体１３との間の間隔を調整することにより接点信
号を発信する流量値を任意の値に設定することができ
る。従って被測定流体の流量が所定の流量に達したこと
を接点信号によって知ることができる。
と可動体１３との間の間隔を調整することにより接点信
号を発信する流量値を任意の値に設定することができ
る。従って被測定流体の流量が所定の流量に達したこと
を接点信号によって知ることができる。
【００３１】
【発明の効果】以上説明したように、この発明によれば
変位検出器を一対の差動的に変化する検出コイル２Ａ，
２Ｂ（または静電容量）と抵抗器とから成るブリッジ回
路で構成するから、そのブリッジ回路の出力電圧は線形
特性で得ることができる。従って高価なリニアライザの
ような回路を用いなくても、等分割目盛の表示器を使っ
て正しい流量を表示させることができる。
変位検出器を一対の差動的に変化する検出コイル２Ａ，
２Ｂ（または静電容量）と抵抗器とから成るブリッジ回
路で構成するから、そのブリッジ回路の出力電圧は線形
特性で得ることができる。従って高価なリニアライザの
ような回路を用いなくても、等分割目盛の表示器を使っ
て正しい流量を表示させることができる。
【００３２】また、この発明の構造によれば可動体１３
を円筒状に形成し、可動体１３の円筒の内側に検出コイ
ル２Ａ，２Ｂを配置する構造としたから、検出コイル２
Ａ，２Ｂに被測定流体が直接当たることがない。従って
流体に含まれる塵埃にも強く耐久性を向上できる利点が
得られる。また図１に示した双方向の測定が可能な構造
とした場合には、例えば人、動物等の呼吸量を測定する
こと等に利用することができる。
を円筒状に形成し、可動体１３の円筒の内側に検出コイ
ル２Ａ，２Ｂを配置する構造としたから、検出コイル２
Ａ，２Ｂに被測定流体が直接当たることがない。従って
流体に含まれる塵埃にも強く耐久性を向上できる利点が
得られる。また図１に示した双方向の測定が可能な構造
とした場合には、例えば人、動物等の呼吸量を測定する
こと等に利用することができる。
【００３３】また支持体１４及び固定体１５は一方の閉
塞板１０Ａに植設したから、閉塞板１０Ａをハウジング
１０から取り外すことにより流量変換器の要部となる可
動体１３および支持体１４を点検することができ、保守
を簡単に行うことができる利点も得られる。更に、可動
体１３を筒状としたから流体の流れがなめらかになり振
動し難い特徴がある。また図８に示した実施例によれば
補正可動板１５Ｂの存在により、不感帯を小さくするこ
とができる。また流量が大きい場合には補正可動板が渦
の発生を抑える方向に動くので流量の安定な測定を行う
ことができる。
塞板１０Ａに植設したから、閉塞板１０Ａをハウジング
１０から取り外すことにより流量変換器の要部となる可
動体１３および支持体１４を点検することができ、保守
を簡単に行うことができる利点も得られる。更に、可動
体１３を筒状としたから流体の流れがなめらかになり振
動し難い特徴がある。また図８に示した実施例によれば
補正可動板１５Ｂの存在により、不感帯を小さくするこ
とができる。また流量が大きい場合には補正可動板が渦
の発生を抑える方向に動くので流量の安定な測定を行う
ことができる。
【００３４】また、図１０に示した流量検出スイッチの
構造によれば可動体１３が円筒形状とされ、流体の渦の
発生を抑えることができる。この結果可動体１３が振動
することがなく、よってチャタリングの発生がない安定
した接点信号を得ることができる。
構造によれば可動体１３が円筒形状とされ、流体の渦の
発生を抑えることができる。この結果可動体１３が振動
することがなく、よってチャタリングの発生がない安定
した接点信号を得ることができる。
【図１】この発明の一実施例を説明するための断面図。
【図２】図１に示した実施例の平面図。
【図３】図１に示した実施例の一部の構造を説明するた
めの拡大断面図。
めの拡大断面図。
【図４】この発明に用いた変位検出器の電気的な構成を
説明するための接続図。
説明するための接続図。
【図５】この発明による流量変換器の電気出力の特性を
説明するためのグラフ。
説明するためのグラフ。
【図６】この発明の変形実施例を示す断面図。
【図７】図１及び図６に示した実施例に示した流量変換
器で発生する不感帯を説明するためのグラフ。
器で発生する不感帯を説明するためのグラフ。
【図８】この発明の変形実施例を示す断面図。
【図９】図８に示した実施例で得られる流量対電気出力
特性を示すグラフ。
特性を示すグラフ。
【図１０】この出願の請求項２で提案する流量検出スイ
ッチの実施例を示す断面図。
ッチの実施例を示す断面図。
【図１１】従来の技術を説明するための断面図。
【図１２】従来の技術における可動板の変位と検出コイ
ルのインダクタンス変化特性を示す図。
ルのインダクタンス変化特性を示す図。
【図１３】可動板の変位と検出コイルのインダクタンス
変化を変化量の特性曲線として説明するための図。
変化を変化量の特性曲線として説明するための図。
【図１４】従来の技術が非線形特性になる理由を説明す
るための接続図。
るための接続図。
【符号の説明】 ２Ａ，２Ｂ 検出コイル １０ ハウジング １０Ａ，１０Ｂ 閉塞板 １１Ａ，１１Ｂ 流体通路 １２ 空胴 １３ 可動体 １４ 支持体 １５ 固定体 １７Ａ，１７Ｂ 流路遮蔽板 １７Ｃ 接点 １８ 接点支持体 １９，２０ 端子
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成６年１０月５日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１９】この差動検出回路構成によれば、差動電圧
出力はコイルのインダクタンス変化ΔＬに比例する。Δ
ＬはΔＬ1 とΔＬ2 の和で、お互いの特性を補い合い、
変位量に対して線形的な特性になる。流量は可動体１３
の変位量に比例するので、流量対電気出力との間の関係
は直線的になる。その理由を図４で説明すれば、検出コ
イル２Ａと２Ｂ及び抵抗器の電気定数を｛ｒ2 ＋ｊω
（Ｌ2 ＋ΔＬ2 ）｝，｛ｒ2 ＋ｊω（Ｌ2 −ΔＬ
1 ）｝，（Ｒ1 ）とすると、検出コイルが１個のときと
同様にループＩ、ループIIの式を立てると、 ループＩ −Ｖ｛ｒ2 ＋ｊω（Ｌ2 ＋ΔＬ2 ）｝／｛２ｒ2 ＋ｊω（２Ｌ2 ＋ΔＬ1 −Δ Ｌ2 ）｝＋Ｖ・１／２＋ΔＥ＝０ ループII −Ｖ｛ｒ2 ＋ｊω（Ｌ2 −ΔＬ1 ）｝／｛２ｒ2 ＋ｊω（２Ｌ2 ＋ΔＬ1 −Δ Ｌ2 ）｝＋Ｖ・１／２−ΔＥ＝０ Ｉ−II −Ｖ・ｊω（ΔＬ1 ＋ΔＬ2 ）／｛２ｒ2 ＋ｊω（２Ｌ2 ＋ΔＬ1 −ΔＬ2 ） ｝＋２ΔＥ＝０ ΔＬ1 ＋ΔＬ2 ＝ΔＬ ΔＥ＝Ｖ×ｊωΔＬ／２｛２ｒ2 ＋ｊω（２Ｌ2 ＋ΔＬ1 −ΔＬ2 ）｝…（２ ）となる。
出力はコイルのインダクタンス変化ΔＬに比例する。Δ
ＬはΔＬ1 とΔＬ2 の和で、お互いの特性を補い合い、
変位量に対して線形的な特性になる。流量は可動体１３
の変位量に比例するので、流量対電気出力との間の関係
は直線的になる。その理由を図４で説明すれば、検出コ
イル２Ａと２Ｂ及び抵抗器の電気定数を｛ｒ2 ＋ｊω
（Ｌ2 ＋ΔＬ2 ）｝，｛ｒ2 ＋ｊω（Ｌ2 −ΔＬ
1 ）｝，（Ｒ1 ）とすると、検出コイルが１個のときと
同様にループＩ、ループIIの式を立てると、 ループＩ −Ｖ｛ｒ2 ＋ｊω（Ｌ2 ＋ΔＬ2 ）｝／｛２ｒ2 ＋ｊω（２Ｌ2 ＋ΔＬ1 −Δ Ｌ2 ）｝＋Ｖ・１／２＋ΔＥ＝０ ループII −Ｖ｛ｒ2 ＋ｊω（Ｌ2 −ΔＬ1 ）｝／｛２ｒ2 ＋ｊω（２Ｌ2 ＋ΔＬ1 −Δ Ｌ2 ）｝＋Ｖ・１／２−ΔＥ＝０ Ｉ−II −Ｖ・ｊω（ΔＬ1 ＋ΔＬ2 ）／｛２ｒ2 ＋ｊω（２Ｌ2 ＋ΔＬ1 −ΔＬ2 ） ｝＋２ΔＥ＝０ ΔＬ1 ＋ΔＬ2 ＝ΔＬ ΔＥ＝Ｖ×ｊωΔＬ／２｛２ｒ2 ＋ｊω（２Ｌ2 ＋ΔＬ1 −ΔＬ2 ）｝…（２ ）となる。
【提出日】平成６年１０月５日
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正内容】
【００２０】（２）式の分母のΔＬ1 −ΔＬ2 はＬ2 に
比して微小量であるから無視できるので、出力電圧ΔＥ
はインダクタンス変化ΔＬに比例して変化することにな
る。従って出力電圧ΔＥは図５に示すように、可動磁性
板の移動量ｘに対して線形特性となり、従って流量にた
いしても線形特性を得ることができ、リニアライザ回路
を使用することなく表示手段に供給して等分割目盛で表
示することができる。
比して微小量であるから無視できるので、出力電圧ΔＥ
はインダクタンス変化ΔＬに比例して変化することにな
る。従って出力電圧ΔＥは図５に示すように、可動磁性
板の移動量ｘに対して線形特性となり、従って流量にた
いしても線形特性を得ることができ、リニアライザ回路
を使用することなく表示手段に供給して等分割目盛で表
示することができる。
【手続補正３】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１３
【補正方法】変更
【補正内容】
【図１３】
Claims (3)
- 【請求項１】 Ａ．ハウジングの内部に形成された流体
通路と直交する向きに配置した柱状支持体と、 Ｂ．バネ材によって筒状に形成され、筒状の内周に上記
柱状支持体の外周が線状に接触して支持された可動体
と、 Ｃ．上記柱状支持体の上記可動体との接触位置から支持
体の周方向に等角度ずつ離れた位置に装着した一対の変
位検出用のセンサと、 Ｄ．上記可動体の外周面と対接し、上記可動体との間で
流体通路を構成する固定体と、 を具備して構成したことを特徴とする流量変換器。 - 【請求項２】 Ａ．ハウジングの内部に形成された流体
通路と直交する向きに配置した柱状支持体と、 Ｂ．バネ材によって筒状に形成され、筒状の内周に上記
柱状支持体の外周が線状に接触して支持された可動体
と、 Ｃ．上記流体通路の下流側に上記可動体の外周面と対向
して配置され、可動体が所定以上移動すると接触して接
点信号を発信する接触子と、 Ｄ．上記可動体の外周面と対接し、上記可動体との間で
流体通路を構成する固定体と、 を具備して構成したことを特徴とする流量検出スイッ
チ。 - 【請求項３】 請求項１又は２記載の流量変換器又は流
量検出スイッチにおいて、上記固定体を柱状支持体と、
この柱状支持体に支持され上記可動体を構成するバネ材
よりバネ係数が小さいバネ材で形成した筒状の補正用可
動体とによって構成したことを特徴とする流量変換器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6201966A JPH0862003A (ja) | 1994-08-26 | 1994-08-26 | 流量変換器及び流量検出スイッチ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6201966A JPH0862003A (ja) | 1994-08-26 | 1994-08-26 | 流量変換器及び流量検出スイッチ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0862003A true JPH0862003A (ja) | 1996-03-08 |
Family
ID=16449721
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6201966A Pending JPH0862003A (ja) | 1994-08-26 | 1994-08-26 | 流量変換器及び流量検出スイッチ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0862003A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110672187A (zh) * | 2019-11-05 | 2020-01-10 | 北京七星华创流量计有限公司 | 传感器对称性检测方法和装置 |
-
1994
- 1994-08-26 JP JP6201966A patent/JPH0862003A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110672187A (zh) * | 2019-11-05 | 2020-01-10 | 北京七星华创流量计有限公司 | 传感器对称性检测方法和装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6122972A (en) | Capacitive pressure sensor with moving or shape-changing dielectric | |
| JP7291176B2 (ja) | ガス流制御のための方法および装置 | |
| US6843132B2 (en) | Pressure sensor | |
| US6674280B1 (en) | Position detection apparatus with distributed bridge sensor | |
| JPS5829862B2 (ja) | 圧力測定装置 | |
| EP3060835B1 (en) | Fluid flow regulator device, comprising a valve member and a valve seat defining a fluid flow surface area, as well as method of using the same | |
| US4729244A (en) | Flow rate measuring apparatus | |
| JPH0313833A (ja) | 注入導管の圧力センサ | |
| JPH0862003A (ja) | 流量変換器及び流量検出スイッチ | |
| US6807875B2 (en) | Self-compensating position sensor | |
| US4425792A (en) | Apparatus for measuring a fluid flow rate | |
| JP7397588B2 (ja) | ガスを検出するためのセンサ装置 | |
| JPH05142246A (ja) | 加速度センサ | |
| JPS587504A (ja) | 非磁性膜の膜厚測定方法およびその測定装置 | |
| JP3368684B2 (ja) | 流体流量計 | |
| JPH0599773A (ja) | 圧力センサ | |
| SU851139A1 (ru) | Датчик давлени | |
| SU1652838A1 (ru) | Датчик давлени | |
| JP3339209B2 (ja) | 流体流量計 | |
| KR20020087121A (ko) | 압력 센서 | |
| RU2165068C2 (ru) | Датчик перемещения | |
| JP3570024B2 (ja) | 流体流量計 | |
| JPS62229042A (ja) | 圧力センサ | |
| JP2000081357A (ja) | 差圧検出装置 | |
| JP2023074870A (ja) | フローセンサおよびガス検知器 |