JPH0861233A - Cryopump - Google Patents
CryopumpInfo
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- JPH0861233A JPH0861233A JP19929394A JP19929394A JPH0861233A JP H0861233 A JPH0861233 A JP H0861233A JP 19929394 A JP19929394 A JP 19929394A JP 19929394 A JP19929394 A JP 19929394A JP H0861233 A JPH0861233 A JP H0861233A
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- JP
- Japan
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- weight
- cold trap
- cold
- pressure
- relief valve
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
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Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
- F04B37/00—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00
- F04B37/06—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for evacuating by thermal means
- F04B37/08—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for evacuating by thermal means by condensing or freezing, e.g. cryogenic pumps
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- Engineering & Computer Science (AREA)
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- General Engineering & Computer Science (AREA)
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- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、クライオポンプの再生
時期監視機構に関する。近年のクライオポンプは、再生
時期の目安となるアラーム機能、又、水素系のガスを吸
着している場合は、クライオポンプ内の圧力監視機能が
要求されている。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a cryopump regeneration timing monitoring mechanism. In recent years, a cryopump is required to have an alarm function that serves as a guide for the regeneration time and a pressure monitoring function inside the cryopump when adsorbing a hydrogen-based gas.
【０００２】そのため、クライオポンプを常に安定して
作動させ、正常な機能を果たすためにそれらの機能を付
加させる必要がある。Therefore, it is necessary to operate the cryopump in a stable manner at all times and to add those functions in order to fulfill the normal functions.
【０００３】[0003]
【従来の技術】従来のクライオポンプにおいては、再生
処理は１ケ月に１回といった周期を決めて行っていた。
ところが、ポンプのガス、水分等の吸着量が一定してい
ないため、規定周期より短期間にポンプがダウンした
り、また、ポンプの稼働が低いのにも関わらず、再生処
理してしまう場合があった。2. Description of the Related Art In a conventional cryopump, a regeneration process is performed at a fixed cycle such as once a month.
However, since the amount of gas, moisture, etc. adsorbed by the pump is not constant, the pump may go down within a short period of the specified period, or the regeneration process may be performed despite the low operation of the pump. there were.
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】従って、ポンプの稼働
状況に対応した再生が出来ず、予想外のポンプダウンが
生じたり、また、クライオポンプのトラップ吸着限界前
の再生処理による時間的な損失といった問題を生じてい
た。Therefore, it is impossible to regenerate the pump in accordance with the operating condition of the pump, which causes an unexpected pump down, and a time loss due to the regeneration process before the trap adsorption limit of the cryopump. Was causing problems.
【０００５】本発明は以上の問題点に鑑み、最適な再生
処理を行う時期を検知する手段や機構を得ることを目的
として提供される。In view of the above problems, the present invention is provided for the purpose of obtaining means or mechanism for detecting the time when the optimum reproduction processing is performed.
【０００６】[0006]
【課題を解決するための手段】図１は本発明の原理説明
図である。図において、１はクライオポンプ本体、２は
コールドトラップ重量計、３はリリーフバルブモニター
用圧力計、４はプロセスチャンバ、５はハイバックバル
ブ、６はベントバルブ、７はルーバー、８はコールドヘ
ッド、９はコールドトラップ本体、10はベロー固定用支
柱、11はベロー管、12はコンプレッサ、13は圧力異常ア
ラーム、14は重量異常アラーム、15はリリーフバルブで
ある。FIG. 1 is a diagram illustrating the principle of the present invention. In the figure, 1 is a cryopump main body, 2 is a cold trap weighing scale, 3 is a relief valve monitor pressure gauge, 4 is a process chamber, 5 is a high back valve, 6 is a vent valve, 7 is a louver, 8 is a cold head, and 9 is a cold head. Is a cold trap body, 10 is a bellows fixing column, 11 is a bellows tube, 12 is a compressor, 13 is a pressure abnormality alarm, 14 is a weight abnormality alarm, and 15 is a relief valve.
【０００７】上記の問題点を解決するためには、図１に
示すように、クライオポンプ本体１内に、コールドトラ
ップの最適な再生時期を判定するためのコールドトラッ
プ重量計２の設置、また、コールドヘッド８への吸着水
素の圧力上昇・爆発事故を防止するためのリリフバルブ
モニター用圧力計３を取り付けると良い。In order to solve the above problems, as shown in FIG. 1, a cold trap weighing scale 2 for determining the optimum regeneration time of a cold trap is installed in the cryopump body 1, and It is advisable to install the pressure gauge 3 for the riff valve monitor to prevent the pressure rise and explosion accident of the adsorbed hydrogen on the cold head 8.
【０００８】すなわち、本発明の目的は、図１に示すよ
うに、クライオポンプ本体１内にコールドトラップ重量
計２及びリリーフバルブ部モニター用圧力計３が具備さ
れてなることにより達成される。That is, as shown in FIG. 1, the object of the present invention is achieved by providing a cryopump main body 1 with a cold trap weight scale 2 and a relief valve portion monitoring pressure gauge 3.
【０００９】[0009]
【作用】本発明では、図１に示したように、クライオポ
ンプ本体１内の水分・ガスを吸着して重量の増加したコ
ールドトラップ本体９の重量を測定するためのコールド
トラップ重量計２を備えているため、コールドトラップ
本体９が規定の重量値を超過した場合に重量異常アラー
ム14を作動させて、コールドヘッド８に吸着した水分・
ガスを加熱して離脱させる再生処理を適正時期な時期に
行なえる。In the present invention, as shown in FIG. 1, a cold trap scale 2 is provided for measuring the weight of the cold trap body 9 which has adsorbed moisture / gas in the cryopump body 1 and has increased in weight. Therefore, when the cold trap body 9 exceeds the specified weight value, the abnormal weight alarm 14 is activated, and the moisture adsorbed on the cold head 8
The regeneration process for heating and separating the gas can be performed at an appropriate time.
【００１０】また、リリーフバルブモニター用圧力計３
を設置しているため、リリーフバルブ15内の配管圧力が
温度上昇による水素の急激な発生により規定の圧力を越
えた場合に圧力異常アラーム13を自動的に作動させて、
コールドヘッド８に吸着した水素ガス等の再生時期が近
づいたことを知らせる。Further, the pressure gauge 3 for the relief valve monitor
The pressure abnormality alarm 13 is automatically activated when the piping pressure inside the relief valve 15 exceeds the specified pressure due to the sudden generation of hydrogen due to the temperature rise.
This informs that the time to regenerate the hydrogen gas adsorbed on the cold head 8 is approaching.
【００１１】[0011]
【実施例】図１は本発明の原理説明図兼一実施例の説明
図である。図１に示すように、クライオポンプ本体１の
コールドヘッド８にプロセスチャンバ４内からのガスや
水分が吸着されると、コールドヘッド８の重量がどんど
ん増加してくる。例えばコールドトラップ全体の重量が
10kgである場合、吸着ガス・水分の吸着限界を50g に設
定しておく。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS FIG. 1 is a diagram for explaining the principle of the present invention and an explanatory diagram for one embodiment. As shown in FIG. 1, when the cold head 8 of the cryopump main body 1 adsorbs gas or moisture from the process chamber 4, the weight of the cold head 8 increases more and more. For example, the weight of the entire cold trap
If it is 10 kg, set the adsorption limit of adsorbed gas and water to 50 g.
【００１２】そうすると、プロセスチャンバ４からの水
分や水素ガスや反応ガスがコールドヘッド８に次第に吸
着され、ベロー管11が少しづづ収縮して下に沈み、且つ
コールドトラップ重量計２で示すコールドトラップ本体
９の機構全体の重量も増加する。Then, moisture, hydrogen gas and reaction gas from the process chamber 4 are gradually adsorbed by the cold head 8, the bellows tube 11 gradually contracts and sinks downward, and the cold trap main body shown by the cold trap scale 2 is shown. The weight of the entire 9 mechanism also increases.
【００１３】この場合、コールドトラップの重量が例え
ば10.05kｇの規定値を越えると、コールドトラップ重量
計２に連動した重量異常アラーム14が自動的に作動し
て、ユーザーにコールドヘッド８の再生時期を知らせ
る。In this case, when the weight of the cold trap exceeds a specified value of, for example, 10.05 kg, a weight abnormality alarm 14 linked to the cold trap scale 2 is automatically activated to inform the user of the regeneration time of the cold head 8. Inform.
【００１４】また、一般にコールドヘッド８はコンプレ
ッサ12により循環供給されているヘリウム(He)ガスによ
り20Ｋに冷却されているが、25Ｋ程度にコールドヘッド
８の温度が上昇すると吸着していた水素ガスが蒸発して
コールドヘッド８から離脱を初め、30Ｋに温度が上昇す
ると急激な水素ガスの発生が起こる。Generally, the cold head 8 is cooled to 20 K by the helium (He) gas circulated and supplied by the compressor 12, but when the temperature of the cold head 8 rises to about 25 K, the adsorbed hydrogen gas is removed. When it evaporates and begins to separate from the cold head 8 and the temperature rises to 30K, abrupt generation of hydrogen gas occurs.
【００１５】このため、水素系のガスのコールドヘッド
８への吸着量が増加すると、リリーフバルブ15配管内の
圧力が通常は10-8Torr程度であるものが、急激に高くな
り、そのまま放置しておくと水素ガスが爆発してコール
ドトラップ本体９が破裂してしまう。Therefore, when the amount of hydrogen-based gas adsorbed to the cold head 8 increases, the pressure inside the relief valve 15 piping, which is usually about 10 -8 Torr, rises sharply and is left as it is. If kept, the hydrogen gas will explode and the cold trap body 9 will burst.
【００１６】これを防止するために、水素系のガスのコ
ールドヘッド８への水素吸着量が増加すると、リリーフ
バルブ15配管内に設けたリリーフバルブモニター用圧力
計を作動して、10-6Torrの基準値を越えた場合にはリリ
ーフバルブモニター用圧力計３を作動させ、ユーザーに
知らせて、コールドヘッド８の再生処理を行い、吸着し
ている水素系ガスを離脱させる。In order to prevent this, when the amount of hydrogen adsorbed to the cold head 8 of the hydrogen-based gas increases, the pressure gauge for relief valve monitoring provided in the relief valve 15 piping is activated to operate at 10 -6 Torr. If the pressure exceeds the reference value, the relief valve monitor pressure gauge 3 is activated to notify the user, the cold head 8 is regenerated, and the adsorbed hydrogen-based gas is released.
【００１７】[0017]
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
コールドトラップの重量測定、すなわちガスや水分の吸
着量の把握により最適な再生が出来るために、不測なク
ライオポンプのダウンが起こらず、又、トラップ吸着限
界前の再生による時間的な損失が防止出来る。As described above, according to the present invention,
Since the optimum regeneration can be performed by measuring the weight of the cold trap, that is, grasping the adsorption amount of gas and moisture, unexpected cryopump down does not occur and time loss due to regeneration before the trap adsorption limit can be prevented. .
【００１８】また、コールドトラップに吸着した水素ガ
スの急激な離脱による爆発自己を未然に防止出来、コー
ルドトラップ使用設備の稼働率向上や安全性の向上に寄
与するところが大きい。Further, it is possible to prevent the self-explosion caused by the rapid desorption of hydrogen gas adsorbed in the cold trap, which greatly contributes to the improvement of the operating rate and the safety of the equipment using the cold trap.
【図１】 本発明の原理説明図FIG. 1 is a diagram illustrating the principle of the present invention.
図において １ クライオポンプ本体 ２ コールドトラップ重量計 ３ リリーフバルブモニター用圧力計 ４ プロセスチャンバ ５ ハイバックバルブ ６ ベントバルブ ７ ルーバー ８ コールドヘッド ９ コールドトラップ本体 10 ベロー固定用支柱 11 ベロー管 12 コンプレッサ 13 圧力異常アラーム 14 重量異常アラーム 15 リリーフバルブ In the figure 1 cryopump body 2 cold trap weigher 3 pressure gauge for relief valve monitor 4 process chamber 5 high back valve 6 vent valve 7 louver 8 cold head 9 cold trap body 10 bellows fixing column 11 bellows tube 12 compressor 13 pressure error alarm 14 Weight error alarm 15 Relief valve
Claims (1)
ルブ部モニター用圧力計が具備されてなることを特徴と
するクライオポンプ。1. A cryopump comprising a cold trap scale and a pressure gauge for monitoring a relief valve section.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19929394A JPH0861233A (en) | 1994-08-24 | 1994-08-24 | Cryopump |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19929394A JPH0861233A (en) | 1994-08-24 | 1994-08-24 | Cryopump |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0861233A true JPH0861233A (en) | 1996-03-08 |
Family
ID=16405402
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19929394A Withdrawn JPH0861233A (en) | 1994-08-24 | 1994-08-24 | Cryopump |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0861233A (en) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100484881B1 (en) * | 2002-06-17 | 2005-04-22 | 동부아남반도체 주식회사 | Apparatus for monitoring temperature of cold trap for pvd chamber formed a vacuum |
| JP2013543952A (en) * | 2010-11-24 | 2013-12-09 | ブルックス オートメーション インコーポレイテッド | Cryopump with controlled hydrogen gas release |
| US10495082B2 (en) | 2016-03-22 | 2019-12-03 | Sumitomo Heavy Industries, Ltd. | Cryopump, cryopumped gas amount estimation device, and cryopumped gas amount estimation method |
-
1994
- 1994-08-24 JP JP19929394A patent/JPH0861233A/en not_active Withdrawn
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100484881B1 (en) * | 2002-06-17 | 2005-04-22 | 동부아남반도체 주식회사 | Apparatus for monitoring temperature of cold trap for pvd chamber formed a vacuum |
| JP2013543952A (en) * | 2010-11-24 | 2013-12-09 | ブルックス オートメーション インコーポレイテッド | Cryopump with controlled hydrogen gas release |
| US9266039B2 (en) | 2010-11-24 | 2016-02-23 | Brooks Automation, Inc. | Cryopump with controlled hydrogen gas release |
| US10495082B2 (en) | 2016-03-22 | 2019-12-03 | Sumitomo Heavy Industries, Ltd. | Cryopump, cryopumped gas amount estimation device, and cryopumped gas amount estimation method |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20011106 |