JPH085925A - 走査型レーザ顕微鏡 - Google Patents
走査型レーザ顕微鏡Info
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- JPH085925A JPH085925A JP15638094A JP15638094A JPH085925A JP H085925 A JPH085925 A JP H085925A JP 15638094 A JP15638094 A JP 15638094A JP 15638094 A JP15638094 A JP 15638094A JP H085925 A JPH085925 A JP H085925A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 レーザ発振器からの機械的な振動の影響を防
止することができると共に、操作性を向上させた走査型
レーザ顕微鏡を提供する。 【構成】 機械的な振動を伴うレーザ発振器１とレーザ
発振器１から出射されるレーザ光の光軸を調整する光軸
調整装置２とを、載置台５とコイルばね６とから防振台
７の載置台５上に固定し、防振台７を定盤８上に配置す
る。そして定盤８には、光軸調整装置２からのレーザ光
を入射する光走査装置３と該光走査装置３に接続された
顕微鏡４を固定し、走査型レーザ顕微鏡を構成する。
止することができると共に、操作性を向上させた走査型
レーザ顕微鏡を提供する。 【構成】 機械的な振動を伴うレーザ発振器１とレーザ
発振器１から出射されるレーザ光の光軸を調整する光軸
調整装置２とを、載置台５とコイルばね６とから防振台
７の載置台５上に固定し、防振台７を定盤８上に配置す
る。そして定盤８には、光軸調整装置２からのレーザ光
を入射する光走査装置３と該光走査装置３に接続された
顕微鏡４を固定し、走査型レーザ顕微鏡を構成する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、水冷式レーザ発振器
など、レーザ発振器自体が機械的な振動の発生源となる
レーザ発振器を照明光源として用いる走査型レーザ顕微
鏡に関する。
など、レーザ発振器自体が機械的な振動の発生源となる
レーザ発振器を照明光源として用いる走査型レーザ顕微
鏡に関する。
【０００２】
【従来の技術】走査型レーザ顕微鏡は、レーザ発振器か
ら出射されるレーザ光を、光走査装置によりＸ−Ｙ方向
に偏向して顕微鏡の対物レンズに入射し、試料からの反
射光又は透過光を光検出器で検出し、顕微鏡像を観察す
るようにしたものであるが、従来、かかる走査型レーザ
顕微鏡は、図７に示すように、レーザ発振器101 と光走
査装置102 と顕微鏡103 とを定盤104 上に直接載置して
固定し、構成している。このように構成されている走査
型レーザ顕微鏡では、レーザ発振器101 として一般に水
冷式のものが用いられているので、水冷系統から発生す
る振動が定盤104を通して顕微鏡103 に伝わり、顕微鏡1
03 における観察もしくは計測に悪影響を与える。ま
た、微細な細胞等を操作するためのマイクロマニピュレ
ータ等を使用する際には、マニピュレータの針が振動す
るなどの不具合が発生する。
ら出射されるレーザ光を、光走査装置によりＸ−Ｙ方向
に偏向して顕微鏡の対物レンズに入射し、試料からの反
射光又は透過光を光検出器で検出し、顕微鏡像を観察す
るようにしたものであるが、従来、かかる走査型レーザ
顕微鏡は、図７に示すように、レーザ発振器101 と光走
査装置102 と顕微鏡103 とを定盤104 上に直接載置して
固定し、構成している。このように構成されている走査
型レーザ顕微鏡では、レーザ発振器101 として一般に水
冷式のものが用いられているので、水冷系統から発生す
る振動が定盤104を通して顕微鏡103 に伝わり、顕微鏡1
03 における観察もしくは計測に悪影響を与える。ま
た、微細な細胞等を操作するためのマイクロマニピュレ
ータ等を使用する際には、マニピュレータの針が振動す
るなどの不具合が発生する。
【０００３】このような不具合の発生を防止するために
は、振動発生源であるレーザ発振器からの振動を遮断す
る必要が生じるが、このように照明光源からの振動を遮
断する構成としては、特開平１−１４２７０４号公報に
おいて、図８に示すような構成のものが提案されてい
る。すなわち、上記公報開示のものは、照明光源が別置
きの半導体用露光装置への入射光軸の調整に使用する光
軸調整装置に関するものであるが、図８に示すように、
半導体用露光装置201 は、ＸＹＺθテーブル202と共に
基台203 上に設けた防振台204 の上に固定されており、
そして振動源となるエキシマレーザ等の照明光源装置20
5 と、前記露光装置201 と照明光源装置205 との間に設
けられる光軸調整装置206 とは、基台203 上に直接設置
して構成されている。この装置においては、露光装置20
1 は、照明光源装置205 からの照明光を光軸調整装置20
6 を通して受けるようになっており、露光装置201 は防
振台204 上に固定されているので、照明光源装置205 で
発生する振動の影響は受けないようになっている。
は、振動発生源であるレーザ発振器からの振動を遮断す
る必要が生じるが、このように照明光源からの振動を遮
断する構成としては、特開平１−１４２７０４号公報に
おいて、図８に示すような構成のものが提案されてい
る。すなわち、上記公報開示のものは、照明光源が別置
きの半導体用露光装置への入射光軸の調整に使用する光
軸調整装置に関するものであるが、図８に示すように、
半導体用露光装置201 は、ＸＹＺθテーブル202と共に
基台203 上に設けた防振台204 の上に固定されており、
そして振動源となるエキシマレーザ等の照明光源装置20
5 と、前記露光装置201 と照明光源装置205 との間に設
けられる光軸調整装置206 とは、基台203 上に直接設置
して構成されている。この装置においては、露光装置20
1 は、照明光源装置205 からの照明光を光軸調整装置20
6 を通して受けるようになっており、露光装置201 は防
振台204 上に固定されているので、照明光源装置205 で
発生する振動の影響は受けないようになっている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上記のように、図８に
示した光軸調整装置においては、露光装置201 は防振台
204 上に固定されているので、照明光源装置205 からの
振動の影響は避けられる。しかしながら、このような構
成を、そのまま走査型レーザ顕微鏡に適用して、図９に
示すように、照明光源であるレーザ発振器101 を定盤10
4 上に固定し、顕微鏡103 と光走査装置102 を防振台20
4 上に配置して、防振台204 を定盤104 上に載置して構
成すると、次のような不具合が生じる。
示した光軸調整装置においては、露光装置201 は防振台
204 上に固定されているので、照明光源装置205 からの
振動の影響は避けられる。しかしながら、このような構
成を、そのまま走査型レーザ顕微鏡に適用して、図９に
示すように、照明光源であるレーザ発振器101 を定盤10
4 上に固定し、顕微鏡103 と光走査装置102 を防振台20
4 上に配置して、防振台204 を定盤104 上に載置して構
成すると、次のような不具合が生じる。
【０００５】 顕微鏡は、ステージの送り、ピント合
わせ、光路切換等の操作を行う必要があるが、このよう
な操作を行うと顕微鏡を設置している防振台が揺れ、防
振台上の光学走査装置が揺れるので、レーザ入射ビーム
は顕微鏡に傾いて入射し、光検出器に光ビームが導かれ
ない状態となり、揺れが停止するまで、レーザ顕微鏡画
像が得られない。 顕微鏡には、写真撮影装置など種々のユニットを追
加して装着することが多いが、このような場合、重量バ
ランスが変化して顕微鏡が傾き、再度、光軸を調整しな
ければならない。 また試料となる細胞の操作に使用するマイクロマニ
ピュレータが定盤に取付けられる場合には、レーザ発振
器の振動が定盤を通してマニピュレータに伝わり、マニ
ピュレータの針が振れてしまうなどの問題点が発生す
る。
わせ、光路切換等の操作を行う必要があるが、このよう
な操作を行うと顕微鏡を設置している防振台が揺れ、防
振台上の光学走査装置が揺れるので、レーザ入射ビーム
は顕微鏡に傾いて入射し、光検出器に光ビームが導かれ
ない状態となり、揺れが停止するまで、レーザ顕微鏡画
像が得られない。 顕微鏡には、写真撮影装置など種々のユニットを追
加して装着することが多いが、このような場合、重量バ
ランスが変化して顕微鏡が傾き、再度、光軸を調整しな
ければならない。 また試料となる細胞の操作に使用するマイクロマニ
ピュレータが定盤に取付けられる場合には、レーザ発振
器の振動が定盤を通してマニピュレータに伝わり、マニ
ピュレータの針が振れてしまうなどの問題点が発生す
る。
【０００６】本発明は、従来の走査型レーザ顕微鏡、あ
るいは従来提案の光軸調整装置を走査型レーザ顕微鏡に
適用した場合における上記問題点を解消するためになさ
れたもので、照明光源となるレーザ発振器からの機械的
な振動の影響を避けることができ、且つ操作性のよい走
査型レーザ顕微鏡を提供することを目的とする。
るいは従来提案の光軸調整装置を走査型レーザ顕微鏡に
適用した場合における上記問題点を解消するためになさ
れたもので、照明光源となるレーザ発振器からの機械的
な振動の影響を避けることができ、且つ操作性のよい走
査型レーザ顕微鏡を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段及び作用】上記問題点を解
決するため、本発明は、機械的な振動を伴うレーザ発振
器と光走査装置と顕微鏡とからなる走査型レーザ顕微鏡
を、顕微鏡と光走査装置は直接定盤上に固定し、レーザ
発振器は定盤上に載置された防振台上に固定して構成す
る。
決するため、本発明は、機械的な振動を伴うレーザ発振
器と光走査装置と顕微鏡とからなる走査型レーザ顕微鏡
を、顕微鏡と光走査装置は直接定盤上に固定し、レーザ
発振器は定盤上に載置された防振台上に固定して構成す
る。
【０００８】このように構成された走査型レーザ顕微鏡
においては、機械的な振動源となっているレーザ発振器
は防振台上に固定され、定盤上に固定されている顕微鏡
及び光走査装置とは振動伝達関係においては分離されて
いるため、レーザ発振器からの振動が定盤を通して顕微
鏡に伝達されるのは有効に阻止される。また顕微鏡は定
盤上に固定されているため、顕微鏡での観察、計測等の
作業を行っても、防振台の揺れや光軸のずれ等が発生せ
ず、またマイクロマニピュレータを設ける場合、定盤上
に設置されるので、マイクロマニピュレータの針の揺れ
は発生せず、正確な細胞の操作を行うことができ、操作
性を向上させることができる。
においては、機械的な振動源となっているレーザ発振器
は防振台上に固定され、定盤上に固定されている顕微鏡
及び光走査装置とは振動伝達関係においては分離されて
いるため、レーザ発振器からの振動が定盤を通して顕微
鏡に伝達されるのは有効に阻止される。また顕微鏡は定
盤上に固定されているため、顕微鏡での観察、計測等の
作業を行っても、防振台の揺れや光軸のずれ等が発生せ
ず、またマイクロマニピュレータを設ける場合、定盤上
に設置されるので、マイクロマニピュレータの針の揺れ
は発生せず、正確な細胞の操作を行うことができ、操作
性を向上させることができる。
【０００９】また、ビームエクスパンダを防振台上に固
定することにより、レーザ発振器の振動により防振台が
振動しても、ビームエクスパンダは防振台上に一体的に
固定されているため、レーザ発振器より出射される細い
ビーム幅のレーザ光をビームエクスパンダの空間フィル
タに正確に入射させることができる。なお、この際、ビ
ームエクスパンダから出射されるレーザ光は幅の広いビ
ームとなっているため、ビームエクスパンダの振動によ
り光軸がずれても、ビームエクスパンダからの出射光は
支障なく光走査装置に入射させることができる。
定することにより、レーザ発振器の振動により防振台が
振動しても、ビームエクスパンダは防振台上に一体的に
固定されているため、レーザ発振器より出射される細い
ビーム幅のレーザ光をビームエクスパンダの空間フィル
タに正確に入射させることができる。なお、この際、ビ
ームエクスパンダから出射されるレーザ光は幅の広いビ
ームとなっているため、ビームエクスパンダの振動によ
り光軸がずれても、ビームエクスパンダからの出射光は
支障なく光走査装置に入射させることができる。
【００１０】
【実施例】次に実施例について説明する。図１は本発明
に係る走査型レーザ顕微鏡の一実施例を示す概略構成図
である。図において、１は機械的な振動を伴う水冷式な
どのレーザ発振器で、２は該レーザ発振器１から出射さ
れるレーザ光を光走査装置３に入射させるために光軸を
調整する光軸調整装置である。そして、これらのレーザ
発振器１及び光軸調整装置２は、載置台５とコイルばね
６とからなる防振台７の載置台５上に固定され、載置台
５はコイルばね６を介して、定盤８上に配置されるよう
になっている。また定盤８上には支持軸９，９が植設さ
れており、該支持軸９，９は前記載置台５に形成されて
いる嵌合孔５ａ、５ａに緩く嵌合するように構成されて
いる。なお、前記定盤８は、床面に対してゴム等の弾性
体を介して設置されていて、防振機能をもっているもの
である。
に係る走査型レーザ顕微鏡の一実施例を示す概略構成図
である。図において、１は機械的な振動を伴う水冷式な
どのレーザ発振器で、２は該レーザ発振器１から出射さ
れるレーザ光を光走査装置３に入射させるために光軸を
調整する光軸調整装置である。そして、これらのレーザ
発振器１及び光軸調整装置２は、載置台５とコイルばね
６とからなる防振台７の載置台５上に固定され、載置台
５はコイルばね６を介して、定盤８上に配置されるよう
になっている。また定盤８上には支持軸９，９が植設さ
れており、該支持軸９，９は前記載置台５に形成されて
いる嵌合孔５ａ、５ａに緩く嵌合するように構成されて
いる。なお、前記定盤８は、床面に対してゴム等の弾性
体を介して設置されていて、防振機能をもっているもの
である。
【００１１】一方、前記光走査装置３は定盤８上に直接
固定されており、また光走査装置３と接続されている顕
微鏡４も、定盤８上に直接固定されている。
固定されており、また光走査装置３と接続されている顕
微鏡４も、定盤８上に直接固定されている。
【００１２】次に、前記光軸調整装置２の詳細な構成を
図２に基づいて説明する。光軸調整装置２は、ビームエ
クスパンダ11，12と、焦点面に配置した空間フィルタ13
と、光軸調整系14とで構成され、レーザ発振器１からの
レーザ光はビームエクスパンダ11，12で適当なビーム径
に拡げられ、空間フィルタ13で均一で良質なビームにさ
れて光軸調整系14に導入される。光軸調整系14は、図３
に示すように、軸17を中心として回転できるミラー15
と、軸18を中心として回転できるミラー16と、固定ミラ
ー19とで構成され、２つのミラー15，16の回転と、２つ
のミラー15，16のｘ，ｙ方向への平行移動によって、光
軸をｘ，ｙ方向の２つの方向と、θ1 ，θ2 の２つの角
度の調整を行い、光軸調整済みのレーザ光を光走査装置
３に導入するようになっている。
図２に基づいて説明する。光軸調整装置２は、ビームエ
クスパンダ11，12と、焦点面に配置した空間フィルタ13
と、光軸調整系14とで構成され、レーザ発振器１からの
レーザ光はビームエクスパンダ11，12で適当なビーム径
に拡げられ、空間フィルタ13で均一で良質なビームにさ
れて光軸調整系14に導入される。光軸調整系14は、図３
に示すように、軸17を中心として回転できるミラー15
と、軸18を中心として回転できるミラー16と、固定ミラ
ー19とで構成され、２つのミラー15，16の回転と、２つ
のミラー15，16のｘ，ｙ方向への平行移動によって、光
軸をｘ，ｙ方向の２つの方向と、θ1 ，θ2 の２つの角
度の調整を行い、光軸調整済みのレーザ光を光走査装置
３に導入するようになっている。
【００１３】以上のように構成された走査型レーザ顕微
鏡においては、レーザ発振器１からの振動は、防振台７
を構成するコイルばね６に吸収され、定盤８を通して顕
微鏡４に伝達されることはない。また、顕微鏡４におい
て、ピント合わせやステージ送り等の操作を行っても、
顕微鏡４は定盤８上で固定されていて、防振台７には何
ら影響を及ぼさないので、走査型レーザ顕微鏡における
観察には何ら支障を生じさせない。また、たとえ前記防
振台７が不意に大なる外力を受けた場合でも、防振台７
が横方向に動き得る範囲は、図４に示すように、載置台
５の嵌合孔５ａと支持軸９との隙間に限られるので、防
振台７の大きな揺れは防止され、装置全体が安定してい
る。
鏡においては、レーザ発振器１からの振動は、防振台７
を構成するコイルばね６に吸収され、定盤８を通して顕
微鏡４に伝達されることはない。また、顕微鏡４におい
て、ピント合わせやステージ送り等の操作を行っても、
顕微鏡４は定盤８上で固定されていて、防振台７には何
ら影響を及ぼさないので、走査型レーザ顕微鏡における
観察には何ら支障を生じさせない。また、たとえ前記防
振台７が不意に大なる外力を受けた場合でも、防振台７
が横方向に動き得る範囲は、図４に示すように、載置台
５の嵌合孔５ａと支持軸９との隙間に限られるので、防
振台７の大きな揺れは防止され、装置全体が安定してい
る。
【００１４】また、たとえ床面の振動が定盤８を通して
防振台７に伝わった場合でも、レーザ発振器１から出射
されるレーザ光の光軸は防振台７と共に振れるが、レー
ザ発振器１から出射されるレーザ光が導入される光軸調
整装置２は、レーザ発振器１と共に防振台７上に固定さ
れているので、レーザ発振器１から出射されるレーザ光
の光軸が揺れても、該レーザ光の光軸が光軸調整装置か
ら外れることはない。
防振台７に伝わった場合でも、レーザ発振器１から出射
されるレーザ光の光軸は防振台７と共に振れるが、レー
ザ発振器１から出射されるレーザ光が導入される光軸調
整装置２は、レーザ発振器１と共に防振台７上に固定さ
れているので、レーザ発振器１から出射されるレーザ光
の光軸が揺れても、該レーザ光の光軸が光軸調整装置か
ら外れることはない。
【００１５】次に、第２実施例について説明する。図５
は、第２実施例を示す概略構成図で、図１に示した第１
実施例と同一又は対応する部材には、同一符号を付して
示し、その説明は省略する。この実施例は、第１実施例
において、防振台７上に固定配置されているレーザ発振
器１と光軸調整装置２との間にＮＤフィルタターレット
21を配設し、同様に防振台７の載置台５に固定したもの
である。
は、第２実施例を示す概略構成図で、図１に示した第１
実施例と同一又は対応する部材には、同一符号を付して
示し、その説明は省略する。この実施例は、第１実施例
において、防振台７上に固定配置されているレーザ発振
器１と光軸調整装置２との間にＮＤフィルタターレット
21を配設し、同様に防振台７の載置台５に固定したもの
である。
【００１６】走査型レーザ顕微鏡において顕微鏡像を観
察する場合、必要に応じてレーザ光の光量を低減させる
ことがある。その場合に、この実施例におけるＮＤフィ
ルタターレット21を回転させ、所望のＮＤフィルタを選
択し、レーザ発振器１よりレーザ光を、選択したＮＤフ
ィルタを通して光軸調整装置２へ導入する。この際、本
実施例においては、ＮＤフィルタターレット21は防振台
７に固定されているので、ＮＤフィルタターレット21の
回転操作による振動は顕微鏡４に伝達されることはな
く、走査型レーザ顕微鏡としての性能を更に向上させる
ことができる。
察する場合、必要に応じてレーザ光の光量を低減させる
ことがある。その場合に、この実施例におけるＮＤフィ
ルタターレット21を回転させ、所望のＮＤフィルタを選
択し、レーザ発振器１よりレーザ光を、選択したＮＤフ
ィルタを通して光軸調整装置２へ導入する。この際、本
実施例においては、ＮＤフィルタターレット21は防振台
７に固定されているので、ＮＤフィルタターレット21の
回転操作による振動は顕微鏡４に伝達されることはな
く、走査型レーザ顕微鏡としての性能を更に向上させる
ことができる。
【００１７】次に、第３実施例について説明する。図６
は、第３実施例を示す概略構成図で、図１に示した第１
実施例と同一又は対応する部材には、同一符号を付して
示し、その説明は省略する。この実施例は、第１実施例
における定盤８上に、顕微鏡４に隣接してマイクロマニ
ピュレータ31を配設し固定したものであり、32は該マイ
クロマニピュレータ31に取り付けられている針である。
この実施例は、第１及び第２実施例と同様に、レーザ発
振器１は防振台７に配置固定されているので、そのコイ
ルばね６の働きによってレーザ発振器１で発生する振動
は遮断され、定盤８を介してマイクロマニピュレータ31
に伝達されることはない。したがって針32が振動により
振れることがなく、正確に細胞等の操作を行うことがで
き、走査型レーザ顕微鏡の性能を更に向上させることが
できる。
は、第３実施例を示す概略構成図で、図１に示した第１
実施例と同一又は対応する部材には、同一符号を付して
示し、その説明は省略する。この実施例は、第１実施例
における定盤８上に、顕微鏡４に隣接してマイクロマニ
ピュレータ31を配設し固定したものであり、32は該マイ
クロマニピュレータ31に取り付けられている針である。
この実施例は、第１及び第２実施例と同様に、レーザ発
振器１は防振台７に配置固定されているので、そのコイ
ルばね６の働きによってレーザ発振器１で発生する振動
は遮断され、定盤８を介してマイクロマニピュレータ31
に伝達されることはない。したがって針32が振動により
振れることがなく、正確に細胞等の操作を行うことがで
き、走査型レーザ顕微鏡の性能を更に向上させることが
できる。
【００１８】上記各実施例においては、防振台にコイル
ばね６を用いたものを示したが、コイルばねの代わりに
防振ゴムを用いることもでき、また防振台として空気式
防振台を用いることもできる。
ばね６を用いたものを示したが、コイルばねの代わりに
防振ゴムを用いることもでき、また防振台として空気式
防振台を用いることもできる。
【００１９】
【発明の効果】以上実施例に基づいて説明したように、
本発明によれば、機械的な振動の発生源となっているレ
ーザ発振器を防振台に固定しているので、定盤上に固定
した顕微鏡及び光走査装置には振動が伝達されず、容易
に顕微鏡像を観察することができる。また顕微鏡は定盤
上に固定されているため、顕微鏡での観察、計測等の作
業を行っても、防振台の揺れや光軸のずれ等が発生せ
ず、走査型レーザ顕微鏡の操作性を向上させることがで
きる。
本発明によれば、機械的な振動の発生源となっているレ
ーザ発振器を防振台に固定しているので、定盤上に固定
した顕微鏡及び光走査装置には振動が伝達されず、容易
に顕微鏡像を観察することができる。また顕微鏡は定盤
上に固定されているため、顕微鏡での観察、計測等の作
業を行っても、防振台の揺れや光軸のずれ等が発生せ
ず、走査型レーザ顕微鏡の操作性を向上させることがで
きる。
【図１】本発明に係る走査型レーザ顕微鏡の第１実施例
を示す概略構成図である。
を示す概略構成図である。
【図２】図１に示した第１実施例における光軸調整装置
の詳細な構成を示す図である。
の詳細な構成を示す図である。
【図３】図２に示した光軸調整系の構成を示す図であ
る。
る。
【図４】図１に示した第１実施例における防振台の載置
台と支持軸との関係を示す断面図である。
台と支持軸との関係を示す断面図である。
【図５】第２実施例を示す概略構成図である。
【図６】第３実施例を示す概略構成図である。
【図７】従来の走査型レーザ顕微鏡の構成例を示す概略
構成図である。
構成図である。
【図８】従来の半導体露光装置の光軸調整装置を示す概
略構成図である。
略構成図である。
【図９】図７に示した走査型レーザ顕微鏡に、図８に示
した技術を適用した場合の構成を示す図である。
した技術を適用した場合の構成を示す図である。
１ レーザ発振器 ２ 光軸調整装置 ３ 光走査装置 ４ 顕微鏡 ５ 載置台 ６ コイルばね ７ 防振台 ８ 定盤 ９ 支持軸 11，12 ビームエクスパンダ 13 空間フィルタ 14 光軸調整系 15，16 回転ミラー 17，18 軸 19 固定ミラー 21 ＮＤフィルタターレット 31 マイクロマニピュレータ 32 針
Claims (2)
- 【請求項１】 機械的な振動を伴うレーザ発振器と光走
査装置と顕微鏡とからなる走査型レーザ顕微鏡におい
て、顕微鏡と光走査装置は直接定盤上に固定し、レーザ
発振器は定盤上に載置された防振台上に固定したことを
特徴とする走査型レーザ顕微鏡。 - 【請求項２】 前記レーザ発振器から出射されるレーザ
光のビーム幅を拡大して光走査装置に入射させるための
ビームエクスパンダを、前記防振台上に配置固定したこ
とを特徴とする請求項１記載の走査型レーザ顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15638094A JPH085925A (ja) | 1994-06-16 | 1994-06-16 | 走査型レーザ顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15638094A JPH085925A (ja) | 1994-06-16 | 1994-06-16 | 走査型レーザ顕微鏡 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH085925A true JPH085925A (ja) | 1996-01-12 |
Family
ID=15626492
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15638094A Withdrawn JPH085925A (ja) | 1994-06-16 | 1994-06-16 | 走査型レーザ顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH085925A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001272345A (ja) * | 2000-03-23 | 2001-10-05 | Olympus Optical Co Ltd | 二重共鳴吸収顕微鏡 |
| CN102854617A (zh) * | 2012-09-17 | 2013-01-02 | 攀钢集团攀枝花钢铁研究院有限公司 | 用于调整显微镜水平度的防震工作台及其安装方法 |
| CN107179602A (zh) * | 2017-07-19 | 2017-09-19 | 芜湖市奥尔特光电科技有限公司 | 一种可手动调节的显微镜 |
-
1994
- 1994-06-16 JP JP15638094A patent/JPH085925A/ja not_active Withdrawn
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001272345A (ja) * | 2000-03-23 | 2001-10-05 | Olympus Optical Co Ltd | 二重共鳴吸収顕微鏡 |
| CN102854617A (zh) * | 2012-09-17 | 2013-01-02 | 攀钢集团攀枝花钢铁研究院有限公司 | 用于调整显微镜水平度的防震工作台及其安装方法 |
| CN107179602A (zh) * | 2017-07-19 | 2017-09-19 | 芜湖市奥尔特光电科技有限公司 | 一种可手动调节的显微镜 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20010904 |