JPH085541A - 回転粘度計 - Google Patents
回転粘度計Info
- Publication number
- JPH085541A JPH085541A JP6135494A JP13549494A JPH085541A JP H085541 A JPH085541 A JP H085541A JP 6135494 A JP6135494 A JP 6135494A JP 13549494 A JP13549494 A JP 13549494A JP H085541 A JPH085541 A JP H085541A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- viscosity
- measured
- driven shaft
- shaft
- inner cylinder
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Landscapes
- Testing Of Devices, Machine Parts, Or Other Structures Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 低粘性の被測定流体であっても、その粘度を
高精度に測定できる回転粘度計を提供すること。 【構成】 モータ4に連結された駆動軸12にトーション
ばね17を介して従動軸10を連結し、従動軸10に外筒6内
に共軸的に配置された内筒9を連結する。従動軸10、駆
動軸12をエアベアリング装置13,14で軸支し、かつ従動
軸10、駆動軸12にロータリエンコーダディスク18,19を
直接固定する。粘度測定の外乱となる軸受け部の抵抗が
非常に小さくなるため、被測定流体が外乱の影響を受け
やすい低粘性の液7でもその粘度を高精度に測定でき
る。
高精度に測定できる回転粘度計を提供すること。 【構成】 モータ4に連結された駆動軸12にトーション
ばね17を介して従動軸10を連結し、従動軸10に外筒6内
に共軸的に配置された内筒9を連結する。従動軸10、駆
動軸12をエアベアリング装置13,14で軸支し、かつ従動
軸10、駆動軸12にロータリエンコーダディスク18,19を
直接固定する。粘度測定の外乱となる軸受け部の抵抗が
非常に小さくなるため、被測定流体が外乱の影響を受け
やすい低粘性の液7でもその粘度を高精度に測定でき
る。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は回転粘度計に係り、特に
低粘性流体の粘度(粘性係数)を高精度に測定可能な内
筒回転型の粘度計に関する。
低粘性流体の粘度(粘性係数)を高精度に測定可能な内
筒回転型の粘度計に関する。
【0002】
【背景技術】従来より、共軸的に配置された外筒および
内筒間に被測定流体を設け、外筒に対して内筒を回転さ
せた際に内筒に作用するトルクと流体の粘度とが比例関
係にあることを利用し、トルクを測定して流体の粘度を
測定する回転粘度計が知られている。この際のトルク測
定は、例えば、内筒および内筒を回転させるモータ等の
駆動装置間にトーションばねを介在させ、内筒が被測定
流体の粘性による抵抗トルクを受けることでトーション
ばねに生じるねじれ角を測定することで行われ、前記ね
じれ角は、指針および目盛板を用いて偏角を直接読みと
ったり、ポテンショメータを用いて測定されていた。
内筒間に被測定流体を設け、外筒に対して内筒を回転さ
せた際に内筒に作用するトルクと流体の粘度とが比例関
係にあることを利用し、トルクを測定して流体の粘度を
測定する回転粘度計が知られている。この際のトルク測
定は、例えば、内筒および内筒を回転させるモータ等の
駆動装置間にトーションばねを介在させ、内筒が被測定
流体の粘性による抵抗トルクを受けることでトーション
ばねに生じるねじれ角を測定することで行われ、前記ね
じれ角は、指針および目盛板を用いて偏角を直接読みと
ったり、ポテンショメータを用いて測定されていた。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】被測定流体の粘性を高
精度に測定するには、前記ねじれ角を高精度に検出しな
ければならず、このため本出願人は内筒側およびモータ
側にそれぞれロータリエンコーダを取り付けてねじれ角
を高精度に測定する粘度計を開発した。ところで、トー
ションばねにねじれ角を生じさせる力は、厳密に言えば
被測定流体の粘性による抵抗トルクだけではなく、通常
転がりベアリングでケースに軸支されているトーション
ばねの内筒側の軸受け部の回転抵抗も影響している。ま
た、ロータリエンコーダは、通常ユニット化されたもの
が利用されるが、このユニットに内蔵されたロータリエ
ンコーダディスクの回転軸を軸支する転がりベアリング
の回転抵抗もトーションばねのねじれ角に影響してい
る。
精度に測定するには、前記ねじれ角を高精度に検出しな
ければならず、このため本出願人は内筒側およびモータ
側にそれぞれロータリエンコーダを取り付けてねじれ角
を高精度に測定する粘度計を開発した。ところで、トー
ションばねにねじれ角を生じさせる力は、厳密に言えば
被測定流体の粘性による抵抗トルクだけではなく、通常
転がりベアリングでケースに軸支されているトーション
ばねの内筒側の軸受け部の回転抵抗も影響している。ま
た、ロータリエンコーダは、通常ユニット化されたもの
が利用されるが、このユニットに内蔵されたロータリエ
ンコーダディスクの回転軸を軸支する転がりベアリング
の回転抵抗もトーションばねのねじれ角に影響してい
る。
【0004】このため、被測定流体の粘性が比較的大き
くてその抵抗トルクが大きい場合には、各ベアリング部
の抵抗力は相対的に小さくなり、その影響を無視できる
が、被測定流体が、例えばLSI製造工程で用いられる
レジスト等のように非常に低粘性の流体である場合に
は、前記各ベアリング部の回転抵抗が粘度測定の外乱と
なり、高精度の測定ができないという問題が生じた。
くてその抵抗トルクが大きい場合には、各ベアリング部
の抵抗力は相対的に小さくなり、その影響を無視できる
が、被測定流体が、例えばLSI製造工程で用いられる
レジスト等のように非常に低粘性の流体である場合に
は、前記各ベアリング部の回転抵抗が粘度測定の外乱と
なり、高精度の測定ができないという問題が生じた。
【0005】本発明の目的は、低粘性の被測定流体であ
っても、その粘度を高精度に測定できる回転粘度計を提
供することにある。
っても、その粘度を高精度に測定できる回転粘度計を提
供することにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明の回転粘度計は、
外筒内に共軸的に内筒を設け、この内筒に共軸的に設け
られた従動軸をケースに対してエアベアリングを介して
軸支し、この従動軸にトーションばねを介して駆動軸を
連結し、かつ従動軸および駆動軸にそれぞれロータリエ
ンコーダディスクを固定し、前記ケース側にロータリエ
ンコーダディスクに対応して検出器を取り付けるととも
に、前記駆動軸を回転させる駆動装置を設けたことを特
徴とするものである。この際、前記駆動軸もケースに対
してエアベアリングを介して軸支してもよい。
外筒内に共軸的に内筒を設け、この内筒に共軸的に設け
られた従動軸をケースに対してエアベアリングを介して
軸支し、この従動軸にトーションばねを介して駆動軸を
連結し、かつ従動軸および駆動軸にそれぞれロータリエ
ンコーダディスクを固定し、前記ケース側にロータリエ
ンコーダディスクに対応して検出器を取り付けるととも
に、前記駆動軸を回転させる駆動装置を設けたことを特
徴とするものである。この際、前記駆動軸もケースに対
してエアベアリングを介して軸支してもよい。
【0007】
【作用】このような本発明においては、外筒および内筒
間に被測定流体を介在させた状態で駆動装置により駆動
軸を回転させると、トーションばねを介して従動軸およ
び内筒が回転する。この回転に伴い、内筒は被測定流体
の粘性に応じた抵抗トルクを受けてトーションばねにね
じれ角が生じ、このねじれ角を駆動軸および従動軸にそ
れぞれ設けたロータリエンコーダディスクと検出器とで
構成されるロータリエンコーダの検出値の差によって検
出し、被測定流体の粘度を測定する。この際、従動軸の
軸受けにエアベアリングを用いているため、その回転抵
抗は非常に小さくなり、かつユニット式のロータリエン
コーダを用いずにロータリエンコーダディスクを直接駆
動軸および従動軸に取り付けてその軸受けを無くしてい
るため、エンコーダ部分の回転抵抗も無くなる。このた
め、粘度測定の外乱となる軸受け部の抵抗が非常に小さ
くなり、被測定流体が低粘性であっても高精度の測定が
行える。
間に被測定流体を介在させた状態で駆動装置により駆動
軸を回転させると、トーションばねを介して従動軸およ
び内筒が回転する。この回転に伴い、内筒は被測定流体
の粘性に応じた抵抗トルクを受けてトーションばねにね
じれ角が生じ、このねじれ角を駆動軸および従動軸にそ
れぞれ設けたロータリエンコーダディスクと検出器とで
構成されるロータリエンコーダの検出値の差によって検
出し、被測定流体の粘度を測定する。この際、従動軸の
軸受けにエアベアリングを用いているため、その回転抵
抗は非常に小さくなり、かつユニット式のロータリエン
コーダを用いずにロータリエンコーダディスクを直接駆
動軸および従動軸に取り付けてその軸受けを無くしてい
るため、エンコーダ部分の回転抵抗も無くなる。このた
め、粘度測定の外乱となる軸受け部の抵抗が非常に小さ
くなり、被測定流体が低粘性であっても高精度の測定が
行える。
【0008】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図面に基づいて説
明する。図1に示すように、本実施例の回転粘度計1
は、その外側を被覆する円筒状のカバー2と、その上面
を塞ぐ蓋体3とを備えている。蓋体3の上面には駆動装
置であるモータ4が固定され、このモータ4は図示しな
いスピードコントローラで制御されている。
明する。図1に示すように、本実施例の回転粘度計1
は、その外側を被覆する円筒状のカバー2と、その上面
を塞ぐ蓋体3とを備えている。蓋体3の上面には駆動装
置であるモータ4が固定され、このモータ4は図示しな
いスピードコントローラで制御されている。
【0009】蓋体3の下面には、ほぼ円筒状のケース5
が固定され、ケース5の下端には外筒6がビス止めされ
ている。外筒6は、被測定液7が満たされた試料ポット
8内に配置され、その内側には内筒9が外筒6と共軸的
に配置されている。外筒6および内筒9は、その間に所
定幅の隙間が生じるように内径および外径が設定され、
その隙間に被測定液7が流入されている。また、外筒6
の上部側には複数の貫通穴6Aが形成され、内筒9の上
部側にも液7が流入して被測定液7が外筒6および内筒
9間の隙間を流れやすくされている。
が固定され、ケース5の下端には外筒6がビス止めされ
ている。外筒6は、被測定液7が満たされた試料ポット
8内に配置され、その内側には内筒9が外筒6と共軸的
に配置されている。外筒6および内筒9は、その間に所
定幅の隙間が生じるように内径および外径が設定され、
その隙間に被測定液7が流入されている。また、外筒6
の上部側には複数の貫通穴6Aが形成され、内筒9の上
部側にも液7が流入して被測定液7が外筒6および内筒
9間の隙間を流れやすくされている。
【0010】内筒9の上端には、従動軸10が連結固定
されている。一方、モータ4の出力軸4Aには、カップ
リング11を介して駆動軸12が連結固定されている。
従動軸10および駆動軸12は、共に大径の回転軸部1
0A,12A、小径の連結軸部10B,12Bおよび回
転軸部10A,12Aの上下に配置されたフランジ部1
0C,12Cを備えており、それぞれエアベアリング装
置13,14によってスラスト荷重およびラジアル荷重
が受けられて軸支されている。
されている。一方、モータ4の出力軸4Aには、カップ
リング11を介して駆動軸12が連結固定されている。
従動軸10および駆動軸12は、共に大径の回転軸部1
0A,12A、小径の連結軸部10B,12Bおよび回
転軸部10A,12Aの上下に配置されたフランジ部1
0C,12Cを備えており、それぞれエアベアリング装
置13,14によってスラスト荷重およびラジアル荷重
が受けられて軸支されている。
【0011】エアベアリング装置13,14は、ケース
5に固定されたエアベアリングブロック15,16を有
し、このブロック15,16の外周には全周に渡ってエ
ア供給溝15A,16Aが形成されている。エア供給溝
15A,16Aは、エア供給配管15E,16Eを介し
て図示しないエア供給源に連結されて圧縮空気が供給可
能とされている。また、ブロック15,16には、エア
供給溝15A,16Aからブロック15,16の中心軸
に向かって複数本のエア供給孔15B,16Bが形成さ
れている。このエア供給孔15B,16Bは各ブロック
15,16の上下位置にそれぞれ対応して形成され、そ
のエア供給孔15B,16Bの内端側には、回転軸部1
0A,12Aに向かって開口されたラジアル荷重支持用
のエア噴出孔15C,16Cと、フランジ部10C,1
2Cに向かって開口されたスラスト荷重支持用のエア噴
出孔15D,16Dが形成されている。これらのエア噴
出孔15C,15D,16C,16Dは、その直径が約
0.1〜0.4mm程度とされ、従動軸10、駆動軸12
をブロック15,16に対して10μm程度の隙間が生
じるように非接触状態で支持している。
5に固定されたエアベアリングブロック15,16を有
し、このブロック15,16の外周には全周に渡ってエ
ア供給溝15A,16Aが形成されている。エア供給溝
15A,16Aは、エア供給配管15E,16Eを介し
て図示しないエア供給源に連結されて圧縮空気が供給可
能とされている。また、ブロック15,16には、エア
供給溝15A,16Aからブロック15,16の中心軸
に向かって複数本のエア供給孔15B,16Bが形成さ
れている。このエア供給孔15B,16Bは各ブロック
15,16の上下位置にそれぞれ対応して形成され、そ
のエア供給孔15B,16Bの内端側には、回転軸部1
0A,12Aに向かって開口されたラジアル荷重支持用
のエア噴出孔15C,16Cと、フランジ部10C,1
2Cに向かって開口されたスラスト荷重支持用のエア噴
出孔15D,16Dが形成されている。これらのエア噴
出孔15C,15D,16C,16Dは、その直径が約
0.1〜0.4mm程度とされ、従動軸10、駆動軸12
をブロック15,16に対して10μm程度の隙間が生
じるように非接触状態で支持している。
【0012】従動軸10の上部側の連結軸部10Bと、
駆動軸12の下部側の連結軸部12Bとにはトーション
ばね17の下端および上端がそれぞれ連結されている。
また、従動軸10および駆動軸12の上側のフランジ部
10C,12Cには、それぞれロータリエンコーダディ
スク18,19が固定され、ケース5にはディスク1
8,19に対応して検出器20,21が取り付けられて
いる。検出器20,21は、ディスク18,19に形成
された周期的な凹凸、光の透過率や反射率の周期的変
化、磁界の周期的変化等をカウントして回転角度を検出
して図示しないデータ処理装置に出力するものであり、
これらディスク18,19、検出器20,21によりロ
ータリエンコーダ22,23が構成されている。
駆動軸12の下部側の連結軸部12Bとにはトーション
ばね17の下端および上端がそれぞれ連結されている。
また、従動軸10および駆動軸12の上側のフランジ部
10C,12Cには、それぞれロータリエンコーダディ
スク18,19が固定され、ケース5にはディスク1
8,19に対応して検出器20,21が取り付けられて
いる。検出器20,21は、ディスク18,19に形成
された周期的な凹凸、光の透過率や反射率の周期的変
化、磁界の周期的変化等をカウントして回転角度を検出
して図示しないデータ処理装置に出力するものであり、
これらディスク18,19、検出器20,21によりロ
ータリエンコーダ22,23が構成されている。
【0013】駆動軸12の下部側のフランジ部12Cに
は、従動軸10に向かって過負荷防止棒24が立設さ
れ、図2に示すように、従動軸10の上部フランジ部1
0Cには、過負荷防止棒24を挟んで2つのストッパ2
5が突設されている。
は、従動軸10に向かって過負荷防止棒24が立設さ
れ、図2に示すように、従動軸10の上部フランジ部1
0Cには、過負荷防止棒24を挟んで2つのストッパ2
5が突設されている。
【0014】このような本実施例においては、試料ポッ
ト8に被測定液7を入れた後、初期状態(静止状態)で
各ロータリエンコーダ22,23のカウンタをリセット
しておく。そして、モータ4を駆動すると、その回転は
カップリング11、駆動軸12、トーションばね17、
従動軸10を介して内筒9に伝達される。内筒9が外筒
6に対して回転すると、内筒9は被測定液7の粘性によ
る抵抗トルクを受け、トーションばね17はそのトルク
に応じたねじれ角が生じる。
ト8に被測定液7を入れた後、初期状態(静止状態)で
各ロータリエンコーダ22,23のカウンタをリセット
しておく。そして、モータ4を駆動すると、その回転は
カップリング11、駆動軸12、トーションばね17、
従動軸10を介して内筒9に伝達される。内筒9が外筒
6に対して回転すると、内筒9は被測定液7の粘性によ
る抵抗トルクを受け、トーションばね17はそのトルク
に応じたねじれ角が生じる。
【0015】このねじれ角は各ロータリエンコーダ2
2,23のカウント数の差として得られる。ここで、ト
ーションばね17のねじれ剛性は一定であるから、ねじ
れ角は前記抵抗トルクに比例し、つまり被測定液7の粘
度に比例し、予め校正用標準粘度液を用いて粘度とねじ
れ角の関係を調べておけば、ねじれ角つまり前記カウン
ト数の差によって被測定液7の粘度が検出される。な
お、被測定液7の粘度は、トーションばね17のねじれ
剛性が分かれば計算によっても求めることができるが、
校正用標準粘度液を用いて比較測定したほうが、粘度計
1の回転むらなどの機械系の誤差の影響を無くすことが
でき、より高精度の測定が可能となる。
2,23のカウント数の差として得られる。ここで、ト
ーションばね17のねじれ剛性は一定であるから、ねじ
れ角は前記抵抗トルクに比例し、つまり被測定液7の粘
度に比例し、予め校正用標準粘度液を用いて粘度とねじ
れ角の関係を調べておけば、ねじれ角つまり前記カウン
ト数の差によって被測定液7の粘度が検出される。な
お、被測定液7の粘度は、トーションばね17のねじれ
剛性が分かれば計算によっても求めることができるが、
校正用標準粘度液を用いて比較測定したほうが、粘度計
1の回転むらなどの機械系の誤差の影響を無くすことが
でき、より高精度の測定が可能となる。
【0016】このような本実施例においては、駆動軸1
2および従動軸10をエアベアリング装置13,14を
用いることで非接触状態で軸支することができ、その軸
受け部の回転抵抗をきわめて小さくできる。また、ロー
タリエンコーダディスク18,19を駆動軸12、従動
軸10に直接固定しているので、ディスク18,19を
軸支する軸受けを別途設ける必要もない。このため、ト
ーションばね17は、被測定液7の粘性抵抗のみを受
け、各軸10,12の軸受けの回転抵抗等の外乱の影響
を殆ど無くすことができ、S/N比の高い測定が可能と
なり、低粘性の被測定液7であっても高精度の粘度測定
を行うことができる。
2および従動軸10をエアベアリング装置13,14を
用いることで非接触状態で軸支することができ、その軸
受け部の回転抵抗をきわめて小さくできる。また、ロー
タリエンコーダディスク18,19を駆動軸12、従動
軸10に直接固定しているので、ディスク18,19を
軸支する軸受けを別途設ける必要もない。このため、ト
ーションばね17は、被測定液7の粘性抵抗のみを受
け、各軸10,12の軸受けの回転抵抗等の外乱の影響
を殆ど無くすことができ、S/N比の高い測定が可能と
なり、低粘性の被測定液7であっても高精度の粘度測定
を行うことができる。
【0017】また、非接触のエアベアリング装置13,
14を用いているので、従来の転がりベアリングを用い
た場合のような軸受け部の摩耗による測定値の経時変化
を無くすことができ、高精度の測定を長期間維持するこ
とができる。さらに、従来のような転がりベアリングを
用いた場合には、ベアリング内部の潤滑剤(潤滑油やグ
リース)の粘性値が外部温度環境の変動によって変化す
るため、仮に校正用標準粘度液を用いて転がりベアリン
グの回転抵抗の影響を無くしたとしても、使用時の温度
に応じて粘度計の校正が必要となり、測定作業が非常に
煩雑になるが、本実施例では外部温度環境の変動の影響
を受けないエアベアリング装置13,14を用いている
ので、外部温度環境が変動しても粘度計1の校正が不要
であり、被測定液7の温度計測を平行することにより、
被測定液7の温度と粘度の特性を簡単にかつ高精度に測
定することができる。
14を用いているので、従来の転がりベアリングを用い
た場合のような軸受け部の摩耗による測定値の経時変化
を無くすことができ、高精度の測定を長期間維持するこ
とができる。さらに、従来のような転がりベアリングを
用いた場合には、ベアリング内部の潤滑剤(潤滑油やグ
リース)の粘性値が外部温度環境の変動によって変化す
るため、仮に校正用標準粘度液を用いて転がりベアリン
グの回転抵抗の影響を無くしたとしても、使用時の温度
に応じて粘度計の校正が必要となり、測定作業が非常に
煩雑になるが、本実施例では外部温度環境の変動の影響
を受けないエアベアリング装置13,14を用いている
ので、外部温度環境が変動しても粘度計1の校正が不要
であり、被測定液7の温度計測を平行することにより、
被測定液7の温度と粘度の特性を簡単にかつ高精度に測
定することができる。
【0018】また、トーションばね17のねじれ角を測
定するにあたって、従動軸10および可動軸12に設け
たロータリエンコーダ22,23を用いているので、目
盛板および指針を用いて測定値を視認する場合に比べて
ねじれ角を高精度に測定でき、そのデータを用いて被測
定液7の粘度を自動的に算出することもできる。
定するにあたって、従動軸10および可動軸12に設け
たロータリエンコーダ22,23を用いているので、目
盛板および指針を用いて測定値を視認する場合に比べて
ねじれ角を高精度に測定でき、そのデータを用いて被測
定液7の粘度を自動的に算出することもできる。
【0019】さらに、過負荷防止棒24およびストッパ
25を設けたので、被測定液7の粘性抵抗が大きくなる
などしてトーションばね17のねじれ角が大きくなって
も、過負荷防止棒24がストッパ25に当接することで
一定角以上のねじれを防止でき、トーションばね17の
破損を防止できる。また、被測定液7を容積の大きな試
料ポット8に満たしているため、測定時の内筒9の回転
に伴う被測定液7の温度上昇変化を小さくでき、温度変
化による粘度変化を最小限に抑えることができ、高精度
の粘度測定を行うことができる。
25を設けたので、被測定液7の粘性抵抗が大きくなる
などしてトーションばね17のねじれ角が大きくなって
も、過負荷防止棒24がストッパ25に当接することで
一定角以上のねじれを防止でき、トーションばね17の
破損を防止できる。また、被測定液7を容積の大きな試
料ポット8に満たしているため、測定時の内筒9の回転
に伴う被測定液7の温度上昇変化を小さくでき、温度変
化による粘度変化を最小限に抑えることができ、高精度
の粘度測定を行うことができる。
【0020】以上、本発明について好適な実施例をあげ
て説明したが、本発明は前記実施例に限らず、本発明の
要旨を逸脱しない範囲において種々の改良並びに設計の
変更が可能である。例えば、従動軸10および駆動軸1
2を軸支するエアベアリング装置13,14の具体的構
成は、前記実施例のものに限らず、例えばエア供給配管
15E,16Eからエア供給孔15B,16Bに直接エ
アを供給するなどしてもよく、実施にあたって適宜設定
すればよい。また、粘度測定の外乱となるのはトーショ
ンばね17の下側つまり従動軸10側であるから、従動
軸10のみをエアベアリング装置13で軸支し、駆動軸
12はころがりベアリング等の一般的な軸受で支持して
もよい。
て説明したが、本発明は前記実施例に限らず、本発明の
要旨を逸脱しない範囲において種々の改良並びに設計の
変更が可能である。例えば、従動軸10および駆動軸1
2を軸支するエアベアリング装置13,14の具体的構
成は、前記実施例のものに限らず、例えばエア供給配管
15E,16Eからエア供給孔15B,16Bに直接エ
アを供給するなどしてもよく、実施にあたって適宜設定
すればよい。また、粘度測定の外乱となるのはトーショ
ンばね17の下側つまり従動軸10側であるから、従動
軸10のみをエアベアリング装置13で軸支し、駆動軸
12はころがりベアリング等の一般的な軸受で支持して
もよい。
【0021】また、前記実施例では、試料ポット8に被
測定液7を満たしていたが、外筒6で試料ポットを兼用
してもよい。但し、試料ポット8を用いたほうが被測定
液7の量を多くでき、測定時の温度変化を最小限に抑え
ることができるという利点がある。さらに、本発明の回
転粘度計は、レジストに限らず各種の液体の粘度測定に
広く利用することができる。
測定液7を満たしていたが、外筒6で試料ポットを兼用
してもよい。但し、試料ポット8を用いたほうが被測定
液7の量を多くでき、測定時の温度変化を最小限に抑え
ることができるという利点がある。さらに、本発明の回
転粘度計は、レジストに限らず各種の液体の粘度測定に
広く利用することができる。
【0022】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
内筒の回転駆動系の従動軸をエアベアリング装置で軸支
し、さらにトーションばねのねじれ角を測定するロータ
リエンコーダのディスクを駆動軸および従動軸に直接取
り付けてその軸受けを無くしたので、トーションばねの
ねじれ角測定に影響する軸受けの抵抗を無くすことがで
きる。このため、トーションばねは被測定液の粘性抵抗
のみでねじれるために外乱の少ない高精度の粘度測定を
行うことができる。
内筒の回転駆動系の従動軸をエアベアリング装置で軸支
し、さらにトーションばねのねじれ角を測定するロータ
リエンコーダのディスクを駆動軸および従動軸に直接取
り付けてその軸受けを無くしたので、トーションばねの
ねじれ角測定に影響する軸受けの抵抗を無くすことがで
きる。このため、トーションばねは被測定液の粘性抵抗
のみでねじれるために外乱の少ない高精度の粘度測定を
行うことができる。
【図1】本発明の一実施例の回転粘度計を示す縦断面図
である。
である。
【図2】図1のII−II線に沿った断面図である。
1 回転粘度計 4 駆動装置であるモータ 5 ケース 6 外筒 7 被測定液 8 試料ポット 9 内筒 10 従動軸 12 駆動軸 13,14 エアベアリング装置 17 トーションばね 18,19 ロータリエンコーダディスク 20,21 検出器 22,23 ロータリエンコーダ 24 過負荷防止棒 25 ストッパ
Claims (1)
- 【請求項1】 外筒と、この外筒内に共軸的に設けられ
た内筒と、この内筒に共軸的に設けられてケースに軸支
された従動軸と、この従動軸にトーションばねを介して
連結されて前記ケースに軸支された駆動軸と、この駆動
軸を回転させる駆動装置とを備える回転粘度計であっ
て、 前記従動軸はエアベアリングを介して前記ケースに軸支
されているとともに、前記従動軸および駆動軸にはそれ
ぞれロータリエンコーダディスクが固定され、前記ケー
ス側にはロータリエンコーダディスクに対応して検出器
が取り付けられていることを特徴とする回転粘度計。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6135494A JPH085541A (ja) | 1994-06-17 | 1994-06-17 | 回転粘度計 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6135494A JPH085541A (ja) | 1994-06-17 | 1994-06-17 | 回転粘度計 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH085541A true JPH085541A (ja) | 1996-01-12 |
Family
ID=15153057
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP6135494A Withdrawn JPH085541A (ja) | 1994-06-17 | 1994-06-17 | 回転粘度計 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH085541A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103575194A (zh) * | 2013-10-09 | 2014-02-12 | 大连德迈仕精密轴有限公司 | 一种轴类表面纹理导程角检测装置 |
JP2017181498A (ja) * | 2016-03-28 | 2017-10-05 | 国立研究開発法人 海上・港湾・航空技術研究所 | 鉱石の摩耗度評価方法及び鉱石の摩耗度測定装置 |
JP2018080950A (ja) * | 2016-11-14 | 2018-05-24 | 有限会社多摩精機 | 粘度計及び粘度計測方法 |
-
1994
- 1994-06-17 JP JP6135494A patent/JPH085541A/ja not_active Withdrawn
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103575194A (zh) * | 2013-10-09 | 2014-02-12 | 大连德迈仕精密轴有限公司 | 一种轴类表面纹理导程角检测装置 |
JP2017181498A (ja) * | 2016-03-28 | 2017-10-05 | 国立研究開発法人 海上・港湾・航空技術研究所 | 鉱石の摩耗度評価方法及び鉱石の摩耗度測定装置 |
JP2018080950A (ja) * | 2016-11-14 | 2018-05-24 | 有限会社多摩精機 | 粘度計及び粘度計測方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CA1259817A (en) | Apparatus and method for measuring viscoelastic properties of materials | |
EP0579722B1 (en) | Axially compact torque transducer | |
US6167752B1 (en) | Rotary viscometer with an air bearing | |
GB2474962A (en) | Rheometer and method for testing samples | |
CN104990491B (zh) | 油润滑条件下双圆盘摩擦机的膜厚测试方法及装置 | |
JPH085541A (ja) | 回転粘度計 | |
JP2002536654A (ja) | 物質流を測定する装置のためのトルク測定装置 | |
US3287966A (en) | Method and apparatus for presetting axial load on a bearing assembly | |
US4509375A (en) | Torque meter | |
US4235092A (en) | Low friction bearing running torque measuring apparatus | |
GB2066483A (en) | Viscosity measuring device | |
US7168328B2 (en) | Measuring device for determining the mass rate of flow of a mass flow | |
KR101485372B1 (ko) | 회전 점도계 | |
CN114144647A (zh) | 牵引力或摩擦力测量设备和校准方法 | |
JPH01232236A (ja) | 軸受走行試験機 | |
KR102588310B1 (ko) | 기어축 토크 측정장치 | |
SU1647364A1 (ru) | Устройство дл определени смазочной способности бурового раствора | |
KR200275532Y1 (ko) | 회전토크를 이용한 회전식 점도계 | |
RU2080582C1 (ru) | Устройство для измерения момента сил трения в подшипнике | |
CN116164959B (zh) | 扭转试验台及使用方法 | |
SU958893A1 (ru) | Устройство дл измерени момента сопротивлени вращению подшипника | |
JPH0529051B2 (ja) | ||
JPS61240133A (ja) | トルク検出装置 | |
KR100433105B1 (ko) | 회전토크를 이용한 회전식 점도계 | |
JP3068987B2 (ja) | 回転式粘度計 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20010904 |