JPH085541A - 回転粘度計 - Google Patents
回転粘度計Info
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- JPH085541A JPH085541A JP6135494A JP13549494A JPH085541A JP H085541 A JPH085541 A JP H085541A JP 6135494 A JP6135494 A JP 6135494A JP 13549494 A JP13549494 A JP 13549494A JP H085541 A JPH085541 A JP H085541A
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- Japan
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- viscosity
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- shaft
- inner cylinder
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 低粘性の被測定流体であっても、その粘度を
高精度に測定できる回転粘度計を提供すること。 【構成】 モータ４に連結された駆動軸12にトーション
ばね17を介して従動軸10を連結し、従動軸10に外筒６内
に共軸的に配置された内筒９を連結する。従動軸10、駆
動軸12をエアベアリング装置13，14で軸支し、かつ従動
軸10、駆動軸12にロータリエンコーダディスク18，19を
直接固定する。粘度測定の外乱となる軸受け部の抵抗が
非常に小さくなるため、被測定流体が外乱の影響を受け
やすい低粘性の液７でもその粘度を高精度に測定でき
る。
高精度に測定できる回転粘度計を提供すること。 【構成】 モータ４に連結された駆動軸12にトーション
ばね17を介して従動軸10を連結し、従動軸10に外筒６内
に共軸的に配置された内筒９を連結する。従動軸10、駆
動軸12をエアベアリング装置13，14で軸支し、かつ従動
軸10、駆動軸12にロータリエンコーダディスク18，19を
直接固定する。粘度測定の外乱となる軸受け部の抵抗が
非常に小さくなるため、被測定流体が外乱の影響を受け
やすい低粘性の液７でもその粘度を高精度に測定でき
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は回転粘度計に係り、特に
低粘性流体の粘度（粘性係数）を高精度に測定可能な内
筒回転型の粘度計に関する。
低粘性流体の粘度（粘性係数）を高精度に測定可能な内
筒回転型の粘度計に関する。
【０００２】
【背景技術】従来より、共軸的に配置された外筒および
内筒間に被測定流体を設け、外筒に対して内筒を回転さ
せた際に内筒に作用するトルクと流体の粘度とが比例関
係にあることを利用し、トルクを測定して流体の粘度を
測定する回転粘度計が知られている。この際のトルク測
定は、例えば、内筒および内筒を回転させるモータ等の
駆動装置間にトーションばねを介在させ、内筒が被測定
流体の粘性による抵抗トルクを受けることでトーション
ばねに生じるねじれ角を測定することで行われ、前記ね
じれ角は、指針および目盛板を用いて偏角を直接読みと
ったり、ポテンショメータを用いて測定されていた。
内筒間に被測定流体を設け、外筒に対して内筒を回転さ
せた際に内筒に作用するトルクと流体の粘度とが比例関
係にあることを利用し、トルクを測定して流体の粘度を
測定する回転粘度計が知られている。この際のトルク測
定は、例えば、内筒および内筒を回転させるモータ等の
駆動装置間にトーションばねを介在させ、内筒が被測定
流体の粘性による抵抗トルクを受けることでトーション
ばねに生じるねじれ角を測定することで行われ、前記ね
じれ角は、指針および目盛板を用いて偏角を直接読みと
ったり、ポテンショメータを用いて測定されていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】被測定流体の粘性を高
精度に測定するには、前記ねじれ角を高精度に検出しな
ければならず、このため本出願人は内筒側およびモータ
側にそれぞれロータリエンコーダを取り付けてねじれ角
を高精度に測定する粘度計を開発した。ところで、トー
ションばねにねじれ角を生じさせる力は、厳密に言えば
被測定流体の粘性による抵抗トルクだけではなく、通常
転がりベアリングでケースに軸支されているトーション
ばねの内筒側の軸受け部の回転抵抗も影響している。ま
た、ロータリエンコーダは、通常ユニット化されたもの
が利用されるが、このユニットに内蔵されたロータリエ
ンコーダディスクの回転軸を軸支する転がりベアリング
の回転抵抗もトーションばねのねじれ角に影響してい
る。
精度に測定するには、前記ねじれ角を高精度に検出しな
ければならず、このため本出願人は内筒側およびモータ
側にそれぞれロータリエンコーダを取り付けてねじれ角
を高精度に測定する粘度計を開発した。ところで、トー
ションばねにねじれ角を生じさせる力は、厳密に言えば
被測定流体の粘性による抵抗トルクだけではなく、通常
転がりベアリングでケースに軸支されているトーション
ばねの内筒側の軸受け部の回転抵抗も影響している。ま
た、ロータリエンコーダは、通常ユニット化されたもの
が利用されるが、このユニットに内蔵されたロータリエ
ンコーダディスクの回転軸を軸支する転がりベアリング
の回転抵抗もトーションばねのねじれ角に影響してい
る。
【０００４】このため、被測定流体の粘性が比較的大き
くてその抵抗トルクが大きい場合には、各ベアリング部
の抵抗力は相対的に小さくなり、その影響を無視できる
が、被測定流体が、例えばＬＳＩ製造工程で用いられる
レジスト等のように非常に低粘性の流体である場合に
は、前記各ベアリング部の回転抵抗が粘度測定の外乱と
なり、高精度の測定ができないという問題が生じた。
くてその抵抗トルクが大きい場合には、各ベアリング部
の抵抗力は相対的に小さくなり、その影響を無視できる
が、被測定流体が、例えばＬＳＩ製造工程で用いられる
レジスト等のように非常に低粘性の流体である場合に
は、前記各ベアリング部の回転抵抗が粘度測定の外乱と
なり、高精度の測定ができないという問題が生じた。
【０００５】本発明の目的は、低粘性の被測定流体であ
っても、その粘度を高精度に測定できる回転粘度計を提
供することにある。
っても、その粘度を高精度に測定できる回転粘度計を提
供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明の回転粘度計は、
外筒内に共軸的に内筒を設け、この内筒に共軸的に設け
られた従動軸をケースに対してエアベアリングを介して
軸支し、この従動軸にトーションばねを介して駆動軸を
連結し、かつ従動軸および駆動軸にそれぞれロータリエ
ンコーダディスクを固定し、前記ケース側にロータリエ
ンコーダディスクに対応して検出器を取り付けるととも
に、前記駆動軸を回転させる駆動装置を設けたことを特
徴とするものである。この際、前記駆動軸もケースに対
してエアベアリングを介して軸支してもよい。
外筒内に共軸的に内筒を設け、この内筒に共軸的に設け
られた従動軸をケースに対してエアベアリングを介して
軸支し、この従動軸にトーションばねを介して駆動軸を
連結し、かつ従動軸および駆動軸にそれぞれロータリエ
ンコーダディスクを固定し、前記ケース側にロータリエ
ンコーダディスクに対応して検出器を取り付けるととも
に、前記駆動軸を回転させる駆動装置を設けたことを特
徴とするものである。この際、前記駆動軸もケースに対
してエアベアリングを介して軸支してもよい。
【０００７】
【作用】このような本発明においては、外筒および内筒
間に被測定流体を介在させた状態で駆動装置により駆動
軸を回転させると、トーションばねを介して従動軸およ
び内筒が回転する。この回転に伴い、内筒は被測定流体
の粘性に応じた抵抗トルクを受けてトーションばねにね
じれ角が生じ、このねじれ角を駆動軸および従動軸にそ
れぞれ設けたロータリエンコーダディスクと検出器とで
構成されるロータリエンコーダの検出値の差によって検
出し、被測定流体の粘度を測定する。この際、従動軸の
軸受けにエアベアリングを用いているため、その回転抵
抗は非常に小さくなり、かつユニット式のロータリエン
コーダを用いずにロータリエンコーダディスクを直接駆
動軸および従動軸に取り付けてその軸受けを無くしてい
るため、エンコーダ部分の回転抵抗も無くなる。このた
め、粘度測定の外乱となる軸受け部の抵抗が非常に小さ
くなり、被測定流体が低粘性であっても高精度の測定が
行える。
間に被測定流体を介在させた状態で駆動装置により駆動
軸を回転させると、トーションばねを介して従動軸およ
び内筒が回転する。この回転に伴い、内筒は被測定流体
の粘性に応じた抵抗トルクを受けてトーションばねにね
じれ角が生じ、このねじれ角を駆動軸および従動軸にそ
れぞれ設けたロータリエンコーダディスクと検出器とで
構成されるロータリエンコーダの検出値の差によって検
出し、被測定流体の粘度を測定する。この際、従動軸の
軸受けにエアベアリングを用いているため、その回転抵
抗は非常に小さくなり、かつユニット式のロータリエン
コーダを用いずにロータリエンコーダディスクを直接駆
動軸および従動軸に取り付けてその軸受けを無くしてい
るため、エンコーダ部分の回転抵抗も無くなる。このた
め、粘度測定の外乱となる軸受け部の抵抗が非常に小さ
くなり、被測定流体が低粘性であっても高精度の測定が
行える。
【０００８】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図面に基づいて説
明する。図１に示すように、本実施例の回転粘度計１
は、その外側を被覆する円筒状のカバー２と、その上面
を塞ぐ蓋体３とを備えている。蓋体３の上面には駆動装
置であるモータ４が固定され、このモータ４は図示しな
いスピードコントローラで制御されている。
明する。図１に示すように、本実施例の回転粘度計１
は、その外側を被覆する円筒状のカバー２と、その上面
を塞ぐ蓋体３とを備えている。蓋体３の上面には駆動装
置であるモータ４が固定され、このモータ４は図示しな
いスピードコントローラで制御されている。
【０００９】蓋体３の下面には、ほぼ円筒状のケース５
が固定され、ケース５の下端には外筒６がビス止めされ
ている。外筒６は、被測定液７が満たされた試料ポット
８内に配置され、その内側には内筒９が外筒６と共軸的
に配置されている。外筒６および内筒９は、その間に所
定幅の隙間が生じるように内径および外径が設定され、
その隙間に被測定液７が流入されている。また、外筒６
の上部側には複数の貫通穴６Ａが形成され、内筒９の上
部側にも液７が流入して被測定液７が外筒６および内筒
９間の隙間を流れやすくされている。
が固定され、ケース５の下端には外筒６がビス止めされ
ている。外筒６は、被測定液７が満たされた試料ポット
８内に配置され、その内側には内筒９が外筒６と共軸的
に配置されている。外筒６および内筒９は、その間に所
定幅の隙間が生じるように内径および外径が設定され、
その隙間に被測定液７が流入されている。また、外筒６
の上部側には複数の貫通穴６Ａが形成され、内筒９の上
部側にも液７が流入して被測定液７が外筒６および内筒
９間の隙間を流れやすくされている。
【００１０】内筒９の上端には、従動軸１０が連結固定
されている。一方、モータ４の出力軸４Ａには、カップ
リング１１を介して駆動軸１２が連結固定されている。
従動軸１０および駆動軸１２は、共に大径の回転軸部１
０Ａ，１２Ａ、小径の連結軸部１０Ｂ，１２Ｂおよび回
転軸部１０Ａ，１２Ａの上下に配置されたフランジ部１
０Ｃ，１２Ｃを備えており、それぞれエアベアリング装
置１３，１４によってスラスト荷重およびラジアル荷重
が受けられて軸支されている。
されている。一方、モータ４の出力軸４Ａには、カップ
リング１１を介して駆動軸１２が連結固定されている。
従動軸１０および駆動軸１２は、共に大径の回転軸部１
０Ａ，１２Ａ、小径の連結軸部１０Ｂ，１２Ｂおよび回
転軸部１０Ａ，１２Ａの上下に配置されたフランジ部１
０Ｃ，１２Ｃを備えており、それぞれエアベアリング装
置１３，１４によってスラスト荷重およびラジアル荷重
が受けられて軸支されている。
【００１１】エアベアリング装置１３，１４は、ケース
５に固定されたエアベアリングブロック１５，１６を有
し、このブロック１５，１６の外周には全周に渡ってエ
ア供給溝１５Ａ，１６Ａが形成されている。エア供給溝
１５Ａ，１６Ａは、エア供給配管１５Ｅ，１６Ｅを介し
て図示しないエア供給源に連結されて圧縮空気が供給可
能とされている。また、ブロック１５，１６には、エア
供給溝１５Ａ，１６Ａからブロック１５，１６の中心軸
に向かって複数本のエア供給孔１５Ｂ，１６Ｂが形成さ
れている。このエア供給孔１５Ｂ，１６Ｂは各ブロック
１５，１６の上下位置にそれぞれ対応して形成され、そ
のエア供給孔１５Ｂ，１６Ｂの内端側には、回転軸部１
０Ａ，１２Ａに向かって開口されたラジアル荷重支持用
のエア噴出孔１５Ｃ，１６Ｃと、フランジ部１０Ｃ，１
２Ｃに向かって開口されたスラスト荷重支持用のエア噴
出孔１５Ｄ，１６Ｄが形成されている。これらのエア噴
出孔１５Ｃ，１５Ｄ，１６Ｃ，１６Ｄは、その直径が約
０．１〜０．４mm程度とされ、従動軸１０、駆動軸１２
をブロック１５，１６に対して１０μｍ程度の隙間が生
じるように非接触状態で支持している。
５に固定されたエアベアリングブロック１５，１６を有
し、このブロック１５，１６の外周には全周に渡ってエ
ア供給溝１５Ａ，１６Ａが形成されている。エア供給溝
１５Ａ，１６Ａは、エア供給配管１５Ｅ，１６Ｅを介し
て図示しないエア供給源に連結されて圧縮空気が供給可
能とされている。また、ブロック１５，１６には、エア
供給溝１５Ａ，１６Ａからブロック１５，１６の中心軸
に向かって複数本のエア供給孔１５Ｂ，１６Ｂが形成さ
れている。このエア供給孔１５Ｂ，１６Ｂは各ブロック
１５，１６の上下位置にそれぞれ対応して形成され、そ
のエア供給孔１５Ｂ，１６Ｂの内端側には、回転軸部１
０Ａ，１２Ａに向かって開口されたラジアル荷重支持用
のエア噴出孔１５Ｃ，１６Ｃと、フランジ部１０Ｃ，１
２Ｃに向かって開口されたスラスト荷重支持用のエア噴
出孔１５Ｄ，１６Ｄが形成されている。これらのエア噴
出孔１５Ｃ，１５Ｄ，１６Ｃ，１６Ｄは、その直径が約
０．１〜０．４mm程度とされ、従動軸１０、駆動軸１２
をブロック１５，１６に対して１０μｍ程度の隙間が生
じるように非接触状態で支持している。
【００１２】従動軸１０の上部側の連結軸部１０Ｂと、
駆動軸１２の下部側の連結軸部１２Ｂとにはトーション
ばね１７の下端および上端がそれぞれ連結されている。
また、従動軸１０および駆動軸１２の上側のフランジ部
１０Ｃ，１２Ｃには、それぞれロータリエンコーダディ
スク１８，１９が固定され、ケース５にはディスク１
８，１９に対応して検出器２０，２１が取り付けられて
いる。検出器２０，２１は、ディスク１８，１９に形成
された周期的な凹凸、光の透過率や反射率の周期的変
化、磁界の周期的変化等をカウントして回転角度を検出
して図示しないデータ処理装置に出力するものであり、
これらディスク１８，１９、検出器２０，２１によりロ
ータリエンコーダ２２，２３が構成されている。
駆動軸１２の下部側の連結軸部１２Ｂとにはトーション
ばね１７の下端および上端がそれぞれ連結されている。
また、従動軸１０および駆動軸１２の上側のフランジ部
１０Ｃ，１２Ｃには、それぞれロータリエンコーダディ
スク１８，１９が固定され、ケース５にはディスク１
８，１９に対応して検出器２０，２１が取り付けられて
いる。検出器２０，２１は、ディスク１８，１９に形成
された周期的な凹凸、光の透過率や反射率の周期的変
化、磁界の周期的変化等をカウントして回転角度を検出
して図示しないデータ処理装置に出力するものであり、
これらディスク１８，１９、検出器２０，２１によりロ
ータリエンコーダ２２，２３が構成されている。
【００１３】駆動軸１２の下部側のフランジ部１２Ｃに
は、従動軸１０に向かって過負荷防止棒２４が立設さ
れ、図２に示すように、従動軸１０の上部フランジ部１
０Ｃには、過負荷防止棒２４を挟んで２つのストッパ２
５が突設されている。
は、従動軸１０に向かって過負荷防止棒２４が立設さ
れ、図２に示すように、従動軸１０の上部フランジ部１
０Ｃには、過負荷防止棒２４を挟んで２つのストッパ２
５が突設されている。
【００１４】このような本実施例においては、試料ポッ
ト８に被測定液７を入れた後、初期状態（静止状態）で
各ロータリエンコーダ２２，２３のカウンタをリセット
しておく。そして、モータ４を駆動すると、その回転は
カップリング１１、駆動軸１２、トーションばね１７、
従動軸１０を介して内筒９に伝達される。内筒９が外筒
６に対して回転すると、内筒９は被測定液７の粘性によ
る抵抗トルクを受け、トーションばね１７はそのトルク
に応じたねじれ角が生じる。
ト８に被測定液７を入れた後、初期状態（静止状態）で
各ロータリエンコーダ２２，２３のカウンタをリセット
しておく。そして、モータ４を駆動すると、その回転は
カップリング１１、駆動軸１２、トーションばね１７、
従動軸１０を介して内筒９に伝達される。内筒９が外筒
６に対して回転すると、内筒９は被測定液７の粘性によ
る抵抗トルクを受け、トーションばね１７はそのトルク
に応じたねじれ角が生じる。
【００１５】このねじれ角は各ロータリエンコーダ２
２，２３のカウント数の差として得られる。ここで、ト
ーションばね１７のねじれ剛性は一定であるから、ねじ
れ角は前記抵抗トルクに比例し、つまり被測定液７の粘
度に比例し、予め校正用標準粘度液を用いて粘度とねじ
れ角の関係を調べておけば、ねじれ角つまり前記カウン
ト数の差によって被測定液７の粘度が検出される。な
お、被測定液７の粘度は、トーションばね１７のねじれ
剛性が分かれば計算によっても求めることができるが、
校正用標準粘度液を用いて比較測定したほうが、粘度計
１の回転むらなどの機械系の誤差の影響を無くすことが
でき、より高精度の測定が可能となる。
２，２３のカウント数の差として得られる。ここで、ト
ーションばね１７のねじれ剛性は一定であるから、ねじ
れ角は前記抵抗トルクに比例し、つまり被測定液７の粘
度に比例し、予め校正用標準粘度液を用いて粘度とねじ
れ角の関係を調べておけば、ねじれ角つまり前記カウン
ト数の差によって被測定液７の粘度が検出される。な
お、被測定液７の粘度は、トーションばね１７のねじれ
剛性が分かれば計算によっても求めることができるが、
校正用標準粘度液を用いて比較測定したほうが、粘度計
１の回転むらなどの機械系の誤差の影響を無くすことが
でき、より高精度の測定が可能となる。
【００１６】このような本実施例においては、駆動軸１
２および従動軸１０をエアベアリング装置１３，１４を
用いることで非接触状態で軸支することができ、その軸
受け部の回転抵抗をきわめて小さくできる。また、ロー
タリエンコーダディスク１８，１９を駆動軸１２、従動
軸１０に直接固定しているので、ディスク１８，１９を
軸支する軸受けを別途設ける必要もない。このため、ト
ーションばね１７は、被測定液７の粘性抵抗のみを受
け、各軸１０，１２の軸受けの回転抵抗等の外乱の影響
を殆ど無くすことができ、Ｓ／Ｎ比の高い測定が可能と
なり、低粘性の被測定液７であっても高精度の粘度測定
を行うことができる。
２および従動軸１０をエアベアリング装置１３，１４を
用いることで非接触状態で軸支することができ、その軸
受け部の回転抵抗をきわめて小さくできる。また、ロー
タリエンコーダディスク１８，１９を駆動軸１２、従動
軸１０に直接固定しているので、ディスク１８，１９を
軸支する軸受けを別途設ける必要もない。このため、ト
ーションばね１７は、被測定液７の粘性抵抗のみを受
け、各軸１０，１２の軸受けの回転抵抗等の外乱の影響
を殆ど無くすことができ、Ｓ／Ｎ比の高い測定が可能と
なり、低粘性の被測定液７であっても高精度の粘度測定
を行うことができる。
【００１７】また、非接触のエアベアリング装置１３，
１４を用いているので、従来の転がりベアリングを用い
た場合のような軸受け部の摩耗による測定値の経時変化
を無くすことができ、高精度の測定を長期間維持するこ
とができる。さらに、従来のような転がりベアリングを
用いた場合には、ベアリング内部の潤滑剤（潤滑油やグ
リース）の粘性値が外部温度環境の変動によって変化す
るため、仮に校正用標準粘度液を用いて転がりベアリン
グの回転抵抗の影響を無くしたとしても、使用時の温度
に応じて粘度計の校正が必要となり、測定作業が非常に
煩雑になるが、本実施例では外部温度環境の変動の影響
を受けないエアベアリング装置１３，１４を用いている
ので、外部温度環境が変動しても粘度計１の校正が不要
であり、被測定液７の温度計測を平行することにより、
被測定液７の温度と粘度の特性を簡単にかつ高精度に測
定することができる。
１４を用いているので、従来の転がりベアリングを用い
た場合のような軸受け部の摩耗による測定値の経時変化
を無くすことができ、高精度の測定を長期間維持するこ
とができる。さらに、従来のような転がりベアリングを
用いた場合には、ベアリング内部の潤滑剤（潤滑油やグ
リース）の粘性値が外部温度環境の変動によって変化す
るため、仮に校正用標準粘度液を用いて転がりベアリン
グの回転抵抗の影響を無くしたとしても、使用時の温度
に応じて粘度計の校正が必要となり、測定作業が非常に
煩雑になるが、本実施例では外部温度環境の変動の影響
を受けないエアベアリング装置１３，１４を用いている
ので、外部温度環境が変動しても粘度計１の校正が不要
であり、被測定液７の温度計測を平行することにより、
被測定液７の温度と粘度の特性を簡単にかつ高精度に測
定することができる。
【００１８】また、トーションばね１７のねじれ角を測
定するにあたって、従動軸１０および可動軸１２に設け
たロータリエンコーダ２２，２３を用いているので、目
盛板および指針を用いて測定値を視認する場合に比べて
ねじれ角を高精度に測定でき、そのデータを用いて被測
定液７の粘度を自動的に算出することもできる。
定するにあたって、従動軸１０および可動軸１２に設け
たロータリエンコーダ２２，２３を用いているので、目
盛板および指針を用いて測定値を視認する場合に比べて
ねじれ角を高精度に測定でき、そのデータを用いて被測
定液７の粘度を自動的に算出することもできる。
【００１９】さらに、過負荷防止棒２４およびストッパ
２５を設けたので、被測定液７の粘性抵抗が大きくなる
などしてトーションばね１７のねじれ角が大きくなって
も、過負荷防止棒２４がストッパ２５に当接することで
一定角以上のねじれを防止でき、トーションばね１７の
破損を防止できる。また、被測定液７を容積の大きな試
料ポット８に満たしているため、測定時の内筒９の回転
に伴う被測定液７の温度上昇変化を小さくでき、温度変
化による粘度変化を最小限に抑えることができ、高精度
の粘度測定を行うことができる。
２５を設けたので、被測定液７の粘性抵抗が大きくなる
などしてトーションばね１７のねじれ角が大きくなって
も、過負荷防止棒２４がストッパ２５に当接することで
一定角以上のねじれを防止でき、トーションばね１７の
破損を防止できる。また、被測定液７を容積の大きな試
料ポット８に満たしているため、測定時の内筒９の回転
に伴う被測定液７の温度上昇変化を小さくでき、温度変
化による粘度変化を最小限に抑えることができ、高精度
の粘度測定を行うことができる。
【００２０】以上、本発明について好適な実施例をあげ
て説明したが、本発明は前記実施例に限らず、本発明の
要旨を逸脱しない範囲において種々の改良並びに設計の
変更が可能である。例えば、従動軸１０および駆動軸１
２を軸支するエアベアリング装置１３，１４の具体的構
成は、前記実施例のものに限らず、例えばエア供給配管
１５Ｅ，１６Ｅからエア供給孔１５Ｂ，１６Ｂに直接エ
アを供給するなどしてもよく、実施にあたって適宜設定
すればよい。また、粘度測定の外乱となるのはトーショ
ンばね１７の下側つまり従動軸１０側であるから、従動
軸１０のみをエアベアリング装置１３で軸支し、駆動軸
１２はころがりベアリング等の一般的な軸受で支持して
もよい。
て説明したが、本発明は前記実施例に限らず、本発明の
要旨を逸脱しない範囲において種々の改良並びに設計の
変更が可能である。例えば、従動軸１０および駆動軸１
２を軸支するエアベアリング装置１３，１４の具体的構
成は、前記実施例のものに限らず、例えばエア供給配管
１５Ｅ，１６Ｅからエア供給孔１５Ｂ，１６Ｂに直接エ
アを供給するなどしてもよく、実施にあたって適宜設定
すればよい。また、粘度測定の外乱となるのはトーショ
ンばね１７の下側つまり従動軸１０側であるから、従動
軸１０のみをエアベアリング装置１３で軸支し、駆動軸
１２はころがりベアリング等の一般的な軸受で支持して
もよい。
【００２１】また、前記実施例では、試料ポット８に被
測定液７を満たしていたが、外筒６で試料ポットを兼用
してもよい。但し、試料ポット８を用いたほうが被測定
液７の量を多くでき、測定時の温度変化を最小限に抑え
ることができるという利点がある。さらに、本発明の回
転粘度計は、レジストに限らず各種の液体の粘度測定に
広く利用することができる。
測定液７を満たしていたが、外筒６で試料ポットを兼用
してもよい。但し、試料ポット８を用いたほうが被測定
液７の量を多くでき、測定時の温度変化を最小限に抑え
ることができるという利点がある。さらに、本発明の回
転粘度計は、レジストに限らず各種の液体の粘度測定に
広く利用することができる。
【００２２】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
内筒の回転駆動系の従動軸をエアベアリング装置で軸支
し、さらにトーションばねのねじれ角を測定するロータ
リエンコーダのディスクを駆動軸および従動軸に直接取
り付けてその軸受けを無くしたので、トーションばねの
ねじれ角測定に影響する軸受けの抵抗を無くすことがで
きる。このため、トーションばねは被測定液の粘性抵抗
のみでねじれるために外乱の少ない高精度の粘度測定を
行うことができる。
内筒の回転駆動系の従動軸をエアベアリング装置で軸支
し、さらにトーションばねのねじれ角を測定するロータ
リエンコーダのディスクを駆動軸および従動軸に直接取
り付けてその軸受けを無くしたので、トーションばねの
ねじれ角測定に影響する軸受けの抵抗を無くすことがで
きる。このため、トーションばねは被測定液の粘性抵抗
のみでねじれるために外乱の少ない高精度の粘度測定を
行うことができる。
【図１】本発明の一実施例の回転粘度計を示す縦断面図
である。
である。
【図２】図１のII−II線に沿った断面図である。
１ 回転粘度計 ４ 駆動装置であるモータ ５ ケース ６ 外筒 ７ 被測定液 ８ 試料ポット ９ 内筒 １０ 従動軸 １２ 駆動軸 １３，１４ エアベアリング装置 １７ トーションばね １８，１９ ロータリエンコーダディスク ２０，２１ 検出器 ２２，２３ ロータリエンコーダ ２４ 過負荷防止棒 ２５ ストッパ
Claims (1)
- 【請求項１】 外筒と、この外筒内に共軸的に設けられ
た内筒と、この内筒に共軸的に設けられてケースに軸支
された従動軸と、この従動軸にトーションばねを介して
連結されて前記ケースに軸支された駆動軸と、この駆動
軸を回転させる駆動装置とを備える回転粘度計であっ
て、 前記従動軸はエアベアリングを介して前記ケースに軸支
されているとともに、前記従動軸および駆動軸にはそれ
ぞれロータリエンコーダディスクが固定され、前記ケー
ス側にはロータリエンコーダディスクに対応して検出器
が取り付けられていることを特徴とする回転粘度計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6135494A JPH085541A (ja) | 1994-06-17 | 1994-06-17 | 回転粘度計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6135494A JPH085541A (ja) | 1994-06-17 | 1994-06-17 | 回転粘度計 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH085541A true JPH085541A (ja) | 1996-01-12 |
Family
ID=15153057
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6135494A Withdrawn JPH085541A (ja) | 1994-06-17 | 1994-06-17 | 回転粘度計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH085541A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103575194A (zh) * | 2013-10-09 | 2014-02-12 | 大连德迈仕精密轴有限公司 | 一种轴类表面纹理导程角检测装置 |
| JP2017181498A (ja) * | 2016-03-28 | 2017-10-05 | 国立研究開発法人 海上・港湾・航空技術研究所 | 鉱石の摩耗度評価方法及び鉱石の摩耗度測定装置 |
| JP2018080950A (ja) * | 2016-11-14 | 2018-05-24 | 有限会社多摩精機 | 粘度計及び粘度計測方法 |
-
1994
- 1994-06-17 JP JP6135494A patent/JPH085541A/ja not_active Withdrawn
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103575194A (zh) * | 2013-10-09 | 2014-02-12 | 大连德迈仕精密轴有限公司 | 一种轴类表面纹理导程角检测装置 |
| JP2017181498A (ja) * | 2016-03-28 | 2017-10-05 | 国立研究開発法人 海上・港湾・航空技術研究所 | 鉱石の摩耗度評価方法及び鉱石の摩耗度測定装置 |
| JP2018080950A (ja) * | 2016-11-14 | 2018-05-24 | 有限会社多摩精機 | 粘度計及び粘度計測方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20010904 |