JPH0854184A - 密閉型洗浄器の乾燥方法と装置 - Google Patents
密閉型洗浄器の乾燥方法と装置Info
- Publication number
- JPH0854184A JPH0854184A JP20930794A JP20930794A JPH0854184A JP H0854184 A JPH0854184 A JP H0854184A JP 20930794 A JP20930794 A JP 20930794A JP 20930794 A JP20930794 A JP 20930794A JP H0854184 A JPH0854184 A JP H0854184A
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- JP
- Japan
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- gas
- drying
- temperature
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- dried
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- Pending
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- Vaporization, Distillation, Condensation, Sublimation, And Cold Traps (AREA)
- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
- Drying Of Solid Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】 (修正有)
【目的】揮発性可燃物が付着した被乾燥物を安全に、低
消費エネルギー、低設備費にて乾燥を行うための方法と
設備を提供する。 【構成】被乾燥物2は溶剤を用いて洗浄され密閉洗浄器
1内に置かれる。ガスは循環6により洗浄器1、ライン
22、熱交換器3、コンデンサ4、気液分離器5、ライ
ン23、熱交換器3、ファン6、ライン24、ガス加熱
器7、洗浄器からなる乾燥循環系を循環して被乾燥物を
乾燥させる熱交換器、コンデンサーにて凝縮された溶剤
は気液分離器5、ライン25、液−液分離器13、ライ
ン26から分離回収され、洗浄工程に循環使用される。
乾燥中系内ガス増加時は、バルブ15、排気ファン8、
ガスホルダ11、バルブ20を空放され、同循環系は排
気ファン8にて−30mmH2O以下に維持、ガスの漏
れを防ぎ、系内ガス減少時は、ガスホルダーからファン
を通して逆に戻され、空気が侵入しないようにする。
消費エネルギー、低設備費にて乾燥を行うための方法と
設備を提供する。 【構成】被乾燥物2は溶剤を用いて洗浄され密閉洗浄器
1内に置かれる。ガスは循環6により洗浄器1、ライン
22、熱交換器3、コンデンサ4、気液分離器5、ライ
ン23、熱交換器3、ファン6、ライン24、ガス加熱
器7、洗浄器からなる乾燥循環系を循環して被乾燥物を
乾燥させる熱交換器、コンデンサーにて凝縮された溶剤
は気液分離器5、ライン25、液−液分離器13、ライ
ン26から分離回収され、洗浄工程に循環使用される。
乾燥中系内ガス増加時は、バルブ15、排気ファン8、
ガスホルダ11、バルブ20を空放され、同循環系は排
気ファン8にて−30mmH2O以下に維持、ガスの漏
れを防ぎ、系内ガス減少時は、ガスホルダーからファン
を通して逆に戻され、空気が侵入しないようにする。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、洗浄装置に関するもの
である。
である。
【0002】
【従来の技術】揮発性可燃溶剤による洗浄を行った後、
同溶剤付着被洗浄物を乾燥するには、真空乾燥を行う
か、温風乾燥を行うのが通常である。この場合、存在す
るガス組成が常に燃焼範囲から外れていることが安全上
必要である。通常、必要風量や熱効率等の関係から燃焼
範囲の上限以上の濃度で乾燥させている。一方、洗浄器
の温度を引火点以下にて操作することは、多量の加熱ガ
スを必要とする。
同溶剤付着被洗浄物を乾燥するには、真空乾燥を行う
か、温風乾燥を行うのが通常である。この場合、存在す
るガス組成が常に燃焼範囲から外れていることが安全上
必要である。通常、必要風量や熱効率等の関係から燃焼
範囲の上限以上の濃度で乾燥させている。一方、洗浄器
の温度を引火点以下にて操作することは、多量の加熱ガ
スを必要とする。
【発明が解決しようとする課題】燃焼範囲上限以上の濃
度で乾燥する場合、同ガスが装置から漏れた場合や、或
いは空気が系内に何らかの原因で漏れ込んだ場合、燃焼
範囲に入ることになる。或いはまた、被洗浄物加熱初期
においては、ただちに燃焼範囲上限以上の温度に到達さ
せることは困難であり、一時的には燃焼範囲に入ること
は避けらず、安全上好ましくない。また沸点以下の温度
で乾燥する場合は乾燥速度が遅い欠点がある。また、多
量の加熱ガスを新しく供給することは、そのガスに同伴
する粉塵の処理や必要熱量から好ましくない。被洗浄物
が持つ顕熱で真空乾燥を行う場合、被洗浄物の温度が下
がり乾燥圧力が極端に低下したり、又、取りだしたとき
に被洗浄物の上に結露を起こしたりして好ましくない。
度で乾燥する場合、同ガスが装置から漏れた場合や、或
いは空気が系内に何らかの原因で漏れ込んだ場合、燃焼
範囲に入ることになる。或いはまた、被洗浄物加熱初期
においては、ただちに燃焼範囲上限以上の温度に到達さ
せることは困難であり、一時的には燃焼範囲に入ること
は避けらず、安全上好ましくない。また沸点以下の温度
で乾燥する場合は乾燥速度が遅い欠点がある。また、多
量の加熱ガスを新しく供給することは、そのガスに同伴
する粉塵の処理や必要熱量から好ましくない。被洗浄物
が持つ顕熱で真空乾燥を行う場合、被洗浄物の温度が下
がり乾燥圧力が極端に低下したり、又、取りだしたとき
に被洗浄物の上に結露を起こしたりして好ましくない。
【0007】
【課題を解決するための手段】密閉された洗浄器内の揮
発性可燃物を付着した被乾燥物を乾燥するに際に、該洗
浄器からガスを引き出し、付着揮発性可燃物の引火点温
度以下であり、且つ、洗浄器加熱温度以下まで冷却し、
凝縮物を分離した後、未凝縮ガスを再加熱し、密閉容器
に循環してなる密閉型洗浄器の乾燥方法と装置、及び、
密閉された洗浄器内の揮発性可燃物を付着した被乾燥物
を真空乾燥するに際し、被洗浄物の2倍以上の熱容量を
持つ不活性な固体が共存するよう予め設置する密閉型洗
浄器の乾燥方法と装置を提供するものである。
発性可燃物を付着した被乾燥物を乾燥するに際に、該洗
浄器からガスを引き出し、付着揮発性可燃物の引火点温
度以下であり、且つ、洗浄器加熱温度以下まで冷却し、
凝縮物を分離した後、未凝縮ガスを再加熱し、密閉容器
に循環してなる密閉型洗浄器の乾燥方法と装置、及び、
密閉された洗浄器内の揮発性可燃物を付着した被乾燥物
を真空乾燥するに際し、被洗浄物の2倍以上の熱容量を
持つ不活性な固体が共存するよう予め設置する密閉型洗
浄器の乾燥方法と装置を提供するものである。
【0008】
【実施例1】図1は、本発明の1実施例フロー図あり、
図に従って以下に説明する。これはあくまでも、実施対
様例であり、他の方法でもかまわない。用いた溶剤は炭
化水素系で引火点86゜C、沸点214゜C、発火温度
230゜Cの溶剤を用いた。密閉された洗浄器1内の被
乾燥物2は同溶剤を用いて60゜Cにて洗浄され乾燥操
作前の状態である。ガスは循環ファン6によって洗浄器
1、ライン22、熱交換器3、コンデンサー4、気液分
離器5、ライン23、熱交換器3、ファン6、ライン2
4、ガス加熱器7、洗浄器1と循環(以後乾燥循環系と
言う)する。初期の洗浄器の温度は約60゜Cである。
この時のガス加熱器出口温度は引火点以下の83゜C
に、コンデンサー出口温度は20゜Cに調節された。コ
ンデンサー入り口ガス温度は熱交換器によって30゜C
まで熱交換冷却され、ガス加熱器入り口ガスは、熱交換
器によって平均的に70゜Cまで加熱された。この結
果、コンデンサーの冷却熱量、ガス加熱器加熱量は約1
0〜12゜C相当分でよく、エネルギー、設備容量の大
幅な節約となった。即ち、大量の乾燥用ガスを流しても
エネルギー損失も少なく、設備投資も抑えられ、且つ、
被乾燥物への風速を早くすることができ、乾燥所用時間
も短縮できた。熱交換器、コンデンサーにて凝縮した溶
剤は気液分離器5、ライン25、液ー液分離器13、ラ
イン26から分離回収され、洗浄工程に循環使用され
る。乾燥操作の間、系内ガスが増加した場合はバルブ1
5、排気ファン8、ガスホルダー11、バルブ20を経
て空放される。乾燥循環系は排気ファン8にてー30m
mH2O以下に維持され、乾燥循環系のガスが外部に漏
れ出すことを防止すると共に、系内ガスが減少した場
合、ガスホルダーからファンを通して逆に戻され、直接
外部の空気が侵入しないようにする。勿論、熱交換器を
外した状態でも初期の目的である安全を維持しながら乾
燥を行うことに、なんら支障ない。即ち、コンデンサー
にて燃焼範囲以下の濃度まで溶剤が除去されており、ガ
ス加熱器にて発火温度まで加熱しない限り安全である。
また、液溶剤の存在する洗浄器の内部においても、ガス
加熱器出口ガス温度以上になることはなく、常に燃焼範
囲下限濃度以下が維持されている。又、設備上の問題で
系内に空気が漏れ込むような事があっても燃焼範囲から
離れる方向となり、また、内部ガスが外部に漏れるよう
な事があっても同様で燃焼は起こらない。乾燥終了後、
バルブ17より空気を導入し、乾燥循環系内の凝縮液は
ライン25を経て回収され、また、ガスはバルブ15、
ファン8、ガスホルダー11、バルブ19、回収器9、
ライン31、を経て排出され実質的に空気に入れ替え
る。このことによって洗浄器から被乾燥物を取り出すに
際して溶剤臭を無くす。洗浄器内ガスの排除にはバルブ
16、真空ポンプ10、バルブ19、回収器を経ての排
出方法でも良い。また、ガスの放出場所はガスホルダー
前のバルブ14、アルイハバルブ20、でも差し支えな
い。被乾燥物の温度が、取り扱うためには、高すぎる場
合は、ガス加熱器の加熱を止め、コンデンサーにて乾燥
循環系の温度を下げ、被乾燥物の温度低下後に取り出
す。この時、周辺空気の露点以下になると被乾燥物を取
り出した時に結露をおこすので露点以下にならないよう
にする必要がある。乾燥温度が引火点温度以下にては不
十分で溶剤が表面に、あるいは小さな隙間に残存する場
合、量的には僅かで、蒸発するガス量が少なく、残存溶
剤量が蒸発後も、ガス組成が燃焼範囲に入らない量であ
れば、乾燥終了後、ガス加熱器の温度を引火点以上に上
げて乾燥を更に進めることは有効である。この場合、ガ
ス加熱器の温度調節温度を発火温度以下で必要温度まで
上げる。更に、被乾燥物の温度を溶剤沸点以上に上げる
ことは有効である。勿論、同時に圧力を下げ、溶剤沸点
温度を下げることは好ましい。安全を更に高めるために
は、乾燥操作に先立ち、乾燥循環系内を不活性ガスに置
換することは有効である。不活性ガスにて置換する場
合、乾燥に先立ち、必要バルブの操作にて乾燥循環系を
他から絶縁し、バルブ16、真空ポンプ10、バルブ1
4を経て乾燥系内空気を排出減圧後、不活性物質貯め1
2、ライン28、バルブ18から不活性ガスを乾燥循環
系に供給、充満させ、しかる後、乾燥操作に入る。不活
性ガスとしては一般的なガスでよく、窒素ガス、炭酸ガ
ス、或いは難燃ガス等が挙げられる。不活性ガスは乾燥
終了後、真空ポンプ10、ライン27を経て不活性物質
貯め12に貯め、次回の不活性ガス導入時に酸素濃度の
管理下に新たな不活性ガスと共に再使用する事は好まし
い。 不活性ガスは、例えば窒素製造装置30にて連続
的に製造し、不活性物質貯めに貯蔵することは便利であ
る。液化難燃ガスを用いる事は燃焼抑制効果が高く、必
要濃度も低いため、多少の異常状況にも安全が維持でき
る。補給液の取扱量が少ないことからも便利であり、回
収が比較的容易なことから系内で循環使用でき、補給の
手間が少なくてよい便利さがある。難燃ガスとしてはハ
ロゲン原子を含む有機化合物が適している。系内空気を
真空ポンプにて排出減圧後、バルブ14を閉め、沸点5
6゜Cのパーフロロカーボン液を不活性ガス貯め12に
てガス化し、ライン28、バルブ18を通して洗浄器に
接続し、洗浄器内がほゞ大気圧になるまでパーフロロカ
ーボンのガスを供給した後、乾燥循環系を循環し乾燥操
作を行う。熱交換器、コンデンサーにて溶剤と共に凝縮
した液化難燃ガスは気液分離器5にて分離後、液ー液分
離器13にて液溶剤と分離され、不活性物貯めに回収さ
れる。同ガスの供給はガス状態でもよいが所定量の液体
の状態で供給しても差し支えない。乾燥終了後、洗浄器
内のガスを空気置換するに際し、系内ガスは真空ポンプ
10、バルブ19、を経て回収器にて液として回収さ
れ、液ー液分離器にて液溶剤と分離され、不活性物質貯
めに回収される。
図に従って以下に説明する。これはあくまでも、実施対
様例であり、他の方法でもかまわない。用いた溶剤は炭
化水素系で引火点86゜C、沸点214゜C、発火温度
230゜Cの溶剤を用いた。密閉された洗浄器1内の被
乾燥物2は同溶剤を用いて60゜Cにて洗浄され乾燥操
作前の状態である。ガスは循環ファン6によって洗浄器
1、ライン22、熱交換器3、コンデンサー4、気液分
離器5、ライン23、熱交換器3、ファン6、ライン2
4、ガス加熱器7、洗浄器1と循環(以後乾燥循環系と
言う)する。初期の洗浄器の温度は約60゜Cである。
この時のガス加熱器出口温度は引火点以下の83゜C
に、コンデンサー出口温度は20゜Cに調節された。コ
ンデンサー入り口ガス温度は熱交換器によって30゜C
まで熱交換冷却され、ガス加熱器入り口ガスは、熱交換
器によって平均的に70゜Cまで加熱された。この結
果、コンデンサーの冷却熱量、ガス加熱器加熱量は約1
0〜12゜C相当分でよく、エネルギー、設備容量の大
幅な節約となった。即ち、大量の乾燥用ガスを流しても
エネルギー損失も少なく、設備投資も抑えられ、且つ、
被乾燥物への風速を早くすることができ、乾燥所用時間
も短縮できた。熱交換器、コンデンサーにて凝縮した溶
剤は気液分離器5、ライン25、液ー液分離器13、ラ
イン26から分離回収され、洗浄工程に循環使用され
る。乾燥操作の間、系内ガスが増加した場合はバルブ1
5、排気ファン8、ガスホルダー11、バルブ20を経
て空放される。乾燥循環系は排気ファン8にてー30m
mH2O以下に維持され、乾燥循環系のガスが外部に漏
れ出すことを防止すると共に、系内ガスが減少した場
合、ガスホルダーからファンを通して逆に戻され、直接
外部の空気が侵入しないようにする。勿論、熱交換器を
外した状態でも初期の目的である安全を維持しながら乾
燥を行うことに、なんら支障ない。即ち、コンデンサー
にて燃焼範囲以下の濃度まで溶剤が除去されており、ガ
ス加熱器にて発火温度まで加熱しない限り安全である。
また、液溶剤の存在する洗浄器の内部においても、ガス
加熱器出口ガス温度以上になることはなく、常に燃焼範
囲下限濃度以下が維持されている。又、設備上の問題で
系内に空気が漏れ込むような事があっても燃焼範囲から
離れる方向となり、また、内部ガスが外部に漏れるよう
な事があっても同様で燃焼は起こらない。乾燥終了後、
バルブ17より空気を導入し、乾燥循環系内の凝縮液は
ライン25を経て回収され、また、ガスはバルブ15、
ファン8、ガスホルダー11、バルブ19、回収器9、
ライン31、を経て排出され実質的に空気に入れ替え
る。このことによって洗浄器から被乾燥物を取り出すに
際して溶剤臭を無くす。洗浄器内ガスの排除にはバルブ
16、真空ポンプ10、バルブ19、回収器を経ての排
出方法でも良い。また、ガスの放出場所はガスホルダー
前のバルブ14、アルイハバルブ20、でも差し支えな
い。被乾燥物の温度が、取り扱うためには、高すぎる場
合は、ガス加熱器の加熱を止め、コンデンサーにて乾燥
循環系の温度を下げ、被乾燥物の温度低下後に取り出
す。この時、周辺空気の露点以下になると被乾燥物を取
り出した時に結露をおこすので露点以下にならないよう
にする必要がある。乾燥温度が引火点温度以下にては不
十分で溶剤が表面に、あるいは小さな隙間に残存する場
合、量的には僅かで、蒸発するガス量が少なく、残存溶
剤量が蒸発後も、ガス組成が燃焼範囲に入らない量であ
れば、乾燥終了後、ガス加熱器の温度を引火点以上に上
げて乾燥を更に進めることは有効である。この場合、ガ
ス加熱器の温度調節温度を発火温度以下で必要温度まで
上げる。更に、被乾燥物の温度を溶剤沸点以上に上げる
ことは有効である。勿論、同時に圧力を下げ、溶剤沸点
温度を下げることは好ましい。安全を更に高めるために
は、乾燥操作に先立ち、乾燥循環系内を不活性ガスに置
換することは有効である。不活性ガスにて置換する場
合、乾燥に先立ち、必要バルブの操作にて乾燥循環系を
他から絶縁し、バルブ16、真空ポンプ10、バルブ1
4を経て乾燥系内空気を排出減圧後、不活性物質貯め1
2、ライン28、バルブ18から不活性ガスを乾燥循環
系に供給、充満させ、しかる後、乾燥操作に入る。不活
性ガスとしては一般的なガスでよく、窒素ガス、炭酸ガ
ス、或いは難燃ガス等が挙げられる。不活性ガスは乾燥
終了後、真空ポンプ10、ライン27を経て不活性物質
貯め12に貯め、次回の不活性ガス導入時に酸素濃度の
管理下に新たな不活性ガスと共に再使用する事は好まし
い。 不活性ガスは、例えば窒素製造装置30にて連続
的に製造し、不活性物質貯めに貯蔵することは便利であ
る。液化難燃ガスを用いる事は燃焼抑制効果が高く、必
要濃度も低いため、多少の異常状況にも安全が維持でき
る。補給液の取扱量が少ないことからも便利であり、回
収が比較的容易なことから系内で循環使用でき、補給の
手間が少なくてよい便利さがある。難燃ガスとしてはハ
ロゲン原子を含む有機化合物が適している。系内空気を
真空ポンプにて排出減圧後、バルブ14を閉め、沸点5
6゜Cのパーフロロカーボン液を不活性ガス貯め12に
てガス化し、ライン28、バルブ18を通して洗浄器に
接続し、洗浄器内がほゞ大気圧になるまでパーフロロカ
ーボンのガスを供給した後、乾燥循環系を循環し乾燥操
作を行う。熱交換器、コンデンサーにて溶剤と共に凝縮
した液化難燃ガスは気液分離器5にて分離後、液ー液分
離器13にて液溶剤と分離され、不活性物貯めに回収さ
れる。同ガスの供給はガス状態でもよいが所定量の液体
の状態で供給しても差し支えない。乾燥終了後、洗浄器
内のガスを空気置換するに際し、系内ガスは真空ポンプ
10、バルブ19、を経て回収器にて液として回収さ
れ、液ー液分離器にて液溶剤と分離され、不活性物質貯
めに回収される。
【実施例2】実施例1と同様、洗浄器に洗浄が完了し、
乾燥前の段階の被乾燥物が密閉された状態である。被乾
燥物の重量は20Kgであった。真空ポンプにて5mm
Hgの圧力にて真空乾燥を行った。その間約50リッタ
ーの空気にてパージした。初期温度は約60゜Cであっ
たが、50゜Cまで低下後、乾燥ができなくなった。洗
浄前に被乾燥物の周辺を40Kgのステンレス円筒で囲
った。上記と同様操作にて真空乾燥を行った。その結果
温度は56゜Cで止まり、乾燥は完了した。
乾燥前の段階の被乾燥物が密閉された状態である。被乾
燥物の重量は20Kgであった。真空ポンプにて5mm
Hgの圧力にて真空乾燥を行った。その間約50リッタ
ーの空気にてパージした。初期温度は約60゜Cであっ
たが、50゜Cまで低下後、乾燥ができなくなった。洗
浄前に被乾燥物の周辺を40Kgのステンレス円筒で囲
った。上記と同様操作にて真空乾燥を行った。その結果
温度は56゜Cで止まり、乾燥は完了した。
【発明の効果】揮発性可燃物の乾燥に際し、燃焼範囲を
完全に避け、なお且つ、低いエネルギー消費及び低設備
費を達成した。
完全に避け、なお且つ、低いエネルギー消費及び低設備
費を達成した。
【図1】フロー図を示す。
1 洗浄器 2 被乾燥物 3 熱交換器 4 コンデンサー 5 気液分離器 6 循環ファン 7 ガス加熱器 8 排気ファン 9 回収器 10 真空ポンプ 11 ガスホルダー 12 不活性物質貯め 13 液ー液分離器 14 空放用バルブー 15 真空ポンプバイバスバルブ 16 真空ポンプ行きバルブ 17 空気導入用バルブ 18 不活性ガスまたは難燃ガス導入用バルブ 19 回収系入り口バルブ 20 余剰ガス排気バルブ 21 回収器 → 液ー液分離器ライン 22 洗浄器 → 熱交換器ライン 23 コンデンサー → 熱交換器ライン 24 循環ファン → ガス加熱器ライン 25 コンデンサー → 気液分離器ライン 26 回収溶剤出口ライン 27 不活性物質貯め入り口ライン 28 不活性物質貯め → 洗浄器ライン 29 不活性ガスまたは難燃ガス補充用容器 30 不活性物質補充用バルブ 31 回収器排気ライン
Claims (10)
- 【請求項1】 密閉された洗浄器内の揮発性可燃物を付
着した被乾燥物を乾燥するにあたり、該洗浄器からガス
を引き出し、付着揮発性可燃物の引火点温度以下であ
り、且つ、洗浄器加熱温度以下まで冷却し、凝縮物を分
離した後、未凝縮ガスを再加熱し、密閉容器に循環して
なる密閉型洗浄器の乾燥方法と装置。 - 【請求項2】 洗浄器加熱温度が引火点温度以下である
請求項第1項の密閉型洗浄器の乾燥方法と装置。 - 【請求項3】 密閉された洗浄器から引きだしたガス
と、その後の冷却器出口ガスとを熱交換することを特徴
とする請求項第1項の密閉型洗浄器の乾燥方法と装置。 - 【請求項4】 密閉された洗浄器及び循環系内空気を真
空ポンプにて排出後か、そのままにて不活性ガス、及
び、または液化難燃剤を導入し、置換することを特徴と
する請求項第1項の密閉型洗浄器の乾燥方法と装置。 - 【請求項5】 ガス循環系、好ましくは冷却器出口から
ガスを分岐し、ガスホールダー及び、またはガス回収装
置と連結することを特徴とする請求項第1項の密閉型洗
浄器の乾燥方法と装置。 - 【請求項6】 乾燥操作の間、系全体の圧力がー5mm
H2O以下、好ましくはー30mmH2O以下、とするこ
とを特徴とする請求項第1項の密閉型洗浄器の乾燥方法
と装置。 - 【請求項7】 乾燥後、洗浄器に空気を導入し、系内ガ
スをガス回収装置に押し出し、回収することを特徴とす
る請求項第1項の密閉型洗浄器の乾燥方法と装置。 - 【請求項8】 ほぼ乾燥終了後、系内溶剤を実質的に排
出後、被乾燥物を沸点温度以上の温度、圧力として乾燥
させることを特徴とする請求項第1項の密閉型洗浄器の
乾燥方法と装置。 - 【請求項9】 乾燥後、ガス加熱器による加熱を止め、
被乾燥物の温度が周辺空気の露点以上であり、50゜C
以下となるまで冷却器にて冷却することを特徴とする請
求項第1項の密閉型洗浄器の乾燥方法と装置。 - 【請求項10】 密閉された洗浄器内の揮発性可燃物を
付着した被乾燥物を真空乾燥するに際し、被洗浄物の2
倍以上の熱容量を持つ不活性な固体が共存するよう予め
設置する密閉型洗浄器の乾燥方法と装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP20930794A JPH0854184A (ja) | 1994-08-10 | 1994-08-10 | 密閉型洗浄器の乾燥方法と装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP20930794A JPH0854184A (ja) | 1994-08-10 | 1994-08-10 | 密閉型洗浄器の乾燥方法と装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0854184A true JPH0854184A (ja) | 1996-02-27 |
Family
ID=16570795
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP20930794A Pending JPH0854184A (ja) | 1994-08-10 | 1994-08-10 | 密閉型洗浄器の乾燥方法と装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0854184A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006313037A (ja) * | 2005-05-09 | 2006-11-16 | Yaizu Suisankagaku Industry Co Ltd | 水分の除去方法及び水分除去装置 |
CN102940974A (zh) * | 2012-11-07 | 2013-02-27 | 江苏大学 | 一种利用混和制冷剂循环的油气冷凝回收方法 |
CN103267411A (zh) * | 2013-05-22 | 2013-08-28 | 浙江光炎节能环保科技股份有限公司 | 一种循环增浓废气处理*** |
CN108692526A (zh) * | 2018-05-22 | 2018-10-23 | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 | 真空干燥及溶剂回收装置 |
-
1994
- 1994-08-10 JP JP20930794A patent/JPH0854184A/ja active Pending
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006313037A (ja) * | 2005-05-09 | 2006-11-16 | Yaizu Suisankagaku Industry Co Ltd | 水分の除去方法及び水分除去装置 |
JP4694884B2 (ja) * | 2005-05-09 | 2011-06-08 | 焼津水産化学工業株式会社 | 水分の除去方法及び水分除去装置 |
CN102940974A (zh) * | 2012-11-07 | 2013-02-27 | 江苏大学 | 一种利用混和制冷剂循环的油气冷凝回收方法 |
CN102940974B (zh) * | 2012-11-07 | 2014-12-03 | 江苏大学 | 一种利用混和制冷剂循环的油气冷凝回收方法 |
CN103267411A (zh) * | 2013-05-22 | 2013-08-28 | 浙江光炎节能环保科技股份有限公司 | 一种循环增浓废气处理*** |
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WO2019223197A1 (zh) * | 2018-05-22 | 2019-11-28 | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 | 真空干燥及溶剂回收装置 |
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