JPH085132B2 - フィルム張付装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、空泡防止液の付着され
た基板のフィルム張付面に圧着ローラによりフィルムを
張付けるためのフィルム張付装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】コンピュータ等の電子機器に使用される
プリント配線板は、銅等からなる所定パターンの配線が
絶縁基板の片面又は両面に形成されたものである。

【０００３】この種のプリント配線板の製造工程におい
ては、先ず、絶縁性基板上に設けられた導電層（銅薄
膜）上に、感光性樹脂（フォトレジスト）層とそれを保
護する透光性樹脂フィルム（保護膜）とからなる積層体
フィルムを熱圧着（熱圧着ラミネートとも称される）す
る。この熱圧着は、フィルム張付装置（薄膜張付装置と
も称される）、いわゆるラミネータによる量産工程にお
いて行われる。

【０００４】前記のフィルム張付装置に関して、従来か
ら種々の技術が提案されている（例えば、出願人が既に
特開昭６３−２０８０３７号公報、特開平３−７３４４
号公報で提案したものがある）。

【０００５】図７は、前記のような従来のフィルム張付
装置の構成例を示すものである。なお、図７には、絶縁
性基板（以下単に基板という）の搬送経路を中心に上・
下の構成機器が略同様なため、当該経路から上部側の構
成のみを示している。

【０００６】フィルム張付装置においては、透光性樹脂
フィルム、感光性樹脂層及び透光性樹脂フィルムの３層
構造からなる積層体フィルム（以下、３層積層体フィル
ムという）が、供給ローラ２に連続的に巻き回されてい
る。該３層積層体フィルム１は、前記供給ローラ２から
巻き出され、その後、薄膜分離ローラ３で、透光性樹脂
フィルム１Ａと、１面（接着面となる）が露出された感
光性樹脂層及び透光性樹脂フィルムからなる積層体フィ
ルム１Ｂとに分離される。分離された積層体フィルム１
Ｂは、テンションローラ９を経由してメインバキューム
プレート（フィルム供給部材）５の表面上に供給され
る。その後、積層体フィルム１Ｂの供給経路にはサブバ
キュームプレート１３とカッタ１４とが設けられ、その
先にバキュームバー１５及び圧着ロール１６が設けられ
ている。

【０００７】前記圧着ロール１６は、一般に、金属ロー
ルの表面をゴムシートで被覆した構造とされている。

【０００８】前記メインバキュームプレート５は、前記
積層体フィルム１Ｂを吸着して保持しながら、前記供給
ローラ２から基板６の導電層上に仮付けするためのもの
である。前記メインバキュームプレート５は、図７に示
されるように、前記基板６に近接し且つ離反する（矢印
Ｂ方向に移動する）支持部材７に進退動可能に設けられ
ている。

【０００９】前記この支持部材７は、ガイド部材８に摺
動して矢印Ｂ方向に移動可能なように装置本体（フィル
ム張付装置のフレーム部材）９に設けられる。又、支持
部材７は、前記基板６の搬送経路を中心に、上下、一対
に設けられており、上部の支持部材７と下部の支持部材
７とは、ラックアンドピニオン機構により連動的に動作
する。つまり、上下、一対の支持部材７には、各々にラ
ック７Ａが設けられており、この各々のラック７Ａと噛
合うピニオン７Ｂ（このピニオン７Ｂは前記装置本体９
に固定されている）が設けられて、図示しない駆動源の
駆動力が与えらることにより、連動的に動作する。

【００１０】又、前記メインバキュームプレート５は、
前記支持部材７の移動とは独立的に基板６に近接し且つ
離反する（矢印Ｃ方向に移動する）動作をするように、
支持部材７に設けられている。即ち、メインバキューム
プレート５は、支持部材７に設けられたシリンダ等から
なるラックアンドピニオン機構により前記のような動作
をする。このラックアンドピニオン機構は、支持部材７
に固着された第１のラック１２Ａと、第２の駆動源１１
により前記ラック１２Ａに沿い前後動し、且つ当該ラッ
ク１２Ａと噛合うピニオン１２Ｂと、前記ラック１２Ａ
と平行に移動し、且つ、前記ピニオン１２Ｂと噛合う第
２のラック１２Ｃとからなる。

【００１１】なお、前記メインバキュームプレート５の
先端には仮付部５Ａが設けられている。この仮付け部５
Ａはその内部に発熱体５Ｂが設けられている。メインバ
キュームプレート５で積層体フィルム１Ｂを基板に仮付
けするときには、前記仮付け部５Ａが積層体フィルム１
Ｂを巻き付けた状態で基板６に近接（あるいは当接）す
る。この際、前記仮付部５Ａは、前記発熱体５Ｂの発熱
により加熱されており、これにより積層体フィルム１Ｂ
の先端部を熱圧着により仮付けする。

【００１２】前記サブバキュームプレートは、前記積層
体１Ｂの供給方向の先端部を吸着し、前記仮付け部５Ａ
に当該先端部を吸着（保持）させるように動作する。こ
のサブバキュームプレート１３の動作は、支持部材７に
取付けられた、例えばエアシリンダからなる駆動源１３
Ａで、積層体１Ｂの供給経路に対して近接及び離反（矢
印Ｄ方向に移動）することにより行われる。又、この動
作は、メインバキュームプレート５が積層体フィルム１
３を基板６に仮付けする際も行われる。

【００１３】前記カッタ１４は、積層体フィルム１Ｂを
基板６の寸法に応じた長さ分に切断するものである。前
記カッタ１４は、前記サブバキュームプレート１３に前
記供給経路を挟んで、対向して設けられる。

【００１４】前記圧着ローラ１６は、基板搬送経路の上
・下に設けられており、上・下の圧着ロール１６は、積
層体フィルム１Ｂが仮付された基板６を所定圧力で挟
み、且つ、熱を加えることにより、該積層体フィルム１
Ｂを基板６に熱圧着する。

【００１５】前記のようなフィルム張付装置により、積
層体フィルム１Ｂを圧着するに際しては、圧着後に該フ
ィルム１Ｂと基板６間に気泡（空泡）が生じては、圧着
製品の不良の原因になる。

【００１６】従って、フィルムと基板の密着性を良好に
する必要がある。特に、配線パターンが複雑で密着性が
悪くなる恐れがある場合に必要となる。

【００１７】そこで、この気泡を防止するため、フィル
ム張付装置には、圧着前の基板６に水等の空泡防止液を
塗布するウェットローラ１８が設けられている。

【００１８】前記従来のウェットローラ１８は、圧着ロ
ーラ１６の入側方向に、搬送される基板の上・下面に接
するように固定して設けられている。該ウェットローラ
１８の従来の構成例には、出願人が既に特開平３−７３
４４号公報で開示したものがある。

【００１９】即ち、公報に開示したウェットローラは主
に給水パイプと、被覆層とを有している。該給水パイプ
は、例えばステンレス等の錆び難い金属あるいは硬質プ
ラスチックからなる円筒体に複数個の水供給孔が設けら
れて構成される。又、被覆層は、当該軸部材表面上にス
ポンジ等の水を含み易い多孔性物質からなる被覆層が設
けられて構成される。

【００２０】前記ウェットローラ１８で基板６に空泡防
止液を付着させる際には、まず、前記給水パイプの軸方
向端部から前記防止液、例えば水を供給し、前記供給孔
を介して前記被覆層を湿らせる。この被覆層が前記基板
６に転接して当該基板６に空泡防止液が付着する。

【００２１】前記ウェットローラの被覆層は、前記のよ
うにスポンジ等の多孔性物質からなる被覆層を有するた
め、ある一定期間使用されたならば、塑性変形や消耗等
により劣化が生じて、空泡防止液の塗布性能が劣化する
恐れが生じる。従って、当該ウェットローラはある一定
期間使用されたならば交換する必要がある。

【００２２】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記従
来のウェットローラは固定式であるため、交換に際して
の作業が困難で、且つ、時間がかかり作業負荷となると
いう問題点があった。特に、フィルム張付装置において
連続運転を高速に行おうとする場合に大きな障害となっ
ていた。

【００２３】又、基板の用途によっては、ウェットロー
ラを用いずにドライ状態で基板にフィルムを密着させる
要請がある。従来のウェットローラを有するフィルム張
付装置でそのような要請に答えるべくウェットロールを
取外そうとする場合、前記の問題点から作業負荷となっ
ていた。

【００２４】本発明は、ウェットローラの交換が容易に
行えるようにして作業性の向上が図れると共に、空泡防
止液を付着させない運転にも容易に対応し得るフィルム
張付装置を提供することを課題とする。

【００２５】

【課題を解決するための手段】本発明は、基板のフィル
ム張付面に圧着ローラによりフィルムを張付けるフィル
ム張付装置において、水等の空泡防止液をフィルム張付
け前の基板の上・下両面に塗布させるように基板搬送経
路を挾んで上・下に設けられたウェットローラと、前記
のウェットローラの軸方向両端を支持するウェットロー
ラ軸受部材と、前記上下のウェットローラの少なくとも
軸方向一端の前記ウェットローラ軸受部材に設けられ、
対応するウェットローラ内に空泡防止液を供給するため
の給液プラグと、前記下側のウェットローラ及びこれを
支持する下側のウェットローラ軸受部材の下方を被うと
共に、該下側のウェットローラ軸受部材を支持するユニ
ットベースと、このユニットベースに連結して設けら
れ、このユニットベース及び前記ウェットローラ軸受部
材を介してウェットローラを基板搬送経路に着脱可能に
取付けるための取付部材とが一体的なユニット構造とさ
れ、且つ、前記上側のウェットローラ軸受部材は、前記
下側のウェットローラ軸受部材方向に、ばねにより付勢
して設けられていて、空泡防止液を基板に塗布させるこ
とが所望される場合に、前記ユニット構造を前記基板搬
送経路の圧着ロール入側に取付部材により取付けること
により、前記課題を解決するものである。

【００２６】又、本発明において、更に、基板搬送経路
に、基板を搬送方向に駆動するための駆動ローラを設け
て、該駆動力ローラの駆動力を前記ウェットローラに伝
達するための伝達部材を設けることができる。

【００２７】又、本発明において、駆動ローラは、基板
搬送経路の幅方向両端外側に立設された搬入部ベース部
材に回転自在に支持し、前記伝達部材は、前記駆動ロー
ラの前記搬入部ベース部材外側に突出した軸端に設けら
れたタイミングベルト用ホイールと、前記上下のウェッ
トローラの一方に設けられたタイミングベルト用ホイー
ルと、前記２つのタイミングベルト用ホイールに巻き掛
けられるタイミングベルトと、から構成し、前記タイミ
ングベルトは、前記ユニット構造に含まれ、該ユニット
構造の前記基板搬送経路への着脱時に、前記駆動ローラ
側のタイミングベルト用ホイールに着脱自在とすること
ができる。

【００２８】又、本発明においては、取付部材を、基板
搬送経路に設けられた係止部材に係止させる切欠き構造
とすることができる。

【００２９】

【作用】本発明においては、ウェットローラ、ウェット
ローラ軸受部材、給液プラグ、ユニットベース、及び、
取付部材を一体的なユニット構造としている。

【００３０】従って、予め、前記ユニット構造にウェッ
トローラを備えておき、ウェットローラの交換が必要と
なった場合、前記ユニット構造の交換によりウェットロ
ーラを交換する。ウェットローラ軸受部材、給液プラグ
の交換、メンテナンス時にも同様にユニット構造を交換
する。

【００３１】よって、従来のようにウェットローラの交
換に際して、ウェットローラのみをその搬送経路から取
外して交換する必要がなく、ウェットローラの交換作業
が容易となり、作業性が向上する。又、空泡防止液を塗
布させない運転が所望される場合、当該運転に容易に対
応し得る。更に、ウェットローラ及びウェットローラ軸
受部材の下方はユニットベースにより被われているので
運転時、交換時の液漏れを防止できる。

【００３２】又、本発明においては、更に、基板搬送経
路に基板を搬送方向に駆動するための駆動ローラが設け
られている場合に、該駆動ローラの駆動力を伝達部材に
より前記ウェットローラに伝達する。このようにすれ
ば、ウェットローラを駆動させるのに別体に駆動源を必
要とせず、フィルム張付装置の全体構成が簡略化する。
又、ウェットローラを単に基板に従動させるのに比較し
て、空泡防止液塗布性能が向上する。なお、本発明にお
いては、駆動ローラの駆動力でウェットローラを駆動す
ることに限定されず、ウェットローラの駆動力源を駆動
ローラと別体に設けることができるのは勿論である。

【００３３】更に、本発明において、前記ユニット構造
側に予め取り付けられているタイミングベルトを、ユニ
ット構造の着脱時に、駆動ローラ側のタイミングベルト
用ホイールに着脱することにより、動力伝達系も容易、
確実に搬送経路に着脱することができる。又、本発明に
おいては、取付部材を、基板搬送経路に設けられた係止
部材に係止させる切欠き構造とすれば、容易、且つ、簡
単な操作でユニット構造を基板搬送経路に取付け、且
つ、取外すことができる。

【００３４】

【実施例】以下、図面を参照して本発明の実施例を詳細
に説明する。

【００３５】この実施例は、基板（絶縁性基板）６のフ
ィルム張付面に基板の長さに応じた積層体フィルム１Ｂ
を張付けるためのフィルム張付装置に本発明を実施した
ものである。

【００３６】図１は、実施例に係るフィルム張付装置の
全体的な構成を示すものである。

【００３７】又、図２は、前記張付装置の基板搬送路か
ら上方向の構成を中心に示したものである。

【００３８】図１及び図２に示されるように、前記フィ
ルム張付装置は、主に、基板６を仮付け及び圧着位置に
前進させて搬入するための搬入部２０と、前記積層体フ
ィルム１Ｂが圧着された基板６を搬出するための搬出部
２２と、透光性樹脂フィルム、感光性樹脂層及び透光性
樹脂フィルムの３層構造からなる３層積層体フィルム１
を蓄積し、一面（接着面）が露出された感光性樹脂層及
び透光性樹脂フィルムからなる積層体フィルム１Ｂを供
給するための積層体フィルム蓄積部２４と、供給された
積層体フィルム１Ｂを吸着し、基板６のフィルム張付面
に積層体フィルム１の先端側を仮止めするための仮止め
部２６と、前記フィルム１Ｂが仮止めされた基板６に当
該フィルム１Ｂを圧着ローラ２８で熱圧着（熱圧着ラミ
ネート）させるための圧着部３０とを有する。

【００３９】即ち、図１及び図２に示されるように、前
記積層体フィルム蓄積部２４においては、前記３層積層
体フィルム１が、供給ローラ２に連続的に巻き回されて
蓄積されている。巻き回された積層体フィルム１は、巻
き出されて、ガイドローラ３２を介してフィルム分離ロ
ーラ（フィルムの分離部材）３に至る。このフィルム分
離ローラ３は、前記積層体フィルムを、透光性樹脂フィ
ルム（保護膜）１Ａと、前記一面（接着面）が露出され
た感光性樹脂層及び透光性樹脂フィルムからなる積層体
フィルム１Ｂとに分離するものである。分離された透光
性樹脂フィルム１Ａは、ガイドローラ３４を介して前記
巻き回されて積層体フィルム１上を移動し、巻取ローラ
４に巻取られるようになっている。なお、巻き回されて
積層体フィルム１の側面側には、フィルムの蓄積されて
いる量を、フィルム巻径から検出する巻径検出センサ、
即ち、フィルム巻径用が所定に大きいことを検出する大
径用フィルム巻径検出センサ３６Ａと、フィルム巻径が
所定に小さいことを検出する小径用フィルム巻径検出セ
ンサ３６Ｂが設けられる。

【００４０】前記搬入部２０には、基板６に駆動力を与
えて搬送するための駆動ローラ３８が、搬入経路に沿っ
て、適宜の間隔で複数設けられている。この駆動ローラ
３８は、図示されないモータ等の駆動手段から駆動力が
与えられて駆動する。又、この駆動ローラ３８の１つお
き（又は、適宜の駆動ローラ３８）のものの搬送経路を
挟んで対向する位置には、回動自在な従動ローラ４０が
設けられている。この従動ローラ４０は、駆動ローラ３
８と共に基板６を挟んで、基板６に確実に駆動力を付与
するものである。

【００４１】又、前記搬送経路に沿い、且つ、駆動ロー
ラ３８間の適宜の箇所には、前記基板６の幅方向位置を
所定位置に合せるための幅寄せ器４２が設けられてい
る。

【００４２】又、前記駆動ローラ３８のうち、圧着部３
０側終端のものの搬送経路を挟んで対向する側には、回
動自在な基板押えローラ４６が設けられている。例えば
この基板押えローラ４６はエアシリンダからなる基板押
え部材４４により上昇及び下降する。この基板押えロー
ラ４６は、基板押え部材４４により下降したときに、当
該駆動ローラ３８と共に基板６を挟持して、積層体フィ
ルム１Ｂが仮付け又は熱圧着される際の基板６の上下方
向の揺動を制止するものである。

【００４３】又、前記終端の駆動ローラ３８の搬送方向
下流側には、熱圧着される積層体フィルム１Ｂと基板６
との間に気泡（空泡）が生じるのを防止するため、水等
の空泡防止液を基板６に塗布するためのウェットローラ
４８が設けられている。

【００４４】このウェットローラ４８は、ユニットベー
ス９０に設けられていて、ユニットベース９０と共に、
基板６の搬送経路に取付け及び取外しが自在となってい
る。このウェットローラ４８及びユニットベース９０の
詳細な構成は図３に示すようになっており、この詳細に
ついては後に説明する。

【００４５】なお、前記基板６の搬送経路の近傍には、
基板６を検出する各センサＳ１〜Ｓ３が設けられる。搬
送経路の上流側に設けられたセンサＳ１は、前記搬入部
２０中に送られてきた基板６の例えば先端位置を検出し
て、その検出信号により、前記幅寄せ器４２を作動させ
るための幅寄せ開始センサＳ１である。又、この幅寄せ
開始センサＳ１の下流側に設けられたセンサＳ２は、基
板６の後端部を検出するための基板後端検出センサＳ２
である。又、前記圧着部３０入側に設けられたセンサＳ
３は、基板６の先端部を検出するための基板先端検出セ
ンサＳ３である。

【００４６】前記搬出部２２には、基板６に駆動力を与
えて搬送するための、図示されない駆動モータで駆動さ
せる出側駆動ローラ５０が複数設けられる。その駆動ロ
ーラ５０の適宜のものには、搬送経路を挟んでに対向す
る位置に、回動自在な従動ローラ５２が設けられてい
る。この従動ローラ５２は、前記駆動ローラ５０と共に
基板６を挟んで、基板６に確実に駆動力を付与するため
のものである。又、この搬出部２２の圧着部３０出側近
傍には、基板６の通過したことを検出するための基板通
過検出センサＳ４が設けられる。

【００４７】前記仮付部２６には、前記積層体フィルム
蓄積部２４から供給された積層体フィルム１Ｂが、テン
ションローラ５４を介して搬送されるようになってい
る。なお、このテンションローラ５４は、前記供給ロー
ラ２とメインバキュームプレート（フィルム供給部材に
相当）５６との間の積層体フィルム１Ｂに適度な張力を
与えるものである。この適度な張力により前記メインバ
キュームプレート５６に供給する積層体フィルム１Ｂに
はしわ等が生じない。

【００４８】又、前記テンションローラ５４出側からメ
インバキュームプレート５６迄の積層体フィルム１Ｂ供
給経路上には、当該積層体フィルム１Ｂの静電気を除去
する静電気除去器５８が設けられている。

【００４９】又、メインバキュームプレート５６と前記
圧着部３０間の積層体フィルム搬送路上には、先端巻き
付けフィルム保持部材６０と、カッタ６２と、サポート
ローラ６４が設けられている。

【００５０】前記メインバキュームプレート５６は、前
記供給ローラ２から送られてきた積層体フィルム１Ｂの
先端側を吸着し、且つ、搬送された基板６の搬送方向先
端部に近接して、当該基板６先端部表面（上・下の両表
面）に積層体フィルム１Ｂの先端側を仮付けするよう作
動するものである。なお、このメインバキュームプレー
ト５６は取付け部材６６に固着されて当該取付部材６６
と一体的に作動し、且つ、上・下のメインバキュームプ
レート５６が同調して動作し、基板６に同時に接近して
仮付けするようになっている。

【００５１】前記先端巻き付けフィルム保持部材６０
は、前記積層体フィルム１Ｂの先端側を負圧により吸引
し、基板搬送方向（図１中に、矢印Ａの方向）に後退す
ることによりメインバキュームプレート５６の先端側フ
ィルム仮付け部５６Ａに当該積層体フィルム１Ｂを吸着
させるものである。

【００５２】前記カッタ６２は、円筒部材の外周面にや
や螺旋を描くように切断刃が設けられた回転刃６２Ａと
直線状の切断刃からなる固定刃６２Ｂを有するものであ
る。固定刃６２Ｂ上を搬送される積層体フィルム１Ｂ
を、前記回転刃６２Ａの回転によりフィルム１Ｂをその
搬送方向に直角に切断するものである。カッタ６２は回
転刃６２Ａが回転することにより、回転刃６２Ａ及び固
定刃６２Ｂ同士を接近させて積層体フィルム１Ｂを基板
６の寸法に応じた所定の長さに切断するものである。こ
のカッタ６２は積層体フィルム１Ｂを供給する方向に直
角に切断するため、積層体フィルム１Ｂ供給中に回転刃
６２Ａ及び固定刃６２Ｂの長手方向片側を供給方向に移
動させ、カッタ６２の切断点が供給方向に移動する速度
を前記フィルム１Ｂの供給速度と同調するようになって
いる。

【００５３】前記サポートローラ６４は、カッタ６２及
び圧着ローラ２８間のフィルム供給経路上に前記メイン
バキュームプレート５６の吸着面上のフィルム供給経路
と同一平面に接するように設けられたローラからなるも
のである。

【００５４】前記サポートローラ６４は、圧着ローラ２
８に送られる積層体フィルム１Ｂが、前記カッタ６２で
切断された後の、しわ等が寄らないように当該ロール２
８に円滑に送るように導くものである。

【００５５】前記メインバキュームプレート５６が固着
される取付部材６６は、図１に示すように、上と下で同
様の構成を有し、これら取付部材６６を、同調して基板
方向に移動させるため、各取付部材６６にはラックギヤ
６８が設けられると共に、当該ラックギヤ６８の双方に
噛合うピニオンギヤ７０が設けられる。

【００５６】又、前記取付部材６６は、ガイドレール７
２上を摺動して移動し、このガイドレール７２に従った
取付け部材６６の移動方向がメインバキュームプレート
５６の移動方向となるようになってる。

【００５７】前記ピニオンギヤ７０は、フィルム張付装
置の本体フレームの一定位置で回動するため、ラックギ
ヤ６８と共に上・下のメインバキュームプレート５６を
同調動作させる。又、前記ピニオンギヤ７０は、図示さ
れないサーボモータ（メインバキュームプレート駆動用
サーボモータ）で電磁クラッチを介して駆動される。上
・下の取付部材６６にはバキュームプレート５６幅方向
に一対設けられたシリンダ（図示省略）のシリンダ管
体、ピストンロッドがそれぞれ連結され、上・下の取付
部材６６が連動するようになっている。なお、実施例で
は、基板６から所定距離となるまでは前記サーボモータ
で前進させる。その後、電磁クラッチを切り、シリンダ
で駆動して仮付けし、仮付け後、基板からの離反はシリ
ンダで行うようになっている。

【００５８】前記圧着部３０には、前記積層体フィルム
１Ｂを基板上に熱圧着するための圧着ローラ２８と共
に、当該圧着ローラ２８が軸支され、当該圧着ローラ２
８を前後動させるように保持する圧着ローラ保持部材７
４と、当該圧着ローラ２８の周囲を、前記積層体フィル
ム１Ｂを吸着しながら回動するバキュームバー７６と、
前記圧着ローラ２８に付着した水等の空泡防止液を拭き
取るための圧着ローラ拭き取りローラ７８と、圧着後の
基板６の表面の空泡防止液を拭き取るための基板拭き取
りローラ８０と、上・下に対称となる圧着ローラ保持部
材７８を揺動させて、圧着ローラ２８で積層体フィルム
１Ｂを基板６上に圧着させるための圧着ローラ上下移動
用エアシリンダ８２を有する。

【００５９】圧着ローラ保持部材７４の基板６搬出側に
は、前記基板６に付着した残余の空泡防止液を拭き取る
ための基板拭き取りローラ８０が回動自在に設けられて
いる。

【００６０】なお、前記圧着ローラ上下移動用エアシリ
ンダ８２は、左右で上下に対になっている圧着ローラ保
持部材７４に対して一つずつ設けられている。

【００６１】ここで、ウェットローラ４８及びユニット
ベース９０とその周辺の詳細な構成を、図３に基づき説
明する。

【００６２】図３に詳細に示すように、一対のウェット
ローラ４８は、基板搬送経路を挾んで対向するように上
下に設けられており、各ウェットローラ４８は、その軸
方向両端部がウェットローラ軸受部材９２に軸支されて
いる。

【００６３】又、図３に示すように、ユニットベース９
０は、ウェットローラ軸受部材９２を含むウェットロー
ラ４８の軸方向長さと同様の長さを基板幅方向に有し、
これらの下方を被って配置され、ユニットベース９０の
両端部（前記軸方向の両端部）に前記ウェットローラ軸
受部材９２が取付けられる。該ユニットベース９０の各
端部において、上・下の軸受部材９２には上下方向に貫
通する一対の孔が設けられており、この孔にピン部材９
４が摺動可能に設けられる。

【００６４】このピン部材９４の下端部は、前記ユニッ
トベース９０に取付けられる。又、このピン部材９４上
部には、ワッシャーが係止されており、該ワッシャーと
軸受部材９２の間にはばね部材９６が設けられている。
このばね部材９６により、上の軸受部材９２には、下方
向への付勢力が与えられる。

【００６５】上・下のウェットローラ４８は基板６を挾
みながら適宜の押圧力で基板６に転接して空泡防止液を
基板６に塗布するようになっている。

【００６６】又、前記ばね部材９６の軸受部材９２に対
する付勢力の調整により、ウェットローラ４８が基板を
挾む際の押圧力が適切なものとなるように調整可能とな
っている。

【００６７】搬入部２０の駆動ローラ３８及び従動ロー
ラ４２は、図３に符号９８で示す搬入部ベース部材に設
けられている。前記ユニットベース９０には、前記ユニ
ットベース９０を搬入部ベース部材９８の圧着ローラ２
８側端部に着脱可能に取付けるためのウェットローラ取
付部材１００が設けられる。このウェットローラ取付部
材１００は、ユニットベース９０の両側端部に、上・下
のウェットローラ軸受部材９２の重ねられている近傍の
搬入部ベース部材９８側に立上がるようにして形成され
る。又、このウェットローラ取付部材１００は、搬入部
ベース部材９８の圧着ローラ２８側に設けられた係り止
め用ねじ部材又はピン部材１０２に係止される上・下の
係止部１００Ａ・１００Ｂを有している。

【００６８】前記上側の係止部１００Ａは、搬入部ベー
ス部材９８方向に開口する切欠構造とされ、下側の係止
部１００Ｂは、下方向に開口する切欠構造とされてい
る。

【００６９】このように、ウェットローラ取付部材１０
０は、各係止部１００Ａ、１００Ｂの切欠構造を前記ピ
ン部材１０２に装入して係り止めさせることにより、ユ
ニットベース９０を搬入部ベース部材９８に取付ける構
造となっている。従って、ウェットローラ４８の交換の
ために行うユニットベース９０を搬入部ベース部材９８
に取付けたり取外したりする作業が非常に容易である。
又ユニットベース９０はウェットローラ４８及びウェッ
トローラ軸受部材９２の下方を被っているので運転中、
交換時の液漏れ飛散を防止できる。

【００７０】前記ウェットローラ４８の軸方向両側又は
片側（図３では両側の場合を示している）の軸受部材９
２近傍には、タイミングベルト用ホイール１０４が設け
られる。又、圧着ローラ２８側端部の駆動ローラ３８
は、その軸両端部が搬入部ベース部材９８を貫通してお
り、その両端部にタイミングベルト用ホイール１０６が
設けられている。前記ウェットローラ４８のタイミング
ベルト用ホイール１０４には、予めタイミングベルト１
０８が巻き掛けられている。

【００７１】前記ユニットベース９０が、ウェットロー
ラ取付部材１００及び取付ピン１０２により搬入部ベー
ス部材９８に係り止めされた状態で、各タイミングベル
ト用ホイール１０４、１０６間にはタイミングベルト１
０８が巻き回される。

【００７２】従って、基板６の搬送において駆動ローラ
３８が駆動すれば、その駆動ローラ３８と同期してウェ
ットローラ４８が回動するようになっている。なお、本
発明の実施においては、ウェットローラ４８の駆動は、
駆動ローラ３８の駆動力によることに限定されるもので
はなく、ウェットローラ４８の駆動力源を駆動力ローラ
３８とは別体に設けることができる。

【００７３】ここで、前記ウェットローラ４８には、例
えば出願人が前記特開平３−７３４４で開示したよう
な、ステンレス、防錆処理アルミニウム等の錆び難い金
属あるいは硬質プラスチックからなる円筒体に複数個の
液供給孔が設けられた給液パイプ（給水パイプ）と、該
給液パイプの表面上に設けられた、スポンジ等の水を含
み易い多孔性の物質からなる被覆層とを有するものを用
いることができる。但し、これは一例であり、他の構成
のウェットローラでも本発明を構成できることは勿論で
ある。

【００７４】又、実施例では、この給液パイプに空泡防
止液を送るため、図３に示すように、ウェットローラ軸
受部材９２のウェットローラ４８の設けられている側の
反対側には、前記給液パイプに連通する給液プラグ１１
０が設けられる。この給水プラグ１１０を介して、管材
から送液した空泡防止液水を給液パイプひいてはウェッ
トローラの被覆層に供給する。ウェットローラ４８が、
この供給された空泡防止液を搬送される基板６表面に転
接しながら塗布するようになっている。

【００７５】又、実施例のフィルム張付装置において、
基板６に空泡防止液を塗布しない運転が望まれる場合に
は、ユニットベース９０を搬入部ベース部材９８から取
外して、例えば図４に示すガイドローラ１１２を該ベー
ス部材９８に取付けることができるようになっている。
ユニットベース９０取外し時には、タイミングベルト１
０８もタイミングベルト用ホイール１０６から取外す。

【００７６】図４に示すような、前記ガイドローラ１１
２は、搬入部２０から搬送された基板を載置しながら圧
着ローラ２８に導くものであり、搬入部ベース部材９８
の圧着ローラ２８側に取付けられる。このガイドローラ
１１２は、その軸の両端部がガイドローラ取付部材１１
４に支持されており、ガイドローラ１１２の前記ベース
部材９８への取付けは、該ガイドローラ取付部材１１４
を前記取付ピン１０２に係止させることにより行う。こ
の係止のため、前記ガイドローラ取付部材１１４には係
止部１１４Ａ、１１４Ｂが設けられている。この係止部
１１４Ａ、１１４Ｂは、図３に示したウェットローラ取
付部材１００の各係止部１００Ａ、１００Ｂと同様の切
欠構造であり、搬入部ベース部材９８側に設けられてい
る。

【００７７】なお、このガイドローラ１１２は、ガイド
ローラ取付部材１１４に回動自在に設けられており、駆
動ローラ３８の駆動力は伝達されないようになってい
る。

【００７８】前記実施例のフィルム張付け装置の制御系
の信号経路を図５に示す。

【００７９】図５に示すように、この制御系において
は、各センサＳ１〜Ｓ４と共に、各シリンダ前・後端の
検出センサ（図示省略）やフィルム巻径の各センサ３６
Ａと３６Ｂの検出信号に従って、中央制御ユニット１２
０が各シリンダ用ソレノイド及び各モータの制御信号を
出力するようになっている。又、カウンタやタイマの機
能も有している。この中央制御ユニット１２０は、図６
に示す手順に従って前記フィルム張付装置を制御するよ
うに構成されている。この中央制御ユニット１２０は、
例えばプログラマブルコントローラやリレーシーケンス
回路により構成することができる。

【００８０】次に、実施例の作用を説明する。

【００８１】実施例に係るフィルム張付装置は、主に図
６の手順に従って作動する。

【００８２】先ず、積層体フィルム１Ｂの張付け開始準
備状態に手動により設定する（ステップ１）。即ち、十
分な三層積層体フィルム１が巻き回された供給ローラ２
をこのフィルム張付装置に設置する。次いで、前記三層
積層体フィルム１をガイドローラ３２からフィルム分離
部材３に通過させて、透光性樹脂フィルム１Ａ、積層体
フィルム１Ｂに分離する。フィルム分離部材３で分離さ
れた積層体フィルム１Ｂをメインバキュームプレート５
６からカッタ６２の先まで送る。この場合、カッタ６２
の回転刃６２Ａは、手動により固定刃６２Ｂと離すこと
ができ、その間に前記積層体フィルム１Ｂを通す。

【００８３】次いで、積層体フィルム１Ｂをカッタ６２
で切断する（ステップ２）。即ち、回転刃６２Ａ及び固
定刃６２Ｂを傾斜させない状態で手動により回転刃６２
Ａを回転させてフィルム１Ｂを切断する。

【００８４】次いで、メインバキュームプレート５６、
圧着ローラ２８等を原位置とする（ステップ３）。この
場合、メインバキュームプレート５６は、上昇端からあ
る程度下がると共に、メインバキュームプレート５６と
先端巻き付けフィルム保持部材６０のフィルム搬送面側
は一致する状態とする。

【００８５】次いで、自動運転を開始する（ステップ
４）。

【００８６】即ち、自動運転が開始すると、前記フィル
ム保持部材６０が積層体フィルム１Ｂを吸着しながら基
板搬送方向に移動する。これにより、積層体フィルム１
Ｂは、メインバキュームプレート５６の先端の仮付け部
５６Ａに巻き付けられる。

【００８７】一方、基板の搬入部２０においては、基板
６が搬送されてきて、幅寄せ開始位置センサＳ１で当該
基板６が検出されると、該基板６は、幅寄せ装置４２で
幅寄せされ、所定の幅方向位置になる。

【００８８】次いで、幅寄せされた基板６を搬送方向に
進行させ、当該基板の先端を基板先端検出センサＳ３で
検出すると、その検出信号に従って、中央制御ユニット
１２０がカウンタのカウントを始める。このカウント
は、予め設定された所定時間をカウントして、基板６の
搬送方向先端部を仮付け位置に停止させる。又、前記基
板先端検出センサＳ３の信号により、前記中央制御ユニ
ット１２０の他のカウンタがカウントを開始する。該カ
ウンタが所定時間カウントすると、前記先端巻き付けフ
ィルム保持部材６０が基板搬送方向出側に後退して、メ
インバキュームプレート５６の仮付部５６Ａに積層体フ
ィルム１Ｂを巻付ける。

【００８９】なお、前記メインバキュームプレート５６
が前進して仮付けするまでに、基板押えローラ４６は、
基板押え部材４４の駆動により基板６方向に下降し、駆
動ローラ３８と共に基板６を挟み付ける。又、前進する
基板６には、ウェットローラ４８で空泡防止液が塗布さ
れる。

【００９０】次いで、メインバキュームプレート５６の
前進により、積層体フィルム１Ｂを基板６に仮付けする
（ステップ７）。

【００９１】即ち、前記他のカウンタが作動しながら、
上・下のメインバキュームプレート５６は、ラックギヤ
６８及びピニオンギヤ７０により同調しながらメインバ
キュームプレート駆動用サーボモータ（図示省略）の駆
動により、基板６の上・下面に向かって前進してくる。
この場合、基板６の上・下面表面上の例えば２cm手前の
位置で、メインバキュームプレート駆動用サーボモータ
の駆動を停止する。その後、メインバキュームプレート
駆動用エアシリンダ（図示省略）の駆動力で上下のメイ
ンバキュームプレート５６を前進させ、仮付部５６Ａを
基板６上・下表面に接近させる。この際、メインバキュ
ームプレート幅方向（積層体フィルム１Ｂ幅方向に沿
う）両端に設けられた一対のエアシリンダで仮付けの押
圧力を与える。このため、基板６の両面には、同じ力で
積層体フィルム１Ｂを仮付けすることができる。なお、
この際、前記サーボモータの駆動力は、前記サーボモー
タの電磁クラッチが解放されるため、ピニオンギヤ７０
へは伝達されないようになっている。

【００９２】次いで、メインバキュームプレート５６を
基板６から離す方向へ後退させ、圧着ローラ２８は、前
記メインバキュームプレート５６の仮止め部５６Ａと干
渉し合わないように前進させて、当該圧着ローラ２８で
前記仮止めされた積層体フィルム１Ｂの圧着を開始する
（ステップ８）。

【００９３】次いで、積層体フィルム１Ｂの圧着ローラ
２８による圧着が進行していき、基板６に張付けるべき
積層体フィルム１Ｂの後端がカッタの位置まできたと
き、メインバキュームプレート５６による積層体フィル
ム１Ｂの吸着、及びカッタ６２による当該フィルム１Ｂ
の切断を行う（ステップ９）。

【００９４】即ち、カッタ６２の切断点が積層体フィル
ム１Ｂの供給速度と応じた積層体フィルムを供給方向に
直接に切断可能な傾斜をカッタ６２に与えて、カッタ６
２で切断を開始させる。この切断により、積層体フィル
ム１Ｂは搬送方向に直角に切断される。

【００９５】なお、切断中及び切断後、積層体フィルム
１Ｂはサポートローラ６４で誘導される。このため、圧
着ローラ２８の径が小さいものであっても、積層体フィ
ルム１Ｂは固定刃６２Ｂに摺動することなく送られる。
又、圧着中及び切断後にバキュームバー７６の吸引が開
始されており、このバキュームバー７６は、積層体フィ
ルム１Ｂを吸着しながらその外周面上を滑らせて、熱圧
着させる。熱圧着するべき積層体フィルム１Ｂの後端部
に近くなったならば、バキュームバー７６は、基板６に
接近するように圧着ローラ２８の周囲を旋回動し、熱圧
着が終了する直前まで吸着動作を行う。これにより、積
層体フィルム１Ｂに適度な張力を与え、積層体フィルム
１Ｂにしわ等が発生することを防止している（ステップ
９）。なお、前記積層体フィルム１Ｂをカッタ６２で切
断した後は、メインバキュームプレート５６及び先端巻
き付けフィルム保持部材６０は吸着動作を行い、積層体
フィルム１Ｂを吸着して保持する。

【００９６】次いで、積層体フィルム１Ｂの熱圧着動作
を続行するか否かを判断する。続行するならば、ステッ
プ５から再び圧着作業を続行する。又、続行しないなら
ば、この作業を終了する。

【００９７】なお、前記実施例においては、図１及び図
２に示すフィルム張付装置に対して、図３に示すユニッ
ト構造のウェットローラを適用実施していたが、本発明
のユニット構造のウェットローラを用いることができる
フィルム張付装置は、図１及び図２の構成のものに限定
されず、他のいずれの種類のフィルム張付装置でも本発
明のウェットローラを用いることができる。

【００９８】

【発明の効果】以上説明した通り、本発明によれば、ウ
ェットローラの交換を容易とし作業性の向上を図ること
ができると共に、空泡防止液を付着させない運転にも容
易に対応し得るという優れた効果が得られる。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１は、本発明の実施例に係るフィルム張付装
置の全体構成を示す側面図である。

【図２】図２は、前記フィルム張付装置の基板搬送路か
ら上側の構成を詳細に示す側面図である。

【図３】図３は、前記フィルム張付装置に設けられるウ
ェットローラの詳細な構成を示す要部斜視図である。

【図４】図４は、前記装置からウェットローラを取外し
た後に取付けるガイドローラの詳細な構成を示す要部斜
視図である。

【図５】図５は、前記装置の電気的な信号入出力の構成
を示すブロック図である。

【図６】図６は、前記実施例の作用を説明するための前
記装置におけるフィルム圧着手順を示す流れ図である。

【図７】図７は、従来のフィルム張付装置の構成例を示
す側面図である。

【符号の説明】

１Ｂ…積層体フィルム、 ２…供給ローラ、 ３…分離ローラ、 ２０…搬入部、 ２２…搬出部、 ２４…積層体フィルム蓄積部、 ２６…仮付け部、 ２８…圧着ローラ、 ３０…圧着部、 ３８…駆動ローラ、 ４０…従動ローラ、 ４２…幅寄せ器、 ４４…基板押え部材（エアシリンダ）、 ４６…基板押えローラ、 ４８…ウェットローラ、 ５６…メインバキュームプレート、 ６０…先端巻付フィルム保持部材、 ７６…バキュームバー、 ９０…ユニットベース、 ９２…ウェットローラ軸受部材、 ９４…ピン部材、 ９６…ばね部材、 ９８…搬入部ベース部材、 １００…ウェットローラ取付部材、 １００Ａ、１００Ｂ…係止部、 １０２…取付ピン、 １０４、１０６…タイミングベルト用ホイール、 １０８…タイミングベルト、 １１０…給液プラグ、 １１２…ガイドローラ、 １１４…ガイドローラ取付部材、 １１４Ａ、１１４Ｂ…係止部、 １２０…中央制御ユニット、 Ｓ１…幅寄せ開始位置センサ、 Ｓ２…基板後端検出センサ、 Ｓ３…基板先端検出センサ、 Ｓ４…基板通過検出センサ。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 // Ｂ２９Ｌ 9:00 31:34

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】基板のフィルム張付面に圧着ローラにより
   フィルムを張付けるフィルム張付装置において、 水等の空泡防止液をフィルム張付け前の基板の上・下両
   面に塗布させるように基板搬送経路を挾んで上・下に設
   けられたウェットローラと、前記のウェットローラの軸方向両端を支持するウェット
   ローラ軸受部材と、 前記上下のウェットローラの少なくとも軸方向一端の前
   記ウェットローラ軸受部材に設けられ、対応するウェッ
   トローラ内に空泡防止液を供給するための給液プラグ
   と、 前記下側のウェットローラ及びこれを支持する下側のウ
   ェットローラ軸受部材の下方を被うと共に、該下側のウ
   ェットローラ軸受部材を支持するユニットベースと、 このユニットベースに連結して設けられ、このユニット
   ベース及び前記ウェットローラ軸受 部材を介してウェッ
   トローラを基板搬送経路に着脱可能に取付けるための取
   付部材とが一体的なユニット構造とされ、且つ、前記上
   側のウェットローラ軸受部材は、前記下側のウェットロ
   ーラ軸受部材方向に、ばねにより付勢して設けられてい
   て、 空泡防止液を基板に塗布させることが所望される場合
   に、前記ユニット構造を前記基板搬送経路の圧着ロール
   入側に取付部材により取付けることを特徴とするフィル
   ム張付装置。
2. 【請求項２】請求項１において、更に、 基板搬送経路に、基板を搬送方向に駆動するための駆動
   ローラが設けられていて、 該駆動ローラの駆動力を前記ウェットローラに伝達する
   ための伝達部材を設けたことを特徴とするフィルム張付
   装置。
3. 【請求項３】 請求項２において、駆動ローラは、基板搬
   送経路の幅方向両端外側に立設され た搬入部ベース部材
   に回転自在に支持され、 前記伝達部材は、前記駆動ローラの前記搬入部ベース部
   材外側に突出した軸端に設けられたタイミングベルト用
   ホイールと、前記上下のウェットローラの一方に設けら
   れたタイミングベルト用ホイールと、前記２つのタイミ
   ングベルト用ホイールに巻き掛けられるタイミングベル
   トと、から構成され、前記タイミングベルトは、前記ユ
   ニット構造に含まれ、該ユニット構造の前記基板搬送経
   路への着脱時に、前記駆動ローラ側のタイミングベルト
   用ホイールに着脱自在とされたことを特徴とするフィル
   ム張付装置。
4. 【請求項４】請求項１乃至３のいずれかにおいて、 取付部材が、基板搬送経路に設けられた係止部材に係止
   させる切欠き構造となっていることを特徴とするフィル
   ム張付装置。