JPH08501640A - 媒体上に点状に照射するための方法及び装置 - Google Patents
媒体上に点状に照射するための方法及び装置Info
- Publication number
- JPH08501640A JPH08501640A JP6500096A JP50009694A JPH08501640A JP H08501640 A JPH08501640 A JP H08501640A JP 6500096 A JP6500096 A JP 6500096A JP 50009694 A JP50009694 A JP 50009694A JP H08501640 A JPH08501640 A JP H08501640A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- medium
- light energy
- hole
- channel
- holes
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70216—Mask projection systems
- G03F7/7035—Proximity or contact printers
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65H—HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL, e.g. SHEETS, WEBS, CABLES
- B65H23/00—Registering, tensioning, smoothing or guiding webs
- B65H23/04—Registering, tensioning, smoothing or guiding webs longitudinally
- B65H23/24—Registering, tensioning, smoothing or guiding webs longitudinally by fluid action, e.g. to retard the running web
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65H—HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL, e.g. SHEETS, WEBS, CABLES
- B65H5/00—Feeding articles separated from piles; Feeding articles to machines
- B65H5/06—Feeding articles separated from piles; Feeding articles to machines by rollers or balls, e.g. between rollers
- B65H5/062—Feeding articles separated from piles; Feeding articles to machines by rollers or balls, e.g. between rollers between rollers or balls
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65H—HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL, e.g. SHEETS, WEBS, CABLES
- B65H5/00—Feeding articles separated from piles; Feeding articles to machines
- B65H5/22—Feeding articles separated from piles; Feeding articles to machines by air-blast or suction device
- B65H5/228—Feeding articles separated from piles; Feeding articles to machines by air-blast or suction device by air-blast devices
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65H—HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL, e.g. SHEETS, WEBS, CABLES
- B65H7/00—Controlling article feeding, separating, pile-advancing, or associated apparatus, to take account of incorrect feeding, absence of articles, or presence of faulty articles
- B65H7/02—Controlling article feeding, separating, pile-advancing, or associated apparatus, to take account of incorrect feeding, absence of articles, or presence of faulty articles by feelers or detectors
- B65H7/14—Controlling article feeding, separating, pile-advancing, or associated apparatus, to take account of incorrect feeding, absence of articles, or presence of faulty articles by feelers or detectors by photoelectric feelers or detectors
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/20—Exposure; Apparatus therefor
- G03F7/2002—Exposure; Apparatus therefor with visible light or UV light, through an original having an opaque pattern on a transparent support, e.g. film printing, projection printing; by reflection of visible or UV light from an original such as a printed image
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/20—Exposure; Apparatus therefor
- G03F7/2045—Exposure; Apparatus therefor using originals with apertures, e.g. stencil exposure masks
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70691—Handling of masks or workpieces
- G03F7/70716—Stages
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
- H04N1/00—Scanning, transmission or reproduction of documents or the like, e.g. facsimile transmission; Details thereof
- H04N1/024—Details of scanning heads ; Means for illuminating the original
- H04N1/032—Details of scanning heads ; Means for illuminating the original for picture information reproduction
- H04N1/036—Details of scanning heads ; Means for illuminating the original for picture information reproduction for optical reproduction
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
- H04N1/00—Scanning, transmission or reproduction of documents or the like, e.g. facsimile transmission; Details thereof
- H04N1/04—Scanning arrangements, i.e. arrangements for the displacement of active reading or reproducing elements relative to the original or reproducing medium, or vice versa
- H04N1/06—Scanning arrangements, i.e. arrangements for the displacement of active reading or reproducing elements relative to the original or reproducing medium, or vice versa using cylindrical picture-bearing surfaces, i.e. scanning a main-scanning line substantially perpendicular to the axis and lying in a curved cylindrical surface
- H04N1/08—Mechanisms for mounting or holding the sheet around the drum
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65H—HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL, e.g. SHEETS, WEBS, CABLES
- B65H2301/00—Handling processes for sheets or webs
- B65H2301/40—Type of handling process
- B65H2301/44—Moving, forwarding, guiding material
- B65H2301/445—Moving, forwarding, guiding material stream of articles separated from each other
- B65H2301/4452—Regulating space between separated articles
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65H—HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL, e.g. SHEETS, WEBS, CABLES
- B65H2511/00—Dimensions; Position; Numbers; Identification; Occurrences
- B65H2511/20—Location in space
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65H—HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL, e.g. SHEETS, WEBS, CABLES
- B65H2511/00—Dimensions; Position; Numbers; Identification; Occurrences
- B65H2511/20—Location in space
- B65H2511/22—Distance
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65H—HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL, e.g. SHEETS, WEBS, CABLES
- B65H2511/00—Dimensions; Position; Numbers; Identification; Occurrences
- B65H2511/50—Occurence
- B65H2511/51—Presence
- B65H2511/512—Marks, e.g. invisible to the human eye; Patterns
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65H—HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL, e.g. SHEETS, WEBS, CABLES
- B65H2515/00—Physical entities not provided for in groups B65H2511/00 or B65H2513/00
- B65H2515/20—Volume; Volume flow
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65H—HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL, e.g. SHEETS, WEBS, CABLES
- B65H2515/00—Physical entities not provided for in groups B65H2511/00 or B65H2513/00
- B65H2515/30—Forces; Stresses
- B65H2515/34—Pressure, e.g. fluid pressure
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65H—HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL, e.g. SHEETS, WEBS, CABLES
- B65H2515/00—Physical entities not provided for in groups B65H2511/00 or B65H2513/00
- B65H2515/60—Optical characteristics, e.g. colour, light
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65H—HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL, e.g. SHEETS, WEBS, CABLES
- B65H2553/00—Sensing or detecting means
- B65H2553/40—Sensing or detecting means using optical, e.g. photographic, elements
- B65H2553/41—Photoelectric detectors
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65H—HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL, e.g. SHEETS, WEBS, CABLES
- B65H2553/00—Sensing or detecting means
- B65H2553/40—Sensing or detecting means using optical, e.g. photographic, elements
- B65H2553/41—Photoelectric detectors
- B65H2553/416—Array arrangement, i.e. row of emitters or detectors
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Multimedia (AREA)
- Signal Processing (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Measurement Of The Respiration, Hearing Ability, Form, And Blood Characteristics Of Living Organisms (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
媒体上に点を照射するための装置は、中心波長(λ)の実質的に干渉性の光エネルギによって、照射される穴付きの壁部を備える。光エネルギは、穴を通過し、そのような穴からある距離(L)にある媒体を照射する。穴は、光エネルギが回折され、発散光線束が形成されるような断面積を有する。媒体は、光線束のフレネル領域とフラウンホーファー領域との間の遷移部の周囲の領域位置する。媒体の表面の点は、多くの照射チャンネルを通る光源によって選択的に照射される。これら各々のチャンネルは、光源から受け取った光エネルギを増大するための光学的なレンズ要素と、チャンネルを通る光エネルギの伝播を許容又は阻止する選択的に制御される光学的なバルブと、上記手段の他の要素と共にチャンネルによって形成される点の寸法を決定するチャンネル出口とを備える。上記チャンネルは、中央制御ユニットによって個々に制御され、該中央制御ユニットは、選択的に制御される光学的なバルブの各々の接続され、各々のチャンネルの光エネルギの搬送を選択的に制御する。
Description
【発明の詳細な説明】
媒体上に点状に照射するための方法及び装置
本発明は、媒体(medium)の上に点を照射するための方法及び装置に関し、そ
のような方法及び装置は、請求項1の特徴部分にそれぞれ記載されているタイプ
のものである。好適な実施例においては、本発明の装置は、媒体の表面に点を選
択的に照射するために使用され、当該装置は、所望の照射パターンに関する情報
が記憶されるメモリを有する中央制御ユニットを備えることができる。
感光性媒体を該媒体に情報を搬送する光線で露光することは周知である。これ
は元々、所望の情報を有する部分的に透明なオリジナルで媒体を照射することに
より行われていた。この技術を合理化するために、上記プロセスの技術がその後
開発され、総ての点において適正な照射を行うために、媒体に対してレーザビー
ムを変調する。媒体の照射パターンの情報は、中央制御ユニットに保持され、レ
ーザを変調するために使用される。媒体上に満足すべきイメージ品質を得るため
に、オリジナル及び光源を露光の間に互いに関して保持する機械的な装置は、安
定性に関する厳しい要件を満たす必要がある。必要とされる精度を得るために、
露光用の媒体は、 「内部レーザイメージドラムプロッタ(Internal Laser Ima
ge
Drum Plotter)と一般に呼称される装置の中に設けられることが多い。このタイ
プの装置は、米国特許第4,852,709号、同第4.595,957号、及
び同第3,958.250号の各明細書に特に記載されている。このタイプの装
置は、満足すべきイメージすなわち画像の品質をもたらすが、非常に複雑な機械
的な構造を有しており、その理由は、光源及び媒体を互いに関して極めて正確に
動かす必要があるからである。その結果、上記タイプの装置は、比較的値段が高
く、多くのユーザに制約を与える。
従って、本発明の目的は、最初の項で説明したタイプの媒体の上に点状を照射
するための方法を提供することであり、その装置は、より簡単でより少ない機械
的な構成要素に基づいている。
上記目的は、請求項1の特徴部分に記載されるように、媒体を露光する際に近
接焦点合わせを用いることにより、すなわち、光線で露光される媒体を光線の回
折を生ずる開口すなわちピンホールから非常に接近させて隔置することにより達
成される。採用されるのは、比較的記載されていない物理的な効果である。平行
光線が開口すなわちアパーチャに入ると、光線は回折し、光線の波長及び開口の
幅によって決定される開口角度すなわちアパーチャ角度を有する光円錐を開口の
後ろに形成する光線が発散するこの領域は通常フラウンホーファーフィールド又
はフラウンホーファー領域と呼ばれている。しかしながら、光円錐の発散は、開
口からある距離において
のみ開始される。その理由は、光線束はその前に収束するからである。光線束が
収束する領域は、フレネルフィールド又はフレネル領域と呼ばれる。光線束は、
開口を出ると、開口からある距離に狭い部分を有する。上記距離は、開口の直径
2R、光線の波長λ、並びに、開口が設けられる壁部の厚みに依存する。壁部の
厚みが無視し得る程度であれば(例えば、結晶上の蒸着層の場合)、上記狭い部
分までの距離は、R2/λによって表すことができる。
請求項2は、請求項1に記載した方法の近接露光の原理を用いている。
この点に関して、媒体上の点を露光するために良好に決定された光線として使
用される光線束に関して、光線が回折により過度に広がると考えられるであろう
が、驚くべきことに、そのような光線束は、その狭い部分の周囲の領域において
、本発明の目的のために使用することができることが分かった。露光させる媒体
を光線束の狭い部分付近に設けることにより満足すべき深さの決定を行うことが
できるが、その際には、問題とする位置の光線束の断面積が、例えば、狭い部分
の最も小さい断面積の2倍よりも小さくする必要がある。
上の事柄は、入射光線が非干渉的であり、且つ、開口が円形である場合に適用
される。入射光線が、平坦な波面を有していない場合には、フレネル領域及びフ
ラウンホーファー領域の幾何学的な形状が変化する。従って、
光線束は、フラウンホーファー効果によって生ずる中央ゾーン、並びに、フレネ
ル効果によって生ずる2つの包囲ゾーンを有することになる。これらのゾーンは
、光円錐の対称軸線に沿って位置している。開口が、例えばスロットすなわち長
穴形状であって円形でない場合には、光円錐は、適正な狭い部分を有さず、2つ
の異なる箇所を有し、これらの箇所においては、第1の横方向、並びに、該第1
の横方向を横断する第2の方向において、その最も小さな横方向寸法をそれぞれ
有する。
可視領域の光線の場合、例えば、アルゴンレーザの場合には、波長は約488
nmである。円形の開口に対して5乃至10μm開口直径は、その開口が設けら
れている壁部と光円錐の狭い部分との間に50乃至200μm程度の距離を与え
る。光線束の狭い部分のドットサイズは、開口と同じ程度であるのが好ましく、
この場合には、約10μmあるいはそれ以下である。高い光線強度並びに特殊な
スペクトル領域(紫外線感受性の媒体の露光の場合)の理由から、強度が大きく
且つ幅広い帯域を有する光源が選択されることが多い。
開口すなわちピンホールと媒体との間の光学的な撮像装置を省くと大きな利点
がある。露光する媒体を横断する開口を有する列を備えたロッド形状のチップを
設けるとかなり廉価である。
本発明はまた、本発明の好適な実施例においては、媒体の表面に選択的に点を
照射する装置に関し、該装置は、
媒体上の照射パターンに関する情報が記憶される中央制御ユニットを備えること
ができる。本装置は、それにより媒体上の点が照射される複数の照射チャンネル
を形成するチャンネル形成ユニットと、照射チャンネルに干渉光エネルギを供給
する光源とを備える。チャンネル形成ユニットは、各々のチャンネルに関して、
上記光源から受け取った光エネルギを増幅する光学的なレンズ要素と、上記チャ
ンネルを介する光エネルギの伝播を許容又は阻止する選択的に制御される光学的
なバルブとを備える。各々の照射チャンネルは、チャンネルによって形成される
点の寸法を決定する出口開口を有する。中央制御ユニットは、選択的に制御され
る各々の光学的なバルブに接続され、これにより、個々の照射チャンネルによっ
て搬送される光エネルギを選択的に制御する。
チャンネル形成ユニットは、系の光エネルギを変調するためのミクロ機械的な
原理を用いて、チップの中に統合することができる。平行なマルチチャンネル装
置であるのが好ましい。光エネルギは、チャンネル形成ユニットの入口側に接続
される。本装置は、1又はそれ以上ののユニットを備えることができ、これらユ
ニットは協働して、媒体を横断する多数のチャンネルを形成する。これらチャン
ネルは、互いに平行に設けられる。これにより、媒体の全幅にわたって一時にラ
イン方向に記録することが可能となる。
チャンネル形成ユニットは、チップとして形成される
のが好ましく、一方、該ユニットのチャンネル形成手段の照射チャンネルは、チ
ャンネルのレンズ要素、光学的なバルブの寸法、及び、チャンネル出口の寸法に
よって決定される。搬送される光エネルギの流れに所望の断面積を与えるのは、
通常、チャンネル出口である。各々の照射チャンネルの光学的なバルブは、当該
装置の中央制御ユニットによって選択的に制御され、これにより、上記バルブを
通る光エネルギの伝播が許容又は阻止される。バルブの搬送特性は、例えば、バ
ルブに電界を与えることにより機械的に変えることができ、これにより、例えば
、アルミニウムのシャッタ又はフラップを作動させて、与えられた電圧に合わせ
ることができる。個々のチャンネルは、中央制御ユニットによってそれ自体は周
知の主要で個々に制御され、上記中央制御ユニットは、チップに統合されたプリ
ント回路を介して各々の照射チャンネルに接続される。チップの可動部のこの制
御形態は、ラリー ジェイ.ホーンベック(Larry J.Hornbeck)の論文「Deform
able−Mirror Spatial Light Modulations(Proceedings of Spie,The Interna
tional Society ofOptical Engineering.Vol.1150)」に記載されている。しか
しながら、ユニットのチャンネル形成手段の物理的な寸法は、現在では大きく、
従って、直線的な列だけを用いて所望の解像度を得ることはできない。現在では
、チャンネル形成手段は、チップの形態で製造することができ、従って、上記手
段は、例えば50μmの辺長を有する正
方形である。光線のドットサイズは、チャンネル出口と同じ程度とすることがで
き、すなわち、最大断面積を約5乃至10μmまで小さくすることができる。従
って、チップのチャンネル形成手段は、現在の装置で得ることのできる解像度に
制約を与える。しかしながら、そのような制約は、幾つかの列を平行に配列し、
且つ、互いに関してずらすことにより解消することができる。そのようなずれ、
すなわち変位は、単一の手段の長さの分数(その長さの何分の1)に相当し、そ
の分数は、平行に配列された列の数に相当する。従って、その変位は極めて小さ
く、従って、その構造の安定性のために、平行な列を1つの且つ同一のチップに
設けることが便利である。従って、第1の列から隣接する列へ媒体上の点を動か
すに必要な時間にに応じて、個々の列に情報を搬送することに関して、遅延が生
じてしまうことになる。この距離は、約50μmに相当する。このようにして、
2,500dpiあるいはそれ以上の解像度を容易に得ることができる。
好適な実施例及び図面に関連して本発明を以下に詳細に説明するが、図面にお
いては、
第1図は、近接露光を示しており、
第2図は、媒体上の点を選択的に照射するための装置に設けられる照射チャン
ネルを概略的に示しており、
第3図は、媒体上の点を選択的に照射するための装置に設けられるユニットの
複数のチャンネル出口を拡大し
て示しており、
第4図は、チャンネル形成ユニットに対する光源の接続を概略的に示しており
、
第5図は、本発明の装置に使用されるけん引装置を概略的に示しており、
第6図は、第5図のけん引装置を媒体上の点を選択的に照射するための装置と
共に概略的に示しており、
第7図乃至第9図は、第6図の装置の選択した詳細を示している。
第1図は、本発明の露光原理を示している。平行光線束10が、ピンホール1
4を有する壁部12から発射される。光線束は、幾何学的な理解によって平行な
光線として示されているが、これは実際には近似であり、その理由は、そのよう
な光線を得ることは困難であり、幾つかの場合には、平行光線束を用いることが
望ましくない場合さえある。平行光線が、ピンホール14、あるいは、小さな断
面積を有する開口を通過する時に、回折によってかなりの程度まで搬送される光
エネルギがもたらされる。当業者によって理解され得る理由によって、搬送され
た光線は、ピンホール14が形成された壁部12が非常に薄い場合には、光線束
28を形成し、この光線束は最初にフレネル領域27において収斂し、次に、フ
ラウンホーファー領域26において発散する。上記2つの領域26、27の間の
遷移領域においては、光線束は、最も小さな断面積を有する狭い部分29を有し
ている。入
射光線束が、平行ではなく非平面的な波面を有する場合には、光線束28は、当
業者には周知であろう、より複雑な幾何学的な形状を示し、そのような形状は、
本発明を理解するために必要ではない。ピンホール14が円形以外の他の形状を
取る場合には、上記幾何学的な形状も変化する。
壁部12は、光線の波長λと同程度のあるいはそれよりも小さな厚みを有する
のが好ましい。そのような厚みは、壁部12が蒸発によって基板の上に設けられ
た場合に実現される。その後、ピンホール14は、エッチングによって除去する
ことができる。好適な実施例においては、図示の構造は、チップと統合される。
図示の幾何学的な形状においては、光線束28の狭い部分は、壁部12から距
離Lに位置しており、該距離Lは、以下の式によって表され、
L=R2/λ
上記式において、Rは、ピンホール14の半径であり、一方、λは、光線の波
長である。光源がアルゴンレーザである場合には、波長λは、488nmである
。8μmの半径を有する円形のピンホールに関しては、最適な露光距離は、約3
0μmである。通常は、露光距離Lは、20乃至200μmの範囲にあるのが好
ましい。光線束の狭い部分は、6乃至10μmの最大直径を有する。他の光源の
場合には、物理的なパラメータは、波長に応じて選択される。露光品質に応じて
、媒体16と壁部12
との間の距離を最適な距離Lの前後で極めて狭い寸法公差内で若干変える必要が
ある。
光線束28が、該光線束28の狭い部分29の断面積の2倍よりも小さい断面
積を有する場合には、上記距離は、例えば、距離L1とL2との間で変えることが
できる。そのような距離の間に、露光が深さ解像度の形態を有する領域Dが存在
する。より離れている場合には、光円錐すなわち光線束が、ホールのサイズ及び
波長によって決定される角度で発散する。この原理を用いると、ピンホール14
の後に光学的な撮像機器を用いることなく、光線束を媒体上に焦点合わせするこ
とができ、これは、構造的に大きな利点である。上に概説した原理は、以下の記
載において、近接焦点合わせ又は近接露光と呼ぶ。
第2図は、第1図に示す近接焦点合わせ技術を用いた本発明の照射チャンネル
を示している。光源(図示せず)が、レンズ20が設けられている照射チャンネ
ルの入口に向かって光30を発射する。レンズ20は、50乃至100μm程度
の幅を有する光学的な回折要素(DOE)である。通常、レンズ20は、得るこ
とのできるチャンネル形成要素の横方向の最も小さい寸法のサイズに関する制限
ファクタを構成する。レンズ20は、光エネルギ30を集めて増幅すると共に、
該光エネルギ30を光線束10の形態で照射チャンネルの中へ通す。光エネルギ
は、レンズ20からバルブすなわちゲート24を有する壁部22に向かって搬送
される。好適な実施例において
は、ゲート24は運動可能であって、その可動部は、金属層によってコーティン
グされており、これにより、ゲートに与えられる電界に調節される。可動部を含
む代わりに、上記ゲートを固定状態にし、電界を与えることにより、その反射定
数を調節することができる。ゲートは、透過性又は反射型とすることができる。
どのような機能がゲートに与えられようとも、ゲート24は、光線10をオン
・オフ変調するために使用することができる。第2図に示すように、光線束10
は発散するが、上の記載から分かるように、これは本発明の原理にとって重要で
はない。光線束は、壁部12のピンホール14を通過した後に、上述のように媒
体16に当たる。レンズ20の光軸は、参照符号25で示されている。
第3図は、本発明のチャンネル形成ユニット18の三次元的な配列を示してい
る。各々のユニット18は、ピンホール14を有する壁部12を備えている。従
って、第3図は、第2図を下から見た場合の多数のチャンネル形成ユニット19
を示している。ユニット18は、平行な列40乃至44として配列されている。
2つの隣接するユニットは、互いに距離△だけずれている。図示のように、ユニ
ット18は正方形であるのが好ましく、列40乃至44の方向において長さAを
有している。媒体上に露光点を均一に分布させるために、隣接する2つの列の2
つのユニット18を互いに関してずらしている距
離Δを、長さAを平行な列40乃至44の数N(この場合には5)で割った値に
等しくし、これにより、△=A/N=A/5とする。好適な実施例においては、
△は10μmの値を有する。
列40乃至44は、媒体の前進方向を横断する方向に配列された複数のチップ
に設けられ、これにより、上記列は、上記前進方向に対して直交する方向に伸長
する。従って、媒体を横断するラインが露光され、これにより、列40は作動さ
れて変調された光エネルギを発射し、一方、他の列は受動的である。従って、上
記ラインの各第5番目の点が露光される。媒体が、列40及び41の中心の間の
距離に対応する距離だけ前方へ前進した後に、列41が作動され、これにより、
既に露光された点から距離△にある媒体のライン上に点が露光される。同時に、
列40が、次の線の点を露光し始める。従って、媒体16は露光され、媒体の前
進方向を横断するラインは、列40乃至44の一連の作動により、点状に露光さ
れる。
第4図は、照射チャンネルに光エネルギを与えることのできる実施例を示して
いる。光源58からの光エネルギが、光導体55に接続される。接続は、適宜な
開口数を有するコネクタ56によって行われる。リフレクタ60が、光源58か
らの光エネルギをコネクタ56の入口に焦点合わせする。光エネルギは、光導体
55から、光導体を変換する領域50を介して、チップの列40乃至44へ搬送
され、上記領域は、光導体55の中の光線
を列40乃至44へ搬送される光エネルギの幅の狭い光線すなわち光線条に変換
する。適宜に高いレベルの光エネルギを得るためには、DCキセノンランプ又は
メタルハライドランプを使用することが現時点では好ましく、そのようなランプ
は共に、レーザよりもかなり多くの光エネルギを発射する。必要とされる光エネ
ルギに応じて、他の形態の光源を用いることもできる。例えば、その空洞がガラ
スロッドによって形成され、横方向に励起された固体レーザを使用することが可
能である。レーザの出口が、ロッドの長手方向に設けられる場合には、光源及び
チップ列40乃至44は、互いに極めて密に接触した状態で配列することができ
る。
第4図に示す光源を用いた場合には、例えば1乃至4kW程度の比較的大きな
パワーすなわち電力が必要とされ、従って、光源は、露光位置から遠い位置に設
ける必要がある。しかしながら、これは何等問題ではなく、その理由は、光源5
8は、光ファイバ又は光導体55によって、チップ列40乃至44に接続される
からである。
第5図は、媒体16を前進させるための装置を示している。好適な実施例にお
いては、媒体16は、横方向の運動により、露光装置に通される。これは、例え
ば、通常のフラットベット装置によって行うことができる。経済的な理由から、
シートフィード装置を用いるのが好ましい。シートフィード装置を用いるために
は、媒体が何等かの剛性を有することを必要がある。この剛性は、本
発明の装置が標準的なオフセット板を記録するために使用される場合に存在し、
その理由は、そのようなオフセット板は、感光性乳剤が塗布されたアルミニウム
である場合が多いからである。他の媒体としては、例えば、レーザプレート、フ
ィルム、及び、感光紙がある。しかしながら、露光装置はまた、印刷ブロック等
を露光する以外の他の用途にも使用することができ、第1図乃至第4図に関して
説明した露光装置は、例えば、集積回路用のウエーハを製造する際に使用するこ
とができる。
第5図に示すフィード装置すなわち供給装置はけん引型であり、従って、媒体
の位置を容易に読むことができる。上記供給装置は、駆動ホイール66を有する
電動モータ65を備える。駆動ホイール66は、回転可能に設けられたサポート
ホイール68と共に、可撓性を有する摩擦ホイール70に摩擦的に係合する。摩
擦ホイール70は、可撓性を有するゴムコーティング72を有しており、該ゴム
コーティングによって、媒体16との良好な機械的な接触が得られ、従って、媒
体を異なった厚みを有する他の媒体と交換する度毎に、供給装置を調節する必要
がない。可撓性を有する摩擦ホイール70は、媒体16をエンコーダ上のアイド
ルホイール76に圧接させる。アイドルホイール76は、エンコーダディスク7
4に固定されており、該エンコーダディスクの周囲には、一列の半径方向のマー
クが設けられており、該半径方向のマークは、エンコーダディスク74が透照さ
れた
時に、媒体の位置に関する情報を与える。この情報は、媒体を露光するための制
御ユニットにとって重要な情報である。実際の位置の決定は、従来技術であり、
これ以上詳細には説明しない。複数のホイールを上に述べたが、当業者は、その
ようなホイールを、媒体を横断する方向に設けられるローラ又は幾つかの並置さ
れたホイールによって形成することができることを理解することができよう。
第6図は、本発明の像レコーダすなわちイメージレコーダの好適な実施例を概
略的に示している。このレコーダは、2つの主要な部分、すなわち、ベース部分
100及び露光部分120を備えている。ベース部分100、並びに、露光部分
120は、圧縮空気源105に接続されている。露光部分120は、ベース部分
100の上方で垂直方向に移動可能に設けられている。露光部分120は、媒体
の送り方向を横断する方向に伸びるロッド124を有している。第2図に示すタ
イプの多数のミクロ機械的なチップが、ロッド124に設けられている。チップ
は、光源58から光導体55を介して光線を受け取る。制御ユニット126又は
制御装置が、媒体が露光される照射パターン、並びに、該照射パターンに応答す
る制御チップを備えている。エンコーダ装置又はけん引装置140は、第5図に
示すタイプのものである。けん引装置130は、可能な最善の位置決定を行うよ
うに、チップロッド124に関して配列されている。
媒体16は、コンベア110によって、ベース部分100と露光部分120との
間の空隙すなわちギャップの中へ移動され、別のコンベア112が、露光された
後の媒体16を受け取る。露光の間に、媒体は、けん引装置によって前進される
。
第7図は、第6図と同様のものを示すが、この第2図には、複数の機械的なガ
イド150が設けられており、これら機械的なガイドは、ベース部分100及び
露光部分120が、媒体に直交する方向においてのみ、互いに関して移動するこ
とを許容する。上記物体の間の距離は、与えられる空気圧を調節することにより
、圧縮空気源105によって調節することができる。
第8図は、媒体16の方を向いた露光部分120の面を示しており、摩擦ホイ
ール72を見ることができる。露光部分120は、傾斜した前縁部121を有し
ており、該前縁部は、ベース部分100の対応する傾斜した前縁部101と共に
、媒体16に対する漏斗状のガイド面の役割を果たす。複数のチップ122が固
定されているロッド124が、露光部分120露光面を横断している状態が見え
る。また、上記露光面には、該露光面で突出する凹所165を有する複数の圧縮
空気ノズル160が設けられている。これにより、圧縮空気が均一に分配され、
ベース部分の面と露光部分の面との間にエアクッションが形成され、上記両面に
は、圧縮空気ノズル160が設けられるのが好ましい。媒体が、ベース部分10
0
と露光部分120との間に供給されると、媒体16の両側にエアクッションが形
成され、上記媒体は、事実上摩擦を必要とせずに前方へ送ることができる。また
、媒体16とロッド124が設けられている面との間の距離は上手く決定され、
その距離は、露光部分120の質量、及び、ノズル160からの圧縮空気の圧力
にのみ依存する。
第9図は、チップ122を有するロッド124を示している。チップは、ロッ
ドの全幅に均一に露光が行われるように、互いにずらされている。各々のチップ
122は、第2図に示すタイプの照射チャンネルを約1.000程度有すること
ができ、そのような照射チャンネルは、第3図に示すように列状に配列されてい
る。
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(81)指定国 EP(AT,BE,CH,DE,
DK,ES,FR,GB,GR,IE,IT,LU,M
C,NL,PT,SE),OA(BF,BJ,CF,CG
,CI,CM,GA,GN,ML,MR,NE,SN,
TD,TG),AT,AU,BB,BG,BR,BY,
CA,CH,CZ,DE,DK,ES,FI,GB,H
U,JP,KP,KR,KZ,LK,LU,MG,MN
,MW,NL,NO,NZ,PL,PT,RO,RU,
SD,SE,SK,UA,US,VN
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1.中心波長(λ)を有する光エネルギで複数の穴(14)を照射することによ り照射を行い、前記光エネルギは、前記穴(14)を通過すると共に、該穴から ある距離(L)に設けられる媒体(16)を照射し、前記穴(14)は、各穴( 14)に関して、回折によって生ずる発散する光線束(28)をもたらすような 断面積を有している、媒体(16)上に点を照射する方法において、照射すべき 前記媒体(16)を前記穴(14)からある距離(L)に設け、これにより、前 記媒体(16)が、フレネル領域(27)とフラウンホーファー域(26)との 間の発散光線束(28)の遷移部に概ね位置するようにすることを特徴とする方 法。 2.媒体(16)に対して実質的に平行に設けられると共に中心波長(λ)にあ る光エネルギで照射される穴(14)を備え、前記光エネルギは、前記穴(14 )を通過して、該穴からある距離(L)に設けられ媒体(16)を照射し、前記 穴(14)は、各穴に関して、回折によって生ずる発散光線束(28)をもたら すような断面積を有している、媒体(16)上に点を照射する装置において、前 記穴(14)からの前記媒体(16)の距離は、該媒体(16)が光線束(28 )のフレネル領域(27)とフラウンホーファー領域(26)との間の遷移部の 周囲の領 域に概ね位置するように選択されることを特徴とする装置。 3.請求項2の装置において、前記穴(14)は、最も大きな横方向の寸法(2 R)を有しており、前記距離(L)は、 [R2/2λ乃至3R2/2λ]の範囲 にあることを特徴とする装置。 4.請求項2又は3の装置において、前記穴(14)は、実質的に直線的なライ ン(第3図、40乃至44)に沿って均一に分布され、実質的に一定の相対距離 (A)を有することを特徴とする装置。 5.請求項4の装置において、平行に伸長し、且つ、互いに変位(△)だけずれ ている幾つかの穴の列(40乃至44)を有することを特徴とする装置。 6.請求項5の装置において、前記穴の列(40乃至44)の数(N)は、前記 距離(A)の前記変位(△)に対する比に相当することを特徴とする装置。 7.請求項2乃至6のいずれかの装置において、媒体(16)の表面に点を選択 的に照射するようになされており、媒体(16)に関する所望の照射パターンに ついての情報を記憶する中央制御ユニット(126)を備え、各々の穴(14) は、照射チャンネル(第2図)によって形成され、複数の照射チャンネルを有す るユニット (第9図、122)を備え、前記照射チャンネルを介して前記媒体 上に点が照射され、 光エネルギを有する複数の照射チャンネルをもた らす光源(58)を備え、 前記ユニット (122)は、各照射チャンネルに関して、 前記光源(58)から受け取った光エネルギを強めるための光学的なレンズ要 素(20)と、 前記チャンネルを通る光エネルギの伝播を許容又は阻止する選択的に制御され る光学的なバルブ(24) と、 穴(14)の役割を果たすと共に、前記チャンネルによって形成された点の寸 法を決定する出口開口とを備えており、 前記中央制御ユニット(126)は、前記選択的に制御される光学的なバルブ 824)の各々に電気的に接続され、各々のチャンネルのエネルギの搬送を選択 的に制御することを特徴とする装置。 8.請求項7の装置において、前記光学的なバルブ(24)は、前記バルブの上 方に形成される電界によって制御されることを特徴とする装置。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DK0694/92 | 1992-05-26 | ||
DK92694A DK69492D0 (da) | 1992-05-26 | 1992-05-26 | Apparat til exponering af et medie, apparat til punktexponering af et medie, samt en indretning til fastholdelse af et medie |
PCT/DK1993/000180 WO1993024327A1 (en) | 1992-05-26 | 1993-05-25 | A method and an apparatus for illuminating points on a medium |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH08501640A true JPH08501640A (ja) | 1996-02-20 |
Family
ID=8096473
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP6500095A Pending JPH07507398A (ja) | 1992-05-26 | 1993-05-25 | 2つの物体の間に薄い媒体を保持するための方法及び装置 |
JP6500096A Pending JPH08501640A (ja) | 1992-05-26 | 1993-05-25 | 媒体上に点状に照射するための方法及び装置 |
Family Applications Before (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP6500095A Pending JPH07507398A (ja) | 1992-05-26 | 1993-05-25 | 2つの物体の間に薄い媒体を保持するための方法及び装置 |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US5579240A (ja) |
EP (2) | EP0642423B1 (ja) |
JP (2) | JPH07507398A (ja) |
AU (2) | AU4309693A (ja) |
DE (2) | DE69302172T2 (ja) |
DK (1) | DK69492D0 (ja) |
WO (2) | WO1993024326A1 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001519925A (ja) * | 1997-04-14 | 2001-10-23 | ディーコン エー/エス | 媒体の局所的照明のための照明ユニット及び方法 |
Families Citing this family (41)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR2721723B1 (fr) * | 1994-06-27 | 1996-09-20 | Cinema Magnetique Comm | Installation d'entraînement et de positionnement d'un film, en particulier en cours de gravure par faisceau laser. |
WO1997021151A1 (en) * | 1995-12-05 | 1997-06-12 | Dicon A/S | A method and an apparatus for illuminating points on a photosensitive medium |
DE19626176A1 (de) * | 1996-06-29 | 1998-01-08 | Deutsche Forsch Luft Raumfahrt | Lithographie-Belichtungseinrichtung und Lithographie-Verfahren |
KR100483596B1 (ko) * | 1996-12-23 | 2005-04-15 | 뉴 시스템 에스.알.엘. | 화상 지지재료로 또는 화상 지지재료로부터의 디지털 화상 전송 시스템 |
US6700598B1 (en) | 2000-04-25 | 2004-03-02 | Cortron Corporation | Digital imaging system employing non-coherent light source |
DE10035848A1 (de) * | 2000-07-24 | 2002-02-07 | Heidelberger Druckmasch Ag | Laserbebilderung mit variabler Druckpuktgröße |
JP4308412B2 (ja) * | 2000-07-31 | 2009-08-05 | 富士フイルム株式会社 | 露光制御方法及び走査露光装置 |
US7417782B2 (en) | 2005-02-23 | 2008-08-26 | Pixtronix, Incorporated | Methods and apparatus for spatial light modulation |
US20070205969A1 (en) | 2005-02-23 | 2007-09-06 | Pixtronix, Incorporated | Direct-view MEMS display devices and methods for generating images thereon |
US7405852B2 (en) | 2005-02-23 | 2008-07-29 | Pixtronix, Inc. | Display apparatus and methods for manufacture thereof |
US7502159B2 (en) | 2005-02-23 | 2009-03-10 | Pixtronix, Inc. | Methods and apparatus for actuating displays |
US7746529B2 (en) | 2005-02-23 | 2010-06-29 | Pixtronix, Inc. | MEMS display apparatus |
US7755582B2 (en) | 2005-02-23 | 2010-07-13 | Pixtronix, Incorporated | Display methods and apparatus |
US8159428B2 (en) | 2005-02-23 | 2012-04-17 | Pixtronix, Inc. | Display methods and apparatus |
US9261694B2 (en) | 2005-02-23 | 2016-02-16 | Pixtronix, Inc. | Display apparatus and methods for manufacture thereof |
US7304785B2 (en) * | 2005-02-23 | 2007-12-04 | Pixtronix, Inc. | Display methods and apparatus |
US9082353B2 (en) | 2010-01-05 | 2015-07-14 | Pixtronix, Inc. | Circuits for controlling display apparatus |
US7304786B2 (en) | 2005-02-23 | 2007-12-04 | Pixtronix, Inc. | Methods and apparatus for bi-stable actuation of displays |
US7616368B2 (en) | 2005-02-23 | 2009-11-10 | Pixtronix, Inc. | Light concentrating reflective display methods and apparatus |
US7675665B2 (en) | 2005-02-23 | 2010-03-09 | Pixtronix, Incorporated | Methods and apparatus for actuating displays |
US7742016B2 (en) | 2005-02-23 | 2010-06-22 | Pixtronix, Incorporated | Display methods and apparatus |
US7999994B2 (en) | 2005-02-23 | 2011-08-16 | Pixtronix, Inc. | Display apparatus and methods for manufacture thereof |
US9158106B2 (en) | 2005-02-23 | 2015-10-13 | Pixtronix, Inc. | Display methods and apparatus |
US8482496B2 (en) | 2006-01-06 | 2013-07-09 | Pixtronix, Inc. | Circuits for controlling MEMS display apparatus on a transparent substrate |
US7271945B2 (en) * | 2005-02-23 | 2007-09-18 | Pixtronix, Inc. | Methods and apparatus for actuating displays |
US8519945B2 (en) | 2006-01-06 | 2013-08-27 | Pixtronix, Inc. | Circuits for controlling display apparatus |
US9229222B2 (en) | 2005-02-23 | 2016-01-05 | Pixtronix, Inc. | Alignment methods in fluid-filled MEMS displays |
US8310442B2 (en) | 2005-02-23 | 2012-11-13 | Pixtronix, Inc. | Circuits for controlling display apparatus |
US8526096B2 (en) | 2006-02-23 | 2013-09-03 | Pixtronix, Inc. | Mechanical light modulators with stressed beams |
US7876489B2 (en) | 2006-06-05 | 2011-01-25 | Pixtronix, Inc. | Display apparatus with optical cavities |
US20080094853A1 (en) | 2006-10-20 | 2008-04-24 | Pixtronix, Inc. | Light guides and backlight systems incorporating light redirectors at varying densities |
DE102006059818B4 (de) | 2006-12-11 | 2017-09-14 | Kleo Ag | Belichtungsanlage |
US9176318B2 (en) | 2007-05-18 | 2015-11-03 | Pixtronix, Inc. | Methods for manufacturing fluid-filled MEMS displays |
US7852546B2 (en) | 2007-10-19 | 2010-12-14 | Pixtronix, Inc. | Spacers for maintaining display apparatus alignment |
US8248560B2 (en) | 2008-04-18 | 2012-08-21 | Pixtronix, Inc. | Light guides and backlight systems incorporating prismatic structures and light redirectors |
US8520285B2 (en) | 2008-08-04 | 2013-08-27 | Pixtronix, Inc. | Methods for manufacturing cold seal fluid-filled display apparatus |
US8169679B2 (en) | 2008-10-27 | 2012-05-01 | Pixtronix, Inc. | MEMS anchors |
DE102009032210B4 (de) | 2009-07-03 | 2011-06-09 | Kleo Ag | Bearbeitungsanlage |
BR112012019383A2 (pt) | 2010-02-02 | 2017-09-12 | Pixtronix Inc | Circuitos para controlar aparelho de exibição |
US20120101343A1 (en) * | 2010-10-21 | 2012-04-26 | Duffy Thomas P | Medical imaging device |
US9134552B2 (en) | 2013-03-13 | 2015-09-15 | Pixtronix, Inc. | Display apparatus with narrow gap electrostatic actuators |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
IT939738B (it) * | 1970-08-12 | 1973-02-10 | Rank Organisation Ltd | Dispositivo di illuminazione per la stampa fotolitografica dei componenti di microcircuiti |
US4032927A (en) * | 1972-05-19 | 1977-06-28 | Canon Kabushiki Kaisha | High density optical recording apparatus |
US3797907A (en) * | 1972-09-18 | 1974-03-19 | Us Navy | Fresnel lens scatter plate for data reduction holography |
US4130338A (en) * | 1976-08-16 | 1978-12-19 | Rca Corporation | Hologram having expanded viewing area |
JPS58200275A (ja) * | 1982-05-18 | 1983-11-21 | Dainippon Printing Co Ltd | パタ−ン状フレネルホログラムの製造方法 |
US4536883A (en) * | 1982-11-30 | 1985-08-20 | The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy | Method and apparatus for molecular imaging using X-rays at resonance wavelengths |
JPH0619280B2 (ja) * | 1983-09-24 | 1994-03-16 | 名古屋大学長 | 光学式自動位置決め装置 |
US4701006A (en) * | 1985-02-20 | 1987-10-20 | Stanford University | Optical-digital hologram recording |
JPS6221223A (ja) * | 1985-07-19 | 1987-01-29 | Shimadzu Corp | 軟x線用投影結像装置 |
US5325176A (en) * | 1988-02-16 | 1994-06-28 | Canon Kabushiki Kaisha | Position detecting method and apparatus including Fraunhofer diffraction detector |
US4947413A (en) * | 1988-07-26 | 1990-08-07 | At&T Bell Laboratories | Resolution doubling lithography technique |
DE3826375A1 (de) * | 1988-08-03 | 1990-02-22 | Agfa Gevaert Ag | Computer-output-mikrofilm-printer |
-
1992
- 1992-05-26 DK DK92694A patent/DK69492D0/da not_active Application Discontinuation
-
1993
- 1993-05-25 AU AU43096/93A patent/AU4309693A/en not_active Abandoned
- 1993-05-25 DE DE69302172T patent/DE69302172T2/de not_active Expired - Lifetime
- 1993-05-25 WO PCT/DK1993/000179 patent/WO1993024326A1/en active IP Right Grant
- 1993-05-25 JP JP6500095A patent/JPH07507398A/ja active Pending
- 1993-05-25 WO PCT/DK1993/000180 patent/WO1993024327A1/en active IP Right Grant
- 1993-05-25 JP JP6500096A patent/JPH08501640A/ja active Pending
- 1993-05-25 DE DE69305340T patent/DE69305340T2/de not_active Expired - Lifetime
- 1993-05-25 AU AU43097/93A patent/AU4309793A/en not_active Abandoned
- 1993-05-25 US US08/343,479 patent/US5579240A/en not_active Expired - Lifetime
- 1993-05-25 EP EP93912665A patent/EP0642423B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1993-05-25 EP EP93912664A patent/EP0643645B1/en not_active Expired - Lifetime
-
1997
- 1997-06-24 US US08/879,681 patent/US6025867A/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001519925A (ja) * | 1997-04-14 | 2001-10-23 | ディーコン エー/エス | 媒体の局所的照明のための照明ユニット及び方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH07507398A (ja) | 1995-08-10 |
EP0642423A1 (en) | 1995-03-15 |
DE69302172D1 (de) | 1996-05-15 |
WO1993024326A1 (en) | 1993-12-09 |
US5579240A (en) | 1996-11-26 |
DE69302172T2 (de) | 1996-10-02 |
EP0642423B1 (en) | 1996-10-09 |
DE69305340T2 (de) | 1997-02-20 |
WO1993024327A1 (en) | 1993-12-09 |
US6025867A (en) | 2000-02-15 |
DK69492D0 (da) | 1992-05-26 |
AU4309693A (en) | 1993-12-30 |
EP0643645A1 (en) | 1995-03-22 |
EP0643645B1 (en) | 1996-04-10 |
DE69305340D1 (de) | 1996-11-14 |
AU4309793A (en) | 1993-12-30 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JPH08501640A (ja) | 媒体上に点状に照射するための方法及び装置 | |
KR101820558B1 (ko) | 넓은 영역에 나노 구조체를 생산하기 위한 시스템 및 방법 | |
US4668080A (en) | Method and apparatus for forming large area high resolution patterns | |
US7616363B2 (en) | Method and apparatus for mass production of holograms | |
US4789222A (en) | Illuminating optical system | |
EP0571972A2 (en) | Afocal optical system and multibeam recording apparatus comprising the same | |
KR20060051252A (ko) | 리소그래피 장치 및 디바이스 제조방법 | |
JP2005203697A (ja) | マルチビーム露光装置 | |
EP0127045A2 (en) | Apparatus for producing a light source of required shape | |
US8780426B2 (en) | Exposure apparatus and image forming apparatus having hologram elements | |
US6411366B2 (en) | Exposure device for printing plates including digitally controlled micromirror picture-generating unit and method of triggering same | |
US8436885B2 (en) | Apparatus for generating spatially modulated light and image recording apparatus | |
KR100311443B1 (ko) | 고균일성의내부전반사홀로그램제조방법및장치 | |
JP2003524196A (ja) | 空間変調器におけるエッジ効果を除去するための結像装置および方法 | |
CA1229011A (en) | System and method for projecting multiple images directly onto printing plates | |
EP0829035B1 (en) | Scanning-slit exposure device | |
JP2501053B2 (ja) | 紫外パルスレ―ザによる投影式露光方法 | |
JP3302979B2 (ja) | 印刷用刷版の画素密度複数段露光方法及びその装置 | |
KR19990088194A (ko) | 내부전반사홀로그래픽기록및이미징장치및홀로그램을형성하고홀로그램으로부터이미지를재구성하는방법 | |
JPH0580272A (ja) | 光照射装置 | |
JP3273139B1 (ja) | 印刷用刷版の画素密度複数段順次露光方法及びその装置 | |
JP2002131675A (ja) | 露光記録装置 | |
JPH06250109A (ja) | 光拡張装置及び画像走査記録装置 | |
JPH0684741A (ja) | 半導体レーザ露光装置 | |
JPH10278345A (ja) | 画像記録装置 |