JPH0846007A - Heating apparatus - Google Patents
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- JPH0846007A JPH0846007A JP18127494A JP18127494A JPH0846007A JP H0846007 A JPH0846007 A JP H0846007A JP 18127494 A JP18127494 A JP 18127494A JP 18127494 A JP18127494 A JP 18127494A JP H0846007 A JPH0846007 A JP H0846007A
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- Die Bonding (AREA)
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- Intermediate Stations On Conveyors (AREA)
Abstract
Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、チップがボンドにより
ボンディングされた基板を加熱することにより、ボンド
を硬化させるキュア炉や基板上に電子部品を半田付けす
るリフロー炉等の加熱装置に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a heating device such as a curing furnace for curing a bond by heating a substrate to which a chip is bonded by a bond or a reflow furnace for soldering an electronic component on the substrate. is there.
【0002】[0002]
【従来の技術】チップがボンドによりボンディングされ
た基板をキュア炉へ送り、ボンドを加熱して硬化させる
ことが行われる。以下、従来の加熱装置として、キュア
炉を例にとって説明する。2. Description of the Related Art A substrate on which chips are bonded by a bond is sent to a curing oven, and the bond is heated and cured. Hereinafter, a curing furnace will be described as an example of a conventional heating device.
【0003】図6は従来のキュア炉の主要構成を示す斜
視図である。1は加熱室であり、その内部には4個の搬
送コンベア2,3,4,5が配設されている。これらの
搬送コンベア2,3,4,5はベルトコンベアであっ
て、基板6を支持するためのラック9がピッチをおいて
突設されている。なおモータなどのこれらの搬送コンベ
ア2〜5の駆動系は省略している。搬送コンベア2と搬
送コンベア3は横並びに配設されており、その間のラッ
ク9に基板6を載せて、基板6を下部から上部へ搬送す
る。すなわちこの2つの搬送コンベア2,3は第1の搬
送コンベア部を構成している。また搬送コンベア4,5
は搬送コンベア2,3の奥部に並設されており、その間
のラック9に基板6を載せて、基板6を上部から下部へ
搬送する。すなわちこの2つの搬送コンベア4,5は第
2の搬送コンベア部を構成している。FIG. 6 is a perspective view showing the main structure of a conventional curing furnace. Reference numeral 1 denotes a heating chamber, in which four transfer conveyors 2, 3, 4, 5 are arranged. These transfer conveyors 2, 3, 4, 5 are belt conveyors, and racks 9 for supporting the substrates 6 are provided in a protruding manner with a pitch. Incidentally, the drive system of these conveyors 2 to 5 such as a motor is omitted. The transport conveyor 2 and the transport conveyor 3 are arranged side by side, and the substrate 6 is placed on the rack 9 between them to transport the substrate 6 from the lower part to the upper part. That is, the two transfer conveyors 2 and 3 form a first transfer conveyor section. In addition, conveyors 4, 5
Are arranged side by side in the back of the conveyors 2 and 3, and the substrate 6 is placed on the rack 9 between them and the substrate 6 is conveyed from the upper part to the lower part. That is, the two conveyors 4 and 5 form a second conveyor section.
【0004】チップ7がボンド8によりボンディングさ
れた基板6は、加熱室1の外部から搬送コンベア2,3
の下部のラック9上に送り込まれ(矢印N1参照)、こ
れらの搬送コンベア2,3により下部から上部へ搬送さ
れる。これらの搬送コンベア2,3の最上部へ到達した
基板6は、押送子17により矢印N方向へ押送されて搬
送コンベア4,5の間のラック9上へ送り込まれ、この
搬送コンベア4,5により上部から下部へ向って搬送さ
れた後、加熱室1の外部へ搬出される(矢印N2参
照)。加熱室1の内部にはヒータ(図示せず)が設けら
れており、基板6は上述のように加熱室1内を搬送され
る間に加熱されてボンド8は硬化する。The substrate 6 to which the chip 7 is bonded by the bond 8 is transferred from the outside of the heating chamber 1 to the conveyors 2 and 3.
Is fed onto the rack 9 below (see arrow N1), and is transported from the bottom to the top by these transport conveyors 2 and 3. The substrate 6 that has reached the uppermost portion of the transport conveyors 2 and 3 is pushed in the direction of the arrow N by the pusher 17 and is fed onto the rack 9 between the transport conveyors 4 and 5, and is conveyed by the transport conveyors 4 and 5. After being conveyed from the upper part to the lower part, it is carried out of the heating chamber 1 (see arrow N2). A heater (not shown) is provided inside the heating chamber 1, and the substrate 6 is heated while being transported in the heating chamber 1 as described above, so that the bond 8 is cured.
【0005】次に、基板6を矢印N方向へ押送する押送
機構について説明する。加熱室1の上部には長尺の水平
なガイドロッド11が加熱室1内を貫通して配設されて
いる。このガイドロッド11はブロック12,13によ
ってスライド自在に取り付けられている。加熱室1の外
側にはロッド14と摺動子15が図示しない取付具によ
って取り付けられている。このロッド14と摺動子15
はロッドレスシリンダであって、摺動子15はロッド1
4に沿って摺動する。この摺動子15は、加熱室から突
出しているガイドロッド11の後部に連結されている。Next, a pushing mechanism for pushing the substrate 6 in the direction of arrow N will be described. At the upper part of the heating chamber 1, a long horizontal guide rod 11 is arranged so as to penetrate through the heating chamber 1. The guide rod 11 is slidably attached by blocks 12 and 13. A rod 14 and a slider 15 are attached to the outside of the heating chamber 1 by a fixture not shown. This rod 14 and slider 15
Is a rodless cylinder, and the slider 15 is a rod 1
Slide along 4 The slider 15 is connected to the rear portion of the guide rod 11 protruding from the heating chamber.
【0006】またガイドロッド11の下方にはシャフト
16がガイドロッド11に摺動自在な取付具22に固定
されている。このシャフト16の前部には押送子17が
装着されており、後部にはドグ18が装着されている。
またシャフト16の後部を保持する保持体19にはドグ
18を検知する光学的なセンサ20が装着されている。
保持体19は摺動子15の下部に固定されている。保持
体19と取付具22の間のシャフト16にはスプリング
21が装着されており、そのばね力によりシャフト16
はその長手方向へ弾発されている。Below the guide rod 11, a shaft 16 is fixed to a fitting 22 which is slidable on the guide rod 11. A pusher 17 is attached to the front portion of the shaft 16 and a dog 18 is attached to the rear portion thereof.
An optical sensor 20 for detecting the dog 18 is attached to a holder 19 that holds the rear portion of the shaft 16.
The holder 19 is fixed to the lower part of the slider 15. A spring 21 is attached to the shaft 16 between the holding body 19 and the fixture 22, and the spring force causes the shaft 16 to move.
Is rapped in its longitudinal direction.
【0007】したがって、ロッドレスシリンダの摺動子
15が右方へ摺動すると、ガイドロッド11、シャフト
16および押送子17も右方へ移動する。これにより、
押送子17は搬送コンベア2,3上の基板6を搬送コン
ベア4,5上へ押送する。ここで、押送中に基板6が何
かに引っかかるなどすると、押送子17には大きな異常
負荷がかかり、この異常負荷のためにシャフト16はス
プリング21を圧縮しなから相対的に後退する。このた
めシャフト16と一体のドグ18はセンサ20から脱出
し(鎖線で示すドグ18を参照)、センサ20はこれを
検出する。そこでセンサ20の検出信号により、ブザー
を警鳴するなどして、作業者に異常事態が発生したこと
を報知する。Therefore, when the slider 15 of the rodless cylinder slides to the right, the guide rod 11, shaft 16 and pusher 17 also move to the right. This allows
The pusher 17 pushes the substrate 6 on the conveyors 2 and 3 onto the conveyors 4 and 5. Here, if the substrate 6 is caught by something during the pushing, a large abnormal load is applied to the pushing element 17, and due to this abnormal load, the shaft 16 relatively retracts because it does not compress the spring 21. Therefore, the dog 18 integrated with the shaft 16 escapes from the sensor 20 (see the dog 18 shown by the chain line), and the sensor 20 detects this. Therefore, the detection signal of the sensor 20 alerts the operator that an abnormal situation has occurred by, for example, sounding a buzzer.
【0008】[0008]
【発明が解決しようとする課題】以上のように従来のキ
ュア炉は、押送子17に加わる異常負荷を検出すること
により、押送時のトラブルを検出するものであるが、従
来の押送機構には次のような問題点があった。すなわち
長尺のガイドロッド11を加熱室1の上部に水平に配設
しており、ガイドロッド11は加熱室1から大きく突出
しているため、ガイドロッド11の長手方向に大きな設
置スペースを必要とするという問題点があった。また基
板6が大型の場合は、押送子17による押送ストローク
を長くせねばならず、押送ストロークを長くとるために
は、シャフト16を長大化する必要があるが、シャフト
16が長大・重量化すると、シャフト16は小さな負荷
では移動できず、したがって押送子17に作用する異常
負荷をドグ18とセンサ20で感度よく検出するのが困
難になり、ひいては押送時のトラブルを迅速・確実に検
出できないという問題点があった。As described above, the conventional curing furnace detects a trouble at the time of pushing by detecting the abnormal load applied to the pushing element 17, but the conventional pushing mechanism has a problem. There were the following problems. That is, since the long guide rod 11 is horizontally arranged above the heating chamber 1, and the guide rod 11 largely projects from the heating chamber 1, a large installation space is required in the longitudinal direction of the guide rod 11. There was a problem. Further, when the substrate 6 is large, the pushing stroke by the pushing element 17 must be lengthened, and in order to lengthen the pushing stroke, it is necessary to lengthen the shaft 16, but if the shaft 16 becomes large and heavy. Since the shaft 16 cannot move with a small load, it becomes difficult to detect an abnormal load acting on the pusher 17 with the dog 18 and the sensor 20 with high sensitivity, and it is impossible to detect a trouble at the time of pushing quickly and reliably. There was a problem.
【0009】そこで本発明は、省スペース化を図れる加
熱装置を提供することを第1の目的とする。また押送時
のトラブルを迅速・確実に検出できる加熱装置を提供す
ることを第2の目的とする。Therefore, it is a first object of the present invention to provide a heating device which can save space. A second object of the present invention is to provide a heating device that can detect troubles during pushing quickly and reliably.
【0010】[0010]
【課題を解決するための手段】このために本発明は、加
熱室と、加熱室の内部に配設され押送子によって押送さ
れる基板を案内する案内部と、押送子を基板の押送方向
へ変位自在に保持し、加熱室内を案内部に沿って往復移
動自在な往復移動部材と、往復移動部材をけん引ひもに
よりけん引して往復移動させる往復移動手段と、押送子
を基板の押送方向側へ付勢する付勢体と、押送子の変位
を加熱室の外へ伝達する伝達手段と、この変位を加熱室
の外で検出する検出手段を設けたものである。To this end, the present invention is directed to a heating chamber, a guide portion disposed inside the heating chamber for guiding a substrate to be pushed by a pusher, and the pusher in the substrate pushing direction. A reciprocating member which holds the heater displaceably and can reciprocate in the heating chamber along the guide portion, a reciprocating member for reciprocating the reciprocating member by pulling the reciprocating member with a towing string, and a pusher in the pushing direction of the substrate. An urging body for urging, a transmission means for transmitting the displacement of the pusher element to the outside of the heating chamber, and a detection means for detecting the displacement outside the heating chamber are provided.
【0011】[0011]
【作用】上記構成によれば、けん引ひもを加熱室に沿わ
せて張帯することにより、全体を小型コンパクトに構成
できる。また押送子に作用する異常負荷を感度よく迅速
・確実に検出できる。According to the above construction, the towed string is stretched along the heating chamber so that the whole can be made compact and compact. In addition, an abnormal load acting on the pusher can be detected with high sensitivity, speed and reliability.
【0012】[0012]
【実施例】次に、図面を参照しながら本発明の一実施例
の加熱装置をキュア炉を例にとって説明する。図1は本
発明の一実施例のキュア炉の斜視図、図2は同断面図、
図3、図4、図5は同部分側面図である。なお各図にお
いて、基板の押送機構以外の構成は上記従来例と同じで
あり、したがって上記従来例と同一部品には同一符号を
付すことにより説明は省略する。図2において、25は
基板6を加熱室1内へ搬入するための入口、26は基板
6を加熱室1外へ搬送するための出口である。また図3
は、第1の搬送コンベア部としての搬送コンベア2,3
のラック(案内部)9に載せられた基板6が下部から上
部へ搬送されている様子を示している。なお入口25か
ら基板6を加熱室1内へ搬入する機構や、出口26から
搬出する機構などの周知機構は省略している。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Next, a heating apparatus according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings, taking a curing furnace as an example. 1 is a perspective view of a curing furnace according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a sectional view of the same,
3, 4, and 5 are partial side views of the same. In each drawing, the configuration other than the board pushing mechanism is the same as that of the above-mentioned conventional example, and therefore, the same parts as those of the above-mentioned conventional example are denoted by the same reference numerals and the description thereof is omitted. In FIG. 2, 25 is an inlet for loading the substrate 6 into the heating chamber 1, and 26 is an outlet for transporting the substrate 6 outside the heating chamber 1. See also FIG.
Is a transport conveyor 2 or 3 as a first transport conveyor section.
The substrate 6 placed on the rack (guide portion) 9 is being conveyed from the lower part to the upper part. Note that well-known mechanisms such as a mechanism for loading the substrate 6 into the heating chamber 1 through the inlet 25 and a mechanism for unloading the substrate 6 through the outlet 26 are omitted.
【0013】次に、基板6を第1の搬送コンベア部(搬
送コンベア2,3)から第2の搬送コンベア部(搬送コ
ンベア4,5)へ押送する押送機構について説明する。
図1および図2において、加熱室1の上面にはガイドレ
ール31と、このガイドレール31上を磁気力により摺
動する摺動子32が設けられている。このガイドレール
31と摺動子32はロッドレスシリンダを構成してい
る。摺動子32上にはフレーム33が設置されている。
図4において、フレーム33の内部には光学的なセンサ
(変位検出手段)34とドグ35が設けられている。ド
グ35はフレーム33の左側の内面に固設されている。
センサ34はばね材(付勢体)36により横方向に前進
後退自在に弾持されている。Next, a pushing mechanism for pushing the substrate 6 from the first transport conveyor section (transport conveyors 2, 3) to the second transport conveyor section (transport conveyors 4, 5) will be described.
1 and 2, a guide rail 31 and a slider 32 that slides on the guide rail 31 by a magnetic force are provided on the upper surface of the heating chamber 1. The guide rail 31 and the slider 32 form a rodless cylinder. A frame 33 is installed on the slider 32.
In FIG. 4, an optical sensor (displacement detecting means) 34 and a dog 35 are provided inside the frame 33. The dog 35 is fixed to the inner surface on the left side of the frame 33.
The sensor 34 is elastically supported by a spring member (biasing body) 36 so as to be able to move forward and backward in the lateral direction.
【0014】図1および図2において、加熱室1の上部
にはプーリ37,38,39,40が配設されている。
これらのプーリ37〜40には、けん引ひもとしての2
本の第1のワイヤ41が張帯されている。なおけん引ひ
もとしては、ワイヤ以外にも、チェンやベルトなども用
いられる。図1において加熱室1の内部の上部には移動
子(往復移動部材)42が設けられている。この移動子
42は、水平な2本のガイドロッド43にスライド自在
に保持されている。2本の第1のワイヤ41の一端部は
この移動子42に取り付けられ、他端部はフレーム33
にそれぞれ取り付けられている。図1および図5におい
て、移動子42の側面にはプレート49が装着されてい
る。このプレート49にはレバー状の押送子45がピン
46により回転自在に軸着されている。プレート49と
押送子45はスプリング47で結合されており、このス
プリング47のばね力により、押送子45はプレート4
9に突設されたピン状のストッパ48に押当している。In FIGS. 1 and 2, pulleys 37, 38, 39, 40 are arranged above the heating chamber 1.
These pulleys 37-40 have two
A first wire 41 of the book is stretched. In addition to the wire, a chain or a belt may be used as the tow string. In FIG. 1, a mover (reciprocating member) 42 is provided in the upper part inside the heating chamber 1. The mover 42 is slidably held by two horizontal guide rods 43. One ends of the two first wires 41 are attached to the mover 42, and the other ends are connected to the frame 33.
Attached to each. In FIGS. 1 and 5, a plate 49 is attached to the side surface of the moving element 42. A lever-shaped pusher 45 is rotatably attached to the plate 49 by a pin 46. The plate 49 and the pusher element 45 are connected by a spring 47. The spring force of the spring 47 causes the pusher element 45 to move to the plate 4
It is pressed against a pin-shaped stopper 48 projecting from the plate 9.
【0015】図1および図2において、50は第2のワ
イヤ(伝達手段)であって、その一端部は押送子45に
取り付けられている。この第2のワイヤ50は加熱室1
の側部に設けられたプーリ51,52を周回し、上記セ
ンサ34に取り付けられている(図4も参照)。従って
押送子45が変位すると、この変位は第2のワイヤ50
によって加熱室1の外へ伝達される。In FIG. 1 and FIG. 2, 50 is a second wire (transmitting means), one end of which is attached to the pusher 45. This second wire 50 is the heating chamber 1
It is attached to the sensor 34 by rotating around pulleys 51 and 52 provided on the side of the sensor (see also FIG. 4). Therefore, when the pusher 45 is displaced, this displacement is caused by the second wire 50.
Is transmitted to the outside of the heating chamber 1.
【0016】このキュア炉は上記のように構成されてお
り、次に全体の動作を説明する。図1において、矢印N
1で示すように搬送コンベア2,3の間のラック9上へ
搬入された基板6は、下部から上部へ向って搬送される
(図2の矢印N3参照)。搬送コンベア2,3の最上部
まで搬送された基板6は、その奥部の搬送コンベア4,
5の間のラック9上へ押送される(図2の矢印N4参
照)。The curing furnace is constructed as described above, and the overall operation will be described below. In FIG. 1, an arrow N
The substrate 6 carried onto the rack 9 between the conveyors 2 and 3 as indicated by 1 is conveyed from the lower part to the upper part (see arrow N3 in FIG. 2). The substrate 6 transported to the top of the transport conveyors 2 and 3 has the transport conveyors 4 and
It is pushed onto the rack 9 between 5 (see arrow N4 in FIG. 2).
【0017】この押送は次のようにして行われる。すな
わち図2において、ロッドレスシリンダを構成する摺動
子32がガイドレール31上を左方へ摺動する。すると
第1のワイヤ41は矢印N5方向へ回動し、これにより
移動子42(図1)は右方へ移動する。すると押送子4
5は移動子42と一体的に右方(N4方向)へ移動し、
その下端部で基板6を搬送コンベア2,3から搬送コン
ベア4,5へ押送する。搬送コンベア4,5のラック9
上へ押送された基板6は、搬送コンベア4,5の回動に
より上部から下部へ搬送される(図2の矢印N6参
照)。そして搬送コンベア4,5の最下部に達すると、
出口26から加熱室1の外部へ搬出される(図2の矢印
N2参照)。なお基板6を搬送コンベア4,5上へ押送
した押送子45は、摺動子32が右方へ摺動することに
より、図2に示す原位置に復帰する。This pushing is performed as follows. That is, in FIG. 2, the slider 32 forming the rodless cylinder slides leftward on the guide rail 31. Then, the first wire 41 rotates in the direction of the arrow N5, whereby the mover 42 (FIG. 1) moves to the right. Then pusher 4
5 moves to the right (N4 direction) integrally with the mover 42,
At its lower end, the substrate 6 is pushed from the conveyors 2, 3 to the conveyors 4, 5. Rack 9 of conveyors 4 and 5
The substrate 6 pushed upward is transported from the upper portion to the lower portion by the rotation of the transport conveyors 4 and 5 (see arrow N6 in FIG. 2). When it reaches the bottom of the conveyors 4, 5,
It is carried out of the heating chamber 1 through the outlet 26 (see arrow N2 in FIG. 2). The pusher 45 that has pushed the substrate 6 onto the conveyors 4 and 5 returns to the original position shown in FIG. 2 when the slider 32 slides to the right.
【0018】次に、押送時のトラブル発生時の動作につ
いて説明する。上述のように、押送子45が基板6を押
送する際に、基板6が搬送コンベア2〜5のベルト部分
に引っかかるなどして、押送子45に大きな異常負荷が
作用することがある。この場合、図5において鎖線で示
すように、押送子45はこの異常負荷のために、スプリ
ング47を伸長させながらピン46を中心に時計方向に
回転して変位する。すると第2のワイヤ50は矢印N7
方向に引かれ、図4に示すセンサ34はばね材36を圧
縮しながら右方へ移動し、ドグ35から脱出してこれを
検出する。そこでセンサ34の出力信号により、ブザー
(図示せず)を警鳴するなどして作業者に異常状態が発
生したことを知らせ、あるいは装置の運転を停止する。
そこで作業者はこの異常状態に対する対応処理をとる。
このように本装置によれば、押送時のトラブル発生を迅
速・確実に検出でき、したがって事後の対応も迅速に行
うことができる。Next, the operation when trouble occurs during pushing will be described. As described above, when the pusher 45 pushes the substrate 6, the substrate 6 may be caught by the belt portions of the conveyors 2 to 5, and a large abnormal load may act on the pusher 45. In this case, as indicated by the chain line in FIG. 5, the pusher 45 is displaced by rotating clockwise around the pin 46 while extending the spring 47 due to this abnormal load. Then, the second wire 50 has an arrow N7.
Pulled in the direction, the sensor 34 shown in FIG. 4 moves to the right while compressing the spring member 36, escapes from the dog 35, and detects this. Therefore, the output signal of the sensor 34 alerts the operator that an abnormal state has occurred by, for example, sounding a buzzer (not shown), or stops the operation of the apparatus.
Therefore, the worker takes countermeasures against this abnormal state.
As described above, according to the present device, the occurrence of a trouble at the time of pushing can be detected swiftly and surely, and therefore, the after-action can be swiftly performed.
【0019】本発明は上記実施例に限定されないもので
あって、例えばドグ35を第2のワイヤ50に取り付
け、センサ34をフレーム33側に固定してもよい。ま
た変位検出手段としては、光学的なセンサ34とは異な
る方式または原理でこの変位を検出できるものでもよ
い。さらに本発明はキュア炉以外にも、基板に電子部品
を半田付けするリフロー装置にも適用できる。The present invention is not limited to the above embodiment, and for example, the dog 35 may be attached to the second wire 50 and the sensor 34 may be fixed to the frame 33 side. Further, the displacement detecting means may be one that can detect this displacement by a method or principle different from that of the optical sensor 34. Furthermore, the present invention can be applied not only to the curing furnace but also to a reflow device for soldering electronic components to a board.
【0020】[0020]
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、第
1の搬送コンベア部から第2の搬送コンベア部へ押送子
により基板を押送する際のトラブルを、迅速・確実に感
度よく検出することができる。またワイヤなどのけん引
ひもを加熱室に沿うように張帯することにより、全体を
コンパクト化でき、省スペース化を図れる。As described above, according to the present invention, a trouble in pushing a substrate from a first transport conveyor section to a second transport conveyor section by a pusher can be detected quickly and reliably with high sensitivity. be able to. In addition, by stretching a tow string such as a wire along the heating chamber, the whole can be made compact and space can be saved.
【図1】本発明の一実施例のキュア炉の斜視図FIG. 1 is a perspective view of a curing furnace according to an embodiment of the present invention.
【図2】本発明の一実施例のキュア炉の断面図FIG. 2 is a sectional view of a curing furnace according to an embodiment of the present invention.
【図3】本発明の一実施例のキュア炉の部分側面図FIG. 3 is a partial side view of a curing furnace according to an embodiment of the present invention.
【図4】本発明の一実施例のキュア炉の部分側面図FIG. 4 is a partial side view of a curing furnace according to an embodiment of the present invention.
【図5】本発明の一実施例のキュア炉の部分側面図FIG. 5 is a partial side view of the curing furnace according to the embodiment of the present invention.
【図6】従来のキュア炉の主要構成を示す斜視図FIG. 6 is a perspective view showing a main configuration of a conventional curing furnace.
1 加熱室 2,3 搬送コンベア(第1の搬送コンベア部) 4,5 搬送コンベア(第2の搬送コンベア部) 6 基板 7 チップ 8 ボンド 31 ガイドレール(往復移動手段) 32 摺動子(往復移動手段) 34 センサ(変位検出手段) 35 ドグ(変位検出手段) 41 第1のワイヤ 45 押送子 50 第2のワイヤ DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 heating chamber 2,3 transfer conveyor (1st transfer conveyor part) 4,5 transfer conveyor (2nd transfer conveyor part) 6 board 7 chip 8 bond 31 guide rail (reciprocating movement means) 32 slider (reciprocating movement) Means) 34 sensor (displacement detecting means) 35 dog (displacement detecting means) 41 first wire 45 pusher 50 second wire
Claims (3)
送子によって押送される基板を案内する案内部と、前記
押送子を基板の押送方向へ変位自在に保持し、前記加熱
室内を前記案内部に沿って往復移動自在な往復移動部材
と、前記往復移動部材をけん引ひもによりけん引して往
復移動させる往復移動手段と、前記押送子を基板の押送
方向側へ付勢する付勢体と、前記押送子の変位を前記加
熱室の外へ伝達する伝達手段と、この変位を前記加熱室
の外で検出する検出手段を備えたことを特徴とする加熱
装置。1. A heating chamber, a guide portion disposed inside the heating chamber for guiding a substrate to be pushed by a pusher, and the pusher held so as to be displaceable in the pushing direction of the substrate. A reciprocating member capable of reciprocating along the guide portion, a reciprocating means for reciprocating the reciprocating member by pulling the reciprocating member with a towing string, and a biasing force for urging the pusher element in the pushing direction side of the substrate. A heating device comprising: a body, a transmission means for transmitting the displacement of the pusher element to the outside of the heating chamber, and a detection means for detecting the displacement outside the heating chamber.
する請求項1記載の加熱装置。2. The heating device according to claim 1, wherein the transmitting means is a wire.
から上部へ向って搬送する第1の搬送コンベア部と、こ
の第1の搬送コンベア部に並設されて前記基板を上部か
ら下部へ向って搬送する第2の搬送コンベア部と、前記
第1の搬送コンベア部から前記第2の搬送コンベア部へ
前記基板を押送する押送手段とを備えた加熱装置であっ
て、 前記押送手段が、前記加熱室の内部の上部に押送方向へ
往復移動自在に取り付けられた往復移動部材と、この往
復移動部材に基板の押送方向へ変位自在に配設された押
送子と、この押送子をけん引ひもによりけん引して前記
第1の搬送コンベア部と前記第2の搬送コンベア部の間
を往復移動させる往復移動手段とから成り、かつ前記押
送子が前記基板を前記第1の搬送コンベア部から前記第
2の搬送コンベア部へ押送する際に、異常負荷による変
位を加熱室の外へ伝達する伝達手段と、この変位を前記
加熱室の外で検出する変位検出手段とを備えたことを特
徴とする加熱装置。3. A heating chamber, a first transfer conveyor section for transferring the substrate from the lower part to the upper part in the heating chamber, and the first transfer conveyor section which is arranged in parallel with the substrate from the upper part. A heating device comprising: a second transfer conveyor section that transfers downwardly; and a transfer means that transfers the substrate from the first transfer conveyor section to the second transfer conveyor section. The reciprocating member is attached to the upper part inside the heating chamber so as to be reciprocally movable in the pushing direction, the reciprocating member is disposed on the reciprocating member so as to be displaceable in the pushing direction of the substrate, and the pushing member is And a reciprocating means for reciprocating between the first transfer conveyor section and the second transfer conveyor section by pulling with a tow string, and the pusher moves the substrate from the first transfer conveyor section. The second transport controller A heating device comprising: a transmission unit that transmits a displacement due to an abnormal load to the outside of the heating chamber when the sheet is pushed to the bare portion; and a displacement detection unit that detects the displacement outside the heating chamber.
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2009035415A (en) * | 2007-08-06 | 2009-02-19 | Daifuku Co Ltd | Sliding resistance detection device and monitoring device of article side pushing body in slat conveyor |
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- 1994-08-02 JP JP18127494A patent/JP3111818B2/en not_active Expired - Fee Related
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