JPH08338909A - Color filter and its production - Google Patents
Color filter and its productionInfo
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- JPH08338909A JPH08338909A JP17021295A JP17021295A JPH08338909A JP H08338909 A JPH08338909 A JP H08338909A JP 17021295 A JP17021295 A JP 17021295A JP 17021295 A JP17021295 A JP 17021295A JP H08338909 A JPH08338909 A JP H08338909A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、カラー液晶表示装置、
その他のカラ−表示装置等に使用されるカラーフィルタ
およびその製造法に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION The present invention relates to a color liquid crystal display device,
The present invention relates to a color filter used for other color display devices and the like and a manufacturing method thereof.
【０００２】[0002]
【従来の技術】カラー液晶表示装置は、例えば、ガラス
等の透明基板上にブラックマトリックス、カラーフィル
タ、透明電極をこの順に形成したカラーフィルタ基板の
透明電極上に配向膜を形成した基板と、ＴＦＴ等のスイ
ッチング素子と画素透明電極を配置した基板上に配向膜
を形成して成る基板を、それぞれの配向膜面を対向さ
せ、その間にスペーサーを介して貼り合わせたセル中に
液晶を封入したものを２枚の偏光板にて挟んだ構造から
なるものである。而して、上記のカラーフィルタは、透
明基板上に、赤、緑、青等の着色画像をモザイク状また
はスロット状ましくはストライプ状等に配置した構造で
あり、必要に応じてブラックマトリックスや、ブラック
マトリックス層やカラーフィルタ層を覆う透明保護層を
有し、この上層に、ＩＴＯ等の透明導電層を形成した構
造からなるものである。また、自動車の速度計や回転計
等においては、黄色、シアン色、マゼンタ色、黒色等の
多色画像が基板上に設けられた構造からなるものであ
る。従来、このような基板上に多色画像を形成するに
は、種々の方法が提案されている。例えば、カラー液晶
表示装置用のカラーフィルタの製造方法について述べる
と、支持体としてはガラス基板等の透明基板を用い、
（ａ）染色法、（ｂ）印刷法、（ｃ）電着法、（ｄ）特
開昭６０−１２９７０７号公報等に記載されているよう
に、着色した感光性樹脂の塗布、露光、現像の繰り返し
による着色感材法、（ｅ）特開昭６１−９９１０２号公
報等に記載されているように、着色したドライフィルム
状感光性材料を用い、感光性着色層を基板上にラミネー
ト、露光、現像を繰り返すドライフィルム法等が挙げら
れる。上記の（ｄ）の着色感材法について更に詳しく説
明すると、図１は、着色感材法の各工程における層構成
を示す断面図であり、同図に示すように、ガラス基板１
００の上に着色感光性材料層１０１を形成し、次に、各
矢印Ｘ、Ｙ、Ｚで示すように、遮光膜１０２を有するフ
ォトマスク１０３を介して紫外線１０４で上記の着色感
光性材料層１０１をパタ−ン露光し、しかる後非露光部
分の着色感光性材料層１０１を溶解する現像液にてウエ
ット現像して、一色の着色パタ−ン１０５を形成し、而
してこれを繰り返すことによって、例えば、赤色Ｒ、青
色Ｂ、緑色Ｇの複数色からなる着色パタ−ン１０６を形
成して、カラ−フィルタを製造することができるもので
ある。上記の（ｄ）の着色感材法は、物性の優れた顔料
を着色剤として用いることができ、また精度、品質が満
足でき、製造工程も比較的簡便なことから、現在、主流
となるに至っているものである。上記の（ｄ）の着色感
材法の改良法として、上記の（ｅ）のドライフィルム法
か提案されており、この方法は、着色感光性樹脂液の塗
布の代わりに、予め、フィルム上に塗布、乾燥しておい
た着色感光性材料層を基板上に転写する方式であり、材
料の利用効率、製造工程の速度、感光液排液処理の不要
等の長所が挙げられる。2. Description of the Related Art A color liquid crystal display device includes, for example, a substrate in which an alignment film is formed on a transparent electrode of a color filter substrate in which a black matrix, a color filter and a transparent electrode are formed in this order on a transparent substrate such as glass, and a TFT. In which a liquid crystal is enclosed in a cell in which an alignment film is formed on a substrate on which switching elements such as a pixel and a pixel transparent electrode are arranged, the alignment film surfaces are opposed to each other, and a spacer is interposed between the substrates. Is sandwiched between two polarizing plates. Thus, the color filter has a structure in which colored images of red, green, blue and the like are arranged in a mosaic shape, a slot shape or a stripe shape on a transparent substrate, and a black matrix or It has a transparent protective layer covering the black matrix layer and the color filter layer, and a transparent conductive layer such as ITO is formed on the transparent protective layer. Further, in a speedometer, a tachometer, and the like of an automobile, a multicolor image of yellow, cyan, magenta, black or the like is provided on a substrate. Conventionally, various methods have been proposed for forming a multicolor image on such a substrate. For example, to describe a method for manufacturing a color filter for a color liquid crystal display device, a transparent substrate such as a glass substrate is used as a support,
(A) dyeing method, (b) printing method, (c) electrodeposition method, (d) coating, exposing, and developing of a colored photosensitive resin as described in JP-A-60-129707. And (e) using a colored dry film-like photosensitive material as described in JP-A-61-99102, laminating and exposing a photosensitive coloring layer on a substrate. , A dry film method in which development is repeated, and the like. The above (d) colored sensitizing material method will be described in more detail. FIG. 1 is a cross-sectional view showing the layer structure in each step of the colored sensitizing material method. As shown in FIG.
00 to form a colored photosensitive material layer 101, and then, as shown by arrows X, Y, and Z, the colored photosensitive material layer 101 is exposed to ultraviolet rays 104 through a photomask 103 having a light-shielding film 102. 101 is subjected to pattern exposure, and then wet development is performed with a developing solution that dissolves the colored photosensitive material layer 101 in the non-exposed portion to form a colored pattern 105 of one color, and this is repeated. By this, for example, a colored pattern 106 composed of a plurality of colors of red R, blue B, and green G can be formed to manufacture a color filter. The above-mentioned (d) method of coloring and sensitizing dye can be used as a coloring agent with a pigment having excellent physical properties, is satisfactory in accuracy and quality, and is relatively simple in manufacturing process. It has arrived. As a method for improving the colored photosensitive material method of (d) above, a dry film method of (e) above has been proposed, and this method is preliminarily formed on the film instead of applying the colored photosensitive resin liquid. This is a method of transferring a coated and dried colored photosensitive material layer onto a substrate, and has advantages such as material utilization efficiency, manufacturing process speed, and no need for drainage of a photosensitive solution.
【０００３】[0003]
【発明が解決しようとする課題】しかし、基本的には、
上記の（ｄ）の着色感材法、（ｅ）のドライフィルム法
等は、いずれも着色感光性材料層の形成、露光、現像液
による現像を繰り返す方式であり、また、現像時の着色
残渣や、着色した現像排液の処理等の問題の他に、現像
液によるウエット処理自体が、薬液を多量に用いるこ
と、また細かくは現像、リンス、乾燥の３工程が少なく
とも必要であること、現像と一言でいうには複雑な処理
である等の問題点を有しているものである。また、これ
らの方法で用いられる感光性材料は、製造工程で現像用
薬剤として有機溶剤を多用することを避けるため、水溶
性もしくはアルカリ水溶液可溶性の材料が用いられる場
合か多いが、一方でき上がった着色パターンにはアルカ
リに対する強い耐性か要求され、材料設計上の矛盾点と
なる問題点もある。そこで本発明は、上記のようなウエ
ットな現像処理に代わって、乾式で、なおかつ簡便な方
法で現像の操作を行うことにより、感光性材料の選択の
幅を広くし、また上記の（ｄ）の着色感材法の利点であ
る、物性の優れた顔料を着色剤として用いることがで
き、また精度、品質等を満足できる点をそのままにし
て、より簡便な製造法を提供するものである。[Problems to be Solved by the Invention] However, basically,
The above-mentioned (d) colored photosensitive material method, (e) dry film method, and the like are both methods in which formation of a colored photosensitive material layer, exposure, and development with a developing solution are repeated. In addition to the problems such as the treatment of colored developing waste liquid, the wet treatment with the developing solution itself requires the use of a large amount of chemical solution, and more specifically, at least three steps of developing, rinsing and drying are required. In short, it has problems such as complicated processing. In addition, the photosensitive material used in these methods is often a water-soluble or alkaline aqueous solution-soluble material in order to avoid excessive use of an organic solvent as a developing agent in the manufacturing process. The pattern is required to have strong resistance to alkali, and there is a problem that it becomes a contradiction in material design. Therefore, the present invention broadens the range of selection of the photosensitive material by performing the development operation by a dry and simple method instead of the wet development processing as described above, and further, the above (d) The present invention provides a simpler manufacturing method, while leaving the advantage that the pigment having excellent physical properties, which is an advantage of the colored sensitizing material method, can be used as a coloring agent, and that accuracy, quality and the like can be satisfied.
【０００４】[0004]
【課題を解決するための手段】本発明者は、上記のよう
な問題点を解決すべく鋭意研究した結果、先に、紫外線
透過性のフィルム状の仮支持体上に少なくとも所定の色
に着色された感光性材料を塗布して、着色感光性材料層
を形成し、更に該着色感光性材料層の面に被覆シ−トを
圧着して感光性フィルムを構成し、次に該感光性フィル
ムにパターン露光して予め感光性フィルムの着色感光性
材料層をパタ−ン化し、次いで該感光性フィルムから被
覆シ−トを剥離し、しかる後基板の表面に該感光性フィ
ルムの着色感光性材料層面を対向させて圧着し、しかる
後仮支持体を該基板より剥離すると同時に露光により感
光し、硬化した部分の着色感光性材料層も仮支持体と共
に剥離し、他方、未感光部分の着色感光性材料層を基板
上に転移させ、該基板上に転移した着色感光性材料層を
硬化させて着色パターンを形成することからなる工程
を、複数回繰り返して、複数色からなる着色パターンを
基板上に形成することによって、ウエットな現像処理に
代えて乾式で、かつ簡単な現像操作により、また感光性
材料の選択の幅を広くし、特に物性の優れた顔料を着色
剤として使用することができ、品質等に満足し得るカラ
−フィルタを製造し得ることを見出したものである。Means for Solving the Problems As a result of earnest studies to solve the above problems, the present inventor first colored at least a predetermined color on a UV-transparent film-like temporary support. The colored photosensitive material is applied to form a colored photosensitive material layer, and a coating sheet is pressure-bonded to the surface of the colored photosensitive material layer to form a photosensitive film, and then the photosensitive film is formed. Patterning the colored photosensitive material layer of the photosensitive film in advance, and then the coating sheet is peeled off from the photosensitive film, and then the colored photosensitive material of the photosensitive film is formed on the surface of the substrate. The layer surfaces are opposed to each other and pressure-bonded, and then the temporary support is peeled off from the substrate and at the same time exposed by exposure to light, and the colored photosensitive material layer in the cured portion is also peeled together with the temporary support, while the unexposed portion is colored and exposed. Of the conductive material layer onto the substrate, By repeating the step of curing the colored photosensitive material layer transferred to the plate to form a colored pattern a plurality of times to form a colored pattern of a plurality of colors on the substrate, a wet development process can be performed. Instead, it is a dry method, and by a simple developing operation, the range of selection of the photosensitive material can be widened, and a pigment having particularly excellent physical properties can be used as a colorant, and a color filter satisfying the quality etc. can be obtained. It has been found that it can be manufactured.
【０００５】本発明者は、上記のカラ−フィルタの製造
法について更に鋭意研究した結果、上記の発明のよう
に、紫外線透過性のフィルム状の仮支持体上に少なくと
も所定の色に着色された感光性材料を塗布して、着色感
光性材料層を形成し、更に該着色感光性材料層の面に被
覆シ−トを圧着してなる感光性フィルムに代えて、仮支
持体上に、まず、光硬化性接着剤層を設け、この上に所
定の色に着色された感光性材料を塗布、乾燥して着色感
光性材料層を形成し、更に該着色感光性材料層の面に被
覆シ−トを圧着してなる感光性フィルムを製造し、該感
光性フィルムを使用して上記の発明と同様に行って、複
数色からなる着色パタ−ンを基板上に形成したところ、
各色を構成する着色感光性材料層のエッジを極めてシャ
−プに形成することができ、かつ確実にパタ−ニングす
ることができ、これによって、極めて解像性に富む精度
の高い着色パタ−ンを形成し得ることを見出して本発明
を完成したものである。As a result of further intensive research on the method for producing the above-mentioned color filter, the present inventor has shown that, as in the above-mentioned invention, the film-like temporary support which is transparent to ultraviolet rays is colored in at least a predetermined color. A photosensitive material is applied to form a colored photosensitive material layer, and the surface of the colored photosensitive material layer is further pressure-bonded with a coating sheet. A photo-curable adhesive layer is provided, a photosensitive material colored in a predetermined color is applied onto the adhesive layer and dried to form a colored photosensitive material layer, and the surface of the colored photosensitive material layer is further coated with a coating material. -A photosensitive film formed by pressure-bonding the photosensitive resin film is produced, and the photosensitive film is used in the same manner as in the above invention to form a colored pattern composed of a plurality of colors on a substrate.
The edges of the colored photosensitive material layers forming the respective colors can be formed in an extremely sharp shape and can be reliably patterned, whereby a highly accurate colored pattern with extremely high resolution can be obtained. The present invention has been completed by finding that the above can be formed.
【０００６】すなわち、本発明は、仮支持体上に少なく
とも光硬化性接着剤層と該光硬化性接着剤層の上に所定
の色に着色された感光性材料を塗布、乾燥して着色感光
性材料層とを形成し、更に該着色感光性材料層の面に被
覆シ−トを圧着してなる感光性フィルムを製造し、次に
該感光性フィルムの光硬化性接着剤層と着色感光性材料
層をパターン露光し、次いで該感光性フィルムの被覆シ
−トを剥離し、しかる後該感光性フィルムを基板の表面
にその着色感光性材料層面を対向させて圧着し、次に該
感光性フィルムを露光した部分の光硬化性接着剤層と着
色感光性材料層と共に該基板より剥離し、他方、上記の
感光性フィルムの少なくとも未露光部分の着色感光性材
料層を該基板に転移し、次いで、該基板上に転移した着
色感光性材料層を硬化させて着色パターンを形成するこ
とからなる工程を繰り返して、複数色からなる着色パタ
ーンを基板上に形成することを特徴とするカラーフィル
タの製造法である。That is, according to the present invention, at least a photo-curable adhesive layer is applied on a temporary support, and a photosensitive material colored in a predetermined color is applied on the photo-curable adhesive layer and dried to obtain a colored photosensitive material. To form a photosensitive material layer, and further press-coating a coating sheet on the surface of the colored photosensitive material layer to produce a photosensitive film. Next, a photocurable adhesive layer of the photosensitive film and a colored photosensitive material are produced. Pattern exposure of the photosensitive material layer, and then peeling off the coating sheet of the photosensitive film, and then the photosensitive film is pressure-bonded to the surface of the substrate so that the colored photosensitive material layer surface is opposed, and then the photosensitive film is exposed. The photosensitive film is peeled from the substrate together with the photocurable adhesive layer and the colored photosensitive material layer in the exposed portion, while the colored photosensitive material layer in at least the unexposed portion of the photosensitive film is transferred to the substrate. Then, the colored photosensitive material layer transferred onto the substrate is formed. Repeat step consisting of forming a colored pattern by reduction, is a colored pattern composed of a plurality of colors method of producing a color filter, which comprises forming on the substrate.
【０００７】また、本発明は、基板の上に、仮支持体上
に少なくとも光硬化性接着剤層とこの上に設けた所定の
色に着色され、かつパタ−ン露光した感光性材料による
着色感光性材料層を有する感光性フィルムの該未露光部
分の着色感光性材料層が転移、硬化した複数色からなる
着色パターンを設けたことを特徴とするカラーフィルタ
である。Further, the present invention is based on the provision of at least a photocurable adhesive layer on a temporary support on a substrate and a predetermined color provided on the photocurable adhesive layer, and coloring by a pattern-exposed photosensitive material. The color filter is characterized in that a colored pattern of a plurality of colors obtained by transferring and curing the colored photosensitive material layer in the unexposed portion of the photosensitive film having the photosensitive material layer is provided.
【０００８】[0008]
【作用】本発明は、乾式の感光性フィルムの光硬化性接
着剤層と着色感光性材料層を予めパタ−ン露光し、しか
る後その非露光面の着色感光性材料層を基板に転移、硬
化等の工程を繰り返して複数色からなる着色パターンを
基板上に形成することにより、湿式による現像工程を不
要とし、かつ工程を簡略化し、更に、乾式の状態で操作
することにより、カラ−フィルタを製造するものであ
り、更に光硬化性接着剤層を採用していることから、パ
タ−ン露光により、光硬化性接着剤層と共に着色感光性
材料層が露光され、その剥離に際し、露光部分と非露光
部分との境界で明確に剥離され、また露光によって光硬
化性接着剤層と共に着色感光性材料層が硬化し、その両
者が、更には仮支持体と強固に固着して硬化した部分の
着色感光性材料層を確実に剥離することができ、この結
果、各色を構成する着色感光性材料層のエッジをきわめ
てシャ−プニ形成することができ、かつ確実にパタ−ニ
ングすることができ、極めて解像性に富む精度の高い着
色パタ−ンを形成することができるものである。According to the present invention, the photocurable adhesive layer and the colored photosensitive material layer of the dry type photosensitive film are previously pattern-exposed, and then the colored photosensitive material layer on the non-exposed surface is transferred to the substrate, By repeating the steps such as curing to form a colored pattern consisting of a plurality of colors on the substrate, the wet development process is not required, and the process is simplified. Further, by operating in a dry state, a color filter can be obtained. In addition, since the photocurable adhesive layer is used, the colored photosensitive material layer is exposed together with the photocurable adhesive layer by pattern exposure, and when exposed, the exposed portion is exposed. And the non-exposed portion is clearly peeled off, and the light-curable adhesive layer and the colored photosensitive material layer are cured by exposure, and both are further firmly fixed to the temporary support and cured. Of the colored photosensitive material layer As a result, the edges of the colored photosensitive material layers forming the respective colors can be extremely sharpened, and the patterning can be reliably performed, resulting in an extremely high resolution. It is possible to form a highly colored pattern.
【０００９】[0009]
【本発明の詳細な説明】上記の本発明について以下に更
に詳しく説明する。まず、本発明にかかるカラ−フィル
タの製造法について説明する。図２ないし図４は、本発
明にかかるカラ−フィルタの製造法の各工程における層
構成を示す断面図である。図２に示すように、まず、仮
支持体１の上に光硬化性接着剤層２を形成し、次に該光
硬化性接着剤層２の上に所定の色に着色されている感光
性材料を塗布、乾燥して着色感光性材料層３を形成し、
更に該着色感光性材料層３の面に被覆シ−ト４をロ−ル
５、５間を通して圧着して感光性フィルム６を製造す
る。次に、矢印Ａに示すように、上記で製造した感光性
フィルム６の着色感光性材料層３に、遮光膜７を有する
フォトマスク８を介して紫外線９で、該感光性フィルム
６の仮支持体１を通してパタ−ン露光して、該感光性フ
ィルム６の光硬化性接着剤層２と着色感光性材料層３に
露光部分と非露光部分とからなる露光パタ−ンを形成す
る。次いで、矢印Ｂに示すように、上記で露光した感光
性フィルム６の被覆シ−ト４を引き剥がし、しかる後基
板１０を用意してその表面を洗浄後、該基板１０の上
に、上記の感光性フィルム６の着色感光性材料層３の面
が対向するように重ね合わせ二本のロ−ル１１、１１間
を通してその両者を加熱加圧して圧着する。次に、矢印
Ｃで示すように、上記で基板１０と感光性フィルム６と
を圧着した後、感光性フィルム６を露光して感光した部
分の光硬化性接着剤層１２と着色感光性材料層１３と共
に基板１０より剥離し、他方、上記の感光性フィルム６
の未露光の部分の着色感光性材料層１４を基板１０の上
に転移する。すなわち、露光した部分の着色感光性材料
層１３は、基板１０に接着されることなく仮支持体１と
共に剥離される。次いで、矢印Ｄで示すように、上記で
基板１０の上に転移した着色感光性材料層１４を加熱、
あるいは露光等によって該着色感光性材料層１４を構成
している樹脂等のビヒクルを硬化させて、基板１０の上
に第１色目の着色パタ−ン１５を形成する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The present invention described above will be described in more detail below. First, a method for manufacturing a color filter according to the present invention will be described. 2 to 4 are cross-sectional views showing the layer structure in each step of the manufacturing method of the color filter according to the present invention. As shown in FIG. 2, first, the photo-curable adhesive layer 2 is formed on the temporary support 1, and then the photo-curable adhesive layer 2 is formed on the photo-curable adhesive layer 2 in a predetermined color. The material is applied and dried to form the colored photosensitive material layer 3,
Further, the coating sheet 4 is pressed on the surface of the colored photosensitive material layer 3 through the rolls 5 and 5 to manufacture the photosensitive film 6. Next, as shown by an arrow A, the colored photosensitive material layer 3 of the photosensitive film 6 produced above is temporarily supported by the ultraviolet rays 9 through the photomask 8 having the light-shielding film 7 with the photosensitive film 6. A pattern exposure is carried out through the body 1 to form an exposure pattern consisting of an exposed portion and an unexposed portion on the photocurable adhesive layer 2 and the colored photosensitive material layer 3 of the photosensitive film 6. Then, as shown by an arrow B, the covering sheet 4 of the above-exposed photosensitive film 6 is peeled off, after which the substrate 10 is prepared and the surface thereof is washed, and then the above-mentioned substrate 10 is covered with the above-mentioned material. The two layers 11 and 11 are overlapped with each other so that the surfaces of the colored photosensitive material layer 3 of the photosensitive film 6 face each other, and both of them are heated and pressed to be pressure bonded. Next, as shown by an arrow C, after the substrate 10 and the photosensitive film 6 are pressure-bonded to each other as described above, the photocurable adhesive layer 12 and the colored photosensitive material layer of the exposed portion of the photosensitive film 6 are exposed. 13 is peeled from the substrate 10 together with the photosensitive film 6
Of the unexposed portion of the colored photosensitive material layer 14 is transferred onto the substrate 10. That is, the exposed portion of the colored photosensitive material layer 13 is peeled off together with the temporary support 1 without being adhered to the substrate 10. Then, as shown by an arrow D, the colored photosensitive material layer 14 transferred above the substrate 10 is heated,
Alternatively, a vehicle such as a resin forming the colored photosensitive material layer 14 is cured by exposure or the like to form the first colored pattern 15 on the substrate 10.
【００１０】次に、本発明においては、図３に示すよう
に、仮支持体１の上に、上記と同様にして光硬化性接着
剤層２を形成し、次いで該光硬化性接着剤層２の上に、
上記で使用した感光性フィルム６とは別の色に着色され
ている感光性材料を塗布、乾燥して着色感光性材料層
３′を形成し、更に該着色感光性材料層３′の面に被覆
シ−ト４をロ−ル５、５間を通して圧着して感光性フィ
ルム６′を製造する。次に、矢印Ｅで示すように、上記
で製造した感光性フィルム６′の光硬化性接着剤層２と
着色感光性材料層３′に、遮光膜７を有するフォトマス
ク８を介して紫外線９で、該感光性フィルム６′の仮支
持体１を通してパタ−ン露光して、該感光性フィルム
６′の光硬化性接着剤層２と着色感光性材料層３′に露
光部分と非露光部分とからなる露光パタ−ンを形成す
る。この露光に際しては、前記の基板１０の上に形成し
てある着色パタ−ン１５に隣接する位置に相当する部分
の着色感光性材料層３′が露光されず未露光部分を形成
するように露光する。次いで、矢印Ｆに示すように、上
記で露光した感光性フィルム６′の被覆シ−ト４を引き
剥がし、しかる後前記で第１色目の着色パタ−ン１５を
形成した基板１０の上に、上記の感光性フィルム６′の
着色感光性材料層３′の面が対向するように重ね合わせ
二本のロ−ル１１、１１間を通してその両者を加熱加圧
して圧着する。しかる後、矢印Ｇで示すように、上記で
基板１０と感光性フィルム６′とを密接着させた後、感
光性フィルム６′を露光で感光した部分の光硬化性接着
剤層１２′と着色感光性材料層１３′と共に基板１０よ
り剥離し、他方、上記の感光性フィルム６′の未露光の
部分の着色感光性材料層１４′を基板１０の上で、かつ
着色感光性材料層１５に隣接する位置に転移する。すな
わち、露光した部分の着色感光性材料層１３′は、基板
１０に接着されることなく仮支持体１と共に剥離され
る。次いで、矢印Ｈで示すように、上記で基板１０の上
に転移した着色感光性材料層１４′を加熱、あるいは露
光等によって該着色感光性材料層１４′を構成している
樹脂等のビヒクルを硬化させて、基板１０の上に第１色
目の着色パタ−ン１５に隣接する位置に第２色目の着色
パタ−ン１５′を形成する。Next, in the present invention, as shown in FIG. 3, a photocurable adhesive layer 2 is formed on the temporary support 1 in the same manner as described above, and then the photocurable adhesive layer is formed. On top of 2,
A photosensitive material colored in a color different from that of the photosensitive film 6 used above is applied and dried to form a colored photosensitive material layer 3 ', and further, on the surface of the colored photosensitive material layer 3'. The coated sheet 4 is pressed through the rolls 5 and 5 to produce a photosensitive film 6 '. Next, as shown by an arrow E, ultraviolet rays 9 are applied to the photocurable adhesive layer 2 and the colored photosensitive material layer 3'of the above-prepared photosensitive film 6'through a photomask 8 having a light shielding film 7. Then, pattern exposure is carried out through the temporary support 1 of the photosensitive film 6 ', and the photo-curable adhesive layer 2 and the colored photosensitive material layer 3'of the photosensitive film 6'are exposed and unexposed. To form an exposure pattern. During this exposure, the portion of the colored photosensitive material layer 3'corresponding to the position adjacent to the colored pattern 15 formed on the substrate 10 is not exposed and exposed so as to form an unexposed portion. To do. Then, as shown by an arrow F, the covering sheet 4 of the photosensitive film 6'exposed above is peeled off, and then, on the substrate 10 on which the colored pattern 15 of the first color is formed, The colored film 3'of the photosensitive film 6'is overlapped so that the surfaces thereof face each other, and the two rolls are passed through between the two rolls 11 and 11 by heating and pressurizing them. Thereafter, as indicated by arrow G, the substrate 10 and the photosensitive film 6'are closely adhered to each other as described above, and then the photosensitive film 6'is colored with the photocurable adhesive layer 12 'exposed to light. The colored photosensitive material layer 13 ′ is peeled off from the substrate 10 together with the photosensitive material layer 13 ′, while the colored photosensitive material layer 14 ′ in the unexposed portion of the photosensitive film 6 ′ is formed on the substrate 10 and as the colored photosensitive material layer 15. Transpose to an adjacent position. That is, the exposed portion of the colored photosensitive material layer 13 ′ is peeled off together with the temporary support 1 without being adhered to the substrate 10. Then, as indicated by an arrow H, the colored photosensitive material layer 14 ′ transferred onto the substrate 10 is heated or exposed to light to form a vehicle such as a resin that constitutes the colored photosensitive material layer 14 ′. After curing, a second-color coloring pattern 15 ′ is formed on the substrate 10 at a position adjacent to the first-color coloring pattern 15.
【００１１】次に、本発明においては、図４に示すよう
に、仮支持体１の上に、更に上記と同様にして光硬化性
接着剤層２を形成し、次に該光硬化性接着剤層２の上
に、上記で使用した感光性フィルム６および感光性フィ
ルム６′とは別の色に着色されている感光性材料を塗
布、乾燥して着色感光性材料層３″を形成し、更に該着
色感光性材料層３″の面に被覆シ−ト４をロ−ル５、５
間を通して圧着して感光性フィルム６″を製造する。次
に、矢印Ｉで示すように、上記で製造した感光性フィル
ム６″の光硬化性接着剤層２と着色感光性材料層３″
に、遮光膜７を有するフォトマスク８を介して紫外線９
で、該感光性フィルム６″の仮支持体１を通してパタ−
ン露光して、該感光性フィルム６″の光硬化性接着剤層
２と着色感光性材料層３″に露光部分と非露光部分とか
らなる露光パタ−ンを形成する。この露光に際しては、
前記の基板１０の上に形成してある着色パタ−ン１５、
１５′に隣接する位置に相当する部分の着色感光性材料
層３″が露光されず未露光部分を形成するように露光す
る。次いで、矢印Ｊに示すように、上記で露光した感光
性フィルム６″の被覆シ−ト４を引き剥がし、しかる後
前記で第１色目の着色パタ−ン１５と第２色目の着色パ
タ−ン１５′を形成した基板１０の上に、上記の感光性
フィルム６″の着色感光性材料層３″の面が対向するよ
うに重ね合わせ二本のロ−ル１１、１１間を通してその
両者を加熱加圧して圧着する。しかる後、矢印Ｋで示す
ように、上記で基板１０と感光性フィルム６″とを密接
着させた後、感光性フィルム６″を露光で感光した部分
の光硬化性接着剤層１２″と着色感光性材料層１３″と
共に基板１０より剥離し、他方、上記の感光性フィルム
６″の未露光の部分の着色感光性材料層１４″を基板１
０の上で、かつ第１色目の着色パタ−ン１５、第２色目
の着色パタ−ン１５′に隣接する位置に転移する。すな
わち、露光した部分の着色感光性材料層１３″は、基板
１０に接着されることなく仮支持体１と共に剥離され
る。次いで、矢印Ｌで示すように、上記で基板１０の上
に転移した着色感光性材料層１４″を加熱、あるいは露
光等によって該着色感光性材料層１４″を構成している
樹脂等のビヒクルを硬化させて、基板１０の上に第１色
目と第２色目の着色パタ−ン１５、１５′に隣接する位
置に第３色目の着色パタ−ン１５″を形成する。而し
て、本発明においては、上記のように着色パタ−ンを形
成する工程を繰り返すことによって、複数色からなる着
色パタ−ンを基板上に形成してカラ−フィルタを製造す
ることができるものである。Next, in the present invention, as shown in FIG. 4, a photocurable adhesive layer 2 is further formed on the temporary support 1 in the same manner as above, and then the photocurable adhesive layer 2 is formed. On the agent layer 2, a photosensitive material colored differently from the photosensitive film 6 and the photosensitive film 6'used above is applied and dried to form a colored photosensitive material layer 3 ". Further, the coating sheet 4 is rolled on the surface of the colored photosensitive material layer 3 ″ by rolls 5 and 5.
A photosensitive film 6 ″ is manufactured by pressing through the gaps. Then, as indicated by an arrow I, the photocurable adhesive layer 2 and the colored photosensitive material layer 3 ″ of the photosensitive film 6 ″ manufactured as described above are manufactured.
Then, through the photomask 8 having the light shielding film 7, ultraviolet rays 9
Then, the pattern is passed through the temporary support 1 of the photosensitive film 6 ″.
After exposure, the light-curable adhesive layer 2 and the colored photosensitive material layer 3 "of the photosensitive film 6" are formed with an exposure pattern composed of an exposed portion and a non-exposed portion. In this exposure,
A colored pattern 15 formed on the substrate 10;
The exposed portion of the colored photosensitive material layer 3 ″ corresponding to the position adjacent to 15 ′ is exposed so as to form an unexposed portion. Then, as indicated by arrow J, the exposed photosensitive film 6 is exposed. The coating sheet 4 of "" is peeled off, and then the above-mentioned photosensitive film 6 is placed on the substrate 10 on which the first color coloring pattern 15 and the second color coloring pattern 15 'are formed. The "colored photosensitive material layer 3" of "" is superposed so that the surfaces thereof face each other, and the two are passed through between the two rolls 11 and 11 and heated and pressed to be pressed. Thereafter, as indicated by arrow K, the substrate 10 and the photosensitive film 6 ″ are closely adhered to each other as described above, and then the photosensitive film 6 ″ is colored with the photocurable adhesive layer 12 ″ exposed to light. It is peeled from the substrate 10 together with the photosensitive material layer 13 ″, while the colored photosensitive material layer 14 ″ in the unexposed portion of the photosensitive film 6 ″ is formed on the substrate 1.
0, and it is transferred to a position adjacent to the first-color coloring pattern 15 and the second-color coloring pattern 15 '. That is, the exposed portion of the colored photosensitive material layer 13 ″ is peeled off together with the temporary support 1 without being adhered to the substrate 10. Then, as indicated by an arrow L, the colored photosensitive material layer 13 ″ is transferred onto the substrate 10 as described above. The colored photosensitive material layer 14 ″ is heated or exposed to light to cure a vehicle such as a resin forming the colored photosensitive material layer 14 ″, and the first and second colors are colored on the substrate 10. A third colored pattern 15 "is formed at a position adjacent to the patterns 15 and 15 '. Thus, in the present invention, the color filter can be manufactured by forming the colored pattern of a plurality of colors on the substrate by repeating the steps of forming the colored pattern as described above. It is a thing.
【００１２】図５は、本発明にかかるカラ−フィルタの
層構成を示す断面図である。本発明にかかるカラ−フィ
ルタは、図５に示すように、上記で形成した着色パタ−
ン１５、１５′、１５″のそれぞれを赤色、青色、緑色
とすれば、基板１０の上に赤色の着色パタ−ンＲ、青色
の着色パタ−ンＢ、緑色の着色パタ−ンＧの三色が隣接
した平滑状の着色パタ−ン１６を設けた構成からなるも
のである。FIG. 5 is a sectional view showing the layer structure of the color filter according to the present invention. The color filter according to the present invention is, as shown in FIG. 5, a colored pattern formed as described above.
If each of the colors 15, 15, ′ and 15 ″ is red, blue and green, there are three colored patterns R, R, B and G on the substrate 10. It has a configuration in which smooth colored patterns 16 having adjacent colors are provided.
【００１３】次に、本発明に使用する材料について詳細
に説明する。本発明で使用する着色した感光性材料のた
めの仮支持体としては、フレキシブルであり、紫外線に
対しある程度以上の透過性を有し、加圧、加熱化で著し
い変形、収縮、伸びを生じないことか必要である。この
ような仮支持体の例としては、例えば、ポリエチレンテ
レフタレートフィルム、ポリエーテルサルフオンフィル
ム、ポリフェニレンスルフィドフィルムおよびそれらの
アニール品や２軸延伸品があげられ、そのなかで２軸延
伸ポリエチレンテレフタレートフィルムか優れている。
仮支持体の厚さとしては２〜１００μｍが好ましく、ま
た、基板の表面の凹凸への追従性を考慮すると３０μｍ
以下か好ましい。Next, the materials used in the present invention will be described in detail. As a temporary support for the colored photosensitive material used in the present invention, it is flexible, has a certain degree of transparency to ultraviolet rays, and does not cause significant deformation, shrinkage, or elongation under pressure or heating. That is necessary. Examples of such a temporary support include, for example, polyethylene terephthalate film, polyether sulfone film, polyphenylene sulfide film and their annealed products and biaxially stretched products. Among them, biaxially stretched polyethylene terephthalate film is used. Are better.
The thickness of the temporary support is preferably 2 to 100 μm, and is 30 μm in consideration of the ability to follow irregularities on the surface of the substrate.
The following is preferable.
【００１４】次に本発明においては、上記の仮支持体の
上に、光硬化性接着剤層を直接もしくは、紫外線透過性
を有する熱可塑性樹脂層を介して設ける。上記の熱可塑
性樹脂層は、凹凸のある基板に対し下地の凹凸の吸収層
として設けるものである。この場合、熱可塑性樹脂層と
しては、仮支持体と十分な接着性を有していることが必
要である。このような熱可塑性樹脂層層は、高分子材料
溶液を仮支持体に塗布することにて形成できる。適当な
ポリマーとしては、軟化点が８０℃以下であることが好
ましく、塩化ビニル／酢酸ビニル共重合体やエチレン／
アクリル酸エステル共重合体、スチレン／（メタ）アク
リル酸エステル共重合体、ポリ（メタ）アクリル酸エス
テルやそれらのケン化物が挙げられ、また、これらに可
塑剤、界面活性剤や離型剤等を加えることも可能であ
る。好ましい可塑剤の例としては、ポリプロピレングリ
コール、ポリエチレングリコール、ジオクチルフタレー
ト、ジブチルフタレート等を挙げることができる。離型
剤としては、シリコーン化合物やフッ素化アルキル基含
有化合物か知られており、これらはいずれも有利に使用
でき、また、アニオン、カチオン、またはノニオン系界
面活性剤も使用できる。熱可塑性樹脂層の厚さとして
は、５μｍ以上が下地の凹凸追従のために必要で、また
１００μｍを越える厚さでは、剥離層の厚さ精度制御上
の問題を有し、１０ないし３０μｍが好ましい。Next, in the present invention, a photo-curable adhesive layer is provided on the above-mentioned temporary support directly or via a thermoplastic resin layer having an ultraviolet ray transmitting property. The above-mentioned thermoplastic resin layer is provided on a substrate having irregularities as an underlayer irregularity absorbing layer. In this case, the thermoplastic resin layer needs to have sufficient adhesiveness to the temporary support. Such a thermoplastic resin layer layer can be formed by applying a polymer material solution to a temporary support. As a suitable polymer, it is preferable that the softening point is 80 ° C or lower, and a vinyl chloride / vinyl acetate copolymer or ethylene /
Examples thereof include acrylic acid ester copolymers, styrene / (meth) acrylic acid ester copolymers, poly (meth) acrylic acid esters and saponified products thereof, and also plasticizers, surfactants, release agents, and the like. It is also possible to add. Examples of preferable plasticizers include polypropylene glycol, polyethylene glycol, dioctyl phthalate and dibutyl phthalate. Known release agents include silicone compounds and fluorinated alkyl group-containing compounds, any of which can be advantageously used, and anionic, cationic, or nonionic surfactants can also be used. The thickness of the thermoplastic resin layer is required to be 5 μm or more to follow the unevenness of the underlayer, and if the thickness exceeds 100 μm, there is a problem in controlling the thickness accuracy of the release layer, and 10 to 30 μm is preferable. .
【００１５】次に、上記の本発明において、光硬化性接
着剤層としては、公知の光架橋型樹脂、光重合型樹脂、
光に量化樹脂等をビヒクルの主成分とする組成物を挙げ
ることができ、具体的には、ジアゾ系感光剤、アジド系
感光剤、またはキノンアジド系感光剤等の感光剤とフェ
ノ−ルノボラック樹脂のごときバインダ−樹脂をブレン
ドした組成物、アクリル系紫外線硬化性樹脂とミヒラ−
ケトンのごとき光開始剤をブレンドした組成物、フェニ
レンジアクリレ−ト基及び／又はケイ皮酸基を含有する
重合体とケトクマリンのごとき光増感剤をブレンドした
組成物、その他、ポリエステル系樹脂、ポリアミド系樹
脂、その他の樹脂等をビヒクルとする光硬化型樹脂組成
物等を溶剤その他必要に応じて助剤を混合してなる光硬
化性接着剤を使用して形成することができる。例えば、
ゼラチン（株式会社ニッピ製、商品名、Ｓ−７７８）１
０部と重クロム酸カリ１部からなるフォトポリマ−水溶
液（５％固形分）、あるいはポリビニルアルコ−ル（平
均重合度、１７００〜２４００、ケン化度、９８．５％
±０．５％）１０部と硬化剤としてのＰ−ジアゾジフェ
ニルアミンとホルムアルデヒドとの縮合物のスルホン酸
０．６部からなる光硬化性接着剤水溶液（５％固形分）
等を使用することができる。その他、市販の光硬化性接
着剤として、例えば、商品名、ソニ−ボンド、ＵＶ１０
０３（ソニ−ケミカル株式会社製）や、商品名、ＳＵＶ
シリ−ズ（サンユレジン株式会社製）等を使用すること
ができる。本発明において、光硬化性接着剤層の形成法
としては、通常のコ−ティング方法、例えば、ロ−ルコ
−ト、エアナイフコ−ト、ディップコ−ト、グラビアコ
−ト、その他等の方法で行うことができる。その層の厚
さとしては、例えば、０．１μｍないし１００μｍ位、
更に膜厚の均一性、光硬化性接着剤の溶媒乾燥時間等を
考慮すると、好ましくは、約、０．５μｍないし１０μ
ｍ位が望ましい。而して、本発明においては、上記の光
硬化性接着剤層は、露光後被覆シ−トを剥離し、更に基
板に密接着後、感光性フィルムと基板とを剥離する際
に、露光により光硬化した部分の光硬化性接着剤層は、
同様に露光により光硬化した着色感光性材料層と共に基
板から剥離するが、未露光部分の光硬化性接着剤層は、
同様に未露光部分の着色感光性材料層と共に基板側に移
転するか、あるいは感光性フィルムと共に剥離されるか
否かは定かではなく、光硬化性接着剤層の部分は、その
層で層間剥離を起こし、その一部は基板側に転移し、他
の部分は感光性フィルムと共に剥離されるものであると
推定する。Next, in the above-mentioned present invention, as the photocurable adhesive layer, known photocrosslinking type resins, photopolymerizing type resins,
A composition containing light-quantifying resin or the like as a main component of a vehicle can be mentioned. Specifically, a photosensitizer such as a diazo photosensitizer, an azide photosensitizer, or a quinone azide photosensitizer and a phenol novolac resin can be used. Binder resin blended composition, acrylic UV curable resin and Michler
Compositions blended with photoinitiators such as ketones, compositions blended with polymers containing phenylene diacrylate groups and / or cinnamic acid groups and photosensitizers such as ketocoumarins, and other polyester resins It is possible to form a photocurable resin composition containing a polyamide resin, other resin or the like as a vehicle, using a photocurable adhesive obtained by mixing a solvent and an auxiliary agent if necessary. For example,
Gelatin (Nippi Corporation, trade name, S-778) 1
Photopolymer aqueous solution (5% solid content) consisting of 0 part and 1 part potassium dichromate, or polyvinyl alcohol (average degree of polymerization, 1700 to 2400, degree of saponification, 98.5%)
(± 0.5%) 10 parts and a photocurable adhesive aqueous solution (5% solid content) consisting of 0.6 part of sulfonic acid, which is a condensation product of P-diazodiphenylamine and formaldehyde as a curing agent.
Etc. can be used. Other commercially available photo-curable adhesives include, for example, trade name, Sony Bond, and UV10.
03 (manufactured by Sony Chemical Co., Ltd.), trade name, SUV
A series (manufactured by Sanyu Resin Co., Ltd.) or the like can be used. In the present invention, the method for forming the photocurable adhesive layer is a conventional coating method, for example, roll coating, air knife coating, dip coating, gravure coating, or the like. be able to. The thickness of the layer is, for example, about 0.1 μm to 100 μm,
Further, considering the uniformity of the film thickness, the solvent drying time of the photocurable adhesive, etc., it is preferably about 0.5 μm to 10 μm.
The m position is desirable. Thus, in the present invention, the above-mentioned photocurable adhesive layer is exposed by light when the coating sheet is peeled off after exposure, and after closely adhering to the substrate, the photosensitive film and the substrate are peeled off. The photocurable adhesive layer of the photocured part is
Similarly, it is peeled from the substrate together with the colored photosensitive material layer photocured by exposure, but the photocurable adhesive layer in the unexposed portion is
Similarly, it is not clear whether the unexposed portion is transferred to the substrate side together with the colored photosensitive material layer or is peeled off together with the photosensitive film, and the portion of the photocurable adhesive layer is delaminated at that layer. It is presumed that a part of it is transferred to the substrate side and the other part is peeled off together with the photosensitive film.
【００１６】次に本発明においては、上記の光硬化性接
着剤層の上に、顔料等の着色剤にて着色した感光性材料
を塗布して着色感光性材料層を設ける。本発明におい
て、着色感光性材料層に用いる感光性樹脂は、少なくと
も１５０℃以下の温度にて軟化もしくは粘着性になるこ
とか好ましく、熱可塑性であることが望ましい。また、
光反応により、少なくとも１００℃以下の温度にて軟化
もしくは粘着性を発現しないものである必要がある。例
えば、単官能、多官能の（メタ）アクリル酸エステルモ
ノマーと（メタ）アクリル酸エステルや（メタ）アクリ
ル酸との共重合物に光重合開始剤等を組み合わせる組成
物に代表される公知の光重合性組成物を用いた層の大半
はこの性質を有するが、公知材料の一部は、熱可塑性バ
インダーの添加、相溶性の可塑剤の添加により更に改質
することが出来る。Next, in the present invention, a photosensitive material colored with a coloring agent such as a pigment is applied on the above photocurable adhesive layer to form a colored photosensitive material layer. In the present invention, the photosensitive resin used for the colored photosensitive material layer preferably softens or becomes tacky at a temperature of at least 150 ° C. or lower, and is preferably thermoplastic. Also,
It must be one that does not exhibit softening or tackiness at a temperature of at least 100 ° C. or lower due to a photoreaction. For example, known photopolymerization represented by a composition in which a photopolymerization initiator or the like is combined with a copolymer of a monofunctional or polyfunctional (meth) acrylic acid ester monomer and a (meth) acrylic acid ester or (meth) acrylic acid. Most of the layers using the polymerizable composition have this property, but some of the known materials can be further modified by the addition of thermoplastic binders and compatible plasticizers.
【００１７】前記の単官能、多官能（メタ）アクリル酸
エステルモノマーとしては、（メタ）アクリル酸メチ
ル、（メタ）アクリル酸エチル、（メタ）アクリル酸ブ
チル、エチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ト
リメチロールプロパンジ（メタ）アクリレート、トリメ
チロールプロパントリ（メタ）アクリレート、テロラメ
チロールメタントリ（メタ）アクリレート、テロメチロ
ールメタンテロラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリ
スリトールペンタ（メタ）アクリレート、ジペンタエリ
スリトールヘキサ（メタ）アクリレート、ペンタエリス
リトールテトラ（メタ）アクリレート、トリメチロール
プロパントリグリシジルエーテルトリアクリレート、ビ
スフェノールＡジグリシジルエーテルジ（メタ）アクリ
レート、β−ヒドロキシルエチル（メタ）アクリル酸の
アルキルエスル、トリメチルヘキサメチレンジイソシア
ネートと２価アルコールと２価アルコルの（メタ）アク
リル酸モノエステルとを反応させて得られるウレタンジ
アクリレート化合物などである。（メタ）アクリル酸エ
ステルや（メタ）アクリル酸との共重合物の例として
は、（メタ）アクリル酸アルキルエステルの共重合体や
（メタ）アクリル酸アルキルエステルと（メタ）アクリ
ル酸との共重合体の他に、（メタ）アクリル酸アルキル
エステルと（メタ）アクリル酸とこれらと共重合しうる
ビニルモノマーとの共重合体が挙げられる。（メタ）ア
クリル酸アルキルエステルとしては、（メタ）アクリル
酸メチル、（メタ）アクリル酸エチル、（メタ）アクリ
ル酸ブチル、（メタ）アクリル酸−２−エチルヘキシル
等か挙げられる。また（メタ）アクリル酸アルキルエス
テルと（メタ）アクリル酸と共重合し得るビニルモノマ
ーとしては、（メタ）アクリル酸ベンジル、（メタ）ア
クリル酸テロラヒドロフルフリル、（メタ）アクリル酸
ジメチルエチル、（メタ）アクリル酸ジエチル、（メ
タ）アクリル酸グリシジル、２．２．２−トリプルオロ
エチル（メタ）アクリレート、２．２．３．３−テトラ
フルオロプロピル（メタ）アクリレート、アクリルアミ
ド、ジアセトンアクリルアミド、スチレン、ビニルトル
エン等か挙げられる。さらにコポリエステル、例えばテ
レフタル酸、イソフタル酸、セバシン酸等のポリエステ
ル、ブタジエンとアクリロニトリルとの共重合体、セル
ロースアセテート、セルロースアセテートブチレート、
メチルセルロース、エチルセルロース等も用いることが
できる。Examples of the monofunctional and polyfunctional (meth) acrylic acid ester monomers described above include methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, butyl (meth) acrylate, ethylene glycol di (meth) acrylate, and triglyceride. Methylol propane di (meth) acrylate, trimethylol propane tri (meth) acrylate, terramethylol methane tri (meth) acrylate, telomethylol methane terra (meth) acrylate, dipentaerythritol penta (meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (meta) ) Acrylate, pentaerythritol tetra (meth) acrylate, trimethylolpropane triglycidyl ether triacrylate, bisphenol A diglycidyl ether di (meth) acrylate, β-hydro Shiruechiru (meth) acrylic acid Arukiruesuru, trimethylhexamethylene diisocyanate and a dihydric alcohol and divalent Alcor (meth) urethane diacrylate compounds obtained by reacting an acrylic acid monoester, and the like. Examples of copolymers of (meth) acrylic acid ester and (meth) acrylic acid include copolymers of (meth) acrylic acid alkyl ester and copolymers of (meth) acrylic acid alkyl ester and (meth) acrylic acid. In addition to the polymer, a copolymer of (meth) acrylic acid alkyl ester, (meth) acrylic acid and a vinyl monomer copolymerizable therewith may be mentioned. Examples of the alkyl (meth) acrylate include methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, butyl (meth) acrylate, and 2-ethylhexyl (meth) acrylate. Further, vinyl monomers copolymerizable with (meth) acrylic acid alkyl ester and (meth) acrylic acid include benzyl (meth) acrylate, terrahydrofurfuryl (meth) acrylate, dimethylethyl (meth) acrylate, ( Diethyl (meth) acrylate, glycidyl (meth) acrylate, 2.2.2-Triple oroethyl (meth) acrylate, 2.2.3.3-Tetrafluoropropyl (meth) acrylate, acrylamide, diacetone acrylamide, styrene , Vinyltoluene, etc. Further copolyesters such as polyesters such as terephthalic acid, isophthalic acid, sebacic acid, copolymers of butadiene and acrylonitrile, cellulose acetate, cellulose acetate butyrate,
Methyl cellulose, ethyl cellulose and the like can also be used.
【００１８】前記重合開始剤としては、例えばベンゾフ
ェノン、ミヒラーケトン、Ｎ．Ｎ′−テトラメチルー
４．４′−ジアミノペンゾフェノン、４−メトキシ−
４′−ジメチルアミノペンゾフェノン、４．４′−ジエ
チルアミノベンゾフェノン、２−エチルアントラキノ
ン、フェナントレンキノン等の芳香族ケトン、、ベンゾ
インメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベン
ゾインフェニルエーテル等のペンゾインエル類、メチル
ベンゾイン、エチルベンゾイン等のベンゾイン、２−
（Ｏ−クロロフェニル）−４．５−ジフェニルイミダゾ
ール２量体、２−（Ｏ−クロロフェニル）−４．５−ジ
（ｍ−メトキシフェニル）イミダゾール２量体、２−
（Ｏ−フルオロフェニル）−４．５−ジフェニルイミダ
ゾール２量体、２−（Ｏ−メトキシフエニル）−４．５
−ジフェニルイミダゾール２量体等の２．４．５−トリ
アリールイミダゾール２量体の他、２−ベンジル−２−
ジメチルアミノ−１−（４−モルフオリノフェニル）−
ブタノンや、２−トリクロロメチル−５−スチリル−
１．３−４−オキサジアゾール、２−トリクロロメチル
−５−（Ｐ− シアノスチリル）−１．３．４−オキサ
ジアゾール、２−トリクロロメチル−５−（Ｐ−メトキ
シスチリル）−１．３．４−オキサジアゾール等のハロ
メチルオキサジアゾール系化合物、２．４−ビス（トリ
クロロメチル）−６−Ｐ−メトキシスチリル−Ｓ−トリ
アジン、２．４−ビス（トリクロロメチル）−６−（１
−Ｐ−ジメチルアミノフェニル−１．３−ブタジエニ
ル）−Ｓ−トリアジン、２−トリクロロメチル−４−ア
ミノ−６−Ｐ−メトキシスチリル−Ｓ−トリアジン、２
−（ナフト−１−イル）−４．６−ピストリクロロメチ
ル−Ｓ−トリアジン、２−（４−エトキシ−ナフト−１
−イル）−４．６−ビス−トリクロロメチル−Ｓ−トリ
アジン、２−（４−ブトキシ−ナフト−１−イル）−
４．６−ビス−トリクロロメチル−Ｓ−トリアジン等の
ハロメチル−Ｓ−トリアジン系化合物が挙げられる。Examples of the polymerization initiator include benzophenone, Michler's ketone, N.I. N'-tetramethyl-4.4'-diaminopentophenone, 4-methoxy-
Aromatic ketones such as 4'-dimethylamino benzophenone, 4.4'-diethylamino benzophenone, 2-ethylanthraquinone, phenanthrenequinone, benzoin methyl ether, benzoin ethyl ether, benzoin phenyl ether and other benzoiners, methylbenzoin, Benzoin such as ethylbenzoin, 2-
(O-chlorophenyl) -4.5-diphenylimidazole dimer, 2- (O-chlorophenyl) -4.5-di (m-methoxyphenyl) imidazole dimer, 2-
(O-Fluorophenyl) -4.5-diphenylimidazole dimer, 2- (O-methoxyphenyl) -4.5
-2-phenyl-2- in addition to 2.4.5-triarylimidazole dimer such as diphenylimidazole dimer
Dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl)-
Butanone and 2-trichloromethyl-5-styryl-
1.3-4-oxadiazole, 2-trichloromethyl-5- (P-cyanostyryl) -1.3.4-oxadiazole, 2-trichloromethyl-5- (P-methoxystyryl) -1. Halomethyl oxadiazole compounds such as 3.4-oxadiazole, 2.4-bis (trichloromethyl) -6-P-methoxystyryl-S-triazine, 2.4-bis (trichloromethyl) -6- (1
-P-dimethylaminophenyl-1.3-butadienyl) -S-triazine, 2-trichloromethyl-4-amino-6-P-methoxystyryl-S-triazine, 2
-(Naphth-1-yl) -4.6-pistrichloromethyl-S-triazine, 2- (4-ethoxy-naphth-1)
-Yl) -4.6-bis-trichloromethyl-S-triazine, 2- (4-butoxy-naphth-1-yl)-
Examples thereof include halomethyl-S-triazine compounds such as 4.6-bis-trichloromethyl-S-triazine.
【００１９】感光性樹脂には、更に、顔料や染料を着色
剤として添加する。顔料を用いる場合は、その粒子径は
０．４μｍ以下とすることが望ましい。好ましい染料お
よび顔料の例としては、以下か挙げられる。ビクトリア
・ピュアブルーＢＯ（Ｃ．Ｉ．４２５９５）、オーラミ
ン（Ｃ．Ｉ．４１０００）、ファット・ブラックＨＢ
（Ｃ．Ｉ．２６１５０）、モノライト・エロ−ＧＴ
（Ｃ．Ｉ．ピグメント・エロー１２）、パーマネント・
エローＧＲ（Ｃ．Ｉ．ピグメント・エロー１７）、パー
マネント・エローＨＲ（Ｃ．Ｉ．ピグメント・エロー８
３）、パーマネント・カーミンＦＢＢ（Ｃ．Ｉ．ピグメ
ント・レッド１４６）、ホスターパームレッドＥＳＢ
（Ｃ．Ｉ．ピグメント・バイオレット１９）、パーマネ
ント・ルビーＦＢＨ（Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド１
１）、ファステル・ピンクＢスブラ（Ｃ．Ｉ．ピグメン
ト・レッド８１）、モナストラル・ファスト・ブルー
（Ｃ．Ｉ．ピグメント・ブルー１５）、モノライト・フ
ァースト・ブラックＢ（Ｃ．Ｉ．ピグメント・ブラック
１）及びカーボン等をあげることができる。さらに、カ
ラーフィルタを形成するのに適当な顔料としては、Ｃ．
Ｉ．ピグメント・レッド９７、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レ
ッド１２２、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド１４９、Ｃ．
Ｉ．ピグメント・レッド１６８、Ｃ．Ｉ．ピグメント・
レッド１７７、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド１８０、
Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド１９２、Ｃ．Ｉ．ピグメン
ト・レッド２１５、Ｃ．Ｉ．ピグメント・グリーン７、
Ｃ．Ｉ．ピグメント・グリーン３６、Ｃ．Ｉ．ピグメン
ト・ブルー１５：１、Ｃ．Ｉ．ピグメント・ブルー１
５：４、Ｃ．Ｉ．ピグメント・ブルー１５：６、Ｃ．
Ｉ．ピグメント・ブルー２２、Ｃ．Ｉ．ピグメント・ブ
ルー６０、Ｃ．Ｉ．ピグメント・ブルー６４等を挙げる
ことが出来る。また特開平５−１１９２１３号公報に記
載の反応性染料をバインダーポリマーを反応させた系や
特開平６−１０７６６３号公報に記載の含フッ素フクロ
シアニン化合物は、消偏等の光学特性の優れた系として
挙げられる。A pigment or a dye is further added to the photosensitive resin as a colorant. When a pigment is used, its particle size is preferably 0.4 μm or less. Examples of preferred dyes and pigments include: Victoria Pure Blue BO (C.I. 42595), Auramine (C.I. 41000), Fat Black HB
(C.I.26150), Monolite Ero-GT
(CI Pigment Yellow 12), Permanent
Yellow GR (C.I. Pigment Yellow 17), Permanent Yellow HR (C.I. Pigment Yellow 8)
3), Permanent Carmin FBB (CI Pigment Red 146), Hoster Palm Red ESB
(CI Pigment Violet 19), Permanent Ruby FBH (CI Pigment Red 1
1), Fastel Pink B Subra (C.I. Pigment Red 81), Monastral Fast Blue (C.I. Pigment Blue 15), Monolight First Black B (C.I. Pigment Black) 1) and carbon etc. can be mentioned. Further, suitable pigments for forming a color filter include C.I.
I. Pigment Red 97, C.I. I. Pigment Red 122, C.I. I. Pigment Red 149, C.I.
I. Pigment Red 168, C.I. I. Pigment
Red 177, C.I. I. Pigment Red 180,
C. I. Pigment Red 192, C.I. I. Pigment Red 215, C.I. I. Pigment Green 7,
C. I. Pigment Green 36, C.I. I. Pigment Blue 15: 1, C.I. I. Pigment Blue 1
5: 4, C.I. I. Pigment Blue 15: 6, C.I.
I. Pigment Blue 22, C.I. I. Pigment Blue 60, C.I. I. Pigment Blue 64 and the like. Further, a system obtained by reacting a binder polymer with a reactive dye described in JP-A No. 5-119213 and a fluorine-containing fuchocyanine compound described in JP-A No. 6-107663 are systems excellent in optical properties such as depolarization. As.
【００２０】本発明においては、上記のような感光性樹
脂と着色剤と必要に応じて界面活性剤を添加して、更に
はその他の添加剤を任意に添加して感光性組成物を調製
し、而して、該組成物を仮支持体の上に、例えば、ロ−
ルコ−ト、グラビアコ−ト、エアナイフコ−ト、ディッ
プコ−ト、その他のコ−ティング法でコ−ティングし
て、着色感光性材料層を厚さ０．５ないし３．０μｍ程
度に形成する。In the present invention, a photosensitive composition is prepared by adding the above-mentioned photosensitive resin, colorant and, if necessary, a surfactant, and optionally other additives. Then, the composition is placed on a temporary support, for example, a roll.
A colored photosensitive material layer is formed to a thickness of about 0.5 to 3.0 .mu.m by coating with a rucoat, gravure coat, air knife coat, dip coat, or other coating method.
【００２１】また、本発明において、被覆シ−トとして
は、仮支持体と同じかあるいは類似の材料にても良い
が、着色感光性材料層もしくは後述する弱粘着層より容
易に剥離されなくてはならない。被覆シート材料として
は、例えば、上記に挙げた仮支持体の他に、ポリエチレ
ンもしくはポリプロピレンフィルムが適当であり、厚さ
は５ないし１００μｍであるのか好ましく、１０ないし
３０μｍが特に好ましい。而して、本発明においては、
被覆シ−トとしては、着色感光性材料層もしくは後述す
る着色感光性材料層の上の弱粘着層等を、貯蔵の際の汚
染や損傷から保護する役目も奏するものである。In the present invention, the coating sheet may be made of the same material as or a material similar to that of the temporary support, but it is not easily peeled off from the colored photosensitive material layer or the weak adhesive layer described later. Don't As the covering sheet material, for example, in addition to the above-mentioned temporary support, a polyethylene or polypropylene film is suitable, and the thickness is preferably 5 to 100 μm, more preferably 10 to 30 μm. Thus, in the present invention,
The coating sheet also has a function of protecting the colored photosensitive material layer or a weak adhesive layer on the colored photosensitive material layer described later from contamination and damage during storage.
【００２２】また、本発明においては、基板と感光性フ
ィルムとを圧着する際に、基板の表面、あるいは感光性
フィルムの着色感光性材料層の表面に、予め、粘着剤を
コ−ティングして粘着剤層を形成しておくこともでき
る。かかる粘着剤としては、公知の樹脂をビヒクルとす
る粘着剤組成物を使用することができる。而して、本発
明においては、粘着剤層としては、強い接着性を有しな
い弱粘着剤を基板側、あるいは着色感光性材料層の上面
に予め塗布することが好ましく、仮接着用の弱粘着剤を
塗布すると、仮接着が容易に行えるという利点がある。
このような仮接着は着色感光性材料層が光硬化後、容易
に基板より剥離できる程度の接着力である必要があり、
このために、弱粘着性であることが好ましく、室温もし
くは５０℃以下の温度条件下にて着色感光性材料層の接
着性が不足である場合に用いられる。また、弱粘着剤層
は基板側表面に形成しても良い。ここで使用できる弱粘
着剤としては、カルナバワックスやカルナバワックスと
アクリル酸エステル系粘着剤の混合物が適当である。弱
粘着層の厚みは、０．１ないし１．０μｍ程度が好まし
い。また弱粘着剤は、着色感光性材料層と加熱時相溶性
を有していることか望ましい。Further, in the present invention, when the substrate and the photosensitive film are pressure-bonded to each other, an adhesive is coated on the surface of the substrate or the surface of the colored photosensitive material layer of the photosensitive film in advance. It is also possible to form an adhesive layer. As such an adhesive, an adhesive composition using a known resin as a vehicle can be used. Thus, in the present invention, as the adhesive layer, it is preferable to preliminarily apply a weak adhesive having no strong adhesiveness to the substrate side or the upper surface of the colored photosensitive material layer. Applying the agent has an advantage that temporary adhesion can be easily performed.
Such temporary adhesion needs to be such that the colored photosensitive material layer can be easily peeled off from the substrate after photocuring,
Therefore, it is preferably weakly tacky, and is used when the adhesiveness of the colored photosensitive material layer is insufficient under room temperature or a temperature condition of 50 ° C. or less. The weak adhesive layer may be formed on the surface of the substrate. As the weak adhesive that can be used here, carnauba wax or a mixture of carnauba wax and an acrylic ester-based adhesive is suitable. The thickness of the weak adhesive layer is preferably about 0.1 to 1.0 μm. Further, it is desirable that the weak adhesive has compatibility with the colored photosensitive material layer upon heating.
【００２３】次に、本発明において、基板としては、例
えば、ソ−ダライムガラス基板、無アルカリガラス基
板、ホウケイ酸ガラス基板、石英ガラス基板、シリコン
基板等を使用することができる。Next, in the present invention, as the substrate, for example, a soda lime glass substrate, a non-alkali glass substrate, a borosilicate glass substrate, a quartz glass substrate, a silicon substrate or the like can be used.
【００２４】また、本発明において、露光する方法とし
ては、例えば、一般的には、超高圧水銀ランプを光源と
し、リンズ系で平行光源とした投影露光装置を用いて行
うが、これに限らず、紫外線を含む光源を用いることが
でき、プロキシミティ露光やコンタクト露光も適用する
ことができる。また、その露光条件としては、感光性材
料、含まれる着色剤材料等にもよるが、約、１００ｍＪ
／ｃｍ2 ないし１０００ｍＪ／ｃｍ2 位の条件で光照射
を行うことができる。具体的には、パタ−ン形状が乱れ
ない範囲でオ−バ−露光が望ましく、パタ−ンが残るた
めの最低露光量である約、５０ｍＪ／ｃｍ2 ないし２０
０ｍＪ／ｃｍ2 位の２ないし３倍程度の条件で光照射を
行うとよい。これにより、カラ−フィルタ層の十分な強
度を得ることができ、また、基板への良好な密着性を得
ることもできる。In the present invention, the exposure method is, for example, generally performed by using a projection exposure apparatus which uses an extra-high pressure mercury lamp as a light source and a Lins system as a parallel light source, but is not limited thereto. , A light source containing ultraviolet rays can be used, and proximity exposure or contact exposure can also be applied. The exposure condition depends on the photosensitive material, the colorant material contained, etc., but is about 100 mJ.
/ Cm 2 to be able to perform light irradiation under the condition of 1000 mJ / cm 2 position. Specifically, overexposure is desirable within a range where the pattern shape is not disturbed, and the minimum exposure amount for leaving the pattern is about 50 mJ / cm 2 to 20.
Light irradiation may be performed under the condition of about 2 to 3 times the 0 mJ / cm 2 position. Thereby, sufficient strength of the color filter layer can be obtained, and also good adhesion to the substrate can be obtained.
【００２５】また、本発明において、基板の上に、感光
性フィルムの着色感光性材料層の面が対向するように重
ね合わせ二本のロ−ル１１、１１間を通してその両者を
加熱加圧して圧着する条件としては、使用する材料等に
よっても異なるが、例えば、加熱温度、約、１００℃な
いし３００℃位で、加圧圧力、約、０．３Ｋｇ／ｃｍ2
ないし５Ｋｇ／ｃｍ2 位の条件で行うことができる。In the present invention, the colored photosensitive material layer of the photosensitive film is superposed on the substrate so that the surfaces thereof face each other, and the two rolls 11 and 11 are heated and pressed together. The pressure bonding conditions vary depending on the material used, but for example, the heating temperature is about 100 ° C. to 300 ° C., the pressure is about 0.3 Kg / cm 2.
It can be carried out under the condition of about 5 Kg / cm 2 .
【００２６】[0026]
【実施例】次に、本発明について具体例を挙げて更に詳
しく説明する。 実施例１ 厚さ５０μｍの２軸延伸ポリエチレンテレフタレートフ
ィルム仮支持体上に、光硬化性接着剤として、商品名、
ＳＵＶ−２００（サンユレジン株式会社製）を使用しこ
れを塗布、乾燥し、乾燥膜厚０．１ないし２μｍの光硬
化性接着剤層を形成した。次に上記の光硬化性接着剤層
の上に、下記処方の着色感光性材料を塗布、乾燥し、乾
燥膜厚か２μｍの着色感光性材料層を得た。 （着色感光性材料） ベンジルメタクリレート／メタクリル酸共重合体（モル比７３／２７） ６０重量部 ペンタエリスリトールテトラアクリレート ４３重量部 ２．４−ビス（トリクロロメチル）−６−Ｐ−メトキシスチリル −Ｓ−トリアジン ２．５重量部 イルカジンレッドＢＰＴ ２０重量部 メチルセロソルブアセテート ５６０重量部 メチルエチルケトン ２８０重量部 さらに、上記着色感光性材料層の上にポリプロピレン
（１２μｍ厚）の被覆シートを圧着して、赤色感光性フ
ィルムを得た。この感光性フィルムを用いて、以下の方
法にて、ガラス基板上に赤色カラーフィルタパターンを
得た。赤色感光性フィルムを所定の形状のフォトマスク
を介して露光し、次いで赤色感光性フィルムの被覆シー
トを剥離し、次いで透明ガラス基板上にラミネータを用
いて、室温下、加圧（０．８Ｋｇ／ｃｍ2 ）しながら圧
着し、次にラミネータを用いて加熱下（１５０℃）加圧
（０．８Ｋｇ／ｃｍ2 ）しながら感光性フィルムをガラ
ス基板に密着させ、室温まで放冷した後、仮支持体を引
き剥がすと同時に、露光された部分の光硬化性接着剤層
と赤色感光性材料層を仮支持体と共に基板より剥離し
た。他方、未露光の部分の赤色感光性材料層を基板に転
移した。この後、赤着色パターンを２００℃にて１時間
加熱し、熱硬化させて、赤色カラーフィルタパターンを
形成した。EXAMPLES Next, the present invention will be described in more detail with reference to specific examples. Example 1 On a temporary support of biaxially stretched polyethylene terephthalate film having a thickness of 50 μm, as a photocurable adhesive, a trade name,
SUV-200 (manufactured by Sanyu Resin Co., Ltd.) was used and applied and dried to form a photocurable adhesive layer having a dry film thickness of 0.1 to 2 μm. Next, a colored photosensitive material having the following formulation was applied onto the photocurable adhesive layer and dried to obtain a colored photosensitive material layer having a dry film thickness or 2 μm. (Colored photosensitive material) benzyl methacrylate / methacrylic acid copolymer (molar ratio 73/27) 60 parts by weight pentaerythritol tetraacrylate 43 parts by weight 2.4-bis (trichloromethyl) -6-P-methoxystyryl-S- Triazine 2.5 parts by weight Dolkadin Red BPT 20 parts by weight Methyl cellosolve acetate 560 parts by weight Methyl ethyl ketone 280 parts by weight Further, a polypropylene (12 μm thick) coating sheet is pressure-bonded on the above colored photosensitive material layer to give a red photosensitive material. I got a film. Using this photosensitive film, a red color filter pattern was obtained on a glass substrate by the following method. The red photosensitive film is exposed through a photomask having a predetermined shape, then the covering sheet of the red photosensitive film is peeled off, and then pressure (0.8 Kg / 0.8 Kg / cm 2) is applied at room temperature on a transparent glass substrate using a laminator. cm 2 ), press-bonding, then pressurizing (0.8 Kg / cm 2 ) with heating (150 ° C.) using a laminator to bring the photosensitive film into close contact with the glass substrate and allowing to cool to room temperature. At the same time when the support was peeled off, the exposed portion of the photocurable adhesive layer and the red photosensitive material layer were peeled off from the substrate together with the temporary support. On the other hand, the unexposed portion of the red photosensitive material layer was transferred to the substrate. Then, the red colored pattern was heated at 200 ° C. for 1 hour and thermally cured to form a red color filter pattern.
【００２７】厚さ５０μｍの２軸延伸ポリエチレンテレ
フタレートフィルム仮支持体上に、光硬化性接着剤とし
て、商品名、ＳＵＶ−２００（サンユレジン株式会社
製）を使用しこれを塗布、乾燥し、乾燥膜厚０．１ない
し２μｍの光硬化性接着剤層を形成した。次に上記の光
硬化性接着剤層の上に、下記処方の着色感光性材料を塗
布、乾燥し、乾燥膜厚が２μｍの着色感光性材料層を得
た。 （着色感光性材料） ベンジルメタクリレート／メタクリル酸共重合体（モル比７３／２７） ６０重量部 ペンタエリスリトールテトラアクリレート ４３重量部 ２．４−ビス（トリクロロメチル）−６−Ｐ−メトキシスチリル −Ｓ−トリアジン ２．５重量部 銅フタロシアニン（緑） ２０重量部 メチルセロゾルブアセテート ５６０重量部 メチルエチルケトン ２８０重量部 さらに、上記着色感光性材料層の上にカルナバワックス
エマルジョンを水／ＩＰＡ＝１／１の溶液にて希釈して
塗布、乾燥し、カルナバワックスによる膜厚０．３μｍ
の弱粘着層を形成した。さらに、上記弱粘着層の上にポ
リプロピレン（１２μｍ厚）の被覆シートを圧着して、
緑色感光性フィルムを得た。この感光性フィルムを用い
て、以下の方法にて、上記にて形成したカラーフィルタ
に隣接して緑色カラーフィルタパターンを得た。緑色感
光性フィルムの所定の位置に所定のフォトマスクを介し
て露光した後、緑色感光性フィルムの被覆シートを剥離
し、次いで上記で着色パタ−ンを作成した基板上にラミ
ネータを用いて、室温下、加圧（０．８Ｋｇ／ｃｍ2 ）
しながら仮接着し、続いてラミネータを用いて加熱下
（１５０℃）加圧（０．８Ｋｇ／ｃｍ2 ）しながら感光
性フィルムをガラス基板に密着させ、室温まで放冷した
後、仮支持体を引き剥がすと同時に、露光された部分の
光硬化性接着剤層と緑色感光性材料層を仮支持体と共に
基板より剥離し、他方、未露光の部分の緑色感光性材料
層を基板上に転移した。この後、緑着色パターンを２０
０℃にて１時間加熱し、熱硬化させて、緑色カラーフィ
ルタパターンを形成した。On a temporary support of biaxially stretched polyethylene terephthalate film having a thickness of 50 μm, SUV-200 (manufactured by Sanyu Resin Co., Ltd.) is used as a photo-curable adhesive, which is applied, dried and dried. A photocurable adhesive layer having a thickness of 0.1 to 2 μm was formed. Next, a colored photosensitive material having the following formulation was applied onto the photocurable adhesive layer and dried to obtain a colored photosensitive material layer having a dry film thickness of 2 μm. (Colored photosensitive material) benzyl methacrylate / methacrylic acid copolymer (molar ratio 73/27) 60 parts by weight pentaerythritol tetraacrylate 43 parts by weight 2.4-bis (trichloromethyl) -6-P-methoxystyryl-S- Triazine 2.5 parts by weight Copper phthalocyanine (green) 20 parts by weight Methyl cellosolve acetate 560 parts by weight Methyl ethyl ketone 280 parts by weight Further, the carnauba wax emulsion is dissolved in a solution of water / IPA = 1/1 on the colored photosensitive material layer. Diluted, applied, dried, carnauba wax film thickness 0.3 μm
A weak adhesive layer of Further, a polypropylene (12 μm thick) covering sheet is pressure-bonded onto the weak adhesive layer,
A green photosensitive film was obtained. Using this photosensitive film, a green color filter pattern was obtained adjacent to the color filter formed above by the following method. After exposing at a predetermined position of the green photosensitive film through a predetermined photomask, the covering sheet of the green photosensitive film is peeled off, and then a laminator is used on the substrate on which the colored pattern is prepared at room temperature. Lower pressure (0.8 Kg / cm 2 )
While temporarily adhering, the photosensitive film was brought into close contact with the glass substrate while being heated (150 ° C.) and pressurized (0.8 Kg / cm 2 ) using a laminator, and allowed to cool to room temperature, and then the temporary support. At the same time as peeling off, the photocurable adhesive layer and the green photosensitive material layer in the exposed part are peeled off from the substrate together with the temporary support, while the green photosensitive material layer in the unexposed part is transferred onto the substrate. did. After this, apply 20 green coloring patterns.
It was heated at 0 ° C. for 1 hour and thermally cured to form a green color filter pattern.
【００２８】厚さ５０μｍの２軸延伸ポリエチレンテレ
フタレートフィルム仮支持体上に、下記処方の熱可塑性
樹脂液を塗布乾燥し、膜厚２０μｍの熱可塑性樹脂層を
得た。 （熱可塑性樹脂液） ポリエチレングリコール １５重量部 蒸留水 ８５重量部 フッ素系界面活性剤（旭硝子株式会社製、商品名サーフロン Ｓ−１３１） ０．１重量部 次に上記の熱可塑性樹脂層の上に、光硬化性接着剤とし
て、商品名、ＳＵＶ−２００（サンユレジン株式会社
製）を使用しこれを塗布、乾燥し、乾燥膜厚０．１ない
し２μｍの光硬化性接着剤層を形成した。次に上記の光
硬化性接着剤層の上に、下記処方の着色感光性材料を塗
布、乾燥し、乾燥膜厚か２μｍの着色感光性材料層を得
た。 （着色感光性材料） ベンジルメタクリレート／メタクリル酸共重合体（モル比７３／２７） ６０重量部 ペンタエリスリトールテトラアクリレート ４３重量部 ２．４−ビス（トリクロロメチル）−６−Ｐ−メトキシスチリル −Ｓ−トリアジン ２．５重量部 フタロシアニンブルー（青） ２０重量部 メチルセロゾルブアセテート ５６０重量部 メチルエチルケトン ２８０重量部 さらに、上記着色感光性材料層の上にカルナバワックス
エマルジョンを水／ＩＰＡ＝１／１の溶液にて希釈して
塗布、乾燥し、カルナバワックスによる弱粘着層を形成
した。さらに、上記弱粘着層の上にポリプロピレン（１
２μｍ厚）の被覆シートを圧着して、青色感光性フィル
ムを得た。この感光性フィルムを用いて、以下の方法に
て、上記にて形成したカラーフィルタに隣接して青色カ
ラーフィルタパターンを得た。青色感光性フィルムの所
定の位置に所定のフォトマスクを介して露光した後、青
色感光性フィルムの被覆シートを剥離し、次いで上記で
着色パタ−ンを作成した基板上にラミネータを用いて、
室温下、加圧（０．８Ｋｇ／ｃｍ2 ）しながら仮接着
し、続いてラミネータを用いて加熱下（１５０℃）加圧
（０．８Ｋｇ／ｃｍ2 ）しながら感光性フィルムをガラ
ス基板に密着させ、室温まで放冷した後、仮支持体を引
き剥がすと同時に、露光された部分の光硬化性接着剤層
と青色感光性材料層を仮支持体と共に基板より剥離し、
他方、未露光の部分の青色感光性材料層を基板上に転移
した。この後、青着色パターンを２００℃にて１時間加
熱し、熱硬化させて、青色カラーフィルタパターンを形
成した。以上のように作製した赤、緑、青の３色を有す
るカラーフィルタは、画素の欠落やムラもなく、また、
良好な精度を有していた。A thermoplastic resin solution having the following formulation was applied on a temporary support of biaxially stretched polyethylene terephthalate film having a thickness of 50 μm and dried to obtain a thermoplastic resin layer having a thickness of 20 μm. (Thermoplastic resin liquid) Polyethylene glycol 15 parts by weight Distilled water 85 parts by weight Fluorine-based surfactant (Asahi Glass Co., Ltd., trade name Surflon S-131) 0.1 parts by weight Next, on the above thermoplastic resin layer. As the photocurable adhesive, SUV-200 (manufactured by Sanyu Resin Co., Ltd.) was used and was applied and dried to form a photocurable adhesive layer having a dry film thickness of 0.1 to 2 μm. Next, a colored photosensitive material having the following formulation was applied onto the photocurable adhesive layer and dried to obtain a colored photosensitive material layer having a dry film thickness or 2 μm. (Colored photosensitive material) benzyl methacrylate / methacrylic acid copolymer (molar ratio 73/27) 60 parts by weight pentaerythritol tetraacrylate 43 parts by weight 2.4-bis (trichloromethyl) -6-P-methoxystyryl-S- Triazine 2.5 parts by weight Phthalocyanine blue (blue) 20 parts by weight Methyl cellosolve acetate 560 parts by weight Methyl ethyl ketone 280 parts by weight Further, the carnauba wax emulsion is dissolved in a solution of water / IPA = 1/1 on the colored photosensitive material layer. It was diluted, applied, and dried to form a weak adhesive layer of carnauba wax. In addition, polypropylene (1
A coating sheet having a thickness of 2 μm) was pressure-bonded to obtain a blue photosensitive film. Using this photosensitive film, a blue color filter pattern was obtained adjacent to the color filter formed above by the following method. After exposure through a predetermined photomask at a predetermined position of the blue photosensitive film, the coating sheet of the blue photosensitive film is peeled off, and then using a laminator on the substrate on which the colored pattern is created above,
Temporarily adhere at room temperature while applying pressure (0.8 Kg / cm 2 ), and then using a laminator while heating (150 ° C.) and applying pressure (0.8 Kg / cm 2 ) to the photosensitive film on the glass substrate. After closely contacting and allowing to cool to room temperature, the temporary support is peeled off, and at the same time, the photocurable adhesive layer and the blue photosensitive material layer of the exposed portion are peeled off from the substrate together with the temporary support,
On the other hand, the unexposed portion of the blue photosensitive material layer was transferred onto the substrate. Then, the blue colored pattern was heated at 200 ° C. for 1 hour and thermally cured to form a blue color filter pattern. The color filter having the three colors of red, green, and blue manufactured as described above has no missing or uneven pixels, and
It had good accuracy.
【００２９】[0029]
【発明の効果】以上の説明で明らかなように、本発明
は、紫外線透過性のフィルム状の仮支持体上に、まず、
光硬化性接着剤層を設け、更に該光硬化性接着剤層の上
に、所定の色に着色された感光性材料を塗布して着色感
光性材料層を形成し、更に被覆シ−トを貼り合わせて感
光性フィルムを形成し、これに予めパタ−ン露光して露
光パタ−ン化し、しかる後被覆シ−トを剥離して、所定
のカラーフィルタを形成する為の基板の表面に着色感光
性材料層面が対向するよに、室温下もしくは１００℃以
下にて圧着し、次いで仮支持体を該基板より剥離すると
同時に露光により感光した部分の光硬化性接着剤層と着
色感光性材料層を仮支持体と共に基板より剥離し、他
方、未露光の部分の着色感光性材料層を基板上に転移さ
せ、該基板上に転移した着色感光性材料層を硬化させて
着色パターンを形成することからなる工程を繰り返し
て、複数色からなる着色パターンを基板上に形成するこ
とによって、カラ−フィルタを製造するものである。従
って、本発明では、ウエットな現像処理に代わって、乾
式で、なおかつ簡便な方法で現像の操作を行うことによ
り、感光性材料の選択の幅を広くし、また物性の優れた
顔料を着色剤として用いることができ、また精度、品質
等を満足できる、より簡便な製造法にかかるものであ
る。更に、本発明では、光硬化性接着剤層を採用してい
ることから、パタ−ン露光により、光硬化性接着剤層と
共に着色感光性材料層が露光され、その剥離に際し、露
光部分と非露光部分との境界で明確に剥離され、また露
光によって光硬化性接着剤層と共に着色感光性材料層が
硬化し、その両者が強固に固着して硬化した部分の着色
感光性材料層を確実に剥離することができ、この結果、
各色を構成する着色感光性材料層のエッジを極めてシャ
−プに形成することができ、かつ確実にパタ−ニングす
ることができ、極めて解像性に富む精度の高い着色パタ
−ンを形成することができるものである。As is apparent from the above description, the present invention first comprises:
A photocurable adhesive layer is provided, and a photosensitive material colored in a predetermined color is applied onto the photocurable adhesive layer to form a colored photosensitive material layer, and a coating sheet is further formed. A photosensitive film is formed by laminating it, and then a pattern exposure is carried out in advance to form an exposure pattern, after which the coating sheet is peeled off, and the surface of the substrate for forming a predetermined color filter is colored. The pressure-sensitive adhesive layer and the colored photosensitive material layer of the portion exposed by exposure at the same time when pressure-bonded at room temperature or 100 ° C. or less so that the photosensitive material layer surfaces face each other, and then the temporary support is peeled off from the substrate From the substrate together with the temporary support, while transferring the unexposed portion of the colored photosensitive material layer onto the substrate and curing the transferred colored photosensitive material layer onto the substrate to form a colored pattern. Repeat the process consisting of By forming on a substrate a pattern, color - is to produce a filter. Therefore, in the present invention, in place of the wet development processing, the development operation is carried out by a dry and simple method to broaden the selection range of the photosensitive material, and a pigment having excellent physical properties is used as a coloring agent. The present invention relates to a simpler production method that can be used as the above and can satisfy the accuracy, quality, and the like. Further, in the present invention, since the photo-curable adhesive layer is adopted, the colored photosensitive material layer is exposed together with the photo-curable adhesive layer by pattern exposure, and when it is peeled off, it is not exposed to the exposed portion. The colored photosensitive material layer is peeled off clearly at the boundary with the exposed area, and the colored photosensitive material layer is hardened together with the photocurable adhesive layer, and both are firmly fixed to ensure the cured colored photosensitive material layer. Can be peeled off, which results in
The edge of the colored photosensitive material layer forming each color can be formed extremely sharply and can be reliably patterned, and a highly accurate colored pattern with extremely high resolution can be formed. Is something that can be done.
【図１】従来の（ｄ）の着色感材法の各工程における層
構成を示す断面図である。FIG. 1 is a cross-sectional view showing a layer structure in each step of a conventional (d) colored photosensitive material method.
【図２】本発明にかかるカラ−フィルタの製造法の各工
程における層構成を示す断面図である。FIG. 2 is a cross-sectional view showing a layer structure in each step of the manufacturing method of the color filter according to the present invention.
【図３】本発明にかかるカラ−フィルタの製造法の各工
程における層構成を示す断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view showing a layer structure in each step of the manufacturing method of the color filter according to the present invention.
【図４】本発明にかかるカラ−フィルタの製造法の各工
程における層構成を示す断面図である。FIG. 4 is a cross-sectional view showing a layer structure in each step of the manufacturing method of the color filter according to the present invention.
【図５】本発明にかかるカラ−フィルタの層構成を示す
断面図である。FIG. 5 is a cross-sectional view showing a layer structure of a color filter according to the present invention.
１ 仮支持体 ２ 光硬化性接着剤層 ３ 着色感光性材料層 ４ 被覆シ−ト ６ 感光性フィルム １０ 基板 １５ 着色パタ−ン １５′ 着色パタ−ン １５″ 着色パタ−ン １６ 複数色からなる着色パタ−ン 1 Temporary Support 2 Photocurable Adhesive Layer 3 Colored Photosensitive Material Layer 4 Cover Sheet 6 Photosensitive Film 10 Substrate 15 Colored Pattern 15 ′ Colored Pattern 15 ″ Colored Pattern 16 Consists of Multiple Colors Coloring pattern
Claims (7)
硬化性接着剤層とこの上に設けた所定の色に着色され、
かつパタ−ン露光した感光性材料による着色感光性材料
層を有する感光性フィルムの該未露光部分の着色感光性
材料層が転移、硬化した複数色からなる着色パターンを
設けたことを特徴とするカラーフィルタ。1. A substrate, at least a photo-curable adhesive layer on a temporary support, and a predetermined color provided thereon,
And a colored pattern comprising a plurality of colors obtained by transferring and curing the colored photosensitive material layer in the unexposed portion of the photosensitive film having the colored photosensitive material layer formed by the pattern-exposed photosensitive material. Color filter.
設けたことを特徴とする上記の請求項１に記載するカラ
ーフィルタ。2. The color filter according to claim 1, wherein an adhesive layer is provided between the substrate and the colored pattern.
層と該光硬化性接着剤層の上に所定の色に着色された感
光性材料を塗布、乾燥して着色感光性材料層とを形成
し、更に該着色感光性材料層の面に被覆シ−トを圧着し
てなる感光性フィルムを製造し、次に該感光性フィルム
の光硬化性接着剤層と着色感光性材料層をパターン露光
し、次いで該感光性フィルムの被覆シ−トを剥離し、し
かる後該感光性フィルムを基板の表面にその着色感光性
材料層面を対向させて圧着し、次に該感光性フィルムを
露光した部分の光硬化性接着剤層と着色感光性材料層と
共に該基板より剥離し、他方、上記の感光性フィルムの
少なくとも未露光部分の着色感光性材料層を該基板に転
移し、次いで、該基板上に転移した着色感光性材料層を
硬化させて着色パターンを形成することからなる工程を
繰り返して、複数色からなる着色パターンを基板上に形
成することを特徴とするカラーフィルタの製造法。3. A colored photosensitive material layer, which is formed by applying at least a photocurable adhesive layer on a temporary support and a photosensitive material colored in a predetermined color on the photocurable adhesive layer and drying the applied material. To form a photosensitive film by press-coating a coating sheet on the surface of the colored photosensitive material layer, and then forming a photocurable adhesive layer and a colored photosensitive material layer of the photosensitive film. Pattern exposure, then peel off the coating sheet of the photosensitive film, and then press-bond the photosensitive film to the surface of the substrate with the colored photosensitive material layer surface facing each other, and then expose the photosensitive film. Peeled from the substrate together with the photo-curable adhesive layer and the colored photosensitive material layer in the formed part, while transferring the colored photosensitive material layer in at least the unexposed part of the photosensitive film to the substrate, and then the The colored pattern is formed by curing the colored photosensitive material layer transferred onto the substrate. A method for producing a color filter, characterized in that a colored pattern consisting of a plurality of colors is formed on a substrate by repeating a step of forming a color filter.
光性フィルムの光硬化性接着剤層と着色感光性材料層を
パターン露光することを特徴とする上記の請求項３に記
載するカラーフィルタの製造法。4. The color according to claim 3, wherein the photocurable adhesive layer and the colored photosensitive material layer of the photosensitive film are pattern-exposed through a temporary support of the photosensitive film. Filter manufacturing method.
感光性材料層面を対向させて圧着し、更にその両者を加
熱加圧することを特徴とする上記の請求項３または４に
記載するカラーフィルタの製造法。5. The color filter according to claim 3, wherein the photosensitive film is pressure-bonded to the surface of the substrate with the colored photosensitive material layer surface facing each other, and both are heated and pressed. Manufacturing method.
てなることを特徴とする上記の請求項３、４または５に
記載するカラーフィルタの製造法。6. The method for producing a color filter according to claim 3, wherein the substrate is coated with an adhesive in advance and dried.
に、予め、粘着剤を塗布、乾燥してなることを特徴とす
る上記の請求項３、４、５または６に記載するカラーフ
ィルタの製造法。7. The color filter according to claim 3, wherein the colored photosensitive material layer of the photosensitive film is previously coated with an adhesive and dried. Manufacturing method.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17021295A JPH08338909A (en) | 1995-06-13 | 1995-06-13 | Color filter and its production |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17021295A JPH08338909A (en) | 1995-06-13 | 1995-06-13 | Color filter and its production |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08338909A true JPH08338909A (en) | 1996-12-24 |
Family
ID=15900757
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17021295A Withdrawn JPH08338909A (en) | 1995-06-13 | 1995-06-13 | Color filter and its production |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08338909A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002170668A (en) * | 2000-12-01 | 2002-06-14 | Toppan Printing Co Ltd | Organic electroluminescent display element, method of manufacturing |
-
1995
- 1995-06-13 JP JP17021295A patent/JPH08338909A/en not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002170668A (en) * | 2000-12-01 | 2002-06-14 | Toppan Printing Co Ltd | Organic electroluminescent display element, method of manufacturing |
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