JPH08334332A - Vibration gyro - Google Patents

Abstract

PURPOSE: To provide a highly sensitive vibration gyro with a simple constitution. CONSTITUTION: The vibration gyro is formed of a quartz plate by etching. Four vibrating elements 14-20 are projected in the shape of H from a supporting body 22 in the interior of an opening of a frame body 12. The supporting body 22 is fixed and supported to the frame body 12 by left and right coupling elements 24, 26. The vibrating elements 14, 16 are provided with excitation electrodes 28, 30 for vibrating the elements 14, 16 in a direction of an X axis. Moreover, the vibrating elements 18, 20 are provided with vibration detection electrodes 32, 34 for detecting a vibrating state when the vibrating elements 18, 20 vibrate in a direction of a Y axis. The supporting body 22 has distortion detection electrodes 36, 38 for detecting a distortion degree if the supporting element is distorted. The vibrating elements 14, 16 are vibrated by the excitation electrodes 28, 30 in accordance with the distortion degree of the supporting body 22 detected by the distortion detection electrodes 36, 38.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【０００１】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、対となる第１と第２の
振動片と、固定体に固定・支持された支持部とを有し、
前記第１と第２の振動片とを直交座標軸におけるＸ軸に
沿って共振可能に前記支持部から突出して備える振動ジ
ャイロに関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention has a pair of first and second vibrating reeds, and a support portion fixed and supported by a fixed body,
The present invention relates to a vibration gyro having the first and second vibrating reeds that project from the support portion so as to resonate along an X axis in a rectangular coordinate axis.

【０００２】[0002]

【従来の技術】所定方向に沿って振動している振動片、
例えば直交座標軸平面（Ｘ−Ｙ平面）におけるＸ軸に沿
って振動している振動片がこのＸ−Ｙ平面と直交するＺ
軸の回りに回転すると、その回転角速度により振動片に
Ｙ軸方向にコリオリの力が生じる。このコリオリの力は
角速度に依存して定まることから、コリオリの力を振動
片の撓み変位量等として間接的に、或いは圧電素子の圧
電効果により直接的に測定して、振動片の角速度を求め
ることができる。このため、振動する振動片を用いた振
動ジャイロを車両等に搭載して、車両旋回時に発生する
ヨーレイトを検出することが行なわれている。また、こ
うして検出したヨーレイトから車両の走行軌跡を記録す
ることも行なわれている。例えば、特公表平４−５０４
６１７には音叉型の振動子を用いる振動ジャイロが提案
されている。2. Description of the Related Art A vibrating element vibrating along a predetermined direction,
For example, a vibrating piece vibrating along the X axis in the orthogonal coordinate axis plane (XY plane) is orthogonal to the XY plane in Z.
When rotating about the axis, the Coriolis force is generated in the vibrating piece in the Y-axis direction due to the rotational angular velocity. Since the Coriolis force is determined depending on the angular velocity, the Coriolis force is indirectly measured as the bending displacement amount of the vibrating element or directly measured by the piezoelectric effect of the piezoelectric element to obtain the angular velocity of the vibrating element. be able to. Therefore, a vibrating gyro that uses a vibrating vibrating element is mounted on a vehicle or the like to detect a yaw rate generated when the vehicle turns. Further, the traveling locus of the vehicle is also recorded from the yaw rate thus detected. For example, Japanese Patent Publication No. 4-504
A vibration gyro using a tuning fork type vibrator is proposed in 617.

【０００３】この特公表平４−５０４６１７における振
動ジャイロでは、対になる振動片のそれぞれに励振用の
駆動電極およびヨーレイト検出用の電極が設けられてい
る。そして、コリオリの力による各振動片の撓み変位量
をヨーレイト検出用の電極から求め、ヨーレイトが算出
されている。In the vibrating gyro of Japanese Patent Laid-Open No. 4-504617, a drive electrode for excitation and an electrode for yaw rate detection are provided on each pair of vibrating reeds. Then, the amount of bending displacement of each vibrating element due to the Coriolis force is obtained from the electrode for yaw rate detection, and the yaw rate is calculated.

【０００４】一方、振動子を構成する各振動片はその周
辺の温度の影響を受けて伸縮し弾性率が変化するため、
振動の周波数や振幅が変化する。よって、各振動片を同
一のエネルギで励振した際の周波数や同一のコリオリの
力により振動した際の周波数や振幅が、環境温度に依存
して変化し、検出感度の低下を招くことがよく知られて
いる。このような不具合を回避して感度向上を図るため
に、振動状態にある振動片の周波数出力を取り出して各
振動片の励振制御にフィードバックする技術が提案され
ている（特開昭６０−１９２２０６）。On the other hand, each vibrating reed constituting the vibrator expands and contracts under the influence of the temperature around it, and the elastic modulus changes.
The frequency and amplitude of vibration change. Therefore, it is well known that the frequency when each resonator element is excited with the same energy and the frequency and amplitude when it is vibrated by the same Coriolis force change depending on the ambient temperature, which causes a decrease in detection sensitivity. Has been. In order to avoid such problems and improve the sensitivity, a technique has been proposed in which the frequency output of a vibrating element in a vibrating state is taken out and fed back to the excitation control of each vibrating element (Japanese Patent Laid-Open No. 60-192206). .

【０００５】[0005]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記し
たように振動片の周波数出力をフィードバックするにし
ても、次のような問題点があった。However, even if the frequency output of the resonator element is fed back as described above, there are the following problems.

【０００６】即ち、励振用の駆動電極と周波数出力を取
り出すための電極とを振動片に形成する必要がある。特
に、特公表平４−５０４６１７のように振動片に励振用
の駆動電極とヨーレイト検出用の電極を有するもので
は、これら電極に加えて周波数出力を取り出すフィード
バック用の電極を別途形成する必要がある。従って、一
つの振動片において、励振用，検出用およびフィードバ
ック用の電極に到る配線を他の電極および他の配線と干
渉しないよう形成する必要がある。このため、電極と配
線の構成が複雑であると共に、電極および配線の形成作
業や工程の複雑化を招いていた。なお、上記した問題点
は、水晶から形成した振動片に固有のものではなく、金
属等から形成した振動片をピエゾ素子（ＰＺＴ）等の圧
電素子にて励振させてヨーレイトを検出する振動ジャイ
ロにあっても生じる。That is, it is necessary to form a drive electrode for excitation and an electrode for extracting a frequency output on the resonator element. Particularly, in Japanese Patent Laid-Open No. 4-504617, which has a drive electrode for excitation and an electrode for yaw rate detection on the vibrating element, it is necessary to separately form a feedback electrode for extracting a frequency output in addition to these electrodes. . Therefore, in one vibrating element, it is necessary to form the wiring reaching the excitation, detection, and feedback electrodes so as not to interfere with other electrodes and other wiring. For this reason, the structure of the electrodes and the wiring is complicated, and the work and process of forming the electrodes and the wiring are complicated. The above-mentioned problem is not unique to the resonator element formed of quartz, but is applied to a vibration gyro that detects a yaw rate by exciting a resonator element formed of metal or the like with a piezoelectric element such as a piezo element (PZT). It happens even if there is.

【０００７】本発明は、上記問題点を解決するためにな
され、構成が簡単で高感度の振動ジャイロを提供するこ
とを目的とする。The present invention has been made to solve the above problems, and an object of the present invention is to provide a vibration gyro having a simple structure and high sensitivity.

【０００８】[0008]

【課題を解決するための手段】かかる目的を達成するた
めになされた本発明の振動ジャイロの採用した手段は、
対となる第１と第２の振動片と、固定体に固定・支持さ
れた支持部とを有し、前記第１と第２の振動片とを前記
支持部から突出して備える振動ジャイロであって、少な
くとも前記第１の振動片に設けられ、該第１の振動片を
Ｘ軸に沿って振動させる励振手段と、少なくとも前記第
２の振動片に設けられ、該第２の振動片が前記Ｘ軸と直
交するＹ軸に沿って振動したときの振動状態を検出する
振動検出手段と、前記支持部に設けられ、前記第１の振
動片が振動する際の前記支持部の歪み度合いを検出する
歪み検出手段と、を備えることをその要旨とする。Means adopted by the vibrating gyroscope of the present invention made to achieve the above object are as follows.
A vibrating gyro having a pair of first and second vibrating pieces and a support portion fixed and supported by a fixed body, and including the first and second vibrating pieces protruding from the support portion. And at least the first vibrating reed, the excitation means for vibrating the first vibrating reed along the X-axis, and at least the second vibrating reed provided with the second vibrating reed. Vibration detecting means for detecting a vibration state when vibrating along a Y-axis orthogonal to the X-axis, and a degree of distortion of the supporting part when the first vibrating piece is vibrated, which is provided in the supporting part. The gist of the present invention is to provide a strain detecting means for

【０００９】また、請求項２記載の振動ジャイロでは、
前記歪み検出手段の検出した歪み度合いに基づいて、前
記第１の振動片における前記励振手段を制御する制御手
段を有する。Further, in the vibrating gyro according to claim 2,
It has a control means which controls the said excitation means in the said 1st vibrating piece based on the distortion degree which the said distortion detection means detected.

【００１０】[0010]

【作用】上記構成を有する請求項１記載の振動ジャイロ
では、第１の振動片に設けた励振手段により当該第１の
振動片をＸ軸に沿って振動させる。この第１の振動片と
対となる第２の振動片も第１の振動片と共に支持部から
突出しているので、各振動片は、励振手段による第１の
振動片の振動によりＸ軸に沿った振動状態に置かれる。
このように各振動片が振動状態にある振動ジャイロがＸ
−Ｙ平面に直交する軸（Ｚ軸）の回りに回転すると、そ
の回転角速度に基づくコリオリの力を受けて各振動片が
Ｙ軸に沿って振動することになる。このＹ軸に沿った振
動の振動状態は、第２の振動片に設けた振動検出手段に
より検出される。また、第１の振動片が振動する際に
は、その振動により支持部には歪みが起きる。そして、
この支持部の歪み度合いは、支持部に設けた歪み検出手
段により検出される。支持部の歪み度合いは、第１の振
動片が振動する際のその振動の程度に応じた大きさであ
るので、この歪み度合いにより第１の振動片の振動の様
子（振動周波数や振幅の程度）が判る。この際、環境温
度の影響を受けない。In the vibrating gyroscope having the above structure, the first vibrating bar is vibrated along the X-axis by the excitation means provided in the first vibrating bar. Since the second vibrating piece paired with the first vibrating piece also projects from the supporting portion together with the first vibrating piece, each vibrating piece moves along the X-axis by the vibration of the first vibrating piece by the excitation means. Placed in a vibrating state.
In this way, the vibrating gyro with each vibrating piece vibrating is X
When rotating about an axis (Z axis) orthogonal to the −Y plane, each vibrating piece vibrates along the Y axis by the Coriolis force based on the rotational angular velocity. The vibration state of the vibration along the Y-axis is detected by the vibration detecting means provided on the second vibrating bar. Further, when the first vibrating reed vibrates, the vibration distorts the support portion. And
The degree of strain of the supporting portion is detected by the strain detecting means provided on the supporting portion. Since the degree of distortion of the support portion is a magnitude according to the degree of vibration of the first vibrating piece when vibrating, the state of vibration of the first vibrating piece (the degree of vibration frequency or amplitude) depends on the degree of distortion. ) Is understood. At this time, it is not affected by the environmental temperature.

【００１１】そして、この歪み検出手段は、支持部に設
けられていることから、各振動片の励振手段又は振動検
出手段と振動片において干渉することはなく、励振手段
および振動検出手段から独立している。Since the strain detecting means is provided in the supporting portion, it does not interfere with the exciting means or the vibration detecting means of each vibrating piece in the vibrating piece, and is independent of the exciting means and the vibration detecting means. ing.

【００１２】この場合、対となる第１の振動片と第２の
振動片とはＸ軸或いはＹ軸に沿って振動可能であればよ
く、振動片についての材質的な制約はない。例えば、金
属は勿論、水晶，半導体等の結晶体、ガラスやセラミッ
ク等の振動の伝播が可能な材料を用いることができる。In this case, the first vibrating bar and the second vibrating bar, which make a pair, need only be vibrable along the X axis or the Y axis, and there is no restriction on the material of the vibrating bar. For example, it is possible to use a crystal, a crystal such as a semiconductor, a material capable of propagating vibration such as glass or ceramic, as well as a metal.

【００１３】また、励振手段は、第１の振動片をＸ軸に
沿って振動させることができればよく、振動片の材質等
を考慮して適宜選択すればよい。例えば、振動片が金
属、水晶，半導体等の結晶体、ガラスやセラミック等を
用いて形成されていれば、ピエゾ素子（ＰＺＴ）等の圧
電素子を励振手段として採用し、当該素子の逆圧電効果
により振動片を振動させればよい。また、振動片が水
晶，半導体等の結晶体やセラミック等の圧電効果を有す
る材料を用いて形成されていれば、電極を励振手段とし
て採用し、振動片自体の逆圧電効果により振動片を振動
させればよい。更に、振動片に作用する誘導磁力や容量
電荷を変化させて振動片を振動させ、励振手段を構成す
ることもできる。振動検出手段と歪み検出手段について
も同様であり、振動片の振動状態と支持部の歪み程度
を、ピエゾ素子（ＰＺＴ）等の圧電素子や電極を介した
圧電効果により、或いは誘導磁力や容量電荷の変化によ
り検出するようそれぞれの検出手段を構成すればよい。The exciting means is only required to be able to vibrate the first vibrating piece along the X-axis, and may be appropriately selected in consideration of the material of the vibrating piece. For example, if the vibrating element is made of metal, crystal, crystal such as semiconductor, glass, ceramic or the like, a piezoelectric element such as a piezo element (PZT) is used as the excitation means, and the inverse piezoelectric effect of the element is used. The vibrating element may be vibrated by. If the vibrating element is made of a crystal material such as crystal or semiconductor or a material having a piezoelectric effect such as a ceramic, the electrode is adopted as the excitation means and the vibrating element vibrates due to the inverse piezoelectric effect of the vibrating element itself. You can do it. Furthermore, it is also possible to configure the excitation means by vibrating the vibrating piece by changing the induced magnetic force or the capacitive charge acting on the vibrating piece. The same applies to the vibration detecting means and the strain detecting means. The vibration state of the vibrating piece and the degree of strain of the supporting portion are determined by a piezoelectric effect such as a piezoelectric element (PZT) or a piezoelectric effect via an electrode, an induced magnetic force or a capacitive charge. The respective detection means may be configured to detect by the change of.

【００１４】なお、ここでいうＸ軸は、第１，第２の振
動片の並びに沿った方向の軸とすることも、両振動片の
並びに沿った方向と交差する方向の軸とすることもで
き、Ｙ軸はこのＸ軸と直交した軸であればよい。It should be noted that the X axis referred to here may be the axis in the direction along the arrangement of the first and second vibrating bars, or may be the axis in the direction intersecting with the direction in which the both vibrating bars are aligned. However, the Y axis may be an axis orthogonal to the X axis.

【００１５】一方、請求項２記載の振動ジャイロでは、
歪み検出手段の検出した歪み度合いに基づいて、制御手
段により第１の振動片における励振手段を制御する。こ
の歪み度合いは、既述したように第１の振動片が振動す
る際のその振動の程度に応じた大きさであるため、励振
手段によるＸ軸に沿った振動を定常的な振動にする。On the other hand, in the vibration gyro according to the second aspect,
The control means controls the excitation means in the first vibrating bar based on the degree of strain detected by the strain detection means. As described above, since the degree of distortion has a magnitude corresponding to the degree of vibration of the first vibrating piece when it vibrates, the vibration along the X axis by the excitation means becomes steady vibration.

【００１６】[0016]

【実施例】次に、本発明に係る振動ジャイロの好適な実
施例について、図面に基づき説明する。図１は、実施例
の振動ジャイロ１０の全体構成を示すブロック図であ
る。図示するように、振動ジャイロ１０は、中央が開口
した枠体１２を有し、この枠体１２の開口の内部に、４
本の振動片１４，１６，１８，２０をＨ字状に支持して
備える。これら各振動片は支持体２２から突出されてお
り、この支持体２２を挟んで振動片１４と振動片１８と
が、振動片１６と振動片２０とが対象に位置する。そし
て、支持体２２は、その中央から図でいう左右に延びた
連結片２４，２６により枠体１２に固定・支持されてい
る。なお、枠体１２は、図示しないケーシングに固定さ
れている。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Next, preferred embodiments of the vibration gyro according to the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a block diagram showing the overall configuration of a vibrating gyroscope 10 of the embodiment. As shown in the figure, the vibrating gyroscope 10 has a frame body 12 having an opening at the center, and the inside of the opening of the frame body 12 has 4
The vibrating bars 14, 16, 18, and 20 of the book are supported and provided in an H shape. Each of these vibrating pieces is projected from the support body 22, and the vibrating piece 14 and the vibrating piece 18 and the vibrating piece 16 and the vibrating piece 20 are positioned as targets with the support body 22 interposed therebetween. The support 22 is fixed and supported on the frame 12 by connecting pieces 24 and 26 extending from the center to the left and right in the figure. The frame body 12 is fixed to a casing (not shown).

【００１７】この振動ジャイロ１０は、単結晶体である
水晶の板材（水晶板）をそのＺカット面のエッチングを
経て形成されており、上記の各振動片は正方断面となる
ようその幅が定められている。このように振動ジャイロ
１０は振動の伝播が可能な水晶板から形成されているの
で、ある振動片、例えば振動片１４が図中に示す直交座
標軸におけるＸ軸に沿って振動すれば、当該振動は支持
体２２を経て振動片１８に伝播する。よって、振動片１
４が継続してＸ軸に沿って振動していれば、この振動片
１４と振動片１８とは、振動片１４の上記振動の周波数
でＸ軸に沿って共振することになる。振動片１６と振動
片２０とについても同様である。The vibrating gyroscope 10 is formed by etching a quartz plate material (quartz plate) which is a single crystal body, on its Z-cut surface, and the width of each of the above vibrating bars is determined so as to have a square cross section. Has been. Since the vibrating gyroscope 10 is formed of a crystal plate capable of propagating vibrations as described above, if a vibrating piece, for example, the vibrating piece 14 vibrates along the X axis in the orthogonal coordinate axes shown in the figure, the vibration is generated. The vibration propagates to the vibrating piece 18 via the support 22. Therefore, the vibrating piece 1
If No. 4 continues to vibrate along the X axis, the vibrating piece 14 and the vibrating piece 18 resonate along the X axis at the frequency of the vibration of the vibrating piece 14. The same applies to the vibrating piece 16 and the vibrating piece 20.

【００１８】本実施例では、振動片１４と振動片１６が
Ｘ軸に沿って振動（自励振）する振動片とされ、振動片
１８と振動片２０が図中に示すＹ軸に沿って振動した際
のその振動状態を検出するための振動片とされている。
そして、振動片１４と振動片１８とが対となり、振動片
１６と振動片２０とが対となる。なお、振動ジャイロ１
０の形成に際しては、振動片１４と振動片１８および振
動片１６と振動片２０のＸ軸方向の共振周波数が一致す
るよう、設計・感度トリミングされている。In this embodiment, the vibrating element 14 and the vibrating element 16 are vibrating elements vibrating (self-exciting) along the X axis, and the vibrating element 18 and the vibrating element 20 vibrate along the Y axis shown in the figure. It is used as a vibrating piece for detecting the vibration state at the time of doing.
The vibrating piece 14 and the vibrating piece 18 form a pair, and the vibrating piece 16 and the vibrating piece 20 form a pair. The vibration gyro 1
When 0 is formed, design and sensitivity trimming are performed so that the resonator element 14 and the resonator element 18, and the resonator element 16 and the resonator element 20 have the same resonance frequency in the X-axis direction.

【００１９】この振動ジャイロ１０は、水晶自体が圧電
効果を発揮する材料であるので、振動片１４，１６に
は、その根本側に、振動片をＸ軸に沿って励振するため
の励振電極２８，３０を備える。また、振動片１８，２
０には、その根本側に、振動片のＹ軸に沿った振動の振
動状態を検出するための振動検出電極３２，３４を備え
る。更に、支持体２２には、振動片１４，１８側と振動
片１６，２０側とに、この支持片に歪みが生じた場合に
その歪み度合いを検出するための歪み検出電極３６，３
８を備える。Since the vibrating gyroscope 10 is a material in which the crystal itself exerts a piezoelectric effect, the vibrating bars 14 and 16 have excitation electrodes 28 on the root side thereof for vibrating the vibrating bars along the X axis. , 30 are provided. In addition, the vibrating pieces 18, 2
No. 0 is provided with vibration detection electrodes 32 and 34 on the root side thereof for detecting the vibration state of the vibration of the vibrating piece along the Y axis. Further, in the support 22, the strain detecting electrodes 36, 3 for detecting the degree of strain when strain occurs in the vibrating reeds 14, 18 side and the vibrating reeds 16, 20 side.
8 is provided.

【００２０】また、振動ジャイロ１０は、振動片１４，
１６をＸ軸に沿って継続して振動するための励振側回路
４０と、振動片１８，２０がＹ軸に沿って振動した際の
その振動状態を検出するための検出側回路５０とを備え
る。励振側回路４０には、励振電極２８，３０と歪み検
出電極３６，３８とが接続され、検出側回路５０には、
振動検出電極３２，３４が接続されている。励振側回路
４０と検出側回路５０の回路構成については後述する。The vibrating gyroscope 10 includes a vibrating piece 14,
An excitation side circuit 40 for continuously vibrating 16 along the X axis, and a detection side circuit 50 for detecting the vibration state when the vibrating bars 18, 20 vibrate along the Y axis. . The excitation electrodes 28 and 30 and the strain detection electrodes 36 and 38 are connected to the excitation side circuit 40, and the detection side circuit 50 includes
The vibration detection electrodes 32 and 34 are connected. The circuit configurations of the excitation side circuit 40 and the detection side circuit 50 will be described later.

【００２１】次に、上記した各電極の構成について、図
２に示す要部概略斜視図と、その３−３線拡大断面図，
４−４線拡大断面図，５−５線拡大断面図および６−６
線拡大断面図を用いて説明する。これら図面に示すよう
に、励振電極２８は、振動片１４の上下面（Ｙ軸が直交
するＸ−Ｚ平面と平行な面）のそれぞれに形成された上
下面電極パターン２８ａ，２８ｂと、振動片１４の両側
面（Ｘ軸が直交するＹ−Ｚ平面と平行な面）のそれぞれ
に形成された側面電極パターン２８ｃ，２８ｄからな
る。この側面電極パターン２８ｃ，２８ｄは、図２に示
すように、振動片１４上下面の導通パターン２９にて導
通されている。励振電極３０も同様の構成を備える。し
かし、後述するように交流電圧の印加を受ける際の励振
電極３０の上下面電極パターン３０ａ，３０ｂの極性
は、励振電極２８の側面電極パターン２８ｃ，２８ｄと
同じとされ、励振電極３０の側面電極パターン３０ｃ，
３０ｄの極性は、励振電極２８の上下面電極パターン２
８ａ，２８ｂと同じとされている。Next, regarding the constitution of each of the above-mentioned electrodes, a schematic perspective view of a main part shown in FIG. 2 and an enlarged sectional view taken along line 3-3 of FIG.
4-4 line expanded sectional view, 5-5 line expanded sectional view and 6-6
This will be described with reference to a line enlarged sectional view. As shown in these drawings, the excitation electrode 28 includes upper and lower surface electrode patterns 28a and 28b formed on the upper and lower surfaces of the vibrating piece 14 (surfaces parallel to the XZ plane in which the Y axis is orthogonal), and the vibrating piece. Side surface electrode patterns 28c and 28d are formed on both side surfaces of 14 (surfaces parallel to the YZ plane in which the X axis is orthogonal). As shown in FIG. 2, the side surface electrode patterns 28c and 28d are electrically connected by the conductive pattern 29 on the upper and lower surfaces of the resonator element 14. The excitation electrode 30 also has a similar configuration. However, as will be described later, the polarities of the upper and lower electrode patterns 30a and 30b of the excitation electrode 30 when receiving an AC voltage are the same as the side electrode patterns 28c and 28d of the excitation electrode 28, and the side electrodes of the excitation electrode 30 are the same. Pattern 30c,
The polarity of 30d corresponds to the upper and lower electrode patterns 2 of the excitation electrode 28.
It is the same as 8a and 28b.

【００２２】また、振動検出電極３２は、振動片１８の
上面に並んで形成された並列電極パターン３２ａ，３２
ｂと、下面に並んで形成された並列電極パターン３２
ｃ，３２ｄからなる。そして、並列電極パターン３２ａ
は並列電極パターン３２ｃと、並列電極パターン３２ｂ
は並列電極パターン３２ｄとそれぞれ対向し（図４参
照）、対向する並列電極パターン同士（３２ａと３２
ｃ，３２ｂと３２ｄ）は、振動片１８の両側面の導通パ
ターン３３にて導通されている（図２は一側面のみ示
す）。振動検出電極３４も同様の構成を備える。Further, the vibration detection electrode 32 has parallel electrode patterns 32a, 32 formed side by side on the upper surface of the vibrating piece 18.
b, and the parallel electrode pattern 32 formed on the lower surface side by side.
It consists of c and 32d. And the parallel electrode pattern 32a
Are parallel electrode patterns 32c and parallel electrode patterns 32b
Are opposed to the parallel electrode patterns 32d (see FIG. 4), and are opposed to each other (32a and 32a).
c, 32b and 32d) are conducted by the conducting patterns 33 on both side surfaces of the vibrating piece 18 (FIG. 2 shows only one side surface). The vibration detection electrode 34 also has a similar configuration.

【００２３】歪み検出電極３６は、支持体２２の上下面
のそれぞれに形成された上下面電極パターン３６ａ，３
６ｂと、支持体２２の両側面（Ｚ軸が直交するＸ−Ｙ平
面と平行な面）のそれぞれに形成された側面電極パター
ン３６ｃ，３６ｄからなる。歪み検出電極３８も同様の
構成を備える。The strain detecting electrodes 36 are formed by the upper and lower electrode patterns 36a, 3 formed on the upper and lower surfaces of the support 22, respectively.
6b and side surface electrode patterns 36c and 36d formed on both side surfaces of the support 22 (surfaces parallel to the XY plane in which the Z axis is orthogonal). The strain detection electrode 38 also has a similar configuration.

【００２４】そして、支持体２２および連結片２４，２
６の上下面には、上記した各電極パターンに到る配線が
次のようにして形成されている。つまり、振動片１４に
おける励振電極２８の上下面電極パターン２８ａには、
枠体１２の左端子部６０から配線６２が形成されてい
る。この配線６２からは、上下面電極パターン２８ａに
到る手前で配線６３が分岐して形成されており、配線６
３は、支持体２２の上端面から下面にまで回り込み、振
動片１４下面の上下面電極パターン２８ｂに接続されて
いる。振動片１６における励振電極３０の上下面電極パ
ターン３０ａには、左端子部６４から配線６６が形成さ
れている。この配線６６から上下面電極パターン３０ａ
の手前で分岐した配線６７は、支持体２２の下端面から
下面にまで回り込み、振動片１６下面の上下面電極パタ
ーン３０ｂに接続されている。また、導通が採られた励
振電極２８の側面電極パターン２８ｃ，２８ｄには、左
端子部６８から配線７０が形成されており、励振電極３
０の側面電極パターン３０ｃ，３０ｄには、左端子部７
２から配線７４が形成されている。Then, the support 22 and the connecting pieces 24, 2
Wirings reaching the above electrode patterns are formed on the upper and lower surfaces of 6 as follows. That is, the upper and lower electrode patterns 28a of the excitation electrode 28 in the resonator element 14
The wiring 62 is formed from the left terminal portion 60 of the frame body 12. A wiring 63 is branched from the wiring 62 before reaching the upper and lower electrode patterns 28a.
3 goes around from the upper end surface of the support 22 to the lower surface, and is connected to the upper and lower electrode patterns 28b on the lower surface of the vibrating piece 14. Wirings 66 are formed from the left terminal portion 64 on the upper and lower electrode patterns 30a of the excitation electrode 30 in the vibrating piece 16. From this wiring 66 to the upper and lower electrode patterns 30a
The wiring 67 diverging in front of the wiring 22 wraps around from the lower end surface of the support 22 to the lower surface, and is connected to the upper and lower electrode patterns 30b on the lower surface of the vibrating piece 16. Further, the wiring 70 is formed from the left terminal portion 68 on the side surface electrode patterns 28c and 28d of the excitation electrode 28 which is made conductive.
0 side electrode patterns 30c and 30d have left terminal portions 7
The wiring 74 is formed from 2.

【００２５】振動片１８における振動検出電極３２の導
通が採られた対向する並列電極パターン３２ｂ，３２ｄ
には、枠体１２の右端子部７６から配線７８が形成され
ている。振動片２０における振動検出電極３４の導通が
採られた対向する並列電極パターン３４ａ，３４ｃに
は、右端子部８０から配線８２が形成されている。な
お、振動検出電極３２の導通が採られた対向する並列電
極パターン３２ａ，３２ｃと振動検出電極３４の導通が
採られた対向する並列電極パターン３４ｂ，３４ｄとに
は、各振動片および連結片２６下面にて同様に配線が形
成されている。Opposing parallel electrode patterns 32b and 32d on which the vibration detecting electrodes 32 of the vibrating piece 18 are electrically connected.
A wiring 78 is formed from the right terminal portion 76 of the frame body 12. The wiring 82 is formed from the right terminal portion 80 on the opposing parallel electrode patterns 34 a and 34 c where the vibration detection electrode 34 of the vibrating piece 20 is electrically connected. The vibrating piece and the connecting piece 26 are provided in the opposing parallel electrode patterns 32a and 32c where the vibration detecting electrode 32 is made conductive and the opposing parallel electrode patterns 34b and 34d where the vibration detecting electrode 34 is made conductive. Wiring is similarly formed on the lower surface.

【００２６】また、支持体２２における歪み検出電極３
６の上下面電極パターン３６ａには、枠体１２の右端子
部８４から配線８６が形成されている。歪み検出電極３
６の側面電極パターン３６ｃには左端子部８８から配線
９０が、側面電極パターン３６ｄには右端子部９１から
配線９２がそれぞれ形成されている。この場合、支持体
２２下面の上下面電極パターン３６ｂには、支持体２２
および連結片２６下面にて同様に配線が形成されてい
る。The strain detection electrode 3 on the support 22 is also provided.
A wiring 86 is formed on the upper and lower electrode patterns 36 a of the frame 6 from the right terminal portion 84 of the frame body 12. Strain detection electrode 3
A wiring 90 is formed from the left terminal portion 88 on the side surface electrode pattern 36c of FIG. 6, and a wiring 92 is formed from the right terminal portion 91 on the side surface electrode pattern 36d. In this case, the upper and lower electrode patterns 36b on the lower surface of the support 22 have the support 22
Similarly, wiring is formed on the lower surface of the connecting piece 26.

【００２７】更に、支持体２２における歪み検出電極３
８の上下面電極パターン３８ａには、右端子部９３から
配線９４が形成されている。歪み検出電極３８の側面電
極パターン３８ｃには左端子部９５から配線９６が、側
面電極パターン３８ｄには右端子部９７から配線９８が
それぞれ形成されている。この場合、支持体２２下面の
上下面電極パターン３８ｂには、支持体２２および連結
片２６下面にて同様に配線が形成されている。よって、
連結片２６下面には、図４に示すように４本の配線が形
成されることになる。なお、これら電極パターンおよび
配線は、振動ジャイロ１０の表面への導電性の薄膜形
成，フォトレジスト処理等の周知の半導体製造技術によ
り形成される。Further, the strain detection electrode 3 on the support 22 is
Wirings 94 are formed from the right terminal portion 93 on the upper and lower electrode patterns 38a of FIG. A wiring 96 is formed on the side surface electrode pattern 38c of the strain detection electrode 38 from the left terminal portion 95, and a wiring 98 is formed on the side surface electrode pattern 38d from the right terminal portion 97. In this case, wirings are similarly formed on the upper and lower electrode patterns 38b on the lower surface of the support 22 on the lower surfaces of the support 22 and the connecting pieces 26. Therefore,
On the lower surface of the connecting piece 26, four wires are formed as shown in FIG. These electrode patterns and wirings are formed by a well-known semiconductor manufacturing technique such as formation of a conductive thin film on the surface of the vibration gyro 10 and photoresist treatment.

【００２８】そして、上記したそれぞれの端子部を経
て、励振側回路４０に励振電極２８，３０および歪み検
出電極３６，３８の各電極パターンが接続され、検出側
回路５０に振動検出電極３２，３４の各電極パターンが
接続されている。なお、励振電極２８と励振電極３０の
励振側回路４０への接続は、上記した電極パターンの極
性を配慮して行なわれる。つまり、交流電圧の印加を受
けて励振電極２８の上下面電極パターン２８ａ，２８ｂ
に正の電荷がかかれば励振電極３０の側面電極パターン
３０ｃ，３０ｄには正の電荷がかかり、励振電極２８の
側面電極パターン２８ｃ，２８ｄに負の電荷がかかれば
励振電極３０の上下面電極パターン３０ａ，３０ｂには
負の電荷がかかるよう、各電極パターンは接続される。
もっとも、励振電極２８と励振電極３０について両上下
面電極パターン同士を同じ極性にし、両側面電極パター
ン同士を同じ極性にすることもできる。この場合に、励
振電極２８と励振電極３０に印加する交流電圧の位相を
１８０度ずらせばよい。Then, the electrode patterns of the excitation electrodes 28, 30 and the strain detection electrodes 36, 38 are connected to the excitation side circuit 40 via the respective terminal portions described above, and the vibration detection electrodes 32, 34 are connected to the detection side circuit 50. The respective electrode patterns of are connected. The connection of the excitation electrode 28 and the excitation electrode 30 to the excitation side circuit 40 is performed in consideration of the polarity of the above electrode pattern. That is, the upper and lower surface electrode patterns 28a and 28b of the excitation electrode 28 upon receiving the application of the alternating voltage.
If a positive charge is applied to the side surface electrode patterns 30c and 30d of the excitation electrode 30, a positive charge is applied to the side surface electrode patterns 28c and 28d of the excitation electrode 28. The electrode patterns are connected so that negative charges are applied to 30a and 30b.
However, it is also possible that the upper and lower surface electrode patterns of the excitation electrode 28 and the excitation electrode 30 have the same polarity, and the both side surface electrode patterns have the same polarity. In this case, the phase of the AC voltage applied to the excitation electrode 28 and the excitation electrode 30 may be shifted by 180 degrees.

【００２９】次に、この振動ジャイロ１０の回路構成に
ついて図１のブロック図を用いて説明する。図示するよ
うに、励振側回路４０は、振動片１４の励振電極２８と
振動片１６の励振電極３０に交流電圧を同位相で印加す
る励振回路４２と、支持体２２における歪み検出電極３
６，３８から得られた電気信号の直流成分をカット後に
復調する復調調整回路４４と、入力した電気信号のレベ
ルにかかわらず一定の出力レベルとするオートマティッ
クゲインコントローラ（ＡＧＣ）４６と、振動片１４，
１６の共振周波数を中心とした所定幅の周波数の電気信
号を選別するバンドパスフィルタ４８とから構成され
る。この場合、復調調整回路４４に入力される電気信号
は、支持体２２に歪みが起き当該歪みに基づいて水晶の
圧電効果により生じる電気信号を歪み検出電極３６，３
８により取りだしたものである。Next, the circuit configuration of the vibrating gyro 10 will be described with reference to the block diagram of FIG. As illustrated, the excitation side circuit 40 includes an excitation circuit 42 that applies an AC voltage to the excitation electrode 28 of the vibrating piece 14 and an excitation electrode 30 of the vibrating piece 16 in the same phase, and the strain detection electrode 3 in the support 22.
Demodulation adjustment circuit 44 that demodulates the DC components of the electric signals obtained from the reference numerals 6, 38 after cutting, an automatic gain controller (AGC) 46 that makes a constant output level regardless of the level of the input electric signal, and the vibrating piece 14 ，
A bandpass filter 48 for selecting an electric signal having a frequency of a predetermined width centered on the 16 resonance frequencies. In this case, as the electric signal input to the demodulation adjustment circuit 44, distortion occurs in the support 22 and the electric signal generated by the piezoelectric effect of the crystal based on the distortion is converted into the distortion detection electrodes 36 and 3.
It was taken out by 8.

【００３０】この励振側回路４０は、励振回路４２によ
り、振動片１４の励振電極２８と振動片１６の励振電極
３０にこの振動片１４，１６のＸ軸方向の共振周波数と
一致する周波数の交流電圧を常時印加する。In the excitation side circuit 40, the excitation circuit 42 causes the excitation electrode 28 of the vibrating element 14 and the excitation electrode 30 of the vibrating element 16 to exchange an alternating current having a frequency matching the resonance frequency of the vibrating elements 14, 16 in the X-axis direction. Always apply voltage.

【００３１】一方、検出側回路５０は、振動片１８の振
動検出電極３２および振動片２０の振動検出電極３４か
ら得られた電気信号の位相を揃える検出バランス調整回
路５１と、この検出バランス調整回路５１により調整さ
れた電気信号の出力レベルを増幅する増幅回路５３と、
交流電圧である電気信号の負の部分を反転して正電圧と
し、整流作用をはたす同期検波回路５５と、正電圧化さ
れた電気信号を整流電圧の電気信号とする積分回路５７
と、整流電圧の電気信号の出力レベルを増幅する増幅出
力回路５９とから構成される。On the other hand, the detection side circuit 50 includes a detection balance adjusting circuit 51 for aligning the phases of the electric signals obtained from the vibration detecting electrode 32 of the vibrating piece 18 and the vibration detecting electrode 34 of the vibrating piece 20, and this detection balance adjusting circuit. An amplifier circuit 53 for amplifying the output level of the electric signal adjusted by 51,
A synchronous detection circuit 55 that inverts the negative portion of the electric signal that is an alternating voltage to make it a positive voltage, and an integration circuit 57 that makes a positive voltage electric signal an electric signal of a rectified voltage.
And an amplification output circuit 59 for amplifying the output level of the rectified voltage electric signal.

【００３２】励振回路４２から交流電圧の印加された振
動片１４と振動片１６とは、水晶の逆圧電効果により電
圧に応じた振幅で振動（自励振）を起こし、その電極の
構成から、図中Ｘ軸方向に沿ってその共振周波数で振動
する。そして、この振動片１４，１６のＸ軸に沿った振
動は他の振動片１８，２０に支持体２２を経て伝播し、
振動片１４と振動片１８とが対となり、振動片１６と振
動片２０とが対となって、これら対の振動片はＸ軸に沿
って共振する。この場合、振動片１４の励振電極２８と
振動片１６の励振電極３０における上記した電極パター
ンの極性により、図７の模式図に示すように、振動片１
４，１６はＸ軸において逆符号の向きに互いに振動す
る。そして、この振動が伝播した振動片１８，２０とに
あっては、上記振動片と共振してＸ軸に沿って振動し、
その際の振動方向も振動片１４，１６と同様、Ｘ軸にお
いて逆符号の向きとなる。The vibrating reed 14 and the vibrating reed 16 to which the AC voltage is applied from the excitation circuit 42 vibrate (self-excited) with an amplitude corresponding to the voltage due to the inverse piezoelectric effect of the crystal, and from the configuration of the electrodes, It vibrates at the resonance frequency along the middle X-axis direction. The vibration of the vibrating bars 14 and 16 along the X-axis propagates to the other vibrating bars 18 and 20 through the support 22.
The vibrating piece 14 and the vibrating piece 18 form a pair, the vibrating piece 16 and the vibrating piece 20 form a pair, and these vibrating pieces of the pair resonate along the X axis. In this case, due to the polarities of the above-mentioned electrode patterns in the excitation electrode 28 of the resonator element 14 and the excitation electrode 30 of the resonator element 16, as shown in the schematic diagram of FIG.
4, 16 vibrate in opposite directions on the X axis. Then, in the vibrating pieces 18 and 20 to which this vibration propagates, they resonate with the vibrating piece and vibrate along the X axis,
The vibration direction at that time is also the direction of the opposite sign on the X-axis, like the vibrating bars 14 and 16.

【００３３】自励振する側の振動片１４，１６と共振す
る側の振動片１８，２０とがこのようにＸ軸に沿って振
動すると、図７に示すように、支持体２２には各振動片
の振動に伴って圧縮・引張変形が起こり歪みが生じる。
この歪みに伴い水晶の圧電効果により得られた電荷の変
化は、歪み検出電極３６，３８を経てその歪み度合いに
応じた交流電圧の電気信号として得られる。この電気信
号は、復調調整回路４４により直流成分がカットされて
復調され、ＡＧＣ４６により出力レベルを一定（振動片
１４，１６の共振周波数を中心とした所定幅）にされ
る。そして、バンドパスフィルタ４８により共振周波数
を中心とした所定幅の電気信号が選別され、励振回路４
２により選別された電気信号が振動片１４，１６におけ
る励振電極２８，３０に印加される。When the vibrating pieces 14 and 16 on the self-excited side and the vibrating pieces 18 and 20 on the resonating side vibrate along the X-axis in this way, as shown in FIG. As the piece vibrates, compression / tensile deformation occurs and distortion occurs.
The change in electric charge obtained by the piezoelectric effect of the crystal due to this distortion is obtained as an electric signal of an AC voltage according to the degree of the distortion through the distortion detection electrodes 36 and 38. The DC signal of this electric signal is cut by the demodulation adjustment circuit 44 and demodulated, and the output level is made constant by the AGC 46 (a predetermined width around the resonance frequency of the vibrating bars 14 and 16). Then, the bandpass filter 48 selects an electric signal of a predetermined width centered on the resonance frequency, and the excitation circuit 4
The electric signal selected by 2 is applied to the excitation electrodes 28 and 30 of the vibrating bars 14 and 16.

【００３４】振動片１４，１６がＸ軸に沿って振動する
際の振動周波数や振幅は、水晶の温度に起因して環境温
度に応じて変化するが、この振動振幅の変化は、支持体
２２の圧縮・引張変形、延いては支持体２２の歪み度合
いに相関関係を持って反映される。従って、振動片１
４，１６における励振電極２８，３０には、振動片１
４，１６の共振周波数で、かつ一定レベルの交流電圧が
常時その位相を１８０度ずらして印加される。このた
め、自励振側の振動片１４，１６は、Ｘ軸方向の共振周
波数で定常的に一定の振幅で振動を継続し、共振側の他
の２本の振動片１８，２０もＸ軸に沿って継続して振動
（共振）する。The vibration frequency and amplitude when the vibrating bars 14 and 16 vibrate along the X-axis vary depending on the environmental temperature due to the temperature of the crystal. Is reflected in correlation with the degree of compression / tensile deformation, and thus the degree of strain of the support 22. Therefore, the vibrating piece 1
The vibrating element 1 is attached to the excitation electrodes 28 and 30 of the electrodes 4 and 16.
AC voltages having a resonance frequency of 4, 16 and a constant level are always applied with their phases shifted by 180 degrees. Therefore, the vibrating bars 14 and 16 on the self-excitation side continue to vibrate with a constant amplitude at the resonance frequency in the X-axis direction, and the other two vibrating bars 18 and 20 on the resonance side also move to the X-axis. It vibrates (resonates) continuously.

【００３５】また、振動片１４，１６の振動が振動片１
８，２０に伝播してこの両振動片がＸ軸に沿って継続し
て振動している状態にあるときに、振動ジャイロ１０に
Ｘ−Ｙ平面に直交するＺ軸の回りに回転角速度ωが作用
すると、振動片１８，２０は、式Ｆ＝２ｍＶ・ωで表わ
されるコリオリの力Ｆを受けてＹ軸に沿って振動する。
この場合、振動片１８と振動片２０の振動方向はＸ軸に
おいて逆符号の向きであることから、振動片１８と振動
片２０とがコリオリの力Ｆを受けてＹ軸に沿って振動す
る際の振動方向も、Ｙ軸において逆符号の向きとなる。Further, the vibration of the vibrating bars 14 and 16 is caused by the vibration of the vibrating bar 1.
8 and 20, both of the vibrating reeds are continuously vibrating along the X axis, the rotational angular velocity ω is applied to the vibrating gyro 10 about the Z axis orthogonal to the XY plane. When actuated, the vibrating pieces 18 and 20 vibrate along the Y axis upon receiving the Coriolis force F represented by the formula F = 2 mV · ω.
In this case, since the vibrating pieces 18 and 20 vibrate in opposite directions on the X axis, when the vibrating piece 18 and the vibrating piece 20 receive the Coriolis force F and vibrate along the Y axis. The vibrating direction of is also the direction of the opposite sign on the Y axis.

【００３６】ここで、ｍは振動片１８，２０の振動部分
の質量、Ｖは振動部分の速度である。この振動部分の速
度Ｖは、式Ｖ＝Ａω・cos ωｔで表わされ、回転角速度
ωが一定のときには振動片１８，２０のＸ軸方向の振動
の振幅Ａに比例する。従って、コリオリの力Ｆは振動片
１８，２０のＸ軸方向の振動の振幅Ａを大きくすること
により大きくすることができる。Here, m is the mass of the vibrating portion of the vibrating bars 18 and 20, and V is the velocity of the vibrating portion. The velocity V of this vibrating portion is represented by the equation V = Aω · cos ωt, and is proportional to the amplitude A of the vibration of the vibrating bars 18, 20 in the X-axis direction when the rotational angular velocity ω is constant. Therefore, the Coriolis force F can be increased by increasing the amplitude A of the vibration of the vibrating bars 18, 20 in the X-axis direction.

【００３７】このように振動片１８，２０がコリオリの
力Ｆを受けてＹ軸に沿って振動すると、振動片１８，２
０は、振動片１４，１６から伝播したＸ軸方向の振動と
Ｙ軸方向の振動とにより、全体として楕円運動を起こ
す。振動片１８，２０における振動検出電極３２，３４
からは、この楕円運動のＹ軸方向成分の振動に伴う各振
動片の圧縮・引張変形に応じた交流電圧の電気信号（水
晶の圧電効果による電荷の変化）が得られる。この電気
信号は、振動片１８，２０のＹ軸に沿った振動の振幅を
反映したものであるので、振幅が大きくなれば大きな出
力レベルの電気信号となる。従って、検出感度を高くす
るために電気信号の出力レベルを大きくするには、振動
片１８，２０のＹ軸に沿った振動振幅を大きくすること
が望ましい。In this way, when the vibrating pieces 18, 20 are vibrated along the Y axis by receiving the Coriolis force F, the vibrating pieces 18, 2
0 causes an elliptic motion as a whole due to the vibration in the X-axis direction and the vibration in the Y-axis direction propagated from the vibrating bars 14 and 16. Vibration detection electrodes 32, 34 in the vibrating pieces 18, 20
From, an electric signal (change in charge due to the piezoelectric effect of the crystal) of an AC voltage corresponding to the compressive / tensile deformation of each vibrating piece accompanying the vibration of the Y-axis direction component of this elliptic motion is obtained. Since this electric signal reflects the amplitude of the vibration of the vibrating bars 18 and 20 along the Y axis, the larger the amplitude, the larger the output level of the electric signal. Therefore, in order to increase the output level of the electric signal in order to increase the detection sensitivity, it is desirable to increase the vibration amplitude of the vibrating bars 18 and 20 along the Y axis.

【００３８】振動片１８，２０の振動検出電極３２，３
４から得られた電気信号は、検出バランス調整回路５１
に入力され、この検出バランス調整回路５１では、各振
動検出電極から得られた電気信号の位相が揃えられる。
増幅回路５３では、電気信号の出力レベルが増幅され
る。同期検波回路５５では、励振回路４２の参照信号と
同期して交流電圧である電気信号を検波して正電圧とす
る。積分回路５７では、正電圧化された電気信号を整流
電圧の電気信号とする。整流電圧の電気信号は、増幅出
力回路５９により増幅されて出力される。つまり、コリ
オリの力Ｆによる振動片１８，２０のＹ軸に沿った振動
の振動状態を反映した電気信号が、検出側回路５０の検
出バランス調整回路５１等を経て、Ｚ軸回りの回転角速
度ωの方向と大きさを表わすリニアな電気信号として図
示しない電子制御装置に出力される。このため、振動ジ
ャイロ１０を車両に搭載すれば、車両の旋回方向とその
単位時間当たりの大きさを検出することができる。Vibration detecting electrodes 32, 3 of the vibrating bars 18, 20
The electric signal obtained from 4 is the detection balance adjustment circuit 51.
And the detection balance adjustment circuit 51 aligns the phases of the electric signals obtained from the respective vibration detection electrodes.
The amplifier circuit 53 amplifies the output level of the electric signal. The synchronous detection circuit 55 detects an electric signal, which is an AC voltage, in synchronization with the reference signal of the excitation circuit 42 to make a positive voltage. In the integrating circuit 57, the electric signal converted into the positive voltage is used as the electric signal of the rectified voltage. The electric signal of the rectified voltage is amplified by the amplification output circuit 59 and output. That is, an electric signal that reflects the vibration state of the vibration of the vibrating bars 18, 20 due to the Coriolis force F along the Y axis passes through the detection balance adjustment circuit 51 of the detection side circuit 50 and the like, and the rotational angular velocity ω around the Z axis. Is output to an electronic control unit (not shown) as a linear electric signal indicating the direction and magnitude of. Therefore, if the vibration gyro 10 is mounted on a vehicle, the turning direction of the vehicle and its magnitude per unit time can be detected.

【００３９】以上説明したように、本実施例の振動ジャ
イロ１０では、振動片１４，１６のＸ軸に沿った定常的
な振動を励起するための電極（いわゆるフィードバック
電極）をこれら振動片には必要とせず、支持体２２に歪
み検出電極３６，３８として設けた。従って、本実施例
の振動ジャイロ１０によれば、自励振側および共振側の
振動片における電極構成を簡略化することができる。し
かも、振動片１４，１６を支持体２２の歪み度合いに基
づいて振動させることで、環境温度の影響を排除して振
動片１４，１６を定常的に一定振幅で振動させることが
できる。そして、この定常的な振動をコリオリの力の検
出用の振動片１８，２０に伝播して振動片１８，２０を
共振させることができる。このため、本実施例の振動ジ
ャイロ１０によれば、電極構成の簡略化に加え、コリオ
リの力の検出感度の向上を図ることができる。As described above, in the vibrating gyroscope 10 of this embodiment, electrodes (so-called feedback electrodes) for exciting steady vibrations of the vibrating pieces 14 and 16 along the X axis are provided in these vibrating pieces. The strain detection electrodes 36 and 38 are provided on the support 22 without need. Therefore, according to the vibrating gyroscope 10 of the present embodiment, it is possible to simplify the electrode configurations of the vibrating bars on the self-excitation side and the resonance side. Moreover, by vibrating the vibrating pieces 14 and 16 based on the degree of strain of the support 22, the vibrating pieces 14 and 16 can be steadily vibrated with a constant amplitude by eliminating the influence of the environmental temperature. Then, this steady vibration can be propagated to the vibrating pieces 18 and 20 for detecting the Coriolis force to resonate the vibrating pieces 18 and 20. Therefore, according to the vibration gyroscope 10 of the present embodiment, it is possible to improve the detection sensitivity of the Coriolis force in addition to simplifying the electrode configuration.

【００４０】また、振動ジャイロ１０では、図７に示す
ように、検出用の振動片１８，２０が振動片１４，１６
の振動の伝播を受けてＸ軸に沿って共振する際の振動の
向きを逆にすることができる。このため、振動ジャイロ
１０では、この振動ジャイロ１０がＺ軸回りに回転して
振動片１８，２０が回転角速度を受けたときにこの両振
動片に作用するコリオリの力の方向を逆にすることがで
きる。よって、本実施例の振動ジャイロ１０では、振動
片にＺ軸回りの回転に基づかない外乱、例えば車両であ
れば車両旋回に基づかない横加速度等の外乱が加わって
振動片が撓んでも、この撓みによる出力は相殺される。
この結果、本実施例の振動ジャイロ１０によれば、コリ
オリの力の検出感度、延いては回転角速度ωの方向およ
びその大きさの検出感度をより一層向上させることがで
きる。Further, in the vibrating gyroscope 10, as shown in FIG. 7, the vibrating pieces 18, 20 for detection are the vibrating pieces 14, 16.
The direction of the vibration when resonating along the X axis due to the propagation of the vibration can be reversed. Therefore, in the vibrating gyro 10, when the vibrating gyro 10 rotates about the Z-axis and the vibrating bars 18 and 20 receive the angular velocity of rotation, the directions of the Coriolis force acting on the vibrating bars are reversed. You can Therefore, in the vibrating gyroscope 10 of the present embodiment, even if the vibrating piece is bent by a disturbance that is not based on rotation around the Z axis, such as a lateral acceleration that is not based on vehicle turning in a vehicle, the vibrating piece is bent. The output due to the deflection is canceled out.
As a result, according to the vibrating gyroscope 10 of the present embodiment, it is possible to further improve the detection sensitivity of the Coriolis force, that is, the detection sensitivity of the direction and the magnitude of the rotational angular velocity ω.

【００４１】また、振動ジャイロ１０では、Ｘ軸に沿っ
た振動を励起する振動片１４，１６には自励振用の励振
電極２８，３０のみを、振動の伝播を受け共振しコリオ
リの力の検出側の振動片１８，２０には検出用の振動検
出電極３２，３４のみを設けるだけでよい。このため、
本実施例の振動ジャイロ１０によれば、一つの振動片に
複数の電極を設ける必要がないので、振動ジャイロの構
成をより簡略化することができると共に、振動片ごとの
電極数の削減を通して小型化を図ることができる。Further, in the vibrating gyro 10, only the excitation electrodes 28 and 30 for self-excitation are included in the vibrating pieces 14 and 16 that excite the vibration along the X-axis, and resonance is generated by the propagation of the vibration to detect the Coriolis force. It is sufficient to provide only the vibration detection electrodes 32 and 34 for detection on the side vibration pieces 18 and 20. For this reason,
According to the vibrating gyroscope 10 of this embodiment, since it is not necessary to provide a plurality of electrodes on one vibrating piece, the structure of the vibrating gyroscope can be further simplified and the number of electrodes for each vibrating piece can be reduced to reduce the size. Can be realized.

【００４２】また、本実施例の振動ジャイロ１０では、
各振動片が振動した際の歪が著しい振動片の根元側に励
振電極２８，振動検出電極３２等の該当する電極を独立
して設けることができる。このため、本実施例の振動ジ
ャイロ１０によれば、励振電極２８，３０により振動片
１４，１６を効率よく振動させることができると共に、
コリオリの力、延いては回転角速度ωの方向およびその
大きさを振動検出電極３２，３４により感度よく検出で
きる。Further, in the vibrating gyroscope 10 of this embodiment,
Corresponding electrodes such as the excitation electrode 28 and the vibration detection electrode 32 can be independently provided on the base side of the vibrating piece which is significantly distorted when each vibrating piece vibrates. Therefore, according to the vibrating gyroscope 10 of the present embodiment, the vibrating bars 14 and 16 can be efficiently vibrated by the excitation electrodes 28 and 30, and
The Coriolis force, by extension, the direction of the rotational angular velocity ω and its magnitude can be detected with high sensitivity by the vibration detection electrodes 32 and 34.

【００４３】以上本発明の一実施例について説明した
が、本発明はこの様な実施例になんら限定されるもので
はなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々な
る態様で実施し得ることは勿論である。Although one embodiment of the present invention has been described above, the present invention is not limited to such an embodiment and can be implemented in various modes without departing from the scope of the present invention. Of course.

【００４４】例えば、振動ジャイロ１０の形成に際して
は水晶に限られるのではない。具体的には、振動を伝播
する金属、例えばジュラルミン等の軽合金の板材から図
１に示す形状に適宜な機械加工を経て振動ジャイロ１０
を形成することもできる。この場合には、図８に示すよ
うに、振動片１４，１６には、その側面に当該振動片を
Ｘ軸に沿って振動させる一対のピエゾ素子１２８，１３
０を貼着・固定し、振動片１８，２０には、その上下面
に当該振動片がＹ軸に沿って振動した際の振動状態を検
出するための一対のピエゾ素子１３２，１３４を貼着・
固定する。また、支持体２２には、振動片１４，１８側
および振動片１６，２０側の両側面に、支持体２２に起
きた歪みの度合いを検出するための一対のピエゾ素子１
３６，１３８を貼着・固定する。For example, when forming the vibrating gyro 10, it is not limited to quartz. Specifically, the vibration gyro 10 is formed by appropriately machining a metal plate that propagates vibration, for example, a light alloy such as duralumin, into the shape shown in FIG.
Can also be formed. In this case, as shown in FIG. 8, the vibrating bars 14 and 16 have a pair of piezo elements 128 and 13 on their side surfaces for vibrating the vibrating bars along the X axis.
0 is attached and fixed, and a pair of piezo elements 132 and 134 for detecting the vibration state when the vibrating piece vibrates along the Y-axis are attached to the upper and lower surfaces of the vibrating pieces 18 and 20, respectively.・
Fix it. The support 22 has a pair of piezo elements 1 for detecting the degree of strain generated in the support 22 on both sides of the vibrating pieces 14 and 18 and the vibrating pieces 16 and 20.
Attach and fix 36 and 138.

【００４５】そして、振動片１４，１６のピエゾ素子１
２８，１３０を励振側回路４０の励振回路４２に、振動
片１８，２０のピエゾ素子１３２，１３４を検出側回路
５０の検出バランス調整回路５１に、支持体２２のピエ
ゾ素子１３６，１３８を励振側回路４０の復調調整回路
４４に替わる検出バランス調整回路に接続する。なお、
この復調調整回路４４に替わる検出バランス調整回路で
は、一対のピエゾ素子１３６，１３８により各対におけ
る一のピエゾ素子からの電気信号を反転して位相が揃え
られる。検出側回路５０の検出バランス調整回路５１で
も同様である。Then, the piezoelectric element 1 of the vibrating bars 14 and 16
28 and 130 to the excitation circuit 42 of the excitation side circuit 40, the piezo elements 132 and 134 of the vibrating bars 18 and 20 to the detection balance adjustment circuit 51 of the detection side circuit 50, and the piezo elements 136 and 138 of the support 22 to the excitation side. The circuit 40 is connected to a detection balance adjustment circuit that replaces the demodulation adjustment circuit 44. In addition,
In the detection balance adjustment circuit that replaces the demodulation adjustment circuit 44, the pair of piezo elements 136 and 138 inverts the electric signal from one piezo element in each pair to align the phases. The same applies to the detection balance adjustment circuit 51 of the detection side circuit 50.

【００４６】また、振動ジャイロ１０の振動片１４，１
６をＸ軸に沿って振動させるに当たり、このＸ軸を両振
動片の並びに沿った方向の軸とし（図１，図２参照）、
振動片１４，１６をその並びに沿って振動させたがこれ
に限るわけではない。つまり、Ｘ軸を振動片１４，１６
の並びに沿った方向と直交する方向の軸（図１および図
２に表記したＹ軸）とすることもできる。この場合に
は、振動片１４，１６の電極パターンを変更し、振動片
１４，１６を振動片の並びに沿った方向と交差する方向
に沿って振動させるよう構成することもできる。The vibrating reeds 14, 1 of the vibrating gyro 10 are also provided.
When vibrating 6 along the X-axis, this X-axis is used as an axis in the direction along the two vibrating bars (see FIGS. 1 and 2),
The vibrating bars 14 and 16 are vibrated along the row, but the vibrating pieces are not limited to this. That is, the X axis is set to the vibrating bars 14 and 16
It is also possible to use an axis (Y-axis shown in FIGS. 1 and 2) in a direction orthogonal to the direction along the line. In this case, the electrode patterns of the vibrating bars 14 and 16 may be changed so that the vibrating bars 14 and 16 are vibrated along a direction intersecting the direction along the vibrating bars.

【００４７】また、振動ジャイロ１０では、支持体２２
の両側に振動片１４，１６および振動片１８，２０を突
出させたＨ字状の振動ジャイロとして構成としたが、支
持体２２の両側に１本ずつの振動片を突出させて両振動
片を共振可能にしたものとすることもできる。更には、
振動ジャイロ１０を、図９に示すように変形することも
できる。つまり、この変形例の振動ジャイロ１０Ａは、
支持体２２Ａからは同じ側に振動片１４Ａと振動片１６
Ａとを突出して備え、振動片１４Ａには励振電極２８Ａ
と振動検出電極３２Ａとを、振動片１６Ａには励振電極
３０Ａと振動検出電極３４Ａとを、支持体２２Ａには歪
み検出電極３６Ａを有する。この振動ジャイロ１０Ａで
は、励振電極２８Ａと励振電極３０Ａに印加する交流電
圧の位相をずらすことで、両振動片をＸ軸に沿って共振
させ、その際の支持体２２Ａの歪み度合いを歪み検出電
極３６Ａで電気信号として得る。そして、この歪み検出
電極３６Ａからの電気信号に基づき励振電極２８Ａと励
振電極３０Ａへの交流電圧の印加状態を制御する。この
振動ジャイロ１０Ａでも、各振動片にはフィードバック
電極（歪み検出電極）を必要としないので、振動片にお
ける電極構成の簡略化とコリオリの力の検出感度の向上
とを図ることができる。In the vibrating gyro 10, the support 22
The vibrating reeds 14, 16 and the vibrating reeds 18, 20 are formed on both sides of the support as an H-shaped vibrating gyro. It can also be made resonable. Furthermore,
The vibrating gyro 10 can be modified as shown in FIG. That is, the vibration gyro 10A of this modified example
The vibrating piece 14A and the vibrating piece 16 are provided on the same side from the support 22A.
A is provided so as to project, and the excitation electrode 28A is provided on the vibrating piece 14A.
And the vibration detection electrode 32A, the vibration piece 16A has an excitation electrode 30A and the vibration detection electrode 34A, and the support 22A has a strain detection electrode 36A. In this vibrating gyroscope 10A, by shifting the phases of the alternating voltage applied to the excitation electrode 28A and the excitation electrode 30A, both vibrating bars are caused to resonate along the X axis, and the degree of strain of the support 22A at that time is detected by the strain detection electrode Obtained as an electric signal at 36A. Then, the application state of the AC voltage to the excitation electrode 28A and the excitation electrode 30A is controlled based on the electric signal from the strain detection electrode 36A. In this vibrating gyroscope 10A as well, since each vibrating piece does not require a feedback electrode (strain detecting electrode), the electrode structure of the vibrating piece can be simplified and the Coriolis force detection sensitivity can be improved.

【００４８】また、図１０に示すように、変形すること
もできる。この変形例の振動ジャイロ１０Ｂは、図示し
ないケーシングに固定される枠体１２に替えて上下の枠
部１２ａ，１２ｂとし、振動片１４〜２０をＨ字状に突
出させてこれら振動片を支持するに当たり、各振動片が
突出した支持体２２と連結片２４，２６とに加え、上下
の枠部１２ａ，１２ｂの間に配設した連結細幅片２４
ａ，２６ａを用いる。この連結細幅片２４ａ，２６ａに
おける連結片２４，２６連結箇所近傍に、歪み検出電極
３６，３８に替わる歪み検出電極３６Ａ，３８Ｂを有す
る。上記構成の振動ジャイロ１０Ｂでは、振動片１４〜
２０がＸ軸に沿って励振或いは共振する際に、連結細幅
片２４ａ，２６ａでは図１１の模式図中に矢印で示すよ
うな方向の歪みが起きる。そして、振動ジャイロ１０Ｂ
では、この連結細幅片２４ａ，２６ａの歪みの度合い
を、検出電極３６Ａ，３８Ｂから電気信号として捕ら
え、この電気信号に基づき振動片１４，１６への交流電
圧の印加を制御する。この振動ジャイロ１０Ｂにあって
も、各振動片にはフィードバック電極（歪み検出電極）
を必要としないので、振動片における電極構成の簡略化
とコリオリの力の検出感度の向上とを図ることができ
る。Further, as shown in FIG. 10, it can be modified. The vibrating gyroscope 10B of this modified example has upper and lower frame portions 12a and 12b in place of the frame body 12 fixed to a casing (not shown), and vibrating pieces 14 to 20 are projected in an H shape to support these vibrating pieces. In addition to the supporting body 22 and the connecting pieces 24 and 26 from which the respective vibrating pieces protrude, the connecting narrow piece 24 disposed between the upper and lower frame portions 12a and 12b.
a and 26a are used. Strain detection electrodes 36A and 38B, which replace the strain detection electrodes 36 and 38, are provided in the vicinity of the connection portions of the connection pieces 24 and 26 of the connection narrow pieces 24a and 26a. In the vibrating gyroscope 10B having the above structure, the vibrating piece 14-
When 20 is excited or resonated along the X-axis, distortion occurs in the connecting narrow pieces 24a and 26a in the direction indicated by the arrow in the schematic view of FIG. And vibrating gyro 10B
Then, the degree of distortion of the connecting narrow pieces 24a, 26a is detected as an electric signal from the detection electrodes 36A, 38B, and the application of the AC voltage to the vibrating pieces 14, 16 is controlled based on the electric signal. Even in this vibrating gyro 10B, each vibrating piece has a feedback electrode (strain detecting electrode).
Since it is not necessary, it is possible to simplify the electrode configuration of the resonator element and improve the detection sensitivity of the Coriolis force.

【００４９】また、振動ジャイロ１０では、支持体２２
の枠体１２への固定・支持を支持体２２中央の連結片２
４，２６により行なったが、支持体２２の両端から延ば
した連結片により支持体２２を固定・支持する構成を採
ることもできる。In the vibrating gyro 10, the support 22
The support piece 22 is fixed and supported to the frame body 12 by the connecting piece 2 in the center of the support body 22.
4 and 26, the support 22 may be fixed and supported by connecting pieces extending from both ends of the support 22.

【００５０】また、支持体２２の歪み度合いと、検出用
の振動片１８，２０のＸ軸方向の振動の様子とは、共に
振動片１４，１６がＸ軸に沿って振動する際のその振動
状態に依存する。その一方、検出用の振動片１８，２０
からコリオリの力を検出する際のこの振動片の運動（楕
円運動）は、振動片１４，１６がＸ軸に沿って振動する
際のその振動状態の影響を受ける。よって、支持体２２
の歪み度合いは、コリオリの力を検出するための振動片
１８，２０の運動（楕円運動のＹ軸方向成分の振動）と
も関連を持つことになる。このため、振動片１８，２０
の振動検出電極３２，３４で検出した振動片１８，２０
のＹ軸方向の振動状態を、検出電極３６，３８により検
出された支持体２２の歪み度合いに基づいて補正して、
その補正結果を、振動ジャイロにおけるコリオリの力の
検出結果とするよう構成することもできる。この構成を
採った場合でも、電極構成の簡略化とコリオリの力の検
出感度の向上とを図ることができる。The degree of strain of the support 22 and the vibration of the vibrating bars 18, 20 for detection in the X-axis direction are both the vibration when the vibrating bars 14, 16 vibrate along the X-axis. Depends on the state. On the other hand, the vibrating pieces 18, 20 for detection
The motion (elliptical motion) of the vibrating piece when detecting the Coriolis force from the is affected by the vibration state when the vibrating pieces 14 and 16 vibrate along the X axis. Therefore, the support 22
The degree of distortion is also related to the movement of the vibrating bars 18 and 20 for detecting the Coriolis force (vibration of the Y-axis direction component of the elliptic motion). Therefore, the vibrating pieces 18, 20
Vibrating pieces 18, 20 detected by the vibration detecting electrodes 32, 34 of
The vibration state in the Y-axis direction is corrected based on the degree of distortion of the support 22 detected by the detection electrodes 36 and 38,
The correction result may be used as the detection result of the Coriolis force in the vibration gyro. Even when this configuration is adopted, it is possible to simplify the electrode configuration and improve the detection sensitivity of the Coriolis force.

【００５１】[0051]

【発明の効果】以上詳述したように請求項１記載の振動
ジャイロでは、支持部から突出させた第１の振動片をＸ
軸に沿って振動させるに当たり、この第１の振動片の振
動の状態に応じて支持部に起きた歪み度合いを、支持部
にて検出する。このため、請求項１記載の振動ジャイロ
では、支持部の歪み度合いにより第１の振動片の振動の
様子（振動周波数や振幅の程度）が判る。As described above in detail, in the vibrating gyroscope according to the first aspect of the invention, the first vibrating reed protruding from the supporting portion is X-shaped.
When vibrating along the axis, the degree of strain occurring in the support portion is detected by the support portion in accordance with the vibration state of the first vibrating piece. Therefore, in the vibrating gyroscope according to the first aspect, it is possible to know how the first vibrating reed vibrates (the vibrating frequency and the degree of amplitude) based on the degree of distortion of the support portion.

【００５２】そして、請求項１記載の振動ジャイロで
は、支持部の歪みの検出を各振動片から独立して行なう
ので、各振動片にはこの歪み検出のための構成が不要と
なる。このため、請求項１記載の振動ジャイロによれ
ば、その構成を簡略化することができる。しかも、請求
項１記載の振動ジャイロによれば、支持部の歪み度合い
を反映させて環境温度の影響を排除してコリオリの力の
感度向上を図ることが可能となる。Further, in the vibrating gyroscope according to the first aspect, since the strain of the supporting portion is detected independently of each vibrating piece, each vibrating piece does not require a configuration for detecting this strain. Therefore, the vibrating gyroscope according to the first aspect can simplify its configuration. Moreover, according to the vibrating gyroscope of the first aspect, it is possible to improve the sensitivity of the Coriolis force by reflecting the degree of distortion of the support portion and eliminating the influence of the environmental temperature.

【００５３】請求項２記載の振動ジャイロでは、支持部
の歪み度合いに基づいて第１の振動片をＸ軸に沿って励
振させるので、この第１の振動片をＸ軸に沿って定常的
に振動させることができる。このため、請求項２記載の
振動ジャイロによれば、その構成の簡略化に加え、環境
温度の影響を排除してコリオリの力の検出感度を向上さ
せることができる。In the vibrating gyroscope according to the second aspect of the invention, the first vibrating bar is excited along the X-axis based on the degree of distortion of the support portion. Therefore, the first vibrating bar is steadily moved along the X-axis. Can be vibrated. Therefore, according to the vibrating gyroscope of the second aspect, in addition to simplifying the configuration, it is possible to eliminate the influence of the environmental temperature and improve the detection sensitivity of the Coriolis force.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図１】実施例の振動ジャイロ１０の全体構成を示すブ
ロック図。FIG. 1 is a block diagram showing an overall configuration of a vibrating gyroscope 10 according to an embodiment.

【図２】振動ジャイロ１０の電極構成を説明するための
要部概略斜視図。FIG. 2 is a schematic perspective view of an essential part for explaining an electrode configuration of the vibrating gyro 10.

【図３】図２における３−３線拡大断面図。FIG. 3 is an enlarged sectional view taken along line 3-3 of FIG.

【図４】図２における４−４線拡大断面図。FIG. 4 is an enlarged sectional view taken along line 4-4 in FIG.

【図５】図２における５−５線拡大断面図。5 is an enlarged cross-sectional view taken along line 5-5 of FIG.

【図６】図２における６−６線拡大断面図。6 is an enlarged sectional view taken along line 6-6 in FIG.

【図７】振動ジャイロ１０の振動片１４，１６をＸ軸に
沿って振動させた場合の各振動片の振動の様子と支持体
２２に起きる歪みの様子を模式的に説明するための模式
図。FIG. 7 is a schematic diagram for schematically explaining how the vibrating pieces of the vibrating gyroscope 10 vibrate along the X-axis and how the vibrating pieces vibrate and the strain occurs in the support 22. .

【図８】振動ジャイロ１０の変形例を示す概略平面図。FIG. 8 is a schematic plan view showing a modified example of the vibration gyro 10.

【図９】振動ジャイロ１０の変形例である振動ジャイロ
１０Ａを示す概略平面図。FIG. 9 is a schematic plan view showing a vibration gyro 10A that is a modified example of the vibration gyro 10.

【図１０】振動ジャイロ１０の変形例である振動ジャイ
ロ１０Ｂを示す概略平面図。FIG. 10 is a schematic plan view showing a vibration gyro 10B that is a modified example of the vibration gyro 10.

【図１１】変形例の振動ジャイロ１０Ｂの振動片１４，
１６をＸ軸に沿って振動させた場合の各振動片の振動の
様子と連結細幅片２４ａ，２６ａに起きる歪みの様子を
模式的に説明するための模式図。FIG. 11 is a vibration piece 14 of a vibration gyro 10B of a modified example,
The schematic diagram for demonstrating the mode of the vibration of each vibrating piece at the time of vibrating 16 along an X-axis, and the mode of the distortion which arises in connection narrow width piece 24a, 26a.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

１０…振動ジャイロ １０Ａ…振動ジャイロ １０Ｂ…振動ジャイロ １２…枠体 １２ａ，１２ｂ…枠部 １４，１６，１８，２０…振動片 １４Ａ…振動片 １６Ａ…振動片 ２２…支持体 ２２Ａ…支持体 ２４，２６…連結片 ２４ａ，２６ａ…連結細幅片 ２８，３０…励振電極 ２８Ａ…励振電極 ３０Ａ…励振電極 ３２，３４…振動検出電極 ３４Ａ…振動検出電極 ３６，３８…歪み検出電極 ３６Ａ，３８Ｂ…歪み検出電極 ４０…励振側回路 ５０…検出側回路 10 ... Vibration gyro 10A ... Vibration gyro 10B ... Vibration gyro 12 ... Frame body 12a, 12b ... Frame part 14, 16, 18, 20 ... Vibrating piece 14A ... Vibrating piece 16A ... Vibrating piece 22 ... Support 22A ... Support 24, 26 ... Connection piece 24a, 26a ... Connection narrow piece 28, 30 ... Excitation electrode 28A ... Excitation electrode 30A ... Excitation electrode 32, 34 ... Vibration detection electrode 34A ... Vibration detection electrode 36, 38 ... Strain detection electrode 36A, 38B ... Strain Detection electrode 40 ... Excitation side circuit 50 ... Detection side circuit

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項１】 対となる第１と第２の振動片と、固定体
に固定・支持された支持部とを有し、前記第１と第２の
振動片とを前記支持部から突出して備える振動ジャイロ
であって、 少なくとも前記第１の振動片に設けられ、該第１の振動
片をＸ軸に沿って振動させる励振手段と、 少なくとも前記第２の振動片に設けられ、該第２の振動
片が前記Ｘ軸と直交するＹ軸に沿って振動したときの振
動状態を検出する振動検出手段と、 前記支持部に設けられ、前記第１の振動片が振動する際
の前記支持部の歪み度合いを検出する歪み検出手段と、
を備えることを特徴とする振動ジャイロ。1. A pair of first and second vibrating reeds and a support portion fixed and supported by a fixed body, wherein the first and second vibrating reeds project from the support portion. A vibrating gyroscope comprising: an exciting means which is provided on at least the first vibrating piece and vibrates the first vibrating piece along the X-axis; Vibration detecting means for detecting a vibration state when the vibrating reed is vibrated along a Y axis orthogonal to the X axis, and the supporting section provided in the supporting section when the first vibrating piece vibrates. Distortion detecting means for detecting the degree of distortion of
A vibrating gyro, which is characterized by including. 【請求項２】 請求項１記載の振動ジャイロであって、 前記歪み検出手段の検出した歪み度合いに基づいて、前
記第１の振動片における前記励振手段を制御する制御手
段を有する振動ジャイロ。2. The vibrating gyroscope according to claim 1, further comprising a control unit that controls the exciting unit of the first vibrating bar based on the degree of strain detected by the strain detecting unit.