JPH0833364A - Vibration-type actuator device - Google Patents
Vibration-type actuator deviceInfo
- Publication number
- JPH0833364A JPH0833364A JP6167987A JP16798794A JPH0833364A JP H0833364 A JPH0833364 A JP H0833364A JP 6167987 A JP6167987 A JP 6167987A JP 16798794 A JP16798794 A JP 16798794A JP H0833364 A JPH0833364 A JP H0833364A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- frequency
- actuator device
- transformer
- resonance frequency
- type actuator
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明はサーマルジェットプリン
タの駆動などに応用される、圧電素子を用いた振動波ア
クチュエーターの駆動回路に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a driving circuit for a vibration wave actuator using a piezoelectric element, which is applied to the driving of a thermal jet printer.
【０００２】[0002]
【従来の技術】振動波アクチュエーターは金属等の弾性
体、例えば円環状に形成された弾性体の片平面に電気−
機械エネルギー変換素子としての分極処理が施された圧
電素子や電歪素子を接着固定したものを振動子とし、該
圧電素子に一定の位相差を有する交流電界を印加するこ
とによって、該弾性体の他平面に進行波を起動する。2. Description of the Related Art A vibration wave actuator is an elastic body made of metal or the like, for example, an elastic body formed in an annular shape and electrically connected to
A piezoelectric element or an electrostrictive element, which has been subjected to polarization processing as a mechanical energy conversion element, is bonded and fixed to be a vibrator, and an alternating electric field having a constant phase difference is applied to the piezoelectric element, thereby Launch a traveling wave on another plane.
【０００３】弾性体の進行波が形成される面を駆動面と
して、この駆動面に加圧手段により圧接部材を接触さ
せ、摩擦力によって該弾性体と接触部材との間に相対的
な駆動力を発生させる。該接触部材として、例えば金属
等の円板及び、該円板と一体化されたシャフトからなる
ロータを用いることによって回転力を取り出すことが出
来る。A surface of the elastic body on which a traveling wave is formed is used as a driving surface, and a pressing member is brought into contact with the driving surface by a pressing means, and a relative driving force is generated between the elastic body and the contact member by frictional force. Generate. As the contact member, a rotating force can be taken out by using, for example, a disk made of metal or the like and a rotor having a shaft integrated with the disk.
【０００４】一方このような振動波アクチュエーターの
駆動を行う制御方式には （１）特開昭６１−２０３８７３号公報のように、駆動
電圧の周波数を振動子の共振周波数にする方式 （２）特開昭６２−２０３５７５号公報のように、駆動
電圧の周波数を振動子の共振周波数より高い周波数領域
にする方式等がある。On the other hand, the control method for driving such an oscillatory wave actuator is (1) a method in which the frequency of the drive voltage is set to the resonance frequency of the vibrator, as in Japanese Patent Laid-Open No. 61-203873. As disclosed in Japanese Laid-Open Patent Publication No. 62-203575, there is a method of setting the frequency of the driving voltage in a frequency range higher than the resonance frequency of the vibrator.
【０００５】なお、振動波アクチュエーターの周波数−
速度特性は、振動子の共振周波数を境にして、低周波数
側が急激に変化し、高周波数側はなだらかに変化する特
性を有する傾向にあるため、駆動に用いる周波数領域
は、該共振周波数より高周波側を利用し、速度を増加さ
せるには周波数を低くして共振周波数に近づけ、減速す
るには周波数を高くして共振周波数から遠ざけるように
している。The frequency of the vibration wave actuator
Since the speed characteristics tend to change rapidly on the low frequency side and gently change on the high frequency side with the resonance frequency of the oscillator as the boundary, the frequency range used for driving is higher than the resonance frequency. Using the side, the frequency is lowered to approach the resonance frequency to increase the speed, and the frequency is increased to move away from the resonance frequency to decelerate.
【０００６】[0006]
【発明が解決しようとしている課題】しかしながら、上
記（１）の制御方式では、速度を制御するためには駆動
電圧の周波数の他に例えば、駆動電圧の振幅等も変えな
ければならず、回路が複雑になりコストアップ要因とな
る。また、アクチュエーターを外乱の多い系に組み込ん
だ時、共振周波数に常に制御することは、難しい。However, in the control method of the above (1), in order to control the speed, in addition to the frequency of the drive voltage, for example, the amplitude of the drive voltage must be changed. It becomes complicated and causes a cost increase. Moreover, when the actuator is incorporated in a system with a lot of disturbance, it is difficult to constantly control the resonance frequency.
【０００７】また、上記（２）の制御方式では、急加速
で起動する場合、速度−周波数特性がなだらかなため周
波数の掃引速度を速くしなければならず、共振周波数近
傍まで使おうとすると駆動電圧の周波数が共振周波数を
超えて、急減速、あるいは停止してしまうことがあっ
た。Further, in the control method of the above (2), when starting by rapid acceleration, the speed-frequency characteristic is gentle, so that the frequency sweep speed must be increased, and if the drive voltage is to be used near the resonance frequency, There was a case where the frequency of above exceeded the resonance frequency and suddenly decelerated or stopped.
【０００８】そこで駆動電圧の周波数を振動子の共振周
波数より低い領域を制御の主領域とするように制御すれ
ば、高速で高精度な速度制御、または位置制御を行うこ
との出来るようになる。Therefore, if the frequency of the drive voltage is controlled so that the region lower than the resonance frequency of the vibrator becomes the main region of control, it becomes possible to perform high-speed and highly-accurate velocity control or position control.
【０００９】前記のように振動型アクチュエーターを振
動子の共振周波数より低い領域で起動するためには、共
振周波数より高い領域で起動する場合と比べて大きな印
加電圧を必要とする。アクチュエーター停止時には振動
子の共振周波数が振動状態にある時と比べて高い周波数
にある。このため振動状態での共振周波数より低い周波
数領域では、上記（１）、（２）と比較して起動周波数
が共振周波数から大きく離れており起動しづらい。従っ
て大きな印加電圧が必要である。同様にして低速駆動時
にも大きな印加電圧が必要である。As described above, in order to activate the vibration type actuator in the region lower than the resonance frequency of the vibrator, a larger applied voltage is required than in the case of activation in the region higher than the resonance frequency. When the actuator is stopped, the resonance frequency of the vibrator is higher than when it is in a vibrating state. Therefore, in the frequency region lower than the resonance frequency in the vibrating state, the starting frequency is far from the resonance frequency as compared with the above (1) and (2), and it is difficult to start. Therefore, a large applied voltage is required. Similarly, a large applied voltage is required during low speed driving.
【００１０】また印加電圧を定電圧にして周波数をスイ
ープアップすると、ある時点で共振周波数を超えてしま
い急激に振動振幅があがる“ジャンプ現象”が起きてし
まい、最悪の場合アクチュエーターを破損する恐れがあ
った。When the applied voltage is made constant and the frequency is swept up, the resonance frequency is exceeded at some point and a "jump phenomenon" occurs in which the vibration amplitude rapidly rises, which may damage the actuator in the worst case. there were.
【００１１】本出願に係る第１の発明の目的は振動型ア
クチュエーターの共振周波数より低い領域で安定して起
動、および駆動することが出来、また高速で高精度な制
御の可能な振動型アクチュエーター装置を提供すること
にある。A first object of the present invention according to the present application is a vibration type actuator device capable of being stably activated and driven in a region lower than the resonance frequency of the vibration type actuator and capable of high speed and highly accurate control. To provide.
【００１２】本出願に係る第２の発明の目的は１つの振
動モードで駆動される振動型アクチュエーターの共振周
波数より低いアクチュエーターの作動領域で常に高い電
圧を発生する昇圧用トランスを用いた駆動回路を提供す
ることにある。A second object of the present invention is to provide a drive circuit using a step-up transformer that constantly generates a high voltage in an operating region of an actuator that is lower than the resonance frequency of a vibration type actuator driven in one vibration mode. To provide.
【００１３】本出願に係る第３の発明の目的は昇圧用ト
ランスと圧電素子のマッチングを行う方法を提供するこ
とにある。A third object of the present invention is to provide a method for matching a boosting transformer and a piezoelectric element.
【００１４】本出願に係る第４の発明の目的はアクチュ
エーターの回転状態（速度）をフィードバックすること
により高速かつ高精度な制御を行うことの可能な駆動回
路を提供することにある。A fourth object of the present invention is to provide a drive circuit capable of performing high speed and highly accurate control by feeding back the rotational state (speed) of the actuator.
【００１５】本出願に係る第５の発明の目的はアクチュ
エーターの振動子の振動状態をフィードバックすること
により高速かつ高精度な制御を行うことの可能な駆動回
路を提供することにある。A fifth object of the present invention is to provide a drive circuit capable of performing high speed and highly accurate control by feeding back the vibration state of the oscillator of the actuator.
【００１６】本出願に係る第６の発明の目的はアクチュ
エーターの回転状態（速度）およびアクチュエーターの
振動子の振動状態をフィードバックすることにより高速
かつ高精度な制御を行うことの可能な駆動回路を提供す
ることにある。A sixth object of the present invention is to provide a drive circuit capable of performing high-speed and highly accurate control by feeding back the rotation state (speed) of the actuator and the vibration state of the oscillator of the actuator. To do.
【００１７】[0017]
【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
めに、本出願に係る発明は、圧電素子等の電気−機械エ
ネルギー変換素子を用いた振動型アクチュエーターと、
変換素子の容量と２次側インダクタンスがアクチュエー
ターの共振周波数より低い周波数でマッチングするよう
調整された昇圧用のトランスを設け、該トランスにてア
クチュエーターを駆動する装置を提供するものである。In order to solve the above problems, the invention according to the present application provides a vibration type actuator using an electro-mechanical energy conversion element such as a piezoelectric element,
Provided is a device for driving an actuator by providing a step-up transformer adjusted so that the capacitance of the conversion element and the secondary-side inductance are matched at a frequency lower than the resonance frequency of the actuator.
【００１８】本出願に係る他の発明は、エネルギー変換
素子の容量と昇圧用トランスの２次側インダクタンスを
マッチングする周波数が該振動型アクチュエーターの共
振周波数よりも低い値であり、かつ少なくともマッチン
グ周波数がアクチュエーターの一つ低次の振動モードの
***振周波数より高い周波数に設定したアクチュエータ
ー装置を提供するものである。According to another invention of the present application, the frequency at which the capacitance of the energy conversion element and the secondary side inductance of the step-up transformer are matched is lower than the resonance frequency of the vibration type actuator, and at least the matching frequency is at least the matching frequency. It is an object of the present invention to provide an actuator device in which the frequency is set higher than the anti-resonance frequency of one low-order vibration mode of the actuator.
【００１９】本出願に係る他の目的はマッチング周波数
をアクチュエーターの共振周波数よりも低い値であり、
かつ駆動に用いるモードより一つ低次の振動モードの反
共振周波数より高い周波数に限定することによって、１
つの駆動モードにおいて共振周波数よりも低いアクチュ
エーターの作動領域で常に高い電圧を発生する昇圧用ト
ランスを提供するものである。Another object of the present application is that the matching frequency is lower than the resonance frequency of the actuator,
In addition, by limiting to a frequency higher than the antiresonance frequency of the vibration mode one order lower than the mode used for driving,
The present invention provides a step-up transformer that constantly generates a high voltage in an operating region of an actuator that is lower than a resonance frequency in one drive mode.
【００２０】本出願に係る他の発明は、アクチュエータ
ーに用いられる変換素子の容量と昇圧用トランスの２次
側インダクタンスをマッチングする手段が該昇圧用トラ
ンスの２次側インダクタンスを増減することで行い、昇
圧用トランスの２次側インダクタンスを増減することに
よって、マッチングの周波数を調整してアクチュエータ
ーの個体差に対応して調整を行うことが出来るアクチュ
エーター装置を提供するものである。According to another invention of the present application, the means for matching the capacitance of the conversion element used in the actuator with the secondary side inductance of the step-up transformer increases or decreases the secondary side inductance of the step-up transformer, It is an object of the present invention to provide an actuator device capable of adjusting a matching frequency by increasing or decreasing the secondary side inductance of a step-up transformer and adjusting according to individual differences of actuators.
【００２１】本出願に係る他の発明は、アクチュエータ
ーの回転状態を検出する回転検出手段または駆動状態を
検出する検出手段の出力信号により上記トランスの１次
側への駆動信号の周波数を制御するアクチュエーター装
置を提供するものである。Another invention according to the present application is an actuator for controlling a frequency of a drive signal to the primary side of the transformer by an output signal of a rotation detecting means for detecting a rotating state of the actuator or a detecting means for detecting a driving state. A device is provided.
【００２２】[0022]
【実施例】図１は本発明における昇圧用トランスの一実
施例を示した図である。ここで２１は樹脂製のトランス
ボビン、２２、２３はそれぞれトランスの１次側、２次
側の巻線、２４はフェライトコアを表す。このトランス
の２次側インダクタンスを増減することで圧電素子の容
量とトランスの２次側インダクタンスのマッチングを行
う。マッチングを行う方法として １．巻線数を増減する。 ２．巻線の密度を変える。 ３．コアの透磁率を変える。 ４．コアの位置を変える、またはコアの長さを変える。 などがある。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS FIG. 1 is a diagram showing an embodiment of a boosting transformer according to the present invention. Here, 21 is a resin transformer bobbin, 22 and 23 are primary and secondary windings of the transformer, and 24 is a ferrite core. The capacitance of the piezoelectric element and the secondary inductance of the transformer are matched by increasing or decreasing the secondary inductance of the transformer. As a method of matching 1. Increase or decrease the number of windings. 2. Change the winding density. 3. Change the permeability of the core. 4. Change the position of the core or change the length of the core. and so on.
【００２３】またマッチングする周波数は振動波アクチ
ュエーターの共振周波数よりも、およそ５〜１５％程度
低い値であり、かつ少なくともアクチュエーターを駆動
する振動モードよりも一つ低次のモードの***振周波数
より高い周波数に調整される。その理由を図２を用いて
説明する。図２は後述実施例の回路に本発明のトランス
を用いた場合の周波数−印加電圧特性である。マッチン
グ周波数が共振周波数に極めて近い場合（曲線Ｌ２）、
および共振周波数から大きく離した場合（曲線Ｌ３）は
いずれも制御、駆動に用いる周波数範囲で高い印加電圧
を加えることは出来ない。共振周波数より下の起動、お
よび低速での駆動には大きな電圧が必要とされるのでこ
れらの構成は望ましくない。実際に駆動、制御に用いら
れる周波数範囲は共振周波数から１５％下から共振周波
数までであるから、マッチング周波数はアクチュエータ
ーの個体差等を考慮して共振周波数よりも、およそ５〜
１５％程度低い値ｆｍ１に調整される。曲線Ｌ１がその
時の周波数−印加電圧特性である。また通常、振動波ア
クチュエーターの駆動は単一の駆動モードで行われるた
め、マッチング周波数は少なくともアクチュエーターを
駆動する振動モードよりも一つ低次のモードの***振周
波数より高い周波数に調整される。The matching frequency is about 5 to 15% lower than the resonance frequency of the vibration wave actuator, and is higher than the anti-resonance frequency of at least one lower mode than the vibration mode for driving the actuator. Adjusted to frequency. The reason will be described with reference to FIG. FIG. 2 shows frequency-applied voltage characteristics when the transformer of the present invention is used in the circuit of the embodiment described later. If the matching frequency is very close to the resonance frequency (curve L2),
Also, in the case where it is largely separated from the resonance frequency (curve L3), a high applied voltage cannot be applied in the frequency range used for control and driving. These configurations are not desirable because high voltages are required for starting below the resonant frequency and for driving at low speeds. Since the frequency range actually used for driving and control is from 15% below the resonance frequency to the resonance frequency, the matching frequency is about 5 to 5 times the resonance frequency in consideration of individual differences among actuators.
It is adjusted to a value fm1 which is lower by about 15%. A curve L1 is the frequency-applied voltage characteristic at that time. Further, since the vibration wave actuator is normally driven in a single drive mode, the matching frequency is adjusted to be higher than the anti-resonance frequency of at least one mode lower than the vibration mode for driving the actuator.
【００２４】上記のように構成し圧電素子の容量と２次
側インダクタンスがアクチュエーターの共振周波数より
低い周波数でマッチングするよう調整された昇圧用のト
ランスは振動波アクチュエーターの共振周波数より低い
領域で大きな電圧を発生し、共振周波数付近では急激に
電圧が低下する。その結果、この領域での起動、また安
定した駆動が可能となり、共振付近での過大な電圧によ
る破損からアクチュエーターが保護される。The boosting transformer configured as described above and adjusted so that the capacitance of the piezoelectric element and the secondary side inductance are matched at a frequency lower than the resonance frequency of the actuator has a large voltage in a region lower than the resonance frequency of the vibration wave actuator. Occurs, and the voltage drops sharply near the resonance frequency. As a result, starting in this area and stable driving are possible, and the actuator is protected from damage due to excessive voltage near resonance.
【００２５】以下に図３を用いてその原理を説明する。
図３は振動波アクチュエーターの振動子とトランスの２
次側を表す等価回路であり、Ｌ2はトランス２次側イン
ダクタンス、Ｅはトランスの２次側に誘導される電圧、
Ｃ0は振動波アクチュエーターに用いられる圧電素子の
容量、またＬ、Ｃ、Ｒはそれぞれ振動波アクチュエータ
ーの振動体の機械系のマス、スプリング、ダンパに相当
するものである。ここで圧電素子の容量Ｃ0とトランス
２次側インダクタンスＬ2がアクチュエーターの共振周
波数（ＬとＣの共振周波数）より低い周波数でマッチン
グするよう調整されている。アクチュエーターの共振周
波数より低い周波数の駆動領域ではＣ0とＬ2の共振現象
のため、アクチュエーターに大きなエネルギーが注入さ
れ高電圧が発生する。その結果、この領域での起動、ま
た安定した駆動が可能となる。The principle will be described below with reference to FIG.
Fig. 3 shows the oscillator of the vibration wave actuator and the transformer 2
Is an equivalent circuit representing the secondary side, L 2 is the secondary inductance of the transformer, E is the voltage induced on the secondary side of the transformer,
C 0 is the capacitance of the piezoelectric element used in the vibration wave actuator, and L, C, and R correspond to the mass, spring, and damper of the mechanical system of the vibration body of the vibration wave actuator, respectively. Here, the capacitance C 0 of the piezoelectric element and the secondary inductance L 2 of the transformer are adjusted to match at a frequency lower than the resonance frequency of the actuator (resonance frequency of L and C). In a driving region of a frequency lower than the resonance frequency of the actuator, due to the resonance phenomenon of C 0 and L 2 , a large amount of energy is injected into the actuator and a high voltage is generated. As a result, starting in this area and stable driving are possible.
【００２６】また、この様に構成されたトランスでは駆
動周波数をスイープアップしてアクチュエーターの共振
周波数に近づけて行った場合、ＬとＣによる機械系の共
振により、印加電圧が急激に下がる傾向にあり、その結
果、過大な電圧による破損からアクチュエーターが保護
される。Further, in the transformer thus constructed, when the driving frequency is swept up to approach the resonance frequency of the actuator, the applied voltage tends to drop sharply due to the resonance of the mechanical system due to L and C. As a result, the actuator is protected from damage due to excessive voltage.
【００２７】図４は上記トランスを用いたアクチュエー
ターの駆動回路の一実施例を示す回路図である。１は振
動波アクチュエーターを構成する圧電素子（１ａ、１ｂ
は互いに９０°の位相差を持った駆動電圧が印加され
る。）２、３は２次側が圧電素子１ａ、１ｂに接続され
高電圧を発生するためのトランスであり、それぞれ２次
側のインダクタンスが圧電素子１ａ、１ｂとアクチュエ
ーターの共振周波数より低い周波数でマッチングするよ
うに調整される。尚、上記圧電素子は振動子上に配さ
れ、励振にて進行波を形成し、振動子に接触するロータ
ー等を駆動する公知の構成を取っている。４、５はそれ
ぞれ電源に接続されたトランス２、３に接続され、後述
のパルス信号形成回路としての周波数・パルス幅制御回
路７、９０°移相回路６の出力パルス電圧に応じてトラ
ンスへの流入電流をスイッチングするためのスイッチン
グ手段としてのＭＯＳ ＦＥＴ、６は後述の周波数・パ
ルス幅制御回路７の出力パルスに応じて位相が９０°遅
れたパルス電圧を発生するための９０°移相回路、７は
不図示の指令手段（例えばマイコンなど）からの速度指
令に応じた、周波数とパルス幅を持ったパルス電圧を出
力し、後述の速度検出手段２０によるフィードバック信
号により少なくともパルス電圧の周波数を制御する周波
数・パルス幅制御回路、２０は振動波アクチュエーター
の回転速度（振動子によって回動するローターの回転速
度）を検出してそれに応じた信号を出力する速度検出手
段（例えばロータリーエンコーダと、カウンタまたはＦ
／Ｖ変換器で構成される）である。FIG. 4 is a circuit diagram showing an embodiment of an actuator drive circuit using the above transformer. Reference numeral 1 is a piezoelectric element (1a, 1b) that constitutes an oscillatory wave actuator.
Drive voltages having a phase difference of 90 ° with each other are applied. ) 2 and 3 are transformers for generating a high voltage, the secondary side of which is connected to the piezoelectric elements 1a and 1b, and the inductances of the secondary sides match at frequencies lower than the resonance frequency of the piezoelectric elements 1a and 1b and the actuator. Is adjusted. The above-mentioned piezoelectric element is arranged on the vibrator and has a known structure for forming a traveling wave by excitation and driving a rotor or the like in contact with the vibrator. Reference numerals 4 and 5 are connected to transformers 2 and 3 respectively connected to a power source, and are connected to the transformers according to the output pulse voltage of a frequency / pulse width control circuit 7 and a 90 ° phase shift circuit 6 as a pulse signal forming circuit described later. A MOS FET as a switching means for switching the inflow current, 6 is a 90 ° phase shift circuit for generating a pulse voltage whose phase is delayed by 90 ° according to an output pulse of a frequency / pulse width control circuit 7 described later, Reference numeral 7 outputs a pulse voltage having a frequency and a pulse width according to a speed command from a command means (not shown) (for example, a microcomputer), and controls at least the frequency of the pulse voltage by a feedback signal from a speed detection means 20 described later. The frequency / pulse width control circuit, 20 detects the rotational speed of the vibration wave actuator (rotational speed of the rotor rotated by the vibrator). Speed detection means (for example, a rotary encoder and a counter or F
/ V converter).
【００２８】図５は圧電素子を用いた振動波アクチュエ
ーターの、本実施例の回路を用いた場合および一定電圧
印加時の印加電圧の周波数に対する回転速度の特性を示
した図である。また図６は本実施例の回路を用いた場合
の周波数に対する圧電素子に印加される電圧の大きさを
示した図である。以下に図５、図６を用いて図４の動作
を説明する。図４の構成は不図示の指令手段からの速度
指令に応じて振動波アクチュエーターを駆動するための
構成を示している。不図示の指令手段によって所定の速
度指令を設定すると、周波数・パルス幅制御回路７か
ら、速度検出手段２０のフィードバック信号（回転速度
に対応した値を有する信号）によって制御された速度指
令に応じたパルス電圧が出力される。この周波数はアク
チュエーターの共振周波数ｆｒよりも低い値に設定さ
れ、９０°位相のずれたパルス電圧がＭＯＳ ＦＥＴ
４、５のゲートに入力される。このＭＯＳ ＦＥＴ４、
５によりトランスの１次側に流れる電流がスイッチング
されトランスの２次側に高電圧が現れる。本実施例にお
いてトランスの２次側に現れる電圧は図６のようになり
パルス電圧の周波数がアクチュエーターの共振周波数ｆ
ｒの下である時に大きな電圧が加わるので、この領域で
図５のように所定の速度で駆動することが可能になる。
ここで速度を増加する場合、パルス電圧の周波数を制御
回路７にてアクチュエーターの共振周波数ｆｒを超えな
い範囲で上げ、減速する場合は周波数を下げることによ
って、図５の周波数−速度特性に従って速度が増減す
る。即ち速度指令と速度検出手段２０にて検知された回
転速度情報とを比較し、速度指令の方が高速の時は周波
数を増加させ、逆に低速の時には周波数を低下させるこ
とで回転速度制御が実行される。FIG. 5 is a diagram showing the characteristics of the rotational speed of a vibration wave actuator using a piezoelectric element with respect to the frequency of the applied voltage when the circuit of this embodiment is used and when a constant voltage is applied. FIG. 6 is a diagram showing the magnitude of the voltage applied to the piezoelectric element with respect to the frequency when the circuit of this embodiment is used. The operation of FIG. 4 will be described below with reference to FIGS. The structure of FIG. 4 shows a structure for driving the vibration wave actuator according to a speed command from a command means (not shown). When a predetermined speed command is set by command means (not shown), the frequency / pulse width control circuit 7 responds to the speed command controlled by the feedback signal (signal having a value corresponding to the rotation speed) of the speed detection means 20. The pulse voltage is output. This frequency is set to a value lower than the resonance frequency fr of the actuator, and the pulse voltage 90 ° out of phase is applied to the MOS FET.
Input to 4 and 5 gates. This MOS FET4,
The current flowing through the primary side of the transformer is switched by 5 and a high voltage appears on the secondary side of the transformer. In this embodiment, the voltage appearing on the secondary side of the transformer is as shown in FIG. 6, and the frequency of the pulse voltage is the resonance frequency f of the actuator.
Since a large voltage is applied under r, it becomes possible to drive at a predetermined speed in this region as shown in FIG.
Here, when the speed is increased, the frequency of the pulse voltage is increased by the control circuit 7 within a range not exceeding the resonance frequency fr of the actuator, and when the speed is reduced, the frequency is decreased, whereby the speed is changed according to the frequency-speed characteristic of FIG. Increase or decrease. That is, the rotation speed control is performed by comparing the speed command with the rotation speed information detected by the speed detection means 20 and increasing the frequency when the speed command is higher and decreasing the frequency when the speed command is lower. To be executed.
【００２９】またパルス電圧の周波数がアクチュエータ
ーの共振周波数ｆｒに近づいたときには、機械系の共振
によって図６のように印加電圧が急激に下がるので過電
圧によってアクチュエーターが破損することはない。When the frequency of the pulse voltage approaches the resonance frequency fr of the actuator, resonance of the mechanical system causes the applied voltage to sharply decrease as shown in FIG. 6, so that the actuator is not damaged by the overvoltage.
【００３０】又、本実施例の回路においてパルス幅を広
げると速度が増加し、狭くすると減少する構成となって
いるので、さらに高精度な速度の調整が必要なときには
出力パルスの幅を加減し、周波数の制御と併用すること
も可能である。Further, in the circuit of this embodiment, the speed is increased when the pulse width is widened and is decreased when the pulse width is narrowed. Therefore, the width of the output pulse can be adjusted when more accurate speed adjustment is required. It is also possible to use it together with frequency control.
【００３１】本実施例において回転速度を検出する速度
検出手段２０のかわりに、振動波アクチュエーターの振
動子の振動状態を検出する振動状態検出手段（例えば振
動子に設けられた機械−電気エネルギー変換素子として
の圧電体）を設け、この振動状態検出手段の出力信号を
フィードバックすることにより周波数または周波数・パ
ルス幅を制御する構成としてもよい。さらに速度検出手
段、振動状態検出手段を同時に制御に用いる構成も可能
である。また特に精度を要しない用途にはオープンルー
プで駆動することも可能である。In this embodiment, instead of the speed detecting means 20 for detecting the rotation speed, a vibration state detecting means for detecting the vibration state of the vibrator of the vibration wave actuator (for example, a mechanical-electrical energy conversion element provided on the vibrator). It is also possible to control the frequency or the frequency / pulse width by feeding back the output signal of the vibration state detecting means. Further, a configuration in which the speed detecting means and the vibration state detecting means are simultaneously used for control is possible. It is also possible to drive in an open loop for applications that do not require precision.
【００３２】図７の回路は図４の回路でトランス２で発
生するスパイク電圧からスイッチング素子４を保護する
ために、公知のスナバ回路１０を付加した例である。こ
こでＶｐとは図４における周波数・パルス幅制御回路７
の出力である。トランス３、スイッチング素子５からな
る回路にも同様のスナバ回路を付加する。The circuit of FIG. 7 is an example in which a known snubber circuit 10 is added in order to protect the switching element 4 from the spike voltage generated in the transformer 2 in the circuit of FIG. Here, Vp is the frequency / pulse width control circuit 7 in FIG.
Is the output of. A similar snubber circuit is added to the circuit composed of the transformer 3 and the switching element 5.
【００３３】図８の回路は図４の回路でトランス２で発
生するスパイク電圧からスイッチング素子４を保護する
ために、公知のスナバ回路１０を付加し、またスイッチ
ング素子４がオンしているときに過大な電流が流れるの
を防ぐため、電流制限用にチョークコイル１１を挿入し
た例である。ここでＶｐとは図４における周波数・パル
ス幅制御回路７の出力である。トランス３、スイッチン
グ素子５からなる回路にも同様のスナバ回路およびチョ
ークコイルを付加する。The circuit of FIG. 8 has a known snubber circuit 10 added to protect the switching element 4 from the spike voltage generated in the transformer 2 in the circuit of FIG. 4, and when the switching element 4 is on. This is an example in which a choke coil 11 is inserted for current limitation in order to prevent an excessive current from flowing. Here, Vp is the output of the frequency / pulse width control circuit 7 in FIG. A similar snubber circuit and choke coil are added to the circuit composed of the transformer 3 and the switching element 5.
【００３４】図９は本発明の他の実施例を示す回路図で
ある。２５、２６は２次側が圧電素子１ａ、１ｂに接続
され高電圧を発生するためのトランスであり、図１のト
ランスと同様それぞれ２次側のインダクタンスが圧電素
子１ａ、１ｂとアクチュエーターの共振周波数より低い
周波数でマッチングするように調整される。またこれら
のトランス２５、２６の１次側には電源に接続されたセ
ンタータップが設けられる。２７、２８、２９、３０は
それぞれセンタータップで電源に接続されたトランス２
５、２６に接続され、後述の周波数・パルス幅制御回路
７、９０°移相回路６、または１８０°移相回路８、９
の出力パルス電圧に応じてトランスへの流入電流をスイ
ッチングするためのスイッチング手段としてのＭＯＳ
ＦＥＴ、８、９は後述の周波数・パルス幅制御回路７ま
たは９０°移相回路６の出力パルスに応じて位相が１８
０°遅れたパルス電圧を発生するための１８０°移相回
路、６は後述の周波数・パルス幅制御回路７の出力パル
スに応じて位相が９０°遅れたパルス電圧を発生するた
めの９０°移相回路、７は不図示の指令手段（例えばマ
イコンなど）からの速度指令に応じた周波数とパルス幅
を持ったパルス電圧を出力し、速度検出手段２０（図４
の手段２０と同一）によるフィードバック信号により、
少なくともパルス電圧の周波数を制御する周波数・パル
ス幅制御回路、２０は振動波アクチュエーターの回転速
度を検出してそれに応じた信号を出力する速度検出手段
（例えばロータリーエンコーダと、カウンタまたはＦ／
Ｖ変換器で構成される）である。FIG. 9 is a circuit diagram showing another embodiment of the present invention. Reference numerals 25 and 26 denote transformers for generating a high voltage when the secondary side is connected to the piezoelectric elements 1a and 1b. The secondary side inductances of the piezoelectric elements 1a and 1b and the resonance frequency of the actuator are the same as those of the transformer of FIG. Adjusted to match at lower frequencies. A center tap connected to the power supply is provided on the primary side of these transformers 25 and 26. 27, 28, 29, 30 are transformers 2 each connected to the power source by the center tap
5, 26, and a frequency / pulse width control circuit 7, 90 ° phase shift circuit 6, or 180 ° phase shift circuit 8, 9 described later.
As switching means for switching the current flowing into the transformer according to the output pulse voltage of the
The FETs 8, 9 have a phase of 18 according to the output pulse of the frequency / pulse width control circuit 7 or 90 ° phase shift circuit 6 described later.
A 180 ° phase shift circuit for generating a pulse voltage delayed by 0 °, and 6 is a 90 ° phase shift circuit for generating a pulse voltage whose phase is delayed by 90 ° in accordance with an output pulse of a frequency / pulse width control circuit 7 described later. The phase circuit 7 outputs a pulse voltage having a frequency and a pulse width according to a speed command from a command means (not shown) (for example, a microcomputer), and the speed detection means 20 (see FIG. 4).
(The same as the means 20),
A frequency / pulse width control circuit for controlling at least the frequency of the pulse voltage, 20 is a speed detecting means for detecting the rotational speed of the vibration wave actuator and outputting a signal corresponding thereto (for example, a rotary encoder, a counter or an F / F).
It is composed of a V converter).
【００３５】本実施例においてＭＯＳ ＦＥＴ２７、２
８および２９、３０を交互にスイッチング動作させトラ
ンスの１次側に流れる電流の向きを変えることにより、
効率的にスイッチング動作を行うことが出来、アクチュ
エーターの共振周波数より低い周波数での駆動領域でも
効果的に昇圧することが可能となる。このため前記図４
実施例と同様の原理によってアクチュエーターの共振周
波数より低い周波数での駆動領域で安定して駆動し、速
度制御を行うことが可能となる。In this embodiment, the MOS FETs 27, 2
By alternately switching 8 and 29, 30 to change the direction of the current flowing to the primary side of the transformer,
The switching operation can be efficiently performed, and the boosting can be effectively performed even in the driving region at a frequency lower than the resonance frequency of the actuator. Therefore, in FIG.
According to the same principle as that of the embodiment, it is possible to stably drive the actuator in a driving region at a frequency lower than the resonance frequency of the actuator and control the speed.
【００３６】またこの実施例でもパルス電圧の周波数が
アクチュエーターの共振周波数ｆｒに近づいたときに
は、図４の実施例と同じく図６のようにアクチュエータ
ーにかかる印加電圧が急激に下がるので過電圧によって
アクチュエーターが破損することはない。該実施例と動
作は図４とほぼ同一であるのでその詳細な説明は省略す
る。Also in this embodiment, when the frequency of the pulse voltage approaches the resonance frequency fr of the actuator, the applied voltage applied to the actuator sharply decreases as shown in FIG. 6 as in the embodiment of FIG. 4, and the actuator is damaged by the overvoltage. There is nothing to do. Since the operation of this embodiment is almost the same as that of FIG. 4, its detailed description is omitted.
【００３７】本実施例においても図４と同様に回転速度
を検出する速度検出手段２０のかわりに、振動波アクチ
ュエーターの振動子の振動状態を検出する振動状態検出
手段を設け、この振動状態検出手段の出力信号をフィー
ドバックすることにより周波数または周波数・パルス幅
を制御する構成としてもよい。さらに速度検出手段、振
動状態検出手段を同時に制御に用いる構成も可能であ
る。また特に精度を要しない用途にはオープンループで
駆動することも可能である。Also in this embodiment, similarly to FIG. 4, instead of the speed detecting means 20 for detecting the rotational speed, a vibration state detecting means for detecting the vibration state of the vibrator of the vibration wave actuator is provided. The frequency or the frequency / pulse width may be controlled by feeding back the output signal of. Further, a configuration in which the speed detecting means and the vibration state detecting means are simultaneously used for control is possible. It is also possible to drive in an open loop for applications that do not require precision.
【００３８】図１０の回路は図９の回路でトランス２５
で発生するスパイク電圧からスイッチング素子２７、２
８を保護するために、公知のスナバ回路３１、３２を付
加した例である。ここでＶｐとは図９における周波数・
パルス幅制御回路７の出力、Ｖｐ′は１８０°移相回路
８、９の出力である。トランス２６、スイッチング素子
２９、３０からなる回路にも同様のスナバ回路を付加す
る。The circuit of FIG. 10 corresponds to the circuit of FIG.
From the spike voltage generated at
This is an example in which publicly known snubber circuits 31 and 32 are added to protect 8. Here, Vp is the frequency in FIG.
The output of the pulse width control circuit 7 and Vp 'are the outputs of the 180 ° phase shift circuits 8 and 9. A similar snubber circuit is added to the circuit including the transformer 26 and the switching elements 29 and 30.
【００３９】図１１の回路は図９の回路でトランス２５
で発生するスパイク電圧からスイッチング素子２７、２
８を保護するために、公知のスナバ回路３１、３２を付
加し、またスイッチング素子２７、２８がオンしている
ときに過大な電流が流れるのを防ぐため、電流制限用に
チョークコイル１１を挿入した例である。ここでＶｐと
は図９における周波数・パルス幅制御回路７の出力、Ｖ
ｐ′は１８０°移相回路８、９の出力である。トランス
２６、スイッチング素子２９、３０からなる回路にも同
様のスナバ回路およびチョークコイルを付加する。The circuit of FIG. 11 corresponds to the circuit of FIG.
From the spike voltage generated at
Known snubber circuits 31 and 32 are added to protect 8, and a choke coil 11 is inserted for current limitation to prevent an excessive current from flowing when the switching elements 27 and 28 are on. It is an example. Here, Vp is the output of the frequency / pulse width control circuit 7 in FIG.
p ′ is the output of the 180 ° phase shift circuits 8 and 9. A similar snubber circuit and choke coil are added to the circuit including the transformer 26 and the switching elements 29 and 30.
【００４０】図１２は本発明の駆動回路を用いた振動波
アクチュエーターをサーマルジェットプリンタに応用し
た応用例である。図１１において１２は給紙部、１３は
キャリッジ部、１４は送紙部、１５はヘッド回復部、１
６はキャリッジ部を駆動する振動波アクチュエーター、
１７は送紙部を駆動する振動波アクチュエーター、１８
は振動波アクチュエーター１７の回転速度及び回転角度
を検出するロータリーエンコーダ、１９はキャリッジ部
の位置及び速度を検出するリニアエンコーダである。送
紙部およびキャリッジ部の駆動のために用いられた振動
波アクチュエーターを図４又は図９の回路を用い、共振
周波数よりも低い周波数で駆動することによって送紙部
およびキャリッジ部の高速な立ち上げが可能となる。そ
の結果プリンタの動作を高速化し、キャリッジ部におい
ては加速路を短く出来るので小型化が可能となる。また
各エンコーダの信号をフィードバックすることにより高
精度な制御が可能となる。FIG. 12 shows an application example in which the vibration wave actuator using the drive circuit of the present invention is applied to a thermal jet printer. In FIG. 11, 12 is a paper feeding unit, 13 is a carriage unit, 14 is a paper feeding unit, 15 is a head recovery unit, 1
6 is a vibration wave actuator for driving the carriage,
17 is a vibration wave actuator for driving the paper feeding unit, 18
Is a rotary encoder that detects the rotation speed and rotation angle of the vibration wave actuator 17, and 19 is a linear encoder that detects the position and speed of the carriage portion. The vibration wave actuator used for driving the paper feeding unit and the carriage unit is driven at a frequency lower than the resonance frequency using the circuit of FIG. 4 or FIG. 9 to quickly start up the paper feeding unit and the carriage unit. Is possible. As a result, the operation of the printer is speeded up, and the acceleration path in the carriage section can be shortened, so that the size can be reduced. Further, by feeding back the signal of each encoder, highly accurate control becomes possible.
【００４１】尚、本発明における振動型アクチュエータ
ー装置としては振動子の振動にてローター等を駆動する
ものや、振動子の振動にて直接紙等の接触物を駆動して
もよいし、接触物に対して振動子を移動させてもよく、
又、更に円環状のものの他に特開平３−２８９３７５号
公報のような棒型振動波モータにも適用されるものであ
る。The vibration type actuator device in the present invention may be one in which a rotor or the like is driven by the vibration of a vibrator, or a contact object such as paper may be directly driven by the vibration of the vibrator. The oscillator may be moved with respect to
Further, in addition to the annular one, it is also applied to a rod type vibration wave motor as disclosed in JP-A-3-289375.
【００４２】[0042]
【発明の効果】本発明の振動型アクチュエーター装置
は、振動型アクチュエーターをアクチュエーターの共振
周波数より低い領域で安定して起動および駆動すること
が出来るので高速で高精度な制御が可能となる。したが
ってサーマルジェットプリンタなどの機器に応用した場
合、動作の高速化、高精度化が可能となるという効果を
有する。According to the vibrating actuator device of the present invention, the vibrating actuator can be stably activated and driven in a region lower than the resonance frequency of the actuator, so that high speed and highly accurate control becomes possible. Therefore, when applied to a device such as a thermal jet printer, there is an effect that the operation speed can be increased and the accuracy can be increased.
【図１】本発明に係る振動型アクチュエーター装置に用
いるトランスの一実施例を示す構成図である。FIG. 1 is a configuration diagram showing an embodiment of a transformer used in a vibration type actuator device according to the present invention.
【図２】図１のトランスの特性を示す説明図である。FIG. 2 is an explanatory diagram showing characteristics of the transformer of FIG.
【図３】本発明に係るアクチュエーター装置の等価回路
図である。FIG. 3 is an equivalent circuit diagram of an actuator device according to the present invention.
【図４】本発明に係るアクチュエーター装置の一実施例
を示す回路図である。FIG. 4 is a circuit diagram showing an embodiment of an actuator device according to the present invention.
【図５】図４実施例の駆動周波数対回転速度特性を示す
説明図である。FIG. 5 is an explanatory diagram showing a drive frequency-rotational speed characteristic of the embodiment of FIG. 4;
【図６】図４実施例の駆動周波数対印加電圧特性を示す
説明図である。FIG. 6 is an explanatory diagram showing a drive frequency vs. applied voltage characteristic of the embodiment of FIG.
【図７】図４に示した実施例の変形例を示す回路図であ
る。FIG. 7 is a circuit diagram showing a modification of the embodiment shown in FIG.
【図８】図４に示した実施例の変形例を示す回路図であ
る。FIG. 8 is a circuit diagram showing a modification of the embodiment shown in FIG.
【図９】本発明に係る振動型アクチュエーター装置の他
の実施例を示す回路図である。FIG. 9 is a circuit diagram showing another embodiment of the vibration type actuator device according to the present invention.
【図１０】図９に示した実施例の変形例を示す回路図で
ある。FIG. 10 is a circuit diagram showing a modification of the embodiment shown in FIG.
【図１１】図９に示した実施例の変形例を示す回路図で
ある。FIG. 11 is a circuit diagram showing a modification of the embodiment shown in FIG.
【図１２】本発明に係るアクチュエーター装置をプリン
ター装置に採用した構成を示す構成図である。FIG. 12 is a configuration diagram showing a configuration in which an actuator device according to the present invention is adopted in a printer device.
１ 振動子 ２、３ トランス ４、５、２７、２８、２９、３０ ＭＯＳ ＦＥＴ ７ 周波数・パルス幅制御回路 ２１ ボビン ２２ １次側コイル ２３ ２次側コイル 1 Transducer 2, 3 Transformer 4, 5, 27, 28, 29, 30 MOS FET 7 Frequency / pulse width control circuit 21 Bobbin 22 Primary coil 23 Secondary coil
Claims (8)
号を印加することで振動子を励振させ駆動力を得る振動
型アクチュエーター装置において、 前記エネルギー変換素子の容量とトランスの２次側イン
ダクタンスがアクチュエーター装置の共振周波数より低
い周波数でマッチングする様に設定されたトランス手段
を設け、該トランス手段の２次側出力にて前記エネルギ
ー変換素子を駆動することを特徴とする振動型アクチュ
エーター装置。1. A vibration type actuator device for exciting a vibrator to obtain a driving force by applying a frequency signal to an electro-mechanical energy conversion element, wherein the capacitance of the energy conversion element and the secondary side inductance of the transformer are actuator devices. A vibration type actuator device, characterized in that transformer means set to match at a frequency lower than the resonance frequency is provided, and the energy conversion element is driven by the secondary side output of the transformer means.
次側インダクタンスをマッチングする周波数が振動型ア
クチュエーター装置の共振周波数よりも低い値であり、
かつ少なくとも該マッチング周波数が該振動型アクチュ
エーター装置の駆動時の振動モードより一つ低次のモー
ドの***振周波数より高い周波数である請求項１に記載
の振動型アクチュエーター装置。2. The capacitance of the conversion element and the capacitance of the transformer
The frequency matching the secondary inductance is lower than the resonance frequency of the vibration type actuator device,
The vibration type actuator device according to claim 1, wherein at least the matching frequency is higher than an anti-resonance frequency of a mode one order lower than a vibration mode when the vibration type actuator device is driven.
増減させることで前記マッチングを行わせた請求項１に
記載の振動型アクチュエーター装置。3. The vibration type actuator device according to claim 1, wherein the matching is performed by increasing or decreasing a secondary side inductance of the transformer.
ス信号形成回路と、該回路からのパルス信号に応答して
スイッチングを行うスイッチング手段と、該スイッチン
グ手段のスイッチングにて前記トランス手段の１次側へ
の駆動信号を与えトランス手段を駆動する請求項１〜３
に記載の振動型アクチュエーター装置。4. A pulse signal forming circuit for forming a pulse signal of a predetermined frequency, switching means for performing switching in response to a pulse signal from the circuit, and primary side of the transformer means by switching of the switching means. A drive signal is supplied to drive the transformer means.
The vibration-type actuator device according to item 1.
ター装置の共振周波数よりも少なくとも低い周波数帯に
設定する請求項４に記載の振動型アクチュエーター装
置。5. The vibration type actuator device according to claim 4, wherein the frequency of the pulse signal is set to a frequency band at least lower than a resonance frequency of the actuator device.
状態又は回転状態を検知する検知手段と、該検知手段の
検知出力に基づいて前記パルス信号形成回路にて形成さ
れるパルス信号の周波数を調定手段を設けた請求項４、
５に記載の振動型アクチュエーター装置。6. A detecting means for detecting a driving state or a rotating state of the vibration type actuator device, and a adjusting means for adjusting a frequency of a pulse signal formed by the pulse signal forming circuit based on a detection output of the detecting means. Claim 4 provided with
The vibration type actuator device according to item 5.
号を印加することで振動子を励振させ駆動力を得る振動
型アクチュエーター装置において、トランスの２次側出
力特性として、アクチュエーター装置の共振周波数より
も所定量低い所定の周波数以下の周波数帯域の周波信号
にて１次側への駆動制御が行われている際に高電圧を出
力し、前記所定周波数から共振周波数までの周波数域に
おいて、共振周波数に近づく程出力電圧を低下させるト
ランス手段を設け、該トランス手段の２次側出力にて前
記エネルギー変換素子を駆動することを特徴とする振動
型アクチュエーター装置。7. A vibration type actuator device which excites a vibrator to obtain a driving force by applying a frequency signal to an electro-mechanical energy conversion element, wherein a secondary output characteristic of a transformer is higher than a resonance frequency of the actuator device. A high voltage is output when drive control to the primary side is performed with a frequency signal in a frequency band lower than a predetermined frequency lower by a predetermined amount, and a resonance frequency is generated in a frequency range from the predetermined frequency to the resonance frequency. A vibrating actuator device, characterized in that a transformer means for lowering the output voltage as it gets closer is provided, and the energy conversion element is driven by the secondary side output of the transformer means.
共振周波数よりも低い周波数帯のパルス信号を形成する
パルス信号形成回路と、該回路からのパルス信号にてス
イッチングするスイッチング手段と、該スイッチング手
段のスイッチングにて前記トランス手段の１次側への駆
動信号を与え前記トランス手段を駆動する請求項７に記
載の振動型アクチュエーター装置。8. A pulse signal forming circuit for forming a pulse signal in a frequency band lower than the resonance frequency of at least the actuator device, a switching means for switching with a pulse signal from the circuit, and a switching means for switching. The vibration type actuator device according to claim 7, wherein a drive signal is supplied to the primary side of the transformer means to drive the transformer means.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6167987A JPH0833364A (en) | 1994-07-20 | 1994-07-20 | Vibration-type actuator device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6167987A JPH0833364A (en) | 1994-07-20 | 1994-07-20 | Vibration-type actuator device |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0833364A true JPH0833364A (en) | 1996-02-02 |
Family
ID=15859708
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6167987A Withdrawn JPH0833364A (en) | 1994-07-20 | 1994-07-20 | Vibration-type actuator device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0833364A (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002176788A (en) * | 2000-09-28 | 2002-06-21 | Canon Inc | Driving circuit of 4-phase driving vibration type actuator |
| US6724607B2 (en) | 2000-09-28 | 2004-04-20 | Canon Kabushiki Kaisha | Driving apparatus of vibration type actuator |
-
1994
- 1994-07-20 JP JP6167987A patent/JPH0833364A/en not_active Withdrawn
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002176788A (en) * | 2000-09-28 | 2002-06-21 | Canon Inc | Driving circuit of 4-phase driving vibration type actuator |
| US6724607B2 (en) | 2000-09-28 | 2004-04-20 | Canon Kabushiki Kaisha | Driving apparatus of vibration type actuator |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US7061156B2 (en) | Control apparatus for vibration type actuator | |
| Richard et al. | Semi-passive damping using continuous switching of a piezoelectric device | |
| CA1155911A (en) | Electronic damping of stepper motor | |
| US5436521A (en) | Vibration type actuator apparatus | |
| JP4209464B2 (en) | Ultrasonic actuator device | |
| US20170214340A1 (en) | Driving apparatus of vibration-type actuator method of controlling driving vibration-type actuator and image pickup apparatus | |
| JP5037767B2 (en) | Control device for vibration actuator | |
| JPH05328757A (en) | Driver vibration wave actuator | |
| JPH08182357A (en) | Ultrasonic motor driving circuit | |
| US6331747B2 (en) | Surface acoustic wave motor and apparatus having the same | |
| US5955819A (en) | Standing-wave vibration motor | |
| JP2002199758A (en) | Vibration type actuator controller | |
| Uchino et al. | Ultrasonic linear motors using a multilayered piezoelectric actuator | |
| US9823543B2 (en) | Driver of vibrator, method of driving the same, lens driver, vibration device, and imaging device | |
| US6573636B1 (en) | Ultrasonic motor having single booster circuit and electronic device with ultrasonic motor | |
| JP4834243B2 (en) | Control device for vibration actuator | |
| JPH0833364A (en) | Vibration-type actuator device | |
| JPH06233560A (en) | Ultrasonic actuator | |
| JPS5881470A (en) | Oscillator circuit for ultrasonic processing machine | |
| JP4765405B2 (en) | Ultrasonic motor drive device | |
| Pons | COMPARATIVE ANALYSIS OF PIEZOELECTRIC AND MAGNETOSTRICTIVE ACTUATORS IN SMART STRUCTURES | |
| EP0624911A1 (en) | Vibration wave motor | |
| JP3722050B2 (en) | Drive device | |
| JP2506895B2 (en) | Ultrasonic motor controller | |
| JPS582558B2 (en) | Electronic damper for pulse motor |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20011002 |