JPH08332467A - 液体充填用容器内部の洗浄法 - Google Patents
液体充填用容器内部の洗浄法Info
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- JPH08332467A JPH08332467A JP14163195A JP14163195A JPH08332467A JP H08332467 A JPH08332467 A JP H08332467A JP 14163195 A JP14163195 A JP 14163195A JP 14163195 A JP14163195 A JP 14163195A JP H08332467 A JPH08332467 A JP H08332467A
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Abstract
(57)【要約】
【構成】 洗浄用液体が充填された容器を、振動の振幅
が0.1〜50mm、振動数が0.1〜500Hzで2
0分間以上振動させることを特徴とする液体充填用容器
内部の洗浄法。 【効果】 容器に高純度硫酸等の電子工業薬品を充填
し、トラック等で1000kmを越える長距離を搬送し
た後も、容器内壁に付着する固体不純物に起因する平均
粒子径が0.2μm以上の固体粒子の混入による汚染
を、約400個/ml以下に抑制することが可能とな
る。
が0.1〜50mm、振動数が0.1〜500Hzで2
0分間以上振動させることを特徴とする液体充填用容器
内部の洗浄法。 【効果】 容器に高純度硫酸等の電子工業薬品を充填
し、トラック等で1000kmを越える長距離を搬送し
た後も、容器内壁に付着する固体不純物に起因する平均
粒子径が0.2μm以上の固体粒子の混入による汚染
を、約400個/ml以下に抑制することが可能とな
る。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は液体充填用容器内部の洗
浄方法に係わり、更に詳細には、容器中に液体を充填し
この容器をトラック等の搬送手段で長時間搬送後も、容
器内の液体が容器内壁に付着する固体粒子により汚染さ
れることの少ない液体充填用容器内部の洗浄方法に関す
るものである。
浄方法に係わり、更に詳細には、容器中に液体を充填し
この容器をトラック等の搬送手段で長時間搬送後も、容
器内の液体が容器内壁に付着する固体粒子により汚染さ
れることの少ない液体充填用容器内部の洗浄方法に関す
るものである。
【0002】
【従来の技術】半導体製造などに使用されるいわゆる電
子工業薬品には、硫酸、過酸化水素水を始めとする液体
状のものがある。これら液体状の薬品に要求される品質
のひとつとして、不純物として含まれる粒子の濃度が低
いことが要求される。この要求は、近年の集積回路の高
性能化などにより一層高度なものとなりつつあり、たと
えば粒径0.2μm以上を有する固体粒子の濃度が40
0個/ml程度であるといった水準が要求されている。
かかる要求を満たすため、薬品を精密濾過することによ
り、薬品中の粒子を除去する方法がとられている。粒子
が高度に除去された薬品は容器に充填され、トラックな
どの輸送手段により薬品の使用地点まで輸送されるが、
この輸送中に薬品中の粒子濃度が増加するという問題が
ある。このため、薬品充填前に容器内部を予め不純物粒
子を実質的に含有しない純水等を高圧噴射して洗浄する
方法が実施されているが満足し得る結果が得られていな
い。
子工業薬品には、硫酸、過酸化水素水を始めとする液体
状のものがある。これら液体状の薬品に要求される品質
のひとつとして、不純物として含まれる粒子の濃度が低
いことが要求される。この要求は、近年の集積回路の高
性能化などにより一層高度なものとなりつつあり、たと
えば粒径0.2μm以上を有する固体粒子の濃度が40
0個/ml程度であるといった水準が要求されている。
かかる要求を満たすため、薬品を精密濾過することによ
り、薬品中の粒子を除去する方法がとられている。粒子
が高度に除去された薬品は容器に充填され、トラックな
どの輸送手段により薬品の使用地点まで輸送されるが、
この輸送中に薬品中の粒子濃度が増加するという問題が
ある。このため、薬品充填前に容器内部を予め不純物粒
子を実質的に含有しない純水等を高圧噴射して洗浄する
方法が実施されているが満足し得る結果が得られていな
い。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】かかる状況下に鑑み、
本発明者等は容器内に充填した液体の容器内壁に付着し
た不純物に起因する固体粒子汚染を減少せしめることを
目的とし鋭意検討した結果、液体充填用容器を特定方法
により予め洗浄する場合には、該容器に液体を充填し搬
送した後も、極めて液体中の固体粒子濃度の増加が少な
いことを見出し、本発明を完成するに至った。
本発明者等は容器内に充填した液体の容器内壁に付着し
た不純物に起因する固体粒子汚染を減少せしめることを
目的とし鋭意検討した結果、液体充填用容器を特定方法
により予め洗浄する場合には、該容器に液体を充填し搬
送した後も、極めて液体中の固体粒子濃度の増加が少な
いことを見出し、本発明を完成するに至った。
【0004】
【課題を解決するための手段】すなわち、本発明は、洗
浄用液体が充填された容器を、20分間以上振動させる
ことを特徴とする液体充填用容器内部の洗浄法を提供す
るにある。
浄用液体が充填された容器を、20分間以上振動させる
ことを特徴とする液体充填用容器内部の洗浄法を提供す
るにある。
【0005】以下、本発明方法をさらに詳細に説明す
る。本発明が対象とする容器に充填する液体とは、特に
制限されないが、通常純度約85%以上、好ましくは約
90%以上の高純度を有する硫酸溶液、或いは過酸化水
素溶液等の半導体製造に使用されるいわゆる電子工業薬
品であり、該溶液中に含有される0.2μm以上の粒径
を有する固体粒子濃度が10個/ml以下の溶液であ
る。
る。本発明が対象とする容器に充填する液体とは、特に
制限されないが、通常純度約85%以上、好ましくは約
90%以上の高純度を有する硫酸溶液、或いは過酸化水
素溶液等の半導体製造に使用されるいわゆる電子工業薬
品であり、該溶液中に含有される0.2μm以上の粒径
を有する固体粒子濃度が10個/ml以下の溶液であ
る。
【0006】また、液体充填用容器とは、通常電子工業
用薬品製造メーカ、或いは中間取扱業者よりこれら薬品
を使用するユーザに搬送するのみの、いわゆるワンウェ
イ容器が主体であり、ポリエチレン等の合成樹脂製、ス
テンレススチール等の金属製等が挙げられるが、通常容
器コストの点から合成樹脂製が多用される。容器の形状
及び容量にも特に制限はないが、通常ドラム缶状の約1
00〜約200リットル/個の円筒型容器が使用され
る。これら容器内壁には容器素材にもよるが、素材構成
物質や加工屑に起因する固体微粒子や大気中の塵埃が付
着していると考えられる。
用薬品製造メーカ、或いは中間取扱業者よりこれら薬品
を使用するユーザに搬送するのみの、いわゆるワンウェ
イ容器が主体であり、ポリエチレン等の合成樹脂製、ス
テンレススチール等の金属製等が挙げられるが、通常容
器コストの点から合成樹脂製が多用される。容器の形状
及び容量にも特に制限はないが、通常ドラム缶状の約1
00〜約200リットル/個の円筒型容器が使用され
る。これら容器内壁には容器素材にもよるが、素材構成
物質や加工屑に起因する固体微粒子や大気中の塵埃が付
着していると考えられる。
【0007】本発明の実施に際して、容器の洗浄は、容
器内部に80容量%以上の洗浄液を充填した後、該容器
を20分以上、通常40分〜200分間振動させること
を必須とする。洗浄液としては洗浄後の容器に製品であ
る液体を充填し搬送した後に於いて、該液体中の粒子径
0.2μm以上の固体粒子が400個/ml以下にする
ものであればよく、例えば純水や超純水、或いは容器に
充填するのと同種の液体であってもよい。また洗浄処理
を複数回実施する場合には最初の洗浄液は純度が低いも
のでもよく、例えば既に洗浄に使用した洗浄液を用い、
仕上げに高純度の純水や超純水、さらには洗浄後容器に
充填し搬送される液体を用いて濯ぎ洗浄した後、この洗
浄液を排出する方法を採用してもよい。また、純水、超
純水で容器内部を洗浄した場合には、該洗浄後に容器に
充填し搬送される液体で濯ぎ洗いすることが好ましい。
器内部に80容量%以上の洗浄液を充填した後、該容器
を20分以上、通常40分〜200分間振動させること
を必須とする。洗浄液としては洗浄後の容器に製品であ
る液体を充填し搬送した後に於いて、該液体中の粒子径
0.2μm以上の固体粒子が400個/ml以下にする
ものであればよく、例えば純水や超純水、或いは容器に
充填するのと同種の液体であってもよい。また洗浄処理
を複数回実施する場合には最初の洗浄液は純度が低いも
のでもよく、例えば既に洗浄に使用した洗浄液を用い、
仕上げに高純度の純水や超純水、さらには洗浄後容器に
充填し搬送される液体を用いて濯ぎ洗浄した後、この洗
浄液を排出する方法を採用してもよい。また、純水、超
純水で容器内部を洗浄した場合には、該洗浄後に容器に
充填し搬送される液体で濯ぎ洗いすることが好ましい。
【0008】洗浄時容器に充填する洗浄液量は容器内容
量に対し約80容量%以上、好ましくは約90容量%〜
約95容量%であることを必須とする。これより洗浄液
量が少ない場合には、振動により洗浄液が容器内壁に接
触しない個所が生起する場合があり、洗浄効果が低減す
る。洗浄液を充填した容器は次いで振動の振幅が0.1
〜50mm、好ましくは1mm〜10mm、振動数が
0.1〜500Hz、好ましくは150〜250Hzの
範囲で約20分以上、普通には40分〜約200分間振
動を与える。振動の振幅や振動数が上記範囲よりも低い
場合には所望とする洗浄効果が得られず、一方上記範囲
を越えても大型振動機の設置に要するコスト、或いは容
器に与える負担等のマイナス要因に値する効果の発現は
ない。また洗浄時間が上記範囲よりも短い場合には十分
な洗浄効果が望めず、他方これ以上長い場合には時間に
見合った洗浄効果の発現は見られず、経済的でない。
量に対し約80容量%以上、好ましくは約90容量%〜
約95容量%であることを必須とする。これより洗浄液
量が少ない場合には、振動により洗浄液が容器内壁に接
触しない個所が生起する場合があり、洗浄効果が低減す
る。洗浄液を充填した容器は次いで振動の振幅が0.1
〜50mm、好ましくは1mm〜10mm、振動数が
0.1〜500Hz、好ましくは150〜250Hzの
範囲で約20分以上、普通には40分〜約200分間振
動を与える。振動の振幅や振動数が上記範囲よりも低い
場合には所望とする洗浄効果が得られず、一方上記範囲
を越えても大型振動機の設置に要するコスト、或いは容
器に与える負担等のマイナス要因に値する効果の発現は
ない。また洗浄時間が上記範囲よりも短い場合には十分
な洗浄効果が望めず、他方これ以上長い場合には時間に
見合った洗浄効果の発現は見られず、経済的でない。
【0009】洗浄に際し容器への振動は、洗浄液が容器
の振動により容器本体の内壁面に広い範囲で細かく強く
叩きつけられるように接触させる、即ち容器の輸送時に
容器に加わる振動スペクトル以上のものを継続的に、容
易かつ安全に加えられることが好ましく、このような条
件を付与し得る方法であればいかなる方法を採用しても
よいが、例えば容器がドラム缶形状の場合には、図1に
示す構造の装置を用い実施することができる。図1に於
いて、1は液体充填用容器、2、3はローラ、4は架
台、5は空気バネ、6は振動モータ、7は回転モータ、
8はベルト、9〜12は受金を示す。該装置の使用に於
いて、架台4上にはローラ2、3間に液体充填用容器1
が載置し得る如く、互いに並行にローラ2、3が配置さ
れており、図に於いてはローラ端部はローラが回動自在
にボールベアリングが内包された受金9、10、11、
12(図示せず)により軸承されている。更にこのロー
ラ2、3の他端は受金11、12より更に延設され、そ
の最端部はベルト8によりモータ7と繋合されている。
また架台4の下部には空気バネ5及び振動モータ6が配
設されている。実施に際しては洗浄液を充填した容器1
をローラ2、3上に載置し、振動モータの回転数を調整
することにより、容器1に所望の振幅と振動数を付与す
る。それ故、図に於いて2、3のローラに回転機能を付
与したものを記載したが、これらローラ2、3は固定さ
れたものであってもよい。
の振動により容器本体の内壁面に広い範囲で細かく強く
叩きつけられるように接触させる、即ち容器の輸送時に
容器に加わる振動スペクトル以上のものを継続的に、容
易かつ安全に加えられることが好ましく、このような条
件を付与し得る方法であればいかなる方法を採用しても
よいが、例えば容器がドラム缶形状の場合には、図1に
示す構造の装置を用い実施することができる。図1に於
いて、1は液体充填用容器、2、3はローラ、4は架
台、5は空気バネ、6は振動モータ、7は回転モータ、
8はベルト、9〜12は受金を示す。該装置の使用に於
いて、架台4上にはローラ2、3間に液体充填用容器1
が載置し得る如く、互いに並行にローラ2、3が配置さ
れており、図に於いてはローラ端部はローラが回動自在
にボールベアリングが内包された受金9、10、11、
12(図示せず)により軸承されている。更にこのロー
ラ2、3の他端は受金11、12より更に延設され、そ
の最端部はベルト8によりモータ7と繋合されている。
また架台4の下部には空気バネ5及び振動モータ6が配
設されている。実施に際しては洗浄液を充填した容器1
をローラ2、3上に載置し、振動モータの回転数を調整
することにより、容器1に所望の振幅と振動数を付与す
る。それ故、図に於いて2、3のローラに回転機能を付
与したものを記載したが、これらローラ2、3は固定さ
れたものであってもよい。
【0010】ローラ2、3はそのローラ間に載置する液
体充填用容器の重量等を勘案し、通常その材料としては
鋼材が使用されるが、その表面は滑り防止、更には該容
器表面の汚染防止の目的より合成樹脂、天然ゴム、或い
は布等を完全に、或いは部分的に被覆し使用することが
推奨される。
体充填用容器の重量等を勘案し、通常その材料としては
鋼材が使用されるが、その表面は滑り防止、更には該容
器表面の汚染防止の目的より合成樹脂、天然ゴム、或い
は布等を完全に、或いは部分的に被覆し使用することが
推奨される。
【0011】また、より高い洗浄効果を得る目的より、
上記振動モータの稼働と同時に、回転モータ7をも稼働
し、ベルト8を介してローラ2、3を回転させることに
より液体充填用容器1を回転させ、容器の洗浄を実施す
ることも可能である。この場合、回転条件としては特に
制限されないが、洗浄用液体が充填された容器を回転速
度20〜80rpm、好ましくは40〜80rpmの回
転速度の範囲で実施すればよい。また回転を併用する場
合には、容器に充填する洗浄液量は30〜90容量%、
好ましくは50〜60容量%の範囲で実施する方が洗浄
効率に優れた結果が得られる。
上記振動モータの稼働と同時に、回転モータ7をも稼働
し、ベルト8を介してローラ2、3を回転させることに
より液体充填用容器1を回転させ、容器の洗浄を実施す
ることも可能である。この場合、回転条件としては特に
制限されないが、洗浄用液体が充填された容器を回転速
度20〜80rpm、好ましくは40〜80rpmの回
転速度の範囲で実施すればよい。また回転を併用する場
合には、容器に充填する洗浄液量は30〜90容量%、
好ましくは50〜60容量%の範囲で実施する方が洗浄
効率に優れた結果が得られる。
【0012】
【発明の効果】以上詳述した本発明方法により洗浄した
容器を用いて電子工業用薬品等の高純度の液体を搬送す
る場合には、その搬送後(例えば東京→大阪間)の充填
溶液中の固体不純物の粒子濃度の増加は、粒子径約0.
2μm以上のもので通常約400個/ml以下、好まし
くは約300個/ml以下の極めて低い水準に制御する
ことを可能とするもので、その工業的価値は頗る大であ
る。
容器を用いて電子工業用薬品等の高純度の液体を搬送す
る場合には、その搬送後(例えば東京→大阪間)の充填
溶液中の固体不純物の粒子濃度の増加は、粒子径約0.
2μm以上のもので通常約400個/ml以下、好まし
くは約300個/ml以下の極めて低い水準に制御する
ことを可能とするもので、その工業的価値は頗る大であ
る。
【0013】
【実施例】以下、本発明方法を実施例により更に詳細に
説明する。尚、本発明に於いて溶液中の固体粒子個数は
リオン株式会社製のパーティクルカウンターを用いて測
定した。
説明する。尚、本発明に於いて溶液中の固体粒子個数は
リオン株式会社製のパーティクルカウンターを用いて測
定した。
【0014】実施例1 直径590mm,長さ900mm、内容積200リット
ルのポリエチレン製ドラム缶に、超純水精製装置(日本
碍子社製)で得た超純水(粒子径0.2μm以上の固体
粒子個数10個/ml)185リットルを充填した。次
いでこのドラム缶を図1に示す構造の振動装置(ローラ
直径55mm,ローラ長さ950mm,ローラ軸間隔5
00mm)のローラ2、3間に載置し、振動モータ6を
稼働し容器を振幅6mm、振動数200Hzで振動させ
90分間洗浄を行った。その後容器内の液を廃棄し超純
水20リットルで容器内を1回濯ぎ洗いして洗浄液を廃
棄した。このようにして洗浄した後のドラム缶に31%
の過酸化水素水(粒子径0.2μm以上の固体粒子個数
5個/ml)200リットルを充填し、これをトラック
の荷台に積載し、新居浜から千葉迄の公道を往復(約1
800km)走行した。走行後のドラム缶内の過酸化水
素水中に存在する粒子径0.2μm以上の固体粒子を測
定した所、360個/mlであった。
ルのポリエチレン製ドラム缶に、超純水精製装置(日本
碍子社製)で得た超純水(粒子径0.2μm以上の固体
粒子個数10個/ml)185リットルを充填した。次
いでこのドラム缶を図1に示す構造の振動装置(ローラ
直径55mm,ローラ長さ950mm,ローラ軸間隔5
00mm)のローラ2、3間に載置し、振動モータ6を
稼働し容器を振幅6mm、振動数200Hzで振動させ
90分間洗浄を行った。その後容器内の液を廃棄し超純
水20リットルで容器内を1回濯ぎ洗いして洗浄液を廃
棄した。このようにして洗浄した後のドラム缶に31%
の過酸化水素水(粒子径0.2μm以上の固体粒子個数
5個/ml)200リットルを充填し、これをトラック
の荷台に積載し、新居浜から千葉迄の公道を往復(約1
800km)走行した。走行後のドラム缶内の過酸化水
素水中に存在する粒子径0.2μm以上の固体粒子を測
定した所、360個/mlであった。
【0015】実施例2 実施例1の方法に於いて、容器に充填する超純水を12
0リットルとし、洗浄時に実施例1と同一条件の振動を
加え、更に回転モータ7を稼働し、容器を40rpmの
速度で回転させつつ90分間洗浄した。その後実施例1
と同様に容器内の液を廃棄し超純水20リットルで容器
内を1回濯ぎ洗いして洗浄液を廃棄し、この容器に実施
例1と同じ過酸化水素水を同じ量充填し、新居浜から千
葉迄の公道を往復(約1800km)走行した。走行後
のドラム缶内の過酸化水素水中に存在する粒子径0.2
μm以上の固体粒子を測定した所、280個/mlであ
った。
0リットルとし、洗浄時に実施例1と同一条件の振動を
加え、更に回転モータ7を稼働し、容器を40rpmの
速度で回転させつつ90分間洗浄した。その後実施例1
と同様に容器内の液を廃棄し超純水20リットルで容器
内を1回濯ぎ洗いして洗浄液を廃棄し、この容器に実施
例1と同じ過酸化水素水を同じ量充填し、新居浜から千
葉迄の公道を往復(約1800km)走行した。走行後
のドラム缶内の過酸化水素水中に存在する粒子径0.2
μm以上の固体粒子を測定した所、280個/mlであ
った。
【0016】比較例1 実施例1で使用したのと同一形状のドラム缶を、実施例
で用いたのと同じ製法で得た超純水を用い、ドラム管の
液供給口を下に向け、該液供給口よりノズルを挿入し、
吐出圧12kg/cm2 (ノズル先端部)・吐出量40
リットル/分の高圧洗浄液によりドラム缶内壁を10分
間洗浄した後5分休憩するパターンで計30分可能な限
り丁寧に均一に洗浄した。その後実施例1と同様に超純
水20リットルで容器内を1回濯ぎ洗いして洗浄液を廃
棄し、この容器に実施例1と同じ過酸化水素水を同じ量
充填し、新居浜から千葉迄の公道を往復(約1800k
m)走行した。走行後のドラム缶内の過酸化水素水中に
存在する粒子径0.2μm以上の固体粒子を測定した
所、750個/mlであった。
で用いたのと同じ製法で得た超純水を用い、ドラム管の
液供給口を下に向け、該液供給口よりノズルを挿入し、
吐出圧12kg/cm2 (ノズル先端部)・吐出量40
リットル/分の高圧洗浄液によりドラム缶内壁を10分
間洗浄した後5分休憩するパターンで計30分可能な限
り丁寧に均一に洗浄した。その後実施例1と同様に超純
水20リットルで容器内を1回濯ぎ洗いして洗浄液を廃
棄し、この容器に実施例1と同じ過酸化水素水を同じ量
充填し、新居浜から千葉迄の公道を往復(約1800k
m)走行した。走行後のドラム缶内の過酸化水素水中に
存在する粒子径0.2μm以上の固体粒子を測定した
所、750個/mlであった。
【図面の簡単な説明】
【図1】液体充填用容器内部の洗浄に用いる回転装置の
概略図である。
概略図である。
1は液体充填用容器、2、3はローラ、4は架台、5は
空気バネ、6は振動モータ、7は回転モータ、8はベル
ト、9〜12は受金を示す。
空気バネ、6は振動モータ、7は回転モータ、8はベル
ト、9〜12は受金を示す。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 森川 正男 千葉県市原市姉崎海岸5番1号 住友化学 工業株式会社内
Claims (6)
- 【請求項1】 洗浄用液体が充填された容器を、20分
間以上振動させることを特徴とする液体充填用容器内部
の洗浄法。 - 【請求項2】 振動の振幅が0.1〜50mm、振動数
が0.1〜500Hzであることを特徴とする請求項1
記載の液体充填用容器内部の洗浄法。 - 【請求項3】 容器が液体電子工業用薬品の充填用容器
であることを特徴とする請求項1記載の洗浄法。 - 【請求項4】 洗浄用液体が充填された容器を回転しつ
つ振動させることを特徴とする請求項1記載の洗浄法。 - 【請求項5】 洗浄用液体が充填された容器を回転速度
20〜80rpmで回転しつつ振動させることを特徴と
する請求項1記載の洗浄法。 - 【請求項6】 容器に充填する洗浄用液体が30〜90
容量%であることを特徴とする請求項4または5記載の
洗浄法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP14163195A JPH08332467A (ja) | 1995-06-08 | 1995-06-08 | 液体充填用容器内部の洗浄法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP14163195A JPH08332467A (ja) | 1995-06-08 | 1995-06-08 | 液体充填用容器内部の洗浄法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH08332467A true JPH08332467A (ja) | 1996-12-17 |
Family
ID=15296537
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP14163195A Pending JPH08332467A (ja) | 1995-06-08 | 1995-06-08 | 液体充填用容器内部の洗浄法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH08332467A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11387787B2 (en) | 2017-04-28 | 2022-07-12 | Burmester Audiosysteme Gmbh | Signal amplifier circuit, voltage converter and system |
US11913605B2 (en) | 2018-02-16 | 2024-02-27 | Bundesrepublik Deutschland, vertreten durch die Bundesministerin für Wirtschaft und Energie | Filling gas storage tanks |
-
1995
- 1995-06-08 JP JP14163195A patent/JPH08332467A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11387787B2 (en) | 2017-04-28 | 2022-07-12 | Burmester Audiosysteme Gmbh | Signal amplifier circuit, voltage converter and system |
US11913605B2 (en) | 2018-02-16 | 2024-02-27 | Bundesrepublik Deutschland, vertreten durch die Bundesministerin für Wirtschaft und Energie | Filling gas storage tanks |
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