JPH08327895A - 投影光学装置 - Google Patents
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- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/708—Construction of apparatus, e.g. environment aspects, hygiene aspects or materials
- G03F7/70808—Construction details, e.g. housing, load-lock, seals or windows for passing light in or out of apparatus
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- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 非対称成分収差の補正を短時間で行なう。
【構成】 複数枚のレンズの内の４枚の特定のレンズ２
２1 〜２２4 に光軸に関する非対称成分収差が生じるよ
うな特殊加工（アス面加工）が施され、レンズ２２1 〜
２２4 の各々が親レンズ枠１４内にセットされた子レン
ズ枠２０に保持されており、各子レンズ枠２０がレンズ
鏡筒１２の外部から回転できるように構成されている。
特定のレンズ２２の２枚をそれぞれ回転させることで、
光軸に関する任意の非対称成分収差を作り出すことがで
きる。即ち、アス面加工が施されたレンズ２２の内の２
枚を一組として回転させれば、投影光学装置１０を構成
する全てのレンズから成る光学系の光軸に関する非対称
成分収差を簡単に補正することが可能になる。
２1 〜２２4 に光軸に関する非対称成分収差が生じるよ
うな特殊加工（アス面加工）が施され、レンズ２２1 〜
２２4 の各々が親レンズ枠１４内にセットされた子レン
ズ枠２０に保持されており、各子レンズ枠２０がレンズ
鏡筒１２の外部から回転できるように構成されている。
特定のレンズ２２の２枚をそれぞれ回転させることで、
光軸に関する任意の非対称成分収差を作り出すことがで
きる。即ち、アス面加工が施されたレンズ２２の内の２
枚を一組として回転させれば、投影光学装置１０を構成
する全てのレンズから成る光学系の光軸に関する非対称
成分収差を簡単に補正することが可能になる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は投影光学装置に係り、更
に詳しくはマスクのパターンを感光基板上に投影する投
影露光装置、例えばウエハ上に微細なパターンを転写す
る半導体露光装置に用いられる投影光学装置に関する。
に詳しくはマスクのパターンを感光基板上に投影する投
影露光装置、例えばウエハ上に微細なパターンを転写す
る半導体露光装置に用いられる投影光学装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】この種の露光装置に用いられる従来の投
影光学装置の一例が図６に示されている。この図６に示
されるように、露光装置内では、投影光学装置５０は、
マスクとしてのレチクルＲと感光基板としてのウエハＷ
との間に配置される。
影光学装置の一例が図６に示されている。この図６に示
されるように、露光装置内では、投影光学装置５０は、
マスクとしてのレチクルＲと感光基板としてのウエハＷ
との間に配置される。
【０００３】投影光学装置５０は、レンズ鏡筒５２と、
このレンズ鏡筒５２の内部に順次積み重ねられた状態で
収納された複数段のレンズ枠５４と、各レンズ枠５４に
各１枚保持された複数枚のレンズ５６とを有している。
図６における最上段（最もレチクルＲ寄り）のレンズ枠
５４の上端縁の近傍部分のレンズ鏡筒５２の内周部に
は、雌ねじが形成され、この雌ねじに螺合する雄ねじが
その外周部に形成されたリング状部材からなる押え環５
８が螺合せしめられている。このため、全てのレンズ枠
５４がレンズ鏡筒５２に所定の押圧力（軸力）で固定さ
れている。
このレンズ鏡筒５２の内部に順次積み重ねられた状態で
収納された複数段のレンズ枠５４と、各レンズ枠５４に
各１枚保持された複数枚のレンズ５６とを有している。
図６における最上段（最もレチクルＲ寄り）のレンズ枠
５４の上端縁の近傍部分のレンズ鏡筒５２の内周部に
は、雌ねじが形成され、この雌ねじに螺合する雄ねじが
その外周部に形成されたリング状部材からなる押え環５
８が螺合せしめられている。このため、全てのレンズ枠
５４がレンズ鏡筒５２に所定の押圧力（軸力）で固定さ
れている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】レンズは、高度な設計
技術と加工技術とに基づいて製作されるが、通常結像の
不完全さの結果として生じる誤差（収差）を有してい
る。この収差は、理想像からの像の幾何光学的なずれ
で、これらのずれは設計上、加工上、あるいはその両者
に起因して生じる。収差の中には、光軸に関する非対称
成分収差（例えば、菱形ディストーションやセンターア
ス等）が含まれる。本明細書中で、菱形ディストーショ
ンとは、例えば、正方形の物体の像が長方形になる等の
光学系の結像特性で、像面内の直交２軸方向で倍率の異
なった像が結像される特性を意味する。また、本明細書
中でセンターアスとは、光軸上の非点収差を意味する。
技術と加工技術とに基づいて製作されるが、通常結像の
不完全さの結果として生じる誤差（収差）を有してい
る。この収差は、理想像からの像の幾何光学的なずれ
で、これらのずれは設計上、加工上、あるいはその両者
に起因して生じる。収差の中には、光軸に関する非対称
成分収差（例えば、菱形ディストーションやセンターア
ス等）が含まれる。本明細書中で、菱形ディストーショ
ンとは、例えば、正方形の物体の像が長方形になる等の
光学系の結像特性で、像面内の直交２軸方向で倍率の異
なった像が結像される特性を意味する。また、本明細書
中でセンターアスとは、光軸上の非点収差を意味する。
【０００５】上記従来例の投影光学装置５０のように、
複数のレンズを光軸ＡＸを共通にして順次配置した場
合、それぞれのレンズの持つ非対称成分収差が全体的に
バランスよく分散するように各レンズの回転角度を調整
する必要があるが、現状では、かかる調整は実際に像を
投影しながら各レンズをそれぞれ回転させて行なわれて
いる。このような調整の際等には、レンズ枠５４を回転
させる必要が生じるが、上記従来の投影光学装置５０に
あっては、押え環５８を取り外し、回転させるレンズ枠
５４の上側のレンズ枠５４までは取り外さなければなら
ず、これが大変に面倒であり、非対称成分収差が満足な
レベルまで補正されるまで、かかる面倒な作業を繰り返
し行なわなければならないという不都合があった。
複数のレンズを光軸ＡＸを共通にして順次配置した場
合、それぞれのレンズの持つ非対称成分収差が全体的に
バランスよく分散するように各レンズの回転角度を調整
する必要があるが、現状では、かかる調整は実際に像を
投影しながら各レンズをそれぞれ回転させて行なわれて
いる。このような調整の際等には、レンズ枠５４を回転
させる必要が生じるが、上記従来の投影光学装置５０に
あっては、押え環５８を取り外し、回転させるレンズ枠
５４の上側のレンズ枠５４までは取り外さなければなら
ず、これが大変に面倒であり、非対称成分収差が満足な
レベルまで補正されるまで、かかる面倒な作業を繰り返
し行なわなければならないという不都合があった。
【０００６】本発明は、かかる従来技術の有する不都合
に鑑みてなされたもので、その目的は、特に非対称成分
収差の補正を短時間で行なうことができる投影光学装置
を提供することにある。
に鑑みてなされたもので、その目的は、特に非対称成分
収差の補正を短時間で行なうことができる投影光学装置
を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明は、
マスクのパターンを感光基板上に投影する投影露光装置
に用いられ、レンズ鏡筒と、このレンズ鏡筒内に所定間
隔で保持された複数枚のレンズとを備えた投影光学装置
において、前記複数枚のレンズの内の少なくとも２枚の
特定のレンズにその結像特性に光軸に関する非対称成分
収差が生じるような特殊加工が施され、前記特定のレン
ズの各々を独立して前記光軸回りに回転させるための回
転機構が設けられたことを特徴とする。
マスクのパターンを感光基板上に投影する投影露光装置
に用いられ、レンズ鏡筒と、このレンズ鏡筒内に所定間
隔で保持された複数枚のレンズとを備えた投影光学装置
において、前記複数枚のレンズの内の少なくとも２枚の
特定のレンズにその結像特性に光軸に関する非対称成分
収差が生じるような特殊加工が施され、前記特定のレン
ズの各々を独立して前記光軸回りに回転させるための回
転機構が設けられたことを特徴とする。
【０００８】ここで、上記の光軸に関する非対称成分収
差が生じるような特殊加工とは、もっとも典型的には、
光軸を通る直交する２断面での曲率半径が相互に異なる
ようなレンズの形状面における加工、いわば鞍型に加工
するような加工をいい、このような加工を以下において
は適宜「アス面加工」と略称する。
差が生じるような特殊加工とは、もっとも典型的には、
光軸を通る直交する２断面での曲率半径が相互に異なる
ようなレンズの形状面における加工、いわば鞍型に加工
するような加工をいい、このような加工を以下において
は適宜「アス面加工」と略称する。
【０００９】請求項２記載の発明は、請求項１記載の投
影光学装置において、前記回転機構は、前記各特定のレ
ンズを前記レンズ鏡筒の外部から回転可能な機構である
ことを特徴とする。
影光学装置において、前記回転機構は、前記各特定のレ
ンズを前記レンズ鏡筒の外部から回転可能な機構である
ことを特徴とする。
【００１０】請求項３記載の発明は、請求項１又は２記
載の投影光学装置において、記特定のレンズの内の２枚
が前記レンズ鏡筒内の前記マスク側近傍に隣接して配置
されたレンズであることを特徴とする。
載の投影光学装置において、記特定のレンズの内の２枚
が前記レンズ鏡筒内の前記マスク側近傍に隣接して配置
されたレンズであることを特徴とする。
【００１１】請求項４記載の発明は、請求項１ないし３
のいずれかに記載の投影光学装置において、前記特定の
レンズの内の２枚が前記レンズ鏡筒内の瞳近傍に隣接し
て配置されたレンズであることを特徴とする。
のいずれかに記載の投影光学装置において、前記特定の
レンズの内の２枚が前記レンズ鏡筒内の瞳近傍に隣接し
て配置されたレンズであることを特徴とする。
【００１２】
【作用】請求項１記載の発明によれば、複数枚のレンズ
の内の少なくとも２枚の特定のレンズに光軸に関する非
対称成分収差が生じるような特殊加工（アス面加工）が
施され、特定のレンズの各々を独立して光軸回りに回転
させるための回転機構が設けられていることから、少な
くとも２枚のアス面加工が施されているレンズをそれぞ
れ回転機構により回転させることで、光軸に関する任意
の非対称成分収差を作り出すことができる。即ち、アス
面加工が施されたレンズの内の２枚を一組として回転さ
せれば、投影光学装置を構成する全てのレンズから成る
光学系の光軸に関する非対称成分収差を簡単に補正する
ことが可能になる。
の内の少なくとも２枚の特定のレンズに光軸に関する非
対称成分収差が生じるような特殊加工（アス面加工）が
施され、特定のレンズの各々を独立して光軸回りに回転
させるための回転機構が設けられていることから、少な
くとも２枚のアス面加工が施されているレンズをそれぞ
れ回転機構により回転させることで、光軸に関する任意
の非対称成分収差を作り出すことができる。即ち、アス
面加工が施されたレンズの内の２枚を一組として回転さ
せれば、投影光学装置を構成する全てのレンズから成る
光学系の光軸に関する非対称成分収差を簡単に補正する
ことが可能になる。
【００１３】請求項２記載の発明によれば、回転機構
は、各特定のレンズをレンズ鏡筒の外部から回転可能な
機構であることから、レンズ鏡等の外部よりアス面加工
が施されたレンズを回転させて任意の角度に設定するこ
とができ、これにより、投影光学装置単体製造工程時、
投影光学装置を露光装置本体へ搭載後の製造工程時に、
装置を分解することなく、効率よく投影光学装置を構成
する光学系の結像特性、特に光軸に関する非対称成分収
差を補正することができる。
は、各特定のレンズをレンズ鏡筒の外部から回転可能な
機構であることから、レンズ鏡等の外部よりアス面加工
が施されたレンズを回転させて任意の角度に設定するこ
とができ、これにより、投影光学装置単体製造工程時、
投影光学装置を露光装置本体へ搭載後の製造工程時に、
装置を分解することなく、効率よく投影光学装置を構成
する光学系の結像特性、特に光軸に関する非対称成分収
差を補正することができる。
【００１４】請求項３記載の発明によれば、特定のレン
ズの内の２枚がレンズ鏡筒内のマスク側近傍に隣接して
配置されたレンズであることから、これらのレンズを回
転させることにより菱形ディストーションが補正され
る。
ズの内の２枚がレンズ鏡筒内のマスク側近傍に隣接して
配置されたレンズであることから、これらのレンズを回
転させることにより菱形ディストーションが補正され
る。
【００１５】請求項４記載の発明によれば、特定のレン
ズの内の２枚がレンズ鏡筒内の瞳近傍に隣接して配置さ
れたレンズであることから、これらのレンズを回転させ
ることによりセンターアスが補正される。
ズの内の２枚がレンズ鏡筒内の瞳近傍に隣接して配置さ
れたレンズであることから、これらのレンズを回転させ
ることによりセンターアスが補正される。
【００１６】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図１ないし図４に
基づいて説明する。
基づいて説明する。
【００１７】図１ないし図２には、一実施例に係る投影
光学装置１０が示されている。この投影光学装置１０
は、露光装置内では、図１ないし図２に示されるよう
に、マスクとしてのレチクルＲと感光基板としてのウエ
ハＷとの間に配置され、その光軸ＡＸ上にレチクルＲの
中心が位置決めされている。レチクルＲのパターン面と
ウエハＷの表面とが投影光学装置１０を構成する光学系
（レンズ系）に関して共役な状態で、図示しない露光光
によりレチクルＲが上方から照明されると、レチクルＲ
のパターンが投影光学装置１０の縮小倍率に応じて縮小
されてウエハＷ上に転写される。
光学装置１０が示されている。この投影光学装置１０
は、露光装置内では、図１ないし図２に示されるよう
に、マスクとしてのレチクルＲと感光基板としてのウエ
ハＷとの間に配置され、その光軸ＡＸ上にレチクルＲの
中心が位置決めされている。レチクルＲのパターン面と
ウエハＷの表面とが投影光学装置１０を構成する光学系
（レンズ系）に関して共役な状態で、図示しない露光光
によりレチクルＲが上方から照明されると、レチクルＲ
のパターンが投影光学装置１０の縮小倍率に応じて縮小
されてウエハＷ上に転写される。
【００１８】投影光学装置１０は、両端面が開口した所
定長さの円筒状部材から成るレンズ鏡筒１２と、このレ
ンズ鏡筒１２内に順次積み重ねた状態で収納された４段
の特殊なレンズ枠（以下、「親レンズ枠」という）１４
1 〜１４4 と複数段の通常のレンズ枠１６、１６、……
とを備えている。これらの親レンズ枠１４1 〜１４4及
びレンズ枠１６、１６、……の全体は、前述した従来例
と同様に、最上段（最もレチクルＲ寄り）の親レンズ枠
１４1 の上方からレンズ鏡筒１２に螺合されたリング状
部材から成る押え環１５によって、レンズ鏡筒１２に所
定の押圧力で固定されている。このため、摩擦力によ
り、親レンズ枠１４1 〜１４4 及びレンズ枠１６、１
６、……は、回転できないようになっている。
定長さの円筒状部材から成るレンズ鏡筒１２と、このレ
ンズ鏡筒１２内に順次積み重ねた状態で収納された４段
の特殊なレンズ枠（以下、「親レンズ枠」という）１４
1 〜１４4 と複数段の通常のレンズ枠１６、１６、……
とを備えている。これらの親レンズ枠１４1 〜１４4及
びレンズ枠１６、１６、……の全体は、前述した従来例
と同様に、最上段（最もレチクルＲ寄り）の親レンズ枠
１４1 の上方からレンズ鏡筒１２に螺合されたリング状
部材から成る押え環１５によって、レンズ鏡筒１２に所
定の押圧力で固定されている。このため、摩擦力によ
り、親レンズ枠１４1 〜１４4 及びレンズ枠１６、１
６、……は、回転できないようになっている。
【００１９】通常のレンズ枠１６には、それぞれの光軸
が光軸ＡＸと一致した状態でレンズ１８が各１つ保持さ
れている。ここで、各レンズ１８としては、球面から成
る凸面又は凹面が少なくとも一方の面に形成された通常
の凸レンズ又は凹レンズが使用され、全てが同一のレン
ズが用いられるわけではないが、説明の便宜上、レンズ
１８と総称している。
が光軸ＡＸと一致した状態でレンズ１８が各１つ保持さ
れている。ここで、各レンズ１８としては、球面から成
る凸面又は凹面が少なくとも一方の面に形成された通常
の凸レンズ又は凹レンズが使用され、全てが同一のレン
ズが用いられるわけではないが、説明の便宜上、レンズ
１８と総称している。
【００２０】親レンズ枠１４1 〜１４4 の内部には、所
定のクリアランスをもって子レンズ枠２０1 〜２０4 が
セットされている。これらの子レンズ枠２０1 〜２０4
には、アス面加工が施された特殊レンズ２２1 〜２２4
がそれぞれ保持されている。特殊レンズ２２1 、２２2
をそれぞれ保持する子レンズ枠２０1 、２０2 は最もレ
チクルＲ寄りの位置に隣接して配置されている。また、
特殊レンズ２２3 、２２4 をそれぞれ保持する子レンズ
枠２０3 、２０4 は投影光学装置１０の瞳の近傍に隣接
して配置されている。
定のクリアランスをもって子レンズ枠２０1 〜２０4 が
セットされている。これらの子レンズ枠２０1 〜２０4
には、アス面加工が施された特殊レンズ２２1 〜２２4
がそれぞれ保持されている。特殊レンズ２２1 、２２2
をそれぞれ保持する子レンズ枠２０1 、２０2 は最もレ
チクルＲ寄りの位置に隣接して配置されている。また、
特殊レンズ２２3 、２２4 をそれぞれ保持する子レンズ
枠２０3 、２０4 は投影光学装置１０の瞳の近傍に隣接
して配置されている。
【００２１】本実施例では、特殊レンズ２２1 〜２２4
としては、光軸を通る直交する２断面での曲率半径が相
互に異なるように意識的に加工されたいわば鞍型の凸レ
ンズが使用されている。特殊レンズ２２1 〜２２4 は４
枚とも同一のアス面加工が施され、光軸を通る非対称成
分収差が意識的に大きくなるように設定されたものが使
用されている。これらの特殊レンズ２２1 〜２２4 の内
の２枚を組合せての相対回転角を調整することにより、
任意の光軸に関する非対称成分収差を作り出すことがで
きる。即ち、これらの特殊レンズ２２1 〜２２4 の内の
２枚を一組として回転させれば、投影光学装置１０の光
軸非対称成分収差を補正することが可能となる。より具
体的には、レチクルＲ寄りの２枚の特殊レンズ２２1 、
２２2 の相対回転角を調整することにより、菱形ディス
トーションを容易に補正することができ、瞳近傍に配置
された２枚の特殊レンズ２２3 、２２4 の相対回転角を
調整することにより、センターアスを容易に補正するこ
とができる。なお、４枚の特殊レンズ２２1 〜２２4 の
それぞれの光軸も投影光学装置１０の光軸ＡＸと一致し
ている。
としては、光軸を通る直交する２断面での曲率半径が相
互に異なるように意識的に加工されたいわば鞍型の凸レ
ンズが使用されている。特殊レンズ２２1 〜２２4 は４
枚とも同一のアス面加工が施され、光軸を通る非対称成
分収差が意識的に大きくなるように設定されたものが使
用されている。これらの特殊レンズ２２1 〜２２4 の内
の２枚を組合せての相対回転角を調整することにより、
任意の光軸に関する非対称成分収差を作り出すことがで
きる。即ち、これらの特殊レンズ２２1 〜２２4 の内の
２枚を一組として回転させれば、投影光学装置１０の光
軸非対称成分収差を補正することが可能となる。より具
体的には、レチクルＲ寄りの２枚の特殊レンズ２２1 、
２２2 の相対回転角を調整することにより、菱形ディス
トーションを容易に補正することができ、瞳近傍に配置
された２枚の特殊レンズ２２3 、２２4 の相対回転角を
調整することにより、センターアスを容易に補正するこ
とができる。なお、４枚の特殊レンズ２２1 〜２２4 の
それぞれの光軸も投影光学装置１０の光軸ＡＸと一致し
ている。
【００２２】ここで、親レンズ枠と子レンズ枠部分につ
いて更に詳述する。レンズ鏡筒１２の図１における右側
面には、図２に示されるように、親レンズ枠１４1 〜１
４4に対応する部分に円周方向に延びた長孔状の開口部
２４1 〜２４4 がそれぞれ形成されている。例えば、開
口部２４4 に対向する親レンズ枠１４4 の周壁には、図
２及び図４に示されるように、開口部２４4 と同形状の
一回り小さな長孔２６4 が形成されている。更に、この
長孔２６4 が設けられた高さ位置（光軸ＡＸ方向の位
置）に対応する子レンズ枠２０4 の周壁の外周には、図
４に示されるように、円周方向に等間隔で複数（ここで
は１２個）の丸穴２８が形成されている。この丸穴２８
は、レバー３０を差し込むための穴で、この丸穴２８に
点線矢印Ｆで示されるように、レバー３０を差し込み、
矢印Ｅ方向に回動することによって、子レンズ枠２０4
と一体的に特殊レンズ２２4 を光軸ＡＸを中心として回
動（回転）させることができるようになっている。本実
施例では、３０度間隔で丸穴２８が設けれているので、
例えば、レバー３０を３０度回すことにより、次の丸穴
２８がレバー３０がもとあった位置まで来る。逆に言え
ば、回転中に開口部２４4 、長孔２６4 の所定位置を通
過した丸穴２８の数を数えれば、子レンズ枠２０4 が何
度回転したかが簡単に分かるようになっている。勿論、
子レンズ枠２０4 の外周に予め目盛りを付けておけば、
丸穴２８の数を数える必要はなくなる。これと同様に、
他の開口部２４1 〜２４3 に対向する親レンズ枠１４1
〜１４3の周壁にも、図１及び図２に示されるように、
開口部２４1 〜２４3 より一回り小さな長孔２６1 〜２
６3 がそれぞれ形成され、更にこれらの長孔２６1 〜２
６3 が設けられた高さ位置に対応する子レンズ枠２０1
〜２０3 の周壁の外周には円周方向に等間隔で１２個の
丸穴２８がそれぞれ形成されており、各丸穴２８にレバ
ー３０を差し込むことにより、子レンズ枠２０1 〜２０
3 をそれぞれ容易に回転させることができるようになっ
ている。
いて更に詳述する。レンズ鏡筒１２の図１における右側
面には、図２に示されるように、親レンズ枠１４1 〜１
４4に対応する部分に円周方向に延びた長孔状の開口部
２４1 〜２４4 がそれぞれ形成されている。例えば、開
口部２４4 に対向する親レンズ枠１４4 の周壁には、図
２及び図４に示されるように、開口部２４4 と同形状の
一回り小さな長孔２６4 が形成されている。更に、この
長孔２６4 が設けられた高さ位置（光軸ＡＸ方向の位
置）に対応する子レンズ枠２０4 の周壁の外周には、図
４に示されるように、円周方向に等間隔で複数（ここで
は１２個）の丸穴２８が形成されている。この丸穴２８
は、レバー３０を差し込むための穴で、この丸穴２８に
点線矢印Ｆで示されるように、レバー３０を差し込み、
矢印Ｅ方向に回動することによって、子レンズ枠２０4
と一体的に特殊レンズ２２4 を光軸ＡＸを中心として回
動（回転）させることができるようになっている。本実
施例では、３０度間隔で丸穴２８が設けれているので、
例えば、レバー３０を３０度回すことにより、次の丸穴
２８がレバー３０がもとあった位置まで来る。逆に言え
ば、回転中に開口部２４4 、長孔２６4 の所定位置を通
過した丸穴２８の数を数えれば、子レンズ枠２０4 が何
度回転したかが簡単に分かるようになっている。勿論、
子レンズ枠２０4 の外周に予め目盛りを付けておけば、
丸穴２８の数を数える必要はなくなる。これと同様に、
他の開口部２４1 〜２４3 に対向する親レンズ枠１４1
〜１４3の周壁にも、図１及び図２に示されるように、
開口部２４1 〜２４3 より一回り小さな長孔２６1 〜２
６3 がそれぞれ形成され、更にこれらの長孔２６1 〜２
６3 が設けられた高さ位置に対応する子レンズ枠２０1
〜２０3 の周壁の外周には円周方向に等間隔で１２個の
丸穴２８がそれぞれ形成されており、各丸穴２８にレバ
ー３０を差し込むことにより、子レンズ枠２０1 〜２０
3 をそれぞれ容易に回転させることができるようになっ
ている。
【００２３】更に、レンズ鏡筒１２の開口部２４1 〜２
４4 の上方には、図１ないし図２に示されるように、丸
孔３２が各一つ穿設されている。この丸孔３２は、子レ
ンズ枠を固定するための後述するビスを差し込むための
孔である。従って、図３の拡大図に示されるように、こ
の丸孔３２に対向する部分の親レンズ枠１４1 〜１４4
の周壁には、ねじ孔３４が形成されている。
４4 の上方には、図１ないし図２に示されるように、丸
孔３２が各一つ穿設されている。この丸孔３２は、子レ
ンズ枠を固定するための後述するビスを差し込むための
孔である。従って、図３の拡大図に示されるように、こ
の丸孔３２に対向する部分の親レンズ枠１４1 〜１４4
の周壁には、ねじ孔３４が形成されている。
【００２４】各ねじ孔３４には、図３の拡大図に示され
るように、先端が円錐状に形成されたビス３６が螺合さ
れている。このビス３６の先端と反対側の端面にはドラ
イバー（ＨＥＸドライバー、プラスドライバー及びマイ
ナスドライバーのいずれでも良い）３８が係合可能な切
り込みが形成されている。また、ビス３６の先端は、子
レンズ枠２０1 〜２０4 の外周にそれぞれ形成された断
面Ｖ字状の環状凹溝４０の斜面に圧接されている。即
ち、図３に示されるように、ビス３６の先端面で斜面を
押すことにより、子レンズ枠２０1 〜２０4 を任意の回
転方向の位置で固定できるような構造となっている。な
お、ビス３６を差し込むための丸孔３２、ねじ孔３４は
等間隔で円周上に３箇所以上あればよく、通常は４個又
は８個が作業上適している。
るように、先端が円錐状に形成されたビス３６が螺合さ
れている。このビス３６の先端と反対側の端面にはドラ
イバー（ＨＥＸドライバー、プラスドライバー及びマイ
ナスドライバーのいずれでも良い）３８が係合可能な切
り込みが形成されている。また、ビス３６の先端は、子
レンズ枠２０1 〜２０4 の外周にそれぞれ形成された断
面Ｖ字状の環状凹溝４０の斜面に圧接されている。即
ち、図３に示されるように、ビス３６の先端面で斜面を
押すことにより、子レンズ枠２０1 〜２０4 を任意の回
転方向の位置で固定できるような構造となっている。な
お、ビス３６を差し込むための丸孔３２、ねじ孔３４は
等間隔で円周上に３箇所以上あればよく、通常は４個又
は８個が作業上適している。
【００２５】上述のようにして構成された本実施例の投
影光学装置１０によれば、図１に示されるように、全て
のレンズ枠及びレンズが組み込まれた状態で、丸孔３２
を介してドライバー３８を差し込んでビスを緩め、開口
部２４を介してレバー３０を子レンズ枠２０の丸穴２８
に差し込んで回動すると、その子レンズ枠２０及びこれ
に保持された特殊レンズ２２を容易に回転させることが
できる。回転調整後、ドライバー３８でビス３６を締め
込むことで、ビス３６により子レンズ枠２０をその位置
で簡単に固定することができる。
影光学装置１０によれば、図１に示されるように、全て
のレンズ枠及びレンズが組み込まれた状態で、丸孔３２
を介してドライバー３８を差し込んでビスを緩め、開口
部２４を介してレバー３０を子レンズ枠２０の丸穴２８
に差し込んで回動すると、その子レンズ枠２０及びこれ
に保持された特殊レンズ２２を容易に回転させることが
できる。回転調整後、ドライバー３８でビス３６を締め
込むことで、ビス３６により子レンズ枠２０をその位置
で簡単に固定することができる。
【００２６】これまでの説明から明らかなように、本実
施例では、親レンズ枠１４、子レンズ枠２０、レンズ鏡
筒１２に形成された開口部２４、親レンズ枠１４に形成
された長孔２６、子レンズ枠２０に設けられた丸穴２８
によって、レバー３０を用いて各特殊レンズ２２を独立
して回転させる回転機構が構成されている。
施例では、親レンズ枠１４、子レンズ枠２０、レンズ鏡
筒１２に形成された開口部２４、親レンズ枠１４に形成
された長孔２６、子レンズ枠２０に設けられた丸穴２８
によって、レバー３０を用いて各特殊レンズ２２を独立
して回転させる回転機構が構成されている。
【００２７】以上説明したように、本実施例によると、
レンズ鏡筒１２の外部から特殊レンズ２２を保持した子
レンズ枠２０を任意に回転させることができるので、全
てのレンズ枠をレンズ鏡筒１２内に組み込んだ状態で、
分解することなく各種の結像特性、特に光軸の非対称成
分収差を容易に補正することが可能となり、これによ
り、投影光学装置１０単体の製造工程時、投影光学装置
１０を露光装置本体へ搭載後の製造工程時に短時間に投
影光学装置１０の調整が可能となる。
レンズ鏡筒１２の外部から特殊レンズ２２を保持した子
レンズ枠２０を任意に回転させることができるので、全
てのレンズ枠をレンズ鏡筒１２内に組み込んだ状態で、
分解することなく各種の結像特性、特に光軸の非対称成
分収差を容易に補正することが可能となり、これによ
り、投影光学装置１０単体の製造工程時、投影光学装置
１０を露光装置本体へ搭載後の製造工程時に短時間に投
影光学装置１０の調整が可能となる。
【００２８】また、本実施例によると、露光装置の製造
途中で簡単に投影光学装置１０の菱形ディストーショ
ン、センターアス成分を調整し追い込むことができるの
で、投影光学装置１０の性能向上も期待できる。
途中で簡単に投影光学装置１０の菱形ディストーショ
ン、センターアス成分を調整し追い込むことができるの
で、投影光学装置１０の性能向上も期待できる。
【００２９】なお、上記実施例では、菱形ディストーシ
ョン及びセンターアス成分の補正を目的として、レチク
ル寄りの位置に２枚、瞳近傍に２枚のアス面加工が施さ
れた特殊レンズを同時に使用する場合を例示したが、本
発明はこれに限定されるものではなく、例えばレチクル
寄りの位置に２枚のみ、あるいは瞳近傍に２枚のみアス
面加工が施された特殊レンズを使用してもよく、要は、
アス面加工が施された特殊レンズを少なくとも２枚使用
すればよい。
ョン及びセンターアス成分の補正を目的として、レチク
ル寄りの位置に２枚、瞳近傍に２枚のアス面加工が施さ
れた特殊レンズを同時に使用する場合を例示したが、本
発明はこれに限定されるものではなく、例えばレチクル
寄りの位置に２枚のみ、あるいは瞳近傍に２枚のみアス
面加工が施された特殊レンズを使用してもよく、要は、
アス面加工が施された特殊レンズを少なくとも２枚使用
すればよい。
【００３０】また、上記実施例では、手動により、特殊
レンズ２２を保持した子レンズ枠２０を回転させる場合
を例示したが、図５に示されるようにレバー３０を丸穴
２８内に差し込んだ状態で、子レンズ枠２０を矢印Ｇ及
びこれと反対方向に回動させる駆動装置４４を設けても
良い。なお、光軸の非対称成分収差の補正のためには、
２枚一組の特殊レンズ２２の各々が±９０度の角度範囲
内で回動できれば十分であるから、図５に示されるよう
な構造にする場合には、各子レンズ枠２０がこのような
角度範囲で回動できるようにすることが望ましい。
レンズ２２を保持した子レンズ枠２０を回転させる場合
を例示したが、図５に示されるようにレバー３０を丸穴
２８内に差し込んだ状態で、子レンズ枠２０を矢印Ｇ及
びこれと反対方向に回動させる駆動装置４４を設けても
良い。なお、光軸の非対称成分収差の補正のためには、
２枚一組の特殊レンズ２２の各々が±９０度の角度範囲
内で回動できれば十分であるから、図５に示されるよう
な構造にする場合には、各子レンズ枠２０がこのような
角度範囲で回動できるようにすることが望ましい。
【００３１】なお、上記実施例では、全ての特殊レンズ
２２1 〜２２4 を親レンズ枠と子レンズ枠との親子構造
のレンズ枠により保持する場合を例示したが、レチクル
寄りの２枚の特殊レンズ２２1 、２２2 には、あまり大
きな押圧力（軸力）が作用していない場合もありあり得
るので、必ずしもレンズ枠を親子構造にする必要はな
く、単一のレンズ枠を、上記実施例と同様の手法により
レンズ鏡筒１２の外部から回転させるようにしても良
い。
２２1 〜２２4 を親レンズ枠と子レンズ枠との親子構造
のレンズ枠により保持する場合を例示したが、レチクル
寄りの２枚の特殊レンズ２２1 、２２2 には、あまり大
きな押圧力（軸力）が作用していない場合もありあり得
るので、必ずしもレンズ枠を親子構造にする必要はな
く、単一のレンズ枠を、上記実施例と同様の手法により
レンズ鏡筒１２の外部から回転させるようにしても良
い。
【００３２】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
アス面加工が施されたレンズの内の２枚を一組として回
転させることにより、投影光学装置を構成する全てのレ
ンズから成る光学系の光軸に関する非対称成分収差を簡
単に補正できることから、特に非対称成分収差の補正を
短時間で行なうことができるという従来にない優れた効
果がある。
アス面加工が施されたレンズの内の２枚を一組として回
転させることにより、投影光学装置を構成する全てのレ
ンズから成る光学系の光軸に関する非対称成分収差を簡
単に補正できることから、特に非対称成分収差の補正を
短時間で行なうことができるという従来にない優れた効
果がある。
【００３３】特に、請求項２記載の発明によれば、レン
ズ鏡等の外部よりアス面加工が施されたレンズを回転さ
せて任意の角度に設定することができることから、投影
光学装置単体製造工程時、投影光学装置を露光装置本体
へ搭載後の製造工程時に、装置を分解することなく、効
率よく投影光学装置を構成する光学系の結像特性、特に
光軸に関する非対称成分収差を補正することができる。
ズ鏡等の外部よりアス面加工が施されたレンズを回転さ
せて任意の角度に設定することができることから、投影
光学装置単体製造工程時、投影光学装置を露光装置本体
へ搭載後の製造工程時に、装置を分解することなく、効
率よく投影光学装置を構成する光学系の結像特性、特に
光軸に関する非対称成分収差を補正することができる。
【図１】一実施例に係る投影光学装置を示す一部省略し
た縦断面図である。
た縦断面図である。
【図２】図１の投影光学装置の一部省略した右側面図で
ある。
ある。
【図３】図１の円Ａ部分の拡大図である。
【図４】図１のＢ−Ｂ線断面図である。
【図５】変形例を示す説明図である。
【図６】従来例を示す縦断面図である。
１０ 投影光学装置 １２ レンズ鏡筒 １４ 親レンズ枠（回転機構の一部） １８ レンズ ２０ 子レンズ枠（回転機構の一部） ２２1 〜２２4 特殊レンズ（特定のレンズ） ２４ 開口部（回転機構の一部） ２６ 長孔（回転機構の一部） ２８ 丸穴（回転機構の一部） Ｒ レチクル（マスク） Ｗ ウエハ（感光基板）
Claims (4)
- 【請求項１】 マスクのパターンを感光基板上に投影す
る投影露光装置に用いられ、レンズ鏡筒と、このレンズ
鏡筒内に所定間隔で保持された複数枚のレンズとを備え
た投影光学装置において、 前記複数枚のレンズの内の少なくとも２枚の特定のレン
ズにその結像特性に光軸に関する非対称成分収差が生じ
るような特殊加工が施され、 前記特定のレンズの各々を独立して前記光軸回りに回転
させるための回転機構が設けられたことを特徴とする投
影光学装置。 - 【請求項２】 前記回転機構は、前記各特定のレンズを
前記レンズ鏡筒の外部から回転可能な機構であることを
特徴とする請求項１記載の投影光学装置。 - 【請求項３】 前記特定のレンズの内の２枚が前記レン
ズ鏡筒内の前記マスク側近傍に隣接して配置されたレン
ズであることを特徴とする請求項１又は２記載の投影光
学装置。 - 【請求項４】 前記特定のレンズの内の２枚が前記レン
ズ鏡筒内の瞳近傍に隣接して配置されたレンズであるこ
とを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載の投
影光学装置。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7152220A JPH08327895A (ja) | 1995-05-26 | 1995-05-26 | 投影光学装置 |
| KR1019960018109A KR960042229A (ko) | 1995-05-26 | 1996-05-23 | 투영 광학장치 및 이것을 포함하는 투영 노광장치 |
| US08/865,933 US5852518A (en) | 1995-05-26 | 1997-05-30 | Projection optical unit and projection exposure apparatus comprising the same |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7152220A JPH08327895A (ja) | 1995-05-26 | 1995-05-26 | 投影光学装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08327895A true JPH08327895A (ja) | 1996-12-13 |
Family
ID=15535716
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7152220A Pending JPH08327895A (ja) | 1995-05-26 | 1995-05-26 | 投影光学装置 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5852518A (ja) |
| JP (1) | JPH08327895A (ja) |
| KR (1) | KR960042229A (ja) |
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| WO1999025010A1 (fr) * | 1997-11-12 | 1999-05-20 | Nikon Corporation | Appareil d'exposition, appareil de fabrication de composants, et procede de fabrication d'appareils d'exposition |
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| JP2013254062A (ja) * | 2012-06-06 | 2013-12-19 | Olympus Corp | 対物レンズ |
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| WO1999060616A1 (en) | 1998-05-15 | 1999-11-25 | Nikon Corporation | Exposure method and apparatus |
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| TWI650576B (zh) * | 2017-07-20 | 2019-02-11 | 財團法人國家實驗硏究院 | 鏡片組合裝置 |
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