JPH08316091A - Laminated electronic component manufacturing method - Google Patents
Laminated electronic component manufacturing methodInfo
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明はエレクトロニクス分野で
用いられる積層電子部品の製造方法に関するものであ
る。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for manufacturing a laminated electronic component used in the electronics field.
【０００２】[0002]
【従来の技術】積層コンデンサ、ＬＣチップ部品、多層
基板等に代表される積層電子部品は、セラミックグリー
ンシート上に所定の内部電極となる電極パターンを印刷
した後、複数枚積層した状態で焼結し、電極パターンが
内部に焼き付けられた構成となっている。ここでは、一
般的に製造されている積層セラミックコンデンサの製造
方法を代表例として、図４〜図１１を参照して詳細を説
明する。2. Description of the Related Art A multilayer electronic component represented by a multilayer capacitor, an LC chip component, a multi-layer substrate, etc. is formed by printing an electrode pattern to be a predetermined internal electrode on a ceramic green sheet and then sintering the plurality of layers. However, the electrode pattern is baked inside. Here, the manufacturing method of a generally manufactured monolithic ceramic capacitor will be described as a typical example with reference to FIGS.
【０００３】まず、図４は一般的なセラミックグリーン
シートの製造工程を示しており、ポリエステルフィルム
等のベースフィルム５の一方の面上に、強誘電粉末をブ
チラール樹脂等の有機バインダー中に分散し混合溶剤で
適度に希釈したセラミックスラリー１８をナイフブレー
ド１７により所定の厚みに塗布した後、ドライヤー１９
で十分乾燥させて長尺状のベースフィルム付きセラミッ
クグリーンシート２０をロール状に巻取る。このベース
フィルム付きセラミックグリーンシート２０は、図５に
示すようにベースフィルム５とその上に乾燥させたセラ
ミックスラリー１８、すなわちセラミックグリーンシー
ト６とで構成されている。First, FIG. 4 shows a manufacturing process of a general ceramic green sheet. Ferroelectric powder is dispersed in an organic binder such as butyral resin on one surface of a base film 5 such as a polyester film. After applying the ceramic slurry 18 appropriately diluted with the mixed solvent to a predetermined thickness with the knife blade 17, the dryer 19 is used.
Then, the ceramic green sheet 20 with a long base film is wound into a roll. As shown in FIG. 5, the ceramic green sheet 20 with a base film is composed of the base film 5 and the dried ceramic slurry 18, that is, the ceramic green sheet 6.
【０００４】次に、このようにして得られたベースフィ
ルム付きセラミックグリーンシート２０を順次必要寸法
にカッティングした後、セラミックグリーンシート６を
ベースフィルム５から剥離して、その上に図６に示した
スクリーン印刷方式により、作業台上２４にセットした
セラミックグリーンシート６にペースト状の導電性塗料
２３を印刷して所定の形状の電極パターン７を形成す
る。そして電極パターン７を印刷したセラミックグリー
ンシート６を乾燥させて必要枚数積層して加熱、加圧処
理を施してセラミック積層体を得たのち、この積層体を
焼成してチップ化し、端部に外部電極を形成した構造に
なっている。Next, the ceramic green sheet 20 with a base film thus obtained is sequentially cut to a required size, and then the ceramic green sheet 6 is peeled off from the base film 5 and, as shown in FIG. By the screen printing method, the paste-like conductive paint 23 is printed on the ceramic green sheet 6 set on the workbench 24 to form the electrode pattern 7 having a predetermined shape. Then, after drying the ceramic green sheets 6 on which the electrode patterns 7 are printed, laminating a required number of sheets, and subjecting them to heating and pressure treatment to obtain a ceramic laminated body, the laminated body is fired into chips and externally attached to the end portions. It has a structure in which electrodes are formed.
【０００５】ところで、電極パターン７を印刷するため
のスクリーン方式は、セラミックグリーンシート６に対
してスクリーン２２を近接した状態でスキージ２１を押
し下げて移動させるために、スクリーン２２を構成して
いるシルクがスキージ２１移動方向に伸びてしまい、ス
クリーン２２のパターン面積よりも前方方向が大きくな
ってしまう。この傾向は、使用時間とともにさらに大き
くなり、印刷寸法精度や印刷厚みを著しく劣化させる原
因になるおそれがあった。さらに、スクリーン印刷方式
では、一般にスクリーン２２メッシュの開口部の面積に
対して広く印刷され、その分を考慮してスクリーン２２
メッシュを設計したとしても、希望する容量に命中させ
ることは困難であるという課題もあった。By the way, in the screen method for printing the electrode pattern 7, in order to move the squeegee 21 by pushing down the squeegee 21 in a state where the screen 22 is close to the ceramic green sheet 6, the silk constituting the screen 22 is The squeegee 21 extends in the moving direction and becomes larger in the front direction than the pattern area of the screen 22. This tendency becomes larger with the time of use, and there is a possibility that it may cause the print dimensional accuracy and print thickness to be significantly deteriorated. Further, in the screen printing method, generally, printing is performed widely with respect to the area of the openings of the screen 22 mesh.
Even if the mesh is designed, it is difficult to hit the desired capacity.
【０００６】しかも、上述したような現象、すなわち電
極パターン７の印刷精度や印刷厚みが劣化すると、印刷
後に行う積層時において積層ずれを発生させたり、焼成
後には層間剥離（デラミネーション）を誘発させたりす
るおそれがあり、致命的欠陥を招く原因ともなってい
た。In addition, when the above-described phenomenon, that is, the printing accuracy and the printing thickness of the electrode pattern 7 is deteriorated, a stacking error occurs at the time of stacking performed after printing, or a delamination occurs after baking. There was a risk of causing a fatal defect.
【０００７】以上述べたようなスクリーン印刷方式にま
つわる課題を解決するために、図７に示したようなグラ
ビア印刷方式による電極パターン７の形成方法が提案さ
れている（特公平５−２５３８１号公報、特開平３−１
０８３０７号公報参照）。In order to solve the problems associated with the screen printing method as described above, a method of forming the electrode pattern 7 by the gravure printing method as shown in FIG. 7 has been proposed (Japanese Patent Publication No. 25381/1993). Japanese Patent Laid-Open No. 3-1
08307).
【０００８】グラビア印刷方式とは、図７のように剛体
ロール（以下グラビアロールと呼ぶ）８と、このグラビ
アロール８上の過剰塗料を掻きとるためのドクターブレ
ード１１及びセラミックグリーンシート６をグラビアロ
ール８の表面に接圧させるための圧胴１５から構成され
ている。ここで使用するセラミックグリーンシート６は
ベースフィルム５がまだ付いている状態である。The gravure printing method is, as shown in FIG. 7, a rigid roll (hereinafter referred to as a gravure roll) 8, a doctor blade 11 for scraping off excess paint on the gravure roll 8 and a ceramic green sheet 6 are gravure rolls. 8 is composed of an impression cylinder 15 for contacting the surface. The ceramic green sheet 6 used here is in a state where the base film 5 is still attached.
【０００９】電極パターン７の印刷は、グラビアロール
８の表面上に彫刻あるいはエッチング等により設けられ
た凹状の凹み１２で形成される。図８はグラビアロール
８上に設けられた凹状の凹み１２の配列例である。この
凹状の凹み１２部分にのみスラリー状の導電性塗料１０
を埋設させて、グラビアロール８の表面上に圧胴１５で
接圧されているセラミックグリーンシート６上へ導電性
塗料１０とセラミックグリーンシート６の表面張力を利
用して、すなわち、両者のぬれ性により凹状の凹み１２
から導電性塗料１０を転写させて電極パターン７を形成
するものである。電極パターン７の形成後は連続してド
ライヤーに送り込まれ、導電性塗料１０を十分に乾燥さ
せてから巻取り、印刷工程を終了する。The printing of the electrode pattern 7 is formed by a concave recess 12 provided on the surface of the gravure roll 8 by engraving or etching. FIG. 8 is an example of an array of recesses 12 provided on the gravure roll 8. The conductive paint 10 in the form of a slurry is formed only on the concave portion 12
Is embedded in the surface of the gravure roll 8 onto the ceramic green sheet 6 pressed against the surface of the gravure roll 8 by utilizing the surface tension of the conductive paint 10 and the ceramic green sheet 6, that is, the wettability of both. Due to the recess 12
The conductive paint 10 is transferred from the above to form the electrode pattern 7. After the electrode pattern 7 is formed, it is continuously fed into a dryer, the conductive coating material 10 is sufficiently dried and then wound up, and the printing process is completed.
【００１０】グラビアロール８は一般的に金属類、ガラ
ス類、セラミックス類、合成樹脂類等の固くて変形の起
こしにくい材質のものが用いられる。そのために経時的
な変化が少なく、グラビアロール８の表面上に設けられ
ている凹状の凹み１２の精度も極めて安定している。従
って、このような性質を利用することにより、スクリー
ン印刷方式の課題であるスクリーン２２の伸びによる寸
法精度の劣化や印刷厚みの安定性を図ることにより設計
通りの容量を確保し、印刷コストをも低減可能であると
いった方法である。The gravure roll 8 is generally made of a material such as metal, glass, ceramics, synthetic resin, which is hard and resistant to deformation. Therefore, there is little change with time, and the accuracy of the concave depression 12 provided on the surface of the gravure roll 8 is also extremely stable. Therefore, by utilizing such a property, it is possible to secure the capacity as designed by reducing the dimensional accuracy due to the elongation of the screen 22, which is a problem of the screen printing method, and the stability of the printing thickness, and to reduce the printing cost. It can be reduced.
【００１１】ここで、グラビアロール８の表面上に形成
され、電極パターン７となる凹状の凹み１２に関して詳
細を説明する。通常、この凹状の凹み１２は、１個の電
極パターンに対して１個の凹みを形成するのは少なく、
図９に示したようなセル１６と呼ばれる小部屋を多数設
けて１個の電極パターンを形成する。このセル１６は形
状的に様々な形状のものがあるが、一般的には図９のピ
ラミッド型、図１０の格子型、図１１の斜線型及びこれ
らの形状を応用したものを機械的、化学的に設けて使用
される。また、導電性塗料１０の入る空間部分であるセ
ル１６は、セル１６とセル１６とをつなぐ土手２５で仕
切られている。印刷される厚みは、セル１６の形状、セ
ル１６の容積、１インチ当たりのセル１６の個数及び土
手２５の幅でコントロールする。Here, the details of the recess 12 which is formed on the surface of the gravure roll 8 and serves as the electrode pattern 7 will be described. Normally, the recess 12 having a recess shape rarely forms one recess for one electrode pattern,
A large number of small chambers called cells 16 as shown in FIG. 9 are provided to form one electrode pattern. The cell 16 has various shapes, but generally, the pyramid type of FIG. 9, the lattice type of FIG. 10, the slanted type of FIG. 11 and the application of these shapes are mechanical and chemical. It is installed and used. Further, the cell 16 which is a space portion in which the conductive paint 10 is inserted is partitioned by a bank 25 connecting the cell 16 and the cell 16. The printed thickness is controlled by the shape of the cells 16, the volume of the cells 16, the number of cells 16 per inch, and the width of the bank 25.
【００１２】グラビア印刷方式は、以上述べたように、
セル１６内に埋設させたスラリー状の導電性塗料１０を
被印刷物に対して強制的に転写させるものではなく物理
的に転写させるため、スクリーン印刷方式で使用してい
るようなペースト状の導電性塗料２３ではセル１６から
離れないために印刷ができない。グラビア印刷用の導電
性塗料１０は相当流動性があり、スクリーン印刷で使用
するペースト状の導電性塗料２３とは性状的に異なり、
グラビア印刷方式の特徴的なところでもある。The gravure printing method is, as described above,
Since the slurry-like conductive coating material 10 embedded in the cells 16 is physically transferred to the object to be printed instead of being forcibly transferred, the paste-like conductive material used in the screen printing method is used. The paint 23 cannot be printed because it does not separate from the cell 16. The conductive paint 10 for gravure printing has considerable fluidity and is different in properties from the paste-like conductive paint 23 used in screen printing.
This is also a characteristic of the gravure printing method.
【００１３】[0013]
【発明が解決しようとする課題】図７に示したグラビア
印刷方式は、グラビアロール８の表面上にセラミックグ
リーンシート６を圧胴１５により接圧させて、セル１６
の空間に埋め込まれた導電性塗料１０をセラミックグリ
ーンシート６上に転写させなければ電極パターン７を形
成することができない。従って、単に印刷される厚みは
セル１６だけでコントロールできないのが実情である。
すなわち、セル１６から導電性塗料１０がスムーズに抜
けるための塗料調整と、セラミックグリーンシート６上
の表面張力を考慮しておかなければ所望する印刷厚みは
得られない。特に、セラミックグリーンシート６と導電
性塗料１０のぬれ性が適度にマッチングしないと、セラ
ミックグリーンシート６上に転移された導電性塗料１０
が玉状になったり、必要以上に流れてしまったり、ある
いはセラミックグリーンシート６を溶解したりして所定
の形状の電極パターン７を得られないだけでなく、ショ
ート不良、絶縁不良と予想外の欠陥を招く原因ともなり
かねない。In the gravure printing method shown in FIG. 7, the ceramic green sheet 6 is brought into contact with the surface of the gravure roll 8 by an impression cylinder 15 to form a cell 16
The electrode pattern 7 cannot be formed unless the conductive paint 10 embedded in the space is transferred onto the ceramic green sheet 6. Therefore, in reality, the printed thickness cannot be controlled only by the cell 16.
That is, the desired print thickness cannot be obtained unless the paint adjustment for the conductive paint 10 to smoothly escape from the cell 16 and the surface tension on the ceramic green sheet 6 are taken into consideration. Particularly, if the wettability of the ceramic green sheet 6 and the conductive paint 10 does not properly match, the conductive paint 10 transferred onto the ceramic green sheet 6
Becomes a bead, flows more than necessary, or melts the ceramic green sheet 6 to not obtain an electrode pattern 7 of a predetermined shape, and also causes a short circuit failure and an insulation failure. It may cause defects.
【００１４】このような状態を回避するために、導電性
塗料１０中の溶剤比率を可能な限り下げて対策を講じる
のであるが、このようにして調合される導電性塗料１０
は粘度が高くなりすぎて、今度はセル１６中からの導電
性塗料１０の転写が不安定となり、部分的に転写量のバ
ラツキが発生する。その結果、セル１６からの転写物の
集合体である電極パターン７の表面に微小な凹凸やうね
りが発生したり、あるいはセル１６から転写された状態
での導電性塗料１０のレベリング性が悪くなり、セル１
６の形状がそのまま残ることもある。場合によってはセ
ル１６からほとんど導電性塗料１０が転写されないこと
もあり、そのため電極パターン７の印刷厚みに変動が生
じ、そのことによる容量変動や焼成時の層間剥離を誘発
するおそれがある。In order to avoid such a situation, the ratio of the solvent in the conductive paint 10 should be lowered as much as possible, and a countermeasure should be taken.
Since the viscosity becomes too high, the transfer of the conductive paint 10 from the inside of the cell 16 becomes unstable, and the transfer amount partially varies. As a result, minute irregularities and undulations are generated on the surface of the electrode pattern 7, which is an aggregate of the transfer products from the cells 16, or the leveling property of the conductive coating material 10 in the state of being transferred from the cells 16 is deteriorated. , Cell 1
The shape of 6 may remain as it is. In some cases, the conductive paint 10 may hardly be transferred from the cell 16, so that the printed thickness of the electrode pattern 7 may fluctuate, which may cause capacity fluctuation and delamination during firing.
【００１５】逆に、セル１６中からの転写性を改良する
ために溶剤成分比率を高くすると、今度はセラミックグ
リーンシート６を溶解させたり、電極パターン７内部に
むらが発生したりして容量を低下させてしまうといった
課題があった。On the contrary, if the solvent component ratio is increased in order to improve the transferability from the inside of the cell 16, the ceramic green sheet 6 will be dissolved this time, or unevenness will occur inside the electrode pattern 7 to increase the capacity. There was a problem of lowering it.
【００１６】また、量産性向上のために印刷速度を速く
すると、セル１６から導電性塗料１０の転写が追いつか
ず、やはり電極パターン７にむら等を発生させて容量を
低下させてしまう。If the printing speed is increased to improve the mass productivity, the transfer of the conductive paint 10 from the cells 16 cannot catch up with the unevenness of the electrode pattern 7 to reduce the capacity.
【００１７】以上のような傾向を改善するためには、若
干導電性塗料１０を問題のない範囲で高粘度側にシフト
させるとともに、セル１６からの転写率を一層向上させ
ることが望ましい。一般的にはグラビア印刷方式の場
合、セル１６からの転写率は５０〜６０％程度なのであ
るが、導電性塗料１０を高粘度側にシフトすると上述し
たように転写率が極端に低下してしまい、必要膜厚が確
保できなくなり問題が生じている。In order to improve the above tendency, it is desirable that the conductive paint 10 is slightly shifted to the high viscosity side within a range where there is no problem and the transfer rate from the cell 16 is further improved. Generally, in the case of the gravure printing method, the transfer rate from the cell 16 is about 50 to 60%, but when the conductive paint 10 is shifted to the high viscosity side, the transfer rate is extremely lowered as described above. However, there is a problem that the required film thickness cannot be secured.
【００１８】そこで本発明はかかる問題を解決するため
になされたものであり、セル内に埋設されている導電性
塗料を強制的に引き出し、比較的高粘度塗料であって
も、また、高速度印刷であってもセルから均一に引き出
すことができ、さらに転写率をも著しく向上させるもの
である。その結果、セルからの転写物の集合体である電
極パターンの微小な凹凸やうねりを解消し、かつ、厚み
むらを軽減、抑制して問題のない電極パターンを形成す
ることにより、量産性、信頼性にすぐれた積層電子部品
を提供することを目的とするものである。Therefore, the present invention has been made to solve the above problems, and forcibly draws out the conductive paint embedded in the cell, and even if the paint has a relatively high viscosity, the high speed coating is also used. Even in printing, it can be pulled out uniformly from the cell, and the transfer rate is significantly improved. As a result, by eliminating the fine irregularities and undulations of the electrode pattern, which is an aggregate of the transfer products from the cells, and by reducing and suppressing the thickness unevenness to form a problem-free electrode pattern, mass productivity and reliability are improved. The purpose is to provide a laminated electronic component having excellent properties.
【００１９】[0019]
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に本発明は、セラミックグリーンシート上に所定の電極
パターンをグラビア印刷により設ける印刷工程と、前記
電極パターンを乾燥させ複数枚積層した後、加圧、圧着
して所定の形状に切断し、焼成を行う工程とを備えた積
層電子部品の製造方法において、前記グラビア印刷時に
使用する圧胴から電極パターンを形成するための少なく
とも１以上の凹部が設けられた剛体ロール表面上に印加
磁界を付与する。In order to achieve this object, the present invention provides a printing step of providing a predetermined electrode pattern on a ceramic green sheet by gravure printing, and drying the electrode pattern to laminate a plurality of sheets, In a method for manufacturing a laminated electronic component, which comprises a step of pressing, pressing and cutting into a predetermined shape, and firing, at least one or more recesses for forming an electrode pattern from an impression cylinder used at the time of gravure printing. An applied magnetic field is applied to the surface of the rigid roll provided with.
【００２０】また、上記電極パターンを形成するための
導電性塗料が少なくとも導電性粉末と有機結合剤と溶剤
より構成されており、前記導電性粉末は磁性体粉末であ
る。The conductive paint for forming the electrode pattern is composed of at least a conductive powder, an organic binder and a solvent, and the conductive powder is a magnetic powder.
【００２１】さらに、剛体ロール表面上に印加磁界を付
与する方法として圧胴内部に印加磁界を発生させるため
の機能を備える。Further, as a method of applying an applied magnetic field on the surface of the rigid roll, it has a function of generating an applied magnetic field inside the impression cylinder.
【００２２】さらに、剛体ロール表面上に印加磁界を付
与する方法として圧胴外部に印加磁界を発生させるため
の機能を備えていることを特徴とするものである。Further, as a method of applying an applied magnetic field on the surface of the rigid roll, it is characterized by having a function of generating an applied magnetic field outside the impression cylinder.
【００２３】[0023]
【作用】このようにしてグラビア印刷方式による積層電
子部品を製造すれば、セル内に埋設されている導電性塗
料を強制的に引き出し、比較的高粘度塗料であっても高
速度印刷であってもセルから均一に導電性塗料を引き出
すことが可能となり転写率を著しく向上させることがで
きる。その結果、セルからの転写物の集合体である電極
パターンの微小な凹凸やうねりを解消し、さらに、厚み
むらを軽減、抑制して問題のない電極パターンを形成す
ることができ、量産性、信頼性に優れた積層電子部品の
製造が可能となる。When the laminated electronic component is manufactured by the gravure printing method in this manner, the conductive paint embedded in the cell is forcibly pulled out, and even if the paint has a relatively high viscosity, high speed printing is possible. The conductive paint can be evenly drawn out from the cell, and the transfer rate can be significantly improved. As a result, it is possible to eliminate minute irregularities and undulations of the electrode pattern, which is an aggregate of the transfer products from the cells, and further reduce or suppress the thickness unevenness to form a problem-free electrode pattern. It is possible to manufacture a laminated electronic component with excellent reliability.
【００２４】[0024]
（実施例１）以下に本発明の第１の実施例について具体
的に説明する。具体的な説明に際しては積層セラミック
コンデンサの製造方法を例として説明する。(Embodiment 1) The first embodiment of the present invention will be specifically described below. In the detailed description, a method for manufacturing a monolithic ceramic capacitor will be described as an example.
【００２５】まず、図４に示した従来のセラミックグリ
ーンシート製造装置を用いて、主面側を離形形処理した
厚さ４０μｍのポリエステルフィルム５上にセラミック
スラリー１８をナイフブレードコーティング方式により
所定の厚みに塗布する。セラミックスラリー１８は下記
に示す組成で、ボールミル分散して調合した塗料を用
い、ナイフブレード１７とポリエステルフィルム５の隙
間を７０μｍにして塗布した。First, using the conventional ceramic green sheet manufacturing apparatus shown in FIG. 4, a ceramic slurry 18 was coated on a polyester film 5 having a thickness of 40 μm whose main surface was subjected to a mold release treatment by a knife blade coating method. Apply to thickness. The ceramic slurry 18 had the composition shown below and was applied by using a paint prepared by ball mill dispersion with the gap between the knife blade 17 and the polyester film 5 being 70 μm.
【００２６】 アルミナ＋ホウケイ酸ガラス粉末 ５５重量部 ブチラール樹脂＋可塑剤 ５重量部 溶剤（酢酸ｎブチル） ４０重量部 ここで使用するポリエステルフィルム５、セラミックス
ラリー１８は従来より公知の材料が使用可能であり限定
されるものではない。同様に、セラミックスラリー１８
の塗布方式としては、ナイフブレードコーティング方式
に限らず、リバースロールコーター方式、ノズルコータ
ー方式、グラビアコーター方式等いずれの方式を適用し
ても何ら差し支えはない。Alumina + borosilicate glass powder 55 parts by weight Butyral resin + plasticizer 5 parts by weight Solvent (n-butyl acetate) 40 parts by weight For the polyester film 5 and the ceramic slurry 18 used here, conventionally known materials can be used. There is no limitation. Similarly, the ceramic slurry 18
The coating method is not limited to the knife blade coating method, and any method such as a reverse roll coater method, a nozzle coater method, or a gravure coater method may be applied.
【００２７】次に、ポリエステルフィルム５上に形成し
たセラミックスラリー１８をドライヤー１９で十分乾燥
させて長尺状のベースフィルム付きセラミックグリーン
シート２０を得る。以上のようにして得られた長尺状の
ベースフィルム付きセラミックグリーンシート２０は、
図１に示すグラビア印刷装置に移送される。このベース
フィルム付きセラミックグリーンシート２０は図５のよ
うにベースフィルム５とセラミックグリーンシート６と
で構成されている。Next, the ceramic slurry 18 formed on the polyester film 5 is sufficiently dried by a dryer 19 to obtain a long ceramic green sheet 20 with a base film. The ceramic green sheet 20 with a long base film obtained as described above is
It is transferred to the gravure printing apparatus shown in FIG. The ceramic green sheet 20 with the base film is composed of the base film 5 and the ceramic green sheet 6 as shown in FIG.
【００２８】図１に示したグラビア印刷装置に移送され
たベースフィルム付きセラミックグリーンシート２０
は、速度５０ｍ／分で順次繰り出され、グラビアロール
８の表面上からベースフィルム付きセラミックグリーン
シート２０を介し配備してある圧胴１５により一定の圧
力で接圧される。この時セラミックグリーンシート６側
はグラビアロール８の表面上に接触するように繰り出さ
れている。A ceramic green sheet 20 with a base film transferred to the gravure printing apparatus shown in FIG.
Are sequentially fed out at a speed of 50 m / min, and are pressed at a constant pressure from the surface of the gravure roll 8 by a pressure drum 15 provided via a ceramic green sheet 20 with a base film. At this time, the ceramic green sheet 6 side is paid out so as to contact the surface of the gravure roll 8.
【００２９】上述した圧胴１５は、非磁性の材質である
１８−８ステンレスパイプ２内に永久磁石１を配備し、
１８−８ステンレスパイプ２上に硬度７５度のウレタン
ゴム４を被覆したもので、このウレタンゴム４部だけが
ベアリング３を介して回転する構造となっている。１８
−８ステンレスパイプ２内に配備されている永久磁石１
は常に固定状態で、ウレタンゴム４部を通過してグラビ
アロール８の表面上に５００Ｇの垂直磁界が印加される
ように配備してある。In the above-mentioned impression cylinder 15, the permanent magnet 1 is arranged in the 18-8 stainless steel pipe 2 which is a non-magnetic material,
The 18-8 stainless steel pipe 2 is coated with a urethane rubber 4 having a hardness of 75 degrees, and only the urethane rubber 4 part rotates through the bearing 3. 18
-8 Permanent magnet 1 installed in stainless pipe 2
Is always fixed and is arranged so that a vertical magnetic field of 500 G is applied to the surface of the gravure roll 8 through the urethane rubber 4 part.
【００３０】この垂直磁界により、グラビアロール８の
表面の凹み１２内部に埋設されている導電性塗料１０を
強制的に引き上げる。そして、引き上げられた凹み１２
からの転写物である導電性塗料１０の集合体をセラミッ
クグリーンシート６上に電極パターン７として形成す
る。電極パターン７の形成は、圧胴１５によりセラミッ
クグリーンシート６がグラビアロール８の表面上に接圧
されている間にグラビアロール８の表面上に形成されて
いる凹み１２から導電性塗料１０が転写された時に形成
される。The vertical magnetic field forcibly pulls up the conductive paint 10 embedded in the recess 12 on the surface of the gravure roll 8. And the raised recess 12
An aggregate of the conductive paint 10 which is a transfer product from is formed as an electrode pattern 7 on the ceramic green sheet 6. The electrode pattern 7 is formed by transferring the conductive paint 10 from the recess 12 formed on the surface of the gravure roll 8 while the ceramic green sheet 6 is pressed against the surface of the gravure roll 8 by the impression cylinder 15. Is formed when it is pressed.
【００３１】グラビアロール８の表面の凹み１２内部に
導電性塗料１０を埋設させるには、グラビアロール８を
インキパン９に投入されている導電性塗料１０に浸し、
グラビアロール８の表面に接圧されているドクターブレ
ード１１により過剰な導電性塗料１０を掻きとると、凹
み１２部にのみ導電性塗料１０が埋設される。図１中の
記載番号１０ａは凹み１２中に埋設された導電性塗料１
０の状態を示している。In order to embed the conductive paint 10 inside the recess 12 on the surface of the gravure roll 8, the gravure roll 8 is dipped in the conductive paint 10 put in the ink pan 9,
When the doctor blade 11 pressed against the surface of the gravure roll 8 scrapes off the excess conductive paint 10, the conductive paint 10 is embedded only in the recess 12 part. Reference numeral 10a in FIG. 1 is a conductive paint 1 embedded in the recess 12.
The state of 0 is shown.
【００３２】電極パターン７形成後はドライヤーに連続
して搬送され乾燥し、ロール状に巻き取られて印刷工程
を終了する。After the electrode pattern 7 is formed, it is continuously conveyed to a dryer, dried, and wound into a roll to complete the printing process.
【００３３】ここで、凹み１２の形状は図１０の格子型
を用いた。また、凹み１２の寸法は１インチ当たり１５
０個の格子を形成したものを使用し、深さは２５μｍ、
土手２５の幅は１０μｍである。ここで用いた凹み１２
の形状、凹み１２の寸法、深さ、及び土手２５の幅は何
ら限定されるものではなく、所望する電極パターン７が
得られるものであればいかような形状であってもよい。
さらに、凹み１２の製作方法は機械的に彫刻されたも
の、塑性変形を利用したもの、化学的に処理された方法
であっても何ら差し支えはない。また、グラビアロール
８の材質に関しても、金属類、ガラス類、セラミックス
類、合成樹脂等の剛体ロールを用いることも可能であ
る。Here, the shape of the recess 12 was the lattice type shown in FIG. The size of the recess 12 is 15 per inch.
The one with 0 grids is used, the depth is 25 μm,
The width of the bank 25 is 10 μm. Dent 12 used here
The shape, the size of the depression 12, the depth, and the width of the bank 25 are not limited in any way, and may be any shape as long as the desired electrode pattern 7 can be obtained.
Further, the method of manufacturing the recess 12 may be mechanical engraving, utilizing plastic deformation, or chemically treating. Regarding the material of the gravure roll 8, it is also possible to use a rigid roll made of metal, glass, ceramics, synthetic resin or the like.
【００３４】さらに、導電性塗料１０は、粒径０．４〜
１．０μｍのＮｉ粉末を１００重量部として分散剤１重
量部、セルロース系樹脂３重量部と、酢酸ｎブチルをボ
ールミルで混合分散して、Ｂ型粘度計で８００ｃｐｓと
なるように調合した。Further, the conductive paint 10 has a particle size of 0.4 to
A 1.0 μm Ni powder was used as 100 parts by weight, and 1 part by weight of a dispersant, 3 parts by weight of a cellulosic resin, and n-butyl acetate were mixed and dispersed in a ball mill to prepare a B-type viscometer so that the content was 800 cps.
【００３５】なお、本実施例の圧胴１５内部に用いた永
久磁石１は、特に限定したものではなく、グラビアロー
ル８の表面に対して垂直磁界が付与される構造であれば
よく、ソレノイドコイル等を永久磁石１の代わりに配備
した圧胴であってもよい。The permanent magnet 1 used in the impression cylinder 15 of the present embodiment is not particularly limited, and may be any structure as long as a perpendicular magnetic field is applied to the surface of the gravure roll 8, such as a solenoid coil. It is also possible to use an impression cylinder in which the permanent magnets 1 and the like are provided.
【００３６】以上のようにして、圧胴１５の内部に永久
磁石１を配備したグラビア印刷方式によりセラミックグ
リーンシート６上に形成した電極パターン７を１００個
抜き取り、蛍光Ｘ線装置を用いてセラミックグリーンシ
ート６上の電極パターン７の塗着量を測定した。測定結
果を図３に示す。図３は電極パターン７を１００個測定
後、最大塗着量●と最小塗着量○をばらつきとし、１０
０個の平均塗着量を＊で表示した。As described above, 100 electrode patterns 7 formed on the ceramic green sheet 6 by the gravure printing method in which the permanent magnet 1 is arranged inside the impression cylinder 15 are extracted, and the ceramic green is obtained by using the fluorescent X-ray apparatus. The coating amount of the electrode pattern 7 on the sheet 6 was measured. The measurement result is shown in FIG. In FIG. 3, after measuring 100 electrode patterns 7, the maximum amount of coating ● and the minimum amount of coating ○ were set to 10 and 10
The average coating amount of 0 pieces is indicated by *.
【００３７】（実施例２）以下本発明の第２の実施例に
ついて図面を参照しながら説明する。図２は本発明の第
２の実施例を示すグラビア印刷方式の図である。図中の
グラビア印刷方式の構成は実施例１で説明した図１と同
様であるが、図１の構成と異なるのは、グラビアロール
８上にある圧胴１５の構成を外周部に磁界が発生するよ
うにした点である。(Second Embodiment) A second embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 2 is a diagram of a gravure printing method showing a second embodiment of the present invention. The configuration of the gravure printing method in the figure is the same as that of FIG. 1 described in the first embodiment, but the difference from the configuration of FIG. 1 is that the magnetic field is generated in the outer peripheral portion of the configuration of the impression cylinder 15 on the gravure roll 8. This is the point I chose to do.
【００３８】もう少し圧胴１５部の構成の詳細について
説明すると、圧胴１５の支持体である鉄心１４上に表面
がＮ極とＳ極の磁極を持ったゴム磁石１３を被覆して作
成した圧胴１５を配備した。磁界の強さは、実施例１と
同様にグラビアロール８の表面上において５００Ｇの強
度で印加できる強さである。この構成の場合、磁界はグ
ラビアロール８の表面に対して垂直に作用する力よりも
Ｎ極とＳ極が隣接して配備されているので、磁界の発生
方向としては若干傾斜する方向で作用することとなる。Explaining the details of the structure of the impression cylinder 15 a little more, the pressure is created by coating the iron core 14 which is the support of the impression cylinder 15 with the rubber magnet 13 having the magnetic poles of N pole and S pole. Deployed the torso 15. The strength of the magnetic field is the strength that can be applied with a strength of 500 G on the surface of the gravure roll 8 as in the first embodiment. In the case of this configuration, the magnetic field is arranged so that the N pole and the S pole are arranged closer to each other than the force acting perpendicularly to the surface of the gravure roll 8, so that the magnetic field acts in a slightly inclined direction as the magnetic field generation direction. It will be.
【００３９】このように構成した圧胴１５をグラビアロ
ール８上に配備して電極パターン７を形成した。ここ
で、使用するセラミックグリーンシート６、印刷速度、
導電性塗料１０、グラビアロール８の表面上の凹み１２
の形状等の印刷条件は、実施例１の印刷条件と全く同様
にしてセラミックグリーンシート６上に電極パターン７
を形成した。The impression cylinder 15 having the above-described structure was placed on the gravure roll 8 to form the electrode pattern 7. Here, the ceramic green sheet 6 used, the printing speed,
Conductive paint 10, dent 12 on the surface of gravure roll 8
The printing conditions, such as the shape, are exactly the same as the printing conditions of the first embodiment, and the electrode pattern 7 is formed on the ceramic green sheet 6.
Was formed.
【００４０】以上のようにして作成した電極パターン７
を実施例１と全く同様にして、１００個抜き取り蛍光Ｘ
線装置で塗着量を測定した。測定結果を図３に示す。図
３は電極パターン７を１００個測定後、最大塗着量▲と
最小塗着量△をばらつきとし、１００個の平均塗着量を
＊でプロットした。Electrode pattern 7 created as described above
In the same manner as in Example 1, 100 fluorescent X
The coating amount was measured with a line device. The measurement result is shown in FIG. In FIG. 3, after measuring 100 electrode patterns 7, the maximum coating amount ▲ and the minimum coating amount Δ were varied, and the average coating amount of 100 was plotted with *.
【００４１】（比較例１）実施例１と全く同様にして、
図１に示したグラビア印刷方式により電極パターン７を
形成した。ここで、圧胴１５は単に鉄心上にゴムを被覆
した従来から公知のものを使用した他は実施例１と全く
同様の印刷条件で電極パターン７を形成した。Comparative Example 1 In exactly the same manner as in Example 1,
The electrode pattern 7 was formed by the gravure printing method shown in FIG. Here, as the impression cylinder 15, the electrode pattern 7 was formed under the same printing conditions as in Example 1 except that the conventionally known one in which the iron core was simply coated with rubber was used.
【００４２】形成した電極パターン７は、ここでも実施
例１と全く同様にして１００個抜き取り、蛍光Ｘ線装置
で塗着量を測定した。図３に測定結果を示す。図３は電
極パターン７を１００個測定後、最大塗着量■と最小塗
着量□をばらつきとし、１００個の平均塗着量を＊でプ
ロットした。The electrode patterns 7 thus formed were sampled in the same manner as in Example 1, and the coating amount was measured with a fluorescent X-ray apparatus. The measurement results are shown in FIG. In FIG. 3, after 100 electrode patterns 7 were measured, the maximum coating amount 1 and the minimum coating amount □ were varied, and the average coating amount of 100 electrodes was plotted with *.
【００４３】なお、本実施例１、実施例２、比較例で使
用した磁性粉末はＮｉ粉末を使用したが、Ｎｉ粉末に限
らずフェライト粉末、酸化鉄粉末等の磁性粉末を利用す
るものであればあらゆるものに応用可能である。また、
本実施例では積層セラミックコンデンサの製造方法を例
にして説明したが、積層セラミックコンデンサの他、Ｌ
Ｃチップ部品、セラミック多層基板、チップインダクタ
ンス及びチップコンデンサ等の積層電子部品の製造方法
にも適用可能である。Although the Ni powder was used as the magnetic powder used in Examples 1, 2 and Comparative Example, the magnetic powder is not limited to the Ni powder, but may be a magnetic powder such as ferrite powder or iron oxide powder. It can be applied to everything. Also,
In this embodiment, the manufacturing method of the monolithic ceramic capacitor has been described as an example.
It can also be applied to a method of manufacturing a laminated electronic component such as a C chip component, a ceramic multilayer substrate, a chip inductance and a chip capacitor.
【００４４】本実施例の積層電子部品の製造方法によれ
ば、グラビアロール８上に配備してある圧胴部からグラ
ビアロール表面上に磁界を付与することにより、従来方
式である比較例に比べて著しく塗着量が向上し、その塗
着量のばらつきも極めて小さいことが図３より分かる。According to the method for manufacturing a laminated electronic component of the present embodiment, a magnetic field is applied to the surface of the gravure roll from the impression cylinder portion provided on the gravure roll 8, so that the conventional method is compared with the comparative example. It can be seen from FIG. 3 that the coating amount is significantly improved and the variation in the coating amount is extremely small.
【００４５】ここで、実施例１と実施例２において電極
パターン７の塗着量において効果の違いが若干異なって
いる。実施例１の方が実施例２よりもばらつきが小さ
い。これは、実施例１では圧胴１５の内部に設けた永久
磁石１が固定化しているため磁界が安定しており、か
つ、磁界方向がグラビアロール８の表面に対して垂直に
作用する構成になっている。一方、圧胴表面にゴム磁石
１３を配備した実施例２では、Ｎ極とＳ極が隣接してい
るため磁界方向はグラビアロール８の表面に対して傾向
的には平行方向に付与されることとなり、実質的には磁
力が軽減する。また、圧胴１５が回転しているために磁
界が変化しやすいことも考慮される。その結果、電極パ
ターン７の形成時において若干転写率にばらつきが発生
するものと考えられる。しかし、凹み１２から導電性塗
料１０を物理的に引き出すのではなくて、強制的に引き
出すため安定度は高い。Here, the effect of the coating amount of the electrode pattern 7 between Example 1 and Example 2 is slightly different. The variation in Example 1 is smaller than that in Example 2. This is because the magnetic field is stable because the permanent magnet 1 provided inside the impression cylinder 15 is fixed in the first embodiment, and the magnetic field direction acts perpendicularly to the surface of the gravure roll 8. Has become. On the other hand, in the second embodiment in which the rubber magnet 13 is provided on the surface of the impression cylinder, since the N pole and the S pole are adjacent to each other, the magnetic field direction is tended to be parallel to the surface of the gravure roll 8. Therefore, the magnetic force is substantially reduced. It is also considered that the magnetic field is likely to change because the impression cylinder 15 is rotating. As a result, it is considered that the transfer rate slightly varies when the electrode pattern 7 is formed. However, stability is high because the conductive paint 10 is not pulled out physically from the recess 12 but is forced out.
【００４６】いずれにしても、実施例１で示した圧胴１
５の構成にすれば、電極パターン７の塗着量にして１５
％、ばらつきは３．５倍、実施例２では塗着量にして１
３％、ばらつきは１．９倍と比較例に比べて向上してい
る。塗着量が向上しているということは凹み１２からの
導電性塗料１０の転移率が向上したことを意味してお
り、ばらつきが小さいことはセルからの転写率が安定し
ていることを示している。In any case, the impression cylinder 1 shown in the first embodiment
With the configuration of 5, the coating amount of the electrode pattern 7 is 15
%, The variation is 3.5 times, and in Example 2, the coating amount is 1
3%, the variation is 1.9 times, which is improved compared to the comparative example. The improvement in the coating amount means that the transfer rate of the conductive coating material 10 from the recess 12 is improved, and the small variation indicates that the transfer rate from the cell is stable. ing.
【００４７】従来方式である比較例では、セルからの導
電性塗料の転写メカニズムがセラミックグリーンシート
と導電性塗料のぬれ性に起因した物理的な現象を期待し
たものであるため、セラミックグリーンシートの表面が
微妙に変化したり、導電性塗料も微妙に変化すると、そ
の微妙な変化そのものが転写率そのものに作用してしま
う。セラミックグリーンシートの全長、全幅に渡って全
て均質であることを望むのは不可能であり導電性塗料に
ついても同様である。従って、連続的に送り込まれてく
るセラミックグリーンシートの場所によっては、セルか
らの転写率も変化しやすいと言わざるを得ない。その結
果、転写率も低く、ばらつきも発生しやすい。In the comparative example, which is the conventional method, the transfer mechanism of the conductive paint from the cell is expected to be a physical phenomenon due to the wettability of the ceramic green sheet and the conductive paint. If the surface changes subtly or the conductive paint changes subtly, the subtly change itself affects the transfer rate itself. It is not possible to desire that the ceramic green sheet be homogeneous over the entire length and width, and the same applies to the conductive paint. Therefore, it must be said that the transfer rate from the cell is likely to change depending on the location of the ceramic green sheets that are continuously fed. As a result, the transfer rate is low and variations easily occur.
【００４８】なお、実施例１で示した構成の圧胴１５
は、永久磁石１を圧胴１５の内部に配備するため、圧胴
１５の直径が大きくなりやすく製作コストも割高にな
る。一方、圧胴１５の外周面にゴム磁石１３を配備した
実施例２の方式では、圧胴自体の大きさは比較的コンパ
クト化が可能であり、製作コストも安価である。しか
し、性能的には図３に示したように圧胴１５の内部に永
久磁石１を配備した実施例１の方式の方が高い。The impression cylinder 15 having the structure shown in the first embodiment is used.
Since the permanent magnet 1 is arranged inside the impression cylinder 15, the diameter of the impression cylinder 15 is likely to be large, and the manufacturing cost is relatively high. On the other hand, in the method of the second embodiment in which the rubber magnet 13 is arranged on the outer peripheral surface of the impression cylinder 15, the size of the impression cylinder itself can be made relatively compact, and the manufacturing cost is low. However, in terms of performance, the method of the first embodiment in which the permanent magnet 1 is provided inside the impression cylinder 15 as shown in FIG. 3 is higher.
【００４９】いずれにしても、昨今の積層電子部品の小
型化、高精度化、高品質化に対応を図る意味で、製品の
要求特性に適応した方式を選択することが望ましい。In any case, it is desirable to select a method adapted to the required characteristics of the product in order to cope with recent miniaturization, high precision and high quality of the laminated electronic component.
【００５０】[0050]
【発明の効果】以上のように本発明は、グラビアロール
上に配備してある圧胴部からグラビアロールの表面に印
加磁界を付与することにより、グラビアロール上に設け
てあるセルから導電性塗料を強制的に引き上げることに
より転写率を著しく向上させることができる。INDUSTRIAL APPLICABILITY As described above, the present invention applies a magnetic field to the surface of a gravure roll from an impression cylinder portion provided on the gravure roll, so that the conductive paint is applied from the cells provided on the gravure roll. The transfer rate can be remarkably improved by forcibly pulling up.
【００５１】また、形成される電極パターンの塗着量の
ばらつきも小さくなり、このことにより、量産性、信頼
性に優れた積層電子部品の製造方法を可能にすることが
できる。Further, the variation in the coating amount of the electrode pattern to be formed is also reduced, which makes it possible to realize a method of manufacturing a laminated electronic component excellent in mass productivity and reliability.
【図１】本発明の第１の実施例における、圧胴の構成を
示す模式概略図FIG. 1 is a schematic diagram showing a configuration of an impression cylinder according to a first embodiment of the present invention.
【図２】本発明の第２の実施例における、圧胴の構成を
示す模式概略図FIG. 2 is a schematic diagram showing a configuration of an impression cylinder according to a second embodiment of the present invention.
【図３】本発明と従来例とを比較して示す電極パターン
の塗布量を示す説明図FIG. 3 is an explanatory view showing the coating amount of an electrode pattern showing the present invention and a conventional example in comparison.
【図４】一般的なセラミックグリーンシートの製造工程
を示す概略図FIG. 4 is a schematic view showing a manufacturing process of a general ceramic green sheet.
【図５】ベースフィルム付きセラミックグリーンシート
の概略簡易図FIG. 5 is a schematic simplified diagram of a ceramic green sheet with a base film.
【図６】一般的なスクリーン印刷方式の概略図FIG. 6 is a schematic diagram of a general screen printing method.
【図７】一般的なグラビア印刷方式による電極パターン
形成の模式概略図FIG. 7 is a schematic diagram of electrode pattern formation by a general gravure printing method.
【図８】グラビアロール上に形成された電極パターンの
模式図FIG. 8 is a schematic diagram of an electrode pattern formed on a gravure roll.
【図９】代表的なピラミッド型セル形状の模式図FIG. 9 is a schematic diagram of a typical pyramid cell shape.
【図１０】代表的な格子型セル形状の模式図FIG. 10 is a schematic diagram of a typical lattice cell shape.
【図１１】代表的な斜線型セル形状の模式図FIG. 11 is a schematic diagram of a typical diagonal cell shape.
１ 永久磁石 ２ １８−８ステンレスパイプ ３ ベアリング ４ ゴム ５ ポリエステルフィルム ６ セラミックグリーンシート ７ 電極パターン ８ グラビアロール ９ インキパン １０ 導電性塗料 １０ａ セル内部にある導電性塗料 １３ ゴム磁石 １４ 支持体 1 Permanent Magnet 2 18-8 Stainless Steel Pipe 3 Bearing 4 Rubber 5 Polyester Film 6 Ceramic Green Sheet 7 Electrode Pattern 8 Gravure Roll 9 Ink Pan 10 Conductive Paint 10a Conductive Paint Inside Cell 13 Rubber Magnet 14 Support
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 福井 康晴 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Inventor Yasuharu Fukui 1006 Kadoma, Kadoma City, Osaka Prefecture Matsushita Electric Industrial Co., Ltd.
Claims (4)
極パターンをグラビア印刷により設ける印刷工程と、前
記電極パターンを乾燥させ複数枚積層した後、加圧、圧
着して所定の形状に切断し、焼成を行う工程とを備えた
積層電子部品の製造方法において、前記グラビア印刷時
に使用する圧胴から電極パターンを形成するための少な
くとも１以上の凹部が設けられた剛体ロールの表面上に
印加磁界を付与する積層電子部品の製造方法。1. A printing process in which a predetermined electrode pattern is provided on a ceramic green sheet by gravure printing, and a plurality of the electrode patterns are dried and laminated, and then pressed and pressed to cut into a predetermined shape and fired. In the method for manufacturing a laminated electronic component, the method comprises: applying an applied magnetic field onto the surface of a rigid roll provided with at least one recess for forming an electrode pattern from the impression cylinder used in the gravure printing. Manufacturing method of laminated electronic component.
る方法として、圧胴の内部に印加磁界を発生させるため
の磁石を備えた請求項１記載の積層電子部品の製造方
法。2. The method for producing a laminated electronic component according to claim 1, wherein a magnet for generating an applied magnetic field is provided inside the impression cylinder as a method for applying an applied magnetic field on the surface of the rigid roll.
る方法として、圧胴外周部に印加磁界を発生させるため
の磁石を備えた請求項１記載の積層電子部品の製造方
法。3. The method for producing a laminated electronic component according to claim 1, wherein a magnet for generating an applied magnetic field is provided on an outer peripheral portion of the impression cylinder as a method for applying an applied magnetic field on the surface of the rigid roll.
料は、少なくとも導電性粉末と有機結合剤と溶剤より構
成されており、前記導電性粉末は磁性体粉末である請求
項１記載の積層電子部品の製造方法。4. The laminated electron according to claim 1, wherein the conductive paint for forming the electrode pattern comprises at least a conductive powder, an organic binder and a solvent, and the conductive powder is a magnetic powder. Manufacturing method of parts.
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|---|---|---|---|
| JP07119696A JP3114564B2 (en) | 1995-05-18 | 1995-05-18 | Manufacturing method of laminated electronic components |
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Publications (2)
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|---|---|
| JPH08316091A true JPH08316091A (en) | 1996-11-29 |
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