JPH08287532A - Information processor - Google Patents
Information processorInfo
- Publication number
- JPH08287532A JPH08287532A JP11128295A JP11128295A JPH08287532A JP H08287532 A JPH08287532 A JP H08287532A JP 11128295 A JP11128295 A JP 11128295A JP 11128295 A JP11128295 A JP 11128295A JP H08287532 A JPH08287532 A JP H08287532A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- probe
- information processing
- image
- adjustment controller
- plural
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、プローブ電極を媒体に
対して走査し、そのプローブ電極と媒体間の物理現象か
ら生じる信号を検出して情報処理を行う情報処理装置、
例えばＳＴＭ、ＡＦＭの原理を応用した表面観察装置及
び／または再生装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an information processing apparatus which scans a probe electrode with respect to a medium and detects a signal resulting from a physical phenomenon between the probe electrode and the medium to perform information processing.
For example, the present invention relates to a surface observing device and / or reproducing device applying the principle of STM and AFM.
【０００２】[0002]
【従来の技術】最近、物質表面の形状及び表面近傍の電
子構造を直接観察できる走査型トンネル顕微鏡（Ｓｃａ
ｎｎｉｎｇ Ｔｕｎｎｅｌｉｎｇ Ｍｉｃｒｏｓｃｏｐ
ｅ；以下、ＳＴＭと略す）が開発されている。この技術
は、 １．単結晶、非単結晶を問わず実空間像の高い解能の測
定ができること、 ２．記録媒体に電流による損傷を与えずに低電力で観察
できること、 ３．超高真空中のみならず大気中、溶液中でも動作する
こと、 ４．種々の材料に対して用いることができること 等の利点を有することから、広範囲な応用が期待されて
いる。ＳＴＭは、プロープ電極（金属の探針）と導電性
物質の間に電圧を加えて１ｎｍ程度の距離まで近づける
と両者の間にトンネル電流が流れることを利用してい
る。トンネル電流はプローブ電極と導電性物質との間の
距離変化に敏感である。従って、トンネル電流或いは両
者の平均的距離を一定に保つような制御を行いながら探
針を面内方向に走査することにより実空間の表面情報を
得ることができる。この際、面内方向の分解能は０．１
ｎｍ以上である。2. Description of the Related Art Recently, a scanning tunneling microscope (Sca) capable of directly observing the shape of a material surface and the electronic structure in the vicinity of the surface.
nunning Tunneling Microscop
e; hereinafter abbreviated as STM) has been developed. This technology is 1. 1. High resolution of real space images can be measured regardless of single crystal or non-single crystal. 2. It is possible to observe with low power without damaging the recording medium by electric current. 3. Operate not only in ultra-high vacuum, but also in air and solution. Since it has advantages such as being able to be used for various materials, it is expected to have a wide range of applications. The STM utilizes that a tunnel current flows between the probe electrode (metal probe) and a conductive substance when a voltage is applied to bring the probe electrode close to a distance of about 1 nm. The tunnel current is sensitive to changes in the distance between the probe electrode and the conductive material. Therefore, surface information in the real space can be obtained by scanning the probe in the in-plane direction while performing control such that the tunnel current or the average distance between the two is kept constant. At this time, the resolution in the in-plane direction is 0.1.
nm or more.
【０００３】[0003]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
たような高解像度の観察装置では、高解像度故に一度に
狭い範囲の情報しか得られないという問題がある。この
欠点は、例えばＳＴＭを記録再生装置として応用した際
には、記録情報の書き込み／読み出し速度の限界として
大きな障害となる。そのため、ＳＴＭ応用記録再生装置
においては、プローブを複数本（マルチプローブ）設け
ることによって、記録情報の書き込み／読み出し速度の
限界を大きく引き上げているが、このような手段では各
プローブの走査している領域の絶対位置がわかるよう
に、各プローブの走査領域に対応させて予め記録媒体上
にトラッキング溝をつけておく必要があった。しかし、
マルチプローブを表面観察装置に応用する場合、各プロ
ーブの走査領域に対応させてトラッキング溝をつけたの
では、その目的を達成する上で障害となる。また、マル
チプローブ記録再生装置の場合も、記録密度の低下を防
ぐために、トラッキング溝は出来るだけ少ない本数で済
ませることが望ましい。However, the above-described high-resolution observing apparatus has a problem that only a narrow range of information can be obtained at a time because of the high resolution. For example, when the STM is applied as a recording / reproducing device, this drawback becomes a big obstacle as a limit of the writing / reading speed of recorded information. Therefore, in the STM applied recording / reproducing apparatus, by providing a plurality of probes (multi-probes), the limit of the writing / reading speed of the recorded information is greatly increased, but such a means scans each probe. In order to know the absolute position of the area, it was necessary to previously provide a tracking groove on the recording medium corresponding to the scanning area of each probe. But,
When the multi-probe is applied to a surface observation apparatus, providing a tracking groove corresponding to the scanning area of each probe is an obstacle to achieving the purpose. Also in the case of a multi-probe recording / reproducing apparatus, it is desirable that the number of tracking grooves be as small as possible in order to prevent a decrease in recording density.
【０００４】そこで、本発明は、上記問題を解決するた
め、複数の画像を張り合わせることにより、高解像度で
広範囲の情報が得られる情報処理装置を提供することを
目的とするものである。Therefore, in order to solve the above problems, it is an object of the present invention to provide an information processing apparatus capable of obtaining a wide range of information with high resolution by combining a plurality of images.
【０００５】[0005]
【課題を解決するための手段】本発明は、上記目的を達
成するため、プローブ電極を媒体に対して走査し、その
プローブ電極と媒体間の物理現象から生じる信号を検出
して情報処理を行う情報処理装置において、複数のプロ
ーブと該複数プローブから得られる複数の再生画像を１
枚の画像に張り合わせるように構成し、高解像度で広範
囲の情報を得るようにしたものである。本発明において
は、前記画像の張り合わせを、隣接する画像間の座標変
換パラメータを決定することにより行うことができ、こ
れにより表面観察装置または、再生装置を構成して、そ
の効果をより発揮することができる。In order to achieve the above object, the present invention performs information processing by scanning a probe electrode with respect to a medium and detecting a signal resulting from a physical phenomenon between the probe electrode and the medium. In the information processing device, a plurality of probes and a plurality of reproduced images obtained from the plurality of probes
It is constructed so that it can be pasted onto a single image, and a wide range of information can be obtained with high resolution. In the present invention, the images can be pasted together by determining the coordinate conversion parameter between the adjacent images, whereby the surface observing device or the reproducing device is configured, and the effect thereof can be exerted more effectively. You can
【０００６】[0006]
【作用】本発明は、上記したように、隣接する画像間の
座標変換パラメータを決定して、複数のプローブと該複
数プローブから得られる複数の再生画像を１枚の画像に
張り合わせることにより、高解像度で広範囲の情報を得
るようにしたものである。これによって、マルチプロー
ブを表面観察装置に応用すれば、高解像度で広範囲の観
察像が同時に短時間で得られる。また例えば、記録再生
装置ではトラッキング溝の本数を大幅に減らすことがで
き、記録密度の向上を図ることができる。According to the present invention, as described above, the coordinate conversion parameter between adjacent images is determined, and a plurality of probes and a plurality of reproduced images obtained from the plurality of probes are combined into one image. It is intended to obtain a wide range of information with high resolution. Thus, if the multi-probe is applied to a surface observation apparatus, a high-resolution and wide-range observation image can be simultaneously obtained in a short time. Further, for example, in the recording / reproducing apparatus, the number of tracking grooves can be significantly reduced, and the recording density can be improved.
【０００７】[0007]
【実施例】以下、本発明の実施例について説明する。図
１は本発明の実施例の再生装置の構成を示すブロック図
である。本発明の再生装置の本体は、マルチプローブを
支持するステージ１０１の微動を行う微動制御装置１０
２及び観察試料１０３の微動を行う微動制御装置１０４
と粗動制御装置１０５、粗動制御装置１０５を支持する
支持部材１０６とからなる。支持部材１０６は各構造部
分を支えるためのものでインバー合金からなる。この支
持部材１０６の底面に粗動制御装置１０５と微動制御装
置１０４が取り付けられ、微動制御装置１０４上に観察
試料１０３が載置されている。粗動制御装置１０５は、
弾性ヒンジを用いた平行バネを有するものであり、観察
試料１０３の図示Ｘ軸方向及びＹ軸方向への粗動制御を
行うためのものである。また、微動制御装置１０２で支
持されたステージ１０１の下側には、プローブユニット
基板１０７が観察試料１０３に対向するように取り付け
られている。プローブユニット基板１０７は、２次元ア
レー状に複数個並べられたカンチレバー１０８を保持
し、各カンチレバーの先端部にはプローブ電極１０９が
支持されている。本実施例の装置ではこのようなカンチ
レバー１０８及びプローブ電極１０９がＮ2本設けられ
ている。これはマイクロメカニクスによる微細加工の技
術により作成される。各カンチレバー１０８はそれぞれ
制御信号によってたわみを生ずることによってプローブ
電極１０９と観察試料１０３との間隔（Ｚ方向）を調整
することが出来る。プローブ電極１０９は、観察の分解
能を向上させるために、先端を機械的研磨、電解研磨し
たタングステン針を用いているが、材料はＰｔ−Ｉｒ、
Ｐｔ等でもよく、加工法も何等これに限定するものでは
ない。微動制御装置１０２は円筒型圧電素子からなり、
複数のプローブ電極１０９を観察試料１０３の面内方向
（Ｘ，Ｙ方向）及び観察試料１０３−プローブ電極１０
９間方向（Ｚ方向）に移動させるためのものである。通
常の動作時において、複数のプローブ電極１０９の先端
と観察試料１０３の表面との間隔は、トンネル電流が流
れる程度のものとなっている。粗動制御装置１０５は、
微動制御装置１０４の制御範囲外の大きさの制御を行う
ものである。再生装置の電気及び制御系は、タイミング
コントローラ１１０と、プローブ位置コントローラ１１
１と、再生用電圧印加装置１１５と、演算用アレープロ
セッサ１１２と、画像格納メモリ１１３と、画像処理装
置１１４とからなる。再生用電圧印加装置１１５は、観
察試料１０３の再生を行うために、バイアス電圧をプロ
ーブ電極１０９と観察試料１０３との間に−１０Ｖから
＋１０Ｖの範囲の任意の大きさで与えるものである。プ
ローブ位置コントローラ１１１は、上下の微動制御装置
１０２、１０４及び粗動制御装置１０５を制御し、複数
のプローブ電極１０９を、観察試料１０２に対して任意
に相対的に変位させるためのものである。演算用アレー
プロセッサ１１２はプローブ電極の本数と同じだけの数
の演算プロセッサの２次元アレーより構成され、それぞ
れの演算プロセッサは対応するプローブ電極の電流を入
力するものであり、プローブ位置コントローラ１１１、
再生用電圧印加装置１１５、画像処理装置１１４を制御
する。演算プロセッサ１１２は、対応するプローブ電極
１０９から送られてくる電圧信号を増幅しデジタル変換
したトンネル電流もしくは対応するプローブ電極１０９
のＺ方向移動のためにプローブ位置コントローラ１１１
を介して微動制御装置１０２に印加されている電圧を画
素値とする再生画像を出力する。演算プロセッサから出
力されたＮ2本のプローブ電極に対応するＮ2個の再生画
像は、それぞれ再生画像格納部１１３に格納される。図
２は演算用アレープロセッサ１１２、再生画像格納部１
１３、画像処理用アレープロセッサ１１４の構成を示す
構成図である。Embodiments of the present invention will be described below. FIG. 1 is a block diagram showing the configuration of a reproducing apparatus according to an embodiment of the present invention. The main body of the reproducing apparatus of the present invention includes a fine movement control device 10 for finely moving a stage 101 supporting a multi-probe.
2 and fine movement control device 104 for finely moving the observation sample 103
And a coarse movement control device 105 and a support member 106 that supports the coarse movement control device 105. The support member 106 supports each structural portion and is made of Invar alloy. The coarse movement control device 105 and the fine movement control device 104 are attached to the bottom surface of the support member 106, and the observation sample 103 is placed on the fine movement control device 104. The coarse motion control device 105 is
It has a parallel spring using an elastic hinge, and is for performing coarse movement control of the observation sample 103 in the illustrated X-axis direction and Y-axis direction. A probe unit substrate 107 is attached below the stage 101 supported by the fine movement control device 102 so as to face the observation sample 103. The probe unit substrate 107 holds a plurality of cantilevers 108 arranged in a two-dimensional array, and a probe electrode 109 is supported at the tip of each cantilever. In the device of this embodiment, N 2 such cantilevers 108 and probe electrodes 109 are provided. This is created by a microfabrication technique using micromechanics. Each cantilever 108 is capable of adjusting the distance (Z direction) between the probe electrode 109 and the observation sample 103 by causing the cantilever 108 to bend due to the control signal. The probe electrode 109 uses a tungsten needle whose tip is mechanically polished or electrolytically polished in order to improve observation resolution. The material is Pt-Ir.
Pt may be used, and the processing method is not limited to this. The fine movement control device 102 is composed of a cylindrical piezoelectric element,
The plurality of probe electrodes 109 are arranged in the in-plane direction (X, Y directions) of the observation sample 103 and the observation sample 103-probe electrode
It is for moving in the direction between 9 (Z direction). During normal operation, the distance between the tips of the plurality of probe electrodes 109 and the surface of the observation sample 103 is such that a tunnel current flows. The coarse motion control device 105 is
The control is performed for a size outside the control range of the fine movement control device 104. The electric and control system of the reproducing apparatus includes a timing controller 110 and a probe position controller 11
1, a reproduction voltage application device 115, an arithmetic array processor 112, an image storage memory 113, and an image processing device 114. The reproduction voltage applying device 115 applies a bias voltage between the probe electrode 109 and the observation sample 103 in an arbitrary range of −10 V to +10 V in order to reproduce the observation sample 103. The probe position controller 111 controls the upper and lower fine movement control devices 102 and 104 and the coarse movement control device 105 to displace the plurality of probe electrodes 109 arbitrarily relative to the observation sample 102. The arithmetic array processor 112 is composed of a two-dimensional array of arithmetic processors as many as the number of probe electrodes, and each arithmetic processor inputs the current of the corresponding probe electrode, and the probe position controller 111,
The reproduction voltage application device 115 and the image processing device 114 are controlled. The arithmetic processor 112 amplifies and digitally converts the voltage signal sent from the corresponding probe electrode 109 into a tunnel current or the corresponding probe electrode 109.
Position controller 111 for moving the Z direction of the
A reproduced image having a pixel value of the voltage applied to the fine movement control device 102 is output. Corresponding N 2 pieces of reproduced image probe electrode of N 2 present, which is output from the arithmetic processor is stored in each playback image storage unit 113. FIG. 2 shows the arithmetic array processor 112 and the reproduced image storage unit 1.
13 is a configuration diagram showing a configuration of an image processing array processor 114. FIG.
【０００８】また図３は画像処理の流れ図である。以
下、処理の流れを図３に沿って説明する。隣接するプロ
ーブ電極より得られる再生画像を張り合わせるというこ
とは、それぞれの画像の座標系の関係式を得ることに等
しい。従って画像処理用アレープロセッサｌ１２では以
下の処理によって、隣接画像間の座標変換行列を計算す
る。以下では画像プロセッサ２０５の処理について説明
するが、画像プロセッサ２０１、２０２等も同様の処理
を行う。ただし、演算プロセッサ２２５から出力され画
像格納部２１５に格納された再生画像 ける隣接プローブ電極間距離の平均値からの絶対誤差の
上限に設定する。ただし、マルチプローブヘッド製造過
程における隣接プローブ電極間距離の平均値、及びマル
チプローブヘッド製造過程における隣接プローブ電極間
距離の平均値からの絶対誤差の上限は、事前に得られて
いるものとする。 以上のようにして、隣接する画像間の座標変換パラメタ
を決定し、複数の再生画像を貼り合わせることができ
る。FIG. 3 is a flow chart of image processing. The flow of processing will be described below with reference to FIG. Combining the reproduced images obtained from the adjacent probe electrodes is equivalent to obtaining the relational expression of the coordinate system of each image. Therefore, the image processing array processor 11 calculates the coordinate conversion matrix between adjacent images by the following processing. The processing of the image processor 205 will be described below, but the image processors 201, 202 and the like also perform similar processing. However, the reproduced image output from the arithmetic processor 225 and stored in the image storage unit 215 Set to the upper limit of the absolute error from the average value of the distance between adjacent probe electrodes. However, the upper limit of the absolute error from the average value of the distances between adjacent probe electrodes in the manufacturing process of the multi-probe head and the average value of the average value of the distances between adjacent probe electrodes in the manufacturing process of the multi-probe head is obtained in advance. As described above, the coordinate conversion parameter between adjacent images can be determined and a plurality of reproduced images can be pasted together.
【０００９】[0009]
【発明の効果】本発明は、以上のように、複数のプロー
ブと該複数プローブから得られる複数の再生画像を１枚
の画像に張り合わせることにより、高解像度で広範囲の
情報を得ることができる。また、これにより表面観察装
置を構成することにより、高解像度で広範囲の観察像を
短時間で得ることができ、記録再生装置を構成すること
により、トラッキング溝の本数を大幅に減らして、記録
密度の高い記録再生装置を実現することができる。As described above, according to the present invention, by combining a plurality of probes and a plurality of reproduced images obtained from the plurality of probes into one image, it is possible to obtain a wide range of information with high resolution. . Further, by structuring the surface observing device with this, it is possible to obtain an observation image of high resolution and in a wide range in a short time. It is possible to realize a high-performance recording / reproducing apparatus.
【図１】本発明におけるマルチプローブＳＰＭ記録再生
装置の概略を示す図である。FIG. 1 is a diagram showing an outline of a multi-probe SPM recording / reproducing apparatus according to the present invention.
【図２】本発明における画像処理装置を示す図である。FIG. 2 is a diagram showing an image processing apparatus according to the present invention.
【図３】本発明における隣接画像間の座標変換を決定す
るための流れ図である。FIG. 3 is a flow chart for determining a coordinate transformation between adjacent images according to the present invention.
【図４】点と領域の対応の例を示す図である。FIG. 4 is a diagram showing an example of correspondence between points and areas.
１０１ マルチプローブを支持するステージ １０２ 微動制御装置 １０３ 観察試料 １０４ 微動制御装置 １０５ 粗動制御装置 １０６ 支持部材 １０７ プローブユニット基板 １０８ カンチレバー １０９ プローブ電極 １１０ タイミングコントローラ １１１ プローブ位置コントローラ １１２ 演算用アレープロセッサ １１３ 画像格納メモリ １１４ 画像処理装置 １１５ 再生用電圧印加装置 ２０１〜２０９ 画像プロセッサ ２１１〜２１９ 画像格納部 ２２１〜２２９ 演算プロセッサ 101 stage for supporting multi-probe 102 fine movement control device 103 observation sample 104 fine movement control device 105 coarse movement control device 106 support member 107 probe unit substrate 108 cantilever 109 probe electrode 110 timing controller 111 probe position controller 112 arithmetic array processor 113 image storage Memory 114 Image processing device 115 Reproduction voltage applying device 201 to 209 Image processor 211 to 219 Image storage unit 221 to 229 Operation processor
Claims (5)
のプローブ電極と媒体間の物理現象から生じる信号を検
出して情報処理を行う情報処理装置において、複数のプ
ローブと該複数プローブから得られる複数の再生画像を
１枚の画像に張り合わせる手段を有することを特徴とす
る情報処理装置。1. An information processing apparatus which scans a probe electrode with respect to a medium and detects a signal generated from a physical phenomenon between the probe electrode and the medium to perform information processing. An information processing apparatus comprising means for pasting a plurality of reproduced images into one image.
間の座標変換パラメータを決定することにより行うよう
にしたことを特徴とする請求項１に記載の情報処理装
置。2. The information processing apparatus according to claim 1, wherein the images are combined by determining coordinate conversion parameters between adjacent images.
ることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の情
報処理装置。3. The information processing device according to claim 1, wherein the information processing device is a surface observation device.
とを特徴とする請求項１または請求項２に記載の情報処
理装置。4. The information processing apparatus according to claim 1, wherein the information processing apparatus is a reproducing apparatus.
いることを特徴とする請求項４に記載の再生装置。5. The reproducing apparatus according to claim 4, wherein the reproducing apparatus has an information recording unit.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11128295A JPH08287532A (en) | 1995-04-12 | 1995-04-12 | Information processor |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11128295A JPH08287532A (en) | 1995-04-12 | 1995-04-12 | Information processor |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08287532A true JPH08287532A (en) | 1996-11-01 |
Family
ID=14557283
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11128295A Pending JPH08287532A (en) | 1995-04-12 | 1995-04-12 | Information processor |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08287532A (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100477366B1 (en) * | 2002-09-27 | 2005-03-22 | 주식회사 대우일렉트로닉스 | Cantilever array for scanning probe and fabrication method thereof |
| KR100519752B1 (en) * | 2002-05-10 | 2005-10-07 | 삼성전자주식회사 | High-speed high-density data storage apparatus employing time-division-multiplexing type and method of recording information using the same and method of reproducing information using the same |
-
1995
- 1995-04-12 JP JP11128295A patent/JPH08287532A/en active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100519752B1 (en) * | 2002-05-10 | 2005-10-07 | 삼성전자주식회사 | High-speed high-density data storage apparatus employing time-division-multiplexing type and method of recording information using the same and method of reproducing information using the same |
| KR100477366B1 (en) * | 2002-09-27 | 2005-03-22 | 주식회사 대우일렉트로닉스 | Cantilever array for scanning probe and fabrication method thereof |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3450349B2 (en) | Cantilever probe | |
| JP2837083B2 (en) | Method and interaction apparatus for accurately measuring surface parameters excluding shape or performing shape related work | |
| USRE33387E (en) | Atomic force microscope and method for imaging surfaces with atomic resolution | |
| JP2915554B2 (en) | Barrier height measurement device | |
| US20020003211A1 (en) | Nanometer scale data storage device and associated positioning system | |
| JPS62130302A (en) | Method and device for forming image of surface of sample | |
| US5391871A (en) | Scanning probe microscope | |
| JP3029916B2 (en) | Information processing device | |
| US5075548A (en) | Tunnel current probe moving mechanism having parallel cantilevers | |
| US5375087A (en) | Tunneling-stabilized magnetic reading and recording | |
| JP3069923B2 (en) | Cantilever probe, atomic force microscope, information recording / reproducing device | |
| JP2003065935A (en) | Non-contact atomic force microscope, magnetic force microscope, and static electricity microscope | |
| EP0722077B1 (en) | Information processing apparatus effecting probe position control with electrostatic forces | |
| JPH08287532A (en) | Information processor | |
| JP2000346786A (en) | High-performance nano tube probe | |
| JPH09251026A (en) | Scanning probe microscope | |
| EP0449221A2 (en) | Scanning probe microscope | |
| JPH0250333A (en) | Recording and reproducing device | |
| JP3353519B2 (en) | Force gradient detecting method, information reproducing method, information reproducing apparatus, and information recording / reproducing apparatus | |
| JP2981788B2 (en) | Information processing apparatus using scanning probe microscope, information processing method and surface matching method | |
| JP3118654B2 (en) | Information processing device and scanning tunneling electron microscope | |
| JPH0875761A (en) | Scanning probe microscope as well as processing apparatus using the microscope and data-processing apparatus | |
| JPH06251436A (en) | Device and method for position control of probe and information recording/reproducing device, scanning probe microscope and lithographic device using the same | |
| JPH07110969A (en) | Face alignment method, position control mechanism and information processor with the mechanism | |
| JP3175342B2 (en) | Surface shape measurement method |