JPH08285343A - Air conditioner for clean room - Google Patents
Air conditioner for clean roomInfo
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- JPH08285343A JPH08285343A JP7116371A JP11637195A JPH08285343A JP H08285343 A JPH08285343 A JP H08285343A JP 7116371 A JP7116371 A JP 7116371A JP 11637195 A JP11637195 A JP 11637195A JP H08285343 A JPH08285343 A JP H08285343A
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- Ventilation (AREA)
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明はクリーンルームの空調シ
ステムに係り、特に、クリーンルームの室内に温度むら
が発生しないように室内温度をきめ細かく制御するクリ
ーンルームの空調システムに関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a clean room air conditioning system, and more particularly to a clean room air conditioning system for finely controlling the room temperature so as to prevent uneven temperature in the room.
【０００２】[0002]
【従来の技術】図３には従来のクリーンルームの空調シ
ステムの全体構成図が示される。同図に示されるよう
に、クリーンルーム１０の空調は空調機１２よって行わ
れる。空調機１２は外気１４と還気エア１６とを吸引
し、外気１４と還気エア１６とをクリーンルーム１０内
に配設された温度センサ４０からの信号に応じてクリー
ンルームに給気する空調エア１８の温度を調整する。空
調機１２で調温された空調エア１８は、給気ダクト２
０、給気ダクトに形成された吹出口２１、２１…を介し
て天井室３０に供給され、リタンスペース３６を介して
天井室３０に循環されるリタンエア３７と混合される。
混合されたエア１９はファンフィルタユニット２４、２
４…によりクリーンルーム１０内に供給される。クリー
ンルーム１０内に供給されたエア１９はグレーチング床
３２を介して床下チャンバ３４に排出される。床下チャ
ンバ３４に排出されたエアは、その一部が還気エア１６
として空調機１２に戻り、残りのエアがリタンエア３７
としてリタンスペース３６を介して天井室３０に循環さ
れる。2. Description of the Related Art FIG. 3 shows the overall configuration of a conventional clean room air conditioning system. As shown in the figure, the air conditioning of the clean room 10 is performed by the air conditioner 12. The air conditioner 12 sucks the outside air 14 and the return air 16 and supplies the outside air 14 and the return air 16 to the clean room according to a signal from a temperature sensor 40 arranged in the clean room 10. Adjust the temperature of. The conditioned air 18 temperature-controlled by the air conditioner 12 is supplied to the air supply duct 2
0 is supplied to the ceiling chamber 30 through the air outlets 21, 21 ... Formed in the air supply duct, and is mixed with the return air 37 that is circulated to the ceiling chamber 30 through the return space 36.
The mixed air 19 is supplied to the fan filter units 24, 2
4 is supplied into the clean room 10. The air 19 supplied into the clean room 10 is discharged to the underfloor chamber 34 via the grating floor 32. A part of the air discharged into the underfloor chamber 34 is the return air 16
Return to the air conditioner 12 and the remaining air is returned to the return air 37
Is circulated to the ceiling chamber 30 through the return space 36.
【０００３】このように、従来のクリーンルームの空調
システムでは、一点又は複数点の室内温度を温度センサ
４０によって検出し、その信号に応じて空調機１２を制
御し、クリーンルーム１０に給気する空調エア１８自体
の温度を変更することによりクリーンルーム室内の温度
の制御を行っている。As described above, in the conventional air conditioning system for a clean room, the temperature sensor 40 detects the room temperature at one point or a plurality of points, and the air conditioner 12 is controlled according to the signal to supply air to the clean room 10. The temperature inside the clean room is controlled by changing the temperature of 18 itself.
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
クリーンルームの空調システムには、一点又は複数点の
検出温度を代表温度として空調エアの温度を変更する
為、クリーンルーム内の温度むらを更に促進してしまう
という欠点がある。例えば、半導体製造工場等のクリー
ンルーム内には、発熱を伴う装置が設置されて稼働して
いるエリアとそうではないエリアが混在している為、必
ず温度センサで検出された温度よりも高い温度又は低い
温度を呈するエリア、即ち温度むらが存在している。従
って、従来のクリーンルームの空調システムでは、温度
が高いエリアは更に温度が高くなり、温度が低いエリア
は更に温度が低くなるため、クリーンルーム内の温度む
らを更に促進してしまうことになる。However, in the conventional air conditioning system for a clean room, the temperature of the air conditioned air is changed with the temperature detected at one or more points as the representative temperature, so that the temperature unevenness in the clean room is further promoted. There is a drawback that it ends up. For example, in a clean room such as a semiconductor manufacturing factory, there are areas where devices that generate heat are installed and are not operating, and areas that are not, so there is always a temperature higher than the temperature detected by the temperature sensor or There is an area exhibiting a low temperature, that is, temperature unevenness. Therefore, in the conventional air conditioning system for a clean room, the temperature in the area having a higher temperature becomes higher and the temperature in the area having a lower temperature further decreases, which further promotes the temperature unevenness in the clean room.
【０００５】本発明はこのような事情に鑑みてなされた
もので、クリーンルーム内に温度むらが発生しないよう
に室温をきめ細かく制御することができるクリーンルー
ムの空調システムを提供することを目的とする。The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object of the present invention is to provide an air conditioning system for a clean room capable of finely controlling the room temperature so as to prevent temperature unevenness in the clean room.
【０００６】[0006]
【課題を解決する為の手段】本発明は、前記目的を達成
するために、空調空気を天井裏空間に配設された給気ダ
クトを介して前記天井裏空間に給気し、天井面に敷設さ
れた多数のファンフィルタユニットからクリーンルーム
内に下向流として吹き出すと共に、クリーンルーム床面
を形成するグレーチング床から床下空間に排出するクリ
ーンルームの空調システムに於いて、クリーンルーム内
を縦方向に複数のエリアに分割すると共に、前記エリア
ごとの温度を個々に検出する温度センサを設け、前記給
気ダクトの吹出口を前記分割したエリアごとに対応させ
て形成すると共に、前記吹出口にそれぞれ給気用開閉ダ
ンパを設け、前記温度センサで検出されるエリアごとの
温度に基づいて前記エリアに対応する給気用開閉ダンパ
の開閉率を制御することを特徴とする。In order to achieve the above-mentioned object, the present invention supplies conditioned air to the above-ceiling space through an air-supply duct provided in the above-ceiling space, and to the ceiling surface. In a clean room air-conditioning system that blows out as a downward flow into the clean room from many laid fan filter units, and discharges into the underfloor space from the grating floor that forms the floor of the clean room, there are multiple vertical areas within the clean room. And a temperature sensor that individually detects the temperature of each area is provided, and the air outlet of the air supply duct is formed corresponding to each of the divided areas, and the air outlet is opened and closed for air supply, respectively. A damper is provided to control the opening / closing rate of the air supply opening / closing damper corresponding to the area based on the temperature of each area detected by the temperature sensor. It is characterized in.
【０００７】[0007]
【作用】本発明によれば、クリーンルーム内を縦方向に
複数のエリアに分割し、各エリアごとの検出温度に基づ
いて各エリアに対応する給気用開閉ダンパの開閉率を制
御するようにしたので、ファンフィルタユニットにより
クリーンルーム内に供給するエアの冷熱量または温熱量
をエリアごとにきめ細かく制御することができる。例え
ば、冷房空調の場合、発熱体が設置されているエリアに
は冷熱量を多くし、その他のエリアは冷熱量を少なくす
る。これにより、クリーンルーム内に温度むらが発生し
ないように、きめ細かく室温を制御することができる。According to the present invention, the inside of the clean room is vertically divided into a plurality of areas, and the opening / closing rate of the air supply opening / closing damper corresponding to each area is controlled based on the detected temperature of each area. Therefore, the cooling amount or the heating amount of the air supplied into the clean room can be finely controlled for each area by the fan filter unit. For example, in the case of cooling air conditioning, the amount of cold heat is increased in the area where the heating element is installed, and the amount of cold heat is decreased in other areas. As a result, the room temperature can be finely controlled so that uneven temperature does not occur in the clean room.
【０００８】[0008]
【実施例】以下添付図面に従って本発明に係るクリーン
ルームの空調システムの好ましい実施例について説明す
る。尚、従来技術で説明したものと同一の装置、部材に
ついては同符号を付して説明し、重複する説明は省略す
る。図１は本発明に係るクリーンルームの空調システム
の第１実施例を説明する全体構成図である。同図に示す
ように、クリーンルーム１０内は縦方向に複数のエリア
Ａ〜Ｆに仮想的に分割されると共に、床下チャンバ３４
の各エリアに対応する位置に、そのエリアごとの代表温
度を検出する温度センサ４０、４０…が設けられる。ま
た各エリアに対応するように形成された給気ダクト２０
の吹出口２１、２１…にはそれぞれ給気用モータダンパ
２２、２２…が配設される。そして、各温度センサ４０
及び各給気用モータダンパ２２は信号ケーブル４１を介
してコントローラ４２に接続される。これによりコント
ローラ４２は、温度センサ４０が検出した各エリアごと
の代表温度に基づいて給気用モータダンパ２２の開度を
調節する。また、リタンスペース３６と天井室３０の境
界位置には、上端が開放された垂直の仕切板３１が設け
られる。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS A preferred embodiment of a clean room air conditioning system according to the present invention will be described below with reference to the accompanying drawings. It should be noted that the same devices and members as those described in the related art will be denoted by the same reference numerals and will not be described. FIG. 1 is an overall configuration diagram illustrating a first embodiment of an air conditioning system for a clean room according to the present invention. As shown in the figure, the inside of the clean room 10 is virtually divided vertically into a plurality of areas A to F, and the underfloor chamber 34 is provided.
Are provided at positions corresponding to the respective areas, for detecting the representative temperature of each area. Further, the air supply duct 20 formed so as to correspond to each area
Are provided with air supply motor dampers 22, 22 ..., respectively. Then, each temperature sensor 40
Also, each air supply motor damper 22 is connected to the controller 42 via a signal cable 41. Thereby, the controller 42 adjusts the opening degree of the air supply motor damper 22 based on the representative temperature of each area detected by the temperature sensor 40. Further, a vertical partition plate 31 having an open upper end is provided at a boundary position between the return space 36 and the ceiling chamber 30.
【０００９】次に、上記の如く構成された本発明に係る
クリーンルームの空調システムの作用を冷房空調の例で
説明する。空調機１２は外気１４と還気エア１６とを吸
引すると共に、外気１４と還気エア１６とを混合した混
合エアをクリーンルームの設定温度に調整する。空調機
１２で調温された空調エア１８は、給気ダクト２０、吹
出口２１、２１…、給気用モータダンパ２２、２２…を
介してクリーンルーム１０の天井室３０に供給される。
天井室３０に供給された空調エア１８とリタンスペース
３６を介して天上室３０に循環されるリタンエア３７と
が混合され、混合されたエア１９がファンフィルタユニ
ット２４、２４…によりクリーンルーム１０内に下向流
として吹き出される。クリーンルーム１０内に供給され
たエアはグレーチング床３２を介して床下チャンバ３４
に排出される。床下チャンバ３４に排出されたエアの
内、一部のエアが空調機１２に還気エア１６として戻
り、残りのエアはリタンエア３７としてリタンスペース
３６を介して天井室３０に循環される。Next, the operation of the air conditioning system for a clean room according to the present invention constructed as described above will be explained by taking an example of cooling air conditioning. The air conditioner 12 sucks the outside air 14 and the return air 16 and adjusts the mixed air obtained by mixing the outside air 14 and the return air 16 to the set temperature of the clean room. The conditioned air 18 whose temperature has been adjusted by the air conditioner 12 is supplied to the ceiling room 30 of the clean room 10 via the air supply duct 20, the air outlets 21, 21, ..., The air supply motor dampers 22, 22.
The conditioned air 18 supplied to the ceiling chamber 30 and the return air 37 circulated to the ceiling chamber 30 via the return space 36 are mixed, and the mixed air 19 is blown into the clean room 10 by the fan filter units 24, 24. It is blown out as a countercurrent. The air supplied into the clean room 10 passes through the grating floor 32 and the underfloor chamber 34.
Is discharged to. Of the air discharged to the underfloor chamber 34, a part of the air returns to the air conditioner 12 as the return air 16, and the remaining air is circulated as the return air 37 to the ceiling chamber 30 via the return space 36.
【００１０】上記した冷房用の空調エアの流れにおい
て、各エリアＡ〜Ｆの温度は温度センサ４０により逐次
検出されてコントローラ４２に入力される。例えば、ク
リーンルーム内のエリアＡに発熱装置６０が稼働して、
エリアＡの温度が設定温度よりも高くなる、つまり温度
むらが発生すると、コントローラ４２はエリアＡに対応
する給気用モータダンパ２２の開度を大きくする。これ
により、エリアＡに対応する給気ダクト２０の吹出口２
１から吹き出す冷たい空調エア１８の風量が大きくな
り、エリアＡに吹き出されるエア１９における冷たい空
調エア１８の比率がリタンエア３７に対して大きくな
る。従ってエリアＡに吹き出されるエア１９の冷熱量が
大きくなり、空調機１２で空調エア１８自体の温度を下
げることなくエリアＡのみの温度を局部的に下げること
ができる。In the above-mentioned air-conditioning air for cooling, the temperatures of the areas A to F are sequentially detected by the temperature sensor 40 and input to the controller 42. For example, when the heat generating device 60 operates in the area A in the clean room,
When the temperature of the area A becomes higher than the set temperature, that is, when the temperature unevenness occurs, the controller 42 increases the opening degree of the air supply motor damper 22 corresponding to the area A. Thereby, the air outlet 2 of the air supply duct 20 corresponding to the area A
The air volume of the cold air-conditioned air 18 blown out from No. 1 becomes large, and the ratio of the cold air-conditioned air 18 in the air 19 blown out to the area A becomes larger than that of the return air 37. Therefore, the amount of cold heat of the air 19 blown to the area A is increased, and the temperature of only the area A can be locally reduced without lowering the temperature of the air conditioning air 18 itself in the air conditioner 12.
【００１１】このように、本発明のクリーンルームの空
調システムでは、エリアＡ〜Ｆごとの検出温度に基づい
てそのエリアに対応する給気用モータダンパ２２の開閉
率を制御するようにした。これにより、クリーンルーム
内に供給する空調エアの冷熱量をエリアごとに制御する
ことができるので、クリーンルーム内に温度むらが発生
しないようにきめ細かく室内温度を制御することができ
る。As described above, in the clean room air conditioning system of the present invention, the opening / closing rate of the air supply motor damper 22 corresponding to each of the areas A to F is controlled based on the detected temperature. As a result, since the amount of cold heat of the conditioned air supplied into the clean room can be controlled for each area, the indoor temperature can be finely controlled so that the temperature unevenness does not occur in the clean room.
【００１２】また仕切板３１を配設したことにより、リ
タンエア３７が均一に天井室３０に戻る。これにより、
リタンエア３７の温度も均一に保つことができる。図２
は本発明に係るクリーンルームの空調システムの第２実
施例の全体構成図である。図１に示した第１実施例と同
一、類似の部材については同一の符号を付して説明す
る。By providing the partition plate 31, the return air 37 is uniformly returned to the ceiling chamber 30. This allows
The temperature of the return air 37 can also be kept uniform. Figure 2
FIG. 2 is an overall configuration diagram of a second embodiment of a clean room air conditioning system according to the present invention. Members that are the same as or similar to those in the first embodiment shown in FIG.
【００１３】同図に示すように、第１実施例で説明した
クリーンルーム１０の床下チャンバ３４に、更に、排気
ダクト５０を配設し、各エリアに対応するように形成さ
れた排気ダクト５０の吸込口５１、５１…に排気用モー
タダンパ５２、５２…を配設した。排気用モータダンパ
５２、５２…は信号ケーブル４１を介してコントローラ
４２に接続される。これによりコントローラ４２は、温
度センサ４０が検出した各エリアごとの代表温度に基づ
いて給気用モータダンパ２２、２２…の開度を調節する
と共に、排気用モータダンパ５２、５２…の開度を調節
する。またグレーチング３２を介して床下チャンバ３４
に排出されたエアは、その一部が、排気用モータダンパ
５２、５２…の吸込口５１、５１…から吸い込まれて還
気エア１６として空調機１２に戻る。As shown in the figure, an exhaust duct 50 is further arranged in the underfloor chamber 34 of the clean room 10 described in the first embodiment, and the suction of the exhaust duct 50 formed corresponding to each area. The exhaust motor dampers 52, 52 ... Are arranged at the ports 51, 51. The exhaust motor dampers 52, 52 ... Are connected to the controller 42 via a signal cable 41. As a result, the controller 42 adjusts the opening degree of the air supply motor dampers 22, 22, ... Based on the representative temperature of each area detected by the temperature sensor 40, and also adjusts the opening degree of the exhaust motor dampers 52, 52. . In addition, an underfloor chamber 34 is provided through the grating 32.
Part of the air discharged to the air conditioner 12 is sucked through the suction ports 51, 51 ... Of the exhaust motor dampers 52, 52 ... And returns to the air conditioner 12 as return air 16.
【００１４】このように構成された本発明の第２実施例
によれば、各エリアＡ〜Ｆ毎に配設された温度センサ４
０、４０…によって検出された各エリアＡ〜Ｆ毎の代表
温度がコントローラ４２に逐次入力されると、コントロ
ーラ４２は、各エリアＡ〜Ｆ毎に配設された給気用モー
タータンパ２２、２２…及び排気用モータータンパ５
２、５２…の両方の開度を調整する。According to the second embodiment of the present invention thus constructed, the temperature sensor 4 is provided in each of the areas A to F.
When the representative temperatures of the areas A to F detected by 0, 40, ... Are sequentially input to the controller 42, the controller 42 causes the air supply motor tampers 22, 22 arranged in the areas A to F to be arranged. ... and exhaust motor tamper 5
Adjust both openings of 2, 52, ....
【００１５】このように構成された第二実施例によれ
ば、同図に示すように、クリーンルーム１０内のエリア
Ａに発熱装置６０が稼働して、エリアＡの温度が設定温
度よりも高くなると、コントローラ４２はエリアＡに対
応する給気用モータダンパ２２の開度を大きくしてエリ
アＡに対応する給気ダクト２０の吹出口２１から吹き出
す冷たい空調エア１８の風量を大きくする。同時にコン
トローラ４２はエリアＡに対応する排気用モータダンパ
２２の開度を大きくしてエリアＡから空調機１２に戻さ
れる還気エア１６の量を多くする。これによりエリアＡ
に吹き出されるエア１９の冷熱量が大きくなると共に、
該エリアからより多くの温度の高いエアが空調機１２に
戻る為、第一実施例に比べて、よりきめ細かな温度制御
が可能となりクリーンルーム１０内の温度むらの発生を
更に効率良く防止することができる。According to the second embodiment thus constructed, as shown in the figure, when the heat generating device 60 operates in the area A in the clean room 10 and the temperature of the area A becomes higher than the set temperature. The controller 42 increases the opening degree of the air supply motor damper 22 corresponding to the area A to increase the volume of the cold conditioned air 18 blown out from the air outlet 21 of the air supply duct 20 corresponding to the area A. At the same time, the controller 42 increases the opening degree of the exhaust motor damper 22 corresponding to the area A to increase the amount of the return air 16 returned from the area A to the air conditioner 12. Area A
As the amount of cold heat of the air 19 blown into the air increases,
Since more air having a higher temperature returns from the area to the air conditioner 12, finer temperature control can be performed as compared with the first embodiment, and the occurrence of temperature unevenness in the clean room 10 can be prevented more efficiently. it can.
【００１６】尚、上記実施例では、給気ダクトの吹出口
２１、給気用モータダンパ２２、温度センサ４０、排気
ダクトの吸込口５１、排気用モータダンパ５２をそれぞ
れ６台によって構成したが、これに限られるものではな
く、クリーンルームの広さ、機器の設置の仕方に応じて
それぞれの台数を設定すれば良い。上記実施例では、本
発明に係るクリーンルームの空調システムをファンフィ
ルタユニット方式のクリーンルームに適用しているが、
天井チャンバ方式のクリーンルームにも適用することが
できる。In the above embodiment, the air supply duct outlet 21, the air supply motor damper 22, the temperature sensor 40, the exhaust duct suction port 51, and the exhaust motor damper 52 each consist of six units. The number is not limited, and the number of each may be set according to the size of the clean room and the installation method of the equipment. In the above embodiment, the air conditioning system for a clean room according to the present invention is applied to a fan filter unit type clean room,
It can also be applied to a ceiling chamber type clean room.
【００１７】上記実施例では、リタンスペースを形成し
たクリーンルームの例で説明したがリタンスペースの無
いクリーンルームにも適用することができる。上記実施
例では、クリーンルーム内の温度制御システムの例で説
明したが、これに限られるものではなく、湿度センサを
用いることにより湿度制御システムとしても適用するこ
とが可能である。In the above embodiment, the example of the clean room in which the return space is formed has been described, but the present invention can be applied to a clean room without a return space. In the above embodiment, an example of a temperature control system in a clean room has been described, but the present invention is not limited to this, and a humidity sensor can also be used as a humidity control system.
【００１８】[0018]
【発明の効果】以上説明したように本発明に係るクリー
ンルームの空調システムによれば、空調機から供給され
る空調エア自体の温度を変えることなく、各エリアごと
に供給するエアの冷房熱または温熱量を制御することが
できるので、クリーンルーム内に温度むらが発生しない
ようにすることができる。As described above, according to the air conditioner system for a clean room of the present invention, the cooling heat or the heating heat of the air supplied to each area can be maintained without changing the temperature of the conditioned air itself supplied from the air conditioner. Since the amount can be controlled, it is possible to prevent temperature unevenness from occurring in the clean room.
【００１９】また、空調機から供給される空調エア自体
の温度を変える必要がないので、空調機の冷却部、加熱
部等の稼働が減少し省エネ化を図ることができる。Further, since it is not necessary to change the temperature of the conditioned air itself supplied from the air conditioner, the operation of the cooling part, the heating part, etc. of the air conditioner can be reduced and energy can be saved.
【図１】本発明に係るクリーンルームの空調システムの
第１実施例を説明する全体構成図FIG. 1 is an overall configuration diagram illustrating a first embodiment of a clean room air conditioning system according to the present invention.
【図２】本発明に係るクリーンルームの空調システムの
第２実施例を説明する全体構成図FIG. 2 is an overall configuration diagram illustrating a second embodiment of an air conditioning system for a clean room according to the present invention.
【図３】従来のクリーンルームの空調システムを説明す
る全体構成図FIG. 3 is an overall configuration diagram illustrating a conventional clean room air conditioning system.
１０…クリーンルーム １２…空調機 ２０…給気ダクト ２１…吹出口 ２２…給気用モータダンパ ３１…仕切板 ４０…温度センサ ４２…コントロー
ラ ５０…排気ダクト ５１…吸込口 ５２…排気用モータダンパ ６０…発熱装置10 ... Clean room 12 ... Air conditioner 20 ... Air supply duct 21 ... Air outlet 22 ... Air supply motor damper 31 ... Partition plate 40 ... Temperature sensor 42 ... Controller 50 ... Exhaust duct 51 ... Suction port 52 ... Exhaust motor damper 60 ... Exothermic device
Claims (2)
ダクトを介して前記天井裏空間に給気し、天井面に敷設
された多数のファンフィルタユニットからクリーンルー
ム内に下向流として吹き出すと共に、クリーンルーム床
面を形成するグレーチング床から床下空間に排出するク
リーンルームの空調システムに於いて、 前記クリーンルーム内を縦方向に複数のエリアに分割す
ると共に、前記エリアごとの温度を個々に検出する温度
センサを設け、 前記給気ダクトの吹出口を前記分割したエリアごとに対
応させて形成すると共に、前記吹出口にそれぞれ給気用
開閉ダンパを設け、 前記温度センサで検出されるエリアごとの温度に基づい
て前記エリアに対応する給気用開閉ダンパの開閉率を制
御することを特徴とするクリーンルームの空調システ
ム。1. Air-conditioned air is supplied to the above-ceiling space through an air supply duct arranged in the above-ceiling space, and is provided as a downward flow into a clean room from a large number of fan filter units laid on the ceiling surface. In a clean room air-conditioning system that blows out and discharges from a grating floor forming a clean room floor surface to an underfloor space, the clean room is divided into a plurality of areas in the vertical direction, and the temperature of each area is individually detected. A temperature sensor is provided, the air outlet of the air supply duct is formed corresponding to each of the divided areas, and an air supply opening / closing damper is provided at each of the air outlets, and the temperature of each area detected by the temperature sensor is provided. The air-conditioning system of a clean room, characterized by controlling the opening / closing rate of the supply air opening / closing damper corresponding to the area. M
して吸込口が形成された排気ダクトを設けると共に、前
記吸込口にそれぞれ排気用開閉ダンパを設け、前記温度
センサで検出されるエリアごとの温度に基づいて前記エ
リアに対応する給気用開閉ダンパ及び前記排気用開閉ダ
ンパの両方の開閉率を制御することを特徴とする請求項
１のクリーンルームの空調システム。2. The underfloor space is provided with an exhaust duct having an intake port formed corresponding to each area, and an exhaust opening / closing damper is provided at each of the intake ports, and each area detected by the temperature sensor. 2. The air conditioning system for a clean room according to claim 1, wherein the opening / closing ratios of both the supply air opening / closing damper and the exhaust air opening / closing damper corresponding to the area are controlled based on the temperature.
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
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|---|---|---|---|
| JP11637195A JP3503265B2 (en) | 1995-04-18 | 1995-04-18 | Clean room air conditioning system |
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| JPH08285343A true JPH08285343A (en) | 1996-11-01 |
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1995
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