JPH08279490A - Plasma system - Google Patents
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- JPH08279490A JPH08279490A JP7080979A JP8097995A JPH08279490A JP H08279490 A JPH08279490 A JP H08279490A JP 7080979 A JP7080979 A JP 7080979A JP 8097995 A JP8097995 A JP 8097995A JP H08279490 A JPH08279490 A JP H08279490A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明はマイクロ波によりプラズ
マを発生させるプラズマ装置に関わる。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a plasma device for generating plasma by microwaves.
【０００２】[0002]
【従来の技術】ガスをマイクロ波によって励起しプラズ
マを発生させる装置をプラズマ装置と称呼する。このプ
ラズマ装置の応用として、プラズマ装置によって得たプ
ラズマもしくはその副産物を用いて加工を行う装置があ
る。例えば半導体材料などをエッチングやアッシングな
どの手法によって加工したいとき、プラズマ中に存在す
るラジカルを被加工物にあてることにより加工を行う。
エッチャントとなるラジカルを発生させるために、プラ
ズマを発生させる装置をプラズマエッチング装置とい
う。2. Description of the Related Art A device for exciting a gas by microwaves to generate plasma is called a plasma device. As an application of this plasma device, there is a device for processing using plasma obtained by the plasma device or its by-product. For example, when it is desired to process a semiconductor material or the like by a method such as etching or ashing, radicals existing in plasma are applied to the object to be processed.
An apparatus that generates plasma to generate radicals that are etchants is called a plasma etching apparatus.
【０００３】プラズマ装置においては、マイクロ波発振
器から出射するマイクロ波をマイクロ波導波管によって
ガス室の上方へ導き、ガス室上部に取り付けられたマイ
クロ波透過窓越しにガス室内に放出する。このマイクロ
波透過窓はプラズマ発生部分の気密性を保持する事とマ
イクロ波をプラズマ発生部分に導入する事の２つの働き
を有している。In the plasma device, the microwave emitted from the microwave oscillator is guided to the upper side of the gas chamber by the microwave waveguide, and is radiated into the gas chamber through the microwave transmitting window attached to the upper part of the gas chamber. The microwave transmitting window has two functions of maintaining the airtightness of the plasma generating portion and introducing the microwave into the plasma generating portion.
【０００４】ところでこのようなプラズマ装置では、プ
ラズマを発生させるガスを封入する際にはガス室内を減
圧する必要があるため、マイクロ波透過窓は外気との気
圧差に耐える強度を持つ部材である事が要求される。ま
た、マイクロ波透過窓は直接プラズマと接するから、エ
ッチャントの浸食に耐えられる材質のものを用いなくて
はならない。これらの要求を満たすためにマイクロ波透
過窓の材質や設置方法についてはいくつかの提案がなさ
れている。By the way, in such a plasma device, since it is necessary to depressurize the inside of the gas chamber when the gas for generating the plasma is enclosed, the microwave transmission window is a member having a strength to withstand the atmospheric pressure difference from the outside air. Things are required. Further, since the microwave transmission window is in direct contact with the plasma, it is necessary to use a material that can withstand the erosion of the etchant. In order to meet these requirements, several proposals have been made regarding the material and installation method of the microwave transmission window.
【０００５】マイクロ波透過窓の材質としては、安価で
熱に強い石英やエッチング耐性が石英の十〜百倍になる
アルミナが良く用いられており、これらを円板状に加工
して用いている。また設置方法としては、これらの材料
からなる窓を単独で使用したり、複数の窓を並列に組み
合わせて二重隔壁として使う方法（特開昭６２−３１１
１２号公報・特開平２−１３２８２６号公報など）等が
提案されている。また、アルミナ板の熱破壊に対しては
マイクロ波透過窓にエアを吹き付ける方法やマイクロ波
透過窓内外に設けた流路に流体を流す方法などでアルミ
ナ板を冷却する方法が提案されている。As a material for the microwave transmitting window, inexpensive and heat-resistant quartz and alumina whose etching resistance is 10 to 100 times that of quartz are often used, and these are processed into a disk shape and used. As the installation method, a window made of these materials may be used alone, or a plurality of windows may be combined in parallel and used as a double partition (Japanese Patent Laid-Open No. 62-311).
No. 12, Japanese Laid-Open Patent Publication No. 2-132826, etc.) have been proposed. Further, with respect to the thermal destruction of the alumina plate, a method of cooling the alumina plate by a method of blowing air to the microwave permeable window or a method of flowing a fluid through a channel provided inside and outside the microwave permeable window has been proposed.
【０００６】[0006]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記のよ
うな構成の従来のマイクロ波透過窓では、以下に述べる
ような問題点が発生してくる。プラズマ装置が稼働して
いる際は多くの場合においてマイクロ波透過窓はプラズ
マを構成するイオンやエッチャントと直接接している。
このためにマイクロ波透過窓は被加工物よりも浸食を受
け易い状況にある。However, the conventional microwave transmitting window having the above-mentioned structure has the following problems. In many cases, the microwave transmission window is in direct contact with the ions and etchants that make up the plasma when the plasma device is operating.
For this reason, the microwave transmission window is more likely to be corroded than the work piece.
【０００７】プラズマ化するガスにはしばしばフッ素系
のガスが用いられる。このガスは通常の状態であっても
強い浸食性を持つガス体である。この上さらにこれらの
ガス体をプラズマ化させると、プラズマ化したガス体は
エッチャントの浸食作用によりマイクロ波透過窓を浸食
し、また高温になったガス体自体も常温時よりも活性化
してマイクロ波透過窓を浸食する。このような作用によ
りプラズマ及びガス体による化学的浸食をうける度合い
が大きいことがマイクロ波透過窓としての石英板の寿命
を短くする原因となっている。一方アルミナ板はこれら
ガス体の化学的浸食作用には強いが、その反面石英に比
べて熱衝撃に弱いという欠点を持つため、石英のように
高強度のマイクロ波を投入することができない。A fluorine-based gas is often used as the gas to be turned into plasma. This gas is a gas body that has a strong corrosiveness even in a normal state. When these gas bodies are further made into plasma, the gas bodies that have turned into plasma erode the microwave transmission window due to the erosion action of the etchant, and the gas bodies that have reached a high temperature are activated more than at room temperature and become microwaves. Erosion of transparent window. The large degree of chemical erosion by the plasma and the gas body due to such an action is a cause of shortening the life of the quartz plate as the microwave transmission window. On the other hand, the alumina plate is strong against the chemical erosion action of these gas bodies, but on the other hand, it has a drawback that it is weak against thermal shock as compared with quartz, so that it is not possible to inject microwave of high intensity like quartz.
【０００８】さらにプラズマ化したガス体が持つイオン
が電磁気学的な作用によって加速されるマルチパクタリ
ング現象によってイオンとマイクロ波透過窓との衝突が
おき、このときマイクロ波透過窓は力学的な破壊を受け
る。この作用によって破壊される度合いは石英板よりも
アルミナ板の方が大きいことが知られている。加速され
たイオンは一定の場所に集中して衝突する傾向があるた
めマイクロ波透過窓に非常に深い穿孔を形成する。この
ことによりマイクロ波透過窓はガス室の気圧変化等によ
る応力を作用させると直ぐに割れる状態にまでなる。Further, the ions of the gasified substance that has been turned into plasma are accelerated by an electromagnetic action, and the multipactoring phenomenon causes collision of the ions with the microwave transmission window. At this time, the microwave transmission window is mechanically destroyed. Receive. It is known that the alumina plate has a greater degree of destruction by this action than the quartz plate. Accelerated ions tend to concentrate and collide in certain places, thus forming very deep holes in the microwave transparent window. As a result, the microwave transmission window is immediately broken when stress due to atmospheric pressure change in the gas chamber is applied.
【０００９】前記したマイクロ波透過窓に気体を吹き掛
ける方法のように流体で熱を奪う方法では、気体を万遍
なくマイクロ波透過窓全体に吹き掛けることが難しいこ
とや、流体をマイクロ波透過窓の内外に循環させるシス
テムが別途必要になるなど、装置の複雑化や肥大化を招
く。In the method of absorbing heat with a fluid, such as the method of blowing a gas onto the microwave transmitting window, it is difficult to blow the gas evenly over the entire microwave transmitting window, or the fluid is transmitted through the microwave transmitting window. A separate system for circulating the inside and outside of the window is required, resulting in complication and enlargement of the device.
【００１０】マイクロ波透過窓を二重にして用いる方法
では、二枚のマイクロ波透過窓の間にできる間隙を少な
くともガス室の圧力程度まで減圧する必要がある。この
ための方法として真空ポンプで間隙部のガスを排出する
方法が採られていたが、窓に急激な応力が作用すると窓
の表面にクラックが生じてしまうため、非常に緩やかな
速度で吸引を行わなければならないという問題があっ
た。また、この吸引のための装置を別途用意せねばなら
ず、装置の肥大化を招いていた。In the method in which the microwave transmission windows are doubled, it is necessary to reduce the gap formed between the two microwave transmission windows to at least about the pressure of the gas chamber. As a method for this, a method of discharging the gas in the gap with a vacuum pump was adopted, but when sudden stress is applied to the window, cracks occur on the surface of the window, so suction is performed at a very slow speed. There was a problem that had to be done. In addition, a device for this suction must be prepared separately, resulting in enlargement of the device.
【００１１】本発明は上記のような課題を解決するため
になされたものであり、その目的はプラズマ装置に使わ
れるマイクロ波透過窓の耐久性を簡便に向上させること
にある。The present invention has been made to solve the above problems, and an object thereof is to easily improve the durability of a microwave transmission window used in a plasma device.
【００１２】[0012]
【課題を解決するための手段】本発明は上記のような技
術的課題を解決するために成されたものであり、マイク
ロ波を発振するマイクロ波発振器と、少なくとも一つの
開口部を備えるガス室と、前記マイクロ波を導き、前記
開口部の少なくとも一つから前記ガス室内に前記マイク
ロ波を入射させるマイクロ波出射開口部を備えた導波手
段と、前記マイクロ波出射開口部と対向している前記開
口部に備えられ、石英よりなる部材のガス室側の面の少
なくとも一部にアルミナもしくはアルミナを含有する材
料を被着したマイクロ波透過窓と、を具備することを特
徴とするプラズマ装置である。このときマイクロ波透過
窓を加熱する手段を備えることが好ましい。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above technical problems, and a microwave chamber for oscillating a microwave and a gas chamber having at least one opening. And a waveguide means having a microwave exit opening for guiding the microwave into the gas chamber through at least one of the openings, and the waveguide means is opposed to the microwave exit opening. A microwave transmission window provided in the opening, the microwave transmission window having alumina or a material containing alumina deposited on at least a part of a surface of a member made of quartz on the gas chamber side. is there. At this time, it is preferable to provide means for heating the microwave transmission window.
【００１３】また本発明は、マイクロ波を発振するマイ
クロ波発振器と、少なくとも一つの開口部を備えるガス
室と、前記開口部に回動自在に取り付けられたマイクロ
波透過窓と、前記マイクロ波を導き、前記マイクロ波を
放出するマイクロ波出射開口部が前記マイクロ波透過窓
の回転の中心から偏心して設けられる導波手段と、を具
備することを特徴とするプラズマ装置である。Further, according to the present invention, a microwave oscillator for oscillating a microwave, a gas chamber having at least one opening, a microwave transmission window rotatably attached to the opening, and the microwave are provided. And a waveguide means provided with a microwave emission opening for emitting the microwaves, the waveguide means being eccentric from the center of rotation of the microwave transmission window.
【００１４】また本発明は、マイクロ波を発振するマイ
クロ波発振器と、少なくとも一つの開口部を備えるガス
室と、前記マイクロ波を導き、前記開口部の少なくとも
一つから前記ガス室内に前記マイクロ波を入射させるマ
イクロ波出射開口部を備えた導波手段と、前記マイクロ
波出射開口部と対向している前記開口部に設けられるマ
イクロ波透過窓と、前記マイクロ波透過窓の前記ガス室
側に設けられる、前記マイクロ波が通過する貫通孔を備
えている金属部材と、を具備することを特徴とするプラ
ズマ装置である。The present invention is also directed to a microwave oscillator for oscillating a microwave, a gas chamber having at least one opening, the microwave being introduced, and the microwave being introduced into the gas chamber through at least one of the openings. On the gas chamber side of the microwave transmitting window, and a microwave transmitting window provided in the opening facing the microwave emitting opening. And a metal member provided with a through hole through which the microwave passes, the plasma device.
【００１５】また本発明は、マイクロ波を発振するマイ
クロ波発振器と、少なくとも一つの開口部を備えるガス
室と、前記マイクロ波を導き、前記開口部の少なくとも
一つから前記ガス室内に前記マイクロ波を入射させるマ
イクロ波出射開口部を備えた導波手段と、前記マイクロ
波出射開口部と対向している前記開口部に設けられるマ
イクロ波透過窓と、前記マイクロ波透過窓の前記導波手
段側に載置された放熱体と、を具備することを特徴とす
るプラズマ装置である。Further, according to the present invention, a microwave oscillator for oscillating a microwave, a gas chamber having at least one opening, the microwave is introduced, and the microwave is introduced into the gas chamber through at least one of the openings. A waveguide means having a microwave emission opening, a microwave transmission window provided in the opening facing the microwave emission opening, and the microwave transmission window on the waveguide side. And a heat radiator mounted on the plasma device.
【００１６】また本発明は、マイクロ波を発振するマイ
クロ波発振器と、少なくとも一つの開口部を備えるガス
室と、前記マイクロ波を導き、前記開口部の少なくとも
一つから前記ガス室内に前記マイクロ波を入射させるマ
イクロ波出射開口部を備えた導波手段と、前記マイクロ
波出射開口部と対向している前記開口部に備えられ、石
英より成り間隙部を間に有して配設された第一の部材と
第二の部材を有するマイクロ波透過窓と、を具備するプ
ラズマ装置において、前記第一の部材と前記第二の部材
とで成す間隙部と前記ガス室とを結ぶ連通路を具備する
ことを特徴とするプラズマ装置である。Further, according to the present invention, a microwave oscillator for oscillating a microwave, a gas chamber having at least one opening, a microwave is introduced, and the microwave is introduced into the gas chamber through at least one of the openings. A waveguide means provided with a microwave emission opening, and a first portion provided in the opening opposite to the microwave emission opening and made of quartz and having a gap therebetween. A plasma device including a microwave transmission window having a first member and a second member, comprising a communication passage connecting a gap formed by the first member and the second member and the gas chamber. The plasma device is characterized in that
【００１７】[0017]
【作用】本発明のプラズマ装置及びマイクロ波透過窓は
上記のような構成により、以下の作用を奏する。第一の
発明では、マイクロ波によって発生したプラズマに浸食
されにくいアルミナを石英板の表面に被着しておくの
で、このアルミナが熱によって破壊作用を受けても石英
板と一体になっていることにより崩壊には至らず、また
石英板の表面はアルミナにより防護され化学的浸食作用
の影響も受けない。The plasma device and the microwave transmission window of the present invention have the following actions due to the above-mentioned configuration. In the first aspect of the present invention, the surface of the quartz plate is coated with alumina that is not easily corroded by the plasma generated by the microwave, so that the alumina is integrated with the quartz plate even if it is destroyed by heat. Therefore, the surface of the quartz plate is protected by alumina and is not affected by chemical erosion.
【００１８】第二の発明では、導波路の開口をマイクロ
波透過窓から偏心させて設置しているため、プラズマに
よるマイクロ波透過窓の浸食はマイクロ波透過窓の中心
から偏心した位置で行われる。マイクロ波透過窓は一定
時間使用後もしくは常時一定の角速度で回転させ浸食を
受ける場所を変化させるので、マイクロ波透過窓の全面
に渡り浸食される。In the second aspect of the invention, since the opening of the waveguide is installed eccentrically from the microwave transmission window, the microwave transmission window is eroded by the plasma at a position eccentric from the center of the microwave transmission window. . The microwave transmission window is eroded over the entire surface of the microwave transmission window because the microwave transmission window is used for a certain period of time or is constantly rotated at a constant angular velocity to change the place to be eroded.
【００１９】第三の発明では、金属部材に設けられた貫
通孔を通過したマイクロ波がプラズマを発生させ、同時
にこのプラズマ中に含まれるイオンを電磁気学的作用に
よって運動させる（マルチパクタリング現象）が、この
うち窓の設けてある方向へ向かって加速されたイオンの
動きを金属部材で遮断する。金属は脆性が低く、延性・
展性が高いためマルチパクタリングの影響を受けにく
い。In the third aspect of the invention, the microwave passing through the through hole provided in the metal member generates plasma, and at the same time, the ions contained in the plasma move by electromagnetic action (multipacting phenomenon). However, the movement of the ions accelerated toward the direction in which the window is provided is blocked by the metal member. Metal has low brittleness and ductility
Highly malleable, less susceptible to multipactoring.
【００２０】第四の発明では、マイクロ波によって発生
したプラズマがマイクロ波透過窓に熱を与え、その熱を
導波管側に設けられた放熱体が吸収し雰囲気中に伝導さ
せることによりマイクロ波透過窓の過度の温度上昇によ
る熱破壊を防ぐ。In the fourth aspect of the invention, the plasma generated by the microwaves gives heat to the microwave transmission window, and the heat is absorbed by the radiator provided on the waveguide side and conducted to the atmosphere. Prevents thermal destruction due to excessive temperature rise of the transparent window.
【００２１】第五の発明では、第一の部材と第二の部材
からなるマイクロ波透過窓をマイクロ波が透過しガス室
内にプラズマを発生させる。第一の部材はガス室の密封
の役目を負い、第二の部材はガスの浸食を受ける役目を
負う。第一の部材は第二の部材が障壁となってガスによ
る浸食を受けず、プラズマによる浸食作用はすべて第二
の部材が受ける。一方大気による圧力はすべて第一の部
材が受け、第二の部材には大気による圧力が生じないか
ら、自重による崩壊が起こらない程度まで浸食が進んで
から交換することが可能となる。第一の部材と第二の部
材とが成す間隙部はガス室内の圧力と同等の圧力にする
必要があるが、ガス室と間隙部は連通路によって接続さ
れているためマイクロ波透過窓に余計な負担をかけるこ
と無く間隙部を減圧することができる。According to the fifth aspect of the invention, the microwave is transmitted through the microwave transmitting window formed of the first member and the second member to generate plasma in the gas chamber. The first member serves to seal the gas chamber and the second member serves to erode gas. The second member acts as a barrier to prevent the first member from being eroded by the gas, and the erosion effect of the plasma is entirely applied to the second member. On the other hand, since the first member receives all the pressure from the atmosphere and the second member does not have the pressure from the atmosphere, it is possible to replace it after erosion progresses to the extent that collapse due to its own weight does not occur. The gap formed by the first member and the second member needs to have a pressure equivalent to the pressure in the gas chamber, but since the gas chamber and the gap are connected by the communication passage, it is unnecessary for the microwave transmission window. It is possible to reduce the pressure in the gap without imposing a heavy burden.
【００２２】[0022]
【実施例】第一の発明を実施するための装置の構成例を
図を用いて説明する。図１に示す装置は、図示せぬマイ
クロ波発振器から出射したマイクロ波１を導波する導波
手段である導波管２と、この導波管２の終端部もしくは
終端部近傍に設けられた開口部で前記導波管２と接続さ
れているガス室６と、導波管２とガス室６との接続部も
しくは接続部近傍に位置し、導波管２を伝わってきたマ
イクロ波１を透過させガス室６内に導入するマイクロ波
透過窓３と、図示せぬガス供給器から放出されるガスを
ガス室６内のマイクロ波透過窓３近傍に導入するガス供
給系４と、図示せぬ排出ポンプと接続されガス室６内雰
囲気を排気するガス排気系７と、ガス室６内に設けられ
被加工物５が載置されるテーブル８とから構成されてい
る。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS A configuration example of an apparatus for carrying out the first invention will be described with reference to the drawings. The apparatus shown in FIG. 1 is provided with a waveguide 2 which is a waveguide means for guiding a microwave 1 emitted from a microwave oscillator (not shown), and a terminal end portion of the waveguide 2 or a terminal end portion thereof. The gas chamber 6 connected to the waveguide 2 at the opening and the microwave 1 transmitted through the waveguide 2 located at or near the connection between the waveguide 2 and the gas chamber 6 A microwave transmission window 3 for transmitting the gas and introducing it into the gas chamber 6, a gas supply system 4 for introducing gas released from a gas supplier (not shown) into the gas chamber 6 near the microwave transmission window 3, and A gas exhaust system 7 for exhausting the atmosphere in the gas chamber 6 which is connected to a vacuum exhaust pump, and a table 8 provided in the gas chamber 6 on which the workpiece 5 is placed.
【００２３】第一の発明ではマイクロ波透過窓３として
少なくともプラズマに接する方の面の少なくとも一部に
アルミナを被着した石英板を用いる。本実施例における
マイクロ波透過窓用部材としてφ３４０ｍｍの石英円板
を用意し、この中心部にφ２００ｍｍの範囲に渡ってア
ルミナをプラズマ溶射した。このアルミナによる被膜９
の膜厚は、円板中心部φ１００ｍｍの範囲内で０．０４
〜０．０５ｍｍである。このマイクロ波透過窓を用いた
プラズマ装置を稼働したときの浸食の様子を図２に示
す。ただしガス室内圧力４０Ｐａ、エッチングガスＣＦ
4/Ｏ2=６００／６００ｓｃｃｍ、マイクロ波出力１ｋＷ
の条件で動作させたときの値である。一般の石英板とア
ルミナの被着を施した石英板では浸食を受ける割合が明
らかに異なる。In the first invention, as the microwave transmitting window 3, a quartz plate is used in which at least a part of the surface in contact with plasma is coated with alumina. A quartz disk having a diameter of 340 mm was prepared as a member for the microwave transmitting window in this example, and alumina was plasma sprayed on the central portion of the quartz disk over a range of 200 mm. This alumina coating 9
Has a film thickness of 0.04
~ 0.05 mm. FIG. 2 shows a state of erosion when the plasma device using this microwave transmission window is operated. However, gas chamber pressure 40 Pa, etching gas CF
4 / O2 = 600 / 600sccm, microwave output 1kW
It is a value when operated under the condition of. The rate of erosion is obviously different between a general quartz plate and a quartz plate coated with alumina.
【００２４】石英板に被着するセラミクス材料はアルミ
ナ単体でなくとも用いることができる。例えば８５Ａｌ
2 Ｏ3 ・１５ＳｉＯ2 や８０Ａｌ2 Ｏ3 ・２０ＳｉＯ2
などのｎＡｌ2 Ｏ3 ・ｍＳｉＯ2 形の材料を用いても良
い。The ceramic material to be adhered to the quartz plate can be used without being alumina alone. For example, 85 Al
2 O 3 · 15SiO 2 and 80Al 2 O 3 · 20SiO 2
NAl 2 O 3 · mSiO 2 type material such as the above may be used.
【００２５】第一の発明にはマイクロ波透過窓３を加熱
する手段として更に加熱器を設けると好ましい。アルミ
ナ膜を被着した石英板は例えば枚葉化されたラインにお
いて連続的に長時間稼働させている場合には問題なく使
用できるが、断続的に装置を稼働させる場合では石英と
アルミナの膨張率の違いによる膜剥がれが起きることが
ある。こうした場合プラズマ装置を稼働させる前段階に
おいて、加熱器を用いてあらかじめ設定しておく最適値
までマイクロ波透過窓を徐々に暖め、その後プラズマ装
置を作動させる。また、プラズマ装置を停止する際には
加熱器を用いて徐々にマイクロ波透過窓の温度を低くさ
せていく。このことによって膨張率の違いによる膜剥が
れが予防できる。In the first invention, it is preferable to further provide a heater as a means for heating the microwave transmitting window 3. A quartz plate coated with an alumina film can be used without problems if it is operated continuously for a long time in a single-wafer line, but if the device is operated intermittently, the expansion coefficient of quartz and alumina The film peeling may occur due to the difference of. In such a case, in a stage before operating the plasma device, the microwave transmission window is gradually warmed to an optimum value set in advance by using a heater, and then the plasma device is operated. When stopping the plasma device, the temperature of the microwave transmission window is gradually lowered by using a heater. This prevents film peeling due to the difference in expansion coefficient.
【００２６】第二の発明を実施するための装置の構成例
を図を用いて説明する。マイクロ波透過窓が浸食を受け
る割合が大きいのは導波管２の開口部１０付近である。
これは、マイクロ波の影響が大きい導波管開口部付近の
プラズマが最も活性化しているためである。一方、導波
管開口部１０から離れた部分ではプラズマの強度が低い
ため比較的浸食をうける割合が小さい。そこで、この浸
食の偏りを解消するために導波管開口部１０をマイクロ
波透過窓３上において全体的に移動させるとよい。A structural example of an apparatus for carrying out the second invention will be described with reference to the drawings. It is in the vicinity of the opening 10 of the waveguide 2 that the microwave transmission window is eroded at a high rate.
This is because the plasma near the waveguide opening, which is greatly affected by microwaves, is most activated. On the other hand, in the portion away from the waveguide opening 10, the intensity of plasma is low, and thus the rate of erosion is relatively small. Therefore, it is advisable to move the waveguide opening 10 entirely on the microwave transmission window 3 in order to eliminate the uneven erosion.
【００２７】本実施例では９６×１７ｍｍの導波管開口
部１０を図３のようにφ３００ｍｍの円形マイクロ波透
過窓の中心点から５０ｍｍ偏心して接続し、マイクロ波
透過窓１３を１バッチ加工終了毎に１２０度ずつ回転さ
せて使用した。通常のプラズマ装置での石英板の寿命は
７０時間であったが上記条件での石英板の寿命は１２０
時間となり、寿命が７０％以上延びた。In this embodiment, the 96 × 17 mm waveguide opening 10 is eccentrically connected by 50 mm from the center point of the circular microwave transparent window of φ300 mm as shown in FIG. 3, and the microwave transparent window 13 is finished in one batch. It was used by rotating it by 120 degrees each time. The life of the quartz plate in an ordinary plasma device was 70 hours, but the life of the quartz plate under the above conditions was 120 hours.
It is time, and the life is extended by 70% or more.
【００２８】第二の発明でマイクロ波透過窓を回動させ
るとき、マイクロ波透過窓の側部もしくは側部近傍に設
ける駆動装置により回動させる方法がある。駆動装置に
はゴムローラを備えたモータ等を用いる。In the second invention, when the microwave transmitting window is rotated, there is a method of rotating the microwave transmitting window by a driving device provided on the side of the microwave transmitting window or in the vicinity of the side. A motor provided with a rubber roller or the like is used as the driving device.
【００２９】第三の発明を実施するための装置の構成例
を図を用いて説明する。図４に示す装置は、図示せぬマ
イクロ波発振器から出射したマイクロ波１を導波する導
波手段である導波管２と、この導波管２の終端部もしく
は終端部近傍に設けられた開口部で前記導波管２と接続
されているガス室６と、導波管２とガス室６との接続部
もしくは接続部近傍に位置し、導波管２を伝わってきた
マイクロ波１を透過させガス室６内に導入するマイクロ
波透過窓３と、図示せぬガス供給器から放出されるガス
をガス室６内のマイクロ波透過窓３近傍に導入するガス
供給系４と、図示せぬ排出ポンプと接続されガス室６内
雰囲気を排気するガス排気系７と、ガス室６内に設けら
れ被加工物５が載置されるテーブル８と、マイクロ波を
通す貫通孔を備えた金属板２０とから構成されている。A structural example of an apparatus for carrying out the third invention will be described with reference to the drawings. The device shown in FIG. 4 is provided with a waveguide 2 which is a waveguide means for guiding the microwave 1 emitted from a microwave oscillator (not shown), and a terminal end portion of the waveguide 2 or a terminal end portion thereof. The gas chamber 6 connected to the waveguide 2 at the opening and the microwave 1 transmitted through the waveguide 2 located at or near the connection between the waveguide 2 and the gas chamber 6 A microwave transmission window 3 for transmitting the gas and introducing it into the gas chamber 6, a gas supply system 4 for introducing gas released from a gas supplier (not shown) into the gas chamber 6 near the microwave transmission window 3, and A metal having a gas exhaust system 7 connected to an exhaust pump for exhausting the atmosphere in the gas chamber 6, a table 8 provided in the gas chamber 6 on which the workpiece 5 is placed, and a through hole through which microwaves pass. It is composed of a plate 20.
【００３０】マルチパクタリング現象による穿孔２１が
生じる位置は図５の実線の長方形で示されるような導波
管の開口を持つ装置の場合、図中曲線に囲まれた位置に
現れる。したがって、この位置を覆う大きさの貫通孔を
設けた金属板を窓３に近接させて設けることにより、マ
イクロ波によって加速されたイオンを遮断しイオンのマ
イクロ波透過窓への衝突を回避することが可能となる。
本実施例では図５の点線の長方形で示されるように９６
×２７ｍｍの大きさの導波管の開口に対し、９６×１７
ｍｍの貫通孔を設けたアルミニウム板を設置した結果マ
ルチパクタリング現象による穿孔２１はほぼ消滅した。
金属板を形成する材料はガス室を形成している材料であ
れば使用可能である。例えばステンレス板を用いるのが
好ましい。The position where the perforations 21 are formed due to the multipactoring phenomenon appears at the position surrounded by the curved line in the figure in the case of the device having the waveguide opening as shown by the solid line rectangle in FIG. Therefore, by providing a metal plate having a through-hole having a size covering this position in the vicinity of the window 3, the ions accelerated by microwaves are blocked and collision of the ions with the microwave transmission window is avoided. Is possible.
In this embodiment, as shown by a dotted rectangle in FIG.
96 × 17 for an opening of a waveguide with a size of 27 mm
As a result of installing the aluminum plate having the mm through holes, the perforations 21 due to the multipactoring phenomenon almost disappeared.
As the material forming the metal plate, any material forming the gas chamber can be used. For example, it is preferable to use a stainless plate.
【００３１】マイクロ波透過窓と金属部材との間隙部は
できるだけ近接させるのが好ましい。例えば直径φ３０
０ｍｍ、厚さ１０ｍｍの石英板が大気とガス室内の気圧
差によってたわむ量は概ね０．２ｍｍ程度であるから、
この場合金属部材は０．２〜０．３ｍｍ程度の隙間を開
けて設けると好ましい。It is preferable that the gap between the microwave transmitting window and the metal member be as close as possible. For example, diameter φ30
Since the amount of deflection of a 0 mm thick quartz plate with a thickness of 10 mm is approximately 0.2 mm due to the atmospheric pressure difference between the atmosphere and the gas chamber,
In this case, the metal member is preferably provided with a gap of about 0.2 to 0.3 mm.
【００３２】第四の発明を実施するための装置の構成例
を図を用いて説明する。図６のプラズマ装置は、図示せ
ぬマイクロ波発振器から出射したマイクロ波１を導波す
る導波手段である導波管２と、この導波管２の終端部も
しくは終端部近傍に設けられた開口部で前記導波管２と
接続されているガス室６と、導波管２とガス室６との接
続部もしくは接続部近傍に位置し、導波管２を伝わって
きたマイクロ波１を透過させガス室６内に導入するアル
ミナ製のマイクロ波透過窓３と、図示せぬガス供給器か
ら放出されるガスをガス室６内のマイクロ波透過窓３近
傍に導入するガス供給系４と、図示せぬ排出ポンプと接
続されガス室６内雰囲気を排気するガス排気系７と、ガ
ス室６内に設けられ被加工物５が載置されるテーブル８
と、マイクロ波透過窓３の導波管２側に設けられる誘電
体ブロック３０からなる放熱体とから構成されている。A structural example of an apparatus for carrying out the fourth invention will be described with reference to the drawings. The plasma device shown in FIG. 6 is provided with a waveguide 2 which is a waveguide means for guiding the microwave 1 emitted from a microwave oscillator (not shown), and a terminal end portion of the waveguide 2 or a terminal end portion thereof. The gas chamber 6 connected to the waveguide 2 at the opening and the microwave 1 transmitted through the waveguide 2 located at or near the connection between the waveguide 2 and the gas chamber 6 A microwave transmission window 3 made of alumina which is permeated and introduced into the gas chamber 6, and a gas supply system 4 which introduces gas emitted from a gas supply device (not shown) into the gas chamber 6 near the microwave transmission window 3. , A gas exhaust system 7 connected to an exhaust pump (not shown) for exhausting the atmosphere in the gas chamber 6, and a table 8 provided in the gas chamber 6 on which the workpiece 5 is placed.
And a heat radiator composed of a dielectric block 30 provided on the waveguide 2 side of the microwave transmission window 3.
【００３３】誘電体ブロック３０には例えばセラミクス
が用いられ、熱伝導率が高いものや誘電体損の小さい物
質を用いる。その中でも特に熱伝導率の高い物質を用い
たいときには窒化アルミを、誘電体損の低い物を用いた
いときにはアルミナを載置すると好ましい。誘電体ブロ
ックにはブロックの表面積を大きくするために放熱フィ
ンを設けても良い。また、アルミナ製のマイクロ波透過
窓と誘電体ブロックを一体に成型して用いると放熱効果
がより大きくなり好ましい。The dielectric block 30 is made of, for example, ceramics, and is made of a material having a high thermal conductivity or a material having a small dielectric loss. Among them, it is preferable to mount aluminum nitride when using a substance having a high thermal conductivity, and to mount alumina when using a substance having a low dielectric loss. Radiating fins may be provided on the dielectric block to increase the surface area of the block. Further, it is preferable that the microwave transmitting window made of alumina and the dielectric block are integrally molded and used, because the heat radiation effect is further increased.
【００３４】マイクロ波透過窓３の上に直接誘電体ブロ
ック３０を設けるとき、誘電体ブロックの表面荒さ等機
械的精度の問題から点接触する部分ができる場合があ
り、この部分を中心に急激な冷却作用が生じることがあ
る。アルミナ板は急激な温度変化があると破壊されてし
まうので直置きは避けた方が望ましい。例えば図６に示
すように隙間を開けて設置するか、マイクロ波透過窓の
上にテフロン・テフロングリス・フッ素グリス・窒化ボ
ロン・シリコンなどの機械的精度を吸収できる誘電体の
物質を塗布・貼付し、これを挟むようにして誘電体ブロ
ックを置く。誘電体ブロックとマイクロ波透過窓との間
に隙間を設けるとき、余り大きく隙間を開けるとマイク
ロ波透過窓に対する冷却効果が落ちる。しかし逆にこの
隙間を十分に大きく設けないとき、誘電体ブロックが熱
膨脹したときに起こるマイクロ波透過窓との接触によっ
てマイクロ波透過窓に応力を発生させ、マイクロ波透過
窓を破壊してしまうことがある。したがって誘電体ブロ
ックが熱膨張を起こしてもマイクロ波透過窓に接触しな
い程度に開けておくのが良い。同様に誘電体ブロックの
他端側（導波管２の天井側）も熱膨張を起こしたときに
接触を起こさない程度に隙間を開けておく。この隙間の
大きさは例えばアルミナのブロックを用いた場合で０．
１ｍｍ程度になる。When the dielectric block 30 is provided directly on the microwave transmitting window 3, there may be a point contact portion due to mechanical precision problems such as surface roughness of the dielectric block. Cooling may occur. It is desirable to avoid placing the alumina plate directly because it will be destroyed if there is a rapid temperature change. For example, install as shown in Fig. 6 or install or paste a dielectric substance such as Teflon, Teflon grease, fluorine grease, boron nitride, silicon, etc. that can absorb the mechanical precision on the microwave transparent window. Then, the dielectric block is placed so as to sandwich it. When a gap is provided between the dielectric block and the microwave transmission window, if the gap is too large, the cooling effect on the microwave transmission window is reduced. However, conversely, if this gap is not made sufficiently large, stress will be generated in the microwave transmission window due to contact with the microwave transmission window that occurs when the dielectric block thermally expands, and the microwave transmission window will be destroyed. There is. Therefore, it is preferable to open the dielectric block so that it does not come into contact with the microwave transmission window even if the dielectric block thermally expands. Similarly, the other end side (the ceiling side of the waveguide 2) of the dielectric block is also provided with a gap to the extent that it does not come into contact when thermal expansion occurs. The size of this gap is, for example, 0.
It will be about 1 mm.
【００３５】本発明のプラズマ装置を、ガス室内圧力７
０Ｐａ、マイクロ波出力１ｋＷ、載置するブロックの材
質をアルミナとし、大きさを１８０×９６×２１．５ｍ
ｍとして動作させたとき、マイクロ波透過窓の温度は図
７のように推移した。図７によればマイクロ波透過窓の
表面温度は非常に低い温度で短時間のうちに定常状態に
落ち着く。The plasma device of the present invention is used in the gas chamber pressure 7
0Pa, microwave output 1kW, material of block to be placed is alumina, and size is 180 × 96 × 21.5m
When operated at m, the temperature of the microwave transmission window changed as shown in FIG. According to FIG. 7, the surface temperature of the microwave transmission window is extremely low and settles to a steady state within a short time.
【００３６】マイクロ波透過窓にアルミナ板を用いる場
合に例えば１ｋＷを越える大出力のマイクロ波を投入す
ると、急激な温度上昇と内部の急峻な温度勾配によって
アルミナ板が熱衝撃による破壊を起こす場合があるが、
放熱体によりこれを未然に防ぐことができる。When an alumina plate is used for the microwave transmitting window and a microwave having a large output exceeding 1 kW is applied, the alumina plate may be destroyed by thermal shock due to a rapid temperature rise and a steep temperature gradient inside. But
This can be prevented by the heat radiator.
【００３７】第五の発明を実施するための装置の構成例
を図を用いて説明する。図８に示す装置は、図示せぬマ
イクロ波発振器から出射したマイクロ波１を導波する導
波手段である導波管２と、この導波管２の終端部もしく
は終端部近傍に設けられた開口部で前記導波管２と接続
されているガス室６と、石英製の板状部材４０と５０と
から構成され、導波管２とガス室６との接続部もしくは
接続部近傍に位置し、導波管２を伝わってきたマイクロ
波１を透過させガス室６内に導入するマイクロ波透過窓
３と、図示せぬガス供給器から放出されるガスをガス室
６内のマイクロ波透過窓３近傍に導入するガス供給系４
と、図示せぬ排出ポンプと接続されガス室６内雰囲気を
排気するガス排気系７と、ガス室６内に設けられ被加工
物５が載置されるテーブル８と、ガス室６とマイクロ波
透過窓３の間隙部６０とを連通接続するガス流路７０と
から構成されている。A structural example of an apparatus for carrying out the fifth invention will be described with reference to the drawings. The apparatus shown in FIG. 8 is provided with a waveguide 2 which is a waveguide means for guiding the microwave 1 emitted from a microwave oscillator (not shown), and a terminal end portion of the waveguide 2 or a terminal end portion thereof. It is composed of a gas chamber 6 connected to the waveguide 2 at an opening and plate members 40 and 50 made of quartz, and is located at or near the connection between the waveguide 2 and the gas chamber 6. Then, the microwave transmitting window 3 for transmitting the microwave 1 transmitted through the waveguide 2 and introducing the microwave into the gas chamber 6, and the gas emitted from the gas supplier (not shown) are transmitted through the microwave in the gas chamber 6. Gas supply system 4 introduced near the window 3
A gas exhaust system 7 connected to an exhaust pump (not shown) for exhausting the atmosphere in the gas chamber 6, a table 8 provided in the gas chamber 6 on which the workpiece 5 is placed, the gas chamber 6 and the microwave. The gas flow path 70 is connected to the gap portion 60 of the transmission window 3 so as to communicate therewith.
【００３８】φ３００ｍｍの石英板をマイクロ波透過窓
として用いる場合、大気の圧力に耐える限界の厚さの目
安は大体７ｍｍ程度である。しかし、窓に大気の圧力が
かからなければ窓がその自重によって崩壊しない程度の
厚さである２ｍｍ程度になるまで使用することが可能と
なる。φ２ｍｍの開口の連通路を設けた装置によれば二
重窓の間隙の雰囲気を吸引する時間を要する事なく迅速
に装置を稼働させる事ができ、φ３００ｍｍ、厚さ１０
ｍｍの石英板を第二の部材として用いたときの寿命は石
英板一枚使用時の約３倍となった。When a quartz plate having a diameter of 300 mm is used as a microwave transmitting window, the limit thickness for withstanding atmospheric pressure is about 7 mm. However, unless the pressure of the atmosphere is applied to the window, the window can be used until it has a thickness of about 2 mm which does not collapse due to its own weight. According to the device provided with the communication passage having the opening of φ2 mm, the device can be quickly operated without the time for sucking the atmosphere in the gap between the double windows, and the diameter is 300 mm and the thickness is 10 mm.
When a quartz plate of mm was used as the second member, the life was about three times that when one quartz plate was used.
【００３９】第五の発明では図９に示すように、ガス室
内８に設けた微小な突起８０を用いて第二の部材５０を
支えることにより、ガス室６と間隙部６０との連通が得
られるように設けても良く、本発明の範囲に含まれるも
のである。図９に示す装置において、石英板の側端面か
ら石英板の収まっている開口を形成している筐体までの
長さが約１ｍｍ、突起部８０の高さが０．５ｍｍ、連通
路の長さが石英板の厚さと同等の約１０ｍｍの装置で加
工を行ったところ、図８の装置と同様にマイクロ波透過
窓の使用可能時間が３倍程度延びた。In the fifth invention, as shown in FIG. 9, by supporting the second member 50 by using the minute projections 80 provided in the gas chamber 8, the communication between the gas chamber 6 and the gap portion 60 is obtained. It may be provided so as to be included in the scope of the present invention. In the apparatus shown in FIG. 9, the length from the side end surface of the quartz plate to the housing forming the opening in which the quartz plate is housed is about 1 mm, the height of the protrusion 80 is 0.5 mm, and the length of the communication path is When processing was performed with an apparatus having a thickness of about 10 mm, which is equivalent to the thickness of the quartz plate, the usable time of the microwave transmission window was extended about three times as in the apparatus of FIG.
【００４０】本実施例ではプラズマエッチング装置につ
いて装置の構成例を説明したが、特にエッチングやアッ
シングを目的とする装置ではなくてもマイクロ波によっ
てプラズマを励起する装置であれば用いることが可能で
ある。また、本発明のいくつかを組み合わせて用いるこ
とにより更に効果を上げることが可能である。In this embodiment, the plasma etching apparatus has been described as an example of the construction of the apparatus. However, it is not limited to an apparatus for etching or ashing, but an apparatus for exciting plasma by microwaves can be used. . Further, it is possible to further enhance the effect by using some of the present invention in combination.
【００４１】[0041]
【発明の効果】本発明のプラズマ装置を用いれば、プラ
ズマ装置に使われるマイクロ波透過窓の耐久性を簡便に
向上させることができる。By using the plasma device of the present invention, the durability of the microwave transmitting window used in the plasma device can be easily improved.
【図１】 第一の発明の装置の構成例を示す断面図。FIG. 1 is a cross-sectional view showing a configuration example of a device of the first invention.
【図２】 第一の発明の実施例における浸食深さと放電
時間との関係を示したグラフ。FIG. 2 is a graph showing the relationship between erosion depth and discharge time in the example of the first invention.
【図３】 第二の発明の一実施例を示す模式図。FIG. 3 is a schematic diagram showing an embodiment of the second invention.
【図４】 第三の発明の装置の構成例を示す断面図。FIG. 4 is a sectional view showing a configuration example of an apparatus of the third invention.
【図５】 マルチパクタリングによる穿孔の分布及び金
属部材の開口の大きさを示す模式図。FIG. 5 is a schematic diagram showing a distribution of perforations by a multipactor ring and an opening size of a metal member.
【図６】 第四の発明の装置の構成例を示す断面図。FIG. 6 is a sectional view showing a configuration example of an apparatus of the fourth invention.
【図７】 第四の発明の実施例におけるマイクロ波透過
窓の温度変化を示したグラフ。FIG. 7 is a graph showing the temperature change of the microwave transmission window in the example of the fourth invention.
【図８】 第五の発明の装置の第一の構成例を示す断面
図。FIG. 8 is a sectional view showing a first configuration example of the device of the fifth invention.
【図９】 （ａ）は第五の発明の装置の第二の構成例を
示す要部上面図であり、（ｂ）は（ａ）に示すＡ−Ａ´
線での第二の構成例の断面図である。FIG. 9 (a) is a top view of a main portion showing a second configuration example of the device of the fifth invention, and FIG. 9 (b) is AA ′ shown in (a).
It is sectional drawing of the 2nd structural example by a line.
１…マイクロ波 ２…導波路 ３…マイクロ波透過窓 ４…ガス供給系 ５…被加工物 ６…ガス室 ７…ガス排気系 ８…台 ９…被膜（アルミナ膜） １０…導波管開口部 ２０…金属板 ２１…穿孔 ３０…誘電体ブロック ４０…第一の部材 ５０…第二の部材 ６０…間隙部 ７０…連通路 ８０…突起 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Microwave 2 ... Waveguide 3 ... Microwave transmission window 4 ... Gas supply system 5 ... Workpiece 6 ... Gas chamber 7 ... Gas exhaust system 8 ... Stand 9 ... Coating (alumina film) 10 ... Waveguide opening 20 ... Metal plate 21 ... Perforation 30 ... Dielectric block 40 ... First member 50 ... Second member 60 ... Gap 70 ... Communication passage 80 ... Projection
フロントページの続き (72)発明者 山崎 修 神奈川県横浜市磯子区新磯子町33番地 株 式会社東芝生産技術研究所内 (72)発明者 内田 裕 神奈川県横浜市磯子区新磯子町33番地 株 式会社東芝生産技術研究所内Front page continuation (72) Inventor Osamu Yamazaki 33, Isogo-cho, Isogo-ku, Yokohama-shi, Kanagawa Stock Production Company, Toshiba Institute of Industrial Technology (72) Inventor, Hiroshi Uchida 33, Isogo-cho, Isogo-ku, Yokohama, Kanagawa Company Toshiba Technical Research Institute
Claims (6)
と、 少なくとも一つの開口部を備えるガス室と、 前記マイクロ波を導き、前記開口部の少なくとも一つか
ら前記ガス室内に前記マイクロ波を入射させるマイクロ
波出射開口部を備えた導波手段と、 前記マイクロ波出射開口部と対向している前記開口部に
備えられ、石英よりなる部材のガス室側の面の少なくと
も一部にアルミナもしくはアルミナを含有する材料を被
着したマイクロ波透過窓とを具備することを特徴とする
プラズマ装置。1. A microwave oscillator that oscillates microwaves, a gas chamber having at least one opening, the microwave is guided, and the microwave is made incident into the gas chamber through at least one of the openings. A waveguide having a microwave emission opening, and alumina or alumina provided on at least a part of a gas chamber side surface of a member made of quartz and provided in the opening facing the microwave emission opening. A microwave transmission window coated with a material containing the plasma device.
ことを特徴とする請求項１記載のプラズマ装置。2. The plasma device according to claim 1, further comprising means for heating the microwave transmission window.
と、 少なくとも一つの開口部を備えるガス室と、 前記開口部に回動自在に取り付けられたマイクロ波透過
窓と、 前記マイクロ波を導き、前記マイクロ波を放出するマイ
クロ波出射開口部が前記マイクロ波透過窓の回転の中心
から偏心して設けられる導波手段とを具備することを特
徴とするプラズマ装置。3. A microwave oscillator for oscillating microwaves, a gas chamber having at least one opening, a microwave transmission window rotatably attached to the opening, and guiding the microwave, 2. A plasma apparatus, comprising: a waveguide means provided with a microwave emission opening for emitting microwaves, the waveguide means being eccentric from the center of rotation of the microwave transmission window.
と、 少なくとも一つの開口部を備えるガス室と、 前記マイクロ波を導き、前記開口部の少なくとも一つか
ら前記ガス室内に前記マイクロ波を入射させるマイクロ
波出射開口部を備えた導波手段と、 前記マイクロ波出射開口部と対向している前記開口部に
設けられるマイクロ波透過窓と、 前記マイクロ波透過窓の前記ガス室側に設けられる、前
記マイクロ波が通過する貫通孔を備えている金属部材と
を具備することを特徴とするプラズマ装置。4. A microwave oscillator for oscillating microwaves, a gas chamber having at least one opening, guiding the microwave, and causing the microwave to enter the gas chamber through at least one of the openings. Waveguide means having a microwave emission opening, a microwave transmission window provided in the opening facing the microwave emission opening, and provided on the gas chamber side of the microwave transmission window, And a metallic member having a through hole through which the microwave passes.
と、 少なくとも一つの開口部を備えるガス室と、 前記マイクロ波を導き、前記開口部の少なくとも一つか
ら前記ガス室内に前記マイクロ波を入射させるマイクロ
波出射開口部を備えた導波手段と、 前記マイクロ波出射開口部と対向している前記開口部に
設けられるマイクロ波透過窓と、 前記マイクロ波透過窓の前記導波手段側に載置された放
熱体とを具備することを特徴とするプラズマ装置。5. A microwave oscillator for oscillating microwaves, a gas chamber having at least one opening, guiding the microwave, and causing the microwave to enter the gas chamber through at least one of the openings. A waveguide means having a microwave exit opening, a microwave transmission window provided in the opening facing the microwave exit opening, and mounted on the waveguide means side of the microwave transmission window. And a heat-radiating body.
と、 少なくとも一つの開口部を備えるガス室と、 前記マイクロ波を導き、前記開口部の少なくとも一つか
ら前記ガス室内に前記マイクロ波を入射させるマイクロ
波出射開口部を備えた導波手段と、 前記マイクロ波出射開口部と対向している前記開口部に
備えられ、石英より成り間隙部を間に有して配設された
第一の部材と第二の部材を有するマイクロ波透過窓とを
具備するプラズマ装置において、 前記第一の部材と前記第二の部材とで成す間隙部と前記
ガス室とを結ぶ連通路を具備することを特徴とするプラ
ズマ装置。6. A microwave oscillator for oscillating microwaves, a gas chamber having at least one opening, guiding the microwave, and causing the microwave to enter the gas chamber through at least one of the openings. A waveguide member having a microwave emission opening, and a first member provided in the opening facing the microwave emission opening and made of quartz and having a gap therebetween. A microwave transmission window having a second member, and a communication passage that connects the gas chamber with a gap formed by the first member and the second member. And plasma equipment.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7080979A JPH08279490A (en) | 1995-04-06 | 1995-04-06 | Plasma system |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7080979A JPH08279490A (en) | 1995-04-06 | 1995-04-06 | Plasma system |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08279490A true JPH08279490A (en) | 1996-10-22 |
Family
ID=13733631
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7080979A Pending JPH08279490A (en) | 1995-04-06 | 1995-04-06 | Plasma system |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08279490A (en) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH11251089A (en) * | 1998-02-27 | 1999-09-17 | Shibaura Mechatronics Corp | Plasma processing device |
| JP2006134686A (en) * | 2004-11-05 | 2006-05-25 | Micro Denshi Kk | Plasma generator using microwave |
| JP2009132948A (en) * | 2007-11-28 | 2009-06-18 | Toyota Motor Corp | Plasma cvd apparatus |
| US7728251B2 (en) | 2004-10-29 | 2010-06-01 | Sharp Kabushiki Kaisha | Plasma processing apparatus with dielectric plates and fixing member wavelength dependent spacing |
| JP2012248886A (en) * | 2000-12-29 | 2012-12-13 | Lam Research Corporation | Plasma etching reactor and component of the same, and method of processing semiconductor substrate |
-
1995
- 1995-04-06 JP JP7080979A patent/JPH08279490A/en active Pending
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