JPH08257912A - 導電性および弾性を有する砥石並びにそれを使用した電気泳動研磨方法 - Google Patents
導電性および弾性を有する砥石並びにそれを使用した電気泳動研磨方法Info
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- JPH08257912A JPH08257912A JP9183995A JP9183995A JPH08257912A JP H08257912 A JPH08257912 A JP H08257912A JP 9183995 A JP9183995 A JP 9183995A JP 9183995 A JP9183995 A JP 9183995A JP H08257912 A JPH08257912 A JP H08257912A
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- grinding
- abrasive grains
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- Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)
- Electrical Discharge Machining, Electrochemical Machining, And Combined Machining (AREA)
- Polishing Bodies And Polishing Tools (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 弾性を有する樹脂マトリックス砥石を使用し
て研磨作業中に砥石のドレッシング(再生)を行うこと
ができると共に、酸化等による不導体膜を形成すること
なく、また抵抗による発熱および膨脹をも生じることな
く、電気泳動による目詰まりを防止して研磨性能の継続
性を保持することができる導電性および弾性を有する砥
石およびそれを使用した電気泳動研磨方法を提供する。 【構成】 砥粒と導電性樹脂マトリックスとから導電性
および弾性を有する電気泳動式インプロセスドレッシン
グ用砥石を形成する。また、砥粒と、直径5μm以下の
炭素繊維を含有する樹脂マトリックスとから導電性およ
び弾性を有する砥石を形成する。そして、前記砥石に所
要電圧を印加し、この砥石を前記電圧とは逆電位に帯電
した第2の砥粒を分散してなる液中において、研磨対象
物を研磨すると同時に砥石の再生を行う電気泳動式イン
プロセスドレッシングを行う。
て研磨作業中に砥石のドレッシング(再生)を行うこと
ができると共に、酸化等による不導体膜を形成すること
なく、また抵抗による発熱および膨脹をも生じることな
く、電気泳動による目詰まりを防止して研磨性能の継続
性を保持することができる導電性および弾性を有する砥
石およびそれを使用した電気泳動研磨方法を提供する。 【構成】 砥粒と導電性樹脂マトリックスとから導電性
および弾性を有する電気泳動式インプロセスドレッシン
グ用砥石を形成する。また、砥粒と、直径5μm以下の
炭素繊維を含有する樹脂マトリックスとから導電性およ
び弾性を有する砥石を形成する。そして、前記砥石に所
要電圧を印加し、この砥石を前記電圧とは逆電位に帯電
した第2の砥粒を分散してなる液中において、研磨対象
物を研磨すると同時に砥石の再生を行う電気泳動式イン
プロセスドレッシングを行う。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、樹脂(レジン)ボンド
研磨材からなる導電性および弾性を有する砥石並びにそ
れを使用した電気泳動研磨方法に関するものである。
研磨材からなる導電性および弾性を有する砥石並びにそ
れを使用した電気泳動研磨方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来から、アルミナやダイヤモンド砥粒
を金属マトリックスで固めたメタルボンドの砥石やホイ
ールは公知である。かかる砥石は、硬質であるため、曲
げることが困難であり、曲面研磨に際しては、同じ曲面
を有する砥石を製作して使用する必要があり、研磨作業
を面倒にしていた。また、砥粒が摩耗してくると、金属
マトリックスが研磨対象物と擦られるために、研磨対象
物と噛み合ったり、研磨対象物の研磨面に傷を付けたり
する欠点を有していた。
を金属マトリックスで固めたメタルボンドの砥石やホイ
ールは公知である。かかる砥石は、硬質であるため、曲
げることが困難であり、曲面研磨に際しては、同じ曲面
を有する砥石を製作して使用する必要があり、研磨作業
を面倒にしていた。また、砥粒が摩耗してくると、金属
マトリックスが研磨対象物と擦られるために、研磨対象
物と噛み合ったり、研磨対象物の研磨面に傷を付けたり
する欠点を有していた。
【0003】なお、かかる摩耗したメタルボンドの砥石
やホイールの再生は、電気分解により砥石表面のマトリ
ックス金属の溶出させて埋もれた砥粒を露出させること
により行われている。
やホイールの再生は、電気分解により砥石表面のマトリ
ックス金属の溶出させて埋もれた砥粒を露出させること
により行われている。
【0004】一方、樹脂(レジン)マトリックスを使用
した、いわゆるレジンボンド砥石は、メタルボンド砥石
に比べて柔軟であるため、必要な曲面に沿う形状に曲げ
て使用できるという長所を有している。また、研磨対象
物の研磨面を傷付けることがない利点がある。ところ
が、このレジンボンド砥石やホイールは、電気分解によ
る再生ができない。
した、いわゆるレジンボンド砥石は、メタルボンド砥石
に比べて柔軟であるため、必要な曲面に沿う形状に曲げ
て使用できるという長所を有している。また、研磨対象
物の研磨面を傷付けることがない利点がある。ところ
が、このレジンボンド砥石やホイールは、電気分解によ
る再生ができない。
【0005】また、弾性を有する樹脂に炭素繊維を配合
し、導電性を付与して電極とし、帯電した砥粒を分散し
た液中で該電極に電圧を印加して、加工物表面上を摺動
させ、電気泳動により電極と加工物の接触面に引き寄せ
られた砥粒で加工物を研磨することも試みられている。
この方法は、電極には砥粒を使用していないので、再生
の必要がないということや、弾性変形して曲面に沿い易
いという利点はあるものの、電極の摩耗が激しく、かつ
加工物の除去量が僅少であるために、一般的な実用化は
困難である。
し、導電性を付与して電極とし、帯電した砥粒を分散し
た液中で該電極に電圧を印加して、加工物表面上を摺動
させ、電気泳動により電極と加工物の接触面に引き寄せ
られた砥粒で加工物を研磨することも試みられている。
この方法は、電極には砥粒を使用していないので、再生
の必要がないということや、弾性変形して曲面に沿い易
いという利点はあるものの、電極の摩耗が激しく、かつ
加工物の除去量が僅少であるために、一般的な実用化は
困難である。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】このような観点から、
レジンボンドの砥石やホイールにおいて、マトリックス
に導電性をもたせる試みが種々行われている。
レジンボンドの砥石やホイールにおいて、マトリックス
に導電性をもたせる試みが種々行われている。
【0007】その1つは、銀や銅等の金属粉をマトリッ
クスに配合する方法である。この場合、第2の砥粒懸濁
媒体として一般に水が使用されるため、摩擦熱の発生も
あり、粉体表面が酸化されて導電性が低下してしまい、
研磨面のドレッシングが不十分なものとなる欠点があ
る。
クスに配合する方法である。この場合、第2の砥粒懸濁
媒体として一般に水が使用されるため、摩擦熱の発生も
あり、粉体表面が酸化されて導電性が低下してしまい、
研磨面のドレッシングが不十分なものとなる欠点があ
る。
【0008】また、導電性のカーボンブラックをマトリ
ックスに配合する方法も試みられているが、かかるカー
ボンの導電性は余り高くないので、十分な導電性を得る
ためには、カーボン添加量を増す必要がある。しかし、
この場合、マトリックス強度が低下して、砥石自体の強
度が十分でなくて破壊され易くなったり、砥粒が落ち易
くなったりする問題を生じる。
ックスに配合する方法も試みられているが、かかるカー
ボンの導電性は余り高くないので、十分な導電性を得る
ためには、カーボン添加量を増す必要がある。しかし、
この場合、マトリックス強度が低下して、砥石自体の強
度が十分でなくて破壊され易くなったり、砥粒が落ち易
くなったりする問題を生じる。
【0009】さらに、前記金属粉やカーボンブラック等
の導電性粉末を使用した場合は、粉末同士の接触界面に
樹脂層が入り込んで、粉末同士が十分に固体接触し難い
ので、電気抵抗が大きくなってしまい、このため電流に
より粉末が発熱して体積膨脹し、砥石に内部ひずみを生
じ、脆化を起生する。
の導電性粉末を使用した場合は、粉末同士の接触界面に
樹脂層が入り込んで、粉末同士が十分に固体接触し難い
ので、電気抵抗が大きくなってしまい、このため電流に
より粉末が発熱して体積膨脹し、砥石に内部ひずみを生
じ、脆化を起生する。
【0010】砥石の強度を下げない程度の少量の導電性
粉末を配合すれば、さらに電気抵抗が高くなって、電流
により発熱して体積膨脹によるマトリックスの脆化を起
生する。なお、カーボンブラックの粒径を小さく、例え
ば1μm以下にしても、かかる状況は十分に改善し得な
い。
粉末を配合すれば、さらに電気抵抗が高くなって、電流
により発熱して体積膨脹によるマトリックスの脆化を起
生する。なお、カーボンブラックの粒径を小さく、例え
ば1μm以下にしても、かかる状況は十分に改善し得な
い。
【0011】そして、通常の炭素繊維の使用も検討され
ている。この場合も、粉末に比べると電気抵抗率は低い
が、その値は1Ωmm以上であり、決して低いとはいえ
ず、カーボンブラックと同様の問題が生じている。ま
た、通常の炭素繊維は、繊維直径が7〜8μmと大きい
ので、繊維が欠落した部分に第2の砥粒が侵入してしま
い、再生能力が低下するという欠点も有している。
ている。この場合も、粉末に比べると電気抵抗率は低い
が、その値は1Ωmm以上であり、決して低いとはいえ
ず、カーボンブラックと同様の問題が生じている。ま
た、通常の炭素繊維は、繊維直径が7〜8μmと大きい
ので、繊維が欠落した部分に第2の砥粒が侵入してしま
い、再生能力が低下するという欠点も有している。
【0012】また、通常の炭素繊維は、直径が7〜8μ
mあって、砥粒の直径と大きさは変わらないため、砥粒
の全ての間隙に均一分散し難く、ドレッシングが均一に
行われないという問題もある。
mあって、砥粒の直径と大きさは変わらないため、砥粒
の全ての間隙に均一分散し難く、ドレッシングが均一に
行われないという問題もある。
【0013】そこで、本発明の第1の目的は、弾性を有
する樹脂マトリックスを使用し、研磨作業中に砥石のド
レッシング(再生)を行うことにある。
する樹脂マトリックスを使用し、研磨作業中に砥石のド
レッシング(再生)を行うことにある。
【0014】また、本発明の第2の目的は、酸化等によ
る不導体膜を形成することなく、また抵抗による発熱お
よび膨脹をも生じることなく、電気泳動による目詰まり
を防止して研磨性能の継続性を保持することができる導
電性および弾性を有する砥石並びにそれを使用した電気
泳動研磨方法を提供することにある。
る不導体膜を形成することなく、また抵抗による発熱お
よび膨脹をも生じることなく、電気泳動による目詰まり
を防止して研磨性能の継続性を保持することができる導
電性および弾性を有する砥石並びにそれを使用した電気
泳動研磨方法を提供することにある。
【0015】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するた
め、本発明に係る導電性および弾性を有する砥石、すな
わち電気泳動式インプロセスドレッシング用砥石は、砥
粒と導電性樹脂マトリックスとからなることを特徴とす
る。
め、本発明に係る導電性および弾性を有する砥石、すな
わち電気泳動式インプロセスドレッシング用砥石は、砥
粒と導電性樹脂マトリックスとからなることを特徴とす
る。
【0016】また、本発明に係る導電性および弾性を有
する砥石は、砥粒と、直径5μm以下の炭素繊維を含有
する樹脂マトリックスとからなることを特徴とする。
する砥石は、砥粒と、直径5μm以下の炭素繊維を含有
する樹脂マトリックスとからなることを特徴とする。
【0017】この場合、樹脂マトリックスに含有される
炭素繊維は、黒鉛化された気相成長炭素繊維を使用する
ことができる。
炭素繊維は、黒鉛化された気相成長炭素繊維を使用する
ことができる。
【0018】さらに、本発明に係る導電性および弾性を
有する砥石を使用する電気泳動研磨方法は、前記導電性
および弾性を有する砥石に所要電圧を印加し、この砥石
を前記電圧と逆電位に帯電した第2の砥粒を分散した液
中において、研磨対象物を研磨すると同時に砥石の再生
を行うことを特徴とする電気泳動式インプロセスドレッ
シングである。
有する砥石を使用する電気泳動研磨方法は、前記導電性
および弾性を有する砥石に所要電圧を印加し、この砥石
を前記電圧と逆電位に帯電した第2の砥粒を分散した液
中において、研磨対象物を研磨すると同時に砥石の再生
を行うことを特徴とする電気泳動式インプロセスドレッ
シングである。
【0019】
【作用】本発明に係る導電性および弾性を有する砥石に
よれば、所要の砥粒を含むレジンマトリックス研磨材に
炭素繊維を混入することにより導電性および弾性を有す
る砥石を形成し、この砥石を電極としてこれに正電位を
印加し、これを負電位に帯電させた砥粒を分散させた液
体中に保持した研磨対象物に、対向させることにより、
液体中に分散する負電位に帯電された砥粒を、砥石に引
き寄せると共に砥石の研磨面と研磨対象物との間に引き
込み、これら砥粒が研磨作業と同時に砥石の研磨面をド
レッシングすることができる。これにより、砥石の研磨
面は常に新しい研磨面を形成することができることか
ら、砥石の研磨面の摩滅に際し砥石を取り外してドレッ
シングしたり、砥石を交換する等の作業が不要となる。
よれば、所要の砥粒を含むレジンマトリックス研磨材に
炭素繊維を混入することにより導電性および弾性を有す
る砥石を形成し、この砥石を電極としてこれに正電位を
印加し、これを負電位に帯電させた砥粒を分散させた液
体中に保持した研磨対象物に、対向させることにより、
液体中に分散する負電位に帯電された砥粒を、砥石に引
き寄せると共に砥石の研磨面と研磨対象物との間に引き
込み、これら砥粒が研磨作業と同時に砥石の研磨面をド
レッシングすることができる。これにより、砥石の研磨
面は常に新しい研磨面を形成することができることか
ら、砥石の研磨面の摩滅に際し砥石を取り外してドレッ
シングしたり、砥石を交換する等の作業が不要となる。
【0020】すなわち、本発明においては、レジンボン
ド砥石等の再生方法として、研磨作業中に電気泳動研磨
によるインプロセスドレッシング(再生)を行うことが
できることを特徴とするものである。
ド砥石等の再生方法として、研磨作業中に電気泳動研磨
によるインプロセスドレッシング(再生)を行うことが
できることを特徴とするものである。
【0021】本発明の砥石においてレジンマトリックス
を形成するための樹脂材料としては、アクリロニトリル
・ブタジェン・スチレン樹脂(ABS樹脂)、ナイロ
ン、ポリエチレン、ポリエステル、ビニルエステル樹
脂、ポリウレタン、ポリカーボネート、ポリプロピレ
ン、ポリ酢酸樹脂(PVAC)、ブタジェンゴム等の熱
可塑性樹脂を、またエポキシ樹脂、フェノール樹脂等の
熱硬化性樹脂を好適に使用することができる。
を形成するための樹脂材料としては、アクリロニトリル
・ブタジェン・スチレン樹脂(ABS樹脂)、ナイロ
ン、ポリエチレン、ポリエステル、ビニルエステル樹
脂、ポリウレタン、ポリカーボネート、ポリプロピレ
ン、ポリ酢酸樹脂(PVAC)、ブタジェンゴム等の熱
可塑性樹脂を、またエポキシ樹脂、フェノール樹脂等の
熱硬化性樹脂を好適に使用することができる。
【0022】ここで弾性を有することは、力を加えるこ
とにより変形して、曲面に沿って研磨可能であることを
意味し、マトリックスに通常の樹脂を使用してさえいれ
ば、該当する。
とにより変形して、曲面に沿って研磨可能であることを
意味し、マトリックスに通常の樹脂を使用してさえいれ
ば、該当する。
【0023】また、前記レジンマトリックスを形成する
ための砥粒材料としては、ダイヤモンド、立方晶系窒化
ホウ素等の超砥粒や、アルミナ(Al2 O3 )、SiO
2 、ZrO2 等の通常の砥粒を好適に使用することがで
きる。すなわち、ここで砥石とは、いわゆる超砥石と称
されるホイールを包含する。一方、遊離砥粒(液側の第
2の砥粒)としては、第1の砥粒として上記したものが
全て使用可能であるが、砥石を形成する砥粒(第1の砥
粒)と比べて、それ程硬度を必要としないので、経済性
の面から安価なものを選択することが可能であり、アル
ミナが特に好適である。
ための砥粒材料としては、ダイヤモンド、立方晶系窒化
ホウ素等の超砥粒や、アルミナ(Al2 O3 )、SiO
2 、ZrO2 等の通常の砥粒を好適に使用することがで
きる。すなわち、ここで砥石とは、いわゆる超砥石と称
されるホイールを包含する。一方、遊離砥粒(液側の第
2の砥粒)としては、第1の砥粒として上記したものが
全て使用可能であるが、砥石を形成する砥粒(第1の砥
粒)と比べて、それ程硬度を必要としないので、経済性
の面から安価なものを選択することが可能であり、アル
ミナが特に好適である。
【0024】さらに、導電性材料としては、直径5μm
以下、好ましくは3μm以下の炭素繊維が好適である。
炭素繊維は、PAN系炭素繊維やピッチ系の黒鉛繊維を
適宜切断して使用可能であるが、好ましくは気相成長炭
素繊維、特にその黒鉛化物は直径が小さいこと、導電性
が高いことから好ましい。
以下、好ましくは3μm以下の炭素繊維が好適である。
炭素繊維は、PAN系炭素繊維やピッチ系の黒鉛繊維を
適宜切断して使用可能であるが、好ましくは気相成長炭
素繊維、特にその黒鉛化物は直径が小さいこと、導電性
が高いことから好ましい。
【0025】しかるに、前記砥石の砥粒の大きさは、研
磨対象物の研磨後の表面粗さによって決定されるが、第
2の砥粒の大きさは、砥石の砥粒に比較して、1/5〜
2倍の範囲、さらに好ましくは1/3〜1.5倍の範囲
が研磨加工の能率の点から好ましく、特に両者がほぼ等
しい(±30%)場合が最も好適である。なお、第2の
砥粒の大きさは、平均値での比が炭素繊維の直径の1.
5倍以上であることが好ましい。
磨対象物の研磨後の表面粗さによって決定されるが、第
2の砥粒の大きさは、砥石の砥粒に比較して、1/5〜
2倍の範囲、さらに好ましくは1/3〜1.5倍の範囲
が研磨加工の能率の点から好ましく、特に両者がほぼ等
しい(±30%)場合が最も好適である。なお、第2の
砥粒の大きさは、平均値での比が炭素繊維の直径の1.
5倍以上であることが好ましい。
【0026】また、前記砥石における砥粒の含有率は5
〜30%が好ましく、さらには9〜18%が好適であ
る。一方、前記第2の砥粒を分散させる研磨液として
は、ポリアクリル酸塩、ポリメタクリル酸塩、その他カ
ルボキシル基を多数有する高分子の塩の溶液、例えば水
溶液が使用可能であり、しかも広範囲の分子量のものが
選択可能であって、特に水溶性が高い点でカルボキシメ
チルセルロース(CMC)が好適である。しかも、この
カルボキシメチルセルロースは、アルミナ砥粒を効率よ
く帯電させるという点からも好ましい。なお、研磨液中
における前記高分子電解質の濃度は、液の粘度にも影響
し、また使用する砥粒と高分子電解質の組合わせ毎に吸
着性能が異なるので、研磨加工性に基づいて決定するの
が好適である。
〜30%が好ましく、さらには9〜18%が好適であ
る。一方、前記第2の砥粒を分散させる研磨液として
は、ポリアクリル酸塩、ポリメタクリル酸塩、その他カ
ルボキシル基を多数有する高分子の塩の溶液、例えば水
溶液が使用可能であり、しかも広範囲の分子量のものが
選択可能であって、特に水溶性が高い点でカルボキシメ
チルセルロース(CMC)が好適である。しかも、この
カルボキシメチルセルロースは、アルミナ砥粒を効率よ
く帯電させるという点からも好ましい。なお、研磨液中
における前記高分子電解質の濃度は、液の粘度にも影響
し、また使用する砥粒と高分子電解質の組合わせ毎に吸
着性能が異なるので、研磨加工性に基づいて決定するの
が好適である。
【0027】さらに、研磨液において、遊離砥粒に対し
逆帯電させるアミノ基の塩酸塩を多数有する高分子を使
用し、従って砥石と砥粒の電圧を前記とは逆転させた系
を使用することも可能である。研磨液として使用する液
体は、通用は水であるが、高分子を解離させて砥粒を帯
電させることが可能であれば、他の極性液体も使用可能
である。
逆帯電させるアミノ基の塩酸塩を多数有する高分子を使
用し、従って砥石と砥粒の電圧を前記とは逆転させた系
を使用することも可能である。研磨液として使用する液
体は、通用は水であるが、高分子を解離させて砥粒を帯
電させることが可能であれば、他の極性液体も使用可能
である。
【0028】
【実施例】次に、本発明に係る導電性および弾性を有す
る砥石並びにそれを使用した電気泳動研磨方法の実施例
につき、添付図面を参照しながら以下詳細に説明する。
る砥石並びにそれを使用した電気泳動研磨方法の実施例
につき、添付図面を参照しながら以下詳細に説明する。
【0029】図1は、本発明に係る導電性および弾性を
有する砥石の一実施例を示す斜視図である。すなわち、
図1において、参照符号10は円板状に形成した砥石を
示す。この砥石10の形状は、外径DO =30mm、内
径DI =20mm、厚さt=5.5mmの環状の研磨面
を一方の面に有し、その円の中心Oから所定の角度θ=
30°間隔をもって、幅w=4mm、長さl=5mmか
らなる複数(図示例では12個)の研磨面12を周方向
にそれぞれ離間して形成する。なお、前記各研磨面12
の離間部分は深さh=1.5mmの溝14を形成する。
有する砥石の一実施例を示す斜視図である。すなわち、
図1において、参照符号10は円板状に形成した砥石を
示す。この砥石10の形状は、外径DO =30mm、内
径DI =20mm、厚さt=5.5mmの環状の研磨面
を一方の面に有し、その円の中心Oから所定の角度θ=
30°間隔をもって、幅w=4mm、長さl=5mmか
らなる複数(図示例では12個)の研磨面12を周方向
にそれぞれ離間して形成する。なお、前記各研磨面12
の離間部分は深さh=1.5mmの溝14を形成する。
【0030】このようにして構成された本発明に係る砥
石は、電気抵抗が約10Ω以下からなる弾性を有するも
のとして得られた。
石は、電気抵抗が約10Ω以下からなる弾性を有するも
のとして得られた。
【0031】次に、前記構成からなる導電性および弾性
を有する砥石10を使用して、所定の研磨対象物に対し
電気泳動による研磨を行う方法について説明する。図2
は、前記電気泳動研磨方法を実施する装置の概略構成を
示すものである。すなわち、図2において、参照符号2
0は研磨液貯留槽を示し、この研磨液貯留槽20の底部
の一部に導電性材料からなるジグ22を形成し、このジ
グ22の底面を、基台24上に配置した切削工具動力計
26の上部に、絶縁体28を介して載置固定する。しか
るに、前記ジグ22の上面には、加工物30を載置す
る。
を有する砥石10を使用して、所定の研磨対象物に対し
電気泳動による研磨を行う方法について説明する。図2
は、前記電気泳動研磨方法を実施する装置の概略構成を
示すものである。すなわち、図2において、参照符号2
0は研磨液貯留槽を示し、この研磨液貯留槽20の底部
の一部に導電性材料からなるジグ22を形成し、このジ
グ22の底面を、基台24上に配置した切削工具動力計
26の上部に、絶縁体28を介して載置固定する。しか
るに、前記ジグ22の上面には、加工物30を載置す
る。
【0032】一方、前記加工物30に対向して、その上
方に前述した図1に示す構成からなる砥石10を、導電
性材料からなる支持体32により支持すると共に、この
支持体32を絶縁体34を介して工作機械の工具取付用
スピンドル36に結合固定する。
方に前述した図1に示す構成からなる砥石10を、導電
性材料からなる支持体32により支持すると共に、この
支持体32を絶縁体34を介して工作機械の工具取付用
スピンドル36に結合固定する。
【0033】しかるに、前記研磨液貯留槽20には、加
工物30の研磨加工に際して、前記砥石10が研磨液中
に十分浸漬するレベルまで研磨液38を貯留する。ま
た、前記砥石10を支持する支持体32と、加工物30
を保持するジグ22に対し、それぞれ直流電源40から
導出される正電位端子40Aと負電位端子40Bをそれ
ぞれ導通接続する。
工物30の研磨加工に際して、前記砥石10が研磨液中
に十分浸漬するレベルまで研磨液38を貯留する。ま
た、前記砥石10を支持する支持体32と、加工物30
を保持するジグ22に対し、それぞれ直流電源40から
導出される正電位端子40Aと負電位端子40Bをそれ
ぞれ導通接続する。
【0034】前記構成からなる電気泳動研磨装置を使用
して、次の条件下に加工物30に対する研磨加工を行っ
た。
して、次の条件下に加工物30に対する研磨加工を行っ
た。
【0035】(1)実施例 砥石: 砥粒として、直径約10、30、60μmのア
ルミナをそれぞれ使用し、樹脂としてABS樹脂を使用
した。砥石中の砥粒含有量を12.5 vol%とした。そ
して、砥石の設定切込み量tを0〜10μmの範囲に設
定した。
ルミナをそれぞれ使用し、樹脂としてABS樹脂を使用
した。砥石中の砥粒含有量を12.5 vol%とした。そ
して、砥石の設定切込み量tを0〜10μmの範囲に設
定した。
【0036】研磨液: 分子量が約216,000のカ
ルボキシメチルセルロース(CMC)を使用し、これを
溶液粘度が約30cPとなるように蒸溜水に溶解し、こ
れに電気泳動させる遊離砥粒として粒径が約10μmの
アルミナ砥粒を使用し、これを砥粒の含有率ρg 約2.
5wt%で添加した。
ルボキシメチルセルロース(CMC)を使用し、これを
溶液粘度が約30cPとなるように蒸溜水に溶解し、こ
れに電気泳動させる遊離砥粒として粒径が約10μmの
アルミナ砥粒を使用し、これを砥粒の含有率ρg 約2.
5wt%で添加した。
【0037】加工物: 加工面を1μmRmax 程度に予
備成形した耐摩耗性、耐蝕性、耐圧性に優れている時効
硬化型プラスチック金型用鋼(AISIP21)を使用
した。
備成形した耐摩耗性、耐蝕性、耐圧性に優れている時効
硬化型プラスチック金型用鋼(AISIP21)を使用
した。
【0038】直流電源: 最大電流5A、最大電圧10
0Vの直流安定化電源を使用し、最大電流5Aとし、電
圧を1〜4Vの範囲で印加した。
0Vの直流安定化電源を使用し、最大電流5Aとし、電
圧を1〜4Vの範囲で印加した。
【0039】加工条件: スピンドルの回転数を100
0rpm、電極の送り速度を2m/min の平面研削方式
とし、砥石の加工面に対するパス回数を200回とし
た。
0rpm、電極の送り速度を2m/min の平面研削方式
とし、砥石の加工面に対するパス回数を200回とし
た。
【0040】以上の加工条件による加工物に対する加工
終了時に、それぞれ加工物の除去量Sr(μm)と砥石
の損耗量Sw(μm)とを測定した結果は次の通りであ
る。
終了時に、それぞれ加工物の除去量Sr(μm)と砥石
の損耗量Sw(μm)とを測定した結果は次の通りであ
る。
【0041】1.炭素繊維径Df の変化による除去量S
rと損耗量Swとの関係 直径Df が1μmの気相成長炭素繊維、7μmのPAN
系炭素繊維または14.5μmのピッチ系の黒鉛繊維を
約1μmに切断したものと、粒径が10μmのアルミナ
砥粒とを配合した砥石を使用して電気泳動研磨を行い、
加工物の除去量Srと砥石の損耗量Swとを測定した。
この結果、図3に示すように、加工物の除去量Srは、
径Df を大きくするに従って減少する傾向を示した。ま
た、砥石の損耗量Swは、径Dを大きくするに従って増
加する傾向を示した。これは、径Df を大きくすると、
砥石の研磨面の凹凸が大きくなり、泳動された砥粒が転
動し易くなったために、砥石の損耗が大きくなり、また
砥石から繊維が抜けた後に第2の砥粒が嵌まり込んで目
詰まりを起こして加工物除去量が減少すると考えられ
る。なお、比較のため、研磨液に砥粒を含まないカルボ
キシメチルセルロース(CMC)のみを使用した場合に
ついて測定した結果、これらの場合は、前記除去量Sr
および損耗量Sw共に著しく少ないことが確認された。
すなわち、これらの測定結果から、炭素繊維の繊維径D
f が5μm以下、特に3μm以下で、砥石の損耗が少な
く、加工物の除去量が大きく、従って加工効率の点から
優れていることが判る。繊維径Df を小さくすることに
より、同一加工物除去量に対する砥石の摩耗量が大幅に
減少し、また同一の砥石摩耗量に対する加工物除去量が
大幅に増加することは明白である。
rと損耗量Swとの関係 直径Df が1μmの気相成長炭素繊維、7μmのPAN
系炭素繊維または14.5μmのピッチ系の黒鉛繊維を
約1μmに切断したものと、粒径が10μmのアルミナ
砥粒とを配合した砥石を使用して電気泳動研磨を行い、
加工物の除去量Srと砥石の損耗量Swとを測定した。
この結果、図3に示すように、加工物の除去量Srは、
径Df を大きくするに従って減少する傾向を示した。ま
た、砥石の損耗量Swは、径Dを大きくするに従って増
加する傾向を示した。これは、径Df を大きくすると、
砥石の研磨面の凹凸が大きくなり、泳動された砥粒が転
動し易くなったために、砥石の損耗が大きくなり、また
砥石から繊維が抜けた後に第2の砥粒が嵌まり込んで目
詰まりを起こして加工物除去量が減少すると考えられ
る。なお、比較のため、研磨液に砥粒を含まないカルボ
キシメチルセルロース(CMC)のみを使用した場合に
ついて測定した結果、これらの場合は、前記除去量Sr
および損耗量Sw共に著しく少ないことが確認された。
すなわち、これらの測定結果から、炭素繊維の繊維径D
f が5μm以下、特に3μm以下で、砥石の損耗が少な
く、加工物の除去量が大きく、従って加工効率の点から
優れていることが判る。繊維径Df を小さくすることに
より、同一加工物除去量に対する砥石の摩耗量が大幅に
減少し、また同一の砥石摩耗量に対する加工物除去量が
大幅に増加することは明白である。
【0042】2.泳動させる砥粒径dの変化による除去
量Srと損耗量Swとの関係 直径が1μmの気相成長炭素繊維黒鉛化物と粒径が10
μmのアルミナ砥粒とを配合した砥石を使用し、泳動さ
せるアルミナ砥粒の粒径dを変化(4〜20μm)させ
て、加工物の除去量Srと砥石の損耗量Swとを測定し
た。この結果、図4に示すように、粒径dの増大と共に
加工物の除去量Srは10μm以下の範囲で増加し、そ
れ以後では減少する傾向を示した。また、砥石の損耗量
Swは、粒径dの増加に伴って減少する傾向を示した。
量Srと損耗量Swとの関係 直径が1μmの気相成長炭素繊維黒鉛化物と粒径が10
μmのアルミナ砥粒とを配合した砥石を使用し、泳動さ
せるアルミナ砥粒の粒径dを変化(4〜20μm)させ
て、加工物の除去量Srと砥石の損耗量Swとを測定し
た。この結果、図4に示すように、粒径dの増大と共に
加工物の除去量Srは10μm以下の範囲で増加し、そ
れ以後では減少する傾向を示した。また、砥石の損耗量
Swは、粒径dの増加に伴って減少する傾向を示した。
【0043】これは、泳動される砥粒の流動抵抗rが、
次式(1)
次式(1)
【数1】 但し、η:溶液の粘度 a:粒子の半径 u:粒子の移動速度 で示され、また溶液中の砥粒の沈降速度vが、次式
(2)
(2)
【数2】 但し、ρ:粒子の密度 ρ0 :溶媒の密度 g:重力加速度 で示されることから、粒径dが小さくなると、泳動され
る砥粒の流動抵抗rが小さくなり、砥石の研磨面に砥粒
が集まり易くなる。しかし、単位砥粒当りの加工物の除
去量Srが小さい上に砥粒が転動し易いため、砥石の損
耗量Swが多く、加工物の除去量Srが少なくなったも
のと考えられる。
る砥粒の流動抵抗rが小さくなり、砥石の研磨面に砥粒
が集まり易くなる。しかし、単位砥粒当りの加工物の除
去量Srが小さい上に砥粒が転動し易いため、砥石の損
耗量Swが多く、加工物の除去量Srが少なくなったも
のと考えられる。
【0044】また、粒径dが大きくするに従って、単位
当りの加工物の除去量Srは増加するが、泳動される砥
粒の流動抵抗rや溶液中の砥粒の沈降速度vが大きくな
るため、砥粒が泳動され難くなり、加工物の除去量Sr
と砥石の損耗量Swとが減少したものと考えられる。
当りの加工物の除去量Srは増加するが、泳動される砥
粒の流動抵抗rや溶液中の砥粒の沈降速度vが大きくな
るため、砥粒が泳動され難くなり、加工物の除去量Sr
と砥石の損耗量Swとが減少したものと考えられる。
【0045】3.砥石の設定切込み量tの変化による除
去量Srと損耗量Swとの関係 砥石の設定切込み量(砥石の摩耗設定寸法)tを変化
(0〜10μm)させて、加工物の除去量Srと砥石の
損耗量Swとを測定した。この結果、図5に示すよう
に、砥石の設定切込み量tが1〜5μmの範囲では、加
工物の除去量Srは変化せず、5μm付近から急激に増
加する傾向を示した。また、砥石の損耗量Swは、設定
切込み量tの増加に伴って減少する傾向を示した。
去量Srと損耗量Swとの関係 砥石の設定切込み量(砥石の摩耗設定寸法)tを変化
(0〜10μm)させて、加工物の除去量Srと砥石の
損耗量Swとを測定した。この結果、図5に示すよう
に、砥石の設定切込み量tが1〜5μmの範囲では、加
工物の除去量Srは変化せず、5μm付近から急激に増
加する傾向を示した。また、砥石の損耗量Swは、設定
切込み量tの増加に伴って減少する傾向を示した。
【0046】4.砥石の圧縮加重P(N)と圧縮変位L
(μm)との関係 設定切込み量tの変化による測定に使用した砥石につい
て、圧縮荷重P(N)に対する圧縮変位L(μm)に関
する圧縮特性を測定した。この結果、図6に示すよう
に、圧縮荷重P(N)が図9に示す加工物の除去量Sr
と同様の変化を示している。このことから、砥石の硬さ
が加工物の除去量Srに関係していることが確認され
た。
(μm)との関係 設定切込み量tの変化による測定に使用した砥石につい
て、圧縮荷重P(N)に対する圧縮変位L(μm)に関
する圧縮特性を測定した。この結果、図6に示すよう
に、圧縮荷重P(N)が図9に示す加工物の除去量Sr
と同様の変化を示している。このことから、砥石の硬さ
が加工物の除去量Srに関係していることが確認され
た。
【0047】(2)比較例 電極 : 機械的性質および物理的性質の異なる8種類の
熱可塑性樹脂(ポリエチレン-PL 、ポリウレタン-PT 、
ナイロン12-NY 、フェノール樹脂-PH 、ポリエステル-P
E 、ABS樹脂-A、ビニルエステル-VL 、エポキシ樹脂
-EP )に、炭素繊維繊維を配合して電極とした。炭素繊
維の樹脂への配合率は、電気抵抗を10Ω以下にして、
加工時の発熱を抑制するために、約50 Vol%とした。
この電極を図1の砥石10に代えて使用した。
熱可塑性樹脂(ポリエチレン-PL 、ポリウレタン-PT 、
ナイロン12-NY 、フェノール樹脂-PH 、ポリエステル-P
E 、ABS樹脂-A、ビニルエステル-VL 、エポキシ樹脂
-EP )に、炭素繊維繊維を配合して電極とした。炭素繊
維の樹脂への配合率は、電気抵抗を10Ω以下にして、
加工時の発熱を抑制するために、約50 Vol%とした。
この電極を図1の砥石10に代えて使用した。
【0048】研磨液: 分子量が約216,000のカ
ルボキシメチルセルロース(CMC)を使用し、これを
溶液粘度が約30cPとなるように蒸溜水に溶解し、こ
れに電気泳動させる遊離砥粒として粒径が約2.3〜1
0μmのアルミナ砥粒を使用し、これを砥粒の含有率ρ
g を約0.1〜4wt%の範囲で添加した。
ルボキシメチルセルロース(CMC)を使用し、これを
溶液粘度が約30cPとなるように蒸溜水に溶解し、こ
れに電気泳動させる遊離砥粒として粒径が約2.3〜1
0μmのアルミナ砥粒を使用し、これを砥粒の含有率ρ
g を約0.1〜4wt%の範囲で添加した。
【0049】加工物: 加工面を1μmRmax 程度に予
備成形したクロム合金ステンレス鋼を使用した。
備成形したクロム合金ステンレス鋼を使用した。
【0050】直流電源: 最大電流5A、最大電圧10
0Vの直流安定化電源を使用し、最大電流5Aとし、電
圧を1〜4Vの範囲で印加した。
0Vの直流安定化電源を使用し、最大電流5Aとし、電
圧を1〜4Vの範囲で印加した。
【0051】加工条件: スピンドルの回転数を100
0rpm、電極の送り速度を2m/min の平面研削方式
とした。
0rpm、電極の送り速度を2m/min の平面研削方式
とした。
【0052】以上の加工条件による加工物に対する加工
終了時に、それぞれ加工物の加工量Vr(mm3 /pas
s)と電極の損耗量Vw(mm3 /pass)とを測定した
結果は次の通りである。
終了時に、それぞれ加工物の加工量Vr(mm3 /pas
s)と電極の損耗量Vw(mm3 /pass)とを測定した
結果は次の通りである。
【0053】1.各樹脂による場合の加工量Vrと損耗
量Vwとの関係 上記の8種類の熱可塑性樹脂を使用した場合について、
それぞれ加工物の加工量Vrと電極の損耗量Vwとを測
定した。この結果、図7に示す特性が得られた。この場
合、ナイロン12では、その表面を観察した際に、炭素繊
維が抜け落ちた微細な凹凸が確認された。従って、この
凹凸に泳動された砥粒が保持されることにより、ナイロ
ン12の場合は、図7に示すように、8種類の樹脂の中で
は最も高い加工能率が得られたものと考えられる。
量Vwとの関係 上記の8種類の熱可塑性樹脂を使用した場合について、
それぞれ加工物の加工量Vrと電極の損耗量Vwとを測
定した。この結果、図7に示す特性が得られた。この場
合、ナイロン12では、その表面を観察した際に、炭素繊
維が抜け落ちた微細な凹凸が確認された。従って、この
凹凸に泳動された砥粒が保持されることにより、ナイロ
ン12の場合は、図7に示すように、8種類の樹脂の中で
は最も高い加工能率が得られたものと考えられる。
【0054】2.印加電圧Vの変化による加工量Vrと
損耗量Vwとの関係 印加電圧Vを変化(0〜7V)させて、加工物の加工量
Vrと電極の損耗量Vwとを測定した。この結果、図8
に示すように、印加電圧3V付近より加工物の加工量V
rの増加が顕著に現れた。これは、電圧の増加に伴って
単位時間に泳動する砥粒数が増加したものと考えられ
る。また、電極の損耗量Vwは、二次曲線状に増加する
傾向を示した。
損耗量Vwとの関係 印加電圧Vを変化(0〜7V)させて、加工物の加工量
Vrと電極の損耗量Vwとを測定した。この結果、図8
に示すように、印加電圧3V付近より加工物の加工量V
rの増加が顕著に現れた。これは、電圧の増加に伴って
単位時間に泳動する砥粒数が増加したものと考えられ
る。また、電極の損耗量Vwは、二次曲線状に増加する
傾向を示した。
【0055】3.砥粒径dの変化による加工量Vrと印
加電圧Vとの関係 砥粒径dを変化(10μm、5μm、2.3μm)させ
て、加工物の加工量Vrと印加電圧Vとの関係について
測定した。この結果、図9に示すように、砥粒径dを小
さくするに従って、加工物の加工量Vrは減少する傾向
を示した。これは、砥粒が電極の研磨面に埋没するのみ
で、研磨面に保持されなかったものと考えられる。
加電圧Vとの関係 砥粒径dを変化(10μm、5μm、2.3μm)させ
て、加工物の加工量Vrと印加電圧Vとの関係について
測定した。この結果、図9に示すように、砥粒径dを小
さくするに従って、加工物の加工量Vrは減少する傾向
を示した。これは、砥粒が電極の研磨面に埋没するのみ
で、研磨面に保持されなかったものと考えられる。
【0056】4.砥粒の含有率ρg の変化と加工量Vr
と損耗量Vwとの関係 砥粒の含有率ρg を変化(0.1〜4wt%)させて、加
工物の加工量Vrと電極の損耗量Vwとを測定した。こ
の結果、図10に示すように、砥粒の含有率度ρg を高
くするに従って、加工物の加工量Vrは増加する傾向を
示し、2wt%付近でほぼ一定となった。これは、砥粒
の含有率ρg の増加に伴って砥粒に吸着する研磨液のカ
ルボキシメチルセルロースが不足し、溶液中に安定分散
した砥粒数が減少したものと考えられる。また、電極の
損耗量Vwは、砥粒の含有率ρgを高くするに従って増
加する傾向を示した。
と損耗量Vwとの関係 砥粒の含有率ρg を変化(0.1〜4wt%)させて、加
工物の加工量Vrと電極の損耗量Vwとを測定した。こ
の結果、図10に示すように、砥粒の含有率度ρg を高
くするに従って、加工物の加工量Vrは増加する傾向を
示し、2wt%付近でほぼ一定となった。これは、砥粒
の含有率ρg の増加に伴って砥粒に吸着する研磨液のカ
ルボキシメチルセルロースが不足し、溶液中に安定分散
した砥粒数が減少したものと考えられる。また、電極の
損耗量Vwは、砥粒の含有率ρgを高くするに従って増
加する傾向を示した。
【0057】
【発明の効果】前述した実施例から明らかなように、本
発明に係る導電性および弾性を有する砥石によれば、砥
粒と導電性樹脂マトリックスとから構成することによ
り、研磨作業中において、砥石のドレッシング(再生)
を簡便に行うことができる。
発明に係る導電性および弾性を有する砥石によれば、砥
粒と導電性樹脂マトリックスとから構成することによ
り、研磨作業中において、砥石のドレッシング(再生)
を簡便に行うことができる。
【0058】また、本発明に係る導電性および弾性を有
する砥石によれば、砥粒と、直径5μm以下の炭素繊維
を含有する樹脂マトリックスとから構成することによ
り、酸化等による不導体膜を形成することなく、また抵
抗による発熱および膨脹をも生じることなく、電気泳動
による目詰まりを防止して研磨性能の継続性を保持する
ことができる砥石を得ることができる。
する砥石によれば、砥粒と、直径5μm以下の炭素繊維
を含有する樹脂マトリックスとから構成することによ
り、酸化等による不導体膜を形成することなく、また抵
抗による発熱および膨脹をも生じることなく、電気泳動
による目詰まりを防止して研磨性能の継続性を保持する
ことができる砥石を得ることができる。
【0059】また、本発明において、前記砥石に所要の
電位の電圧を印加し、この砥石を前記電圧とは逆電位に
帯電した第2の砥粒を分散してなる研磨液中において、
研磨対象物に当接して研磨を行うことにより、液体中に
分散する帯電された砥粒を、砥石に引き寄せると共に砥
石の研磨面と研磨対象物との間に引き込み、これら砥粒
が研磨作業と同時に砥石の研磨面を研磨することができ
る。これにより、砥石の研磨面は常に新しい研磨面を形
成することができることから、砥石の研磨面の摩滅に際
し砥石を取り外して再生したり、砥石を交換する等の作
業が不要となる等の多くの優れた利点が得られる。
電位の電圧を印加し、この砥石を前記電圧とは逆電位に
帯電した第2の砥粒を分散してなる研磨液中において、
研磨対象物に当接して研磨を行うことにより、液体中に
分散する帯電された砥粒を、砥石に引き寄せると共に砥
石の研磨面と研磨対象物との間に引き込み、これら砥粒
が研磨作業と同時に砥石の研磨面を研磨することができ
る。これにより、砥石の研磨面は常に新しい研磨面を形
成することができることから、砥石の研磨面の摩滅に際
し砥石を取り外して再生したり、砥石を交換する等の作
業が不要となる等の多くの優れた利点が得られる。
【0060】特に、本発明の砥石においては、電気泳動
させる金属砥粒の粒径や砥石の設定切込み量を変えるこ
とにより、砥石の再生(ドレッシング)や加工物の除去
量を変化させることができることが判った。すなわち、
加工物の除去量や砥石の再生に応じて、電気泳動させる
金属砥粒の粒径や砥石の設定切込み量に応じて、適正な
ものを選択設定することができる。
させる金属砥粒の粒径や砥石の設定切込み量を変えるこ
とにより、砥石の再生(ドレッシング)や加工物の除去
量を変化させることができることが判った。すなわち、
加工物の除去量や砥石の再生に応じて、電気泳動させる
金属砥粒の粒径や砥石の設定切込み量に応じて、適正な
ものを選択設定することができる。
【0061】また、本発明において、繊維直径が7μm
以上では必要であった、系の冷却、または放冷のための
運転一次停止は、5μm以下の繊維の時には不要とな
る。
以上では必要であった、系の冷却、または放冷のための
運転一次停止は、5μm以下の繊維の時には不要とな
る。
【0062】そして、本発明の砥石によれば、電気泳動
によるドレッシングを行うことにより、砥粒を泳動させ
ない場合に比べて、研磨性能を著しく向上させることが
可能であり、しかも弾性を有することから、その用途も
大幅に拡大することができ、この種の砥石の生産性の増
大と共に需要度の拡大に寄与する効果は極めて大きい。
すなわち、本発明に係る砥石は、例えば金型精密研磨、
精密レンズ研磨、シリコンウエハ研磨等の研削もしくは
研磨用として応用することができる。その他、砥石に混
入するダイヤモンド粉末を、下に粗粒、上に行くに従っ
て細粒を分散させることにより、摩耗に従い、荒仕上げ
から精密仕上げに至るまで、1つの砥石で対応すること
が可能となる。
によるドレッシングを行うことにより、砥粒を泳動させ
ない場合に比べて、研磨性能を著しく向上させることが
可能であり、しかも弾性を有することから、その用途も
大幅に拡大することができ、この種の砥石の生産性の増
大と共に需要度の拡大に寄与する効果は極めて大きい。
すなわち、本発明に係る砥石は、例えば金型精密研磨、
精密レンズ研磨、シリコンウエハ研磨等の研削もしくは
研磨用として応用することができる。その他、砥石に混
入するダイヤモンド粉末を、下に粗粒、上に行くに従っ
て細粒を分散させることにより、摩耗に従い、荒仕上げ
から精密仕上げに至るまで、1つの砥石で対応すること
が可能となる。
【図1】本発明に係る導電性および弾性を有する砥石の
一実施例を示す概略断面図である。
一実施例を示す概略断面図である。
【図2】本発明に係る導電性および弾性を有する砥石を
使用した電気泳動研磨方法の一実施例を示す研磨装置の
要部断面概略構成図である。
使用した電気泳動研磨方法の一実施例を示す研磨装置の
要部断面概略構成図である。
【図3】炭素繊維径の変化による加工物の除去量と砥石
の損耗量との関係を示す特性図である。
の損耗量との関係を示す特性図である。
【図4】泳動させる砥粒径の変化による加工物の除去量
と砥石の損耗量との関係を示す特性図である。
と砥石の損耗量との関係を示す特性図である。
【図5】砥石の設定切込み量の変化による加工物の除去
量と砥石の損耗量との関係を示す特性図である。
量と砥石の損耗量との関係を示す特性図である。
【図6】砥石の圧縮荷重と圧縮変位との関係を示す特性
図である。
図である。
【図7】各種樹脂による場合の加工物の加工量と電極の
損耗量との関係を示す特性図である。
損耗量との関係を示す特性図である。
【図8】印加電圧の変化による加工物の加工量と電極の
損耗量との関係を示す特性図である。
損耗量との関係を示す特性図である。
【図9】砥粒径の変化による加工物の加工量と電極の損
耗量との関係を示す特性図である。
耗量との関係を示す特性図である。
【図10】砥粒密度の変化による加工物の加工量と電極
の損耗量との関係を示す特性図である。
の損耗量との関係を示す特性図である。
10 砥石 12 研磨面 14 溝 20 研磨液貯留槽 22 ジグ 24 基台 26 切削工具動力計 28 絶縁体 30 加工物 32 支持体 34 絶縁体 36 工具取付用スピンドル 38 研磨液 40 直流電源 40A 正電位端子 40B 負電位端子
Claims (4)
- 【請求項1】 砥粒と導電性樹脂マトリックスとからな
る導電性および弾性を有する電気泳動式インプロセスド
レッシング用砥石。 - 【請求項2】 砥粒と、直径5μm以下の炭素繊維を含
有する樹脂マトリックスとからなる導電性および弾性を
有する砥石。 - 【請求項3】 樹脂マトリックスに含有される炭素繊維
は、黒鉛化された気相成長炭素繊維からなる請求項2記
載の導電性および弾性を有する砥石。 - 【請求項4】 砥粒と導電性樹脂マトリックスとからな
る導電性および弾性を有する砥石に所要電圧を印加し、
この砥石を前記電圧とは逆電位に帯電した第2の砥粒を
分散してなる液中において、研磨対象物ヲ研磨すると同
時に砥石の再生を行うことを特徴とする電気泳動式イン
プロセスドレッシング方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9183995A JPH08257912A (ja) | 1995-03-25 | 1995-03-25 | 導電性および弾性を有する砥石並びにそれを使用した電気泳動研磨方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9183995A JPH08257912A (ja) | 1995-03-25 | 1995-03-25 | 導電性および弾性を有する砥石並びにそれを使用した電気泳動研磨方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH08257912A true JPH08257912A (ja) | 1996-10-08 |
Family
ID=14037767
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP9183995A Pending JPH08257912A (ja) | 1995-03-25 | 1995-03-25 | 導電性および弾性を有する砥石並びにそれを使用した電気泳動研磨方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH08257912A (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0938949A1 (en) * | 1998-02-26 | 1999-09-01 | The Institute Of Physical & Chemical Research | Electrodeless electrolytic dressing grinding method and apparatus |
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