JPH0825625A - インクジェット記録ヘッドおよびその製造方法 - Google Patents
インクジェット記録ヘッドおよびその製造方法Info
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Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 寸法精度を向上させ、かつ良好なインクの供
給を行い得るようにする。 【構成】 S1において、空孔パターン部材1を形成す
る。S3において、空孔パターン部材1を電極4が印刷
された圧電シート3で挟み込むようにして積層する。S
4において、圧電シート3を空孔パターン部材1に圧着
し、脱バインダ工程により、空孔パターン部材1を取除
き、インクキャビティ6を形成する。S5において、焼
結を行う。そして、圧着工程S4および焼結工程S5の
前に、あらかじめ、空孔パターン部材1の表面に金属箔
膜を塗布する工程S2を設ける。
給を行い得るようにする。 【構成】 S1において、空孔パターン部材1を形成す
る。S3において、空孔パターン部材1を電極4が印刷
された圧電シート3で挟み込むようにして積層する。S
4において、圧電シート3を空孔パターン部材1に圧着
し、脱バインダ工程により、空孔パターン部材1を取除
き、インクキャビティ6を形成する。S5において、焼
結を行う。そして、圧着工程S4および焼結工程S5の
前に、あらかじめ、空孔パターン部材1の表面に金属箔
膜を塗布する工程S2を設ける。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、インクジェットプリン
タ用プリンタヘッドに関し、特に積層型圧電素子のイン
クジェット記録ヘッドおよびその製造方法に関する。
タ用プリンタヘッドに関し、特に積層型圧電素子のイン
クジェット記録ヘッドおよびその製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】周知のように、この種のインクジェット
記録ヘッドは、圧電効果を利用してインクキャビティを
構成する圧力室および流路内のインクをインクノズルか
ら液滴状に噴射させている。図4は従来のインクジェッ
ト記録ヘッドの製造方法を示す図で、(a)は製造工程
図、(b)は製造工程によって形成されるインクジェッ
ト記録ヘッドの形成過程図である。同図に基づいて従来
のインクジェット記録ヘッドの製造方法を説明する。
記録ヘッドは、圧電効果を利用してインクキャビティを
構成する圧力室および流路内のインクをインクノズルか
ら液滴状に噴射させている。図4は従来のインクジェッ
ト記録ヘッドの製造方法を示す図で、(a)は製造工程
図、(b)は製造工程によって形成されるインクジェッ
ト記録ヘッドの形成過程図である。同図に基づいて従来
のインクジェット記録ヘッドの製造方法を説明する。
【0003】S10において、感光性樹脂からなる空孔
パターン部材10を形成し、S11において、空孔パタ
ーン部材10を圧電材シート11に熱圧着して塗布し、
S12において、電極12aが印刷された圧電シート1
2を積層後、圧着し、S13において、脱バインダ工程
で形成バインダおよび空孔パターン部材5を取り除き、
インクキャビティ13を形成し、S14において焼結を
行う。また、空孔パターン部材10を炭素で形成した場
合には、S14の焼結工程において、空孔パターン部材
10を取り除きインクキャビティ13を形成する。
パターン部材10を形成し、S11において、空孔パタ
ーン部材10を圧電材シート11に熱圧着して塗布し、
S12において、電極12aが印刷された圧電シート1
2を積層後、圧着し、S13において、脱バインダ工程
で形成バインダおよび空孔パターン部材5を取り除き、
インクキャビティ13を形成し、S14において焼結を
行う。また、空孔パターン部材10を炭素で形成した場
合には、S14の焼結工程において、空孔パターン部材
10を取り除きインクキャビティ13を形成する。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た従来の積層型圧電素子のインクジェット記録ヘッドの
製造方法においては、脱バインダ工程で形成したインク
キャビティ13の内面に圧電材11が露出しているた
め、焼結工程において、圧電材11が欠損したり、イン
クキャビティ13の寸法が変化して、寸法精度が低下す
るといった問題があった。また、インクキャビティ13
の内面に圧電材11が露出しているため、インクキャビ
ティ13内にインクを充填した際にインクが圧電材11
に浸透したり、インクの圧電材11に対する親水性が悪
く、このためインクキャビティ13内におけるインクの
流れが悪いといった問題もあった。
た従来の積層型圧電素子のインクジェット記録ヘッドの
製造方法においては、脱バインダ工程で形成したインク
キャビティ13の内面に圧電材11が露出しているた
め、焼結工程において、圧電材11が欠損したり、イン
クキャビティ13の寸法が変化して、寸法精度が低下す
るといった問題があった。また、インクキャビティ13
の内面に圧電材11が露出しているため、インクキャビ
ティ13内にインクを充填した際にインクが圧電材11
に浸透したり、インクの圧電材11に対する親水性が悪
く、このためインクキャビティ13内におけるインクの
流れが悪いといった問題もあった。
【0005】したがって、本発明は上記した従来の問題
に鑑みてなされたものであり、その目的とするところ
は、寸法精度を向上させ、かつ良好なインクの供給を行
い得るインクジェット記録ヘッドおよびその製造方法を
提供することにある。
に鑑みてなされたものであり、その目的とするところ
は、寸法精度を向上させ、かつ良好なインクの供給を行
い得るインクジェット記録ヘッドおよびその製造方法を
提供することにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に、本発明に係るインクジェット記録ヘッドは、インク
キャビティと、電極が印刷され前記インクキャビティを
挟み込むようにして積層した圧電材シートとからなり、
前記インクキャビティの内面に金属箔膜が塗布されたも
のである。また、本発明に係るインクジェット記録ヘッ
ドの製造方法は、インクキャビティを形成する感光性樹
脂または炭素からなる空孔パターン部材の表面に金属箔
膜を施し、しかるのち空孔パターン部材に電極が印刷し
てある圧電材シートを積層後、圧着し、脱バインダ工程
および焼結工程を行うものである。
に、本発明に係るインクジェット記録ヘッドは、インク
キャビティと、電極が印刷され前記インクキャビティを
挟み込むようにして積層した圧電材シートとからなり、
前記インクキャビティの内面に金属箔膜が塗布されたも
のである。また、本発明に係るインクジェット記録ヘッ
ドの製造方法は、インクキャビティを形成する感光性樹
脂または炭素からなる空孔パターン部材の表面に金属箔
膜を施し、しかるのち空孔パターン部材に電極が印刷し
てある圧電材シートを積層後、圧着し、脱バインダ工程
および焼結工程を行うものである。
【0007】
【作用】本発明によれば、インクキャビティの内面に塗
布された金属箔膜により、インクキャビティ内にインク
を充填した際にインクが圧電材に浸透することなく、ま
たインクの金属箔膜に対する親水性が良く、このためイ
ンクキャビティ内におけるインクの流れが良好となる。
また、本発明によれば、空孔パターン部材の表面に金属
箔膜を施しているので、焼結工程において、圧電材が欠
損したり、インクキャビティの寸法が変化することがな
い。
布された金属箔膜により、インクキャビティ内にインク
を充填した際にインクが圧電材に浸透することなく、ま
たインクの金属箔膜に対する親水性が良く、このためイ
ンクキャビティ内におけるインクの流れが良好となる。
また、本発明によれば、空孔パターン部材の表面に金属
箔膜を施しているので、焼結工程において、圧電材が欠
損したり、インクキャビティの寸法が変化することがな
い。
【0008】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図に基づいて説明
する。図1は本発明に係るインクジェット記録ヘッドの
製造方法を示し、(a)は製造工程図、(b)は製造工
程によって形成される形成過程図、図2は同じく空孔パ
ターンの斜視図、図3は本発明に係るインクジェット記
録ヘッドの斜視図である。これらの図において、まずS
1において、空孔パターン部材1を形成する。空孔パタ
ーン部材1は全体が平板状に形成された感光性樹脂から
なり、中央に圧力室形成部1aが、両端に流路形成部1
bが、また隣接する空孔パターン部材1を連設するイン
ク供給路形成部1cがそれぞれ形成されている。
する。図1は本発明に係るインクジェット記録ヘッドの
製造方法を示し、(a)は製造工程図、(b)は製造工
程によって形成される形成過程図、図2は同じく空孔パ
ターンの斜視図、図3は本発明に係るインクジェット記
録ヘッドの斜視図である。これらの図において、まずS
1において、空孔パターン部材1を形成する。空孔パタ
ーン部材1は全体が平板状に形成された感光性樹脂から
なり、中央に圧力室形成部1aが、両端に流路形成部1
bが、また隣接する空孔パターン部材1を連設するイン
ク供給路形成部1cがそれぞれ形成されている。
【0009】次にS2において、この空孔パターン部材
1の表面にニッケル等の金属メッキを施し、金属箔膜層
2を形成する。さらに、S3において、表面に金属箔膜
層2を形成した空孔パターン1に、電極4が印刷されて
いる圧電材シート3を挟み込むようにして積層する。そ
して、S4において、圧電材シート3を空孔パターン1
に圧着して、本体5を形成するとともに、約500℃の
比較的長時間の加熱を行う脱バインダ工程で、感光性樹
脂を溶融して本体5から空孔パターン1を取り除き、イ
ンクキャビティ6を形成する。このとき、インクキャビ
ティ6の内面に金属箔膜2が塗布された状態となる。
1の表面にニッケル等の金属メッキを施し、金属箔膜層
2を形成する。さらに、S3において、表面に金属箔膜
層2を形成した空孔パターン1に、電極4が印刷されて
いる圧電材シート3を挟み込むようにして積層する。そ
して、S4において、圧電材シート3を空孔パターン1
に圧着して、本体5を形成するとともに、約500℃の
比較的長時間の加熱を行う脱バインダ工程で、感光性樹
脂を溶融して本体5から空孔パターン1を取り除き、イ
ンクキャビティ6を形成する。このとき、インクキャビ
ティ6の内面に金属箔膜2が塗布された状態となる。
【0010】形成されたインクキャビティ6は、図3に
示すように、圧力室6a、流路6bおよびインク供給路
6cで構成されている。最後にS5において、約120
0℃の加熱による焼結工程を行う。
示すように、圧力室6a、流路6bおよびインク供給路
6cで構成されている。最後にS5において、約120
0℃の加熱による焼結工程を行う。
【0011】このように、圧電材、電極積層工程S3お
よび圧着工程S4の前に、空孔パターン部材1の表面に
金属箔膜層2を形成しているので、金属箔膜層2が補強
機能を有して、焼結工程において、圧電材3の欠損や、
インクキャビティ6の寸法の変化を防止することがで
き、寸法精度を向上させることが可能となる。
よび圧着工程S4の前に、空孔パターン部材1の表面に
金属箔膜層2を形成しているので、金属箔膜層2が補強
機能を有して、焼結工程において、圧電材3の欠損や、
インクキャビティ6の寸法の変化を防止することがで
き、寸法精度を向上させることが可能となる。
【0012】また、インクキャビティ6の内面に塗布し
た金属箔膜2により、インクキャビティ6内にインクを
充填した際にインクが圧電材3に浸透することなく、ま
たインクの金属箔膜2に対する親水性が良いため、イン
クキャビティ6内におけるインクの流れが良好となる。
た金属箔膜2により、インクキャビティ6内にインクを
充填した際にインクが圧電材3に浸透することなく、ま
たインクの金属箔膜2に対する親水性が良いため、イン
クキャビティ6内におけるインクの流れが良好となる。
【0013】なお、本実施例では、空孔パターン部材1
を感光性樹脂で形成したが、これに限定されず、炭素で
形成してもよく、この場合空孔パターン部材1を取り除
く工程は、焼結工程S5で行われる。
を感光性樹脂で形成したが、これに限定されず、炭素で
形成してもよく、この場合空孔パターン部材1を取り除
く工程は、焼結工程S5で行われる。
【0014】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、イ
ンクキャビティと、電極が印刷され前記インクキャビテ
ィを挟み込むようにして積層した圧電材シートとからな
り、前記インクキャビティの内面に金属箔膜が塗布され
たことにより、インクキャビティ内にインクを充填した
際にインクの圧電材への浸透を防止するとともに、金属
箔膜よりインクキャビティ壁面に対するインクの親水性
を向上させることができるので、インクキャビティ内に
おけるインクの流れが良好となる。
ンクキャビティと、電極が印刷され前記インクキャビテ
ィを挟み込むようにして積層した圧電材シートとからな
り、前記インクキャビティの内面に金属箔膜が塗布され
たことにより、インクキャビティ内にインクを充填した
際にインクの圧電材への浸透を防止するとともに、金属
箔膜よりインクキャビティ壁面に対するインクの親水性
を向上させることができるので、インクキャビティ内に
おけるインクの流れが良好となる。
【0015】また、本発明によれば、インクキャビティ
を形成する感光性樹脂または炭素からなる空孔パターン
部材の表面に金属箔膜を施し、しかるのち空孔パターン
部材に電極が印刷してある圧電材シートを積層後、圧着
し、脱バインダ工程および焼結工程を行うことにより、
圧電材シート積層工程および圧着工程の前に、空孔パタ
ーン部材1の表面に表面補強用の金属箔膜層を形成する
ことができるので、焼結工程において、圧電材シートの
欠損を防止するとともに、インクキャビティの寸法の変
化を防止することができ、寸法精度を向上させることが
可能となる。
を形成する感光性樹脂または炭素からなる空孔パターン
部材の表面に金属箔膜を施し、しかるのち空孔パターン
部材に電極が印刷してある圧電材シートを積層後、圧着
し、脱バインダ工程および焼結工程を行うことにより、
圧電材シート積層工程および圧着工程の前に、空孔パタ
ーン部材1の表面に表面補強用の金属箔膜層を形成する
ことができるので、焼結工程において、圧電材シートの
欠損を防止するとともに、インクキャビティの寸法の変
化を防止することができ、寸法精度を向上させることが
可能となる。
【図1】 (a)は、本発明に係るインクジェット記録
ヘッドの製造工程図、(b)は、製造工程図に対応した
インクジェット記録ヘッドの形成過程図である。
ヘッドの製造工程図、(b)は、製造工程図に対応した
インクジェット記録ヘッドの形成過程図である。
【図2】 本発明に係るインクジェット記録ヘッドの空
孔パターン部材の斜視図である。
孔パターン部材の斜視図である。
【図3】 本発明に係るインクジェット記録ヘッドの斜
視図である。
視図である。
【図4】 (a)は、従来のインクジェット記録ヘッド
の製造工程図、(b)、は製造工程図に対応したインク
ジェット記録ヘッドの形成過程図である。
の製造工程図、(b)、は製造工程図に対応したインク
ジェット記録ヘッドの形成過程図である。
1…空孔パターン部材、1a…圧力室形成部、1b…流
路形成部、1b…インク供給路形成部、2…金属箔膜
層、3…圧電材シート、4…電極、6…インクキャビテ
ィ。
路形成部、1b…インク供給路形成部、2…金属箔膜
層、3…圧電材シート、4…電極、6…インクキャビテ
ィ。
Claims (3)
- 【請求項1】 インクキャビティと、電極が印刷され前
記インクキャビティを挟み込むようにして積層した圧電
材シートとからなり、前記インクキャビティの内面に金
属箔膜が塗布されたことを特徴とするインクジェット記
録ヘッド。 - 【請求項2】 インクキャビティを形成する感光性樹脂
または炭素からなる空孔パターン部材の表面に金属箔膜
を施し、しかるのち空孔パターン部材に電極が印刷して
ある圧電材シートを積層後、圧着し、脱バインダ工程お
よび焼結工程を行うことを特徴とするインクジェット記
録ヘッドの製造方法。 - 【請求項3】 請求項2記載のインクジェット記録ヘッ
ドの製造方法において、前記金属薄膜を金属メッキで施
したことを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造
方法。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6159976A JPH0825625A (ja) | 1994-07-12 | 1994-07-12 | インクジェット記録ヘッドおよびその製造方法 |
EP95110668A EP0692384A3 (en) | 1994-07-12 | 1995-07-07 | Ink jet recording head and method for its production |
US08/501,401 US5669125A (en) | 1994-07-12 | 1995-07-12 | Method of manufacturing an ink-jet recording head |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6159976A JPH0825625A (ja) | 1994-07-12 | 1994-07-12 | インクジェット記録ヘッドおよびその製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0825625A true JPH0825625A (ja) | 1996-01-30 |
Family
ID=15705291
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP6159976A Pending JPH0825625A (ja) | 1994-07-12 | 1994-07-12 | インクジェット記録ヘッドおよびその製造方法 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5669125A (ja) |
EP (1) | EP0692384A3 (ja) |
JP (1) | JPH0825625A (ja) |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3257960B2 (ja) | 1996-12-17 | 2002-02-18 | 富士通株式会社 | インクジェットヘッド |
DE19742233C2 (de) * | 1996-12-17 | 1999-12-16 | Fujitsu Ltd | Tintenstrahlkopf, der ein piezoelektrisches Element verwendet |
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