JPH08252497A - 2相流体ノズル - Google Patents
2相流体ノズルInfo
- Publication number
- JPH08252497A JPH08252497A JP8349095A JP8349095A JPH08252497A JP H08252497 A JPH08252497 A JP H08252497A JP 8349095 A JP8349095 A JP 8349095A JP 8349095 A JP8349095 A JP 8349095A JP H08252497 A JPH08252497 A JP H08252497A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- liquid
- nozzle
- gas
- gas pipe
- atomized
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05B—SPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
- B05B17/00—Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups
- B05B17/04—Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups operating with special methods
- B05B17/06—Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups operating with special methods using ultrasonic or other kinds of vibrations
- B05B17/0607—Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups operating with special methods using ultrasonic or other kinds of vibrations generated by electrical means, e.g. piezoelectric transducers
- B05B17/0623—Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups operating with special methods using ultrasonic or other kinds of vibrations generated by electrical means, e.g. piezoelectric transducers coupled with a vibrating horn
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 液体を霧化させてガスと混合させる。
【構成】 ガスを流すガス用配管に一本又は複数本の液
体用ノズルを連通させ、各液体用ノズルに超音波振動子
を配置して超音波振動により液体を霧化してガスととも
に噴射させる2相流体ノズル。
体用ノズルを連通させ、各液体用ノズルに超音波振動子
を配置して超音波振動により液体を霧化してガスととも
に噴射させる2相流体ノズル。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、空気と水等、2種類の
流体を混合して用いる2相流体ノズルに関するものであ
る。
流体を混合して用いる2相流体ノズルに関するものであ
る。
【0002】
【従来の技術】従来の此種装置は、図12に示すよう
に、ガス用配管1内にL字形をした液体用ノズル2の先
端をガス用配管1と平行するように挿入し、ガス用配管
1内を流れるガス3に液体用ノズル2から流入した流体
4を混合し、ウエハ5上に噴霧して洗浄を行っていた。
に、ガス用配管1内にL字形をした液体用ノズル2の先
端をガス用配管1と平行するように挿入し、ガス用配管
1内を流れるガス3に液体用ノズル2から流入した流体
4を混合し、ウエハ5上に噴霧して洗浄を行っていた。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかし、粒径の大きさ
が揃わず、衝突力に大小の違いが生じ、洗浄効果にばら
つきが発生するといった欠点があった。
が揃わず、衝突力に大小の違いが生じ、洗浄効果にばら
つきが発生するといった欠点があった。
【0004】そこで、本発明においては、前記の欠点を
除去するために、ガスに液体を霧化したものを混合する
ことによって、粒径の大小をなくし、洗浄効果を向上さ
せようとするものである。
除去するために、ガスに液体を霧化したものを混合する
ことによって、粒径の大小をなくし、洗浄効果を向上さ
せようとするものである。
【0005】
【課題を解決するための手段】本発明は前記課題を解決
するために、ガスを流すガス用配管に一本又は複数本の
液体用ノズルを連通させ、各液体用ノズルに超音波振動
子を配置して超音波振動により液体を霧化してガスとと
もに噴射させる2相流体ノズルを構成する。
するために、ガスを流すガス用配管に一本又は複数本の
液体用ノズルを連通させ、各液体用ノズルに超音波振動
子を配置して超音波振動により液体を霧化してガスとと
もに噴射させる2相流体ノズルを構成する。
【0006】又、液体用ノズルの先端に多孔板を施した
2相流体ノズルを構成する。
2相流体ノズルを構成する。
【0007】又、ガスを流すガス用配管内にL字形の液
体用ノズルを挿入し、液体用ノズルの先端に超音波笛を
取付けた2相流体ノズルを構成する。
体用ノズルを挿入し、液体用ノズルの先端に超音波笛を
取付けた2相流体ノズルを構成する。
【0008】又、ガスを流すガス用配管内にL字形の液
体用ノズルを挿入し、液体用ノズルの先端部に凹凸部を
設け、凸部に垂直方向著しくは水平方向に振動する超音
波振動子を固定して液体を霧化する2相流体ノズルを構
成する。
体用ノズルを挿入し、液体用ノズルの先端部に凹凸部を
設け、凸部に垂直方向著しくは水平方向に振動する超音
波振動子を固定して液体を霧化する2相流体ノズルを構
成する。
【0009】
【作用】本発明は前記のように構成したもので、液体用
ノズルから流出する液体を超音波振動子の振動により霧
化し、ガス用配管を流れるガスと共にウエハに噴射す
る。又、多孔板の細孔を通過する液体に超音波振動を与
えて霧化する。
ノズルから流出する液体を超音波振動子の振動により霧
化し、ガス用配管を流れるガスと共にウエハに噴射す
る。又、多孔板の細孔を通過する液体に超音波振動を与
えて霧化する。
【0010】又、液体用ノズルに設けた超音波笛による
超音波振動より液体を霧化し、ガスと共にウエハに噴射
する。又、液体用ノズルに凹凸部を設け、凸部に超音波
振動子を固定して超音波振動により液体を霧化する。
超音波振動より液体を霧化し、ガスと共にウエハに噴射
する。又、液体用ノズルに凹凸部を設け、凸部に超音波
振動子を固定して超音波振動により液体を霧化する。
【0011】
【実施例】本発明の第1実施例を図1,2に基いて詳細
に説明すると、外径6.4mmのガス用配管1に従来と
同様に外径3.2mm、内径1.8mmのL字型をした
液体用ノズル2を挿入し、液体用ノズル2の先端をガス
用配管1の開口から約10mmの個所に位置させ、その
外周にUS振動子6(メガソニック・スクラバ:1.6
MHz、WETメガソ800KHz)を取り付け、液体
4を超音波振動により霧化する。
に説明すると、外径6.4mmのガス用配管1に従来と
同様に外径3.2mm、内径1.8mmのL字型をした
液体用ノズル2を挿入し、液体用ノズル2の先端をガス
用配管1の開口から約10mmの個所に位置させ、その
外周にUS振動子6(メガソニック・スクラバ:1.6
MHz、WETメガソ800KHz)を取り付け、液体
4を超音波振動により霧化する。
【0012】液体用ノズル2に取付けたUS振動子6で
液体を霧化し、その液滴(粒径;メガソニック・スクラ
バで0.0002〜40μm,WETメガソで0.00
07〜80μm)を100〜330m/secの速度の
ガス3によってガス用配管1から同時に噴射する。
液体を霧化し、その液滴(粒径;メガソニック・スクラ
バで0.0002〜40μm,WETメガソで0.00
07〜80μm)を100〜330m/secの速度の
ガス3によってガス用配管1から同時に噴射する。
【0013】したがって、この作用によりガスと液滴は
混合されてウエハ5に衝突され、ウエハ5上のパーティ
クルの除去を行う。
混合されてウエハ5に衝突され、ウエハ5上のパーティ
クルの除去を行う。
【0014】次に第2実施例を図3,4に基いて説明す
ると、本実施例はガス用配管1に複数本(実施例では4
本)の液体用ノズル2,2,…を挿入し、各液体用ノズ
ル2,2,…の先端にそれぞれUS振動子6,6…を取
付け、各液体用ノズル2,2,…から噴射する各液体4
を霧化してガスと同時にウエハ5を噴射する。
ると、本実施例はガス用配管1に複数本(実施例では4
本)の液体用ノズル2,2,…を挿入し、各液体用ノズ
ル2,2,…の先端にそれぞれUS振動子6,6…を取
付け、各液体用ノズル2,2,…から噴射する各液体4
を霧化してガスと同時にウエハ5を噴射する。
【0015】次に、第3実施例図5に基いて説明する
と、本実施例は、ガス用配管1の途中に開口部7を設
け、この開口部7にガス用配管1と直角に液体用ノズル
2´を取付け、液体用ノズル2´のガス用配管1の近傍
にUS振動子6を固定し、液体4に超音波振動を与えて
霧化し、ガス用配管1中を流れるガス3と共にウエハ5
上に噴射して洗浄を行う。
と、本実施例は、ガス用配管1の途中に開口部7を設
け、この開口部7にガス用配管1と直角に液体用ノズル
2´を取付け、液体用ノズル2´のガス用配管1の近傍
にUS振動子6を固定し、液体4に超音波振動を与えて
霧化し、ガス用配管1中を流れるガス3と共にウエハ5
上に噴射して洗浄を行う。
【0016】次に、第4実施例と図6,7に基いて説明
すると、第1実施例と同様にガス用配管1にL字型の液
体用ノズル2取付け、液体用ノズル2の先端に平均噴射
粒径80μmの多孔板8を取付け、この多孔板8に振動
を伝達できるように液体用ノズル2にUS振動子6を取
付け、多孔板8から噴射する平均粒径80μmの液体を
更に霧化することによって、ガス用配管1からガスと同
時に噴射する。
すると、第1実施例と同様にガス用配管1にL字型の液
体用ノズル2取付け、液体用ノズル2の先端に平均噴射
粒径80μmの多孔板8を取付け、この多孔板8に振動
を伝達できるように液体用ノズル2にUS振動子6を取
付け、多孔板8から噴射する平均粒径80μmの液体を
更に霧化することによって、ガス用配管1からガスと同
時に噴射する。
【0017】次に、第5実施例を図8,9に基いて説明
すると、従来と同様にガス用配管1内にL字形の液体用
ノズル2を取付け、液体用ノズル2の先端近傍に間隔a
を40mm凸部巾20mmの凹凸用共振器9(図9参
照)を固定し、この凹凸用共振器9の凸部分に対して縦
又は横に振動するUS振動子6,6を固定し、このUS
振動子6,6によって液体を霧化し、その液滴をガスに
よってガス用配管1から同時に噴射してウエハ5のパー
ティクルを除去する。
すると、従来と同様にガス用配管1内にL字形の液体用
ノズル2を取付け、液体用ノズル2の先端近傍に間隔a
を40mm凸部巾20mmの凹凸用共振器9(図9参
照)を固定し、この凹凸用共振器9の凸部分に対して縦
又は横に振動するUS振動子6,6を固定し、このUS
振動子6,6によって液体を霧化し、その液滴をガスに
よってガス用配管1から同時に噴射してウエハ5のパー
ティクルを除去する。
【0018】次に、第6実施例を図10,11に基いて
説明すると、従来と同様にガス用配管1内にL字形の液
体用ノズル2を取付け、その先端に超音波笛10を取付
け、液体を霧化する。この超音波笛10は図11に示す
ように公知のものを使用する。即ち、液体用ノズル2の
先端に基台11を固定し、この基台11の先端に円弧形
をした反射板12を取付ける。そして、基台11の中央
に液体溝13を設け、この液体溝13の先端の径を傾斜
状に細めてテーパーノズル14を形成し、液体溝13の
中央に笛支持棒15を位置させ、笛支持棒15の先端で
反射板12中内に共鳴部材16を設け、共鳴部材16の
上面に共鳴空洞17を設け液体溝13を流下する液体の
噴流が共鳴空洞17に流れ込み、この共鳴空洞17へ出
入りする液体流れが不安定であることによって空洞近辺
の空気圧に変化が生じて超音波が発生し、液体を霧化す
る。この霧化した液滴をガスと共にウエハ5に噴射して
パーティクルを除去する。
説明すると、従来と同様にガス用配管1内にL字形の液
体用ノズル2を取付け、その先端に超音波笛10を取付
け、液体を霧化する。この超音波笛10は図11に示す
ように公知のものを使用する。即ち、液体用ノズル2の
先端に基台11を固定し、この基台11の先端に円弧形
をした反射板12を取付ける。そして、基台11の中央
に液体溝13を設け、この液体溝13の先端の径を傾斜
状に細めてテーパーノズル14を形成し、液体溝13の
中央に笛支持棒15を位置させ、笛支持棒15の先端で
反射板12中内に共鳴部材16を設け、共鳴部材16の
上面に共鳴空洞17を設け液体溝13を流下する液体の
噴流が共鳴空洞17に流れ込み、この共鳴空洞17へ出
入りする液体流れが不安定であることによって空洞近辺
の空気圧に変化が生じて超音波が発生し、液体を霧化す
る。この霧化した液滴をガスと共にウエハ5に噴射して
パーティクルを除去する。
【0019】
【発明の効果】本発明は前記のような構成、作用を有す
るもので、液体の粒径が安定するため、洗浄効果を大巾
に向上させることができる。
るもので、液体の粒径が安定するため、洗浄効果を大巾
に向上させることができる。
【0020】更に、超音波の周波数と粒径には相関性が
あり、必要とする粒径のものを効率良くつくることが可
能となるため、被洗浄物の大きさに合わせて洗浄効果を
大きくできるという利点がある。
あり、必要とする粒径のものを効率良くつくることが可
能となるため、被洗浄物の大きさに合わせて洗浄効果を
大きくできるという利点がある。
【0021】
【図1】本発明に係る2相流体ノズルの第1実施例の縦
断面図。
断面図。
【図2】その横断平面図。
【図3】第2実施例の縦断面図。
【図4】その横断平面図。
【図5】第3実施例の縦断面図。
【図6】第4実施例の縦断面図。
【図7】その要部の拡大断面図。
【図8】第5実施例の縦断面図。
【図9】その要部拡大断面図。
【図10】第6実施例の縦断面図。
【図11】超音波笛の拡大断面図。
【図12】従来装置の断面図。
1 ガス用配管 2 液体用ノズル 2´ 液体用ノズル 3 ガス 4 液体 5 ウエハ 6 US振動子 7 開口部 8 多孔板 9 凹凸用共振器 10 超音波笛 11 基台 12 反射板 13 流体溝 14 テーパーノズル 15 笛支持棒 16 共鳴部材 17 共鳴空洞
Claims (4)
- 【請求項1】 ガスを流すガス用配管に一本又は複数本
の液体用ノズルを連通させ、各液体用ノズルに超音波振
動子を配置して超音波振動により液体を霧化してガスと
ともに噴射させることを特徴とする2相流体ノズル。 - 【請求項2】 液体用ノズルの先端に多孔板を施したこ
とを特徴とする請求項1記載の2相流体ノズル。 - 【請求項3】 ガスを流すガス用配管内にL字形の液体
用ノズルを挿入し、液体用ノズルの先端に超音波笛を取
付けたことを特徴とする2相流体ノズル。 - 【請求項4】 ガスを流すガス用配管内にL字形の液体
用ノズルを挿入し、液体用ノズルの先端部に凹凸部を設
け、凸部に垂直方向若しくは水平方向に振動する超音波
振動子を固定して液体を霧化することを特徴とする2相
流体ノズル。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8349095A JPH08252497A (ja) | 1995-03-16 | 1995-03-16 | 2相流体ノズル |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8349095A JPH08252497A (ja) | 1995-03-16 | 1995-03-16 | 2相流体ノズル |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH08252497A true JPH08252497A (ja) | 1996-10-01 |
Family
ID=13803928
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP8349095A Pending JPH08252497A (ja) | 1995-03-16 | 1995-03-16 | 2相流体ノズル |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH08252497A (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007063319A (ja) * | 2005-08-29 | 2007-03-15 | Hitachi Ltd | 重質油改質システム及び重質油利用ガスタービン発電システム |
WO2010024062A1 (ja) * | 2008-08-29 | 2010-03-04 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 基板洗浄方法および基板洗浄装置 |
JP2015535700A (ja) * | 2012-09-25 | 2015-12-17 | ジーイーエイ・フード・ソリューションズ・バーケル・ベスローテン・フェンノートシャップ | 蒸煮と燻製との組合せ |
CN105414084A (zh) * | 2015-12-10 | 2016-03-23 | 北京七星华创电子股份有限公司 | 具有超声或兆声振荡的二相流雾化清洗装置及清洗方法 |
CN112844197A (zh) * | 2021-02-25 | 2021-05-28 | 董洪旭 | 一种建筑涂料乳化机及其乳化方法 |
-
1995
- 1995-03-16 JP JP8349095A patent/JPH08252497A/ja active Pending
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007063319A (ja) * | 2005-08-29 | 2007-03-15 | Hitachi Ltd | 重質油改質システム及び重質油利用ガスタービン発電システム |
WO2010024062A1 (ja) * | 2008-08-29 | 2010-03-04 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 基板洗浄方法および基板洗浄装置 |
JP2010056376A (ja) * | 2008-08-29 | 2010-03-11 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板洗浄方法および基板洗浄装置 |
US10699894B2 (en) | 2008-08-29 | 2020-06-30 | SCREEN Holdings Co., Ltd. | Substrate cleaning method and substrate cleaning apparatus |
US10854443B2 (en) | 2008-08-29 | 2020-12-01 | SCREEN Holdings Co., Ltd. | Substrate cleaning method and substrate cleaning apparatus |
US11610772B2 (en) | 2008-08-29 | 2023-03-21 | SCREEN Holdings Co., Ltd. | Substrate cleaning method and substrate cleaning apparatus |
JP2015535700A (ja) * | 2012-09-25 | 2015-12-17 | ジーイーエイ・フード・ソリューションズ・バーケル・ベスローテン・フェンノートシャップ | 蒸煮と燻製との組合せ |
CN105414084A (zh) * | 2015-12-10 | 2016-03-23 | 北京七星华创电子股份有限公司 | 具有超声或兆声振荡的二相流雾化清洗装置及清洗方法 |
CN112844197A (zh) * | 2021-02-25 | 2021-05-28 | 董洪旭 | 一种建筑涂料乳化机及其乳化方法 |
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