JPH08251863A - 電動アクチュエータ - Google Patents
電動アクチュエータInfo
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- JPH08251863A JPH08251863A JP7048191A JP4819195A JPH08251863A JP H08251863 A JPH08251863 A JP H08251863A JP 7048191 A JP7048191 A JP 7048191A JP 4819195 A JP4819195 A JP 4819195A JP H08251863 A JPH08251863 A JP H08251863A
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- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q5/00—Driving or feeding mechanisms; Control arrangements therefor
- B23Q5/22—Feeding members carrying tools or work
- B23Q5/34—Feeding other members supporting tools or work, e.g. saddles, tool-slides, through mechanical transmission
- B23Q5/38—Feeding other members supporting tools or work, e.g. saddles, tool-slides, through mechanical transmission feeding continuously
- B23Q5/40—Feeding other members supporting tools or work, e.g. saddles, tool-slides, through mechanical transmission feeding continuously by feed shaft, e.g. lead screw
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- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
- B23Q1/01—Frames, beds, pillars or like members; Arrangement of ways
- B23Q1/017—Arrangements of ways
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- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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- B23Q1/26—Movable or adjustable work or tool supports characterised by constructional features relating to the co-operation of relatively movable members; Means for preventing relative movement of such members
- B23Q1/262—Movable or adjustable work or tool supports characterised by constructional features relating to the co-operation of relatively movable members; Means for preventing relative movement of such members with means to adjust the distance between the relatively slidable members
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- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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- B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
- B23Q1/44—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms
- B23Q1/56—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism
- B23Q1/58—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism a single sliding pair
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- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T74/00—Machine element or mechanism
- Y10T74/18—Mechanical movements
- Y10T74/18568—Reciprocating or oscillating to or from alternating rotary
- Y10T74/18576—Reciprocating or oscillating to or from alternating rotary including screw and nut
- Y10T74/18656—Carriage surrounded, guided, and primarily supported by member other than screw [e.g., linear guide, etc.]
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Transmission Devices (AREA)
- Connection Of Motors, Electrical Generators, Mechanical Devices, And The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】高い剛性を保持しながら高さ方向の寸法を規制
するとともに廉価に製造することが可能であり、さらに
ボールねじの調心作業等を行う必要がなく簡便に組み付
けることが可能な電動アクチュエータを提供すること。 【構成】長手方向に沿って長尺に形成されたベース部材
１２と、前記ベース部材１２の両端部にそれぞれ対向し
て固設されるモータ部１８およびエンコーダ部２０と、
長手方向に沿って変位するスライドテーブル５２と、前
記モータ部１８の駆動力をスライドテーブル５２に伝達
するボールねじ１６と、前記ベース部材１２と一体的に
膨出形成され、前記スライドテーブル５２を案内するガ
イド部３２ａ、３２ｂとを備える。
するとともに廉価に製造することが可能であり、さらに
ボールねじの調心作業等を行う必要がなく簡便に組み付
けることが可能な電動アクチュエータを提供すること。 【構成】長手方向に沿って長尺に形成されたベース部材
１２と、前記ベース部材１２の両端部にそれぞれ対向し
て固設されるモータ部１８およびエンコーダ部２０と、
長手方向に沿って変位するスライドテーブル５２と、前
記モータ部１８の駆動力をスライドテーブル５２に伝達
するボールねじ１６と、前記ベース部材１２と一体的に
膨出形成され、前記スライドテーブル５２を案内するガ
イド部３２ａ、３２ｂとを備える。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、回転駆動手段の駆動作
用下にスライドテーブルが変位する電動アクチュエータ
に関する。
用下にスライドテーブルが変位する電動アクチュエータ
に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来から、例えば、ワークを搬送するた
めの手段として電動アクチュエータが用いられている。
この電動アクチュエータは、基本的には、長尺状に形成
されたフレームと、前記フレーム内に配設された電動モ
ータと、前記電動モータの回転駆動力を直線運動に変換
して他の部材に伝達するボールねじと、所定間隔離間し
前記フレームの上面部の長手方向に沿って固設される一
対のガイドレールと、前記ガイドレールの案内作用下に
前記ボールねじを介してフレームの長手方向に沿って変
位するスライドテーブルとから構成される。
めの手段として電動アクチュエータが用いられている。
この電動アクチュエータは、基本的には、長尺状に形成
されたフレームと、前記フレーム内に配設された電動モ
ータと、前記電動モータの回転駆動力を直線運動に変換
して他の部材に伝達するボールねじと、所定間隔離間し
前記フレームの上面部の長手方向に沿って固設される一
対のガイドレールと、前記ガイドレールの案内作用下に
前記ボールねじを介してフレームの長手方向に沿って変
位するスライドテーブルとから構成される。
【０００３】また、前記ボールねじの一端部には該ボー
ルねじを回転自在に軸支する軸受部材が設けられ、前記
ボールねじの他端部にはカップリング部材を介して電動
モータのモータ軸が連結される。さらに、前記電動モー
タの近接する部位には、該電動モータの回転角度、回転
数等を検出するためのエンコーダが配設されている。
ルねじを回転自在に軸支する軸受部材が設けられ、前記
ボールねじの他端部にはカップリング部材を介して電動
モータのモータ軸が連結される。さらに、前記電動モー
タの近接する部位には、該電動モータの回転角度、回転
数等を検出するためのエンコーダが配設されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】前記従来技術に係る電
動アクチュエータでは、フレームがアルミニウムの材料
で形成されるため剛性がやや劣り、スライドテーブルの
直線精度並びに平行精度は、実質的に、剛性の高いステ
ンレス鋼の材料で形成されたガイドレールに依存してい
る。従って、従来技術に係る電動アクチュエータの高さ
方向の寸法は、前記フレームの高さ方向の寸法と前記フ
レームの上面部に固設されるガイドレールの高さ方向の
寸法とが加算された寸法となり、高い剛性を保持しなが
ら前記電動アクチュエータの高さ方向の寸法を規制する
ことができないという不都合がある。
動アクチュエータでは、フレームがアルミニウムの材料
で形成されるため剛性がやや劣り、スライドテーブルの
直線精度並びに平行精度は、実質的に、剛性の高いステ
ンレス鋼の材料で形成されたガイドレールに依存してい
る。従って、従来技術に係る電動アクチュエータの高さ
方向の寸法は、前記フレームの高さ方向の寸法と前記フ
レームの上面部に固設されるガイドレールの高さ方向の
寸法とが加算された寸法となり、高い剛性を保持しなが
ら前記電動アクチュエータの高さ方向の寸法を規制する
ことができないという不都合がある。
【０００５】また、フレームとガイドレールとが別体で
形成されるため部品点数が多くなり、組付工数が増加し
て製造コストが高騰するという不都合がある。
形成されるため部品点数が多くなり、組付工数が増加し
て製造コストが高騰するという不都合がある。
【０００６】さらに、従来技術に係る電動アクチュエー
タでは、その組付工程の際、カップリング部材を介して
ボールねじとモータ軸とが同一の軸心となるように位置
決めして連結しなければならないとともに、前記ボール
ねじをフレームの軸心に沿って配設する必要があり、こ
のようなボールねじの調心作業が煩雑となる不都合があ
る。
タでは、その組付工程の際、カップリング部材を介して
ボールねじとモータ軸とが同一の軸心となるように位置
決めして連結しなければならないとともに、前記ボール
ねじをフレームの軸心に沿って配設する必要があり、こ
のようなボールねじの調心作業が煩雑となる不都合があ
る。
【０００７】本発明は、前記の種々の不都合を克服する
ためになされたものであり、高い剛性を保持しながら高
さ方向の寸法を規制するとともに廉価に製造することが
可能であり、さらにボールねじの調心作業等を行う必要
がなく簡便に組み付けることが可能な電動アクチュエー
タを提供することを目的とする。
ためになされたものであり、高い剛性を保持しながら高
さ方向の寸法を規制するとともに廉価に製造することが
可能であり、さらにボールねじの調心作業等を行う必要
がなく簡便に組み付けることが可能な電動アクチュエー
タを提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】前記の目的を達成するた
めに、本発明は、長手方向に沿って長尺に形成されたベ
ース部材と、前記ベース部材の一端部に固設される回転
駆動手段と、前記ベース部材の他端部に対向して固設さ
れ、前記回転駆動手段の回転量を検出する検出手段と、
前記回転駆動手段の駆動作用下にベース部材の長手方向
に沿って変位するスライドテーブルと、前記回転駆動手
段の駆動力をスライドテーブルに伝達する駆動力伝達手
段と、前記ベース部材と一体的に膨出形成され、前記ス
ライドテーブルを案内するガイド部と、を備えることを
特徴とする。
めに、本発明は、長手方向に沿って長尺に形成されたベ
ース部材と、前記ベース部材の一端部に固設される回転
駆動手段と、前記ベース部材の他端部に対向して固設さ
れ、前記回転駆動手段の回転量を検出する検出手段と、
前記回転駆動手段の駆動作用下にベース部材の長手方向
に沿って変位するスライドテーブルと、前記回転駆動手
段の駆動力をスライドテーブルに伝達する駆動力伝達手
段と、前記ベース部材と一体的に膨出形成され、前記ス
ライドテーブルを案内するガイド部と、を備えることを
特徴とする。
【０００９】
【作用】上記の本発明に係る電動アクチュエータでは、
付勢された回転駆動手段の駆動力が駆動力伝達手段を介
してスライドテーブルに伝達され、ベース部材と一体的
に形成されたガイド部の案内作用下に前記スライドテー
ブルが変位する。この結果、前記スライドテーブルに載
置されたワークを所定位置に搬送することができる。
付勢された回転駆動手段の駆動力が駆動力伝達手段を介
してスライドテーブルに伝達され、ベース部材と一体的
に形成されたガイド部の案内作用下に前記スライドテー
ブルが変位する。この結果、前記スライドテーブルに載
置されたワークを所定位置に搬送することができる。
【００１０】前記電動アクチュエータでは、ガイド部が
ベース部材と一体的に膨出形成されているため、高さ方
向が規制されて低く形成することができる。
ベース部材と一体的に膨出形成されているため、高さ方
向が規制されて低く形成することができる。
【００１１】
【実施例】次に、本発明に係る電動アクチュエータにつ
いて好適な実施例を挙げ、添付の図面を参照しながら以
下詳細に説明する。
いて好適な実施例を挙げ、添付の図面を参照しながら以
下詳細に説明する。
【００１２】図１は、本発明の第１実施例に係る電動ア
クチュエータの分解斜視図、図２は、図１に示す電動ア
クチュエータの縦断面図である。
クチュエータの分解斜視図、図２は、図１に示す電動ア
クチュエータの縦断面図である。
【００１３】この電動アクチュエータ１０は、長手方向
に沿って長尺状に形成されたベース部材１２と、前記ベ
ース部材１２の上面に画成された凹部１４内に長手方向
に沿って支持されたボールねじ１６と、前記ベース部材
１２の長手方向に沿った一端部に設けられ、前記ボール
ねじ１６を回転駆動させるモータ部１８と、前記ベース
部材１２の長手方向に沿った他端部に設けられるエンコ
ーダ部２０と、前記ベース部材１２に画成された凹部１
４を閉塞するカバー部材２２とを含む。
に沿って長尺状に形成されたベース部材１２と、前記ベ
ース部材１２の上面に画成された凹部１４内に長手方向
に沿って支持されたボールねじ１６と、前記ベース部材
１２の長手方向に沿った一端部に設けられ、前記ボール
ねじ１６を回転駆動させるモータ部１８と、前記ベース
部材１２の長手方向に沿った他端部に設けられるエンコ
ーダ部２０と、前記ベース部材１２に画成された凹部１
４を閉塞するカバー部材２２とを含む。
【００１４】なお、前記カバー部材２２は、ベース部材
１２の上面部を閉塞するトップカバー部２４とベース部
材１２の長手方向に沿った両端部を閉塞する一組のサイ
ドカバー部２６、２７とが一体的に組み付けられて構成
される。一方のサイドカバー部２６には、前記モータ部
１８およびエンコーダ部２０に電気的に接続されるリー
ド線（図示せず）を導出するための窓部２８が画成され
ている。さらに、前記電動アクチュエータ１０は、ボー
ルねじ１６の回転作用下に相互に対向して配設された二
組の軸受部材（後述する）を介してベース部材１２の長
手方向に沿って変位するスライド機構３０を有する。
１２の上面部を閉塞するトップカバー部２４とベース部
材１２の長手方向に沿った両端部を閉塞する一組のサイ
ドカバー部２６、２７とが一体的に組み付けられて構成
される。一方のサイドカバー部２６には、前記モータ部
１８およびエンコーダ部２０に電気的に接続されるリー
ド線（図示せず）を導出するための窓部２８が画成され
ている。さらに、前記電動アクチュエータ１０は、ボー
ルねじ１６の回転作用下に相互に対向して配設された二
組の軸受部材（後述する）を介してベース部材１２の長
手方向に沿って変位するスライド機構３０を有する。
【００１５】ベース部材１２は、鋼材、例えば、鋼板
（ＳＰＣ）等の材料を引き抜きにより一体成形すること
によって高い剛性を保持することが可能である。このベ
ース部材１２は断面略コの字状に形成され、短手方向に
沿って所定間隔離間した両端部には、上方に膨出する一
組のガイド部３２ａ、３２ｂが平面状のプレート部３４
と一体的に形成される。このガイド部３２ａ、３２ｂの
相互に対向する内壁面には断面略ｖ字状の長溝３６ａ、
３６ｂが画成され、前記長溝３６ａ、３６ｂに沿って軸
受部材（後述する）が摺動自在に設けられる。
（ＳＰＣ）等の材料を引き抜きにより一体成形すること
によって高い剛性を保持することが可能である。このベ
ース部材１２は断面略コの字状に形成され、短手方向に
沿って所定間隔離間した両端部には、上方に膨出する一
組のガイド部３２ａ、３２ｂが平面状のプレート部３４
と一体的に形成される。このガイド部３２ａ、３２ｂの
相互に対向する内壁面には断面略ｖ字状の長溝３６ａ、
３６ｂが画成され、前記長溝３６ａ、３６ｂに沿って軸
受部材（後述する）が摺動自在に設けられる。
【００１６】モータ部１８は、ベース部材１２の短手方
向に沿って突出する一組の突起部３８ａ、３８ｂを介し
てガイド部３２ａ、３２ｂの上面にそれぞれねじ止めさ
れるモータハウジング４０と、前記モータハウジング４
０の軸線方向に沿って貫通する孔部４２に嵌合されるモ
ータユニット４４とから構成される。この場合、前記モ
ータハウジング４０は、好適にはアルミニウムの材料を
押し出して形成される。前記モータユニット４４は略円
筒状を呈するケーシングを有し、前記ケーシング内に
は、電動モータを構成する図示しないロータおよびステ
ータが配設される。なお、前記ロータが固定される電動
モータのモータ軸はカップリング部材を用いることなく
ボールねじ１６と一体的に形成される。
向に沿って突出する一組の突起部３８ａ、３８ｂを介し
てガイド部３２ａ、３２ｂの上面にそれぞれねじ止めさ
れるモータハウジング４０と、前記モータハウジング４
０の軸線方向に沿って貫通する孔部４２に嵌合されるモ
ータユニット４４とから構成される。この場合、前記モ
ータハウジング４０は、好適にはアルミニウムの材料を
押し出して形成される。前記モータユニット４４は略円
筒状を呈するケーシングを有し、前記ケーシング内に
は、電動モータを構成する図示しないロータおよびステ
ータが配設される。なお、前記ロータが固定される電動
モータのモータ軸はカップリング部材を用いることなく
ボールねじ１６と一体的に形成される。
【００１７】エンコーダ部２０は、前記モータハウジン
グ４０と同一材質且つ同一形状に形成されるエンコーダ
ハウジング４６と、前記エンコーダハウジング４６の貫
通する孔部４８に嵌合されるエンコーダユニット５０と
から構成される。前記エンコーダユニット５０は、略円
筒状のケーシングを有し、前記ケーシング内には、ボー
ルねじ１６の回転速度、回転数等を検出するロータリエ
ンコーダ（図示せず）が配設される。なお、前記モータ
ハウジング４０およびエンコーダハウジング４６の孔部
４２、４８はそれぞれ略同一の直径に形成される。
グ４０と同一材質且つ同一形状に形成されるエンコーダ
ハウジング４６と、前記エンコーダハウジング４６の貫
通する孔部４８に嵌合されるエンコーダユニット５０と
から構成される。前記エンコーダユニット５０は、略円
筒状のケーシングを有し、前記ケーシング内には、ボー
ルねじ１６の回転速度、回転数等を検出するロータリエ
ンコーダ（図示せず）が配設される。なお、前記モータ
ハウジング４０およびエンコーダハウジング４６の孔部
４２、４８はそれぞれ略同一の直径に形成される。
【００１８】従って、同一形状に形成された前記モータ
ハウジング４０およびエンコーダハウジング４６は、貫
通する孔部４２、４８内にモータユニット４４またはエ
ンコーダユニット５０を嵌合するとともに、突起部３８
ａ、３８ｂを介してベース部材１２の長手方向に沿った
両端部にそれぞれねじ止めすることにより、モータ部１
８のモータ軸、ボールねじ１６およびエンコーダ部２０
のエンコーダシャフトをそれぞれ同一軸線上に配設する
ことができる。この結果、従来技術のように、モータ軸
とボールねじ１６との調心作業を行う必要がないため、
簡便に組み付けることが可能となる。
ハウジング４０およびエンコーダハウジング４６は、貫
通する孔部４２、４８内にモータユニット４４またはエ
ンコーダユニット５０を嵌合するとともに、突起部３８
ａ、３８ｂを介してベース部材１２の長手方向に沿った
両端部にそれぞれねじ止めすることにより、モータ部１
８のモータ軸、ボールねじ１６およびエンコーダ部２０
のエンコーダシャフトをそれぞれ同一軸線上に配設する
ことができる。この結果、従来技術のように、モータ軸
とボールねじ１６との調心作業を行う必要がないため、
簡便に組み付けることが可能となる。
【００１９】スライド機構３０は、上面に画成された取
付用孔部（図示せず）を介してワークが連結されるスラ
イドテーブル５２を含む。前記スライドテーブル５２
は、ベース部材１２のガイド部３２ａ、３２ｂに沿って
摺動変位する一組の摺動ブロック５４ａ、５４ｂと、前
記一組の摺動ブロック５４ａ、５４ｂ間に設けられた保
持ブロック５６とが一体的に連結されて構成される。前
記保持ブロック５６の中央部には軸線方向に沿って開口
する開口部５８が画成され、ボールねじ１６に螺合する
略円柱状の軸受ブロック６０が前記開口部５８内に保持
される。
付用孔部（図示せず）を介してワークが連結されるスラ
イドテーブル５２を含む。前記スライドテーブル５２
は、ベース部材１２のガイド部３２ａ、３２ｂに沿って
摺動変位する一組の摺動ブロック５４ａ、５４ｂと、前
記一組の摺動ブロック５４ａ、５４ｂ間に設けられた保
持ブロック５６とが一体的に連結されて構成される。前
記保持ブロック５６の中央部には軸線方向に沿って開口
する開口部５８が画成され、ボールねじ１６に螺合する
略円柱状の軸受ブロック６０が前記開口部５８内に保持
される。
【００２０】前記一組の摺動ブロック５４ａ、５４ｂに
は、図２に示されるように、所定距離離間し相互に対向
する固定軸受部材６２および偏心軸受部材６４がそれぞ
れ２個ずつねじ止めされる。前記固定軸受部材６２およ
び偏心軸受部材６４は、所定角度傾斜する外周面６６が
ガイド部３２ａ（３２ｂ）の長溝３６ａ（３６ｂ）に摺
接するガイドホイール６８と、ボールベアリング７０を
介して前記ガイドホイール６８を回動自在に保持するブ
ッシュ７０ａ、７０ｂと、前記ブッシュ７０ａ、７０ｂ
を摺動ブロック５４ａ、５４ｂに固定するボルト部材７
２と、前記ボルト部材７２のねじ部に嵌合するナット部
材７４とを有する点で同一に構成される。
は、図２に示されるように、所定距離離間し相互に対向
する固定軸受部材６２および偏心軸受部材６４がそれぞ
れ２個ずつねじ止めされる。前記固定軸受部材６２およ
び偏心軸受部材６４は、所定角度傾斜する外周面６６が
ガイド部３２ａ（３２ｂ）の長溝３６ａ（３６ｂ）に摺
接するガイドホイール６８と、ボールベアリング７０を
介して前記ガイドホイール６８を回動自在に保持するブ
ッシュ７０ａ、７０ｂと、前記ブッシュ７０ａ、７０ｂ
を摺動ブロック５４ａ、５４ｂに固定するボルト部材７
２と、前記ボルト部材７２のねじ部に嵌合するナット部
材７４とを有する点で同一に構成される。
【００２１】前記固定軸受部材６２ではボルト部材７２
の軸線とブッシュ７０ａとの軸線が一致しているのに対
し、偏心軸受部材６４では前記ボルト部材７２の軸線Ａ
とブッシュ７０ｂとの軸線Ｂが一致せず偏心しており、
前記偏心作用を利用してガイドホイール６８が長溝３６
ｂに摺接する具合を調整することができる。この場合、
前記固定軸受部材６２および偏心軸受部材６４を構成す
るガイドホイール６８、６８は、相互に対向するガイド
部３２ａ、３２ｂの内壁面側に設けられるため、高さ方
向が何ら規制されることなく、好適に案内作用を営むこ
とができる。
の軸線とブッシュ７０ａとの軸線が一致しているのに対
し、偏心軸受部材６４では前記ボルト部材７２の軸線Ａ
とブッシュ７０ｂとの軸線Ｂが一致せず偏心しており、
前記偏心作用を利用してガイドホイール６８が長溝３６
ｂに摺接する具合を調整することができる。この場合、
前記固定軸受部材６２および偏心軸受部材６４を構成す
るガイドホイール６８、６８は、相互に対向するガイド
部３２ａ、３２ｂの内壁面側に設けられるため、高さ方
向が何ら規制されることなく、好適に案内作用を営むこ
とができる。
【００２２】本発明の第１実施例に係る電動アクチュエ
ータ１０は、基本的には以上のように構成されるもので
あり、次にその動作並びに作用効果について説明する。
ータ１０は、基本的には以上のように構成されるもので
あり、次にその動作並びに作用効果について説明する。
【００２３】まず、電動アクチュエータ１０の組付作業
について説明する。
について説明する。
【００２４】モータハウジング４０およびエンコーダハ
ウジング４６に画成された貫通する孔部４２、４８にそ
れぞれ略円柱状に形成されたモータユニット４４および
エンコーダユニット５０を嵌合する。続いて、突起部３
８ａ、３８ｂに画成されたねじ穴に図示しないねじ部材
を螺入して前記モータハウジング４０およびエンコーダ
ハウジング４６をベース部材１２の端部側の上面部にそ
れぞれ固定する。
ウジング４６に画成された貫通する孔部４２、４８にそ
れぞれ略円柱状に形成されたモータユニット４４および
エンコーダユニット５０を嵌合する。続いて、突起部３
８ａ、３８ｂに画成されたねじ穴に図示しないねじ部材
を螺入して前記モータハウジング４０およびエンコーダ
ハウジング４６をベース部材１２の端部側の上面部にそ
れぞれ固定する。
【００２５】このように、本実施例に係る電動アクチュ
エータ１０では、モータハウジング４０およびエンコー
ダハウジング４６をベース部材１２に固定するだけでモ
ータ部１８、ボールねじ１６およびエンコーダ部２０を
同一軸線上に調心することができる。この結果、従来技
術のように、モータ軸とボールねじとエンコーダとがそ
れぞれ同一軸線となるように電動モータ、ボールねじお
よびエンコーダをそれぞれ調整する調心作業を行う必要
がないため、簡便に組付作業を行うことが可能となる。
エータ１０では、モータハウジング４０およびエンコー
ダハウジング４６をベース部材１２に固定するだけでモ
ータ部１８、ボールねじ１６およびエンコーダ部２０を
同一軸線上に調心することができる。この結果、従来技
術のように、モータ軸とボールねじとエンコーダとがそ
れぞれ同一軸線となるように電動モータ、ボールねじお
よびエンコーダをそれぞれ調整する調心作業を行う必要
がないため、簡便に組付作業を行うことが可能となる。
【００２６】次に、電動アクチュエータ１０の動作につ
いて説明する。
いて説明する。
【００２７】図示しない電源を付勢して電動モータを回
転駆動させ、モータ軸と一体的に形成されたボールねじ
１６を回転させる。前記ボールねじ１６の回転作用下に
該ボールねじ１６に螺合する軸受ブロック６０を介して
スライドテーブル５２がベース部材１２の長手方向に沿
って変位する。従って、前記スライドテーブル５２上に
搭載されるワークを所定距離搬送することができる。
転駆動させ、モータ軸と一体的に形成されたボールねじ
１６を回転させる。前記ボールねじ１６の回転作用下に
該ボールねじ１６に螺合する軸受ブロック６０を介して
スライドテーブル５２がベース部材１２の長手方向に沿
って変位する。従って、前記スライドテーブル５２上に
搭載されるワークを所定距離搬送することができる。
【００２８】第１実施例に係る電動アクチュエータ１０
では、ベース部材１２と一体的に相互に対向する一組の
ガイド部３２ａ、３２ｂを膨出形成することにより、フ
レームとガイドレールとが別体で形成された従来技術と
比較して高さ方向の寸法を低く抑制することが可能とな
る。この結果、電動アクチュエータ１０の小型・軽量化
を図るとともに、部品点数を削減して廉価に製造するこ
とができる。
では、ベース部材１２と一体的に相互に対向する一組の
ガイド部３２ａ、３２ｂを膨出形成することにより、フ
レームとガイドレールとが別体で形成された従来技術と
比較して高さ方向の寸法を低く抑制することが可能とな
る。この結果、電動アクチュエータ１０の小型・軽量化
を図るとともに、部品点数を削減して廉価に製造するこ
とができる。
【００２９】次に、本発明の第２実施例に係る電動アク
チュエータ８０を図３〜図１０に示す。なお、この第２
実施例において、前記第１実施例と同一の構成要素には
同一の参照符号を付し、異なる構成要素並びに動作につ
いてのみ説明する。
チュエータ８０を図３〜図１０に示す。なお、この第２
実施例において、前記第１実施例と同一の構成要素には
同一の参照符号を付し、異なる構成要素並びに動作につ
いてのみ説明する。
【００３０】この第２実施例に係る電動アクチュエータ
８０は、ベース部材８２を構成する平面状のプレート部
８４の短手方向の一方に長尺状のガイド部８６を膨出さ
せて一体成形するとともに、前記プレート部８４の短手
方向の他方に前記ガイド部８６と略同一形状からなり、
前記ベース部材８２と別体で形成されたガイドレール８
８を固設している点で前記第１実施例と異なる。
８０は、ベース部材８２を構成する平面状のプレート部
８４の短手方向の一方に長尺状のガイド部８６を膨出さ
せて一体成形するとともに、前記プレート部８４の短手
方向の他方に前記ガイド部８６と略同一形状からなり、
前記ベース部材８２と別体で形成されたガイドレール８
８を固設している点で前記第１実施例と異なる。
【００３１】第２実施例に係る電動アクチュエータ８０
は、基本的には、長手方向に沿って長尺状に形成された
ベース部材８２と、前記ベース部材８２の長手方向に沿
って支持されたボールねじ１６と、前記ベース部材８２
の長手方向に沿った一端部に設けられ、前記ボールねじ
１６を回転駆動させるモータ部９０と、前記ベース部材
８２の長手方向に沿った他端部に設けられるエンコーダ
部９２と、前記ベース部材８２の上面部を閉塞するカバ
ー部材２２とを含む。なお、前記カバー部材２２は、前
述した第１実施例と同様に形成される。さらに、前記電
動アクチュエータ８０は、ボールねじ１６の回転作用下
に相互に対向して配設された４個の軸受ブロック９３を
介してベース部材８２の長手方向に沿って変位するスラ
イド機構９４を有する。前記軸受ブロック９３には、後
述するガイド溝９６に沿って転動循環する複数のボール
べアリング（図示せず）が配設される。
は、基本的には、長手方向に沿って長尺状に形成された
ベース部材８２と、前記ベース部材８２の長手方向に沿
って支持されたボールねじ１６と、前記ベース部材８２
の長手方向に沿った一端部に設けられ、前記ボールねじ
１６を回転駆動させるモータ部９０と、前記ベース部材
８２の長手方向に沿った他端部に設けられるエンコーダ
部９２と、前記ベース部材８２の上面部を閉塞するカバ
ー部材２２とを含む。なお、前記カバー部材２２は、前
述した第１実施例と同様に形成される。さらに、前記電
動アクチュエータ８０は、ボールねじ１６の回転作用下
に相互に対向して配設された４個の軸受ブロック９３を
介してベース部材８２の長手方向に沿って変位するスラ
イド機構９４を有する。前記軸受ブロック９３には、後
述するガイド溝９６に沿って転動循環する複数のボール
べアリング（図示せず）が配設される。
【００３２】ベース部材８２は、鋼材、例えば、鋼板
（ＳＰＣ）等の材料を引き抜きにより一体成形すること
によって高い剛性を保持することが可能である。このベ
ース部材８２の短手方向に沿った一端部には、上方に膨
出するガイド部８６が平面状のプレート部８４と一体的
に形成され、前記ガイド部８６から所定距離離間する他
端部には、例えば、公知のＬＭガイド（登録商標）から
なるガイドレール８８が該プレート部８４の上面部にね
じ止めされる。このガイド部８６およびガイドレール８
８の両側面部には長手方向に沿ってガイド溝９６がそれ
ぞれ画成され、前記ガイド溝９６に沿って軸受ブロック
９３が摺動自在に設けられる。なお、前記軸受ブロック
９３は、それぞれ同一形状に形成される。また、好適に
は、自動調心機能を有するガイドレール８８を用いるこ
とにより、取付面に対する加工精度の許容値を大きくす
ることができる利点がある。
（ＳＰＣ）等の材料を引き抜きにより一体成形すること
によって高い剛性を保持することが可能である。このベ
ース部材８２の短手方向に沿った一端部には、上方に膨
出するガイド部８６が平面状のプレート部８４と一体的
に形成され、前記ガイド部８６から所定距離離間する他
端部には、例えば、公知のＬＭガイド（登録商標）から
なるガイドレール８８が該プレート部８４の上面部にね
じ止めされる。このガイド部８６およびガイドレール８
８の両側面部には長手方向に沿ってガイド溝９６がそれ
ぞれ画成され、前記ガイド溝９６に沿って軸受ブロック
９３が摺動自在に設けられる。なお、前記軸受ブロック
９３は、それぞれ同一形状に形成される。また、好適に
は、自動調心機能を有するガイドレール８８を用いるこ
とにより、取付面に対する加工精度の許容値を大きくす
ることができる利点がある。
【００３３】モータ部９０は、ベース部材８２の短手方
向に沿って突出する一組の突起部９８ａ、９８ｂを介し
てガイド部８６およびガイドレール８８の上面にそれぞ
れねじ止めされるモータハウジング１００と、前記モー
タハウジング１００の開口する開口部１０２に嵌合され
るモータユニット１０４とから構成される。この場合、
前記モータハウジング１００は、好適にはアルミニウム
の材料を押し出して形成され、開口部１０２の湾曲する
内壁面に沿って嵌合溝１０６が画成される。また、ベー
ス部材８２の端部上面には略長方形状の切欠部１０８が
画成され、前記切欠部１０８にモータハウジング１００
の底面部１１０（図６参照）を当接させることにより、
ベース部材８２に対してモータハウジング１００を位置
決めすることができる。
向に沿って突出する一組の突起部９８ａ、９８ｂを介し
てガイド部８６およびガイドレール８８の上面にそれぞ
れねじ止めされるモータハウジング１００と、前記モー
タハウジング１００の開口する開口部１０２に嵌合され
るモータユニット１０４とから構成される。この場合、
前記モータハウジング１００は、好適にはアルミニウム
の材料を押し出して形成され、開口部１０２の湾曲する
内壁面に沿って嵌合溝１０６が画成される。また、ベー
ス部材８２の端部上面には略長方形状の切欠部１０８が
画成され、前記切欠部１０８にモータハウジング１００
の底面部１１０（図６参照）を当接させることにより、
ベース部材８２に対してモータハウジング１００を位置
決めすることができる。
【００３４】前記モータユニット１０４は、前記開口部
１０２内に保持されるケーシング１１２と、前記ケーシ
ング１１２内に配設され、ボールねじ１６と一体的に形
成されたモータ軸１１４を回転自在に軸支するベアリン
グ部材１１６と、前記モータ軸１１４に固定されるロー
タ１１８と、前記ケーシング１１２の内壁面に積層され
て固着されるステータ１２０とを含む。前記ステータ１
２０およびロータ１１８によって電動モータが構成され
る。なお、参照符号１２２はリング状のダンパ部材、参
照符号１２４はウェーブワッシャをそれぞれ示す。
１０２内に保持されるケーシング１１２と、前記ケーシ
ング１１２内に配設され、ボールねじ１６と一体的に形
成されたモータ軸１１４を回転自在に軸支するベアリン
グ部材１１６と、前記モータ軸１１４に固定されるロー
タ１１８と、前記ケーシング１１２の内壁面に積層され
て固着されるステータ１２０とを含む。前記ステータ１
２０およびロータ１１８によって電動モータが構成され
る。なお、参照符号１２２はリング状のダンパ部材、参
照符号１２４はウェーブワッシャをそれぞれ示す。
【００３５】エンコーダ部９２は、図７〜図９に示され
るように、前記モータハウジング１００と同一材質且つ
同一形状に形成されるエンコーダハウジング１２６と、
前記エンコーダハウジング１２６の開口する開口部１２
８に嵌合されるエンコーダユニット１３０とから構成さ
れる。前記エンコーダハウジング１２６は、モータハウ
ジング１００と同様に、ベース部材８２の端部の切欠部
１０８に該エンコーダハウジング１２６の底面部１１０
を当接させることにより位置決めされる。
るように、前記モータハウジング１００と同一材質且つ
同一形状に形成されるエンコーダハウジング１２６と、
前記エンコーダハウジング１２６の開口する開口部１２
８に嵌合されるエンコーダユニット１３０とから構成さ
れる。前記エンコーダハウジング１２６は、モータハウ
ジング１００と同様に、ベース部材８２の端部の切欠部
１０８に該エンコーダハウジング１２６の底面部１１０
を当接させることにより位置決めされる。
【００３６】前記エンコーダユニット１３０は、図７お
よび図１０に示されるように、ボールねじ１６を回動自
在に軸支するベアリング部材１３２と、前記ベアリング
部材１３２を保持するとともに、エンコーダハウジング
１２６の嵌合溝１０６に嵌合して位置決めされる略円形
状の保持ブロック１３４と、前記保持ブロック１３４に
連結され、先端部にリング状のダンパ部材１３６が設け
られたカバーブロック１３８と、ボールねじ１６と一体
的に形成されるエンコーダシャフト１４０を介して電動
モータの回転角度、回転速度等を検出するロータリエン
コーダ１４２とを含む。
よび図１０に示されるように、ボールねじ１６を回動自
在に軸支するベアリング部材１３２と、前記ベアリング
部材１３２を保持するとともに、エンコーダハウジング
１２６の嵌合溝１０６に嵌合して位置決めされる略円形
状の保持ブロック１３４と、前記保持ブロック１３４に
連結され、先端部にリング状のダンパ部材１３６が設け
られたカバーブロック１３８と、ボールねじ１６と一体
的に形成されるエンコーダシャフト１４０を介して電動
モータの回転角度、回転速度等を検出するロータリエン
コーダ１４２とを含む。
【００３７】前記モータハウジング１００およびエンコ
ーダハウジング１２６は略同一形状に形成されるととも
に、開口部１０２、１２８はそれぞれ略同一直径に形成
される。この場合、湾曲する前記開口部１０２、１２８
に沿ってモータユニット１０４またはエンコーダユニッ
ト１３０を嵌合するとともに、切欠部１０８を介して位
置決めした後、突起部９８ａ、９８ｂを介してベース部
材８２の長手方向に沿った両端部にそれぞれねじ止めす
ることにより、モータ部９０、ボールねじ１６およびエ
ンコーダ部９２を同一軸線上に配設することができる。
この結果、従来技術で必要とされたモータ軸とボールね
じとの調心作業を行うことなく、簡便に組み付けること
が可能となる。
ーダハウジング１２６は略同一形状に形成されるととも
に、開口部１０２、１２８はそれぞれ略同一直径に形成
される。この場合、湾曲する前記開口部１０２、１２８
に沿ってモータユニット１０４またはエンコーダユニッ
ト１３０を嵌合するとともに、切欠部１０８を介して位
置決めした後、突起部９８ａ、９８ｂを介してベース部
材８２の長手方向に沿った両端部にそれぞれねじ止めす
ることにより、モータ部９０、ボールねじ１６およびエ
ンコーダ部９２を同一軸線上に配設することができる。
この結果、従来技術で必要とされたモータ軸とボールね
じとの調心作業を行うことなく、簡便に組み付けること
が可能となる。
【００３８】スライド機構９４は、上面に画成された取
付用孔部（図示せず）を介してワークが連結されるスラ
イドテーブル１４４を含む。前記スライドテーブル１４
４は、ベース部材８２のガイド部８６並びにガイドレー
ル８８に沿って摺動変位する一組の摺動ブロック１４６
ａ、１４６ｂと、前記一組の摺動ブロック１４６ａ、１
４６ｂ間に設けられた保持ブロック１４８とが一体的に
連結されて構成される。前記保持ブロック１４８には軸
線方向に沿って開口する開口部１５０が画成され、ボー
ルねじ１６に螺合する略円柱状の軸受ブロック１５２の
フランジ１５４を介してねじ止めすることにより前記軸
受ブロック１５２が前記開口部１２８に保持される。
付用孔部（図示せず）を介してワークが連結されるスラ
イドテーブル１４４を含む。前記スライドテーブル１４
４は、ベース部材８２のガイド部８６並びにガイドレー
ル８８に沿って摺動変位する一組の摺動ブロック１４６
ａ、１４６ｂと、前記一組の摺動ブロック１４６ａ、１
４６ｂ間に設けられた保持ブロック１４８とが一体的に
連結されて構成される。前記保持ブロック１４８には軸
線方向に沿って開口する開口部１５０が画成され、ボー
ルねじ１６に螺合する略円柱状の軸受ブロック１５２の
フランジ１５４を介してねじ止めすることにより前記軸
受ブロック１５２が前記開口部１２８に保持される。
【００３９】なお、その他の構成要素並びに作用効果
は、第１実施例と同様であるため、その詳細な説明を省
略する。
は、第１実施例と同様であるため、その詳細な説明を省
略する。
【００４０】
【発明の効果】本発明に係る電動アクチュエータによれ
ば、以下の効果が得られる。
ば、以下の効果が得られる。
【００４１】すなわち、高い剛性を保持しながら高さ方
向の寸法を規制することができるため、電動アクチュエ
ータの小型・軽量化を図ることができる。
向の寸法を規制することができるため、電動アクチュエ
ータの小型・軽量化を図ることができる。
【００４２】また、ガイド部をベース部材と一体的に膨
出形成しているため、部品点数が削減され、組付工数が
減少して廉価に製造することができる。
出形成しているため、部品点数が削減され、組付工数が
減少して廉価に製造することができる。
【００４３】さらに、ボールねじの調心作業を行う必要
がなく、簡便に組み付けることが可能となる。
がなく、簡便に組み付けることが可能となる。
【図１】本発明の第１実施例に係る電動アクチュエータ
からカバー部材を外した状態を示す斜視図である。
からカバー部材を外した状態を示す斜視図である。
【図２】図１に示す電動アクチュエータの縦断面図であ
る。
る。
【図３】本発明の第２実施例に係る電動アクチュエータ
からカバー部材を外した状態を示す斜視図である。
からカバー部材を外した状態を示す斜視図である。
【図４】図３に示す電動アクチュエータの分解斜視図で
ある。
ある。
【図５】図３に示す電動アクチュエータの縦断面図であ
る。
る。
【図６】モータハウジングまたはエンコーダハウジング
の形状を示す正面図である。
の形状を示す正面図である。
【図７】図３に示す電動アクチュエータを構成するモー
タ部およびエンコーダ部を示す断面図である。
タ部およびエンコーダ部を示す断面図である。
【図８】図３に示す電動アクチュエータのモータ部を示
す部分断面図である。
す部分断面図である。
【図９】図８のＩＸ−ＩＸ線に沿った要部縦断面図であ
る。
る。
【図１０】図３に示す電動アクチュエータのエンコーダ
部を示す部分断面図である。
部を示す部分断面図である。
１０、８０…電動アクチュエータ １２、８２…ベ
ース部材 １６…ボールねじ １８、９０…モ
ータ部 ２０、９２…エンコーダ部 ２２…カバー部
材 ３０、９４…スライド機構 ３２ａ、３２
ｂ、８６…ガイド部 ３６ａ、３６ｂ…長溝 ４０、１００…
モータハウジング ４２、４８…孔部 ４６、１２６…
エンコーダハウジング ５０、１３０…エンコーダユニット ５２、１４４…
スライドテーブル １０２、１２８…開口部 １４２…ロータ
リエンコーダ
ース部材 １６…ボールねじ １８、９０…モ
ータ部 ２０、９２…エンコーダ部 ２２…カバー部
材 ３０、９４…スライド機構 ３２ａ、３２
ｂ、８６…ガイド部 ３６ａ、３６ｂ…長溝 ４０、１００…
モータハウジング ４２、４８…孔部 ４６、１２６…
エンコーダハウジング ５０、１３０…エンコーダユニット ５２、１４４…
スライドテーブル １０２、１２８…開口部 １４２…ロータ
リエンコーダ
Claims (5)
- 【請求項１】長手方向に沿って長尺に形成されたベース
部材と、 前記ベース部材の一端部に固設される回転駆動手段と、 前記ベース部材の他端部に対向して固設され、前記回転
駆動手段の回転量を検出する検出手段と、 前記回転駆動手段の駆動作用下にベース部材の長手方向
に沿って変位するスライドテーブルと、 前記回転駆動手段の駆動力をスライドテーブルに伝達す
る駆動力伝達手段と、 前記ベース部材と一体的に膨出形成され、前記スライド
テーブルを案内するガイド部と、 を備えることを特徴とする電動アクチュエータ。 - 【請求項２】請求項１記載の電動アクチュエータにおい
て、ベース部材は、長手方向に沿って延在し所定距離離
間する一組のガイド部を有し、一方のガイド部はベース
部材と一体的に膨出形成され、他方のガイド部は該ベー
ス部材と別体で分離形成されたガイドレールからなるこ
とを特徴とする電動アクチュエータ。 - 【請求項３】請求項１または２記載の電動アクチュエー
タにおいて、回転駆動手段は、モータハウジングと前記
モータハウジングの開口部に嵌合されるモータユニット
とを有し、検出手段は、エンコーダハウジングと前記エ
ンコーダハウジングの開口部に嵌合されるエンコーダユ
ニットとを有し、前記モータハウジングおよびエンコー
ダハウジングはそれぞれ略同一形状で形成され、前記モ
ータハウジングとエンコーダハウジングの開口部がそれ
ぞれ略同一寸法で画成されることを特徴とする電動アク
チュエータ。 - 【請求項４】請求項１乃至３のいずれか１項に記載の電
動アクチュエータにおいて、ベース部材の長手方向に沿
って延在し所定距離離間する一組のガイド部の内壁面に
相互に対向する長溝を画成し、スライドテーブルは前記
長溝に沿って摺動する軸受部材によって案内されること
を特徴とする電動アクチュエータ。 - 【請求項５】請求項１乃至４のいずれか１項に記載の電
動アクチュエータにおいて、駆動力伝達手段はボールね
じからなり、前記ボールねじはモータ軸およびエンコー
ダシャフトと一体的に形成され、前記ボールねじ、モー
タ軸およびエンコーダシャフトは同一軸線上にあること
を特徴とする電動アクチュエータ。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP04819195A JP3695784B2 (ja) | 1995-03-08 | 1995-03-08 | 電動アクチュエータ |
| EP96111975A EP0820834B1 (en) | 1995-03-08 | 1996-07-25 | Electric actuator |
| TW085109123A TW357112B (en) | 1995-03-08 | 1996-07-26 | Electric actuator |
| US08/711,687 US5747896A (en) | 1995-03-08 | 1996-09-05 | Electric actuator |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP04819195A JP3695784B2 (ja) | 1995-03-08 | 1995-03-08 | 電動アクチュエータ |
| EP96111975A EP0820834B1 (en) | 1995-03-08 | 1996-07-25 | Electric actuator |
| US08/711,687 US5747896A (en) | 1995-03-08 | 1996-09-05 | Electric actuator |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08251863A true JPH08251863A (ja) | 1996-09-27 |
| JP3695784B2 JP3695784B2 (ja) | 2005-09-14 |
Family
ID=27237371
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP04819195A Expired - Fee Related JP3695784B2 (ja) | 1995-03-08 | 1995-03-08 | 電動アクチュエータ |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5747896A (ja) |
| EP (1) | EP0820834B1 (ja) |
| JP (1) | JP3695784B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH1130234A (ja) * | 1997-07-08 | 1999-02-02 | Nippon Thompson Co Ltd | スライド装置 |
| JP2007178002A (ja) * | 2007-02-02 | 2007-07-12 | Nippon Thompson Co Ltd | スライド装置 |
| JP2012034430A (ja) * | 2010-07-28 | 2012-02-16 | Thk Co Ltd | 流体発電装置 |
| CN110153468A (zh) * | 2018-03-01 | 2019-08-23 | 台州锐祥机械设备有限公司 | 建筑用吊顶龙骨滚推钻孔装置 |
Families Citing this family (37)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1077352C (zh) * | 1997-02-05 | 2002-01-02 | Smc株式会社 | 致动器及其控制装置 |
| DE19740208C2 (de) * | 1997-09-12 | 1999-07-22 | Fraunhofer Ges Forschung | Antriebsvorrichtung für mehrere Aggregate einer Drehmaschine |
| JP2000088070A (ja) * | 1998-09-09 | 2000-03-28 | Smc Corp | 電動アクチュエータ |
| US6337456B1 (en) * | 1998-12-16 | 2002-01-08 | Dengensha Manufacturing Company Limited | Welding machine and method for assembling same |
| US6145395A (en) * | 1999-01-19 | 2000-11-14 | E-Drive Design, Inc. | Side load compensated linear actuator |
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