JPH08248334A - 微細ミラーアレイのミラー駆動方法及びその装置 - Google Patents
微細ミラーアレイのミラー駆動方法及びその装置Info
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- JPH08248334A JPH08248334A JP8030796A JP3079696A JPH08248334A JP H08248334 A JPH08248334 A JP H08248334A JP 8030796 A JP8030796 A JP 8030796A JP 3079696 A JP3079696 A JP 3079696A JP H08248334 A JPH08248334 A JP H08248334A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 微細ミラーアレイのミラー駆動方法及びその
装置を提供すること。 【解決手段】 複数のミラ−部材1が基板上にヒンジに
よりそれぞれ回転可能に支持されており、その基板の下
にはミラ−部材1に対して磁界を形成する永久磁石3が
取り付けられ、各ミラ−部材1の裏面にはコイル素子
2,2´が形成される。映像信号に応じてミラ−部材1
が選択され、選択されたミラ−部材1のコイル素子2,
2´に電流が印加される。選択されたミラ−部材1はそ
の電流が印加されたコイル素子2,2´と磁界の間に作
用する電磁気力により回転される。したがって、そのミ
ラ−部材アレイに照射される光が映像に変調される。こ
のような電磁気力によるミラ−駆動方法の適用される微
細ミラ−アレイは、簡単な構造で量産可能であり、特に
安定した駆動特性を有する。
装置を提供すること。 【解決手段】 複数のミラ−部材1が基板上にヒンジに
よりそれぞれ回転可能に支持されており、その基板の下
にはミラ−部材1に対して磁界を形成する永久磁石3が
取り付けられ、各ミラ−部材1の裏面にはコイル素子
2,2´が形成される。映像信号に応じてミラ−部材1
が選択され、選択されたミラ−部材1のコイル素子2,
2´に電流が印加される。選択されたミラ−部材1はそ
の電流が印加されたコイル素子2,2´と磁界の間に作
用する電磁気力により回転される。したがって、そのミ
ラ−部材アレイに照射される光が映像に変調される。こ
のような電磁気力によるミラ−駆動方法の適用される微
細ミラ−アレイは、簡単な構造で量産可能であり、特に
安定した駆動特性を有する。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は微細ミラ−アレイの
ミラ−駆動方法とこれを具現したミラ−駆動装置に係
り、特にミラ−を電磁気力で駆動するミラ−駆動方法及
びその装置に関する。
ミラ−駆動方法とこれを具現したミラ−駆動装置に係
り、特にミラ−を電磁気力で駆動するミラ−駆動方法及
びその装置に関する。
【0002】
【従来の技術】微細ミラ−アレイは微細なミラ−を平面
上にそれぞれ回転可能に配列して作られる。この微細ミ
ラ−アレイは、光を単に偏向させる偏向器としては勿
論、光を映像信号に応じて変調する変調器またはその光
を映像信号に変えて示す表示器としても用いられる。こ
のような微細ミラ−アレイは既存の主映像表示手段であ
る陰極線管やLCDより小さくて薄く、かつ、軽く製作
できるという利点と共に解像度、明るさ及び画質などに
優れるものということが証明されている。
上にそれぞれ回転可能に配列して作られる。この微細ミ
ラ−アレイは、光を単に偏向させる偏向器としては勿
論、光を映像信号に応じて変調する変調器またはその光
を映像信号に変えて示す表示器としても用いられる。こ
のような微細ミラ−アレイは既存の主映像表示手段であ
る陰極線管やLCDより小さくて薄く、かつ、軽く製作
できるという利点と共に解像度、明るさ及び画質などに
優れるものということが証明されている。
【0003】米国特許5,126,836号と5,18
5,660号によれば、圧電力を用いてミラ−を駆動す
る技術が広く知られている。これは基準平面上に電極を
形成し、その電極上に圧電体を取り付け、前記圧電体上
には再び電極を形成してから該電極上に微細ミラ−を取
り付けることである。しかしながら、かかる構造におい
ては、構造が複雑で量産が困難であり、かつ、駆動時に
圧電体の強い機械的な力がミラ−に直接加えられてミラ
−に亀裂が直ぐに出来、多数のミラ−を同一な平面上に
配列しにくいという問題がある。
5,660号によれば、圧電力を用いてミラ−を駆動す
る技術が広く知られている。これは基準平面上に電極を
形成し、その電極上に圧電体を取り付け、前記圧電体上
には再び電極を形成してから該電極上に微細ミラ−を取
り付けることである。しかしながら、かかる構造におい
ては、構造が複雑で量産が困難であり、かつ、駆動時に
圧電体の強い機械的な力がミラ−に直接加えられてミラ
−に亀裂が直ぐに出来、多数のミラ−を同一な平面上に
配列しにくいという問題がある。
【0004】一方、米国特許5,083,857号によ
れば、ミラ−を基板上にヒンジで支持させ、その基板と
ミラ−面に電極を形成して電極間の静電力でミラ−を回
転させる方法が知られている。これは構造が比較的に簡
単であり、既存の半導体の製造工程と類似な方法で量産
できるという利点を持つが、ミラ−を回転させるに充分
な静電力を得るためにはミラ−と基板との間隔を狭めな
ければならないが、その場合、ミラ−の回転の範囲が縮
まるだけでなく、駆動時にミラ−と基板の相互接触によ
る磨耗の問題が発生される。
れば、ミラ−を基板上にヒンジで支持させ、その基板と
ミラ−面に電極を形成して電極間の静電力でミラ−を回
転させる方法が知られている。これは構造が比較的に簡
単であり、既存の半導体の製造工程と類似な方法で量産
できるという利点を持つが、ミラ−を回転させるに充分
な静電力を得るためにはミラ−と基板との間隔を狭めな
ければならないが、その場合、ミラ−の回転の範囲が縮
まるだけでなく、駆動時にミラ−と基板の相互接触によ
る磨耗の問題が発生される。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は前記問
題点を鑑みて簡単な構造で超小型に製作することがで
き、同時に量産可能で安定した駆動特性を有する微細ミ
ラ−アレイのミラ−駆動方法及びこれを具現する装置を
提供するにある。
題点を鑑みて簡単な構造で超小型に製作することがで
き、同時に量産可能で安定した駆動特性を有する微細ミ
ラ−アレイのミラ−駆動方法及びこれを具現する装置を
提供するにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
に本発明は、それぞれ回転可能に支持されている複数の
ミラ−部材を有する微細ミラ−アレイのミラ−駆動方法
において、前記複数のミラ−部材に対して磁界を加える
段階と、映像信号に応じて前記複数のミラ−部材を選択
し、選択されたミラ−部材に電流を流す段階とを行い、
前記磁界と電流の間に作用する電磁気力により各ミラ−
部材が傾くように駆動することを特徴とする。
に本発明は、それぞれ回転可能に支持されている複数の
ミラ−部材を有する微細ミラ−アレイのミラ−駆動方法
において、前記複数のミラ−部材に対して磁界を加える
段階と、映像信号に応じて前記複数のミラ−部材を選択
し、選択されたミラ−部材に電流を流す段階とを行い、
前記磁界と電流の間に作用する電磁気力により各ミラ−
部材が傾くように駆動することを特徴とする。
【0007】また、前記目的を達成するために本発明の
微細ミラ−アレイのミラ−駆動装置は、前記複数のミラ
−部材に磁界を加えるための磁界形成手段と、前記複数
のミラ−部材にそれぞれ電流を流すための導体手段とを
備えて、前記磁界形成手段と導体手段の間に作用する電
磁気力により各ミラ−部材が傾くように構成される点に
その特徴がある。
微細ミラ−アレイのミラ−駆動装置は、前記複数のミラ
−部材に磁界を加えるための磁界形成手段と、前記複数
のミラ−部材にそれぞれ電流を流すための導体手段とを
備えて、前記磁界形成手段と導体手段の間に作用する電
磁気力により各ミラ−部材が傾くように構成される点に
その特徴がある。
【0008】
【発明の実施の形態】以下、添付した図面に基づき本発
明を詳細に説明する。図1において、符号1はミラ−部
材であり、その表面に入射する光を反射させる。ミラ−
部材1は後述するようなヒンジ手段によりその側面の中
心部“C”を支点として左右両方向に回転することがで
きる。このミラ−部材1に電流を流すためにその裏面の
左右にコイル素子2,2′が取り付けられており、該コ
イル素子2,2′と適当な間隔に離隔されて磁界“E”
を加える永久磁石3が配置されている。
明を詳細に説明する。図1において、符号1はミラ−部
材であり、その表面に入射する光を反射させる。ミラ−
部材1は後述するようなヒンジ手段によりその側面の中
心部“C”を支点として左右両方向に回転することがで
きる。このミラ−部材1に電流を流すためにその裏面の
左右にコイル素子2,2′が取り付けられており、該コ
イル素子2,2′と適当な間隔に離隔されて磁界“E”
を加える永久磁石3が配置されている。
【0009】前述したコイル素子2,2′に相互反対方
向に電流を流すと、一側のコイル素子2により形成され
る磁束φと他側のコイル素子2′により形成される磁束
φ′は相互反対方向となる。したがって、永久磁石3に
よる同一な磁界“E”内で、両側のコイル素子2,2′
には相互反対方向の電磁気力が作用するようになる。し
たがって、ミラ−部材1は仮想線で示したように前記中
心部“C”を支点として回転するようになり、この際、
その表面に入射する光が偏向される。図1において、コ
イル部材2,2′と永久磁石3の位置は相互替えても差
し支えなく、かつ、前記永久磁石3を電磁石に代置する
ことができる。
向に電流を流すと、一側のコイル素子2により形成され
る磁束φと他側のコイル素子2′により形成される磁束
φ′は相互反対方向となる。したがって、永久磁石3に
よる同一な磁界“E”内で、両側のコイル素子2,2′
には相互反対方向の電磁気力が作用するようになる。し
たがって、ミラ−部材1は仮想線で示したように前記中
心部“C”を支点として回転するようになり、この際、
その表面に入射する光が偏向される。図1において、コ
イル部材2,2′と永久磁石3の位置は相互替えても差
し支えなく、かつ、前記永久磁石3を電磁石に代置する
ことができる。
【0010】このような本発明のミラ−駆動方法は、単
に光を偏向させることの他に、例えば、前記コイル2,
2′に流れる電流を速くスイッチングすることにより所
望の光信号を変調する変調器へも応用しうる。
に光を偏向させることの他に、例えば、前記コイル2,
2′に流れる電流を速くスイッチングすることにより所
望の光信号を変調する変調器へも応用しうる。
【0011】図2及び図3は前記本発明のミラ−駆動方
法を具現するミラ−駆動装置の具体的な実施例であり、
単一な微細ミラ−デバイスを示す。該微細ミラ−デバイ
スは基板4と基板4に形成されたミラ−部材1A、基板
4の下に取り付けられた永久磁石3、ミラ−部材1Aの
裏面に形成されたコイル導電層2A,2A′より構成さ
れる。ミラ−部材1Aはその側面部が基板4と若干の間
を置いてそのうち相互対向する二つの側面の中心部と基
板4の間に一体に延長されているヒンジ部5,5′を中
心として回転できるようになっている。基板4は図3に
示したように、ミラ−部材1Aの回転運動を収容しうる
空間部6を有する。永久磁石3はミラ−部材1Aの面に
対して広い磁極(N極又はS極)を有する。
法を具現するミラ−駆動装置の具体的な実施例であり、
単一な微細ミラ−デバイスを示す。該微細ミラ−デバイ
スは基板4と基板4に形成されたミラ−部材1A、基板
4の下に取り付けられた永久磁石3、ミラ−部材1Aの
裏面に形成されたコイル導電層2A,2A′より構成さ
れる。ミラ−部材1Aはその側面部が基板4と若干の間
を置いてそのうち相互対向する二つの側面の中心部と基
板4の間に一体に延長されているヒンジ部5,5′を中
心として回転できるようになっている。基板4は図3に
示したように、ミラ−部材1Aの回転運動を収容しうる
空間部6を有する。永久磁石3はミラ−部材1Aの面に
対して広い磁極(N極又はS極)を有する。
【0012】図4を参照すれば、コイル導電パタ−ン2
A,2A′はミラ−部材1Aの裏面の両側に金属薄膜を
コ−ティングした後、これを所定のコイルの形態にパタ
−ン処理することにより形成されるものであり、これに
電流を印加しうるように両側のヒンジ部5,5′に沿っ
て外部に配線されているリ−ドパタ−ン2B,2B′と
連結されている。一方、図5に示したように光を反射さ
せるための反射膜7がミラ−部材1Aの表面に形成され
ており、その裏面には前記コイル導電層2A,2A′を
相互連結するジャンパパタ−ン2Cの形成のための絶縁
層8がある。
A,2A′はミラ−部材1Aの裏面の両側に金属薄膜を
コ−ティングした後、これを所定のコイルの形態にパタ
−ン処理することにより形成されるものであり、これに
電流を印加しうるように両側のヒンジ部5,5′に沿っ
て外部に配線されているリ−ドパタ−ン2B,2B′と
連結されている。一方、図5に示したように光を反射さ
せるための反射膜7がミラ−部材1Aの表面に形成され
ており、その裏面には前記コイル導電層2A,2A′を
相互連結するジャンパパタ−ン2Cの形成のための絶縁
層8がある。
【0013】前記のような単一な微細ミラ−デバイスは
半導体ウェ−ハの成長技法、金属膜のコ−ティング及び
食刻など、薄膜処理技術により薄型でのみならず、超小
型で製作できる。このような超小型のミラ−駆動装置
は、例えば、SHG(second harmonic generation) 光
源を使用する記録再生用の光ピックアップにおける光信
号の変調器として用いられる。
半導体ウェ−ハの成長技法、金属膜のコ−ティング及び
食刻など、薄膜処理技術により薄型でのみならず、超小
型で製作できる。このような超小型のミラ−駆動装置
は、例えば、SHG(second harmonic generation) 光
源を使用する記録再生用の光ピックアップにおける光信
号の変調器として用いられる。
【0014】図6は本発明のミラ−駆動装置を適用した
微細ミラ−アレイ10を示す。この微細ミラ−アレイ1
0は多数の微細なミラ−部材1Aが画素の単位に広い共
通基板4A上に碁盤状に配列されている。各ミラ−部材
1Aはそれぞれのヒンジ部5A,5A′により回転運動
可能に支持される。各ミラ−部材1Aの裏面には前述し
たコイル導電層が形成され、かつ、共通基板4Aの底面
には前記多数のミラ−部材1Aの全体面に均一な磁界を
形成するように充分に広い磁極面を有する永久磁石が取
り付けられる。
微細ミラ−アレイ10を示す。この微細ミラ−アレイ1
0は多数の微細なミラ−部材1Aが画素の単位に広い共
通基板4A上に碁盤状に配列されている。各ミラ−部材
1Aはそれぞれのヒンジ部5A,5A′により回転運動
可能に支持される。各ミラ−部材1Aの裏面には前述し
たコイル導電層が形成され、かつ、共通基板4Aの底面
には前記多数のミラ−部材1Aの全体面に均一な磁界を
形成するように充分に広い磁極面を有する永久磁石が取
り付けられる。
【0015】図7は図6のような微細ミラ−アレイ10
を映像変調器として用いる映像投射装置を示す。前記微
細ミラ−アレイ10は映像投射装置の光源11と結像レ
ンズ12の間に配置され、映像信号に基づいて前述した
各ミラ−部材のコイル導電層を選択して電流を印加する
駆動回路15と連結されることにより、光源11からコ
リメ−ティングレンズ14を通して照射される光を映像
信号に応じて2次元の映像に変調する。すると、結像レ
ンズ12はその微細ミラ−アレイ10により変調された
映像の光を結像して大型スクリ−ンに拡大投射する。
を映像変調器として用いる映像投射装置を示す。前記微
細ミラ−アレイ10は映像投射装置の光源11と結像レ
ンズ12の間に配置され、映像信号に基づいて前述した
各ミラ−部材のコイル導電層を選択して電流を印加する
駆動回路15と連結されることにより、光源11からコ
リメ−ティングレンズ14を通して照射される光を映像
信号に応じて2次元の映像に変調する。すると、結像レ
ンズ12はその微細ミラ−アレイ10により変調された
映像の光を結像して大型スクリ−ンに拡大投射する。
【0016】前記微細ミラ−アレイは映像の変調だけで
なく、映像を変調して示す表示器としても用いることが
でき、かつ、入射する光を部分的に偏向させ、偏向され
る光の強度を調節する調光器として用いることもでき
る。
なく、映像を変調して示す表示器としても用いることが
でき、かつ、入射する光を部分的に偏向させ、偏向され
る光の強度を調節する調光器として用いることもでき
る。
【0017】
【発明の効果】以上、説明したように本発明は微細ミラ
−アレイのミラ−部材を駆動するにおいて、従来の圧電
力や静電気力とは異なる電磁気力を用いる新たな方式を
提供するものであり、このような本発明によれば、微細
ミラ−アレイの構造が単純化されるので、超小型の製作
及び量産が可能になることは勿論、そのコストも節減さ
せうる。特に、本発明は微細ミラ−アレイの安定した動
作特性により各応用製品の信頼度を高めることができ
る。本発明は前記の例示と説明により限定されず、本発
明の請求範囲内でさらに多い変形が可能である。
−アレイのミラ−部材を駆動するにおいて、従来の圧電
力や静電気力とは異なる電磁気力を用いる新たな方式を
提供するものであり、このような本発明によれば、微細
ミラ−アレイの構造が単純化されるので、超小型の製作
及び量産が可能になることは勿論、そのコストも節減さ
せうる。特に、本発明は微細ミラ−アレイの安定した動
作特性により各応用製品の信頼度を高めることができ
る。本発明は前記の例示と説明により限定されず、本発
明の請求範囲内でさらに多い変形が可能である。
【図1】本発明による微細ミラ−アレイのミラ−駆動方
法の原理を説明するために示した側面図である。
法の原理を説明するために示した側面図である。
【図2】本発明による微細ミラ−アレイのミラ−駆動装
置を説明するために単一な微細ミラ−デバイスを示した
斜視図である。
置を説明するために単一な微細ミラ−デバイスを示した
斜視図である。
【図3】図2の微細ミラ−デバイスをA−A線上に示し
た断面図である。
た断面図である。
【図4】図2に示した微細ミラ−デバイスの微細ミラ−
の裏面を示した平面図である。
の裏面を示した平面図である。
【図5】図4の微細ミラ−デバイスをB−B線上に示し
た断面図である。
た断面図である。
【図6】本発明が適用された微細ミラ−アレイを示した
平面図である。
平面図である。
【図7】本発明が適用された微細ミラ−アレイを用いて
映像を拡大投射する映像プロジェクタを示した配置図で
ある。
映像を拡大投射する映像プロジェクタを示した配置図で
ある。
1...ミラ−部材 2,2′..コイル素子 2A,2A′..コイル導電層 3...永久磁石 4,4A..基板 5,5′..ヒンジ部
Claims (12)
- 【請求項1】 それぞれ回転可能に支持されており、そ
の裏面にコイルが取り付けられている複数のミラ−部材
を有する微細ミラ−アレイのミラ−駆動方法において、 前記複数のミラ−部材に対して磁界を加える第1の段階
と、 映像信号に応じて前記複数のミラ−部材を選択し、選択
されたミラ−部材に電流を流す第2の段階とを含めて、 前記磁界と電流の間に作用する電磁気力により各ミラ−
部材が傾くように駆動することを特徴とする微細ミラ−
アレイのミラ−駆動方法。 - 【請求項2】 前記第1の段階を前記複数のミラ−部材
に対して充分に広い磁極面を有する永久磁石を配置して
行うことを特徴とする請求項1に記載の微細ミラ−アレ
イのミラ−駆動方法。 - 【請求項3】 前記第1の段階を前記複数のミラ−部材
に対して充分に広い磁極面を有する電磁石を配置して行
うことを特徴とする請求項1に記載の微細ミラ−アレイ
のミラ−駆動方法。 - 【請求項4】 前記第2の段階を各ミラ−部材の一側面
に取り付けられる少なくとも一つのコイル素子を用いて
行うことを特徴とする請求項1に記載の微細ミラ−アレ
イのミラ−駆動方法。 - 【請求項5】 前記第2の段階を各ミラ−部材の一側面
に金属膜をコ−ティングし、その金属膜をコイルの形態
に食刻してなるコイル導電層を用いて行うことを特徴と
する請求項1に記載の微細ミラ−アレイのミラ−駆動方
法。 - 【請求項6】 それぞれ回転可能に支持されている複数
のミラ−部材を有する微細ミラ−アレイのミラ−駆動装
置において、 前記複数のミラ−部材に磁界を加えるための磁界形成手
段と、 前記複数のミラ−部材にそれぞれ電流を流すための導体
手段とを備えて、 前記磁界形成手段と導体手段の間に作用する電磁気力に
より各ミラ−部材が傾くように構成されることを特徴と
する微細ミラ−アレイのミラ−駆動装置。 - 【請求項7】 前記磁界形成手段は前記複数のミラ−部
材に対して充分に広い磁極面を有する永久磁石を具備す
ることを特徴とする請求項6に記載の微細ミラ−アレイ
のミラ−駆動装置。 - 【請求項8】 前記磁界形成手段は前記複数のミラ−部
材に対して充分に広い磁極面を有する電磁石を具備する
ことを特徴とする請求項6に記載の微細ミラ−アレイの
ミラ−駆動装置。 - 【請求項9】 前記導体手段は各ミラ−部材の一側面に
取り付けられる少なくとも一つのコイル素子を具備する
ことを特徴とする請求項6に記載の微細ミラ−アレイの
ミラ−駆動装置。 - 【請求項10】 前記導体手段は各ミラ−部材の一側面
に金属膜をコ−ティングし、その金属膜をコイルの形態
に食刻してなるコイル導電層より構成されることを特徴
とする請求項6に記載の微細ミラ−アレイのミラ−駆動
装置。 - 【請求項11】 前記各ミラ−部材は前記コイル導電層
を二層に形成するための絶縁層を含めてなることを特徴
とする請求項10に記載の微細ミラ−アレイのミラ−駆
動装置。 - 【請求項12】 回転可能に支持されている複数のミラ
−部材を有する微細ミラ−アレイのミラ−駆動装置にお
いて、 前記複数のミラ−部材が画素の単位に配列されている共
通基板と、 前記複数のミラ−部材のそれぞれに対向する側面部と共
通基板を一体に連結して各ミラ−部材を回転可能に支持
する複数のヒンジ部と、 前記複数のミラ−部材の全体面に対して充分に広い磁極
面を有し、前記共通基板の下に取り付けられる永久磁石
と、 前記複数のミラ−部材の各裏面に形成されるコイル導電
層と、 所定の映像信号に応じて前記複数のミラ−部材を選択
し、選択されたミラ−部材のコイル導電層に電流を印加
する手段とを含むことを特徴とする微細ミラ−アレイの
駆動装置。
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Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002116402A (ja) * | 2000-10-05 | 2002-04-19 | Miyota Kk | 光偏向素子及びその製造方法 |
JP2003518650A (ja) * | 1999-12-28 | 2003-06-10 | ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング | マイクロミラー |
JP2003530710A (ja) * | 2000-04-07 | 2003-10-14 | マイクロソフト コーポレイション | 磁気作動の微小電気機械システムアクチュエータ |
KR100450790B1 (ko) * | 1999-05-28 | 2004-10-01 | 삼성전자주식회사 | 마이크로 미러 스캐너 및 그 제조방법 |
JP2006500887A (ja) * | 2002-09-26 | 2006-01-05 | セイコーエプソン株式会社 | 駆動機構 |
JP2006201783A (ja) * | 2005-01-19 | 2006-08-03 | Lg Electronics Inc | 電磁力駆動スキャニングマイクロミラー及びこれを使用した光スキャニング装置 |
JP2008076569A (ja) * | 2006-09-19 | 2008-04-03 | Seiko Epson Corp | アクチュエータ、光スキャナ、および画像形成装置 |
JP2011227216A (ja) * | 2010-04-19 | 2011-11-10 | Nippon Signal Co Ltd:The | 光走査装置及びその製造方法 |
Families Citing this family (69)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5910854A (en) | 1993-02-26 | 1999-06-08 | Donnelly Corporation | Electrochromic polymeric solid films, manufacturing electrochromic devices using such solid films, and processes for making such solid films and devices |
US5668663A (en) | 1994-05-05 | 1997-09-16 | Donnelly Corporation | Electrochromic mirrors and devices |
US6891563B2 (en) * | 1996-05-22 | 2005-05-10 | Donnelly Corporation | Vehicular vision system |
DE19709913C2 (de) * | 1997-03-11 | 1999-05-06 | Cms Mikrosysteme Gmbh Chemnitz | Anordnung zur Messung und Steuerung oder Regelung der Auslenkung von mikromechanischen Spiegelanordnungen |
DE29705870U1 (de) * | 1997-04-07 | 1998-08-20 | Fehlert, Gerd-P., Dr.-Ing., 42115 Wuppertal | Flachbildschirm |
US6046720A (en) * | 1997-05-07 | 2000-04-04 | University Of Washington | Point source scanning apparatus and method |
US6326613B1 (en) | 1998-01-07 | 2001-12-04 | Donnelly Corporation | Vehicle interior mirror assembly adapted for containing a rain sensor |
US6172613B1 (en) | 1998-02-18 | 2001-01-09 | Donnelly Corporation | Rearview mirror assembly incorporating vehicle information display |
US8294975B2 (en) | 1997-08-25 | 2012-10-23 | Donnelly Corporation | Automotive rearview mirror assembly |
US6124886A (en) | 1997-08-25 | 2000-09-26 | Donnelly Corporation | Modular rearview mirror assembly |
US6266315B1 (en) | 1997-11-22 | 2001-07-24 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Catadioptric optical system, optical pickup and optical disk drive employing the same, and optical disk |
DE19754676A1 (de) * | 1997-12-10 | 1999-06-17 | Thomas Dipl Ing Frank | Vorrichtung und Verfahren zur periodischen Ablenkung von Lichtstrahlen mit vom Betrag konstanter Ablenkgeschwindigkeit |
US6445287B1 (en) | 2000-02-28 | 2002-09-03 | Donnelly Corporation | Tire inflation assistance monitoring system |
US8288711B2 (en) | 1998-01-07 | 2012-10-16 | Donnelly Corporation | Interior rearview mirror system with forwardly-viewing camera and a control |
US5995264A (en) * | 1998-01-20 | 1999-11-30 | University Of Washington | Counter balanced optical scanner |
US6693517B2 (en) | 2000-04-21 | 2004-02-17 | Donnelly Corporation | Vehicle mirror assembly communicating wirelessly with vehicle accessories and occupants |
US6329925B1 (en) | 1999-11-24 | 2001-12-11 | Donnelly Corporation | Rearview mirror assembly with added feature modular display |
US6477464B2 (en) | 2000-03-09 | 2002-11-05 | Donnelly Corporation | Complete mirror-based global-positioning system (GPS) navigation solution |
JP4111619B2 (ja) | 1999-02-26 | 2008-07-02 | 日本信号株式会社 | プレーナ型光走査装置の実装構造 |
KR100314096B1 (ko) * | 1999-10-04 | 2001-11-15 | 윤종용 | 45°미러를 이용한 독립적 간섭성 빔 어레이 발생 장치 |
KR100636115B1 (ko) * | 1999-11-30 | 2006-10-18 | 삼성전자주식회사 | 광픽업장치 |
EP1263626A2 (en) | 2000-03-02 | 2002-12-11 | Donnelly Corporation | Video mirror systems incorporating an accessory module |
US7167796B2 (en) | 2000-03-09 | 2007-01-23 | Donnelly Corporation | Vehicle navigation system for use with a telematics system |
WO2007053710A2 (en) | 2005-11-01 | 2007-05-10 | Donnelly Corporation | Interior rearview mirror with display |
US7370983B2 (en) | 2000-03-02 | 2008-05-13 | Donnelly Corporation | Interior mirror assembly with display |
WO2002018979A2 (en) * | 2000-08-27 | 2002-03-07 | Corning Intellisense Corporation | Magnetically actuated micro-electro-mechanical apparatus and method of manufacture |
US6775048B1 (en) * | 2000-10-31 | 2004-08-10 | Microsoft Corporation | Microelectrical mechanical structure (MEMS) optical modulator and optical display system |
JP4674017B2 (ja) | 2000-11-20 | 2011-04-20 | オリンパス株式会社 | 光偏向器 |
US7255451B2 (en) * | 2002-09-20 | 2007-08-14 | Donnelly Corporation | Electro-optic mirror cell |
US7581859B2 (en) | 2005-09-14 | 2009-09-01 | Donnelly Corp. | Display device for exterior rearview mirror |
ATE363413T1 (de) | 2001-01-23 | 2007-06-15 | Donnelly Corp | Verbessertes fahrzeugbeleuchtungssystem |
US6856448B2 (en) * | 2001-03-26 | 2005-02-15 | Creo Inc. | Spatial light modulator |
US6661561B2 (en) * | 2001-03-26 | 2003-12-09 | Creo Inc. | High frequency deformable mirror device |
US6804959B2 (en) * | 2001-12-31 | 2004-10-19 | Microsoft Corporation | Unilateral thermal buckle-beam actuator |
US7053519B2 (en) * | 2002-03-29 | 2006-05-30 | Microsoft Corporation | Electrostatic bimorph actuator |
US6918674B2 (en) | 2002-05-03 | 2005-07-19 | Donnelly Corporation | Vehicle rearview mirror system |
US7329013B2 (en) | 2002-06-06 | 2008-02-12 | Donnelly Corporation | Interior rearview mirror system with compass |
EP1514246A4 (en) | 2002-06-06 | 2008-04-16 | Donnelly Corp | COMPASS INTERIOR COURTESY MIRROR SYSTEM |
KR100451629B1 (ko) * | 2002-07-15 | 2004-10-08 | 박진상 | 광 스위치 |
US7019876B2 (en) * | 2002-07-29 | 2006-03-28 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Micro-mirror with rotor structure |
US7310177B2 (en) | 2002-09-20 | 2007-12-18 | Donnelly Corporation | Electro-optic reflective element assembly |
WO2004026633A2 (en) | 2002-09-20 | 2004-04-01 | Donnelly Corporation | Mirror reflective element assembly |
US7289037B2 (en) | 2003-05-19 | 2007-10-30 | Donnelly Corporation | Mirror assembly for vehicle |
US7007843B2 (en) * | 2003-06-09 | 2006-03-07 | Symbol Technologies, Inc. | Light beam shaping arrangement and method in electro-optical readers |
US7446924B2 (en) | 2003-10-02 | 2008-11-04 | Donnelly Corporation | Mirror reflective element assembly including electronic component |
US7308341B2 (en) | 2003-10-14 | 2007-12-11 | Donnelly Corporation | Vehicle communication system |
US6972913B2 (en) * | 2004-01-29 | 2005-12-06 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Two axis tip-tilt platform |
US7864398B2 (en) | 2004-06-08 | 2011-01-04 | Gentex Corporation | Electro-optical element including metallic films and methods for applying the same |
US7706046B2 (en) * | 2004-06-08 | 2010-04-27 | Gentex Corporation | Rearview mirror element having a circuit mounted to the rear surface of the element |
US7119942B2 (en) * | 2004-06-30 | 2006-10-10 | Northrop Gruman Corporation | Side spring micro-mirror |
KR100703074B1 (ko) | 2005-02-25 | 2007-04-06 | 삼성전기주식회사 | 틸팅부재와 이를 갖는 틸팅 엑츄에이터 |
US7626749B2 (en) | 2005-05-16 | 2009-12-01 | Donnelly Corporation | Vehicle mirror assembly with indicia at reflective element |
US8368992B2 (en) * | 2006-03-03 | 2013-02-05 | Gentex Corporation | Electro-optical element including IMI coatings |
US7746534B2 (en) * | 2006-12-07 | 2010-06-29 | Gentex Corporation | Thin-film coatings, electro-optic elements and assemblies incorporating these elements |
US8274729B2 (en) * | 2006-03-03 | 2012-09-25 | Gentex Corporation | Thin-film coatings, electro-optic elements and assemblies incorporating these elements |
US8169681B2 (en) | 2006-03-03 | 2012-05-01 | Gentex Corporation | Thin-film coatings, electro-optic elements and assemblies incorporating these elements |
US7688495B2 (en) * | 2006-03-03 | 2010-03-30 | Gentex Corporation | Thin-film coatings, electro-optic elements and assemblies incorporating these elements |
EP2426552A1 (en) | 2006-03-03 | 2012-03-07 | Gentex Corporation | Electro-optic elements incorporating improved thin-film coatings |
KR100908120B1 (ko) * | 2006-11-01 | 2009-07-16 | 삼성전기주식회사 | 전자기 마이크로 액츄에이터 |
US8035881B2 (en) * | 2007-03-05 | 2011-10-11 | Gentex Corporation | Multi-zone mirrors |
US10017847B2 (en) | 2007-03-05 | 2018-07-10 | Gentex Corporation | Method and apparatus for ion milling |
US9274394B2 (en) | 2007-03-05 | 2016-03-01 | Gentex Corporation | Multi-zone mirrors |
US8649083B2 (en) | 2007-03-05 | 2014-02-11 | Gentex Corporation | Multi-zone mirrors |
US8154418B2 (en) | 2008-03-31 | 2012-04-10 | Magna Mirrors Of America, Inc. | Interior rearview mirror system |
GB0818918D0 (en) * | 2008-10-15 | 2008-11-19 | Icera Inc | Boot algorithm |
DE102010062591A1 (de) * | 2010-12-08 | 2012-06-14 | Robert Bosch Gmbh | Magnetischer Aktor |
KR102250049B1 (ko) | 2014-10-08 | 2021-05-11 | 삼성디스플레이 주식회사 | 광빔 떨림 광학 모듈 |
JP6520432B2 (ja) * | 2015-06-09 | 2019-05-29 | セイコーエプソン株式会社 | 光学デバイスおよび画像表示装置 |
CN115051526A (zh) * | 2017-12-01 | 2022-09-13 | 浜松光子学株式会社 | 致动器装置 |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
HU165534B (ja) * | 1972-02-11 | 1974-09-28 | ||
GB1441840A (en) * | 1974-03-14 | 1976-07-07 | Mullard Ltd | Magnetic devices |
SE7910071L (sv) * | 1978-12-08 | 1980-06-09 | Roy Mcgreevy | Skyltanordning |
US4281898A (en) * | 1979-02-07 | 1981-08-04 | Murakami Kaimeido Co., Ltd. | Automatic antiglare rearview mirror |
US4566935A (en) * | 1984-07-31 | 1986-01-28 | Texas Instruments Incorporated | Spatial light modulator and method |
US4662746A (en) * | 1985-10-30 | 1987-05-05 | Texas Instruments Incorporated | Spatial light modulator and method |
JPS62184386A (ja) * | 1986-02-07 | 1987-08-12 | Seiko Instr & Electronics Ltd | スクリ−ン影像表示式電子メトロノ−ム |
US5126836A (en) * | 1989-11-01 | 1992-06-30 | Aura Systems, Inc. | Actuated mirror optical intensity modulation |
US5150205A (en) * | 1989-11-01 | 1992-09-22 | Aura Systems, Inc. | Actuated mirror optical intensity modulation |
US5185660A (en) * | 1989-11-01 | 1993-02-09 | Aura Systems, Inc. | Actuated mirror optical intensity modulation |
US5153573A (en) * | 1990-04-23 | 1992-10-06 | Fpd Technology, Inc. | Video display control system for liquid crystal display or the like |
US5083857A (en) * | 1990-06-29 | 1992-01-28 | Texas Instruments Incorporated | Multi-level deformable mirror device |
-
1995
- 1995-02-25 KR KR1019950003760A patent/KR100343219B1/ko not_active IP Right Cessation
-
1996
- 1996-01-25 US US08/591,785 patent/US5748172A/en not_active Expired - Lifetime
- 1996-02-19 DE DE19606095A patent/DE19606095A1/de not_active Withdrawn
- 1996-02-19 JP JP8030796A patent/JPH08248334A/ja active Pending
- 1996-02-23 FR FR9602241A patent/FR2731084B1/fr not_active Expired - Lifetime
Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100450790B1 (ko) * | 1999-05-28 | 2004-10-01 | 삼성전자주식회사 | 마이크로 미러 스캐너 및 그 제조방법 |
JP2003518650A (ja) * | 1999-12-28 | 2003-06-10 | ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング | マイクロミラー |
JP2003530710A (ja) * | 2000-04-07 | 2003-10-14 | マイクロソフト コーポレイション | 磁気作動の微小電気機械システムアクチュエータ |
JP4743742B2 (ja) * | 2000-04-07 | 2011-08-10 | マイクロソフト コーポレーション | 磁気作動の微小電気機械システムアクチュエータ |
JP2002116402A (ja) * | 2000-10-05 | 2002-04-19 | Miyota Kk | 光偏向素子及びその製造方法 |
JP2006500887A (ja) * | 2002-09-26 | 2006-01-05 | セイコーエプソン株式会社 | 駆動機構 |
US8144380B2 (en) | 2002-09-26 | 2012-03-27 | Seiko Epson Corporation | Drive mechanism |
JP2006201783A (ja) * | 2005-01-19 | 2006-08-03 | Lg Electronics Inc | 電磁力駆動スキャニングマイクロミラー及びこれを使用した光スキャニング装置 |
KR100644896B1 (ko) * | 2005-01-19 | 2006-11-14 | 엘지전자 주식회사 | 전자력 구동 스캐닝 마이크로미러 및 이를 사용한광스캐닝 장치 |
JP2008076569A (ja) * | 2006-09-19 | 2008-04-03 | Seiko Epson Corp | アクチュエータ、光スキャナ、および画像形成装置 |
JP2011227216A (ja) * | 2010-04-19 | 2011-11-10 | Nippon Signal Co Ltd:The | 光走査装置及びその製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
FR2731084B1 (fr) | 1997-06-20 |
DE19606095A1 (de) | 1996-08-29 |
US5748172A (en) | 1998-05-05 |
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KR960032034A (ko) | 1996-09-17 |
KR100343219B1 (ko) | 2002-11-23 |
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