JPH08244123A - Surface treatment of continuous sheet like material - Google Patents
Surface treatment of continuous sheet like materialInfo
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- JPH08244123A JPH08244123A JP5136995A JP5136995A JPH08244123A JP H08244123 A JPH08244123 A JP H08244123A JP 5136995 A JP5136995 A JP 5136995A JP 5136995 A JP5136995 A JP 5136995A JP H08244123 A JPH08244123 A JP H08244123A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、真空処理室内におい
て、プラスチックフィルムや、金属箔、あるいは織物や
編物等の繊維状材料などからなる連続したシート状材料
を巻出して走行させ、その走行経路中においてプラズマ
やＣＶＤ、スパッタ等によって該連続シート状材料の表
面を改質したり、又は該表面に金属膜、セラミック膜、
有機膜等の膜を成膜するなどの各種の表面処理を施す連
続シート状材料の表面処理方法に関する。この方法は、
太陽電池や、液晶用表面ディスプレイ板、ガラスに貼り
付ける曇り防止や赤外線防止、紫外線防止用のフィルム
などの各種の機能性フィルムの製造に好適に用いられる
ものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention unwinds and runs a continuous sheet material made of a plastic film, a metal foil, or a fibrous material such as a woven or knitted fabric in a vacuum processing chamber, and the running path thereof. The surface of the continuous sheet material is modified by plasma, CVD, sputtering, or the like, or a metal film, a ceramic film,
The present invention relates to a surface treatment method for a continuous sheet-shaped material that performs various surface treatments such as forming a film such as an organic film. This method
It is preferably used for the production of various functional films such as solar cells, surface display plates for liquid crystals, and films for preventing fogging, infrared rays, and ultraviolet rays that are attached to glass.
【０００２】[0002]
【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】従来よ
り、真空下において、連続して走行する連続シート状材
料に対して、プラズマによる表面改質処理や、スパッ
タ、プラズマＣＶＤによる成膜処理などの表面処理を行
なう場合、金属ロール等の回転体によって連続シート状
材料を支えながら走行させている。これらのロールは、
その軸方向が水平方向になるように配されており、該ロ
ールに沿って、連続シート状材料が、その幅方向が水平
方向となるように維持された状態で搬送されている。2. Description of the Related Art Conventionally, surface modification treatment by plasma, film forming treatment by sputtering, plasma CVD, etc., for a continuous sheet-like material which runs continuously under vacuum. When the surface treatment is performed, the continuous sheet material is run while being supported by a rotating body such as a metal roll. These roles are
The sheet is arranged so that its axial direction is horizontal, and the continuous sheet-shaped material is conveyed along the roll while being maintained such that the width direction thereof is horizontal.
【０００３】例えば、図４〜６に示すように、従来の表
面処理装置１００、１１０、１２０においては、巻出し
装置１０１から引出された連続シート状材料１０２は、
ロール１０３、１０３、…に沿って、その幅方向が水平
方向となるように処理区間１０７内を水平方向に走行
し、巻取装置１０６で巻き取られている。For example, as shown in FIGS. 4 to 6, in the conventional surface treatment apparatus 100, 110, 120, the continuous sheet material 102 drawn from the unwinding apparatus 101 is
Along the rolls 103, 103, ..., Horizontally runs in the processing section 107 so that the width direction is horizontal, and is wound by the winding device 106.
【０００４】図４の従来の表面処理装置１００では、連
続シート状材料１０２は、処理区間１０７内にて、冷却
又は加熱等を行なう温度制御ロール１０４に接触した状
態で、そのロール１０４の下方に配された電極１０５、
１０５、１０５によって表面処理がなされる。In the conventional surface treatment apparatus 100 shown in FIG. 4, the continuous sheet material 102 is in contact with a temperature control roll 104 for cooling or heating in the treatment section 107, and is placed below the roll 104. The arranged electrodes 105,
Surface treatment is performed by 105 and 105.
【０００５】図５の従来の表面処理装置１１０では、連
続シート状材料１０２は、２本のロール１０３、１０３
間で、当該走行路の上方にその走行面と平行に配された
電極１０５によって表面処理がなされる。In the conventional surface treatment apparatus 110 shown in FIG. 5, the continuous sheet material 102 has two rolls 103, 103.
In the meantime, the surface treatment is performed by the electrode 105 arranged above the traveling path in parallel with the traveling surface.
【０００６】図６の従来の表面処理装置１２０では、連
続シート状材料１０２は、水平方向に連設された３つの
処理区間１０７ａ、１０７ｂ、１０７ｃを貫通して走行
し、各処理区間１０７ａ、１０７ｂ、１０７ｃにおい
て、当該走行路の下方にそれぞれ配された電極１０５
ａ、１０５ｂ、１０５ｃによって表面処理がなされる。In the conventional surface treatment apparatus 120 of FIG. 6, the continuous sheet material 102 travels through three treatment sections 107a, 107b, 107c which are continuously arranged in the horizontal direction, and each of the treatment sections 107a, 107b. , 107c, the electrodes 105 respectively arranged below the traveling path.
Surface treatment is performed by a, 105b, and 105c.
【０００７】しかしながら、このように連続シート状材
料１０２をその幅方向が水平方向となるように支持した
状態で水平方向に走行させる場合、該連続シート状材料
１０２は、その自重のよって下方に垂れ下りやすいた
め、当該走行方向に作用する張力を大きくするか、また
は、連続シート状材料１０２を支持するロール１０３間
隔を短くしなければ、良好に走行させることができな
い。However, when the continuous sheet-shaped material 102 is run in the horizontal direction while being supported so that its width direction is horizontal, the continuous sheet-shaped material 102 hangs downward due to its own weight. Since it is easy to descend, unless the tension acting in the traveling direction is increased or the interval between the rolls 103 supporting the continuous sheet material 102 is shortened, the traveling cannot be performed well.
【０００８】一般に、このような表面処理を行なう場
合、以下に示す理由により、連続シート状材料に作用す
る張力をできるだけ小さく、かつ、ロール間隔をできる
だけ長くすることが望ましい。Generally, when such a surface treatment is carried out, it is desirable to make the tension acting on the continuous sheet material as small as possible and the roll interval as long as possible for the following reasons.
【０００９】すなわち、張力が大きいと、処理後に連続
シート状材料１０２に縦皺などの歪みが残り、特に耐熱
性に劣る連続シート状材料１０２の場合、該歪みが大き
く、品質上大きな問題となる。一方、ロール１０３間隔
が短いと、表面処理された処理面が、処理後直ちにロー
ル１０３と接触してしまい、特に、多層膜を形成する場
合などのように連続多段階処理を行う場合、品質上の問
題が大きい。That is, when the tension is high, distortion such as vertical wrinkles remains on the continuous sheet material 102 after the treatment, and particularly in the case of the continuous sheet material 102 having poor heat resistance, the distortion is large, which is a serious quality problem. . On the other hand, if the interval between the rolls 103 is short, the treated surface that has been surface-treated will come into contact with the rolls 103 immediately after the treatment. Is a big problem.
【００１０】ロール１０３間隔が短い場合であっても、
図６の装置１２０のように、連続シート状材料１０２を
湾曲させて当該成膜面がロール１０３に接触しないよう
に走行させることにより、上記の問題を解決することは
可能である。しかし、この場合でも、連続シート状材料
１０２と電極１０５間との距離を一定に保つためには、
非成膜面にロール１０３を適当な間隔で当接させなけれ
ばならないため、連続シート状材料１０２の両面処理に
は適さないという問題がある。Even when the interval between the rolls 103 is short,
It is possible to solve the above-mentioned problem by bending the continuous sheet material 102 so that the film-forming surface does not come into contact with the roll 103 as in the apparatus 120 of FIG. However, even in this case, in order to keep the distance between the continuous sheet material 102 and the electrode 105 constant,
Since the rolls 103 must be brought into contact with the non-film-forming surface at appropriate intervals, there is a problem that they are not suitable for double-sided processing of the continuous sheet material 102.
【００１１】以上において、特にスパッタやプラズマＣ
ＶＤで成膜する場合には、図４、６に示す成膜方法は、
デポアップ方式と呼ばれ、図５に示す成膜方法は、デポ
ダウン方式と呼ばれているが、前者の場合には、連続シ
ート状材料１０２側からの汚染物が電極１０５側に、後
者の場合には、電極１０５の汚染物が連続シート状材料
１０２側に落下して、それらに付着してしまうという汚
れの問題もある。In the above, especially spatter and plasma C
When forming a film by VD, the film forming method shown in FIGS.
The deposition method shown in FIG. 5 is called the deposition method, and the deposition method is called the deposition method. In the former case, contaminants from the continuous sheet material 102 side are on the electrode 105 side, and in the latter case. However, there is also a problem of contamination in that the contaminants of the electrode 105 fall to the continuous sheet material 102 side and adhere to them.
【００１２】一方、従来、連続シート状材料１０２を、
その幅方向が水平方向となるように維持された状態で鉛
直方向に走行させつつ、表面処理を行うということもな
されている。On the other hand, conventionally, the continuous sheet material 102 is
It is also known that the surface treatment is performed while running in the vertical direction with the width direction thereof maintained to be the horizontal direction.
【００１３】例えば、図７の従来の表面処理装置１３０
では、処理区間１０７内において連続シート状材料１０
２の走行路が一部鉛直方向になるように、ロール１０
３、１０３、…が配されており、その鉛直部で、連続シ
ート状材料１０２の面に平行に配された電極１０５、１
０５によって表面処理がなされる。For example, the conventional surface treatment apparatus 130 shown in FIG.
Then, in the processing section 107, the continuous sheet material 10
Roll 10 so that the traveling path of 2 is partially vertical
, 103 are arranged, and electrodes 105, 1 arranged in parallel with the surface of the continuous sheet material 102 at the vertical portions thereof.
The surface treatment is performed by 05.
【００１４】また、図８の従来の表面処理装置１４０で
は、連続シート状材料１０２は、鉛直方向に連設された
３つの処理区間１０７ａ、１０７ｂ、１０７ｃを上方に
貫通して走行する。そして、上部に配された折返しロー
ル１４１で折返され、３区間１０７ａ、１０７ｂ、１０
７ｃを貫通して降下する。これら上昇時及び下降時にお
いて、各処理区間１０７ａ、１０７ｂ、１０７ｃ内で、
連続シート状材料１０２の面に平行に配された合計６個
の電極１０５、１０５、…によって表面処理がなされ
る。Further, in the conventional surface treatment apparatus 140 shown in FIG. 8, the continuous sheet material 102 travels upward through the three treatment sections 107a, 107b, 107c which are continuously arranged in the vertical direction. Then, it is folded back by the folding roll 141 arranged on the upper portion, and three sections 107a, 107b, 10
Go through 7c and descend. At the time of ascending and descending, in each processing section 107a, 107b, 107c,
Surface treatment is performed by a total of six electrodes 105, 105, ..., Which are arranged parallel to the surface of the continuous sheet material 102.
【００１５】このように、連続シート状材料１０２を、
その幅方向が水平方向になるように維持した状態で、該
連続シート状材料１０２を鉛直方向に走行させる場合、
電極１０５の下方に受け皿１３１を受けることで、上記
の汚れの問題は解決できる。Thus, the continuous sheet material 102 is
When the continuous sheet material 102 is run in the vertical direction with the width direction thereof maintained in the horizontal direction,
By receiving the tray 131 below the electrode 105, the above-mentioned problem of contamination can be solved.
【００１６】しかしながら、この場合でもロール１０３
間隔を長くするためには、図８に示すように上下に高く
構成しなければならず、張力を低減させることはできな
い。また、非処理面側に短い間隔でロール１０３を配設
しなければ、連続シート状材料１０２を良好に走行させ
ることができないため、図６において上述したと同様
に、両面処理には適さないという問題がある。However, even in this case, the roll 103
In order to lengthen the interval, it is necessary to make the height higher in the vertical direction as shown in FIG. 8, and the tension cannot be reduced. Further, the continuous sheet material 102 cannot be satisfactorily run unless the rolls 103 are arranged at a short interval on the non-processed surface side. Therefore, as described above with reference to FIG. 6, it is not suitable for double-sided processing. There's a problem.
【００１７】さらに、このように上方に大きく連続シー
ト状材料１０２を振り上げる方式では、電極１０５等の
据付け位置が非常に高くなってしまい、それらの掃除や
スパッタ法におけるターゲット材の交換などのメンテナ
ンス性に劣るという問題もある。Further, in such a system in which the continuous sheet material 102 is largely swung upward, the installation position of the electrode 105 and the like becomes extremely high, and maintenance such as cleaning of them and replacement of the target material in the sputtering method is performed. There is also the problem of poor sex.
【００１８】以上のように、従来の表面処理方法では、
連続シート状材料１０２を、その幅方向が水平方向とな
るように走行させているので、張力を低く抑えつつロー
ル１０３間隔を長くとることができず、よって、特に、
連続シート状材料１０２の両面から成膜したり、連続多
段階処理を施す場合などに問題がある。As described above, in the conventional surface treatment method,
Since the continuous sheet material 102 is run such that the width direction thereof is horizontal, it is not possible to keep the tension between the rolls 103 long and the rolls 103 are long.
There is a problem in forming a film from both sides of the continuous sheet material 102 or performing a continuous multi-step process.
【００１９】そこで、本発明は、連続シート状材料を支
持するロール間隔が長くても、該連続シート状材料を良
好に連続走行させて表面処理することができる連続シー
ト状材料の表面処理方法を提供することを目的とする。Therefore, the present invention provides a surface treatment method for a continuous sheet-shaped material, which allows the continuous sheet-shaped material to be satisfactorily continuously run and surface-treated even if the roll interval supporting the continuous sheet-shaped material is long. The purpose is to provide.
【００２０】[0020]
【課題を解決するための手段】本発明の請求項１の連続
シート状材料の表面処理方法は、真空処理室内において
連続して走行する連続シート状材料に対して、プラズマ
等による表面改質処理や、スパッタ法やプラズマＣＶＤ
法等による成膜処理などの表面処理を行なう連続シート
状材料の表面処理方法において、前記連続シート状材料
をその幅方向が鉛直方向となるように連続走行させつつ
前記表面処理を行なう。A method for surface treatment of a continuous sheet material according to claim 1 of the present invention is a surface modification treatment by plasma or the like for a continuous sheet material continuously running in a vacuum processing chamber. , Sputtering method and plasma CVD
In a surface treatment method for a continuous sheet-shaped material, which performs a surface treatment such as a film-forming treatment by a method or the like, the surface treatment is performed while the continuous sheet-shaped material is continuously run such that its width direction is a vertical direction.
【００２１】請求項２の連続シート状材料の表面処理方
法は、請求項１において、前記の連続走行する連続シー
ト状材料の幅方向一端が所定位置よりも下方に位置した
ときに、前記連続シート状材料に斜め上方に向かうよう
外力を加えて前記幅方向一端を所定位置に戻す。The surface treatment method for a continuous sheet material according to a second aspect is the continuous sheet material according to the first aspect, wherein one end in the width direction of the continuously traveling continuous sheet material is located below a predetermined position. An external force is applied to the strip-shaped material obliquely upward to return one end in the width direction to a predetermined position.
【００２２】[0022]
【作用】請求項１の連続シート状材料の表面処理方法で
は、連続シート状材料を、その幅方向が鉛直方向となる
ように連続走行させて表面処理を施す電極間に通し、こ
れにより、連続シート状材料の少くとも一方面に対して
表面処理を行なう。According to the method for surface-treating a continuous sheet-like material of claim 1, the continuous sheet-like material is continuously run so that its width direction is the vertical direction, and is passed between electrodes to be surface-treated, whereby At least one surface of the sheet material is surface-treated.
【００２３】請求項２の連続シート状材料の表面処理方
法では、この幅方向が鉛直方向となるように連続走行す
る連続シート状材料の幅方向一端が所定位置よりも下方
に位置したときに、該連続シート状材料に斜め上方に向
かうよう外力を加えるので、下方に下ってきた連続シー
ト状材料が上方に持ち上げられて、当該幅方向一端を所
定位置に戻す。これにより、連続シート状材料の幅方向
一端の高さを一定に保つことができる。In the surface treatment method for a continuous sheet material according to a second aspect, when one end in the width direction of the continuous sheet material that continuously runs so that the width direction is the vertical direction is located below a predetermined position, Since an external force is applied to the continuous sheet-shaped material in an obliquely upward direction, the continuous sheet-shaped material that has descended downward is lifted upward and returns one end in the width direction to a predetermined position. Thereby, the height of one end of the continuous sheet material in the width direction can be kept constant.
【００２４】[0024]
【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明
する。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.
【００２５】図１は、本発明の一実施例を示した斜視図
であり、連続シート状材料Ｗの表面処理装置１０の要部
である処理室１２内の状態を示している。この装置１０
は、プラズマＣＶＤによる成膜装置である。FIG. 1 is a perspective view showing an embodiment of the present invention, showing a state in a processing chamber 12 which is a main part of a surface processing apparatus 10 for a continuous sheet material W. This device 10
Is a film forming apparatus by plasma CVD.
【００２６】処理室１２は、水平方向に細長い直方体の
ハウジングよりなる。この処理室１２の長手方向の一端
には、連続シート状材料Ｗを巻き出す不図示の巻出部を
有する巻出し室８が配され、他端には、連続シート状材
料Ｗを巻き取る不図示の巻取部を有する巻取り室９が配
されており、これにより本表面処理装置１０が構成され
ている。そして、処理室１２と巻出し室８と巻取り室９
の内部は、真空状態に保持されている。The processing chamber 12 is composed of a rectangular parallelepiped housing elongated in the horizontal direction. An unwinding chamber 8 having an unillustrated unwinding portion for unwinding the continuous sheet material W is arranged at one end of the processing chamber 12 in the longitudinal direction, and at the other end, the unwinding chamber 8 for unwinding the continuous sheet material W is arranged. A winding chamber 9 having a winding portion shown in the drawing is arranged, and the surface treatment apparatus 10 is constituted by the winding chamber 9. Then, the processing chamber 12, the unwinding chamber 8 and the winding chamber 9
The inside of the is maintained in a vacuum state.
【００２７】処理室１２の長手方向の両端壁には、連続
シート状材料Ｗが通過する鉛直方向に細長い矩形の孔１
４、１６が設けられており、巻出し室８側が入口孔１
４、巻取り室９側が出口孔１６となっている。また、処
理室１２の長手方向に平行な該処理室１２の両側壁に
は、水平方向に回動する矩形の扉１８ａ、１８ｂが設け
られている。In both end walls of the processing chamber 12 in the longitudinal direction, rectangular holes 1 elongated in the vertical direction through which the continuous sheet material W passes.
4 and 16 are provided, and the unwinding chamber 8 side is the inlet hole 1
4. The outlet hole 16 is provided on the winding chamber 9 side. Further, rectangular doors 18a and 18b that rotate in the horizontal direction are provided on both side walls of the processing chamber 12 that are parallel to the longitudinal direction of the processing chamber 12.
【００２８】この処理室１２内には、連続シート状材料
Ｗを支持する４本のロール２０ａ、２０ｂ、２２ａ、２
２ｂと、連続シート状材料Ｗの表面に成膜処理を施す一
対の電極２４、２６が設けられている。In the processing chamber 12, four rolls 20a, 20b, 22a, 2 supporting the continuous sheet material W are provided.
2b and a pair of electrodes 24 and 26 for performing a film forming process on the surface of the continuous sheet material W.
【００２９】４本のロール２０ａ、２０ｂ、２２ａ、２
２ｂは、その軸方向が鉛直方向になるように、処理室１
２の天井面と床面との間に配されている。そして、それ
らは、入口孔１４側と出口孔１６側に２本ずつ配されて
おり、２つのロールの対２０、２２を構成している。入
口孔１４側に配された一対のロール２０ａ、２０ｂは、
それら２本のロール軸を通る平面が装置１０の長手方向
に垂直となるように配されており、第１ロール２０ａが
入口孔１４に近接し、第２ロール２０ｂがその隣に配さ
れている。出口孔１６側に配された一対のロール２２
ａ、２２ｂも、入口孔１４側と同様に、装置１０の長手
方向に垂直に配されており、第４ロール２２ｂが出口孔
１６に近接し、第３ロール２２ａがその隣に配されてい
る。Four rolls 20a, 20b, 22a, 2
2b has a processing chamber 1 such that its axial direction is vertical.
It is arranged between the ceiling surface and the floor surface of No. 2. Two of them are arranged on the side of the inlet hole 14 and two on the side of the outlet hole 16 to form two roll pairs 20, 22. The pair of rolls 20a, 20b arranged on the inlet hole 14 side are
The plane passing through the two roll axes is arranged so as to be perpendicular to the longitudinal direction of the device 10, the first roll 20a is arranged close to the inlet hole 14, and the second roll 20b is arranged next to it. . A pair of rolls 22 arranged on the outlet hole 16 side
Similarly to the inlet hole 14 side, a and 22b are also arranged vertically to the longitudinal direction of the apparatus 10, the fourth roll 22b is close to the outlet hole 16, and the third roll 22a is arranged next to it. .
【００３０】一対の電極２４、２６は、第２ロール２０
ｂと第３ロール２２ａとの間に配されて、処理室１２の
一方の扉１８ａの内側面に陰電極２４が、他方の扉１８
ｂの内側面に陽電極２６がそれぞれ取付けられている。
この一対の電極２４、２６は、それぞれ矩形の電極面２
４ａ、２６ａを有する。両電極面２４ａ、２６ａは、互
いに平行で向い合っており、鉛直方向に平行かつ装置１
０の長手方向に平行に配されている。The pair of electrodes 24 and 26 are used for the second roll 20.
b disposed between the third roll 22a and the third roll 22a, the negative electrode 24 is provided on the inner surface of one door 18a of the processing chamber 12 and the other door 18a.
Positive electrodes 26 are attached to the inner surface of b.
The pair of electrodes 24 and 26 are rectangular electrode surfaces 2 respectively.
4a and 26a. The two electrode surfaces 24a and 26a are parallel to each other and face each other, and are parallel to the vertical direction and the device 1
It is arranged parallel to the longitudinal direction of 0.
【００３１】この電極２４、２６は、不図示の高周波電
源に接続されており、両電極面２４ａ、２６ａ間には、
高周波電圧が印加されている。The electrodes 24 and 26 are connected to a high frequency power source (not shown), and between the electrode surfaces 24a and 26a,
High frequency voltage is applied.
【００３２】この表面処理装置１０においては、処理室
１２内のロール２０、２２はもちろん、他の図示しない
ロール、例えば巻取り室８や巻出し室９内のロール等、
連続シート状材料Ｗを支持するロールは全て、その軸方
向が鉛直方向となるように配されている。In the surface treatment apparatus 10, not only the rolls 20 and 22 in the treatment chamber 12 but also other rolls (not shown) such as the rolls in the winding chamber 8 and the unwinding chamber 9 are not shown.
All the rolls supporting the continuous sheet material W are arranged such that the axial direction thereof is the vertical direction.
【００３３】なお、本表面処理装置１０において、電極
２４、２６の細部構成、印加電源及びその電圧、装置１
０内における真空度、並びに処理室１２内に供給する雰
囲気ガスの種類、雰囲気圧などについては、従来公知の
ものを適宜使用できる。例えば、印加電源として直流電
源を用いてもよい。In the surface treatment apparatus 10, the detailed structure of the electrodes 24 and 26, the applied power source and its voltage, the apparatus 1
With regard to the degree of vacuum in 0, the type of atmospheric gas supplied into the processing chamber 12, the atmospheric pressure, and the like, conventionally known ones can be appropriately used. For example, a DC power supply may be used as the applied power supply.
【００３４】次に、この表面処理装置１０による連続シ
ート状材料Ｗの表面処理方法について説明する。Next, a surface treatment method for the continuous sheet material W by the surface treatment apparatus 10 will be described.
【００３５】巻出し室８内では、不図示の巻出部に配さ
れた巻物状の連続シート状材料Ｗが、連続して引出され
る。この引出された連続シート状材料Ｗは、入口孔１４
を通過して処理室１２内に入る（図１において矢印ｖと
して示すように走行する）。In the unwinding chamber 8, the continuous sheet material W in the form of a roll, which is arranged in the unwinding portion (not shown), is continuously withdrawn. The drawn continuous sheet material W has an inlet hole 14
To enter the processing chamber 12 (travel as indicated by arrow v in FIG. 1).
【００３６】処理室１２内では、連続シート状材料Ｗ
は、第１、第２ロール２０ａ、２０ｂに沿ってＳ字状に
連続走行し、対向する電極面２４ａ、２６ａ間に導かれ
る。ここで、連続シート状材料Ｗは、両電極面２４ａ、
２６ａに平行に走行する。この電極面２４ａ、２６ａ間
を走行する際に、連続シート状材料Ｗの陰電極２４ａと
向い合う面に対して、プラズマＣＶＤ処理による成膜が
なされる。そして、電極面２４ａ、２６ａ間を走行した
後、第３、第４ロール２２ａ、２２ｂを経て出口孔１６
から巻取り室９内に入り、不図示の巻取部で連続的に巻
き取られる。In the processing chamber 12, the continuous sheet material W
Continuously travels in an S shape along the first and second rolls 20a and 20b and is guided between the opposing electrode surfaces 24a and 26a. Here, the continuous sheet-shaped material W includes both electrode surfaces 24a,
Run parallel to 26a. When traveling between the electrode surfaces 24a and 26a, a film is formed by a plasma CVD process on the surface of the continuous sheet material W facing the negative electrode 24a. After traveling between the electrode surfaces 24a and 26a, the exit holes 16 are passed through the third and fourth rolls 22a and 22b.
And enters the winding chamber 9 and is continuously wound by a winding unit (not shown).
【００３７】以上において、連続シート状材料Ｗは、常
に、その幅方向が鉛直方向となるように支持された状態
で水平方向に連続走行する。In the above, the continuous sheet material W continuously runs in the horizontal direction while being supported so that the width direction thereof is the vertical direction.
【００３８】この表面処理装置１０では、連続シート状
材料Ｗは、その幅方向が鉛直方向となるように連続走行
するので、自身の自重による垂れ下りが生じにくい。そ
のため、小さい張力でも該シート状材料Ｗを良好に連続
走行させることができる。また、ロール２０、２２の立
設間隔を長くしても良好に連続走行させることができ
る。In the surface treatment apparatus 10, the continuous sheet material W continuously travels so that the width direction thereof becomes the vertical direction, and therefore, it is difficult for the continuous sheet material W to droop due to its own weight. Therefore, the sheet material W can be satisfactorily continuously run even with a small tension. In addition, the rolls 20 and 22 can be satisfactorily continuously run even if the standing interval between the rolls 20 and 22 is increased.
【００３９】また、連続シート状材料Ｗの走行面に平行
に配した電極面２４ａ、２６ａが鉛直に立っているの
で、成膜成分を該シート状材料Ｗに放射する方向が水平
方向となり、よって連続シート状材料Ｗや電極２４の汚
れを防止することができる。Further, since the electrode surfaces 24a, 26a arranged parallel to the running surface of the continuous sheet material W are standing vertically, the direction of radiating the film-forming components to the sheet material W is horizontal, and Contamination of the continuous sheet material W and the electrode 24 can be prevented.
【００４０】さらに、電極２４、２６が処理室１４の扉
１８ａ、１８ｂに取付けられているため、扉１８ａ、１
８ｂを開閉することにより、電極２４、２６を容易に処
理室１２外に出すことができ、よって、電極２４、２６
の掃除や点検、交換などのメンテナンス性に優れる。Furthermore, since the electrodes 24 and 26 are attached to the doors 18a and 18b of the processing chamber 14, the doors 18a and 1b are
By opening and closing 8b, the electrodes 24, 26 can be easily brought out of the processing chamber 12, and thus the electrodes 24, 26
It has excellent maintainability such as cleaning, inspection, and replacement.
【００４１】また、通常これら装置がクリーンルーム内
に設置されることを考慮すると、従来のような幅方向が
水平方向で走行する装置よりも、据付けスペースが小さ
く、よって、装置の設置時におけるコストを大幅に削減
することができる。In consideration of the fact that these devices are usually installed in a clean room, the installation space is smaller than that of the conventional device that travels in the horizontal direction in the width direction, so that the cost for installing the device is reduced. It can be reduced significantly.
【００４２】なお、本表面処理装置１０において、その
電極に、スパッタ法で通常用いられるターゲット材を用
いれば、スパッタ処理装置として使用することもでき
る。In the surface treatment apparatus 10, if a target material usually used in the sputtering method is used for the electrode, it can be used as a sputtering treatment apparatus.
【００４３】つぎに、本発明の他の実施例に係る連続シ
ート状材料の表面処理方法について図２を参照して説明
する。図２は、本方法を用いた連続処理装置５０の内部
を示す断面平面図である。Next, a surface treatment method for a continuous sheet material according to another embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 2 is a cross-sectional plan view showing the inside of the continuous processing apparatus 50 using this method.
【００４４】この表面処理装置５０は、図１の表面処理
装置１０において、電極２４、２６が配された処理室１
２をその長手方向に４室連設し、更に、各処理室１２内
に連続シート状材料Ｗを支持するロールを設けていない
というものである。すなわち、この装置５０は、巻出し
室８と、４つの連設された処理室１２、１２、…と、巻
取り室９とよりなり、各処理室１２内にはロールが配さ
れていない。This surface treatment apparatus 50 is the same as the surface treatment apparatus 10 shown in FIG.
It is said that two chambers 2 are continuously provided in the longitudinal direction, and no roll for supporting the continuous sheet material W is provided in each processing chamber 12. That is, the apparatus 50 is composed of the unwinding chamber 8, four processing chambers 12, 12, ... Connected in series, and the winding chamber 9, and no roll is arranged in each processing chamber 12.
【００４５】巻出し室８内には、巻出部５６と、処理室
１２への進入孔５７の近傍に配された一対のロール５
８、６０と、この一対のロール５８、６０と巻出部５６
との間に配されたロール６２とが設けられている。そし
て、この一対のロール５８、６０は、装置５０の長手方
向に並んで配されている。In the unwinding chamber 8, the unwinding portion 56 and the pair of rolls 5 arranged in the vicinity of the entry hole 57 into the processing chamber 12.
8, 60, the pair of rolls 58, 60 and the unwinding portion 56
And a roll 62 disposed between and. The pair of rolls 58 and 60 are arranged side by side in the longitudinal direction of the device 50.
【００４６】巻取り室９内には、巻取部６４と、処理室
１２内を走行してきた連続シート状材料Ｗの耳端を一定
の高さに保つ矯正機能を備えた一対のロール６６、６８
と、巻取部６４と一対のロール６６、６８の間に配され
たロール７０と、天井面に固定され、このロール７０の
近傍において連続シート状材料Ｗの上端の位置を検知す
るセンサ７２とが設けられている。In the winding chamber 9, a winding portion 64 and a pair of rolls 66 having a correction function for keeping the edge of the continuous sheet material W traveling in the processing chamber 12 at a constant height, 68
A roll 70 disposed between the winding section 64 and the pair of rolls 66, 68; and a sensor 72 fixed to the ceiling surface and detecting the position of the upper end of the continuous sheet material W in the vicinity of the roll 70. Is provided.
【００４７】なお、上記の装置１０と同様、装置５０内
の全てのロール５８、６０、６２、６６、６８、７０
は、その軸方向が鉛直方向になるように、装置５０の天
井面と床面との間に配されている。そして、連続シート
状材料Ｗは、巻出部５６からこれらのロールに沿って矢
印ｖで示す方向に連続走行し、処理室１２内で多層に成
膜処理された後、巻取部６４に巻取られる。As with the apparatus 10 described above, all of the rolls 58, 60, 62, 66, 68, 70 in the apparatus 50.
Are arranged between the ceiling surface and the floor surface of the device 50 such that the axial direction thereof is the vertical direction. Then, the continuous sheet material W continuously travels from the unwinding section 56 along these rolls in the direction indicated by the arrow v, and after being subjected to a multilayer film forming process in the processing chamber 12, is wound around the winding section 64. Taken.
【００４８】この表面処理装置５０でも、装置１０にお
いて上述した効果が得られ、更に、連続多段階処理の
間、連続シート状材料Ｗにロールが全く接触していない
ので、高品質の製品が得られる。Also in this surface treatment apparatus 50, the effects described above in the apparatus 10 can be obtained, and furthermore, since the roll is not in contact with the continuous sheet material W during the continuous multi-step treatment, a high quality product can be obtained. To be
【００４９】ここで、対向する電極２４、２６として同
一極（例えば陰電極）を用いて、その間に連続シート状
材料Ｗを走行させてもよい。この場合、各電極２４、２
６と連続シート状材料Ｗとの間に前記同一極の対極（例
えば陽極）に相当する電極であって成膜に支障のないも
の（例えば粗い金網）を対向的に配するか、又は、連続
シート状材料Ｗに導電性を持たせることによって、連続
シート状材料Ｗの両面を同時に、かつ、多層に成膜処理
することができ、しかも、その品質が高い製品が得られ
る。Here, the same electrodes (for example, negative electrodes) may be used as the electrodes 24 and 26 facing each other, and the continuous sheet material W may be run between them. In this case, each electrode 24, 2
Between 6 and the continuous sheet material W, an electrode corresponding to the counter electrode (for example, an anode) of the same pole, which does not hinder film formation (for example, a coarse wire mesh), is arranged oppositely, or continuous. By providing the sheet-shaped material W with conductivity, it is possible to form a film on both surfaces of the continuous sheet-shaped material W at the same time and in a multi-layered manner, and a product with high quality can be obtained.
【００５０】また、その際、電極２４、２６間に、２枚
の連続シート状材料を並走させることにより、当該２枚
の連続シート状材料の一方面に、一度に、しかも良好に
成膜処理することができる。Further, at that time, by running two continuous sheet-shaped materials in parallel between the electrodes 24 and 26, a good film can be formed on one surface of the two continuous sheet-shaped materials at one time. Can be processed.
【００５１】以下、一対のロール６６、６８により構成
される矯正装置について詳細に説明する。The straightening device constituted by the pair of rolls 66, 68 will be described in detail below.
【００５２】この一対のロール６６、６８は、装置５０
の長手方向に並んで配されており、連続シート状材料Ｗ
の進行方向後方に位置する第１ロール６６と、前方に位
置する第２ロール６８とよりなる。両ロール６６、６８
は、ともに従動ロールである。The pair of rolls 66 and 68 are provided in the device 50.
Are arranged side by side in the longitudinal direction of the continuous sheet material W
It is composed of a first roll 66 located rearward in the traveling direction and a second roll 68 located forward. Both rolls 66, 68
Is a follower roll.
【００５３】第１ロール６６は、センサ７２が連続シー
ト状材料Ｗの上端が所定位置よりも下ったことを検知し
たときに、この連続シート状材料Ｗに斜め上方に向かう
よう外力を加えて、その下った分だけ連続シート状材料
Ｗを持ち上げるように動作する。When the sensor 72 detects that the upper end of the continuous sheet material W has fallen below a predetermined position, the first roll 66 applies an external force to the continuous sheet material W obliquely upward, It operates so as to lift the continuous sheet material W by that amount.
【００５４】すなわち、この第１ロール６６は、図３
（ａ）に示すように、そのロール軸８０上における軸方
向の中点８２からロール軸８０に対して垂直であり、か
つ、連続シート状材料Ｗの進行方向後方に延びる仮想線
ｌ１上に矯正中心８４を定義したとき、この矯正中心８
４を中心として、連続シート状材料Ｗの面と平行な面内
において、上方に回動する（８０ａで示す状態とな
る）。即ち、円弧状の軌跡を描くように動く。なお、こ
の矯正中心８４は、前記ロール軸８０からの距離ｈが連
続シート状材料Ｗの幅方向寸法ｗよりも長くなるように
（ｈ＞ｗ）定義されている。That is, this first roll 66 is shown in FIG.
As shown in (a), it is corrected on an imaginary line 11 which is perpendicular to the roll axis 80 from the axial midpoint 82 on the roll axis 80 and extends rearward in the traveling direction of the continuous sheet material W. When the center 84 is defined, this correction center 8
4 is rotated in the plane parallel to the plane of the continuous sheet material W (the state shown by 80a). That is, it moves so as to draw an arc-shaped trajectory. The straightening center 84 is defined such that the distance h from the roll shaft 80 is longer than the widthwise dimension w of the continuous sheet material W (h> w).
【００５５】第２ロール６８も、第１ロール６６と同様
に、連続シート状材料Ｗが下ったとき、その下った分だ
け持ち上げるように動作する。即ち、前記矯正中心を中
心として、第１ロール６６とともにこれと同一面内にお
いて上方に回動する。Similarly to the first roll 66, the second roll 68 also operates so that when the continuous sheet material W is lowered, it is lifted by that amount. That is, the first roll 66 and the first roll 66 rotate upward in the same plane as the center of the straightening center.
【００５６】この矯正装置では、従動ロールである第１
ロール６６と第２ロール６８とが並設され、連続シート
状材料Ｗをこれら２本のロールにＳ字状に抱かせるよう
に支持して走行させているので、連続シート状材料Ｗ
が、鉛直方向には滑ることなく支持され、かつ、走行方
向には傷付けられることなく移動して搬送される。In this straightening device, the first roll which is the driven roll is used.
The roll 66 and the second roll 68 are provided side by side, and the continuous sheet material W is supported and run so as to be held by these two rolls in an S-shape.
However, it is supported in the vertical direction without slipping and is moved and conveyed in the traveling direction without being damaged.
【００５７】そして、連続シート状材料Ｗの耳端が所定
位置よりも下ったときには、一対のロール６６、６８を
上方に回動させることにより、当該耳端を、その下り分
だけ上昇させることができ、よって連続シート状材料Ｗ
の耳端の高さを一定に保つことができる。When the edge of the continuous sheet material W falls below a predetermined position, the pair of rolls 66, 68 can be rotated upward to raise the edge by the amount corresponding to the downward movement. Can be made, so continuous sheet material W
The height of the ear can be kept constant.
【００５８】なお、この矯正動作を行なうロール６６、
６８は、耳端の高さを一定に維持したい地点にあるセン
サ７２から、１００〜１，０００ｍｍの範囲内（装置５
０の長手方向距離）に設けることが好ましい。The roll 66 for performing this straightening operation,
68 is within a range of 100 to 1,000 mm from the sensor 72 located at a point where the height of the edge is desired to be kept constant (the device 5
It is preferable to provide it at a longitudinal distance of 0).
【００５９】また、この矯正装置６６、６８の連続シー
ト状材料Ｗの走行方向後方には、少なくとも該シート状
材料Ｗの幅以上の距離の領域に、鉛直方向に滑ることの
ない支持体を設けてはならない。なお、電極２４、２６
であれば、この領域内に設けてもよいが、電極２４、２
６が、これら矯正装置６６、６８に近過ぎると処理直後
の処理面がこれらロール６６、６８に接触してしまうた
め好ましくない。Further, behind the straightening devices 66 and 68 in the running direction of the continuous sheet material W, a support body which does not slide in the vertical direction is provided at least in a region having a distance equal to or larger than the width of the sheet material W. must not. The electrodes 24, 26
If so, the electrodes 24, 2 may be provided in this region.
When 6 is too close to these straightening devices 66 and 68, the processing surface immediately after processing contacts these rolls 66 and 68, which is not preferable.
【００６０】この一対のロール６６、６８において、第
２ロール６８については、必ずしも上述したような回動
する構成にする必要はなく、当該上下端が固定された単
なる従動ロールであってもよい。Of the pair of rolls 66, 68, the second roll 68 does not necessarily have to be configured to rotate as described above, and may be a simple driven roll having its upper and lower ends fixed.
【００６１】なお、矯正装置は、上記のものに限定され
ることなく、連続シート状材料Ｗに対して斜め上方に外
力を加えることができるものであれば、ロール以外によ
って構成してもよい。The correction device is not limited to the above-mentioned device, and may be constituted by other than rolls as long as it can apply an external force diagonally upward to the continuous sheet material W.
【００６２】ロールによって構成する場合には、当該ロ
ール軸が、連続シート状材料Ｗの面と平行な面内におい
て、その上端が下端よりも連続シート状材料Ｗの進行方
向後方に位置するように該ロールを動かすものであれば
よい。なお、上記連続シート状材料Ｗの面とは、該ロー
ルに対して進入してくるその進入時の連続シート状材料
の面である。In the case of being constituted by rolls, the roll axis is arranged such that the upper end thereof is located behind the lower end in the traveling direction of the continuous sheet material W in the plane parallel to the surface of the continuous sheet material W. Anything that moves the roll may be used. The surface of the continuous sheet material W is the surface of the continuous sheet material at the time of entering the roll.
【００６３】以上より、例えば、ロール軸が、連続シー
ト状材料Ｗの進行方向に対して、その上端が下端よりも
後方に位置するように当該ロールを傾けるものでもよ
い。この場合、詳しくは、図３（ｂ）に示すように、ロ
ール軸９０を下方に延長した仮想延長線ｌ２上に矯正中
心９２を定義し、該矯正中心９２を中心として、前記ロ
ールを、連続シート状材料Ｗの面に平行な面内におい
て、その進行方向後方に回動させる（９０ａの状態）
か、または、ロール軸９０を上方に延長した仮想延長線
ｌ３上に矯正中心９４を定義し、該矯正中心９４を中心
として、前記ロールを、連続シート状材料Ｗの面に平行
な面内において、その進行方向前方に回動させる（９０
ｂの状態）ことにより矯正することができる。From the above, for example, the roll shaft may be inclined such that the upper end of the roll shaft is located rearward of the lower end with respect to the traveling direction of the continuous sheet material W. In this case, in detail, as shown in FIG. 3B, a straightening center 92 is defined on an imaginary extension line 12 that extends the roll shaft 90 downward, and the roll is continuously formed around the straightening center 92. In the plane parallel to the plane of the sheet-shaped material W, the sheet-shaped material W is rotated backward in the traveling direction (state 90a).
Alternatively, a straightening center 94 is defined on a virtual extension line 13 that extends the roll axis 90 upward, and the roll is centered on the straightening center 94 in a plane parallel to the plane of the continuous sheet material W. , Rotate it forward in the direction of travel (90
It can be corrected by the condition (b).
【００６４】このように矯正装置がロールにより構成さ
れている場合、連続シート状材料Ｗを鉛直に支持して走
行させる本発明においては、そのロール軸を鉛直方向か
ら一方側の領域内で回動ないしは傾斜させるのみで矯正
することができ、鉛直方向から反対側に回動等させる必
要はない。When the straightening device is constituted by rolls as described above, in the present invention in which the continuous sheet material W is vertically supported and travels, the roll shaft is rotated within a region on one side from the vertical direction. Or, it can be corrected only by inclining it, and it is not necessary to rotate it from the vertical direction to the opposite side.
【００６５】なお、上述した本実施例の一対のロール６
６、６８であれば、上方へ回動した分だけ連続シート状
材料Ｗを持ち上げるので容易に耳端を矯正することがで
き、よって、応答性に劣り、かつ、応答量も必ずしも明
確でない図３（ｂ）に示すロールを傾ける構成よりも矯
正効果が優れる。The pair of rolls 6 of this embodiment described above is used.
In the case of Nos. 6 and 68, since the continuous sheet-shaped material W is lifted by the amount of the upward rotation, the edge of the ear can be easily corrected, and therefore the response is poor and the response amount is not always clear. The straightening effect is superior to that shown in FIG.
【００６６】ここで、このようにロールにより構成する
場合、鉛直方向の滑りが発生しないように１本または２
本以上のロールを組合せる必要がある。この組合せとし
ては、例えば、上記装置１０における一対のロール２０
ａ、２０ｂ又は２２ａ、２２ｂ、あるいは、上記装置５
０における一対のロール６４、６６などのように、２本
のロールを並設して、連続シート状材料Ｗをこれら２本
のロールにＳ字状に抱かせるように走行させればよい。
また、２本のロールでロールプレスするようにして走行
させてもよい。Here, in the case of being constituted by the rolls as described above, one or two rolls are provided so that slippage in the vertical direction does not occur.
It is necessary to combine more than one roll. As this combination, for example, the pair of rolls 20 in the device 10 is used.
a, 20b or 22a, 22b, or the above device 5
Like the pair of rolls 64 and 66 in No. 0, two rolls may be arranged side by side, and the continuous sheet material W may be run so as to make the two rolls hold in an S shape.
Alternatively, two rolls may be used as a roll press.
【００６７】なお、以上において、ロールには、駆動ロ
ールでも、従動ロールでも用いることができる。In the above description, either a driving roll or a driven roll can be used as the roll.
【００６８】次に、矯正装置を設ける理由について述べ
る。Next, the reason for providing the correction device will be described.
【００６９】一般に、連続シート状材料を幅方向が鉛直
方向となるようにして連続走行させると、連続シート状
材料は、その走行時の張力・スピード・各ロール面での
摩擦係数、材料のヤング率などの物理特性が一定なとき
には、重力に従って一定量だけ当該耳端が下ってくる。
そのため、耳端が巻出し時からその一定量だけ下った状
態で安定して巻取られる。In general, when a continuous sheet-shaped material is continuously run with its width direction being the vertical direction, the continuous sheet-shaped material has a tension / speed during running, a friction coefficient on each roll surface, and a Young's material. When the physical characteristics such as the rate are constant, the ear tip descends by a certain amount according to gravity.
Therefore, the ear end is stably wound in a state in which it is lowered by a certain amount from the time of unwinding.
【００７０】しかしながら、通常、このような巻物状の
連続シート状材料を走行させる場合、走行速度を徐々に
加速して一定の速度とし、当該巻物の終端部で徐々に減
速し停止させるため、走行速度の変化が必ず生ずる。同
時に僅かながらも張力の変動が必ず生ずる。更に、成膜
の状況によっても、連続シート状材料を支持するロール
表面の摩擦抵抗などが変化する。そのため、必ずしも巻
始め・途中・巻終りとで耳端の高さが上記したように一
定量だけ下るということにはならず、特に、この表面処
理装置５０のようにロール間隔が長い場合には、耳端下
りの傾向が大きいため、安定して巻取ることができな
い。However, usually, when running such a continuous sheet material in the form of a roll, the running speed is gradually accelerated to a constant speed, and the end of the roll is gradually decelerated and stopped. There is always a change in speed. At the same time, a slight variation in tension will occur. Further, the frictional resistance of the roll surface that supports the continuous sheet material also changes depending on the state of film formation. Therefore, the height of the edge ends does not necessarily drop by a certain amount as described above at the beginning, midway, and end of winding, and particularly when the roll interval is long as in the surface treatment device 50. , It is not possible to wind it stably because there is a great tendency for the edges to descend.
【００７１】このように耳端を安定して巻取ることがで
きないと、例えば、巻取後の連続シート状材料をそのま
ま次工程に投入する場合などに問題がある。そこで、こ
れを解消するため、連続シート状材料の耳端の高さが常
に一定になるように、上述した矯正装置を設ける必要が
ある。If the selvages cannot be stably wound up in this manner, there is a problem, for example, when the wound continuous sheet material is directly fed to the next step. Therefore, in order to solve this, it is necessary to provide the above-mentioned correction device so that the height of the edge of the continuous sheet material is always constant.
【００７２】そのため、ロール間隔が長い表面処理装置
５０にはもちろん、ロール間隔が短い表面処理装置１０
にも矯正装置を設けたほうが好ましい。Therefore, the surface treatment apparatus 50 having a long roll interval as well as the surface treatment apparatus 10 having a short roll interval can be used.
Also, it is preferable to provide a straightening device.
【００７３】[0073]
【発明の効果】本発明の連続シート状材料の表面処理方
法であると、連続シート状材料を、その幅方向が鉛直方
向となるように連続走行させるので、連続シート状材料
は、自身の自重による垂れ下りが生じにくい。そのた
め、当該走行方向に作用させる張力を小さくしても、連
続シート状材料を良好に連続走行させることができる。According to the method for surface-treating a continuous sheet-shaped material of the present invention, the continuous sheet-shaped material is continuously run so that the width direction thereof becomes the vertical direction. It is difficult for drooping to occur. Therefore, even if the tension applied in the running direction is reduced, the continuous sheet material can be satisfactorily continuously run.
【００７４】また、該連続シート状材料を支持するロー
ルの間隔を長くしても、良好に連続走行させることがで
きる。そのため、両面処理や多段階処理であっても良好
に処理することができ、表面処理した製品の品質が高
い。Further, even if the interval between the rolls supporting the continuous sheet-shaped material is increased, the continuous running can be favorably performed. Therefore, even double-sided treatment or multi-stage treatment can be favorably performed, and the quality of the surface-treated product is high.
【００７５】さらに、連続シート状材料の面が鉛直方向
に配されているので、プラズマやスパッタ等の電極を、
当該電極面が鉛直方向となるように立設することができ
る。そのため、電極からの放射方向が水平方向になるの
で、電極や連続シート状材料の汚染物に起因する汚れの
問題を回避することができる。Furthermore, since the surface of the continuous sheet material is arranged in the vertical direction, electrodes for plasma, sputtering, etc.
The electrode surface can be erected so as to be vertical. Therefore, since the radiation direction from the electrode is horizontal, it is possible to avoid the problem of contamination caused by contaminants on the electrode or the continuous sheet material.
【００７６】さらにまた、上記電極を連続シート状材料
の走行路の左右に配置することができるので、該電極を
処理室の側壁に設けられた扉の内側面に設けることがで
きる。そのため、扉の開閉によって容易に電極の処理室
からの出入れが可能となり、よって、電極の掃除や点
検、スパッタ法におけるターゲット材の交換などのメン
テナンス性に優れる。Furthermore, since the electrodes can be arranged on the left and right sides of the running path of the continuous sheet material, the electrodes can be provided on the inner surface of the door provided on the side wall of the processing chamber. Therefore, the opening and closing of the door makes it possible to easily move the electrode in and out of the processing chamber, and therefore, the maintainability such as cleaning and inspection of the electrode and replacement of the target material in the sputtering method is excellent.
【図１】本発明の一実施例を示す連続シート状材料Ｗの
表面処理装置１０の要部である処理室１２内部の斜視図
である。FIG. 1 is a perspective view of the inside of a processing chamber 12 which is a main part of a surface treatment apparatus 10 for a continuous sheet material W showing an embodiment of the present invention.
【図２】本発明の他の実施例を示す連続シート状材料Ｗ
の表面処理装置５０の内部を示す断面平面図である。FIG. 2 is a continuous sheet material W showing another embodiment of the present invention.
It is a cross-sectional plan view showing the inside of the surface treatment apparatus 50 of FIG.
【図３】矯正装置の構成を説明するための模式図であ
り、（ａ）は、表面処理装置５０の第１ロール６６を説
明するための模式図であり、（ｂ）は、矯正装置の他の
具体例を説明するための模式図である。3A and 3B are schematic diagrams for explaining a configuration of a straightening device, FIG. 3A is a schematic diagram for explaining a first roll 66 of a surface treatment device 50, and FIG. It is a schematic diagram for demonstrating another specific example.
【図４】従来の連続シート状材料の処理装置１００の断
面図である。FIG. 4 is a cross-sectional view of a conventional continuous sheet material processing apparatus 100.
【図５】従来の連続シート状材料の処理装置１１０の断
面図である。FIG. 5 is a cross-sectional view of a conventional continuous sheet material processing apparatus 110.
【図６】従来の連続シート状材料の処理装置１２０の断
面図である。FIG. 6 is a cross-sectional view of a conventional continuous sheet material processing apparatus 120.
【図７】従来の連続シート状材料の処理装置１３０の断
面図である。FIG. 7 is a cross-sectional view of a conventional continuous sheet material processing apparatus 130.
【図８】従来の連続シート状材料の処理装置１４０の断
面図である。FIG. 8 is a cross-sectional view of a conventional continuous sheet material processing apparatus 140.
１０……表面処理装置 １２……処理室 ２０ａ、２０ｂ……一対のロール（入口孔１４側） ２２ａ、２２ｂ……一対のロール（出口孔１６側） ２４、２６……電極 Ｗ……連続シート状材料 10 ... Surface treatment device 12 ... Processing chamber 20a, 20b ... Pair of rolls (inlet hole 14 side) 22a, 22b ... Pair of rolls (outlet hole 16 side) 24, 26 ... Electrode W ... Continuous sheet Material
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｇ０２Ｆ 1/13 １０１ Ｇ０２Ｆ 1/13 １０１ // Ｂ２９Ｌ 7:00 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (51) Int.Cl. 6 Identification code Office reference number FI technical display location G02F 1/13 101 G02F 1/13 101 // B29L 7:00
Claims (2)
連続シート状材料に対して、プラズマ等による表面改質
処理や、スパッタ法やプラズマＣＶＤ法等による成膜処
理などの表面処理を行なう連続シート状材料の表面処理
方法において、 前記連続シート状材料をその幅方向が鉛直方向となるよ
うに連続走行させつつ前記表面処理を行なうことを特徴
とする連続シート状材料の表面処理方法。1. A continuous sheet for subjecting a continuous sheet-like material that continuously runs in a vacuum processing chamber to a surface modification treatment by plasma or the like and a film treatment such as a film formation treatment by a sputtering method or a plasma CVD method. In the method for surface-treating a sheet-shaped material, the surface-treatment is performed while the continuous sheet-shaped material is continuously run so that the width direction thereof is the vertical direction.
幅方向一端が所定位置よりも下方に位置したときに、前
記連続シート状材料に斜め上方に向かうよう外力を加え
て前記幅方向一端を所定位置に戻すことを特徴とする請
求項１に記載の連続シート状材料の表面処理方法。2. When one end in the width direction of the continuously running continuous sheet-shaped material is located below a predetermined position, an external force is applied to the continuous sheet-shaped material so as to move obliquely upward so that the one end in the width direction is moved. The method for treating the surface of a continuous sheet-like material according to claim 1, wherein the method is to return it to a predetermined position.
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