JPH08229865A - 吸着ハンド - Google Patents
吸着ハンドInfo
- Publication number
- JPH08229865A JPH08229865A JP4159895A JP4159895A JPH08229865A JP H08229865 A JPH08229865 A JP H08229865A JP 4159895 A JP4159895 A JP 4159895A JP 4159895 A JP4159895 A JP 4159895A JP H08229865 A JPH08229865 A JP H08229865A
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- Japan
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- pad
- air vent
- work
- vent hole
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 ワーク吸着及びその解除を長期に亘って良好
に行える吸着ハンドを提供すること。 【構成】 パッド7における内側のワーク支持突起7b
をエア通気孔7aに近接して形成してあるので、エア通
気孔7aとワーク支持突起7bとの間に従来のような環
状部分Aが存在せず、これにより該環状部分Aの垂れ下
がりを原因として生じていた吸着解除不良の問題を確実
に解消してワーク吸着及びその解除を長期に亘って良好
に行うことができる。
に行える吸着ハンドを提供すること。 【構成】 パッド7における内側のワーク支持突起7b
をエア通気孔7aに近接して形成してあるので、エア通
気孔7aとワーク支持突起7bとの間に従来のような環
状部分Aが存在せず、これにより該環状部分Aの垂れ下
がりを原因として生じていた吸着解除不良の問題を確実
に解消してワーク吸着及びその解除を長期に亘って良好
に行うことができる。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、搬送機やロボット等の
把持部として用いられる吸着ハンド、特に可撓性パッド
をワークに密着させて該ワークの吸着を行う吸着ハンド
に関するものである。
把持部として用いられる吸着ハンド、特に可撓性パッド
をワークに密着させて該ワークの吸着を行う吸着ハンド
に関するものである。
【0002】
【従来の技術】図4にはこの種従来の吸着ハンドの縦断
面図を、図5には図4におけるパッドの下面図を夫々示
してある。同図において、1はエアパイプ、2はパッド
取付板、3はパッド保持板、4はパイプ連結板、5はO
リング、6はパッドである。
面図を、図5には図4におけるパッドの下面図を夫々示
してある。同図において、1はエアパイプ、2はパッド
取付板、3はパッド保持板、4はパイプ連結板、5はO
リング、6はパッドである。
【0003】エアパイプ1は、下端に形成された球状部
1aをパッド取付板2の中央に形成されたテーパー孔2
aに嵌め込まれ、該テーパー孔2aの上部に嵌挿された
Oリング5と、パッド取付板2の上面に固着されたパイ
プ連結板4とによって、その抜け出しを防止されつつパ
ッド取付板2に傾動可能に且つ気密に取り付けられてい
る。
1aをパッド取付板2の中央に形成されたテーパー孔2
aに嵌め込まれ、該テーパー孔2aの上部に嵌挿された
Oリング5と、パッド取付板2の上面に固着されたパイ
プ連結板4とによって、その抜け出しを防止されつつパ
ッド取付板2に傾動可能に且つ気密に取り付けられてい
る。
【0004】パッド6は、合成ゴム等の可撓性材料から
円盤状に一体成形されており、中央にエア通気孔6a
を、下面に複数のワーク支持突起6bを、外周部に弾性
変形可能な可撓鍔6cを、その上側に取付枠6dを夫々
有している。
円盤状に一体成形されており、中央にエア通気孔6a
を、下面に複数のワーク支持突起6bを、外周部に弾性
変形可能な可撓鍔6cを、その上側に取付枠6dを夫々
有している。
【0005】ワーク支持突起6bは、エア通気孔6aと
同心状で2列に且つ夫々周方向に分割して形成されてお
り、図示例では周方向に4つの突起が90度間隔で並び
且つ隣接する突起間にエア通気用の隙間が形成されてい
る。このパッド6は上面をパッド取付板2の下面に当接
し、取付枠6dをパッド取付板2とパッド保持板3とで
挟め込まれてパッド取付板2に固着されている。
同心状で2列に且つ夫々周方向に分割して形成されてお
り、図示例では周方向に4つの突起が90度間隔で並び
且つ隣接する突起間にエア通気用の隙間が形成されてい
る。このパッド6は上面をパッド取付板2の下面に当接
し、取付枠6dをパッド取付板2とパッド保持板3とで
挟め込まれてパッド取付板2に固着されている。
【0006】上述の吸着ハンドでは、エアパイプ1内に
負圧を作用させながら吸着ハンドをワークWに向かって
降下させ、パッド6の可撓鍔6cの外周縁をワークWに
接触させることにより、該ワークWを可撓鍔6cを撓ま
せながら上方に引き込み、ワーク支持突起6bに当接し
た位置で吸着することができる。また、ワーク吸着状態
でエアパイプ1内に正圧を作用させることにより、ワー
クWをパッド6から離反させることができる。
負圧を作用させながら吸着ハンドをワークWに向かって
降下させ、パッド6の可撓鍔6cの外周縁をワークWに
接触させることにより、該ワークWを可撓鍔6cを撓ま
せながら上方に引き込み、ワーク支持突起6bに当接し
た位置で吸着することができる。また、ワーク吸着状態
でエアパイプ1内に正圧を作用させることにより、ワー
クWをパッド6から離反させることができる。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】上記従来の吸着ハンド
では、パッド6におけるエア通気孔6aと内側のワーク
支持突起6bとが離れており、エア通気孔6aとワーク
支持突起6bの内径差に相当する環状部分Aが存在する
ため、ワーク吸着時に該環状部分AがワークW側に変形
し吸着解除時にこれが自らの弾性で復帰する動作が発生
する。使用初期の段階では上記の環状部分Aに弾性復帰
を期待できるが、ワーク吸着及びその解除を繰り返して
行うと、該環状部分Aが垂れ下がったまま戻らなくな
り、エアパイプ1に正圧を作用させてもパッド6とワー
クWとの間に形成された真空状態を解くことができず、
ワークWがパッド6から離れなくなる問題点がある。
では、パッド6におけるエア通気孔6aと内側のワーク
支持突起6bとが離れており、エア通気孔6aとワーク
支持突起6bの内径差に相当する環状部分Aが存在する
ため、ワーク吸着時に該環状部分AがワークW側に変形
し吸着解除時にこれが自らの弾性で復帰する動作が発生
する。使用初期の段階では上記の環状部分Aに弾性復帰
を期待できるが、ワーク吸着及びその解除を繰り返して
行うと、該環状部分Aが垂れ下がったまま戻らなくな
り、エアパイプ1に正圧を作用させてもパッド6とワー
クWとの間に形成された真空状態を解くことができず、
ワークWがパッド6から離れなくなる問題点がある。
【0008】本発明は上記問題点に鑑みてなされたもの
で、その目的とするところは、ワーク吸着及びその解除
を長期に亘って良好に行える吸着ハンドを提供すること
にある。
で、その目的とするところは、ワーク吸着及びその解除
を長期に亘って良好に行える吸着ハンドを提供すること
にある。
【0009】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、請求項1の発明は、エア通気孔を中央に有し、該エ
ア通気孔と同心状に且つ周方向に分割された複数のワー
ク支持突起を下面に、弾性変形可能な可撓鍔を外周部に
有する円盤状のパッドを備えた吸着ハンドにおいて、上
記パッドにおけるワーク支持突起をエア通気孔に近接し
て形成した、ことを特徴としている。
め、請求項1の発明は、エア通気孔を中央に有し、該エ
ア通気孔と同心状に且つ周方向に分割された複数のワー
ク支持突起を下面に、弾性変形可能な可撓鍔を外周部に
有する円盤状のパッドを備えた吸着ハンドにおいて、上
記パッドにおけるワーク支持突起をエア通気孔に近接し
て形成した、ことを特徴としている。
【0010】請求項2の発明は、エア通気孔を中央に有
し、該エア通気孔と同心状に且つ周方向に分割された複
数のワーク支持突起を下面に、弾性変形可能な可撓鍔を
外周部に有する円盤状のパッドを備えた吸着ハンドにお
いて、上記パッドにおけるワーク支持突起をエア通気孔
から離して形成すると共に、エア通気孔とワーク支持突
起との間に該エア通気孔の孔縁からワーク支持突起間の
隙間に延びるスリットを形成した、ことを特徴としてい
る。
し、該エア通気孔と同心状に且つ周方向に分割された複
数のワーク支持突起を下面に、弾性変形可能な可撓鍔を
外周部に有する円盤状のパッドを備えた吸着ハンドにお
いて、上記パッドにおけるワーク支持突起をエア通気孔
から離して形成すると共に、エア通気孔とワーク支持突
起との間に該エア通気孔の孔縁からワーク支持突起間の
隙間に延びるスリットを形成した、ことを特徴としてい
る。
【0011】
【作用】請求項1の発明では、パッドにおけるワーク支
持突起をエア通気孔に近接して形成してあるので、エア
通気孔とワーク支持突起との間に従来のような環状部分
が存在せず、これにより該環状部分の垂れ下がりを原因
として生じていた吸着解除不良の問題を解消できる。
持突起をエア通気孔に近接して形成してあるので、エア
通気孔とワーク支持突起との間に従来のような環状部分
が存在せず、これにより該環状部分の垂れ下がりを原因
として生じていた吸着解除不良の問題を解消できる。
【0012】請求項2の発明では、パッドにおけるエア
通気孔とワーク支持突起との間に該エア通気孔の孔縁か
らワーク支持突起間の隙間に延びるスリットを形成して
あるので、スリット両側部分が垂れ下がったまま戻らな
くなった場合でも、該スリットによりエア通気孔からワ
ーク支持突起間の隙間とを結ぶエア通路を確保して、吸
着解除不良の問題を確実に解消できる。
通気孔とワーク支持突起との間に該エア通気孔の孔縁か
らワーク支持突起間の隙間に延びるスリットを形成して
あるので、スリット両側部分が垂れ下がったまま戻らな
くなった場合でも、該スリットによりエア通気孔からワ
ーク支持突起間の隙間とを結ぶエア通路を確保して、吸
着解除不良の問題を確実に解消できる。
【0013】
【実施例】図1及び図2は本発明の一実施例を示すもの
で、図1は吸着ハンドの縦断面図、図2は図1における
パッドの下面図である。
で、図1は吸着ハンドの縦断面図、図2は図1における
パッドの下面図である。
【0014】同図において、1はエアパイプ、2はパッ
ド取付板、3はパッド保持板、4はパイプ連結板、5は
Oリングであり、これら構成は図4及び図5に示した従
来のものと変わりないためここでの説明を省略する。
ド取付板、3はパッド保持板、4はパイプ連結板、5は
Oリングであり、これら構成は図4及び図5に示した従
来のものと変わりないためここでの説明を省略する。
【0015】7は合成ゴム等の可撓性材料から円盤状に
一体成形されたパッドであり、中央にエア通気孔7a
を、下面に複数のワーク支持突起7bを、外周部に弾性
変形可能な可撓鍔7cを、その上側に取付枠7dを夫々
有している。
一体成形されたパッドであり、中央にエア通気孔7a
を、下面に複数のワーク支持突起7bを、外周部に弾性
変形可能な可撓鍔7cを、その上側に取付枠7dを夫々
有している。
【0016】ワーク支持突起7bは、エア通気孔7aと
同心状で2列に且つ夫々周方向に分割して形成されてお
り、図示例では周方向に4つの突起が90度間隔で並び
且つ隣接する突起間にエア通気用の隙間が形成されてい
る。
同心状で2列に且つ夫々周方向に分割して形成されてお
り、図示例では周方向に4つの突起が90度間隔で並び
且つ隣接する突起間にエア通気用の隙間が形成されてい
る。
【0017】本実施例のパッド7は、図4及び図5に示
した従来のパッド6から環状部分Aを除去したものであ
り、これによりエア通気孔7aが拡大され、内側のワー
ク支持突起7bが該エア通気孔7aに近接している。
した従来のパッド6から環状部分Aを除去したものであ
り、これによりエア通気孔7aが拡大され、内側のワー
ク支持突起7bが該エア通気孔7aに近接している。
【0018】上述の吸着ハンドでは、従来と同様に、エ
アパイプ1内に負圧を作用させながら吸着ハンドをワー
クWに向かって降下させ、パッド7の可撓鍔7cの外周
縁をワークWに接触させることにより、該ワークWを可
撓鍔7cを撓ませながら上方に引き込み、ワーク支持突
起7bに当接した位置で吸着することができる。また、
ワーク吸着状態でエアパイプ1内に正圧を作用させるこ
とにより、ワークWをパッド7から離反させることがで
きる。
アパイプ1内に負圧を作用させながら吸着ハンドをワー
クWに向かって降下させ、パッド7の可撓鍔7cの外周
縁をワークWに接触させることにより、該ワークWを可
撓鍔7cを撓ませながら上方に引き込み、ワーク支持突
起7bに当接した位置で吸着することができる。また、
ワーク吸着状態でエアパイプ1内に正圧を作用させるこ
とにより、ワークWをパッド7から離反させることがで
きる。
【0019】また、パッド7における内側のワーク支持
突起7bをエア通気孔7aに近接して形成してあるの
で、エア通気孔7aとワーク支持突起7bとの間に従来
のような環状部分Aが存在せず、これにより該環状部分
Aの垂れ下がりを原因として生じていた吸着解除不良の
問題を確実に解消してワーク吸着及びその解除を長期に
亘って良好に行うことができる。
突起7bをエア通気孔7aに近接して形成してあるの
で、エア通気孔7aとワーク支持突起7bとの間に従来
のような環状部分Aが存在せず、これにより該環状部分
Aの垂れ下がりを原因として生じていた吸着解除不良の
問題を確実に解消してワーク吸着及びその解除を長期に
亘って良好に行うことができる。
【0020】尚、先に述べたエア通気孔の内径と内側の
ワーク支持突起の内径は一致させてもよく、またエア通
気孔の径を小さいままとし該エア通気孔に近接して別途
ワーク支持突起を形成するようにしてもよい。
ワーク支持突起の内径は一致させてもよく、またエア通
気孔の径を小さいままとし該エア通気孔に近接して別途
ワーク支持突起を形成するようにしてもよい。
【0021】図3には本発明の他の実施例としてパッド
の下面図を示してある。
の下面図を示してある。
【0022】このパッド8は合成ゴム等の可撓性材料か
ら円盤状に一体成形されており、中央にエア通気孔8a
を、下面に複数のワーク支持突起8bを、外周部に弾性
変形可能な可撓鍔8cを、その上側に取付枠8dを夫々
有し、エア通気孔8aと内側のワーク支持突起8bとの
間に該エア通気孔8aと連通した複数のスリット8eを
有している。
ら円盤状に一体成形されており、中央にエア通気孔8a
を、下面に複数のワーク支持突起8bを、外周部に弾性
変形可能な可撓鍔8cを、その上側に取付枠8dを夫々
有し、エア通気孔8aと内側のワーク支持突起8bとの
間に該エア通気孔8aと連通した複数のスリット8eを
有している。
【0023】ワーク支持突起8bは、エア通気孔8aと
同心状で2列に且つ夫々周方向に分割して形成されてお
り、図示例では周方向に4つの突起が90度間隔で並び
且つ隣接する突起間にエア通気用の隙間が形成されてい
る。また、スリット8eとしてはエア通気孔8aの孔縁
から内側のワーク支持突起8bの各突起間の隙間に向か
って延びるものを、周方向に90度間隔で形成してあ
る。
同心状で2列に且つ夫々周方向に分割して形成されてお
り、図示例では周方向に4つの突起が90度間隔で並び
且つ隣接する突起間にエア通気用の隙間が形成されてい
る。また、スリット8eとしてはエア通気孔8aの孔縁
から内側のワーク支持突起8bの各突起間の隙間に向か
って延びるものを、周方向に90度間隔で形成してあ
る。
【0024】本実施例のパッド8は、図4及び図5に示
した従来のパッド6の環状部分Aにスリット8eを形成
したものである。このパッド8によれば、エア通気孔8
aと内側のワーク支持突起8bとの間に該エア通気孔8
aの孔縁からワーク支持突起間の隙間に延びるスリット
8eを形成してあるので、スリット8eで挟まれる扇状
部分が垂れ下がったまま戻らなくなった場合でも、該ス
リット8eによりエア通気孔8aから内側のワーク支持
突起間の隙間とを結ぶエア通路を確保して、吸着解除不
良の問題を確実に解消しワーク吸着及びその解除を長期
に亘って良好に行うことができる。
した従来のパッド6の環状部分Aにスリット8eを形成
したものである。このパッド8によれば、エア通気孔8
aと内側のワーク支持突起8bとの間に該エア通気孔8
aの孔縁からワーク支持突起間の隙間に延びるスリット
8eを形成してあるので、スリット8eで挟まれる扇状
部分が垂れ下がったまま戻らなくなった場合でも、該ス
リット8eによりエア通気孔8aから内側のワーク支持
突起間の隙間とを結ぶエア通路を確保して、吸着解除不
良の問題を確実に解消しワーク吸着及びその解除を長期
に亘って良好に行うことができる。
【0025】尚、先に述べたスリットは少なくとも1個
あれば用をなすものであり、またスリット幅は図示例の
ものよりも小さくしてもよい。
あれば用をなすものであり、またスリット幅は図示例の
ものよりも小さくしてもよい。
【0026】
【発明の効果】以上詳述したように、請求項1の発明に
よれば、パッドにおけるエア通気孔とワーク支持突起と
の間に従来のような環状部分が存在しないので、該環状
部分の垂れ下がりを原因として生じていた吸着解除不良
の問題を確実に解消してワーク吸着及びその解除を長期
に亘って良好に行うことができる。
よれば、パッドにおけるエア通気孔とワーク支持突起と
の間に従来のような環状部分が存在しないので、該環状
部分の垂れ下がりを原因として生じていた吸着解除不良
の問題を確実に解消してワーク吸着及びその解除を長期
に亘って良好に行うことができる。
【0027】請求項2の発明によれば、パッドにおける
スリット両側部分が垂れ下がったまま戻らなくなった場
合でも、該スリットによりエア通気孔からワーク支持突
起間の隙間とを結ぶエア通路を確保して、吸着解除不良
の問題を確実に解消しワーク吸着及びその解除を長期に
亘って良好に行うことができる。
スリット両側部分が垂れ下がったまま戻らなくなった場
合でも、該スリットによりエア通気孔からワーク支持突
起間の隙間とを結ぶエア通路を確保して、吸着解除不良
の問題を確実に解消しワーク吸着及びその解除を長期に
亘って良好に行うことができる。
【図1】本発明の一実施例を示す吸着ハンドの縦断面図
【図2】図1におけるパッドの下面図
【図3】本発明の他の実施例を示すパッドの下面図
【図4】従来例を示す吸着ハンドの縦断面図
【図5】図4におけるパッドの下面図
1…エアパイプ、2…パッド取付板、3…パッド保持
板、4…パイプ連結板、5…Oリング、7…パッド、7
a…エア通気孔、7b…ワーク支持突起、7c…可撓
鍔、8…パッド、8a…エア通気孔、8b…ワーク支持
突起、8c…可撓鍔、8e…スリット。
板、4…パイプ連結板、5…Oリング、7…パッド、7
a…エア通気孔、7b…ワーク支持突起、7c…可撓
鍔、8…パッド、8a…エア通気孔、8b…ワーク支持
突起、8c…可撓鍔、8e…スリット。
Claims (2)
- 【請求項1】 エア通気孔を中央に有し、該エア通気孔
と同心状に且つ周方向に分割された複数のワーク支持突
起を下面に、弾性変形可能な可撓鍔を外周部に有する円
盤状のパッドを備えた吸着ハンドにおいて、 上記パッドにおけるワーク支持突起をエア通気孔に近接
して形成した、 ことを特徴とする吸着ハンド。 - 【請求項2】 エア通気孔を中央に有し、該エア通気孔
と同心状に且つ周方向に分割された複数のワーク支持突
起を下面に、弾性変形可能な可撓鍔を外周部に有する円
盤状のパッドを備えた吸着ハンドにおいて、 上記パッドにおけるワーク支持突起をエア通気孔から離
して形成すると共に、エア通気孔とワーク支持突起との
間に該エア通気孔の孔縁からワーク支持突起間の隙間に
延びるスリットを形成した、 ことを特徴とする吸着ハンド。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4159895A JPH08229865A (ja) | 1995-03-01 | 1995-03-01 | 吸着ハンド |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4159895A JPH08229865A (ja) | 1995-03-01 | 1995-03-01 | 吸着ハンド |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH08229865A true JPH08229865A (ja) | 1996-09-10 |
Family
ID=12612840
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP4159895A Pending JPH08229865A (ja) | 1995-03-01 | 1995-03-01 | 吸着ハンド |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH08229865A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002046090A (ja) * | 2000-07-31 | 2002-02-12 | Smc Corp | 吸着用パッド |
EP3608720A1 (en) * | 2018-08-08 | 2020-02-12 | SMC Corporation | Suction pad |
JP2022074028A (ja) * | 2020-10-30 | 2022-05-17 | セメス カンパニー,リミテッド | 搬送ハンド及び基板処理装置 |
-
1995
- 1995-03-01 JP JP4159895A patent/JPH08229865A/ja active Pending
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002046090A (ja) * | 2000-07-31 | 2002-02-12 | Smc Corp | 吸着用パッド |
JP4547649B2 (ja) * | 2000-07-31 | 2010-09-22 | Smc株式会社 | 吸着用パッド |
EP3608720A1 (en) * | 2018-08-08 | 2020-02-12 | SMC Corporation | Suction pad |
JP2020023022A (ja) * | 2018-08-08 | 2020-02-13 | Smc株式会社 | 吸着パッド |
US10836048B2 (en) | 2018-08-08 | 2020-11-17 | Smc Corporation | Suction pad |
JP2022074028A (ja) * | 2020-10-30 | 2022-05-17 | セメス カンパニー,リミテッド | 搬送ハンド及び基板処理装置 |
US11935779B2 (en) | 2020-10-30 | 2024-03-19 | Semes Co., Ltd. | Transfer hand and substrate processing apparatus with conductive ring and tilting vacuum pad |
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