JPH08222353A - Discharge device - Google Patents

Abstract

PURPOSE: To provide a discharge device which allows determining the appropriate time for maintenance by automatically determining the degrees of degradation of or the operating conditions of an electrode unit. CONSTITUTION: A capacitance measuring device 8 is used to measure the capacitance between the discharge electrodes 3, 4 of an ozonizer 11. A control portion 9 determines the degrees of degradation of an electrode unit 7 by comparing the capacitance which varies with time with an initial value.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【０００１】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、オゾナイザや気体レー
ザ，または電気集塵機などの放電装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a discharge device such as an ozonizer, a gas laser, or an electrostatic precipitator.

【０００２】[0002]

【従来の技術】グロー放電やコロナ放電などを利用した
放電装置は、現在様々な用途に対して応用されている。
例えば、電気集塵機は、放電によってイオン化した塵埃
が一方の電極に吸着されて滞積することを利用したもの
であり、排煙中の塵埃を除去するためなどに使用されて
いる。2. Description of the Related Art Discharge devices utilizing glow discharge, corona discharge, etc. are currently applied for various purposes.
For example, the electrostatic precipitator utilizes the fact that the dust ionized by the discharge is adsorbed on one of the electrodes and accumulated, and is used for removing the dust in the flue gas.

【０００３】また、オゾナイザは放電プラズマによって
酸素が非常に活性なオゾンとなることを利用したもの
で、水道水の浄化などに使用されている。そして、気体
レーザは、放電により電子の反転分布状態を作り出し、
誘導放出によりレーザ光を発生させるものである。Further, the ozonizer utilizes the fact that oxygen becomes highly active ozone by discharge plasma, and is used for purification of tap water. Then, the gas laser creates an inverted population of electrons by discharging,
Laser light is generated by stimulated emission.

【０００４】[0004]

【発明が解決しようとする課題】これらの放電装置にお
いては、その使用を続けていくと、例えばオゾナイザで
はオゾンの発生量の低下や窒素酸化物などの異質なガス
の発生、気体レーザではレーザ光出力の低下や異常放電
による電極ユニットの損傷、また、電気集塵機では集塵
力の低下による排気口からの塵埃の排出などの各機能の
劣化現象がみられる。これらの劣化の要因としては、大
半が電極ユニットの劣化によるものであり、この電極ユ
ニットの劣化は以下のような機構により発生する。When these discharge devices are continuously used, for example, the ozonizer lowers the amount of ozone generated and the heterogeneous gas such as nitrogen oxide, and the gas laser emits a laser beam. Deterioration of each function such as damage to the electrode unit due to a decrease in output and abnormal discharge, and discharge of dust from the exhaust port due to a decrease in dust collection power is observed in the electrostatic precipitator. Most of these deterioration factors are due to the deterioration of the electrode unit, and the deterioration of the electrode unit is caused by the following mechanism.

【０００５】まず、一般的な放電装置に共通するものと
して、いわゆるスパッタリングによる陰極の浸食があ
る。このスパッタリングによる浸食によって、陰極が小
さく又は細くなったり、陰極表面に変質層が形成された
り、また、陰極の周辺部に不純物が付着したりなどの現
象が発生する。更に、放電が行われる空間中に存在する
窒素などの元素が、放電によって窒素酸化物のような放
電生成物になり、これらが電極及びその周辺に付着する
ことによって性能を劣化させたり、損傷を発生させたり
する。First, what is common to general discharge devices is so-called sputtering erosion of the cathode. Due to the erosion due to this sputtering, the cathode may become small or thin, an altered layer may be formed on the surface of the cathode, and impurities may adhere to the peripheral portion of the cathode. Furthermore, elements such as nitrogen present in the space where the discharge is performed become discharge products such as nitrogen oxides due to the discharge, and these adhere to the electrode and its surroundings, thereby deteriorating the performance and causing damage. To generate.

【０００６】以上のような現象によって、電極を中心と
する電極ユニットは経時的に劣化するため、放電装置全
体としての性能も劣化が進行する。また、これらの電極
ユニットの劣化によって正常な放電が維持できなくなる
と、極端な場合は、アーク放電のような有害な放電現象
に進展する場合もある。Due to the above phenomenon, the electrode unit centering on the electrode deteriorates with time, and the performance of the entire discharge device also deteriorates. Further, if normal discharge cannot be maintained due to deterioration of these electrode units, in extreme cases, a harmful discharge phenomenon such as arc discharge may progress.

【０００７】次に、電気集塵機などの場合には、上記の
ような電極の劣化以外に、いわゆる”槌打ち”と呼ばれ
る、集塵した電極（集塵極）に機械的な衝撃を与え、電
極上に滞積した塵埃を剥離させる作業を行う必要があ
る。しかしながら、電極上に滞積する塵埃の厚さは、流
入する気体中の塵埃量によって大きく変化するため、槌
打ちを行う適切な時期を判断するのは難しかった。ま
た、複数対の放電用電極からなる放電装置においては、
各対における電極の状態を個別に判断するのが難しく、
そのメンテナンスは気付いたときまたは一定周期で全体
に対して行っていた。Next, in the case of an electrostatic precipitator or the like, in addition to the above-mentioned deterioration of the electrode, a mechanical shock is applied to the collected electrode (dust collecting electrode), which is so-called "hammering". It is necessary to perform work to remove the dust that has accumulated above. However, since the thickness of dust accumulated on the electrodes largely changes depending on the amount of dust in the inflowing gas, it is difficult to determine an appropriate time for hammering. Further, in a discharge device including a plurality of pairs of discharge electrodes,
It is difficult to determine the state of the electrodes in each pair individually,
The maintenance was done on the whole when I noticed it or at regular intervals.

【０００８】以上のようなことから従来の放電装置にお
いては、電極ユニットの劣化によって稼働中に急に性能
が低下することがあり、突然に装置の稼働を一時停止し
てメンテナンスを行わねばならない場合もあった。この
ような場合、メンテナンスは突発的に行うことになるた
め、その期間は長い場合は数日間を要することがあり、
長時間の装置の停止により多大な損失が発生していた。
また、複数対の放電用電極からなる放電装置において
は、性能が劣化した一部の電極のみ稼働を停止させて、
他の電極を高負荷で運転する場合もあり、偏った負荷状
態で非効率的な運転を行うことがあった。As described above, in the conventional discharge device, the performance may suddenly decrease due to the deterioration of the electrode unit during operation, and it is necessary to suddenly suspend the operation of the device and perform maintenance. There was also. In such a case, maintenance will be performed suddenly, so if the period is long, it may take several days,
A large amount of loss was caused by stopping the device for a long time.
Further, in a discharge device composed of a plurality of pairs of discharge electrodes, operation is stopped only for some electrodes whose performance has deteriorated,
Other electrodes may be operated under high load, and inefficient operation may be performed under uneven load conditions.

【０００９】本発明は上記課題を解決するもので、その
目的は、放電用電極の劣化度合い若しくは運転状況を自
動的に判定することにより、装置のメンテナンスを行う
適切な時期が判断でき、急に装置を停止させることがな
くて稼働効率の高い放電装置を提供するにある。The present invention is intended to solve the above problems, and an object thereof is to automatically judge the degree of deterioration of the discharge electrode or the operating condition, thereby making it possible to judge an appropriate time for maintenance of the apparatus, and suddenly It is an object of the present invention to provide a discharge device having high operation efficiency without stopping the device.

【００１０】[0010]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、請求項１記載の放電装置は、一対以上の放電用電極
を有する電極ユニットと、放電用電極間の静電容量を測
定する測定手段と、この測定手段により測定された静電
容量によって、電極ユニットの劣化度合い若しくは運転
状況を判定する判定手段とを具備したことを特徴とする
ものである。In order to achieve the above object, the discharge device according to claim 1 is an electrode unit having a pair of discharge electrodes and a measuring means for measuring the capacitance between the discharge electrodes. And a determination unit for determining the degree of deterioration or the operating condition of the electrode unit based on the capacitance measured by the measuring unit.

【００１１】請求項２記載の放電装置は、一対以上の放
電用電極を有する電極ユニットと、放電用電極間の電気
抵抗を測定する測定手段と、この測定手段により測定さ
れた電気抵抗によって前記電極ユニットの劣化度合い若
しくは運転状況を判定する判定手段とを具備したことを
特徴とするものである。According to a second aspect of the discharge device of the present invention, the electrode unit having a pair of discharge electrodes, measuring means for measuring the electric resistance between the discharge electrodes, and the electric resistance measured by the measuring means are used for the electrode. It is characterized by comprising a determination means for determining the degree of deterioration of the unit or the operating condition.

【００１２】請求項３記載の放電装置は、一対以上の放
電用電極を有する電極ユニットと、この電極ユニットに
設けられた１個以上の測定用電極と、この測定用電極間
若しくは測定用電極と放電用電極との間の静電容量を測
定する測定手段と、この測定手段により測定された静電
容量によって、電極ユニットの劣化度合い若しくは運転
状況を判定する判定手段とを具備したことを特徴とする
ものである。According to another aspect of the discharge device of the present invention, an electrode unit having a pair of discharge electrodes, one or more measuring electrodes provided on the electrode unit, and a space between the measuring electrodes or a measuring electrode. A measuring means for measuring a capacitance between the discharging electrode and the measuring means; and a judging means for judging a deterioration degree or an operating condition of the electrode unit by the capacitance measured by the measuring means. To do.

【００１３】請求項４記載の放電装置は、一対以上の放
電用電極を有する電極ユニットと、この電極ユニットに
設けられた１個以上の測定用電極と、この測定用電極間
若しくは測定用電極と放電用電極との間の電気抵抗を測
定する測定手段と、この測定手段により測定された電気
抵抗によって、電極ユニットの劣化度合い若しくは運転
状況を判定する判定手段とを具備したことを特徴とする
ものである。According to another aspect of the discharge device of the present invention, an electrode unit having a pair of discharge electrodes, one or more measurement electrodes provided on the electrode unit, and a space between the measurement electrodes or a measurement electrode. It is characterized by comprising a measuring means for measuring the electric resistance between the discharge electrode and a judging means for judging the deterioration degree or the operating condition of the electrode unit by the electric resistance measured by the measuring means. Is.

【００１４】請求項５記載の放電装置は、一対以上の放
電用電極を有する電極ユニットと、この電極ユニットの
放電部に投光する投光体及びその放電部を透過した光を
受光する受光体を有する測定手段と、この測定手段によ
り測定された透過光量によって、電極ユニットの劣化度
合い若しくは運転状況を判定する判定手段とを具備した
ことを特徴とするものである。According to a fifth aspect of the discharge device of the present invention, an electrode unit having a pair of discharge electrodes, a light projecting body for projecting light to a discharge part of the electrode unit, and a light receiving body for receiving light transmitted through the discharge part. And a determining means for determining the degree of deterioration of the electrode unit or the operating condition based on the amount of transmitted light measured by the measuring means.

【００１５】請求項６記載の放電装置は、一対以上の放
電用電極を有する電極ユニットと、この電極ユニットの
放電部に投光する投光体及びその放電部から反射された
光を受光する受光体を有する測定手段と、この測定手段
により測定された反射光量によって、電極ユニットの劣
化度合い若しくは運転状況を判定する判定手段とを具備
したことを特徴とするものである。According to a sixth aspect of the present invention, there is provided a discharge device, an electrode unit having a pair of discharge electrodes, a projector for projecting light to a discharge part of the electrode unit, and a light receiving device for receiving light reflected from the discharge part. It is characterized by comprising a measuring means having a body, and a judging means for judging the degree of deterioration of the electrode unit or the operating condition based on the amount of reflected light measured by the measuring means.

【００１６】請求項７記載の放電装置は、請求項１乃至
６の何れかに記載の電極ユニット及び測定手段を複数個
備え、各測定手段により測定された各々の電極ユニット
の劣化度合い若しくは運転状況に応じて、各電極ユニッ
トの稼働状態を制御する制御手段を具備したことを特徴
とするものである。A discharge device according to claim 7 comprises a plurality of electrode units and measuring means according to any one of claims 1 to 6, and the degree of deterioration or operating condition of each electrode unit measured by each measuring means. The control means for controlling the operating state of each electrode unit is provided.

【００１７】[0017]

【作用】請求項１乃至４記載の放電装置によれば、測定
手段は放電用電極間或いは測定用電極と放電用電極との
間の静電容量若しくは電気抵抗を測定する。測定手段に
より測定される静電容量若しくは電気抵抗は、図３若し
くは図１１に示すように、放電ユニットの稼働時間の経
過と共に変化するので、判定手段は、その静電容量若し
くは電気抵抗によって、電極ユニットの劣化度合い若し
くは運転状況を自動的に判定することができる。According to the discharge device of the first to fourth aspects, the measuring means measures the capacitance or the electric resistance between the discharge electrodes or between the measurement electrodes and the discharge electrodes. As shown in FIG. 3 or FIG. 11, the capacitance or electric resistance measured by the measuring means changes with the lapse of the operating time of the discharge unit. It is possible to automatically determine the degree of deterioration of the unit or the operating condition.

【００１８】請求項５または６記載の放電装置によれ
ば、測定手段は、投光体が電極ユニットの放電部に投光
した光がその放電部を透過して、または、放電部により
反射されて、受光体によって受光された透過光量または
反射光量を測定する。測定手段により測定される透過光
量または反射光量は、図１６または図１９に示すよう
に、放電ユニットの稼働時間の経過と共に変化するの
で、判定手段は、その透過光量または反射光量によっ
て、電極ユニットの劣化度合い若しくは運転状況を自動
的に判定することができる。According to the discharge device of the fifth or sixth aspect, in the measuring means, the light projected by the light emitter onto the discharge portion of the electrode unit is transmitted through the discharge portion or reflected by the discharge portion. Then, the amount of transmitted light or the amount of reflected light received by the light receiver is measured. As shown in FIG. 16 or FIG. 19, the amount of transmitted light or the amount of reflected light measured by the measuring means changes with the lapse of the operating time of the discharge unit. Therefore, the judging means determines the amount of transmitted light or reflected light of the electrode unit. It is possible to automatically determine the degree of deterioration or the operating status.

【００１９】請求項７記載の放電装置によれば、複数個
備えられた請求項１乃至６の何れかに記載の電極ユニッ
ト及び測定手段により測定された各々の電極ユニットの
劣化度合い若しくは運転状況に応じて、制御手段は、各
電極ユニットの稼働状態を放電装置に要求されている出
力に応じて制御する。According to a seventh aspect of the discharge device, a plurality of electrode units according to any one of the first to sixth aspects and the deterioration degree or operating condition of each electrode unit measured by the measuring means are measured. Accordingly, the control means controls the operating state of each electrode unit according to the output required of the discharge device.

【００２０】[0020]

【実施例】以下本発明の第１実施例をオゾナイザに適用
した場合について、図１乃至図４を参照して説明する。
オゾナイザの本発明に係る部分の電極ユニットを中心と
する構成を示す図１において、放電用電源１には、電源
スイッチ１ａを介して放電用電極３及び４が接続されて
いる。また、放電用電極４に接して硝子などの誘電体５
が設置されている。また、放電用電極３及び４並びに誘
電体５は、図示しない誘電体容器内に密閉されており、
放電用電極３と誘電体５との間には、空気などからなる
気体６が流通されている。尚、放電用電極３及び４，誘
電体５並びに気体６は、電極ユニット７を構成してい
る。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS A first embodiment of the present invention applied to an ozonizer will be described below with reference to FIGS.
In FIG. 1, which shows a configuration centering on an electrode unit of a portion of the ozonizer according to the present invention, discharge electrodes 3 and 4 are connected to a discharge power source 1 via a power switch 1a. Further, the dielectric 5 such as glass is in contact with the discharge electrode 4.
Is installed. The discharge electrodes 3 and 4 and the dielectric 5 are sealed in a dielectric container (not shown),
A gas 6 made of air or the like is circulated between the discharge electrode 3 and the dielectric 5. The discharge electrodes 3 and 4, the dielectric 5 and the gas 6 form an electrode unit 7.

【００２１】そして、放電用電極３及び４の両端には、
静電容量測定装置（測定手段）８が測定用スイッチ８ａ
を介して接続されており、静電容量測定装置８の出力信
号は、後述する制御部に与えられるようになっている。Then, on both ends of the discharge electrodes 3 and 4,
The capacitance measuring device (measuring means) 8 is a measuring switch 8a.
The output signal of the capacitance measuring device 8 is supplied to the control unit described later.

【００２２】電気的構成を示す図２において、判定手段
である制御部９は、放電用電源１及び補器部１０に制御
信号を与えるようになっている。放電用電源１は、制御
部９からの制御信号により電源スイッチ１ａがオンされ
て電極ユニット７に放電用の電源を供給する。また、補
器部１０は、制御部９より与えられる制御信号に応じ
て、電極ユニット７における気体６の流量を調節するよ
うになっている。そして、制御部９は、静電容量測定装
置８に測定を行なわせるための制御信号を与えて測定用
スイッチ８ａをオンさせ、また、静電容量測定装置８の
出力信号は、制御部９に与えられるようになっている。
以上がオゾナイザ（放電装置）１１を構成している。In FIG. 2 showing the electrical configuration, the control section 9 as a judgment means is adapted to give a control signal to the discharge power source 1 and the auxiliary section 10. The power supply 1 for discharge supplies the power for discharge to the electrode unit 7 when the power switch 1 a is turned on by the control signal from the control unit 9. Further, the auxiliary device section 10 is adapted to adjust the flow rate of the gas 6 in the electrode unit 7 according to the control signal given from the control section 9. Then, the control unit 9 gives a control signal for causing the capacitance measuring device 8 to perform the measurement to turn on the measurement switch 8a, and an output signal of the capacitance measuring device 8 is transmitted to the control unit 9. To be given.
The above constitutes the ozonizer (discharge device) 11.

【００２３】次に本実施例の作用を図３及び４をも参照
して説明する。制御部９に電源が投入されると、制御部
９は、放電用電源１に対して制御信号を与える。する
と、放電用電源１の電源スイッチ１ａがオン状態とな
り、高電圧が放電用電極３及び４に印加されて放電１２
が発生する。この放電１２とは、強い電界によって加速
された電子が気体分子に衝突して、電子と正イオンを生
じる反応に等しい。このとき、気体６中に含まれている
酸素分子Ｏ_２ に電子ｅが衝突すると、次式のような反
応が生じる。 Ｏ_２ ＋ｅ → Ｏ_２ ^＋ ＋ｅ＋ｅ Ｏ_２ ＋ｅ → Ｏ＋Ｏ＋ｅ 上記の反応によって開離した酸素原子Ｏと酸素分子Ｏ
_２ とが、次式により反応することによってオゾンＯ
_３ が発生する。 Ｏ＋Ｏ_２ ＋Ｍ → Ｏ_３ ＋Ｍ ここで、Ｍはいわゆる第３物体を示し、気体６が空気の
場合は主としてＯ_２またはＮ_２ などである。Next, the operation of this embodiment will be described with reference to FIGS. When the control unit 9 is powered on, the control unit 9 gives a control signal to the discharging power supply 1. Then, the power switch 1a of the discharge power supply 1 is turned on, and a high voltage is applied to the discharge electrodes 3 and 4 to cause the discharge 12
Occurs. This discharge 12 is equivalent to a reaction in which electrons accelerated by a strong electric field collide with gas molecules to generate electrons and positive ions. At this time, when the electron e collides with the oxygen molecule O ₂ contained in the gas 6, the reaction represented by the following formula occurs. O ₂ + e → O ₂ ⁺ + e + e O ₂ + e → O + O + e Oxygen atom O and oxygen molecule O released by the above reaction
₂ reacts with the following equation to generate ozone O
₃ occurs. O + O ₂ + M → O ₃ + M Here, M represents a so-called third object, and when the gas 6 is air, it is mainly O ₂ or N ₂ .

【００２４】以上の放電１２により生じる反応によっ
て、オゾナイザ１１はオゾンを発生させる。また、空気
などからなる気体６には窒素Ｎ_２ も含まれているた
め、この窒素と酸素が放電１２により反応して、窒素酸
化物ＮＯ_ｘ が発生する。更に、気体６中には水分も微
量に含まれているので、その水分と窒素酸化物との反応
によって亜硝酸ＨＮＯ_２ または硝酸ＨＮＯ_３ も発生
することになる。これらの亜硝酸または硝酸によって放
電用電極３は浸食され、誘電体５の表面には放電生成物
１３が形成される。The ozonizer 11 generates ozone by the reaction caused by the discharge 12 described above. Further, since the gas 6 made of air or the like also contains nitrogen N ₂ , the nitrogen and oxygen react with each other by the discharge 12 to generate nitrogen oxide NO _x . Furthermore, since the gas 6 also contains a small amount of water, the reaction between the water and the nitrogen oxide also produces nitrous acid HNO ₂ or nitric acid HNO ₃ . The discharge electrode 3 is eroded by these nitrous acid or nitric acid, and the discharge product 13 is formed on the surface of the dielectric 5.

【００２５】加えて、気体６中にはこれら以外のその他
の不純物も含まれており、これらも放電１２によって反
応して活性化することによって、上述と同様に放電用電
極３を浸食し、誘電体５の表面に放電生成物１３を形成
する。In addition, the gas 6 also contains other impurities other than these, and these also react by the discharge 12 and become activated, so that the discharge electrode 3 is eroded in the same manner as described above, and the dielectric A discharge product 13 is formed on the surface of the body 5.

【００２６】これらの反応は、一度の放電では非常に僅
かしか発生しないため、放電用電極３の浸食及び放電生
成物１３の形成などによる劣化は、年単位で徐々に進行
していく。しかし、これらの劣化は一定限度までは性能
にほとんど影響を及ぼさないが、その一定限度を越した
場合には劣化そのものが加速度的に進行して、オゾナイ
ザ１１の性能も急激に低下することが経験上知られてい
る。Since these reactions occur very little in one discharge, the deterioration due to the erosion of the discharge electrode 3 and the formation of the discharge products 13 gradually progresses every year. However, these deteriorations have almost no effect on the performance up to a certain limit. However, if the deterioration exceeds the certain limit, the deterioration itself accelerates and the performance of the ozonizer 11 also drops sharply. Known

【００２７】ところで、これらの劣化に伴う放電用電極
３及び４の間の静電容量の変化に注目した場合、放電生
成物１３は僅かながら導電性があるので、誘電体５の表
面に放電生成物１３が形成され滞積すると、その厚さに
伴って、即ち、稼働時間の経過に伴って放電用電極３及
び４の間の静電容量は図３（ａ）に示す曲線Ａのように
増加する。しかし、亜硝酸若しくは硝酸の発生及びスパ
ッタリングなども加わることにより放電用電極３及び４
の浸食がそれを上回って進行した場合は、静電容量は図
３（ｂ）に示す曲線Ｂのように減少することになる。When attention is paid to the change in the capacitance between the discharge electrodes 3 and 4 due to these deteriorations, since the discharge product 13 is slightly conductive, the discharge is generated on the surface of the dielectric 5. When the object 13 is formed and accumulated, the capacitance between the discharge electrodes 3 and 4 changes as shown by a curve A in FIG. To increase. However, the generation of nitrous acid or nitric acid and the addition of sputtering also cause the electrodes 3 and 4 for discharge to be discharged.
When the erosion of No. 2 progresses beyond that, the capacitance decreases as shown by the curve B shown in FIG. 3 (b).

【００２８】尚、これら２つの現象は、放電装置が置か
れている個々の状態においてどちらかが支配的に作用す
るものであり、経時的な静電容量の変化は、あるものは
増加傾向を示しあるものは減少傾向を示す。従って、定
期的に静電容量測定装置８により放電用電極３及び４の
間の静電容量を測定し、その初期値と比較すれば、電極
ユニット７の劣化度合いを検出することができる。Incidentally, these two phenomena are such that either one of them predominantly acts in the individual state in which the discharge device is placed, and some changes in the capacitance with time show an increasing tendency. Some of them show a decreasing tendency. Therefore, the degree of deterioration of the electrode unit 7 can be detected by periodically measuring the capacitance between the discharge electrodes 3 and 4 by the capacitance measuring device 8 and comparing the capacitance with the initial value.

【００２９】ここで、制御部９の制御内容のフローチャ
ートを示す図４に従って作用を説明する。尚、放電用電
極３及び４間の静電容量の初期値は、オゾナイザ１１の
最初の運転開始前に静電容量測定装置８によって予め測
定されており、制御部９内部の記憶手段に記憶されてい
る。The operation will now be described with reference to FIG. 4, which shows a flow chart of the control contents of the control section 9. The initial value of the capacitance between the discharge electrodes 3 and 4 is measured in advance by the capacitance measuring device 8 before the first operation of the ozonizer 11 and is stored in the storage means inside the control unit 9. ing.

【００３０】制御部９に電源が投入されて制御を開始す
ると、制御部９は、「運転」の処理ステップＳ１におい
て、放電用電源１から放電用電極３及び４に電源を供給
して放電を行わせてオゾナイザ１１の運転を開始する。
処理ステップＳ１において、制御部９が内部のタイマを
参照することにより所定時間の経過を知ると、次の「測
定」の処理ステップＳ２に移行する。When the control unit 9 is powered on and starts control, the control unit 9 supplies power from the discharge power source 1 to the discharge electrodes 3 and 4 to discharge in the operation step S1 of "operation". Then, the operation of the ozonizer 11 is started.
In the processing step S1, when the control unit 9 knows the elapse of the predetermined time by referring to the internal timer, the process proceeds to the next "measurement" processing step S2.

【００３１】処理ステップＳ２においては、静電容量測
定装置８に制御信号を出力する。すると、測定用スイッ
チ８ａがオンされ、静電容量測定装置８は放電用電極３
及び４間の静電容量を測定して、その測定値を制御部９
に出力する。そして、次の「停止レベルか？」の判断ス
テップＳ３に移行する。In the processing step S2, a control signal is output to the capacitance measuring device 8. Then, the measurement switch 8a is turned on, and the electrostatic capacitance measuring device 8 turns on the discharge electrode 3
And the electrostatic capacitance between 4 are measured, and the measured value is measured by the control unit 9.
Output to. Then, the process proceeds to the next "stop level?" Determination step S3.

【００３２】判断ステップＳ３においては、ステップＳ
２において測定された測定値を内部の記憶手段に記憶さ
せている初期値と比較して、電極ユニット７の劣化度合
いを判定し、劣化がかなり進んでいて、オゾナイザ１１
の運転を停止させるべき状態にあるか否かが判断され
る。判断ステップＳ３において「ＹＥＳ」と判断する
と、「停止動作」の処理ステップＳ５に移行して、電源
スイッチ１ａをオフしてオゾナイザ１１の運転を停止さ
せると処理を終了する。In decision step S3, step S
The deterioration value of the electrode unit 7 is judged by comparing the measurement value measured in 2 with the initial value stored in the internal storage means, and the deterioration is considerably advanced.
It is determined whether or not the operation of is to be stopped. If "YES" is determined in the determination step S3, the process proceeds to the "stop operation" process step S5, the power switch 1a is turned off to stop the operation of the ozonizer 11, and the process ends.

【００３３】また、判断ステップＳ３において「ＮＯ」
と判断すると、「アラームレベルか？」の判断ステップ
Ｓ４に移行して、ステップＳ３と同様の比較をおこなっ
て判定した電極ユニット７の劣化度合いが、短期間内に
メンテナンスを実施するべきレベルであるか否かを判断
する。判断ステップＳ４において「ＹＥＳ」と判断する
と、図示しない操作パネル上のアラーム表示ランプを点
灯させるなどして、メンテナンスの実施を要する旨のア
ラーム表示を行うと、ステップＳ１に移行する。判断ス
テップＳ４において「ＮＯ」と判断すると、そのままス
テップＳ１に移行する。Further, "NO" in the judgment step S3.
If the judgment is “alarm level?”, The process proceeds to the judgment step S4, and the degree of deterioration of the electrode unit 7 judged by performing the same comparison as in step S3 is the level at which maintenance should be performed within a short period of time. Determine whether or not. If "YES" is determined in the determination step S4, the alarm display lamp on the operation panel (not shown) is turned on to display an alarm indicating that maintenance is required, and then the process proceeds to step S1. If "NO" is determined in the determination step S4, the process directly proceeds to step S1.

【００３４】以上のように本実施例によれば、オゾナイ
ザ１１の放電用電極３及び４の間の静電容量を静電容量
測定装置８によって測定するように構成したので、制御
部９は、経時的な静電容量の変化による電極ユニット７
の劣化度合いを自動的に判定することができ、それによ
ってメンテナンスを行うのに最適な時期を、オゾナイザ
１１の性能が急激に低下する前に判断することができる
ので、従来とは異なり、稼働中の設備の急停止や冗長な
メンテナンスの実施をすることがなく、オゾナイザ１１
の稼働率を最適化することができる。As described above, according to this embodiment, since the capacitance between the discharge electrodes 3 and 4 of the ozonizer 11 is measured by the capacitance measuring device 8, the control unit 9 Electrode unit 7 due to changes in capacitance over time
It is possible to automatically determine the degree of deterioration of the ozonizer 11, and thereby determine the optimal time to perform maintenance before the performance of the ozonizer 11 drops sharply. Ozonizer 11 without sudden stop of equipment and redundant maintenance.
The operating rate of can be optimized.

【００３５】尚、本実施例では、図４に示す制御内容の
判断ステップＳ４において「ＹＥＳ」と判断すると、図
示しない操作パネル上のアラーム表示ランプを点灯させ
るなどの処理を行ったが、この場合、急速な電極ユニッ
ト７の劣化を抑制するために、放電用電源１の出力電圧
を低下させたり、補器部１０によってオゾナイザ１１へ
の気体６の流量を減少させるなどの運転条件の変更を適
宜行うようにしても良い。Incidentally, in this embodiment, if "YES" is determined in the control content determination step S4 shown in FIG. 4, processing such as turning on an alarm display lamp (not shown) on the operation panel is carried out. In order to suppress rapid deterioration of the electrode unit 7, it is necessary to appropriately change the operating conditions such as lowering the output voltage of the discharge power source 1 or reducing the flow rate of the gas 6 to the ozonizer 11 by the auxiliary unit 10. You may do it.

【００３６】次に本発明の第２実施例を気体レーザ装置
に適用した場合について、図５及び図６を参照して説明
する。気体レーザ装置の本発明に係る部分の構成を示す
図５において、ガラスなどの誘電体で構成された円筒形
の放電管１４（一部を示す）の内部には、炭酸ガスなど
の気体１５が流通されており、また、放電用電極１６及
び１７が適当な間隔をもって配置されている。Next, a case where the second embodiment of the present invention is applied to a gas laser device will be described with reference to FIGS. In FIG. 5 showing the configuration of the portion of the gas laser device according to the present invention, a gas 15 such as carbon dioxide gas is provided inside a cylindrical discharge tube 14 (partially shown) made of a dielectric such as glass. It is distributed, and the discharge electrodes 16 and 17 are arranged at an appropriate interval.

【００３７】そして、放電用電極１６及び１７は放電用
電源１８に放電用スイッチ１８ａを介して接続されてい
る。また、放電管１４の内部には、その内面に沿うよう
に、所定の間隔をもってリング状の測定用電極１９及び
２０が配設されている。尚、以上が電極ユニット２１を
構成している。また、測定用電極１９及び２０は、静電
容量測定装置８に測定用スイッチ８ａを介して接続され
ている。The discharge electrodes 16 and 17 are connected to a discharge power source 18 via a discharge switch 18a. Further, inside the discharge tube 14, ring-shaped measuring electrodes 19 and 20 are arranged along the inner surface thereof at a predetermined interval. The above constitutes the electrode unit 21. The measuring electrodes 19 and 20 are connected to the capacitance measuring device 8 via a measuring switch 8a.

【００３８】電気的構成を示す図６において、判定手段
である制御部２２は、放電用電源１８及び補器部２３に
制御信号を与えるようになっている。放電用電源１８
は、制御部２２からの制御信号により電源スイッチ１８
ａがオンされて電極ユニット２１に放電用の電源を供給
する。また、補器部２３は、制御部２２より与えられる
制御信号に応じて、電極ユニット２１における気体１５
の流量を調節するようになっている。そして、制御部２
２は、静電容量測定装置８に測定を行なわせるための制
御信号を与えるようになっており、静電容量測定装置８
の出力信号は、制御部２２に与えられるようになってい
る。尚、以上が気体レーザ装置（放電装置）２４を構成
している。In FIG. 6 showing the electrical structure, the control unit 22 as a judgment means is adapted to give a control signal to the discharge power source 18 and the auxiliary unit 23. Discharge power supply 18
Is a power switch 18 according to a control signal from the control unit 22.
When a is turned on, a power source for discharging is supplied to the electrode unit 21. In addition, the auxiliary device section 23 responds to the control signal given from the control section 22 by the gas 15 in the electrode unit 21.
The flow rate of is adjusted. And the control unit 2
2 is adapted to give a control signal for causing the capacitance measuring device 8 to perform measurement.
Is output to the control unit 22. The above constitutes the gas laser device (discharge device) 24.

【００３９】次に第２実施例の作用を説明する。尚、第
１実施例と同様に、測定用電極１９及び２０間の静電容
量の初期値は、気体レーザ装置２４の最初の運転開始前
に静電容量測定装置８によって予め測定されており、制
御部２２内部の記憶手段に記憶されている。Next, the operation of the second embodiment will be described. As in the first embodiment, the initial value of the capacitance between the measuring electrodes 19 and 20 is measured in advance by the capacitance measuring device 8 before the first operation of the gas laser device 24 is started, It is stored in the storage means inside the control unit 22.

【００４０】気体レーザ装置２４は、放電用スイッチ１
８ａがオン操作されると、放電用電源１８から放電用電
極１６及び１７に高電圧を供給して気体１５中に放電２
５を行う。すると、気体１５が励起されることによりレ
ーザ光が発振する。発振したレーザ光は、放電管１４の
図示しない両端に配置された反射鏡によって反射されて
共振し、その共振によって次第に増幅されるレーザ光
は、一定のレベルに達すると反射鏡の一部に設けられた
窓部から外部にレーザ光として出力される。The gas laser device 24 includes the discharge switch 1
When 8a is turned on, a high voltage is supplied from the discharge power source 18 to the discharge electrodes 16 and 17 to discharge the gas 15 into the gas 15.
Do 5. Then, the gas 15 is excited to oscillate the laser light. The oscillated laser light is reflected by the reflection mirrors arranged at both ends (not shown) of the discharge tube 14 and resonates, and the laser light gradually amplified by the resonance is provided in a part of the reflection mirror when reaching a certain level. The laser light is output to the outside from the opened window.

【００４１】このようにして、レーザ光を発振させるた
め放電２５を繰返すと、第１実施例と同様に、放電用電
極１６及び１７並びに測定用電極１９及び２０の表面に
は次第に放電生成物２６が付着し滞積して、放電用電極
１６及び１７間または測定用電極１９及び２０間の静電
容量は図３（ａ）に示す曲線Ａのように次第に増加す
る。When the discharge 25 is repeated in order to oscillate the laser light in this manner, the discharge products 26 are gradually formed on the surfaces of the discharge electrodes 16 and 17 and the measurement electrodes 19 and 20, as in the first embodiment. Are deposited and accumulated, and the electrostatic capacitance between the discharge electrodes 16 and 17 or the measurement electrodes 19 and 20 gradually increases as shown by a curve A shown in FIG.

【００４２】従って、第１実施例と同様に図４のフロー
チャートに従って、制御部２２は、静電容量測定装置８
に定期的に制御信号を与えると、測定用スイッチ８ａは
オンされ、静電容量測定装置８によって測定用電極１９
及び２０間の静電容量が測定される。そして、制御部２
２は、その測定値を初期値と比較することにより、電極
ユニット２１の劣化度合いを判定することができ、気体
レーザ装置２４のメンテナンスの時期の決定や、放電用
電源１８若しくは補器部２３による出力の調整などが可
能となる。Therefore, similarly to the first embodiment, according to the flow chart of FIG.
When a control signal is periodically given to the measuring electrode 8a, the measuring switch 8a is turned on, and the capacitance measuring device 8 causes the measuring electrode 19
And the capacitance between 20 is measured. And the control unit 2
2, the degree of deterioration of the electrode unit 21 can be determined by comparing the measured value with the initial value, the timing of maintenance of the gas laser device 24 can be determined, and the discharge power supply 18 or the auxiliary device 23 can be used. It is possible to adjust the output.

【００４３】以上のように第２実施例によれば、気体レ
ーザ装置２４を、その放電管１４内に測定用電極１９及
び２０を配置して、両電極間の静電容量を静電容量測定
装置８により測定するように構成したので、測定用電極
１９及び２０間の静電容量の変化によって電極ユニット
２１の劣化度合いを判定することができ、第１実施例と
同様の効果が得られる。As described above, according to the second embodiment, the gas laser device 24 is provided with the measuring electrodes 19 and 20 in the discharge tube 14 and the electrostatic capacitance between the two electrodes is measured. Since the measurement is performed by the device 8, the deterioration degree of the electrode unit 21 can be determined by the change in the capacitance between the measurement electrodes 19 and 20, and the same effect as in the first embodiment can be obtained.

【００４４】尚、第２実施例においては、静電容量測定
装置８により測定用電極１９及び２０間の静電容量を測
定したが、図７に示す本発明の第３実施例のように、測
定用電極２０及び放電用電極１７間の静電容量を測定し
ても良い。また、図８に示す本発明の第４実施例のよう
に、測定用電極２０及び放電用電極１６間の静電容量を
測定しても良い。In the second embodiment, the capacitance between the measuring electrodes 19 and 20 was measured by the capacitance measuring device 8. However, as in the third embodiment of the present invention shown in FIG. The capacitance between the measuring electrode 20 and the discharging electrode 17 may be measured. Alternatively, the capacitance between the measuring electrode 20 and the discharging electrode 16 may be measured as in the fourth embodiment of the present invention shown in FIG.

【００４５】図９乃至図１１は本発明の第５実施例を示
すものであり、第２実施例と同一部分には同一符号を付
して説明を省略し、以下異なる部分のみ説明する。図９
においては、第２実施例における静電容量測定装置８及
び測定用スイッチ８ａの代わりに測定手段である電気抵
抗測定装置２７及び測定用スイッチ２７ａが、測定用電
極１９及び２０に接続されている。9 to 11 show a fifth embodiment of the present invention. The same parts as those of the second embodiment are designated by the same reference numerals and the description thereof will be omitted. Only different parts will be described below. Figure 9
In the above, in place of the capacitance measuring device 8 and the measuring switch 8a in the second embodiment, an electric resistance measuring device 27 and a measuring switch 27a which are measuring means are connected to the measuring electrodes 19 and 20.

【００４６】電気的構成を示す図１０においても同様
に、第２実施例における静電容量測定装置８の代わりに
電気抵抗測定装置２７が電極ユニット２１と制御部２２
との間に配置されている。以上が気体レーザ装置２８
（放電装置）を構成している。In FIG. 10 showing the electrical structure, similarly, instead of the capacitance measuring device 8 in the second embodiment, the electric resistance measuring device 27 has an electrode unit 21 and a controller 22.
It is located between and. The above is the gas laser device 28.
(Discharge device).

【００４７】次に第５実施例の作用を説明する。第２実
施例と同様に、気体レーザ装置２８がその運転において
放電２５を繰返した場合にその電気抵抗に注目すると、
測定用電極１９及び２０並びに放電管１４の内面にも放
電生成物２６が付着し滞積するので、測定用電極１９及
び２０間の電気抵抗値は図１１に示す曲線Ｃのように、
稼働時間の経過と共に次第に低下して行く。従って、測
定用スイッチ２７ａをオンして電気抵抗測定装置２７に
より測定用電極１９及び２０間の電気抵抗を測定してそ
の初期値と比較することにより、電極ユニット２１の劣
化度合いを判定することができる。Next, the operation of the fifth embodiment will be described. As in the second embodiment, when the gas laser device 28 repeats the discharge 25 in its operation, paying attention to its electric resistance,
Since the discharge product 26 adheres to and accumulates on the measurement electrodes 19 and 20 and the inner surface of the discharge tube 14, the electric resistance value between the measurement electrodes 19 and 20 is as shown by the curve C in FIG.
It gradually decreases with the passage of operating time. Therefore, the degree of deterioration of the electrode unit 21 can be determined by turning on the measuring switch 27a and measuring the electric resistance between the measuring electrodes 19 and 20 by the electric resistance measuring device 27 and comparing it with the initial value. it can.

【００４８】以上のように第５実施例によれば、気体レ
ーザ装置２８を、その放電管１４内に測定用電極１９及
び２０を配置して、両電極間の電気抵抗を電気抵抗測定
装置２７により測定するように構成したので、測定用電
極１９及び２０間の電気抵抗の変化によって電極ユニッ
ト２１の劣化度合いを判定することができ、第１または
第２実施例と同様の効果が得られる。As described above, according to the fifth embodiment, in the gas laser device 28, the measuring electrodes 19 and 20 are arranged in the discharge tube 14, and the electric resistance between the electrodes is measured by the electric resistance measuring device 27. Since the measurement is performed by the method described above, the degree of deterioration of the electrode unit 21 can be determined by the change in the electric resistance between the measurement electrodes 19 and 20, and the same effect as that of the first or second embodiment can be obtained.

【００４９】尚、第５実施例においては、電気抵抗測定
装置２７により測定用電極１９及び２０間の電気抵抗を
測定したが、図１２に示す本発明の第６実施例のよう
に、測定用電極２０及び放電用電極１７間の電気抵抗を
測定しても良い。また、図１３に示す本発明の第７実施
例のように、放電用電極１６が放電管１４の内面に接し
ていれば、測定用電極２０及び放電用電極１６間の電気
抵抗を測定しても良い。In the fifth embodiment, the electric resistance between the measuring electrodes 19 and 20 was measured by the electric resistance measuring device 27. However, as in the sixth embodiment of the present invention shown in FIG. The electrical resistance between the electrode 20 and the discharge electrode 17 may be measured. If the discharge electrode 16 is in contact with the inner surface of the discharge tube 14 as in the seventh embodiment of the present invention shown in FIG. 13, the electrical resistance between the measurement electrode 20 and the discharge electrode 16 is measured. Is also good.

【００５０】図１４乃至図１６は本発明の第８実施例を
示すものであり、図５と同一部分には同一符号を付して
説明を省略し、以下異なる部分のみ説明する。図１０に
おいては、第２実施例の構成から測定用電極１９及び２
０，静電容量測定装置８及び測定用スイッチ８ａを取除
き、放電管１４の直径方向に延長された軸上の一端に、
投光体として例えばＬＥＤ２９を配置し、同軸上の他端
には、ＬＥＤ２９の投光を放電管１４の放電部１４ａを
介した透過光として受光する例えばCdS ３０（受光体）
を配置した構成となっている。尚、ＬＥＤ２９及びCdS
３０は、測定手段３１を構成している。14 to 16 show the eighth embodiment of the present invention. The same parts as those in FIG. 5 are designated by the same reference numerals and the description thereof will be omitted. Only different parts will be described below. In FIG. 10, the measurement electrodes 19 and 2 according to the second embodiment are arranged.
0, the capacitance measuring device 8 and the measuring switch 8a are removed, and at one end of the discharge tube 14 on the axis extending in the diametrical direction,
For example, an LED 29 is arranged as a light projecting body, and at the other end on the same axis, the light projected from the LED 29 is received as transmitted light through the discharge part 14a of the discharge tube 14, for example, CdS 30 (light receiving body).
Is arranged. LED29 and CdS
30 constitutes a measuring means 31.

【００５１】電気的構成を示す図１５において、ＬＥＤ
２９及びCdS ３０は、第２実施例における静電容量測定
装置８の代わりに配置され、判定手段である制御部３２
は、制御部２２に代わって配置されている。そして、制
御部３２によりＬＥＤ２９に対して制御信号が与えられ
てＬＥＤ２９が放電管１４に投光すると、その放電管１
４の放電部１４ａを介した透過光はCdS ３０によって受
光される。CdS ３０は、受光量に応じた出力信号を制御
部３２に与えるようになっている。尚、以上が気体レー
ザ装置（放電装置）３３を構成している。In FIG. 15 showing the electrical configuration, the LED
29 and CdS 30 are arranged instead of the capacitance measuring device 8 in the second embodiment, and are a control unit 32 which is a judging means.
Are arranged in place of the control unit 22. Then, when the control signal is given to the LED 29 by the control unit 32 and the LED 29 projects the light to the discharge tube 14, the discharge tube 1
The light transmitted through the discharge unit 14a of No. 4 is received by the CdS 30. The CdS 30 gives an output signal according to the amount of received light to the control unit 32. The above constitutes the gas laser device (discharge device) 33.

【００５２】次に第８実施例の作用を図１６をも参照し
て説明する。尚、CdS ３０の受光量の初期値は、気体レ
ーザ装置３３の最初の運転開始前に測定されており、制
御部３２内部の記憶手段に記憶されているものとする。
気体レーザ装置３３の運転初期においては、放電管１４
は透明であるので、ＬＥＤ２９の投光は、その光量の大
部分が透過光としてCdS ３０に受光される。しかし、第
２または第５実施例のように運転を重ねるに従って発生
する放電生成物２６が放電管１４の内壁に付着し滞積す
るので、放電管１４の透明度は次第に低下して行き、そ
れに伴って、CdS ３０の受光量も図１６に示す曲線Ｄの
ように稼働時間の経過に応じて次第に低下して行く。Next, the operation of the eighth embodiment will be described with reference to FIG. The initial value of the amount of light received by the CdS 30 is measured before the first operation of the gas laser device 33 and is stored in the storage means inside the control unit 32.
In the initial operation of the gas laser device 33, the discharge tube 14
Is transparent, most of the light emitted from the LED 29 is received by the CdS 30 as transmitted light. However, as in the second or fifth embodiment, the discharge product 26 generated as the operation is repeated adheres to the inner wall of the discharge tube 14 and accumulates therein, so that the transparency of the discharge tube 14 gradually decreases, and accordingly. As a result, the amount of light received by the CdS 30 gradually decreases as the operating time elapses, as indicated by the curve D shown in FIG.

【００５３】従って、CdS ３０の受光量を定期的に測定
することにより、気体レーザ装置３３の放電管１４の内
壁に付着し滞積する放電生成物２６の量を知ることがで
きるので、その受光量を初期値と比較して電極ユニット
２１の劣化度合いを知ることができる。Therefore, by periodically measuring the amount of light received by the CdS 30, it is possible to know the amount of the discharge product 26 adhering to and accumulating on the inner wall of the discharge tube 14 of the gas laser device 33. The degree of deterioration of the electrode unit 21 can be known by comparing the amount with the initial value.

【００５４】以上のように第８実施例によれば、気体レ
ーザ装置３３の放電管１４の直径方向に延長された軸上
の両端にＬＥＤ２９及びCdS ３０を配置して、放電管１
４を透過する透過光量を測定するように構成したので、
放電が繰返されることにより、発生する放電生成物２６
が放電管１４の内壁に付着して滞積し、放電管１４の透
明度が次第に低下していく状態の変化を、放電管１４を
透過する透過光量を測定することにより検出できるの
で、その透過光量の変化によって、気体レーザ装置３３
の電極ユニット２１の劣化度合いを判定することがで
き、第１乃至第７実施例と同様の効果が得られる。As described above, according to the eighth embodiment, the LED 29 and the CdS 30 are arranged at both ends on the axis extending in the diameter direction of the discharge tube 14 of the gas laser device 33, and the discharge tube 1 is provided.
Since it is configured to measure the amount of transmitted light passing through 4,
Discharge product 26 generated by repeated discharge
Can be detected by measuring the amount of transmitted light that passes through the discharge tube 14, and the change in the state where the transparency adheres to the inner wall of the discharge tube 14 and accumulates, and the transparency of the discharge tube 14 gradually decreases. Of the gas laser device 33
The degree of deterioration of the electrode unit 21 can be determined, and the same effects as those of the first to seventh embodiments can be obtained.

【００５５】図１７乃至図１９は本発明の第９実施例を
示すものであり、第８実施例と同一部分には同一符号を
付して説明を省略し、以下第８実施例と異なる部分のみ
説明する。上記第８実施例では、ＬＥＤ２９及びCdS ３
０は放電管１４の直径方向に延長された軸上の両端に配
置され、CdS ３０は放電管１４の透過光を受光するよう
な構成であった。図１７においては、その測定手段３１
であるＬＥＤ２９及びCdS ３０は、放電管１４の放電部
１４ａの外壁に反射される反射光を受光するように、放
電経路部分である放電管１４の外壁上の一点に立てられ
た垂線に対し、同一の入射角及び反射角をもって配置さ
れている。電気的構成を示す図１８においては、第８実
施例の制御部３２に代わって、判定手段である制御部３
２ａが配置されており、他は第８実施例と同様の構成で
ある。以上が気体レーザ装置（放電装置）３４を構成し
ている。17 to 19 show a ninth embodiment of the present invention. The same parts as those of the eighth embodiment are designated by the same reference numerals and the description thereof will be omitted. The parts different from the eighth embodiment will be described below. Only explained. In the eighth embodiment, the LED 29 and CdS 3
0s are arranged at both ends on the axis extending in the diameter direction of the discharge tube 14, and the CdS 30 is configured to receive the transmitted light of the discharge tube 14. In FIG. 17, the measuring means 31
The LED 29 and the CdS 30 are the vertical lines set up at one point on the outer wall of the discharge tube 14 which is the discharge path portion so that the reflected light reflected by the outer wall of the discharge portion 14a of the discharge tube 14 is received. They are arranged with the same incident angle and reflection angle. In FIG. 18 showing the electrical configuration, instead of the control unit 32 of the eighth embodiment, the control unit 3 which is the determination means.
2a is arranged, and the other structure is similar to that of the eighth embodiment. The above constitutes the gas laser device (discharge device) 34.

【００５６】次に第９実施例の作用を図１９をも参照し
て説明する。第８実施例と同様に放電２５が繰り返され
て、発生する放電生成物２６が放電管１４の内壁に付着
して滞積し、放電管１４の透明度が次第に低下すると、
ＬＥＤ２９による投光が放電管１４の外壁に反射して、
CdS ３０によって受光される反射光の光量は、それに伴
って図１９に示す曲線Ｅのように稼働時間の経過に応じ
て増加する。Next, the operation of the ninth embodiment will be described with reference to FIG. The discharge 25 is repeated in the same manner as in the eighth embodiment, and the generated discharge product 26 adheres to the inner wall of the discharge tube 14 to accumulate and the transparency of the discharge tube 14 gradually decreases.
The light emitted by the LED 29 is reflected on the outer wall of the discharge tube 14,
The light amount of the reflected light received by the CdS 30 accordingly increases as the operating time elapses, as shown by a curve E in FIG.

【００５７】以上のように第９実施例によれば、ＬＥＤ
２９及びCdS ３０を、気体レーザ装置の放電管１４の外
壁に反射する反射光を受光するように配置して構成した
ので、放電が繰返されることにより、発生する放電生成
物２６が放電管１４の内壁に付着して滞積し、放電管１
４の透明度が次第に低下していく状態の変化を、放電管
１４の外壁に反射する反射光量を測定することにより検
出できるので、これを初期値と比較することにより気体
レーザ装置３４の電極ユニット２１の劣化を判定するこ
とができる。As described above, according to the ninth embodiment, the LED
Since 29 and CdS 30 are arranged so as to receive the reflected light reflected on the outer wall of the discharge tube 14 of the gas laser device, the discharge product 26 generated by the repeated discharge of the discharge tube 14 is generated. The discharge tube 1 adheres to the inner wall and accumulates.
4 can be detected by measuring the amount of light reflected on the outer wall of the discharge tube 14, and by comparing this with the initial value, the electrode unit 21 of the gas laser device 34 can be detected. Can be determined.

【００５８】図２０乃至図２２は本発明を電気集塵機に
適用した場合の第１０実施例を示すものである。電気集
塵機の本発明に係る部分の電極ユニットを中心とする構
成を示す図２０において、放電用電源３５の正極側に
は、電源スイッチ３５ａを介して放電極である放電用電
極３６が接続されており、負極側（グランド）には、集
塵極である円筒形の放電用電極３７が接続されている。
尚、放電用電極３６及び３７は、電極ユニット３８を構
成している。この放電用電極３６及び３７間はコロナ放
電領域であり、塵埃を含んだガス３９が流通するように
なっている。20 to 22 show a tenth embodiment in which the present invention is applied to an electrostatic precipitator. In FIG. 20, which shows a configuration centering on the electrode unit of the part of the electrostatic precipitator according to the present invention, the discharge electrode 36, which is a discharge electrode, is connected to the positive electrode side of the discharge power source 35 via the power switch 35a. A cylindrical discharge electrode 37, which is a dust collecting electrode, is connected to the negative electrode side (ground).
The discharge electrodes 36 and 37 form an electrode unit 38. A corona discharge region is formed between the discharge electrodes 36 and 37, and a gas 39 containing dust flows therethrough.

【００５９】また、放電用電極３６及び３７間には、静
電容量測定装置８が、測定用スイッチ８ａを介して接続
されており、静電容量測定装置８の出力信号は、後述す
る制御部に与えられるようになっている。A capacitance measuring device 8 is connected between the discharge electrodes 36 and 37 via a measuring switch 8a, and the output signal of the capacitance measuring device 8 is a control unit described later. To be given to.

【００６０】電気的構成を示す図２１において、判定手
段である制御部４０は、放電用電源３５及び補器部４１
に制御信号を与えるようになっている。放電用電源３５
は、前述のように電極ユニット３８に放電用の電源を供
給する。また、補器部４１は、制御部４０より与えられ
る制御信号に応じて、電極ユニット３８におけるガス３
９の流量を調節するようになっている。そして、制御部
４０は、静電容量測定装置８に測定を行なわせるための
制御信号を与えるようになっており、静電容量測定装置
８の出力信号は、制御部４０に与えられるようになって
いる。以上が電気集塵機（放電装置）４２を構成してい
る。In FIG. 21 showing the electrical structure, the control unit 40, which is a determination means, includes a discharge power source 35 and an auxiliary unit 41.
It is designed to give a control signal to. Discharge power source 35
Supplies the electric power for discharging to the electrode unit 38 as described above. In addition, the assisting device section 41 responds to the gas signal in the electrode unit 38 according to the control signal given from the control section 40.
The flow rate of 9 is adjusted. The control unit 40 is adapted to give a control signal for causing the capacitance measuring device 8 to perform measurement, and the output signal of the capacitance measuring device 8 is given to the control unit 40. ing. The above constitutes the electrostatic precipitator (discharger) 42.

【００６１】次に第１０実施例の作用を図２２をも参照
して説明する。制御部４０に電源が投入されると、制御
部４０は、放電用電源３５に対して制御信号を与える。
すると放電用電源３５の電源スイッチ３５ａがオンとな
り、高電圧が放電用電極３６及び３７に印加されてコロ
ナ放電領域において放電４３が発生する。そして、その
放電４３によりガス３９内の塵埃粒子が正側に荷電さ
れ、荷電された塵埃粒子は、負極である放電用電極３７
に吸着される。Next, the operation of the tenth embodiment will be described with reference to FIG. When the control section 40 is powered on, the control section 40 gives a control signal to the discharging power supply 35.
Then, the power switch 35a of the discharge power supply 35 is turned on, a high voltage is applied to the discharge electrodes 36 and 37, and the discharge 43 is generated in the corona discharge region. Then, the dust particles in the gas 39 are charged to the positive side by the discharge 43, and the charged dust particles are the negative electrode 37 for discharge.
Is adsorbed on.

【００６２】この様に、電気集塵機４２を連続して運転
すると、次第に放電用電極３７上には吸着された塵埃粒
子が滞積して、やがて、粒子滞積層４４が形成される。
この粒子滞積層４４の滞積量の増加に伴って、放電用電
極３６及び３７間の静電容量は、図２２に示す曲線Ｆの
ように稼働時間の経過に応じて次第に増加して行く。As described above, when the electrostatic precipitator 42 is continuously operated, the adsorbed dust particles are gradually accumulated on the discharge electrode 37, and eventually the particle-stuck laminated layer 44 is formed.
The capacitance between the discharge electrodes 36 and 37 gradually increases with the lapse of the operating time as shown by the curve F in FIG.

【００６３】この経時的な静電容量の変化を測定するた
め、制御部４０は、第１実施例のように定期的に静電容
量測定装置８に対して制御信号を与える。すると、静電
容量測定装置８の測定スイッチ８ａがオン制御され、放
電用電極３６及び３７間の静電容量が測定されると、そ
の測定値は制御部４０に与えられる。In order to measure the change in capacitance with time, the control section 40 periodically gives a control signal to the capacitance measuring device 8 as in the first embodiment. Then, the measurement switch 8a of the capacitance measuring device 8 is on-controlled, and when the capacitance between the discharge electrodes 36 and 37 is measured, the measured value is given to the control unit 40.

【００６４】そして、制御部４０は、その測定値と内部
の記憶手段に記憶された初期値とを比較することによ
り、電気集塵機４２の運転状況（粒子滞積層４４の滞積
量）を知ることができる。従って、制御部４０は、その
運転状況に応じて例えば操作パネルの警告灯を点灯させ
るなどして、集塵極である放電用電極３７に機械的衝撃
を与えて粒子滞積層４４を剥離させる槌打ちなどのメン
テナンスを行うべき適切な時期を、オペレータなどに報
知することができる。Then, the control unit 40 knows the operating condition of the electrostatic precipitator 42 (amount of stagnant particles 44) by comparing the measured value with the initial value stored in the internal storage means. You can Therefore, the control unit 40 gives a mechanical shock to the discharge electrode 37, which is a dust collecting electrode, to peel off the particle-stuck laminated layer 44 by turning on, for example, a warning light on the operation panel according to the operating condition. An operator or the like can be notified of an appropriate time at which maintenance such as hitting should be performed.

【００６５】以上のように第１０実施例によれば、電気
集塵機４２の運転状況を、放電用電極３７上に形成され
る粒子滞積層４４の滞積量を放電用電極３６及び３７間
の静電容量を測定することにより判定することができる
ので、電気集塵機４２のメンテナンスを行うべき適切な
時期をも判定することができる。As described above, according to the tenth embodiment, the operation condition of the electrostatic precipitator 42 is determined by determining the amount of the particle stagnant layer 44 formed on the discharge electrode 37 between the discharge electrodes 36 and 37. Since the determination can be made by measuring the electric capacity, it is also possible to determine an appropriate time when the maintenance of the electrostatic precipitator 42 should be performed.

【００６６】図２３及び図２４は本発明の第１１実施例
を示すものであり、第１０実施例と同一部分には同一符
号を付して説明を省略し、以下異なる部分のみ説明す
る。図２３では、第１０実施例のコロナ放電領域におい
て、第９実施例のように発光体であるＬＥＤ２９及び受
光体であるCdS ３０が、放電用電極３７の内面に形成さ
れる粒子滞積層４４によって反射される反射光を受光す
るように、放電用電極３７の上端部に配置されている。23 and 24 show the 11th embodiment of the present invention. The same parts as those of the 10th embodiment are designated by the same reference numerals and the description thereof will be omitted. Only the different parts will be described below. 23, in the corona discharge region of the tenth embodiment, as in the ninth embodiment, the LED 29 as the light emitter and the CdS 30 as the light receiver are formed by the particle-stuck laminated layer 44 formed on the inner surface of the discharge electrode 37. It is arranged at the upper end of the discharge electrode 37 so as to receive the reflected light that is reflected.

【００６７】電気的構成を示す図２４において、ＬＥＤ
２９及びCdS ３０は、第１０実施例における静電容量測
定装置８の代わりに配置され、判定手段である制御部４
５は、制御部４０に代わって配置されている。そして、
制御部４５によりＬＥＤ２９に対して制御信号が与えら
れてＬＥＤ２９が発光すると、その放電用電極３７の表
面に形成された粒子滞積層４４によって反射された反射
光はCdS ３０によって受光され、CdS ３０は、受光量に
応じた出力信号を制御部４５に与えるようになってい
る。尚、以上が電気集塵機（放電装置）４６を構成して
いる。In FIG. 24 showing the electrical configuration, the LED
29 and CdS 30 are arranged instead of the capacitance measuring device 8 in the tenth embodiment, and are the control unit 4 which is the judging means.
5 is arranged instead of the control unit 40. And
When the control signal is given to the LED 29 by the control unit 45 and the LED 29 emits light, the reflected light reflected by the particle-stuck laminated layer 44 formed on the surface of the discharge electrode 37 is received by the CdS 30, and the CdS 30 is An output signal according to the amount of received light is given to the control unit 45. The above constitutes the electrostatic precipitator (discharge device) 46.

【００６８】次に第１１実施例の作用を図１９をも参照
して説明する。尚、CdS ３０の受光量の初期値は、電気
集塵機４６の最初の運転開始前に測定されており、制御
部４５内部の記憶手段に記憶されているものとする。電
気集塵機４６の運転初期においては、放電用電極３７の
表面（内面）には塵埃粒子はそれ程吸着されておらずそ
の反射率は低いので、ＬＥＤ２９の発光は、その光量の
大部分が反射されずCdS ３０の受光量は低い。しかし、
第１０実施例のように運転を重ねるに従って粒子滞積層
４４が放電用電極３７の表面に形成されるので、放電用
電極３７の反射率は次第に上昇して行き、それに伴っ
て、CdS ３０の受光量も図１９に示す曲線Ｅのように次
第に上昇して行く。Next, the operation of the 11th embodiment will be described with reference to FIG. The initial value of the amount of light received by the CdS 30 is measured before the first operation of the electrostatic precipitator 46 and is stored in the storage means inside the control unit 45. At the beginning of the operation of the electrostatic precipitator 46, dust particles are not so much adsorbed on the surface (inner surface) of the discharge electrode 37 and the reflectance thereof is low, so most of the light emitted from the LED 29 is not reflected. The amount of light received by CdS 30 is low. But,
As the particle laminating stack 44 is formed on the surface of the discharge electrode 37 as the operation is repeated as in the tenth embodiment, the reflectance of the discharge electrode 37 gradually increases, and accordingly, the light received by the CdS 30 is received. The amount also gradually rises as shown by the curve E shown in FIG.

【００６９】従って、CdS ３０の受光量を定期的に測定
してその初期値と比較することにより、放電４３を繰返
すことによって電気集塵機４３の放電用電極３７の表面
に形成される粒子滞積層４４の滞積量（厚さ）を知るこ
とができるので、その粒子滞積層４４の滞積量に応じた
電気集塵機４６の運転状況をも知ることができ、第１０
実施例と同様の効果が得られる。Therefore, by periodically measuring the amount of light received by the CdS 30 and comparing it with the initial value, the particles 43 are formed on the surface of the discharge electrode 37 of the electrostatic precipitator 43 by repeating the discharge 43. Since it is possible to know the amount of accumulated particles (thickness), it is also possible to know the operation status of the electrostatic precipitator 46 according to the amount of accumulated particles accumulated in the particle accumulated layer 44.
The same effect as the embodiment can be obtained.

【００７０】図２５は本発明の第１２実施例を示すもの
である。第１乃至第１１実施例においては、本発明を一
対の放電用電極を持つ１つの電極ユニットからなる放電
装置に適用したが、第１２実施例においては、複数の電
極ユニットからなる放電装置に適用したものである。FIG. 25 shows a twelfth embodiment of the present invention. In the first to eleventh embodiments, the present invention is applied to the discharge device including one electrode unit having a pair of discharge electrodes, but in the twelfth embodiment, the present invention is applied to the discharge device including a plurality of electrode units. It was done.

【００７１】電気的構成を示す図２５において、制御手
段である制御部４７は、複数例えばｎ個の放電用電源４
８及びｎ個の補器部４９に制御信号を与えて、ｎ個の電
極ユニット５０の運転を制御し、また、ｎ個の測定手段
である測定部５１に制御信号を与えて、ｎ個の電極ユニ
ット５０の劣化度若しくは運転状況をそれぞれ測定する
ようになっている。以上が放電装置５２を構成してい
る。In FIG. 25 showing the electrical configuration, a control unit 47, which is a control means, includes a plurality of, for example, n discharge power sources 4.
A control signal is supplied to the 8 and n auxiliary parts 49 to control the operation of the n electrode units 50, and a control signal is supplied to the measuring part 51, which is the n measuring means, so that the n The deterioration degree or the operating condition of the electrode unit 50 is measured. The above constitutes the discharge device 52.

【００７２】次に、第１２実施例の作用を説明する。制
御部４７は、電極ユニット５０のそれぞれに対して例え
ば第１実施例の図４に示したような制御を行って、電極
ユニット５０の劣化度合いもしくは運転状況を判定し、
その時の放電装置５２に要求されている運転能力と比較
して、放電装置５２の各電極ユニット５０の出力を決定
する。Next, the operation of the twelfth embodiment will be described. The control unit 47 performs control such as that shown in FIG. 4 of the first embodiment on each of the electrode units 50 to determine the degree of deterioration of the electrode unit 50 or the operating condition,
The output of each electrode unit 50 of the discharge device 52 is determined by comparison with the operating capacity required for the discharge device 52 at that time.

【００７３】例えば、放電装置５２が最大出力近くを要
求されている場合には、電力代金などのランニングコス
トよりも出力を優先し、劣化が比較的進行している電極
ユニット５０に対しても高出力運転を続行させる。ま
た、この場合には、その電極ユニット５０について最小
限必要なメンテナンスを、何時間以内にどの項目につい
て行うべきかを、図示しない表示装置に表示させて、オ
ペレータに報知する。そして、放電装置５２が高い出力
を要求されていない場合には、放電用電源４８または補
器部４９により運転条件を変更し、劣化が比較的進行し
ている電極ユニット５０の出力を下げて全体の出力を調
整する。For example, when the discharge device 52 is required to have a maximum output close to the maximum output, the output is prioritized over the running cost such as the power price, and the output is high even for the electrode unit 50 which is relatively deteriorated. Continue output operation. Further, in this case, a display device (not shown) is displayed on a display device (not shown) to inform the operator of what item should be subjected to the minimum required maintenance for the electrode unit 50 within what time. When the discharging device 52 is not required to have a high output, the operating condition is changed by the discharging power source 48 or the auxiliary device 49, and the output of the electrode unit 50, which is relatively deteriorated, is lowered to reduce the overall output. Adjust the output of.

【００７４】以上のように第１２実施例によれば、放電
装置５２を、ｎ個の電極ユニット５０のそれぞれの劣化
度合いもしくは運転状況を測定部５１によって測定する
ように構成したので、制御部４７は、その測定結果と放
電装置５２に要求されている出力とを比較して、各電極
ユニット５０の出力を、その劣化度合い若しくは運転状
況に応じて個別に制御することにより、放電装置５２の
全体の出力を最適に調整することができる。As described above, according to the twelfth embodiment, the discharge device 52 is configured to measure the degree of deterioration or the operating condition of each of the n electrode units 50 by the measuring unit 51, and therefore the control unit 47. Compares the measurement result with the output required of the discharge device 52, and individually controls the output of each electrode unit 50 according to the degree of deterioration or the operating condition, whereby the entire discharge device 52 is The output of can be adjusted optimally.

【００７５】尚、第１２実施例においては、ｎ個の電極
ユニット５０は、オゾナイザ１１の電極ユニット７，気
体レーザ装置２４の電極ユニット２１若しくは電気集塵
機４２の電極ユニット３８であっても良い。また、ｎ個
の電極ユニット５０は、上記の異なる放電装置の電極ユ
ニットが混在した構成であっても良い。In the twelfth embodiment, the n electrode units 50 may be the electrode unit 7 of the ozonizer 11, the electrode unit 21 of the gas laser device 24 or the electrode unit 38 of the electrostatic precipitator 42. The n electrode units 50 may have a configuration in which the electrode units of the different discharge devices described above are mixed.

【００７６】[0076]

【発明の効果】本発明は以上説明した通りであるので、
以下の効果を奏する。請求項１乃至４記載の放電装置に
よれば、測定手段は放電用電極間或いは測定用電極と放
電用電極との間の静電容量若しくは電気抵抗を測定す
る。測定手段により測定される静電容量若しくは電気抵
抗は、図３若しくは図１１に示すように、放電ユニット
の稼働時間の経過と共に変化するので、判定手段は、そ
の静電容量若しくは電気抵抗によって、電極ユニットの
劣化度合い若しくは運転状況を自動的に判定することが
できる。Since the present invention is as described above,
The following effects are obtained. According to the discharge device of the first to fourth aspects, the measuring means measures the capacitance or the electric resistance between the discharge electrodes or between the measurement electrode and the discharge electrode. As shown in FIG. 3 or FIG. 11, the capacitance or electric resistance measured by the measuring means changes with the lapse of the operating time of the discharge unit. It is possible to automatically determine the degree of deterioration of the unit or the operating condition.

【００７７】請求項５または６記載の放電装置によれ
ば、測定手段は、投光体が電極ユニットの放電部に投光
した光がその放電部を透過して、または、放電部により
反射されて、受光体によって受光された透過光量または
反射光量を測定する。測定手段により測定される透過光
量または反射光量は、図１６または図１９に示すよう
に、放電ユニットの稼働時間の経過と共に変化するの
で、判定手段は、その透過光量または反射光量によっ
て、電極ユニットの劣化度合い若しくは運転状況を自動
的に判定することができる。According to the discharge device of the fifth or sixth aspect, in the measuring means, the light projected by the light emitter onto the discharge portion of the electrode unit is transmitted through the discharge portion or reflected by the discharge portion. Then, the amount of transmitted light or the amount of reflected light received by the light receiver is measured. As shown in FIG. 16 or FIG. 19, the amount of transmitted light or the amount of reflected light measured by the measuring means changes with the lapse of the operating time of the discharge unit. Therefore, the judging means determines the amount of transmitted light or reflected light of the electrode unit. It is possible to automatically determine the degree of deterioration or the operating status.

【００７８】請求項７記載の放電装置によれば、複数個
備えられた請求項１乃至６の何れかに記載の電極ユニッ
ト及び測定手段により測定された各々の電極ユニットの
劣化度合い若しくは運転状況に応じて、制御手段は、各
電極ユニットの稼働状態を放電装置に要求されている出
力に応じて制御する。According to the seventh aspect of the discharge device, a plurality of electrode units according to any one of the first to sixth aspects and the degree of deterioration or the operating condition of each electrode unit measured by the measuring means are measured. Accordingly, the control means controls the operating state of each electrode unit according to the output required of the discharge device.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図１】本発明の第１実施例を示すオゾナイザの電極ユ
ニットを中心とする構成図FIG. 1 is a configuration diagram centering on an electrode unit of an ozonizer showing a first embodiment of the present invention.

【図２】電気的構成を示す図FIG. 2 is a diagram showing an electrical configuration.

【図３】静電容量の経時変化を示す図FIG. 3 is a diagram showing changes in capacitance with time.

【図４】制御内容のフローチャート[Fig. 4] Flow chart of control contents

【図５】本発明の第２実施例を示す気体レーザ装置の電
極ユニットを中心とする構成図FIG. 5 is a configuration diagram centering on an electrode unit of a gas laser device showing a second embodiment of the present invention.

【図６】電気的構成を示す図FIG. 6 is a diagram showing an electrical configuration.

【図７】本発明の第３実施例を示す図５相当図FIG. 7 is a view corresponding to FIG. 5 showing a third embodiment of the present invention.

【図８】本発明の第４実施例を示す図７相当図FIG. 8 is a diagram corresponding to FIG. 7 showing a fourth embodiment of the present invention.

【図９】本発明の第５実施例を示す図７相当図FIG. 9 is a view corresponding to FIG. 7, showing a fifth embodiment of the present invention.

【図１０】図６相当図FIG. 10 is a view corresponding to FIG.

【図１１】電気抵抗の経時変化を示す図FIG. 11 is a diagram showing changes with time in electric resistance.

【図１２】本発明の第６実施例を示す図５相当図FIG. 12 is a view corresponding to FIG. 5 showing a sixth embodiment of the present invention.

【図１３】本発明の第７実施例を示す図１２相当図FIG. 13 is a view corresponding to FIG. 12 and showing a seventh embodiment of the present invention.

【図１４】本発明の第８実施例を示す図５相当図FIG. 14 is a view corresponding to FIG. 5 showing an eighth embodiment of the present invention.

【図１５】図６相当図FIG. 15 is a view corresponding to FIG.

【図１６】透過光量の経時的変化を示す図FIG. 16 is a diagram showing changes in the amount of transmitted light over time.

【図１７】本発明の第９実施例を示す図１４相当図FIG. 17 is a view corresponding to FIG. 14 showing a ninth embodiment of the present invention.

【図１８】図１５相当図FIG. 18 is a view equivalent to FIG. 15.

【図１９】反射光量の経時的変化を示す図FIG. 19 is a diagram showing changes in the amount of reflected light over time.

【図２０】本発明の第１０実施例を示す電気集塵機の電
極ユニットを中心とする構成図FIG. 20 is a configuration diagram centering on an electrode unit of an electrostatic precipitator showing a tenth embodiment of the present invention.

【図２１】電気的構成を示す図FIG. 21 is a diagram showing an electrical configuration.

【図２２】粒子滞積層の厚さの変化に伴う静電容量の変
化を示す図FIG. 22 is a diagram showing a change in capacitance with a change in thickness of particle-stirred stacking

【図２３】本発明の第１１実施例を示す図２０相当図FIG. 23 is a view corresponding to FIG. 20, showing an eleventh embodiment of the present invention.

【図２４】図２１相当図FIG. 24 is a view corresponding to FIG. 21.

【図２５】本発明の第１２実施例を示す図２相当図FIG. 25 is a view corresponding to FIG. 2 showing a twelfth embodiment of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

３，４，１６，１７，３６及び３７は放電用電極、７，
２１，３８及び５０は電極ユニット、８は静電容量測定
装置（測定手段）、１１はオゾナイザ（放電装置）、
９，２２，３２，３２ａ，４０，４５及び４７は制御部
（判定手段）、１９及び２０は測定用電極、２４，２
８，３３及び３４は気体レーザ装置（放電装置）、２７
は電気抵抗測定装置（測定手段）、２９はＬＥＤ（投光
体）、３０はCdS （受光体）、３１は測定手段、４２及
び４６は電気集塵機（放電装置）、５１は測定部（測定
手段）、５２は放電装置を示す。3, 4, 16, 17, 36 and 37 are discharge electrodes, 7,
21, 38 and 50 are electrode units, 8 is a capacitance measuring device (measuring means), 11 is an ozonizer (discharging device),
9, 22, 32, 32a, 40, 45 and 47 are control units (determining means), 19 and 20 are measuring electrodes, and 24, 2
8, 33 and 34 are gas laser devices (discharge devices), 27
Is an electric resistance measuring device (measuring means), 29 is an LED (light emitting body), 30 is CdS (light receiving body), 31 is measuring means, 42 and 46 are electrostatic precipitators (discharging devices), and 51 is a measuring section (measuring means). ), 52 indicates a discharge device.

Claims (7)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項１】 一対以上の放電用電極を有する電極ユニ
ットと、 前記放電用電極間の静電容量を測定する測定手段と、 この測定手段により測定された静電容量によって、前記
電極ユニットの劣化度合い若しくは運転状況を判定する
判定手段とを具備したことを特徴とする放電装置。1. An electrode unit having a pair of discharge electrodes, measuring means for measuring a capacitance between the discharge electrodes, and deterioration of the electrode unit due to the capacitance measured by the measuring means. A discharge device comprising: a determination unit that determines a degree or an operating condition. 【請求項２】 一対以上の放電用電極を有する電極ユニ
ットと、 前記放電用電極間の電気抵抗を測定する測定手段と、 この測定手段により測定された電気抵抗によって前記電
極ユニットの劣化度合い若しくは運転状況を判定する判
定手段とを具備したことを特徴とする放電装置。2. An electrode unit having a pair of discharge electrodes, measuring means for measuring the electric resistance between the discharge electrodes, and a degree of deterioration or operation of the electrode unit based on the electric resistance measured by the measuring means. A discharge device comprising: a determination unit that determines a situation. 【請求項３】 一対以上の放電用電極を有する電極ユニ
ットと、 この電極ユニットに設けられた１個以上の測定用電極
と、 この測定用電極間若しくは測定用電極と前記放電用電極
との間の静電容量を測定する測定手段と、 この測定手段により測定された静電容量によって、前記
電極ユニットの劣化度合い若しくは運転状況を判定する
判定手段とを具備したことを特徴とする放電装置。3. An electrode unit having a pair of discharge electrodes, one or more measurement electrodes provided on the electrode unit, and between the measurement electrodes or between the measurement electrode and the discharge electrode. A discharge device comprising: a measuring unit that measures the electrostatic capacity of the electrode unit; and a determining unit that determines the degree of deterioration or the operating condition of the electrode unit based on the electrostatic capacity measured by the measuring unit. 【請求項４】 一対以上の放電用電極を有する電極ユニ
ットと、 この電極ユニットに設けられた１個以上の測定用電極
と、 この測定用電極間若しくは測定用電極と前記放電用電極
との間の電気抵抗を測定する測定手段と、 この測定手段により測定された電気抵抗によって、前記
電極ユニットの劣化度合い若しくは運転状況を判定する
判定手段とを具備したことを特徴とする放電装置。4. An electrode unit having a pair of discharge electrodes, one or more measurement electrodes provided on the electrode unit, and between the measurement electrodes or between the measurement electrode and the discharge electrode. A discharge device comprising: a measuring unit that measures the electrical resistance of the electrode unit; and a determining unit that determines the degree of deterioration or the operating condition of the electrode unit based on the electrical resistance measured by the measuring unit. 【請求項５】 一対以上の放電用電極を有する電極ユニ
ットと、 この電極ユニットの放電部に投光する投光体及びその放
電部を透過した光を受光する受光体を有する測定手段
と、 この測定手段により測定された透過光量によって、前記
電極ユニットの劣化度合い若しくは運転状況を判定する
判定手段とを具備したことを特徴とする放電装置。5. A measuring unit having an electrode unit having a pair of discharge electrodes, a light projecting body for projecting light onto a discharge part of the electrode unit, and a light receiving body for receiving light transmitted through the discharge part, A discharge device comprising: a determination unit that determines the degree of deterioration or the operating condition of the electrode unit based on the amount of transmitted light measured by the measurement unit. 【請求項６】 一対以上の放電用電極を有する電極ユニ
ットと、 この電極ユニットの放電部に投光する投光体及びその放
電部から反射された光を受光する受光体を有する測定手
段と、 この測定手段により測定された反射光量によって、前記
電極ユニットの劣化度合い若しくは運転状況を判定する
判定手段とを具備したことを特徴とする放電装置。6. An electrode unit having a pair of discharge electrodes, a measuring means having a light projecting body for projecting light to a discharge part of the electrode unit and a light receiving body for receiving light reflected from the discharge part, A discharge device comprising: a determining unit that determines the degree of deterioration or the operating condition of the electrode unit based on the amount of reflected light measured by the measuring unit. 【請求項７】 請求項１乃至６の何れかに記載の電極ユ
ニット及び測定手段を複数個備え、 各測定手段により測定された各々の電極ユニットの劣化
度合い若しくは運転状況に応じて、各電極ユニットの稼
働状態を制御する制御手段を具備したことを特徴とする
放電装置。7. A plurality of electrode units and measuring means according to any one of claims 1 to 6, each electrode unit depending on the degree of deterioration or operating condition of each electrode unit measured by each measuring means. A discharge device comprising control means for controlling the operating state of the discharge device.