JPH08220200A - Magnetic field sensor - Google Patents
Magnetic field sensorInfo
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- JPH08220200A JPH08220200A JP5210595A JP5210595A JPH08220200A JP H08220200 A JPH08220200 A JP H08220200A JP 5210595 A JP5210595 A JP 5210595A JP 5210595 A JP5210595 A JP 5210595A JP H08220200 A JPH08220200 A JP H08220200A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は磁場センサに関するもの
であり、特に、該磁場センサに対する磁力線の集中作用
を向上させるのに好適な差動式磁場センサに関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a magnetic field sensor, and more particularly to a differential magnetic field sensor suitable for improving the effect of concentrating magnetic force lines on the magnetic field sensor.
【０００２】[0002]
【従来の技術】軸の回転量や移動体の変位量を検出する
ために磁気抵抗素子（ＭＲ素子）やホール素子等の磁電
変換素子が使用される。例えば、図７に示す差動式磁場
センサ１００は、回転状態の検出対象物である歯車３に
対向して配置され、検知素子として一対のホールセンサ
１および２を有している。該ホールセンサ１および２は
ベース４上に配置され、樹脂製パッケージ５で封止され
たホールＩＣ６を形成している。磁石７はホールセンサ
１および２、ならび該ホールセンサ１および２と対向す
る歯車３の一部を包む磁場を形成している。2. Description of the Related Art Magnetoelectric conversion elements such as magnetoresistive elements (MR elements) and Hall elements are used to detect the amount of rotation of a shaft and the amount of displacement of a moving body. For example, the differential magnetic field sensor 100 shown in FIG. 7 is arranged so as to face the gear 3 that is the detection target in the rotating state, and has a pair of Hall sensors 1 and 2 as detection elements. The Hall sensors 1 and 2 are arranged on a base 4 and form a Hall IC 6 sealed with a resin package 5. The magnet 7 forms a magnetic field that encloses the Hall sensors 1 and 2 and a part of the gear 3 that faces the Hall sensors 1 and 2.
【０００３】前記ホールＩＣ６と歯車３との間には、前
記磁場における磁力線をホールＩＣ６に集中させるため
の透磁率の高い鉄系材料からなるピース８が設けられて
いる。さらに、該ピース８の前面つまり歯車側には、同
じく透磁率の高い鉄系材料からなるキャップ９が固定さ
れている。Between the Hall IC 6 and the gear 3, there is provided a piece 8 made of an iron-based material having a high magnetic permeability for concentrating the magnetic force lines in the magnetic field on the Hall IC 6. Further, on the front surface of the piece 8, that is, on the gear side, a cap 9 made of an iron-based material having a high magnetic permeability is fixed.
【０００４】このような構成において、歯車３が矢印Ｄ
の方向に回転すると、その歯先がホールセンサ１，２と
順次近接し、ホールセンサ１，２は、該ホールセンサ
１，２に対する前記歯先の近接程度に応じたレベルの信
号を出力する。一般に、回転体つまり歯車３の回転位置
を判断することができるように、ホールセンサ１，２の
出力差つまり差動出力が最終的なセンサ出力として使用
される。In such a structure, the gear 3 has an arrow D.
When rotated in the direction of, the tooth tips sequentially approach the Hall sensors 1 and 2, and the Hall sensors 1 and 2 output a signal of a level corresponding to the degree of approach of the tooth tips to the Hall sensors 1 and 2. Generally, the output difference of the Hall sensors 1 and 2, that is, the differential output is used as the final sensor output so that the rotational position of the rotating body, that is, the gear 3 can be determined.
【０００５】また、磁力線をより効率的にホールＩＣに
集中させる手段として前記ピース８に代わるものも提案
されている。例えば、実公平３−４７２３６号公報およ
び実開昭５６−４８７７号公報に記載された磁気近接ス
イッチや磁気検出装置では、凸部を有する集磁部品を、
該凸部がホールＩＣまたは磁気検出器に対向するように
配置している。すなわち、集磁部品の凸部をホールＩＣ
等に対応させることによって、該ホールＩＣに対する磁
力線集中の効率の向上を図っている。Further, as a means for concentrating the magnetic force lines in the Hall IC more efficiently, a substitute for the piece 8 has been proposed. For example, in the magnetic proximity switch and the magnetic detection device described in Japanese Utility Model Publication No. 3-47236 and Japanese Utility Model Publication No. 56-4877, a magnetism collecting component having a convex portion is used.
The convex portion is arranged so as to face the Hall IC or the magnetic detector. That is, the convex portion of the magnetism collecting component is connected to the Hall IC.
In order to improve the efficiency of the concentration of magnetic force lines on the Hall IC, the efficiency of magnetic field concentration is improved.
【０００６】[0006]
【発明が解決しようとする課題】上記磁気スイッチ等に
は、次のような問題点があった。前記磁力線集中のため
の集磁部品の凸部はホールＩＣ全体をカバーするほどの
寸法となっている。したがって、ワンチップの中に２つ
のホールセンサを小さい間隔で配置して図７に示したよ
うなホールＩＣを構成しているような場合に、磁力線を
各ホールセンサのそれぞれに正確に集中させることがで
きない。そのために、結果的には、前記公報に記載され
た集磁部品によっても、図７に記載した凸部を有してい
ないピース８と同程度の磁力線集中効果しか得られない
という問題点があった。The above magnetic switch and the like have the following problems. The convex portion of the magnetic flux collecting component for concentrating the lines of magnetic force has a size enough to cover the entire Hall IC. Therefore, when two Hall sensors are arranged at a small interval in one chip to form a Hall IC as shown in FIG. 7, the magnetic force lines are accurately concentrated on each Hall sensor. I can't. Therefore, as a result, there is a problem in that even the magnetism collecting component described in the above publication can obtain only a magnetic line concentration effect comparable to that of the piece 8 having no convex portion shown in FIG. It was
【０００７】また、仮に、ホールセンサの間隔に合わせ
て寸法の小さい微細な凸部を２つ有する集磁部品を製作
したとしても、上記公報に記載された磁気近接スイッチ
等においては、該集磁部品はホールＩＣと別部品である
ため、それぞれの凸部を各ホールセンサに正確に対向さ
せて組立てることは極めて困難である。特に、ホールＩ
Ｃの面内でのＸ−Ｙ方向のみでなく、面内での回転方向
つまりθ方向の位置合わせも行わなければならないとい
う困難さがある。Further, even if a magnetism collecting component having two minute convex portions having a small size is manufactured in accordance with the space between the Hall sensors, the magnetism collecting magnetism in the magnetic proximity switch and the like described in the above publication. Since the component is a component different from the Hall IC, it is extremely difficult to assemble the respective convex portions accurately facing the respective Hall sensors. Especially Hall I
There is a difficulty that not only the X-Y direction in the plane of C but also the rotational direction in the plane, that is, the θ direction must be aligned.
【０００８】前記凸部とホールセンサとが正確に対向せ
ず、組立て誤差によってずれが生じると、磁力線が所望
の位置に集束されず、反ってホールセンサ上での磁力が
低下するという問題点がある。If the convex portion and the Hall sensor do not accurately face each other and a deviation occurs due to an assembly error, the lines of magnetic force are not focused at a desired position, and the magnetic force on the Hall sensor decreases, which is a problem. is there.
【０００９】本発明は、上記の課題を解決するためにな
されたものであり、その目的は、ホールセンサに確実に
磁力線を集中させることができ、かつ組立ての容易な磁
場センサを提供することにある。The present invention has been made to solve the above problems, and an object of the present invention is to provide a magnetic field sensor that can reliably concentrate magnetic force lines on a Hall sensor and is easy to assemble. is there.
【００１０】[0010]
【課題を解決するための手段】上記の課題を解決し、目
的を達成するための本発明は、磁電変換素子と、該磁電
変換素子を内部に封止した非磁性材料からなるパッケー
ジとを具備し、前記パッケージの表面には、該磁電変換
素子を動作させる磁場強度を増大させる集磁部材を嵌合
するため、前記磁電変換素子の配置位置に対応させて凹
部を形成した点に第１の特徴がある。また、本発明は、
前記パッケージに形成された凹部に対応する凸部を有
し、前記パッケージに密着配置された集磁部材を具備し
た点に第２の特徴がある。The present invention for solving the above problems and achieving the object includes a magnetoelectric conversion element and a package made of a nonmagnetic material in which the magnetoelectric conversion element is sealed. Then, in order to fit a magnetism collecting member for increasing the magnetic field strength for operating the magnetoelectric conversion element on the surface of the package, the first point is that a concave portion is formed corresponding to the arrangement position of the magnetoelectric conversion element. There are features. Also, the present invention
A second feature is that the magnetic flux collecting member has a convex portion corresponding to the concave portion formed in the package and is closely attached to the package.
【００１１】さらに、本発明は、前記磁電変換素子を動
作させる磁場を形成するための磁石を設けた点に第３の
特徴があり、前記パッケージ内に磁電変換素子が複数個
封止された点に第４の特徴がある。Further, the present invention has a third feature in that a magnet for forming a magnetic field for operating the magnetoelectric conversion element is provided, and a plurality of magnetoelectric conversion elements are sealed in the package. Has a fourth characteristic.
【００１２】[0012]
【作用】第１の特徴を有する本発明によれば、磁電変換
素子に作用する磁場強度を増大させるための集磁部材
を、磁電変換素子を内部に封止したパッケージに設けら
れた凹部に嵌合することができる。また、第２および第
３の特徴を有する本発明によれば、磁電変換素子に作用
する磁場強度を増大させるための集磁部材の凸部が、パ
ッケージに設けられた凹部に嵌合されている。したがっ
て、第１ないし第４の特徴を有する本発明によれば、集
磁部材の凸部をパッケージの凹部に嵌合させられるの
で、該凹部と対応する位置にある磁電変換素子に確実に
磁力線が集中される。According to the present invention having the first characteristic, the magnetism collecting member for increasing the magnetic field strength acting on the magnetoelectric conversion element is fitted into the recess provided in the package in which the magnetoelectric conversion element is sealed. Can be combined. Further, according to the present invention having the second and third features, the convex portion of the magnetism collecting member for increasing the magnetic field strength acting on the magnetoelectric conversion element is fitted into the concave portion provided in the package. . Therefore, according to the present invention having the first to fourth features, since the convex portion of the magnetism collecting member can be fitted into the concave portion of the package, the magnetic field lines can be surely applied to the magnetoelectric conversion element at the position corresponding to the concave portion. Be concentrated.
【００１３】さらに、第３の特徴を有する本発明では、
磁石によって磁電変換素子に対するバイアス磁界が形成
されるので、被検出体に設けられた磁石によって動作す
るセンサおよび磁性体の接近によって動作するセンサに
おいても、磁電変換素子に対して磁力線を確実に集中さ
せることができる。また、第４の特徴によれば、複数個
の磁電変換素子により差動出力を得る場合にも、各磁電
変換素子に対して磁力線を確実に集中させることができ
る。Further, according to the present invention having the third characteristic,
Since the magnet forms a bias magnetic field with respect to the magnetoelectric conversion element, even in the sensor operated by the magnet provided on the object to be detected and the sensor operated by the approach of the magnetic material, the magnetic force lines are reliably concentrated on the magnetoelectric conversion element. be able to. Further, according to the fourth feature, even when a differential output is obtained by a plurality of magnetoelectric conversion elements, the magnetic force lines can be reliably concentrated on each magnetoelectric conversion element.
【００１４】[0014]
【実施例】以下、図面を参照して本発明を詳細に説明す
る。図１は本発明に係る差動式磁場センサの正面断面
図、図２は同側面断面図であり、図７と同符号は同一ま
たは同等部分を示す。図１および図２において、ホール
ＩＣ６、磁石７、ピース８およびキャップ９は接着剤ま
たはねじ止め等、適宜の固着手段によって一体化されて
いる。ホールＩＣ６はエポキシ樹脂やシリカ等非磁性材
料からなるパッケージ５およびその中に封止されたホー
ルセンサ１，２からなり、かつ、該ホールセンサ１，２
はベースつまりリードフレーム４上の予定位置に位置決
めして接着（ボンディング）されている。パッケージ５
には、前記ホールセンサ１，２の位置にその頂部を対応
させた凹部５１および５２が形成されている。一方、ピ
ース８には、前記パッケージ４の凹部５１，５２と一致
する凸部（図面の繁雑回避のため符号は付与していな
い）が形成されている。なお、ピース８およびキャップ
９は高透磁性の鉄系材料で製作される。前記パッケージ
５を成型する金型には、前記凹部５１，５２に対応する
形状の凸部を設けておき、ホールセンサ１，２を樹脂で
封止する際に、該樹脂封止用の金型によって凹部５１，
５２を形成する。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The present invention will be described in detail below with reference to the drawings. 1 is a front sectional view of a differential magnetic field sensor according to the present invention, FIG. 2 is a side sectional view of the same, and the same reference numerals as those in FIG. 7 denote the same or equivalent portions. 1 and 2, the Hall IC 6, the magnet 7, the piece 8 and the cap 9 are integrated by an appropriate fixing means such as an adhesive or a screw. The Hall IC 6 comprises a package 5 made of a non-magnetic material such as epoxy resin or silica, and Hall sensors 1 and 2 sealed in the package 5, and the Hall sensors 1 and 2 are also provided.
Is positioned and bonded (bonded) at a predetermined position on the base, that is, the lead frame 4. Package 5
In this case, concave portions 51 and 52 are formed with their tops corresponding to the positions of the Hall sensors 1 and 2. On the other hand, the piece 8 is formed with a convex portion (the reference numeral is not given in order to avoid complexity of the drawing) that coincides with the concave portion 51, 52 of the package 4. The piece 8 and the cap 9 are made of a highly magnetic iron-based material. A mold for molding the package 5 is provided with a protrusion having a shape corresponding to the recesses 51 and 52, and when the Hall sensors 1 and 2 are sealed with resin, the resin sealing mold is used. By the recess 51,
52 is formed.
【００１５】ＩＣ製造の分野では、例えば１００μｍ四
方のＩＣのパッドとリードフレーム上の端子とを自動的
にワイヤボンディングで接続する等の必要性から、ＩＣ
とリードフレームとの位置精度は高いことが知られてい
る。一般に、１つのパッド分すなわち１００μｍ以内の
位置精度を維持することは可能である。このような技術
背景から、ホールセンサ１，２とリードフレーム４との
位置関係を前記精度に維持することは容易である。した
がって、このリードフレーム４を金型との位置関係を固
定して前記エポキシ樹脂等を注入することにより、パッ
ケージ５内でのホールセンサ１，２の位置を精度良く維
持することができる。In the field of IC manufacturing, for example, it is necessary to automatically connect a pad of a 100 μm square IC and a terminal on a lead frame by wire bonding.
It is known that the positional accuracy between the lead frame and the lead frame is high. Generally, it is possible to maintain the positional accuracy within one pad, that is, within 100 μm. From such a technical background, it is easy to maintain the positional relationship between the Hall sensors 1 and 2 and the lead frame 4 with the above-mentioned accuracy. Therefore, by fixing the positional relationship between the lead frame 4 and the mold and injecting the epoxy resin or the like, the positions of the Hall sensors 1 and 2 in the package 5 can be accurately maintained.
【００１６】上記差動式磁場センサによる磁場の集中の
様子を従来のセンサと比較して説明する。図３（ａ）は
従来のセンサによる磁力線の分布を示す模式図であり、
図３（ｂ）は本実施例に係るセンサによる磁力線の分布
を示す模式図である。この模式図にみられるように、本
実施例のセンサではホールセンサ１（２）に磁力線１０
を集中させることができる。The state of concentration of the magnetic field by the differential magnetic field sensor will be described in comparison with a conventional sensor. FIG. 3A is a schematic diagram showing the distribution of magnetic force lines by a conventional sensor,
FIG. 3B is a schematic diagram showing the distribution of lines of magnetic force by the sensor according to this embodiment. As can be seen from this schematic diagram, in the sensor of this embodiment, the Hall sensor 1 (2) has a magnetic field line 10
Can be concentrated.
【００１７】磁場シミュレーションにより効果を計算し
たところ、ピースに凸部がない従来のセンサと比較して
ホールセンサ１（２）の位置で１０％程度の磁場強度の
向上することがわかった。但し、凹部５１，５２の深さ
を０．５ｍｍ、ピース８の厚さは２．０ｍｍ（凸部は除
く）とし、ピース８は透磁率μ0 ＝２００〜３００の鉄
とする。When the effect was calculated by the magnetic field simulation, it was found that the magnetic field strength was improved by about 10% at the position of the Hall sensor 1 (2) as compared with the conventional sensor having no convex portion on the piece. However, the depth of the concave portions 51 and 52 is 0.5 mm, the thickness of the piece 8 is 2.0 mm (excluding the convex portion), and the piece 8 is made of iron having a magnetic permeability μ 0 = 200 to 300.
【００１８】次に、本発明の第２実施例を説明する。図
４は第２実施例を示す差動式磁場センサの要部断面図で
ある。図示のように、この第２実施例では前記ピース８
を省き、パッケージ５の凹部５１，５２と一致する凸部
をキャップ９に形成した。なお、キャップ９の厚さを前
記ピース８を合わせた厚さと同じにすれば図１に示した
ものと同一程度の磁力線の集中を図ることができる。ま
た、このようにピース８を省くことによって当該差動式
磁場センサの組立て工程を簡素化できる。Next, a second embodiment of the present invention will be described. FIG. 4 is a sectional view of the essential parts of the differential magnetic field sensor showing the second embodiment. As shown, in this second embodiment, the piece 8
Omitting the above, a convex portion corresponding to the concave portions 51 and 52 of the package 5 is formed on the cap 9. If the thickness of the cap 9 is the same as the total thickness of the pieces 8, the magnetic field lines can be concentrated to the same extent as shown in FIG. Further, by omitting the piece 8 in this way, the assembly process of the differential magnetic field sensor can be simplified.
【００１９】以上の説明のように、本実施例によれば、
２つのホールセンサ１，２に磁力線を確実に集中させて
磁場強度を向上させることができるので、次のような不
具合を解消することができる。粉塵等による空気汚染の
激しい環境で磁場センサが使用された場合、キャップ９
に鉄粉が付着してホールセンサ１，２の出力信号レベル
が変化することがある。例えば、キャップ９の、ホール
センサ１側に鉄粉が付着すると図５のような出力波形と
なることがある。同図において、縦軸がホールセンサ
１，２の出力信号であり、横軸は時間軸である。図示の
ように、鉄粉の付着がないときのホールセンサ１の出力
信号Ａに比較して、鉄粉が付着したときのホールセンサ
１の出力信号Ｃは上方にオフセットしている。その結
果、該信号Ｃとホールセンサ２の出力信号Ｂとは交差し
なくなる。As described above, according to this embodiment,
Since it is possible to reliably concentrate the magnetic force lines on the two Hall sensors 1 and 2 and improve the magnetic field strength, the following problems can be solved. If the magnetic field sensor is used in an environment where air pollution due to dust or the like is severe, the cap 9
Iron powder may adhere to the and the output signal levels of the Hall sensors 1 and 2 may change. For example, if iron powder adheres to the Hall sensor 1 side of the cap 9, the output waveform may be as shown in FIG. In the figure, the vertical axis is the output signals of the Hall sensors 1 and 2, and the horizontal axis is the time axis. As shown in the figure, the output signal C of the Hall sensor 1 when the iron powder is attached is offset upward compared to the output signal A of the Hall sensor 1 when the iron powder is not attached. As a result, the signal C and the output signal B of the Hall sensor 2 do not cross each other.
【００２０】差動式磁場センサは、例えば２つのホール
センサの出力差が正負に反転することによって、その反
転タイミングで歯車の回転等の被検出体の状態を検出す
る場合に使用される。したがって、信号ＣとＢとが交差
しない場合には所望の反転出力が得られないこととな
る。The differential magnetic field sensor is used, for example, when the output difference between the two Hall sensors is inverted between positive and negative, thereby detecting the state of the detected object such as the rotation of the gear at the inversion timing. Therefore, if the signals C and B do not intersect, the desired inverted output cannot be obtained.
【００２１】このような事態が発生しても、本実施例の
差動式磁場センサによれば、磁場強度を高くできるた
め、出力信号Ａ，Ｂの振幅が大きくなる。したがって、
鉄粉が付着することがあってもその付着量が少ない場合
は、オフセットした出力信号Ｃと信号Ｂとが交差して差
動出力の正負反転が生じ、所望の検出出力が得られる。
すなわち、付着した鉄粉の厚さをＴ１とし、ピース８ま
たはキャップ９の凸部の高さをＴ２とした場合、鉄粉の
付着による磁場強度変化の影響をＴ１／（Ｔ１＋Ｔ２）
に減少させることができる。図６は、全体に出力信号レ
ベルが上昇して鉄粉の付着による影響が低減した例を示
すホールセンサの出力波形図である。Even if such a situation occurs, the differential magnetic field sensor according to the present embodiment can increase the magnetic field strength, so that the amplitudes of the output signals A and B become large. Therefore,
Even if iron powder is attached, if the attached amount is small, the offset output signal C and the signal B intersect and the positive and negative inversion of the differential output occurs, so that a desired detection output is obtained.
That is, when the thickness of the iron powder adhered is T1 and the height of the convex portion of the piece 8 or the cap 9 is T2, the influence of the change in the magnetic field strength due to the adhesion of the iron powder is T1 / (T1 + T2).
Can be reduced to FIG. 6 is an output waveform diagram of the hall sensor showing an example in which the output signal level is raised as a whole and the influence of the adhesion of iron powder is reduced.
【００２２】なお、本実施例では一対のホールセンサを
設けた差動式磁場センサについて説明したが、単一のホ
ールセンサを封止したセンサであっても同様の効果は得
られる。また、必ずしも磁石７が設けられたものに限ら
ず、被検出物体に設けられた磁石等の磁場で動作するホ
ールセンサを封止した磁場センサにも本発明は適用でき
る。Although the differential magnetic field sensor provided with the pair of Hall sensors has been described in the present embodiment, the same effect can be obtained even if the sensor has a single Hall sensor sealed therein. Further, the present invention is not limited to the one provided with the magnet 7, and the present invention can be applied to a magnetic field sensor in which a Hall sensor that operates with a magnetic field such as a magnet provided in an object to be detected is sealed.
【００２３】[0023]
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、請求項
１ないし請求項４の発明によれば、集磁部材の凸部と磁
電変換素子を内部に封止したパッケージの凹部を嵌合さ
せられるので、前記凸部と凹部つまり磁電変換素子の位
置とを容易に符合させて組立てることができる。その結
果、組立てが容易になるとともに、前記集磁部材の凸部
に集中した磁力線を磁電変換素子に確実に作用させるこ
とができる。As is apparent from the above description, according to the inventions of claims 1 to 4, the convex part of the magnetism collecting member and the concave part of the package in which the magnetoelectric conversion element is sealed are fitted. Therefore, the convex portion and the concave portion, that is, the position of the magnetoelectric conversion element can be easily matched and assembled. As a result, the assembling becomes easy, and the magnetic force lines concentrated on the convex portion of the magnetism collecting member can be surely applied to the magnetoelectric conversion element.
【００２４】また、請求項３の発明によれば、磁性体か
らなる被検出体を対象とするセンサにおいて、集磁部材
の凸部に集中した磁力線を磁電変換素子に確実に作用さ
せることができる。According to the third aspect of the invention, in the sensor intended for the object to be detected made of a magnetic material, the magnetic force lines concentrated on the convex portion of the magnetism collecting member can be surely applied to the magnetoelectric conversion element. .
【００２５】さらに、請求項４の本発明では、複数個の
磁電変換素子により差動出力を得るセンサにおいても、
各磁電変換素子に対して磁力線を確実に集中させること
ができる。Further, according to the present invention of claim 4, even in a sensor for obtaining a differential output by a plurality of magnetoelectric conversion elements,
The magnetic force lines can be reliably concentrated on each magnetoelectric conversion element.
【図１】 本発明に係る磁場センサの正面断面図であ
る。FIG. 1 is a front sectional view of a magnetic field sensor according to the present invention.
【図２】 本発明に係る磁場センサの側面断面図であ
る。FIG. 2 is a side sectional view of a magnetic field sensor according to the present invention.
【図３】 磁力線の集中の様子を示す模式図である。FIG. 3 is a schematic diagram showing how magnetic lines of force are concentrated.
【図４】 本発明の第２実施例に係る磁場センサの正面
断面図である。FIG. 4 is a front sectional view of a magnetic field sensor according to a second embodiment of the present invention.
【図５】 従来のセンサによる出力波形図である。FIG. 5 is an output waveform diagram of a conventional sensor.
【図６】 本発明のセンサによる出力波形図である。FIG. 6 is an output waveform diagram of the sensor of the present invention.
【図７】 従来の磁場センサおよびその使用態様を示す
断面図である。FIG. 7 is a cross-sectional view showing a conventional magnetic field sensor and a usage mode thereof.
１，２…ホールセンサ、 ４…リードフレーム、 ５…
パッケージ、 ６…ホールＩＣ、 ７…磁石、 ８…ピ
ース、 ９…キャップ、 １０…磁力線、 ５１，５２
…凹部1, 2 ... Hall sensor, 4 ... Lead frame, 5 ...
Package, 6 ... Hall IC, 7 ... Magnet, 8 ... Piece, 9 ... Cap, 10 ... Magnetic field line, 51, 52
… Recessed
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 青柳 勝典 宮城県角田市佐倉字宮谷地３番地 株式会 社ハドシス内 (72)発明者 木村 巧 宮城県角田市佐倉字宮谷地３番地 株式会 社ハドシス内 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Inventor Katsunori Aoyagi 3 Miyamiya, Sakura, Kakuda City, Miyagi Prefecture, Hadsis Co., Ltd. Within
Claims (4)
ッケージとを具備し、前記パッケージの表面には、該磁
電変換素子を動作させる磁場強度を増大させる集磁部材
を嵌合するための凹部を、前記磁電変換素子の配置位置
に対応させて形成したことを特徴とする磁場センサ。1. A magnetoelectric conversion element and a package made of a non-magnetic material in which the magnetoelectric conversion element is sealed. A magnetic field strength for operating the magnetoelectric conversion element is increased on the surface of the package. A magnetic field sensor characterized in that a recess for fitting a magnetism collecting member is formed in correspondence with an arrangement position of the magnetoelectric conversion element.
変換素子の配置位置に対応させて凹部を形成した非磁性
材料からなるパッケージと、 前記パッケージの凹部に対応する凸部を有し、該パッケ
ージに密着して配置された高透磁性材料からなる集磁部
材とを具備したことを特徴とする磁場センサ。2. A magnetic-electric conversion element, a package made of a non-magnetic material in which the magnetic-electric conversion element is sealed inside, and a concave portion is formed on the surface thereof so as to correspond to the arrangement position of the magnetic-electric conversion element, and the package. And a magnetic flux collecting member made of a highly magnetically permeable material and disposed in close contact with the package.
成するための磁石を設けたことを特徴とする請求項２記
載の磁場センサ。3. The magnetic field sensor according to claim 2, further comprising a magnet for forming a magnetic field for operating the magnetoelectric conversion element.
止されたことを特徴とする請求項１ないし３のいずれか
に記載の磁場センサ。4. The magnetic field sensor according to claim 1, wherein a plurality of magnetoelectric conversion elements are sealed in the package.
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