JPH08220023A - Foreign-matter inspecting device - Google Patents

Abstract

PURPOSE: To obtain the foreign-matter inspecting device, which can inspect minute foreign matters over the entire plastic flow passage without any stagnation of molten resin in the plastic passage. CONSTITUTION: The laser light is projected on a plastic container in the the perpendiculary intersecting direction from a light projector 8, which condenses the laser light reflected from a polyhedron mirror into a telecentric lens and forms the parallel beam. The laser light transmitted through a plastic passage is received with a light receiving device 9, and the foreign matter mixed into the plastic passage is inspected in this foreign-matter inspecting device.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【０００１】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、例えば２００ＫＶ、５
００ＫＶといった超高電圧の電流が流れる電力ケーブル
の導体に合成樹脂などよりなる絶縁体を加熱・加圧し
て、溶融状態にして被覆する際、電力ケーブルの導体に
被覆する直前で該絶縁体に異物が混入していないかどう
かを検査する異物検査装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION The present invention is, for example, 200 KV, 5
When an insulator made of synthetic resin or the like is heated and pressed to cover the conductor of a power cable in which a current of ultra-high voltage such as 00 KV flows, in a molten state and coated, a foreign substance is applied to the insulator immediately before coating the conductor of the power cable. The present invention relates to a foreign matter inspection device that inspects whether or not foreign matter is mixed.

【０００２】[0002]

【従来の技術】通常、電力ケーブルは導体を中心にして
その周囲を絶縁体で被覆して、遮蔽層とし、該遮蔽層の
外側周囲をシースで被覆している。そして、上記絶縁体
の材質として一般的にはポリエチレン樹脂・塩化ビニー
ル樹脂などの合成樹脂が使用されており、該合成樹脂を
押出機で加熱・加圧して溶融状態にして押し出し、通常
上方から下方に走行してくる導体の周囲に所定の肉厚で
均一に被覆している。ところが、導体を被覆した絶縁体
に異物、例えば金属片などの異物が混入していると、該
異物を介して導体を流れる電流が漏電したり、あるいは
絶縁体を被覆している遮蔽層やシースに損傷が生じ、そ
の損傷個所から侵入した雨水や薬液などが絶縁体に混入
している異物に影響を与えて絶縁体が劣化し、導体が大
気に直接曝されてケーブルの絶縁破壊事故に発展する可
能性があるので、とりわけ超高電圧の電流が通電するよ
うな電力ケーブルについては細心の注意を払って導体に
絶縁体を被覆しなければならない。したがってこれらの
事故を未然に防ぐために、現実に稼働している電力ケー
ブルに異常があるかどうかを通電しながら事前に検知す
る活線診断技術が開発され既に実用に供されている。一
方、電力ケーブルを製造する段階で、絶縁体に異物が混
入しているかどうかを検査する方法・技術についてもい
ろいろ検討されている。例えば、絶縁体の原料となる合
成樹脂を押出機に投入する前に該合成樹脂内に異物が混
入しているかどうかをチェックする方法、外界の塵埃が
混入しないように合成樹脂のペレットを押出機への投
入、導体の被覆などの作業をクリーンルームで行なった
り、あるいは事前に合成樹脂のシートあるいはフィルム
などの試験片をつくって異物検査をしたり、また押出機
のノズル先端にスクリーンを付設して異物混入を防御す
る方法などがある。一方、特開平３−２８４９２７号公
報には、加熱して溶融状態となった絶縁体に混入された
異物を検査する装置が提案されている。すなわち、透光
部が設けられたアダプターを押出機先端に接続し、アダ
プター内のプラスチック流路の断面形状を長方形とし、
該プラスチック流路のほぼ中央で集光するようにレーザ
光を走査して異物を検査するものである。2. Description of the Related Art In general, a power cable has a conductor as a center and its periphery is covered with an insulator to form a shield layer, and the outer periphery of the shield layer is covered with a sheath. In general, synthetic resin such as polyethylene resin and vinyl chloride resin is used as the material of the insulator, and the synthetic resin is extruded in a molten state by heating and pressurizing the synthetic resin, and is usually extruded from above. The conductor running around is uniformly coated with a predetermined thickness. However, if a foreign substance, such as a metal piece, is mixed in the insulator covering the conductor, a current flowing through the conductor leaks through the foreign substance, or a shield layer or a sheath covering the insulator. Damage, and rainwater and chemicals that entered from the damaged part affect foreign substances mixed in the insulator and deteriorate the insulator, and the conductor is directly exposed to the atmosphere, resulting in a cable dielectric breakdown accident Therefore, the conductor must be coated with insulation with great care, especially for power cables carrying very high voltage currents. Therefore, in order to prevent these accidents, a live line diagnosis technique has been developed and already put into practical use, which detects in advance whether or not there is an abnormality in the power cable that is actually operating while energizing. On the other hand, various methods and techniques for inspecting whether or not foreign matter is mixed in the insulator at the stage of manufacturing a power cable are being studied. For example, a method of checking whether or not foreign matter is mixed in the synthetic resin before the synthetic resin, which is a raw material of the insulator, is introduced into the extruder. Putting it in a clean room, or conducting work such as coating the conductor in a clean room, or making a test piece such as a synthetic resin sheet or film in advance for foreign matter inspection, or attaching a screen to the tip of the extruder nozzle. There are methods to prevent foreign matter from entering. On the other hand, Japanese Unexamined Patent Publication No. 3-284927 proposes a device for inspecting foreign matter mixed in an insulator that is heated to a molten state. That is, an adapter provided with a translucent part is connected to the tip of the extruder, and the cross-sectional shape of the plastic flow path in the adapter is rectangular,
The foreign matter is inspected by scanning the laser light so that the light is focused almost at the center of the plastic flow path.

【０００３】[0003]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記し
た電力ケーブルの活線診断技術は既に絶縁体が被覆され
て現実に通電中の電力ケーブルの異常をケーブルに電流
が流れている電線の状態で検査するものであって、導体
に被覆する絶縁体中の異物を事前に検査するという問題
の解決にはならない。また、プラスチックのペレット内
の異物を検査するとか、あるいは該プラスチックでフィ
ルムなどの試験片を製作して該フィルムに混入している
異物を検査するのはあくまでもサンプリング的検査にす
ぎず全量検査にはなっていない。押出機のノズル先端に
スクリーンを付設してもメッシュ状のスクリーンを通過
するような細少な異物は捕まえることができないし、ス
クリーンを付設すると樹脂圧を上げなければならないの
でスクリーンが破れるといった恐れも生じる。また当然
ながら定期的にスクリーンを洗浄するといった煩瑣な作
業が伴う。一方、特開平３−２８４９２７号公報記載の
検査装置は、断面が長方形状である透光部のプラスチッ
ク流路の相対する平行内壁の一方から照射したレーザ光
を他方で受光する構造になっているので、屈折率の関係
で、レーザ光はプラスチック流路の隅部を流れるプラス
チックを走査できず、またレーザ光はプラスチック流路
のほぼ中央で集光するように走査されているので、プラ
スチック流路の隅部に焦点が合わず、隅部の細少な異物
は検査されにくい。そのうえプラスチック流路は、その
断面が円形状から長方形状へ、長方形状から円形状へと
変わり、透光部で断面が長方形状に絞り込まれているの
で、プラスチックの流量が減少して導体を被覆する加工
速度が落ち、またプラスチック流路の隅部に溶融した樹
脂が滞留しやすく、滞留した樹脂の劣化を招くといった
問題点がある。そこで本発明は上記問題点に鑑みてなさ
れたものであって、プラスチック流路全域において、細
少な異物を検査することができ、プラスチック流路内に
は溶融した樹脂が一切滞留しない異物検査装置をうるこ
とを目的とするものである。However, the above-mentioned technique for diagnosing a live line of a power cable is used to inspect an abnormality of the power cable which is actually energized because the insulator is already covered, in the state of the electric wire in which a current is flowing through the cable. However, this does not solve the problem of inspecting foreign matter in the insulator covering the conductor in advance. In addition, it is only a sampling inspection to inspect foreign substances in the pellets of plastic, or to inspect foreign substances mixed in the film by making a test piece such as a film with the plastic, and it is not necessary to inspect the whole amount. is not. Even if a screen is attached to the tip of the extruder nozzle, it is not possible to catch minute foreign substances that pass through the mesh screen, and if a screen is attached, the resin pressure must be increased and the screen may be broken. . In addition, of course, a complicated work of regularly cleaning the screen is required. On the other hand, the inspection apparatus described in Japanese Patent Laid-Open No. 3-284927 has a structure in which the laser light emitted from one of the parallel inner walls of the plastic flow path of the light-transmitting portion having a rectangular cross section is received by the other. Therefore, because of the refractive index, the laser light cannot scan the plastic flowing in the corners of the plastic flow path, and the laser light is scanned so as to focus at the center of the plastic flow path. The focus is not on the corners and it is difficult to inspect small foreign objects in the corners. In addition, the plastic flow path changes its cross section from circular to rectangular, and from rectangular to circular, and the cross section is narrowed to a rectangular shape at the light-transmitting part, so the plastic flow rate is reduced and the conductor is covered. However, there is a problem that the processing speed is lowered, and the melted resin is likely to stay in the corner of the plastic flow path, which causes deterioration of the stayed resin. Therefore, the present invention has been made in view of the above problems, and a foreign matter inspection apparatus capable of inspecting minute foreign matter in the entire plastic flow channel and in which no molten resin remains in the plastic flow channel. It is intended for the purpose of hearing.

【０００４】[0004]

【課題を解決するための手段】本発明は以上の目的を達
成するために、次のような異物検査装置を提供するもの
である。すなわち、流体が流れる流路を内部に有する円
筒状の透明なリングと、該リングにレーザ光を平行光束
となして走査せしめる投光器と、上記リングを間に挟ん
で投光器と対応する上記レーザ光を受像する受光器とか
らなることを特徴とする異物検査装置である。また、上
記発明において、回転する多面体回転ミラーにレーザ光
を投入し、テレセントリックレンズを経て、平行に走査
せしめる異物検査装置である。In order to achieve the above object, the present invention provides the following foreign matter inspection apparatus. That is, a cylindrical transparent ring having a flow path through which a fluid flows, a light projector for scanning the laser light into a parallel light flux on the ring, and a laser light corresponding to the light emitter with the ring sandwiched therebetween. A foreign matter inspection apparatus comprising a light receiver for receiving an image. Further, in the above invention, it is the foreign matter inspection apparatus in which laser light is applied to a rotating polyhedral rotating mirror, and is made to scan in parallel through a telecentric lens.

【０００５】[0005]

【作用】円筒形状のガラスリングを配管と接続せしめ
て、プラスチック流路となし、多面体ミラーに反射した
レーザ光をテレセントリックレンズに集光して平行ビー
ムとする投光器からレーザ光を上記プラスチック流路に
直交方向から照射し、該プラスチック流路を透過したレ
ーザ光を受光器で受像してプラスチック内に混入した異
物を検査するものである。[Function] A cylindrical glass ring is connected to a pipe to form a plastic flow path, and the laser light reflected by the polyhedral mirror is focused on a telecentric lens to form a parallel beam. The laser light emitted from the orthogonal direction and transmitted through the plastic flow path is received by a light receiver to inspect foreign matter mixed in the plastic.

【０００６】[0006]

【実施例】本発明になる異物検査装置の実施例を図面に
基づいて説明する。図１は本装置の全体概略図であっ
て、（１）はその後端が押出機（図示せず）のノズルに
接続する配管で、該配管内を溶融した合成樹脂が流れて
いる。配管（１）の先端はフランジ（２）を介して円筒
状のガラスリング（３）と接続し、該ガラスリング
（３）の他端はフランジ（４）を介して配管（５）と接
続し、該配管（５）はその先端でクロスヘッド（６）と
直交方向に接続している。（７）はクロスヘッド（６）
を上方から下方へ走行する導体である。上記した円筒形
状のガラスリング（３）は光透過度が高く、耐熱・耐圧
にすぐれた均質な材質より製作加工されており、その外
周面と内周面の仕上げは高級レンズと同程度の精度で研
摩されている。（８）はレーザ光の投光器で、ガラスリ
ング（３）に直交方向から平行ビーム（１５）を下から
上へ走査し、ガラスリング（３）を透過したレーザ光は
投光器（８）に対応する受光器（９）で受像するもので
ある。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of a foreign matter inspection device according to the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is an overall schematic view of the present apparatus, in which (1) is a pipe whose rear end is connected to a nozzle of an extruder (not shown) in which molten synthetic resin flows. The tip of the pipe (1) is connected to the cylindrical glass ring (3) via the flange (2), and the other end of the glass ring (3) is connected to the pipe (5) via the flange (4). The pipe (5) is connected at its tip in a direction orthogonal to the crosshead (6). (7) is a crosshead (6)
Is a conductor that travels from above to below. The above-mentioned cylindrical glass ring (3) is manufactured and processed from a homogeneous material with high light transmittance and excellent heat resistance and pressure resistance, and its outer and inner peripheral surfaces are finished with the same accuracy as high-grade lenses. Has been polished in. A laser beam projector (8) scans the glass ring (3) with a parallel beam (15) from the direction orthogonal to the glass ring (3), and the laser beam transmitted through the glass ring (3) corresponds to the projector (8). The light is received by the light receiver (9).

【０００７】図２は投光器（８）の構成図で（１０）は
例えば視感度の高い赤色レーザのＨｅ−Ｎｅガスなどよ
りなるレーザ発信器で、該レーザ発信器（１０）から発
信されたレーザ光はコリメータ（１２）を経て０．１mm
程度の平行な光束となる。（１１）は反射ミラーで、上
記光束は反射ミラー（１１）に反射して反時計方向に回
転する、例えば正六角形の鏡面よりなる多面体回転ミラ
ー（１３）に投光される。（１４）はテレセントリック
レンズで、上記多面体回転ミラー（１３）に反射したレ
ーザ光はテレセントリックレンズ（１４）を経て平行ビ
ームとなり、投光器 （８）の前面の開孔部（１６）か
らガラスリング（３）に対して下方から上方へ走査され
る。FIG. 2 is a block diagram of the projector (8), and (10) is a laser oscillator made of, for example, He-Ne gas, which is a red laser with high visibility, and the laser emitted from the laser oscillator (10). Light is 0.1mm through the collimator (12)
It becomes a parallel light flux. Reference numeral (11) is a reflection mirror, and the light flux is reflected by the reflection mirror (11) and is rotated in a counterclockwise direction, and is projected onto a polyhedral rotation mirror (13) having a regular hexagonal mirror surface, for example. Reference numeral (14) is a telecentric lens, and the laser light reflected by the polyhedral rotating mirror (13) becomes a parallel beam through the telecentric lens (14), and is made into a glass ring (3) from an opening (16) on the front surface of the projector (8). ) From below to above.

【０００８】図３は受光器（９）の構成図であって、
（１７）はガラスリング（３）を透過してきた平行ビー
ム（１５）を集光する集光レンズであり、（１８）は拡
散板である。（１９）は受像した光を電圧に変換し、増
幅する光電子増倍管である。したがってテレセントリッ
クレンズ（１４）で平行光束となったビーム（１５）は
ガラスリング（３）の全域を透過してガラスリング
（３）の下方から上方へ走査し、ガラスリング（３）内
を流れる溶融した合成樹脂を透過して受光器（９）の集
光レンズ（１７）で集光され、光電子増倍管（１９）で
光を電圧に変換し、増幅されるので、溶融した合成樹脂
内に異物があると、光の強弱は電圧の差となって表示さ
れ、更にその表示を微分波形で表示することにより、異
物の形状を拡大表示することができるので、異物を正確
に把握することができるものである。FIG. 3 is a block diagram of the light receiver (9).
(17) is a condenser lens for condensing the parallel beam (15) transmitted through the glass ring (3), and (18) is a diffusion plate. (19) is a photomultiplier tube that converts the received light into a voltage and amplifies it. Therefore, the beam (15), which has become a parallel light flux by the telecentric lens (14), passes through the entire area of the glass ring (3), scans from below the glass ring (3) to above, and flows inside the glass ring (3). The light passes through the synthetic resin and is condensed by the condenser lens (17) of the light receiver (9), and the light is converted into a voltage by the photomultiplier tube (19) and amplified, so that the synthetic resin is melted. When there is a foreign substance, the intensity of light is displayed as a voltage difference, and by displaying the display with a differential waveform, the foreign substance shape can be enlarged and displayed, so that the foreign substance can be accurately grasped. It is possible.

【０００９】本発明の構成は以上のようになっているの
で、全体の流れについて概略説明すると、押出機で合成
樹脂を加熱・加圧して溶融状態で配管（１）・ガラスリ
ング（３）・配管（５）を経てクロスヘッド（６）に押
出す。導体（７）はクロスヘッド（６）内の貫通孔を上
方から下方へ走行しているので、該導体（７）がクロス
ヘッド（６）内を走行する際、その周囲に溶融状態の合
成樹脂が付着する。一方、貫通孔は先細状となっている
ので、絶縁体は導体（７）の周囲に絞り込まれ、クロス
ヘッド（６）の外側から自然冷却されて逐次固化して絶
縁体は均一の肉厚で導体（７）の周囲に被覆されていく
ものである。その際、本検査装置で溶融した合成樹脂に
異物が混入しているかどうかをオンラインで検査するも
のであって、レーザ発信器（１０）から所定のレーザ光
を発信してコリメータ（１２）に投入し、所定の光束と
なったレーザ光を反射ミラー（１１）で反射せしめて駆
動源で反時計方向に回転する多面体回転ミラー（１３）
に投光し、テレセントリックレンズ（１４）を経て、平
行ビーム状のレーザ光を溶融した合成樹脂が流れている
円筒形状のガラスリング（３）側壁に照射して走査する
と、平行ビーム状のレーザ光はガラスリング（３）の全
域を下方から上方にくまなく透過し、透過したレーザ光
は受光器（９）の集光レンズ（１７）で集光され光電子
増倍管（１９）で受像されるので、ガラスリング（３）
内のプラスチック流路を流れている溶融した合成樹脂内
に異物が混入していると、該異物によりレーザ光が減衰
し、その減衰したレーザ光は集光レンズ（１７）を経て
光電子増倍管（１９）に受像されて電圧差として表示さ
れることにより異物の有無が正確に検査されるものであ
る。Since the structure of the present invention is as described above, the overall flow will be described in brief. The synthetic resin is heated / pressurized in an extruder to melt the pipe (1) / glass ring (3) / It is extruded through a pipe (5) to a crosshead (6). Since the conductor (7) travels through the through-hole in the crosshead (6) from above to below, when the conductor (7) travels in the crosshead (6), a synthetic resin in a molten state is formed around the conductor (7). Adheres. On the other hand, since the through hole is tapered, the insulator is narrowed down around the conductor (7) and is naturally cooled from the outside of the crosshead (6) to be solidified successively so that the insulator has a uniform thickness. It is to be coated around the conductor (7). At that time, this inspection device is used to inspect online whether or not foreign matter is mixed in the molten synthetic resin. A predetermined laser beam is emitted from the laser oscillator (10) and injected into the collimator (12). Then, the polyhedral rotating mirror (13) that rotates the laser light, which has become a predetermined luminous flux, by the reflecting mirror (11) and rotates counterclockwise by the driving source.
The parallel beam laser light is projected onto the side wall of the cylindrical glass ring (3) in which the molten synthetic resin is flowing and is scanned through the telecentric lens (14). Passes through the entire area of the glass ring (3) from the bottom to the top, and the transmitted laser light is collected by the condenser lens (17) of the light receiver (9) and received by the photomultiplier tube (19). So glass ring (3)
When foreign matter is mixed in the molten synthetic resin flowing through the plastic flow path inside, the laser light is attenuated by the foreign matter, and the attenuated laser light passes through a condenser lens (17) and a photomultiplier tube. The image is received by (19) and displayed as a voltage difference, whereby the presence or absence of foreign matter is accurately inspected.

【００１０】ガラスリング（３）内を流れる樹脂に異物
が所定量以上混入していることが検査の結果判明する
と、この部分の樹脂は電線ケーブルの絶縁体としては使
用することができないので、その部分は電線ケーブルの
表面にマーキングすることにより正常なケーブルと区分
して切断・処理される。ガラスリングと溶融した合成樹
脂の屈折率は事前に測定されており、平行ビームが円筒
状のプラスチック流路の全域を透過するように平行ビー
ムの光束幅、プラスチック流路の径などはそれぞれ事前
に設計されているので、プラスチック流路内の合成樹脂
の全量にレーザ光はくまなく走査され、すべての異物が
把握できるものである。本検査装置では無着色の合成樹
脂ならばほとんどすべてについて検査可能であるが、着
色樹脂であってもレーザ光が充分透過するような波長を
選択することにより着色樹脂内での最小３０μｍの異物
までも捉えることができるものである。本実施例では耐
熱・耐圧性にすぐれ、屈折率を一定にするために均質な
材質よりなるガラスなどを高精度に仕上げ加工したリン
グを使用しているが、特に限定するものではなく、アク
リル樹脂などの合成樹脂製のリングでも構わない。When the inspection reveals that the resin flowing in the glass ring (3) contains a predetermined amount of foreign matter or more, the resin in this portion cannot be used as an insulator of the electric wire cable. By marking the surface of the wire cable, the part is cut and processed separately from the normal cable. The refractive indexes of the glass ring and the molten synthetic resin have been measured in advance, and the luminous flux width of the parallel beam and the diameter of the plastic flow channel are measured in advance so that the parallel beam can pass through the entire cylindrical plastic flow channel. Since it is designed, the entire amount of the synthetic resin in the plastic flow path is thoroughly scanned with the laser light, and all foreign matter can be grasped. Almost all uncolored synthetic resins can be inspected with this inspection device, but even with colored resins, by selecting a wavelength that allows laser light to sufficiently pass through, even foreign substances with a minimum of 30 μm in the colored resin can be detected. Can also be captured. In this embodiment, a ring made of a homogeneous material such as glass is finished with high precision in order to keep the refractive index constant, which has excellent heat resistance and pressure resistance, but is not particularly limited. A ring made of synthetic resin such as

【００１１】本実施例では導体に被覆する合成樹脂の異
物混入検査について説明したが、もちろんこの分野に限
定するものではなく、例えば、合成樹脂のポリマーをペ
レタイズする前の段階での異物検査にも応用することが
でき、また合成樹脂以外でレーザ光の透過度が高い流体
内の異物検査にも対応できる。投光器、受光器、押出
機、各種モータ、導体の走行速度などはすべてＣＰＵで
制御されているので、高品質な絶縁体をケーブルに被覆
することが可能となり、そのうえ絶縁体の被覆作業はす
べて自動化されるので著しい生産性の向上が期待される
ものである。以上何れにしても本発明は請求項１、２に
記載された発明を特徴とするものであるが好ましい実施
態様は押出機のノズルと導体を通すクロースヘッドとの
間に配設された配管中にフランジを介して光透過度が高
く、耐熱・耐圧にすぐれた均質な材質からなる円筒状ガ
ラスリングを介装し、該ガラスリングと直交する方向に
投光器と受光器を配置して投光器からのレーザ光がグラ
スリングを透過して受光器で受像できるように構成され
た異物検査装置であり、該装置における投光器はレーザ
発信器から発信されたレーザ光を平行光束とするコリメ
ータとコリメータから反射ミラーを介して投入されるレ
ーザ光束をうける正六角形の鏡面よりなる多面体回転ミ
ラーと該多面体回転ミラーで反射したレーザ光を平行ビ
ームとするテレセントリックレンズとで構成し、受光器
は投光器からの平行ビームを集光する集光レンズと拡散
板及び受像した光を電圧に変換し、増幅させる光電子増
倍管とで構成した異物検査装置で、プラスチック流路内
の合成樹脂の全量にレーザ光はくまなく走査され、すべ
ての異物が把握できるという目的を達成できる。In the present embodiment, the foreign matter mixture inspection of the synthetic resin coated on the conductor has been described, but the present invention is not limited to this field. For example, the foreign matter inspection before the pelletizing of the synthetic resin polymer is also performed. It can be applied and can also be used for inspection of foreign substances in fluids other than synthetic resins that have high laser beam transmittance. Since the sender, receiver, extruder, various motors, conductor running speed, etc. are all controlled by the CPU, it is possible to coat the cable with a high-quality insulator, and the insulator coating work is all automated. Therefore, significant improvement in productivity is expected. In any case as described above, the present invention is characterized by the invention described in claims 1 and 2, but a preferred embodiment is in a pipe arranged between a nozzle of an extruder and a close head through which a conductor is passed. A cylindrical glass ring made of a homogeneous material with high light transmittance and excellent heat resistance and pressure resistance is inserted through the flange, and the projector and the receiver are arranged in the direction orthogonal to the glass ring, and A foreign matter inspection device configured to allow laser light to pass through a glass ring and be received by a light receiver. The light projector in the device is a collimator that converts the laser light emitted from a laser oscillator into a parallel light flux and a reflection mirror from a collimator. A polygonal rotating mirror having a regular hexagonal mirror surface that receives a laser beam input through a laser, and a telecentric laser that converts the laser light reflected by the polygonal rotating mirror into parallel beams. The photodetector is a foreign matter inspection device composed of a condenser lens for condensing a parallel beam from the projector, a diffusion plate, and a photomultiplier tube for converting the received light into a voltage and amplifying it. It is possible to achieve the purpose that the entire amount of the synthetic resin in the flow path is thoroughly scanned with the laser light and all the foreign matters can be grasped.

【００１２】[0012]

【発明の効果】本発明になる異物検査装置は、光透過度
が高く、耐熱、耐圧性にすぐれ、均質な材質で製作、加
工されたガラスリング内の流路に溶融した合成樹脂を充
満して流し、平行ビームとなしたレーザ光を上記ガラス
リングの側壁に照射して流路全域の合成樹脂を走査せし
めることにより、合成樹脂内の異物を検査する装置であ
って、レーザ光はプラスチック流路全域の合成樹脂をく
まなく走査することができ、平行ビームのビーム形を６
０μｍにすることにより３０μｍクラスの異物でも検査
可能であり、またプラスチック流路断面は円筒状なので
溶融した合成樹脂が滞留することがなく、超高電圧用ケ
ーブルの導体に被覆する絶縁体内の異物のチェックには
最適な検査装置である。The foreign matter inspection apparatus according to the present invention has high light transmittance, excellent heat resistance and pressure resistance, and is filled with molten synthetic resin in the flow path in a glass ring manufactured and processed from a homogeneous material. It is a device for inspecting foreign substances in a synthetic resin by irradiating the side wall of the glass ring with a laser beam made into a parallel beam to scan the synthetic resin in the entire region of the flow path. It is possible to scan the synthetic resin all over the road, and the beam shape of the parallel beam is 6
By setting it to 0 μm, it is possible to inspect even foreign substances in the 30 μm class, and since the plastic flow path cross section is cylindrical, molten synthetic resin does not stay, and the foreign substances in the insulator covering the conductor of the ultra high voltage cable are It is the most suitable inspection device for checking.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図１】本発明装置の全体概略図FIG. 1 is an overall schematic view of the device of the present invention.

【図２】投光器の構成図FIG. 2 is a configuration diagram of a floodlight.

【図３】受光器の構成図FIG. 3 is a block diagram of a light receiver

【符号の説明】[Explanation of symbols]

１ 配管 ２ フランジ ３ ガラスリング ４ フランジ ５ 配管 ６ クロスヘッド ７ 導体 ８ 投光器 ９ 受光器 10 レーザ発信器 11 反射ミラー 12 コリメータ 13 多面体回転ミラー 14 テレセントリックレンズ 15 平行ビーム 16 開孔部 17 集光レンズ 18 拡散板 19 光電子増倍管 1 Piping 2 Flange 3 Glass Ring 4 Flange 5 Piping 6 Crosshead 7 Conductor 8 Emitter 9 Light Receiver 10 Laser Transmitter 11 Reflecting Mirror 12 Collimator 13 Polyhedral Rotating Mirror 14 Telecentric Lens 15 Parallel Beam 16 Opening 17 Condensing Lens 18 Diffusing Plate 19 Photomultiplier tube

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項１】 流体が流れる流路を内部に有する円筒状
の透明なリングと、該リングにレーザ光を平行光束とな
して走査せしめる投光器と、上記リングを間に挟んで投
光器と対応する上記レーザ光を受像する受光器とからな
ることを特徴とする異物検査装置。1. A cylindrical transparent ring having a flow passage in which a fluid flows, a light projector for scanning the laser light into a parallel light flux on the ring, and a light projector corresponding to the light emitter with the ring interposed therebetween. A foreign matter inspection device comprising a light receiver for receiving a laser beam. 【請求項２】 回転する多面体回転ミラーにレーザ光を
投入し、テレセントリックレンズを経て、平行に走査せ
しめることを特徴とする請求項１記載の異物検査装置。2. The foreign matter inspection apparatus according to claim 1, wherein laser light is applied to a rotating polygon mirror rotating mirror and scanning is performed in parallel through a telecentric lens.