JPH08217415A - オゾン発生設備診断方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 本発明は、基準量のオゾン発生に要する放電
電力の変化に基づいて設備の能力低下を検知して設備の
異常停止を阻止し、稼働率の向上を図る。 【構成】 オゾン発生設備の稼働時に、放電電力Ｗ、オ
ゾン濃度Ｃ及びオゾン化空気流量Ｑｍに基づいて、オゾ
ン発生電力原単位の現在値ＵＷを算出し、オゾン発生電
力原単位の現在値ＵＷがオゾン発生電力原単位の初期値
ＵＷ0 よりも所定の許容値Ｋを越えて上昇したか否かを
判定し、この判定の結果、オゾン発生電力原単位の現在
値ＵＷが初期値ＵＷ0 よりも許容値Ｋを越えて上昇した
旨を示すとき、オゾン発生設備の能力低下を報知するオ
ゾン発生設備診断方法。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、放電にてオゾンを発生
するオゾン発生設備の状態を診断するオゾン発生設備診
断方法に係わり、特に基準量のオゾン発生に要する放電
電力の変化に基づいて設備の能力低下を検知することに
より、オゾン発生設備の異常停止を阻止し、信頼性を向
上し得るオゾン発生設備診断方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、水の浄化に関する分野では、大量
のオゾンを発生させ、気液接触などでオゾンの強力な酸
化力により水を浄化処理するオゾン発生設備が広く用い
られている。

【０００３】図６はこの種のオゾン発生設備の構成を示
すブロック図である。このオゾン発生設備では、空気源
ブロワ１から供給された空気が空気冷却乾燥装置２にて
露点−６０℃程度に乾燥されてオゾン発生器３に供給さ
れる。

【０００４】オゾン発生器３では、供給された乾燥空気
に高周波インバータ電源４から供給される高周波高電圧
を印加してオゾンを発生させる。発生したオゾンを含む
オゾン化空気は、オゾン発生器３の出口にて、オゾン化
空気圧力計５により圧力が計測され、オゾン化空気流量
計６により流量が測定され、オゾン化空気温度計７によ
り温度が測定され、オゾン濃度計８によりオゾン濃度が
測定される。

【０００５】一方、オゾン発生器３に供給する高周波高
電圧信号の電圧が計器用変成器９を介して計器入力信号
に変換されて放電電力計１０に入力され、高周波高電圧
信号の電流が計器用変流器１１を介して計器入力信号に
変換されて放電電力計１０に入力される。放電電力計１
０は、各計器入力信号に基づいて放電電力を演算する。

【０００６】また、チラー１２より供給される一定温度
の二次冷却水は熱交換器１３にて循環冷却水に熱交換さ
れる。この循環冷却水は循環水ポンプ１４にてオゾン発
生器３に供給され、オゾン発生時に発生する熱を冷却す
る。この冷却により温度の上昇した循環冷却水は、熱交
換器１３に戻される途中で循環冷却水戻り温度計１５に
て温度が測定される。

【０００７】なお、この種のオゾン発生設備としては、
他の構成として、チラー１２に代えて冷却水層及び冷却
水ポンプにより熱交換器と冷却水層との間で冷却水を循
環させる方式が使用可能となっている。

【０００８】また、このようなオゾン発生設備は、異常
発生の判断される基準として、各機器の故障、循環冷却
水戻り温度の異常高及びオゾン化空気温度の異常高とい
う項目があり、各項目のうちの一つでも該当すると、停
止させられている。さらにまた、この種のオゾン発生設
備は、異常のない場合であっても、定期点検によって保
全管理がなされている。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら以上のよ
うなオゾン発生設備では、予期せぬ異常発生により停止
に至るという問題があり、ひどい場合にはオゾン発生設
備の属する水浄化処理プラント全体を停止せざるを得な
くなる問題がある。

【００１０】また、定期点検による保全管理には、点検
周期が短いと、不必要な点検によりメンテナンスコスト
の増大を招き、点検周期が長いと、オゾン発生電力原単
位の増加によるランニングコストの増大や異常発生によ
る設備停止の確率が高くなるという問題がある。

【００１１】本発明は上記実情を考慮してなされたもの
で、基準量のオゾン発生に要する放電電力の変化に基づ
いて設備の能力低下を検知することにより、設備の異常
停止を阻止し、もって、稼働率を向上し得るオゾン発生
設備診断方法を提供することを目的とする。

【００１２】また、本発明の他の目的は、設備の性能低
下を検知することにより、性能低下の周期を示唆し、も
って、定期点検の周期の最適化を図り得るオゾン発生設
備診断方法を提供することにある。

【００１３】

【課題を解決するための手段】請求項１に対応する発明
は、放電によりオゾンを発生させるオゾン発生設備の状
態を診断するオゾン発生設備診断方法において、前記オ
ゾン発生設備の稼働時に、前記放電電力、前記オゾン濃
度及び前記オゾン化空気流量に基づいて、前記オゾン発
生電力原単位の現在値を算出する工程と、前記オゾン発
生電力原単位の現在値が前記オゾン発生電力原単位の初
期値よりも所定の許容値を越えて上昇したか否かを判定
する工程と、この判定の結果、前記オゾン発生電力原単
位の現在値が前記初期値よりも前記許容値を越えて上昇
した旨を示すとき、前記オゾン発生設備の能力低下を報
知する工程とを含んでいるオゾン発生設備診断方法であ
る。

【００１４】また、請求項２に対応する発明は、請求項
１に対応するオゾン発生設備診断方法において、前記判
定の結果、前記オゾン発生電力原単位の現在値が前記初
期値よりも前記許容値を越えて上昇しない旨を示すと
き、オゾン化空気温度の変化率及び前記オゾン発生設備
における循環冷却水戻り温度の変化率を算出する工程
と、前記算出された各変化率のうち、いずれか一方又は
両方が該当する許容変化率を越えたとき、前記オゾン発
生設備の異常を予告する工程とを含んでいるオゾン発生
設備診断方法である。

【００１５】さらに、請求項３に対応する発明は、放電
によりオゾンを発生させるオゾン発生設備の状態を診断
するオゾン発生設備診断方法において、前記オゾン発生
設備の初期の稼働時に、前記オゾン発生設備におけるオ
ゾン発生のための放電電力、オゾン化された空気のオゾ
ン濃度、オゾン化空気流量及び循環冷却水戻り温度に基
づいて、基準量のオゾンの発生に要する放電電力を示す
オゾン発生電力原単位の初期値における前記循環冷却水
戻り温度の依存性を設定する工程と、前記オゾン発生設
備の現在の稼働時に、前記オゾン発生のための放電電力
量、オゾン濃度及びオゾン化空気流量に基づいて、前記
オゾン発生電力原単位の現在値を算出する工程と、前記
オゾン発生設備の現在の稼働時に、現在の循環冷却水戻
り温度及び前記依存性の設定内容に基づいて、現在の循
環冷却水戻り温度に対応するオゾン発生電力原単位の初
期値を求める工程と、前記オゾン発生電力原単位の現在
値が前記求められた初期値よりも所定の許容値を越えて
上昇したか否かを判定する工程と、この判定の結果、前
記オゾン発生電力原単位の現在値が前記求められた初期
値よりも前記許容値を越えて上昇した旨を示すとき、前
記オゾン発生設備の能力低下を報知する工程とを含んで
いるオゾン発生設備診断方法である。

【００１６】また、請求項４に対応する発明は、請求項
３に対応するオゾン発生設備診断方法において、前記判
定の結果、前記オゾン発生電力原単位の現在値が前記求
められた初期値よりも前記許容値を越えて上昇しない旨
を示すとき、オゾン化空気温度の変化率及び前記循環冷
却水戻り温度の変化率を算出する工程と、前記算出され
た各変化率のうち、いずれか一方又は両方が該当する許
容変化率を越えたとき、前記オゾン発生設備の異常を予
告する工程とを含んでいるオゾン発生設備診断方法であ
る。

【００１７】

【作用】従って、請求項１に対応する発明は以上のよう
な手段を講じたことにより、オゾン発生設備の稼働時
に、放電電力、オゾン濃度及びオゾン化空気流量に基づ
いて、オゾン発生電力原単位の現在値を算出し、オゾン
発生電力原単位の現在値がオゾン発生電力原単位の初期
値よりも所定の許容値を越えて上昇したか否かを判定
し、この判定の結果、オゾン発生電力原単位の現在値が
初期値よりも許容値を越えて上昇した旨を示すとき、オ
ゾン発生設備の能力低下を報知できるので、基準量のオ
ゾン発生に要する放電電力の変化に基づいて設備の能力
低下を検知することにより、設備の異常停止を阻止し、
もって、稼働率を向上させることができる。

【００１８】また、請求項２に対応する発明は、請求項
１に対応する判定の結果、オゾン発生電力原単位の現在
値が初期値よりも許容値を越えて上昇しない旨を示すと
き、オゾン化空気温度の変化率及びオゾン発生設備にお
ける循環冷却水戻り温度の変化率を算出し、これら算出
された各変化率のうち、いずれか一方又は両方が該当す
る許容変化率を越えたとき、オゾン発生設備の異常を予
告できるので、請求項１に対応する作用と同様の作用に
加え、能力低下が検知されない場合であっても、異常の
兆候を検知することができ、より有効に異常停止の阻止
に寄与することができる。

【００１９】さらに、請求項３に対応する発明は、オゾ
ン発生設備の初期の稼働時に、オゾン発生設備における
オゾン発生のための放電電力、オゾン化された空気のオ
ゾン濃度、オゾン化空気流量及び循環冷却水戻り温度に
基づいて、基準量のオゾンの発生に要する放電電力を示
すオゾン発生電力原単位の初期値における循環冷却水戻
り温度の依存性を設定し、オゾン発生設備の現在の稼働
時に、オゾン発生のための放電電力、オゾン濃度及びオ
ゾン化空気流量に基づいて、オゾン発生電力原単位の現
在値を算出し、オゾン発生設備の現在の稼働時に、現在
の循環冷却水戻り温度及び依存性の設定内容に基づい
て、現在の循環冷却水戻り温度に対応するオゾン発生電
力原単位の初期値を求め、オゾン発生電力原単位の現在
値が当該求められた初期値よりも所定の許容値を越えて
上昇したか否かを判定し、この判定の結果、オゾン発生
電力原単位の現在値が当該求められた初期値よりも許容
値を越えて上昇した旨を示すとき、オゾン発生設備の能
力低下を報知するので、請求項１の作用と同様の作用に
加え、稼働初期のオゾン発生原単位の値を現在の循環冷
却水戻り温度に対応させて求めたので、季節の変化等に
より初期の稼働時と現在の稼働時とで循環冷却水戻り温
度が異なる場合であっても、設備の能力低下の有無をよ
り正確に検知することができる。

【００２０】また、請求項４に対応する発明は、請求項
３に対応する判定の結果、オゾン発生電力原単位の現在
値が当該求められた初期値よりも許容値を越えて上昇し
ない旨を示すとき、オゾン化空気温度の変化率及び循環
冷却水戻り温度の変化率を算出し、これら算出された各
変化率のうち、いずれか一方又は両方が該当する許容変
化率を越えたとき、オゾン発生設備の異常を予告できる
ので、請求項３に対応する作用に加え、請求項２に対応
する作用と同様の作用を奏することができる。

【００２１】

【実施例】以下、本発明の実施例について図面を参照し
て説明する。図１は本発明の第１の実施例に係るオゾン
設備診断装置２１をオゾン発生設備に適用した構成を示
すブロック図であり、図６と同一部分には同一符号を付
してその詳しい説明は省略し、ここでは異なる部分につ
いてのみ述べる。

【００２２】このオゾン設備診断装置２１は、オゾン化
空気流量計６にて測定されるオゾン化空気流量Ｑｍ、オ
ゾン化空気温度計７にて測定されるオゾン化空気温度ｔ
O3、所定のオゾン化空気基準温度ｔs 、オゾン化空気圧
力計５にて測定されるオゾン化空気圧力Ｐ及び所定のオ
ゾン化空気圧力Ｐs に基づいてノルマル換算オゾン化空
気流量Ｑｎを算出する機能と、オゾン濃度計８にて測定
されるオゾン濃度Ｃ及び前述したオゾン化空気温度ｔO3
に基づいて０℃換算オゾン濃度Ｃ0 を算出する機能と、
これら算出されたノルマル換算オゾン化空気流量Ｑｎと
０℃換算オゾン濃度Ｃ0 とを乗算してオゾン発生量Ｏ3
を算出する機能と、放電電力計１０にて算出される放電
電力Ｗをオゾン発生量Ｏ3 で除算してオゾン発生電力原
単位ＵＷを算出する機能と、オゾン発生設備稼働初期の
オゾン発生電力原単位ＵＷo から前述したオゾン発生電
力原単位ＵＷを減算して該減算結果の大きいときに性能
低下を検出する機能と、循環冷却水戻り温度計１５にて
測定される循環冷却水戻り温度ｔw の変化率あるいはオ
ゾン化空気温度ｔの変化率の大のときに異常発生を予告
する機能とを備えている。なお、このオゾン設備診断装
置２１は、具体的には図２のフローチャートに示す手順
に従って、前述した性能低下の検出機能及び異常発生の
予告機能を実行させる。また、オゾン設備診断装置２１
は表示部２２を有し、性能低下の検出又は異常発生の予
告がなされたとき、表示部２２にその旨を表示させる機
能をもっている。

【００２３】次に、以上のように構成されたオゾン設備
診断装置２１によるオゾン発生設備の診断方法を図２を
参照しながら説明する。いま、前述した通り、オゾン発
生設備の稼働により、オゾンが発生しているとする。こ
のとき、放電電力計１０では、次の（１）式に基づいて
放電電力Ｗを算出する（ＳＴ１）。

【００２４】

【数１】

【００２５】続いて、放電電力計１０は、算出した放電
電力Ｗをオゾン設備診断装置２１に送出する。一方、オ
ゾン設備診断装置２１は、測定されたオゾン化空気流量
Ｑｍ、オゾン化空気温度ｔO3及びオゾン化空気圧力Ｐに
基づいて、ノルマル換算オゾン化空気流量Ｑｎを次の
（２）式に示すように算出する。 Ｑｎ＝Ｑｍ×｛(273+ts)/(273+t03)}1/2×｛(1.033＋P)/(1.033+Ps）} ^1/2 …（２） 次に、測定されたオゾン濃度Ｃ及びオゾン化空気温度ｔ
O3に基づいて、０℃換算オゾン濃度Ｃ0 を次の（３）式
に示すように算出する。 Ｃ0 ＝Ｃ×(273+ts)／273 …（３） 続いて、（２）式から算出されたノルマル換算オゾン化
空気流量Ｑｎ及び（３）式から算出された０℃換算オゾ
ン濃度Ｃ0 に基づいて、オゾン発生量Ｏ3 を次の（４）
式に示すように算出する（ＳＴ２）。 Ｏ3 ＝Ｑｎ×Ｃ0 …（４） 次に、（１）式から算出された放電電力Ｗ及び（４）式
から算出されたオゾン発生量Ｏ3 に基づいて、オゾン発
生電力原単位ＵＷを次の（５）式に示すように算出する
（ＳＴ３）。 ＵＷ＝Ｗ／Ｏ3 …（５） なお、オゾン発生設備の稼働初期の際に、前述同様にオ
ゾン発生電力原単位ＵＷ0 を算出している。よって、こ
の稼働初期のオゾン発生電力原単位ＵＷ0 に比べて現在
のオゾン発生電力原単位ＵＷが上昇したか否かを判断す
ることにより（ＳＴ４）、オゾン発生設備における能力
低下の有無を判定できる。

【００２６】すなわち、オゾン発生能力の低下は、現在
のオゾン発生電力原単位ＵＷが稼働初期のオゾン発生電
力原単位ＵＷ0 よりも電力原単位変化判定定数Ｋを越え
て上昇した場合であって、次の（６）式を満たす場合に
該当する。 ＵＷ−ＵＷ0 ＞Ｋ …（６） ここで、（６）式を満たす場合、“オゾン発生電力原単
位ＵＷ上昇”の旨を表示するように表示部２２を制御す
る（ＳＴ５）。

【００２７】これにより、オゾン発生設備の能力低下を
操作者に報知し、オゾン発生設備の異常発生前に、操作
者による予防保全処置の実行や定期点検時期の判断を期
待することができる。

【００２８】一方、（６）式を満たさない場合、続いて
循環冷却水戻り温度ｔw の変化率について所定の循環冷
却水戻り温度異常判定定数Ｌを越えたか否かを次の
（７）により判定し、さらに、オゾン化空気温度ｔ03の
変化率について所定のオゾン化空気温度変化率異常判定
定数Ｍを越えたか否かを次の（８）式により判定する
（ＳＴ６）。 ｄｔw ／ｄｔ ＞Ｌ …（７） ｄｔ03／ｄｔ ＞Ｍ …（８） ここで、（７）式又は（８）式のいずれか一方又は両方
を満たす場合、オゾン発生設備に何らかの異常が発生す
る兆候と判断し、“オゾン発生設備異常予告”の旨を表
示するように表示部２２を制御する（ＳＴ７）。

【００２９】これにより、前述同様に、異常発生前に操
作者による予防保全処置の実行を期待することができ
る。なお、（７）式又は（８）式の両方を満たさない場
合、オゾン発生設備の正常である旨を判断し、オゾン発
生設備の診断処理を終了する。

【００３０】上述したように第１の実施例によれば、オ
ゾン発生設備の初期の稼働時に、（１）式〜（５）式を
用いて稼働初期のオゾン発生電力原単位ＵＷ0 を算出
し、現在の稼働時に同様にして、現在のオゾン発生電力
原単位ＵＷを算出し、（６）式を用いてオゾン発生電力
原単位の現在値ＵＷが初期値ＵＷ0 よりも電力原単位変
化判定定数Ｋを越えて上昇したか否かを判定し、この判
定の結果、オゾン発生電力原単位の現在値ＵＷが初期値
ＵＷ0 よりも電力原単位変化判定定数Ｋを越えて上昇し
た旨を示すとき、オゾン発生設備の能力低下を報知でき
るので、基準量のオゾン発生に要する放電電力の変化に
基づいて設備の能力低下を検知することにより、設備の
異常停止を阻止し、もって、稼働率を向上させることが
できる。

【００３１】また、第１の実施例によれば、判定の結
果、オゾン発生電力原単位の現在値ＵＷが初期値ＵＷ0
よりも電力原単位変化判定定数Ｋを越えて上昇しない旨
を示すとき、（７）式及び（８）式を用いてオゾン化空
気温度ｔ03ｔw の変化率及びオゾン発生設備における循
環冷却水戻り温度ｔw の変化率を算出し、これら算出さ
れた各変化率のうち、いずれか一方又は両方が該当する
許容変化率を越えたとき、オゾン発生設備の異常を予告
できるので、能力低下が検知されない場合であっても、
異常の兆候を検知することができ、より有効に異常停止
の阻止に寄与することができる。

【００３２】次に、本発明の第２の実施例について説明
する。図３は本発明の第２の実施例に係るオゾン設備診
断装置２１をオゾン発生設備に適用した構成を示すブロ
ック図であり、図１と同一部分には同一符号を付してそ
の詳しい説明は省略し、ここでは異なる部分についての
み述べる。

【００３３】すなわち、本実施例装置は、第１の実施例
とは異なり一定温度の二次冷却水を供給可能なチラー１
２に代えて、季節等により冷却水温度の変動する冷却水
層３１及び冷却ポンプ３２を用いて熱交換器１３と冷却
水層３１との間で冷却水を循環させる方式のオゾン発生
設備に適用されるものであり、具体的には図２に示した
（６）式を用いるステップＳＴ４の工程に代えて、図４
に示すように、循環冷却水戻り温度ｔw の季節等による
変化を補正するように次の（６ａ）式を用いるステップ
ＳＴ４ａの工程を含んでいる。 ＵＷ（ｔwi）−ＵＷ0 （ｔwi）＞Ｋ …（６ａ） ここで、稼働初期のオゾン発生電力原単位ＵＷ0 （ｔw
i）は、（６ａ）式に示すように、循環冷却水戻り温度
ｔw の関数となっている。すなわち、予めオゾン発生設
備の稼働初期時に、図５に示す如き、オゾン発生電力原
単位ＵＷ0 における循環冷却水戻り温度ｔwiの依存性を
測定して保持し、この保持内容に基づいて、現在の循環
冷却水戻り温度ｔwiに対応する稼働初期のオゾン発生電
力原単位ＵＷ0 を求めている。なお、現在のオゾン発生
電力原単位ＵＷ0 は、既に現在の循環冷却水戻り温度ｔ
wiに対応しているので、算出値がそのまま使用される。

【００３４】このように、現在のオゾン発生電力原単位
ＵＷにおける稼働初期のオゾン発生電力原単位ＵＷ0 か
らの上昇分と電力原単位変化判定定数Ｋとを比較する工
程において、稼働初期のオゾン発生原単位ＵＷ0 の値を
現在の循環冷却水戻り温度ｔwiに対応するオゾン発生原
単位ＵＷ0 （ｔwi）の値としたので、稼働初期の循環冷
却水戻り温度ｔw0と現在の循環冷却水戻り温度ｔwiとが
季節の変化等により異なる場合であっても、正確にオゾ
ン発生電力原単位ＵＷの上昇の有無を評価でき、もっ
て、オゾン発生設備における能力低下検出の正確性を向
上させることができる。

【００３５】上述したように第２の実施例によれば、チ
ラー１２を用いた第１の実施例とは異なり、季節等によ
り冷却水温度の変動する冷却水層３１を用いたオゾン発
生設備に適用されたため、オゾン発生電力原単位ＵＷ0
における循環冷却水戻り温度ｔwiの依存性に基づいて、
循環冷却水戻り温度ｔwiに対応する稼働初期のオゾン発
生電力原単位ＵＷ0 （ｔwi）を求め、このＵＷ0 （ｔw
i）を用いてオゾン発生電力原単位ＵＷの上昇の有無を
評価するので、稼働初期の循環冷却水戻り温度ｔw0と現
在の循環冷却水戻り温度ｔwiとが季節の変化等により異
なる場合であっても、正確にオゾン発生電力原単位ＵＷ
の上昇の有無を評価でき、もって、オゾン発生設備にお
ける能力低下検出の正確性を向上させることができる。

【００３６】また、第２の実施例によれば、第１の実施
例と同様に、オゾン化空気温度の変化率及び循環冷却水
戻り温度の変化率に基づいて、オゾン発生設備の異常を
予告できるので、能力低下が検知されない場合であって
も、異常の兆候を検知することができ、より有効に異常
停止の阻止に寄与することができる。

【００３７】なお、上記第１の実施例では、オゾン発生
設備の初期の稼働時にオゾン発生電力原単位の初期値Ｕ
Ｗ0 を算出した場合について説明したが、これに限ら
ず、初期値ＵＷ0 の算出に代えて、初期値ＵＷ0 として
所定の値を設定した場合であっても、本発明を同様に実
施して同様の効果を得ることができる。その他、本発明
はその要旨を逸脱しない範囲で種々変形して実施でき
る。

【００３８】

【発明の効果】以上説明したように請求項１の発明によ
れば、オゾン発生設備の稼働時に、放電電力、オゾン濃
度及びオゾン化空気流量に基づいて、オゾン発生電力原
単位の現在値を算出し、オゾン発生電力原単位の現在値
がオゾン発生電力原単位の初期値よりも所定の許容値を
越えて上昇したか否かを判定し、この判定の結果、オゾ
ン発生電力原単位の現在値が初期値よりも許容値を越え
て上昇した旨を示すとき、オゾン発生設備の能力低下を
報知できるので、基準量のオゾン発生に要する放電電力
の変化に基づいて設備の能力低下を検知することによ
り、設備の異常停止を阻止し、もって、稼働率を向上で
きるオゾン発生設備診断方法を提供できる。

【００３９】また、請求項２の発明によれば、請求項１
の判定の結果、オゾン発生電力原単位の現在値が初期値
よりも許容値を越えて上昇しない旨を示すとき、オゾン
化空気温度の変化率及びオゾン発生設備における循環冷
却水戻り温度の変化率を算出し、これら算出された各変
化率のうち、いずれか一方又は両方が該当する許容変化
率を越えたとき、オゾン発生設備の異常を予告できるの
で、請求項１の効果に加え、能力低下が検知されない場
合であっても、異常の兆候を検知することができ、より
有効に異常停止の阻止に寄与できるオゾン発生設備診断
方法を提供できる。

【００４０】さらに、請求項３の発明によれば、オゾン
発生設備の初期の稼働時に、オゾン発生設備におけるオ
ゾン発生のための放電電力、オゾン化された空気のオゾ
ン濃度、オゾン化空気流量及び循環冷却水戻り温度に基
づいて、基準量のオゾンの発生に要する放電電力を示す
オゾン発生電力原単位の初期値における循環冷却水戻り
温度の依存性を設定し、オゾン発生設備の現在の稼働時
に、オゾン発生のための放電電力、オゾン濃度及びオゾ
ン化空気流量に基づいて、オゾン発生電力原単位の現在
値を算出し、オゾン発生設備の現在の稼働時に、現在の
循環冷却水戻り温度及び依存性の設定内容に基づいて、
現在の循環冷却水戻り温度に対応するオゾン発生電力原
単位の初期値を求め、オゾン発生電力原単位の現在値が
当該求められた初期値よりも所定の許容値を越えて上昇
したか否かを判定し、この判定の結果、オゾン発生電力
原単位の現在値が当該求められた初期値よりも許容値を
越えて上昇した旨を示すとき、オゾン発生設備の能力低
下を報知するので、請求項１の効果に加え、稼働初期の
オゾン発生原単位の値を現在の循環冷却水戻り温度に対
応させて求めたので、季節の変化等により初期の稼働時
と現在の稼働時とで循環冷却水戻り温度が異なる場合で
あっても、設備の能力低下の有無をより正確に検知でき
るオゾン発生設備診断方法を提供できる。

【００４１】また、請求項４の発明によれば、請求項３
の判定の結果、オゾン発生電力原単位の現在値が当該求
められた初期値よりも許容値を越えて上昇しない旨を示
すとき、オゾン化空気温度の変化率及び循環冷却水戻り
温度の変化率を算出し、これら算出された各変化率のう
ち、いずれか一方又は両方が該当する許容変化率を越え
たとき、オゾン発生設備の異常を予告できるので、請求
項３の効果に加え、請求項２と同様の効果を奏すること
ができるオゾン発生設備診断方法を提供できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施例に係るオゾン設備診断装
置をオゾン発生設備に適用した構成を示すブロック図、

【図２】同実施例における動作を説明するためのフロー
チャート、

【図３】本発明の第２の実施例に係るオゾン設備診断装
置をオゾン発生設備に適用した構成を示すブロック図、

【図４】同実施例における動作を説明するためのフロー
チャート、

【図５】同実施例におけるオゾン発生電力原単位の循環
冷却水戻り温度依存性を示す図、

【図６】従来のオゾン発生設備の構成を示すブロック
図。

【符号の説明】

２１…オゾン設備診断装置、２２…表示部、Ｑｍ…オゾ
ン化空気流量、ｔO3…オゾン化空気温度、Ｐ…オゾン化
空気圧力、Ｃ…オゾン濃度、Ｏ3 …オゾン発生量、Ｗ…
放電電力、ＵＷ…オゾン発生電力原単位（現在値）、Ｕ
Ｗ0 …オゾン発生電力原単位（初期値）、ｔw …循環冷
却水戻り温度。

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 放電によりオゾンを発生させるオゾン発
   生設備の状態を診断するオゾン発生設備診断方法におい
   て、 前記オゾン発生設備の稼働時に、前記放電電力、前記オ
   ゾン濃度及び前記オゾン化空気流量に基づいて、前記オ
   ゾン発生電力原単位の現在値を算出する工程と、 前記オゾン発生電力原単位の現在値が前記オゾン発生電
   力原単位の初期値よりも所定の許容値を越えて上昇した
   か否かを判定する工程と、 この判定の結果、前記オゾン発生電力原単位の現在値が
   前記初期値よりも前記許容値を越えて上昇した旨を示す
   とき、前記オゾン発生設備の能力低下を報知する工程と
   を含んでいることを特徴とするオゾン発生設備診断方
   法。
2. 【請求項２】 請求項１に対応するオゾン発生設備診断
   方法において、 前記判定の結果、前記オゾン発生電力原単位の現在値が
   前記初期値よりも前記許容値を越えて上昇しない旨を示
   すとき、オゾン化空気温度の変化率及び前記オゾン発生
   設備における循環冷却水戻り温度の変化率を算出する工
   程と、 前記算出された各変化率のうち、いずれか一方又は両方
   が該当する許容変化率を越えたとき、前記オゾン発生設
   備の異常を予告する工程とを含んでいることを特徴とす
   るオゾン発生設備診断方法。
3. 【請求項３】 放電によりオゾンを発生させるオゾン発
   生設備の状態を診断するオゾン発生設備診断方法におい
   て、 前記オゾン発生設備の初期の稼働時に、前記オゾン発生
   設備におけるオゾン発生のための放電電力、オゾン化さ
   れた空気のオゾン濃度、オゾン化空気流量及び循環冷却
   水戻り温度に基づいて、基準量のオゾンの発生に要する
   放電電力を示すオゾン発生電力原単位の初期値における
   前記循環冷却水戻り温度の依存性を設定する工程と、 前記オゾン発生設備の現在の稼働時に、前記オゾン発生
   のための放電電力量、オゾン濃度及びオゾン化空気流量
   に基づいて、前記オゾン発生電力原単位の現在値を算出
   する工程と、 前記オゾン発生設備の現在の稼働時に、現在の循環冷却
   水戻り温度及び前記依存性の設定内容に基づいて、現在
   の循環冷却水戻り温度に対応するオゾン発生電力原単位
   の初期値を求める工程と、 前記オゾン発生電力原単位の現在値が前記求められた初
   期値よりも所定の許容値を越えて上昇したか否かを判定
   する工程と、 この判定の結果、前記オゾン発生電力原単位の現在値が
   前記求められた初期値よりも前記許容値を越えて上昇し
   た旨を示すとき、前記オゾン発生設備の能力低下を報知
   する工程とを含んでいることを特徴とするオゾン発生設
   備診断方法。
4. 【請求項４】 請求項３に対応するオゾン発生設備診断
   方法において、 前記判定の結果、前記オゾン発生電力原単位の現在値が
   前記求められた初期値よりも前記許容値を越えて上昇し
   ない旨を示すとき、オゾン化空気温度の変化率及び前記
   循環冷却水戻り温度の変化率を算出する工程と、 前記算出された各変化率のうち、いずれか一方又は両方
   が該当する許容変化率を越えたとき、前記オゾン発生設
   備の異常を予告する工程とを含んでいることを特徴とす
   るオゾン発生設備診断方法。