JPH08203051A - Magnetic head manufacturing device - Google Patents
Magnetic head manufacturing deviceInfo
- Publication number
- JPH08203051A JPH08203051A JP2873895A JP2873895A JPH08203051A JP H08203051 A JPH08203051 A JP H08203051A JP 2873895 A JP2873895 A JP 2873895A JP 2873895 A JP2873895 A JP 2873895A JP H08203051 A JPH08203051 A JP H08203051A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic head
- slider
- peripheral portion
- camber
- crown
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、磁気ヘッド、特にハー
ドディスクドライブ用の磁気ヘッドの製造装置に関する
ものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an apparatus for manufacturing a magnetic head, particularly for a hard disk drive.
【０００２】[0002]
【従来の技術】近年、たとえばハードディスクドライブ
等の分野の磁気ヘッドは、より高密度で記録再生するた
めの能力を付与することが強く要求されている。電子機
器の小型化に対応して、磁気ヘッドは小型化および高性
能化が要求されている。そのために、ハードディスクド
ライブ等の用途の磁気ヘッドでは、高密度化および小型
化に伴ない、スライダの安定した低浮上量化の促進、Ｃ
ＳＳ（コンタクト・スタート・ストップ）の高信頼性、
および磁気ヘッドの記録メディアに対する貼り付け等の
防止対策が求められている。そこで、これらの要求を満
足するように、磁気ヘッドは、安定した空気摺動面（Ａ
ＢＳ、Ａｉｒ Ｂｅａｒｉｎｇ Ｓｕｒｆａｃｅ）の形
状（クラウン、キャンバー、ツイスト）を備えることが
望まれている。2. Description of the Related Art In recent years, magnetic heads in the field of hard disk drives, for example, have been strongly required to have the capability of recording and reproducing at higher density. In response to downsizing of electronic devices, downsizing and higher performance of magnetic heads are required. Therefore, in a magnetic head for applications such as a hard disk drive, along with higher density and smaller size, promotion of stable low flying height of the slider, C
High reliability of SS (contact start stop),
Also, preventive measures such as sticking of the magnetic head to the recording medium are required. Therefore, in order to satisfy these requirements, the magnetic head has a stable air sliding surface (A
It is desired to have a BS (Air Bearing Surface) shape (crown, camber, twist).
【０００３】かかる状況から、従来はグライドハイト
（記録メディアの凹凸）等のメディアに起因するものも
あるが、安定した磁気ヘッドのスライダの浮上特性を得
るために、次のようにしてスライダを加工している。す
なわち、精密な平面ラップ盤や、図１６に示すすり鉢状
のラップ盤１１を使用して、ブロック状態のスライダを
半径方向に移動しながら研磨したり、あるいは図１１に
示す球面ラップ盤１を使用して、図１３に示すようなス
ライダＳを研磨リング２に放射線状に配置して回転しな
がら研磨することにより、上述した空気摺動面を形成し
ている。Under the circumstances, although there are some conventional ones caused by media such as glide height (unevenness of recording medium), in order to obtain stable flying characteristics of the slider of the magnetic head, the slider is processed as follows. are doing. That is, a precision flat lapping machine or a mortar-shaped lapping machine 11 shown in FIG. 16 is used to polish the slider in the block state while moving in the radial direction, or the spherical lapping machine 1 shown in FIG. 11 is used. Then, the slider S as shown in FIG. 13 is radially arranged on the polishing ring 2 and is polished while being rotated to form the above-mentioned air sliding surface.
【０００４】図１１の球面ラップ盤は、定盤１を備えて
いて、この回転する定盤１に対して図１２や図１３の研
磨リング２を押し当てるようになっている。研磨リング
２は、図１２に示すように組立て後の磁気ヘッド８を取
り付けるタイプのものや、図１３に示すように磁気ヘッ
ドのスライダＳのみを取り付けてスライダの研磨をする
タイプのものがある。The spherical lapping machine shown in FIG. 11 is provided with a surface plate 1, and the polishing ring 2 shown in FIGS. 12 and 13 is pressed against the rotating surface plate 1. The polishing ring 2 is of a type in which the assembled magnetic head 8 is attached as shown in FIG. 12, or a type in which only the slider S of the magnetic head is attached and the slider is polished as shown in FIG.
【０００５】図１４は、図１１の従来の球面ラップ盤の
断面を示していて、中心点３から半径Ｒで、外周部から
内周部にかけて球面１ａが形成されている。図１４と図
１１で示す球面ラップ盤でスライダＳの空気摺動面を研
磨すると、図１５のスライダＳが得られる。２つの空気
摺動面４，４に対してクラウンは０以上に設定でき、キ
ャンバーも０以上に設定することができる。この場合に
は、クラウン方向およびキャンバー方向共に半径Ｒの同
一の曲面が形成されるようになっている。FIG. 14 shows a cross section of the conventional spherical lapping machine of FIG. 11, in which a spherical surface 1a is formed from the central point 3 to the radius R and from the outer peripheral portion to the inner peripheral portion. By polishing the air sliding surface of the slider S with the spherical lapping machine shown in FIGS. 14 and 11, the slider S of FIG. 15 is obtained. The crown can be set to 0 or more for the two air sliding surfaces 4 and 4, and the camber can be set to 0 or more. In this case, the same curved surface having the radius R is formed in both the crown direction and the camber direction.
【０００６】これに対して、図１６のすり鉢状のラップ
盤１１は、図１６に示すようにスライダＳが矢印で示す
研磨方向１１ａに沿って移動してその空気摺動面を研磨
する。図１７はこのすり鉢状のラップ盤１１の断面を示
していて、研磨面１１ａは直線であり半径方向に対して
角度θが形成されている。そして円周方向には半径Ｒの
曲率の面が形成されている。このようなすり鉢状のラッ
プ盤１１を用いると、図１８に示すスライダＳは、クラ
ウンが０以上であり、キャンバーはほぼ０である。On the other hand, in the mortar lapping machine 11 shown in FIG. 16, the slider S moves in the polishing direction 11a shown by the arrow as shown in FIG. 16 to polish the air sliding surface thereof. FIG. 17 shows a cross section of the mortar-shaped lapping machine 11. The polishing surface 11a is a straight line and forms an angle θ with the radial direction. A surface having a radius of curvature R is formed in the circumferential direction. When such a mortar lapping machine 11 is used, the slider S shown in FIG. 18 has a crown of 0 or more and a camber of almost 0.
【０００７】[0007]
【発明が解決しようとする課題】ところで、図１４の球
面ラップ盤を用いた場合には、上述したように、図１５
のスライダＳのクラウン方向およびキャンバー方向共に
同一の曲率の摺動面を研磨することになる。一方、図１
７のすり鉢状のラップ盤を用いた場合には、図１８のス
ライダＳはクラウンは０以上であり、キャンバーはほぼ
０である。つまり摺動面が一方方向だけ曲率、つまりク
ラウン方向のみ曲率をつけることができるだけである。
さらに上述した平面ラップ盤を用いると、磁気ヘッドの
スライダの摺動面は、ほぼ平面（クラウン方向の角度が
ほぼ０で、キャンバー方向の角度も０）になってしま
う。By the way, when the spherical lapping machine of FIG. 14 is used, as shown in FIG.
The sliding surface having the same curvature in both the crown direction and the camber direction of the slider S is polished. On the other hand, FIG.
When the mortar-shaped lapping machine No. 7 is used, the slider S in FIG. 18 has a crown of 0 or more and a camber of almost 0. That is, the sliding surface can only be curved in one direction, that is, only in the crown direction.
Further, when the above flat lapping machine is used, the sliding surface of the slider of the magnetic head becomes substantially flat (the angle in the crown direction is almost 0 and the angle in the camber direction is 0).
【０００８】ところで、磁気ヘッドのスライダの記録密
度の高密度化、高信頼性が望まれているために、磁気ヘ
ッドのスライダに対して要求される技術的要求事項がよ
り厳しくなっていて、クラウン方向の角度およびキャン
バー方向の角度共に個々の曲率で形成することが必要と
されてきている。ところが、従来のラップ盤による研磨
方法では、このような要求を充分に満足することが難か
しい。また加工工程で、摺動面を形成する場合には、治
具に固定した状態で研磨するのであるが、このような加
工を行うことにより内部応力が発生し治具から脱着する
際に、その内部応力の影響で、摺動面形状（クラウン、
キャンバー、ツイスト）が変化して、全体のばらつきを
抑えることが難かしい。加えて組立て工程では、スライ
ダをサスペンションに接着する際にも応力が発生するた
めに、摺動面形状（クラウン、キャンバー、ツイスト）
が変化してしまい、全体のばらつきを管理することが難
かしい。By the way, since the recording density of the slider of the magnetic head is required to be high and the reliability is high, the technical requirements for the slider of the magnetic head are becoming stricter, and the crown is increased. It has been necessary to form both the direction angle and the camber direction angle with individual curvatures. However, it is difficult for the conventional lapping method to sufficiently satisfy such requirements. Further, in the processing step, when a sliding surface is formed, polishing is carried out in a state of being fixed to a jig. However, when such a processing is performed, internal stress is generated, and when detaching from the jig, Due to internal stress, the sliding surface shape (crown,
It is difficult to suppress the overall variation due to changes in camber and twist. In addition, in the assembly process, stress also occurs when the slider is bonded to the suspension, so the sliding surface shape (crown, camber, twist)
Change and it is difficult to manage the overall variation.
【０００９】そこで本発明は上記課題を解消するために
なされたものであり、特にたとえばハードディスクドラ
イブ用に用いられるような磁気ヘッドの低浮上量化と、
ＣＳＳの高信頼性化が図れ、磁気ヘッドの摺動面と記録
メディアとの貼り付け等を抑えることができる磁気ヘッ
ドの製造装置を提供することを目的としている。本発明
者らは、上述の目的を達成するために鋭意検討を重ねた
結果、空気摺動面（ＡＢＳ）の２方向（クラウン方向、
キャンバー方向）が独立して形成できる磁気ヘッドの製
造装置を検討した。これにより、この磁気ヘッドの製造
装置により得られる磁気ヘッドは、低浮上量化が可能で
あり、ＣＳＳの高信頼性化が得られ、摺動面の記録メデ
ィアとの貼り付けを抑えることができる。また磁気ヘッ
ドの摺動面の研磨を、磁気ヘッドの組立て工程以降に行
うことにより、それ以前の加工による応力を受けずに安
定した摺動面形状を得られることを見出し、本発明を完
成するに至った。Therefore, the present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and particularly, to reduce the flying height of a magnetic head such as used for a hard disk drive,
It is an object of the present invention to provide a magnetic head manufacturing apparatus capable of improving the reliability of CSS and suppressing the sticking between the sliding surface of the magnetic head and the recording medium. As a result of intensive studies to achieve the above-mentioned object, the present inventors have found that the air sliding surface (ABS) has two directions (crown direction,
A magnetic head manufacturing apparatus capable of independently forming the camber direction was examined. As a result, the magnetic head obtained by this magnetic head manufacturing apparatus can have a low flying height, can achieve high CSS reliability, and can suppress sticking of the sliding surface to the recording medium. Further, it was found that by performing polishing of the sliding surface of the magnetic head after the magnetic head assembling step, a stable sliding surface shape can be obtained without receiving stress due to processing before that, and the present invention is completed. Came to.
【００１０】[0010]
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、請求項１の発明にあっては、回転体を回転すること
により、磁気ヘッドのスライダの記録媒体に摺動する面
におけるクラウンとキャンバーを研磨して形成するため
の磁気ヘッドの製造装置において、前記回転体の内周部
と外周部に高低差を設け、かつ前記内周部と前記外周部
にかけて半径方向に関して球面に形成されている磁気ヘ
ッドの製造装置により、達成される。請求項２の発明で
は、好ましくは前記磁気ヘッドのスライダの記録媒体に
摺動する面には、２つの摺動面が設けられていて、これ
らの摺動面に関して前記クラウンとキャンバーを研磨し
て形成する。請求項３の発明では、好ましくは前記クラ
ウンと、前記キャンバーが異なるように、前記回転体の
内周部と外周部に高低差を設け、かつ前記内周部と前記
外周部にかけて半径方向に関して球面に形成されてい
る。請求項４の発明では、好ましくは前記磁気ヘッドを
前記回転体の半径方向に揺動可能にする揺動部を備える
請求項３に記載の磁気ヘッドの製造装置。請求項５の発
明では、好ましくは前記揺動部は、スライダをサスペン
ションに組立てて磁気ヘッドを構成した後にこの磁気ヘ
ッドを前記回転体の半径方向に揺動する。In order to achieve the above object, in the invention of claim 1, by rotating a rotating body, a crown is formed on a surface of a slider of a magnetic head that slides on a recording medium. In a magnetic head manufacturing apparatus for forming a camber by polishing, a height difference is provided between an inner peripheral portion and an outer peripheral portion of the rotating body, and a spherical surface is formed in the radial direction between the inner peripheral portion and the outer peripheral portion. This is achieved by the magnetic head manufacturing apparatus. In the invention of claim 2, preferably, two sliding surfaces are provided on a surface of the slider of the magnetic head that slides on the recording medium, and the crown and the camber are polished with respect to these sliding surfaces. Form. In the invention of claim 3, preferably, a height difference is provided between an inner peripheral portion and an outer peripheral portion of the rotating body so that the crown and the camber are different from each other, and a spherical surface is formed in a radial direction between the inner peripheral portion and the outer peripheral portion. Is formed in. The invention according to claim 4 is the apparatus for manufacturing a magnetic head according to claim 3, which preferably includes a swinging portion that swings the magnetic head in a radial direction of the rotating body. In the invention of claim 5, preferably, the oscillating portion oscillates the magnetic head in the radial direction of the rotating body after the slider is assembled to the suspension to form the magnetic head.
【００１１】[0011]
【作用】上記構成によれば、請求項１の発明では、回転
体の内周部と外周部に高低差を設けかつ内周部と外周部
にかけて半径方向に関して球面に形成されているので、
これにより摺動する面に対してキャンバー方向の曲率を
形成する。しかも、キャンバー方向の曲率とは別個に回
転体の円周方向により摺動する面に対してクラウン方向
の曲率を形成する。請求項２の発明では、好ましくは２
つの摺動面に関して前記クラウンとキャンバーを研磨し
て形成する。請求項３の発明では、好ましくは回転体の
内周部と外周部に高低差を設けかつ内周部と外周部にか
けて半径方向に関して球面が形成されていて、クラウン
の曲率とキャンバーの曲率が異なるように形成する。請
求項４の発明では、好ましくは回転体を回転し、前記磁
気ヘッドを揺動部で摺動することで、クラウンとキャン
バー方向の曲率を形成する。請求項５の発明では、好ま
しくは組み立てた後の磁気ヘッドを研磨するので、研磨
後に組み立てる場合に比べて組み立てや加工による応力
を受けず、安定した摺動面形状が最終的に得られる。According to the above structure, in the invention of claim 1, there is a height difference between the inner peripheral portion and the outer peripheral portion of the rotating body, and the inner peripheral portion and the outer peripheral portion are formed into a spherical surface in the radial direction.
This forms a camber direction curvature with respect to the sliding surface. Moreover, independently of the curvature in the camber direction, the curvature in the crown direction is formed with respect to the surface of the rotating body that slides in the circumferential direction. In the invention of claim 2, preferably 2
The crown and camber are formed by polishing with respect to one sliding surface. In the invention of claim 3, preferably, a height difference is provided between the inner peripheral portion and the outer peripheral portion of the rotating body, and a spherical surface is formed in the radial direction from the inner peripheral portion to the outer peripheral portion, and the curvature of the crown and the curvature of the camber are different. To form. In the invention of claim 4, preferably, the rotating body is rotated, and the magnetic head is slid on the swinging portion to form a curvature in the crown and the camber direction. According to the fifth aspect of the invention, preferably, the magnetic head after assembly is polished, so that a stable sliding surface shape is finally obtained without being subjected to stress due to assembly or processing as compared with the case of assembly after polishing.
【００１２】[0012]
【実施例】以下、本発明の好適な実施例を添付図面に基
づいて詳細に説明する。なお、以下に述べる実施例は、
本発明の好適な具体例であるから、技術的に好ましい種
々の限定が付されているが、本発明の範囲は、以下の説
明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、
これらの態様に限られるものではない。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENT A preferred embodiment of the present invention will be described in detail below with reference to the accompanying drawings. The examples described below are
Since it is a preferred specific example of the present invention, various technically preferable limitations are attached, but the scope of the present invention is, unless otherwise stated to limit the present invention, in the following description.
It is not limited to these modes.
【００１３】図１と図２は、本発明の磁気ヘッドの製造
装置により製造される磁気ヘッドを備えたハードディス
クドライブ用の磁気ヘッドを示している。この磁気ヘッ
ドは、既に組立て工程が終了した後の状態を示してい
る。図１と図２において、ハードディスクドライブ用の
磁気ヘッドＨは、マウント部１９、リードワイヤ２０、
サスペンション２２、スライダ３０を有している。サス
ペンション２２の先端にはスライダ３０が設定されてい
る。このスライダ３０に対してはリードワイヤが電気的
に接続されている。図３は、図１と図２に示すスライダ
３０の一例を示している。スライダ３０の記録メディア
に接する側の面には、２本のレールともいう空気摺動面
（ＡｉｒＢｅａｒｉｎｇ Ｓｕｒｆａｃｅ、ＡＢＳ）３
２，３２が、平行に形成されている。これらの空気摺動
面３２，３２は、スライダ３０の長手方向、すなわち記
録媒体（記録メディア）のほぼ接線方向あるいは記録メ
ディアの周方向に沿っている。この空気摺動面３２，３
２は、テーパ面３２ａとコア部３２ｂを有している。1 and 2 show a magnetic head for a hard disk drive provided with a magnetic head manufactured by the magnetic head manufacturing apparatus of the present invention. This magnetic head shows a state after the assembly process has already been completed. 1 and 2, a magnetic head H for a hard disk drive includes a mount portion 19, a lead wire 20,
It has a suspension 22 and a slider 30. A slider 30 is set at the tip of the suspension 22. A lead wire is electrically connected to the slider 30. FIG. 3 shows an example of the slider 30 shown in FIGS. An air sliding surface (ABS) 3 also called two rails is provided on the surface of the slider 30 that contacts the recording medium.
2 and 32 are formed in parallel. These air sliding surfaces 32, 32 extend in the longitudinal direction of the slider 30, that is, substantially in the tangential direction of the recording medium (recording medium) or in the circumferential direction of the recording medium. This air sliding surface 32,3
2 has a tapered surface 32a and a core portion 32b.
【００１４】スライダ３０の記録メディアに対面する側
の面３１には、図３に示すように長手方向、つまりクラ
ウン方向に関して曲線Ｃ１で表す曲面を形成する。また
スライダ３０の幅方向、すなわちキャンバー方向に関し
て曲線Ｃ２で表す曲面を形成する。図４は、図３のよう
にクラウン方向における曲線Ｃ１とキャンバー方向にお
ける曲線Ｃ２を形成する前のスライダ３０の状態を示し
ている。つまり、クラウンは０であり、キャンバーも０
である。ここで、クラウンとは、磁気ヘッドの浮上量を
得るためにハードディスクに対する接触面積や接触のチ
ャンスを減らし、しかもスライダがハードディスクに対
して貼り付くのを防止するために設けられる。キャンバ
ーとは、スライダによりハードディスクを傷つけること
を減らし、スライダがハードディスクに対して貼り付く
のを防止するために設けられる。On the surface 31 of the slider 30 facing the recording medium, a curved surface represented by a curve C1 in the longitudinal direction, that is, the crown direction is formed as shown in FIG. Further, a curved surface represented by a curve C2 is formed in the width direction of the slider 30, that is, the camber direction. FIG. 4 shows the state of the slider 30 before forming the curve C1 in the crown direction and the curve C2 in the camber direction as in FIG. That is, the crown is 0 and the camber is also 0.
Is. Here, the crown is provided to reduce the contact area and the chance of contact with the hard disk in order to obtain the flying height of the magnetic head, and to prevent the slider from sticking to the hard disk. The camber is provided to reduce damage to the hard disk by the slider and prevent the slider from sticking to the hard disk.
【００１５】図５は、本発明の磁気ヘッドの製造装置の
好ましい実施例を示している。図５の磁気ヘッドの製造
装置は、本体４０とラップ盤４２および治具４４、そし
て操作盤４６等を有している。本体４０の上部には、回
転体としてのラップ盤４２が図示しない駆動手段により
回転可能に支持されている。治具４４は、好ましくは上
述した既に組立て工程が終了した後の磁気ヘッドＨを着
脱可能に保持することができるようになっている。FIG. 5 shows a preferred embodiment of the magnetic head manufacturing apparatus of the present invention. The magnetic head manufacturing apparatus of FIG. 5 has a main body 40, a lapping board 42, a jig 44, an operation board 46, and the like. On the upper part of the main body 40, a lapping plate 42 as a rotating body is rotatably supported by a driving means (not shown). The jig 44 is preferably configured to be capable of detachably holding the magnetic head H after the above-described assembling process is completed.
【００１６】図６はラップ盤４２と治具４４の一部を拡
大して示している。治具４４は、図示しない駆動手段に
よりラップ盤４２の半径Ｒ方向、垂直方向Ｖ方向に移動
できる。さらに治具４４は、揺動方向Ｑ方向に移動でき
るようになっている。図７は、本発明の磁気ヘッドの製
造装置のラップ盤の好ましい実施例を示している。この
ラップ盤４２の形状は次のようになっている。ラップ盤
４２の研磨面４３は、外周部４４と内周部４６を有して
いる。この外周部４４と内周部４６の間には、図８に示
すように高低差Ｅが設けられている。しかも研磨面４３
に対しては図７と図８に示すように、所定の半径Ｒ１を
有する球面に形成されている。図９は、図８の研磨面４
３をさらに拡大して示し、かつスライダ３０の空気摺動
面３２，３２を研磨面４３により研磨している状態の一
例を示している。スライダ３０は、研磨方向Ｆに沿っ
て、つまりラップ盤４２の半径方向に沿って揺動するこ
とにより研磨することができる。このようにスライダ３
０を揺動するのは、図５と図６に示す治具４４である。FIG. 6 is an enlarged view showing a part of the lapping machine 42 and the jig 44. The jig 44 can be moved in the radius R direction and the vertical direction V direction of the lapping machine 42 by a driving means (not shown). Further, the jig 44 can move in the swinging direction Q. FIG. 7 shows a preferred embodiment of the lapping machine of the magnetic head manufacturing apparatus of the present invention. The shape of the lapping machine 42 is as follows. The polishing surface 43 of the lapping machine 42 has an outer peripheral portion 44 and an inner peripheral portion 46. A height difference E is provided between the outer peripheral portion 44 and the inner peripheral portion 46 as shown in FIG. Moreover, the polishing surface 43
On the other hand, as shown in FIGS. 7 and 8, it is formed into a spherical surface having a predetermined radius R1. FIG. 9 shows the polishing surface 4 of FIG.
3 is further enlarged and an example of a state in which the air sliding surfaces 32, 32 of the slider 30 are polished by the polishing surface 43 is shown. The slider 30 can be polished by rocking along the polishing direction F, that is, along the radial direction of the lapping plate 42. Slider 3
It is the jig 44 shown in FIGS. 5 and 6 that swings 0.
【００１７】次に、上述した磁気ヘッドの製造装置によ
る磁気ヘッドのスライダの研磨動作について説明する。
図５と図６の治具４４に対して、たとえば図１と図２に
示すような組立て工程終了後のハードディスクドライブ
用の磁気ヘッドＨを装着する。図５と図７に示すラップ
盤４２を、図示しない駆動手段を駆動することにより回
転して、図９に例示するようにして、スライダ３０を研
磨方向Ｆに沿って揺動する。これにより、図１０に示す
ようにスライダ３０の空気摺動面３２，３２は、キャン
バーは０以上であり、かつキャンバーも０以上である。
つまり、クラウン方向の曲線Ｃ１は、図７と図８に示す
ように、ラップ盤４２の円周方向に関して曲率があるた
めに、形成することができる。これに対してキャンバー
方向の曲線Ｃ２は、図８の半径Ｒ１の研磨面４３により
形成することができる。このことによって、クラウン方
向に関する曲率とキャンバー方向に関する曲率は、必ず
しも同じではなく、個々に別々な値に設定することがで
きる。すなわち、図７のラップ盤４２の形状としては、
ある半径Ｒを有した研磨面（球面）４３に形成すること
と、外周部４４と内周部４６に関して高低差を設けるこ
とと、の２つの方式を組合せて採用し、ラップ盤４２上
でスライダ３０を図９の半径方向（研磨方向）Ｆに揺動
させることで、図１０に示すようなスライダの空気摺動
面３２，３２を形成することができる。Next, the polishing operation of the slider of the magnetic head by the above-described magnetic head manufacturing apparatus will be described.
A magnetic head H for a hard disk drive after the assembly process as shown in FIGS. 1 and 2, for example, is mounted on the jig 44 shown in FIGS. The lapping table 42 shown in FIGS. 5 and 7 is rotated by driving a driving unit (not shown) to swing the slider 30 along the polishing direction F as illustrated in FIG. As a result, as shown in FIG. 10, the air sliding surfaces 32, 32 of the slider 30 have a camber of 0 or more and a camber of 0 or more.
That is, the curve C1 in the crown direction can be formed because it has a curvature in the circumferential direction of the lapping machine 42 as shown in FIGS. 7 and 8. On the other hand, the curve C2 in the camber direction can be formed by the polishing surface 43 having the radius R1 in FIG. As a result, the curvature in the crown direction and the curvature in the camber direction are not necessarily the same and can be set to different values individually. That is, as the shape of the lapping machine 42 of FIG.
The two methods of forming a polishing surface (spherical surface) 43 having a certain radius R and providing a height difference between the outer peripheral portion 44 and the inner peripheral portion 46 are adopted in combination, and the slider is mounted on the lapping machine 42. By swinging 30 in the radial direction (polishing direction) F of FIG. 9, air sliding surfaces 32, 32 of the slider as shown in FIG. 10 can be formed.
【００１８】なお、上述した実施例では図１に示すよう
に、既にスライダ３０がサスペンション２２に取り付け
られた状態、つまり組立て工程終了後の磁気ヘッドを図
５と図６の治具４４に取り付けるようにしている。従っ
て、組立て工程以降に磁気ヘッドのスライダの摺動面を
研磨して形成することになり、それ以前の組み立てや加
工による応力を受けず、安定した摺動面形状が最終的に
得られる。In the above embodiment, as shown in FIG. 1, the slider 30 is already attached to the suspension 22, that is, the magnetic head after the assembly process is finished is attached to the jig 44 shown in FIGS. I have to. Therefore, the sliding surface of the slider of the magnetic head is polished and formed after the assembling process, and a stable sliding surface shape is finally obtained without being subjected to stress due to the assembly and processing before that.
【００１９】このように、本発明の実施例では、摺動面
の２方向（クラウン、キャンバー）が独立して各々の値
で形成することができる。従って、たとえばハードディ
スク用の磁気ヘッドの低浮上量化、ＣＳＳの高信頼性化
を達成するために、クラウンおよびキャンバーを独立し
て別々な値の曲率もしくは半径に設定することができ、
このようにクラウンとキャンバーについてそれぞれ所定
の別の値を設定することにより、摺動面の記録メディア
に対する貼り付け現象を抑えることができる。As described above, in the embodiment of the present invention, the two directions (crown and camber) of the sliding surface can be independently formed with respective values. Therefore, for example, in order to achieve a low flying height of a magnetic head for a hard disk and a high reliability of CSS, the crown and the camber can be independently set to different curvatures or radii,
By setting different predetermined values for the crown and the camber in this way, it is possible to suppress the sticking phenomenon of the sliding surface to the recording medium.
【００２０】このようにして磁気ヘッドのスライダの浮
上の安定化を考えると、このようなスライダ形状の、ク
ラウンおよびキャンバーに関する形状のコントロールは
重要であり、しかもクラウンとキャンバーが独立でコン
トロールできるメリットは大きい。ところで本発明は上
記実施例に限定されない。たとえば、空気摺動面の数
は、２つに限らず３以上設けても構わない。また、磁気
記録媒体としては、ハードディスク以外のたとえばフロ
ッピディスクなどをも含む。Considering the stabilization of the flying of the slider of the magnetic head in this way, it is important to control the shape of the slider and the crown and camber, and the merit that the crown and camber can be controlled independently is important. large. The present invention is not limited to the above embodiment. For example, the number of air sliding surfaces is not limited to two and may be three or more. Further, the magnetic recording medium includes, for example, a floppy disk other than the hard disk.
【００２１】[0021]
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
ハードディスクドライブ用に用いられるような磁気ヘッ
ドの低浮上量化、ＣＳＳの高信頼性化が図れ、磁気ヘッ
ドの摺動面と記録メディアとの貼り付け等を抑えること
ができる。As described above, according to the present invention,
The flying height of a magnetic head used for a hard disk drive can be reduced, the reliability of CSS can be improved, and sticking between a sliding surface of the magnetic head and a recording medium can be suppressed.
【図１】本発明の実施例である、ハードディスクドライ
ブ用の磁気ヘッド（組立て工程終了後）を示す平面図。FIG. 1 is a plan view showing a magnetic head for a hard disk drive (after completion of an assembling process), which is an embodiment of the present invention.
【図２】図１の磁気ヘッドの側面図。FIG. 2 is a side view of the magnetic head of FIG.
【図３】図１と図２のスライダおよびそのクラウンおよ
びキャンバーに関する形状を示す図。FIG. 3 is a diagram showing the shapes of the slider and its crown and camber of FIGS. 1 and 2;
【図４】スライダに対してクラウンおよびキャンバー共
に形成されていない元の状態の形状を示す図。FIG. 4 is a view showing a shape of an original state in which neither a crown nor a camber is formed on a slider.
【図５】本発明のハードディスクドライブ用の磁気ヘッ
ドのスライダを研磨するためのラッピングマシンの一例
を示す斜視図。FIG. 5 is a perspective view showing an example of a lapping machine for polishing a slider of a magnetic head for a hard disk drive of the present invention.
【図６】図５のラッピングマシンの一部を拡大して示す
図。6 is an enlarged view showing a part of the lapping machine of FIG.
【図７】本発明のラッピングマシンに設けられるラップ
盤（ラップ定盤）の一例を示す斜視図。FIG. 7 is a perspective view showing an example of a lapping machine (lap surface plate) provided in the lapping machine of the present invention.
【図８】図７のラップ盤の断面を示す図。8 is a diagram showing a cross section of the lapping machine of FIG. 7. FIG.
【図９】図８のラップ盤の一部を拡大しかつスライダお
よびその研磨方向を示す図。9 is an enlarged view of a part of the lapping machine of FIG. 8 and showing a slider and a polishing direction thereof.
【図１０】図７ないし図９のラップ盤により形成された
スライダの摺動面を示す図。FIG. 10 is a diagram showing a sliding surface of a slider formed by the lapping machine of FIGS. 7 to 9;
【図１１】従来の球面ラップ盤を示す斜視図。FIG. 11 is a perspective view showing a conventional spherical lapping machine.
【図１２】組立て工程を終了したハードディスク用磁気
ヘッドを取り付ける研磨リングの一例を示す図。FIG. 12 is a view showing an example of a polishing ring for mounting a magnetic head for a hard disk which has completed an assembling process.
【図１３】スライダのみを取り付けて研磨するための研
磨リングを示す図。FIG. 13 is a view showing a polishing ring for mounting and polishing only a slider.
【図１４】図１１の従来の球面ラップ盤の断面図。14 is a sectional view of the conventional spherical lapping machine of FIG.
【図１５】図１４の従来のラップ盤により研磨されたス
ライダの一例を示す図。FIG. 15 is a view showing an example of a slider polished by the conventional lapping machine of FIG.
【図１６】従来の別のすり鉢状のラップ盤を示す図。FIG. 16 is a view showing another conventional mortar-shaped lapping machine.
【図１７】図１６のすり鉢状のラップ盤の断面図。17 is a cross-sectional view of the mortar-shaped lapping machine of FIG.
【図１８】図１６のすり鉢状のラップ盤により研磨され
たスライダを示す図。FIG. 18 is a view showing a slider polished by the mortar-shaped lapping machine shown in FIG. 16;
３０ スライダ ３２，３２ 空気摺動面（摺動する面） ４２ ラップ盤（回転体） ４３ 球面 ４４ 外周部 ４６ 内周部 Ｃ１ クラウン方向の形状を示す曲線 Ｃ２ キャンバー方向の形状を示す曲線 Ｈ 磁気ヘッド 30 slider 32, 32 air sliding surface (sliding surface) 42 lapping machine (rotating body) 43 spherical surface 44 outer peripheral portion 46 inner peripheral portion C1 curve showing the shape in the crown direction C2 curve showing the shape in the camber direction H magnetic head
Claims (5)
ドのスライダの記録媒体に摺動する面におけるクラウン
とキャンバーを研磨して形成するための磁気ヘッドの製
造装置において、 前記回転体の内周部と外周部に高低差を設け、かつ前記
内周部と前記外周部にかけて半径方向に関して球面に形
成されていることを特徴とする磁気ヘッドの製造装置。1. A magnetic head manufacturing apparatus for polishing and forming a crown and a camber on a surface of a slider of a magnetic head, which slides on a recording medium, by rotating a rotating body. An apparatus for manufacturing a magnetic head, characterized in that a height difference is provided between the inner peripheral portion and the outer peripheral portion, and the inner peripheral portion and the outer peripheral portion are formed into a spherical surface in the radial direction.
摺動する面には、２つの摺動面が設けられていて、これ
らの摺動面に関して前記クラウンとキャンバーを研磨し
て形成する請求項１に記載の磁気ヘッドの製造装置。2. A surface of the slider of the magnetic head that slides on a recording medium is provided with two sliding surfaces, and the crown and the camber are formed by polishing the sliding surfaces. 1. A magnetic head manufacturing apparatus according to item 1.
るように、前記回転体の内周部と外周部に高低差を設
け、かつ前記内周部と前記外周部にかけて半径方向に関
して球面に形成されている請求項２に記載の磁気ヘッド
の製造装置。3. A height difference is provided between an inner peripheral portion and an outer peripheral portion of the rotating body so that the crown and the camber are different from each other, and the inner peripheral portion and the outer peripheral portion are formed into a spherical surface in a radial direction. The magnetic head manufacturing apparatus according to claim 2.
に揺動可能にする揺動部を備える請求項３に記載の磁気
ヘッドの製造装置。4. The apparatus for manufacturing a magnetic head according to claim 3, further comprising a swing unit that swings the magnetic head in a radial direction of the rotating body.
ンに組立てて磁気ヘッドを構成した後にこの磁気ヘッド
を前記回転体の半径方向に揺動する請求項４に記載の磁
気ヘッドの製造装置。5. The magnetic head manufacturing apparatus according to claim 4, wherein the oscillating portion oscillates the magnetic head in the radial direction of the rotating body after the slider is assembled to the suspension to form a magnetic head.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2873895A JPH08203051A (en) | 1995-01-25 | 1995-01-25 | Magnetic head manufacturing device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2873895A JPH08203051A (en) | 1995-01-25 | 1995-01-25 | Magnetic head manufacturing device |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08203051A true JPH08203051A (en) | 1996-08-09 |
Family
ID=12256775
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2873895A Pending JPH08203051A (en) | 1995-01-25 | 1995-01-25 | Magnetic head manufacturing device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08203051A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7392580B2 (en) | 2005-08-26 | 2008-07-01 | Sae Magnetics (H.K.) Ltd. | Method for manufacturing a slider using electromagnetic wave |
-
1995
- 1995-01-25 JP JP2873895A patent/JPH08203051A/en active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7392580B2 (en) | 2005-08-26 | 2008-07-01 | Sae Magnetics (H.K.) Ltd. | Method for manufacturing a slider using electromagnetic wave |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR100570132B1 (en) | Edge finishing process for glass or ceramic disks used in disk drive data storage devices | |
| US7027246B2 (en) | Method for servo pattern application on single-side processed disks in a merged state | |
| US7245459B2 (en) | Critically exposed lapping of magnetic sensors for target signal output | |
| JP4780607B2 (en) | A method for manufacturing a glass substrate for a magnetic disk, a glass substrate for a magnetic disk, and a method for manufacturing a magnetic disk. | |
| US6238276B1 (en) | Sizing lapping apparatus | |
| JPH08203051A (en) | Magnetic head manufacturing device | |
| CN100379523C (en) | Processing method and apparatus for media surface of hard disk in dynamic electronic measurement | |
| JP2000215429A (en) | Method and jig for grinding magnetic head slider | |
| US6080043A (en) | Apparatus and method for achieving positive crown during ABS lap | |
| JPH08161717A (en) | Hard disc and spin stand for magnetic head | |
| JP2948598B2 (en) | Method of manufacturing core slider for magnetic head | |
| JP6199047B2 (en) | Manufacturing method of glass substrate for magnetic disk | |
| JP2000153452A (en) | Lapping machine, and crown forming device | |
| US6675464B2 (en) | Method of manufacturing a magnetic head | |
| JPS58220268A (en) | Lapping method of magnetic head | |
| JPH07132456A (en) | Polishing method | |
| JPH08180315A (en) | Method for working curved surface of magnetic head | |
| JPH06236511A (en) | Front surface polishing of magnetic head | |
| JPH11333717A (en) | Grinding wheel forming device and method for using it | |
| JPH0528414A (en) | Method for adjusting magnetic disk device | |
| JPH0518163B2 (en) | ||
| JPS6370918A (en) | Floating type magnetic head | |
| JPH0542466A (en) | Manufacture of magnetic head | |
| JPH07205035A (en) | Dual structure type cup grinding wheel | |
| JPH0250353A (en) | Structure of floppy head with both planes |