JPH08194105A - カラーフイルタの製造法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 感光性フイルムの追随性、作業性よく基板上
に均一な厚さの高精度の多色の微細パターンの形成され
た優れた耐熱性を有するカラーフイルタの製造法を提供
する。 【構成】 赤、緑及び青の三色のパターンが形成された
透明基板上に、ベースフイルムと黒色に着色された感光
性樹脂層とからなる感光性フイルムを、（１）着色され
た感光性樹脂層が前記基板に面するように貼り合わせる
工程、（２）パターン状に露光する工程、（３）ベース
フイルムを剥離する工程及び（４）現像工程を少なくと
も含む工程により、黒色パターンを形成させるカラーフ
イルタの製造法において、黒色の感光性樹脂層が前記透
明基板に面するように、画素間に空間を形成して張り合
わせる工程を行い、前記（１）と（４）の工程の間に、
加熱により黒色に着色された感光性樹脂層をベースフイ
ルムから透明基板上の画素間空間へ移行させる移行工程
を含むことを特徴とするカラーフイルタの製造法。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、カラーフイルタの製造
法に関する。

【０００２】

【従来の技術】カラーフイルタは、ガラスなどの光学的
に透明な基板の表面に２種以上の色相を異にする極めて
微細なストライプ状又はモザイク状のパターンを、一定
の間隔を開けて平行又は交差して並べた物である。これ
らのパターンは、色相を所定の順序に所定の間隔をおい
て整然と配置し、厚さムラの少ない均一な層とする必要
があり、スクリーン印刷法、フォトリソグラフィ法、染
色法等のカラーフイルタの製造法が提案されている。

【０００３】また、ベースフイルム及び感光性樹脂層を
有する感光性フイルムを使用した、多色の微細なストラ
イプ状又はモザイク状のパターンを簡単に高精度で形成
できるカラーフイルタの製造法が知られている。感光性
フイルムは公知であり、特公昭４５−２５２３１号公報
等に開示されている。

【０００４】感光性フイルムを用いてカラーフイルタを
作成する方法としては、一色に着色された感光性樹脂組
成物をベースフイルムに塗布乾燥した感光性フイルムの
感光性樹脂層を、透明な基板の上に転写して、所定のパ
ターンマスクを介して露光、現像してパターンを形成す
る方法（特開昭６１−９９１０２号公報、特開平３−１
６０４５４号公報、特開平３−１１１８０２号公報、特
開平２−１５１８０５号公報、特開平４−２１２１６１
号公報、特開平４−３０１６０２号公報、特開平５−２
１０７号公報等）が知られている。

【０００５】感光性フイルムは、良好なパターンを得る
ために、その追従性を向上させることが必要である。感
光性フイルムの追従性を向上させる方法としては、例え
ば、基板に段差があっても、その基板を正確に微細加工
できることを特徴とする三層レジスト法（J.Vac.Sci.Te
chnol.,16巻1620頁 1968年発行等）、現像前で露光後に
感光性レジスト層を５０〜１５０℃、３０〜６０秒の条
件で加熱して、ＵＶ光が充分に当たらない下層部分の反
応を促進させるアフタベーク法（特開平３−１９６５９
６号公報等）等が挙げられる。また、顔料分散フォトポ
リマーを用いたカラーフイルタで、光開始剤のラジカル
により誘起したモノマーラジカルの発生とその重合連鎖
反応を促進し、スピンナーを用いて感光性レジスト層を
塗布し、溶剤除去のためにプリベーク（例えば、８５℃
で５分間）を行うプリベーク法（J.Photopolym.Sci.Tec
hnol.,Vol.2,No.2,1989年 244頁〜248頁）等が挙げられ
る。

【０００６】いわゆるブラックマトリックスはカラーフ
イルタの赤、緑及び青の画素の間を黒色の画素で埋める
ものであって、クロム等の黒色の無機材料の蒸着膜、カ
ーボンやグラファイトの黒色顔料を樹脂に分散した薄膜
等から構成されている。電着法等で赤、緑及び青の画素
を構成して、黒の顔料分散のレジスト液を塗布して露光
現像し、ブラックマトリックスを形成する方法などがあ
る。

【０００７】従来のフイルム法によるカラーフイルタの
製造法では、黒色の層を形成する際に、既に形成された
赤、緑及び青の着色層と前記基板上に直接接触する黒色
の着色層との間に段差が生ずる。この段差があるために
黒色の着色層が下地（透明ガラス）に接触せず、また不
十分な接着圧力の為、黒色のブラックマトリックス画素
に欠損が生じる。染色法、顔料レジスト法、電着法、印
刷法などの赤、緑及び青の画素が形成されたカラーフイ
ルタ基板上に黒色のブラックマトリックスをスピンナー
で黒色のレジスト液を塗布乾燥露光現像して形成する方
法があるが、この場合も既に形成された赤、緑及び青の
着色層と前記基板上に直接接触する黒色の着色層との間
に段差が生ずる欠点があった。この段差は、黒色のブラ
ックマトリックス画素の両端が持ち上がるいわゆるＭ状
段差であり、Ｍ状段差の発生によりカラーフイルタ表面
の平滑性が得られない問題があった。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】本発明は、前記した従
来の技術の問題点を解決し、赤、緑及び青の着色層に接
する黒色の着色層部分のＭ状段差の発生のない、作業性
よく、基板上に均一な厚さの高精度のブラックマトリッ
クスの微細パターンの形成された優れたカラーフイルタ
の製造法を提供するものである。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明は、赤、緑及び青
の三色のパターンが形成された透明基板上に、ベースフ
イルムと黒色に着色された感光性樹脂層とからなる感光
性フイルムを、（１）着色された感光性樹脂層が前記基
板に面するように貼り合わせる工程、（２）パターン状
に露光する工程、（３）ベースフイルムを剥離する工程
及び（４）現像工程を少なくとも含む工程により、黒色
パターンを形成させるカラーフイルタの製造法におい
て、黒色の感光性樹脂層が前記透明基板に面するよう
に、画素間に空間を形成して張り合わせる工程を行い、
前記（１）と（４）の工程の間に、加熱により黒色に着
色された感光性樹脂層をベースフイルムから透明基板上
の画素間空間へ移行させる移行工程を含むことを特徴と
するカラーフイルタの製造法に関する。

【００１０】黒色のカラーフイルタの画素の表面を平坦
化するために前記（１）と（４）の工程の間で、赤、緑
及び青の三色のパターンが形成された透明基板上に、ベ
ースフイルムと黒色に着色された感光性樹脂層をベース
フイルムから基板表面上の空間に移行させる移行工程の
態様についてさらに詳細に図１を用いて説明する。図１
は本発明の製造法を示すフイルム及びフイルタの断面図
であって、ベースフイルム１がＰＥＴ（ポリエチレンテ
レフタレートフイルム）で、赤、緑及び青の三色のパタ
ーンが形成された透明基板上に黒色に着色された感光性
樹脂層を形成していく方法を説明する。

【００１１】（ａ）はベースフイルム１（ＰＥＴ ポリ
エチレンテレフタレートフイルム）と着色感光性樹脂層
（黒）２からなる感光性フイルムの着色感光性樹脂層と
前置画素（赤、緑及び青）３が整然と配列されている透
明基板４が面している状態を示す。（ｂ）は感光性フイ
ルムの着色感光性樹脂層と赤、緑及び青の前置画素が整
然と配列されている基板との画素間に空間を形成した貼
り合わせを示している。この時、黒色感光性樹脂層は前
置画素及び基板に追随している必要はなく、完全に平坦
なままで、前置画素の表面に接触していることが好まし
い。もしも、黒色感光性樹脂層が少しでも前置画素間に
押し込まれると黒色感光性樹脂層が変形し膜厚の不均
一、傷、割れ目が発生して、黒色のブラックマトリック
ス画素に欠陥が生じる傾向がある。（ｂ）では黒（Ｂ
Ｌ）の着色感光性樹脂層が前置画素である赤、緑及び青
（３）に密着している。ここで、空間と表示してある部
分は赤、緑及び青の感光性樹脂層も黒色感光性樹脂層も
存在していない空間の部分であって、真空中でラミネー
トした場合は真空の部分、窒素気流中でラミネートした
ときは窒素が充満した部分、空気中でラミネートしたと
きは空気が充満した部分になる。

【００１２】（ｃ）は本発明における移行工程の終了し
た後の様子を示し、上記の（１）〜（４）の工程の
（１）〜（４）の間において移行工程を行ない、黒色感
光性樹脂層（ＢＬ）と空間を置換した後である。黒色感
光性樹脂層（ＢＬ）の空間部分への移行は加熱によって
行う。（ｂ）の状態で貼り合わせ直後は黒色感光性樹脂
層はベースフイルムに密着しているが、加熱により、流
動性が増大し、表面張力や重力によって基板表面上の空
間内に移行を始める。黒色感光性樹脂層はベースフイル
ムよりも基板に対する密着力が大きい、即ち黒色感光性
樹脂層の接触角がＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレー
ト）の接触角よりも基板に対して大きいので、前置画素
の壁を伝って流れ落ちる場合、ベースフイルム面で液滴
を作って増大し基板と接触した後、基板上に広がって移
行を完了する場合がある。（ｃ）の移行工程が終了する
と黒色感光性樹脂層（ＢＬ）は基板表面上の空間に移行
し、その表面上に空間が出現し、黒色感光性樹脂層と空
間が入れ替わる。このとき、黒色感光性樹脂層はその表
面張力によって均一化しているので、黒色感光性樹脂層
表面の平坦性は優れたものであり、現像後の画素は一色
目とほとんど同一の断面形状を持つ。黒色感光性樹脂層
２（ＢＬ）の空間部分への移行は加熱によって行うが、
加熱は室温以上で、黒色感光性樹脂層が熱硬化反応を開
始する温度以下で行う。通常、加熱温度は４０〜１００
℃で、加熱時間は５〜６０分間とされる。低温では長時
間、高温では短時間で移行は完了し、移行した黒色感光
性樹脂層表面は高度の平坦性を有する。加熱には、熱板
加熱、オーブン加熱、超音波加熱、赤外線加熱、電磁誘
導加熱、温水浸漬、摩擦熱加熱、圧力オーブン内での加
温、真空容器中での加温などがあり、これらに限定され
ない。本発明の移行工程は上記の（１）〜（４）の間で
実施されるが、（２）の露光工程の前でも後でも良く、
露光工程の前と後の二回実施しても良く、また、露光工
程において行うことも可能である。

【００１３】（ｄ）は黒色感光性樹脂層（ＢＬ）露光後
に現像した後のカラーフイルタの画素の断面の形状を示
す。ベースフイルムの剥離は、露光工程後現像工程前ま
たは露光工程前に行われる。また、黒色のパターンの形
成前に、感光性フィルムを用いて、赤、緑及び青の三色
パターンの形成を行う場合、二色目以降の着色された感
光性樹脂層が前記基板に面するように、画素間に空間を
形成して貼り合わせる工程を行い、前記（１）と
（４）の工程の間に、加熱により二色目以降の感光性樹
脂層をベースフイルムから画素間の空間へ移行させる移
行工程を行うことが好ましい。

【００１４】本発明に用いられる感光性フイルムは、透
明なベースフイルム、例えば、ポリエチレンテレフタレ
ート等のフイルム上に、一色に着色された感光性樹脂組
成物を塗布し、乾燥させて一色に着色された感光性樹脂
層を形成させたものである。この着色感光性樹脂層は未
硬化であり、柔軟で、粘着性を有するため、この上にさ
らにポリエチレンフイルム等の保護フイルムを貼り合わ
せて、外部からの損傷、異物の付着等を防止することが
望ましい。感光性フイルムに形成された着色感光性樹脂
層は、保護フイルムを剥がしながら透明基板上に貼り合
わされ、また、前記着色感光性樹脂層表面のベースフイ
ルムは、所定パターンのネガマスクを通じて露光した後
に除去される。

【００１５】一色に着色された感光性樹脂組成物は、エ
チレン性不飽和化合物（ａ）、カルボキシル基含有フイ
ルム性付与ポリマー（ｂ）、光重合開始剤（ｃ）及び顔
料又は染料（ｄ）を含有することが好ましく、この感光
性樹脂組成物を用いた感光性フイルムの感光性樹脂組成
物層の厚さは、０．５〜１５μｍであることが好まし
い。

【００１６】エチレン性不飽和化合物（ａ）としては、
例えば、多価アルコールにα，β−不飽和カルボン酸を
付加して得られる化合物（トリメチロールプロパンジ
（メタ）アクリレート（メタアクリレート又はアクリレ
ートを意味する。以下同じ）、トリメチロールプロパン
トリ（メタ）アクリレート、テトラメチロールメタント
リ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールペン
タ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキ
サ（メタ）アクリレート等）、グリシジル基含有化合物
にα，β−不飽和カルボン酸を付加して得られる化合物
（トリメチロールプロパントリグリシジルエーテルトリ
アクリレート、ビスフェノールＡジグリシジルエーテル
ジ（メタ）アクリレート等）、多価カルボン酸（無水フ
タル酸等）と水酸基及びエチレン性不飽和基を有する化
合物（β−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート等）
とのエステル化物、（メタ）アクリル酸（メタアクリル
酸又はアクリル酸を意味する、以下同じ）のアルキルエ
ステル（（メタ）アクリル酸メチル、（メタ）アクリル
酸エチル、（メタ）アクリル酸ブチル、（メタ）アクリ
ル酸２−エチルヘキシル等）、トリメチルヘキサメチレ
ンジイソシアナートと２価アルコールと２価の（メタ）
アクリル酸モノエステルとを反応させて得られるウレタ
ンジアクリレート化合物などが挙げられる。これらの化
合物は単独で又は２種以上を組み合わせて使用される。
（ａ）成分の配合量は、（ａ）成分と（ｂ）成分の総量
を１００重量部として９０〜５０重量部とすることが好
ましい。

【００１７】カルボキシル基含有フイルム性付与ポリマ
ー（ｂ）としては、例えば、（メタ）アクリル酸アルキ
ルエステルと（メタ）アクリル酸との共重合体、（メ
タ）アクリル酸アルキルエステルと（メタ）アクリル酸
とこれらと共重合し得るビニルモノマーとの共重合体等
が挙げられる。（メタ）アクリル酸アルキルエステルと
しては、例えば、（メタ）アクリル酸メチル、（メタ）
アクリル酸エチル、（メタ）アクリル酸ブチル、（メ
タ）アクリル酸２−エチルヘキシル等が挙げられる。ま
た、（メタ）アクリル酸アルキルエステル、（メタ）ア
クリル酸及びこれらと共重合し得るビニルモノマーとし
ては、（メタ）アクリル酸ジメチルエチル、（メタ）ア
クリル酸テトラヒドロフルフリル、（メタ）アクリル酸
ジエチル、２，２，２−トリフルオロエチル（メタ）ア
クリレート、２，２，３，３−テトラフルオロプロピル
（メタ）アクリレート、アクリルアミド、ジアセトンア
クリルアミド、スチレン、ビニルトルエン等が挙げられ
る。（ｂ）成分には、テレフタル酸、イソフタル酸、セ
バシン酸等を用いたポリエステル、ブタジエンとアクリ
ロニトリルとの共重合体、セルロースアセテート、セル
ロースアセテートブチレート、メチルセルロース、エチ
ルセルロース等を添加することができる。（ｂ）成分の
使用によって、塗膜性や硬化物の膜特性が向上し、その
配合量は、（ａ）成分と（ｂ）成分の総量を１００重量
部として１０〜５０重量部とすることが好ましい。この
配合量が１０重量部未満では、エチレン性不飽和化合物
が多くなるため光感度が低下する傾向があり、５０重量
部を超えると、光硬化物が脆くなる傾向がある。また、
（ｂ）成分の重量平均分子量は、前記塗膜性や膜強度の
点から１０，０００以上とすることが好ましい。

【００１８】光重合開始剤（ｃ）としては、例えば、芳
香族ケトン（ベンゾフェノン、Ｎ，Ｎ′−テトラメチル
−４，４′−ジアミノベンゾフェノン（ミヒラーのケト
ン、Ｎ，Ｎ′−テトラメチル−４，４′−ジアミノベン
ゾフェノン、４−メトキシ−４′−ジメチルアミノベン
ゾフェノン、４，４′−ジエチルアミノベンゾフェノ
ン、２−エチルアントラキノン、フェナントレンキノン
等）、ベンゾイン（ベンゾインエーテル（ベンゾインメ
チルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾイン
フェニルエーテル等）、メチルベンゾイン、エチルベン
ゾイン等）、２，４，５−トリアリールイミダゾール二
量体（２−（ｏ−クロロフェニル）−４，５−ジフェニ
ルイミダゾール二量体、２−（ｏ−クロロフェニル）−
４，５−ジ（ｍ−メトキシフェニル）−４，５−ジフェ
ニルイミダゾール二量体、２−（ｏ−フルオロフェニ
ル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二量体、２−
（ｏ−メトキシフェニル）−４，５−ジフェニルイミダ
ゾール二量体、２−（ｐ−メトキシフェニル）−４，５
−ジフェニルイミダゾール二量体、２，４−ジ（ｐ−メ
トキシフェニル）−５−フェニルイミダゾール二量体、
２−（２，４−ジメトキシフェニル）−４，５−ジフェ
ニルイミダゾール二量体、２−（ｐ−メチルメルカプト
フェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二量体
等）などが用いられる。これらは、単独で又は２種類以
上を組み合わせて使用される。（ｃ）成分の配合量は、
（ａ）成分と（ｂ）成分の総量１００重量部に対して
０．１〜１０重量部とすることが好ましい。この配合量
が０．１重量部未満では、光感度が不十分となる傾向が
あり、１０重量部を超えると、露光の際に組成物の表面
での光吸収が増大し、内部の光硬化が不十分となる傾向
がある。

【００１９】前記顔料又は染料（ｄ）としては、一般に
知られている着色剤が使用でき、感光性樹脂層、特にエ
チレン性不飽和化合物又はカルボキシル基含有フイルム
性付与ポリマーに対する相溶性、目標とする色相、光透
過性等を考慮して選択される。カラーフイルタに使用で
きる顔料としては、各種の化合物が使用でき、例えば、
硫酸バリウム、酸化亜鉛、硫酸鉛、酸化チタン、ベンガ
ラ、カーボンブラック、グラファイト、酸化クロムなど
の無機顔料、下記の有機顔料（カラーインデックス番
号）などがある。 黄色顔料：C.I.ピグメントイエロー２０、２４、８３、
８６、９３、１０９、１１０、１１７、１２５、１３
７、１３８、１３９、１４７、１４８、１５３、１５
４、１６６、１６８ オレンジ顔料：C.I.ピグメントオレンジ３６、４３、５
１、５５、５９、６１ 赤色顔料：C.I.ピグメントレッド９、９７、１２２、１
２３、１４９、１６８、１７７、１８０、０９２、２１
５、２１６、２１７、２２０、２２３、２２４、２２
６、２２７、２２８、２４０、４８：１ バイオレット顔料：C.I.ピグメントバイオレット１９、
２３、２９、３０、３７、４０、５０ 青色顔料：C.I.ピグメントブルー１５、１５：６、２
２、６０、６４ 緑色顔料：C.I.ピグメントグリーン７、３６ 黒色顔料：C.I.ピグメントブラック７ （ｄ）成分の配合量は、（ａ）と（ｂ）の総量１００重
量部に対して１〜５０重量部とすることが好ましい。こ
の配合量が１重量部未満では、着色が不十分となる傾向
があり、５０重量部を超えると、光透過率が低下する傾
向がある。

【００２０】前記黒色感光性樹脂層には、加熱硬化性を
高めるためにカルボキシル基含有フイルム性付与ポリマ
ーのカルボキシル基と熱反応するメラミン樹脂及び／又
はエポキシ樹脂を、（ａ）成分と（ｂ）成分の総量１０
０重量部に対して、１〜２０重量部添加し、加熱するこ
とが好ましい。加熱温度は１３０〜２００℃とすること
が好ましく、加熱時間は３０〜６０分とすることが着色
層の架橋密度向上、耐熱性向上等の点から好ましい。

【００２１】本発明においてはカラーフイルタは、例え
ば、次のようにして製造される。まず、透明基板上に感
光性フイルムに形成された着色感光性樹脂が貼り合わさ
れ、この着色感光性樹脂層表面のベースフイルム上に所
定パターンのネガマスクを乗せて露光したあと、ベース
フイルムが除去される。ついで未露光部分が現像液で現
像され、着色パターンが形成される。この着色パターン
形成工程を、色の異なる感光性フイルムを用いて所定回
数繰り返し行い、赤、緑及び青の三色のパターン並びに
黒色のパターンを形成させてカラーフイルタが得られ
る。透明基板上に貼付られた着色感光性樹脂層で細線を
形成する場合は、現像液に耐えうる最少の露光量で露光
するため、現像後の着色層が柔軟なことがあり、現像後
にさらに紫外線照射か熱処理によって、また電子線照射
によって完全に着色層を硬化させて強度及び耐熱性を付
与する。

【００２２】

【実施例】以下、実施例によって本発明を説明する。 実施例１ （１）着色感光性樹脂層用の塗工液の製造 表１の材料を均一に溶解した溶液２００重量部に表２の
いずれかの顔料ペースト１３５重量部、メラミン樹脂５
重量部及びシランカップリング剤５重量部をそれぞれ添
加し、溶解分散して着色感光性樹脂層用の塗工液を得
た。

【００２３】

【表１】

【００２４】

【表２】

【００２５】メラミン樹脂 サイメル３００（三井東圧社製、ヘキサメトキシメチル
メラミンの商品名） シランカップリング剤 ＫＢＭ５０３（信越化学社製） 塗工液の調整 塗工液を使用直前に超音波で２．５時間分散して調整し
た。

【００２６】（２）感光性フイルムの製造 得られた塗工液を、厚さ６μｍのポリエチレンテレフタ
レートフイルム（テイジン社製、テトロンフイルムＳ
６）上に均一な厚さにキスタッチリバース方式の塗工機
を用いて塗布し、１００℃の乾燥機で２分間乾燥した。
保護フイルムとして厚さ３０μｍのポリエチレンフイル
ムを貼り合わせて感光性フイルムを得た。乾燥後の感光
性樹脂層の厚さは、赤、緑、青及び黒ともに２．０μｍ
であった。

【００２７】（３）カラーフイルタの製造 （ａ）基板加熱工程 カラーフイルタ用の下地基板を８０℃で１０分間加熱し
た。 （ｂ）貼り合わせ工程 前記感光性フイルムの保護フイルムを剥がしながら、着
色感光性樹脂層をロール温度６０℃、ロール圧１．０kg
f/cm²、速度２．５ｍ／分で前記カラーフイルタ用の下
地基板上にラミネートした。 （ｃ）露光工程 所定のパターン（通常のストライプ状のパターンで、７
０μｍ（白）／２３０μｍ（黒）で長さ１５０mmのスト
ライプ状）のネガマスクを通して露光機ＨＭＷ−２０１
Ｂ（３kW、超高圧水銀灯、オーク製作所製）で露光し
た。 （ｄ）剥離工程 室温でポリエチレンテレフタレートフイルムを除去し
た。 （ｅ）現像工程 ３０℃で０．０８重量％のＮａ₂ＣＯ₃水溶液で１５秒ス
プレー現像をして未露光部を除去し１色の着色パターン
を形成した。

【００２８】赤緑青のストライプ状フイルタの製造 この（ａ）から（ｅ）の着色パターンの形成工程を、
赤、緑及び青の順に各色の感光性フイルムを用いて繰り
返し行った。二色目の緑のラミネートの時にフイルムの
送り方向を前置画素の赤のストライプ状のパターンに直
交させてフイルムを送った。得られた青フイルム付きの
基板の表面は平坦であり、斜めに透かしても光の散乱は
なく平坦であった。表面の粗さを測定したところフイル
ム表面の平坦性は貼り合わせを行う前と同一で、前置画
素による変形は認められなかった。（ｄ）の剥離工程の
後に６０℃で１５分間加熱を行い（移行工程であり、空
間を介していた着色感光性樹脂層が赤の基板表面に移行
する工程である）、三色目の緑については（ｃ）の露光
工程の後に６０℃で１５分間加熱を行い（移行工程であ
り、空間を介していた着色感光性樹脂層が基板表面上の
空間に移行する工程である）、三色のパターンを形成し
た。この際の露光量は赤、緑及び青色の感光性樹脂層に
対しては５０mJ/cm²とした。使用したマスクのパターン
はストライプが画素ごとに独立した長方形を形成しスト
ライプの長手方向に隙間を設けたものである。得られた
三色パターンに紫外線照射機（ランプＨ５６００Ｌ／
２、東芝電材社製）を用いて３J/cm²で照射した後、１
５０℃で４５分間加熱してカラーフイルタを得た。得ら
れたカラーフイルタは赤、緑及び青色のパターン（スト
ライプ状のパターン）が整然と並んでいた。追随性は良
好であった。また、画素の段差はなく、画素の断面では
Ｍ状もＪ状も認められなかった。

【００２９】ブラックマトリックス（黒）の製造 前記（ｃ）露光工程について所定のブラックマトリック
スパターン（通常のストライプ状のパターンで、幅７０
μｍで長さ２８０μｍの長方形が、縦横３０μｍの間隔
を開けて整然と配列し遮光しているブラックマトリック
スパターン）のネガマスクを通して露光機ＨＭＷ−２０
１Ｂ（３kW、超高圧水銀灯、オーク製作所製）で露光し
た。他は前記した赤、緑及び青のストライプ状フイルタ
の製造と同様に行った。ブラックマトリックス（黒）画
素の膜厚は赤、緑及び青の画素と同様に２．０μｍであ
り、赤、緑及び青の画素の壁と良好に密着し、漏れ光、
しろ抜けはなかった。ブラックマトリックス（黒）画素
は、赤、緑及び青の画素と５μｍの重なりを有していた
が、（ｄ）剥離工程の後に６０℃で１５分間加熱を行
い、空間を介していた黒色の感光性樹脂層を基板表面上
の空間に移行させる移行工程を行うことにより、ブラッ
クマトリックス（黒）画素の段差は０．２μｍ以下とな
った。

【００３０】比較例１ 実施例１と同様に行うが（ｄ）の剥離工程の後に６０℃
で１５分間加熱を行う工程（移行工程であり、空間を介
していた着色感光性樹脂層が前置画素（赤）が存在する
基板表面に移行する工程である）をブラックマトリック
ス（黒）については行わなかった。ブラックマトリック
ス（黒）画素の段差は０．６μｍあり、不良であった。

【００３１】実施例２ 通常の液状レジストにより得られた赤、緑及び青のカラ
ーフイルタに本発明の実施例１のブラックマトリックス
（黒）をかけたところ、膜厚は赤、緑、青及び黒共に
１．８μｍとなり、ブラックマトリックス（黒）画素の
段差は０．２μｍ以下となった。

【００３２】実施例３ 通常の電着法により得られた赤、緑及び青のカラーフイ
ルタに本発明の実施例１のブラックマトリックス（黒）
をかけたところ、膜厚は赤、緑、青及び黒共に１．１μ
ｍとなり、ブラックマトリックス（黒）画素の段差は
０．２μｍ以下となった。

【００３３】実施例４ 通常の染色法により得られた赤、緑及び青のカラーフイ
ルタに本発明の実施例１のブラックマトリックス（黒）
をかけたところ、膜厚は赤、緑、青及び黒共に１．８μ
ｍとなり、ブラックマトリックス（黒）画素の段差は
０．２μｍ以下となった。

【００３４】

【発明の効果】本発明の製造法によれば、感光性フイル
ムの追随性、作業性よく基板上に均一な厚さの高精度の
多色の微細パターンの形成された優れた耐熱性を有する
カラーフイルタを製造することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の製造法を示す略図である。

【図２】従来のカラーフイルタの画素の断面の摸式図で
ある。

【符号の説明】

１ ベースフイルム ２ 着色感光性樹脂層（黒） ３ 前置画素（赤） ４ 透明基板 ５ 空間 ６ 一色目の画素 ７ 二色目の画素 ８ 三色目の画素

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 赤、緑及び青の三色のパターンが形成さ
   れた透明基板上に、ベースフイルムと黒色に着色された
   感光性樹脂層とからなる感光性フイルムを、（１）着色
   された感光性樹脂層が前記基板に面するように貼り合わ
   せる工程、（２）パターン状に露光する工程、（３）ベ
   ースフイルムを剥離する工程及び（４）現像工程を少な
   くとも含む工程により、黒色パターンを形成させるカラ
   ーフイルタの製造法において、黒色の感光性樹脂層が前
   記透明基板に面するように、画素間に空間を形成して張
   り合わせる工程を行い、前記（１）と（４）の工程の間
   に、加熱により黒色に着色された感光性樹脂層をベース
   フイルムから透明基板上の画素間空間へ移行させる移行
   工程を含むことを特徴とするカラーフイルタの製造法。