JPH08192044A - Continuous surface treatment of sheet and device therefor - Google Patents
Continuous surface treatment of sheet and device thereforInfo
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- B29C59/10—Surface shaping of articles, e.g. embossing; Apparatus therefor by electric discharge treatment
- B29C59/12—Surface shaping of articles, e.g. embossing; Apparatus therefor by electric discharge treatment in an environment other than air
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、シートの連続表面処理
方法及び装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a continuous sheet surface treatment method and apparatus.
【０００２】[0002]
【従来の技術】プラスチック、金属、紙、繊維等からな
るシートは、家電部材、自動車部品等として汎用されて
いるが、これらシートの利用価値を高める目的で、シー
ト成形後にその表面処理が行われることが多い。このよ
うな表面処理としては、例えば、シート表面に官能基層
を形成したり、放電プラズマによりラジカル層を形成し
たりしてシート表面エネルギーを制御し、また、親水
性、撥水性等を付与して濡れ性、接着性等を改質し、更
には、電気特性、光学特性等に優れた機能を有する膜を
形成させる等が挙げられる。2. Description of the Related Art Sheets made of plastics, metals, papers, fibers, etc. are widely used as home electric appliances, automobile parts, etc., but for the purpose of enhancing the utility value of these sheets, the surface treatment is performed after the sheet is formed. Often. As such a surface treatment, for example, a functional group layer is formed on the sheet surface or a radical layer is formed by discharge plasma to control the sheet surface energy, and hydrophilicity and water repellency are imparted. Examples include modifying wettability and adhesiveness, and forming a film having a function excellent in electrical properties, optical properties, and the like.
【０００３】従来、シートの表面を改質し、優れた機能
を有する膜を表面に形成する方法としては、大気圧下で
のコロナ放電処理による方法、減圧下でのグロー放電に
よるプラズマ処理法、プラズマ重合法、プラズマＣＶＤ
法等が知られている。Conventionally, as a method of modifying the surface of a sheet to form a film having excellent functions on the surface, a method of corona discharge treatment under atmospheric pressure, a plasma treatment method of glow discharge under reduced pressure, Plasma polymerization method, plasma CVD
The law is known.
【０００４】大気圧下でのコロナ放電処理による方法
は、シートの表面処理のドライプロセスとして実用化さ
れているが、この方法は、シートの表面を酸化させ、親
水化させるのみであり、例えば、撥水性に改良したり、
薄膜をコーティングする等は困難であった。The method of corona discharge treatment under atmospheric pressure has been put to practical use as a dry process of surface treatment of a sheet, but this method only oxidizes the surface of the sheet to make it hydrophilic, and for example, Improve the water repellency,
It was difficult to coat a thin film.
【０００５】減圧下でのグロー放電によるプラズマ処理
法は、表面処理の種々の目的に対応し得る処理方法とし
て、産業的にも広く応用されている。しかし、この処理
方法は、０．０１〜１０Ｔｏｒｒの低圧領域でのグロー
放電プラズマを用いるので、密閉槽、ポンプ等が必要に
なり、装置が大掛かりなものになる等の欠点を有してい
た。The plasma treatment method by glow discharge under reduced pressure is widely applied industrially as a treatment method which can meet various purposes of surface treatment. However, since this treatment method uses glow discharge plasma in a low pressure range of 0.01 to 10 Torr, it requires a sealed tank, a pump, etc., and has a drawback that the apparatus becomes large-scale.
【０００６】また、連続的にシートの表面処理を行う方
法としては、長尺のシートをロール状に巻き上げたもの
を真空チャンバー内に入れ、チャンバー内でロールから
シートを随時に引き出してシート表面に随時処理を施す
バッチ方式、大気圧下から減圧下へ徐々に排気を行う差
動排気方式により処理する方法等が知られている。しか
し、これらの連続処理方法についても、処理室内を排気
するために大容量を有する非常に大きなポンプが必要に
なるので、処理装置の大型化が避けられない欠点を有し
ている。As a method for continuously performing surface treatment of a sheet, a long sheet wound into a roll is placed in a vacuum chamber, and the sheet is pulled out from the roll at any time in the chamber to form a sheet surface. Known methods include a batch method in which processing is performed as needed, and a differential exhaust method in which exhaust is gradually performed from atmospheric pressure to reduced pressure. However, these continuous processing methods also have a drawback that an increase in size of the processing apparatus cannot be avoided because a very large pump having a large capacity is required to exhaust the inside of the processing chamber.
【０００７】例えば、シート表面の連続処理を、種々の
目的に対応し得るように減圧下でのグロー放電により行
う場合には、上述のバッチ方式が用いられるが、この処
理方法では、例えば、表面処理を施すシートが吸水性の
高いプラスチック製シート等である場合、真空引きに長
時間を要したり、ロール等の走行系が高価になるため
に、処理品がコスト高となる欠点があった。For example, when the continuous treatment of the sheet surface is carried out by glow discharge under reduced pressure so as to meet various purposes, the batch system described above is used. When the sheet to be treated is a highly water-absorbent plastic sheet or the like, it takes a long time to evacuate and the traveling system such as rolls becomes expensive, so that the cost of the treated product is high. .
【０００８】特開平３−１４３９３０号公報には、大気
圧下でシートを連続的に表面処理するために、処理容器
内をヘリウムガス等の混合ガスに置換した後、混合ガス
を連続的に導入しつつ大気圧下にシートを非気密状態に
シールされた導入口から導入してプラズマ放電処理を連
続的に施す技術が開示されている。しかしながら、この
方法では、シートの走行速度が約３ｍ／分を超えると、
外部空気の巻き込みにより、放電プラズマ中に空気が混
入し、目的を達成することが困難となる欠点を有してい
た。JP-A-3-143930 discloses that in order to continuously surface-treat a sheet under atmospheric pressure, the inside of the processing container is replaced with a mixed gas such as helium gas, and then the mixed gas is continuously introduced. On the other hand, there is disclosed a technique in which a sheet is introduced under atmospheric pressure from an inlet that is sealed in a non-airtight state to continuously perform plasma discharge treatment. However, with this method, when the traveling speed of the sheet exceeds about 3 m / min,
Due to the inclusion of external air, air is mixed in the discharge plasma, which makes it difficult to achieve the purpose.
【０００９】[0009]
【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記に鑑
み、大気圧近傍の圧力下においても、かつシート走行速
度を速くしても、連続的にシートの表面処理が可能であ
るシートの連続表面処理方法及びその装置を提供するこ
とを目的とする。SUMMARY OF THE INVENTION In view of the above, the present invention provides a continuous sheet treatment capable of continuously surface treating the sheet even under a pressure near atmospheric pressure and at a high sheet traveling speed. An object is to provide a surface treatment method and an apparatus thereof.
【００１０】[0010]
【課題を解決するための手段】本発明の要旨は、不活性
ガスと処理ガスとの混合ガスを大気圧近傍の圧力下で充
満させた処理容器内に、一対の金属対向電極を配設し、
前記金属対向電極の間にシートを連続的に走行させつ
つ、前記金属対向電極間に電圧を印加して放電プラズマ
を発生させることにより前記シート表面を処理するシー
トの連続表面処理方法において、前記処理容器内へのシ
ート導入口及び前記処理容器内からのシート排出口が、
混合ガスの漏れを許容しうる程度の非気密状態にシール
されており、前記金属対向電極のうちの少なくとも一方
の対向面の表面が、固体誘電体により完全に覆われてお
り、前記混合ガスを、前記シートの表面にその走行方向
と逆の方向から連続的に接触させるところに存する。The gist of the present invention is to dispose a pair of metal counter electrodes in a processing container filled with a mixed gas of an inert gas and a processing gas under a pressure near atmospheric pressure. ,
In the continuous surface treatment method for a sheet, the sheet surface is treated by applying a voltage between the metal counter electrodes to generate discharge plasma while continuously running the sheet between the metal counter electrodes. The sheet introduction port into the container and the sheet discharge port from the processing container are
The mixed gas is sealed in a non-airtight state that allows leakage, and the surface of at least one of the metal counter electrodes is completely covered with a solid dielectric. The sheet is continuously contacted with the surface of the sheet in the direction opposite to the traveling direction.
【００１１】本発明で使用される不活性ガスとしては特
に限定されず、例えば、ヘリウム、ネオン、アルゴン、
キセノン等の希ガス；窒素ガス等が挙げられるが、好ま
しくは、ヘリウムガスである。ヘリウムガスは、準安定
状態の寿命が長いので、上記処理ガスを励起するのに有
利である。上記不活性ガスは、単独で用いてもよく、２
種以上を併用してもよい。上記不活性ガスとしてヘリウ
ムガス以外のガスを用いる場合には、例えば、アセト
ン、メタノール等の有機物蒸気；メタン、エタン等の炭
化水素ガス等を、０〜２体積％混合するのが好ましい。The inert gas used in the present invention is not particularly limited, and examples thereof include helium, neon, argon,
A rare gas such as xenon; nitrogen gas and the like can be mentioned, but helium gas is preferable. Helium gas has a long metastable lifetime and is therefore advantageous for exciting the process gas. The above inert gas may be used alone or 2
You may use together 1 or more types. When a gas other than helium gas is used as the above-mentioned inert gas, it is preferable to mix 0 to 2 volume% of an organic vapor such as acetone or methanol; a hydrocarbon gas such as methane or ethane.
【００１２】本発明では、上記不活性ガスに処理ガスを
混合して処理容器内に充満させる。上記処理ガスは、表
面処理の目的に応じて選択する。上記処理ガスとして
は、表面エネルギーを低くし、撥水性を付与する場合に
は、基板表面にふっ素を化学結合させる含ふっ素ガスを
選択する。上記含ふっ素ガスとしては特に限定されず、
例えば、４ふっ化炭素、６ふっ化炭素、６ふっ化プロピ
レン等のふっ化炭化水素ガス；１塩素化３ふっ素化炭素
ガス等のハロゲン化炭化水素ガス；６ふっ化硫黄等のふ
っ化硫黄化合物等が挙げられるが、好ましくは、４ふっ
化炭素、６ふっ化炭素、６ふっ化プロピレン等である。
これらは安全であり、ふっ化水素等の有害なガスが生成
しない。In the present invention, the processing gas is mixed with the above-mentioned inert gas to fill the inside of the processing container. The processing gas is selected according to the purpose of surface treatment. As the processing gas, a fluorine-containing gas that chemically bonds fluorine to the substrate surface is selected when surface energy is lowered and water repellency is imparted. The above-mentioned fluorine-containing gas is not particularly limited,
For example, fluorocarbon gas such as carbon tetrafluoride, carbon hexafluoride, and propylene hexafluoride; halogenated hydrocarbon gas such as 1 chlorinated carbon trifluoride gas; sulfur fluoride compound such as sulfur 6 fluoride. And the like, but carbon tetrafluoride, carbon hexafluoride, propylene hexafluoride and the like are preferable.
These are safe and do not produce harmful gases such as hydrogen fluoride.
【００１３】また上記処理ガスとしては、表面エネルギ
ーを高くし、親水性を付与する場合には、例えば、カル
ボニル基、ヒドロキシル基、アミノ基等の官能基を有す
る層を表面に形成させる炭化水素化合物のガスやその蒸
気を選択する。As the above-mentioned processing gas, in the case of increasing the surface energy and imparting hydrophilicity, for example, a hydrocarbon compound for forming a layer having a functional group such as a carbonyl group, a hydroxyl group, an amino group on the surface. Select the gas or its vapor.
【００１４】上記カルボニル基、ヒドロキシル基、アミ
ノ基等の官能基を有する層を表面に形成させる炭化水素
化合物のガスとしては特に限定されず、例えば、メタ
ン、エタン、プロパン、ブタン、ペンタン、ヘキサン等
のアルカン系ガス類；エチレン、プロピレン、ブテン、
ペンテン等のアルケン系ガス類；ペンタジエン、ブタジ
エン等のアルカジエン系ガス類；アセチレン、メチルア
セチレン等のアルキン系ガス類；ベンゼン、トルエン、
キシレン、インデン、ナフタレン、フェナントレン等の
芳香族炭化水素系ガス類；シクロプロパン、シクロヘキ
サン等のシクロアルカン系ガス類；シクロベンテン、シ
クロヘキセン等のシクロアルケン系ガス類；メタノー
ル、エタノール等のアルコール系ガス類；アセトン、メ
チルエチルケトン等のケトン系ガス類；メタナール、エ
タナール等のアルデヒド系ガス類等が挙げられる。これ
らは単独で用いてもよく、２種以上を併用してもよい。
また、酸素ガス、酸素ガスと水素ガスとの混合ガスやそ
の蒸気、窒素ガスと水素ガスとの混合ガス、アンモニア
ガス等を用いてもよい。The gas of the hydrocarbon compound that forms a layer having a functional group such as a carbonyl group, a hydroxyl group, an amino group on the surface is not particularly limited, and examples thereof include methane, ethane, propane, butane, pentane and hexane. Alkane-based gases: ethylene, propylene, butene,
Alkene-based gases such as pentene; Alkadiene-based gases such as pentadiene and butadiene; Alkyne-based gases such as acetylene and methylacetylene; Benzene, toluene,
Aromatic hydrocarbon gases such as xylene, indene, naphthalene, phenanthrene; cycloalkane gases such as cyclopropane and cyclohexane; cycloalkene gases such as cyclopentene and cyclohexene; alcohol gases such as methanol and ethanol Ketone gases such as acetone and methyl ethyl ketone; aldehyde gases such as methanal and ethanal. These may be used alone or in combination of two or more.
Alternatively, oxygen gas, a mixed gas of oxygen gas and hydrogen gas or vapor thereof, a mixed gas of nitrogen gas and hydrogen gas, ammonia gas, or the like may be used.
【００１５】電気的、光学的に高機能である二酸化けい
素、二酸化チタン、酸化第二すず等の金属酸化物薄膜を
表面に形成する場合には、上記処理ガスとしては、例え
ば、金属水素ガス；金属ハロゲン化ガス；金属アルコラ
ート等の金属有機化合物のガスやその蒸気等を選択す
る。When a metal oxide thin film such as silicon dioxide, titanium dioxide, stannic oxide, etc., which has high electrical and optical functions, is formed on the surface, the processing gas is, for example, metal hydrogen gas. A metal halogenated gas; a gas of a metal organic compound such as a metal alcoholate or a vapor thereof is selected.
【００１６】上記不活性ガス及び上記処理ガスの混合比
は、用いられるガスの種類により適宜選択される。好ま
しくは、上記処理ガスの濃度が、０〜１０体積％であ
り、より好ましくは、０．１〜５体積％である。１０体
積％を超えると、高電圧を印加しても、放電プラズマが
発生し難くなる。The mixing ratio of the inert gas and the processing gas is appropriately selected depending on the type of gas used. The concentration of the processing gas is preferably 0 to 10% by volume, more preferably 0.1 to 5% by volume. When it exceeds 10% by volume, discharge plasma is difficult to be generated even if a high voltage is applied.
【００１７】本発明においては、上記混合ガスの処理容
器内における圧力を、大気圧近傍の圧力下に維持する。
上記大気圧近傍の圧力下の圧力としては、１００〜８０
０Ｔｏｒｒが好ましく、より好ましくは、７００〜７８
０Ｔｏｒｒである。７００〜７８０Ｔｏｒｒであると、
圧力調整が容易になり、装置が簡便になる。In the present invention, the pressure of the mixed gas in the processing container is maintained at a pressure near atmospheric pressure.
The pressure under the pressure near the atmospheric pressure is 100 to 80.
0 Torr is preferable, and more preferably 700 to 78.
It is 0 Torr. If it is 700 to 780 Torr,
Pressure adjustment becomes easy and the device becomes simple.
【００１８】本発明においては、処理容器内に一対の金
属対向電極を配設する。上記金属対向電極としては特に
限定されず、例えば、ステンレス、真ちゅう等の多成分
系の金属からなるもの；銅、アルミニウム等の純金属か
らなるもの等が挙げられる。In the present invention, a pair of metal counter electrodes are provided in the processing container. The metal counter electrode is not particularly limited, and examples thereof include those made of multi-component metals such as stainless steel and brass; those made of pure metals such as copper and aluminum.
【００１９】上記一対の金属対向電極は、その少なくと
も一方の対抗面の表面が、固体誘電体により完全に覆わ
れている。上記一対の金属対向電極の間への印加によ
り、上記金属対向電極間に所望の放電プラズマを発生さ
せることができる。上記固体誘電体が、上記一対の金属
対向電極のうちの少なくとも一方の対向面の表面を完全
に覆っていない場合には、その部分からアーク放電が生
じるので、上記固体誘電体の配設は、上記の構造に限定
される。At least one opposing surface of the pair of metal counter electrodes is completely covered with a solid dielectric. By applying between the pair of metal counter electrodes, a desired discharge plasma can be generated between the metal counter electrodes. When the solid dielectric does not completely cover the surface of the facing surface of at least one of the pair of metal counter electrodes, arc discharge occurs from that portion, so the solid dielectric is disposed. It is limited to the above structure.
【００２０】上記固体誘電体の材質としては特に限定さ
れず、例えば、ポリフルオロエチレン、ポリエチレンテ
レフタレート等のプラスチック；二酸化けい素、パイレ
ックスガラス、酸化アルミニウム、二酸化チタン等のガ
ラスやセラミックス等が挙げられる。これらは、シート
状で用いてもよく、フィルム状で用いてもよい。上記固
体誘電体の厚みは、０．０５〜４ｍｍが好ましい。０．
０５ｍｍ未満であると、高電圧印加時に、絶縁破壊が起
こりアーク放電が生じ、４ｍｍを超えると、放電し難く
なる。The material of the solid dielectric material is not particularly limited, and examples thereof include plastics such as polyfluoroethylene and polyethylene terephthalate; glass and ceramics such as silicon dioxide, Pyrex glass, aluminum oxide and titanium dioxide. These may be used in a sheet form or a film form. The thickness of the solid dielectric is preferably 0.05 to 4 mm. 0.
If it is less than 05 mm, dielectric breakdown occurs and arc discharge occurs when a high voltage is applied, and if it exceeds 4 mm, it becomes difficult to discharge.
【００２１】本発明においては、表面処理に供されるシ
ートは、上記金属対向電極の間を連続的に走行させるよ
うに処理容器内に導入され、排出される。上記シートの
導入及び排出は、公知の通常の方法により行うことがで
きる。処理容器へのシート導入口、及び、処理容器から
のシート排出口は、混合ガスの漏れを許容しうる程度の
非気密状態にシールされる。処理容器内の混合ガスは大
気圧近傍の圧力下にあり、上記シールにより、混合ガス
が処理容器の外に漏れることを遮断する必要性はない。In the present invention, the sheet to be subjected to the surface treatment is introduced and discharged into the processing container so as to continuously run between the metal counter electrodes. The introduction and discharge of the sheet can be carried out by a known ordinary method. The sheet introduction port to the processing container and the sheet ejection port from the processing container are sealed in a non-airtight state that allows leakage of the mixed gas. The mixed gas in the processing container is under a pressure near atmospheric pressure, and it is not necessary to block the mixed gas from leaking out of the processing container by the seal.
【００２２】本発明においては、上記混合ガスにより処
理容器内の空気を置換した後、上記混合ガスを上記処理
容器内に連続的に導入する。上記混合ガスの導入は、上
記シートを上記金属対向電極の間に連続的に走行させつ
つ、上記混合ガスを、上記シートの表面にその走行方向
と逆の方向から連続的に接触させることにより行う。上
記逆の方向については、後に詳しく例示をもって説明す
る。本発明においては、シートの表面に接触させるよう
に上記混合ガスを供給することにより、放電プラズマ中
に空気が巻き込むことを減少させることができ、これに
より処理能力の低下を未然に防ぐことができる。In the present invention, after the air in the processing container is replaced with the mixed gas, the mixed gas is continuously introduced into the processing container. The introduction of the mixed gas is carried out by continuously contacting the surface of the sheet with the mixed gas from a direction opposite to the running direction while the sheet is continuously run between the metal counter electrodes. . The reverse direction will be described later in detail with an example. In the present invention, by supplying the above-mentioned mixed gas so as to contact with the surface of the sheet, it is possible to reduce air entrainment in the discharge plasma, and thus it is possible to prevent deterioration of the processing capacity. .
【００２３】本発明２のシートの連続表面処理装置は、
不活性ガスと処理ガスとの混合ガスを大気圧近傍の圧力
下で充満させた処理容器内に、一対の金属対向電極を配
設し、前記金属対向電極の間にシートを連続的に走行さ
せつつ、前記金属対向電極間に電圧を印加して放電プラ
ズマを発生させることにより前記シート表面を処理する
ように構成したシートの連続表面処理装置において、前
記処理容器内へのシート導入口及び前記処理容器内から
のシート排出口が、混合ガスの漏れを許容しうる程度の
非気密状態にシールされており、前記金属対向電極のう
ちの少なくとも一方の対向面の表面が、固体誘電体によ
り完全に覆われており、前記混合ガスを前記シートの表
面にその走行方向と逆の方向から連続的に接触させるよ
うに配設したガス流発生機構を有することよりなるもの
である。The continuous sheet surface treating apparatus of the second invention is
In a processing container filled with a mixed gas of an inert gas and a processing gas under a pressure near atmospheric pressure, a pair of metal counter electrodes are arranged, and a sheet is continuously run between the metal counter electrodes. Meanwhile, in a continuous sheet surface treatment apparatus configured to treat the sheet surface by applying a voltage between the metal counter electrodes to generate discharge plasma, a sheet introduction port into the treatment container and the treatment The sheet discharge port from the inside of the container is sealed in a non-airtight state that allows the leakage of the mixed gas, and the surface of at least one of the facing electrodes of the metal is completely covered with a solid dielectric. It is covered and has a gas flow generation mechanism arranged so as to continuously contact the surface of the sheet with the mixed gas from a direction opposite to the traveling direction thereof.
【００２４】上記シートの連続表面処理装置としては、
例えば、次のようなものが挙げられる。図１は、上記シ
ートの連続表面処理装置の一例の断面図である。図１の
装置は、電源部１、処理容器２、上部電極３、下部電極
４、ターボブロアーによるガス流発生機構５、シート
６、シート導入口７、シート排出口８、固体誘電体９、
ガス導入管１０、ガス排出口１１、固体誘電体製側壁１
２、ガス流路１３、及び、シート走行系一式から構成さ
れる。As a continuous surface treatment apparatus for the above-mentioned sheet,
For example, the following may be mentioned. FIG. 1 is a sectional view of an example of the continuous surface treatment apparatus for the sheet. The apparatus shown in FIG. 1 includes a power source unit 1, a processing container 2, an upper electrode 3, a lower electrode 4, a gas flow generation mechanism 5 using a turbo blower, a sheet 6, a sheet inlet 7, a sheet outlet 8, a solid dielectric 9,
Gas inlet pipe 10, gas outlet 11, solid dielectric side wall 1
2, a gas flow path 13, and a set of seat traveling systems.
【００２５】上記電源部１は、ｋＨｚ台の周波数の電圧
が印加可能であれば特に限定されず、例えば、耐熱性の
低いプラスチック製シートの表面処理を行う場合には、
１〜３０ｋＨｚの電圧が印加可能であるものが好まし
い。放電プラズマは、上記電源部１による電圧の印加に
よって発生させる。上記電圧は、例えば、上記上部電極
３及び上記下部電極４の形状、上記固体誘電体９の厚み
や種類、上記上部電極３と上記下部電極４との間の距離
等により適宜決められる。好ましくは、電界強度が、１
〜４０ｋＶ／ｃｍである。１ｋＶ／ｃｍ未満であると、
処理に時間がかかり、上記シート６の走行時間が遅くな
り、４０ｋＶ／ｃｍを超えると、アーク放電に移行する
挙動を示す。The power supply unit 1 is not particularly limited as long as it can apply a voltage having a frequency on the order of kHz. For example, when performing surface treatment of a plastic sheet having low heat resistance,
It is preferable that a voltage of 1 to 30 kHz can be applied. The discharge plasma is generated by applying a voltage from the power supply unit 1. The voltage is appropriately determined depending on, for example, the shapes of the upper electrode 3 and the lower electrode 4, the thickness and type of the solid dielectric 9, the distance between the upper electrode 3 and the lower electrode 4, and the like. The electric field strength is preferably 1
~ 40 kV / cm. When it is less than 1 kV / cm,
It takes a long time to process, the traveling time of the sheet 6 is delayed, and when it exceeds 40 kV / cm, a behavior of shifting to arc discharge is exhibited.
【００２６】上記処理容器２としては特に限定されず、
例えば、ステンレス製のもの（ＳＵＳ３０４）、他の金
属製のもの、ガラス製のもの、プラスチック製のもの等
があげらる。上記処理容器２には、その両側壁に、上記
シート６が導入されるシート導入口７と上記シート６の
表面処理終了部が排出されるシート排出口８とがそれぞ
れ設けられている。The processing container 2 is not particularly limited,
Examples thereof include stainless steel (SUS304), other metal, glass, and plastic. The processing container 2 is provided with a sheet introduction port 7 into which the sheet 6 is introduced and a sheet discharge port 8 from which the surface treatment end portion of the sheet 6 is discharged, on both side walls thereof.
【００２７】上記シート６は、上記処理容器２外部に設
けられたロールによって、上記シート導入口７から上記
シート排出口８へと搬送される。上記シート導入口７及
び上記シート排出口８は、上記処理容器２内部の充満ガ
スの漏れを許容しうる程度の非気密状態にシールされて
おり、例えば、ポンプによりわずかに連続的に排気可能
である構造を有しているもの等が好ましい。また、上記
シート導入口７及び上記シート排出口８は、バルブによ
り開閉可能である機構を有しており、開状態で上記シー
ト６を配置及び撤去し、閉状態で表面処理を行う。The sheet 6 is conveyed from the sheet introduction port 7 to the sheet discharge port 8 by a roll provided outside the processing container 2. The sheet inlet port 7 and the sheet outlet port 8 are sealed in a non-airtight state to the extent that the leakage of the filled gas inside the processing container 2 can be allowed, and for example, a pump can slightly exhaust gas continuously. Those having a certain structure are preferable. Further, the sheet inlet 7 and the sheet outlet 8 have a mechanism that can be opened and closed by a valve. The sheet 6 is placed and removed in the open state, and the surface treatment is performed in the closed state.
【００２８】上記上部電極３及び上記下部電極４の配置
構造としては特に限定されず、図１に示された平行平板
型構造のほか、例えば、平行平板型構造、同軸円筒型構
造、円筒対向平板型構造、球対向平板型構造、双曲面対
向型構造、複数の細線と対向する平板からなる構造等が
挙げられる。上記上部電極３と上記下部電極４との間の
距離は、固体誘電体９の厚み、シート６の厚み、印加電
圧の大きさ等により適宜決定される。好ましくは、１〜
３０ｍｍである。１ｍｍ未満であると、上記シート６
が、走行中に上記上部電極３に触れ傷つく可能性があ
り、３０ｍｍを超えると、放電プラズマの均一性が損な
われる。The arrangement structure of the upper electrode 3 and the lower electrode 4 is not particularly limited, and in addition to the parallel plate type structure shown in FIG. 1, for example, a parallel plate type structure, a coaxial cylinder type structure, a cylinder facing flat plate. Examples thereof include a die structure, a sphere-opposed flat plate type structure, a hyperboloidal opposed type structure, and a structure including a flat plate facing a plurality of thin wires. The distance between the upper electrode 3 and the lower electrode 4 is appropriately determined by the thickness of the solid dielectric 9, the thickness of the sheet 6, the magnitude of the applied voltage, and the like. Preferably 1 to
30 mm. The sheet 6 having a thickness of less than 1 mm
However, there is a possibility that the upper electrode 3 may be touched and damaged during traveling, and if it exceeds 30 mm, the uniformity of discharge plasma is impaired.
【００２９】上記上部電極３及び上記下部電極４は、図
１に示されたように上記上部電極３を接地側として、上
記下部電極４を負荷側としてもよく、上記上部電極３を
負荷側して、上記下部電極４を接地側としてもよい。The upper electrode 3 and the lower electrode 4 may have the upper electrode 3 on the ground side and the lower electrode 4 on the load side as shown in FIG. 1, or the upper electrode 3 on the load side. The lower electrode 4 may be on the ground side.
【００３０】上記上部電極３の幅及び上記下部電極４の
幅は、上記シート６の幅と同等又はそれ以上が好まし
い。上記上部電極３の長さ及び上記下部電極４の長さ
は、適宜決定され、好ましくは、上記上部電極３の幅又
は上記下部電極４の幅以下である。上記上部電極３の幅
又は上記下部電極４の幅を超えると、放電プラズマの均
一性が損なわれる。また、上記上部電極３の長さ及び上
記下部電極４の長さがより長くなると、上記上部電極３
の面積及び上記下部電極４の面積が大きくなり、上記シ
ート６が放電プラズマに接触する距離が長くなるので、
走行速度が高めるられるが、面積増加に伴い、印加電圧
が大きくなるので、電源、安全設備等の装置が高価にな
る。The width of the upper electrode 3 and the width of the lower electrode 4 are preferably equal to or greater than the width of the sheet 6. The length of the upper electrode 3 and the length of the lower electrode 4 are appropriately determined and are preferably the width of the upper electrode 3 or the width of the lower electrode 4 or less. When the width of the upper electrode 3 or the width of the lower electrode 4 is exceeded, the uniformity of discharge plasma is impaired. Also, when the length of the upper electrode 3 and the length of the lower electrode 4 become longer, the upper electrode 3
Area and the area of the lower electrode 4 become large, and the distance that the sheet 6 contacts the discharge plasma becomes long.
Although the traveling speed can be increased, the applied voltage increases as the area increases, so that the apparatus such as a power source and safety equipment becomes expensive.
【００３１】図１では、１組の電極しか示されていない
が、必要に応じて、多数組の電極を設置し、上記シート
６が放電プラズマに接触する距離を長くし、高速で上記
シートを走行させてもよい。In FIG. 1, only one set of electrodes is shown, but if necessary, a large number of sets of electrodes are installed to increase the distance that the sheet 6 contacts the discharge plasma, and the sheet is moved at high speed. You may run.
【００３２】上記固体誘電体９は、上記金属電極のうち
少なくとも一方の対向面の表面を完全に覆っている。上
記固体誘電体９は、図１に示されるように上記下部電極
４の上記上部電極３に臨む面に配設されてもよく、上記
上部電極３の上記下部電極４に臨む面に配設されてもよ
い。上記シート６が金属等の導電性材料の場合には、上
記上部電極３側及び上記下部電極４側に配設することが
好ましい。The solid dielectric 9 completely covers the surface of at least one of the metal electrodes facing each other. The solid dielectric 9 may be provided on the surface of the lower electrode 4 facing the upper electrode 3 as shown in FIG. 1, or may be provided on the surface of the upper electrode 3 facing the lower electrode 4. May be. When the sheet 6 is made of a conductive material such as metal, it is preferably arranged on the upper electrode 3 side and the lower electrode 4 side.
【００３３】図１のシートの連続表面処理装置は、上記
混合ガスを上記シート６の表面にその走行方向と逆の方
向から連続的に接触させるように配設したガス流発生機
構を有している。上記ガス流発生機構としては、例え
ば、図１に示されるシート排出側から導入側にポンプや
ブロアー等で電極間の空間に存在する混合ガスを循環さ
せるガス流発生機構５のほか、例えば、図２に示される
ノズル状のガス供給器によってガスを吹き出すガス流発
生機構、図３に示されるシートの処理面に対向する電極
に所望の方向に上記混合ガスを供給する孔を設けて、ガ
スを吹き出すガス流発生機構、図４に示されるシート導
入側電極端部付近からポンプで吸い込むガス流発生機
構、図５に示されるシート排出側電極端部付近からポン
プやブロアー等でガスを吹き出すガス流発生機構、図６
に示されるファンで送風するガス流発生機構等が挙げら
れる。The continuous sheet surface treatment apparatus shown in FIG. 1 has a gas flow generating mechanism arranged so that the mixed gas is continuously brought into contact with the surface of the sheet 6 in the direction opposite to the traveling direction thereof. There is. As the gas flow generation mechanism, for example, in addition to the gas flow generation mechanism 5 shown in FIG. 1 which circulates the mixed gas existing in the space between the electrodes from the sheet discharge side to the introduction side by a pump or a blower, A gas flow generating mechanism for blowing out gas by a nozzle-shaped gas supply device shown in FIG. 2, a hole for supplying the mixed gas in a desired direction to the electrode facing the processing surface of the sheet shown in FIG. A gas flow generation mechanism that blows out, a gas flow generation mechanism that sucks in from the vicinity of the sheet introduction side electrode end shown in FIG. 4, and a gas flow that blows out gas from the sheet discharge side electrode end shown in FIG. 5 with a pump or blower. Generation mechanism, Fig. 6
The gas flow generation mechanism which blows with the fan shown in FIG.
【００３４】図２の１４、図３の１５、図４、図５の１
６、図６の１７は、上記ガス流発生機構をそれぞれ表
す。図６の１７は、送風機である。2 in FIG. 2, 15 in FIG. 3, 1 in FIG. 4 and FIG.
6 and 17 in FIG. 6 respectively represent the gas flow generating mechanism. Reference numeral 17 in FIG. 6 is a blower.
【００３５】処理容器側壁に反射するガス流の影響が少
なく、ガスの再利用が容易であるので、上記ガス流発生
機構５が、特に好ましい。上記ガス発生機構５は、シー
ト導入口７側にガス吹き出し口より口径が大きいガス吸
い込み口を有し、シート排出口８側にスリット状のガス
吹き出し口を有しているものが好ましい。こうすると、
均一な高速ガス流が発生しやすくなり、混合ガスの消費
効率がよい。上記ガス流を効率良く発生させるために、
図１に示されるように、ガス流が通らない側には、上記
固体誘電体を用いた固体誘電体製側壁を設けてもよい。The gas flow generating mechanism 5 is particularly preferable because it is less affected by the gas flow reflected on the side wall of the processing container and the gas can be easily reused. It is preferable that the gas generating mechanism 5 has a gas inlet having a diameter larger than that of the gas outlet on the side of the sheet inlet 7 and a slit-shaped gas outlet on the side of the sheet outlet 8. In this case,
A uniform high-speed gas flow is easily generated, and the mixed gas consumption efficiency is good. In order to efficiently generate the above gas flow,
As shown in FIG. 1, a solid dielectric side wall using the above solid dielectric may be provided on the side where the gas flow does not pass.
【００３６】図１の連続表面処理装置は、上記シート６
の処理を行う片面側にガス流を発生させているが、両面
処理を行う場合には、上記シート６の両側で上記ガス流
を発生させてもよい。また、ガス流路１３の途中に処理
用ガス濃度検出用センサーを配置し、ガス流中の混合ガ
ス濃度制御を行ったり、不要ガスの分離器を設けて混合
ガスの純度制御等を行ってもよい。The continuous surface treatment apparatus shown in FIG.
Although the gas flow is generated on one side of the sheet, the gas flow may be generated on both sides of the sheet 6 when performing the double-sided treatment. Further, even if a sensor for detecting the concentration of the processing gas is arranged in the middle of the gas flow path 13 to control the concentration of the mixed gas in the gas flow, or a separator for the unnecessary gas is provided to control the purity of the mixed gas. Good.
【００３７】上記混合ガスは、流量制御され、ガス導入
管１０から処理容器２内部に導入される。上記混合ガス
は、不活性ガスの流量や質量と、処理用ガスの流量や質
量とが異なるので、ガス混合器で充分混合してから上記
処理容器２内に導入するのが好ましい。上記処理容器２
内の過剰な混合ガスは、ガス排出口１１から排出され、
その後、大気放出されてもよいし、再び上記処理容器２
内に導入されてもよい。The flow rate of the mixed gas is controlled, and the mixed gas is introduced into the processing container 2 through the gas introduction pipe 10. Since the flow rate and mass of the inert gas are different from the flow rate and mass of the processing gas, it is preferable that the mixed gas is sufficiently mixed with a gas mixer and then introduced into the processing container 2. The processing container 2
Excessive mixed gas inside is discharged from the gas discharge port 11,
After that, it may be released into the atmosphere, or the processing container 2 may be released again.
May be introduced within.
【００３８】上記ガス流発生機構から供給される上記混
合ガスの流速は、上記シートの走行速度、上記シートの
導入に要する導入口の気密性、上記シートの種類等によ
って適宜選択される。好ましくは、上記シートの走行速
度以上である。The flow velocity of the mixed gas supplied from the gas flow generating mechanism is appropriately selected depending on the traveling speed of the sheet, the airtightness of the inlet required for introducing the sheet, the type of the sheet, and the like. The traveling speed of the seat is preferably equal to or higher than the traveling speed.
【００３９】本発明のシートの連続表面処理方法及び装
置の対象となるシートとしては特に限定されず、例え
ば、プラスチック、金属、ガラス、紙、繊維、不織布等
が挙げられる。これらは、緻密でもよく、多孔質でもよ
い。The sheet which is the object of the continuous surface treatment method and apparatus for a sheet of the present invention is not particularly limited, and examples thereof include plastic, metal, glass, paper, fiber, nonwoven fabric and the like. These may be dense or porous.
【００４０】上記プラスチックとしては、例えば、ポリ
エチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート等
のポリエステル；ポリエチレン、ポリプロピレン等のポ
リオレフィン；ポリスチレン、ポリアミド、ポリ塩化ビ
ニル、ポリカーボネート、ポリアクリロニトリル等が挙
げられる。Examples of the plastics include polyesters such as polyethylene terephthalate and polyethylene naphthalate; polyolefins such as polyethylene and polypropylene; polystyrene, polyamide, polyvinyl chloride, polycarbonate, polyacrylonitrile and the like.
【００４１】上記プラスチックがフィルムである場合、
上記フィルムは、延伸でもよく、未延伸でもよい。上記
金属としては、例えば、ステンレス系鋼、炭素鋼、超鋼
等の汎用合金；アルミニウム、銅、ニッケル等の単成分
からなる金属等が挙げられる。When the plastic is a film,
The film may be stretched or unstretched. Examples of the metal include general-purpose alloys such as stainless steel, carbon steel, and super steel; metals composed of single components such as aluminum, copper, and nickel.
【００４２】上記シートの厚みは、用途に応じて適宜選
択される。好ましくは、０〜２００μｍである。２００
μｍを超えると、上記シート導入口のシール又は上記シ
ート排出口のシールで起こる外部空気の侵入や上記混合
ガスの漏れが、許容範囲以上になる可能性がある。The thickness of the sheet is appropriately selected according to the application. The thickness is preferably 0 to 200 μm. 200
When the thickness exceeds μm, the invasion of external air and the leakage of the mixed gas, which occur at the seal of the sheet inlet port or the seal of the sheet outlet port, may exceed the allowable range.
【００４３】上記シートは、公知の方法により、表面洗
浄や表面活性化の処理が行われたものでもよい。上記シ
ートは、必要に応じて加熱又は冷却されてもよいが、撥
水性や親水性を付与する場合は、室温以下で充分であ
る。The sheet may be surface-cleaned or surface-activated by a known method. The above-mentioned sheet may be heated or cooled as necessary, but at the room temperature or lower is sufficient when imparting water repellency or hydrophilicity.
【００４４】[0044]
【作用】本発明のシートの連続表面処理方法は、混合ガ
スをシートの表面にその走行方向と逆の方向から連続的
に接触させるので、放電プラズマ中の巻き込み空気が減
少され、大気圧近傍の圧力下で高速で連続的にシートの
連続表面処理を行うことができる。In the continuous surface treatment method for a sheet according to the present invention, the mixed gas is brought into contact with the surface of the sheet continuously from the direction opposite to the running direction thereof, so that the entrained air in the discharge plasma is reduced and the temperature in the vicinity of atmospheric pressure is reduced. The continuous surface treatment of the sheet can be continuously performed at high speed under pressure.
【００４５】[0045]
【実施例】以下に実施例を掲げて本発明を更に詳しく説
明するが、本発明はこれら実施例のみに限定されるもの
ではない。The present invention will be described in more detail below with reference to examples, but the present invention is not limited to these examples.
【００４６】実施例１〜３ ガス流発生器５としてターボブロアーで循環させる機構
を具した図２に示した装置（電極幅３５０×長さ１５０
ｍｍ）を用い、以下に示した操作により、厚み５０μ
ｍ、幅３００ｍｍのポリエチレンテレフタレート（東レ
社製ルミラーＴ５０、接触角７０度）フィルムの表面に
表１に示した処理条件で撥水処理を施した。処理後のフ
ィルム表面の静的接触角を測定した。Examples 1 to 3 The apparatus shown in FIG. 2 equipped with a mechanism for circulating a turbo blower as the gas flow generator 5 (electrode width 350 × length 150).
mm), and the thickness of 50μ
The surface of a polyethylene terephthalate (Lumirror T50 manufactured by Toray Industries, Inc., contact angle 70 degrees) film having a width of m and a width of 300 mm was subjected to water repellent treatment under the treatment conditions shown in Table 1. The static contact angle of the film surface after the treatment was measured.
【００４７】静的接触角の測定は、処理後のフィルムか
ら任意に１ｍ切り出し、２ｍｍの水滴を１０ｃｍ間隔で
液滴し共和界面科学社製の接触角測定装置（商品名ＣＡ
−Ｘ１５０）を用いて静的接触角を測定し、最大値及び
最小値を表１に併記した。The static contact angle is measured by arbitrarily cutting out 1 m from the processed film and dropping 2 mm water droplets at intervals of 10 cm to make a contact angle measuring device (trade name CA manufactured by Kyowa Interface Science Co., Ltd.).
-X150) was used to measure the static contact angle, and the maximum and minimum values are also shown in Table 1.
【００４８】＜操作＞まず、被処理体であるポリエチレ
ンテレフタレートフィルム巻重体を巻き出しロールにセ
ットし、フィルムを導入口７→電極間→排出口８の順で
通し、巻き取りロールに固定した。その後、導入口７、
排出口８を閉じ、処理容器２内部の空気をガス導入管１
１から所定のガス流量の混合ガスを供給して置換し大気
圧とした。続いて、ガス流発生器５によって電極間に所
望の流速のガス流を発生させ、巻き取りロールを回転し
導入口７から排出口８の方向に所定の速度でフィルムを
連続的走行させた後、電圧を印加し電極間に放電プラズ
マを発生させ連続的に処理した。<Operation> First, the polyethylene terephthalate film roll as the object to be processed was set on the unwinding roll, and the film was passed in the order of inlet 7 → between electrodes → discharge port 8 and fixed to the winding roll. After that, the inlet 7,
The exhaust port 8 is closed and the air inside the processing container 2 is introduced into the gas introduction pipe 1
A mixed gas having a predetermined gas flow rate from 1 was supplied to replace the gas, and the pressure was changed to atmospheric pressure. Then, a gas flow of a desired flow rate is generated between the electrodes by the gas flow generator 5, the winding roll is rotated, and the film is continuously run from the inlet 7 to the outlet 8 at a predetermined speed. Then, a voltage was applied to generate discharge plasma between the electrodes for continuous treatment.
【００４９】比較例１ ガス流発生器５を具していないこと以外は、実施例と同
様な装置で、実施例１の操作及び条件で同様にして表面
処理を行った。その結果、静的接触角は、４５〜５８度
を示し、親水化されていることが明らかとなった。そこ
で、走行速度３ｍ／分で同様に処理を行ったところ、１
００〜１０７度の接触角を示し、撥水性に表面処理され
た。Comparative Example 1 A surface treatment was carried out in the same manner as in Example 1 except that the gas flow generator 5 was not provided and in the same operation and conditions as in Example 1. As a result, it was revealed that the static contact angle was 45 to 58 degrees, and that it was hydrophilized. Therefore, when the same processing was performed at a traveling speed of 3 m / min, 1
It showed a contact angle of 00 to 107 degrees and was surface-treated to be water repellent.
【００５０】実施例４及び５ 親水化処理を目的に、実施例１〜３で用いた装置、操作
で、表１に示す条件で表面処理を行った。接触角測定の
結果も表１に併記した。Examples 4 and 5 For the purpose of hydrophilic treatment, surface treatment was performed under the conditions shown in Table 1 with the apparatus and operation used in Examples 1 to 3. The results of the contact angle measurement are also shown in Table 1.
【００５１】[0051]
【表１】 [Table 1]
【００５２】実施例から明らかなように、本発明は、従
来技術に比べ高速で均一な連続的な表面処理が可能であ
る。As is apparent from the examples, the present invention enables a continuous surface treatment that is faster and more uniform than the prior art.
【００５３】[0053]
【発明の効果】本発明のシートの連続表面処理方法及び
装置は、上述の構成よりなるので、シートの表面を均一
かつ比較的高速で連続的に表面処理でき、容易に表面処
理工程をインライン化できる。EFFECTS OF THE INVENTION The continuous sheet surface treatment method and apparatus of the present invention have the above-mentioned constitution, so that the surface of the sheet can be continuously and uniformly treated at a relatively high speed, and the surface treatment process can be easily performed in-line. it can.
【図１】本発明のシートの連続表面処理装置の模式断面
図。FIG. 1 is a schematic cross-sectional view of a continuous sheet surface treatment apparatus of the present invention.
【図２】ガス流発生機構の例を示す模式図。FIG. 2 is a schematic diagram showing an example of a gas flow generation mechanism.
【図３】ガス流発生機構の例を示す模式図。FIG. 3 is a schematic diagram showing an example of a gas flow generation mechanism.
【図４】ガス流発生機構の例を示す模式図。FIG. 4 is a schematic diagram showing an example of a gas flow generation mechanism.
【図５】ガス流発生機構の例を示す模式図。FIG. 5 is a schematic diagram showing an example of a gas flow generation mechanism.
【図６】ガス流発生機構の例を示す模式図。FIG. 6 is a schematic diagram showing an example of a gas flow generation mechanism.
【符号の説明】 １ 電源部 ２ 処理容器 ３ 上部電極 ４ 下部電極 ５ ターボブロアーによるガス流発生機構 ６ シート ７ シート導入口 ８ シート排出口 ９ 固体誘電体 １０ ガス導入管 １１ ガス排出口 １２ 固体誘電体製側壁 １３ ガス流路 １４ ノズル １５ 多数の孔が設けられた電極 １６ ポンプ １７ 送風器[Explanation of reference numerals] 1 power supply unit 2 processing container 3 upper electrode 4 lower electrode 5 gas flow generation mechanism by turbo blower 6 sheet 7 sheet inlet 8 sheet outlet 9 solid dielectric 10 gas inlet pipe 11 gas outlet 12 solid dielectric Body side wall 13 Gas flow path 14 Nozzle 15 Electrode with many holes 16 Pump 17 Blower
Claims (2)
気圧近傍の圧力下で充満させた処理容器内に、一対の金
属対向電極を配設し、前記金属対向電極の間にシートを
連続的に走行させつつ、前記金属対向電極間に電圧を印
加して放電プラズマを発生させることにより前記シート
表面を処理するシートの連続表面処理方法において、前
記処理容器内へのシート導入口及び前記処理容器内から
のシート排出口が、混合ガスの漏れを許容しうる程度の
非気密状態にシールされており、前記金属対向電極のう
ちの少なくとも一方の対向面の表面が、固体誘電体によ
り完全に覆われており、前記混合ガスを、前記シートの
表面にその走行方向と逆の方向から連続的に接触させる
ことを特徴とするシートの連続表面処理方法。1. A pair of metal counter electrodes are provided in a processing container filled with a mixed gas of an inert gas and a process gas under a pressure near atmospheric pressure, and a sheet is placed between the metal counter electrodes. In a continuous sheet surface treatment method of treating the sheet surface by applying a voltage between the metal counter electrodes to generate discharge plasma while continuously traveling, a sheet introduction port into the treatment container and the The sheet discharge port from the inside of the processing container is sealed in a non-airtight state that allows the leakage of the mixed gas, and the surface of at least one of the facing electrodes of the metal counter electrode is completely covered with a solid dielectric. And a continuous surface treatment method for a sheet, wherein the mixed gas is continuously brought into contact with the surface of the sheet in a direction opposite to the traveling direction thereof.
気圧近傍の圧力下で充満させた処理容器内に、一対の金
属対向電極を配設し、前記金属対向電極の間にシートを
連続的に走行させつつ、前記金属対向電極間に電圧を印
加して放電プラズマを発生させることにより前記シート
表面を処理するように構成したシートの連続表面処理装
置において、前記処理容器内へのシート導入口及び前記
処理容器内からのシート排出口が、混合ガスの漏れを許
容しうる程度の非気密状態にシールされており、前記金
属対向電極のうちの少なくとも一方の対向面の表面が、
固体誘電体により完全に覆われており、前記混合ガスを
前記シートの表面にその走行方向と逆の方向から連続的
に接触させるように配設したガス流発生機構を有するこ
とを特徴とするシートの連続表面処理装置。2. A pair of metal counter electrodes are arranged in a processing container filled with a mixed gas of an inert gas and a process gas under a pressure near atmospheric pressure, and a sheet is placed between the metal counter electrodes. In a continuous surface treatment apparatus for a sheet configured to treat the sheet surface by applying a voltage between the metal counter electrodes to generate discharge plasma while continuously traveling, the sheet into the treatment container The sheet inlet from the inlet and the processing container is sealed in a non-airtight state to the extent that the leakage of the mixed gas is allowed, and the surface of at least one of the facing electrodes of the metal counter electrode is
A sheet which is completely covered with a solid dielectric and has a gas flow generating mechanism which is arranged so as to continuously contact the mixed gas with the surface of the sheet in a direction opposite to the traveling direction thereof. Continuous surface treatment equipment.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP00395895A JP3593168B2 (en) | 1995-01-13 | 1995-01-13 | Continuous surface treatment method and apparatus for sheet |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08192044A true JPH08192044A (en) | 1996-07-30 |
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ID=11571617
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