JPH0818990A - Color image projecting device - Google Patents
Color image projecting deviceInfo
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- JPH0818990A JPH0818990A JP6148878A JP14887894A JPH0818990A JP H0818990 A JPH0818990 A JP H0818990A JP 6148878 A JP6148878 A JP 6148878A JP 14887894 A JP14887894 A JP 14887894A JP H0818990 A JPH0818990 A JP H0818990A
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- spatial light
- color image
- light modulator
- filter
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- Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)
- Video Image Reproduction Devices For Color Tv Systems (AREA)
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、光源と、画素毎に反射
光の向きを切り換える空間光変調素子を用いて画像情報
をスクリーンに投影する画像投影装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an image projection apparatus for projecting image information on a screen by using a light source and a spatial light modulator for switching the direction of reflected light for each pixel.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来、画素毎に反射光の向きを切り換え
る空間光変調素子としては、「光学」［日本光学会発
行：Vol.20(1991)653］、特開昭６１−１１６３２４号
公報、特開昭６１−１２９６２７号公報、特公平３−７
８６２２号公報、特開昭５８−１０７１４号公報などに
開示されているタイプのものが知られている。2. Description of the Related Art Conventionally, as a spatial light modulator for switching the direction of reflected light for each pixel, "Optical" [Published by the Optical Society of Japan: Vol.20 (1991) 653], JP-A-61-116324, Japanese Patent Laid-Open No. 61-129627, Japanese Patent Publication No. 3-7
Known types include those disclosed in Japanese Patent No. 8622 and Japanese Patent Laid-Open No. 58-10714.
【０００３】この空間光変調素子は概ね、図６および図
７に示すような構成からなる一画素分が、一次元または
二次元に配列されたものである。This spatial light modulator is generally one in which one pixel having a structure as shown in FIGS. 6 and 7 is arranged one-dimensionally or two-dimensionally.
【０００４】図６は、従来の、カンチレバータイプの空
間光変調素子の一画素分を示し、（ａ）はその縦断面
図、（ｂ）はその平面図である。図７は、従来の、ねじ
れタイプの空間光変調素子の一画素分を示し、（ａ）は
その縦断面図、（ｂ）はその平面図である。これらの図
において、同一の構成要素には同一の符号を付してあ
る。6A and 6B show one pixel of a conventional cantilever type spatial light modulator, in which FIG. 6A is a longitudinal sectional view thereof, and FIG. 6B is a plan view thereof. 7A and 7B show one pixel of a conventional twist type spatial light modulator, in which FIG. 7A is a longitudinal sectional view thereof and FIG. 7B is a plan view thereof. In these drawings, the same components are designated by the same reference numerals.
【０００５】図６および図７に示される空間光変調素子
は、Ｓｉ基板１０１上に、絶縁層１０２、アドレス電極
１０３、スペーサー１０４、画素に相当するフラップ１
０６を有する反射膜１０５をこの順に形成することによ
り構成されている。図６に示すカンチレバータイプのも
のは、一つの支持部１０７でフラップ１０６を支持した
ものであり、図７に示すねじれタイプのものは、対称な
一対の支持部１０８ａ，１０８ｂでフラップ１０６を支
持したものである。The spatial light modulator shown in FIGS. 6 and 7 has an insulating layer 102, an address electrode 103, a spacer 104, and a flap 1 corresponding to a pixel on a Si substrate 101.
It is configured by forming the reflective film 105 having 06 in this order. In the cantilever type shown in FIG. 6, the flap 106 is supported by one supporting portion 107, and in the twist type shown in FIG. 7, the flap 106 is supported by a pair of symmetrical supporting portions 108a and 108b. It is a thing.
【０００６】Ｓｉ基板１０１内にはＭＯＳトランジスタ
（不図示）が形成されており、このＭＯＳトランジスタ
を用いてアドレス電極１０３に電荷をアドレスすると、
フラップ１０６は、アドレス電極１０３に電荷があるか
否かで面が傾いたり元に戻ったりする。A MOS transistor (not shown) is formed in the Si substrate 101, and when the address is addressed to the address electrode 103 using this MOS transistor,
The surface of the flap 106 tilts or returns depending on whether the address electrode 103 has a charge.
【０００７】このため空間光変調素子は、フラップ１０
６の面の傾き具合によって入射光に対する反射光の方向
を切り換えてＯＮ／ＯＦＦ情報とすることができる。Therefore, the spatial light modulator is composed of the flap 10
ON / OFF information can be obtained by switching the direction of reflected light with respect to incident light depending on the degree of inclination of the surface of 6.
【０００８】上記のような空間光変調素子を使った応用
例としては、空間光変調素子を光源によって照明し、空
間光変調素子からのＯＮ／ＯＦＦ情報としての反射光
を、投影レンズによってスクリーン面へ投影する投影装
置が知られている。As an application example using the above spatial light modulation element, the spatial light modulation element is illuminated by a light source, and reflected light as ON / OFF information from the spatial light modulation element is projected onto a screen surface by a projection lens. Projecting devices for projecting onto are known.
【０００９】この投影装置をカラー対応とする場合に
は、図８、図９に示されるような二つの方法がある。There are two methods shown in FIGS. 8 and 9 for making this projection device color-compatible.
【００１０】図８は、図６または図７に示した空間光変
調素子を用いたカラー画像投影装置の一例であり、Ｒ，
Ｇ，Ｂの３種類のカラーフィルターを備えたカラー画像
投影装置を示す概略構成図である。FIG. 8 shows an example of a color image projection apparatus using the spatial light modulator shown in FIG. 6 or FIG.
It is a schematic block diagram which shows the color image projection apparatus provided with three types of G and B color filters.
【００１１】図８に示されるカラー画像投影装置は、点
光源の撮影用光源１２１から凸レンズであるコンデンサ
ーレンズ１２２を通して空間光変調素子の素子面１２３
が照明される平行光路中に、フィルター（Ｒ）１２６
ａ、フィルター（Ｇ）１２６ｂ、フィルター（Ｂ）１２
６ｃを交換可能に配置し、フィルター１２６ａ〜１２６
ｃを高速度で順次交換すると共に、フィルター交換に同
期させた時分割の信号で空間光変調器の素子（フラッ
プ）を駆動することにより、空間光変調素子の素子面１
２３によるカラー画像情報を投影レンズ１２４を通して
スクリーン面１２５に投影している。In the color image projection apparatus shown in FIG. 8, an element surface 123 of a spatial light modulator is provided from a photographing light source 121 which is a point light source through a condenser lens 122 which is a convex lens.
Filter (R) 126 in the parallel optical path where
a, filter (G) 126b, filter (B) 12
6c is arranged to be replaceable, and filters 126a to 126
By sequentially exchanging c at a high speed and driving the element (flap) of the spatial light modulator with a time-division signal synchronized with filter exchange, the element surface 1 of the spatial light modulator
The color image information of 23 is projected on the screen surface 125 through the projection lens 124.
【００１２】図９は、図６または図７に示した空間光変
調素子を用いたカラー画像投影装置の他の例であり、
（ａ）は空間光変調素子の前にフィルターを備えたカラ
ー画像投影装置を示す概略構成図、（ｂ）は（ａ）に示
すフィルターの構成図である。この図において、図８に
示したものと同一の構成要素には同一の符号を付してあ
る。FIG. 9 shows another example of a color image projection apparatus using the spatial light modulator shown in FIG. 6 or 7.
(A) is a schematic block diagram which shows the color image projector which provided the filter in front of a spatial light modulator, (b) is a block diagram of the filter shown to (a). In this figure, the same components as those shown in FIG. 8 are designated by the same reference numerals.
【００１３】図９に示されるカラー画像投影装置は、空
間光変調素子の素子面１２３の前に、各画素毎にＲ，
Ｇ，Ｂが配列されたフィルター１２７を配置することに
より、Ｒ，Ｇ，Ｂのカラー画像情報を空間分割の信号と
して取り出している。The color image projection apparatus shown in FIG. 9 has R, R for each pixel in front of the element surface 123 of the spatial light modulator.
By disposing the filter 127 in which G and B are arranged, the R, G, and B color image information is extracted as a signal for space division.
【００１４】[0014]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図８に
示したカラー画像投影装置では、３種類のフィルター
（Ｒ、Ｇ、Ｂ）の交換タイミングと、空間光変調素子の
各画素のＯＮ／ＯＦＦタイミングとの同期が、空間光変
調素子の応答性との絡みで繁雑であると共に、ＲＧＢの
信号の組を取り出すのに図９に示したカラー画像投影装
置の３倍の時間がかかるという問題点がある。However, in the color image projection apparatus shown in FIG. 8, the replacement timing of the three types of filters (R, G, B) and the ON / OFF timing of each pixel of the spatial light modulation element. The problem is that the synchronization with and is complicated due to the entanglement with the response of the spatial light modulator, and it takes three times as long as that of the color image projector shown in FIG. 9 to take out a set of RGB signals. is there.
【００１５】一方、図９に示したカラー画像投影装置で
は、空間光変調素子の画素毎にフィルターのＲＧＢを位
置合わせすることが大変であるという問題点がある。ま
た、空間光変調素子の素子面に対して斜め上方からの入
射光を使う場合、素子面とフィルターが完全密着してい
ない為に、隣りのフィルターを通過したクロストーク光
が飛び込んでノイズを生じさせるので、投影されたカラ
ー画像の解像力が低下するという問題点が生じる。On the other hand, the color image projector shown in FIG. 9 has a problem that it is difficult to align the RGB of the filter for each pixel of the spatial light modulator. In addition, when using incident light from diagonally above the element surface of the spatial light modulator, since the element surface and the filter are not in complete contact, the crosstalk light that has passed through the adjacent filter jumps in and causes noise. This causes a problem that the resolution of the projected color image is reduced.
【００１６】そこで本発明は、各画素に相当するフラッ
プ（反射板）をクーロン力で傾かせることより反射光の
方向を切り換えてＯＮ／ＯＦＦ情報とする前述の空間光
変調素子において、画素毎のフラップの反射面を着色し
て、素子面上にＲ，Ｇ，Ｂなどの反射分光特性を持つフ
ィルターをモノリシックに持たせたことにより、画素毎
の駆動に同期させたフィルター交換やフィルターと画素
の位置合わせが必要なく、また、クロストーク光も除去
できるカラー画像投影装置を提供することを目的とす
る。Therefore, according to the present invention, the flap (reflecting plate) corresponding to each pixel is tilted by the Coulomb force to switch the direction of the reflected light so that ON / OFF information is obtained. By coloring the flap's reflective surface and monolithically providing a filter with reflection spectral characteristics such as R, G, and B on the element surface, filter replacement synchronized with driving for each pixel and filter and pixel It is an object of the present invention to provide a color image projection device that does not require alignment and can remove crosstalk light.
【００１７】[0017]
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明は、白色光源と、画素毎の反射面を個別にクー
ロン力で傾かせることによって該光源からの光の反射光
の方向を切り換えてＯＮ／ＯＦＦ情報とする空間光変調
素子と、該空間光変調素子による画素毎のＯＮ／ＯＦＦ
情報をスクリーンに投影する投影レンズを含むカラー画
像投影装置において、前記空間光変調素子の画素毎の反
射面に、Ｒ、Ｇ、Ｂの反射分光特性を持つフィルターが
一体的に設けられたことを特徴とする。In order to achieve the above object, the present invention provides a white light source and a reflecting surface for each pixel which are individually tilted by Coulomb force so as to change the direction of reflected light from the light source. Spatial light modulator for switching to ON / OFF information and ON / OFF for each pixel by the spatial light modulator
In a color image projection device including a projection lens for projecting information on a screen, a filter having R, G, B reflection spectral characteristics is integrally provided on the reflection surface of each pixel of the spatial light modulator. Characterize.
【００１８】そして、前記空間光変調素子は、カンチレ
バータイプやねじれタイプであることを特徴とする。The spatial light modulator is of a cantilever type or a twist type.
【００１９】[0019]
【作用】上記のとおりに構成された本発明では、白色光
源からの光を空間光変調素子の素子面に照射し、空間光
変調素子の画素毎の、Ｒ，Ｇ，Ｂの反射分光特性を持つ
フィルターが一体的に設けられた反射面を個別にクーロ
ン力で傾け、反射面による反射光の方向を切り換えるこ
とにより、カラー画像を形成するためのＯＮ／ＯＦＦ情
報が得られる。そして、空間光変調素子によるＯＮ／Ｏ
ＦＦ情報で形成されるカラー画像は、投影レンズを通し
てスクリーンに投影される。In the present invention configured as described above, the element surface of the spatial light modulator is irradiated with light from a white light source, and the R, G, B reflection spectral characteristics of each pixel of the spatial light modulator are measured. ON / OFF information for forming a color image can be obtained by individually tilting the reflecting surfaces integrally provided with the filters provided by the Coulomb force and switching the direction of light reflected by the reflecting surfaces. And ON / O by the spatial light modulator
The color image formed by the FF information is projected on the screen through the projection lens.
【００２０】[0020]
【実施例】以下、本発明の実施例について図面を参照し
て説明する。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.
【００２１】図１は、本発明のカラー画像投影装置の一
実施例を示す構成図である。FIG. 1 is a block diagram showing an embodiment of a color image projection apparatus of the present invention.
【００２２】本実施例のカラー画像投影装置は、図１に
示すように、白色の点光源である投影用光源２１と、投
影用光源２１からの光が通過されるコンデンサーレンズ
２２と、コンデンサーレンズ２２による平行光が照射さ
れる素子面２３を有する空間光変調素子と、空間光変調
素子の画素毎のＯＮ／ＯＦＦ情報としての反射光をスク
リーン面２５へ投影する投影レンズ２４とを備えてい
る。As shown in FIG. 1, the color image projection apparatus of the present embodiment has a projection light source 21 which is a white point light source, a condenser lens 22 through which light from the projection light source 21 passes, and a condenser lens. A spatial light modulation element having an element surface 23 on which parallel light from 22 is irradiated, and a projection lens 24 which projects reflected light as ON / OFF information for each pixel of the spatial light modulation element onto a screen surface 25. .
【００２３】空間光変調素子は、クーロン力によって可
動する反射面であるフラップが多数配列されたものであ
り、各フラップが一画素分に相当している。そして、空
間光変調素子の画素毎の反射面は、蒸着、ＣＶＤなどの
手段で着色されて、フィルターの役割をも兼ねる。The spatial light modulator is an array of a large number of flaps, which are reflecting surfaces that are movable by Coulomb force, and each flap corresponds to one pixel. The reflective surface of each pixel of the spatial light modulator is colored by means such as vapor deposition or CVD and also serves as a filter.
【００２４】ここで、本実施例に備わる空間光変調素子
の一画素分の構成を説明する。Here, the structure of one pixel of the spatial light modulator provided in this embodiment will be described.
【００２５】図２は、図１に示したカラー画像投影装置
に適用可能なカンチレバータイプの空間光変調素子の一
画素分を示し、（ａ）はその縦断面図、（ｂ）はその平
面図である。2A and 2B show one pixel of a cantilever type spatial light modulator applicable to the color image projection apparatus shown in FIG. 1, in which FIG. 2A is a longitudinal sectional view thereof, and FIG. 2B is a plan view thereof. Is.
【００２６】図２に示される空間光変調素子は、Ｓｉ基
板１上に、絶縁層２、アドレス電極３、スペーサー４、
および一つの支持部７で支持されたフラップ６を有する
反射膜５をこの順で形成し、さらに、フラップ６上に
Ｒ，Ｇ，Ｂなどの反射分光特性を持つフィルター膜１１
を形成することにより構成されている。The spatial light modulator shown in FIG. 2 has an insulating layer 2, an address electrode 3, a spacer 4, and an insulating layer 2 on a Si substrate 1.
And a reflective film 5 having a flap 6 supported by one supporting portion 7 in this order, and further, a filter film 11 having reflection spectral characteristics such as R, G, B on the flap 6
Is formed.
【００２７】このようなカンチレバータイプのもので
は、アドレス電極３に電荷をアドレスすると、片持ち支
持のフラップ６は、アドレス電極３に電荷があるか否か
で支持部７より撓み、面が傾いたり元に戻ったりする。
このため、フラップ６の面の傾き具合によって入射光に
対する反射光の方向を切り換えてＯＮ／ＯＦＦ情報とす
ることができる。そして、フラップ６からの反射光は、
そのフラップ６のフィルター膜１１の色となる。In such a cantilever type, when an electric charge is addressed to the address electrode 3, the cantilevered flap 6 bends from the supporting portion 7 depending on whether or not the address electrode 3 has electric charge, and the surface is inclined. I'll go back.
Therefore, depending on the degree of inclination of the surface of the flap 6, the direction of the reflected light with respect to the incident light can be switched to provide ON / OFF information. Then, the reflected light from the flap 6 is
It becomes the color of the filter film 11 of the flap 6.
【００２８】図３は、図１に示したカラー画像投影装置
に適用可能なねじれタイプの空間光変調素子を示し、
（ａ）はその縦断面図、（ｂ）はその平面図である。こ
の図において、図２に示したものと同一の構成要素につ
いては同一の符号を付し、その説明は省略する。FIG. 3 shows a twist type spatial light modulator applicable to the color image projector shown in FIG.
(A) is the longitudinal cross-sectional view and (b) is the top view. In this figure, the same components as those shown in FIG. 2 are designated by the same reference numerals, and the description thereof will be omitted.
【００２９】図３に示される空間光変調素子では、反射
膜５にてフラップ６が対称な二つの支持部８ａ，８ｂで
支持されており、フラップ６上には、Ｒ，Ｇ，Ｂなどの
反射分光特性を持つフィルター膜１１が形成されてい
る。In the spatial light modulator shown in FIG. 3, the flap 6 is supported by the two supporting portions 8a and 8b which are symmetrical with each other on the reflection film 5, and on the flap 6, R, G, B and the like are supported. A filter film 11 having a reflection spectral characteristic is formed.
【００３０】このようなねじれタイプのものでは、アド
レス電極３に電荷をアドレスすると、両持ち支持のフラ
ップ６は、アドレス電極１０３に電荷があるか否かで支
持部８ａ，８ｂよりねじれて、面が傾いたり元に戻った
りする。このため、フラップ６の面の傾き具合によって
入射光に対する反射光の方向を切り換えてＯＮ／ＯＦＦ
情報とすることができる。そして、フラップ６からの反
射光は、そのフラップ６のフィルター膜１１の色とな
る。In such a twist type, when the address electrode 3 is charged with electric charges, the flap 6 supporting both ends is twisted from the supporting portions 8a and 8b depending on whether the address electrode 103 has electric charges or not, and the surface is Tilts back and forth. Therefore, the direction of the reflected light with respect to the incident light is switched depending on the inclination of the surface of the flap 6 to turn it on / off
It can be information. Then, the reflected light from the flap 6 becomes the color of the filter film 11 of the flap 6.
【００３１】上記のように図２および図３に示した、
Ｒ，Ｇ，Ｂのフィルター膜を画素毎に備えたモノシリッ
クな空間光変調素子は、画素毎の反射面にフィルターが
密着しているので、画素毎にフィルターの位置合わせを
必要とせず、さらには、隣りのフィルターを通過したク
ロストーク光も除去できる。As shown above in FIGS. 2 and 3,
In the monolithic spatial light modulator having R, G, and B filter films for each pixel, since the filter is in close contact with the reflection surface of each pixel, the filter does not need to be aligned for each pixel. The crosstalk light that has passed through the adjacent filter can also be removed.
【００３２】図４は、上述した、Ｒ，Ｇ，Ｂのフィルタ
ー膜の配列の一例を示している。FIG. 4 shows an example of the arrangement of the R, G and B filter films described above.
【００３３】上記のいずれのタイプにおいてもＲ，Ｇ，
Ｂの反射分光特性を持つフィルターの配列は、図４に示
すように、Ｒ，Ｇ，Ｂの３画素を使ってカラー情報を表
現できるようになっている。In any of the above types, R, G,
As shown in FIG. 4, the filter array having the B reflection spectral characteristic can represent color information by using three pixels of R, G, and B.
【００３４】図５は、上述した、Ｒ，Ｇ，Ｂのフィルタ
ーの配列の他の例を示している。FIG. 5 shows another example of the arrangement of the R, G, B filters described above.
【００３５】図５においては、上述した各タイプにおけ
る画素に相当するフラップの配列を一行おきに互いに半
画素分だけずらした、いわゆるデルタ配列を用いた。In FIG. 5, the so-called delta arrangement is used in which the arrangement of flaps corresponding to the pixels in each of the above-described types is shifted by half a pixel from every other row.
【００３６】このようにすることにより、図４に示した
正方配列と比べて、Ｒ，Ｇ，Ｂ等３種の分光反射率の分
布が斜め４５°方向に同一のものが隣り合わないように
なるので、画像投影時に色モアレが目立ちにくいものと
なる。By doing so, compared with the square array shown in FIG. 4, the distributions of the spectral reflectances of three kinds such as R, G and B are prevented from adjoining in the oblique 45 ° direction. Therefore, color moiré is less noticeable during image projection.
【００３７】[0037]
【発明の効果】以上説明したように本発明は、白色光源
と、画素毎の反射面を個別にクーロン力で傾かせること
によって該光源からの光の反射光の方向を切り換えてＯ
Ｎ／ＯＦＦ情報とする空間光変調素子と、該空間光変調
素子による画素毎のＯＮ／ＯＦＦ情報をスクリーンに投
影する投影レンズを含むカラー画像投影装置において、
空間光変調素子の画素毎の反射面に、Ｒ、Ｇ、Ｂの反射
分光特性を持つフィルターを一体的に設けたことによ
り、画素毎の駆動に同期させたフィルター交換やフィル
ターと画素の位置合わせが必要ない。また、クロストー
ク光も除去できるので、カラー画像の解像力が向上す
る。As described above, according to the present invention, the direction of the reflected light of the light source is switched by tilting the white light source and the reflecting surface of each pixel individually by the Coulomb force.
In a color image projection device including a spatial light modulation element for N / OFF information and a projection lens for projecting ON / OFF information for each pixel by the spatial light modulation element onto a screen,
A filter having R, G, and B reflection spectral characteristics is integrally provided on the reflection surface of each pixel of the spatial light modulator, so that filter replacement synchronized with driving of each pixel and alignment of the filter and pixel Is not necessary. Moreover, since crosstalk light can be removed, the resolution of a color image is improved.
【図１】本発明のカラー画像投影装置の一実施例を示す
構成図である。FIG. 1 is a configuration diagram showing an embodiment of a color image projection apparatus of the present invention.
【図２】図１に示したカラー画像投影装置に適用可能な
カンチレバータイプの空間光変調素子を示し、（ａ）は
その縦断面図、（ｂ）はその平面図である。2A and 2B show a cantilever-type spatial light modulator applicable to the color image projector shown in FIG. 1, in which FIG. 2A is a longitudinal sectional view thereof, and FIG. 2B is a plan view thereof.
【図３】図１に示したカラー画像投影装置に適用可能な
ねじれタイプの空間光変調素子を示し、（ａ）はその縦
断面図、（ｂ）はその平面図である。3A and 3B show a twist type spatial light modulator applicable to the color image projector shown in FIG. 1, FIG. 3A being a longitudinal sectional view thereof, and FIG. 3B being a plan view thereof.
【図４】本発明の一実施例に備わる空間光変調素子のＲ
ＧＢフィルタ膜の配列の一例を示す図である。FIG. 4 shows R of the spatial light modulator according to the embodiment of the present invention.
It is a figure which shows an example of arrangement | positioning of a GB filter film.
【図５】本発明の一実施例に備わる空間光変調素子のＲ
ＧＢフィルタ膜の配列の他の例を示す図である。FIG. 5 shows R of the spatial light modulator according to the embodiment of the present invention.
It is a figure which shows the other example of arrangement | positioning of a GB filter film.
【図６】従来の、カンチレバータイプの空間光変調素子
の一画素分を示し、（ａ）はその縦断面図、（ｂ）はそ
の平面図である。6A and 6B show one pixel of a conventional cantilever-type spatial light modulator, in which FIG. 6A is a longitudinal sectional view thereof, and FIG. 6B is a plan view thereof.
【図７】従来の、ねじれタイプの空間光変調素子の一画
素分を示し、（ａ）はその縦断面図、（ｂ）はその平面
図である。7A and 7B show one pixel of a conventional twist type spatial light modulator, in which FIG. 7A is a longitudinal sectional view thereof and FIG. 7B is a plan view thereof.
【図８】図６または図７に示した空間光変調素子を用い
たカラー画像投影装置の一例であり、Ｒ，Ｇ，Ｂの３種
類のカラーフィルターを備えたカラー画像投影装置を示
す概略構成図である。8 is an example of a color image projection device using the spatial light modulator shown in FIG. 6 or 7, and is a schematic configuration showing a color image projection device provided with three types of R, G, and B color filters. It is a figure.
【図９】図６または図７に示した空間光変調素子を用い
たカラー画像投影装置の他の例であり、（ａ）は空間光
変調素子の前にフィルターを備えたカラー画像投影装置
を示す概略構成図、（ｂ）は（ａ）に示すフィルターの
構成図である。9 is another example of a color image projection apparatus using the spatial light modulation element shown in FIG. 6 or FIG. 7, (a) shows a color image projection apparatus provided with a filter in front of the spatial light modulation element. The schematic block diagram shown is (b), and it is a block diagram of the filter shown to (a).
１ Ｓｉ基板 ２ 絶縁層 ３ アドレス電極 ４ スペーサー ５ 反射膜 ６ フラップ ７，８ａ，８ｂ 支持部 １１ フィルター膜 ２１ 投影用光源 ２２ コンデンサーレンズ ２３ 空間光変調素子の素子面 ２４ 投影レンズ ２５ スクリーン面 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Si substrate 2 Insulating layer 3 Address electrode 4 Spacer 5 Reflective film 6 Flap 7, 8a, 8b Support part 11 Filter film 21 Projection light source 22 Condenser lens 23 Spatial light modulator element surface 24 Projection lens 25 Screen surface
Claims (3)
ーロン力で傾かせることによって該光源からの光の反射
光の方向を切り換えてＯＮ／ＯＦＦ情報とする空間光変
調素子と、該空間光変調素子による画素毎のＯＮ／ＯＦ
Ｆ情報をスクリーンに投影する投影レンズを含むカラー
画像投影装置において、 前記空間光変調素子の画素毎の反射面に、Ｒ、Ｇ、Ｂの
反射分光特性を持つフィルターが一体的に設けられたこ
とを特徴とするカラー画像投影装置。1. A white light source, a spatial light modulator for switching the direction of reflected light of light from the light source by inclining the reflecting surface of each pixel individually by Coulomb force, and turning on / off the information. ON / OF for each pixel by spatial light modulator
In a color image projector including a projection lens for projecting F information onto a screen, a filter having R, G, B reflection spectral characteristics is integrally provided on a reflecting surface of each pixel of the spatial light modulator. A color image projecting device.
イプであることを特徴とする、請求項１に記載のカラー
画像投影装置。2. The color image projection device according to claim 1, wherein the spatial light modulator is of a cantilever type.
あることを特徴とする、請求項１に記載のカラー画像投
影装置。3. The color image projection apparatus according to claim 1, wherein the spatial light modulator is a twist type.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6148878A JPH0818990A (en) | 1994-06-30 | 1994-06-30 | Color image projecting device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6148878A JPH0818990A (en) | 1994-06-30 | 1994-06-30 | Color image projecting device |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0818990A true JPH0818990A (en) | 1996-01-19 |
Family
ID=15462746
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6148878A Pending JPH0818990A (en) | 1994-06-30 | 1994-06-30 | Color image projecting device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0818990A (en) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100832620B1 (en) * | 2006-03-30 | 2008-05-27 | 삼성전기주식회사 | Display system using one panel optical modulator |
| KR100832623B1 (en) * | 2006-03-30 | 2008-05-27 | 삼성전기주식회사 | Display system using one panel optical modulator |
| US7848001B2 (en) | 1994-05-05 | 2010-12-07 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Method and system for interferometric modulation in projection or peripheral devices |
| US8437070B2 (en) | 2004-09-27 | 2013-05-07 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Interferometric modulator with dielectric layer |
| US8848294B2 (en) | 2010-05-20 | 2014-09-30 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Method and structure capable of changing color saturation |
| CN109309800A (en) * | 2017-07-28 | 2019-02-05 | 爱思开海力士有限公司 | Imaging sensor with phase difference detection pixel |
-
1994
- 1994-06-30 JP JP6148878A patent/JPH0818990A/en active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7848001B2 (en) | 1994-05-05 | 2010-12-07 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Method and system for interferometric modulation in projection or peripheral devices |
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| KR100832620B1 (en) * | 2006-03-30 | 2008-05-27 | 삼성전기주식회사 | Display system using one panel optical modulator |
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| US8848294B2 (en) | 2010-05-20 | 2014-09-30 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Method and structure capable of changing color saturation |
| CN109309800A (en) * | 2017-07-28 | 2019-02-05 | 爱思开海力士有限公司 | Imaging sensor with phase difference detection pixel |
| US10930687B2 (en) | 2017-07-28 | 2021-02-23 | SK Hynix Inc. | Image sensor having phase difference detection pixel |
| CN109309800B (en) * | 2017-07-28 | 2021-04-09 | 爱思开海力士有限公司 | Image sensor having phase difference detection pixels |
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