JPH08180353A - ディスク駆動サスペンションアセンブリのための積層構造体の製造方法及びその積層構造体、並びにサスペンションアセンブリ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 製造工程のハンドリングを少なくして効率化
を図り、かつ製品の歩留を向上させたヘッドサスペンシ
ョンアセンブリ(HSA) 用の積層構造体を提供すること。 【構成】 ハードディスク駆動装置内でＨＳＡ12に取り
付けられる積層構造体14で、ばね金属層（第１層）50
と、導電層（第３層）70と、中間の絶縁／接着層（第２
層）90とを有し、導電層70は、相互接続部アセンブリと
して、ジンバル40として、さらにばね領域として機能す
る。積層構造体の製造方法は、相互接続部アセンブリの
製造をばね構造体の製造に組み込む。積層構造体14は、
他の層をエッチングマスクとして用いてエッチングによ
り製造する。第２層による組立て製造時の支持によっ
て、金属層50,70 のいずれか一方または両方を不連続に
する独特の配置ができ、第２層90はまた、複数のパネル
に成形されて、金属層50,70 を自由にしてばね部品とし
て機能する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、回転可能なデータ記憶
装置の上方にヘッドアセンブリを位置決めする、ディス
ク駆動装置のヘッドサスペンションアセンブリ（ＨＳ
Ａ）に関する。

【０００２】

【従来の技術】サスペンションアセンブリは、読み書き
ヘッドアセンブリを回転ディスクまたは他のデータ記憶
装置の高速回転する表面から数ナノメータだけ離れた位
置に位置決めするディスク駆動装置内のばね構造体であ
る。サスペンションアセンブリは、正確に決定された位
置に正確な力を加えてヘッドをディスク表面の方へ押し
付ける。ヘッドアセンブリは、サスペンションアセンブ
リの下向きの力と、ヘッドがディスクに接近した時に旋
回中のディスクによって発生する空気流によるわずかな
揚力との均衡によって定められる高さでディスクの（こ
の基準での）凹凸表面上を「浮動」する。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】本発明は、ヘッドサス
ペンションアセンブリ（ＨＳＡ）に用いられる新規な積
層構造体、及びその積層構造体を製造する方法を提供す
ることを目的としている。また、ヘッドアセンブリの電
気端子を相互接続部アセンブリの導体に電気接続する方
法、ヘッドアセンブリのスライダを電気接地する方法、
及びヘッドアセンブリに電気接続するための相互接続部
／サスペンションアセンブリ、並びにジンバル／相互接
続部アセンブリを提供することを目的としている。

【０００４】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は特許請求の範囲に記載された各請求項のの
構成を有している。

【０００５】積層構造体を製造する第１工程は、多層合
わせシートを提供するものである。シートは、金属ばね
材からなる第１層と、電気絶縁材からなる中間の第２層
と、導電材からなる第３層とを有している。第２層は、
積層構造体全体に与えるばね特性が最小である。第３層
は、ベリリウム銅等の導電性ばね材にすることができ
る。

【０００６】第２工程は、層を外側から始めて内向きに
成形するものである。成形方法は、化学またはプラズマ
エッチングである。第１層からばね部品が形成される。
第３層から少なくとも１つのトレースが形成され、トレ
ースにはヘッドアセンブリに電気接続できる形状の少な
くとも１つの細長い導体が含まれている。第２層から
は、第１及び第３層の部品間の接触領域となる形状のパ
ネルが成形されている。ヘッドサスペンションアセンブ
リ（ＨＳＡ）の製造を完了するため、積層構造体のトレ
ースがヘッドアセンブリに電気接続され、積層構造体が
ＨＳＡの他の部品に取り付けられる。

【０００７】積層構造体の実施例として、相互接続部ア
センブリ、相互接続部／サスペンションアセンブリ、及
びジンバル／相互接続部アセンブリがある。相互接続部
アセンブリは負荷ビームに取り付けられ、少なくとも１
つの導電性トレースを設けている。第２層が電気絶縁体
になり、第３層には支持及び補強プレートを設けること
ができる。

【０００８】相互接続部／サスペンションアセンブリに
は、相互接続部アセンブリと、ジンバルと剛性領域及び
ばね領域を備えた負荷ビームとを設けたサスペンション
アセンブリとが含まれる。ジンバルは、第１層か、第３
層、またはその両方から形成できる。負荷ビームのばね
領域も、一方または両方の層から形成できる。

【０００９】相互接続部／サスペンションアセンブリの
１実施例は、ステンレス鋼からなる第１層と、ポリイミ
ドからなる薄い第２層と、ベリリウム銅からなる第３層
とを設けている。第１層は、剛性領域を含む平板状の負
荷ビームプレートを設けている。第３層は、ヘッドアセ
ンブリに電気接続するための少なくとも１つのトレース
を設けており、各トレースは、先端部分にジンバル領域
を、基端部分に負荷ビーム領域を備えている。ジンバル
領域は、ジンバルばねアームとして成形されている。第
２層は少なくとも１つのパネルを設けており、パネル
は、第１層及び第３層の重合部分間に配置されている。

【００１０】

【作用】ハードディスク駆動装置内でヘッドサスペンシ
ョンアセンブリに取り付けられる本発明の積層構造体
は、ばね金属層と、導電層と、中間の絶縁／接着層とを
有して、ハードディスク駆動装置内でヘッドサスペンシ
ョンアセンブリに取り付けられる。導電層は、相互接続
部アセンブリとして、ジンバルとして、さらに、ばね領
域として機能する。

【００１１】積層構造体の製造方法では、相互接続部ア
センブリの製造を負荷ビームまたはジンバル等のばね構
造体の製造に組み込むことにより、積層構造体は、他の
層をエッチングマスクとして使用しながら層を外側から
内側へエッチングすることによって製造される。第２層
による製造中における支持によって、金属層のいずれか
一方または両方を不連続にすることができる独特の配置
が可能となる。第２層はまた、複数のパネルに成形され
ることによって、金属層を自由にしてばね部品として機
能できる。

【００１２】

【実施例】本発明の実施例を説明する。図１は、本発明
に従って形成された、長手方向軸線18に整合させたＨＳ
Ａ12を示している。ＨＳＡ12は、相互接続部／サスペン
ションアセンブリ14と、相互接続部／サスペンションア
センブリ14の先端部に取り付けられたヘッドアセンブリ
20とを備えている。相互接続部／サスペンションアセン
ブリ14は、負荷ビーム32（図４にわかりやすく示されて
いる）と、相互接続部アセンブリ15と、ジンバル40とを
有している。

【００１３】負荷ビーム32は、基端部33と、先端部34
と、基端部33のベース領域35と、先端部34の剛性領域37
と、ベース領域35及び剛性領域37間のばね領域36とを有
する。ばね領域36には、ばね領域36の剛直性を調節する
ために用いられるばね開口38が形成されている。

【００１４】相互接続部アセンブリ15は、負荷ビーム32
の全長に渡って延在している４つのトレース71と、図６
に示されている絶縁パネル92，93と、図21〜図23に示さ
れているコネクタ手段（他の実施例では従来形のコネク
タ手段を設けることができる）とを有している。

【００１５】トレース71は、事前にパターンが形成され
た、細長く弾性的な導体であり、ヘッドアセンブリ20を
増幅及び制御電子機器（図示せず）に接続する。トレー
ス71は、基端部73と、先端部74と、基端部73に隣接した
負荷ビーム領域72と、先端部74に隣接したジンバル領域
80とを有している。トレース71の幅及び厚さは、剛直性
や電気抵抗を変化させるために様々な領域で変えること
ができる。

【００１６】トレース71の負荷ビーム領域72には、基部
ベース領域75と、中間ばね領域76と、先端剛性領域77と
が設けられている。本実施例では、トレース71のジンバ
ル領域80がジンバル40の部材として形成されている。Be
Cu（ベリリウム銅）の優れた機械的及び電気的特性によ
って、第３層70は相互接続部アセンブリとして機能する
だけでなく、ばね部材としても機能することができる。
本発明の相互接続部アセンブリ15は、相互接続部アセン
ブリ及びジンバルの両方として機能し、従ってジンバル
／相互接続部アセンブリという。

【００１７】本実施例では、トレース71の剛性領域77
が、相互接続部／サスペンションアセンブリ14の共振応
答を変更するために相互接続部／サスペンションアセン
ブリ14の剛性領域37に剛性を付加する補強レールとして
も機能している。トレース71の剛性領域77の厚さ及び／
または幅を増大させることによって、それらの強度を高
くすることができる。図１では、トレース71がＨＳＡ12
の基端部33からわずかに延出しているだけである。トレ
ース71は、アクチュエータアーム（図示せず）上または
ディスク駆動装置（図示せず）のフレーム上に設けられ
ている増幅回路及び処理回路まで延在させて戻すことが
できる。

【００１８】図２は、ジンバル40の詳細拡大図である。
ジンバル40は、ヘッドアセンブリ20をジンバル支持す
る、すなわちアクチュエータの移動中に負荷ビーム32が
受ける移動及びねじれに無関係に、ヘッドアセンブリ20
を回転ディスクに対して正確な取り付け向きで等距離に
維持する。ジンバル40には、プラットフォーム44を負荷
ビーム32の開口41上に懸架する長手方向ばねアーム42が
設けられている。プラットフォーム44には、横ばねアー
ム43によって懸架された２つの接着パッド46を取り囲む
フレーム45が設けられている。

【００１９】ヘッドアセンブリ20は、空気軸受スライダ
21と、スライダ21に取り付けられた読取り／書込み用ト
ランスジューサ22と、トランスジューサ22に電気接続す
る、図21にわかりやすく示されている電気端子23とを有
している。スライダ21は、導電性エポキシによってトレ
ース71のジンバル領域80の接着パッド86に取り付けられ
ている。

【００２０】本発明による積層構造体を製造する第１工
程は、図３に示されているような多層合わせシート10を
提供することである。シート10は、第１層50、中間の第
２層90及び第３層70の３層を備えている。層を多くした
シートから図示されていない他の積層構造体を製造する
こともできる。

【００２１】第１層50は、約63.5マイクロメートル厚さ
で、他の実施例では一般的に20〜90マイクロメートルで
ある。図面では、第１層50の部品には50〜69の参照番号
が付けられている。第１層50は、降伏強さが1.14ギガパ
スカル、引っ張り強さが1.31ギガパスカルのステンレス
鋼の金属ばね材からなるシートである。他のばね材を用
いることもできる。ばね材とは、ＨＳＡの使用中に加え
られる最大負荷を受けても塑性変形（降伏）しないもの
である。

【００２２】第２層90は、エポキシ、接着剤、及び誘電
体または絶縁材からなる薄い25マイクロメートル厚さの
シートである。第２層90は、第１層50と第３層70とを結
合すると共に絶縁する。第２層90は、第１層50及び第３
層70と比較して積層構造体全体に与えるばね特性が最小
である。第２層90は、他の実施例では一般的に５〜60マ
イクロメートルにすることができる。

【００２３】図７〜図９に示されている他の実施例は、
熱可塑性ポリイミドを用いている。第２層90の理想的な
素材は、良好な電気特性を備えている、すなわち誘電率
が低く、誘電抵抗が高く、絶縁耐力が高い。変位すなわ
ち位置ずれ（層同士の横位置ずれ）を防止し、時間及び
温度サイクルでの機械的安定性を確保するため、第２層
90は、弾性係数が高く、温度係数が第１層50及び第３層
70とほぼ一致することが最適である。さらに別の実施例
では、第２層90が接着剤として機能しないで、別の接着
層を追加して第１層50及び第３層70に取り付ける。第２
層90の部品には90〜99の参照番号が付けられている。

【００２４】第３層70は、厚さが約25マイクロメートル
であり、他の実施例では一般的に厚さを10〜90マイクロ
メートルにすることができる。第３層70の部品には70〜
89の参照番号が付けられている。本実施例の第３層70
は、降伏強さが約1.24ギガパスカル、引っ張り強さが約
1.31ギガパスカルの導電性金属ばね材であるベリリウム
銅UNSC17200 （BeCu）のシートである。他の実施例で
は、他の導電性ばね材が用いられる。さらに別の実施例
は、第３層70をばね層として用いないで、非ばね導電材
を用いている。

【００２５】積層構造体を製造する第２工程では、２つ
の外側の金属層、すなわち第１層50及び第３層70を成
形、パターン化して、所望の積層構造体用の部品を形成
する。成形は、化学エッチングまたは他の放電加工（Ｅ
ＤＭ）等の公知の方法によって行うことができる。第１
層50及び第３層70は共に、塩化第二鉄等の共通のエッチ
液を用いて様々な連続または不連続パターンに化学エッ
チングすることができる。

【００２６】第１層50または第３層70のいずれかを先に
エッチングすることもできる。第１層50及び第３層70を
同時にエッチングしてもよい。積層構造体にすることに
よって、通常処理できるものより薄い素材を用いて製造
することができる。第２層90が、エッチング工程全体を
通して金属層50及び70を支持して、脆弱及び／または不
連続構造を伴う部品の製造をより向上させることができ
る。

【００２７】図４は、シート10の第１層50をエッチング
して図１のＨＳＡ12用の部品を形成する工程の結果を示
している。エッチング処理によって、第２層90の、第１
層50の部品が重なっていない部分91Ａが露出している。
レリーフエッチングをわかりやすく図示するため、層50
の厚さが大幅に誇張されている。多工程エッチングを備
えたエッチング処理での一工程両面露出は、上部及び下
部の機構を正確に整合させる。第１層50及び第３層90を
部分的にエッチングするためには、多工程露出を用いる
こともできる。

【００２８】図５は、第３層70をエッチングして図１の
ＨＳＡ12の相互接続部アセンブリの部品を形成する工程
の結果を示している。第３層70のエッチングによって、
やはり第２層90の、第３層の部品が重なっていない部分
91Ｂが露出している。レリーフエッチングを強調するた
め、４つのトレース71の厚さが誇張されている。トレー
ス71は、互いに電気的に絶縁している。トレース71間の
分離は、エッチング処理によって制御されて、第２層90
によって維持される。

【００２９】第２層90は、金属層50及び70の化学エッチ
ング中にハードストップとして機能する。第２層90の介
在によって、各金属層50及び70を異なった配置にするこ
とができる。積層シート10のステンレス鋼の第１層50に
マスキングを行う工程を省くため、BeCuの第３層70を塩
化第二銅でエッチングすることができる。

【００３０】積層構造体を製造する第３工程では、第２
層90がプラズマエッチングされる。第２層90は、化学エ
ッチングまたはレーザカット等の他の公知の方法を用い
て成形することもできる。第２層90のエッチング中、第
１層50及び第３層70が金属エッチングマスクとして機能
することができる。

【００３１】図６は、第２層90がエッチングで複数のパ
ネル92及び93になったところを示している。パネル92及
び93をエッチングすることによって、第１層50及び第３
層70の部品がＨＳＡ12の主ばね部品として機能できるよ
うになる。第１層50及び／または第３層70のばね部品を
自由にし、剛性及び質量を減少させるため、第２層90の
すべての露出部分91、すなわち第１層50及び第３層70の
両方には重なっていない、従って絶縁または接着に使用
されないすべての部分がエッチングで除去される。

【００３２】露出部分91は余分な素材である。しかし、
製造者は、露出部分91をエッチングで除去して余分な素
材を取り除く時としてＨＳＡ12の製造処理に沿った様々
な時を選択することができる。余分な素材は、第２層90
がハンドリング破損を防止するためのバッキング支持体
として機能するのを助ける。エッチングされた第１層5
0、第２層90及び第３層70が集まって、相互接続部／サ
スペンションアセンブリ14を形成している。

【００３３】第４製造工程で、第１層50及び第３層70の
所定部分をめっきすることができる。端子接点を改良す
るため、ニッケル、金、銀、錫等のめっきを第３層70の
コネクタ位置に、例えば基端部73及び先端部74に行うこ
とができる。第２層90は、電気めっき処理中に絶縁体と
しても機能する。めっきまたは他のパッシベーションを
用いて、第３層70全体を腐食から保護することもでき
る。

【００３４】ＨＳＡ12を製造する第５の最終工程では、
相互接続部／サスペンションアセンブリ14が他のすべて
の部品に取り付けられる。図６は、ヘッドアセンブリ20
及び支持ベースプレート95を含むヘッドサスペンション
アセンブリ（ＨＳＡ）12の分解図を示している。エッチ
ングされた層50、70及び90が、相互接続部／サスペンシ
ョンアセンブリ14を形成している。分解図は説明のため
のものにすぎない。積層構造体は直接的に積層シート10
からエッチングされるため、エッチングされた各層50、
70及び90は製造中または作業中に分離しない。同じ層の
すべての部品は、最初のエッチング時には同一平面上に
あるが、成形作業を後続工程に含むこともできる。

【００３５】第１層50及び第３層70だけが、ばね構造部
品を含んでいる。第１層50には、負荷ビームプレート52
とジンバルプラットフォーム64とが設けられている。負
荷ビームプレート52は、長手方向軸線18に沿って整合し
た楔形ばね部品であり、基端部53と、先端部54と、基端
部53に隣接したベース領域55と、ベース領域55に連続し
たばね領域56と、ばね領域56に連続した剛性領域57と、
先端部54に隣接したジンバル領域60とを備えている。剛
性領域57には、工具整合穴58が設けられている。ジンバ
ル領域60には中央開口61が設けられている。ジンバルプ
ラットフォーム64は開口61の中央に設置されている。

【００３６】第３層70には４つのトレース71が設けられ
ている。ばね領域76及び剛性領域77は、下側にある第１
層50の負荷ビームプレート52の対応のばね領域56及び剛
性領域57の輪郭に一致している。第３層70の各トレース
71のジンバル領域80は、ジンバル40の一部分になる形状
になっており、長手方向ばねアーム領域82と、横ばねア
ーム領域83とを備え、横ばねアーム領域83は幅が広がっ
て水平方向の接着パッド86を形成している。

【００３７】ばねアーム領域82及び83と接着パッド86と
によって、第１層50のプラットフォーム64に部分的に一
致するプラットフォーム85が形成されている。他の実施
例（図示せず）では、第３層70を相互接続部アセンブリ
として成形するだけで、ジンバル機能を実施しないよう
にすることもできる。

【００３８】第２層90には、小さいジンバルパネル92
と、トレース絶縁パネル93とが設けられている。ジンバ
ルパネル92は、第１層50のプラットフォーム64に対して
トレース71のジンバル領域80を絶縁、分離及び結合す
る。トレースパネル93は、トレース71の下側に延在し
て、トレース71を負荷ビームプレート52から絶縁する。
製造中は支持部品であるが、第２層90はＨＳＡ12の作動
中にはばねまたはヒンジ部品として作動しない。

【００３９】金属ばね部品を用いることによって、プラ
スチックばね部品を用いた積層構造体で生じる寸法安定
性の問題が最小限に抑えられる。パネル92及び93は、絶
縁体として、接着剤として、また振動及び整定時間（Ｈ
ＳＡ12が急速位置決め移動の後に整定するために必要な
時間）を減少させるダンパとして機能する。減衰特性を
増加させるため、サービスパネルを追加することもでき
る。

【００４０】図７及び図８は、図１のＨＳＡ12の部品と
同様な部品を備えたＨＳＡ112 を示している。すべての
実施例の部品は、下二桁をＨＳＡ12の同様な部品に対し
て用いた番号と同じにして識別されている。追加された
最初の番号は、図示のＨＳＡ実施例を表している。ＨＳ
Ａ112 は、ジンバル140 と、側部レール139 を備えた負
荷ビーム132 とを有する相互接続部／サスペンションア
センブリ114 を含んでいる。相互接続部／サスペンショ
ンアセンブリ114 は、第１層150 と、第２層190 と、第
３層170 とを有する。

【００４１】本実施例では、第１層150 から負荷ビーム
プレート152 を製造することによって側部レール139 が
形成されている。負荷ビームプレート152 は、第３層17
0 及び第２層190 からなるプレートで補強したり、それ
に代えることもできる。負荷ビームプレート152 には、
ジンバル領域160 と剛性領域157 とが設けられている。
負荷ビームプレート152 は、第１層150 の負荷ビームプ
レート152 の剛性領域の長手方向縁部に沿って突出した
小さいウィングを備えている。ウィングは、負荷ビーム
プレート152 の表面に対してほぼ直角に曲げられて、側
部レール139 を形成している。

【００４２】トレース171 は第３層170 からエッチング
で形成される。トレース171 は剛性領域177 を有してお
り、これは負荷ビームプレート152 の剛性領域157 の補
強もする。

【００４３】図９は、ＨＳＡ112 のジンバル140 の拡大
分解詳細図である。本実施例では、第１層150 及び第３
層170 が相互補完関係にあり、互いに支持し合ってジン
バル140 を形成している。別の実施例では、第３層170
（図１の実施例）または第１層150 （図示されていない
実施例）を主ジンバルばね部品にすることができる。図
面には少数のジンバル実施例を示しているだけである
が、第１層150 及び第３層170 はエッチングで公知のほ
とんどすべてのジンバル構造を形成することができる。

【００４４】本実施例では、第１層150 の負荷ビームプ
レート152 は、負荷ビームプレート152 のジンバル領域
160 の開口161 の中央にジンバルプラットフォーム164
を懸架する長手方向アーム162 を設けている。プラット
フォーム164 には、横ばねアーム163 によってフレーム
165 の内側に取り付けられた２つの機械的接着パッド16
6 が設けられている。

【００４５】第１層150 の長手方向ばねアーム162 及び
横ばねアーム163 は、第３層170 の二股に開いた長手方
向ばねアーム162 及び横ばねアーム163 と補完関係にあ
る。第１層のアーム162 ，163 と第３層のアーム182 ，
183 は重合しないため、薄く非常に応答性が高い単層厚
さのばね部品を形成できる。第３層170 のトレース171
は、第１層150 の終端は、第１層150 の接着パッド166
の上方に位置してその外形に一致した接着パッド186 に
なっている。第２層190 のパネル192 ，193 が、第１層
150 の部品及び第３層170 の部品の絶縁、分離及び接着
を行う。

【００４６】図10及び図11は、第１層250 が、剛性領域
257 の端部で切り取られた負荷ビームプレート252 と、
別体の「Ｔ」字形ジンバル舌片264 とを設けている。舌
片264 はヘッドアセンブリ220 を取り付けるベースジン
バルプラットフォームとして機能する。第２層290 に
は、第１層250 の部品及び第３層270 の部品の分離、結
合及び絶縁を行うトレースパッド293 及びジンバルパッ
ド292 が設けられている。第３層270 には、トレース27
1 と、第２層パネル292 を介して第１層250 の舌片264
の基端部分に一致して取り付けられる単一の広い水平接
着パッド286 とが設けられている。

【００４７】舌片264 は、トレース271 のジンバル部分
280 のばねアーム282 によって支持されている。ジンバ
ル部分280 は、ヘッドアセンブリ220 が自在に移動でき
るようにスライダのオフセット、すなわち垂直方向の分
離を可能にする公知の方法に従って成形または圧延され
る。ばねアーム282 は、先端を断ち切った切形の負荷ビ
ーム252 の先端部より延出して、接着パッド286 の両側
部に沿って走っている。接着パッド286 の先端部で、ア
ーム282 は180 度旋回して、接着パッド286 付近で終わ
っている。ヘッドアセンブリ220 は、接着パッド286 に
取り付けられて、トレース271 に電気接続されている。

【００４８】図11は、図10のＨＳＡ212 の分解図を示
す。Ｔ字形舌片264 及び接着パッド286 がわかりやすく
示されている。支持ベースプレート295 が負荷ビームプ
レート252 のベース領域255 に取り付けられている。新
しい部品である負荷ボタンカバー296 が負荷ビームプレ
ート252 の剛性領域257 に取り付けられている。負荷ボ
タンカバー296 は、回動ジンバル負荷ボタン297 及び整
合孔298 を設けた三角形のステンレス鋼プレートであ
る。カバー296 は、負荷ビームプレート252 の下表面に
取り付けられる。整合孔298 は負荷ビームプレートの孔
258 に整合する。負荷ボタン297 は突起ディンプルであ
る。

【００４９】図12は、負荷ビーム332 と、負荷ビーム33
2 に取り付けられた新しい積層構造体であるジンバル／
相互接続部アセンブリ316 とを設けたＨＳＡ312 を示し
ている。ジンバル／相互接続部アセンブリ316 だけが積
層構造体である。

【００５０】ジンバル／相互接続部アセンブリ316 の各
積層が図13の分解図にわかりやすく示されている。ジン
バル／相互接続部アセンブリ316 には、第１ステンレス
鋼層350 と、第２中間絶縁層390 と、第３BeCu層370 と
が設けられている。

【００５１】第１層350 は、第２層390 の一方側部に取
り付けられており、負荷ビームプレート352 と、固定舌
片プレート364 と、固定舌片プレート364 に隣接した複
数の支持アイランド351 とを有している。支持アイラン
ド351 は、特にオフセット成形中にトレース371 の、他
には支持されていない部分を支持してそれに横方向剛性
を与える小さい、一般的に矩形のステンレス鋼製プレー
トである。

【００５２】オフセット成形中、トレース371 のばねア
ーム382 に傾斜領域384 が形成される。第１層350 及び
第２層390 が傾斜領域384 に沿って取り除かれる。傾斜
領域384 は、負荷ビーム332 の表面から離れる方向に傾
斜しており、その結果、ヘッドアセンブリ320 の移動中
にトレース371 のばねアーム382 の長手方向側部分との
隙間が大きくなる。アイランド351 は、傾斜領域384 の
端部に配置されて、オフセット成形中の押し抜き成形処
理用の平板状の支持表面となる。押し抜き成形処理中
に、トレース371 が押し抜きプレス機で曲げられる。押
し抜き成形処理はトレース371 の傾斜領域384 の隅部分
（特に内側隅部分）をステンレス鋼アイランド351 上で
曲げるため、アイランド351 は互いに電気絶縁して、短
絡が防止される。

【００５３】第３層370 は、第２層390 の他方側に取り
付けられており、固定接着パッド386 と、ジンバル／相
互接続部アセンブリ316 の外側に延在した二対のほぼ平
行なトレース371 とを有している。接着パッド386 は、
エッチングで全厚に形成され、従ってオフセット成形で
得られた***傾斜384 に一致した***表面が残る。トレ
ース371 には、基端部373 と、先端部374 と、ジンバル
領域380 とが設けられている。ジンバル領域380 は、ジ
ンバルばねアーム382 として成形された部分を設けてい
る。

【００５４】トレース371 は、第１層350 の負荷ビーム
プレート352 と、固定舌片プレート364 と、アイランド
351 との間のリンクとして機能している。ばねアーム38
2 は、まず第１層350 の負荷ビームプレート352 から長
手方向に、固定舌片364 の横に並んで延在している。次
に、アーム382 は２つの隣接した内側「Ｕ」字形ループ
を描いて、トレース371 の先端部374 をヘッドアセンブ
リ320 電気端子323 に隣接して配置できるようにしてい
る。

【００５５】第２層390 は、第１層350 及び第３層370
間の重合部分すべてを分離させるが接着する複数の中間
絶縁パネル392 及び393 を有している。

【００５６】ジンバル／相互接続部アセンブリ316 を含
むＨＳＡ312 の製造方法は、本発明の他の積層構造体の
ものと同様である。図３のもののような３層積層プレー
トが提供される。第１に、金属層350 及び370 を所望の
形状にエッチングして、第２層390 の一部分を露出させ
る。このジンバル相互接続部316 のような多部品構造に
おいて、第２層390 はエッチング止めとして機能するだ
けでなく、分離した部品すべてを製造中に合体保持する
こともできる。

【００５７】第２に、第２層390 をエッチングする。第
２層390 の露出部分を取り除くことによって、ジンバル
340 が自在にたわむことができるようになり、またジン
バル／相互接続部アセンブリ316 の質量及び剛性が減少
する。金属層350 及び370 は、それらの優れた機械的特
性によって、主なばね部品として機能する。

【００５８】第３に、溶接点または他の公知の方法を用
いて完成ジンバル／相互接続部アセンブリ316 を負荷ビ
ーム332 に取り付ける。負荷ビーム332 は、舌片プレー
ト364 及び接着パッド386 に整合する先端部付近に負荷
ボタン397 を設けている。第４に、導電性エポキシまた
は他の公知の方法を用いてヘッドアセンブリ320 とジン
バル／相互接続部アセンブリ316 とを機械的に接続し、
また図21〜図23に示されているようなコネクタ手段を用
いて電気的に接続する。従来形リード線または他の導電
性トレース（図示せず）によってトレース371 を増幅及
び制御電子機器（図示せず）に接続することができる。
工程３及び４の順序は逆にしてもよい。

【００５９】図14及び図15に示されているＨＳＡ412
は、図12のＨＳＡ312 によく似ている。主な違いは、ジ
ンバル／相互接続部アセンブリ416 では負荷ビーム432
の全長に沿って、さらに負荷ビーム432 の基端部433 よ
り先までトレース471 が延在していることである。第３
層470 には４つのトレース471 が設けられ、それらが２
つの独立対に分割されている。

【００６０】トレース471 には、基端部473 と、先端部
474 と、負荷ビーム領域472 と、ばね領域476 と、剛性
領域477 と、ジンバル領域480 とが設けられている。ス
テンレス鋼層450 が支持構造体として機能しており、負
荷ビームパネル452 と、ベースパネル455 と、２つのば
ね領域アイランド456 と、舌片パネル464 と、８個のジ
ンバルアームアイランド460 とを有している。

【００６１】剛性を低くするため、ステンレス鋼層450
は、ジンバルばねアーム482 の経路の大部分に沿って、
また負荷ビーム432 のばね領域436 の大部分の上方で取
り除かれる。ステンレス鋼アイランド456 ，460 が、オ
フセット成形中に開放ギャップを横切っているトレース
471 を支持する。ジンバルアームアイランド460 は、オ
フセットが形成される間、ばねアーム482 を平板状に保
持するために用いられる締め付け位置となる。アイラン
ド460 ，456 はまた、良好なサスペンション構造に必要
な性能特性である横方向剛性を補助する。

【００６２】図16は、ジンバル／相互接続部アセンブリ
516 を負荷ビーム532 の剛性領域537 に取り付けたＨＳ
Ａ512 の第６実施例の先端部分を示している。ジンバル
／相互接続部アセンブリ516 は、負荷ビーム532 に対す
る層の順序を図12及び図13の実施例に対して逆にした積
層構造体である。第１層550 には、負荷ビームの補強補
強プレート552 と、舌片プレート564 と、ジンバルアイ
ランド560 とが設けられている。第２層590 には、複数
の絶縁パネル592 が設けられている。第３層570 には、
ばねアームとして作用する４つのトレース571 と２つの
接着パッド586とが設けられている。トレース571 の先
端部分は負荷ビーム532 の先端部より延出している。第
２層のパネル592 が第３層部品を第１層550 の舌片プレ
ート564に取り付けている。負荷ビームプレート552
は、溶接または他の公知の方法で負荷ビーム532 に取り
付けられている。導体が、負荷ビームのばね領域の可撓
性に影響を与えることができる。重合層を製造すること
によってばね領域の厚さを増加させると、三乗に比例す
る剛性が生じることになる。図17は、ヘッドアセンブリ
620 、ジンバル／相互接続部アセンブリ616 及び負荷ビ
ーム632 を含むＨＳＡ612 を示している。負荷ビーム63
2は、ベース領域635 と、ばね領域636 と、剛性領域637
と、ジンバル領域640 とを備えている。ばね領域636
には、ヘッドアセンブリ620 の必要負荷特性に応じてば
ね領域636 のばねの剛性を調節するために使用されるば
ね開口638 が設けられている。ジンバル／相互接続部ア
センブリにはトレース671 が設けられている。トレース
671 にはばね領域676 と、剛性領域677 と、ジンバル領
域680 とが設けられている。

【００６３】ＨＳＡ612 の構造は、トレース671 の弾性
を利用して、ばね開口638 を横切るようにトレース671
のばね領域676 を延在させることによって、負荷ビーム
632ばね領域636 上に３層の厚さが形成されないように
している。ばね領域676 の下側からすべてのステンレス
鋼材及びすべての絶縁材が取り除かれている。トレース
671 が負荷ビームプレートのばね領域に重ならないの
で、ばね領域636 は単層のみの厚さになる。ばね領域63
6 の剛性はその厚さの三乗に正比例するので、単層のば
ね領域636 は、３層または２層のばね領域よりも剛性が
数倍低くなる。

【００６４】図18は、単層にする着想の変更例を示して
おり、トレース771 のばね領域776、負荷ビーム732 の
ばね領域736 の横に並んで長手方向軸線18に平行な経路
で延在している。図17の実施例及び図18の本実施例の両
方において、トレース671 ，771 のばね領域676 ，776
を長手方向軸線18に対して角度を付けて設けることによ
って、剛直化ベクトルをさらに減少させ、ばね領域676
，776 の長さを増加することができる。

【００６５】相互接続部アセンブリはジンバルとして機
能するだけでなく（ジンバルにおいて導体によって追加
される剛性の影響をなくす）、負荷ビームのばね領域の
代わりになることもできる（それによってばね領域にお
いて導体によって付加される剛性の影響をなくす）。図
19は、ばね領域836 にすべてのばね素材が提供できるよ
うにばね領域876 を広げるトレース871 を設けたＨＳＡ
812 の第９実施例を示している。ステンレス鋼のすべて
及び絶縁材のすべてがばね領域836 から取り除かれてい
る。第１層850 は、負荷ビームプレート852 及びベース
プレート855 の２つの分離したプレートを有している。

【００６６】図20に示されているＨＳＡ912 のように非
常に薄い素材を用いる幾つかのＨＳＡの実施例では、金
属降伏を避けるため、ばね領域全体の強度を増加させる
ことが望まれる。ＨＳＡ912 にはばね領域補強プレート
981 が設けられている。補強プレート981 は、第２層の
接着剤によって負荷ビームプレート952 に取り付けられ
た第３層の素材である。補強プレート981 はベース領域
935 からばね領域936の側部を通って剛性領域937 の一
部まで延在している。別の実施例（図示せず）では、負
荷ビームプレート952 のいずれの領域の剛性も、対応の
形状寸法の補強パッドを追加することによって調節する
ことができる。

【００６７】図21は、図14のヘッドアセンブリ420 の電
気端子423 とジンバル／相互接続部アセンブリ416 のト
レース471 との間を接続するコネクタ手段の１つの実施
例の拡大詳細図である。ヘッドアセンブリ420 をジンバ
ル／相互接続部アセンブリ416 に取り付ける前に、細い
ワイヤからなる接続ループ448 が最初に各電気端子423
に接着される。

【００６８】２つの接着点が同一平面上にあるので、ワ
イヤの接着は従来の超音波接着装置によって行うことが
できる。ヘッドアセンブリ420 をジンバル／相互接続部
アセンブリ416 に取り付けた後、接続ループ448 を押し
下げて、ワイヤ接着、はんだ付け、または導電性接着剤
による取り付け等の公知の方法を用いて対応のトレース
471 に電気接続する。オプションとして、接続ループ48
をねじってトレース471 上に水平に載置することによっ
て、接触表面を広くすることもできる。接続ループ448
の利点は、可撓性、ヘッド端子に対する重複する２点
（424 及び425 ）接続、及び製造しやすさである。

【００６９】図22は、トレース471 をヘッド420 の電気
端子423 に接続する別の方法を示している。「Ｌ」字形
接点449 を、側部取り付け形電気端子423 からスライダ
421上部まで延在させる。次に、トレース471 を直接的
に接点449 上に接着する。上部取り付け形電気端子（図
示せず）を備えたヘッドアセンブリを用いる時、トレー
ス471 を電気的及び機械的にスライダ421 の上部に接続
することもできる。

【００７０】図23は、トレース471 をヘッド420 の電気
端子423 に接続するさらに別の方法を示している。導電
性エポキシの液滴429 が、トレース471 と電気端子423
との間を弾性的に電気接着している。液滴429 は粘性状
態で塗布されて、硬化サイクル後に固化する。

【００７１】図24及び図25は、図10のヘッドアセンブリ
220 から静電気のブリードオフを行う別の方法を示して
いる。ＨＳＡは一般的に電気接地としてサスペンション
アセンブリを用いている。しかし、ジンバル／相互接続
部アセンブリ216 及び懸架されたヘッドアセンブリ220
はサスペンションアセンブリ214 から電気絶縁されてい
るので、ヘッドアセンブリ220 に静電荷が蓄積し、それ
がトランスジューサを通ってディスク表面またはトレー
ス271 に放電されると、データに影響を与えたり、ヘッ
ドアセンブリ220 を破損させる。

【００７２】図24では、接着パッド286 及び中間絶縁パ
ネル292 に接触キャビティ30がエッチングで形成されて
いる。接触キャビティ30によって、スライダ221 の上部
を導電性エポキシ227 の液滴によってステンレス鋼層25
0 の舌片プレート264 に接続できる。他の実施例（図示
せず）では、液滴227 を他の導電性手段、例えば小さい
導体、はんだまたは他の公知の手段に代えることができ
る。負荷ボタン297 が舌片プレート264 に接触して、ス
ライダ221 を負荷ビームプレート252 に接地する。エポ
キシ層226 がスライダ21を接着パッド286 に接着してい
る。

【００７３】図25では、舌片プレート264 及び下側の対
応の絶縁／接着パネル292 に接触キャビティ31がエッチ
ングで形成されて、負荷ボタン297 と接着パッド286
（トレース271 から電気絶縁されている）の表面との間
の接触ができるようになる。導電性エポキシ228 の層
が、接着パッド286 をスライダ221 の上部に接続してい
る。他の実施例（図示せず）では、一端部をスライダ22
1 に接続し、他端部を適当な接地物、例えば負荷ビーム
232 、アクチュエータアーム、またはディスク駆動装置
のフレームに接続した追加トレースを用いてスライダ22
1 を接地している。

【００７４】本発明の構造には作動中及び製造中の両方
において利点がある。第１に、BeCuのトレースは非常に
有益である。BeCuを用いることによって、本発明の積層
構造体は、従来のワイヤ相互接続部及びサスペンション
アセンブリの組み合わせ体よりも優れた機械的特性を備
えている。ジンバルまたはばねとして相互接続部を利用
することによって、繊細なジンバルまたはばね領域の剛
性を大幅に減少させることができる。高張力で高降伏強
度のBeCuは、負荷ビームを形成するのに用いられている
ステンレス鋼の強度及び熱膨張係数にほぼ一致してい
る。負荷状態でステンレス鋼のばね特性にほぼ一致する
高強度ばね材によって、静止姿勢においてジンバルアセ
ンブリに不都合な位置ずれを生じる可能性が減少する。
低強度で非ばね材であれば、悪いハンドリング及び組み
付け作業中に容易に降伏して、サスペンションアセンブ
リに未知応力を与え、それは必ずジンバルたわみ部分の
公称静止姿勢で位置ずれを生じる。

【００７５】第３層の弾性によって、いずれの構造でも
相互接続部アセンブリの事前成形が可能になる。ワイヤ
のハンドリング及びワイヤのサービスループをなくすこ
とができ、負荷またはバイヤスのない一貫した導体経路
を常に得ることができる。

【００７６】第２に、積層ジンバル／相互接続部アセン
ブリには、二股状ばねアームを小さいステンレス鋼アイ
ランドによって支持するという新規な「アイランド着
想」が含まれている。アイランドは、横方向剛性を大幅
に増加させ、一方、ジンバルのピッチ及びロール剛性を
比較的低く保つ。アイランドはまた、オフセット成形中
の押し抜き成形処理のための支持構造体として機能す
る。

【００７７】第３に、積層構造体を用いることによっ
て、通常処理できるものより薄く繊細な素材の処理がで
きるようになる。第２層が、エッチング処理中に金属層
を支持するため、脆弱な配置でも歩留まりを高くするこ
とができる。また、積層構造体によって、「圧延され
た」素材を部分的にエッチングする代わりに、層を所望
厚さまで積み重ねることができる。サスペンションアセ
ンブリはばね領域またはジンバル領域で単層にすること
によって、剛性を低くし、隙間を与えることができる。
複合素材と部分エッチング処理とを組み合わせることに
よって、様々な素材厚さが可能になる。縦断面が低いこ
とは、新しい「小型」ディスク駆動装置ではディスク間
の空間が小さくなって、理想的である。

【００７８】第４に、積層構造体は、中間の第２層によ
る独特の製造利点を備えている。第２層は、金属層の化
学エッチングに対する組み込み式エッチングストップと
なる。介在した第２層によって、各金属層を別々の配置
にすることができる（第２層は、金属エッチ液に対する
ハードストップとなる）。第２層の製造時支持によっ
て、金属層のいずれか一方または両方を不連続状にし、
分離して連結していない個別プレートで構成できる独特
の形状が可能になる。第２層は、めっき処理中の絶縁体
としても機能する。第２層の一部をめっき前にプラズマ
エッチングで取り除く場合、いずれの金属層も選択的に
めっきすることもできる。

【００７９】第５に、第２層は製造時に支持部品として
用いられているが、作動中はうまく適合した第１及び第
３層だけがばね部品として機能する。第２層をエッチン
グで取り除くことによって、金属ばね構造体が自由にな
り、また他の積層構造体に見られる寸法安定性や不必要
な質量及び剛性の問題をなくすことができる。

【００８０】第６に、積層ジンバル／相互接続部アセン
ブリは、従来技術よりも優れた電気特性を備えている。
トレースの幅及び厚さを変えることによって、その経路
に沿った導体の抵抗またはキャパシタンスを変更するこ
とができる。緩んだワイヤによって生じるインピーダン
スのばらつきがない。トレースは、高周波作動における
電気信号性能を向上させることができる。

【００８１】本発明は、以上に説明した詳細によって制
限されることはなく、発明の精神から逸脱しない範囲内
において様々な変更を加えることができる。

【００８２】

【発明の効果】ハードディスク駆動装置内でヘッドサス
ペンションアセンブリに取り付けられる本発明の積層構
造体は、ばね金属層と、導電層と、中間の絶縁／接着層
とを備えており、導電層が、相互接続部アセンブリとし
て、ジンバルとして、さらに、ばね領域として機能させ
ることができる。そして、この積層構造体は、相互接続
部アセンブリの製造とサスペンションアセンブリの製造
とを一体化することによって、導体の手動ハンドリング
をなくすものであり、製造工程におけるハンドリングに
よる破損を最小限に抑えることができるとともに、破損
部品を少なくして、製品の歩留まりを向上させることが
できる。

【００８３】また、本発明によれば、サスペンションア
センブリ及び相互接続部アセンブリが一緒に製造される
ため、各部品の整合のばらつきを最小にして、機械的作
業中のエラーを減少させることができる。そして、本発
明の製造において、導体配置が常に正確であり、組み付
け中のコスト及び時間がかかるる手動取り付けを必要と
しないので、製造工程がさらに効率的となり、しかも、
曲がり部品が少なく、また組み付け誤差が小さいことに
よって、浮動高さ性能の安定性を高めることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明によるヘッドサスペンションアセンブリ
の斜視図である。

【図２】図１に示されているヘッドサスペンションアセ
ンブリのジンバルの詳細拡大図である。

【図３】本発明による積層構造体を製造するために使用
される積層素材の３層シートの斜視図である。

【図４】図３に示されている３層シートの、ステンレス
鋼層をエッチングして負荷ビームにした後の一方側の斜
視図である。

【図５】図３に示されている３層シートの、ベリリウム
銅をエッチングしてジンバル／相互接続部アセンブリ用
のトレースにした後の他方側の斜視図である。

【図６】図３に示されている３層シートから製造される
図１に示されているサスペンションアセンブリの、第２
層の露出部分をエッチングで取り除いたものの分解斜視
図である。

【図７】本発明によるヘッドサスペンションアセンブリ
の、負荷ビームに補強側部レールを設けた第２実施例の
斜視図である。

【図８】図７に示されているヘッドサスペンションアセ
ンブリの、３層サスペンションアセンブリ、ヘッドアセ
ンブリ及び支持ベースプレートを含む分解斜視図であ
る。

【図９】図７に示されているヘッドサスペンションアセ
ンブリのジンバルの３層の拡大詳細斜視図である。

【図１０】本発明によるヘッドサスペンションアセンブ
リの第３実施例の斜視図である。

【図１１】図10に示されているヘッドサスペンションア
センブリの、３層サスペンションアセンブリ、ヘッドア
センブリ、支持ベースプレート及び負荷ボタンカバーを
含む分解斜視図である。

【図１２】本発明による３層ジンバル／相互接続部アセ
ンブリを含むヘッドサスペンションアセンブリの第４実
施例の斜視図である。

【図１３】図12に示されているヘッドサスペンションア
センブリの先端部分の分解斜視図である。

【図１４】３層ジンバル／相互接続部アセンブリの別の
実施例を含むヘッドサスペンションアセンブリの第５実
施例の斜視図である。

【図１５】図14のヘッドサスペンションアセンブリの分
解斜視図である。

【図１６】３層ジンバル／相互接続部アセンブリの、層
の順序が逆になった別の実施例を含むヘッドサスペンシ
ョンアセンブリの第６実施例の先端部分の分解斜視図で
ある。

【図１７】本発明によるヘッドサスペンションアセンブ
リの、トレースが負荷ビームのばね開口の上方を通って
いる第７実施例の斜視図である。

【図１８】本発明によるヘッドサスペンションアセンブ
リの、トレースが負荷ビームのばね領域の横に並んで延
在している第８実施例の斜視図である。

【図１９】本発明によるヘッドサスペンションアセンブ
リの、トレースがばね領域のばね部品として機能してい
る第９実施例の斜視図である。

【図２０】本発明によるヘッドサスペンションアセンブ
リの、ばね支持プレートを設けた第10実施例の斜視図で
ある。

【図２１】垂直に取り付けられて、ジンバル／相互接続
部アセンブリのトレースに電気接続しているヘッド電気
端子の拡大詳細斜視図である。

【図２２】水平に取り付けられたヘッド電気端子をジン
バル／相互接続部アセンブリのトレースに電気接続する
別の方法の拡大詳細斜視図である。

【図２３】垂直に取り付けられたヘッド電気端子をジン
バル／相互接続部アセンブリのトレースに電気接続する
別の方法の拡大詳細斜視図である。

【図２４】スライダが導電性エポキシの液滴で第１層に
電気接続されていることを示す、ヘッドアセンブリの長
手方向軸線に沿った断面の側面図である。

【図２５】第３層の接着パッドが負荷ボタンカバーの負
荷ボタンに電気接続されるように、第１層及び第２層が
エッチングされていることを示す、図24と同様なヘッド
アセンブリの長手方向軸線に沿った断面の側面図であ
る。

【符号の説明】

15 相互接続部アセンブリ 20 ヘッドアセンブリ 32 負荷ビーム 40 ジンバル 50 第１層 70 第３層 71 トレース 90 第２層

フロントページの続き (72)発明者 トッド ダヴリュ． ブッチャー アメリカ合衆国 ミネソタ 55385 スチ ューワート ルーラル ルート ２ ボッ クス 161 (72)発明者 ジェームズ エイチ． デットマン アメリカ合衆国 ミネソタ 55814 ドゥ ルース アンダーソン ロード 501 (72)発明者 ロイド シー． ゴス アメリカ合衆国 ミネソタ 55438 ブル ーミングトン ウッドブリッジ ロード 9501 (72)発明者 ガーリー イー． ガスタフソン アメリカ合衆国 ミネソタ 55324 ダー ウイン カサー 33 66872 (72)発明者 マイケル ティー． ホフランダー アメリカ合衆国 ミネソタ 55435 エデ ィーナ ダンベリー レイン 4709 (72)発明者 ブレント ディー． リーン アメリカ合衆国 ミネソタ 55409 ミネ アポリスブライスデル アベニュー サウ ス 4255 (72)発明者 ディーン イー． メイヤーズ アメリカ合衆国 ミネソタ 55385 スチ ューワート ルーラル ルート ２ ボッ クス 153

Claims (28)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 回転可能なデータ記憶装置の上方にヘッ
   ドアセンブリを位置決めするディスク駆動ヘッドサスペ
   ンションアセンブリのための積層構造体を製造する方法
   であって、 金属ばね材からなる第１層と、電気絶縁材からなる中間
   の第２層と、導電材からなる第３層とを有する多層合わ
   せシートを準備し、 第１層をばね部品に成形して、第２層の一部を露出さ
   せ、 第３層から少なくとも１つのトレースを形成して、第２
   層の一部を露出させ、トレースにはヘッドアセンブリに
   電気接続するために形成された少なくとも１つの細長い
   導体を設け、 第２層の露出部分の少なくとも一部を除去する、各工程
   を有することを特徴とする製造方法。
2. 【請求項２】 第１層の成形工程及び第３層の成形工程
   は、化学エッチングを含むことを特徴とする請求項１の
   製造方法。
3. 【請求項３】 第２層の成形工程は、第２層のプラズマ
   エッチングを含むことを特徴とする請求項１の製造方
   法。
4. 【請求項４】 第３層の成形工程は、塩化第二銅を用い
   て第３層をエッチングすることを含むことを特徴とする
   請求項１の製造方法。
5. 【請求項５】 積層シートの準備工程は、第３層が導電
   性ばね材を有するシートを準備する工程を含み、さら
   に、第３層のトレースの一部分を成形して、ヘッドアセ
   ンブリに対してジンバル支持を与えるジンバルを形成す
   ることを特徴とする請求項１の製造方法。
6. 【請求項６】 請求項１の方法に従って製造された、デ
   ィスク駆動装置におけるヘッドサスペンションアセンブ
   リ用の積層構造体。
7. 【請求項７】 ヘッドアセンブリの電気端子を相互接続
   部アセンブリの導体に電気接続する方法であって、 細い導体ワイヤからなる短いセグメントを準備し、 このワイヤセグメントの第１端部を電気端子の表面に接
   続し、 このワイヤセグメントの第２端部を電気端子の表面に接
   続することによって、ワイヤループを形成し、 このワイヤループの中間部分を導体に接続する、各工程
   を有することを特徴とする方法。
8. 【請求項８】 さらに、中間部分を導体に接続する前
   に、ループが導体の平坦表面に平行になるようにワイヤ
   ループをねじる工程を有することを特徴とする請求項７
   の方法。
9. 【請求項９】 ヘッドアセンブリのスライダが、積層接
   着パッドの第１水平側部に取り付けられ、さらに第２水
   平側部を有し、かつ、複数の水平層が少なくとも１つの
   絶縁層と、少なくとも１つの導電層とを含んでいる、前
   記ヘッドアセンブリのスライダを電気接地する方法であ
   って、 前記接着パッドの第１水平側部を横切って絶縁層全体を
   通り、導電層に終端する垂直方向の接触キャビティを形
   成し、 接触キャビティ内に導電手段を配置して、その導電手段
   がキャビティを横切ってスライダと導電層とを接続し、 この導電層を電気接地する、各工程を有することを特徴
   とする方法。
10. 【請求項１０】 ヘッドアセンブリを動的データ記憶装
    置の上方で位置決めし、またヘッドアセンブリに電気接
    続するための相互接続部／サスペンションアセンブリで
    あって、 剛性領域を含む平面状の負荷ビームプレートを有するば
    ね材からなる第１層と、 ヘッドアセンブリに電気接続するための少なくとも１つ
    のトレースを有し、各トレースは、先端部分にジンバル
    領域を、基端部分に負荷ビーム領域を備え、負荷ビーム
    領域の少なくとも一部分が第１層の負荷ビームプレート
    の一部分に向き合って整合している導電材からなる第３
    層と、 第１層及び第３層の向き合って整合した部分の間に配置
    された少なくとも１つのパネルを有している、誘電体か
    らなる薄い第２層とを有していることを特徴とするアセ
    ンブリ。
11. 【請求項１１】 各トレースのジンバル領域は、ジンバ
    ルの少なくとも一部分を形成し、ヘッドアセンブリにジ
    ンバル支持を与えることを特徴とする請求項１０の相互
    接続部／サスペンションアセンブリ。
12. 【請求項１２】 第１層が、複数の不連続プレートを有
    することを特徴とする請求項10の相互接続部／サスペン
    ションアセンブリ。
13. 【請求項１３】 第３層が、複数の不連続プレートを有
    することを特徴とする請求項10の相互接続部／サスペン
    ションアセンブリ。
14. 【請求項１４】 第１層は、さらに、負荷ビームプレー
    トの基端部付近にベースプレートを有し、トレースの負
    荷ビーム領域には、負荷ビームプレートに連結された剛
    性領域と、ベースプレートに連結されたベース領域と、
    負荷ビームプレートとベースプレート間のギャップを跨
    いでいるばね領域とが設けられており、トレースのばね
    領域がばね部材として動作することを特徴とする請求項
    １０の相互接続部／サスペンションアセンブリ。
15. 【請求項１５】 さらに、トレースをヘッドアセンブリ
    上の電気端子に電気接続するコネクタ手段を含んでいる
    ことを特徴とする請求項１０の相互接続部／サスペンシ
    ョンアセンブリ。
16. 【請求項１６】 トレースの負荷ビーム領域は、負荷ビ
    ームプレートの剛性領域と向き合った剛性領域を備え、
    トレースの剛性領域は、負荷ビームプレートの剛性領域
    用の補強レールとして動作する形状になっていることを
    特徴とする請求項１０の相互接続部／サスペンションア
    センブリ。
17. 【請求項１７】 第３層は、さらに、第１層の負荷ビー
    ムプレートの一部に向き合った補強プレートを有してい
    ることを特徴とする請求項１０の相互接続部／サスペン
    ションアセンブリ。
18. 【請求項１８】 さらに、第１層の負荷ビームプレート
    の先端部分にカバープレートを取り付けて、カバープレ
    ートの先端部が負荷ビームプレートの剛性領域より延出
    してヘッドアセンブリに向き合うようにしており、カバ
    ープレートの先端部に突起状半球形負荷ボタンを設けた
    ことを特徴とする請求項１０の相互接続部／サスペンシ
    ョンアセンブリ。
19. 【請求項１９】 各トレースの負荷ビーム領域は、基端
    部にベース領域を、ベース領域に隣接してばね領域を、
    ばね領域に隣接して剛性領域を設けていることを特徴と
    する請求項１０の相互接続部／サスペンションアセンブ
    リ。
20. 【請求項２０】 第３層は、２つのトレースを２組有し
    ており、各組のトレースの負荷ビーム領域はほぼ平行で
    あり、トレース組は負荷ビームプレートのばね領域及び
    剛性領域の外縁部に沿った輪郭を描くことを特徴とする
    請求項１９の相互接続部／サスペンションアセンブリ。
21. 【請求項２１】 負荷ビームは、さらに、先端部にジン
    バル領域を設けており、ジンバル領域は、ジンバルの少
    なくとも一部分を形成し、ヘッドアセンブリにジンバル
    支持を与えることを特徴とする請求項１９の相互接続部
    ／サスペンションアセンブリ。
22. 【請求項２２】 負荷ビームプレートのばね領域に中間
    ばね開口が設けられ、第３層のトレースは、中間ばね開
    口を長手方向に横切るばね領域を設けていることを特徴
    とする請求項１９の相互接続部／サスペンションアセン
    ブリ。
23. 【請求項２３】 第３層のトレースは、負荷ビームのば
    ね領域の長手方向縁部の横に並んで長手方向に延在して
    いることを特徴とする請求項１９の相互接続部／サスペ
    ンションアセンブリ。
24. 【請求項２４】 動的データ記憶装置内の負荷ビームに
    取り付けられて、ヘッドアセンブリを読取り書込み回路
    に電気接続するジンバル／相互接続部アセンブリであっ
    て、 少なくとも１つの平板状の支持プレートを有するばね材
    からなる第１層と、 ヘッドアセンブリに接続するための少なくとも１つの細
    長いトレースを有しており、各トレースは、負荷ビーム
    に取り付ける負荷ビーム領域と、ジンバルの少なくとも
    一部分として形成され、ヘッドアセンブリをジンバル支
    持するためのジンバル領域とを備えている、導電ばね材
    からなる第３層と、 第１層及び第２層の間に配置された薄い絶縁材からな
    り、第１及び第３層に重なる接触表面として成形された
    複数のパネルを有する平板状の中間第２層とを有するこ
    とを特徴とするジンバル／相互接続部アセンブリ。
25. 【請求項２５】 第３層は、さらに、ヘッドアセンブリ
    を取り付けるための少なくとも１つの平板状のたわみ接
    着プレートを設けていることを特徴とする請求項２４の
    ジンバル相互接続部アセンブリ。
26. 【請求項２６】 第１層は、さらに、ヘッドアセンブリ
    を取り付けるためのプラットフォームを有しており、少
    なくとも１つのトレースが、第２層のパネルで負荷ビー
    ムプレートに取り付けられた基端部分と、第２層のパネ
    ルによってプラットフォームに取り付けられた先端部分
    と、プラットフォームをジンバル支持するジンバルばね
    アームとなる形状の中間部分とを設けていることを特徴
    とする請求項24のジンバル相互接続部アセンブリ。
27. 【請求項２７】 第１層は、さらに複数の支持アイラン
    ドを設けており、第３層のジンバル領域はさらにジンバ
    ルばねアームを設けており、支持アイランドはジンバル
    ばねアームの一部に向き合って整合していることを特徴
    とする請求項２４のジンバル相互接続部アセンブリ。
28. 【請求項２８】 トレースのジンバル領域は、先端部で
    広がってヘッドアセンブリを取り付けるための平坦面を
    有する接着パッドになったジンバルばねアーム部分を有
    していることを特徴とする請求項24のジンバル相互接続
    部アセンブリ。