JPH0817372A - X-ray tube device - Google Patents

Abstract

PURPOSE:To provide an X-ray tube device by which a super high speed X-ray CT device that can rotate an X-ray source around a subject to be tested at speeds as high as 0.1sec per revolution or less can be manufactured as a small one at reduced cost. CONSTITUTION:A cathode 1 and an anode 4 are arranged on a circumference within double hollow circular metallic containers 10, 3. The cathode 1 is held at grounding potential, and a voltage as high as 100kV and over is supplied to the anode 4 by a high-tension cable 6 brazed to the center portion 6a of a disc-shaped ceramic insulator 7. The position of the cathode 1 from which electrons are emitted is moved at high speed on the circumference, while X-rays are generated from the opposite anode 4 as the anode 4 changes position on the circumference.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【０００１】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、Ｘ線断層像を得るＸ線
管装置に係り、特に、電気的に高速に被検者のまわりを
走査し、高速のＸ線断層像を得ることのできるＸ線管装
置に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an X-ray tube apparatus for obtaining an X-ray tomographic image, and more particularly to an electrically high-speed scanning around a subject to obtain a high-speed X-ray tomographic image. The present invention relates to a possible X-ray tube device.

【０００２】[0002]

【従来の技術】現在、被検者の周囲の各方向からＸ線ビ
ームを照射し、反対側に配置されたＸ線検出器により、
それぞれのＸ線ビームに対応する信号を検出して、コン
ピュータによる数値計算で被検者の断層像を得るＸ線Ｃ
Ｔ装置が普及している。2. Description of the Related Art At present, an X-ray beam is emitted from each direction around a subject, and an X-ray detector arranged on the opposite side is used.
An X-ray C that detects a signal corresponding to each X-ray beam and obtains a tomographic image of the subject by numerical calculation by a computer
T-devices are in widespread use.

【０００３】従来は、回転陽極Ｘ線管装置を被検者の周
囲に回転させて上記のＸ線ビーム照射をしており、最近
は、被検者の周囲を１秒で回転する高速Ｘ線ＣＴ装置も
実用化されるようになっている。しかし、このような高
速Ｘ線ＣＴ装置では、その高速性を達成するために、電
源の供給や信号の受送にスリップリングを用いているも
のが多い。このため、これらの高速Ｘ線ＣＴ装置におい
て、さらに高速のスキャニングをしようとすると、Ｘ線
管装置内の回転陽極部に作用する遠心力で回転支持軸が
破損する恐れがあり、また、スリップリングも高速化に
より、摩耗や信号飛びなどの問題が生じることが多い。Conventionally, a rotating anode X-ray tube device is rotated around the subject to perform the above-mentioned X-ray beam irradiation, and recently, a high-speed X-ray rotating around the subject in one second. CT devices have also come into practical use. However, in such a high-speed X-ray CT apparatus, in many cases, a slip ring is used for power supply and signal transmission in order to achieve the high speed. Therefore, in these high-speed X-ray CT apparatuses, if an attempt is made to perform even higher-speed scanning, the rotary support shaft may be damaged by the centrifugal force acting on the rotary anode portion in the X-ray tube apparatus, and the slip ring may be damaged. Also, due to the higher speed, problems such as wear and signal skipping often occur.

【０００４】このため、最近、被検者の周囲に細長いタ
ーゲットを有するドーナツ状のＸ線管装置を配置し、そ
して陰極からの電子の放出点を電気的に移動させるよう
に構成した装置が、いくつか提案されている。For this reason, recently, a donut-shaped X-ray tube device having an elongated target is arranged around the subject, and a device configured to electrically move the electron emission point from the cathode has been proposed. Several have been proposed.

【０００５】その第１は、例えば、特公昭６１−１３８
１５号公報に代表されるように、電子線を軸方向に加速
し、高速となった電子線を円周状に偏向させて回転さ
せ、円周状のターゲットからＸ線を発生させることによ
り、超高速でＸ線源を１回転させるものである。これに
より、従来の機械的に回転させる装置では成し得なかっ
た０．１秒／回転の高速スキャンが達成され、心臓のＣ
Ｔ像まで得られるようになっている。The first is, for example, Japanese Patent Publication No. 61-138.
As typified by Japanese Patent No. 15 publication, by accelerating the electron beam in the axial direction, deflecting the high-speed electron beam in a circumferential direction and rotating it, and generating X-rays from a circumferential target, It rotates the X-ray source once at ultra-high speed. As a result, a high-speed scan of 0.1 seconds / revolution, which could not be achieved by the conventional mechanical rotation device, is achieved, and the C
Even T images can be obtained.

【０００６】一方、第２の方式は、特公昭６３−３１８
９４号公報に代表されるように、円周状にグリッド付き
の小さな陰極フィラメントを多数配置して構成した複数
個のＸ線管を被検者の周囲に配置し、グリッドに印加す
る電圧を電気的に切り替えて、おのおののフィラメント
から順次電子線を発生させてターゲットに当て、Ｘ線源
をスキャンする方式である。この方式では、大きさは従
来のＸ線ＣＴ装置とほぼ同じ程度であり、しかも、０．
１秒／回転以下の高速スキャンも可能である。On the other hand, the second method is Japanese Patent Publication No. 63-318.
As typified by Japanese Patent Publication No. 94, a plurality of X-ray tubes constituted by arranging a large number of small cathode filaments with a grid in a circular shape are arranged around a subject, and the voltage applied to the grid is electrically changed. It is a method in which electron beams are sequentially generated from each filament and applied to a target, and the X-ray source is scanned. In this system, the size is almost the same as that of the conventional X-ray CT apparatus, and moreover, the size of 0.
High-speed scanning of 1 second / rotation or less is also possible.

【０００７】[0007]

【発明が解決しようとする課題】しかし、このようなＸ
線管装置においては、まず、上記の第１の方式のもので
は、電子線を加速し、偏向させて回転させるため大きな
漏斗状の真空容器が必要であり、しかも、被検者はその
漏斗内に位置するため、装置は極めて大きなものとな
り、かつ、高価な装置となる。However, such an X
In the tube apparatus, first, a large funnel-shaped vacuum container is necessary for accelerating, deflecting and rotating the electron beam in the first method described above. Since it is located at, the device becomes extremely large and expensive.

【０００８】一方、第２の方式では、電子線を加速する
ため陰極と陽極との間に１００ｋＶ台の高電圧をかけね
ばならず、そのためには、両極間の絶縁性を確保するた
めに、ガラス等の絶縁材料で真空気密の容器を構成しな
ければならない。したがって、通常の円筒状のＸ線管球
よりも数倍も大きく、しかも扇状の構造としなければな
らないために、製造上、技術的に種々の困難が生じてい
る。On the other hand, in the second method, a high voltage of the order of 100 kV must be applied between the cathode and the anode in order to accelerate the electron beam, and in order to secure the insulation between the two electrodes, A vacuum-tight container must be made of an insulating material such as glass. Therefore, since it is required to have a fan-shaped structure that is several times larger than a normal cylindrical X-ray tube, various technical difficulties arise in manufacturing.

【０００９】本発明は上述の課題を解決するためになさ
れたもので、Ｘ線ＣＴ装置の高速化という要求に対し、
０．１秒／回転以下の超高速Ｘ線スキャンを可能にす
る、小型で、かつ、安価に製造できるＸ線ＣＴ用のＸ線
管装置を提供することを目的とする。The present invention has been made in order to solve the above-mentioned problems, and has responded to the demand for high-speed X-ray CT apparatus,
An object of the present invention is to provide an X-ray tube device for X-ray CT which is small in size and can be manufactured at low cost, which enables ultra-high-speed X-ray scanning at 0.1 second / rotation or less.

【００１０】[0010]

【課題を解決するための手段】中空環状の第１の金属製
密封容器内に、真空気密性のある第２の金属製中空環状
容器を同心円状に配設し、その第２の中空環状容器内
に、陰極と陽極とを対向させて円周状に配設する。この
とき、陰極は接地電位にし、陽極にはプラスの高電圧を
印加する。このため、陽極は、絶縁物により第２容器内
に固定され、また、その陽極は中空になっており、その
中には冷却用の絶縁油が充満されており、かつ、絶縁性
のホースを通して外部から循環されている。また、その
高電圧は、第２容器に真空気密にろう接された円板状の
絶縁碍子の中心部を貫き、かつ、上記碍子に真空気密に
ろう接された導線により給電される。そして、上記円周
状の陰極から電子を、円周に沿って順次位置を変えなが
ら放射させ、これに対向する陽極を照射して、その陽極
から円周状に位置を回転させてＸ線を放射させる。[MEANS FOR SOLVING THE PROBLEMS] A second metal hollow annular container having a vacuum airtightness is concentrically arranged in a hollow annular first metal hermetically sealed container, and the second hollow annular container is provided. Inside, a cathode and an anode are arranged facing each other in a circumferential shape. At this time, the cathode is set to the ground potential, and a positive high voltage is applied to the anode. For this reason, the anode is fixed in the second container by an insulator, and the anode is hollow, filled with insulating oil for cooling, and passed through an insulating hose. It is circulated from the outside. Further, the high voltage is supplied to the second container through a central portion of a disk-shaped insulator which is brazed in a vacuum airtight manner, and is supplied to the insulator by a conductor wire which is brazed in a vacuum airtight manner. Then, electrons are emitted from the above-mentioned circumferential cathode while sequentially changing the position along the circumference, and the opposite anode is irradiated, and the position is circumferentially rotated from the anode to emit X-rays. Let it radiate.

【００１１】[0011]

【作用】このＸ線ＣＴ用のＸ線管装置においては、第１
と第２の２層の金属製中空環状真空気密容器を同心円状
に２重に重ね、その内側に、Ｘ線を発生させる陰極と陽
極とを円周状に配設している。In the X-ray tube device for this X-ray CT, the first
And a second two-layer metal hollow annular vacuum airtight container are concentrically doubled and a cathode and an anode for generating X-rays are circumferentially arranged inside thereof.

【００１２】このため、まず第１に、これらの環状容器
が金属製であるために、環状の直径が１．５ｍ程度に大
きく、かつ、内部が真空であるにもかかわらず、強度的
に十分であり、製作のための加工や組立てが容易であ
り、また、超高真空に対する真空気密性も十分に達成で
きる。Therefore, first of all, since these annular containers are made of metal, the annular diameter is as large as about 1.5 m, and the strength is sufficient despite the fact that the inside is vacuum. Therefore, it is easy to process and assemble for manufacturing, and the vacuum tightness against ultra-high vacuum can be sufficiently achieved.

【００１３】また、電子発生源の陰極を接地電位にした
ことにより、電子放射を制御するグリッド制御システム
には高電圧がかからず、そのため、上記グリッド制御の
電気回路を簡略化することができ、かつ、容易に電子放
射位置の高速移動制御を行なうことができる。Further, since the cathode of the electron source is set to the ground potential, a high voltage is not applied to the grid control system for controlling the electron emission, so that the electric circuit for the grid control can be simplified. Moreover, high-speed movement control of the electron emission position can be easily performed.

【００１４】また、上記容器を２層構造にし、両容器と
もに真空排気することにより、第２の内容器の真空度を
容易に１０~⁷Ｔｏｒｒ台の超高真空にすることができ、
かつ、陽極を高電圧に維持するために用いられた絶縁碍
子類は、高真空のため沿面耐圧が高まり、１００ｋＶ台
の高電圧に対する耐圧性を容易に維持することができ
る。また、２層構造により、高圧部分が全く装置表面に
現われることがなく、感電の面でも全く安全である。ま
た、陽極への高圧給電は１本の導線があればよく、その
絶縁は円板状の絶縁碍子で十分に達成できる。Further, by forming the above-mentioned container into a two-layer structure and evacuating both containers, the degree of vacuum of the second inner container can be easily made to be an ultrahigh vacuum of the order of 10 to ⁷ Torr,
In addition, the insulators used for maintaining the anode at a high voltage have a high vacuum and thus have a high creeping withstand voltage, and can easily maintain the withstand voltage against a high voltage of the order of 100 kV. Also, due to the two-layer structure, no high voltage portion appears on the surface of the device, and it is completely safe in terms of electric shock. Further, high-voltage power supply to the anode is required to have only one conducting wire, and its insulation can be sufficiently achieved by a disk-shaped insulator.

【００１５】[0015]

【実施例】【Example】

（実施例１）図１は、本発明に係るＸ線管装置の一部分
の断面図である。(Embodiment 1) FIG. 1 is a sectional view of a part of an X-ray tube device according to the present invention.

【００１６】まず、図１において、陰極１は陰極フラン
ジ２と溶接され、真空気密を保つ。陰極１は直径１．５
ｍの環状を呈しており、陰極フランジ２により、ドーナ
ツバルブ３の陰極取付け面３ａに、メタルパッキング等
を介して取付けられている。陰極１の対向面には、陽極
４が、やはり直径１．５ｍの円環状に配設され、複数の
セラミック碍子５でドーナツバルブ３内に固定されてい
る。セラミック碍子５には、沿面絶縁を高めるために円
形状のひだが多数設けられている。陽極４の陰極１の対
向面には、タングステン合金４ａが基体金属（例えば
銅）４ｂに溶着されている。基体金属４ｂの内部には、
冷却媒体となる絶縁油８が充満され、絶縁性の導入管、
すなわちホース（図示せず）により装置外部から循環さ
れている。陽極４の円周上１個所には、高電圧供給用ケ
ーブル６が固着され、最高３Ａの電流を流す。ケーブル
６は円形セラミック碍子７により絶縁され、隔壁６ａと
ケーブル６、およびセラミック碍子７はろう接により気
密化されている。また、円形セラミック碍子７は容器部
材３ｂに溶着され、容器部材３ｂはドーナツバルブ３に
溶接されている。ドーナツバルブ３の内径面には放射窓
９が円周状に連続して配設され、放射窓９はドーナツバ
ルブ３にろう接されて真空気密が保たれている。なお、
放射窓９はベリリウム、あるいはアルミニウムの薄板で
構成されている。ドーナツバルブ３は、外容器１０に支
持具１１で支持、固定される。高電圧供給用ケーブル６
へは、外容器１０への高電圧ブッシング１２と高電圧ケ
ーブル（図示せず）で供給され、高電圧ブッシング１２
と外容器１０との接合面では、真空気密化されている。
ドーナツバルブ３内は１０~⁷Ｔｏｒｒ以下の超高真空
に、そして、外容器１０内は１０~³〜１０~⁴Ｔｏｒｒ台
に真空ポンプで排気されている。First, in FIG. 1, the cathode 1 is welded to the cathode flange 2 to maintain vacuum tightness. Cathode 1 has a diameter of 1.5
It has a ring shape of m, and is attached to the cathode attachment surface 3a of the donut valve 3 by the cathode flange 2 via metal packing or the like. An anode 4 is also arranged in an annular shape having a diameter of 1.5 m on the opposite surface of the cathode 1, and is fixed in the donut valve 3 by a plurality of ceramic insulators 5. The ceramic insulator 5 is provided with a large number of circular pleats in order to enhance the creepage insulation. On the surface of the anode 4 facing the cathode 1, a tungsten alloy 4a is welded to a base metal (for example, copper) 4b. Inside the base metal 4b,
An insulating introduction pipe filled with insulating oil 8 serving as a cooling medium,
That is, it is circulated from the outside of the device by a hose (not shown). A high voltage supply cable 6 is fixed to one position on the circumference of the anode 4 and a current of up to 3 A flows. The cable 6 is insulated by a circular ceramic insulator 7, and the partition wall 6a, the cable 6 and the ceramic insulator 7 are hermetically sealed by brazing. The circular ceramic insulator 7 is welded to the container member 3b, and the container member 3b is welded to the donut valve 3. A radiation window 9 is continuously arranged in a circumferential shape on the inner diameter surface of the donut valve 3, and the radiation window 9 is brazed to the donut valve 3 to keep vacuum tightness. In addition,
The radiation window 9 is formed of a thin plate of beryllium or aluminum. The donut valve 3 is supported and fixed to the outer container 10 by the support 11. High voltage supply cable 6
To the outer container 10 by a high voltage bushing 12 and a high voltage cable (not shown).
The joint surface between the outer container 10 and the outer container 10 is vacuum-tight.
The inside of the donut valve 3 is evacuated to an ultrahigh vacuum of 10 to ⁷ Torr or less, and the inside of the outer container 10 is evacuated to a level of 10 to ³ to 10 to ⁴ Torr by a vacuum pump.

【００１７】このような構成のＸ線管装置において、陰
極１のフィラメント１ａから熱電子が放射され、陽極４
に印加された１３０ｋＶの高電圧によって加速され、高
速でターゲットとなるタングステン合金４ａに衝突して
Ｘ線を発生する。発生したＸ線は、被検体（図示せず）
を透過して反対側に設けた検出器（図示せず）に入射し
て、データ信号となる。陰極１から放射される電子線
は、グリッド切り替え制御により、円周上を次々に移動
する。その速度は、機械的な移動機構を全く含まないの
で、０．１秒／回転以下も容易に達成できる。In the X-ray tube device having such a structure, thermoelectrons are emitted from the filament 1a of the cathode 1 and the anode 4
It is accelerated by a high voltage of 130 kV applied to, and collides with the target tungsten alloy 4a at high speed to generate X-rays. The generated X-ray is the subject (not shown)
And then enters a detector (not shown) provided on the opposite side and becomes a data signal. The electron beam emitted from the cathode 1 sequentially moves on the circumference by the grid switching control. Since the speed does not include any mechanical moving mechanism, 0.1 second / rotation or less can be easily achieved.

【００１８】図１で明らかなように、高電圧を印加する
のは陽極４のみであり、他は全て、ほぼ接地電位に保持
されている。そして、陽極４は二重の容器内に収納され
ており、両容器とも接地されているので、感電の心配は
全くなく、安全である。また、陰極１を接地しているの
で、グリッド切り換え制御により電子放射位置を移動さ
せるシステムには高電圧耐圧設計が不要であり、製作が
容易である。As is apparent from FIG. 1, it is only the anode 4 that applies the high voltage, and all the others are held at substantially the ground potential. Since the anode 4 is housed in a double container and both containers are grounded, there is no fear of electric shock and it is safe. Further, since the cathode 1 is grounded, the system for moving the electron emission position by the grid switching control does not require a high voltage withstand voltage design and is easy to manufacture.

【００１９】また、ドーナツバルブ３などの容器の構成
材料は全て金属であるため、溶接、ろう接等で一体化加
工が可能で、完全密閉で、しかも直径１．５ｍ以上にも
及ぶ大径部品でも、高精度で、しかも安価に製作するこ
とができる。さらに、金属材料はセラミック、ガラス等
と異なり、弾性変形によって応力が解放されるので、破
壊の危険性は、前記材料とくらべて殆ど無いに等しい。
セラミック碍子５は、陽極４をドーナツバルブ３内に絶
縁して固定するだけの機能を持たせるので、不連続体で
よい。Also, since the material of the container such as the donut valve 3 is all metal, it can be integrally processed by welding, brazing, etc., it is a completely sealed and large diameter part with a diameter of 1.5 m or more. However, it can be manufactured with high accuracy and at low cost. Further, unlike ceramics, glass, etc., the stress of metal materials is released by elastic deformation, so the risk of destruction is almost equal to that of the above materials.
The ceramic insulator 5 has a function of merely insulating and fixing the anode 4 in the donut valve 3, and thus may be a discontinuous body.

【００２０】（実施例２）図２は、本発明に係る他の実
施例を示す縦断面図で、外容器１０の陰極側板１０ａ
を、直接、ドーナツバルブ３と接触させている。なお、
接触面には、ゴム、あるいは金属製のシール体を介在さ
せてある。この実施例においては、陰極１、および陰極
フランジ２の片側が大気中に出ているので、陰極フラン
ジ２のドーナツバルブ３への取付けが、直接、大気側か
ら操作でき、陰極１の交換が容易となる。本発明に係る
Ｘ線管装置において、最も故障発生頻度の高いのは陰極
１で、特に、フィラメント１ａの消耗、断線によりシス
テムは稼動不能に陥り易い。しかし、本実施例では、陰
極１の交換が容易なので、故障の修復も迅速にできる。(Embodiment 2) FIG. 2 is a vertical sectional view showing another embodiment according to the present invention, in which the cathode side plate 10a of the outer container 10 is shown.
Are directly contacted with the donut valve 3. In addition,
A rubber or metal seal body is interposed on the contact surface. In this embodiment, since the cathode 1 and one side of the cathode flange 2 are exposed to the atmosphere, the attachment of the cathode flange 2 to the donut valve 3 can be directly operated from the atmosphere side, and the replacement of the cathode 1 is easy. Becomes In the X-ray tube apparatus according to the present invention, the cathode 1 has the highest frequency of failure occurrence, and the system is apt to be inoperable due to the exhaustion and disconnection of the filament 1a. However, in this embodiment, since the cathode 1 can be easily replaced, the failure can be quickly repaired.

【００２１】以上の実施例では、環状の構成体について
記述したが、診断形態に応じて、検出器ともども直線状
に構成しても良い。また、セラミック碍子５の形状、配
置は、上記実施例に限定するものではなく、空間の広
さ、あるいはドーナツバルブ３の大きさに応じて、様々
な形状、様式をとり得る。さらに、陰極１、陰極フラン
ジ２は、必ずしも円周状に連続体である必要はなく、分
割タイプとしても良い。In the above embodiments, the annular structure has been described, but the detector and the detector may be formed in a linear shape depending on the diagnostic form. Further, the shape and arrangement of the ceramic insulator 5 are not limited to those in the above embodiment, but various shapes and modes can be adopted depending on the size of the space or the size of the donut valve 3. Further, the cathode 1 and the cathode flange 2 do not necessarily have to be circumferentially continuous bodies, and may be of a split type.

【００２２】[0022]

【発明の効果】以上説明したように、本発明に係るＸ線
管装置においては、２層に構成した金属製の中空環状容
器内に円周状に陰極と陽極とを対向させて配置したこと
により、Ｘ線ＣＴ像の撮影に要する時間を０．１秒以下
に短くすることができ、かつ、装置の製作、組立て、取
扱いなどが容易で、実用上の効果において著しいものが
ある。As described above, in the X-ray tube apparatus according to the present invention, the cathode and the anode are circumferentially arranged to face each other in the metal hollow annular container having two layers. As a result, the time required to capture an X-ray CT image can be shortened to 0.1 seconds or less, and the manufacturing, assembling, and handling of the device are easy, and the practical effect is remarkable.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図１】本発明に係るＸ線管装置の一部分の断面図であ
る。FIG. 1 is a sectional view of a part of an X-ray tube device according to the present invention.

【図２】本発明に係る他の実施例を示す断面図である。FIG. 2 is a sectional view showing another embodiment according to the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

１ 陰極 １ａ フィラメント ２ 陰極フランジ ３ ドーナツバルブ ４ 陽極 ４ａ タングステン合金 ４ｂ 基体金属 ５ セラミック碍子 ６ 高電圧供給ケーブル ７ 円形セラミック碍子 ８ 絶縁油 ９ 放射窓 １０ 外容器 １１ 支持具 １２ 高電圧ブッシング 1 Cathode 1a Filament 2 Cathode Flange 3 Donut Valve 4 Anode 4a Tungsten Alloy 4b Base Metal 5 Ceramic Insulator 6 High Voltage Supply Cable 7 Circular Ceramic Insulator 8 Insulating Oil 9 Radiation Window 10 Outer Vessel 11 Support 12 High Voltage Bushing

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項１】密封された環状の金属管からなる第１の容
器内に、真空的に気密性のある環状の金属管からなる第
２の容器を環の中心軸に対して同心円状に収納し、上記
第２の容器内に、接地されたゼロ電位の環状の陰極と、
プラスの高電圧が印加されＸ線源となる環状の陽極とが
上記環の中心軸に対してほぼ同心円状に設けられ、該陽
極は、絶縁物により第２の容器内に固定され、内部の円
環状の空間内には外部から冷却用の絶縁油が還流され、
かつ、上記第２の容器に真空気密にろう接された円板状
の絶縁碍子の中心部にろう接され貫通する導線により給
電されており、上記陰極の陽極に面する円環状表面から
放射される電子の放射位置を円周状に順次移動させるこ
とにより、上記陽極の円環状表面からＸ線放射位置を円
周状に順次移動させるようにしたことを特徴とするＸ線
管装置。1. A second container made of a vacuum-tight annular metal tube is housed in a first container made of a sealed annular metal tube concentrically with respect to the center axis of the ring. Then, in the above-mentioned second container, a grounded zero potential annular cathode,
An annular anode to which a positive high voltage is applied and which serves as an X-ray source is provided substantially concentrically with respect to the center axis of the annulus, and the anode is fixed in the second container by an insulator, Insulating oil for cooling is circulated from the outside in the annular space,
The second container is brazed to the center of a disk-shaped insulator which is vacuum-tightly brazed to the second container, and is fed with electric power by a conductor penetrating therethrough. An X-ray tube device, wherein the X-ray emission positions are sequentially moved circumferentially from the annular surface of the anode by sequentially moving the emission positions of the electrons in the circumferential direction.