JPH0817157A - 積層型磁気ヘッドと磁気ディスク装置 - Google Patents

積層型磁気ヘッドと磁気ディスク装置

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JPH0817157A
JPH0817157A JP14839294A JP14839294A JPH0817157A JP H0817157 A JPH0817157 A JP H0817157A JP 14839294 A JP14839294 A JP 14839294A JP 14839294 A JP14839294 A JP 14839294A JP H0817157 A JPH0817157 A JP H0817157A
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JP
Japan
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magnetic
thin film
magnetic thin
track width
effective track
Prior art date
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Pending
Application number
JP14839294A
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English (en)
Inventor
Yoichi Kurosawa
陽一 黒澤
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Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 実効トラック幅の精度向上を図るとともに製
造歩留まりの向上を図った積層型磁気ヘッドと製造歩留
まりを向上した安価な磁気ディスク装置を提供する。 【構成】 磁気ディスクの流入端側のスライダ片3a上に
実効トラック幅7 に相当する膜厚の磁性薄膜4aを成膜
し、一方、流出端側のスライダ片3b上に実効トラック幅
7 以上の膜厚の磁性薄膜4bを成膜する。記録ギャップ6
を形成するため、流入端側の磁性薄膜4aと流出端側の磁
性薄膜4bを所定量のギャップ空隙5 を有しかつ磁性薄膜
4aが磁性薄膜4bの膜厚の範囲内に対向するように突き合
わせ、そして接着ガラスなどによって接着して記録ギャ
ップ6 を形成する。磁性薄膜4a,4b の突き合わせ精度を
向上させることなく、実効トラック幅7 の精度を向上さ
せることができる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、磁気ディスク装置にお
いて記録媒体である磁気ディスクへの情報の高密度記録
が可能な積層型磁気ヘッドに関する。
【0002】
【従来の技術】近年、パーソナルコンピュータの小型化
や携帯化の急速な伸長に伴ない、磁気ディスク装置の小
型・高容量化が要求されている。このような要求に対応
して、磁気ディスクでは金属薄膜ディスク、磁気ヘッド
ではフェライトヘッドの磁気ギャップ近傍に金属磁性薄
膜を設けたMIG(Metal In Gap)ヘッドが実用化され
ている。
【0003】ところで、MIGヘッドはトラック密度が
2000TPI(Track Per Inch)を越えると、信号の
再生が困難になるという問題があり、高密度記録用磁気
ヘッドとして薄膜磁気ヘッドと積層型磁気ヘッドが開発
されている。特に、積層型磁気ヘッドは4000TPI
のトラック密度まで十分対応でき、しかも、薄膜磁気ヘ
ッドに比べて低コストで製造可能な積層型磁気ヘッドが
注目されている。
【0004】図2と図3を参照し、積層型磁気ヘッドに
ついて説明する。
【0005】図2は積層型磁気ヘッドの基本構成を示す
斜視図、および図3は従来の積層型磁気ヘッドを示す図
で、図3(a)は図2の要部Aの拡大図、および図3
(b)は製作プロセスの説明のための平面図である。
【0006】上記図において、1 は積層型磁気ヘッド
で、この積層型磁気ヘッド1 は、チタンカルシウム(T
iCaO3 )などの非磁性セラミックからなり、磁気記
録媒体である磁気ディスクの高速回転(図中、X方向に
走行)中に発生する空気流によって磁気ディスクを浮上
させるスライダ本体2 の突出部2aが形成されている側の
一方の端面と、このスライダ本体2 の一方の端面と同一
の端面形状を有しかつスライダ本体2 と同様の非磁性セ
ラミックからなるスライダ片3 とによって磁性薄膜4 を
サンドイッチして構成される。このように構成される積
層型磁気ヘッド1の製作の一例を以下に示す。
【0007】まず、スライダ片3 上にセンダスト(Fe
−Al−Si)をスパッタリングし所望のトラック幅に
相当する所定の膜厚に磁性薄膜4 を成膜する。磁性薄膜
4 の成膜後、磁性薄膜4 とスライダ本体2 の一方の端面
を接着ガラス(SiO2 )などによって接着して、磁性
薄膜4 をスライダ本体2 とスライダ片3 によってサンド
イッチした形態とし、これらを一体化する。
【0008】一体化後、記録ギャップを形成するため、
突出している部位をB−B間で切断し、切断された磁性
薄膜4 、すなわち、同一の膜厚に成膜されている、磁気
ディスクの流入端側の磁性薄膜4aと流出端側の磁性薄膜
4bを所定量のギャップ空隙5を有して突き合わせ、そし
て接着ガラスなどによって接着して記録ギャップ6 を形
成する。ここで、情報の記録/再生に寄与する実効トラ
ック幅7 は磁性薄膜4aと磁性薄膜4bが相対向している幅
で定義される。
【0009】以上のようにして積層型磁気ヘッド1 が製
作される。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記し
た積層型磁気ヘッド1 の製作工程においては、流入端側
の磁性薄膜4aと流出端側の磁性薄膜4bを所定量のギャッ
プ空隙5 を有して突き合わせて接着する工程があり、こ
のため、ギャップ空隙5 を介して対向している磁性薄膜
4a,4b の位置関係に、図4に示すように、製造時の位置
決め精度によってズレ8 が生ずる虞れがある。ズレ8 が
生ずると、実効トラック幅7 はズレ8 の幅分だけ減少し
てしまうことにより、再生出力が実効トラック幅7 に比
例するという特性を有する積層型磁気ヘッド1 は減少量
に比例して再生出力が低下してしまうという問題があっ
た。
【0011】また、ズレ8 の幅は一定ではなく、ばらつ
く傾向にあるため、これに伴なって実効トラック幅7 も
ばらついてしまい、所望の再生出力が得られる積層型磁
気ヘッド1 を製造しようとした場合、歩留まりが悪くな
るという問題があり、このため積層型磁気ヘッド1 のコ
ストがアップし、積層型磁気ヘッド1 を採用する磁気デ
ィスク装置のコストもアップするという問題があった。
【0012】本発明は、上記事情に鑑みてなされたもの
で、実効トラック幅の精度向上を図るとともに製造歩留
まりの向上を図った積層型磁気ヘッドと製造歩留まりを
向上した安価な磁気ディスク装置を提供することを目的
とする。
【0013】
【課題を解決するための手段】本発明の積層型磁気ヘッ
ドは、上記目的を達成するために、スライダの磁気ディ
スクの走行方向に沿った少なくとも一方の端面側に分割
挾持して配設された磁性薄膜を所定のギャップ空隙を有
して突き合わせることにより記録ギャップを形成する積
層型磁気ヘッドにおいて、上記磁性薄膜の一方の磁性薄
膜の膜厚と他方の磁性薄膜の膜厚を相違して成膜したこ
とを特徴とする。
【0014】また、本発明の積層型磁気ヘッドは、一方
の磁性薄膜の膜厚を実効トラック幅に成膜しかつ他方の
磁性薄膜の膜厚を実効トラック幅以上に成膜したことを
特徴とする。
【0015】また、本発明の磁気ディスク装置は、積層
型磁気ヘッドによって磁気ディスクに情報の記録/再生
を行なう磁気ディスク装置において、上記磁気ディスク
を浮上させるスライダと、このスライダの磁気ディスク
の走行方向に沿った少なくとも一方の端面側に分割挾持
して配設された磁性薄膜の一方の磁性薄膜の膜厚を実効
トラック幅に成膜しかつ他方の磁性薄膜の膜厚を実効ト
ラック幅以上に成膜した積層型磁気ヘッドとを具備した
ことを特徴とする。
【0016】
【作用】本発明の積層型磁気ヘッドは上記のように構成
したので、一方の磁性薄膜の膜厚と他方の磁性薄膜の膜
厚を相違して成膜したことにより、磁性薄膜の突き合わ
せ精度を向上させることなく、実効トラック幅精度を向
上させることが可能となる。
【0017】また、本発明の積層型磁気ヘッドは、一方
の磁性薄膜の膜厚を実効トラック幅に成膜しかつ他方の
磁性薄膜の膜厚を実効トラック幅以上に成膜したので、
良好な再生出力が得られる積層型磁気ヘッドを歩留まり
良く製造できる。
【0018】また、本発明の磁気ディスク装置は、スラ
イダの磁気ディスクの走行方向に沿った少なくとも一方
の端面側に分割挾持して配設された磁性薄膜の一方の磁
性薄膜の膜厚を実効トラック幅に成膜しかつ他方の磁性
薄膜の膜厚を実効トラック幅以上に成膜した積層型磁気
ヘッドを備えたので、積層型磁気ヘッドの磁性薄膜の突
き合わせ精度を向上させることが必要なくなって、積層
型磁気ヘッドの製造コストが低下することにより、従来
の磁気ディスク装置に比べて製造歩留まりが向上して安
価となり、安価な磁気ディスク装置を提供することがで
きる。
【0019】
【実施例】以下、図1乃至図3を参照し、本発明の実施
例を説明する。
【0020】本発明の積層型磁気ヘッドの実施例の基本
的な構成は図2および図3に示した基本構成と同様であ
るが、磁性薄膜4 の構成において相違する。
【0021】すなわち、積層型磁気ヘッド1 は、チタン
カルシウム(TiCaO3 )などの非磁性セラミックか
らなり、磁気記録媒体である磁気ディスクの高速回転
(図中、X方向に走行)中に発生する空気流によって磁
気ディスクを浮上させるスライダ本体2 の突出部2aが形
成されている側の一方の端面と、このスライダ本体2 の
一方の端面と同一の端面形状を有しかつスライダ本体2
と同様の非磁性セラミックからなるスライダ片3 とによ
って磁性薄膜4 をサンドイッチして構成される。このよ
うに構成される積層型磁気ヘッド1 の製作の一例を以下
に示す。
【0022】まず、スライダ本体2 の突出している部位
とこれに対向しているスライダ片3の部位を予めB−B
間で切断しておく。(図3参照)。切断されたそれぞれ
のスライダ片3 上にセンダスト(Fe−Al−Si)を
スパッタリングし、両スライダ片3 上に異なる膜厚の磁
性薄膜4 を成膜する。例えば、図1(a)に示すよう
に、例えば磁気ディスクの流入端側のスライダ片3a上に
実効トラック幅7 に相当する膜厚の磁性薄膜4aを成膜
し、一方、流出端側のスライダ片3b上に実効トラック幅
7 以上の膜厚の磁性薄膜4bを成膜する。
【0023】磁性薄膜4a,4b の成膜後、切断されたスラ
イダ片3a,3b にそれぞれ対向するスライダ本体2 とその
突出部2aの一方の端面に接着ガラス(SiO2 )などに
よって磁性薄膜4a,4b を接着し、磁性薄膜4aをスライダ
本体2 とスライダ片3aによって、また、磁性薄膜4bをス
ライダ本体2 の突出部2aとスライダ片3bによってそれぞ
れサンドイッチした形態とし、スライダ片3a、磁性薄膜
4a、およびスライダ本体2 、ならびにスライダ片3b、磁
性薄膜4b、およびスライダ本体2 の突出部2aをそれぞれ
一体化する。
【0024】一体化後、記録ギャップ6 を形成するた
め、流入端側の磁性薄膜4aと流出端側の磁性薄膜4bを所
定量のギャップ空隙5 を有しかつ磁性薄膜4aが磁性薄膜
4bの膜厚の範囲内に対向するように突き合わせ、そして
接着ガラスなどによって接着して記録ギャップ6 を形成
する。ここで、情報の記録/再生に寄与する実効トラッ
ク幅7 は磁性薄膜4aの膜厚によって定義される。(図1
(a)参照)。
【0025】以上のように積層型磁気ヘッド1 が製作さ
れるが、流入端側の磁性薄膜4aを実効トラック幅7 に相
当する膜厚に成膜し、また、流出端側の磁性薄膜4bを実
効トラック幅7 以上の膜厚に成膜し、かつ磁性薄膜4aが
磁性薄膜4bの膜厚の範囲内に対向するように突き合わせ
ることにより、磁性薄膜4a,4b の突き合わせ精度を向上
させることなく、実効トラック幅7 の精度を向上させる
ことが可能となり、また、良好な再生出力が得られる積
層型磁気ヘッド1 を歩留まり良く製造することができ
る。
【0026】また、上記のように制作された積層型磁気
ヘッド1 を採用した磁気ディスク装置は、積層型磁気ヘ
ッド1 の磁性薄膜4a,4b の突き合わせ精度を向上させる
ことが必要なくなり、積層型磁気ヘッドの製造コストが
低下することにより、従来の磁気ディスク装置に比べて
製造歩留まりが向上して安価となり、安価な磁気ディス
ク装置を提供することができる。
【0027】なお、上記実施例では、流入端側の磁性薄
膜4aを実効トラック幅7 に相当する膜厚に成膜し、流出
端側の磁性薄膜4bを実効トラック幅7 以上の膜厚に成膜
するようにしたが、図1(b)に示すように、流出端側
の磁性薄膜4bを実効トラック幅7 に相当する膜厚に成膜
し、流入端側の磁性薄膜4aを実効トラック幅7 以上の膜
厚に成膜するようにしてもよく、同様の作用効果が得ら
れる。
【0028】また、上記実施例では、スライダ本体2 の
突出している部位とこれに対向しているスライダ片3 の
部位を予め切断しておくようにしたが、スライダ本体2
とスライダ片3 を切断後の流入端側のスライダ本体2 と
スライダ片3aに相当する形状に形成しておき、切断後の
流出端側のスライダ本体2 の突出部2aとスライダ片3bに
相当する部分をチタンカルシウム(TiCaO3 )など
の非磁性セラミックからなる別部材で形成して、磁性薄
膜4aが磁性薄膜4bの膜厚の範囲内に対向するように突き
合わせ、接着ガラスなどによって接着するようにしても
よい。
【0029】また、上記実施例では、磁性薄膜4 を単層
としたが、センダスト(Fe−Al−Si)からなる合
金膜と二酸化珪素(SiO2 )からなる絶縁膜を交互に
積層した多層膜構造としてもよい。
【0030】
【発明の効果】以上詳述したように、本発明の積層型磁
気ヘッドは、一方の磁性薄膜の膜厚と他方の磁性薄膜の
膜厚を相違して成膜したことにより、磁性薄膜の突き合
わせ精度を向上させることなく、実効トラック幅の精度
を向上させることができる。
【0031】また、本発明の積層型磁気ヘッドは、一方
の磁性薄膜の膜厚を実効トラック幅に成膜しかつ他方の
磁性薄膜の膜厚を実効トラック幅以上に成膜したので、
良好な再生出力が得られる積層型磁気ヘッドを歩留まり
良く製造できる。
【0032】また、本発明の磁気ディスク装置は、スラ
イダの磁気ディスクの走行方向に沿った少なくとも一方
の端面側に分割挾持して配設された磁性薄膜の一方の磁
性薄膜の膜厚を実効トラック幅に成膜しかつ他方の磁性
薄膜の膜厚を実効トラック幅以上に成膜した積層型磁気
ヘッドを備えたので、積層型磁気ヘッドの磁性薄膜の突
き合わせ精度を向上させることが必要なくなって、積層
型磁気ヘッドの製造コストが低下することにより、従来
の磁気ディスク装置に比べて製造歩留まりが向上して安
価となり、安価な磁気ディスク装置を提供することがで
きる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例の積層型磁気ヘッドの要部A
の拡大図で、図1(a)は第1の実施例を示す図、およ
び図1(b)は第2の実施例を示す図である。
【図2】積層型磁気ヘッドの基本構成を示す斜視図であ
る。
【図3】従来の積層型磁気ヘッドを示す図で、図3
(a)は図2の要部Aの拡大図、および図3(b)は製
作プロセスの説明のための平面図である。
【図4】従来の積層型磁気ヘッドの問題点をを示す図で
ある。
【符号の説明】
1 …積層型磁気ヘッド 2 …スライダ本体(スライダ) 3 …スライダ片(スライダ) 4 …磁性薄膜 4a…流入端側の磁性薄膜 4b…流出端側の磁性薄膜 5 …ギャップ空隙 6 …記録ギャップ

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 スライダの磁気ディスクの走行方向に沿
    った少なくとも一方の端面側に分割挾持して配設された
    磁性薄膜を所定のギャップ空隙を有して突き合わせるこ
    とにより記録ギャップを形成する積層型磁気ヘッドにお
    いて、上記磁性薄膜の一方の磁性薄膜の膜厚と他方の磁
    性薄膜の膜厚を相違して成膜したことを特徴とする積層
    型磁気ヘッド。
  2. 【請求項2】 一方の磁性薄膜の膜厚を実効トラック幅
    に成膜しかつ他方の磁性薄膜の膜厚を実効トラック幅以
    上に成膜したことを特徴とする請求項1記載の積層型磁
    気ヘッド。
  3. 【請求項3】 積層型磁気ヘッドによって磁気ディスク
    に情報の記録/再生を行なう磁気ディスク装置におい
    て、上記磁気ディスクを浮上させるスライダと、このス
    ライダの磁気ディスクの走行方向に沿った少なくとも一
    方の端面側に分割挾持して配設された磁性薄膜の一方の
    磁性薄膜の膜厚を実効トラック幅に成膜しかつ他方の磁
    性薄膜の膜厚を実効トラック幅以上に成膜した積層型磁
    気ヘッドとを具備したことを特徴とする磁気ディスク装
    置。
JP14839294A 1994-06-30 1994-06-30 積層型磁気ヘッドと磁気ディスク装置 Pending JPH0817157A (ja)

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